特開 2022-79928 パージ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022079928

(43)【公開日】2022-05-27

(54)【発明の名称】パージ装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20220520BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020190805

(22)【出願日】2020-11-17

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(72)【発明者】

【氏名】秋山 拓生

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131BB01

5F131CA01

5F131CA12

5F131CA53

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA37

5F131DA42

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB72

5F131DB76

5F131DC06

5F131FA02

5F131FA14

5F131FA32

5F131FA33

5F131GA14

5F131GA19

5F131GA22

5F131GA24

5F131GA76

5F131GA92

5F131GB02

5F131GB13

5F131JA16

5F131JA24

5F131JA33

5F131JA35

(57)【要約】

【課題】注入口または排出口に安全弁を備えた容器に対しても、ガスのパージを確実に行うことのできるパージ装置を提供する。
【解決手段】パージ装置３０は、注入口５２Ａまたは排出口５２Ｂに安全弁５５，５６が設けられた格納容器５０にパージガスを供給する。パージ装置３０は、注入口５２Ａまたは排出口５２Ｂに対してパージガスをそれぞれ流通させる注入ノズル本体４２および排出ノズル本体４４と、載置面７ｂへの容器の接近に伴い安全弁５５，５６の弁体６２を押し上げる押し上げ部材４６と、押し上げ部材４６を包囲し、安全弁５５，５６に当接する筒状の連通部材４８とを備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

注入口または排出口に安全弁が設けられた容器にパージガスを供給するパージ装置であって、
前記容器が載置される載置面に設けられ、前記注入口または前記排出口に対してパージガスを流通させるノズル本体と、
前記ノズル本体の先端よりも前記載置面から突出した位置に配置された当接部を有し、前記載置面への前記容器の接近に伴い前記安全弁の弁体を押し上げる押し上げ部材と、
前記ノズル本体および前記押し上げ部材を包囲すると共に前記安全弁または前記容器の端面に当接する筒状の連通部材と、を備えるパージ装置。

【請求項2】

前記連通部材は弾性体からなる、請求項１に記載のパージ装置。

【請求項3】

前記押し上げ部材は弾性体からなり、
前記連通部材は前記押し上げ部材よりも柔らかい、請求項２に記載のパージ装置。

【請求項4】

前記押し上げ部材は筒状であり、前記ノズル本体を包囲している、請求項１～３のいずれか一項に記載のパージ装置。

【請求項5】

前記容器は前記注入口および前記排出口を備えており、
前記連通部材は、
前記注入口用の前記ノズル本体を包囲すると共に弾性体からなる第１連通部材と、
前記排出口用の前記ノズル本体を包囲すると共に弾性体からなる第２連通部材と、を有する、請求項１～４のいずれか一項に記載のパージ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、パージ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ロードポートに設けられ、ロードポート上に載置される容器内にガス導入孔を通じてパージガスを供給するパージ装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。容器内のパージガスは、ガス排出孔から排出される。ガス導入孔およびガス排出孔は、容器の底面に設けられたノズル受け入れ部に形成されている。パージ装置は、ロードポートの基準面（載置面）に設けられたパージガス注入用のノズルおよびパージガス排出用のノズルを備え、これらのノズルが、ノズル受け入れ部に挿入される。ガス導入孔とガス排出孔がそれぞれノズルに接続されることで、パージガスの供給および排出が可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１５／１４１２４６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

容器の底面に形成されたガス導入孔（注入口）またはガス排出孔（排出口）に、安全弁が設けられる場合がある。安全弁は、容器の底面に形成された貫通孔に配置されて上下動するピストンを備えており、ピストンが下に位置するときに、ガスの流入および流出を防止する。このような注入口または排出口に安全弁を備えた容器に対しても、ガスのパージを確実に行うことのできるパージ装置が望まれている。

【0005】

本開示は、注入口または排出口に安全弁を備えた容器に対しても、パージを確実に行うことのできるパージ装置を説明する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様は、注入口または排出口に安全弁が設けられた容器にパージガスを供給するパージ装置であって、容器が載置される載置面に設けられ、注入口または排出口に対してパージガスを流通させるノズル本体と、ノズル本体の先端よりも載置面から突出した位置に配置された当接部を有し、載置面への容器の接近に伴い安全弁の弁体を押し上げる押し上げ部材と、ノズル本体および押し上げ部材を包囲すると共に安全弁または容器の端面に当接する筒状の連通部材と、を備える。

【0007】

このパージ装置によれば、載置面への容器の接近に伴って、押し上げ部材が安全弁の弁体を押し上げる。筒状の連通部材は安全弁または容器の端面に当接し、その内部に配置されたノズル本体と容器の注入口または排出口との間で、パージガスが流通する。容器が載置面上にある間、弁体を押し上げた状態は維持され、また連通部材がノズル本体と注入口または排出口とを連通させる。よって、容器の安全弁を確実に開き、パージを確実に行うことができる。

【0008】

連通部材は弾性体からなってもよい。この場合、連通部材がシール性を発揮しやすい。

【0009】

押し上げ部材は弾性体からなり、連通部材は押し上げ部材よりも柔らかくてもよい。この場合、連通部材によるシール性がより高められる。

【0010】

押し上げ部材は筒状であり、ノズル本体を包囲していてもよい。この場合、押し上げ部材によっても、ある程度、シール性が発揮される。よって、パージガスの漏れをより確実に防止することができる。

【0011】

容器は注入口および排出口を備えており、パージ装置の連通部材は、注入口用のノズル本体を包囲すると共に弾性体からなる第１連通部材と、排出口用のノズル本体を包囲すると共に弾性体からなる第２連通部材と、を有してもよい。この場合、容器の姿勢を調整しやすい。

【発明の効果】

【0012】

本開示のパージ装置によれば、容器の安全弁を確実に開き、パージを確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、一実施形態に係るパージ装置が適用されるパージストッカを示す側面図である。

【図2】図２は、一実施形態に係るパージ装置の概略構成図である。

【図3】図３は、未接続状態におけるパージ装置の注入ノズルおよび排出ノズルと容器の注入口および排出口を示す断面図である。

【図4】図４は、接続状態におけるパージ装置の注入ノズルおよび排出ノズルと容器の注入口および排出口を示す断面図である。

【図5】図５は、変形例に係るパージ装置の注入ノズル（または排出ノズル）を示す断面図である。

【図6】図６は、別の変形例に係るパージ装置の注入ノズル（または排出ノズル）を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0015】

図１及び図２に示されるように、パージストッカ１は、格納容器（容器）５０の内部をパージガスによってパージ処理すると共に、複数の格納容器５０を保管する保管庫としての機能を有する。格納容器５０は、半導体ウェハ又はガラス基板等の被格納物が格納されたＳＭＩＦポッド、レチクルポッド、ＦＯＵＰ等の容器である。パージガスとしては、例えば、窒素ガス又は空気が用いられる。パージストッカ１は、例えばクリーンルームに設けられる。パージストッカ１は、パーティション３、ラック７、クレーン９、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）ポート２１、及びマニュアルポート２３を主に備えている。

【0016】

パーティション３は、パージストッカ１のカバー板である。パーティション３の内側には、格納容器５０を保管する保管領域が形成されている。ラック７は、格納容器５０を保管する部分であり、当該保管領域内に１又は複数列（ここでは、２列）設けられている。各ラック７は、所定方向ｘに延在しており、隣り合う２つのラック７，７がｙ方向に対向するように平行に配置されている。各ラック７には、所定方向ｘ及び鉛直方向ｚに沿って、格納容器５０を載置して保管するパージ棚７Ａが複数形成されている。パージ棚７Ａは、鉛直方向ｚに沿って複数並んで配置され、且つ、所定方向ｘに沿って複数並んで配置されている。

【0017】

クレーン９は、格納容器５０をパージ棚７Ａに対して出し入れをすると共に、格納容器５０をパージ棚７ＡとＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３との間で移動させる搬送装置である。クレーン９は、対向するラック７，７に挟まれた領域に配置されている。クレーン９は、ラック７が延在する所定方向ｘに沿って、床面に配置された走行レール（図示せず）上を移動する。クレーン９は、鉛直方向ｚに延びるガイドレール９Ａと、ガイドレール９Ａに沿って昇降可能な荷台９Ｂと、を有する。クレーン９による格納容器５０の搬送は、クレーンコントローラ６０によって制御される。クレーンコントローラ６０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。

【0018】

パージストッカ１への格納容器５０の入庫及び出庫は、ＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３から行われる。ＯＨＴポート２１は、天井に敷設された走行レール２５を走行する天井走行車（ＯＨＴ）２７とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分である。ＯＨＴポート２１は、格納容器５０を搬送するコンベヤ２１Ａを有する。マニュアルポート２３は、作業者とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分である。マニュアルポート２３は、格納容器５０を搬送するコンベヤ２３Ａを有する。

【0019】

図２に示されるように、パージストッカ１は、パージ棚７Ａに載置された格納容器５０に窒素ガス又は空気等のパージガスを供給するパージ装置３０を備える。パージ棚７Ａには、例えば、格納容器５０の位置合わせ用のピン（図示せず）が設けられており、格納容器５０の底蓋５３には、例えばピンを受け入れる凹部または開口等が設けられている。格納容器５０は、そのような位置合わせ機構によって、パージ棚７Ａの載置面７ｂ上の所定位置に載置される。所定位置に格納容器５０が到来することで、パージ装置３０は、格納容器５０との間でパージガスを流通可能なように、格納容器５０に接続される。パージ装置３０は、供給管３１、注入ノズル３２、ＭＦＣ（Mass Flow Controller）３５、パージガス源３７、排出管３３、排出ノズル３４、流量計３９及びパージコントローラ４０を備える。

【0020】

なお、載置面７ｂ上に格納容器５０が載置されることは、格納容器５０の底面５３ａが載置面７ｂに当接することを必ずしも意味しない。格納容器５０の底面５３ａが、載置面７ｂから隙間をもって離間して、載置面７ｂに対面する場合もある。この場合、格納容器５０の底面５３ａは注入ノズル３２および排出ノズル３４に当接し、一方で載置面７ｂには当接しない。この状態も含め、格納容器５０は、全体として、載置面７ｂ上に載置されているといえる。

【0021】

図２および図３に示されるように、供給管３１は、パージガスを供給するための管であり、パージ棚７Ａの所定位置に形成された貫通孔３６において、注入ノズル３２に接続される。注入ノズル３２は、格納容器５０に接続されて、格納容器５０内にパージガスを供給する。ＭＦＣ３５は、供給管３１を流れるパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う機器である。パージガス源３７は、パージガスを貯蔵するタンクである。排出管３３は、パージガスを排出するための管であり、パージ棚７Ａの所定位置に形成された貫通孔３８において、排出ノズル３４に接続される。排出ノズル３４は、格納容器５０から排出されるパージガスを受け入れ、排出管３３へと流す。流量計３９は、排出管３３を流れるパージガスの流量を計測する機器である。パージコントローラ４０は、パージ装置３０における各種パージ処理を制御する。パージコントローラ４０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。

【0022】

ここで、本実施形態のパージ装置３０が適用される格納容器５０の概略構成について説明する。格納容器５０は、例えば、容器本体５１及び底蓋５３を備える。格納容器５０では、容器本体５１の底側に対して底蓋５３が着脱可能である。容器本体５１は、矩形箱状を呈する。底蓋５３は、例えば、矩形板状を呈する。格納容器５０では、容器本体５１と底蓋５３とによって密閉空間５４が形成される。密閉空間５４内には、複数の半導体ウェハ（図示せず）が収納される。例えば、底蓋５３の四隅のうちの１つ又は数箇所に、パージガスを受け入れるための注入口５２Ａが設けられている。注入口５２Ａは、パージ装置３０の供給管３１の先端に設けられた注入ノズル３２に接続可能に構成されている。例えば、底蓋５３の四隅のうちの１つ又は数箇所であって注入口５２Ａとは異なる位置に、パージガスを排出するための排出口５２Ｂが設けられている。排出口５２Ｂは、パージ装置３０の排出管３３の先端に設けられた排出ノズル３４に接続可能に構成されている。

【0023】

格納容器５０では、注入口５２Ａに安全弁５５が設けられており、排出口５２Ｂに安全弁５６が設けられている。安全弁５５および安全弁５６は、格納容器５０がパージ棚７Ａに載置されてパージ装置３０に接続されているときには注入口５２Ａおよび排出口５２Ｂにおけるパージガスの流通を許容する。一方、格納容器５０がパージ装置３０に接続されていないときには、安全弁５５および安全弁５６は、注入口５２Ａおよび排出口５２Ｂにおける流路を遮断してパージガスの流通を不可能とする。安全弁５５および安全弁５６は、同様の構成を備える。以下、安全弁５５に関してのみ説明し、安全弁５６に関する説明は省略する。

【0024】

図３に示されるように、安全弁５５は、注入口５２Ａに取り付けられている。安全弁５５は、注入口５２Ａに固定されたホルダ６１と、ホルダ６１に取り付けられた円筒状の弁体６２と、弁体６２の周面に取り付けられたＯリング６３とを有する。ホルダ６１は、注入口５２Ａの開口を遮蔽しており、格納容器５０の内外を連通する流路は、弁体６２にのみ形成されている。弁体６２は、ホルダ６１内において上下動可能な（鉛直方向ｚに移動可能な）ピストンである。弁体６２には、パージガスを流通させるための流路６２ｂが形成されている。弁体６２は、安全弁５５に外力が加わっていないときには、自重で落下して下端位置に位置しており、流路６２ｂを遮断することでパージガスの流通を不可能とする（図３参照）。弁体６２は、外力によって押し上げられて上端位置に位置しているときには、流路６２ｂが格納容器５０の内外に連通しており、パージガスの流通を許容する（図４参照）。

【0025】

安全弁５５および安全弁５６は、パージガスの流入を防止する流入防止弁であり、かつ、パージガスの流出を防止する流出防止弁である。安全弁５５，５６は、同様の構成を備えるため、注入口５２Ａ用にも排出口５２Ｂにも適用可能である。なお、安全弁５５，５６のそれぞれが、ガス注入用またはガス排出用の異なる構成を備えてもよい。

【0026】

図３に示されるように、注入ノズル３２は、格納容器５０が載置される載置面７ｂに設けられた注入ノズル本体４２と、注入ノズル本体４２の先端よりも、載置面７ｂから突出するように設けられた押し上げ部材４６と、注入ノズル本体４２および押し上げ部材４６を包囲するように設けられた連通部材（第１連通部材）４８とを備える。注入ノズル本体４２は、供給管３１の先端に接続された配管部材であり、注入口５２Ａにパージガスを供給する。すなわち、注入ノズル本体４２は、注入口５２Ａに対してパージガスを流通させる注入口５２Ａ用のノズル本体である。注入ノズル本体４２は、例えば、円筒形の貫通孔３６内に配置されている。貫通孔３６は、注入口５２Ａに対応する位置、より詳細には、格納容器５０が位置合わせされた状態で、鉛直方向ｚから見て注入口５２Ａに重複する位置に形成されている。注入ノズル本体４２の先端は、例えば、パージ棚７Ａの載置面７ｂから突出している。

【0027】

注入ノズル３２では、パージガス源３７から送られるパージガスが所定の圧力をもって供給されるが、その供給圧力は、適宜に調整または決定されてよい。パージガスの供給圧力は、格納容器５０内にパージガスを送り込むのに適切な値に設定される。

【0028】

排出ノズル３４は、格納容器５０が載置される載置面７ｂに設けられた排出ノズル本体４４と、排出ノズル本体４４の先端よりも、載置面７ｂから突出するように設けられた押し上げ部材４６と、排出ノズル本体４４および押し上げ部材４６を包囲するように設けられた連通部材（第２連通部材）４８とを備える。排出ノズル本体４４は、排出管３３の先端に接続された配管部材であり、排出口５２Ｂから排出されるパージガスを受け入れる。すなわち、排出ノズル本体４４は、排出口５２Ｂに対してパージガスを流通させる排出口５２Ｂ用のノズル本体である。排出ノズル本体４４は、例えば、円筒形の貫通孔３８内に配置されている。貫通孔３８は、排出口５２Ｂに対応する位置、より詳細には、格納容器５０が位置合わせされた状態で、鉛直方向ｚから見て排出口５２Ｂに重複する位置に形成されている。排出ノズル本体４４の先端は、例えば、パージ棚７Ａの載置面７ｂから突出している。

【0029】

格納容器５０から排出ノズル３４へと排出されるパージガスの圧力は、上記の供給圧力、または供給流量等に影響され得る。パージガスが格納容器５０内で所定の内圧を有する場合は、排出ノズル３４を排出口５２Ｂに接続するのみでパージガスを排出させることができるが、内圧が不足する場合等には、排出管３３に別途の吸引装置（または吸引機構）が設けられ、パージガスが排出口５２Ｂおよび排出ノズル３４を介して吸引される。

【0030】

注入ノズル３２および排出ノズル３４は、いずれも、安全弁５５および安全弁５６に対して適合された構造を備える。注入ノズル３２および排出ノズル３４は、例えば、同様の構成を備える。以下、注入ノズル３２の構成に関してのみ詳細に説明し、排出ノズル３４の構成に関する詳細な説明は省略する。

【0031】

図３に示されるように、押し上げ部材４６および連通部材４８は、例えば、二重管構造をなしている。より詳細には、押し上げ部材４６および連通部材４８は、例えば、二重の蛇腹構造をなしている。

【0032】

押し上げ部材４６は、例えば、円筒状を呈しており、注入ノズル本体４２を包囲している。押し上げ部材４６は、注入ノズル本体４２上に立設されている。押し上げ部材４６は、注入ノズル本体４２に嵌合等により取り付けられた基部４６ｂと、円筒状かつ蛇腹状の筒状部４６ｃと、例えば円形の先端面（当接部）４６ａとを有する。押し上げ部材４６は、例えば、フッ素ゴムまたはシリコーンゴム等の弾性体からなる。押し上げ部材４６の基部４６ｂに、注入ノズル本体４２の先端部が挿入されている。

【0033】

なお、押し上げ部材４６は、弾性を有する材料から構成されることで弾性体とされてもよいし、弾性材料以外の材料が蛇腹状に成形されることで弾性体とされてもよい。すなわち、押し上げ部材４６は、材料に基づく弾性体であってもよく、形状に基づく弾性体であってもよい。本実施形態の場合は、押し上げ部材４６は、例えば、材料および形状の両方に基づく弾性体である。また、押し上げ部材４６は、弾性体のみで構成する場合のほか、弾性を有しない本体部分とスプリング等といった複数の部材を組み合わせて構成するようにしてもよい。

【0034】

押し上げ部材４６は、弁体６２の中心軸線に略一致する（または完全に一致する）中心軸線を有する。すなわち、格納容器５０が位置合わせされた状態で、押し上げ部材４６は、弁体６２と同心状に配置される。先端面４６ａは、例えば水平面に沿って延びており、注入ノズル本体４２の先端よりも、載置面７ｂから突出した位置に配置されている。先端面４６ａは、弁体６２の円環状の下端面６２ａに当接可能な大きさ（直径）を有する。押し上げ部材４６は、格納容器５０が載置される際、載置面７ｂへの格納容器５０の接近に伴って弁体６２に当接し、弁体６２を押し上げる。より詳細には、載置面７ｂへの格納容器５０の接近に伴って、押し上げ部材４６の先端面４６ａが弁体６２の下端面６２ａに当接し、弁体６２を押し上げる。ここで、「弁体６２を押し上げる」とは、弁体６２の絶対位置を必ずしも意味するのではなく、下降する注入口５２Ａすなわち安全弁５５（ホルダ６１）の位置に対して上昇することを意味する。

【0035】

連通部材４８は、例えば、円筒状を呈しており、注入ノズル本体４２および押し上げ部材４６を包囲している。連通部材４８は、押し上げ部材４６よりも大きな直径を有しており、連通部材４８内に、押し上げ部材４６が配置されている。連通部材４８は、注入ノズル本体４２上に立設されている。押し上げ部材４６は、注入ノズル本体４２の根元部分に嵌合等により取り付けられた基端部４８ｂと、円筒状かつ蛇腹状の筒状部４８ｃと、例えば円形の先端面４８ａとを有する。連通部材４８は、例えば、フッ素ゴムまたはシリコーンゴム等の弾性体からなる。

【0036】

なお、連通部材４８は、弾性を有する材料から構成されることで弾性体とされてもよいし、弾性材料以外の材料が蛇腹状に成形されることで弾性体とされてもよい。すなわち、連通部材４８は、材料に基づく弾性体であってもよく、形状に基づく弾性体であってもよい。本実施形態の場合は、連通部材４８は、例えば、材料および形状の両方に基づく弾性体である。また、連通部材４８は、弾性体のみで構成する場合のほか、弾性を有しない本体部分とスプリング等といった複数の部材を組み合わせて構成するようにしてもよい。

【0037】

連通部材４８は、例えば、押し上げ部材４６と同心状に配置される。先端面４８ａは、例えば水平面に沿って延びている。先端面４８ａは、例えば、押し上げ部材４６の先端面４６ａと揃った位置（高さ）に配置される。先端面４８ａは、ホルダ６１の円環状の下端面６１ａに当接可能な大きさ（直径）を有する。連通部材４８は、先端面４８ａが下端面６１ａに当接することで、注入ノズル本体４２と注入口５２Ａとを連通させると共に、シール性を発揮してパージガスが漏れることを抑制する。

【0038】

押し上げ部材４６と連通部材４８の弾性の違いについて説明する。連通部材４８は、例えば、押し上げ部材４６よりも柔らかくなっている。言い換えれば、連通部材４８の弾性係数（またはヤング率）は、押し上げ部材４６の弾性係数（またはヤング率）よりも小さい。

【0039】

以上説明した注入ノズル３２および排出ノズル３４を備えるパージ装置３０において、格納容器５０が載置される際の作用・効果について図４を参照して説明する。図４に示されるように、格納容器５０が載置面７ｂに接近すると、注入ノズル３２の押し上げ部材４６が安全弁５５の弁体６２に当接し、弁体６２を押し上げる。筒状の連通部材４８は安全弁５５のホルダ６１に当接し、注入ノズル３２の内部に配置された注入ノズル本体４２と格納容器５０の注入口５２Ａとの間で、パージガスが流通する。すなわち安全弁５５が開通する。これと同時に、排出ノズル３４の押し上げ部材４６が安全弁５６の弁体６２に当接し、弁体６２を押し上げる。筒状の連通部材４８は安全弁５６のホルダ６１に当接し、排出ノズル３４の内部に配置された排出ノズル本体４４と格納容器５０の排出口５２Ｂとの間で、パージガスが流通する。すなわち安全弁５６が開通する。格納容器５０が載置面７ｂ上にある間、弁体６２を押し上げた状態は維持され、また連通部材４８が、注入ノズル本体４２と注入口５２Ａ、および、排出ノズル本体４４と排出口５２Ｂとを気密な状態で連通させる。よって、格納容器５０の安全弁５５，５６を確実に開き、パージガスの注入および排出を確実に行うことができる。また、外側において連通部材４８が接続部を覆っているので、仮にパージガスが安全弁５５，５６の隙間などから漏れたとしても、連通部材４８がシール性を発揮し、パージガスの漏れを抑制できる。

【0040】

連通部材４８が弾性体からなっているので、連通部材４８は、シール性を発揮しやすい。また、連通部材が剛体からなる場合に比して、複数の連通部材４８が隙間なく格納容器５０の一部に当接する。平面度がゼロである部品は、一般に、作製が困難である。弾性体からなる連通部材４８によれば、隙間なく格納容器５０を支持することができ、また格納容器５０の傾きやがたつき等を抑制することができる。

【0041】

押し上げ部材４６が弾性体からなり、連通部材４８は押し上げ部材４６よりも柔らかい。よって、連通部材４８によるシール性がより高められている。パージガスを密閉させるためには、注入ノズル３２および排出ノズル３４に、柔らかさと自由度が求められる。特に、パージストッカ１は多くのパージ棚７Ａを有するため、パージ棚７Ａ同士の距離も小さくなっており、装置の小型化が求められる。二重の弾性体構造を採用することにより、小型化が容易である。

【0042】

押し上げ部材４６は筒状であり、注入ノズル本体４２および排出ノズル本体４４を包囲している。これにより、押し上げ部材４６によっても、ある程度のシール性が発揮される。よって、パージガスの漏れをより確実に防止することができる。

【0043】

格納容器５０は注入口５２Ａおよび排出口５２Ｂを備えており、パージ装置３０は、注入ノズル本体４２を包囲すると共に弾性体からなる注入ノズル３２の連通部材４８と、排出ノズル本体４４を包囲すると共に弾性体からなる排出ノズル３４の連通部材４８と、を有する。これにより、格納容器５０の姿勢を調整しやすい。特に、注入ノズル３２と排出ノズル３４に弾性体からなる連通部材４８が設けられていることで、ノズル全体としての平面度を実現しやすい。ノズルに載置される格納容器５０に対して、隙間を生じにくく、密閉度が高められる。

【0044】

以上、本開示の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。例えば、パージ装置３０が、図５に示される変形例のような、押し上げ部材としての中蓋４７を用いた注入ノズル３２Ａ（または排出ノズル）を備えてもよい。注入ノズル３２Ａが注入ノズル３２と違う点は、弾性体からなる蛇腹状の押し上げ部材４６に代えて、筒状の中蓋４７を注入ノズル本体４２上に設けた点である。中蓋４７の上端面（当接部）４７ａは、注入ノズル本体４２の先端よりも、載置面７ｂから突出した位置に配置される。上端面４７ａは、弁体６２の円環状の下端面６２ａに当接可能な大きさ（直径）を有する。中蓋４７は、円筒部の下端に形成されたフランジ部４７ｂを含む。このような注入ノズル３２Ａを備えたパージ装置３０よっても、上記実施形態と同様、格納容器５０の安全弁５５，５６を確実に開き、パージを確実に行うことができる。同様の排出ノズルをも備えたパージ装置３０によれば、ノズル全体としての平面度を実現しやすい。ノズルに載置される格納容器５０に対して、隙間を生じにくく、密閉度が高められる。

【0045】

また、例えば、パージ装置３０が、図６に示される別の変形例のような、押し上げ部材４９が連通部材４８に一体化された注入ノズル３２Ｂ（または排出ノズル）を備えてもよい。注入ノズル３２Ｂが注入ノズル３２と違う点は、注入ノズル本体４２に取り付けられた押し上げ部材４６に代えて、連通部材４８の先端面４８ａよりやや下がった位置から水平に延びる押し上げ部材４９を設けた点である。押し上げ部材４９は、ゴム等の弾性体からなり、例えば、連通部材４８の内面側に接合されて４本の十字状に延びる（複数の放射状に延びる）支持部４９ｂと、支持部４９ｂの中央側に連続する中央部（当接部）４９ａとを含む。中央部４９ａは、注入ノズル本体４２の先端よりも、載置面７ｂから突出した位置に配置される。中央部４９ａは、弁体６２の円環状の下端面６２ａに当接可能な大きさ（直径）を有する。このような注入ノズル３２Ｂを備えたパージ装置３０よっても、上記実施形態と同様、格納容器５０の安全弁５５，５６を確実に開き、パージを確実に行うことができる。同様の排出ノズルをも備えたパージ装置３０によれば、ノズル全体としての平面度を実現しやすい。ノズルに載置される格納容器５０に対して、隙間を生じにくく、密閉度が高められる。

【0046】

これらの実施形態および変形例以外にも、種々の変形態様が採られ得る。例えば、押し上げ部材は、蛇腹状でなくてもよい。押し上げ部材が、ゴム等の弾性体からなるが、蛇腹を有しない管状であってもよい。押し上げ部材は、弾性を有していなくてもよい。連通部材は、蛇腹状でなくてもよい。連通部材が、ゴム等の弾性体からなるが、蛇腹を有しない管状であってもよい。連通部材は、弾性を有してなくてもよい。

【0047】

押し上げ部材４６が弾性体である場合に、押し上げ部材４６の弾性係数（またはヤング率）が、連通部材４８の弾性係数（またはヤング率）と等しくてもよい。あるいは、上記実施形態とは反対に、押し上げ部材４６の弾性係数（またはヤング率）が、連通部材４８の弾性係数（またはヤング率）より小さくてもよい。

【0048】

筒状の連通部材は、円筒状である場合に限らない。筒状の連通部材が、角筒状であってもよいし、内径が一定ではなく変化する形状であってもよい。例えば、連通部材が、基端部４８ｂから先端面４８ａに向けて内径が小さくなる円錐台形状またはドーム形状をなしてもよいし、反対に、基端部４８ｂから先端面４８ａに向けて内径が大きくなる逆円錐台形状またはドームを逆さにした形状（らっぱ形状）をなしてもよい。

【0049】

連通部材４８の先端面４８ａが、ホルダ６１の下端面６１ａに当接する場合に限られず、下端面６１ａ以外の格納容器５０の下端面等に当接するように構成されてもよい。例えば、下端面６１ａの直径が上記実施形態よりも大きい場合には、連通部材４８の先端面４８ａが、格納容器５０の底面５３ａ等に当接する。

【0050】

格納容器５０には、排出口５２Ｂが設けられなくてもよい。すなわち、格納容器５０は、１つ又は複数の注入口５２Ａのみを備えていてもよい。その場合、パージ装置３０は、排出ノズル３４（排出ノズル本体４４）を備えていない。パージ装置３０は、格納容器５０に接続される部分として、１つ又は複数の注入ノズル３２（注入ノズル本体４２）のみを備えていてもよい。

【0051】

格納容器５０に、注入口５２Ａおよび排出口５２Ｂの両方が設けられ、その場合に、パージ装置３０が、上記実施形態に係る注入ノズル３２または上記変形例に係る注入ノズル３２Ａ，３２Ｂ等を備えていなくてもよい。ただし、その場合でも、パージ装置３０は、上記実施形態に係る排出ノズル３４または上記変形例に係る注入ノズル３２Ａ，３２Ｂと同様の構成の排出ノズル等を備える。注入口５２Ａには、注入ノズル本体４２が接続され、ガスの供給圧力によって弁体６２が押し上げられてもよい。あるいは、注入ノズルが、注入ノズル本体４２と筒状の押し上げ部材４６とを備え、連通部材４８が省略されてもよい。注入ノズルが、注入ノズル本体４２と筒状の連通部材４８とを備え、押し上げ部材４６が省略されてもよい。筒状の押し上げ部材４６または筒状の連通部材４８のいずれかが、シール性を発揮し得る。

【0052】

パージ装置３０において、流量計３９が省略されてもよい。パージガスの排出流量の確認が必要な場合には流量計３９が設置されるが、パージガスの排出流量の確認が特に不要な場合には、流量計３９は省略される。格納容器５０に排出口５２Ｂが設けられず、パージ装置３０に排出ノズル３４が設けられない場合には、排出管３３および流量計３９は省略される。

【0053】

格納容器５０の構成は上記実施形態に限られない。注入口５２Ａおよび排出口５２Ｂの位置、構造、個数等は適宜に変更可能である。注入口５２Ａまたは排出口５２Ｂに、弁体によって流路を開閉可能な安全弁が設けられていればよい。

【符号の説明】

【0054】

１…パージストッカ、７Ａ…パージ棚、３０…パージ装置、３２…注入ノズル、３４…排出ノズル、４２…注入ノズル本体（注入口用のノズル本体）、４４…排出ノズル本体（排出口用のノズル本体）、４６…押し上げ部材、４６ａ…先端面（当接部）、４８…連通部材、４７…中蓋（押し上げ部材）、４７ａ…上端面（当接部）、４９…押し上げ部材、４９ａ…中央部（当接部）、５０…格納容器（容器）、５２Ａ…注入口、５２Ｂ…排出口、５３…底蓋、５５…安全弁、５６…安全弁、６１…ホルダ、６２…弁体。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】