特開2022-87067小型化されたマイクロ電気機械変換器

発明の名称　小型化されたマイクロ電気機械変換器

出願人　ソニオン・ネーデルランド・ベー・フェー　（識別番号 521044671）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9051 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-87067

公報発行日　2022年6月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-87067

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