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特開2022-86826ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022086826
(43)【公開日】2022-06-09
(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/16 20060101AFI20220602BHJP
B41J 2/14 20060101ALI20220602BHJP
【ＦＩ】
B41J2/16 303
B41J2/16 503
B41J2/14 303
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020199063
(22)【出願日】2020-11-30
(71)【出願人】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(72)【発明者】
【氏名】三根 亨
(72)【発明者】
【氏名】堀口 悟史
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF93
2C057AG45
2C057AN01
2C057AP25
2C057AP77
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度に優れたヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、ＡＣＴ側アライメント領域１４０を有するアクチュエータプレート５３と、中間側アライメント領域１６０を有し、アクチュエータプレート５３に中間プレート５２と、を備えている。ＡＣＴ側アライメント領域１４０には、区画溝１５１，１５２によって囲まれた位置決め部１５０が形成されている。中間側アライメント領域１６０には、中間プレート５２を貫通する位置決め開口部１６１が形成されている。アクチュエータプレート５３及び中間プレート５２は、位置決め開口部１６１を通じて少なくとも位置決め部１５０が露出した状態で重ね合わされている。
【選択図】図９
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、ＡＣＴ側アライメント領域１４０を有するアクチュエータプレート５３と、中間側アライメント領域１６０を有し、アクチュエータプレート５３に中間プレート５２と、を備えている。ＡＣＴ側アライメント領域１４０には、区画溝１５１，１５２によって囲まれた位置決め部１５０が形成されている。中間側アライメント領域１６０には、中間プレート５２を貫通する位置決め開口部１６１が形成されている。アクチュエータプレート５３及び中間プレート５２は、位置決め開口部１６１を通じて少なくとも位置決め部１５０が露出した状態で重ね合わされている。
【選択図】図９
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の噴射チャネルが並んで設けられたチャネル領域、及び前記チャネル領域の周囲に設けられた第１アライメント領域を有するアクチュエータプレートと、
前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備え、
前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、
前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出した状態で重ね合わされているヘッドチップ。
前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備え、
前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、
前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出した状態で重ね合わされているヘッドチップ。
【請求項2】
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて前記第１溝及び第２溝が露出しない状態で重ね合わされている請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項3】
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて前記第１溝及び第２溝が露出した状態で重ね合わされている請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項4】
前記第１開口部は、前記厚さ方向から見て、前記第１方向を長手方向とし、前記第２方向を短手方向とする長方形状に形成されている請求項１から請求項３の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項5】
前記第１アライメント領域には、前記第１溝及び前記第２溝に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記第１方向に間隔をあけて配置された第３溝及び第４溝が形成され、 前記第２アライメント領域には、前記第１開口部に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第２開口部が形成され、
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、
前記第１開口部と前記第２開口部との交差部分を通じて前記第１溝、前記第２溝、前記第３溝及び前記第４溝が露出せず、前記第１開口部のうち前記交差部分よりも外側に位置する部分を通じて前記第１溝及び前記第２溝が露出せず、かつ前記第２開口部のうち前記交差部分よりも外側に位置する部分を通じて前記第３溝及び前記第４溝が露出しない状態で重ね合わされている
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、
前記第１開口部と前記第２開口部との交差部分を通じて前記第１溝、前記第２溝、前記第３溝及び前記第４溝が露出せず、前記第１開口部のうち前記交差部分よりも外側に位置する部分を通じて前記第１溝及び前記第２溝が露出せず、かつ前記第２開口部のうち前記交差部分よりも外側に位置する部分を通じて前記第３溝及び前記第４溝が露出しない状態で重ね合わされている
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項6】
前記第１アライメント領域には、前記第１溝及び前記第２溝に交差して前記第２方向に延びるパターニング部が形成され、
前記第１位置決め部は、
前記パターニング部が形成された中央領域と、
前記中央領域に対して前記第１方向の外側に位置する外側領域と、を備え、
前記第２アライメント領域には、前記第１開口部に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第２開口部が形成され、
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、
前記第１開口部と前記第２開口部との交差部分を通じて前記中央領域が露出し、かつ前記厚さ方向から見て前記第２開口部のうち前記第２方向に沿う開口縁が前記パターニング部と前記パターニング部以外の部分とを跨らない状態で重ね合わされている
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
前記第１位置決め部は、
前記パターニング部が形成された中央領域と、
前記中央領域に対して前記第１方向の外側に位置する外側領域と、を備え、
前記第２アライメント領域には、前記第１開口部に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第２開口部が形成され、
前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、
前記第１開口部と前記第２開口部との交差部分を通じて前記中央領域が露出し、かつ前記厚さ方向から見て前記第２開口部のうち前記第２方向に沿う開口縁が前記パターニング部と前記パターニング部以外の部分とを跨らない状態で重ね合わされている
請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項7】
前記第１アライメント領域には、前記第１方向に延びるとともに、前記第２方向に間隔をあけて配置された第５溝及び第６溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第２位置決め部が形成され、
前記第２位置決め部における前記第１方向の幅は、前記第１位置決め部の幅よりも狭くなっており、
前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通するとともに、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートが重ね合わされた状態で前記第２位置決め部が露出可能な第３開口部が形成されている請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
前記第２位置決め部における前記第１方向の幅は、前記第１位置決め部の幅よりも狭くなっており、
前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通するとともに、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートが重ね合わされた状態で前記第２位置決め部が露出可能な第３開口部が形成されている請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項8】
複数の前記噴射チャネルは、前記第２方向に並んで配置されている請求項１から請求項７の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項9】
前記第１アライメント領域及び前記第２アライメント領域は、前記チャネル領域に対して前記第２方向の両側に設けられている請求項８に記載のヘッドチップ。
【請求項10】
前記アライメントプレートに対して前記アクチュエータプレートの反対側には、噴射孔プレートが重ね合わされ、
前記噴射孔プレートには 、前記連通孔を通じて前記噴射チャネル内と当該ヘッドチップの外部とを連通させる噴射孔が形成されている請求項１から請求項９の何れか１項に記載のヘッドチップ。
前記噴射孔プレートには 、前記連通孔を通じて前記噴射チャネル内と当該ヘッドチップの外部とを連通させる噴射孔が形成されている請求項１から請求項９の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項11】
請求項１から請求項１０の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
【請求項12】
請求項１１に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
【請求項13】
複数の噴射チャネルが並んで設けられたチャネル領域、及び前記チャネル領域の周囲に設けられた第１アライメント領域を有するアクチュエータプレートと、
前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、
前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、
前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、
前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出するように前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートを重ね合わせる重ね合わせ工程を有しているヘッドチップの製造方法。
前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、
前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、
前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、
前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出するように前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートを重ね合わせる重ね合わせ工程を有しているヘッドチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドに搭載されるヘッドチップを通じて被記録媒体にインクを吐出する。ヘッドチップは、吐出チャネル及び非吐出チャネルが交互に形成されたアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに接合されたノズルプレートと、を備えている。ヘッドチップでは、吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズルプレートに形成されたノズル孔を通じて吐出される。
【0003】
例えば下記特許文献１，２には、ヘッドチップを構成する複数の基板を貼り合わせる際の位置決め方法が開示されている。下記特許文献１，２に記載された構成では、複数の基板のうち一方の基板に形成された孔や溝等の加工痕を、他方の基板との位置決めを行うアライメントマークとして利用している。下記特許文献１，２に記載された構成では、他方の基板に形成された貫通孔に対して一方の基板に形成された加工痕を所定の位置に合わせることで、両基板の位置精度を向上させるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００３－３０５８５１号公報
【特許文献2】特開２０１５－２４５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、従来の構成にあっては、加工痕自体をアライメントマークとして利用しているため、アライメントマークの形状等がアライメントマークの加工条件（例えば、加工方法や順序、位置等）に支配される。この場合、アライメントマークを所望の形状等に形成するためには、加工条件を変更する等の必要がある。その結果、従来の方法では、製造効率が低下する等の可能性があった。
【0006】
本開示は、製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度に優れたヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、複数の噴射チャネルが並んで設けられたチャネル領域、及び前記チャネル領域の周囲に設けられた第１アライメント領域を有するアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備え、前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出した状態で重ね合わされている。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、複数の噴射チャネルが並んで設けられたチャネル領域、及び前記チャネル領域の周囲に設けられた第１アライメント領域を有するアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備え、前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出した状態で重ね合わされている。
【0008】
本態様によれば、第１溝及び第２溝により囲まれた第１位置決め部をアクチュエータプレートとアライメントプレートとの位置合わせ時におけるアライメントマークとして用いることができる。これにより、溝や孔等の加工痕自体をアライメントとして用いる場合に比べ、第１位置決め部の寸法等が加工痕を形成するための加工条件等に依存し難い。その結果、製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度を向上させることができる。よって、噴射チャネルと連通孔との位置決め精度に優れたヘッドチップをより簡単に製造することができる。
【0009】
（２）上記（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて前記第１溝及び第２溝が露出しない状態で重ね合わされていることが好ましい。
本態様によれば、厚さ方向を軸線とする回転方向の位置決め精度を高めることができる。例えば、第１開口部を通じて第１溝及び第２溝の双方が露出している場合には、アクチュエータプレートに対してアライメントプレートが傾いた状態で重ね合わされていることが容易に判断できる。
本態様によれば、厚さ方向を軸線とする回転方向の位置決め精度を高めることができる。例えば、第１開口部を通じて第１溝及び第２溝の双方が露出している場合には、アクチュエータプレートに対してアライメントプレートが傾いた状態で重ね合わされていることが容易に判断できる。
【0010】
（３）上記（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部を通じて前記第１溝及び第２溝が露出した状態で重ね合わされていることが好ましい。
本態様によれば、重ね合わせ工程において、例えばアクチュエータプレートに対してアライメントプレートとは反対側からバックライト等を照射しながら位置決めを行う際に、第１溝及び第２溝を通じてバックライト等から出射される光が透過され易い。そのため、第１位置決め部と第１開口部の開口縁との境界部分が認識し易くなる。その結果、位置決め作業を簡単に行い易い。
本態様によれば、重ね合わせ工程において、例えばアクチュエータプレートに対してアライメントプレートとは反対側からバックライト等を照射しながら位置決めを行う際に、第１溝及び第２溝を通じてバックライト等から出射される光が透過され易い。そのため、第１位置決め部と第１開口部の開口縁との境界部分が認識し易くなる。その結果、位置決め作業を簡単に行い易い。
【0011】
（４）上記（１）から（３）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記第１開口部は、前記厚さ方向から見て、前記第１方向を長手方向とし、前記第２方向を短手方向とする長方形状に形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第１開口部を長方形状とすることで、第１開口部の中心から第１方向に離れた位置では、厚さ方向を軸線とする回転方向での変位量が第１開口部の中心付近よりも大きくなり易い。そのため、第１開口部を通じて第１位置決め部が露出し、かつ第１溝及び第２溝が露出しないように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
本態様によれば、第１開口部を長方形状とすることで、第１開口部の中心から第１方向に離れた位置では、厚さ方向を軸線とする回転方向での変位量が第１開口部の中心付近よりも大きくなり易い。そのため、第１開口部を通じて第１位置決め部が露出し、かつ第１溝及び第２溝が露出しないように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
【0012】
（５）上記（１）から（４）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記第１アライメント領域には、前記第１溝及び前記第２溝に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記第１方向に間隔をあけて配置された第３溝及び第４溝が形成され、前記第２アライメント領域には、前記第１開口部に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第２開口部が形成され、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部と前記第２開口部との交差部分を通じて前記第１溝、前記第２溝、前記第３溝及び前記第４溝が露出せず、前記第１開口部のうち前記交差部分よりも外側に位置する部分を通じて前記第１溝及び前記第２溝が露出せず、かつ前記第２開口部のうち前記交差部分よりも外側に位置する部分を通じて前記第３溝及び前記第４溝が露出しない状態で重ね合わされていることが好ましい。
本態様によれば、交差部分を通じて各溝が露出しないように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、第１方向及び第２方向双方での位置決め精度を高めることができる。
また、第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分、及び第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分では、厚さ方向を軸線とする回転方向での変位量が交差部分よりも大きくなり易い。そして、第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分を通じて第１溝及び第２溝が露出せず、かつ第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分を通じて第３溝及び第４溝が露出しないように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
本態様によれば、交差部分を通じて各溝が露出しないように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、第１方向及び第２方向双方での位置決め精度を高めることができる。
また、第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分、及び第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分では、厚さ方向を軸線とする回転方向での変位量が交差部分よりも大きくなり易い。そして、第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分を通じて第１溝及び第２溝が露出せず、かつ第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分を通じて第３溝及び第４溝が露出しないように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
【0013】
（６）上記（１）から（４）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記第１アライメント領域には、前記第１溝及び前記第２溝に交差して前記第２方向に延びるパターニング部が形成され、前記第１位置決め部は、前記パターニング部が形成された中央領域と、前記中央領域に対して前記第１方向の外側に位置する外側領域と、を備え、前記第２アライメント領域には、前記第１開口部に交差して前記第２方向に延びるとともに、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第２開口部が形成され、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートは、前記第１開口部と前記第２開口部との交差部分を通じて前記中央領域が露出し、かつ前記厚さ方向から見て前記第２開口部のうち前記第２方向に沿う開口縁が前記パターニング部と前記パターニング部以外の部分とを跨らない状態で重ね合わされていることが好ましい。
本態様によれば、交差部分を通じて中央領域が露出するように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、第１方向及び第２方向双方での位置決め精度を高めることができる。
また、第２開口部のうち第２方向に沿う開口縁が、パターニング部と、パターニング部以外の部分と、を跨がらない状態で配置されることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
本態様によれば、交差部分を通じて中央領域が露出するように、アクチュエータプレートとアライメントプレートとを重ね合わせることで、第１方向及び第２方向双方での位置決め精度を高めることができる。
また、第２開口部のうち第２方向に沿う開口縁が、パターニング部と、パターニング部以外の部分と、を跨がらない状態で配置されることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
【0014】
（７）上記（１）から（４）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記第１アライメント領域には、前記第１方向に延びるとともに、前記第２方向に間隔をあけて配置された第５溝及び第６溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第２位置決め部が形成され、前記第２位置決め部における前記第１方向の幅は、前記第１位置決め部の幅よりも狭くなっており、前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通するとともに、前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートが重ね合わされた状態で前記第２位置決め部が露出可能な第３開口部が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第１位置決め部よりも幅の狭い第２位置決め部を設けることで、位置決め精度を段階的に設定できる。例えば、位置決め精度の要求が低い場合は、第１開口部を通じて第１位置決め部が露出し、かつ第１溝及び第２溝が露出しない状態でのみアクチュエータプレート及びアライメントプレートを重ね合わせることで、簡単に位置決めを行うことができる。一方、位置決め精度の要求が高い場合は、第１開口部と第１位置決め部とに加え、第２開口部を通じて第２位置決め部が露出し、かつ第２溝及び第５溝が露出しない状態でアクチュエータプレート及びアライメントプレートを重ね合わせる。これにより、位置決めをより高精度に行うことができる。
本態様によれば、第１位置決め部よりも幅の狭い第２位置決め部を設けることで、位置決め精度を段階的に設定できる。例えば、位置決め精度の要求が低い場合は、第１開口部を通じて第１位置決め部が露出し、かつ第１溝及び第２溝が露出しない状態でのみアクチュエータプレート及びアライメントプレートを重ね合わせることで、簡単に位置決めを行うことができる。一方、位置決め精度の要求が高い場合は、第１開口部と第１位置決め部とに加え、第２開口部を通じて第２位置決め部が露出し、かつ第２溝及び第５溝が露出しない状態でアクチュエータプレート及びアライメントプレートを重ね合わせる。これにより、位置決めをより高精度に行うことができる。
【0015】
（８）上記（１）から（７）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、複数の前記噴射チャネルは、前記第２方向に並んで配置されていることが好ましい。
本態様によれば、特に噴射チャネルの配列方向での位置決め精度を高め易い。
本態様によれば、特に噴射チャネルの配列方向での位置決め精度を高め易い。
【0016】
（９）上記（８）の態様のヘッドチップにおいて、前記第１アライメント領域及び前記第２アライメント領域は、前記チャネル領域に対して前記第２方向の両側に設けられていることが好ましい。
本態様によれば、チャネル領域に対して第２方向の両側でそれぞれ位置決めを行う。これにより、アクチュエータプレートやアライメントプレートの伸び縮みの影響を受け難く、長期に亘って信頼性に優れたヘッドチップを提供できる。
本態様によれば、チャネル領域に対して第２方向の両側でそれぞれ位置決めを行う。これにより、アクチュエータプレートやアライメントプレートの伸び縮みの影響を受け難く、長期に亘って信頼性に優れたヘッドチップを提供できる。
【0017】
（１０）上記（１）から（９）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記アライメントプレートに対して前記アクチュエータプレートの反対側には、噴射孔プレートが重ね合わされ、前記噴射孔プレートには 、前記連通孔を通じて前記噴射チャネル内と当該ヘッドチップの外部とを連通させる噴射孔が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、上述したようにアクチュエータプレートとアライメントプレートとの位置決め精度を向上させることができるので、アクチュエータプレートと噴射孔プレートとの間にアライメントプレートを介在させた場合であっても、噴射チャネルと噴射孔との位置ずれを抑制できる。
本態様によれば、上述したようにアクチュエータプレートとアライメントプレートとの位置決め精度を向上させることができるので、アクチュエータプレートと噴射孔プレートとの間にアライメントプレートを介在させた場合であっても、噴射チャネルと噴射孔との位置ずれを抑制できる。
【0018】
（１１）本開示の一態様に係る液体噴出ヘッドは、上記（１）から（１０）の何れかの態様のヘッドチップを備えている。
本態様によれば、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
本態様によれば、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
【0019】
（１２）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（１１）の態様の液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
本態様によれば、信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
【0020】
（１３）本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、複数の噴射チャネルが並んで設けられたチャネル領域、及び前記チャネル領域の周囲に設けられた第１アライメント領域を有するアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルに各別に連通する複数の連通孔が並んで設けられた連通領域、及び前記連通領域の周囲に設けられた第２アライメント領域を有し、前記アクチュエータプレートに対して厚さ方向で重ね合わされるアライメントプレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、前記第１アライメント領域には、前記厚さ方向に直交する第１方向に延びるとともに、前記厚さ方向から見て前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて配置された第１溝及び第２溝によって前記第２方向の両側が囲まれた第１位置決め部が形成され、前記第２アライメント領域には、前記厚さ方向に前記アライメントプレートを貫通する第１開口部が形成され、前記第１開口部を通じて少なくとも前記第１位置決め部が露出するように前記アクチュエータプレート及び前記アライメントプレートを重ね合わせる重ね合わせ工程を有している。
【0021】
本態様によれば、重ね合わせ工程において、第１溝及び第２溝により囲まれた第１位置決め部をアクチュエータプレートとアライメントプレートとのアライメントに用いることができる。これにより、溝や孔等の加工痕自体をアライメントとして用いる場合に比べ、第１位置決め部の寸法等が加工痕を形成するための加工条件等に依存し難い。その結果、製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度を向上させることができる。よって、噴射チャネルと連通孔との位置決め精度に優れたヘッドチップをより簡単に製造することができる。
【発明の効果】
【0022】
本開示の一態様によれば、製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図2】第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。
【図3】第１実施形態に係るノズルプレートを取り外した状態におけるヘッドチップを－Ｚ側から見た斜視図である。
【図4】第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図5】第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。
【図14】第２実施形態に係るヘッドチップの断面図である。
【図15】第３実施形態におけるヘッドチップの底面図である。
【図18】第４実施形態に係るヘッドチップの底面図である。
【図20】第４実施形態の変形例に係るヘッドチップの底面図である。
【図21】変形例に係るアクチュエータプレートの底面図である。
【発明を実施するための形態】
【0024】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0025】
（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。
【0026】
以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第２方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（第１方向）は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本実施形態において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。
【0027】
搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクタンク４に収容されるインクは、導電性インクであっても、非導電性インクであってもよい。
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクタンク４に収容されるインクは、導電性インクであっても、非導電性インクであってもよい。
【0028】
図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。
【0029】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
【0030】
走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。
【0031】
＜インクジェットヘッド５＞
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
【0032】
＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ノズルプレート５１を取り外した状態におけるヘッドチップ５０を－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４参照）と、中間プレート（アライメントプレート）５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３及びカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を裏側とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を表側として説明する場合がある。
図３は、ノズルプレート５１を取り外した状態におけるヘッドチップ５０を－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４参照）と、中間プレート（アライメントプレート）５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３及びカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を裏側とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を表側として説明する場合がある。
【0033】
アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、例えば分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電板を積層してなる、いわゆるシェブロン基板である。但し、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＺ方向の全域で一方向な、いわゆるモノポール基板であってもよい。
【0034】
図５は、アクチュエータプレート５３の底面図である。
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、４列）のチャネル列６１～６４が形成されている。各チャネル列６１～６４は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。本実施形態において、チャネル列６１～６４は、第１チャネルＡ列（チャネル領域）６１、第１チャネルＢ列（チャネル領域）６２、第２チャネルＡ列（チャネル領域）６３及び第２チャネルＢ列（チャネル領域）６４である。第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２は、第１チャネル群６６を構成している。第２チャネルＡ列６３及び第２チャネルＢ列６４は、第２チャネル群６７を構成している。
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、４列）のチャネル列６１～６４が形成されている。各チャネル列６１～６４は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。本実施形態において、チャネル列６１～６４は、第１チャネルＡ列（チャネル領域）６１、第１チャネルＢ列（チャネル領域）６２、第２チャネルＡ列（チャネル領域）６３及び第２チャネルＢ列（チャネル領域）６４である。第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２は、第１チャネル群６６を構成している。第２チャネルＡ列６３及び第２チャネルＢ列６４は、第２チャネル群６７を構成している。
【0035】
図５に示すように、アクチュエータプレート５３において、各チャネル群６６，６７間に位置する部分には、群分離溝７１が形成されている。群分離溝７１は、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向に延びている。群分離溝７１は、各チャネル群６６，６７間を分離している。なお、ヘッドチップ５０は、群分離溝７１に対してＹ方向の両側でそれぞれ同様の構成をなしている。したがって、以下の説明では、群分離７１に対して－Ｙ側の構成について主に説明し、＋Ｙ側の構成については適宜説明を省略する。各チャネル群６６，６７は、群分離溝７１に対してＹ方向の両側でそれぞれ同様の構成をなしている。
【0036】
以下では、チャネル列６１～６４の構成について、第１チャネルＡ列６１を例にして説明する。
第１チャネルＡ列６１は、アクチュエータプレート５３のうち群分離溝７１に対して－Ｙ側に形成されている。第１チャネルＡ列６１は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７５と、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６と、を有している。各チャネル７５，７６は、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向に直線状に延びるとともに、Ｘ方向に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間に位置する部分は、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。
第１チャネルＡ列６１は、アクチュエータプレート５３のうち群分離溝７１に対して－Ｙ側に形成されている。第１チャネルＡ列６１は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７５と、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６と、を有している。各チャネル７５，７６は、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向に直線状に延びるとともに、Ｘ方向に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間に位置する部分は、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。
【0037】
図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に相当する断面図である。
図６に示すように、吐出チャネル７５は、Ｘ方向から見た側面視において、表面側に向けて凸の湾曲形状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５は、Ｙ方向の両端部に位置する切り上がり部７５ａと、各切り上がり部７５ａ間に位置する貫通部７５ｂと、を有している。
切り上がり部７５ａは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７５ａは、Ｙ方向において貫通部７５ｂから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。
貫通部７５ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。
図６に示すように、吐出チャネル７５は、Ｘ方向から見た側面視において、表面側に向けて凸の湾曲形状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５は、Ｙ方向の両端部に位置する切り上がり部７５ａと、各切り上がり部７５ａ間に位置する貫通部７５ｂと、を有している。
切り上がり部７５ａは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７５ａは、Ｙ方向において貫通部７５ｂから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。
貫通部７５ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。
【0038】
図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当する断面図である。
図７に示すように、非吐出チャネル７６は、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６は、貫通部７６ａと、切り上がり部７６ｂと、を備えている。
貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。
切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において貫通部７６ａから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。
図７に示すように、非吐出チャネル７６は、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６は、貫通部７６ａと、切り上がり部７６ｂと、を備えている。
貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。
切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において貫通部７６ａから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。
【0039】
図４に示すように、非吐出チャネル７６のＹ方向の寸法は、吐出チャネル７５よりも長くなっている。具体的に、非吐出チャネル７６のうち、貫通部７６ａの－Ｙ側端部が吐出チャネル７５よりも－Ｙ側に位置し、切り上がり部７６ｂの＋Ｙ側端部が吐出チャネル７５よりも＋Ｙ側に位置している。
【0040】
図５に示すように、第１チャネルＢ列６２は、アクチュエータプレート５３において第１チャネルＡ列６１と群分離溝７１との間に設けられている。第１チャネルＢ列６２は、上述した第１チャネルＡ列６１と同様に吐出チャネル（噴射チャネル）７５及び非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６がＸ方向に交互に並んだ構成である。具体的に、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６は、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５同士、並びに第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２の非吐出チャネル７６同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合っている。但し、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合って配置されていてもよい。なお、各チャネル列６１～６４は、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の配列ピッチに対してそれぞれ１／４ピッチ毎ずれて配列されていてもよい。
【0041】
各チャネル列６１，６２において、吐出チャネル７５は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。
各チャネル列６１，６２において、非吐出チャネル７６は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。
各チャネル列６１，６２において、非吐出チャネル７６は、ＸＺ平面に対して面対称に形成されている。
【0042】
アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５（貫通部７５ｂ）に対して－Ｙ側に位置する部分は、第１領域８１を構成している。
アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５に対して＋Ｙ側に位置する部分と、群分離溝７１と、の間に位置する部分は、第２領域８６を構成している。
アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５に対して＋Ｙ側に位置する部分と、群分離溝７１と、の間に位置する部分は、第２領域８６を構成している。
【0043】
図７に示すように、第１チャネルＡ列６１において、非吐出チャネル７６Ａの貫通部７６ａは、第１領域８１をＹ方向及びＺ方向に貫通している。
第１チャネルＢ列６２において、非吐出チャネル７６の貫通部７６ａは、第２領域８６をＹ方向及びＺ方向に貫通して、群分離溝７１内に連通している。
第１チャネルＢ列６２において、非吐出チャネル７６の貫通部７６ａは、第２領域８６をＹ方向及びＺ方向に貫通して、群分離溝７１内に連通している。
【0044】
図８は、図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各吐出チャネル７５に面する内側面（吐出チャネル７５の内面のうち、Ｘ方向で対向する面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、吐出チャネル７５の内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと同等（アクチュエータプレート５３の表面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各吐出チャネル７５に面する内側面（吐出チャネル７５の内面のうち、Ｘ方向で対向する面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、吐出チャネル７５の内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと同等（アクチュエータプレート５３の表面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。
【0045】
図５に示すように、アクチュエータプレート５３の表面には、複数の共通端子９６が形成されている。共通端子９６は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされている。各共通端子９６は、対応する吐出チャネル７５の開口縁において一対の共通電極９５にそれぞれ接続されている。各共通端子９６は、対応する領域８１，８６内で終端している。
【0046】
図８に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各非吐出チャネル７６に面する内側面（非吐出チャネル７６のうち、Ｘ方向で対向する面）には、個別電極９７が形成されている。個別電極９７は、非吐出チャネル７６の内側面において、Ｚ方向の全域に亘って形成されている。
【0047】
図５に示すように、領域８１，８６の表面において、共通端子９６よりもＹ方向の外側に位置する部分には、個別端子９８が形成されている。個別端子９８は、Ｘ方向に延在する帯状とされている。個別端子９８は、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で対向する非吐出チャネル７６の開口縁において、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極９７同士を接続している。なお、領域８１，８６において、共通端子９６と個別端子９８との間に位置する部分には、区画溝９９が形成されている。区画溝９９は、各領域８１，８６において、Ｘ方向に延びている。区画溝９９は、共通端子９６と個別端子９８とを分離している。なお、図３、図４等については、各電極９５，９７及び各端子９６，９８は一部のみ示している。
【0048】
図６に示すように、第１領域８１の表面には、第１フレキシブルプリント基板１００が圧着されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、第１領域８１の表面において、第１チャネルＡ列６１に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、アクチュエータプレート５３の外側を通って＋Ｚ側に引き出されている。
【0049】
第２領域８６の表面には、第２フレキシブルプリント基板１０１が圧着されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、第２領域８６の表面において、第１チャネルＢ列６２に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、群分離溝７１内を通じて＋Ｚ側に引き出されている。
【0050】
＜カバープレート５４＞
図３、図４に示すように、カバープレート５４は、各チャネル群６６，６７を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の裏面に接着されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１～６４と対応する位置には、入口共通インク室１２０及び出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネルＡ列６１において吐出チャネル７５の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。
出口共通インク室１２１は、例えば第１チャネルＡ列６１において吐出チャネル７５の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。
図３、図４に示すように、カバープレート５４は、各チャネル群６６，６７を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の裏面に接着されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１～６４と対応する位置には、入口共通インク室１２０及び出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネルＡ列６１において吐出チャネル７５の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。
出口共通インク室１２１は、例えば第１チャネルＡ列６１において吐出チャネル７５の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。
【0051】
入口共通インク室１２０において、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５と対応する位置には、入口スリット１２５が形成されている。入口スリット１２５は、各吐出チャネル７５の＋Ｙ側端部と、入口共通インク室１２０内と、の間を各別に連通している。
出口共通インク室１２１において、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５と対応する位置には、出口スリット１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５の－Ｙ側端部と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５及び出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５に連通する一方、非吐出チャネル７６には連通していない。
出口共通インク室１２１において、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５と対応する位置には、出口スリット１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５の－Ｙ側端部と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５及び出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５に連通する一方、非吐出チャネル７６には連通していない。
【0052】
＜中間プレート５２＞
中間プレート５２は、各チャネル群６６，６７を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の表面に接着されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも短くなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（例えば、第１領域８１）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、第１フレキシブルプリント基板１００の圧着領域として機能する。なお、中間プレート５２は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。
中間プレート５２は、各チャネル群６６，６７を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の表面に接着されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも短くなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（例えば、第１領域８１）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、第１フレキシブルプリント基板１００の圧着領域として機能する。なお、中間プレート５２は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。
【0053】
中間プレート５２において、各吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと平面視で重なり合う部分には、連通孔１３０が形成されている。連通孔１３０は、アクチュエータプレート５３の表面側において、対応する吐出チャネル７５の貫通部７５ｂ内に各別に連通している。連通孔１３０は、Ｙ方向を長手方向とする長円形状に形成されている。連通孔１３０におけるＹ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも短い。一方、連通孔１３０におけるＸ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも広い。但し、連通孔１３０におけるＸ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも短くてもよい。
【0054】
中間プレート５２において、連通孔１３０がＸ方向に並んだ領域は、連通領域１３５～１３８を構成している。本実施形態において、連通領域１３５～１３８は、第１チャネルＡ列６１に重なり合う第１連通Ａ領域１３５、第１チャネルＢ列に重なり合う第１連通Ｂ領域１３６、第２チャネルＡ列６３に重なり合う第２連通Ａ領域１３７及び第２チャネルＢ列６４に重なり合う第２連通Ｂ領域１３８である。各連通領域１３５～１３８は、Ｙ方向に間隔をあけて設けられている。
【0055】
中間プレート５２において、平面視で群分離溝７１と重なる位置には、開放溝１３１が形成されている。開放溝１３１は、群分離溝７１を開放させるとともに、第１チャネル群６６の第２領域８６及び第２チャネル群６７の第１領域８１を露出させる。開放溝１３１は、群分離溝７１と同等の長さを有するＸ方向に延びる帯状に形成されている。
【0056】
図４に示すように、ノズルプレート５１は、中間プレート５２の表面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅が中間プレート５２と同等になっている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。
【0057】
ノズルプレート５１には、Ｘ方向に延びるノズル列（第１ノズルＡ列１４１、第１ノズルＢ列１４２、第２ノズルＡ列１４３及び第２ノズルＢ列１４４）がＹ方向に間隔をあけて４列形成されている。
各ノズル列１４１～１４４は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（第１ノズルＡ孔１４５、第１ノズルＢ孔１４６、第２ノズルＡ孔１４７及び第２ノズルＢ孔１４８）を有している。各ノズル孔１４５～１４８は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５～１４８は、例えば裏側から表側に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。各ノズル孔１４５～１４８の最大内径は、吐出チャネル７５のＹ方向の幅よりも大きく、連通孔１３０のＹ方向の幅よりも小さい。
各ノズル列１４１～１４４は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（第１ノズルＡ孔１４５、第１ノズルＢ孔１４６、第２ノズルＡ孔１４７及び第２ノズルＢ孔１４８）を有している。各ノズル孔１４５～１４８は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５～１４８は、例えば裏側から表側に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。各ノズル孔１４５～１４８の最大内径は、吐出チャネル７５のＹ方向の幅よりも大きく、連通孔１３０のＹ方向の幅よりも小さい。
【0058】
図６、図７に示すように、第１ノズルＡ孔１４５は、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５のうちＹ方向の中央部に、第１連通Ａ領域１３５の連通孔１３０を通じて各別に連通している。第１ノズルＢ孔１４６は、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５のうちＹ方向の中央部に、第１連通Ｂ領域１３６の連通孔１３０を通じて各別に連通している。第２ノズルＡ孔１４７は、第２チャネルＡ列６３の吐出チャネル７５のうちＹ方向の中央部に、第２連通Ａ領域１３７の連通孔１３０を通じて各別に連通している。第２ノズルＢ孔１４８は、第２チャネルＢ列６４の吐出チャネル７５のうちＹ方向の中央部に、第２連通Ｂ領域１３８の連通孔１３０を通じて各別に連通している。したがって、各非吐出チャネル７６は、ノズル孔１４５～１４８には連通しておらず、ノズルプレート５１により表面側から覆われている。
【0059】
ここで、図５に示すように、アクチュエータプレート５３において、各チャネル群６６，６７に対してＸ方向の両側に位置する部分には、ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）１４０が設けられている。なお、ＡＣＴ側アライメント領域１４０は、アクチュエータプレート５３のうち何れかのチャネル列６１～６４の周囲に少なくとも一つ設けられていればよい。以下の説明では、第１チャネル群６６に対して＋Ｘ側に位置するＡＣＴ側アライメント領域１４０を例にして、ＡＣＴ側アライメント領域１４０の構成を説明する。
【0060】
図９は、図５のＩＸ－ＩＸ線に沿う断面図である。図１０は、図５のＸ－Ｘ線に沿う断面図である。図１１は、図９のＸＩ矢視図である。
図９、図１０に示すように、各ＡＣＴ側アライメント領域１４０には、複数の区画溝（第１溝、第２溝）１５１，１５２が形成されている。区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向に向かい合っている。区画溝１５１，１５２は、それぞれＹ方向に直線状に延びている。区画溝１５１，１５２は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側から貫通させることで形成されている。例えば、区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向の幅が吐出チャネル７５と同等に形成されている。図１０に示すように、区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向から見てダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状に形成されている。
図９、図１０に示すように、各ＡＣＴ側アライメント領域１４０には、複数の区画溝（第１溝、第２溝）１５１，１５２が形成されている。区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向に向かい合っている。区画溝１５１，１５２は、それぞれＹ方向に直線状に延びている。区画溝１５１，１５２は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側から貫通させることで形成されている。例えば、区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向の幅が吐出チャネル７５と同等に形成されている。図１０に示すように、区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向から見てダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状に形成されている。
【0061】
なお、区画溝１５１，１５２は、少なくともアクチュエータプレート５３の表面上で開口していればよい。また、区画溝１５１，１５２は、Ｘ方向で向かい合う部分を有していれば、一部がＹ方向にずれて配置されていてもよい。区画溝１５１，１５２は、ダイサーによる切削加工に限らず、レーザ加工やサンドブラストやエッチング等により形成されていてもよい。
【0062】
ＡＣＴ側アライメント領域１４０において、区画溝１５１，１５２で囲まれた部分は、位置決め部（第１位置決め部）１５０を構成している。位置決め部１５０は、平面視において、Ｙ方向に直線状に延びている。位置決め部１５０において、Ｘ方向の寸法Ｄ１は、区画溝１５１，１５２間の間隔と等しくなっている。すなわち、位置決め部１５０におけるＸ方向の寸法Ｄ１は、区画溝１５１，１５２の間隔に応じて適宜変更が可能である。
【0063】
中間プレート５２において、ＡＣＴ側アライメント領域１４０に平面視で重なり合う部分には、中間側アライメント領域（第２アライメント領域）１６０が設けられている。中間側アライメント領域１６０には、位置決め開口部１６１が形成されている。位置決め開口部１６１は、中間プレート５２をＺ方向に貫通する貫通孔である。位置決め開口部１６１は、例えば中間プレート５２に対して裏面側からダイサーを進入させることで形成されている。位置決め開口部（第１開口部）１６１は、平面視において、Ｙ方向を長手方向とし、Ｘ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。位置決め開口部１６１において、Ｘ方向の寸法Ｅ１は位置決め部１５０の寸法Ｄ１よりも短い。位置決め開口部１６１において、Ｙ方向の寸法は位置決め部１５０の寸法よりも短い。
【0064】
なお、位置決め開口部１６１は、正方形状やＸ方向を長手方向とする長方形状であってもよく、四角形以外の多角形状や円形状等であってもよい。位置決め開口部１６１は、ダイサーによる切削加工に限らず、レーザ加工やサンドブラストやエッチング等により形成されていてもよい。
【0065】
中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、対応する位置決め部１５０及び位置決め開口部１６１が重なり合った状態で、接合されている。具体的に、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、位置決め開口部１６１を通じて位置決め部１５０が露出し、かつ区画溝１５１，１５２が露出しないような状態で重ね合わされている。位置決め開口部１６１は、区画溝１５１，１５２の間において、位置決め部１５０と同様にＹ方向に沿って配置されている。なお、位置決め部１５０及び位置決め開口部１６１は、Ｘ方向及びＹ方向での中心同士が一致していることが好ましい。但し、位置決め部１５０及び位置決め開口部１６１同士は、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２が露出しない構成であれば、互いの中心がずれて配置されていてもよい。
【0066】
図１１に示すように、上述した条件で中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３が接合された状態において、位置決め部１５０のＸ方向の両端部が、中間プレート５２に平面視で重なり合う。位置決め部１５０のＸ方向の両端部において、中間プレート５２に平面視で重なり合う部分は、許容部１５０ａ，１５０ｂとして機能する。許容部１５０ａ，１５０ｂにおけるＸ方向の寸法Ｆ１，Ｆ２は、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３を接合するにあたっての公差（位置ずれ許容値）に設定されている。すなわち、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、例えば寸法Ｆ１，Ｆ２のうち最小値が０よりも大きくなるように接合される。これにより、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３が所望の位置で重ね合わされる。例えば、平面視における吐出チャネル７５（貫通部７５ｂ）と連通孔１３０との重なり部分の面積が連通孔１３０の開口面積に対して所望の範囲内に配置された状態で、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３が重ね合わされる。
【0067】
［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【0068】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
【0069】
ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０及び入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０及び入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。
【0070】
そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板１００，１０１を介して電極９５，９７に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極９５を基準電位ＧＮＤとして各電極９５，９７間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル７５を画成する２つ駆動壁７０に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁７０が非吐出チャネル７６側へ突出するように変形する。すなわち、各電極９５，９７間に電圧を印加することで、駆動壁７０がＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７５の容積が増大する。そして、吐出チャネル７５の容積が増大したことにより、入口共通インク室１２０内に貯留されたインクが入口スリット１２５を通じて吐出チャネル７５内に誘導される。吐出チャネル７５の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７５の内部に伝播する。圧力波がノズル孔１４５～１４８に到達したタイミングで、電極９５，９７間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁７０が復元し、一旦増大した吐出チャネル７５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７５の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクが連通孔１３０及びノズル孔１４５～１４８を通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【0071】
＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
ヘッドチップ５０の製造方法は、重ね合わせ工程と、ノズルプレート貼付工程と、を備えている。なお、各プレート５１～５４には、重ね合わせ工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
ヘッドチップ５０の製造方法は、重ね合わせ工程と、ノズルプレート貼付工程と、を備えている。なお、各プレート５１～５４には、重ね合わせ工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。
【0072】
重ね合わせ工程では、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、中間プレート５２と、を接着剤等により貼り合わせる。この際、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とは、各チャネル列６１～６４の吐出チャネル７５が対応するスリット１２５，１２６に連通するように貼り合わせる。
【0073】
続いて、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを貼り合わせる。具体的には、位置決め開口部１６１を通じて位置決め部１５０が露出し、かつ区画溝１５１，１５２が露出しないような状態でアクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを位置決めした後、両者を貼り合わせる。例えば、図１２に示すように、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２の双方が露出している状態（符号Ｑ参照）では、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とが所望の重ね合わせ位置に対してＺ方向を軸線とする回転方向にずれていることを意味する。アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とが所望の重ね合わせ位置で接合されることで、各チャネル列６１～６４の吐出チャネル７５が対応する連通孔１３０に連通する。この状態において、吐出チャネル７５は、スリット１２５，１２６及び連通孔１３０を通じて吐出チャネル７５の外部に連通する。なお、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との位置合わせは、例えばアクチュエータプレート５３に対して中間プレート５２側とは反対側からバックライトを照射した状態で、目視で行う。但し、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との位置合わせは、画像処理等により行ってもよい。
【0074】
その後、ノズルプレート貼付工程では、ノズル孔１４５～１４８が対応するチャネル列６１～６４の吐出チャネル７５に連通孔１３０を通じて連通するように、ノズルプレート５１とアクチュエータプレート５３とを貼り合わせる。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
【0075】
なお、ヘッドチップ５０は、ウエハレベルで製造してもよい。ウエハレベルで製造する場合には、まず複数のアクチュエータプレート５３が連なるアクチュエータウエハと、複数のカバープレート５４が連なるカバーウエハと、複数の中間プレート５２が連なる中間ウエハと、を接合してウエハ接合体を形成する。その後、ウエハ接合体を切断することにより複数のヘッドチップ５０が形成される。
【0076】
このように、本実施形態では、ＡＣＴ側アライメント領域１４０において区画溝１５１，１５２に囲まれた位置決め部１５０が形成され、中間側アライメント領域１６０には中間プレート５２を貫通する位置決め開口部１６１が形成され、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２は、位置決め開口部１６１を通じて少なくとも位置決め部１５０が露出した状態で重ね合わされている構成とした。
この構成によれば、区画溝１５１，１５２により囲まれた位置決め部１５０をアクチュエータプレート５３と中間プレート５２との位置合わせ時におけるアライメントマークとして用いることができる。これにより、区画溝の加工痕自体をアライメントマークとして用いる場合に比べ、位置決め部１５０の寸法等が加工痕を形成するための加工条件等に依存し難い。その結果、製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度を向上させることができる。よって、吐出チャネル７５と連通孔１３０との位置決め精度に優れたヘッドチップ５０をより簡単に製造することができる。特に、本実施形態では、区画溝１５１，１５２がチャネル７５，７６と同様にダイサーによる切削加工により形成されるため、区画溝１５１，１５２の形成に伴う製造効率の低下を抑制し易い。
この構成によれば、区画溝１５１，１５２により囲まれた位置決め部１５０をアクチュエータプレート５３と中間プレート５２との位置合わせ時におけるアライメントマークとして用いることができる。これにより、区画溝の加工痕自体をアライメントマークとして用いる場合に比べ、位置決め部１５０の寸法等が加工痕を形成するための加工条件等に依存し難い。その結果、製造効率の低下を抑制した上で、アライメントマークの形成にあたっての自由度を向上させ、位置決め精度を向上させることができる。よって、吐出チャネル７５と連通孔１３０との位置決め精度に優れたヘッドチップ５０をより簡単に製造することができる。特に、本実施形態では、区画溝１５１，１５２がチャネル７５，７６と同様にダイサーによる切削加工により形成されるため、区画溝１５１，１５２の形成に伴う製造効率の低下を抑制し易い。
【0077】
本実施形態では、アクチュエータプレート５３及び中間プレート５２は、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２が露出しない状態で重ね合わされている構成とした。
この構成によれば、Ｚ方向を軸線とする回転方向の位置決め精度を高めることができる。例えば、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２の双方が露出している場合には、アクチュエータプレート５３に対して中間プレート５２が傾いた状態で重ね合わされていることが容易に判断できる。
この構成によれば、Ｚ方向を軸線とする回転方向の位置決め精度を高めることができる。例えば、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２の双方が露出している場合には、アクチュエータプレート５３に対して中間プレート５２が傾いた状態で重ね合わされていることが容易に判断できる。
【0078】
本実施形態では、位置決め開口部１６１が、平面視において、Ｙ方向を長手方向とし、Ｘ方向を短手方向とする長方形状に形成されている構成とした。
この構成によれば、位置決め開口部１６１を長方形状とすることで、位置決め開口部１６１の中心からＹ方向に離れた位置では、Ｚ方向を軸線とする回転方向での変位量が位置決め開口部１６１の中心付近よりも大きくなり易い。そのため、位置決め開口部１６１を通じて位置決め部１５０が露出し、かつ区画溝１５１，１５２が露出しないように、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
この構成によれば、位置決め開口部１６１を長方形状とすることで、位置決め開口部１６１の中心からＹ方向に離れた位置では、Ｚ方向を軸線とする回転方向での変位量が位置決め開口部１６１の中心付近よりも大きくなり易い。そのため、位置決め開口部１６１を通じて位置決め部１５０が露出し、かつ区画溝１５１，１５２が露出しないように、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
【0079】
本実施形態では、アライメント領域１４０，１６０がチャネル７５，７６の配列方向（Ｘ方向）に並んで設けられている構成とした。
この構成によれば、特にチャネル７５，７６の配列方向での位置決め精度を高め易い。
この構成によれば、特にチャネル７５，７６の配列方向での位置決め精度を高め易い。
【0080】
本実施形態では、アライメント領域１４０，１６０がチャネル列６１～６４に対してＸ方向の両側に設けられている構成とした。
この構成によれば、チャネル列６１～６４に対してＸ方向の両側でそれぞれ位置決めを行う。これにより、アクチュエータプレート５３や中間プレート５２の伸び縮みの影響を受け難く、長期に亘って信頼性に優れたヘッドチップ５０を提供できる。
この構成によれば、チャネル列６１～６４に対してＸ方向の両側でそれぞれ位置決めを行う。これにより、アクチュエータプレート５３や中間プレート５２の伸び縮みの影響を受け難く、長期に亘って信頼性に優れたヘッドチップ５０を提供できる。
【0081】
本実施形態では、中間プレート５２に対してアクチュエータプレート５３とは反対側には、ノズルプレート５１が重ね合わされ、ノズルプレート５１には、連通孔１３０を通じて吐出チャネル７５内とヘッドチップ５０の外部とを連通させるノズル孔１４５～１４８が形成されている構成とした。
この構成によれば、上述したようにアクチュエータプレート５３と中間プレート５２との位置決め精度を向上させることができるので、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に中間プレート５２を介在させた場合であっても、吐出チャネル７５とノズル孔１４５～１４８との位置ずれを抑制できる。
この構成によれば、上述したようにアクチュエータプレート５３と中間プレート５２との位置決め精度を向上させることができるので、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に中間プレート５２を介在させた場合であっても、吐出チャネル７５とノズル孔１４５～１４８との位置ずれを抑制できる。
【0082】
本実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したように高精度に位置決めされた信頼性に優れたヘッドチップ５０を提供できるので、信頼性に優れたインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。
【0083】
（変形例）
上述した第１実施形態では、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２が露出しないように、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３を位置決めする構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、図１３に示すように、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、位置決め開口部１６１を通じて少なくとも位置決め部１５０が露出するように配置されていれば、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２の双方が露出するように配置されていてもよい。この場合、位置決め部１５０において、Ｘ方向の寸法Ｄ１は位置決め開口部１６１の寸法Ｅ１よりも短い。
上述した第１実施形態では、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２が露出しないように、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３を位置決めする構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、図１３に示すように、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、位置決め開口部１６１を通じて少なくとも位置決め部１５０が露出するように配置されていれば、位置決め開口部１６１を通じて区画溝１５１，１５２の双方が露出するように配置されていてもよい。この場合、位置決め部１５０において、Ｘ方向の寸法Ｄ１は位置決め開口部１６１の寸法Ｅ１よりも短い。
【0084】
本変形例では、重ね合わせ工程において、アクチュエータプレート５３に対して中間プレート５２とは反対側からバックライト等を照射しながら位置決めを行う際に、区画溝１５１，１５２を通じてバックライト等から出射される光が透過され易い。そのため、位置決め部１５０と位置決め開口部１６１の開口縁との境界部分が認識し易くなる。その結果、位置決め作業を簡単に行い易い。
【0085】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。図１４は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。本実施形態では、寸法の異なる複数の位置決め部２５５，２５６及び複数の位置決め開口部２６１，２６２を備えている点で上述した実施形態と相違している。
図１４に示すように、アクチュエータプレート５３において、ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）２４０には、例えば３本の区画溝２５１～２５３が形成されている。各区画溝２５１～２５３は、Ｘ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に直線状に延びている。各区画溝２５１～２５３のうち、Ｘ方向で隣り合う第１区画溝（第１溝）２５１及び第２区画溝（第２溝、第５溝）２５２間の距離は、第２区画溝２５２及び第３区画溝（第５溝、第６溝）２５３間の距離に比べて広くなっている。
次に、第２実施形態について説明する。図１４は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。本実施形態では、寸法の異なる複数の位置決め部２５５，２５６及び複数の位置決め開口部２６１，２６２を備えている点で上述した実施形態と相違している。
図１４に示すように、アクチュエータプレート５３において、ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）２４０には、例えば３本の区画溝２５１～２５３が形成されている。各区画溝２５１～２５３は、Ｘ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に直線状に延びている。各区画溝２５１～２５３のうち、Ｘ方向で隣り合う第１区画溝（第１溝）２５１及び第２区画溝（第２溝、第５溝）２５２間の距離は、第２区画溝２５２及び第３区画溝（第５溝、第６溝）２５３間の距離に比べて広くなっている。
【0086】
ＡＣＴ側アライメント領域２４０において、第１区画溝２５１及び第２区画溝２５２で囲まれた部分は、第１位置決め部２５５として機能する。ＡＣＴ側アライメント領域２４０において、第２区画溝２５２及び第３区画溝２５３で囲まれた部分は、第２位置決め部２５６として機能する。
第１位置決め部２５５及び第２位置決め部２５６は、第２区画溝２５２を隔ててＹ方向に直線状に延びている。第１位置決め部２５５において、Ｘ方向の寸法Ｄ２は、第２位置決め部２５６の寸法Ｄ３に比べて大きい。なお、本実施形態では、第１位置決め部２５５及び第２位置決め部２５６を区画する溝が、第２区画溝２５２で共用されている構成について説明するが、この構成に限られない。第１位置決め部２５５及び第２位置決め部２５６それぞれが、２本の区画溝により区画されていてもよい。
第１位置決め部２５５及び第２位置決め部２５６は、第２区画溝２５２を隔ててＹ方向に直線状に延びている。第１位置決め部２５５において、Ｘ方向の寸法Ｄ２は、第２位置決め部２５６の寸法Ｄ３に比べて大きい。なお、本実施形態では、第１位置決め部２５５及び第２位置決め部２５６を区画する溝が、第２区画溝２５２で共用されている構成について説明するが、この構成に限られない。第１位置決め部２５５及び第２位置決め部２５６それぞれが、２本の区画溝により区画されていてもよい。
【0087】
中間プレート５２において、中間側アライメント領域（第２アライメント領域）２６０には第１位置決め開口部（第１開口部）２６１及び第２位置決め開口部（第２開口部）２６２が形成されている。各位置決め開口部２６１，２６２は、中間プレート５２をＺ方向に貫通する貫通孔である。各位置決め開口部２６１，２６２は、平面視での寸法（Ｘ方向での寸法Ｅ２，Ｅ３及びＹ方向での寸法）が何れも同等になっている。各位置決め開口部２６１，２６２は、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。各位置決め開口部２６１，２６２において、Ｘ方向での中心間距離は、位置決め部２５５，２５６の中心間距離と同等になっている。
【0088】
中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、第１位置決め部２５５及び第１位置決め開口部２６１が重なり合い、かつ第２位置決め部２５６及び第２位置決め開口部２６２が重なり合った状態で、接合されている。具体的に、第１位置決め部２５５及び第１位置決め開口部２６１は、第１位置決め開口部２６１を通じて第１位置決め部２５５が露出し、かつ区画溝２５１，２５２が露出しないような状態で重ね合わされている。第２位置決め部２５６及び第２位置決め開口部２６２は、第２位置決め開口部２６２を通じて第２位置決め部２５６が露出し、かつ区画溝２５２，２５３が露出しないような状態で重ね合わされている。
【0089】
本実施形態において、第２位置決め部２５６の許容部２５６ａ，２５６ｂ（中間プレート５２と平面視で重なる部分）のの寸法Ｆ３，Ｆ４のうち最小寸法は、第１位置決め部２５５の許容部２５５ａ，２５５ｂの寸法Ｆ５，Ｆ６のうち最小寸法よりも小さくなっている。すなわち、本実施形態では、中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３を接合するにあたって、第２位置決め部２５６及び第２位置決め開口部２６２同士を重ね合わせる方が、第１位置決め部２５５及び第１位置決め開口部２６１同士のみを重ね合わせる場合に比べて位置決め許容値が小さくなるように設定されている。
【0090】
本実施形態において、中間プレート５２とアクチュエータプレート５３との位置決めは、要求される位置ずれ許容値に応じて以下の２つのパターンで実行することができる。
（１）第１位置決め開口部２６１を通じて第１位置決め部２５５が露出するとともに、区画溝２５１，２５２が露出しないように配置した上で、第２位置決め開口部２６２を通じて第２位置決め部２５６が露出するとともに、区画溝２５２，２５３が露出しないように配置する。
（２）第１位置決め開口部２６１を通じて第１位置決め部２５５が露出するとともに、区画溝２５１，２５２が露出しないように配置する。
（１）第１位置決め開口部２６１を通じて第１位置決め部２５５が露出するとともに、区画溝２５１，２５２が露出しないように配置した上で、第２位置決め開口部２６２を通じて第２位置決め部２５６が露出するとともに、区画溝２５２，２５３が露出しないように配置する。
（２）第１位置決め開口部２６１を通じて第１位置決め部２５５が露出するとともに、区画溝２５１，２５２が露出しないように配置する。
【0091】
（１）のパターンでは、上述したように第１位置決め部２５５及び第１位置決め開口部２６１同士のみを重ね合わせる場合に比べて位置決め許容値が小さくなる。そのため、例えば高精度な位置決めが要求される際に採用される。
（２）のパターンでは、第２位置決め開口部２６２を通じて第２区画溝２５２や第３区画溝２５３が露出することも許容される。そのため、例えば位置ずれ許容値の最大値のみを規定する際に採用される。
（２）のパターンでは、第２位置決め開口部２６２を通じて第２区画溝２５２や第３区画溝２５３が露出することも許容される。そのため、例えば位置ずれ許容値の最大値のみを規定する際に採用される。
【0092】
このように、本実施形態では、第１位置決め部２５５よりもＸ方向の寸法が小さい第２位置決め部２５６を設けることで、位置決め精度を段階的に設定できる。例えば、位置決め精度の要求が低い場合は、第１位置決め開口部２６１を通じて第１位置決め部２５５が露出し、かつ第１区画溝２５１及び第２区画溝２５２が露出しない状態でのみアクチュエータプレート５３及び中間プレート５２を重ね合わせることで、簡単に位置決めを行うことができる。一方、位置決め精度の要求が高い場合は、第１位置決め開口部２６１と第１位置決め部２５５とに加え、第２位置決め開口部２６１を通じて第２位置決め部２５６が露出し、かつ第２区画溝２５２及び第３区画溝２５３が露出しない状態でアクチュエータプレート５３及び中間プレート５２を重ね合わせる。これにより、位置決めをより高精度に行うことができる。なお、位置決め部（位置決め開口部）は、３つ以上の複数設けられていてもよい。
【0093】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。図１５は、第３実施形態におけるヘッドチップ５０の底面図である。本実施形態では、区画溝３５１～３５４及び位置決め開口部３６１がＸ方向及びＹ方向に交差して延びている点で、上述した実施形態と相違している。
図１５に示すように、アクチュエータプレート５３において、ＡＣＴ側アライメント領域３４０には、４本の区画溝３５１～３５４が形成されている。区画溝３５１～３５４は、第１縦区画溝（第１溝）３５１及び第２縦区画溝（第２溝）３５２、並びに第１横区画溝（第３溝）３５３及び第２横区画溝（第４溝）３５４である。
次に、第３実施形態について説明する。図１５は、第３実施形態におけるヘッドチップ５０の底面図である。本実施形態では、区画溝３５１～３５４及び位置決め開口部３６１がＸ方向及びＹ方向に交差して延びている点で、上述した実施形態と相違している。
図１５に示すように、アクチュエータプレート５３において、ＡＣＴ側アライメント領域３４０には、４本の区画溝３５１～３５４が形成されている。区画溝３５１～３５４は、第１縦区画溝（第１溝）３５１及び第２縦区画溝（第２溝）３５２、並びに第１横区画溝（第３溝）３５３及び第２横区画溝（第４溝）３５４である。
【0094】
第１縦区画溝３５１及び第２縦区画溝３５２は、Ｘ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に直線状に延びている。第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４は、Ｙ方向に間隔をあけた状態でＸ方向に直線状に延びている。第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４は、第１縦区画溝３５１及び第２縦区画溝３５２の双方をＸ方向に横断している。
【0095】
ＡＣＴ側アライメント領域３４０には、各区画溝３５１～３５４で区画された位置決め部（第１位置決め部）３５７が形成されている。位置決め部３５７は、中央領域３５７ａと、中央領域３５７ａに対してＹ方向の両側に位置するＹ方向領域３５７ｂ，３５７ｃと、中央領域３５７ａに対してＸ方向の両側に位置するＸ方向領域３５７ｄ，３５７ｅと、を含んでいる。
【0096】
中央領域３５７ａは、各区画溝３５１～３５４により囲まれた平面視矩形状の領域である。
Ｙ方向領域３５７ｂは、中央領域３５７ａに対して＋Ｙ側において、第１縦区画溝３５１、第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４で囲まれた領域である。
Ｙ方向領域３５７ｃは、中央領域３５７ａに対して－Ｙ側において、第２縦区画溝３５２、第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４で囲まれた領域である。
Ｘ方向領域３５７ｄは、中央領域３５７ａに対して＋Ｘ側において、第１縦区画溝３５１、第２縦区画溝３５２及び第１横区画溝３５３で囲まれた領域である。
Ｘ方向領域３５７ｅは、中央領域３５７ａに対して－Ｘ側において、第１縦区画溝３５１、第２縦区画溝３５２及び第２横区画溝３５４で囲まれた領域である。
Ｙ方向領域３５７ｂは、中央領域３５７ａに対して＋Ｙ側において、第１縦区画溝３５１、第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４で囲まれた領域である。
Ｙ方向領域３５７ｃは、中央領域３５７ａに対して－Ｙ側において、第２縦区画溝３５２、第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４で囲まれた領域である。
Ｘ方向領域３５７ｄは、中央領域３５７ａに対して＋Ｘ側において、第１縦区画溝３５１、第２縦区画溝３５２及び第１横区画溝３５３で囲まれた領域である。
Ｘ方向領域３５７ｅは、中央領域３５７ａに対して－Ｘ側において、第１縦区画溝３５１、第２縦区画溝３５２及び第２横区画溝３５４で囲まれた領域である。
【0097】
中間プレート５２において、中間側アライメント領域（第２アライメント領域）３６０には位置決め開口部３６１が形成されている。位置決め開口部３６１は、中間プレート５２をＺ方向に貫通する貫通孔である。位置決め開口部３６１は、平面視においてＸ字状に形成されている。具体的に、位置決め開口部３６１は、第１スリット３６３と、第２スリット３６４と、を備えている。
【0098】
第１スリット３６３は、Ｙ方向に沿って直線状に延びている。第１スリット３６３において、Ｘ方向の寸法は、中央領域３５７ａ及びＹ方向領域３５７ｂ，３５７ｃの寸法よりも短くなっている。
第２スリット３６４は、第１スリット３６３をＸ方向に横断している。第２スリット３６４において、Ｙ方向の寸法は、中央領域３５７ａ及びＸ方向領域３５７ｄ，３５７ｅの寸法よりも短くなっている。
第２スリット３６４は、第１スリット３６３をＸ方向に横断している。第２スリット３６４において、Ｙ方向の寸法は、中央領域３５７ａ及びＸ方向領域３５７ｄ，３５７ｅの寸法よりも短くなっている。
【0099】
位置決め開口部３６１のうち、第１スリット３６３及び第２スリット３６４の交差部分３６１ａは、平面視での寸法（Ｘ方向及びＹ方向）が中央領域３５７ａよりも小さい矩形状に形成されている。
第１スリット３６３のうち、交差部分３６１ａに対してＹ方向の両側に位置するＹ方向領域３６１ｂ，３６１ｃは、Ｘ方向の寸法がＹ方向領域３５７ｂ，３５７ｃよりも小さくなっている。
第２スリット３６４のうち、交差部分３６１ａに対してＸ方向の両側に位置するＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅは、Ｙ方向の寸法がＸ方向領域３５７ｄ，３５７ｅよりも小さくなっている。
第１スリット３６３のうち、交差部分３６１ａに対してＹ方向の両側に位置するＹ方向領域３６１ｂ，３６１ｃは、Ｘ方向の寸法がＹ方向領域３５７ｂ，３５７ｃよりも小さくなっている。
第２スリット３６４のうち、交差部分３６１ａに対してＸ方向の両側に位置するＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅは、Ｙ方向の寸法がＸ方向領域３５７ｄ，３５７ｅよりも小さくなっている。
【0100】
中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、位置決め部３５７及び位置決め開口部３６１が重ね合わされた状態で接合されている。具体的に、位置決め部３５７及び位置決め開口部３６１は、交差部分３６１ａを通じて各区画溝３５１～３５４が露出せず、Ｙ方向領域３６１ｂ，３６１ｃを通じて第１縦区画溝３５１及び第２縦区画溝３５２が露出せず、かつＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅを通じて第１横区画溝３５３及び第２横区画溝３５４が露出しない状態で重ね合わされている。
【0101】
図１６は、図１５に対応する底面図であって、位置合わせ不良の状態を示す図である。
図１６に示す状態において、位置決め部３５７及び位置決め開口部３６１は、例えばＹ方向領域３６１ｂ，３６１ｃを通じて第１縦区画溝３５１及び第２縦区画溝３５２が露出するように重ね合わされている。この場合には、中間プレート５２が、アクチュエータプレート５３に対して位置決め開口部３６１の中心を通りＺ方向に延びる軸線回りの回転方向で位置ずれしていると判断できる。
一方、図１７に示す状態では、位置決め部３５７及び位置決め開口部３６１が、交差部分３６１ａを通じて第１縦区画溝３５１が露出するように重ね合わされている。この場合には、中間プレート５２が、アクチュエータプレート５３に対してＸ方向で位置ずれしていると判断できる。
図１６に示す状態において、位置決め部３５７及び位置決め開口部３６１は、例えばＹ方向領域３６１ｂ，３６１ｃを通じて第１縦区画溝３５１及び第２縦区画溝３５２が露出するように重ね合わされている。この場合には、中間プレート５２が、アクチュエータプレート５３に対して位置決め開口部３６１の中心を通りＺ方向に延びる軸線回りの回転方向で位置ずれしていると判断できる。
一方、図１７に示す状態では、位置決め部３５７及び位置決め開口部３６１が、交差部分３６１ａを通じて第１縦区画溝３５１が露出するように重ね合わされている。この場合には、中間プレート５２が、アクチュエータプレート５３に対してＸ方向で位置ずれしていると判断できる。
【0102】
このように、本実施形態では、交差部分３６１ａを通じて区画溝３５１～３５４が露出しないように、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを重ね合わせることで、Ｘ方向及びＹ方向双方での位置決め精度を高めることができる。
また、第１スリット３６３のうち交差部分３６１ａよりも外側に位置する部分（Ｙ方向領域３６１ｂ、３６１ｃ）、及び第２スリット３６４のうち交差部分３６１ａよりも外側に位置する部分（Ｘ方向領域３６１ｄ，３６１ｅ）では、Ｚ方向を軸線とする回転方向での変位量が交差部分３６１ａよりも大きくなり易い。そして、Ｙ方向領域３６１ｂ、３６１ｃを通じて縦区画溝３５１，３５２が露出せず、かつＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅを通じて横区画溝３５３，３５４が露出しないように、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
また、第１スリット３６３のうち交差部分３６１ａよりも外側に位置する部分（Ｙ方向領域３６１ｂ、３６１ｃ）、及び第２スリット３６４のうち交差部分３６１ａよりも外側に位置する部分（Ｘ方向領域３６１ｄ，３６１ｅ）では、Ｚ方向を軸線とする回転方向での変位量が交差部分３６１ａよりも大きくなり易い。そして、Ｙ方向領域３６１ｂ、３６１ｃを通じて縦区画溝３５１，３５２が露出せず、かつＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅを通じて横区画溝３５３，３５４が露出しないように、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを重ね合わせることで、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
【0103】
なお、位置合わせにあたっては、少なくとも交差部分３６１ａを通じて中央領域３５７ａが露出するように配置されていればよい。この場合、第１スリット３６３（Ｙ方向領域３６１ｂ，３６１ｃ）を通じて縦区画溝３５１，３５２が露出し、第２スリット３６４（Ｘ方向領域３６１ｄ，３６１ｅ）を通じて横区画溝３５３，３５４が露出していてもよい。
【0104】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。図１８は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０の底面図である。本実施形態では、位置決め部４５５がパターニング部４５３により区分けされている点で上述した実施形態と相違している。
図１８に示すように、ＡＣＴ側アライメント領域４５０には、区画溝（第１溝、第２溝）４５１，４５２と、パターニング部４５３と、が形成されている。区画溝４５１，４５２は、Ｘ方向に間隔をあけた状態で、それぞれＹ方向に直線状に延びている。ＡＣＴ側アライメント領域４５０において、区画溝４５１，４５２で囲まれた部分は、位置決め部（第１位置決め部）４５５を構成している。
次に、第４実施形態について説明する。図１８は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０の底面図である。本実施形態では、位置決め部４５５がパターニング部４５３により区分けされている点で上述した実施形態と相違している。
図１８に示すように、ＡＣＴ側アライメント領域４５０には、区画溝（第１溝、第２溝）４５１，４５２と、パターニング部４５３と、が形成されている。区画溝４５１，４５２は、Ｘ方向に間隔をあけた状態で、それぞれＹ方向に直線状に延びている。ＡＣＴ側アライメント領域４５０において、区画溝４５１，４５２で囲まれた部分は、位置決め部（第１位置決め部）４５５を構成している。
【0105】
パターニング部４５３は、アクチュエータプレート５３の表面に形成された金属膜４５６に対して施されたレーザ照射痕である。金属膜４５６は、例えば金（Ａｕ）等を蒸着等により成膜することで形成されている。パターニング部４５３は、金属膜４５６のうちＸ方向に延びるとともに区画溝４５１，４５２に交差する部分を除去することで、Ｘ方向に直線状に延びている。これにより、位置決め部４５５は、パターニング部４５３と交差する中央領域４５５ａと、パターニング部４５３に対してＹ方向の両側に位置する外側領域４５５ｂ、４５５ｃと、に区画されている。外側領域４５５ｂ，４５５ｃは、金属膜４５６が形成された領域である。なお、パターニング部４５３において、Ｙ方向の寸法は第２スリット３６４の寸法よりも大きい。
【0106】
中間プレート５２及びアクチュエータプレート５３は、位置決め部４５５及び位置決め開口部３６１が重なり合った状態で、接合されている。具体的に、位置決め部４５５及び位置決め開口部３６１は、交差部分３６１ａを通じて中央領域４５５ａが露出し、Ｙ方向領域３６１ｂ，３６１ｃを通じて区画溝４５１，４５２が露出せず、かつＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅを通じてパターニング部４５３以外の領域（金属膜４５６）が露出しない状態で重ね合わされている。すなわち、第１スリット３６３は、Ｙ方向に沿う開口縁が、パターニング部４５３と区画溝４５１，４５２とを跨がらない状態で配置されている。第２スリット３６４は、Ｘ方向に沿う開口縁がパターニング部４５３と金属膜４５６とを跨らない状態で配置されている。
【0107】
なお、第１スリット３６３におけるＹ方向に沿う開口縁とは、Ｙ方向領域３６１ｂ，３６１ｃにおけるＹ方向に沿う端縁、及び交差部分３６１ａとＸ方向領域３６１ｄ，３６１ｅとの境界部分を含む。第２スリット３６４におけるＸ方向に沿う開口縁とは、Ｘ方向領域３６１ｄ，３６１ｅにおけるＸ方向に沿う端縁、及び交差部分３６１ａとＹ方向領域３６１ｂ，３６１ｃとの境界部分を含む。
【0108】
図１９は、図１８に対応する底面図であって、位置合わせ不良の状態を示す図である。
図１９に示す状態では、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁が、パターニング部４５３と金属膜４５６とを跨って配置されている。具体的に、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁は、少なくとも区画溝４５１，４５２に対してＸ方向の外側領域において平面視で金属膜４５６と重なり、区画溝４５１，４５２に対してＸ方向の内側領域において中央領域４５５ａ（パターニング部４５３）と重なっている。この場合には、中間プレート５２が、アクチュエータプレート５３に対して位置決め開口部３６１の中心を通りＺ方向に延びる軸線回りの回転方向で位置ずれしていると判断できる。
図１９に示す状態では、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁が、パターニング部４５３と金属膜４５６とを跨って配置されている。具体的に、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁は、少なくとも区画溝４５１，４５２に対してＸ方向の外側領域において平面視で金属膜４５６と重なり、区画溝４５１，４５２に対してＸ方向の内側領域において中央領域４５５ａ（パターニング部４５３）と重なっている。この場合には、中間プレート５２が、アクチュエータプレート５３に対して位置決め開口部３６１の中心を通りＺ方向に延びる軸線回りの回転方向で位置ずれしていると判断できる。
【0109】
このように、本実施形態では、交差部分３６１ａを通じて中央領域４５５ａが露出するように、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とを重ね合わせることで、Ｘ方向及びＹ方向双方での位置決め精度を高めることができる。
また、本実施形態では、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁が、パターニング部４５３と、金属膜４５６と、を跨がらない状態で配置される。これにより、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
また、本実施形態では、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁が、パターニング部４５３と、金属膜４５６と、を跨がらない状態で配置される。これにより、特に回転方向での位置決め精度を高めることができる。
【0110】
上述した実施形態では、レーザ照射痕をパターニング部４５３として用いた場合について説明したが、この構成に限られない。パターニング部４５３は、位置決め開口部３６１を通じてパターニング部４５３以外の部分と区別可能であればよい。この場合、パターニング部は、例えば金属膜をフォトリソグラフィ技術等によってパターニングしたものであってもよく、塗布等により着色やマークが施されたものであってもよい。この場合において、パターニング部４５３以外の部分とは、アクチュエータプレート５３の表面となる。すなわち、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とは、第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁が、少なくとも区画溝４５１，４５２に対してＸ方向の外側領域において平面視でアクチュエータプレート５３の表面と重ならず、区画溝４５１，４５２に対してＸ方向の内側領域において中央領域４５５ａ（パターニング部４５３）と重ならないように重ね合わされる。
【0111】
（変形例）
上述した第４実施形態では、パターニング部４５３におけるＹ方向の寸法が第２スリット３６４の寸法よりも大きい構成について説明したが、この構成に限られない。
図２０に示すように、パターニング部４５３におけるＹ方向の寸法は、第２スリット３６４の寸法よりも小さくてもよい。位置決め部４５５及び位置決め開口部３６１は、交差部分３６１ａを通じて中央領域４５５ａが露出し、Ｙ方向領域３６１ｂ，３６１ｃを通じて区画溝４５１，４５２が露出せず、かつ第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁がパターニング部４５３と金属膜４５６とを跨らない状態で重ね合わされている。
上述した第４実施形態では、パターニング部４５３におけるＹ方向の寸法が第２スリット３６４の寸法よりも大きい構成について説明したが、この構成に限られない。
図２０に示すように、パターニング部４５３におけるＹ方向の寸法は、第２スリット３６４の寸法よりも小さくてもよい。位置決め部４５５及び位置決め開口部３６１は、交差部分３６１ａを通じて中央領域４５５ａが露出し、Ｙ方向領域３６１ｂ，３６１ｃを通じて区画溝４５１，４５２が露出せず、かつ第２スリット３６４のうちＸ方向に沿う開口縁がパターニング部４５３と金属膜４５６とを跨らない状態で重ね合わされている。
【0112】
このような構成においても、上述した第４実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【0113】
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
【0114】
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、ヘッドチップにおいて、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との重ね合わせる構成について説明したが、この構成に限られない。本開示の構成は、アクチュエータプレート５３と、アクチュエータプレート５３に重ね合わせられる他のプレート（例えば、ノズルプレート５１やカバープレート５４）と、の重ね合わせる際に採用してもよい。
上述した実施形態では、チャネル列６１～６４に対してＸ方向に並んでアライメント領域が設けられた構成について説明したが、この構成に限られない。アライメント領域５００は、チャネル列６１～６４に対してＹ方向に並んで設けられていてもよい。この場合には、区画溝等がチャネル列６１～６４に干渉するのを抑制できる。
また、アライメント領域は、アクチュエータプレート５３における中央部に配置される構成であってもよい。この場合、アライメント領域に対して両側にチャネル列が設けられていてもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＹ方向に一致し、第２方向がＸ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＹ方向とは別に定めてもよい。
上述した実施形態では、ヘッドチップにおいて、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との重ね合わせる構成について説明したが、この構成に限られない。本開示の構成は、アクチュエータプレート５３と、アクチュエータプレート５３に重ね合わせられる他のプレート（例えば、ノズルプレート５１やカバープレート５４）と、の重ね合わせる際に採用してもよい。
上述した実施形態では、チャネル列６１～６４に対してＸ方向に並んでアライメント領域が設けられた構成について説明したが、この構成に限られない。アライメント領域５００は、チャネル列６１～６４に対してＹ方向に並んで設けられていてもよい。この場合には、区画溝等がチャネル列６１～６４に干渉するのを抑制できる。
また、アライメント領域は、アクチュエータプレート５３における中央部に配置される構成であってもよい。この場合、アライメント領域に対して両側にチャネル列が設けられていてもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＹ方向に一致し、第２方向がＸ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＹ方向とは別に定めてもよい。
【0115】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0116】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２…中間プレート（アライメントプレート）
５３…アクチュエータプレート
６１…第１チャネルＡ列（チャネル領域）
６２…第１チャネルＢ列（チャネル領域）
６３…第２チャネルＡ列（チャネル領域）
６４…第２チャネルＢ列（チャネル領域）
７５…吐出チャネル（噴射チャネル）
７６…非吐出チャネル（非噴射チャネル）
１３５…第１連通Ａ領域（連通領域）
１３６…第１連通Ｂ領域（連通領域）
１３７…第２連通Ａ領域（連通領域）
１３８…第２連通Ｂ領域（連通領域）
１４０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
１５０…位置決め部（第１位置決め部）
１５１…区画溝（第１溝）
１５２…区画溝（第２溝）
１６０…中間側アライメント領域（第２アライメント領域）
１６１…位置決め開口部（第１開口部）
２４０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
２５１…第１区画溝（第１溝）
２５２…第２区画溝（第２溝、第５溝）
２５３…第３区画溝（第５溝、第６溝）
２５５…第１位置決め部
２５６…第２位置決め部
２６０…中間側アライメント領域（第２アライメント領域）
２６１…第１位置決め開口部（第１開口部）
２６２…第２位置決め開口部（第３開口部）
３４０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
３５１…第１縦区画溝（第１溝）
３５２…第２縦区画溝（第２溝）
３５３…第１横区画溝（第３溝）
３５４…第２横区画溝（第４溝）
３５７…位置決め部（第１位置決め部）
３６０…中間側アライメント領域（第２アライメント領域）
３６１ａ…交差部分
３６１ｂ…Ｙ方向領域（第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６１ｃ…Ｙ方向領域（第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６１ｄ…Ｘ方向領域（第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６１ｅ…Ｘ方向領域（第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６３…第１スリット（第１開口部）
３６４…第２スリット（第２開口部）
４５０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
４５１…区画溝（第１溝）
４５２…区画溝（第２溝）
４５３…パターニング部
４５５…位置決め部（第１位置決め部）
４５５ａ…中央領域
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２…中間プレート（アライメントプレート）
５３…アクチュエータプレート
６１…第１チャネルＡ列（チャネル領域）
６２…第１チャネルＢ列（チャネル領域）
６３…第２チャネルＡ列（チャネル領域）
６４…第２チャネルＢ列（チャネル領域）
７５…吐出チャネル（噴射チャネル）
７６…非吐出チャネル（非噴射チャネル）
１３５…第１連通Ａ領域（連通領域）
１３６…第１連通Ｂ領域（連通領域）
１３７…第２連通Ａ領域（連通領域）
１３８…第２連通Ｂ領域（連通領域）
１４０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
１５０…位置決め部（第１位置決め部）
１５１…区画溝（第１溝）
１５２…区画溝（第２溝）
１６０…中間側アライメント領域（第２アライメント領域）
１６１…位置決め開口部（第１開口部）
２４０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
２５１…第１区画溝（第１溝）
２５２…第２区画溝（第２溝、第５溝）
２５３…第３区画溝（第５溝、第６溝）
２５５…第１位置決め部
２５６…第２位置決め部
２６０…中間側アライメント領域（第２アライメント領域）
２６１…第１位置決め開口部（第１開口部）
２６２…第２位置決め開口部（第３開口部）
３４０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
３５１…第１縦区画溝（第１溝）
３５２…第２縦区画溝（第２溝）
３５３…第１横区画溝（第３溝）
３５４…第２横区画溝（第４溝）
３５７…位置決め部（第１位置決め部）
３６０…中間側アライメント領域（第２アライメント領域）
３６１ａ…交差部分
３６１ｂ…Ｙ方向領域（第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６１ｃ…Ｙ方向領域（第１開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６１ｄ…Ｘ方向領域（第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６１ｅ…Ｘ方向領域（第２開口部のうち交差部分よりも外側に位置する部分）
３６３…第１スリット（第１開口部）
３６４…第２スリット（第２開口部）
４５０…ＡＣＴ側アライメント領域（第１アライメント領域）
４５１…区画溝（第１溝）
４５２…区画溝（第２溝）
４５３…パターニング部
４５５…位置決め部（第１位置決め部）
４５５ａ…中央領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】