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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022087851
(43)【公開日】2022-06-13
(54)【発明の名称】検査方法および検査システム
(51)【国際特許分類】
G01N 21/88 20060101AFI20220606BHJP
【ＦＩ】
G01N21/88 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022004628
(22)【出願日】2022-01-14
(62)【分割の表示】P 2020199290の分割
【原出願日】2020-12-01
(71)【出願人】
【識別番号】520470213
【氏名又は名称】鈴木 勇祐
(74)【代理人】
【識別番号】100131451
【弁理士】
【氏名又は名称】津田 理
(74)【代理人】
【識別番号】100106840
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 耕司
(74)【代理人】
【識別番号】100167933
【弁理士】
【氏名又は名称】松野 知紘
(74)【代理人】
【識別番号】100174137
【弁理士】
【氏名又は名称】酒谷 誠一
(74)【代理人】
【識別番号】100184181
【弁理士】
【氏名又は名称】野本 裕史
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 勇祐
(72)【発明者】
【氏名】村井 弘道
【テーマコード（参考）】
2G051
【Ｆターム（参考）】
2G051AA90
2G051AB07
2G051BA10
2G051BB09
2G051CA04
2G051CA07
2G051CB01
2G051CC07
2G051EA08
2G051EB01
(57)【要約】
【課題】より精度よく検査を行える検査方法および検査システムを提供する。
【解決手段】被検査面における被検査位置に光を照射した状態で、前記被検査面に対して
第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ステップと、前記
被検査位置に光を照射した状態で、前記被検査面に対して前記第１角度とは異なる第２角
度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、前記第１角
度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化
した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える
検査方法が提供される。
【選択図】図７
【解決手段】被検査面における被検査位置に光を照射した状態で、前記被検査面に対して
第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ステップと、前記
被検査位置に光を照射した状態で、前記被検査面に対して前記第１角度とは異なる第２角
度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、前記第１角
度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化
した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える
検査方法が提供される。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被検査面における被検査位置にメッシュ状に光を照射した状態で、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ステップと、
前記被検査位置にメッシュ状に光を照射した状態で、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える検査方法。
前記被検査位置にメッシュ状に光を照射した状態で、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える検査方法。
【請求項2】
被検査面における被検査位置に近赤外線光を照射した状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ステップと、
前記被検査位置に近赤外線光を照射した状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える検査方法。
前記被検査位置に近赤外線光を照射した状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える検査方法。
【請求項3】
被検査面における被検査位置に光を照射した状態で、ドローンに搭載したカメラから前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ステップと、
前記被検査位置に光を照射した状態で、ドローンに搭載したカメラから前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える検査方法。
前記被検査位置に光を照射した状態で、ドローンに搭載したカメラから前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステップと、を備える検査方法。
【請求項4】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、前記ドローンに搭載した光源から前記被検査位置に光を照射する、請求項３に記載の検査方法。
【請求項5】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、前記ドローンに搭載された光学部材を介して前記光源から前記被検査位置に光を照射する、請求項４に記載の検査方法。
【請求項6】
前記第１画像と前記第２画像との差に基づいて前記被検査位置に凹凸が存在するか否かを判定する判定ステップを備える、請求項１乃至５のいずれかに記載の検査方法。
【請求項7】
前記第１角度は、前記被検査面と正対する角度である、請求項１乃至６のいずれかに記載の検査方法。
【請求項8】
被検査面における被検査位置にメッシュ状に光を照射する光源と、
前記被検査位置にメッシュ状に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置にメッシュ状に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する１以上のカメラと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出部と、を備える検査システム。
前記被検査位置にメッシュ状に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置にメッシュ状に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する１以上のカメラと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出部と、を備える検査システム。
【請求項9】
被検査面における被検査位置に近赤外線光を照射する光源と、
前記被検査位置に近赤外線光が照射された状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置に近赤外線光が照射された状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する１以上のカメラと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出部と、を備える検査システム。
前記被検査位置に近赤外線光が照射された状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置に近赤外線光が照射された状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを介して、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する１以上のカメラと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出部と、を備える検査システム。
【請求項10】
被検査面における被検査位置に光を照射する光源と、
前記被検査位置に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する、ドローンに搭載したカメラから１以上のカメラと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出部と、を備える検査システム。
前記被検査位置に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置に光が照射された状態で、前記被検査面の法線方向に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する、ドローンに搭載したカメラから１以上のカメラと、
前記第１角度をθ１とし、前記第２角度をθ２としたとき、前記第２画像の各画素の明るさを（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出部と、を備える検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、検査方法および検査システムに関する。
【背景技術】
【0002】
検査対象の表面に凹凸があるか否かの検査をするにあたって、凹凸と黒線のような汚れ
とを区別するのは容易ではない。この点、特許文献１の表面検査装置によれば、薄鋼板や
厚鋼板の表面における凹凸キズと汚れとを識別できるとされている。
とを区別するのは容易ではない。この点、特許文献１の表面検査装置によれば、薄鋼板や
厚鋼板の表面における凹凸キズと汚れとを識別できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００６－１７７８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の課題は、より精度よく検査を行える検査方法および検査システムを提供するこ
とである。
とである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一態様によれば、被検査面における被検査位置に光を照射した状態で、前記被
検査面に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ス
テップと、前記被検査位置に光を照射した状態で、前記被検査面に対して前記第１角度と
は異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップ
と、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量
の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステッ
プと、を備える検査方法が提供される。
検査面に対して第１角度で前記被検査位置を撮影して第１画像を取得する第１画像取得ス
テップと、前記被検査位置に光を照射した状態で、前記被検査面に対して前記第１角度と
は異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を取得する第２画像取得ステップ
と、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査位置における光の反射量
の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を算出する差分算出ステッ
プと、を備える検査方法が提供される。
【0006】
検査方法は、前記第１画像と前記第２画像との差に基づいて前記被検査位置に凹凸が存
在するか否かを判定する判定ステップを備えてもよい。
在するか否かを判定する判定ステップを備えてもよい。
【0007】
前記第１角度は、前記被検査面と正対する角度であってもよい。
【0008】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、前記被検査位置に近
赤外線光を照射した状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを
介して前記被検査位置を撮影することによって、前記第１画像および前記第２画像をそれ
ぞれ取得してもよい。
赤外線光を照射した状態で、前記近赤外線光の波長を通過帯域とする帯域通過フィルタを
介して前記被検査位置を撮影することによって、前記第１画像および前記第２画像をそれ
ぞれ取得してもよい。
【0009】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、前記被検査位置にメ
ッシュ状に光を照射してもよい。
ッシュ状に光を照射してもよい。
【0010】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、移動体に搭載したカ
メラから撮影することによって前記第１画像および前記第２画像をそれぞれ取得してもよ
い。
メラから撮影することによって前記第１画像および前記第２画像をそれぞれ取得してもよ
い。
【0011】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、移動体に搭載した光
源から前記被検査位置に光を照射してもよい。
源から前記被検査位置に光を照射してもよい。
【0012】
前記第１画像取得ステップおよび前記第２画像取得ステップでは、前記移動体に搭載さ
れた光学部材を介して前記光源から前記被検査位置に光を照射してもよい。
れた光学部材を介して前記光源から前記被検査位置に光を照射してもよい。
【0013】
本発明の別の態様によれば、被検査面における被検査位置に光を照射する光源と、前記
被検査位置に光が照射された状態で、前記被検査面に対して第１角度で前記被検査位置を
撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置に光が照射された状態で、前記被
検査面に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を
取得する１以上のカメラと、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査
位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を
算出する差分算出部と、を備える検査システムが提供される。
被検査位置に光が照射された状態で、前記被検査面に対して第１角度で前記被検査位置を
撮影して第１画像を取得するとともに、前記被検査位置に光が照射された状態で、前記被
検査面に対して前記第１角度とは異なる第２角度で前記被検査位置を撮影して第２画像を
取得する１以上のカメラと、前記第１角度と前記第２角度の違いに起因する、前記被検査
位置における光の反射量の違いを正規化した上で、前記第１画像と前記第２画像との差を
算出する差分算出部と、を備える検査システムが提供される。
【発明の効果】
【0014】
撮影角度に起因する被検査位置における光の反射量の違いを正規化するため、精度よく
検査できる。
検査できる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】反射面における理想的な拡散反射モデルを模式的に示す図。
【図2】本実施形態における測定手法の概略を説明する図。
【図3A】被検査位置Ａ－Ｂに凹凸も黒線もない場合を説明する図。
【図3B】被検査位置Ａ－Ｂに凹凸も黒線もない場合を説明する図。
【図4A】被検査位置Ａ－Ｂに凹凸がある場合を説明する図。
【図4B】被検査位置Ａ－Ｂに凹凸がある場合を説明する図。
【図5A】被検査位置Ａ－Ｂに黒線がある場合を説明する図。
【図5B】被検査位置Ａ－Ｂに黒線がある場合を説明する図。
【図6】一実施形態に係る検査システムの概略構成を示すブロック図。
【図7】検査システムの処理動作の一例を示すフローチャート。
【図8】カメラＣｘ，Ｃｙの配置例を模式的に示す図。
【図9】被検査面が移動する場合を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【0017】
上述した特許文献１に開示された手法は光切断法を応用したものであって、照射する光
のラインの位置ずれをカメラで識別しているが、薄鋼板や厚鋼板といった検査対象におけ
る光の反射量が反射角度に依存することを考慮していない。加えて、光切断法においては
、照射する光のライン幅より小さな凹凸を検知するのは極めて困難である。そのため、特
許文献１の手法では、必ずしも精度よく被検査物における凹凸を検出できるとは限らない
ことに本願発明者らは気づいた。
のラインの位置ずれをカメラで識別しているが、薄鋼板や厚鋼板といった検査対象におけ
る光の反射量が反射角度に依存することを考慮していない。加えて、光切断法においては
、照射する光のライン幅より小さな凹凸を検知するのは極めて困難である。そのため、特
許文献１の手法では、必ずしも精度よく被検査物における凹凸を検出できるとは限らない
ことに本願発明者らは気づいた。
【0018】
そこで、本実施形態では、光の反射量が反射角度に依存することを考慮し、より高精度
に被検査面の凹凸を検出できるようにした。まずは、その原理を説明する。
に被検査面の凹凸を検出できるようにした。まずは、その原理を説明する。
【0019】
図１は、反射面における理想的な拡散反射モデルを模式的に示す図である。本明細書で
は、反射面の法線方向を基準とする角度を「反射面に対する角度」と呼ぶ。なお、前提と
して、反射量は光の入射角度には依存しない。
は、反射面の法線方向を基準とする角度を「反射面に対する角度」と呼ぶ。なお、前提と
して、反射量は光の入射角度には依存しない。
【0020】
図示のように、法線方向への反射量は高く、反射面に対する角度θが大きいほど反射量
は低くなる。具体的には、法線方向への反射量（光の強度）がＩ０である場合、反射面に
対して角度θをなす方向への反射量（光の強度）はＩ０ｃｏｓθとなる（ランベルトの原
理）。
は低くなる。具体的には、法線方向への反射量（光の強度）がＩ０である場合、反射面に
対して角度θをなす方向への反射量（光の強度）はＩ０ｃｏｓθとなる（ランベルトの原
理）。
【0021】
【0022】
本実施形態の一例では、被検査位置Ａ－Ｂに光を照射した状態で、被検査位置Ａ－Ｂを
カメラＣｘ，Ｃｙで撮影して２つの画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙをそれぞれ取得する。ここで
、被検査面Ｔに対するカメラＣｘ，Ｃｙの撮影角度（カメラＣｘ，Ｃｙの光軸と法線方向
とのなす角、以下同じ）は互いに異なる。説明を簡略化するため、カメラＣｘの撮影角度
を０度（すなわち、被検査面Ｔに正対）とし、カメラＣｙの撮影角度をθとする。そして
、撮影角度が異なる２つの画像を以下のような正規化を行った上で比較することによって
、黒線を検出することなく、凹凸を検出できる。
カメラＣｘ，Ｃｙで撮影して２つの画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙをそれぞれ取得する。ここで
、被検査面Ｔに対するカメラＣｘ，Ｃｙの撮影角度（カメラＣｘ，Ｃｙの光軸と法線方向
とのなす角、以下同じ）は互いに異なる。説明を簡略化するため、カメラＣｘの撮影角度
を０度（すなわち、被検査面Ｔに正対）とし、カメラＣｙの撮影角度をθとする。そして
、撮影角度が異なる２つの画像を以下のような正規化を行った上で比較することによって
、黒線を検出することなく、凹凸を検出できる。
【0023】
なお、本実施形態では、カメラＣｘ，Ｃｙと被検査面Ｔとの距離が１０ｍ程度、カメラ
Ｃｘ，Ｃｙの画角が３０度程度であることを想定している。この場合、被検査位置Ａ－Ｂ
間における任意の位置と、カメラＣｘ，Ｃｙとの距離はほぼ一定とみなせる。
Ｃｘ，Ｃｙの画角が３０度程度であることを想定している。この場合、被検査位置Ａ－Ｂ
間における任意の位置と、カメラＣｘ，Ｃｙとの距離はほぼ一定とみなせる。
【0024】
【0025】
図３Ａ（ａ）および図３Ａ（ｂ）は、それぞれ、カメラＣｘ，Ｃｙからの画像ＩＭＧｘ
，ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応する画素の明るさＩｘ，Ｉｙを示している
。被検査位置Ａ－Ｂ間に凹凸も黒線もない場合、両画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙにおける被検
査位置Ａ－Ｂ間に対応する画素の明るさＩｘ，Ｉｙは一定値である。より具体的には、図
１で述べた理由により、画像ＩＭＧｘにおける明るさＩｘがＩ０である場合、画像ＩＭＧ
ｙにおける明るさＩｙはＩ０ｃｏｓθである。なお、図３Ａの符号ａで示すベクトルの大
きさが明るさＩ０に対応しており、符号ｂで示すベクトルの大きさが明るさＩ０ｃｏｓθ
に対応している。
，ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応する画素の明るさＩｘ，Ｉｙを示している
。被検査位置Ａ－Ｂ間に凹凸も黒線もない場合、両画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙにおける被検
査位置Ａ－Ｂ間に対応する画素の明るさＩｘ，Ｉｙは一定値である。より具体的には、図
１で述べた理由により、画像ＩＭＧｘにおける明るさＩｘがＩ０である場合、画像ＩＭＧ
ｙにおける明るさＩｙはＩ０ｃｏｓθである。なお、図３Ａの符号ａで示すベクトルの大
きさが明るさＩ０に対応しており、符号ｂで示すベクトルの大きさが明るさＩ０ｃｏｓθ
に対応している。
【0026】
【0027】
図３Ｂ（ｂ）は、図３Ａ（ｂ）に示す画像ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応
する画素の明るさＩｙを正規化した明るさＩｙ’を示している。ここでの正規化とは、カ
メラＣｘ，Ｃｙの撮影角度の違いをキャンセルするための処理であり、具体的には明るさ
Ｉｙをｃｏｓθで割ることでＩｙ’が算出される。すなわち、Ｉｙ’＝Ｉｙ／ｃｏｓθで
ある。図３Ａ（ｂ）に示したように、被検査位置Ａ－Ｂに凹凸も黒線もない場合、明るさ
Ｉｙ＝Ｉ０ｃｏｓθであるから、明るさＩｙ’＝Ｉｙ／ｃｏｓθ＝Ｉ０である。
する画素の明るさＩｙを正規化した明るさＩｙ’を示している。ここでの正規化とは、カ
メラＣｘ，Ｃｙの撮影角度の違いをキャンセルするための処理であり、具体的には明るさ
Ｉｙをｃｏｓθで割ることでＩｙ’が算出される。すなわち、Ｉｙ’＝Ｉｙ／ｃｏｓθで
ある。図３Ａ（ｂ）に示したように、被検査位置Ａ－Ｂに凹凸も黒線もない場合、明るさ
Ｉｙ＝Ｉ０ｃｏｓθであるから、明るさＩｙ’＝Ｉｙ／ｃｏｓθ＝Ｉ０である。
【0028】
なお、正規化として、アフィン変換などにより、撮影角度の違いに起因する被検査位置
の歪みを正規化する処理をさらに行ってもよい。
の歪みを正規化する処理をさらに行ってもよい。
【0029】
【0030】
このように、被検査位置Ａ－Ｂに凹凸も黒線もない場合、差ｄＩは０となる。
【0031】
図４Ａおよび図４Ｂは、被検査位置Ａ－Ｂに凹凸がある場合を説明する図である。図４
Ａは、被検査位置Ａ－Ｂのうち、位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないが、
位置Ｃ－Ｄに凹部（クラック）がある例を示している。説明を簡略化するため、この凹部
の断面は位置Ｃ－Ｄ間の中央である位置Ｍが最も深い二等辺三角形状としている。
Ａは、被検査位置Ａ－Ｂのうち、位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないが、
位置Ｃ－Ｄに凹部（クラック）がある例を示している。説明を簡略化するため、この凹部
の断面は位置Ｃ－Ｄ間の中央である位置Ｍが最も深い二等辺三角形状としている。
【0032】
【0033】
位置Ｃ－Ｍ間では、位置Ｃ－Ｍを含む面に対するカメラＣｘの撮影角度は法線方向から
ずれる（０度でなくなる）ため、明るさＩｘはＩ０より小さくなる。同様に、位置Ｍ－Ｄ
間でも、位置Ｍ－Ｄを含む面に対するカメラＣｘの撮影角度は法線方向からずれるため、
明るさＩｘはＩ０より小さくなる。なお、図４Ａの符号ｃで示すベクトルの大きさが位置
Ｃ－Ｍ間およびＭ－Ｄ間の明るさＩｘに対応している。
ずれる（０度でなくなる）ため、明るさＩｘはＩ０より小さくなる。同様に、位置Ｍ－Ｄ
間でも、位置Ｍ－Ｄを含む面に対するカメラＣｘの撮影角度は法線方向からずれるため、
明るさＩｘはＩ０より小さくなる。なお、図４Ａの符号ｃで示すベクトルの大きさが位置
Ｃ－Ｍ間およびＭ－Ｄ間の明るさＩｘに対応している。
【0034】
図４Ａ（ｂ）はカメラＣｙからの画像ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応する
画素の明るさＩｙを示している。位置Ａ－Ｃ間および位置Ｄ－Ｂ間には凹凸も黒線もない
ので、明るさＩｙは一定値Ｉ０ｃｏｓθである。
画素の明るさＩｙを示している。位置Ａ－Ｃ間および位置Ｄ－Ｂ間には凹凸も黒線もない
ので、明るさＩｙは一定値Ｉ０ｃｏｓθである。
【0035】
位置Ｃ－Ｍ間では、位置Ｃ－Ｍを含む面に対するカメラＣｙの撮影角度は法線方向に近
づく（θより小さくなる）ため、明るさＩｙはＩ０ｃｏｓθより大きくなる。なお、図４
Ａの符号ｄで示すベクトルの大きさが位置Ｃ－Ｍ間の明るさＩｙに対応している。
づく（θより小さくなる）ため、明るさＩｙはＩ０ｃｏｓθより大きくなる。なお、図４
Ａの符号ｄで示すベクトルの大きさが位置Ｃ－Ｍ間の明るさＩｙに対応している。
【0036】
位置Ｍ－Ｄ間では、位置Ｍ－Ｄを含む面に対するカメラＣｙの撮影角度は法線方向から
大きくずれてほとんど９０度となる（撮影角度が位置Ｍ－Ｄを含む面とほぼ平行となる）
ため、明るさＩｙはほとんど０となる。
大きくずれてほとんど９０度となる（撮影角度が位置Ｍ－Ｄを含む面とほぼ平行となる）
ため、明るさＩｙはほとんど０となる。
【0037】
【0038】
図４Ｂ（ｂ）は、図４Ａ（ｂ）に示す画像ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応
する画素の明るさＩｙを正規化した明るさＩｙ’を示している。同図に示すように、被検
査位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないため、明るさＩｙ
’＝Ｉｙ／ｃｏｓθ＝Ｉ０である。被検査位置Ａ－Ｂのうち位置Ｃ－Ｍ間では、明るさＩ
ｙ＞Ｉ０ｃｏｓθであるから、Ｉｙ’＞Ｉ０である。被検査位置Ａ－Ｂのうち位置Ｍ－Ｄ
間では、明るさＩｙ＜Ｉ０ｃｏｓθであるから、Ｉｙ’＜Ｉ０である。いずれにしても、
位置Ｃ－Ｄ間では、明るさＩｙ’≠Ｉ０である。
する画素の明るさＩｙを正規化した明るさＩｙ’を示している。同図に示すように、被検
査位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないため、明るさＩｙ
’＝Ｉｙ／ｃｏｓθ＝Ｉ０である。被検査位置Ａ－Ｂのうち位置Ｃ－Ｍ間では、明るさＩ
ｙ＞Ｉ０ｃｏｓθであるから、Ｉｙ’＞Ｉ０である。被検査位置Ａ－Ｂのうち位置Ｍ－Ｄ
間では、明るさＩｙ＜Ｉ０ｃｏｓθであるから、Ｉｙ’＜Ｉ０である。いずれにしても、
位置Ｃ－Ｄ間では、明るさＩｙ’≠Ｉ０である。
【0039】
図４Ｂ（ｃ）は、明るさＩｘ，Ｉｙ’の差ｄＩを示している。上述したように、被検査
位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間では、明るさＩｘ＝Ｉｙ’＝Ｉ０であるか
ら、差ｄＩ＝Ｉｘ－Ｉｙ’＝０となる。一方、凹凸がある位置Ｃ－Ｄ間は明るさＩｙ’≠
Ｉ０であるから、差ｄＩ≠０となる。
位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間では、明るさＩｘ＝Ｉｙ’＝Ｉ０であるか
ら、差ｄＩ＝Ｉｘ－Ｉｙ’＝０となる。一方、凹凸がある位置Ｃ－Ｄ間は明るさＩｙ’≠
Ｉ０であるから、差ｄＩ≠０となる。
【0040】
このように、被検査位置Ａ－Ｂのうち、凹凸も黒線もない位置では差ｄＩが０となり、
凹凸がある位置では差ｄＩが０でなくなる。よって、差ｄＩに基づいて凹凸があること、
および、その位置を特定できる。
凹凸がある位置では差ｄＩが０でなくなる。よって、差ｄＩに基づいて凹凸があること、
および、その位置を特定できる。
【0041】
図５Ａおよび図５Ｂは、被検査位置Ａ－Ｂに黒線がある場合を説明する図である。図５
Ａは、被検査位置Ａ－Ｂのうち、位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないが、
位置Ｃ－Ｄに黒線がある例を示している。
Ａは、被検査位置Ａ－Ｂのうち、位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないが、
位置Ｃ－Ｄに黒線がある例を示している。
【0042】
【0043】
一方、位置Ｃ－Ｄ間では、黒線によって反射量が低くなる（ここでは１／ｋになるとす
る）。よって、明るさＩｘ＝Ｉ０／ｋとなる。なお、図５Ａの符号ｅで示すベクトルの大
きさが位置Ｃ－Ｄ間の明るさＩｘ（＝Ｉ０／ｋ）に対応している。
る）。よって、明るさＩｘ＝Ｉ０／ｋとなる。なお、図５Ａの符号ｅで示すベクトルの大
きさが位置Ｃ－Ｄ間の明るさＩｘ（＝Ｉ０／ｋ）に対応している。
【0044】
図５Ａ（ｂ）はカメラＣｙからの画像ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応する
画素の明るさＩｙを示している。位置Ａ－Ｃ間および位置Ｄ－Ｂ間には凹凸も黒線もない
ので、明るさＩｙは一定値Ｉ０ｃｏｓθである。
画素の明るさＩｙを示している。位置Ａ－Ｃ間および位置Ｄ－Ｂ間には凹凸も黒線もない
ので、明るさＩｙは一定値Ｉ０ｃｏｓθである。
【0045】
一方、位置Ｃ－Ｄ間では、黒線によって反射量が１／ｋになる。よって、明るさＩｙ＝
Ｉ０ｃｏｓθ／ｋとなる。なお、図５Ａの符号ｆで示すベクトルの大きさが位置Ｃ－Ｄ間
の明るさＩｙ（＝Ｉ０ｃｏｓθ／ｋ）に対応している。
図５Ｂ（ａ）は図５Ａ（ａ）の再掲である。
Ｉ０ｃｏｓθ／ｋとなる。なお、図５Ａの符号ｆで示すベクトルの大きさが位置Ｃ－Ｄ間
の明るさＩｙ（＝Ｉ０ｃｏｓθ／ｋ）に対応している。
図５Ｂ（ａ）は図５Ａ（ａ）の再掲である。
【0046】
図５Ｂ（ｂ）は、図５Ａ（ｂ）に示す画像ＩＭＧｙにおける被検査位置Ａ－Ｂ間に対応
する画素の明るさＩｙを正規化した明るさＩｙ’を示している。同図に示すように、被検
査位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないため、明るさＩｙ
’＝Ｉｙ／ｃｏｓθ＝Ｉ０である。被検査位置Ａ－Ｂのうち位置Ｃ－Ｄ間では、明るさＩ
ｙ＝Ｉ０ｃｏｓθ／ｋであるから、Ｉｙ’＝Ｉ０／ｋである。
する画素の明るさＩｙを正規化した明るさＩｙ’を示している。同図に示すように、被検
査位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間には凹凸も黒線もないため、明るさＩｙ
’＝Ｉｙ／ｃｏｓθ＝Ｉ０である。被検査位置Ａ－Ｂのうち位置Ｃ－Ｄ間では、明るさＩ
ｙ＝Ｉ０ｃｏｓθ／ｋであるから、Ｉｙ’＝Ｉ０／ｋである。
【0047】
図５Ｂ（ｃ）は、明るさＩｘ，Ｉｙ’の差ｄＩを示している。上述したように、被検査
位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間では、明るさＩｘ＝Ｉｙ’＝Ｉ０であるか
ら、差ｄＩ＝Ｉｘ－Ｉｙ’＝０となる。一方、黒線ある位置Ｃ－Ｄ間は明るさＩｘ＝Ｉｙ
’＝Ｉ０／ｋであるから、差ｄＩ＝０となる。
位置Ａ－Ｂのうち位置Ａ－Ｃ間およびＤ－Ｂ間では、明るさＩｘ＝Ｉｙ’＝Ｉ０であるか
ら、差ｄＩ＝Ｉｘ－Ｉｙ’＝０となる。一方、黒線ある位置Ｃ－Ｄ間は明るさＩｘ＝Ｉｙ
’＝Ｉ０／ｋであるから、差ｄＩ＝０となる。
【0048】
このように、被検査位置Ａ－Ｂのうち、凹凸も黒線もない位置でも、黒線がある位置で
も、いずれにしても差ｄＩが０となる。よって、黒線は検出されない。
も、いずれにしても差ｄＩが０となる。よって、黒線は検出されない。
【0049】
以上、図３Ａ～図５Ｂを用いて説明したように、本実施形態では、被検査面Ｔにおける
被検査位置Ａ－Ｂを２つの角度から撮影した２つの画像を、角度の違いに起因する光の反
射量の違いを正規化した上で比較する。これにより、黒線を検出することなく、精度よく
凹凸を検出できる。
被検査位置Ａ－Ｂを２つの角度から撮影した２つの画像を、角度の違いに起因する光の反
射量の違いを正規化した上で比較する。これにより、黒線を検出することなく、精度よく
凹凸を検出できる。
【0050】
図６は、一実施形態に係る検査システムの概略構成を示すブロック図である。
【0051】
検査システムは、上述したカメラＣｘ，Ｃｙに加え、光源ＬＳを備え得る。光源ＬＳは
、例えばレーザであって、被検査面における被検査位置に光を照射する。光の種類に特に
制限はなく、可視光でもよいが、近赤外光であるのが望ましい。特に屋外で検査を行う場
合に、太陽光などの外光の影響を受けにくいためである。この場合、近赤外光の波長を通
過帯域とする帯域通過フィルタＦｘ，Ｆｙを介してカメラＣｘ，Ｃｙが撮影を行うのが望
ましい。
、例えばレーザであって、被検査面における被検査位置に光を照射する。光の種類に特に
制限はなく、可視光でもよいが、近赤外光であるのが望ましい。特に屋外で検査を行う場
合に、太陽光などの外光の影響を受けにくいためである。この場合、近赤外光の波長を通
過帯域とする帯域通過フィルタＦｘ，Ｆｙを介してカメラＣｘ，Ｃｙが撮影を行うのが望
ましい。
【0052】
光照射の一例として、検査システムが光学部材ＯＭを備え、光源ＬＳからの光が光学部
材ＯＭを介して被検査位置に照射されてもよい。光学部材ＯＭは、例えば、ポリゴンミラ
ーなどのミラーである。光源ＬＳからのレーザ光はコリメートされている。よって、ポリ
ゴンミラーなどの光学部材ＯＭを用いる場合、光源ＬＳから被検査位置への距離において
光の拡がりはごく僅かであり、また、被検査位置に到達するまでの光の減衰は無視できる
程度である。
材ＯＭを介して被検査位置に照射されてもよい。光学部材ＯＭは、例えば、ポリゴンミラ
ーなどのミラーである。光源ＬＳからのレーザ光はコリメートされている。よって、ポリ
ゴンミラーなどの光学部材ＯＭを用いる場合、光源ＬＳから被検査位置への距離において
光の拡がりはごく僅かであり、また、被検査位置に到達するまでの光の減衰は無視できる
程度である。
【0053】
光照射の別の例として、光学部材ＯＭが、ロッドレンズ、シリンドリカルレンズ、パウ
エルレンズなどのレンズであって、光源ＬＳからの光が光学部材ＯＭを介して光を拡げら
れることにより、ラインビームを被検査位置に照射してもよい。仮に光源ＬＳからの光が
減衰したとしても、光を意図的に拡げることで検査が可能となる。ラインビームの強度分
布が一定となるようレンズ系を設計することにより、被検査位置におけるいずれの点にお
いても一定強度の光が照射される。
エルレンズなどのレンズであって、光源ＬＳからの光が光学部材ＯＭを介して光を拡げら
れることにより、ラインビームを被検査位置に照射してもよい。仮に光源ＬＳからの光が
減衰したとしても、光を意図的に拡げることで検査が可能となる。ラインビームの強度分
布が一定となるようレンズ系を設計することにより、被検査位置におけるいずれの点にお
いても一定強度の光が照射される。
【0054】
また、照射する光の形状はライン状に限らず、例えば、互いに直交する複数のライン（
縦方向のラインと横方向のライン）から構成されるメッシュ状（格子状）でもよい。メッ
シュ状とすることで、１度の撮影でより多くの位置を検査できる。
縦方向のラインと横方向のライン）から構成されるメッシュ状（格子状）でもよい。メッ
シュ状とすることで、１度の撮影でより多くの位置を検査できる。
【0055】
なお、被検査位置において照射される光の強度にムラがある場合、強度分布を予め取得
してキャリブレーションすることによって、強度ムラの影響を抑制できる。
してキャリブレーションすることによって、強度ムラの影響を抑制できる。
【0056】
検査システムが移動体１を備え、カメラＣｘ，Ｃｙ、光源ＬＳ、光学部材ＯＭの一部ま
たは全部が移動体１に搭載されてもよい。カメラＣｘ，Ｃｙを移動体１に固定することで
、撮影角度を一定に保てる。この場合、カメラＣｘ，Ｃｙは光軸が互いに非平行になるよ
う配置されるのがよい。移動体１に特に制限はないが、例えば検査対象が道路である場合
には車両が好適であり、検査対象が風力発電装置のブレードである場合はドローンが好適
である。
たは全部が移動体１に搭載されてもよい。カメラＣｘ，Ｃｙを移動体１に固定することで
、撮影角度を一定に保てる。この場合、カメラＣｘ，Ｃｙは光軸が互いに非平行になるよ
う配置されるのがよい。移動体１に特に制限はないが、例えば検査対象が道路である場合
には車両が好適であり、検査対象が風力発電装置のブレードである場合はドローンが好適
である。
【0057】
また、検査システムは検査装置２を備える。検査装置２は、画像取得部２１と、正規化
部２２と、差分算出部２３と、判定部２４と、制御部２５とを有する。これら各部の一部
または全部は、ハードウェアで実装されてもよいし、プロセッサが所定のプログラムを実
行することによって実現されてもよい。また、検査装置２の各部は、一台の装置に設けら
れてもよいし、複数の装置に分散して設けられてもよい。
部２２と、差分算出部２３と、判定部２４と、制御部２５とを有する。これら各部の一部
または全部は、ハードウェアで実装されてもよいし、プロセッサが所定のプログラムを実
行することによって実現されてもよい。また、検査装置２の各部は、一台の装置に設けら
れてもよいし、複数の装置に分散して設けられてもよい。
【0058】
画像取得部２１は、カメラＣｘによる撮影で得られた画像ＩＭＧｘと、カメラＣｙによ
る撮影で得られた画像ＩＭＧｙとを取得する。画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙは不図示のディス
プレイに表示されてもよい。
る撮影で得られた画像ＩＭＧｙとを取得する。画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙは不図示のディス
プレイに表示されてもよい。
【0059】
正規化部２２は、カメラＣｘ，Ｃｙによる撮影角度の違いを正規化して、画像ＩＭＧｙ
を正規化した正規化画像を生成する。
を正規化した正規化画像を生成する。
【0060】
具体的には、正規化部２２は、撮影角度の違いに起因する、被検査面における光の反射
量の違いを正規化する。さらに具体的には、カメラＣｘによる撮影角度がθ１で、カメラ
Ｃｙによる撮影角度がθ２である場合、正規化部２２は、画像ＩＭＧｙの各画素の明るさ
を（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、正規化画像を生成する。正規化画像
は不図示のディスプレイに表示されてもよい。
量の違いを正規化する。さらに具体的には、カメラＣｘによる撮影角度がθ１で、カメラ
Ｃｙによる撮影角度がθ２である場合、正規化部２２は、画像ＩＭＧｙの各画素の明るさ
を（ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２）倍することによって、正規化画像を生成する。正規化画像
は不図示のディスプレイに表示されてもよい。
【0061】
また、正規化部２２は撮影角度の違いに起因する被検査位置の歪みを正規化してもよい
。具体的には、正規化部２２は、画像ＩＭＧｙに対してアフィン変換を行って、撮影方向
を揃えてもよい。
。具体的には、正規化部２２は、画像ＩＭＧｙに対してアフィン変換を行って、撮影方向
を揃えてもよい。
【0062】
差分算出部２３は、画像ＩＭＧｘと正規化画像との差を算出し、差分画像を生成する。
すなわち、差分算出部２３は、カメラＣｘ，Ｃｙの撮影角度の違いに起因する、被検査位
置における光の反射量の違いを正規化した上で、画像ＩＭＧｘと画像ＩＭＧｙとの差を算
出する。差分画像は不図示のディスプレイに表示されてもよい。
すなわち、差分算出部２３は、カメラＣｘ，Ｃｙの撮影角度の違いに起因する、被検査位
置における光の反射量の違いを正規化した上で、画像ＩＭＧｘと画像ＩＭＧｙとの差を算
出する。差分画像は不図示のディスプレイに表示されてもよい。
【0063】
判定部２４は、差分画像（すなわち、画像ＩＭＧｘと正規化画像との差）に基づいて、
被検査位置に凹凸が存在するか否かを判定する。具体的には、判定部２４は、差分画像に
おける明るさと、所定の閾値との比較によって判定を行う。例えば、判定部２４は、被検
査位置のうち、明るさが閾値未満である画素に対応する位置には凹凸がないと判定し、明
るさが閾値以上である画素に対応する位置には凹凸があると判定する。このような判定に
より、凹凸の有無および凹凸がある場合の位置を検出できる。
被検査位置に凹凸が存在するか否かを判定する。具体的には、判定部２４は、差分画像に
おける明るさと、所定の閾値との比較によって判定を行う。例えば、判定部２４は、被検
査位置のうち、明るさが閾値未満である画素に対応する位置には凹凸がないと判定し、明
るさが閾値以上である画素に対応する位置には凹凸があると判定する。このような判定に
より、凹凸の有無および凹凸がある場合の位置を検出できる。
【0064】
制御部２５はカメラＣｘ，Ｃｙおよび光源ＬＳを制御する。具体的には、制御部２５は
、カメラＣｘ，Ｃｙによる撮影タイミングや、光源ＬＳによる光照射タイミングを制御す
る。
、カメラＣｘ，Ｃｙによる撮影タイミングや、光源ＬＳによる光照射タイミングを制御す
る。
【0065】
図７は、検査システムの処理動作の一例を示すフローチャートである。光源ＬＳから被
検査位置に光を照射した状態で、カメラＣｘが所定の撮影角度（例えば正対する角度）で
被検査位置を撮影して得られる画像ＩＭＧｘを画像取得部２１が取得する（ステップＳ２
１）。また、光源ＬＳから被検査位置に光を照射した状態で、カメラＣｙが所定の撮影角
度（例えば正対から外れた角度）で被検査位置を撮影して得られる画像ＩＭＧｙを画像取
得部２１が取得する（ステップＳ２２）。なお、画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙの取得は順次に
行ってもよいし、同時に行ってもよい。
検査位置に光を照射した状態で、カメラＣｘが所定の撮影角度（例えば正対する角度）で
被検査位置を撮影して得られる画像ＩＭＧｘを画像取得部２１が取得する（ステップＳ２
１）。また、光源ＬＳから被検査位置に光を照射した状態で、カメラＣｙが所定の撮影角
度（例えば正対から外れた角度）で被検査位置を撮影して得られる画像ＩＭＧｙを画像取
得部２１が取得する（ステップＳ２２）。なお、画像ＩＭＧｘ，ＩＭＧｙの取得は順次に
行ってもよいし、同時に行ってもよい。
【0066】
続いて、正規化部２２は、カメラＣｘによる撮影角度とカメラＣｙによる撮影角度を正
規化する（ステップＳ２３）。特に、正規化部２２は、撮影角度の違いに起因する、被検
査位置における光の反射量を正規化し、カメラＣｙからの画像ＩＭＧｙを正規化して正規
化画像を生成する。そして、差分算出部２３はカメラＣｘからの画像ＩＭＧｘと正規化画
像との差を算出し、差分画像を生成する（ステップＳ２４）。差分画像に基づいて、判定
部２４は被検査位置に凹凸が存在するか否か、存在する場合にはその位置を判定する。
規化する（ステップＳ２３）。特に、正規化部２２は、撮影角度の違いに起因する、被検
査位置における光の反射量を正規化し、カメラＣｙからの画像ＩＭＧｙを正規化して正規
化画像を生成する。そして、差分算出部２３はカメラＣｘからの画像ＩＭＧｘと正規化画
像との差を算出し、差分画像を生成する（ステップＳ２４）。差分画像に基づいて、判定
部２４は被検査位置に凹凸が存在するか否か、存在する場合にはその位置を判定する。
【0067】
以上述べたように、本実施形態では、互いに異なる撮影角度で被検査位置を撮影して２
つの画像を生成し、撮影角度の違いを正規化した上で２つの画像を比較する。そのため、
精度よく被検査位置における凹凸を検出できる。
つの画像を生成し、撮影角度の違いを正規化した上で２つの画像を比較する。そのため、
精度よく被検査位置における凹凸を検出できる。
【0068】
【0069】
例えば、図８に示すように、２つのカメラＣｘ，Ｃｙの光軸が平行になるよう配置し、
画角における異なる位置に被検査位置Ａ－Ｂが位置するようにしてもよい。
画角における異なる位置に被検査位置Ａ－Ｂが位置するようにしてもよい。
【0070】
また、カメラは１台でもよい。すなわち、被検査位置に光を照射した状態で、カメラを
用いてある撮影角度で撮影を行い、続いて、撮影角度を変更して同一カメラを用いて撮影
を行ってもよい。あるいは、カメラは固定で被検査面が移動してもよい。すなわち、図９
に示すように、被検査面がある場所Ｐ１にある時に被検査位置Ａ－Ｂに光を照射した状態
でカメラが撮影を行い、続いて、被検査面が移動して別の場所Ｐ２にある時に被検査位置
Ａ－Ｂに光を照射した状態でカメラが撮影を行ってもよい。
用いてある撮影角度で撮影を行い、続いて、撮影角度を変更して同一カメラを用いて撮影
を行ってもよい。あるいは、カメラは固定で被検査面が移動してもよい。すなわち、図９
に示すように、被検査面がある場所Ｐ１にある時に被検査位置Ａ－Ｂに光を照射した状態
でカメラが撮影を行い、続いて、被検査面が移動して別の場所Ｐ２にある時に被検査位置
Ａ－Ｂに光を照射した状態でカメラが撮影を行ってもよい。
【0071】
さらに、図７に示した処理動作の一部を人が行ってもよい。例えば、検査装置２によっ
て生成された差分画像を見ながら、人が凹凸の有無や凹凸の位置を判定してもよい。
て生成された差分画像を見ながら、人が凹凸の有無や凹凸の位置を判定してもよい。
【0072】
上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明
を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、
当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用
しうることである。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく
、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲とすべきである。
を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、
当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用
しうることである。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく
、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲とすべきである。
【符号の説明】
【0073】
Ｃｘ，Ｃｙ カメラ
ＬＳ 光源
ＯＭ 光学部材
Ｆｘ，Ｆｙ 帯域通過フィルタ
１ 移動体
２ 検査装置
２１ 画像取得部
２２ 正規化部
２３ 差分算出部
２４ 判定部
２５ 制御部
ＬＳ 光源
ＯＭ 光学部材
Ｆｘ，Ｆｙ 帯域通過フィルタ
１ 移動体
２ 検査装置
２１ 画像取得部
２２ 正規化部
２３ 差分算出部
２４ 判定部
２５ 制御部
【図1】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
