特開2022-83145半導体製造システムおよびその制御方法

発明の名称　半導体製造システムおよびその制御方法

出願人　ルネサスエレクトロニクス株式会社　（識別番号 302062931）

　　　　特許公開件数ランキング 214 位（150件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 245 位（115件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-83145

公報発行日　2022年6月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-83145

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