特開 2022-83380 プローブカード装置及び自己整列プローブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022083380

(43)【公開日】2022-06-03

(54)【発明の名称】プローブカード装置及び自己整列プローブ

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/06 20060101AFI20220527BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20220527BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20220527BHJP

【ＦＩ】

G01R1/06 D

G01R1/073 D

H01L21/66 B

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021072343

(22)【出願日】2021-04-22

(31)【優先権主張番号】109141045

(32)【優先日】2020-11-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】517009143

【氏名又は名称】中華精測科技股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＣＨＵＮＧＨＷＡ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＴＥＳＴ ＴＥＣＨ．ＣＯ．，ＬＴＤ

【住所又は居所原語表記】ＮＯ．１５，ＧＯＮＧＹＥ ３ＲＤ ＲＯＡＤ，ＰＩＮＧＪＨＥＮ ＤＩＳＴ，ＴＡＯＹＵＡＮ ＣＩＴＹ ３２４，ＴＡＩＷＡＮ

(74)【代理人】

【識別番号】110002789

【氏名又は名称】特許業務法人ＩＰＸ

(72)【発明者】

【氏名】謝 開傑

(72)【発明者】

【氏名】蘇 偉誌

(72)【発明者】

【氏名】陳 弘明

(72)【発明者】

【氏名】ラマチャンドラン ベル サンカル

【テーマコード（参考）】

2G011

4M106

【Ｆターム（参考）】

2G011AA02

2G011AA15

2G011AB07

2G011AC14

2G011AE03

2G011AF07

4M106AA01

4M106BA01

4M106DD03

4M106DD10

(57)【要約】

【課題】プローブカード装置及び自己整列プローブを提供する。
【解決手段】自己整列プローブは、信号転送板に当接するための転送端部、テスト対象物に分離可能に当接するための試験端部、前記転送端部に接続される第１の接続部、前記試験端部に接続される第２の接続部、及び前記第１の接続部と前記第２の接続部とを接続する弧状部を具備する。なかでも、前記転送端部と前記試験端部と共に基準軸線を定義し、前記第１の接続部に整列凸部が形成され、前記弧状部と前記基準軸線とが離れた最大距離は、７５μmを超えて１５０μm未満である。
【選択図】 図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに間隔をあけて配置される第１の誘導板ユニット及び第２の誘導板ユニットと、
前記第１の誘導板ユニット及び前記第２の誘導板ユニットを貫設すると共に、隣り合う同士の間に間隔が設けられる複数の自己整列プローブと、
を具備し、
前記自己整列プローブのそれぞれに、
前記第１の誘導板ユニットにおける前記第２の誘導板ユニットから離れる外方側に位置する、転送端部と、
前記第２の誘導板ユニットにおける前記第１の誘導板ユニットから離れる外方側に位置し、前記転送端部と共に基準軸線を定義し、テスト対象物に当接するための試験端部と、
前記第１の誘導板ユニット内に位置し、前記第１の誘導板ユニットとの間に４μm未満の隙間を形成させるための整列凸部が形成される第１の接続部と、
前記第２の誘導板ユニット内に位置する第２の接続部と、
前記第１の接続部と前記第２の接続部を接続すると共に、前記基準軸線と離れた最大距離が７５μmを超えて前記間隔未満となる弧状部と、
が含まれる、ことを特徴とするプローブカード装置。

【請求項2】

前記自己整列プローブのそれぞれにおける前記弧状部の前記最大距離が形成された位置は、幅狭領域として定義され、前記自己整列プローブのそれぞれにおいて、前記弧状部の断面積は、前記幅狭領域から前記第１の接続部及び前記第２の接続部に向かって徐々に増加し、前記自己整列プローブのそれぞれにおいて、前記幅狭領域と前記第１の接続部との間の距離は、前記幅狭領域と前記第２の接続部との間の距離に等しく、前記幅狭領域と前記整列凸部とはそれぞれ前記基準軸線に関し反対側に位置する、請求項１に記載のプローブカード装置。

【請求項3】

各前記自己整列プローブにおける前記弧状部に、前記第１の誘導板ユニットに近接するリブが形成され、各前記自己整列プローブにおける前記リブ及び前記整列凸部はそれぞれ、前記基準軸線に関し反対側に位置し、かつ、前記自己整列プローブにおける前記リブは、前記第１の誘導板ユニットと接触されず、各前記自己整列プローブにおいて、前記第１の接続部の最大幅は、前記第２の接続部の最大幅よりも大きい、請求項１に記載のプローブカード装置。

【請求項4】

前記プローブカード装置はさらに、前記第１の誘導板ユニットに近接する信号転送板を含み、前記第１の誘導板ユニットと前記第２の誘導板ユニットとが互いに斜めに位置ずれている場合、各前記自己整列プローブが前記整列凸部を有するため、前記転送端部は８５度～９５度の角度で前記信号転送板に当接する、請求項１に記載のプローブカード装置。

【請求項5】

信号転送板に当接するための転送端部と、
前記転送端部と共に基準軸線を定義し、テスト対象物に分離可能に当接するための試験端部と、
前記転送端部に接続され、整列凸部が形成されている第１の接続部と、
前記試験端部に接続される第２の接続部と、
前記第１の接続部と前記第２の接続部とを接続すると共に、前記基準軸線と離れた最大距離が７５μmを超えて１５０μm未満となる弧状部と、
を含む、ことを特徴とする自己整列プローブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、導電性プローブに関し、特にプローブカード装置及び自己整列プローブに関する。

【背景技術】

【0002】

既存のプローブカード装置は、第１の誘導板ユニットと、前記第１の誘導板ユニットと離間して配置される第２の誘導板ユニットと、前記第１の誘導板ユニット及び前記第２の誘導板ユニットに貫設される複数の導電性プローブとを含む。なかでも、既存の導電性プローブにおける前記第１の誘導板ユニット内に位置する部分は、同幅と形成されるデザインに制限されているため、導電性プローブと前記第１の誘導板ユニットとの間に比較的に大きい隙間（例えば、１０μm以上）が形成されるため、プローブカード装置の更なる発展と適用に障害が出ている。

【0003】

そこで、本発明者は、上記の欠点を改善できると考え、科学的な原理を研究・応用し、最終的に本発明の合理的な設計と上記の欠点の効果的な改善を実現しました。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、効果的に既存の導電性プローブの欠点を改善するためのプローブカード装置及び自己整列プローブを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る実施形態は、互いに離れて配置される第１の誘導板ユニット及び第２の誘導板ユニットと、前記第１の誘導板ユニット及び前記第２の誘導板ユニットに貫設されると共に、隣り合う同士の間に間隔が設けられる複数の自己整列プローブと、を具備し、前記自己整列プローブのそれぞれに、前記第１の誘導板ユニットにおける前記第２の誘導板ユニットから離れる外方側に位置する転送端部と、前記第２の誘導板ユニットにおける前記第１の誘導板ユニットから離れる外方側に位置し、テスト対象物に分離可能に当接するための試験端部と、前記第１の誘導板ユニット内に位置すると共に、前記第１の誘導板ユニットとの間に４μm以下の隙間を形成させるための整列凸部が形成される第１の接続部と、前記第２の誘導板ユニット内に位置する第２の接続部と、前記第１の接続部と前記第２の接続部とを接続する弧状部と、が設けられ、前記転送端部と前記試験端部とは共に基準軸線を定義し、前記弧状部と前記基準軸線とが離れた最大距離が７５μmを超えて前記間隔未満となるプローブカード装置を開示する。

【0006】

本発明に係る実施形態は、信号転送板に当接するための転送端部と、前記転送端部と共に基準軸線を定義し、テスト対象物に分離可能に当接するための試験端部と、前記転送端部に接続され、整列凸部が形成される第１の接続部と、前記試験端部に接続される第２の接続部と、前記第１の接続部と前記第２の接続部とを接続すると共に、前記基準軸線と離れた最大距離が７５μmを超えて１５０μm未満となる弧状部と、を備える、自己整列プローブを開示する。

【発明の効果】

【0007】

上記を踏まえて、本発明に係る実施形態が開示するプローブカード装置及び自己整列プローブは、「前記第１の接続部に前記整列凸部が形成される」という技術的手段によって、前記自己整列プローブと前記第１の誘導板ユニットとの間の隙間は効果的に制御されるため、前記プローブカード装置の発展と適用に有益な効果が与えられる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明に係る第１の実施形態のプローブカード装置を示す断面模式図である。

【図2】図１のプローブカード装置において第１の誘導板ユニットと第２の誘導板ユニットとが位置ずれている状態を示す断面模式図である。

【図3】本発明に係る第１の実施形態の自己整列プローブを示す平面模式図である。

【図4】本発明に係る第１の実施形態の自己整列プローブを示す斜視模式図である。

【図5】図１における部分Ｖを示す拡大模式図である。

【図6】図２における部分ＶＩを示す拡大模式図である。

【図7】図６の比較例を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

発明の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下本発明に関する詳細な説明と添付図面を参照する。しかし、提供される添付図面は参考と説明のために提供するものに過ぎず、本発明の特許請求の範囲を制限するためのものではない。

【0010】

下記より、具体的な実施例で本発明が開示する「プローブカード装置及び自己整列プローブ」に係る実施形態を説明する。当業者は本明細書の公開内容により本発明のメリット及び効果を理解し得る。本発明は他の異なる実施形態により実行又は応用できる。本明細書における各細節も様々な観点又は応用に基づいて、本発明の精神逸脱しない限りに、均等の変形と変更を行うことができる。また、本発明の図面は簡単で模式的に説明するためのものであり、実際的な寸法を示すものではない。以下の実施形態において、さらに本発明に係る技術事項を説明するが、公開された内容は本発明を限定するものではない。

【0011】

なお、本明細書において「第１」、「第２」、「第３」等の用語で各種の部品又は信号を説明する場合があるが、これらの部品又は信号はこれらの用語によって制限されるものではない。これらの用語は、主として一つの部品と別の部品、又は一つの信号と別の信号を区分するためのものであることが理解されたい。また、本明細書に用いられる「又は」という用語は、実際の状況に応じて、関連する項目中の何れか一つ又は複数の組合せを含み得る。

【0012】

図１～図６を参照されたい。図１～図６は本発明に係る実施形態を示す。図１及び図２に示すように、本実施形態に、プローブカード装置１０００（例えば、垂直型プローブカード装置）が開示され、プローブカード装置１０００は、プローブヘッド１００、及び前記プローブヘッド１００の一方側（例えば、図１におけるプローブヘッド１００の上部側）に当接する信号転送板２００を含む。かつ、前記プローブヘッド１００の他方側（例えば、図１におけるプローブヘッド１００の下部側）は、テスト対象物（ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ，ＤＵＴ）（図示されないが、例えば、半導体ウェーハ等である）にテストを行うために当接するように用いられる。

【0013】

なお、前記プローブカード装置１０００における各要素の構造及び接続関係をよりはっきりと示すために、本実施形態の理解の便宜上、図面には、前記プローブカード装置１０００の局部構造のみが示されていることは説明しておきたい。しかし、本発明は図面の構造に制限されない。次には、前記プローブヘッド１００における各要素及びそれらの連接関係を紹介する。

【0014】

図１に示すように、前記プローブヘッド１００は、第１の誘導板ユニット１と、前記第１の誘導板ユニット１と離れて配置される第２の誘導板ユニット２と、前記第１の誘導板ユニット１と第２の誘導板ユニット２との間に挟まれたスペーサー３と、前記第１の誘導板ユニット１及び前記第２の誘導板ユニット２を貫設する複数の自己整列プローブ４と、を含む。なかでも、隣り合ういずれか２つの前記自己整列プローブ４の間に間隔Ｄ４が設けられる。

【0015】

なお、前記自己整列プローブ４は、本実施形態では、前記第１の誘導板ユニット１、前記第２の誘導板ユニット２、及び前記スペーサー３と合わせて説明するが、本発明はこの例に制限されないのを説明しておきたい。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記自己整列プローブ４は独立に適用され、（例えば、販売）、または別の要素と組み合わせて利用されてもよい。

【0016】

本実施形態において、前記第１の誘導板ユニット１は１つの第１のガードプレートを含み、かつ、前記第２の誘導板ユニット２は１つの第２のガードプレートを含む。なお、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記第１の誘導板ユニット１が複数の第１のガードプレート（及び隣り合う２つの前記第１のガードプレートの間に挟まれたスペーサー）を、前記第２の誘導板ユニット２が複数の第２のガードプレート（及び隣り合う２つの前記第２のガードプレートの間に挟まれたスペーサー）を含んでもよい。複数の前記第１のガードプレートは互いに位置ずれて配置されてもよい。複数の前記第２のガードプレートが互いに位置ずれて配置されてもよい。前記第１の誘導板ユニット１が前記第２の誘導板ユニット２に対して位置ずれて配置されてもよい。

【0017】

また、前記スペーサー３は環状構造に形成されてもよい。また、前記スペーサー３は、前記第１の誘導板ユニット１及び前記第２の誘導板ユニット２における比較的に外側となる部分に挟持されてもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記プローブカード装置１０００における前記スペーサー３は省略、または他の要素によって置き換えられてもよい。

【0018】

なお、複数の前記自己整列プローブ４は、本実施形態ではほぼ同様な構造を有するため、説明の便宜上、次にはまず１つの前記自己整列プローブ４を例として説明するが、本発明はこの例に制限されないのを説明しておきたい。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記プローブヘッド１００に含まれる複数の前記自己整列プローブ４の構造は異なってもよい。或いは、前記自己整列プローブ４は次に説明した構成の一部のみを含んでも構わない。

【0019】

また、前記自己整列プローブ４の構造の理解を易くするために、以下は、まず前記第１の誘導板ユニット１が未だ前記第２の誘導板ユニット２に対して位置ずれていない状態をもって、前記自己整列プローブ４の構造を説明する。

【0020】

図１、及び図３～図５に示すように、前記自己整列プローブ４は一体成型となるワンピース構造であり、かつ、前記自己整列プローブ４は、それぞれ両端部に位置する転送端部４１及び試験端部４２と、前記転送端部４１に接続される第１の接続部４３と、前記試験端部４２に接続される第２の接続部４４と、前記第１の接続部４３と前記第２の接続部４４とを接続する弧状部４５とを含む。即ち、前記自己整列プローブ４は順に前記転送端部４１、前記第１の接続部４３、前記弧状部４５、前記第２の接続部４４、及び前記試験端部４２を含むようになっているが、本発明はこの例に制限されない。

【0021】

その中、前記転送端部４１は、前記第１の誘導板ユニット１における前記第２の誘導板ユニット２から離れる外方側（例えば、前記第１の誘導板ユニット１の上方側）に位置し、前記第１の誘導板ユニット１の近傍に位置する前記信号転送板２００を当接するために用いられる。前記試験端部４２は、前記第２の誘導板ユニット２における前記第１の誘導板ユニット１から離れる外方側（例えば、前記第２の誘導板ユニット２の下方側）に位置し、前記第２の誘導板ユニット２の近傍に位置する前記テスト対象物を分離可能に当接するために用いられる。また、前記第１の接続部４３は前記第１の誘導板ユニット１内に位置し、前記第２の接続部４４は前記第２の誘導板ユニット２内に位置し、前記弧状部４５は、前記第１の誘導板ユニット１と前記第２の誘導板ユニット２との間に位置する。

【0022】

詳しくは、前記転送端部４１と前記試験端部４２とは共に基準軸線Ｌを定義している。本実施形態において、前記基準軸線Ｌが前記転送端部４１の中心と前記試験端部４２の中心を通過するように構成されるが、本発明はこの例に制限されない。なかでも、前記弧状部４５と前記基準軸線Ｌとが離れた最大距離Ｄは、７５μmを超えて前記間隔Ｄ４（または１５０μm）未満となり、かつ、前記間隔Ｄ４は、本実施形態では１５０μmであってもよいが、本発明はこの例に制限されない。言い換えれば、前記弧状部４５を有しない何れの導電性プローブ（例えば、直線状の導電性プローブ）も、本実施形態に係る前記自己整列プローブ４とは言えない。

【0023】

本実施形態において、前記自己整列プローブ４における前記最大距離Ｄが形成された前記弧状部４５の位置では幅狭領域４５１と定義される。なお。前記弧状部４５の断面積は、前記幅狭領域４５１から前記第１の接続部４３及び前記第２の接続部４４に向かって徐々に増加となり、かつ、前記幅狭領域４５１と前記第１の接続部４３との間距離は、前記幅狭領域４５１と前記第２の接続部４４との間の距離と等しい。

【0024】

このように、前記自己整列プローブ４は、本実施形態では、前記弧状部４５の構成デザインによって、前記弧状部４５が変形する時、応力が比較的に前記弧状部４５の特定エリアに集中することなく、前記弧状部４５の各部分に均一に分散されるため、前記自己整列プローブ４の使用年限を効果的に延びることが期待される。

【0025】

前記第１の接続部４３に整列凸部４３１が形成され、かつ、前記整列凸部４３１は、少なくとも一部が前記第１の誘導板ユニット１内に位置してもよい。即ち、前記整列凸部４３１は、一部が前記第１の誘導板ユニット１から伸び出ししてもいが、前記第１の誘導板ユニット１内に位置する前記整列凸部４３１の部分のみが位置校正の機能を果たすことができる。

【0026】

さらに、前記自己整列プローブ４は、前記整列凸部４３１が形成されることによって、前記第１の接続部４３と前記第１の誘導板ユニット１との間に４μm以下の隙間Ｇが形成される。かつ、前記隙間Ｇは、本実施形態では、前記第１の接続部４３と前記第１の誘導板ユニット１との間の最小距離を表示する。即ち、前記第１の接続部４３が前記第１の誘導板ユニット１の貫通孔（図示されない）内に位置する時、前記第１の接続部４３は、前記整列凸部４３１を有することによって、前記第１の接続部４３と前記貫通孔の内周面との間の隙間Ｇは４μm以下に制限される。

【0027】

言い換えれば、前記第１の接続部４３は、前記整列凸部４３１を有することによって、前記第１の接続部４３の最大幅Ｗ４３は前記第２の接続部４４の最大幅Ｗ４４よりも大きい。なお、上記幅に関わるデザインは、前記自己整列プローブ４が前記第１の誘導板ユニット１及び前記第２の誘導板ユニット２に埋める時の難しさを効果的に下げることができる。また、前記自己整列プローブ４の断面積は、前記幅狭領域４５１から前記整列凸部４３１に向かって徐々に増加することによって、前記第１の接続部４３は前記弧状部４５が受けた応力を分担できるようになる。

【0028】

また、本実施形態では、前記自己整列プローブ４を前記第１の誘導板ユニット１及び前記第２の誘導板ユニット２に埋めるのをより容易にすると共に、さらに前記プローブカード装置１０００の全体的な安定性を維持するために。前記整列凸部４３１と前記幅狭領域４５１とはそれぞれ前記基準軸線Ｌに関し反対側に配置されてもよいが、本発明はこの例に制限されない。例えば、本発明に係る図示されない他の実施形態において、前記整列凸部４３１と前記幅狭領域４５１とは前記基準軸線Ｌに関し同側に配置されてもよい。

【0029】

また、前記自己整列プローブ４のそれぞれでは、前記弧状部４５に前記第１の誘導板ユニット１に近接するリブ４６が形成されてもよい。かつ、前記リブ４６と前記整列凸部４３１とはそれぞれ前記基準軸線Ｌに関し反対側に位置してもよい。また、前記自己整列プローブ４のそれぞれにおける前記リブ４６は、前記第１の誘導板ユニット１と接触していない。即ち、基準軸線Ｌに関し前記整列凸部４３１と同側に位置するか、または前記第１の誘導板ユニット１に接触した何れの凸部は、本実施形態に示された前記リブ４６とは言えない。

【0030】

上記を踏まえて、図２及び図６に示すように、前記第１の誘導板ユニット１と前記第２の誘導板ユニット２とが互いに斜めに位置ずれている場合、複数の前記自己整列プローブ４における前記弧状部４５は、同側に向かって排列される。かつ、前記自己整列プローブ４のそれぞれに前記整列凸部４３１が形成されるため、前記転送端部４１は８５度～９５度の角度σで前記信号転送板２００に当接する。なかでも、前記転送端部４１はほぼ９０度の角度σ（例えば、８８度～９２度）で前記信号転送板２００に当接するのが好ましいが、本発明はこの例に制限されない。言い換えれば、前記自己整列プローブ４を整列凸部４３１を有しない導電性プローブ４ａで置き換えられた時（例えば、図７）、前記導電性プローブ４ａは、８５度未満の角度α（例えば、７０度）で前記信号転送板２００に当接するようになる。

【0031】

このように、前記プローブカード装置１０００は、本実施形態では、前記自己整列プローブ４の構造（例えば、前記第１の接続部４３に前記整列凸部４３１が形成される）によって、前記自己整列プローブ４と前記第１の誘導板ユニット１との間の隙間Ｇは効果的に制御され、前記プローブカード装置１０００の発展と応用に有利となる。なかでも、前記自己整列プローブ４はさらに前記整列凸部４３１と前記幅狭領域４５１とがそれぞれ前記基準軸線Ｌに関し反対側に位置する構成によって、前記第１の接続部４３は、一部の応力を分担するように前記整列凸部４３１で前記第１の誘導板ユニット１に当接することになり、前記自己整列プローブ４の使用年限をさらに延びることができる。

【0032】

また、前記プローブカード装置は、前記自己整列プローブ４と前記第１の誘導板ユニット１との間の前記隙間Ｇを４μm未満にすることによって、前記第１の誘導板ユニット１と前記第２の誘導板ユニット２との位置ずれによる前記転送端部４１のオフセットを抑えることができる。即ち、前記転送端部４１は、前記整列凸部４３１で校正され、８５度～９５度の角度σで前記信号転送板２００に当接するようになる。

【0033】

また、前記自己整列プローブ４は、前記整列凸部４３１によって前記転送端部４１を整列するため、前記自己整列プローブ４の前記転送端部４１はさらに短くされることができ、このように、前記自己整列プローブ４はより多くのテストに適用することができる。
［本発明による技術的効果］

【0034】

上記を纏めて、本発明に係る実施形態に開示されたプローブカード装置及び自己整列プローブは、前記第１の接続部に前記整列凸部が形成されることによって、前記自己整列プローブと前記第１の誘導板ユニットとの間の隙間は効果的に制御でき、前記プローブカード装置の発展と応用に有利である。

【0035】

さらに、本発明に係る実施形態に開示されたプローブカード装置及び自己整列プローブは、前記弧状部の構成によって、前記弧状部が変形する時、応力は特定のエリアに集中されずに比較的に前記弧状部の各部分に分散され、さらに前記自己整列プローブの使用年限を効果的に延びることができる。

【0036】

以上に開示された内容は本発明の好ましい実施形態に過ぎず、これにより本発明の特許請求の範囲を制限するものではない。そのため、本発明の明細書及び添付図面の内容に基づき為された等価の技術変形は、全て本発明の特許請求の範囲に含まれるものとする。

【符号の説明】

【0037】

１０００：プローブカード装置
１００：プローブヘッド
１：第１の誘導板ユニット
２：第２の誘導板ユニット
３：スペーサー
４：自己整列プローブ
４１：転送端部
４２：試験端部
４３：第１の接続部
４３１：整列凸部
４４：第２の接続部
４５：弧状部
４５１：幅狭領域
４６：リブ
２００：信号転送板
Ｌ：基準軸線
Ｄ：最大距離
σ：角度
Ｇ：隙間
Ｄ４：間隔
Ｗ４３：最大幅
Ｗ４４：最大幅
４ａ：導電性プローブ
α：角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】