2022-77273 電子部品搬送装置及び電子部品搬送装置の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022077273

(43)【公開日】2022-05-23

(54)【発明の名称】電子部品搬送装置及び電子部品搬送装置の制御方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20220516BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020188052

(22)【出願日】2020-11-11

(71)【出願人】

【識別番号】521189123

【氏名又は名称】株式会社ＮＳテクノロジーズ

(74)【代理人】

【識別番号】100087398

【弁理士】

【氏名又は名称】水野 勝文

(74)【代理人】

【識別番号】100128783

【弁理士】

【氏名又は名称】井出 真

(74)【代理人】

【識別番号】100128473

【弁理士】

【氏名又は名称】須澤 洋

(74)【代理人】

【識別番号】100160886

【弁理士】

【氏名又は名称】久松 洋輔

(74)【代理人】

【識別番号】100180699

【弁理士】

【氏名又は名称】成瀬 渓

(74)【代理人】

【識別番号】100192603

【弁理士】

【氏名又は名称】網盛 俊

(74)【代理人】

【識別番号】100209060

【弁理士】

【氏名又は名称】冨所 剛

(72)【発明者】

【氏名】前田 直久

【テーマコード（参考）】

2G003

【Ｆターム（参考）】

2G003AD02

2G003AD03

2G003AF02

2G003AF03

2G003AF05

2G003AF06

2G003AG11

2G003AG14

2G003AH01

2G003AH05

(57)【要約】      （修正有）

【課題】コード情報の誤認識を防止できる電子部品搬送装置を提供する。
【解決手段】電子部品搬送装置２は、第１識別コードリーダー５２、及び第２識別コードリーダー５３と、第１識別コードリーダー５２用に装置本体の所定の位置に配置した第１識別コード６２と、第２識別コードリーダー５３用に装置本体の所定の位置に配置した第２識別コード６３と、第１識別コードリーダー５２、及び第２識別コードリーダー５３に、第１識別コード６２、及び第２識別コード６３を読み取らせてその情報を記憶させるよう制御するＣＰＵと、を有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１識別コードリーダー、及び第２識別コードリーダーと、
前記第１識別コードリーダー用に装置本体の所定の位置に配置した第１識別コードと、
前記第２識別コードリーダー用に前記装置本体の所定の位置に配置した第２識別コードと、
前記第１識別コードリーダー、及び前記第２識別コードリーダーに、前記第１識別コード、及び前記第２識別コードを読み取らせてその情報を記憶させるよう制御する制御部と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項2】

請求項１に記載の電子部品搬送装置であって、
前記第１識別コードリーダーの情報と、前記第２識別コードリーダーの情報を記憶する記憶部をさらに有し、
前記制御部は、前記第１識別コードを読み取った識別コードリーダーの情報が、前記記憶部の前記第１識別コードリーダーの情報と合致するか、同様に前記第２識別コードを読み取った前記識別コードリーダーの情報が、前記記憶部の前記第２識別コードリーダーの情報と合致するかを判断し、合致しない場合は報知することを特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項3】

請求項１に記載の電子部品搬送装置であって、
前記制御部は、前記第１識別コードを読み取った識別コードリーダーの情報を前記第１識別コードリーダーの情報として記憶し、前記第２識別コードを読み取った前記識別コードリーダーの情報を前記第２識別コードリーダーの情報として記憶することを特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項4】

検査対象のＩＣデバイスを搬送するための動線を複数有し、各動線に前記ＩＣデバイスが有する識別コードを読み取るための識別コードリーダーを備えた電子部品搬送装置の制御方法であって、
電子部品搬送装置は、
第１識別コードリーダー、及び第２識別コードリーダーと、
前記第１識別コードリーダー用に装置本体の所定の位置に配置した第１識別コードと、
前記第２識別コードリーダー用に前記装置本体の所定の位置に配置した第２識別コードと、
前記第１識別コードリーダーに前記第１識別コードを読み取らせ、前記第１識別コードの情報を記憶部に記憶させる一方、前記第２識別コードリーダーに前記第２識別コードを読み取らせ、前記第２識別コードの情報を前記記憶部に記憶させるよう制御する制御部と、
を有し、
前記識別コードリーダーの取り外しを含む前記電子部品搬送装置のメンテナンスが管理者により実施されたあと、実際に各動線に検査対象の前記ＩＣデバイスを流す前に、
前記制御部が、前記第１識別コードリーダー、及び前記第２識別コードリーダーに、それぞれ前記第１識別コード、及び前記第２識別コードを読み取らせる読取工程と、
前記記憶部が有している前記第１識別コード、及び前記第２識別コードの情報に基づいて、前記第１識別コードリーダーが前記第１識別コードを、前記第２識別コードリーダーが前記第２識別コードを、それぞれ読み取ったか否かを判定する判定工程と、
少なくとも判定が否定的だった場合、前記管理者に報知する報知工程と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置の制御方法。

【請求項5】

検査対象のＩＣデバイスを搬送するための動線を複数有し、各動線に前記ＩＣデバイスが有する識別コードを読み取るための識別コードリーダーをそれぞれ備えた電子部品搬送装置の制御方法であって、
電子部品搬送装置は、
装置本体の所定の位置に配置した第１識別コードと、
前記装置本体の所定の位置に配置した第２識別コードと、
制御部と、を有し、
前記制御部が、前記第１識別コード、及び前記第２識別コードを、各々それがある動線上に存在する前記識別コードリーダーに読み取らせる読取工程と、
前記第１識別コードを読み取った前記識別コードリーダーを第１識別コードリーダー、前記第２識別コードを読み取った前記識別コードリーダーを第２識別コードリーダーとして設定する設定工程と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置の制御方法。

【請求項6】

請求項４または５に記載の電子部品搬送装置の制御方法であって、
前記電子部品搬送装置は前記ＩＣデバイスを検査するソケットエリアを含む検査領域に前記ＩＣデバイスを搬入し、前記検査領域から前記ＩＣデバイスを搬出するシャトルを備え、
前記第１識別コード及び前記第２識別コードは前記シャトル上の供給シャトル部と回収シャトル部との間に設置されることを特徴とする電子部品搬送装置の制御方法。

【請求項7】

請求項４～６のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置の制御方法であって、
前記第１識別コード及び前記第２識別コードはＱＲコード（登録商標）またはデータマトリックスであることを特徴とする電子部品搬送装置の制御方法。

【請求項8】

請求項４～７のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置の制御方法であって、
前記メンテナンスでは前記識別コードリーダーの取り外し、前記識別コードリーダーの配線の接続及び接続にかかわる設定が行われることを特徴とする電子部品搬送装置の制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品搬送装置及び電子部品搬送装置の制御方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）や、半導体デバイス等の電子部品の電気特性検査において、良品、不良品の検査結果に応じて電子部品を分類して収納するデバイス搬送装置が知られていた。

【0003】

例えば、特許文献１には、ＩＣに表示されたコードを読み取るコードリーダーを備えた電子部品搬送装置が開示されている。当該文献によれば、コードは２次元コードであり、コードが示す情報は品種情報及び個体識別情報であるとしている。電子部品搬送装置はメモリーに個体識別情報を記憶し、検査結果と紐づけする。個体識別情報は検査結果と合わせて外部機器に出力される。また、コードリーダーを複数設ける構成も開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－５４４６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１の電子部品搬送装置では、コード情報を誤認識してしまう恐れがあった。例えば、搬送によりＩＣが移動するＩＣの動線が複数あるとき、電子部品搬送装置は複数のコードリーダーを備えた構成になる。コードリーダーが故障して交換した場合、コードリーダーの配線ミスや設定ミスがあると、複数の動線に対応して設置されたコードのうちコードリーダーが読み取ったコード情報が誤認識される恐れがあった。そこで、コード情報の誤認識を防止できる電子部品搬送装置が望まれていた。

【課題を解決するための手段】

【0006】

電子部品搬送装置は、第１識別コードリーダー、及び第２識別コードリーダーと、前記第１識別コードリーダー用に装置本体の所定の位置に配置した第１識別コードと、前記第２識別コードリーダー用に前記装置本体の所定の位置に配置した第２識別コードと、前記第１識別コードリーダー、及び前記第２識別コードリーダーに、前記第１識別コード、及び前記第２識別コードを読み取らせてその情報を記憶させるよう制御する制御部と、を有する。

【0007】

電子部品搬送装置の制御方法は、検査対象のＩＣデバイスを搬送するための動線を複数有し、各動線に前記ＩＣデバイスが有する識別コードをよみ取るための識別コードリーダーを備えた電子部品搬送装置の制御方法であって、電子部品搬送装置は、第１識別コードリーダー、及び第２識別コードリーダーと、前記第１識別コードリーダー用に装置本体の所定の位置に配置した第１識別コードと、前記第２識別コードリーダー用に前記装置本体の所定の位置に配置した第２識別コードと、前記第１識別コードリーダーに前記第１識別コードを読み取らせ、前記第１識別コードの情報を記憶部に記憶させる一方、前記第２識別コードリーダーに前記第２識別コードを読み取らせ、前記第２識別コードの情報を前記記憶部に記憶させるよう制御する制御部と、を有し、前記識別コードリーダーの取り外しを含む前記電子部品搬送装置のメンテナンスが管理者により実施されたあと、実際に各動線に検査対象の前記ＩＣデバイスを流す前に、前記制御部が、前記第１識別コードリーダー、及び前記第２識別コードリーダーに、それぞれ前記第１識別コード、及び前記第２識別コードを読み取らせる読取工程と、前記記憶部が有している前記第１識別コード、及び前記第２識別コードの情報に基づいて、前記第１識別コードリーダーが前記第１識別コードを、前記第２識別コードリーダーが前記第２識別コードを、それぞれ読み取ったか否かを判定する判定工程と、少なくとも判定が否定的だった場合、前記管理者に報知する報知工程と、を有する。

【0008】

電子部品搬送装置の制御方法は、検査対象のＩＣデバイスを搬送するための動線を複数有し、各動線に前記ＩＣデバイスが有する識別コードをよみ取るための識別コードリーダーをそれぞれ備えた電子部品搬送装置の制御方法であって、電子部品搬送装置は、装置本体の所定の位置に配置した第１識別コードと、前記装置本体の所定の位置に配置した第２識別コードと、制御部と、を有し、前記制御部が、前記第１識別コード、及び前記第２識別コードを、各々それがある動線上に存在する前記識別コードリーダーに読み取らせる読取工程と、前記第１識別コードを読み取った前記識別コードリーダーを第１識別コードリーダー、前記第２識別コードを読み取った前記識別コードリーダーを第２識別コードリーダーとして設定する設定工程と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態にかかわる電子部品検査装置を正面側から見た概略斜視図。

【図2】電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図。

【図3】識別コードリーダーの配置を説明するための模式平面図。

【図4】識別コードリーダーの配置を説明するための模式側面図。

【図5】ＩＣデバイスの模式平面図。

【図6】制御装置の電気ブロック図。

【図7】電子部品搬送装置の制御方法のフローチャート。

【図8】判定工程を説明するための図。

【図9】第２実施形態にかかわる制御装置の電気ブロック図。

【図10】電子部品搬送装置の制御方法のフローチャート。

【図11】関係設定工程を説明するための図。

【図12】関係設定工程を説明するための図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

第１実施形態
図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直方向となっている。また、Ｘ軸に平行な方向をＸ方向とする。Ｙ軸に平行な方向をＹ方向とする。Ｚ軸に平行な方向をＺ方向とする。各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」とする。

【0011】

「水平」とは、完全な水平に限定されず、ＩＣデバイス等の電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干傾いた状態も含む。「鉛直」とは、完全な鉛直に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、鉛直に対して若干傾いた状態も含む。若干傾いた状態の傾き角度は５°未満である。

【0012】

図１中の上側、すなわち、Ｚ方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Ｚ方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。Ｙ方向負側を「正面」、Ｙ方向正側を「裏側」と言うことがある。

【0013】

電子部品搬送装置２を備える電子部品検査装置１は、例えばＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）パッケージであるＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）デバイス等の電子部品の電気特性を検査・試験する装置である。電気特性の検査を電特検査とする。図１に示すように、電子部品検査装置１は内部に電子部品搬送装置２を備える。電子部品搬送装置２は電子部品を搬送する装置である。

【0014】

電子部品搬送装置２はカバー３に覆われている。電子部品検査装置１はＹ方向負側且つＸ方向負側に制御装置４を備える。制御装置４は電子部品検査装置１の動作を制御する。制御装置４の近くにはスピーカー５が配置される。電子部品検査装置１はＹ方向負側且つＸ方向正側にモニター６、操作パネル７及びマウス台８が配置される。モニター６の表示画面６ａには各種の情報が表示される。モニター６は、例えば液晶画面で構成された表示画面６ａを有し、電子部品検査装置１の正面側上部に配置されている。トレイ除去領域１２のＸ方向正側には、マウスを載置するマウス台８が設けられている。操作者はマウス台８上のマウス及び操作パネル７を操作して、電子部品検査装置１の動作条件等を設定し、指示内容を入力する。操作パネル７は電子部品検査装置１に所望の動作を命令するインターフェイスである。

【0015】

電子部品検査装置１はＹ方向負側且つＸ方向負側にシグナルランプ９を備える。シグナルランプ９及びスピーカー５は電子部品検査装置１の動作状態等を報知する。シグナルランプ９は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置１の動作状態等を報知する。シグナルランプ９は電子部品検査装置１の上部に配置される。

【0016】

電子部品検査装置１はＹ方向負側にトレイ供給領域１１及びトレイ除去領域１２が設けられる。操作者は電子部品が配列されたトレイをトレイ供給領域１１に供給する。電子部品検査装置１はトレイ供給領域１１からトレイを取り込んで、電特検査を行う。電子部品検査装置１は電特検査が終了した電子部品が配列するトレイをトレイ除去領域１２に排出する。

【0017】

電子部品検査装置１はＸ方向正側に冷凍機１０を備える。冷凍機１０はカバー３の内部を冷却する冷却媒体を供給する。冷却媒体は冷えたドライエアである。ドライエアは乾燥した空気である。冷却媒体は他にも、炭酸ガス、窒素ガス等を用いることができる。冷凍機１０はカバー３の近くに配置される。冷凍機１０のＹ方向正側にはドライパージ２０が配置される。ドライパージ２０には乾燥した空気が蓄えられる。ドライパージ２０は冷凍機１０から投入される低温のドライエアを加熱し、冷凍機１０から投入される温度よりドライエアの温度を上げる。

【0018】

図２に示すように、説明の便宜上、検査対象物に検査対象としてのＩＣデバイス１３を用いる場合について代表して説明する。ＩＣデバイス１３は平板状をなす。ＩＣデバイス１３の下面には半球状の複数の端子が配置されている。

【0019】

ＩＣデバイス１３としては、例えば、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）、複数のモジュールがパッケージ化されたモジュールＩＣ、水晶デバイス、圧力センサー、慣性センサー、加速度センサー、ジャイロセンサー、指紋センサー等が挙げられる。

【0020】

電子部品搬送装置２は、トレイ供給領域１１と、デバイス供給領域１４と、検査領域１５と、デバイス回収領域１６と、トレイ除去領域１２とを備える。これらの各領域は壁で分けられている。ＩＣデバイス１３は、トレイ供給領域１１からトレイ除去領域１２まで前記各領域を第１矢印１７方向に順に経由し、途中の検査領域１５で検査が行われる。他にも、電子部品搬送装置２は、各領域を経由するようにＩＣデバイス１３を搬送する搬送部１８と、検査領域１５内で検査を行なうソケットエリア１９と、産業用コンピューターで構成された制御装置４とを備える。ソケットエリア１９はＩＣデバイス１３と導通して検査するソケットが配置された領域である。

【0021】

電子部品検査装置１は、トレイ供給領域１１及びトレイ除去領域１２が配置された方が正面側である。検査領域１５が配された方が背面側である。

【0022】

電子部品搬送装置２は、ＩＣデバイス１３の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。チェンジキットには、例えば、ソークプレート２１と、シャトル２２とがある。チェンジキットとは別に、ＩＣデバイス１３の種類ごとに交換されるものとしては、例えば、トレイ２４と、回収用トレイ２５と、ソケットエリア１９とがある。トレイ２４はＩＣデバイス１３が搭載される容器である。

【0023】

トレイ供給領域１１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス１３が配列されたトレイ２４が供給される給材部である。トレイ供給領域１１ではトレイ２４が複数積み重ねて搭載される。各トレイ２４には複数の凹部が行列状に配置されている。各凹部にはＩＣデバイス１３が１つずつ収納される。

【0024】

デバイス供給領域１４では、トレイ供給領域１１から搬送されたトレイ２４上の複数のＩＣデバイス１３がそれぞれシャトル２２まで搬送される。シャトル２２によりデバイス供給領域１４から検査領域１５へＩＣデバイス１３が搬送される。トレイ供給領域１１とデバイス供給領域１４とをまたぐように、トレイ２４を１枚ずつ水平方向に搬送する第１トレイ搬送機構２６、第２トレイ搬送機構２７が設けられている。第１トレイ搬送機構２６は搬送部１８の一部である。第１トレイ搬送機構２６はＩＣデバイス１３を搭載したトレイ２４をＹ方向正側、すなわち、図２中の第２矢印２８方向に移動する。これにより、ＩＣデバイス１３はデバイス供給領域１４に送り込まれる。また、第２トレイ搬送機構２７は空のトレイ２４をＹ方向負側、すなわち、図２中の第３矢印２９方向に移動する。第２トレイ搬送機構２７は空のトレイ２４をデバイス供給領域１４からトレイ供給領域１１に移動する。

【0025】

デバイス供給領域１４には、ソークプレート２１、第１デバイス搬送ヘッド３１、トレイ搬送機構３２及びシャトル２２が設けられている。ソークプレート２１の英語表記は「ｓｏａｋ ｐｌａｔｅ」であり、中国語表記は「均温板」である。ソークプレート２１はＩＣデバイス１３の温度調整をする。ソークプレート２１はＩＣデバイス１３の温度を検査待機時に調整する。シャトル２２はデバイス供給領域１４と検査領域１５とをまたぐように移動する。シャトル２２はＩＣデバイス１３をソークプレート２１からテストハンド３６の可動範囲に搬送する。

【0026】

ソークプレート２１には複数のＩＣデバイス１３が載置される。ソークプレート２１は載置されたＩＣデバイス１３を一括して加熱または冷却する。ソークプレート２１はＩＣデバイス１３を予め加熱または冷却して、電特検査に適した温度に調整する。

【0027】

本実施形態では、例えば、ソークプレート２１は第１ソークプレート２１ａ及び第２ソークプレート２１ｂを備える。第１ソークプレート２１ａ及び第２ソークプレート２１ｂはＹ方向に並んで配置される。第１ソークプレート２１ａ及び第２ソークプレート２１ｂは同じ構造になっている。第１トレイ搬送機構２６によってトレイ供給領域１１から搬入されたトレイ２４上のＩＣデバイス１３は、いずれかのソークプレート２１に搬送される。

【0028】

第１デバイス搬送ヘッド３１はＩＣデバイス１３を保持する機構を備える。第１デバイス搬送ヘッド３１はデバイス供給領域１４内でＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向にＩＣデバイス１３を移動する。第１デバイス搬送ヘッド３１は搬送部１８の一部である。第１デバイス搬送ヘッド３１はトレイ供給領域１１から搬入されたトレイ２４とソークプレート２１との間のＩＣデバイス１３の搬送を行う。第１デバイス搬送ヘッド３１はソークプレート２１とシャトル２２との間のＩＣデバイス１３の搬送を行う。尚、図２中では、第１デバイス搬送ヘッド３１のＸ方向の移動を第４矢印３３で示し、第１デバイス搬送ヘッド３１のＹ方向の移動を第５矢印３４で示す。

【0029】

シャトル２２にはソークプレート２１で温度調整されたＩＣデバイス１３が載置される。シャトル２２はＩＣデバイス１３をソケットエリア１９近傍まで搬送する。シャトル２２も搬送部１８の一部である。シャトル２２は、ＩＣデバイス１３が収納、載置される凹部を有する。

【0030】

シャトル２２はデバイス供給領域１４と検査領域１５とデバイス回収領域１６との間をＸ方向、すなわち、第６矢印３５方向に往復移動する。これにより、シャトル２２は、ＩＣデバイス１３をデバイス供給領域１４から検査領域１５のソケットエリア１９の近傍まで搬送する。検査領域１５でＩＣデバイス１３がテストハンド３６によって取り去られた後、シャトル２２は再度デバイス供給領域１４に戻る。

【0031】

シャトル２２はＹ方向に２つ配置されている。Ｙ方向正側のシャトル２２をシャトルとしての第１シャトル２２ａとする。Ｙ方向負側のシャトル２２をシャトルとしての第２シャトル２２ｂとする。そして、ソークプレート２１上のＩＣデバイス１３は、第１デバイス搬送ヘッド３１によりデバイス供給領域１４内で第１シャトル２２ａまたは第２シャトル２２ｂまで搬送される。シャトル２２はシャトル２２に載置されたＩＣデバイス１３を加熱または冷却可能である。ソークプレート２１で温度調整されたＩＣデバイス１３は、温度調整状態を維持して検査領域１５のソケットエリア１９近傍まで搬送される。また、シャトル２２及びソークプレート２１はシャーシへ電気的に接地されている。

【0032】

トレイ搬送機構３２は、すべてのＩＣデバイス１３が除去された状態の空のトレイ２４をデバイス供給領域１４内でＸ方向正側、すなわち、第７矢印３２ａ方向に搬送する機構である。第７矢印３２ａ方向への搬送後、空のトレイ２４は、第２トレイ搬送機構２７によってデバイス供給領域１４からトレイ供給領域１１に戻される。

【0033】

検査領域１５は、ＩＣデバイス１３の電気特性を検査する領域である。検査領域１５にはＩＣデバイス１３を検査するソケットエリア１９と、テストハンド３６とが設けられている。テストハンド３６はＩＣデバイス１３をソケットに押圧する。

【0034】

テストハンド３６は搬送部１８の一部であり、保持したＩＣデバイス１３を加熱または冷却可能である。検査領域１５内で温度調整状態を維持したまま、テストハンド３６はＩＣデバイス１３を搬送する。

【0035】

テストハンド３６は、検査領域１５内でＹ方向及びＺ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。テストハンド３６はＩＣデバイス１３を持ち上げてシャトル２２からソケットエリア１９上に搬送し、載置する。

【0036】

図２中では、テストハンド３６のＹ方向の往復移動が第８矢印３６ｃで示される。テストハンド３６は、検査領域１５内で、ＩＣデバイス１３の第１シャトル２２ａからソケットエリア１９への搬送と、ＩＣデバイス１３の第２シャトル２２ｂからソケットエリア１９への搬送とを担う。また、テストハンド３６はＹ方向に往復移動可能に支持されている。

【0037】

テストハンド３６は、Ｙ方向に２つ配置される。Ｙ方向正側のテストハンド３６を第１テストハンド３６ａとする。Ｙ方向負側のテストハンド３６を第２テストハンド３６ｂとする。第１テストハンド３６ａはＩＣデバイス１３を第１シャトル２２ａからソケットエリア１９へ搬送する。第２テストハンド３６ｂはＩＣデバイス１３を第２シャトル２２ｂからソケットエリア１９へ搬送する。第１テストハンド３６ａはＩＣデバイス１３のソケットエリア１９から第１シャトル２２ａへの搬送を担う。第２テストハンド３６ｂはＩＣデバイス１３をソケットエリア１９から第２シャトル２２ｂへ搬送する。

【0038】

ソケットエリア１９にはＩＣデバイス１３が載置され、ソケットエリア１９はＩＣデバイス１３の電気特性を検査する。ソケットエリア１９にはＩＣデバイス１３の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス１３の端子とプローブピンとが電気的に接続される。そして、ソケットエリア１９はＩＣデバイス１３の検査を行なう。ＩＣデバイス１３の検査はソケットエリア１９と電気的に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。ソケットエリア１９でもＩＣデバイス１３を加熱または冷却して、ＩＣデバイス１３を検査に適した温度に調整できる。従って、電子部品搬送装置２はＩＣデバイス１３を加熱または冷却するソークプレート２１及びソケットエリア１９を備える。ＩＣデバイス１３を高温または低温で検査できる。

【0039】

デバイス回収領域１６は検査が終了した複数のＩＣデバイス１３が回収される領域である。デバイス回収領域１６には、回収用トレイ２５と、第２デバイス搬送ヘッド３７と、第３トレイ搬送機構３８とが設けられている。検査領域１５とデバイス回収領域１６とをまたぐように移動するシャトル２２も設けられている。デバイス回収領域１６には空のトレイ２４も用意されている。

【0040】

シャトル２２には検査が終了したＩＣデバイス１３が載置される。シャトル２２はＩＣデバイス１３をデバイス回収領域１６まで搬送する。

【0041】

シャトル２２は、デバイス供給領域１４と検査領域１５とデバイス回収領域１６との間をＸ方向、すなわち、第９矢印２３ｃ方向に沿って往復移動可能に支持されている。ソケットエリア１９上のＩＣデバイス１３は第１シャトル２２ａまたは第２シャトル２２ｂに搬送され、載置される。テストハンド３６はＩＣデバイス１３のソケットエリア１９から第１シャトル２２ａへの搬送と、ＩＣデバイス１３のソケットエリア１９から第２シャトル２２ｂへの搬送とを担う。また、シャトル２２はシャーシへ電気的に接地されている。

【0042】

シャトル２２は検査対象であるＩＣデバイス１３を検査するソケットエリア１９を含む検査領域１５にＩＣデバイス１３を搬入し、検査領域１５からＩＣデバイス１３を搬出する。

【0043】

回収用トレイ２５にはソケットエリア１９で検査されたＩＣデバイス１３が載置される。ＩＣデバイス１３はデバイス回収領域１６内で移動しないよう回収用トレイ２５に固定されている。第２デバイス搬送ヘッド３７等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域１６であっても、回収用トレイ２５上では検査済みのＩＣデバイス１３が安定して載置される。回収用トレイ２５は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。

【0044】

空のトレイ２４もＸ方向に沿って４つ配置されている。空のトレイ２４に検査されたＩＣデバイス１３が載置される。シャトル２２上のＩＣデバイス１３は回収用トレイ２５または空のトレイ２４のうちのいずれかに搬送され、載置される。ＩＣデバイス１３は検査結果ごとに分類されて、回収される。

【0045】

第２デバイス搬送ヘッド３７は、デバイス回収領域１６内でＸ方向及びＹ方向に移動可能に支持される。第２デバイス搬送ヘッド３７はＺ方向にも移動可能な部分を有している。第２デバイス搬送ヘッド３７は搬送部１８の一部である。第２デバイス搬送ヘッド３７はＩＣデバイス１３をシャトル２２から回収用トレイ２５や空のトレイ２４に搬送する。図２中では、第２デバイス搬送ヘッド３７のＸ方向の移動を第１０矢印３７ａで示し、第２デバイス搬送ヘッド３７のＹ方向の移動を第１１矢印３７ｂで示す。

【0046】

第３トレイ搬送機構３８は、トレイ除去領域１２から搬入された空のトレイ２４をデバイス回収領域１６内でＸ方向、すなわち、第１２矢印３８ａ方向に搬送する機構である。搬送後に空のトレイ２４はＩＣデバイス１３が回収される位置に配置される。

【0047】

トレイ除去領域１２では検査済み状態の複数のＩＣデバイス１３が配列されたトレイ２４が回収され、除去される。トレイ除去領域１２には多数のトレイ２４が積み重ねられる。

【0048】

デバイス回収領域１６とトレイ除去領域１２とをまたぐようにトレイ２４を１枚ずつＹ方向に搬送する第４トレイ搬送機構３９及び第５トレイ搬送機構４１が設けられている。第４トレイ搬送機構３９は搬送部１８の一部でありトレイ２４をＹ方向、すなわち、第１３矢印３９ａ方向に往復移動する。第４トレイ搬送機構３９は、検査済みのＩＣデバイス１３をデバイス回収領域１６からトレイ除去領域１２に搬送する。第５トレイ搬送機構４１はＩＣデバイス１３を回収するための空のトレイ２４をＹ方向正側、すなわち、第１４矢印４１ａ方向に移動する。第５トレイ搬送機構４１は空のトレイ２４をトレイ除去領域１２からデバイス回収領域１６に移動する。

【0049】

制御装置４は第１トレイ搬送機構２６と、第２トレイ搬送機構２７と、ソークプレート２１と、第１デバイス搬送ヘッド３１と、シャトル２２と、トレイ搬送機構３２と、ソケットエリア１９と、テストハンド３６と、第２デバイス搬送ヘッド３７と、第３トレイ搬送機構３８と、第４トレイ搬送機構３９と、第５トレイ搬送機構４１の各部の動作を制御する。制御装置４は制御部としてのＣＰＵ４２（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）と記憶部としてのメモリー４３とを有している。ＣＰＵ４２はメモリー４３に記憶されている判断用プログラム、指示・命令用プログラム等の各種情報を読み込み、判断や命令を実行する。

【0050】

制御装置４は、電子部品検査装置１や電子部品搬送装置２に内蔵されていてもよいし、外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。外部機器は、例えば、電子部品検査装置１とケーブル等を介して通信される場合、無線通信される場合、電子部品検査装置１とネットワークを介して接続されている場合等がある。

【0051】

電子部品検査装置１は、トレイ供給領域１１とデバイス供給領域１４との間が第１隔壁４４によって区切られている。デバイス供給領域１４と検査領域１５との間が第２隔壁４５によって区切られている。検査領域１５とデバイス回収領域１６との間が第３隔壁４６によって区切られている。デバイス回収領域１６とトレイ除去領域１２との間が第４隔壁４７によって区切られている。デバイス供給領域１４とデバイス回収領域１６との間も、第５隔壁４８によって区切られている。

【0052】

第２隔壁４５にはシャトル２２が通過するための穴が形成されている。第３隔壁４６にもシャトル２２が通過するための穴が形成されている。従って、デバイス供給領域１４及びデバイス回収領域１６は検査領域１５に通じる。

【0053】

図３及び図４に示すように、電子部品搬送装置２は検査領域１５に門型の支持部材４９を備える。支持部材４９のＸ方向正側の面にはハンド用レール５１が配置され、テストハンド３６はハンド用レール５１に沿ってＹ方向に往復移動する。支持部材４９のＸ方向負側の面には識別コードリーダーとしての第１識別コードリーダー５２、識別コードリーダーとしての第２識別コードリーダー５３、識別コードリーダーとしての第３識別コードリーダー５４及び識別コードリーダーとしての第４識別コードリーダー５５が配置される。従って、電子部品搬送装置２は第１識別コードリーダー５２及び第２識別コードリーダー５３を有する。

【0054】

制御装置４は第１コネクター４ａ、第２コネクター４ｂ、第３コネクター４ｃ及び第４コネクター４ｄを備える。第１識別コードリーダー５２はケーブル５６により第１コネクター４ａと接続される。第２識別コードリーダー５３はケーブル５６により第２コネクター４ｂと接続される。第３識別コードリーダー５４はケーブル５６により第３コネクター４ｃと接続される。第４識別コードリーダー５５はケーブル５６により第４コネクター４ｄと接続される。

【0055】

デバイス供給領域１４、検査領域１５及びデバイス回収領域１６に亘って第１シャトル用レール５７及び第２シャトル用レール５８が配置される。第１シャトル用レール５７及び第２シャトル用レール５８はそれぞれ一対のレールを備える。第１シャトル２２ａは第１シャトル用レール５７に沿って移動する。第２シャトル２２ｂは第２シャトル用レール５８に沿って移動する。

【0056】

シャトル２２はＸ方向負側に供給シャトル部５９を備え、Ｘ方向正側に回収シャトル部６１を備える。供給シャトル部５９には検査される前のＩＣデバイス１３が配置される。回収シャトル部６１には検査の済んだＩＣデバイス１３が配置される。テストハンド３６は供給シャトル部５９のＩＣデバイス１３をソケットエリア１９に搬送する。検査が済んだ後に、テストハンド３６はソケットエリア１９のＩＣデバイス１３を回収シャトル部６１に搬送する。

【0057】

第１シャトル２２ａではシャトル２２上の供給シャトル部５９と回収シャトル部６１との間に第１識別コード６２及び第２識別コード６３が設置される。第２シャトル２２ｂではシャトル２２上の供給シャトル部５９と回収シャトル部６１との間に第３識別コード６４及び第４識別コード６５が設置される。第１識別コード６２～第４識別コード６５は示される情報の異なる識別コード６６である。

【0058】

第１識別コード６２は第１識別コードリーダー５２用に装置本体の所定の位置に配置した識別コードである。第２識別コード６３は第２識別コードリーダー５３用に装置本体の所定の位置に配置した識別コードである。装置本体の所定の位置は第１シャトル２２ａ上の供給シャトル部５９と回収シャトル部６１との間である。

【0059】

第３識別コード６４は第３識別コードリーダー５４用に装置本体の所定の位置に配置した識別コードである。第４識別コード６５は第４識別コードリーダー５５用に装置本体の所定の位置に配置した識別コードである。装置本体の所定の位置は第２シャトル２２ｂ上の供給シャトル部５９と回収シャトル部６１との間である。

【0060】

第１識別コード６２は“１”、第２識別コード６３は“２”、第３識別コード６４は“３”、第４識別コード６５は“４”の情報を示す。

【0061】

第１識別コード６２、第２識別コード６３を含む識別コード６６はＱＲコード（登録商標）またはデータマトリックスである。この構成によれば、識別コード６６はＱＲコード（登録商標）またはデータマトリックスである。識別コード６６は２次元コードであるので、バーコード等の１次元コードに比べて識別コード６６の面積を小さくできる。尚、識別コード６６を設置する場所の面積が広いときには識別コード６６をバーコードにしても良い。第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５がＯＣＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｈａｒａｃｔｅｒ Ｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎ）機能を有するときには、識別コード６６は数字や文字でも良い。

【0062】

デバイス供給領域１４から検査領域１５を介してデバイス回収領域１６へＩＣデバイス１３を搬送するシャトル２２が移動する軌跡の線を動線６７とする。第１シャトル２２ａのＹ方向正側のＩＣデバイス１３が搬送されるときの動線６７が動線としての第１動線６７ａであり、Ｙ方向負側のＩＣデバイス１３が搬送されるときの動線６７が動線としての第２動線６７ｂである。第２シャトル２２ｂのＹ方向正側のＩＣデバイス１３が搬送されるときの動線６７が動線としての第３動線６７ｃであり、Ｙ方向負側のＩＣデバイス１３が搬送されるときの動線６７が動線としての第４動線６７ｄである。電子部品搬送装置２は検査対象のＩＣデバイス１３を搬送する複数の動線６７を有する。

【0063】

第１シャトル２２ａ上のＩＣデバイス１３は第１動線６７ａ上または第２動線６７ｂ上にある。第２シャトル２２ｂ上のＩＣデバイス１３は第３動線６７ｃ上または第４動線６７ｄ上にある。

【0064】

ＩＣデバイス１３は識別コード６６を備える。第１識別コードリーダー５２、第２識別コードリーダー５３、第３識別コードリーダー５４、第４識別コードリーダー５５は、それぞれ、第１動線６７ａ、第２動線６７ｂ、第３動線６７ｃ、第４動線６７ｄと対向して配置される。

【0065】

電子部品搬送装置２は検査対象のＩＣデバイス１３を搬送するための動線６７を複数有し、各動線６７にＩＣデバイス１３が有する識別コード６６をよみ取るための識別コードリーダーを備える。

【0066】

第１識別コードリーダー５２は第１動線６７ａ上のＩＣデバイス１３が備える識別コード６６に加え第１識別コード６２を読み取る。第２識別コードリーダー５３は第２動線６７ｂ上のＩＣデバイス１３が備える識別コード６６に加え第２識別コード６３を読み取る。第３識別コードリーダー５４は第３動線６７ｃ上のＩＣデバイス１３が備える識別コード６６に加え第３識別コード６４を読み取る。第４識別コードリーダー５５は第４動線６７ｄ上のＩＣデバイス１３が備える識別コード６６に加え第４識別コード６５を読み取る。

【0067】

この構成によれば、識別コード６６を備えるＩＣデバイス１３はシャトル２２に設置される。検査対象であるＩＣデバイス１３はシャトル２２で移動されるので、ＩＣデバイス１３に設置される識別コード６６もシャトル２２の移動範囲内にある。第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が識別コードを読み取れることを確認することにより、ＩＣデバイス１３に設置される識別コード６６を第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が読み取ることができる。

【0068】

第１コネクター４ａ～第４コネクター４ｄと第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５とを接続するケーブル５６の組み合わせを間違えるとき、第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が読み取った識別コード６６に示されるコード情報が誤認識される。

【0069】

図５に示すように、ＩＣデバイス１３にはメーカー名１３ａ、品種表示名１３ｂ、個体識別番号１３ｃを示す文字列が印刷されている。さらに、ＩＣデバイス１３には品種表示名１３ｂをバーコードで表示した品種バーコード１３ｄと個体識別番号１３ｃを示す識別コード６６である個体識別コード１３ｅが印刷されている。ＩＣデバイス１３は動線６７に沿って搬送されるので、第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５は個体識別コード１３ｅを読み取ることができる。

【0070】

図６において、電子部品搬送装置２は電子部品搬送装置２の動作を制御する制御装置４を備える。そして、制御装置４はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ４２（中央演算処理装置）と、各種情報を記憶するメモリー４３を備える。ステージ駆動装置６８、リーダー駆動装置６９、入力装置７１、表示装置７２、出力装置７３が入出力インターフェイス７４及びデータバス７５を介してＣＰＵ４２に接続されている。

【0071】

ステージ駆動装置６８は第１シャトル２２ａ及び第２シャトル２２ｂを駆動する。ステージ駆動装置６８はＣＰＵ４２の指示信号を入力する。指示信号はシャトル２２の移動を指示する情報を含んでいる。そして、ステージ駆動装置６８は指示信号に対応するシャトル２２の移動を行う。

【0072】

リーダー駆動装置６９は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５を駆動する。リーダー駆動装置６９はＣＰＵ４２の指示信号を入力する。指示信号は識別コード６６を読み取る指示情報を含んでいる。そして、リーダー駆動装置６９は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５に識別コード６６を読み取らせて、読み取った識別コード６６をＣＰＵ４２に送信する。

【0073】

入力装置７１は操作パネル７、解除ボタン、キーボードやマウス等の装置である。表示装置７２は測定結果や測定に係わる情報を表示して報知する装置である。表示装置７２はモニター６、シグナルランプ９を含む。モニター６には液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ、表面電界ディスプレイを用いることができる。出力装置７３はスピーカー５、シグナルランプ９、外部機器へのインターフェイス等の装置である。

【0074】

入力装置７１及び表示装置７２は、操作者が電子部品検査装置１及び電子部品搬送装置２に動作開始と動作終了、測定条件等の各種の指示をするための装置である。

【0075】

メモリー４３は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスクといった記憶装置を含む。メモリー４３は電子部品検査装置１及び電子部品搬送装置２の動作の制御手順や測定手順が記述されたプログラム７６を記憶する。

【0076】

他にも、メモリー４３は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が読み取った識別コード６６の情報をコードデータ７７の一部として記憶する。第１識別コードリーダー５２が読み取った識別コード６６の情報を第１識別コードリーダー５２の情報とする。第２識別コードリーダー５３が読み取った識別コード６６の情報を第２識別コードリーダー５３の情報とする。メモリー４３は第１識別コードリーダー５２の情報と、第２識別コードリーダー５３の情報を記憶する。

【0077】

他にも、メモリー４３はＣＰＵ４２が判定するときに用いる比較判定データ７８を記憶する。他にも、メモリー４３は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５と電気的に接続されているポート番号と第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５との対応を示す接続設定データ８０を記憶する。他にも、ＣＰＵ４２が動作するためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域を備える。

【0078】

ＣＰＵ４２は、メモリー４３内に記憶されたプログラム７６に従って、電子部品搬送装置２を駆動させる。制御装置４は入力装置７１、表示装置７２と接続され、ＣＰＵ４２等を搭載したコンピューターとして機能する。プログラム７６が動作するＣＰＵ４２は具体的な機能実現部としてステージ制御部７９を有する。ステージ制御部７９は第１シャトル２２ａ及び第２シャトル２２ｂの移動と停止を制御する。ステージ制御部７９は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５の検出範囲に識別コード６６が位置するように、シャトル２２の位置を制御する。

【0079】

他にも、ＣＰＵ４２はリーダー制御部８１を有する。リーダー制御部８１は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が識別コード６６を読み取るタイミングを制御する。

【0080】

他にも、ＣＰＵ４２はリーダー確認制御部８２を有する。リーダー確認制御部８２は保守工程で第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５のいずれかを交換するときや、初めて設置するときに動作する。リーダー確認制御部８２は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が正しく接続され、正しく設定されたかを確認する手順を行う。

【0081】

他にも、ＣＰＵ４２はリーダー正誤判定部８３を有する。リーダー正誤判定部８３は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が正しく接続され、正しく設定されたかを判定する。

【0082】

他にも、ＣＰＵ４２は報知制御部８４を有する。第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が正しく接続されないとき、または、正しく設定されないとき、報知制御部８４は表示装置７２にその状態を表示させる。

【0083】

ＣＰＵ４２は第１識別コードリーダー５２に、第１識別コード６２を読み取らせて第１識別コード６２の情報を記憶させるよう制御する。ＣＰＵ４２は第２識別コードリーダー５３に、第２識別コード６３を読み取らせて第２識別コード６３の情報を記憶させるよう制御する。ＣＰＵ４２は第３識別コードリーダー５４に、第３識別コード６４を読み取らせてその情報を記憶させるよう制御する。ＣＰＵ４２は第４識別コードリーダー５５に、第４識別コード６５を読み取らせてその情報を記憶させるよう制御する。

【0084】

次に上述した電子部品搬送装置２の制御方法について図７及び図８にて説明する。図７のフローチャートにおいて、ステップＳ１～ステップＳ３は実際に各動線６７に検査対象のＩＣデバイス１３を流す前に行われる。

【0085】

ステップＳ１は保守工程に相当する。保守工程では電子部品搬送装置２のメンテナンスが管理者により行われる。識別コードリーダーが故障したときのメンテナンスでは、識別コードリーダーの取り外し、識別コードリーダーの取り付け、識別コードリーダーの配線の接続及び接続にかかわる設定が管理者により行われる。配線の接続は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５と第１コネクター４ａ～第４コネクター４ｄとをケーブル５６で接続することである。ＣＰＵ４２等が搭載されている回路基板にはシリアル接続用ポートが設置されている。第１コネクター４ａ～第４コネクター４ｄとシリアル接続用ポートとは電気的に接続されている。管理者は第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５と電気的に接続されているポート番号と第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５との対応を示す接続設定データ８０を操作パネル７から入力する。入力された接続設定データ８０はメモリー４３に記憶される。

【0086】

この構成によれば、識別コードリーダーの取り外しの後、識別コードリーダーが設置される。次に、識別コードリーダーと制御装置４との配線や設定が行われる。従って、識別コードリーダーは識別コードを読み取ることができる。次にステップＳ２に移行する。

【0087】

ステップＳ２は読取工程である。この工程では、ステージ制御部７９がシャトル２２の位置を制御する。ステージ制御部７９は第１識別コード６２～第４識別コード６５をそれぞれ第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５と対向する場所に移動させる。次に、リーダー制御部８１が、第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５に、それぞれ第１識別コード６２～第４識別コード６５を読み取らせる。第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５が読み込んだ識別コードはコードデータ７７の１つとしてメモリー４３に記憶される。次にステップＳ３に移行する。

【0088】

ステップＳ３は判定工程である。この工程では、メモリー４３が有している第１識別コード６２、及び第２識別コード６３の情報に基づいて、第１識別コードリーダー５２が第１識別コード６２を、第２識別コードリーダー５３が第２識別コード６３を、それぞれ読み取ったか否かを判定する。同様に、メモリー４３が有している第３識別コード６４、及び第４識別コード６５の情報に基づいて、第３識別コードリーダー５４が第３識別コード６４を、第４識別コードリーダー５５が第４識別コード６５を、それぞれ読み取ったか否かを判定する。

【0089】

換言すれば、ＣＰＵ４２のリーダー正誤判定部８３は、第１識別コード６２を読み取った識別コードリーダーの情報が、メモリー４３の第１識別コードリーダー５２の情報と合致するか、同様に第２識別コード６３を読み取った識別コードリーダーの情報が、メモリー４３の第２識別コードリーダー５３の情報と合致するかを判断する。

【0090】

第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５の各識別コードリーダーが読み取った識別コードと、各識別コードリーダーに対応する識別コードと、が合致するとき電子部品搬送装置２の制御方法を示す工程を終了する。第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５の各識別コードリーダーが読み取った識別コードと、各識別コードリーダーに対応する識別コードと、が合致しないとき次にステップＳ４に移行する。

【0091】

ステップＳ４は報知工程である。この工程では、第１識別コードリーダー５２～第４識別コードリーダー５５の各識別コードリーダーが読み取った識別コードと、各識別コードリーダーに対応する識別コードと、が合致しない場合は管理者に報知する。換言すれば、判定工程において、少なくとも判定が否定的だった場合、管理者に報知する。詳しくは、報知制御部８４の指示により合致していない組み合わせをモニター６に表示する。他にも、報知制御部８４の指示によりスピーカー５及びシグナルランプ９が注意を喚起する。次にステップＳ１に移行する。

【0092】

図８にて、ステップＳ３の判定工程の例を説明する。“ポート番号”はＣＰＵ４２が搭載された回路基板の入力ポートの番号である。ポート番号“１”のポートは第１コネクター４ａと電気的に接続される。ポート番号“２”のポートは第２コネクター４ｂと電気的に接続される。ポート番号“３”のポートは第３コネクター４ｃと電気的に接続される。ポート番号“４”のポートは第４コネクター４ｄと電気的に接続される。

【0093】

“比較判定データ”は各ポートに入力される情報が期待される情報である。“読取データ”は各ポートに識別コードリーダーが読み込んで入力したデータである。“判定“は“比較判定データ”と“読取データ”とを比較して一致したとき、“ＯＫ”となり、一致しないとき“ＮＧ”となる。

【0094】

“ポート番号“が“１”の例では、“比較判定データ”と“読取データ”とが等しく“１”である。第１識別コードリーダー５２が第１識別コード６２を読み取りポート番号“１”のポートにデータ“１”を入力している。このとき、リーダー正誤判定部８３はケーブル５６が正しく接続されていると判定する。

【0095】

“ポート番号“が“２”の例では、“比較判定データ”と“読取データ”とが等しく“２”である。第２識別コードリーダー５３が第２識別コード６３を読み取りポート番号“２”のポートにデータ“２”を入力している。このとき、リーダー正誤判定部８３はケーブル５６が正しく接続されていると判定する。

【0096】

“ポート番号“が“３”の例では、“比較判定データ”と“読取データ”とが合っていない。識別コードリーダーが第４識別コード６５を読み取りポート番号“３”のポートにデータ“４”を入力している。このとき、リーダー正誤判定部８３はケーブル５６が正しく接続されていないと判定する。

【0097】

“ポート番号“が“４”のとき、“比較判定データ”と“読取データ”とが合っていない。識別コードリーダーが第３識別コード６４を読み取りポート番号“４”のポートにデータ“３”を入力している。このとき、リーダー正誤判定部８３はケーブル５６が正しく接続されていないと判定する。

【0098】

“ポート番号“が“３”のポートと“ポート番号“が“４”のポートとではケーブル５６が正しく接続されていないので、次に、ステップＳ４に移行する。

【0099】

この構成によれば、第１識別コードリーダー５２が第１識別コード６２を読み取り、読み取った識別コード情報をＣＰＵ４２のリーダー制御部８１がメモリー４３に記憶させる。さらに、第２識別コードリーダー５３が第２識別コード６３を読み取り、読み取った識別コード情報をリーダー制御部８１がメモリー４３に記憶させる。第１識別コード６２は第１識別コードリーダー５２用の場所に配置されている。第２識別コード６３は第２識別コードリーダー５３用の場所に配置されている。記憶された識別コード情報を確認することにより、各識別コードリーダーが識別コード６６を正しく読み込んだかを確認できる。その結果、従って、電子部品搬送装置２が間違って識別コード６６を読み取る危険性を回避できる。

【0100】

この構成によれば、第１識別コードリーダー５２が第１識別コード６２を読み取っているか否かをＣＰＵ４２のリーダー正誤判定部８３が判定する。同様に、第２識別コードリーダー５３が第２識別コード６３を読み取っているか否かをリーダー正誤判定部８３が判定する。従って、識別コードリーダーと識別コードリーダーが読み取る場所があっているか否かをＣＰＵ４２が認識する。合ってないときにはＣＰＵ４２の報知制御部８４が報知している。その結果、電子部品搬送装置２が間違って識別コード６６を読み取る危険性を回避できる。

【0101】

この方法によれば、ステップＳ２の読取工程で第１識別コードリーダー５２及び第２識別コードリーダー５３が識別コードを読み取って、情報に変換してメモリー４３に記憶する。第１識別コードリーダー５２及び第２識別コードリーダー５３のケーブル５６の接続または設定を間違えたとき、第１識別コードリーダー５２が出力する情報が第１識別コード６２に対応せず、第２識別コードリーダー５３が出力する情報が第２識別コード６３に対応しない。このとき、ＣＰＵ４２のリーダー正誤判定部８３は識別コードリーダーが出力する情報と識別コードが対応していないと判定して、読み取り不良であることを報知する。識別コードリーダーの配線や設定が間違っているときはＣＰＵ４２の報知制御部８４が管理者に報知するので、管理者がケーブル５６の配線や設定の間違いを修正する。その結果、電子部品搬送装置２は間違って識別コード６６を読み取る危険性を回避できる。

【0102】

第２実施形態
本実施形態が第１実施形態と異なるところは、報知することに換えて接続の設定を変更する点にある。尚、第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して、重複する説明を省略する。

【0103】

図９に示すように、電子部品検査装置８７の電子部品搬送装置８８は制御装置８９を備える。メモリー４３はプログラム９１、コードデータ７７、接続設定データ８０等を記憶する。プログラム９１は第１実施形態のプログラム７６とは異なる。

【0104】

プログラム９１が動作するＣＰＵ４２は具体的な機能実現部としてステージ制御部７９、リーダー制御部８１、リーダー接続設定部９２を有する。リーダー接続設定部９２はポート番号と読取場所番号との関係を設定する。読取場所番号は第１識別コード６２～第４識別コード６５が設置された場所の番号である。第１識別コード６２が設置された場所の読取場所番号は“１”である。第２識別コード６３が設置された場所の読取場所番号は“２”である。第３識別コード６４が設置された場所の読取場所番号は“３”である。第４識別コード６５が設置された場所の読取場所番号は“４”である。読取場所番号は識別コード６６が示す情報と同じになっている。例えば、読取場所番号が“１”の場所に設置された第１識別コード６２が示す情報は“１”である。

【0105】

ＣＰＵ４２のリーダー接続設定部９２は、第１識別コード６２を読み取った識別コードリーダーの情報を第１識別コードリーダー５２の情報として記憶する。リーダー接続設定部９２は、第２識別コード６３を読み取った識別コードリーダーの情報を第２識別コードリーダー５３の情報として記憶する。

【0106】

次に上述した電子部品搬送装置８８の制御方法について図１０～図１２にて説明する。図１０のフローチャートにおいて、ステップＳ２の読取工程の次にステップＳ１１に移行する。

【0107】

ステップＳ１１は設定工程としての関係設定工程である。この工程では、第１識別コード６２を読み取った識別コードリーダーを第１識別コードリーダー５２、第２識別コード６３をよみとった識別コードリーダーを第２識別コードリーダー５３としてリーダー接続設定部９２が設定する。以上にて、電子部品搬送装置８８の制御方法を示す工程を終了する。

【0108】

この方法によれば、第１識別コード６２を読み取った識別コードリーダーを第１識別コード６２が配置された第１動線６７ａと関係づける。第２識別コード６３を読み取った識別コードリーダーを第２識別コード６３が配置された第２動線６７ｂと関係づける。従って、識別コードリーダーの出力から識別コードが配置された動線６７と識別コードリーダーとの関係を設定している為、電子部品搬送装置８８は間違って識別コードを読み取る危険性を回避できる。

【0109】

図１１及び図１２にてステップＳ１１の関係設定工程の例を説明する。図１１における、“読取データ”は識別コードリーダーから各ポートに入力された識別コード情報を示す。例えば、“ポート番号“が“１”のポートに識別コード６６が“４”を示す情報が入力されている。従って、第４識別コード６５を読み取った識別コードリーダーが“ポート番号“が“１”のポートと電気的に接続されている。

【0110】

“ポート番号“が“２”のポートには識別コード６６が“１”を示す情報が入力されている。従って、第１識別コード６２を読み取った識別コードリーダーが“ポート番号“が“２”のポートと電気的に接続されている。“ポート番号“が“３”のポートに識別コード６６が“３”を示す情報が入力されている。従って、第３識別コード６４を読み取った識別コードリーダーが“ポート番号“が“３”のポートと電気的に接続されている。“ポート番号“が“４”のポートに識別コード６６が“２”を示す情報が入力されている。従って、第２識別コード６３を読み取った識別コードリーダーが“ポート番号“が“４”のポートと電気的に接続されている。

【0111】

図１２はリーダー接続設定部９２が設定したポート番号と識別コードリーダーが読み取った場所との関係の例を示す。“読取場所番号”は識別コード６６が示す数字に対応する。例えば、読取場所番号の“１”は第１動線６７ａ上に配置された第１識別コード６２に対応する。

【0112】

リーダー接続設定部９２は読取場所番号が“１”にポート番号の“２”を関係づける。ポート番号の“２”には第１識別コード６２の情報が入力されたので、読取場所番号が“１”の情報は第１動線６７ａ上に配置された識別コードの情報となる。この設定によりポート番号の“２”に入力される情報は第１動線６７ａ上に配置された識別コードの情報として扱われる。

【0113】

リーダー接続設定部９２は読取場所番号が“２”にポート番号の“４”を関係づける。ポート番号の“４”には第２識別コード６３の情報が入力されたので、読取場所番号が“２”の情報は第２動線６７ｂ上に配置された識別コードの情報となる。この設定によりポート番号の“４”に入力される情報は第２動線６７ｂ上に配置された識別コードの情報として扱われる。

【0114】

リーダー接続設定部９２は読取場所番号が“３”にポート番号の“３”を関係づける。ポート番号の“３”には第３識別コード６４の情報が入力されたので、読取場所番号が“３”の情報は第３動線６７ｃ上に配置された識別コードの情報となる。この設定によりポート番号の“３”に入力される情報は第３動線６７ｃ上に配置された識別コードの情報として扱われる。

【0115】

リーダー接続設定部９２は読取場所番号が“４”にポート番号の“１”を関係づける。ポート番号の“１”には第４識別コード６５の情報が入力されたので、読取場所番号が“４”の情報は第４動線６７ｄ上に配置された識別コードの情報となる。この設定によりポート番号の“１”に入力される情報は第４動線６７ｄ上に配置された識別コードの情報として扱われる。

【0116】

この構成によれば、第１識別コードリーダー５２が出力する情報が第１識別コード６２のとき、ＣＰＵ４２のリーダー接続設定部９２は第１識別コードリーダー５２と第１識別コード６２が設置された第１動線６７ａとを関係づける。第１識別コードリーダー５２が出力する情報が第２識別コード６３のとき、リーダー接続設定部９２は第１識別コードリーダー５２と第２識別コード６３が設置された第２動線６７ｂとを関係づける。

【0117】

同様に、第２識別コードリーダー５３が出力する情報が第１識別コード６２のとき、リーダー接続設定部９２は第２識別コードリーダー５３と第１識別コード６２が設置された第１動線６７ａとを関係づける。第２識別コードリーダー５３が出力する情報が第２識別コード６３のとき、リーダー接続設定部９２は第２識別コードリーダー５３と第２識別コード６３が設置された第２動線６７ｂとを関係づける。その結果、電子部品搬送装置８８が間違って識別コード６６を読み取る危険性を回避できる。

【0118】

第３実施形態
第１実施形態及び第２実施形態では識別コードリーダーと制御装置４とがシリアル通信にて通信された。このとき、識別コードリーダーと接続ポートとの接続関係を設定することにより、識別コードリーダーと読取場所との関係が設置された。

【0119】

識別コードリーダーと制御装置４とがＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）にて接続されても良い。このとき、識別コードリーダーとＩＰ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）アドレスとの接続関係を設定することにより、識別コードリーダーと読取場所とが関係づけられる。

【0120】

第４実施形態
第１実施形態では電子部品検査装置１は冷凍機１０を備え、低温での検査が可能であるとした。他にも、常温の検査を行う電子部品検査装置や高温の検査を行う電子部品検査装置にも、上記の構成を適用しても良い。このときにも、電子部品搬送装置が間違って識別コード６６を読み取る危険性を回避できる。

【符号の説明】

【0121】

２…電子部品搬送装置、１３…検査対象としてのＩＣデバイス、１３ｅ…識別コードとしての個体識別コード、１５…検査領域、１９…ソケットエリア、２２…シャトル、２２ａ…シャトルとしての第１シャトル、２２ｂ…シャトルとしての第２シャトル、４２…制御部としてのＣＰＵ、４３…記憶部としてのメモリー、５２…識別コードリーダーとしての第１識別コードリーダー、５３…識別コードリーダーとしての第２識別コードリーダー、５４…識別コードリーダーとしての第３識別コードリーダー、５５…識別コードリーダーとしての第４識別コードリーダー、５９…供給シャトル部、６１…回収シャトル部、６２…第１識別コード、６３…第２識別コード、６７…動線、６７ａ…動線としての第１動線、６７ｂ…動線としての第２動線、６７ｃ…動線としての第３動線、６７ｄ…動線としての第４動線。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】