特開 2022-88838 樹脂封止装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022088838

(43)【公開日】2022-06-15

(54)【発明の名称】樹脂封止装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20220608BHJP

   B29C 45/02 20060101ALI20220608BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 R

B29C45/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020200905

(22)【出願日】2020-12-03

(71)【出願人】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】特許業務法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】内山 茂行

(72)【発明者】

【氏名】滝沢 岳大

(72)【発明者】

【氏名】赤井 啓晟

【テーマコード（参考）】

4F206

5F061

【Ｆターム（参考）】

4F206AH33

4F206AH37

4F206JA02

4F206JB12

4F206JL02

4F206JQ81

4F206JQ90

5F061AA01

5F061BA01

5F061BA03

5F061CA21

5F061CA22

5F061DA13

5F061DE06

(57)【要約】

【課題】ワークを封止金型へ搬送するまでのローダの作業量やワークの予備加熱に要する時間を減らして生産効率を向上させた樹脂封止装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送機構１は、複数の搬送部が直列配置された第一搬送路１Ａと、第一搬送路１Ａと平行配置され複数の搬送部が直列配置された第二搬送路１Ｂと、移動体１ｃが移動する搬送路を第一搬送路１Ａと第二搬送路１Ｂとで切り換える搬送路切換機構１０と、を備えた。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワーク供給部からプレス部にわたってローダの移動範囲に配置された搬送路を移動体が往復移動し、前記ワーク供給部から前記プレス部へワークを供給可能なワーク搬送機構を備えた樹脂封止装置であって、
前記ワーク搬送機構は、複数の搬送部が直列配置され前記搬送部上の移動体よりワークが前記ローダに保持されて前記プレス部に搬入される第一搬送路と、
前記第一搬送路と平行配置され複数の搬送部が直列配置され前記移動体が前記ワーク供給部へ往復移動する第二搬送路と、
前記移動体が移動する前記第一搬送路と前記第二搬送路とで搬送路を切り換える搬送路切換機構と、
を備えたことを特徴とする樹脂封止装置。

【請求項2】

前記ワーク搬送機構は、周回する無端ベルト上を移動体が移動するベルトモジュールが直列配置された第一ベルト搬送路と、前記第一搬送路と平行配置され複数のベルトモジュールが直列配置された第二ベルト搬送路と、を備えたベルト搬送機構であって、
前記搬送路切換機構は、前記移動体を前記第一ベルト搬送路と前記第二ベルト搬送路との間で移載する請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項3】

前記ワーク搬送機構は、移動体がレール部上を自走するリニアモジュールが直列配置されたリニア搬送機構であって、第一搬送路は複数の第一レール部が着脱自在に互いに直列接続された第一直動レールを有し、第二搬送路は複数の第二レール部が着脱自在に互いに直列接続され前記第一直動レールと平行配置された第二直動レールを有し、
前記搬送路切換機構は、前記移動体を載せた第一レール部と平行配置された第二レール部を共に平行移動させて、前記第一レール部どうしが接続する第一直動レールから第二レール部間に接続する第二直動レールとの間でレール部の接続を切り換える請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項4】

前記移動体はリニアモータ可動子を有し、前記第一レール部及び前記第二レール部はリニアモータ固定子を各々有しており、前記第一レール部と第二レール部は互いに電気的及び機械的に直列接続される請求項３記載の樹脂封止装置。

【請求項5】

前記搬送路切換機構は、前記第一レール部及び前記第二レール部が互いに連結する第一高さ位置と、前記移動体を載せた前記第一レール部が前記第二レール部と接続し第二レール部がそれより低い高さ位置となる第二高さ位置との間を昇降させる昇降機構である請求項３又は請求項４記載の樹脂封止装置。

【請求項6】

前記第一直動レールに備えた第一レール部より前記第二直動レールに備えた第二レール部の方が前記ワーク供給部側に長くなるように延設されている請求項３乃至請求項５のいずれかに記載の樹脂封止装置。

【請求項7】

前記移動体はワークトレイを備えており、前記ワークトレイには成形前のワークを成形温度と同程度に予備加熱するヒータが内蔵されている請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の樹脂封止装置。

【請求項8】

前記移動体は、少なくとも第一搬送路及びワーク受け取り位置において前記ヒータに通電されてワークトレイに載置された成形前のワークが成形温度と同程度に予備加熱される請求項７記載の樹脂封止装置。

【請求項9】

前記ワーク供給部には、ワークを受け取る前に前記移動体のワークトレイを成形温度と同程度に予備加熱するトレイ用予備加熱部が更に設けられている請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の樹脂封止装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワーク供給部からプレス部へワークを供給可能なワーク搬送機構を備えた樹脂封止装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えばワークとして電源基板等のパワーカードを樹脂封止する樹脂封止装置は、基板の板厚が厚く、大型であるため、速やかな封止をするためには封止金型へ搬入する前に予備加熱する必要がある。ローダハンドはワーク供給部からワークを受け取り、予備加熱ステージへセットし、タブレット樹脂を受け取って予備加熱されたワークを予備加熱ステージから受け取って封止金型へ搬入する。ローダは、成形前のワーク（基板等）とタブレット樹脂を封止金型に搬入した後、クリーニンングされて同様の作業が繰り返えされる。封止金型で樹脂封止した後、アンローダにより成形後のワークを封止金型より搬出して不要樹脂を分離して成形品を成形品収納部に収納するようになっている。ローダ及びアンローダは共通のガイドレール上を移動可能に設けられ、プレス部に備えた封止金型に交互に移動可能に設けられている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８－１７９０２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した樹脂封止装置においては、成形前のワークを封止金型へ搬入するまでにワークの予備加熱を含めてローダの処理動作が多いため、ローダの処理能力が低下してワークを封止金型へ搬入するまで時間を要し、生産効率が低下する。またローダの作業領域が増えれば、ローダの移動量が増えてそれだけ装置も大型化する。
また、熱容量の大きい厚手のワークを用いた場合、ワークを予備加熱しないと封止金型の成形温度が低下することから、樹脂封止に時間がかかり生産効率が低下するうえに、ワークに熱を奪われると成形品に巣が発生して成形品質が低下するおそれがある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、ワークを封止金型へ搬送するまでのローダの作業量やワークの予備加熱に要する時間を減らして生産効率を向上させた樹脂封止装置を提供することを目的とする。

【0006】

上記目的を達成するため、本発明は以下の構成を備える。
ワーク供給部からプレス部にわたってローダの移動範囲に配置された搬送路を移動体が往復移動してワークを前記ワーク供給部から前記プレス部へ供給可能なワーク搬送機構を備えた樹脂封止装置であって、前記ワーク搬送機構は、複数の搬送部が直列配置され前記搬送部上の移動体よりワークが前記ローダに保持されて前記プレス部に搬入される第一搬送路と、前記第一搬送路と平行配置され複数の搬送部が直列配置され前記移動体が前記ワーク供給部へ往復移動する第二搬送路と、前記移動体が移動する前記第一搬送路と前記第二搬送路とで搬送路を切り換える搬送路切換機構と、を備えたことを特徴とする。
上記構成によれば、プレス部において第一搬送路上の移動体にワークを供給する場合、搬送路切換機構によって第一搬送路から第二搬送路に移動体の搬送路が切り換えられる。これにより、移動体が第二搬送路上をワーク供給部へ移動して次の成形前のワークを受け取ってプレス部に戻ることができる。また、搬送路切換機構によって搬送路を第二搬送路から第一搬送路に切り換えることで次の成形前ワークを載置した移動体を第一搬送路に戻してローダに供給することができる。よって、ローダによる成形前のワーク搬送作業を減らして、生産効率を高めることができる。

【0007】

前記ワーク搬送機構は、周回する無端ベルト上を移動体が移動するベルトモジュールが直列配置された第一ベルト搬送路と、前記第一ベルト搬送路と平行配置され複数のベルトモジュールが直列配置された第二ベルト搬送路と、を備えたベルト搬送機構であって、前記搬送路切換機構は、前記移動体を前記第一ベルト搬送路と前記第二ベルト搬送路との間で移載するようにしてもよい。
これにより、移動体はベルトモジュールが直列配置された第一搬送路と第二搬送路上を搬送路切換機構によって移動体を載せかえれば足りるため、簡易な構成でローダによる成形前のワーク搬送作業を減らして、生産効率を高めることができる。

【0008】

前記ワーク搬送機構は、移動体がレール部上を自走するリニアモジュールが直列配置されたリニア搬送機構であって、第一搬送路は複数の第一レール部が着脱自在に互いに直列接続された第一直動レールを有し、第二搬送路は複数の第二レール部が着脱自在に互いに直列接続され前記第一直動レールと平行配置された第二直動レールを有し、前記搬送路切換機構は、前記移動体を載せた第一レール部と平行配置された第二レール部を共に平行移動させて、前記第一レール部どうしが接続する第一直動レールから第二レール部間に接続する第二直動レールとの間でレール部どうしの接続を切り換えてもよい。
これにより、移動体を載せた第一レール部を第一直動レールと第二直動レールとの間で接続を切り換えるだけで移動体が第二直動レール上を自走してワーク供給部へ移動することができる。このため、リニア搬送機構によって移動体の移動を高速かつ高精度に実現でき、ローダによる成形前のワーク搬送作業を減らして、生産効率を高めることができる。

【0009】

前記移動体はリニアモータ可動子を有し、前記第一レール部及び前記第二レール部はリニアモータ固定子を各々有しており、前記第一レール部と第二レール部は互いに電気的及び機械的に直列接続されることが好ましい。
これにより、リニアモジュールを構成する第一レール部及び第二レール部の配線が省略されているため、第一直動レール及び第二直動レールの配置構成の自由度は高く、ローダの作業領域を減らしてコンパクトな設計とすることができる。

【0010】

前記搬送路切換機構は、前記第一レール部及び前記第二レール部が互いに連結する第一高さ位置と、前記移動体を載せた前記第一レール部が前記第二レール部と接続し第二レール部がそれより低い高さ位置となる第二高さ位置との間を昇降させる昇降機構であってもよい。
これにより、リニアモジュールを構成する第一レール部及び第二レール部上を自走可能な移動体と昇降機構による昇降動作を組み合わせて、移動体をプレス部とワーク供給部との間を往復移動させることができるので、ローダによるワーク搬送作業を減らして生産効率を高めることができるうえに、設置面積を増やさずコンパクトな装置構成でワーク搬送作業を行なえる。

【0011】

前記第一直動レールに備えた第一レール部より前記第二直動レールに備えた第二レール部の方が前記ワーク供給部側に長くなるように延設されていてもよい。
これにより、第二直動レールに沿ってワーク供給部へ移動した移動体を載せた第二レール部を、昇降機構によってワーク受け取り位置へ昇降させることができる。

【0012】

前記移動体はワークトレイを備えており、前記ワークトレイには成形前のワークを成形温度と同程度に予備加熱するヒータが内蔵されていることが好ましい。
これによりワークの昇温時間及び予備加熱する場所を減らして生産効率を高め、ワークに熱を奪われて金型温度が低下し難くなるので成形品質を向上させることができる。

【0013】

前記移動体は、少なくとも第一搬送路及びワーク受け取り位置において前記ヒータに通電されてワークトレイに載置された成形前のワークが成形温度と同程度に予備加熱されるようにしてもよい。
これにより成形前のワークを複数箇所で予備加熱して温度低下を可及的に防ぐことで成形前のワークを効率良く予備加熱することができる。

【0014】

前記ワーク供給部には、ワークを受け取る前に前記移動体のワークトレイを成形温度と同程度に予備加熱するトレイ用予備加熱部が更に設けられていてもよい。
これにより移動体がワークを受け取りに行く移動中にワークトレイが温度低下し易いため、トレイ用予備加熱部でワークトレイを予備加熱することによりワークトレイの温度低下を低減しワークの予備加熱時間を減らして生産効率を高めることができる。

【発明の効果】

【0015】

ワークを封止金型へ搬送するまでのローダの作業量やワークの予備加熱に要する時間を減らして生産効率を向上させた樹脂封止装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】樹脂封止装置の平面レイアウト構成図である。

【図2】ローダの動作範囲を示す模式図である。

【図3】ワーク搬送機構によるワーク搬送動作を示す模式図である。

【図4】図１の樹脂封止装置の樹脂封止動作を示す説明図である。

【図5】プレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作を示す説明図である。

【図6】図５に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図7】図６に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図8】図７に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図9】図８に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図10】図９に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図11】図１０に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図12】図１１に続くプレス部Ｂ１に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図13】図１２に続くプレス部Ｂ２に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図14】図１３に続くプレス部Ｂ２に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図15】図１４に続くプレス部Ｂ２に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図16】図１５に続くプレス部Ｂ２に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図17】図１６に続くプレス部Ｂ２に対するワーク搬送動作の説明図である。

【図18】図１７に続くプレス部Ｂ２に対するワーク搬送動作の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

まず、本実施形態における樹脂封止装置について説明する。図１はワーク搬送機構Ｄを備えた樹脂封止装置２の平面レイアウト構成図である。ワークＷは、板状のキャリア（例えばリードフレーム、樹脂基板、銅板、ガラス板、樹脂積層基板等）に半導体チップなどの電子部品が搭載されたものを想定して説明する。ワークＷは短冊状であっても、個片が複数あっても良い。

【0018】

図１において、樹脂封止装置２は、一例としてワーク供給部Ａ、プレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）、成形品収納部Ｃが分離可能なユニットとして横並びに配置された構成を示す。尚、これらのユニットが一体となった装置構成であってもよい。ワーク供給部Ａには、成形前のワークＷを供給可能に収納する供給マガジン５、タブレット樹脂Ｒを供給するタブレット供給部６を備えている。ワーク供給部Ａは、複数のワークＷを収納する供給マガジン５から一枚ずつワークＷを取り出してワーク搬送機構Ｄに供給される。またタブレット供給部６は、封止金型３のポット孔に対応した配列でタブレット樹脂Ｒがホルダ機構１１に保持され、当該ホルダ機構１１よりタブレット樹脂Ｒがローダ４に受け渡される（図２参照）。

【0019】

プレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）は、上型及び下型キャビティタイプの封止金型３（３ａ～３ｄ）を有する。本実施例では４つのプレス部Ｂ１～Ｂ４を併設した場合を例示したがこれより少なくても多くてもよい。封止金型３にはローダ４の一回の進退動作によりワークＷ及び樹脂Ｒが搬入され、成形後のワークＷが搬出される。ローダ４は、ワーク供給部Ａ、プレス部Ｂ、成形品収納部Ｃにわたって架設されたレール部７に沿って往復動する。

【0020】

成形品収納部Ｃには、成形後のワークＷから不要樹脂を分離するディゲート部８、不要樹脂が除去された成形後のワークＷ（成形品）を収納する成形品収納マガジン９が設けられている。封止金型３よりローダ４により搬出された成形後のワークＷは、ピックアップ１２（図２参照）に受け渡されてディゲート部８に移送される。ディゲート部８においてゲートブレイクされた成形後のワークＷは不要樹脂が分離され、成形品のみが成形品収納マガジン９に収納される。

【0021】

図１に示すように、ローダ４はワーク供給部Ａからプレス部Ｂを経て成形品収納部Ｃまでレール部７に沿って往復移動可能に設けられている。具体的には、樹脂封止装置２内の奥側（図１の上側）に配置されたレール部７に沿って左右方向に移動し、装置手前側に（図１の下側）に向かって進退移動することができる。ワーク供給部Ａから供給された成形前のワークＷはワーク搬送機構Ｄによりプレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）に搬送され、ローダ４によってワークＷが保持されて樹脂Ｒと共に封止金型３（３ａ～３ｄ）に搬入される。また、封止金型３において、成形後のワークＷはローダ４により搬出されて成形品収納部Ｃへ収納されるようになっている。尚、ローダ４とは別にアンローダを設け、成形後のワークＷはアンローダによりプレス部Ｂより取り出して成形品収納部Ｃへ搬送するようにしてもよい。

【0022】

ワーク搬送機構Ｄは、ワーク供給部Ａからプレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）にわたってローダ４の移動範囲に配置された搬送路を移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）が往復移動してワークＷをワーク供給部Ａからプレス部Ｂへ供給する。
ワーク搬送機構Ｄは、複数の搬送部が直列配置され搬送部上の移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）よりワークＷがローダ４に保持されてプレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）に搬入される第一搬送路（後述する第一直動レール１Ａ）と、第一搬送路と平行配置され複数の搬送部が直列配置され移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）がワーク供給部Ａへ往復移動する第二搬送路（後述する第二直動レール１Ｂ）と、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）が移動可能な第一搬送路と第二搬送路とで搬送路を切り換える搬送路切換機構（後述する昇降機構１０等）を備えている。

【0023】

ワーク搬送機構Ｄとしては、図２に示すように、例えばリニア搬送機構１が用いられる。リニア搬送機構１は、複数の第一レール部１ａ０～１ａ４が着脱自在に互いに直列接続された第一直動レール１Ａ（第一搬送路）と、複数の第二レール部１ｂ００～１ｂ４が着脱自在に互いに直列接続された第二直動レール１Ｂ（第二搬送路）を有している。第一直動レール１Ａと第二直動レール１Ｂは異なる高さに平行配置されている。これら第一直動レール１Ａと第二直動レール１Ｂは、リニアモータレール部１Ｃを構成する。リニアモータレール部１Ｃは、ワーク供給部Ａからプレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）にわたってローダ４の移動範囲に架設されている。

【0024】

移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）は、リニアモータ可動子を各々有し、リニアモータレール部１Ｃ（第一レール部１ａ０～１ａ４、第二レール部１ｂ００～１ｂ４）はリニアモータ固定子を各々有している。第一直動レール１Ａを構成する第一レール部１ａ０～１ａ４と第二直動レール１Ｂを構成する第二レール部１ｂ００～１ｂ４は互いに組み換えて電気的及び機械的に直列接続される。第一レール部１ａ０～１ａ４及び第二レール部１ｂ００～１ｂ４は、図示しないリニアモータ固定子（電磁石）、一対のガイドレール、磁気センサ等を含む。移動体１ｃ０～１ｃ４は、図示しない一対のガイドレールと連繋する一対のガイドブロックや、リニアモータ固定子に対向して設けられたリニアモータ可動子（永久磁石）や磁気センサに対向して設けられた磁気スケール等を含む。

【0025】

上記リニアモータ可動子とリニアモータ固定子とでリニアモータを形成する。図示しないモータコントローラにより、互いに位相が異なるＵ相、Ｖ相、Ｗ相のうちの何れかの相の電流がリニアモータ固定子（電磁石のコイル）に供給される。これにより電磁石の通電が制御されると、当該電磁石に生じる磁束と対向する永久磁石の磁束との相互作用により移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）に推進力が生成され、この推進力により一対のガイドレールに沿って走行する。移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）の停止位置は、第一レール部１ａ０～１ａ４、第二レール部１ｂ００～１ｂ４に各々備えた磁気センサにより検出されている。リニアモータ固定子の電磁石のコイルへの通電を制御することで、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）がリニアモータレール部１Ｃの目標位置へ移動して停止させることができる。

【0026】

第一レール部１ａ０～１ａ４と第二レール部１ｂ００～１ｂ４は、通信線及び給電線等が省略されて互いに接続されるようになっている。レール部どうしの電気的接続は、互いの端子間接続により行ってもよいし、中継部材を介して端子間接続を行ってもよい。このように、第一レール部１ａ０～１ａ４と第二レール部１ｂ００～１ｂ４は配線が省略されたモジュール構造を有していることから、第一直動レール１Ａ及び第二直動レール１Ｂの配置構成の自由度は高くローダ４の作業領域を減らしてコンパクトな設計とすることができる。

【0027】

また、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）は、上面部にワークＷを搭載可能なステンレス金属系のワークトレイ１ｅが設けられている。ワークトレイ１ｅにはヒータ１ｄが内蔵されている（図１参照）。ヒータ１ｄは、例えば赤外線ヒータ、シーズヒータ、カートリッジヒータ等が用いられる。これにより、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）とこれが載置された第一レール部１ａ０～１ａ４のプローブどうしが接続されるとヒータ１ｄに給電され、ワークトレイ１ｅを介してワークＷを成形温度（例えば１７０°程度）と同程度に予備加熱することができる。図２中梨地状に囲まれた部分はヒータ１ｄに通電されてワークトレイ１ｅを介してワークＷが予備加熱されていることを示す。よって、ワークＷの予備加熱の時間を減らして生産効率を高め、ワークＷに熱を奪われて金型温度が低下し難くなるので成形品質を向上させることができる。

【0028】

図４に示すように、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）は、少なくとも第一直動レール１Ａ（第一搬送路）上及びワーク受け取り位置Ｅにおいてヒータ１ｄに通電されて成形前のワークＷが成形温度（例えば１７０°程度）と同程度に予備加熱されるようになっている。これにより、ワークＷの供給からプレス部Ｂへの搬入までに複数回予備加熱されるので、ワークＷの予備加熱が短時間で行える。

【0029】

図２において、第一直動レール１Ａは、ローダ４が成形前のワークＷを保持してプレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）に対して進退動する高さ位置において、ワーク供給部Ａとの間に架設されている。第二直動レール１Ｂは、第一直動レール１Ａより高さが低く平行な第二高さ位置においてワーク供給部Ａとの間に架設されている。尚、第二直動レール１Ｂは第一直動レール１Ａより高い位置に平行配置されていてもよい。

【0030】

また、図２において、昇降機構１０（搬送路切換機構）は、移動体１ｃを載せた第一レール部１ａ０～１ａ４と平行配置された第二レール部１ｂ０１～１ｂ４を共に平行移動させて、第一レール部１ａ０～１ａ４どうしが接続する第一直動レール１Ａから第一レール部１ａ０～１ａ４を第二レール部１ｂ００～１ｂ４と接続する第二直動レール１Ｂとの間で搬送路を切り換える。

【0031】

具体的には、図３において、昇降機構１０は、第一レール部１ａ０～１ａ４どうし及び第二レール部１ｂ００～１ｂ４どうしが互いに連結する第一高さ位置と、互いの連結を外して第一レール部１ａ０～１ａ４が第二レール部１ｂ００～１ｂ４と接続する第二高さ位置との間を昇降させる。更には移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を載せた第二レール部１ｂ００を第二直動レール１Ｂの高さ位置とワーク受け取り位置Ｅとの間、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を載せた第一レール部１ａ０を第二直動レール１ｂの高さ位置と後述するトレイ用予備加熱部Ｆとの間を昇降させる。昇降機構１０の構成は様々なものが採用できるが、上下に平行配置された第一レール部１ａ０～１ａ４及び第二レール部１ｂ００～１ｂ４をアーム等に平行支持するか或いはハンド等で把持してモータ駆動等により昇降させるようにしてもよい。

【0032】

昇降機構１０は、第二高さ位置に下降させた第一レール部１ａ０～１ａ４より第二直動レール１Ｂに沿ってワーク供給部Ａへ移動した移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を第二レール部１ｂ００と共にワーク受け取り位置Ｅまで下降させ、成形前のワークＷを受け取った移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を載せた第二レール部１ｂ００を再度第二直動レール１Ｂと接続する位置まで上昇させる。そして、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）が自走して移動した第一レール部１ａ１～１ａ４及びその直下の第二レール部１ｂ１～１ｂ４をもとの第一直動レール１Ａと第二直動レール１Ｂと再度接続する第一高さ位置まで上昇させる。この動作を繰り返すことで、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）をプレス部Ｂとワーク供給部Ａとの間を往復移動させるようになっている。

【0033】

これにより、第一直動レール１Ａ上の移動体１ｃ０～１ｃ４にワークＷを供給する場合、昇降機構１０によって移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を載せた第一レール部１ａ０～１ａ４を第一高さ位置から第二高さ位置へ平行移動させて第二レール部１ｂ００～１ｂ４と接続することにより、移動体１ｃ０～１ｃ４が第二直動レール１Ｂ上を自走してワーク供給部Ａへ移動させて次の成形前のワークＷを供給することができる。よって、ローダ４によるワーク搬送作業を減らして、生産効率を高めることができる。

【0034】

図２に示すように、第一直動レール１Ａに備えた第一レール部１ａ０～１ａ４より第二直動レール１Ｂに備えた第二レール部１ｂ００～１ｂ４の方がワーク供給部Ａ側に長くなるように延設されている。具体的には、第一直動レール１Ａは、プレス部Ｂ１に設けられた第一レール部１ａ１よりワーク供給部Ａ側に第一レール部１ａ０が延設されている。第二直動レール１Ｂはプレス部Ｂ１に設けられた第二レール部１ｂ１よりワーク供給部Ａ側に第二レール部１ｂ０１及び第二レール部１ｂ００が第二レール部１ｂ１より延設されている。よって第二直動レール１Ｂが第一直動レール１Ａより第二レール部１ｂ００だけワーク供給部Ａ側に長く形成されている。これにより、図３に示すように第二直動レール１Ｂに沿ってワーク供給部Ａへ移動した移動体１ｃ０～１ｃ４は昇降機構１０によって第二レール部１ｂ００と共にワーク受け取り位置Ｅへ昇降させることができる（図３は移動体１ｃ１を昇降する場合を例示した）。

【0035】

また、移動体１ｃ０～１ｃ４が成形前のワークＷを受け取りに行く移動中にワークトレイ１ｅが温度低下し易い。このためワーク供給部Ａには、成形前のワークＷを受け取る前に移動体１ｃ０～１ｃ４のワークトレイ１ｅを成形温度と同程度に予備加熱するトレイ用予備加熱部Ｆが更に設けられている。具体的には、図３において、昇降機構１０によって第一レール部１ａ０及びこれと平行配置された第二レール部１ｂ０１を昇降させることで、ワーク供給部Ａ側に延設された第一レール部１ａ０上に自走した移動体１ｃ１～１ｃ４を第一直動レール１Ａと接続する高さ位置においてヒータ１ｄに給電してワークトレイ１ｅを成形温度（例えば１７０°程度）と同程度に予備加熱する。図３では、トレイ用予備加熱部Ｆに移動体１ｃ０が配置されてワークトレイ１ｅが予備加熱された状態を例示している。

【0036】

これにより、トレイ用予備加熱部Ｆでワークトレイ１ｅを予備加熱することによりワークトレイ１ｅの温度低下を低減しワークＷの予備加熱時間を減らして生産効率を高めることができる。尚、プレス部Ｂ１～Ｂ４の数より多い移動体１ｃ０を更に備えることにより、成形が終了したいずれかのプレス部Ｂに対して予めワーク供給部Ａのトレイ用予備加熱部Ｆでワークトレイ１ｅが予備加熱され成形前のワークＷを受け取って予備加熱された移動体１ｃ０を用いて迅速に供給できるので、プレス部Ｂ１～Ｂ４の稼働率が向上し生産効率を高めることができる。

【0037】

ここで、樹脂封止装置２の動作例についてローダ４によるワーク搬送動作と共に図４に示す。図中梨地状に囲まれた部分はワークトレイ１ｅを介してワークＷが予備加熱されていることを示す。ローダ４はワーク供給部Ａにおいてホルダ機構１１よりタブレット樹脂Ｒを受け渡され、所要のプレス部Ｂに移動して、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）より成形温度と同程度に予備加熱された成形前のワークＷを受け取って封止金型３（例えば下型）へ搬入する。ワークＷ及び樹脂Ｒが搬入された封止金型３は、型閉じして圧縮成形が行われる。成形後、ローダ４は型開きした封止金型３（例えば上型）より成形後のワークＷを受け取って搬出する。ローダ４は、成形後のワークＷを保持したままプレス部Ｂから成形品収納部Ｃへ搬送しピックアップ１２に受け渡す。以上の動作をローダ４は繰り返し行う。尚、ワークＷ及びタブレット樹脂Ｒの搬入をローダ４で行い、成形後のワークＷの搬出をアンローダ（図示せず）で行ってもよい。

【0038】

次に、リニア搬送機構１による成形前のワークＷのプレス部Ｂ（Ｂ１～Ｂ４）への搬送動作の一例について図５乃至図１８を参照して説明する。図２に示すように、プレス部Ｂ１～Ｂ４に架設された第一直動レール１Ａ（第一レール部１ａ１～１ａ４）に載置された移動体１ｃ１～１ｃ４は、プローブがヒータ配線と接続されヒータ１ｄに通電されるため、ワークトレイ１ｅを介してワークＷが成形温度と同程度（例えば１７０°程度）に予備加熱されて待機している。同様に、ワーク供給部Ａに設けられたトレイ用予備加熱部Ｆにおいても、第一レール部１ａ０上に移載された移動体１ｃ０のワークトレイ１ｅもプローブがヒータ配線と接続されヒータ１ｄに通電されるため、成形温度と同程度に予備加熱される。

【0039】

以下、プレス部Ｂに対する成形前のワーク供給動作について説明する。図２のプレス部Ｂ１～Ｂ４の第一直動レール１Ａ上にある移動体１ｃ０～１ｃ４がワーク供給部Ａへ成形前のワークＷを受け取りに行く動作例について説明する。図５に示すように、トレイ用予備加熱部Ｆにおいて予備加熱された移動体１ｃ０から成形前のワークＷを受け取りに行く動作が開始される。図中梨地状に囲まれた部分は予備加熱されていることを示す。

【0040】

図５に示すように、昇降機構１０が、移動体１ｃ０を載せた第一レール部１ａ０とその下方に平行配置された第二レール部１ｂ０１を下降させ、第一レール部１ａ０を第二レール部１ｂ００と第二レール部１ｂ１との間に接続する。図６に示すように移動体１ｃ０は第一レール部１ａ０から第二レール部１ｂ００に自走する。図７に示すように昇降機構１０は、移動体１ｃ０を載せた第二レール部１ｂ００をワーク受け取り位置Ｅへ下降させる。そして、移動体１ｃ０は供給マガジン５よりワークトレイ１ｅ上に成形前のワークＷを受け取り（図１参照）、ワークＷはワークトレイ１ｅに内蔵したヒータ１ｄにより成形温度と同程度に予備加熱される。

【0041】

図８において、昇降機構１０によってプレス部Ｂ１において移動体１ｃ１を載せた第一レール部１ａ１とその下方の第二レール部１ｂ１を下降させ、第一レール部１ａ１を第一レール部１ａ０と第二レール部１ｂ２との間に接続する。移動体１ｃ１は、第二直動レール１Ｂ上を第一レール部１ａ０に向かって自走する。次いで、図９に示すように、昇降機構１０は移動体１ｃ１を載置した第一レール部１ａ０及びこれと平行な第二レール部１ｂ０１と共に上昇させて第二レール部１ｂ０１が第一レール部１ａ１と接続させる。このとき、トレイ用予備加熱部Ｆに移動した移動体１ｃ１のワークトレイ１ｅが第一レール部１ａ０上で成形温度と同程度に予備加熱される。

【0042】

次いで、図１０に示すように、昇降機構１０はワークＷを受け取った移動体１ｃ０を載せた第二レール部１ｂ００をワーク受け取り位置Ｅから第二レール部１ｂ０１と接続する高さ位置まで上昇させる。そして、図１１に示すように、移動体１ｃ０を第二レール部１ｂ００から第二レール部１ｂ０１を経て第一レール部１ａ１上まで自走させる。

【0043】

図１２に示すように、移動体１ｃ０を載置した第一レール部１ａ１及びこれと平行配置された第二レール部１ｂ１を昇降機構１０により上昇させて、第一レール部１ａ１を第一レール部１ａ２と接続させ、第二レール部１ｂ１を第一レール部１ａ０と第二レール部１ｂ２間接続させる。これにより、ワークＷを載置した移動体１ｃ０のワークトレイ１ｅは、第一レール部１ａ１上で成形温度と同程度に予備加熱される。尚、ワークトレイ１ｅ上で予備加熱されたワークＷは、樹脂Ｒを保持したローダ４によってプレス部Ｂ１の封止金型３ａに搬入される（図１参照）。

【0044】

また、トレイ用予備加熱部Ｆにおいてワークトレイ１ｅが予備加熱された移動体１ｃ１は、図１２に示すように昇降機構１０によって第一レール部１ａ０及びこれと平行な第二レール部１ｂ０１を下降させて第一レール部１ａ０を第二レール部１ｂ００と第二レール部１ｂ１との間に接続させる。次いで、図１３に示すように移動体１ｃ１は第一レール部１ａ０から第二レール部１ｂ００へ自走する。
また、プレス部Ｂ２において昇降機構１０は、移動体１ｃ２を載置した第一レール部１ａ２及びこれと平行配置された第二レール部１ｂ２を下降させ、第一レール部１ａ２が第二レール部１ｂ１と第二レール部１ｂ３との間に接続させる。

【0045】

図１４において、昇降機構１０によって移動体１ｃ１を載せた第二レール部１ｂ００をワーク受け取り位置Ｅへ下降させる。そして、移動体１ｃ１は供給マガジン５よりワークトレイ１ｅ上に成形前のワークＷを受け取り（図１参照）、ワークＷはワークトレイ１ｅに内蔵したヒータ１ｄにより成形温度と同程度に予備加熱される。また、移動体１ｃ２は、第一レール部１ａ２より第二レール部１ｂ１を経て第一レール部１ａ０上に自走する。

【0046】

図１５において、昇降機構１０は移動体１ｃ２を載置した第一レール部１ａ０及びこれと平行配置された第二レール部１ｂ０１を上昇させて第一レール部１ａ０を第一レール部１ａ１と接続させ、第二レール部１ｂ０１を第二レール部１ｂ１と接続させる。このとき、トレイ用予備加熱部Ｆに移動した移動体１ｃ２のワークトレイ１ｅが第一レール部１ａ０上で成形温度と同程度に予備加熱される。

【0047】

次いで、図１６に示すように、昇降機構１０はワークＷを受け取った移動体１ｃ１を載せた第二レール部１ｂ００をワーク受け取り位置Ｅから第二レール部１ｂ０１と接続する高さ位置に上昇させる。そして、図１７に示すように、移動体１ｃ１を第二レール部１ｂ００から第二レール部１ｂ０１及び第二レール部１ｂ１を経て第一レール部１ａ２上まで自走させる。

【0048】

図１８に示すように、移動体１ｃ１を載置した第一レール部１ａ２及びこれと平行配置された第二レール部１ｂ２を昇降機構１０により上昇させて、第一レール部１ａ２を第一レール部１ａ１と第一レール部１ａ３との間に接続させ、第二レール部１ｂ２を第二レール部１ｂ１と第二レール部１ｂ３との間に接続させる。これにより、移動体１ｃ１のワークトレイ１ｅに載置されたワークＷは、第一レール部１ａ２上で成形温度と同程度に予備加熱される。尚、ワークトレイ１ｅ上で予備加熱されたワークＷは、樹脂Ｒを保持したローダ４によってプレス部Ｂ２の封止金型３ｂに搬入される（図１参照）。

【0049】

また、図１８においてトレイ用予備加熱部Ｆにおいてワークトレイ１ｅが予備加熱された移動体１ｃ２は、昇降機構１０によって第一レール部１ａ０及びこれと平行配置された第二レール部１ｂ０１を下降させ、第一レール部１ａ０を第二レール部１ｂ００と第二レール部１ｂ１との間に接続させる。
そして、移動体１ｃ２は、第一レール部１ａ０から第二レール部１ｂ００へ自走する（図６、図１３参照）。次いで昇降機構１０は移動体１ｃ２を載せた第二レール部１ｂ００をワーク受け取り位置Ｅへ下降させる（図７、図１４参照）。そして、移動体１ｃ２は供給マガジン５よりワークトレイ１ｅ上に成形前のワークＷを受け取り（図１参照）、ワークＷはワークトレイ１ｅに内蔵したヒータ１ｄにより成形温度と同程度に予備加熱される（図７、図１４参照）。

【0050】

プレス部Ｂ３に備えた移動体１ｃ３及びプレス部Ｂ４に備えた移動体１ｃ４によるワーク搬送動作も、移動体１ｃ２に続いてトレイ用予備加熱部Ｆにおけるワークトレイ１ｅの予備加熱とワーク受け取り位置ＥにおけるワークＷの予備加熱が交互に行われてプレス部Ｂ３，Ｂ４に対してワークＷが搬送される。詳細な説明は移動体１ｃ０及び移動体１ｃ１と同様であるため省略する。

【0051】

以上説明したように、第一直動レール１Ａを形成する第一レール部１ａ０～１ａ４上の移動体１ｃ０～１ｃ４を載せた第一レール部１ａ０～１ａ４と平行配置された第二レール部１ｂ０１～１ｂ４を平行移動させて第一レール部１ａ０～１ａ４を第二レール部１ｂ００～１ｂ４と接続することにより、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）が第二直動レール１Ｂ上を自走してワーク供給部Ａへ移動させて次の成形前のワークＷを供給することができる。これにより、ローダ４によるワーク搬送作業を減らして、生産効率を高めることができる。
また、第一レール部１ａ０～１ａ４と第二レール部１ｂ００～１ｂ４は互いに組み換えて電気的及び機械的に接続されるモジュール構造を有していることから、第一直動レール１Ａ及び第二直動レール１Ｂの配置構成の自由度は高くローダ４の作業領域を減らしてコンパクトな設計とすることができる。
また、第一直動レール１Ａにおいては移動体１ｃ１～１ｃ４のワークトレイ１ｅが加熱されワーク成形前のワークＷを成形温度と同程度に予備加熱するので、ワークＷの予備加熱の時間を減らして生産効率を高め、ワークＷに熱を奪われて金型温度が低下し難くなるので成形品質を向上させることができる。

【0052】

またプレス部Ｂ１～Ｂ４の移動体１ｃ１～１ｃ４がワークＷを受け取りに行く移動中にワークトレイ１ｅが温度低下し易い。このため、ワーク供給部Ａにトレイ用予備加熱部Ｆが設けられていると、トレイ用予備加熱部Ｆでワークトレイ１ｅを成形温度と同程度に予備加熱することによりワークトレイ１ｅの温度低下を低減しワークＷの予備加熱時間を減らして生産効率を高めることができる。また、プレス部Ｂ１～Ｂ４の数より多い移動体１ｃ０を更に備えることにより、成形が終了したいずれかのプレス部Ｂに対して移動体１ｃ０を用いて予めワーク供給部Ａで成形前のワークＷを受け取って予備加熱されたワークＷを供給することができるので、プレス部Ｂの稼働率が向上し生産効率を高めることができる。

【0053】

尚、上述したリニア搬送機構１に備えた第一直動レール１Ａと第二直動レール１Ｂは、異なる高さ位置に平行配置されていたが、この態様に限定されない。例えば、第一直動レール１Ａと第二直動レール１Ｂは同じ高さで水平方向に異なる位置に平行配置されていてもよい。この場合には、搬送路切換機構は昇降機構１０に替えて水平移動機構を用いて第一レール部１ａ０～１ａ４及び第二レール部１ｂ００～１ｂ４を同一平面上で装置手前側若しくは装置奥側へスライド移動させることで、移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を載せた第一レール部１ａ０～１ａ４を第二レール部１ｂ００～１ｂ４と互いに接続することができる。
また、第一直動レール１Ａと第二直動レール１Ｂは高さ方向及び水平方向に異ななる位置に平行配置されていてもよい。この場合には、搬送路切換機構は、三次元移動ロボットアーム等で第一レール部１ａ０～１ａ４及び第二レール部１ｂ００～１ｂ４を移動するようにしてもよい。

【0054】

更には、ワーク供給部Ａにおいて第二レール部１ｂ００上に移動した移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）を第二直動レール１Ｂからワーク受け取り位置Ｅまで第二レール部１ｂ００と共に下降させたが、第二レール部１ｂ００上に移動した移動体１ｃに対して第二直動レール１Ｂの延長上に配置した供給マガジン５より成形前のワークＷをワークトレイ１ｅに供給するようにしてもよい。或いは第二レール部１ｂ００の上方に配置された供給マガジン５より成形前のワークＷを移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）に供給するようにしてもよい。

【0055】

上述した実施例は、ワーク搬送機構Ｄとしてリニア搬送機構１を用いてがこれに限定されるものではない。ワーク搬送機構Ｄは、ベルト搬送機構であってもよい。具体的にはベルト搬送機構は、周回する無端ベルト上を移動体１ｃが移動するベルトモジュールが直列配置された第一ベルト搬送路（第一直動レール１Ａに相当）と、第一ベルト搬送路と平行配置され複数のベルトモジュールが直列配置された第二ベルト搬送路（第二直動レール１Ｂに相当）を備えていてもよい。例えば、図２において第一レール部１ａ０～１ａ４の代わりにベルトモジュールを配置し、第二レール部１ｂ００～１ｂ４の代わりにベルトモジュールを各々配置してもよい。尚、第一ベルト搬送路と第二ベルト搬送路は、異なる高さ位置に平行配置されていても良いし、同じ高さで水平方向に異なる位置に平行配置されていてもよく、高さ位置及び水平方向位置が異なるように配置されていてもよい。

【0056】

移動体１ｃ（１ｃ０～１ｃ４）は、上面部にワークＷを搭載可能なステンレス金属系のワークトレイ１ｅが設けられ、ワークトレイ１ｅにはヒータ１ｄが内蔵されている点は同様である（図１参照）。ヒータ１ｄは、例えば赤外線ヒータ、シーズヒータ、カートリッジヒータ等が用いられる。移動体１ｃ０～１ｃ４は第一ベルト搬送路に設けられたストッパに突き当たって停止し、移動体１ｃ０～１ｃ４に設けられたプローブを第一ベルト搬送路に設けられたヒータ配線と接続することでヒータ１ｄに給電してワークトレイ１ｅを介してワークＷを成形温度（例えば１７０°程度）と同程度に予備加熱する構成も同様である。また、ワーク供給部Ａにもトレイ用予備加熱部Ｆを備えている点も同様である。この場合、搬送路切換機構は、移動体１ｃのみを第一ベルト搬送路と第二ベルト搬送路との間で移載して搬送路を切り換えることが好ましい。
これにより、移動体１ｃはベルトモジュールが直列配置された第一搬送路と第二搬送路上とで搬送路切換機構によって移動体１ｃを載せ換えれば足りるため、簡易な構成でローダ４による成形前のワークＷの搬送作業を減らして、生産効率を高めることができる。

【0057】

また、上述したプレス部Ｂには４つのプレス部Ｂ１～Ｂ４を併設した実施例を開示したが、プレス部Ｂの数はこれより多くても少なくてもいずれでもよい。また、プレス部Ｂに備えた封止金型３は、トランスファ成形装置であっても圧縮成形装置であってもいずれでもよい。
また、ローダ４は成形前のワーク及び樹脂Ｒを供給すると共に成形後のワークＷを取り出すようになっているが、これに限定されず、成形前のワークＷを供給するローダと成形後のワークＷを取りだすアンローダを備えていてもよい。
また、樹脂Ｒはタブレット樹脂を例示したが、顆粒状樹脂、粉状樹脂、液状樹脂等他の形態の樹脂であってもよい。

【符号の説明】

【0058】

Ｗ ワーク Ａ ワーク供給部 Ｂ，Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４ プレス部 Ｃ 成形品収納部 Ｄ ワーク搬送機構 Ｅ ワーク受け取り位置 Ｆ トレイ用予備加熱部 Ｒ タブレット樹脂 １ リニア搬送機構 １Ａ 第一直動レール １Ｂ 第二直動レール １Ｃ リニアモータレール部 １ａ０，１ａ１，１ａ２，１ａ３，１ａ４ 第一レール部 １ｂ００，１ｂ０１，１ｂ１，１ｂ２，１ｂ３，１ｂ４ 第二レール部 １ｃ，１ｃ０，１ｃ１，１ｃ２，１ｃ３，１ｃ４ リニアモータ可動部 １ｄ ヒータ １ｅ ワークトレイ ２ 樹脂封止装置 ３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ 封止金型 ３ｅ 金型キャビティ ３ｆ ポット ４ ローダ ５ 供給マガジン ６ 樹脂供給部 ７ レール ８ ディゲート部 ９ 成形品収納マガジン １０ 昇降機構 １１ ホルダ機構 １２ ピックアップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】