特開 2022-83454 光学素子駆動装置、カメラモジュール、及びカメラ搭載装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022083454

(43)【公開日】2022-06-03

(54)【発明の名称】光学素子駆動装置、カメラモジュール、及びカメラ搭載装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 7/04 20210101AFI20220527BHJP

   G02B 7/02 20210101ALI20220527BHJP

   G03B 15/00 20210101ALI20220527BHJP

   G03B 5/00 20210101ALI20220527BHJP

   H04N 5/225 20060101ALI20220527BHJP

   H04N 5/232 20060101ALI20220527BHJP

【ＦＩ】

G02B7/04 E

G02B7/02 Z

G03B15/00 V

G03B5/00 J

H04N5/225 700

H04N5/232 480

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022048578

(22)【出願日】2022-03-24

(62)【分割の表示】P 2022516388の分割

【原出願日】2021-09-28

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2022-05-25

(31)【優先権主張番号】63/117,857

(32)【優先日】2020-11-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】000006220

【氏名又は名称】ミツミ電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002952

【氏名又は名称】特許業務法人鷲田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大坂 智彦

【テーマコード（参考）】

2H044

2K005

5C122

【Ｆターム（参考）】

2H044AJ06

2H044BE00

2H044BE05

2H044BE10

2H044BE20

2K005AA04

2K005CA22

2K005CA23

2K005CA44

2K005CA45

2K005CA55

5C122DA09

5C122DA14

5C122EA41

5C122FB03

5C122FC01

5C122FC02

5C122FD01

5C122GE06

5C122GE11

5C122GE17

5C122GE20

5C122HA82

(57)【要約】

【課題】能動要素又は受動要素の摩耗に伴う経時的な駆動性能の低下を抑制できる、信頼性の高い光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供すること。
【解決手段】光学素子駆動装置は、固定部と、前記固定部に対して離間して配置される可動部と、前記固定部に対して前記可動部を支持する支持部と、圧電素子及び前記圧電素子の振動に共振する能動要素を有する超音波モーター、並びに前記能動要素に対して相対的に移動する受動要素を有し、前記能動要素及び前記受動要素が、付勢された状態で当接するよう構成され、前記固定部に対して前記可動部を移動させる駆動ユニットと、前記受動要素の受動側接触部と前記能動要素の能動側接触部との接触領域の少なくとも一部を前記受動要素上で囲う囲繞部と、を備える。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定部と、
前記固定部に対して離間して配置される可動部と、
前記固定部に対して前記可動部を支持する支持部と、
圧電素子及び前記圧電素子の振動に共振する能動要素を有する超音波モーター、並びに前記能動要素に対して相対的に移動する受動要素を有し、前記能動要素及び前記受動要素が、付勢された状態で当接するよう構成され、前記固定部に対して前記可動部を移動させる駆動ユニットと、
前記受動要素の受動側接触部と前記能動要素の能動側接触部との接触領域の少なくとも一部を前記受動要素上で囲う囲繞部と、を備える、
光学素子駆動装置。

【請求項2】

前記囲繞部は、粘性流体で形成されている、
請求項１に記載の光学素子駆動装置。

【請求項3】

前記囲繞部は、粘性流体で形成され、前記可動部の移動に伴い弾性変形する弾性部を有する、
請求項１に記載の光学素子駆動装置。

【請求項4】

前記囲繞部は、
前記接触領域を取り囲むように枠状に形成された粘性流体と、
前記能動要素に固定され前記粘性流体の開口を密閉するフランジ部と、を有する、
請求項１に記載の光学素子駆動装置。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか一項に記載の光学素子駆動装置と、
前記可動部に装着される光学素子と、
前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える、
カメラモジュール。

【請求項6】

情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
請求項５に記載のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える、
カメラ搭載装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学素子駆動装置、カメラモジュール、及びカメラ搭載装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、スマートフォン等の携帯端末には、小型のカメラモジュールが搭載されている。このようなカメラモジュールには、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うオートフォーカス機能（以下「ＡＦ機能」と称する、ＡＦ：Auto Focus）及び撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して画像の乱れを軽減する振れ補正機能（以下「ＯＩＳ機能」と称する、ＯＩＳ：Optical Image Stabilization）を有する光学素子駆動装置が適用される（例えば特許文献１）。

【0003】

ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を有する光学素子駆動装置は、レンズ部を光軸方向に移動させるためのオートフォーカス駆動ユニット（以下「ＡＦ駆動ユニット」と称する）と、レンズ部を光軸方向に直交する平面内で移動させるための振れ補正駆動ユニット（以下「ＯＩＳ駆動ユニット」と称する）と、を備える。特許文献１では、ＡＦ駆動ユニット及びＯＩＳ駆動ユニットに、超音波モーター型の駆動ユニットが適用されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２０１５／１２３７８７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、超音波モーター型の駆動ユニットにおいては、共振部からなる能動要素と、能動要素に対して相対的に移動する受動要素とが、付勢された状態で接触し、駆動時には両者が摺動することとなるため、摩耗によって経時的に駆動性能が損なわれる虞がある。特に、能動要素と受動要素との間で受動要素を移動できる程度の摩擦力が必要である一方、摩擦力が増大すると接触部分が摩耗しやすくなるため、これらをバランスさせることが重要となる。

【0006】

本発明の目的は、能動要素又は受動要素の摩耗に伴う経時的な駆動性能の低下を抑制できる、信頼性の高い光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る光学素子駆動装置の一態様は、
固定部と、
前記固定部に対して離間して配置される可動部と、
前記固定部に対して前記可動部を支持する支持部と、
圧電素子及び前記圧電素子の振動に共振する能動要素を有する超音波モーター、並びに前記能動要素に対して相対的に移動する受動要素を有し、前記能動要素及び前記受動要素が、付勢された状態で当接するよう構成され、前記固定部に対して前記可動部を移動させる駆動ユニットと、
前記受動要素の受動側接触部と前記能動要素の能動側接触部との接触領域の少なくとも一部を前記受動要素上で囲う囲繞部と、を備える。

【0008】

本発明に係るカメラモジュールは、
上記の光学素子駆動装置と、
前記可動部に装着される光学素子と、
前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える。

【0009】

本発明に係るカメラ搭載装置は、
情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
上記のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、能動要素又は受動要素の摩耗に伴う経時的な駆動性能の低下を抑制できる、信頼性の高い光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１Ａ、図１Ｂは、本発明の一実施の形態に係るカメラモジュールを搭載するスマートフォンを示す図である。

【図2】図２は、カメラモジュールの外観斜視図である。

【図3】図３は、光学素子駆動装置の外観斜視図である。

【図4】図４は、光学素子駆動装置の外観斜視図である。

【図5】図５は、光学素子駆動装置の分解斜視図である。

【図6】図６は、光学素子駆動装置の分解斜視図である。

【図7】図７は、ベースの配線構造を示す平面図である。

【図8】図８Ａ、図８Ｂは、ＯＩＳ駆動ユニットの斜視図である。

【図9】図９Ａ～図９Ｃは、ＯＩＳ共振部とＯＩＳプレートとの接触部分を示す拡大図である。

【図10】図１０は、ＯＩＳ可動部の分解斜視図である。

【図11】図１１は、ＯＩＳ可動部の分解斜視図である。

【図12】図１２は、ＯＩＳ可動部の分解斜視図である。

【図13】図１３Ａ、図１３Ｂは、ＡＦ駆動ユニットの斜視図である。

【図14】図１４Ａ、図１４Ｂは、ＡＦ駆動ユニットの保持構造を示す図である。

【図15】図１５は、ＯＩＳ可動部を光軸方向受光側から見た平面図である。

【図16】図１６Ａ、図１６Ｂは、ＡＦ可動部及び第１ステージの平面図である。

【図17】図１７Ａ、図１７Ｂは、ＡＦ駆動ユニット１４の周辺部分の横断面図及び縦断面図である。

【図18】図１８Ａ、図１８Ｂは、ＡＦ支持部の配置を示す拡大図である。

【図19】図１９Ａ、図１９Ｂは、車載用カメラモジュールを搭載するカメラ搭載装置としての自動車を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

【0013】

図１Ａ、図１Ｂは、本発明の一実施の形態に係るカメラモジュールＡを搭載するスマートフォンＭ（カメラ搭載装置の一例）を示す図である。図１ＡはスマートフォンＭの正面図であり、図１ＢはスマートフォンＭの背面図である。

【0014】

スマートフォンＭは、２つの背面カメラＯＣ１、ＯＣ２からなるデュアルカメラを有する。本実施の形態では、背面カメラＯＣ１、ＯＣ２に、カメラモジュールＡが適用されている。
カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を備え、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うとともに、撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して像ぶれのない画像を撮影することができる。

【0015】

図２は、カメラモジュールＡの外観斜視図である。図３及び図４は、実施の形態に係る光学素子駆動装置１の外観斜視図である。図４は、図３をＺ軸周りに１８０°回転した状態を示す。図２～４に示すように、実施の形態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用して説明する。後述する図においても共通の直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で示している。

【0016】

カメラモジュールＡは、例えば、スマートフォンＭで実際に撮影が行われる場合に、Ｘ方向が上下方向（又は左右方向）、Ｙ方向が左右方向（又は上下方向）、Ｚ方向が前後方向となるように搭載される。すなわち、Ｚ方向が光軸方向であり、図中上側（＋Ｚ側）が光軸方向受光側、下側（－Ｚ側）が光軸方向結像側である。また、Ｚ軸に直交するＸ方向及びＹ方向を「光軸直交方向」と称し、ＸＹ面を「光軸直交面」と称する。

【0017】

図２～４に示すように、カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を実現する光学素子駆動装置１、円筒形状のレンズバレルにレンズが収容されてなるレンズ部２、及びレンズ部２により結像された被写体像を撮像する撮像部３等を備える。すなわち、光学素子駆動装置１は、光学素子としてレンズ部２を駆動する、いわゆるレンズ駆動装置である。

【0018】

撮像部３は、光学素子駆動装置１の光軸方向結像側に配置される。撮像部３は、例えば、イメージセンサー基板３０１、イメージセンサー基板３０１に実装される撮像素子３０２及び制御部３０３を有する。撮像素子３０２は、例えば、ＣＣＤ（charge-coupled device）型イメージセンサー、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）型イメージセンサー等により構成され、レンズ部２により結像された被写体像を撮像する。制御部３０３は、例えば、制御ＩＣで構成され、光学素子駆動装置１の駆動制御を行う。光学素子駆動装置１は、イメージセンサー基板３０１に搭載され、機械的かつ電気的に接続される。なお、制御部３０３は、イメージセンサー基板３０１に設けられてもよいし、カメラモジュールＡが搭載されるカメラ搭載機器（実施の形態では、スマートフォンＭ）に設けられてもよい。

【0019】

光学素子駆動装置１は、外側をカバー２４で覆われている。カバー２４は、光軸方向から見た平面視で矩形状の有蓋四角筒体である。実施の形態では、カバー２４は、平面視で正方形状を有している。カバー２４は、上面に略円形の開口２４１を有する。レンズ部２は、カバー２４の開口２４１から外部に臨み、例えば、光軸方向における移動に伴い、カバー２４の開口面よりも受光側に突出するように構成される。カバー２４は、光学素子駆動装置１のＯＩＳ固定部２０のベース２１（図５参照）に、例えば、接着により固定される。

【0020】

図５、図６は、実施の形態に係る光学素子駆動装置１の分解斜視図である。図６は、図５をＺ軸周りに１８０°回転した状態を示す。図５は、ＯＩＳ駆動ユニット３０及びセンサー基板２２をベース２１に取り付けた状態を示し、図６は、ＯＩＳ駆動ユニット３０及びセンサー基板２２をベース２１から取り外した状態を示している。

【0021】

図５、図６に示すように、本実施の形態において、光学素子駆動装置１は、ＯＩＳ可動部１０、ＯＩＳ固定部２０、ＯＩＳ駆動ユニット３０及びＯＩＳ支持部４０を備える。ＯＩＳ駆動ユニット３０は、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘ及びＹ方向駆動ユニット３０Ｙを有する。

【0022】

ＯＩＳ可動部１０は、振れ補正時に光軸直交面内で移動する部分である。ＯＩＳ可動部１０は、ＡＦユニット、第２ステージ１３及びＸ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄ（図１０等参照）を含む。ＡＦユニットは、ＡＦ可動部１１、第１ステージ１２、ＡＦ駆動ユニット１４及びＡＦ支持部１５を有する（図１０～１２参照）。
ＯＩＳ固定部２０は、ＯＩＳ支持部４０を介してＯＩＳ可動部１０が接続される部分である。ＯＩＳ固定部２０は、ベース２１を含む。
ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ固定部２０に対して光軸方向に離間して配置され、ＯＩＳ支持部４０を介してＯＩＳ固定部２０と連結される。また、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０は、ＯＩＳ用付勢部材５０によって、互いに近づく方向に付勢されている。ＯＩＳ用付勢部材５０は、例えば、光学素子駆動装置１の平面視における四隅に配置される。

【0023】

本実施の形態では、Ｙ方向の移動に関しては、ＡＦユニットを含むＯＩＳ可動部１０の全体が可動体として移動する。一方、Ｘ方向の移動に関しては、ＡＦユニットだけが可動体として移動する。つまり、Ｘ方向の移動に関しては、第２ステージ１３は、ベース２１とともにＯＩＳ固定部２０を構成し、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２ＣはＯＩＳ支持部４０として機能する。

【0024】

ベース２１は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ（例えば、ＰＡＲ／ＰＣ）、又は液晶ポリマーからなる成形材料で形成される。ベース２１は、平面視で矩形状の部材であり、中央に円形の開口２１１を有する。

【0025】

ベース２１は、ベース２１の主面を形成する第１ベース部２１２及び第２ベース部２１３を有する。第２ベース部２１３は、ＯＩＳ可動部１０の光軸方向結像側に突出する部分、すなわち、ＡＦ可動部１１の突出部１１２Ａ～１１２Ｄ及び第１ステージ１２のＡＦモーター固定部１２５（図１１参照）に対応して設けられている。第２ベース部２１３は、振れ補正時に干渉が生じないように、突出部１１２Ａ～１１２Ｄ及びＡＦモーター固定部１２５よりも、平面視において一回り大きく形成されている。第２ベース部２１３のうち、端子金具２３Ｂが配置される領域には、一部が露出するようにセンサー基板２２が配置される。第２ベース部２１３は、第１ベース部２１２に対して凹んで形成され、これにより、ＡＦ可動部１１の移動ストロークの確保と光学素子駆動装置１の低背化が図られている。

【0026】

本実施の形態では、センサー基板２２は、ＡＦ駆動ユニット１４及びＯＩＳ駆動ユニット３０が配置されていない領域、すなわち、ベース２１の平面形状である矩形の一辺（第４の辺）に対応する領域に設けられている。これにより、磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ、２５Ｚ用の給電ライン及び信号ラインを集約することができ、ベース２１における配線構造を簡略化することができる（図７参照）。

【0027】

ベース２１は、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙが配置されるＯＩＳモーター固定部２１５を有する。ＯＩＳモーター固定部２１５は、例えば、ベース２１の角部に設けられ、第１ベース部２１２から光軸方向受光側に向けて突出して形成され、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙを保持可能な形状を有している。

【0028】

ベース２１には、例えば、インサート成形により、端子金具２３Ａ～２３Ｃが配置される。端子金具２３Ａは、ＡＦ駆動ユニット１４及びＸ方向駆動ユニット３０Ｘへの給電ラインを含む。端子金具２３Ａは、例えば、ベース２１の四隅から露出し、ＯＩＳ用付勢部材５０と電気的に接続される。ＡＦ駆動ユニット１４及びＸ方向駆動ユニット３０Ｘへの給電は、ＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。端子金具２３Ｂは、磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ、２５Ｚへの給電ライン（例えば、４本）及び信号ライン（例えば、６本）を含む。端子金具２３Ｂは、センサー基板２２に形成された配線（図示略）と電気的に接続される。端子金具２３Ｃは、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙへの給電ラインを含む。

【0029】

また、ベース２１は、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１Ａ～４１Ｃが配置されるＹ方向基準ボール保持部２１７Ａ～２１７Ｃを有する。Ｙ方向基準ボール保持部２１７Ａ～２１７Ｃは、Ｙ方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。Ｙ方向基準ボール保持部２１７Ａ～２１７Ｃは、底面側に向けて溝幅が狭くなるように断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）に形成される。

【0030】

本実施の形態では、Ｙ方向基準ボール保持部２１７Ａ、２１７Ｂは、ベース２１のＹ方向駆動ユニット３０Ｙが配置される辺（第３の辺）に設けられ、Ｙ方向基準ボール保持部２１７Ｃは、センサー基板２２が配置される辺（第４の辺）に設けられており、Ｙ方向基準ボール保持部２１７Ａ～２１７Ｃに配置されるＹ方向基準ボール４１Ａ～４１ＣによってＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１３）が３点で支持されるようになっている。

【0031】

センサー基板２２は、磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ、２５Ｚ用の給電ライン及び信号ラインを含む配線（図示略）を有する。センサー基板２２には、磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ、２５Ｚが実装される。磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ、２５Ｚは、例えば、ホール素子又はＴＭＲ（Tunnel Magneto Resistance）センサー等で構成され、センサー基板２２に形成された配線（図示略）を介して、端子金具２３Ｂと電気的に接続される。また、センサー基板２２において、Ｙ方向基準ボール保持部２１７Ｃに対応する部分には、開口２２１が設けられている。

【0032】

ＯＩＳ可動部１０の第１ステージ１２において、磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙに対向する位置にはマグネット１６Ｘ、１６Ｙが配置される（図１２参照）。磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ及びマグネット１６Ｘ、１６Ｙからなる位置検出部により、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向及びＹ方向の位置が検出される。
また、ＯＩＳ可動部１０のＡＦ可動部１１において、磁気センサー２５Ｚに対向する位置にはマグネット１６Ｚが配置される（図１２参照）。磁気センサー２５Ｚ及びマグネット１６Ｚからなる位置検出部により、ＡＦ可動部１１のＺ方向の位置が検出される。なお、マグネット１６Ｘ、１６Ｙ、１６Ｚと磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙ、２５Ｚに代えて、フォトリフレクター等の光センサーによりＯＩＳ可動部１０のＸ方向及びＹ方向の位置並びにＡＦ可動部１１のＺ方向の位置を検出するようにしてもよい。

【0033】

ＯＩＳ用付勢部材５０は、例えば、引張コイルバネで構成され、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０を連結する。本実施の形態では、ＯＩＳ用付勢部材５０の一端は、ベース２１の端子金具２３Ａに接続され、他端は、第１ステージ１２の配線１７Ａ、１７Ｂに接続されている。すなわち、本実施の形態では、ＯＩＳ用付勢部材５０は、ＡＦ駆動ユニット１４及びＸ方向駆動ユニット３０Ｘへの給電ラインとして機能する。
また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０を連結したときの引張荷重を受けて、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０が互いに近づくように作用する。すなわち、ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ用付勢部材５０によって、光軸方向に付勢された状態（ベース２１に押し付けられた状態）で、ＸＹ面内で移動可能に保持されている。これにより、ＯＩＳ可動部１０をがたつきのない安定した状態で保持することができる。

【0034】

ＯＩＳ用付勢部材５０には、振動を抑制するダンパー材（図示略）が配置されてもよい。ダンパー材は、例えば、ＯＩＳ用付勢部材５０を全体的に覆うように配置される。ダンパー材は、例えば、ＯＩＳ用付勢部材５０を組み付けた後、バネが伸張した状態で形成される。ダンパー材は、ＯＩＳ用付勢部材５０の中空部に留まることができ、かつ、ＯＩＳ可動部１０がＸＹ面内で移動する際の追従性が損なわれない程度の粘性及び弾性を有するゲル状の樹脂材料で形成される。ダンパー材としては、例えば、シリコーン材又はシリコーン系の制振材などを適用できる。なお、ダンパー材は、軸方向に隣接するバネ要素間の隙間のみを埋めるように配置されてもよいし、コイルバネの内部（中空部）のみに充填されてもよい。
ＯＩＳ用付勢部材５０にダンパー材を配置することにより、ＯＩＳ用付勢部材５０の振動が短時間で効率よく減衰され、ＯＩＳ用付勢部材５０の振動に伴う空気振動も抑制される。したがって、駆動音の発生を抑制でき、光学素子駆動装置１の静音性能が格段に向上する。

【0035】

ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ固定部２０に対して、ＯＩＳ可動部１０を光軸方向に離間した状態で支持する。本実施の形態では、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１３）とベース２１の間に介在する３個のＹ方向基準ボール４１Ａ～４１Ｃを含む。
また、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０において、第１ステージ１２と第２ステージ１３の間に介在する４個のＸ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄを含む（図１０等参照）。

【0036】

本実施の形態では、Ｙ方向基準ボール４１Ａ～４１Ｃ及びＸ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄ（計７個）の転動可能な方向を規制することにより、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ面内で精度よく移動できるようになっている。なお、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール及びＸ方向基準ボールの数は、適宜変更することができる。

【0037】

ＯＩＳ駆動ユニット３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向及びＹ方向に移動させるアクチュエーターである。具体的には、ＯＩＳ駆動ユニット３０は、ＯＩＳ可動部１０（ＡＦユニットのみ）をＸ方向に移動させるＸ方向駆動ユニット３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０全体をＹ方向に移動させるＹ方向駆動ユニット３０Ｙとで構成される。
Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘは、第１ステージ１２のＸ方向に沿うＯＩＳモーター固定部１２４に固定される（図１１参照）。Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙは、Ｙ方向に沿って延在するように、ベース２１のＯＩＳモーター固定部２１５に固定される。すなわち、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘ及びＹ方向駆動ユニット３０Ｙは、互いに直交する辺に沿って配置されている。Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘ及びＹ方向駆動ユニット３０Ｙは、後述するように超音波モーターＵＳＭ１を含む。

【0038】

ＯＩＳ駆動ユニット３０の構成を図８Ａ、図８Ｂに示す。図８Ａは、ＯＩＳ駆動ユニット３０の各部材を組み付けた状態を示し、図８Ｂは、ＯＩＳ駆動ユニット３０の各部材を分解した状態を示す。なお、図８Ａ、図８Ｂは、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙを示しているが、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘの主要構成、具体的にはＯＩＳ電極３３の形状を除く構成は同様であるので、ＯＩＳ駆動ユニット３０を示す図として扱う。

【0039】

図８Ａ、図８Ｂに示すように、ＯＩＳ駆動ユニット３０は、ＯＩＳ用超音波モーターＵＳＭ１及びＯＩＳ動力伝達部３４を有する。ＯＩＳ用超音波モーターＵＳＭ１は、ＯＩＳ共振部３１、ＯＩＳ圧電素子３２及びＯＩＳ電極３３で構成される。ＯＩＳ超音波モーターＵＳＭ１の駆動力は、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して第２ステージ１３に伝達される。具体的には、Ｘ方向駆動ユニット３０ＸはＯＩＳ動力伝達部３４を介して第２ステージ１３に接続され、Ｙ方向駆動ユニット３０ＹはＯＩＳ動力伝達部３４を介して第２ステージ１３に接続されている。すなわち、ＯＩＳ駆動ユニット３０において、ＯＩＳ共振部３１が能動要素を構成し、ＯＩＳ動力伝達部３４が受動要素を構成する。

【0040】

ＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。ＯＩＳ共振部３１の胴部３１１を挟み込むように、２枚のＯＩＳ圧電素子３２が配置される。
ＯＩＳ電極３３は、ＯＩＳ共振部３１及びＯＩＳ圧電素子３２を挟持し、ＯＩＳ圧電素子３２に電圧を印加する。Ｘ方向駆動ユニット３０ＸのＯＩＳ電極３３は、第１ステージ１２の配線１７Ａと電気的に接続され、Ｙ方向駆動ユニット３０ＹのＯＩＳ電極３３は、ベース２１の端子金具２３Ｃと電気的に接続される。

【0041】

ＯＩＳ共振部３１は、導電性材料で形成され、ＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。本実施の形態では、ＯＩＳ共振部３１は、ＯＩＳ圧電素子３２に挟持される略矩形状の胴部３１１、胴部３１１の上部及び下部からＸ方向又はＹ方向に延在する２つのアーム部３１２、胴部３１１の中央部からＸ方向又はＹ方向に延在する突出部３１３、及び、胴部３１１の中央部から突出部３１３とは反対側に延在する通電部３１４を有している。
２つのアーム部３１２は対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がＯＩＳ動力伝達部３４に当接し、ＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して対称的に変形する。本実施の形態では、２つのアーム部３１２は、ＯＩＳ動力伝達部３４のＯＩＳプレート３４１と当接する当接面が内側を向き、対向するように形成されている。
Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘの通電部３１４は、第１ステージ１２の配線１７Ａと電気的に接続され、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙの通電部３１４は、ベース２１の端子金具２３Ｃと電気的に接続される。

【0042】

ＯＩＳ共振部３１は、所定の導電性、せん断強度、硬度、比重、ヤング率等を有する金属であればよく、例えば、ステンレス綱が好適である。ステンレス綱のビッカース硬度は、１８０～４００ＨＶである。ＯＩＳ共振部３１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。なお、ＯＩＳプレート３４１と接触することとなるアーム部３１２の先端（能動側接触部）には、例えば、硬質メッキや塗装などのコーティング層が設けられてもよいし、コーティング層以外の表面処理が施されてもよい。

【0043】

ＯＩＳ共振部３１の胴部３１１に、厚さ方向からＯＩＳ圧電素子３２が貼り合わされ、ＯＩＳ電極３３により挟持されることにより、これらは互いに電気的に接続される。例えば、給電経路の一方がＯＩＳ電極３３に接続され、他方がＯＩＳ共振部３１の通電部３１４に接続されることで、ＯＩＳ圧電素子３２に電圧が印加され、振動が発生する。

【0044】

ＯＩＳ共振部３１は、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＯＩＳ共振部３１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。

【0045】

ＯＩＳ動力伝達部３４は、一方向に延在するチャッキングガイドであり、一端がＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２に接続され、他端が第２ステージ１３に接続される。ＯＩＳ動力伝達部３４は、第１ステージ１２又は第２ステージ１３に接続されるステージ接続部材３４２、及び、ＯＩＳ用超音波モーターＵＳＭ１（ＯＩＳ共振部３１）とステージ接続部材３４２を連結する板状のＯＩＳプレート３４１を有する。

【0046】

ＯＩＳプレート３４１は、ＯＩＳ共振部３１の２つのアーム部３１２のそれぞれに当接するように、２つ設けられる。２つのＯＩＳプレート３４１は、互いに略平行に配置される。ＯＩＳプレート３４１において、ＯＩＳ共振部３１と当接する側の面を「第１面」、反対側の面を「第２面」と称する。ＯＩＳプレート３４１は、第２面同士が対向するように配置されている。
ＯＩＳプレート３４１の一端部３４１ｂは、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の自由端部と摺動可能に当接する（以下、「ＯＩＳモーター当接部３４１ｂ」と称する）。ＯＩＳプレート３４１の他端部（符号略）は、ステージ接続部材３４２に挿入され、固定される。ＯＩＳプレート３４１において、ＯＩＳモーター当接部３４１ｂから他端部に向かって延びる部分を「延在部３４１ａ」と称する。

【0047】

ＯＩＳプレート３４１は、ＯＩＳ共振部３１と同等以上の剛性を有することが好ましく、例えば、ステンレス鋼が好適である。これにより、ＯＩＳプレート３４１に自己復元性を付与して板バネとして機能させることができ、ＯＩＳ共振部３１とＯＩＳプレート３４１との間で所望の摩擦力を発現させやすくなる。なお、ＯＩＳ共振部３１を形成するステンレス綱とＯＩＳプレート３４１を形成するステンレス綱は、同じ鋼種であってもよいし、異なる鋼種であってもよい。例えば、ＯＩＳ共振部３１からＯＩＳプレート３４１への力の伝達等を考慮して、適切な鋼種が選択される。

【0048】

ステージ接続部材３４２は、第２ステージ１３のＯＩＳチャッキングガイド固定部１３５（図１０等参照）に固定される。ステージ接続部材３４２は、例えば、ＯＩＳプレート３４１の延在部３４１ａの根元を幅方向に挟み込む構造を有する。これにより、経時的にＯＩＳプレート３４１がずれて脱落するのを防止でき、信頼性が向上する。

【0049】

ＯＩＳモーター当接部３４１ｂ間の離隔幅は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の自由端部間の離隔幅よりも広く設定される。本実施の形態では、ステージ接続部材３４２は、ＯＩＳプレート３４１が接続される部分に、離隔部３４２ａ及びプレート固定部３４２ｂを有する。プレート固定部３４２ｂは、溝状に形成されており、ＯＩＳプレート３４１の端部が挿入される。離隔部３４２ａの幅を、プレート固定部３４２ｂの幅よりも大きくすることで、２つの延在部３４１ａはＯＩＳモーター当接部３４１ｂに向かって離れるように配置され、ＯＩＳモーター当接部３４１ｂ間の幅も拡がる。ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の間にＯＩＳ動力伝達部３４を取り付けたときに、延在部３４１ａが板バネとして機能し、アーム部３１２を押し広げる方向に付勢力が作用する。この付勢力により、アーム部３１２の自由端部間にＯＩＳ動力伝達部３４が保持され、ＯＩＳ共振部３１からの駆動力がＯＩＳ動力伝達部３４に効率よく伝達される。

【0050】

ＯＩＳ共振部３１とＯＩＳ動力伝達部３４は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をＸ方向又はＹ方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置１の外形を大きくすることなく、ＯＩＳ可動部１０の移動ストロークを長くすることができる。

【0051】

Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘは、ＯＩＳ可動部１０（第１ステージ１２）に固定され、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して第２ステージ１３と接続されており、Ｙ方向駆動ユニット３０ＹによるＹ方向の振れ補正時は、ＯＩＳ可動部１０とともに移動する。一方、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙは、ＯＩＳ固定部２０（ベース２１）に固定され、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して第２ステージ１３と接続されており、Ｘ方向駆動ユニット３０ＸによるＸ方向の振れ補正に影響を受けない。すなわち、一方のＯＩＳ駆動ユニット３０によるＯＩＳ可動部１０の移動は、他方のＯＩＳ駆動ユニット３０の構造によって妨げられない。したがって、ＯＩＳ可動部１０のＺ軸周りの回転を防止することができ、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ面内で精度よく移動させることができる。

【0052】

２つの延在部３４１ａの間には、ダンパー材（図示略）が配置されてもよい。ダンパー材は、例えば、ＯＩＳ共振部３１の２つのアーム部３１２の間にＯＩＳ動力伝達部３４を接続した後に配置される。ダンパー材は、２つの延在部３４１ａの間に留まることができ、かつ、ＯＩＳ動力伝達部３４の移動が損なわれない程度の粘性及び弾性を有するゲル状の樹脂材料で形成される。ダンパー材としては、例えば、シリコーン材又はシリコーン系の制振材などを適用できる。
２つの延在部３４１ａの間にダンパー材が配置されることにより、２つの延在部３４１ａの振動が短時間で効率よく減衰され、対向する第２面からの振動伝達による空気振動も抑制される。したがって、駆動音の発生を抑制でき、光学素子駆動装置１の静音性能が格段に向上する。

【0053】

ダンパー材は、ＯＩＳプレート３４１の延在部３４１ａにだけ配置され、ＯＩＳモーター当接部３４１ｂには配置さないことが好ましい。これにより、ＯＩＳモーター当接部３４１ｂとＯＩＳ共振部３１との当接状態（摺動状態）に対するダンパー材の影響を抑制でき、ダンパー材を設けない場合と同様、安定した駆動性能を得ることができる。

【0054】

また、本実施の形態では、ＯＩＳ駆動ユニット３０において、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２とＯＩＳプレート３４１とが接触する接触部分に、摩耗に伴う駆動性能の低下を抑制するための構造が適用されている。図９Ａ～図９Ｃに、ＯＩＳ共振部３１とＯＩＳプレート３４１との接触部分を示す。図９Ａは、ＯＩＳ駆動ユニット３０の斜視図、図９Ｂは、ＯＩＳ駆動ユニット３０お側面図、図９Ｃは、接触部分の拡大図である。

【0055】

図９Ａ～図９Ｃに示すように、ＯＩＳプレート３４１のＯＩＳモーター当接部３４１ｂには、ジルコニア等のセラミック材で形成された摺動プレート３４３が配置されている。つまり、本実施の形態では、摺動プレート３４３が、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の先端（能動側接触部）と接触する受動側接触部となる。摺動プレート３４３は、例えば、ＯＩＳモーター当接部３４１ｂに接着により固定される。

【0056】

摺動プレート３４３の平面視の大きさは、ＯＩＳ可動部１０がＸ方向又はＹ方向へ移動する際に、能動側接触部と接触することとなる領域よりも大きく設定される。また、摺動プレート３４３の厚さは、ＯＩＳプレート３４１の厚さよりも小さいことが好ましい。

【0057】

摺動プレート３４３がジルコニアで形成されている場合、ジルコニアのビッカース硬度は、１２００～１４００ＨＶであり、能動側接触部を形成するステンレス鋼の硬度（１８０～４００ＨＶ）よりも高い。また、摺動プレート３４３の表面粗さは、能動側接触部の表面粗さよりも小さく、滑らかになっている。摺動プレート３４３の表面粗さは、例えば、算術平均粗さＲａで０．１μｍ以下であることが好ましい。

【0058】

このように、能動側接触部が金属で形成され、受動側接触部がセラミック材で形成されることで、摩耗の一因となる凝集を抑制することができる。また、主として能動側接触部であるＯＩＳ共振部３１が削れることとなるので、能動側接触部の表面状態をコントロールすることで、容易に耐摩耗性を向上することができる。また、受動側接触部である摺動プレート３４３に摩耗を生じさせないことで、動作の安定性を向上することができる。すなわち、摺動プレート３４３が局所的に摩耗することにより接触面に筋状の摩耗跡が形成されると、この摩耗跡から能動側要素が外れたときに想定外の動作が生じる虞があるが、このような不具合が生じるのを防止することができる。

【0059】

さらに、本実施の形態では、摺動プレート３４３（受動側接触部）とＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の先端（能動側接触部）とが接触する部分を囲むように、ダストトラップ部３５（囲繞部）が設けられている。具体的には、ダストトラップ部３５は、弾性部３５１及びフランジ部３５２を有する。ダストトラップ部３５は、受動側接触部と能動側接触部との接触領域を含む空間を封止し、接触領域で発生した摩耗粉が飛散するのを防止する。

【0060】

弾性部３５１は、例えば、グリースやゲル状の樹脂等の粘性流体で形成される。弾性部３５１は、受動側接触部と能動側接触部との接触領域を取り囲むように、例えば、矩形枠状に形成される。弾性部３５１は、所定の形状を保持できるとともに、ＯＩＳ可動部１０の移動に追従して弾性変形しうる性状を有する。つまり、受動側接触部と能動側接触部との接触状態は、弾性部３５１によって影響を受けない。

【0061】

フランジ部３５２は、弾性部３５１の開口を密閉するように配置される。フランジ部３５２は、例えば、矩形枠状の硬質成形体をＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２に取り付けて弾性部３５１に押し付け、アーム部３１２と硬質成形体の間にエポキシ樹脂等の接着剤を流し込み、硬化させることで形成される。これにより、弾性部３５１の開口は、気密に封止される。

【0062】

このように、ダストトラップ部３５を設けることにより、接触領域において摩耗粉が発生しても、この摩耗粉がダストトラップ部３５の外部に飛散するのを防止できる。したがって、摩耗粉の飛散に起因する駆動性能の低下を抑制することができる。

【0063】

図１０～図１２は、ＯＩＳ可動部１０の分解斜視図である。図１１は、図１０をＺ軸周りに１８０°回転させた状態を示す。図１２は、図１０をＺ軸周りに１８０°回転させた状態を示す下方斜視図である。なお、図１１では、ＡＦ駆動ユニット１４及びＸ方向駆動ユニット３０Ｘが第１ステージ１２から取り外した状態となっている。
以下において、光学素子駆動装置１の平面形状である矩形において、ＡＦ駆動ユニット１４が配置される辺を「第１の辺」、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘが配置される辺を「第２の辺」、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙが配置される辺を「第３の辺」、残りの一辺を「第４の辺」と称する。

【0064】

図１０～図１２に示すように、本実施の形態において、ＯＩＳ可動部１０は、ＡＦ可動部１１、第１ステージ１２、第２ステージ１３、ＡＦ駆動ユニット１４及びＡＦ支持部１５等を有する。Ｙ方向の移動に関しては、第１ステージ１２及び第２ステージ１３を含むＯＩＳ可動部１０全体が可動体となるのに対して、Ｘ方向の移動に関しては、第２ステージ１３はＯＩＳ固定部２０として機能し、ＡＦユニット（ＡＦ可動部１１及び第１ステージ１２）だけがＯＩＳ可動部１０として機能する。また、第１ステージ１２は、ＡＦ可動部１１を支持するＡＦ固定部として機能する。

【0065】

ＡＦ可動部１１は、レンズ部２（図２参照）を保持するレンズホルダーであり、ピント合わせ時に光軸方向に移動する。ＡＦ可動部１１は、第１ステージ１２（ＡＦ固定部）に対して径方向内側に離間して配置され、ＡＦ支持部１５を介して第１ステージ１２に付勢された状態で支持される。

【0066】

ＡＦ可動部１１は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ、液晶ポリマー等で形成される。ＡＦ可動部１１は、筒状のレンズ収容部１１１を有する。レンズ収容部１１１の内周面には、レンズ部２が、例えば、接着により固定される。

【0067】

ＡＦ可動部１１は、レンズ収容部１１１の外周面に、径方向外側に突出し光軸方向に延在する突出部１１２Ａ～１１２Ｄを有する。突出部１１２Ａ～１１２Ｄは、レンズ収容部１１１の下面よりも光軸方向結像側に突出し、ベース２１の第２ベース部２１３と当接することにより、ＡＦ可動部１１の光軸方向結像側（下側）への移動を規制する。本実施の形態では、突出部１１２Ａ～１１２Ｄは、ＡＦ駆動ユニット１４が駆動されていない基準状態において、ベース２１の第２ベース部２１３に当接する。

【0068】

また、レンズ収容部１１１の外周面には、Ｚ位置検出用のマグネット１６Ｚを収容するマグネット収容部１１４が設けられている。マグネット収容部１１４にマグネット１６Ｚが配置される。センサー基板２２において、マグネット１６Ｚと光軸方向に対向する位置に、Ｚ位置検出用の磁気センサー２５Ｚが配置される（図５参照）。

【0069】

第１ステージ１２は、ＡＦ支持部１５を介してＡＦ可動部１１を支持する。第１ステージ１２の光軸方向結像側には、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄを介して第２ステージ１３が配置される。第１ステージ１２は、振れ補正時にＸ方向及びＹ方向に移動し、第２ステージ１３は、振れ補正時にＹ方向のみに移動する。

【0070】

第１ステージ１２は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第１ステージ１２は、ＡＦ可動部１１に対応する部分に略円形状の開口１２１を有する。開口１２１には、ＡＦ可動部１１の突出部１１２Ａ～１１２Ｄ及びマグネット収容部１１４に対応する切欠部１２２が形成されている。第１ステージ１２において、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘに対応する部分（第２の辺に沿う側壁の外側面）は、径方向外側にはみ出すことなくＸ方向駆動ユニット３０Ｘを配置できるように、径方向内側に凹んで形成されている（ＯＩＳモーター固定部１２４）。また、第１ステージ１２において、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙに対応する部分（第３の辺に沿う側壁の外側面）も同様に、径方向内側に凹んで形成されている。

【0071】

第１ステージ１２は、下面に、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄを保持するＸ方向基準ボール保持部１２３Ａ～１２３Ｄを有する。Ｘ方向基準ボール保持部１２３Ａ～１２３Ｄは、Ｘ方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。Ｘ方向基準ボール保持部１２３Ａ～１２３Ｄは、第２ステージ１３のＸ方向基準ボール保持部１３３Ａ～１３３ＤとＺ方向において対向する。Ｘ方向基準ボール保持部１２３Ａ、１２３Ｂは、底面側に向けて溝幅狭くなるように断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されており、Ｘ方向基準ボール保持部１２３Ｃ、１２３Ｄは、略Ｕ字状に形成されている。

【0072】

第１ステージ１２において、Ｘ方向に沿う一方の側壁（第１の辺に沿う側壁）には、ＡＦ駆動ユニット１４の能動要素であるＡＦ共振部１４１等が配置されるＡＦモーター固定部１２５が形成されている。ＡＦモーター固定部１２５は、上部固定板（符号略）及び下部固定板１２５ａを有し、これらの間にＡＦ共振部１４１が挟持される。ＡＦ共振部１４１は、例えば、上部固定板及び下部固定板１２５ａに設けられた挿入穴（符号略）に挿入され、接着により固定される。上部固定板は、配線１７Ｂの一部によって構成されており、ＡＦ共振部１４１は、配線１７Ｂと電気的に接続される。

【0073】

第１ステージ１２において、Ｙ方向に沿う一方の側壁（第４の辺に沿う側壁）には、ＸＹ位置検出用のマグネット１６Ｘ、１６Ｙが配置される。例えば、マグネット１６ＸはＸ方向に着磁され、マグネット１６ＹはＹ方向に着磁される。センサー基板２２において、マグネット１６Ｘ，１６Ｙと光軸方向に対向する位置に、ＸＹ位置検出用の磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙが配置される（図５参照）。

【0074】

また、第１ステージ１２には、例えば、インサート成形により、配線１７Ａ、１７Ｂが埋設されている。配線１７Ａ、１７Ｂは、例えば、第１の辺及び第２の辺に沿って配置される。配線１７Ａ、１７Ｂは、第１ステージ１２の四隅から露出しており、この部分に、ＯＩＳ用付勢部材５０の一端が接続される。配線１７Ａを介してＸ方向駆動ユニット３０Ｘへの給電が行われる、配線１７Ｂを介してＡＦ駆動ユニット１４への給電が行われる。

【0075】

第２ステージ１３は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第２ステージ１３の内周面１３１は、ＡＦ可動部１１の外形に対応して形成されている。第２ステージ１３において、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘ及びＹ方向駆動ユニット３０Ｙに対応する部分（第２の辺及び第３の辺に沿う側壁の外側面）は、第１ステージ１２と同様に、径方向内側に凹んで形成されている。

【0076】

第２ステージ１３は、下面に、Ｙ方向基準ボール４１Ａ～４１Ｃを収容するＹ方向基準ボール保持部１３４Ａ～１３４Ｃを有する。Ｙ方向基準ボール保持部１３４Ａ～１３４Ｃは、Ｙ方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。Ｙ方向基準ボール保持部１３４Ａ～１３４Ｃは、ベース２１のＹ方向基準ボール保持部２１７Ａ～２１７ＣとＺ方向において対向する。Ｙ方向基準ボール保持部１３４Ａ、１３４Ｂは、底面側に向けて溝幅狭くなるように断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されており、Ｙ方向基準ボール保持部１３４Ｃは、略Ｕ字状に形成されている。

【0077】

また、第２ステージ１３は、上面に、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄを収容するＸ方向基準ボール保持部１３３Ａ～１３３Ｄを有する。Ｘ方向基準ボール保持部１３３Ａ～１３３Ｄは、Ｘ方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。Ｘ方向基準ボール保持部１３３Ａ～１３３Ｄは、第１ステージ１２のＸ方向基準ボール保持部１２３Ａ～１２３ＤとＺ方向において対向する。Ｘ方向基準ボール保持部１３３Ａ～１３３Ｄは、底面側に向けて溝幅が狭くなるように断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている。本実施の形態では、Ｘ方向基準ボール保持部１３３Ａ、１３３Ｂは、第２ステージ１３のＸ方向駆動ユニット３０Ｘが配置される辺（第２の辺）に設けられ、Ｘ方向基準ボール保持部１３３Ｃ、１３３Ｄは、ＡＦ駆動ユニット１４が配置される辺（第１の辺）に設けられており、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄによって第１ステージ１２が４点で支持されるようになっている。

【0078】

ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１Ａ～４１Ｃは、ベース２１のＹ方向基準ボール保持部２１７Ａ～２１７Ｃと第２ステージ１３のＹ方向基準ボール保持部１３４Ａ～１３４Ｃにより、多点接触で挟持される。したがって、Ｙ方向基準ボール４１Ａ～４１Ｃは、安定してＹ方向に転動する。
また、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄは、第２ステージ１３のＸ方向基準ボール保持部１３３Ａ～１３３Ｄと第１ステージ１２のＸ方向基準ボール保持部１２３Ａ～１２３Ｄにより、多点接触で挟持される。したがって、Ｘ方向基準ボール４２Ａ～４２Ｄは、安定してＸ方向に転動する。

【0079】

ＡＦ支持部１５は、第１ステージ１２（ＡＦ固定部）に対してＡＦ可動部１１を支持する部分である。ＡＦ支持部１５は、第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂで構成される。第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂは、ＡＦ可動部１１及び第１ステージ１２の間に、転動可能な状態で介在する。本実施の形態では、第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂは、それぞれ、Ｚ方向に並んで配置された複数のボール（ここでは、２個）で構成されている。

【0080】

ＡＦ駆動ユニット１４は、ＡＦ可動部１１をＺ方向に移動させるアクチュエーターである。ＡＦ駆動ユニット１４は、ＯＩＳ駆動ユニット３０と同様に、超音波モーターで構成されている。ＡＦ駆動ユニット１４は、アーム部１４１ｂがＺ方向に延在するように、第１ステージ１２のＡＦモーター固定部１２５に固定される。ＡＦ駆動ユニット１４は、ＡＦ用超音波モーターＵＳＭ２及びＡＦ動力伝達部１４４を有する。

【0081】

ＡＦ駆動ユニット１４の構成（ＡＦ動力伝達部１４４を除く）を図１３Ａ、図１３Ｂに示す。図１３Ａは、ＡＦ駆動ユニット１４の各部材を組み付けた状態を示し、図１３Ｂは、ＡＦ駆動ユニット１４の各部材を分解した状態を示す。ＡＦ駆動ユニット１４の構成は、ＯＩＳ駆動ユニット３０とほぼ同様である。なお、ＡＦ動力伝達部１４４を含むＡＦ駆動ユニット１４の全体構成については後述する。

【0082】

ＡＦ用超音波モーターＵＳＭ２は、ＡＦ共振部１４１、ＡＦ圧電素子１４２及びＡＦ電極１４３で構成される。ＡＦ用超音波モーターＵＳＭ２の駆動力は、ＡＦ動力伝達部１４４を介してＡＦ可動部１１に伝達される。すなわち、ＡＦ駆動ユニット１４において、ＡＦ共振部１４１が能動要素を構成し、ＡＦ動力伝達部１４４が受動要素を構成する。

【0083】

ＡＦ圧電素子１４２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。ＡＦ共振部１４１の胴部１４１ａを挟み込むように、２枚のＡＦ圧電素子１４２が配置される。
ＡＦ電極１４３は、ＡＦ共振部１４１及びＡＦ圧電素子１４２を挟持し、ＡＦ圧電素子１４２に電圧を印加する。

【0084】

ＡＦ共振部１４１は、導電性材料で形成され、ＡＦ圧電素子１４２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。ＡＦ共振部１４１は、ＡＦ圧電素子１４２に挟持される略矩形状の胴部１４１ａ、胴部１４１ａからＺ方向に延在する２つのアーム部１４１ｂ、胴部１４１ａの中央部からＺ方向に延在し給電経路（第１ステージ１２の配線１７Ｂ（上部固定板））と電気的に接続される通電部１４１ｄ、及び、胴部１４１ａの中央部から通電部１４１ｄとは反対側に延在するステージ固定部１４１ｃを有している。
２つのアーム部１４１ｂは対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がＡＦ動力伝達部１４４に当接し、ＡＦ圧電素子１４２の振動に共振して対称的に変形する。本実施の形態では、２つのアーム部１４１ｂは、ＡＦ動力伝達部１４４のＡＦプレート６１と当接する面が外側を向いて形成されており、自由端部がＡＦプレート６１で挟持されるように配置される。

【0085】

ＡＦ共振部１４１は、所定の導電性、せん断強度、硬度、比重、ヤング率等を有する金属であればよく、例えば、ＯＩＳ共振部３１と同様に、ステンレス綱が好適である。ＯＩＳ共振部３１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。

【0086】

ＡＦ共振部１４１の胴部１４１ａに、厚さ方向からＡＦ圧電素子１４２が貼り合わされ、ＡＦ電極１４３により挟持されることにより、これらは互いに電気的に接続される。ＡＦ共振部１４１の通電部１４１ｄ及びＡＦ電極１４３が第１ステージ１２の配線１７Ｂに接続されることで、ＡＦ圧電素子１４２に電圧が印加され、振動が発生する。

【0087】

ＡＦ共振部１４１は、ＯＩＳ共振部３１と同様に、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＡＦ共振部１４１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。

【0088】

図１４Ａ、図１４Ｂは、ＡＦ駆動ユニット１４の保持構造を示す図である。図１４Ｂでは、ＡＦ駆動ユニット１４の保持構造を分解して示している。図１５は、ＯＩＳ可動部１０を光軸方向受光側から見た平面図である。図１５では、第２ステージ１３を省略している。図１６Ａ、図１６Ｂは、ＡＦ可動部１１及び第１ステージ１２の平面図である。図１７Ａ、図１７Ｂは、ＡＦ駆動ユニット１４の周辺部分の横断面図及び縦断面図である。図１７Ａは、図１７ＢのＣ－Ｃ矢視断面図であり、図１７Ｂは、図１５のＢ－Ｂ矢視断面図である。図１８Ａ、図１８Ｂは、ＡＦ支持部１５の配置を示す拡大図である。

【0089】

図１４Ａ、図１４Ｂ等に示すように、ＡＦ可動部１１の突出部１１２Ａ、１１２Ｂは、Ｘ方向に対向するように配置され、レンズ収容部１１１の接線方向（ここでは、Ｘ方向）に延在する一つの空間を形成する。

【0090】

突出部１１２Ａ、１１２Ｂは、第１ステージ１２とともに、ＡＦ支持部１５としてのＺ方向基準ボール１５Ａ、１５Ｂを保持する。一方の突出部１１２Ａには、第１のＺ方向基準ボール１５Ａを収容する第１のＺ方向基準ボール保持部１１３ａが形成されている。他方の突出部１１２Ｂには、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂを収容する第２のＺ方向基準ボール保持部１１３ｂが形成されている。第１のＺ方向基準ボール保持部１１３ａ及び第２のＺ方向基準ボール保持部１１３ｂは、溝底に向かって溝幅が狭くなるように断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）に形成される。

【0091】

ＡＦ可動部１１において、突出部１１２Ａ、１１２Ｂによって形成される空間は、ＡＦ駆動ユニット１４が配置される駆動ユニット収容部１１５となる。突出部１１２Ａ、１１２Ｂは、第１及び第２のＺ方向基準ボール保持部１１３ａ、１１３ｂとは反対側の面にプレート収容部１１５ｃを有する。プレート収容部１１５ｃに、ＡＦ駆動ユニット１４の受動要素であるＡＦ動力伝達部１４４及び付勢部材６２が配置される。

【0092】

ＡＦ動力伝達部１４４は、Ｚ方向に所定の長さを有するチャッキングガイドである。本実施の形態では、ＡＦ動力伝達部１４４は、２枚のＡＦプレート６１で構成されている。具体的には、ＡＦ駆動ユニット１４のＡＦ共振部１４１と付勢部材６２との間に、ＡＦプレート６１が介在する。ＡＦ共振部１４１の動力は、ＡＦプレート６１を介してＡＦ可動部１１に伝達される。

【0093】

ＡＦプレート６１は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料からなる硬質の板状部材である。ＡＦプレート６１は、第１面がＡＦ共振部１４１のアーム部１４１ｂと当接するように、移動方向に沿ってＡＦ可動部１１に配置され、ＡＦ可動部１１と一体的に移動可能となっている。ＡＦプレート６１は、ＡＦ可動部１１のプレート収容部１１５ｃに配置され、物理的に係止されている。具体的には、ＡＦプレート６１のガイド挿入部６１１が、ＡＦ可動部１１に設けられたガイド溝１１５ａに遊嵌されるとともに、固定片６１２がプレート収容部１１５ｃの底面と係止片１１５ｂとの間に配置されることにより、ＡＦ可動部１１に固定されている。
ＡＦプレート６１は、ＡＦ共振部１４１の取付け状態（取付け位置の個体差）に追従できるように、ＡＦ可動部１１に固定されていればよく、接着されなくてもよいし、弾性変形可能な軟質接着剤（例えば、シリコーンゴム）で接着されていてもよい。

【0094】

ＡＦプレート６１の第２面（第１面と反対側の面）と対向面との間には、ダンパー材（図示略）が配置されてもよい。具体的には、ダンパー材は、ＡＦプレート６１が配置されるプレート収容部１１５ｃを埋め込むように充填される。ダンパー材は、例えば、ＡＦ駆動ユニット１４を組み付けた状態で形成される。ダンパー材は、プレート収容部１１５ｃに留まることができ、かつ、付勢部材６２の付勢力が損なわれない程度の粘性及び弾性を有するゲル状の樹脂材料で形成される。ダンパー材としては、例えば、シリコーン材又はシリコーン系の制振材などを適用できる。
ＡＦプレート６１が配置されるプレート収容部１１５ｃにダンパー材を配置することにより、ＡＦプレート６１の振動が短時間で効率よく減衰され、第２面からの振動伝達による空気振動も抑制される。したがって、駆動音の発生を抑制でき、光学素子駆動装置１の静音性能が格段に向上する。

【0095】

付勢部材６２は、ＡＦ共振部１４１のアーム部１４１ｂに向けてＡＦＡＦプレート６１を付勢するための部材であり、２つのバネ部６２１を有している。バネ部６２１は、アーム部１４１ｂに対してＡＦプレート６１を同じ付勢力で押し付けるように構成されている。なお、バネ部６２１の付勢力は、ダンパー材によって損なわれない。
付勢部材６２は、例えば、板金加工により形成されており、バネ部６２１は連結部６２２から延在する板バネで構成されている。具体的には、バネ部６２１の板バネは、連結部６２２の下部からＺ方向－側に延在し、外側にヘアピン状に折り返すとともにＺ方向に対して内側に傾斜させることにより形成されている。

【0096】

付勢部材６２の連結部６２２が駆動ユニット収容部１１５に設けられたバネ載置部１１５ｄに載置されるとともに、バネ部６２１がプレート収容部１１５ｃに配置されることにより、付勢部材６２がＡＦ可動部１１に固定される。ＡＦプレート６１は、付勢部材６２のヘアピン部位に位置し、バネ部６２１によって内側（アーム部１４１ｂ側）に向けて付勢されることとなる。付勢部材６２は、ＡＦ駆動ユニット１４の取付位置に追従できるようにＡＦ可動部１１に接着されていない。すなわち、付勢部材６２は、駆動ユニット収容部１１５の取付け面に沿って移動可能となっており、ＡＦ駆動ユニット１４（ＡＦ共振部１４１及びＡＦプレート６１）を挟持したときに、２つのバネ部６２１の付勢荷重が均等になる位置に保持される。なお、付勢部材６２の構成は一例であり、適宜変更可能である。例えば、コイルバネや硬質ゴムなどの弾性体を適用してもよい。

【0097】

第１ステージ１２には、ＡＦ可動部１１の突出部１１２Ａ、１１２Ｂ及びこれらに挟まれた空間に対応する部分が切り欠かれて、ＡＦモーター固定部１２５が形成されている。また、ＡＦモーター固定部１２５の両側には、第１のＺ方向基準ボール保持部１２７ａ及び第２のＺ方向基準ボール保持部１２７ｂが連設されている。

【0098】

第１のＺ方向基準ボール保持部１２７ａは、レンズ収容部１１１の接線方向Ｄ１に沿って形成されている（図１８Ａ参照）。また、第１のＺ方向基準ボール保持部１２７ａの内面（ＡＦモーター固定部１２５側の面）は、溝底に向かって溝幅が狭くなるように断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている。

【0099】

第２のＺ方向基準ボール保持部１２７ｂは、レンズ収容部１１１の接線方向Ｄ１に対して傾斜して形成されている（図１８Ｂ参照）。また、第２のＺ方向基準ボール保持部１２７ｂの内面（ＡＦモーター固定部１２５側の面）は、断面形状が略Ｕ字状に形成されている。第２のＺ方向基準ボール保持部１２７ｂには、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂとともに、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂを介してＡＦ可動部１１を付勢するための付勢部１８（板バネ１８１及びスペーサー１８２）が配置される。なお、図１６Ｂでは、板バネ１８１を取り外した状態を示している。

【0100】

第２のＺ方向基準ボール１５Ｂは、レンズ収容部１１１の接線方向Ｄ１に対して、斜めに付勢される（図１８Ｂ参照）。これにより、ＡＦ可動部１１は、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂを介して、直交する２方向であるＸ方向及びＹ方向に押し付けられ、光軸直交面内において安定した姿勢で保持される。接線方向Ｄ１と付勢方向Ｄ２のなす角をθ、板バネ１８１の予圧をＦとした場合、Ｙ方向の押し付け力はＦ１＝Ｆ・ｓｉｎθとなり、Ｘ方向の押し付け力はＦ２＝Ｆ・ｃｏｓθとなる。

【0101】

ここで、接線方向Ｄ１と付勢方向Ｄ２のなす角θは、例えば、０°～４５°（０°を除く）である。付勢方向Ｄ２は、例えば、予圧Ｆとの兼ね合いで、ＡＦ可動部１１の光軸周りの回転が規制されるように設定される。例えば、付勢方向Ｄ２と接線方向Ｄ１のなす角θを大きくすると、Ｙ方向の押し付け力が大きくなるので板バネ１８１の予圧Ｆを小さくできるが、突出部１１２Ａ、１１２Ｂの突出長を大きくする必要があるなど、スペース的に不利になる。逆に、付勢方向Ｄ２と接線方向Ｄ１のなす角θを小さくするとスペース的に有利であるが、Ｙ方向の押し付け力が小さくなるので板バネ１８１の予圧を大きくする必要がある。

【0102】

ＡＦ可動部１１及び第１ステージ１２の第１のＺ方向基準ボール保持部１１３ａ、１２７ａの間に、第１のＺ方向基準ボール１５Ａが転動可能な状態で保持される。また、第１ステージ１２の第２のＺ方向基準ボール保持部１２７ｂに配置されたスペーサー１８２とＡＦ可動部１１の第２のＺ方向基準ボール保持部１１３ｂとの間に、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂが転動可能な状態で保持される。ＡＦ可動部１１は、第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂを介して、付勢された状態で第１ステージ１２に支持され、安定した姿勢で保持される。

【0103】

第１のＺ方向基準ボール１５Ａは、ＡＦ可動部１１と第１ステージ１２によって挟持され、光軸直交方向における移動（ＡＦ可動部１１の回転）が規制されている。これにより、ＡＦ可動部１１を、光軸方向に安定した挙動で移動させることができる。

【0104】

一方、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂは、板バネ１８１及びスペーサー１８２を介してＡＦ可動部１１と第１ステージ１２によって挟持され、光軸直交方向における移動が許容されている。これにより、ＡＦ可動部１１及び第１ステージ１２の寸法公差を吸収できるとともに、ＡＦ可動部１１が移動する際の安定性が向上する。

【0105】

また、ＡＦ駆動ユニット１４が配置されている部分は、第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂで挟み込み、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂに予圧を与える構成、すなわち、第１ステージ１２に対してＡＦ可動部１１を１箇所で支持する構成となっている。これにより、ＡＦ駆動ユニット１４の駆動力を受ける力点から回転軸までの距離を小さくしやすく、モーメントを減少させて予圧を小さくすることができる。また、第２のＺ方向基準ボール１５Ｂを予圧ボールとして機能させることで、転がり抵抗を小さくすることができる。したがって、ＡＦ駆動ユニット１４の駆動効率が向上し、大口径レンズ用のレンズ駆動装置としても好適なものとなる。また、予圧が同じであれば、チルト耐性が向上することになる。

【0106】

また、第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂは、それぞれ、２個のボールで構成されている。この場合、３個以上のボールで構成する場合に比較して、第１のＺ方向基準ボール１５Ａ及び第２のＺ方向基準ボール１５Ｂの転がり抵抗が小さくなる。

【0107】

光学素子駆動装置１において、ＡＦ駆動ユニット１４に電圧を印加すると、ＡＦ圧電素子１４２が振動し、ＡＦ共振部１４１が周波数に応じた挙動で変形する。ＡＦ駆動ユニット１４の駆動力により、ＡＦ動力伝達部１４４がＺ方向に摺動される。これに伴い、ＡＦ可動部１１がＺ方向に移動し、ピント合わせが行われる。ＡＦ支持部１５がボールで構成されているので、ＡＦ可動部１１はＺ方向にスムーズに移動することができる。また、ＡＦ駆動ユニット１４とＡＦ動力伝達部１４４は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をＺ方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置１の低背化を損なうことなく、ＡＦ可動部１１の移動ストロークを容易に長くすることができる。

【0108】

光学素子駆動装置１において、ＯＩＳ駆動ユニット３０に電圧を印加すると、ＯＩＳ圧電素子３２が振動し、ＯＩＳ共振部３１が周波数に応じた挙動で変形する。ＯＩＳ駆動ユニット３０の駆動力により、ＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向又はＹ方向に摺動される。これに伴い、ＯＩＳ可動部１０がＸ方向又はＹ方向に移動し、振れ補正が行われる。ＯＩＳ支持部４０がボールで構成されているので、ＯＩＳ可動部１０はＸ方向又はＹ方向にスムーズに移動することができる。

【0109】

具体的には、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘが駆動され、ＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向に移動する場合、Ｘ方向駆動ユニット３０Ｘが配置されている第１ステージ１２から第２ステージ１３に動力が伝達される。このとき、第２ステージ１３とベース２１とで挟持されているボール４１は、Ｘ方向に転動できないので、ベース２１に対する第２ステージ１３のＸ方向の位置は維持される。一方、第１ステージ１２と第２ステージ１３とで挟持されているボール４２は、Ｘ方向に転動できるので、第２ステージ１３に対して第１ステージ１２がＸ方向に移動する。つまり、第２ステージ１３がＯＩＳ固定部２０を構成し、第１ステージ１２がＯＩＳ可動部１０を構成する。

【0110】

また、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙが駆動され、ＯＩＳ動力伝達部３４がＹ方向に移動する場合、Ｙ方向駆動ユニット３０Ｙが配置されているベース２１から第２ステージ１３に動力が伝達される。このとき、第１ステージ１２と第２ステージ１３とで挟持されているボール４２は、Ｙ方向に転動できないので、第２ステージに対する第１ステージ１２のＹ方向の位置は維持される。一方、第２ステージ１３とベース２１とで挟持されているボール４１は、Ｙ方向に転動できるので、ベース２１に対して第２ステージ１３がＹ方向に移動する。第１ステージ１２も第２ステージ１３に追従してＹ方向に移動することになる。つまり、ベース２１がＯＩＳ固定部２０を構成し、第１ステージ１２及び第２ステージ１３を含むＡＦユニットがＯＩＳ可動部１０を構成する。

【0111】

このようにして、ＯＩＳ可動部１０がＸＹ面内で移動し、振れ補正が行われる。具体的には、カメラモジュールＡの角度振れが相殺されるように、振れ検出部（例えばジャイロセンサー、図示略）からの角度振れを示す検出信号に基づいて、ＯＩＳ駆動ユニット３０Ｘ、３０Ｙへの通電電圧が制御される。このとき、マグネット１６Ｘ、１６Ｙ及び磁気センサー２５Ｘ、２５Ｙで構成されるＸＹ位置検出部の検出結果をフィードバックすることで、ＯＩＳ可動部１０の並進移動を正確に制御することができる。

【0112】

このように、本実施の形態に係る光学素子駆動装置１は、ＯＩＳ固定部２０（固定部）と、ＯＩＳ固定部２０に対して離間して配置されるＯＩＳ可動部１０（可動部）と、ＯＩＳ固定部２０に対してＯＩＳ可動部１０を支持するＯＩＳ支持部４０（支持部）と、圧電素子３２及び圧電素子３２の振動に共振するＯＩＳ共振部３１（能動要素）を有する超音波モーターＵＳＭ１、並びにＯＩＳ共振部３１に付勢された状態で接触しＯＩＳ共振部３１に対して相対的に移動するＯＩＳプレート３４１（受動要素）を有し、ＯＩＳ固定部２０に対してＯＩＳ可動部１０を移動させるＯＩＳ駆動ユニット３０（駆動ユニット）と、を備え、ＯＩＳプレート３４１の受動側接触部としての摺動プレート３４３は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の先端（能動側接触部）よりも硬度の高いセラミック材で形成されている。
これにより、摩耗の一因となる凝集を抑制することができるとともに、受動側接触部である摺動プレート３４３の摩耗を抑制することができる。したがって、能動要素又は受動要素の摩耗に伴う経時的な駆動性能の低下を抑制でき、光学素子駆動装置１の信頼性が向上する。

【0113】

また、光学素子駆動装置１において、摺動プレート３４３（受動側接触部）は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の先端（能動側接触部）よりも表面粗さが小さい。これにより、能動側接触部であるＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の摩耗をより効果的に抑制することができる。

【0114】

また、光学素子駆動装置１において、ＯＩＳプレート３４１（受動要素）は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の先端（能動側接触部）に対して摺動プレート３４３（受動側接触部）を付勢する付勢機能を有し、摺動プレート３４３は、ＯＩＳプレート３４１とは別部材で構成されている。これにより、高硬度の受動側接触部を有する受動要素を容易に作製することができる。

【0115】

また、光学素子駆動装置１において、摺動プレート３４３（受動側接触部）及びＯＩＳプレート３４１（受動要素）は、板形状を有し、摺動プレート３４３の厚みは、ＯＩＳプレート３４１の厚みよりも小さい。これにより、摺動プレート３４３はＯＩＳプレート３４１の動作に連動するため、ＯＩＳプレート３４１の板バネとしての機能が阻害されることを防止できる。

【0116】

また、光学素子駆動装置１は、摺動プレート３４３（受動側接触部）とＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の先端（能動側接触部）との接触領域の少なくとも一部を囲うダストトラップ部３５（囲繞部）を備える。
具体的には、光学素子駆動装置１において、ダストトラップ部３５は、粘性流体で形成され、ＯＩＳ可動部１０の移動に伴い弾性変形する弾性部３５１を有する。
また、弾性部３５１は、接触領域を取り囲むように枠状に形成され、ダストトラップ部３５は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２（能動要素）に固定され弾性部３５１の開口を密閉するフランジ部３５２を有する。
これにより、接触領域において摩耗粉が発生しても、この摩耗粉がダストトラップ部３５の外部に飛散するのを防止できる。したがって、摩耗粉の飛散に起因する駆動性能の低下を抑制することができる。

【0117】

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。

【0118】

例えば、実施の形態では、カメラモジュールＡを備えるカメラ搭載装置の一例として、カメラ付き携帯端末であるスマートフォンＭを挙げて説明したが、本発明は、カメラモジュールとカメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部を有するカメラ搭載装置に適用できる。カメラ搭載装置は、情報機器及び輸送機器を含む。情報機器は、例えば、カメラ付き携帯電話機、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、ｗｅｂカメラ、カメラ付き車載装置（例えば、バックモニター装置、ドライブレコーダー装置）を含む。また、輸送機器は、例えば自動車を含む。

【0119】

図１９Ａ、図１９Ｂは、車載用カメラモジュールＶＣ（Vehicle Camera）を搭載するカメラ搭載装置としての自動車Ｖを示す図である。図１９Ａは自動車Ｖの正面図であり、図１９Ｂは自動車Ｖの後方斜視図である。自動車Ｖは、車載用カメラモジュールＶＣとして、実施の形態で説明したカメラモジュールＡを搭載する。図１９Ａ、図１９Ｂに示すように、車載用カメラモジュールＶＣは、例えば前方に向けてフロントガラスに取り付けられたり、後方に向けてリアゲートに取り付けられたりする。この車載用カメラモジュールＶＣは、バックモニター用、ドライブレコーダー用、衝突回避制御用、自動運転制御用等として使用される。

【0120】

実施の形態では、受動要素であるＯＩＳプレート３４１に摺動プレート３４３を接着して受動側接触部を形成しているが、ＯＩＳプレート３４１のモーター当接部３４１ｂに、コーティングによりセラミック製の受動側接触部を形成してもよい。

【0121】

また、実施の形態では、ＯＩＳ駆動ユニット３０において、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２とＯＩＳプレート３４１とが接触する接触部分に、摩耗に伴う駆動性能の低下を抑制するための構造を適用した場合について説明したが、ＡＦ駆動ユニット１４において、ＡＦ共振部１４１のアーム部１４１ｂ（能動側接触部）とＡＦプレート６１（受動側接触部）とが接触する接触部分に、同様の構造を適用してもよい。

【0122】

また、実施の形態では、能動側接触部よりも高硬度のセラミック材からなる受動側接触部を設けるという第１の発明と、能動側接触部と受動側接触部の接触領域にダストトラップ部を設けるという第２の発明を組み合わせて適用し、摩耗に伴う駆動性能の低下を抑制しているが、それぞれの発明を独立して適用してもよい。

【0123】

また、ダストトラップ部３５は、実施の形態で開示した構造に限定されず、能動側接触部と受動側接触部との接触領域の少なくとも一部を囲い、接触領域で発生する摩耗粉の飛散を抑制できる構造であればよい。

【0124】

また、実施の形態では、光学素子としてレンズ部２を駆動する光学素子駆動装置１について説明したが、駆動対象となる光学素子は、ミラーやプリズムなどのレンズ以外の光学素子であってもよい。

【0125】

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【0126】

２０２０年１１月２４日出願の米国仮出願６３／１１７，８５７に含まれる明細書、図面および要約書の開示内容は、すべて本願に援用される。

【符号の説明】

【0127】

１ 光学素子駆動装置
１０ ＯＩＳ可動部（可動部）
１２ 第１ステージ
１３ 第２ステージ
１４ ＡＦ駆動ユニット
１４１ ＡＦ共振部（能動要素）
１４２ ＡＦ圧電素子
１４３ ＡＦ電極
１４４ ＡＦ動力伝達部
１５ ＡＦ支持部
２０ ＯＩＳ固定部（固定部）
２１ ベース
３０ ＯＩＳ駆動ユニット
３１ ＯＩＳ共振部（能動要素）
３２ ＯＩＳ圧電素子
３３ ＯＩＳ電極
３４ ＯＩＳ動力伝達部
３５ ダストトラップ部（囲繞部）
３４１ ＯＩＳプレート（受動要素）
４０ ＯＩＳ支持部
３１２ アーム部（能動側接触部）
３４３ 摺動プレート（受動側接触部）
３５１ 弾性部
３５２ フランジ部
Ａ カメラモジュール
Ｍ スマートフォン（カメラ搭載装置）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】