特開 2022-79206 凝集粉体解砕用フィルタおよびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022079206

(43)【公開日】2022-05-26

(54)【発明の名称】凝集粉体解砕用フィルタおよびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   B02C 19/20 20060101AFI20220519BHJP

【ＦＩ】

B02C19/20 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020190248

(22)【出願日】2020-11-16

(71)【出願人】

【識別番号】502325720

【氏名又は名称】株式会社フジトク

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100067828

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 悦司

(74)【代理人】

【識別番号】100168321

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 敦

(72)【発明者】

【氏名】長田 倫明

【テーマコード（参考）】

4D067

【Ｆターム（参考）】

4D067CF19

4D067CF23

4D067GA20

(57)【要約】

【課題】高い解砕能力を長期にわたって維持することができる凝集粉体解砕用フィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】凝集粉体解砕用フィルタ１は、板状のベース部１２と、複数の孔部１０と、複数の凸部１１とを備える。複数の孔部１０は、それぞれがベース部１２の板厚方向を貫通するように形成されている。複数の凸部１１は、それぞれがベース部１２の内面１ａにおける隣接する孔部１０の内側開口１０ａにおける開口縁の一部から立設されている。複数の凸部１１は、ベース部１２と一体形成されているとともに、それぞれの頂面１１ａがベース部１２の内面１ａと平行な平面で形成されている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

凝集粉体の解砕に用いられる凝集粉体解砕用フィルタであって、
板状のベース部と、
それぞれが前記ベース部の板厚方向を貫通するように形成された複数の孔部と、
それぞれが前記ベース部の一方の主面である第１主面における前記複数の前記孔部の開口縁の一部から立設された複数の凸部と、
を備え、
前記複数の凸部は、前記ベース部と一体形成されているとともに、それぞれの頂面が前記第１主面と平行な平面で形成されている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項2】

請求項１に記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記複数の凸部のそれぞれは、隣接する前記孔部の孔径方向において、根本側から前記頂面の側へと行くのに従って厚肉となるように形成されている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記複数の凸部のそれぞれは、隣接する前記孔部の開口縁の側に側壁面を有するとともに、前記頂面と前記側壁面とが鋭角をなすように形成されている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項4】

請求項３に記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記頂面と前記側壁面とが突き合わされる角部は、前記隣接する孔部に対して覆いかぶさるように配置されている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項5】

請求項３または請求項４に記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記複数の凸部のそれぞれは、当該凸部の側壁面が前記隣接する孔部の周壁面に連続するように設けられている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項6】

請求項５に記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記複数の孔部のそれぞれは、前記凸部の側壁面に連続する前記周壁面が、前記ベース部の厚み方向における前記第１主面とは反対側の前記第２主面に対して鈍角をなすように形成されている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項7】

請求項６に記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記複数の孔部のぞれぞれは、前記第１主面側からの平面視で、当該第１主面側の開口が円形であり、前記第２主面側からの平面視で、当該第２主面側の開口が楕円形または長円形である、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項8】

請求項１から請求項７の何れかに記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記ベース部の板厚は、前記複数の孔部のそれぞれにおける前記第１主面側の開口径と略同じである、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項9】

請求項１から請求項８の何れかに記載の凝集粉体解砕用フィルタにおいて、
前記複数の凸部は、当該複数の凸部のそれぞれに隣接する前記孔部に対して、前記第１主面に沿う方向の内の一方向側に配置されている、
凝集粉体解砕用フィルタ。

【請求項10】

凝集粉体の解砕に用いられる凝集粉体解砕用フィルタの製造方法であって、
金属板材の第１主面に対してそれぞれが島状をした複数の第１レジスト膜を形成するとともに、前記金属板材の板厚方向における前記第１主面とは反対側の第２主面にも前記孔部を開けようとする部分を除く領域に第２レジスト膜を形成するレジスト膜形成ステップと、
前記金属板材の前記第１主面および前記第２主面に対してエッチングを行うエッチングステップと、
を備え、
前記エッチングステップでは、
前記第１主面における前記複数の第１レジスト膜が形成されていない領域を所定の深さまで掘り込むとともに、前記複数のレジスト膜が形成された領域に複数の凸部を形成し、
前記複数の凸部のそれぞれに隣接する前記領域に、板厚方向に貫通する複数の孔部を形成し、
前記複数の凸部は、それぞれの頂面が前記堀込底面と平行な平面となるように形成される、
凝集粉体解砕用フィルタの製造方法。

【請求項11】

請求項１０に記載の凝集粉体解砕用フィルタの製造方法において、
前記エッチングステップでは、前記金属板材の前記第２主面側からのエッチングに係るエッチング速度を、前記第１主面側からのエッチングに係るエッチング速度よりも高くし、当該エッチング速度の差異をもって、前記孔部の周壁面の一部が記第２主面に対して鈍角をなすように形成される、
凝集粉体解砕用フィルタの製造方法。

【請求項12】

請求項１０または請求項１１に記載の凝集粉体解砕用フィルタの製造方法において、
前記エッチングステップでの前記エッチングは、ウェットエッチングである、
凝集粉体解砕用フィルタの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、凝集粉体解砕用フィルタおよびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

粉体は、粒子間に働らくファンデルワールス力や静電気力などにより凝集することがある。凝集した粉体をそのまま製造工程で用いることはできないため、凝集した粉体は、解砕機で解砕されてから用いられる（特許文献１）。

【0003】

従来技術に係る解砕機の構成について、図８を用いて説明する。

【0004】

図８に示すように、従来技術に係る解砕機は、凝集粉体解砕用フィルタ９０１と、インペラ９０２と、駆動部９０３とを備える。インペラ９０２は、駆動部９０３に接続されており、駆動部９０３から伝達される回転駆動力により回転軸Ａｘ９０２周りに回転する（矢印Ｅ）。インペラ９０２は、凝集粉体解砕用フィルタ９０１の側壁内面に隣接するように配される複数の羽根９０２ａを有する。

【0005】

図８の拡大部分に示すように、凝集粉体解砕用フィルタ９０１の内面９０１ａには、複数のパンチ孔９０１０と複数の突起部９０１１が設けられている。

【0006】

なお、図８の拡大部分において、矢印Ｆで示すのがインペラ９０２における羽根９０２ａの移動方向である。そして、突起部９０１１は、それぞれのパンチ孔９０１０の開口縁における矢印Ｆの下流側となる部分に設けられている。

【0007】

凝集粉体解砕用フィルタ９０１の製造方法について、図９を用いて説明する。先ず、金属板材９００をダイ９５０上に載置し、矢印Ｇのようにパンチ９５１で打ち抜くことで、図９（ａ）に示すように孔部９００ａが形成される。なお、ダイ９５０には、パンチ９５１に対応する穴部９５０ａが開けられている。

【0008】

次に、孔部９００ａが開けられた中間材９０１に対して、当該中間材９０１の裏面（外面）９０１ｂから孔部９００ａの開口縁の一部に対して突起部形成用パンチ９５２で押圧する。これにより、図９（ｂ）に示すように、孔部９００ａの開口縁の一部が中間材９０１のオモテ面（内面）９０１ａ側に突出する。なお、突起部９０１１の内側の面は、緩やかな曲面で構成される。

【0009】

以上のようにして、パンチ孔９０１０と、その開口縁の一部に設けられた突起部９０１１とを有する凝集粉体解砕用フィルタ９０１が形成される。

【0010】

図８に示す解砕機では、漏斗状をした凝集粉体解砕用フィルタ９０１の内側に粉体が投入されて、インペラ９０２が回転される。これにより、インペラ９０２の羽根９０２ａと凝集粉体解砕用フィルタ９０１の内面９０１ａとの間で生じるせん断力や、インペラ９０２の羽根９０２ａの回転により生じる遠心力などにより、凝集粉体が解砕される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２００９－２７４０１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

上記のような従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタでは、製造に手間がかかるので高コストで製造に時間を要するとともに、消耗が激しいという問題がある。従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタの消耗が激しい原因としては、図９（ｂ）の拡大部分に示すように、突起部９０１１の先端９０１１ａが鋭利に尖った形状で形成されており、解砕中の粉体などとの接触により摩滅してしまうためである。即ち、従来技術に係る解砕機では、突起部９０１１の先端９０１１ａが鋭利に尖った凝集粉体解砕用フィルタを用いることで高いせん断力を凝集粉体に付与できるが、突起部９０１１の先端９０１１ａが摩滅により丸くなってしまうと解砕能力が低下する。よって、従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタを用いる解砕機では、解砕能力を高く維持しようとするために高価な凝集粉体解砕用フィルタを高い頻度で交換する必要がある。

【0013】

本発明は、上記のような問題の解決を図ろうとなされたものであって、高い解砕能力を長期にわたって維持することができる凝集粉体解砕用フィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明の一態様に係る凝集粉体解砕用フィルタは、凝集粉体の解砕に用いられる凝集粉体解砕用フィルタであって、板状のベース部と、それぞれが前記ベース部の板厚方向を貫通するように形成された複数の孔部と、それぞれが前記ベース部の一方の主面である第１主面における前記複数の前記孔部の開口縁の一部から立設された複数の凸部と、を備え、前記複数の凸部は、前記ベース部と一体形成されているとともに、それぞれの頂面が前記第１主面と平行な平面で形成されている。

【0015】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタでは、複数の凸部のそれぞれにおける頂面を平面としているので、上記従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタよりも高い解砕能力を長期にわたって維持することができる。即ち、凝集粉体の解砕時において、凸部の頂部には高いせん断力などが付加されるが、頂部を平面で形成することでダメージを受け難く、上記従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタの突起部のような解砕能力の低下を抑制することができる。これより、上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタは、交換頻度を低く抑えることもできる。

【0016】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記複数の凸部のそれぞれは、隣接する前記孔部の孔径方向において、根本側から前記頂面の側へと行くのに従って厚肉となるように形成されていてもよい。

【0017】

上記のように、複数の凸部のそれぞれを、根本側から頂面側へと行くのに従って厚肉となるようにする場合には、解砕時に高い圧力が付加される頂面を広くとることができ、よりダメージを受け難くすることができる。よって、上記態様を採用する場合には、高い解砕能力を長期にわたって維持するのにさらに効果的である。

【0018】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記複数の凸部のそれぞれは、隣接する前記孔部の開口縁の側に側壁面を有するとともに、前記頂面と前記側壁面とが鋭角をなすように形成されていてもよい。

【0019】

上記のように、複数の凸部のそれぞれにおいて頂面と側壁面とが鋭角をなすように形成されている場合には、凝集粉体が頂面と側壁面との突き合わせ部分（角部）で解砕されやすくなる。即ち、頂面と側壁面とが鋭角で突き合わされてなる形状とすることで、凝集粉体に対して鋭角な角部が侵入する（突き刺さる）ことで効果的に解砕がなされる。

【0020】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記頂面と前記側壁面とが突き合わされる角部は、前記隣接する孔部に対して覆いかぶさるように配置されていてもよい。

【0021】

上記のように、角部が穴部に覆いかぶさるように配置するようにすることで、当該角部およびその周辺で解砕された粉体が斜めに延びる側壁面により孔部に案内される。よって、高効率に凝集粉体の解砕を行うのに有効である。

【0022】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記複数の凸部のそれぞれは、当該凸部の側壁面が前記隣接する孔部の周壁面に連続するように設けられていてもよい。

【0023】

上記のように、凸部の側壁面と孔部の周壁面（の一部）とが連続するように設けられている場合には、解砕された粉体が孔部の開口で滞ることなくスムーズに排出される。

【0024】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記複数の孔部のそれぞれは、前記凸部の側壁面に連続する前記周壁面が、前記ベース部の厚み方向における前記第１主面とは反対側の前記第２主面に対して鈍角をなすように形成されていてもよい。

【0025】

上記のように、第２主面と孔部の周壁面とが鈍角をなすようにすることで、当該孔部の周壁面も凸部の上記側壁面に連続して斜面を構成することとできる。よって、解砕された粉体を当該凝集粉体解砕用フィルタの外部（第２主面の外部）に排出し易くできる。

【0026】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記複数の孔部のぞれぞれは、前記第１主面側からの平面視で、当該第１主面側の開口が円形であり、前記第２主面側からの平面視で、当該第２主面側の開口が楕円形または長円形であってもよい。

【0027】

上記のように、凸部の側壁面に続く孔部の周壁面を斜面で構成することにより、第２主面側の開口が楕円形または長円形となる。これによっても、解砕された粉体を当該凝集粉体解砕用フィルタの外部（第２主面の外部）に排出し易くできる。

【0028】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記ベース部の板厚は、前記複数の孔部のそれぞれにおける前記第１主面側の開口径と略同じであってもよい。

【0029】

上記のように、ベース部の板厚と孔部の開口径とを略同じとすることにより、エッチングにより孔部を形成する場合にも容易に製造することが可能となる。即ち、エッチングで孔部を開けようとする場合には、基本的に板厚と孔径とを同一とすることが望ましいことに基づく。

【0030】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタにおいて、前記複数の凸部は、当該複数の凸部のそれぞれに隣接する前記孔部に対して、前記第１主面に沿う方向の内の一方向側に配置されていてもよい。

【0031】

上記のように、複数の凸部のそれぞれを隣接する孔部に対して上記一方向側に配置されるようにすれば、図７に示した解砕機のようにインペラが一方向（矢印Ｅで示す方向）に回転する場合に、当該回転の方向における下流側となる箇所に凸部を揃えて配置することが可能となる。このように凸部を配置することで、凝集粉体に対して高いせん断力を付加することができ、効果的な解砕が可能となる。

【0032】

本発明の一態様に係る凝集粉体解砕用フィルタの製造方法は、凝集粉体の解砕に用いられる凝集粉体解砕用フィルタの製造方法であって、金属板材の第１主面に対してそれぞれが島状をした複数の第１レジスト膜を形成するとともに、前記金属板材の板厚方向における前記第１主面とは反対側の第２主面にも前記孔部を開けようとする部分を除く領域に第２レジスト膜を形成するレジスト膜形成ステップと、前記金属板材の前記第１主面および前記第２主面に対してエッチングを行うエッチングステップと、を備える。前記エッチングステップでは、前記第１主面における前記複数の第１レジスト膜が形成されていない領域を所定の深さまで掘り込むとともに、前記複数のレジスト膜が形成された領域に複数の凸部を形成し、前記複数の凸部のそれぞれに隣接する前記領域に、板厚方向に貫通する複数の孔部を形成する。本態様に係る製造方法では、前記複数の凸部におけるそれぞれの頂面が前記堀込底面と平行な平面となるように形成される。

【0033】

上記態様に係る製造方法では、それぞれ頂面が平面である複数の凸部を形成することができるので、上記従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタよりも高い解砕能力を長期にわたって維持することができる凝集粉体解砕用フィルタを製造することができる。即ち、上述のように、凝集粉体の解砕時において凸部の頂部には高いせん断力などが付加されるが、頂部を平面で形成することでダメージを受け難く、上記従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタの突起部のような解砕能力の低下を抑制することができる。これより、高い解砕能力を長期にわたって維持することができ、交換頻度が低い凝集粉体解砕用フィルタを製造することができる。

【0034】

また、上記態様に係る製造方法は、エッチングステップではエッチングにより複数の凸部を形成するとともに、複数の孔部を形成することとしているので、図９を用いて説明した従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタの製造方法に対して煩雑な作業工程を経ることなく凝集粉体解砕用フィルタを製造することができる。よって、上記態様に係る製造方法では、製造コストの低減と製造期間の短縮を図ることが可能である。

【0035】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタの製造方法において、前記エッチングステップでは、前記金属板材の前記第２主面側からのエッチングに係るエッチング速度を、前記第１主面側からのエッチングに係るエッチング速度よりも高くしてもよく、当該エッチング速度の差異をもって、前記孔部の周壁面の一部が記第２主面に対して鈍角をなすように形成されてもよい。

【0036】

上記のように、第２主面と孔部の周壁面の一部とが鈍角をなすように孔部を形成することで、当該孔部の周壁面も凸部の上記側壁面に連続して斜面を構成することとできる。よって、解砕された粉体を当該凝集粉体解砕用フィルタの外部（第２主面の外部）に排出し易くできる。

【0037】

また、上記のように、エッチングステップで第２主面側からのエッチング速度を第１主面側からのエッチング速度よりも高くすることにより、上記のような形状を有する周壁面を容易に形成することができる。

【0038】

上記態様に係る凝集粉体解砕用フィルタの製造方法において、前記エッチングステップでの前記エッチングは、ウェットエッチングであってもよい。

【0039】

上記のように、ウェットエッチングで凸部および孔部を形成することすれば、ドライエッチングを用いる場合に比べて簡易な装置構成で凝集粉体解砕用フィルタを製造することができる。よって、製造コストの低減を図ることが可能となる。

【発明の効果】

【0040】

上記の各態様では、高い解砕能力を長期にわたって維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】本発明の実施形態に係る凝集粉体解砕用フィルタの内面の構造を示す平面図である。

【図2】図１のＩＩ－ＩＩ線断面の構成を示す模式断面図である。

【図3】凝集粉体解砕用フィルタの外面の構造を示す平面図である。

【図4】凝集粉体解砕用フィルタの製造ステップを示す断面図であって、（ａ）は金属板材を準備する準備ステップ、（ｂ）はレジスト膜を形成するレジスト膜形成ステップ、（ｃ）は金属板材にエッチングを施すエッチングステップを示す。

【図5】凝集粉体解砕用フィルタの製造ステップを示す断面図であって、（ａ）はエッチングにより孔部が形成する孔部形成ステップ、（ｂ）はレンジスト膜を除去する除去ステップを示す。

【図6】（ａ）は金属板材の内面に形成されるレジスト膜の形状を表す平面図であり、（ｂ）は、金属板材の外面に形成されるレジスト膜の形状を表す平面図である。

【図7】（ａ）は変形例１に係る凝集粉体解砕用フィルタの孔部および凸部を示す平面図、（ｂ）は変形例２に係る凝集粉体解砕用フィルタの孔部および凸部を示す平面図、（ｃ）は変形例３に係る凝集粉体解砕用フィルタの孔部および凸部を示す平面図、（ｄ）は変形例４に係る凝集粉体解砕用フィルタの孔部および凸部を示す平面図である。

【図8】従来技術に係る凝集粉体解砕装置の構成、および当該凝集粉体解砕装置が備える凝集粉体解砕用フィルタの構成を示す模式図である。

【図9】従来技術に係る凝集粉体解砕用フィルタの製造ステップを示す断面図であって、（ａ）は金属板材に孔部を開ける穿孔ステップ、（ｂ）は孔部の周辺の一部にパンチング加工により凸部を形成する凸部形成ステップを示す。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下では、本発明の実施形態について、図面を参酌しながら説明する。なお、以下で説明の形態は、本発明の一例であって、本発明は、その本質的な構成を除き何ら以下の形態に限定を受けるものではない。

【0043】

［実施形態］
１．凝集粉体解砕用フィルタ１の構造
凝集粉体解砕用フィルタ（以下では、単に「フィルタ」と記載する。）１の構造について、図１および図２を用いて説明する。

【0044】

先ず、図１に示すように、フィルタ１には、複数の孔部１０が開けられている。図２に示すように、複数の孔部１０のそれぞれは、板形状のベース部１２における第１主面（内面）１ａと第２主面（外面）１ｂとの間を板厚方向に貫通するように形成されている。なお、本明細書において、内面１ａはインペラが配され、凝集粉体が投入される側の主面（第１主面）であり、外面１ｂはフィルタ１の板厚方向における内面１ａとは反対側の主面（第２主面）である。

【0045】

図１に戻って、複数の孔部１０のそれぞれにおける周縁部の一部に沿うように複数の凸部１１が形成されている。図２に示すように、複数の凸部１１のそれぞれは、複数の孔部１０のそれぞれにおける内面１ａ側の開口（内側開口）１０ａの周縁部の一部の領域に根元部分を有し、ベース部１２の内面１ａ側から内側（内面１ａから離れる側）に向けて立設されている。

【0046】

図１において、解砕機におけるインペラの羽根が回転する方向を矢印Ａで示す場合に、複数の凸部１１のそれぞれは、孔部１０に対して下流側に揃えた状態で配置されている。そして、本実施形態に係るフィルタ１では、図１に示すようにフィルタ１を内面１ａ側から平面視する場合に、複数の凸部１１のそれぞれが半円環形状を有する。

【0047】

２．凸部１１の形状
複数の凸部１１のそれぞれの形状について、図２を用いて説明する。

【0048】

図２の拡大部分に示すように、凸部１１の内側端面（頂面）１１ａは、フィルタ１の内面１ａおよび外面１ｂに平行な平面で形成されている。また、凸部１１における内側端面１１ａと孔側側壁面１１ｂとが突き合わされてなる内側角部１１ｃが鋭角θ１１をなすように形成されている。

【0049】

複数の凸部１１のそれぞれにおいては、フィルタ１を内面１ａ側から平面視する場合に、内側角部１１ｃと孔側側壁面１１ｂの一部とが孔部１０の内側開口１０ａに対して覆いかぶさるようになっている。換言すると、凸部１１は、孔部１０側がアンダーカットされた断面形状を有する。

【0050】

また、図２に示すように、複数の凸部１１のそれぞれは、孔部１０の孔径方向において、根元部分１０ｄの厚みＷ１１ｄよりも頂面１１ａの厚みＷ１１ａの方が厚肉となるように形成されている。

【0051】

３．孔部１０の形状
複数の孔部１０のそれぞれの形状について、図１から図３を用いて説明する。なお、図３は、フィルタ１を図２の矢印Ｂで示す側から平面視した平面図である。

【0052】

図２に示すように、孔部１０の孔周壁面の内の凸部１１の孔側側壁面１１ｂに続く孔周壁面１０ｃが斜面で形成されている。具体的に、孔周壁面１０ｃは、外面１ｂとなす角度θ１０が鈍角となるように形成されている。これにより、内側開口１０ａの開口径Ｌ１は、外側開口１０ｂの開口長さＬ２よりも小さくなっている。

【0053】

本実施形態に係るフィルタ１では、図１に示すように内側開口１０ａは円形状を有する。これに対して、外側開口１０ｂは、図３に示すように楕円形状または長円形状を有する。なお、図３の拡大部分に示すように、外側開口１０ｂにおける長軸Ａｘ１での開口長さＬ２は、短軸Ａｘ２での開口幅Ｗ２よりも大きい。ここで、長軸Ａｘ１は、図１の矢印Ａの方向に沿うように設定されている。

【0054】

本実施形態に係るフィルタ１では、孔部１０の孔周壁面１０ｃを凸部１１の孔側側壁面１１ｂに続くように斜面で構成することにより（図２を参照）、解砕された粉体が孔側側壁面１１ｂから孔周壁面１０ｃに連続して沿って案内され、外側開口１０ｂから排出される。なお、図２に示すように、孔部１０の孔周壁面１０ｃと凸部１１の孔側側壁面１１ｂとを、互いが滑らかに連続するように形成する場合には、当該孔部１０の孔周壁面１０ｃと凸部１１の孔側側壁面１１ｂとの境界部分で粉体が残留するのを抑制することができる。

【0055】

４．フィルタ１の製造方法
フィルタ１の製造方法について、図４から図６を用いて説明する。

【0056】

先ず、図４（ａ）に示すように、金属板材１００を準備する。本実施形態において、金属板材１００は、一例としてステンレス鋼からなる金属板材である。

【0057】

次に、図４（ｂ）に示すように、金属板材１００の第１主面１００ａの所定箇所にレジスト膜２００，２０１を形成する。なお、レジスト膜２００は、金属板材１００の第１主面１００ａにおける外縁部分に形成される。レジスト膜２０１は、凸部１１の内側端面１１ａに相当する部分に形成される。また、金属板材１００の第２主面１００ｂに対して、所定箇所に開口部２０２ａを有するレジスト膜２０２を形成する。

【0058】

なお、本実施形態では、レジスト膜２０２の形成における焼付工程の時間を、レジスト膜２００，２０１の形成における焼付工程の時間よりも長くしている。これにより、レジスト膜２０２は、レジスト膜２００，２０１よりも強固なレジスト膜として形成されることになる。

【0059】

ここで、図６（ａ）に示すように、第１主面ａに形成されるレジスト膜２０１は、図１に示した凸部１１の内側端面１１ａと略同じ形状を有する。即ち、レジスト膜２０１は、孔部１０の内側開口１０ａに相当する領域２０１ａの外周の一部を囲むように半円環形状で形成される。

【0060】

また、図６（ｂ）に示すように、第２主面１００ｂに形成されるレジスト膜２０２は、図３に示した孔部１０の外側開口１０ｂと略同じ形状の開口２０２ａを有する。なお、領域２０１ａにおけるレジスト膜２０１から最も離間した箇所２０１ｂから金属板材１００の板厚方向に仮想線ＬＮ１を引き（図６では模式的に図示している）、レジスト膜２０１における領域２０１ａから最も離間した箇所２０１ｃからも金属板材１００の板厚方向に仮想線ＬＮ２を引く（図６では模式的に図示している）。このように仮想線ＬＮ１，ＬＮ２を引くとき、第２主面１００ｂに形成されたレジスト膜２０２の開口部２０２ａは、長軸方向の一端側の箇所２０２ｂが仮想線ＬＮ１上に位置し、長軸方向の他端側の箇所２０２ｃが仮想線ＬＮ２上または少し箇所２０２ｂ側に位置する。

【0061】

次に、図４（ｃ）に示すように、金属板材１００の第１主面１００ａ側および第２主面１００ｂ側の両側からウェットエッチングを施す（矢印Ｃ，Ｄ）。このとき、本実施形態の製造方法では、第２主面１００ｂ側からのエッチング速度（矢印Ｄで示すエッチングのエッチング速度）を、第１主面１００ａ側からのエッチング速度（矢印Ｃで示すエッチングのエッチング速度）よりも高くする。

【0062】

上記のようにエッチングを施すことにより、図５（ａ）に示すように、第１主面１００ａ側に開口（内側開口）１０ａを有し、第２主面１００ｂ側に開口（外側開口）１０ｂを有する孔部１０が形成される。また、第１主面１００ａは、穴部１０が形成された領域、レジスト膜２００の下に残った縁部１００ｄ、およびレジスト膜２０１の下方に残った凸部１００ｅを除く部分は、主面（堀込底面）１００ｃまで掘り込まれる。

【0063】

堀込底面１００ｃから第２主面１００ｂまでの厚みは、複数の孔部１０における内側開口１０ａの開口径Ｌ１（図２を参照。）と略同じである。ここで、「略」は製造誤差を含むことを示す。

【0064】

レジスト膜２０１の下方に残った凸部１００ｅの孔側側壁面１１ｂは、第１主面１００ａ側から外側（内側開口１０ａ側）に向けて広がるテーパー状の斜面となる。また、孔部１０の孔周壁面１０ｃも、内側開口１０ａから外側（外側開口１０ｂ側）に向けて広がるテーパー状の斜面となる。

【0065】

なお、凸部１００ａの孔側側壁面１１ｂおよび孔部１０の孔周壁面１０ｃについては、図５（ａ）に示す断面で必ずしも直線状である必要はなく、内側に凹みを有する曲線状であってもよい。ただし、解砕された粉体を孔部１０を通して外方に排出する際の粉体の残留を少なくするという観点からは、孔側側壁面１１ｂと孔周壁面１０ｃとの接続部分に段差を生じないようにすることが望ましい。

【0066】

次に、レジスト膜２００～２０２を除去するとともに、縁部１００ｄを除去する。これにより、図５（ｂ）に示す凝集粉体解砕用フィルタ１が完成する。なお、必要に応じて凝集粉体解砕用フィルタ１を筒形状または漏斗形状に塑性加工することも可能である。

【0067】

［変形例１］
変形例１に係る凝集粉体解砕用フィルタ（以下では、単に「フィルタ」と記載する）の構造について、図７（ａ）を用いて説明する。なお、図７（ａ）は、１つの孔部３０と１つの凸部３１とを抜き出し、内面側から平面視した平面図である。

【0068】

図７（ａ）に示すように、本変形例に係るフィルタは、楕円形または長円形の開口形状を有する孔部３０を有する。なお、図示を省略しているが、孔部３０の外面側の開口形状については、図７（ａ）に示す内面側と同一であってもよいし、さらに長軸方向の寸法が長い楕円形または長円形であってもよい。

【0069】

凸部３１は、孔部３０の開口縁の一部に沿って形成された、平面視で環状を有する。図示を省略しているが、本変形例に係る凸部３１についても、内側端面（頂面）が外面に平行な平面で形成されている。

【0070】

また、凸部３１は、孔部３０の開口縁の内、インペラの羽根の回転方向における下流側（図１の矢印Ａの下流側）の部分に設けられている。

【0071】

［変形例２］
変形例２に係る凝集粉体解砕用フィルタ（以下では、単に「フィルタ」と記載する）の構造について、図７（ｂ）を用いて説明する。なお、図７（ｂ）でも、１つの孔部４０と１つの凸部４１とを抜き出し、内面側から平面視した平面図である。

【0072】

図７（ｂ）に示すように、本変形例に係るフィルタは、四角形の開口形状を有する孔部４０を有する。なお、図示を省略しているが、孔部４０の外面側の開口形状については、図７（ｂ）に示す内面側と同一であってもよいし、さらに長さが長い長方形であってもよい。

【0073】

凸部４１は、孔部４０の開口縁の一部に沿って形成された、平面視でＣ字状を有する。図示を省略しているが、本変形例に係る凸部４１についても、内側端面（頂面）が外面に平行な平面で形成されている。

【0074】

また、凸部４１も、孔部４０の開口縁の内、インペラの羽根の回転方向における下流側（図１の矢印Ａの下流側）の部分に設けられている。

【0075】

［変形例３］
変形例３に係る凝集粉体解砕用フィルタ（以下では、単に「フィルタ」と記載する）の構造について、図７（ｃ）を用いて説明する。なお、図７（ｃ）でも、１つの孔部５０と１つの凸部５１とを抜き出し、内面側から平面視した平面図である。

【0076】

図７（ｃ）に示すように、本変形例に係るフィルタは、菱形の開口形状を有する孔部５０を有する。なお、図示を省略しているが、孔部５０の外面側の開口形状については、図７（ｃ）に示す内面側と同一であってもよいし、さらに長さが長い菱形であってもよい。

【0077】

凸部５１は、孔部５０の開口縁の一部（開口縁５０ａおよび開口縁５０ｂ）に沿って形成された、平面視でアングル状を有する。図示を省略しているが、本変形例に係る凸部５１についても、内側端面（頂面）が外面に平行な平面で形成されている。

【0078】

また、凸部５１も、孔部５０の開口縁の内、インペラの羽根の回転方向における下流側（図１の矢印Ａの下流側）の部分に設けられている。

【0079】

［変形例４］
変形例４に係る凝集粉体解砕用フィルタ（以下では、単に「フィルタ」と記載する）の構造について、図７（ｄ）を用いて説明する。なお、図７（ｄ）では、１つの孔部６０と、当該孔部６０に対応して設けられた５つの凸部６１～６５とを抜き出し、内面側から平面視した平面図である。

【0080】

図７（ｄ）に示すように、本変形例に係るフィルタは、円形の開口形状を有する孔部６０を有する。なお、図示を省略しているが、孔部６０の外面側の開口形状については、図７（ｄ）に示す内面側と同一であってもよいし、さらに長軸方向の寸法が長い楕円形または長円形であってもよい。

【0081】

凸部６１～６５は、孔部６０の開口縁の一部に沿って形成され、当該孔部６０の開口縁に沿った方向に互いに間隔を空けて設けられている。それぞれの凸部６１～６５は、平面視で略扇形に形成されている。なお、図示を省略しているが、本変形例に係る凸部６１～６５のそれぞれについても、内側端面（頂面）が外面に平行な平面で形成されている。

【0082】

また、凸部６１～６５も、孔部６０の開口縁の内、インペラの羽根の回転方向における下流側（図１の矢印Ａの下流側）の部分に設けられている。

【0083】

［その他の変形例］
上記実施形態では、フィルタ１の製造における最終工程で、縁部１００ｄを除去することとしたが、本発明は、これに限定を受けるものではない。例えば、図４（ｃ）に示すエッチングによって、縁部１００ｄも除去してしまうこともできる。

【0084】

上記実施形態では、図２に示したように、孔側側壁面１１ｂが逆テーパーの斜面で構成されることとしたが、本発明は、これに限定を受けるものではない。例えば、フィルタ１の内面１ａに対して直交する方向に立設された平面とすることもできる。

【0085】

同様に、上記実施形態では、孔部１０の孔周壁面１０ｃも逆テーパーの斜面で構成されることとしたが、本発明は、これに限定を受けるものではない。例えば、フィルタ１の内面１ａおよび外面１ｂの双方に直交する方向の周壁面とすることもできる。

【0086】

上記実施形態では、フィルタ１の製造においてウェットエッチングを用いることとしたが、本発明は、ドライエッチングを用いることも可能である。

【0087】

また、上記実施形態および上記変形例１～４では、凸部１１，３１，４１，５１，６１～６５および孔部１０，３０，４０，５０，６０をエッチングにより形成することとしたが、本発明は、これに限定を受けるものではない。例えば、エッチングにより凸部を形成した後に、パンチング加工などにより孔部を形成することも可能である。逆に、プレス加工などにより凸部を形成した後に、エッチングにより孔部を形成することも可能である。

【0088】

また、上記実施形態では、フィルタ１の構成材としてステンレス鋼からなる金属板材１００を用いることとしたが、本発明は、これに限定を受けるものではない。例えば、金属板材として銅板を用いたり、金属板材として鋼板を用いたりすることも可能である。なお、金属板材として鋼板を用いる場合には、凸部および孔部を形成した後にニッケルなどのメッキを施してもよい。

【符号の説明】

【0089】

１ 凝集粉体解砕用フィルタ
１ａ 内面
１０，３０，４０，５０，６０ 孔部
１１，３１，４１，５１，６１～６５ 凸部
１１ａ 内側端面（頂面）
１２ ベース部
１００ 金属板材
２００～２０２ レジスト膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】