特開 2022-89232 除塵システム及びエア供給システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022089232

(43)【公開日】2022-06-16

(54)【発明の名称】除塵システム及びエア供給システム

(51)【国際特許分類】

   B08B 5/00 20060101AFI20220609BHJP

   H05F 3/06 20060101ALI20220609BHJP

   G21K 5/02 20060101ALI20220609BHJP

【ＦＩ】

B08B5/00 A

H05F3/06

G21K5/02 X

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020201445

(22)【出願日】2020-12-04

(71)【出願人】

【識別番号】511254284

【氏名又は名称】ヒューグル開発株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100097205

【弁理士】

【氏名又は名称】樋口 正樹

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 孝宏

(72)【発明者】

【氏名】入江 史崇

【テーマコード（参考）】

3B116

5G067

【Ｆターム（参考）】

3B116AA46

3B116BB32

3B116BB62

3B116BB72

3B116BB89

5G067DA24

(57)【要約】

【課題】軟Ｘ線を遮閉するための設備を別途設けることなく、軟Ｘ線による除電を利用して物体表面の塵埃を除去することのできる除塵システムを提供することである。
【解決手段】給気管２２を通してエアの供給を受け、除塵すべき物体Ｗの表面に向けてエア吐出口１７３からエアを吐出するエア噴射室１７０と、前記物体Ｗの表面上のエアをエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通して吸引するエア吸引室１１０とを有する除塵ヘッド１０と、軟Ｘ線を照射して前記エア噴射室１７０内のエアをイオン化させる軟Ｘ線照射器１８と、を備えた構成となる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

給気管を通してエアの供給を受け、除塵すべき物体の表面に向けてエア吐出口からエアを吐出するエア噴射室と、前記物体の表面上のエアをエア吸引口を通して吸引するエア吸引室とを有する除塵ヘッドと、
軟Ｘ線を照射して前記エア噴射室内のエアをイオン化させる軟Ｘ線照射器と、を備えた除塵システム。

【請求項2】

前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記エア噴射室内に照射するように設けられた、請求項１記載の除塵システム。

【請求項3】

前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記給気管内に照射するように設けられた、請求項１記載の除塵システム。

【請求項4】

前記給気管は、給気管本体と、該給気管本体から分岐する閉鎖管とを有し、
前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記給気管本体に向けて照射するように前記閉鎖管内に設けられた、請求項３記載の除塵システム。

【請求項5】

前記給気管は、密閉管と、該密閉管からエア供給方向の上流側に延びる上流側配管と、前記密閉管からエア供給方向の下流側に延びる下流側配管とを有し、
前記軟Ｘ線照射器は、前記密閉管内に軟Ｘ線を照射するように当該密閉管内に設けられた、請求項３記載の除塵システム。

【請求項6】

エアの供給を受け、除塵すべき物体の表面に向けてエア吐出口からエアを吐出するエア噴射室と、前記物体の表面上のエアをエア吸引口を通して吸引するエア吸引室とを有する除塵ヘッドの前記エア噴射室にエアを供給するエア供給システムであって、
エア供給源からのエアを前記エア噴射室に導く給気管と、
前記給気管内に軟Ｘ線を照射して、前記エア噴射室に供給されるエアをイオン化させる軟Ｘ線照射器と、を有するエア供給システム。

【請求項7】

前記給気管は、給気管本体と、該給気管本体から分岐する閉鎖管とを有し、
前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記給気管本体に向けて照射する様に前記閉鎖管に設けられた、請求項６記載のエア供給システム。

【請求項8】

前記給気管は、密閉管と、該密閉管からエア供給方向の上流側に延びる上流側配管と、前記密閉管からエア供給方向の下流側に延びる下流側配管とを有し、
前記軟Ｘ線照射器は、前記密閉管内に軟Ｘ線を照射するように当該密閉管内に設けられた、請求項６記載のエア供給システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、除塵すべき物体の表面にエアを吹き付けつつその表面上のエアを吸引して前記物体の表面に付着した塵埃を除去する除塵システム及びその除塵システムに用いられるエア供給システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、特許文献１に記載のクリーニングヘッド（除塵ヘッド）を用いたシステム（除塵システム）が知られている。このシステムに用いられるクリーニングヘッド内には、エア噴射室とエア吸引室とが形成されている。そして、エア噴射室は、給気ダクト（給気管）を通して清浄エアの供給を受け、除塵すべき物体の表面に向けてエア噴射口（エア吐出口）から清浄エアを噴射させる。また、エア吸引室は、排気ダクトを通した排気作用により、前記物体の表面上のエアをエア吸引口を通して吸引する。このようなクリーニングヘッドを用いたシステムでは、エア噴射室から噴射される清浄エアによって物体表面上から塵埃が浮き上がるとともに、その表面上から浮き上がった塵埃がエアとともにエア吸引口を通してエア吸引室内に吸引され、更に排気ダクトを通して排出される。このようにして物体表面の除塵が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４－３０８０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、物体の表面に静電作用（帯電）によって付着した塵埃は、上述したクリーニングヘッドによる清浄エアの噴射及びエアの吸引だけでは除去し難い場合がある。この場合、エア噴射及びエア吸引とともに、物体表面に付着した帯電された塵埃を除電することが好ましい。このように帯電された塵埃を除電するために、物体表面に向けて軟Ｘ線を照射して物体表面近傍のエアをイオン化して除電することが考えられる。

【0005】

このように物体表面に向けて軟Ｘ線を照射して物体表面近傍のエアをイオン化するためには、軟Ｘ線の人体への被爆を防止するために、除塵の対象となる物体の周辺を遮蔽するための設備が別途必要になる。しかしながら、物体の表面の塵埃を除去する除塵システムの構造によっては、空間的にそのような設備を設置できない場合がある。また、そのような設備が設置できたとしても、除電を伴う除塵のシステム全体が大型化してしまうというデメリットがある。

【0006】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、軟Ｘ線を遮蔽するための設備を別途設けることなく、軟Ｘ線による除電を利用して物体表面の塵埃を除去することのできる除塵システムを提供するものである。

【0007】

また、このような除塵システムに用いられるエア供給システムを提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る除塵システムは、給気管を通してエアの供給を受け、除塵すべき物体の表面に向けてエア吐出口からエアを吐出するエア噴射室と、前記物体の表面上のエアをエア吸引口を通して吸引するエア吸引室とを有する除塵ヘッドと、軟Ｘ線を照射して前記エア噴射室内のエアをイオン化させる軟Ｘ線照射器と、を備えた構成となる。

【0009】

このような構成により、軟Ｘ線照射器から軟Ｘ線が照射されて除塵ヘッドのエア噴射室内のエアがイオン化される。そして、イオン化されたエアがエア噴射室からエア吐出口を通して除塵すべき物体の表面に向けて吐出するとともに、その物体の表面上のイオン化されたエアを含むエアが吸引口を通してエア吸引室に吸引される。このようにしてイオン化されたエアにより物体表面上の塵埃が除電されつつその物体表面から除去される。

【0010】

本発明に係る除塵システムにおいて、前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記エア噴射室内に照射するように設けられた、構成とすることができる。

【0011】

このような構成により、軟Ｘ線照射器から軟Ｘ線が除塵ヘッドのエア噴射室内に照射されて、当該エア噴射室内のエアがイオン化される。

【0012】

本発明に係る除塵システムにおいて、前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記給気管内に照射するように設けられた、構成とすることができる。

【0013】

このような構成により、軟Ｘ線照射器から軟Ｘ線が給気管内に照射され、給気管を通して除塵ヘッドのエア噴射室に供給されるエアがイオン化される。その結果、エア噴射室内のエアがイオン化されたものとなる。

【0014】

本発明に係る除塵ステムにおいて、前記給気管は、給気管本体と、該給気管本体から分岐する閉鎖管とを有し、前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記給気管本体に向けて照射するように前記閉鎖管内に設けられた、構成とすることができる。

【0015】

このような構成により、閉鎖管に設けられた軟Ｘ線照射器から軟Ｘ線がその閉鎖管から漏れることなく給気管本体に向けて照射される。その軟Ｘ線により、給気管本体を通して除塵ヘッドのエア噴射室に供給されるエアがイオン化される。その結果、エア噴射室内のエアがイオン化されたものとなる。

【0016】

本発明に係る除塵システムにおいて、前記給気管は、密閉管と、該密閉管からエア供給方向の上流側に延びる上流側配管と、前記密閉管からエア供給方向の下流側に延びる下流側配管とを有し、前記軟Ｘ線照射器は、前記密閉管内に軟Ｘ線を照射するように当該密閉管内に設けられた、構成とすることができる。

【0017】

このような構成により、密閉管内に設けられた軟Ｘ線照射器から軟Ｘ線が当該密閉管から漏れることなく照射される。その軟Ｘ線により、上流側配管から密閉管に入るエアがイオン化され、そのイオン化されたエアが密閉管から下流側配管を通して除塵ヘッドのエア噴射室に供給される。その結果、エア噴射室内のエアがイオン化されたものとなる。

【0018】

本発明に係るエア供給システムは、エアの供給を受け、除塵すべき物体の表面に向けてエア吐出口からエアを吐出するエア噴射室と、前記物体の表面上のエアをエア吸引口を通して吸引するエア吸引室とを有する除塵ヘッドの前記エア噴射室にエアを供給するエア供給システムであって、エア供給源からのエアを前記エア噴射室に導く給気管と、前記給気管内に軟Ｘ線を照射して、前記エア噴射室に供給されるエアをイオン化させる軟Ｘ線照射器と、を有する構成となる。

【0019】

このような構成により、軟Ｘ線照射器から軟Ｘ線が給気管内に照射され、給気管を通るエアがイオン化される。その結果、イオン化された空気が給気管を通して除塵ヘッドのエア噴射室に供給される。そして、除塵ヘッドでは、イオン化されたエアがエア噴射室からエア吐出口を通して除塵すべき物体の表面に向けて吐出するとともに、その物体の表面上のイオン化されたエアを含むエアが吸引口を通してエア吸引室に吸引される。このようにしてイオン化されたエアにより物体表面上の塵埃が除電されつつその物体表面から除去される。

【0020】

本発明に係るエア供給システムにおいて、前記給気管は、給気管本体と、該給気管本体から分岐する閉鎖管とを有し、前記軟Ｘ線照射器は、軟Ｘ線を前記給気管本体に向けて照射する様に前記閉鎖管に設けられた、構成とすることができる。

【0021】

このような構成により、閉鎖管に設けられた軟Ｘ線照射器から漏れることなく給気管に軟Ｘ線が照射され、給気管を通るエアがイオン化される。その結果、イオン化された空気が給気管を通して除塵ヘッドのエア噴射室に供給される。

【0022】

本発明に係るエア供給システムにおいて、前記給気管は、密閉管と、該密閉管からエア供給方向の上流側に延びる上流側配管と、前記密閉管からエア供給方向の下流側に延びる下流側配管とを有し、前記軟Ｘ線照射器は、前記密閉管内に軟Ｘ線を照射するように当該密閉管内に設けられた、構成とすることができる。

【0023】

このような構成により、密閉管内に設けられた軟Ｘ線照射器から漏れることなく当該密閉管内に軟Ｘ線が照射される。その軟Ｘ線により、上流側配管から密閉管に入るエアがイオン化され、そのイオン化されたエアが密閉管から下流側配管を通して除塵ヘッドのエア噴射室に供給される。

【発明の効果】

【0024】

本発明に係る除塵システムによれば、軟Ｘ線照射器から照射される軟Ｘ線により除塵ヘッドのエア噴射室内のエアをイオン化するようにしているので、軟Ｘ線を遮閉するための設備を別途設けることなく、軟Ｘ線による除電を利用して物体表面の塵埃を除去することができる。

【0025】

また、本発明に係るエア供給システムによれば、軟Ｘ線を遮蔽するための設備を別途設けることなく、軟Ｘ線による除電を利用して物体表面の塵埃を除去することができる除塵システムを実現させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る除塵システムの基本的な構成を示す図である。

【図2】図２は、除塵システムに用いられる除塵ヘッドの外観を示す正面図である。

【図3】図３は、除塵ヘッドの図２のＡ－Ａ断面を示す断面図である。

【図4】図４は、除塵ヘッドの一方の側面を示す側面図である。

【図5A】図５Ａは、本発明の第２の実施の形態に係る除塵システムに用いられる給気管の構造を示す正面図である。

【図5B】図５Ｂは、本発明の第２の実施の形態に係る除塵システムに用いられる給気管の構造を示す側面図である。

【図6A】図６Ａは、給気管の変形例の構造を示す正面図である。

【図6B】図６Ｂは、給気管の変形例の構造を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

【0028】

本発明の第１の実施の形態に係る除塵システムは、図１～図４に示すように構成される。図１は、当該除塵システムの基本的な構成を示す図であり、図２は、当該除塵システムに用いられる除塵ヘッドの外観を示す正面図であり、図３は、除塵ヘッドの断面（図２におけるＡ－Ａ断面）を示す断面図であり、図４は、除塵ヘッドの一方の側面を示す側面図である。

【0029】

図１において、この除塵システムは、除塵ヘッド１０を備えている。除塵ヘッド１０は、図１とともに図２に示すように、長尺形状のヘッド本体１１の上に同様に長尺形状となる排気ダクトユニット１２が重ねられた構造となって、ヘッド本体１１及び排気ダクトユニット１２がそれらの長手方向において２つの端部プレート１３、１４によって挟まれている。給気ポート１５が一方の端部プレート１３を貫通してヘッド本体１１に結合するとともに、排気ポート１６がその端部プレート１３を貫通して排気ダクトユニット１２に結合している。図１に示すように、給気ポート１５には、エア供給源２１（例えば、加圧ポンプ）から延びる給気管２２が接続され、排気ポート１６には、エア吸引源２３（例えば、減圧ポンプ）から延びる排気管２４が接続される。そして、エア供給源２１からのエアＡｒ（加圧エア）が給気管２２及び給気ポート１５を通して除塵ヘッド１０のヘッド本体１１内に取り入れられる。また、排気ダクトユニット１２からは、排気管２４を介したエア吸引源２３の吸引作用によって、排気ポート１６を通してエアＡｒが排出される。

【0030】

また、除塵ヘッド１０の他方の端部プレート１４には、軟Ｘ線照射器１８が固定されている。軟Ｘ線照射器１８は、軟Ｘ線（例えば、管電圧４keV～20keV）を、後述するように、ヘッド本体１１内に形成されるエア噴射室１７０内に照射する（図４参照）。

【0031】

除塵ユニット１０の更に詳細な構造について、図３及び図４を参照して説明する。

【0032】

図２とともに図３に示すように、排気ダクトユニット１２は、その底部が開口しており、その開口する底部の長手方向の縁部分がヘッド本体１１の上壁部１１３の長手方向の縁部分に結合されて、排気ダクトユニット１２とヘッド本体１１とが一体化される。このように排気ダクトユニット１２とヘッド本体１１とが一体化された状態で、排気ダクトユニット１２の内部に排気経路１２０としての空間が形成される。ヘッド本体１１内には、一方の端部プレート１３から他方の端部プレート１４（図２参照）まで延びる内ケース１７が設けられている。内ケース１７は、下方部分が狭窄した形状であり、その狭窄した部分の先端がヘッド本体１１の底板部１１１に至って開放している。内ケース１７は、狭窄した部分に形成されたノズル板１７１によって塞がれており、内ケース１７の内部にエア噴射室１７０としての空間が形成されている。また、内ケース１７の上壁部には、長手方向に延びる吊り下げ板１７２が設けられている。ヘッド本体１１の上壁部１１３の内面には、長手方向に延びる支持レール１１４が設けられており、この支持レール１１４に内ケース１７の吊り下げ板１７２が結合している。これにより、内ケース１７は、ヘッド本体１１の内部において、支持レール１１４と底板部１１１とに挟まれて支持された状態となる。

【0033】

内ケース１７のノズル板１７１には長手方向に延びるスリット状のエア吐出口１７３が形成されている。また、ヘッド本体１１の底板部１１１には、内ケース１７の狭窄した部分の先端を挟むように長手方向に延びるスリット状の２つのエア吸引口１１２ａ、１１２ｂが形成されている。ヘッド本体１１の内面と内ケース１７の外面との間にエア吸引室１１０としての空間が形成される。このヘッド本体１１内に形成されたエア吸引室１１０（空間）は、ヘッド本体１１の上壁部１１３に長手方向に延びるように形成された２つの連通孔１１５ａ、１１５ｂを通して排気ダクトユニット１２の排気経路１２０（空間）に連通している。

【0034】

前述したように一方の端部プレート１３を通してヘッド本体１１に結合する給気ポート１５は、内ケース１７内に形成されたエア噴射室１７０に連通している。これにより、給気管２１及び給気ポート１５を通して供給されるエア供給源２１（図１参照）からの加圧エアＡｒがヘッド本体１１のエア噴射室１７０に取り入れられる。このエア噴射室１７０に加圧エアＡｒが取り入れられることにより、エア吐出口１７３からエアが吐出する。また、その一方の端部プレート１３を通して排気ダクトユニット１２に結合する排気ポート１６は、排気ダクトユニット１２内に形成される排気経路１２０に連通している。これにより、エア吸引源２３の吸引作用が、排気管２４及び排気ポート１６を通して排気ダクトユニット１２内に形成される排気経路１２０におよび、更に、その吸引作用は、ヘッド本体１１の上壁部１１３に形成された２つの連通孔１１５ａ、１１５ｂを通してエア吸引室１１０にまでおよぶ。このようにしてエア吸引源２３の吸引作用がエア吸引室１１０に及ぶことにより、エア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエアがエア吸引室１１０内に吸引される。

【0035】

除塵ヘッド１０において、ヘッド本体１１、排気ダクト１２、２つの端部プレート１３、１４、給気ポート１５、排気ポート１６、及びヘッド本体１１内に設けられた内ケース１７のそれぞれは、金属（例えば、ステンレス、アルミニウム）によって形成されている。このような金属製の除塵ヘッド１０の端部プレート１４には、図４に示すように、ヘッド本体１１内の内ケース１７に形成されたエア噴射室１７０に臨むように照射孔１４０が形成されている。そして、軟Ｘ線照射器１８は、その照射孔１４０を通して、エア噴射室１７０内に軟Ｘ線を照射できるように端部プレート１４に固定されている。

【0036】

上述したような構造の除塵システムでは、除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）が、図２に示すように、除塵すべき物体Ｗ（例えば、板状物体、シート状物体）に対向するように配置される。更に具体的には、その除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）は、エア吐出口１７３及びエア吸引口１１２ａ、１１２ｂが、図３に示すように、その物体Ｗの表面に対向するように、配置される。そして、物体Ｗは、除塵ヘッド１０（エア吐出口１７３及びエア吸引口１１２ａ、１１２ｂ）の長手方向を横切る方向（例えば、直交する方向）Ｄｍ（図３参照）に移動する。

【0037】

物体Ｗが除塵ヘッド１０の長手方向を横切る方向（例えば、直交する方向）Ｄｍに移動する過程で、エア供給源２１から供給管２２を通して供給される加圧エアＡｒが更に給気ポート１５を通して除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）のエア噴射室１７０（内ケース１７内）に取り入れられる。そして、軟Ｘ線照射器１８から照射される軟Ｘ線によってエア噴射室１７０に取り入れられるエアがイオン化され、そのイオン化された加圧エアがそのエア噴射室１７０からエア吐出口１７３を通して物体Ｗの表面に向けて吐出される。また、同時に、排気管２４、排気ポート１６及び排気ダクトユニット１２内の排気経路１２０を通してエア吸気室１１０（ヘッド本体１１）にまで及ぶエア吸引源２３の吸引作用によって、物体Ｗの表面上の前記イオン化されたエアを含むエアがエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエア吸引室１１０に吸引される。

【0038】

これにより、移動する物体Ｗの表面上の塵埃が、エア吐出口１７３から吐出されるイオン化されたエアによって順次除電されつつその物体Ｗの表面から浮き上がってエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエアとともにエア吸引室１１０に吸引され、その物体Ｗの表面から除去される。

【0039】

上述した除塵システムにおいては、軟Ｘ線照射器１８は、除塵ヘッド１０の外部から物体Ｗの表面に軟Ｘ線を照射するのではなく、金属製のヘッド本体１１内の金属製の内ケース１７内に形成されたエア噴射室１７０に軟Ｘ線を照射して、そのエア噴射室１７０内のエアをイオン化している。また、エア噴射室１７０からエア吐出口１７３を通して吐出されるイオン化されたエアも、そのまま除塵ヘッド１０の周囲に広がるのではなく、エア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通して金属製のヘッド本体１１内に形成されるエア吸引室１１０内に吸引される。これにより、除塵ヘッド１０の周囲に漏洩する軟Ｘ線の線量レベルを極めて低レベルに維持することができる。

【0040】

従って、上述した除塵システムによれば、軟Ｘ線を遮閉するための設備を別途設けることなく、その軟Ｘ線による除電を利用して物体Ｗ表面の塵埃を除去することができる。

【0041】

なお、本発明に係る除電システムにおいて、軟Ｘ線照射器１８は、上述したように除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）の外部から軟Ｘ線をエア噴射室１７０内に照射するものではなく、除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）のエア噴射室１７０内に設けられ、そのエア噴射室１７０内で軟Ｘ線を照射するものであってもよい。更に、軟Ｘ線照射器１８は、軟Ｘ線を除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内に形成されるエア噴射室１７０内に直接照射するものでなくてもよい。照射される軟Ｘ線によって結果的にエア噴射室１７０内のエアがイオン化されるように、軟Ｘ線照射器１８が設けられる構成であればよい。

【0042】

次に、本発明の第２の実施の形態に係る除塵システムについて説明する。

【0043】

本発明の第２の実施の形態に係る除塵システムは、軟Ｘ線照射器が除塵ヘッド１０の給気ポート１５に接続する給気管２２に設けられる点で、前述した第１の実施の形態に係る除塵システムと異なる。

【0044】

除塵ヘッド１０の構成は、端部プレート１４の構造を除いて図１、図２及び図３に示すものと同じである。端部プレート１４には照射孔１４０（図４参照）が形成されておらず、エア噴射室１７０は、２つの端部プレート１３、１４によって閉ざされている。また、排気管２４が、第１の実施の形態の場合（図１参照）と同様、エア吸引源２３と除塵ヘッド１０（排気ダクトユニット１２）の排気ポート１６とに接続されている。

【0045】

この除塵システムに用いられるエア供給システムにおける給気管２２は、図５Ａ及び図５Ｂに示すように構成される。なお、図５Ａは、給気管２２の構造を示す正面図であり、図５Ｂは、その給気管２２の構造を示す側面図である。

【0046】

図５Ａ及び図５Ｂにおいて、給気管２２は、金属（例えば、ステンレス、アルミニウム）で形成され、給気管本体２２ａと、給気管本体２２ａから分岐する閉鎖管２２ｂとをから構成される。そして、給気管本体２２ａの一端は、エア供給源２１（図１参照）に接続され、給気管本体２２ａの他端は、除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）の給気ポート１５に接続される。これにより、エア供給源２１からの加圧エアは、給気管本体２２ａを通して除塵ヘッド１０の給気ポート１５に供給され、更に、その給気ポート１５から除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内のエア噴射室１７０（内ケース１７）に取り入れられる。一端部が給気管本体２２ａに開口して他端部が閉鎖している閉鎖管２２ｂ内には、給気管本体２２ａに向けて軟Ｘ線を照射するように軟Ｘ線照射器１９が設けられている。

【0047】

このような構成の除塵システム（エア供給システム）では、閉鎖管２２ｂ内に設けられた軟Ｘ線照射器１９から軟Ｘ線が、その閉鎖管２２ｂから漏れることなく給気管本体２２ａに向けて照射される。その軟Ｘ線により、エア供給源２１から供給されて給気管本体２２ａを流れる加圧エアがイオン化される。そのイオン化された加圧エアが給気管本体２２ａ及び給気ポート１５を順次通って除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内に形成されたエア噴射室１７０（内ケース１７）に供給される。その結果、エア噴射室１７０内のエアがイオン化されたものとなる。そして、そのエア噴射室１７０からエア吐出口１７３を通してイオン化されたエアが除塵対象の物体Ｗの表面に向けて吐出されるとともに、そのイオン化されたエアを含む物体Ｗの表面上のエアがエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエア吸引室１１０内に吸引される。

【0048】

上述した除塵システムにおいては、軟Ｘ線照射器１９は、除塵ヘッド１０の外部から物体Ｗの表面に軟Ｘ線を照射するのではなく、金属製の給気管２２（給気管本体２２ａ、閉鎖管２２ｂ）内に照射して、除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内のエア噴射室１７０（内ケース）に送り込まれるエアをイオン化している。そして、イオン化されたエアをエア吐出口１７３を通してエア噴射室１７０から物体Ｗの表面に向けて吐出しつつ、そのイオン化されたエアを含むその物体Ｗの表面上のエアをエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエア吸引室１１０に吸引することにより、その物体Ｗの表面上の塵埃を除去する。

【0049】

したがって、上述した除塵システムによれば、軟Ｘ線を遮閉するための設備を別途設けることなく、その軟Ｘ線による除電を利用して物体Ｗ表面の塵埃を除去することができる。

【0050】

エア供給システムにおける給気管２２は、図６Ａ及び図６Ｂに示す構成であってもよい。なお、図６Ａは、給気管２２の構造を示す正面図であり、図６Ｂは、その給気管２２の構造を示す側面図である。

【0051】

図６Ａ及び図６Ｂにおいて、給気管２２は、金属（例えば、ステンレス、アルミニウム）で形成され、密閉管２２ｃと、密閉管２２ｃからエア供給方向（図６Ａの矢印参照）の上流側に延びてエア供給源２１に接続される上流側配管２２ｄと、密閉管２２ｃからエア供給方向の下流側に延びて除電ヘッド１０の給気ポート１５に接続される下流側配管２２ｅとから構成される。エア供給源２１からの加圧エアは、上流側配管２２ｄ、密閉管２２ｃ、下流側配管２２ｅを通して除塵ヘッド１０の給気ポート１５に供給され、更に、その給気ポート１５から除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内のエア噴射室１７０（内ケース１７）に取り入れられる。密閉管２２ｃ内には、３つの軟Ｘ線照射器１９ａ、１９ｂ、１９ｃが、軟Ｘ線をその密閉管２２ｃ内に照射するように設けられている。

【0052】

このような構造の給気管２２を用いた除塵システム（エア供給システム）では、密閉管２２ｃ内に設けられた３つの軟Ｘ線照射器１９ａ、１９ｂ、１９ｃから軟Ｘ線がその密閉管２２ｃから漏れることなく照射される。その軟Ｘ線により、上流側配管２２ｄから密閉管２２ｃに入る加圧エアがイオン化される。そのイオン化された加圧エアが密閉管２２ｃから更に下流側配管２２ｅ及び給気ポート１５を順次通って除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内に形成されたエア噴射室１７０（内ケース１７）に供給される。その結果、エア噴射室１７０内のエアがイオン化されたものとなる。そして、そのエア噴射室１７０からエア吐出口１７３を通してイオン化されたエアが除塵対象の物体Ｗの表面に向けて吐出されるとともに、そのイオン化されたエアを含む物体Ｗの表面上のエアがエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエア吸引室１１０内に吸引される。

【0053】

上述したような給気管２２（密閉管２２ｃ、上流側配管２２ｄ、下流側配管２２ｅ：エア供給システム）を用いた除塵システムにおいては、３つの軟Ｘ線照射器１９ａ、１９ｂ、１９ｃは、除塵ヘッド１０の外部から物体Ｗの表面に軟Ｘ線を照射するのではなく、金属製の給気管２２（密閉管２２ｃ）内に照射して、除塵ヘッド１０（ヘッド本体１１）内のエア噴射室１７０（内ケース１７）に送り込まれるエアをイオン化している。そして、そのイオン化されたエアをエア吐出口１７３を通してエア噴射室１７０から物体Ｗの表面に向けて吐出しつつ、そのイオン化されたエアを含む物体Ｗの表面上のエアをエア吸引口１１２ａ、１１２ｂを通してエア吸引室１１０に吸引することにより、その物体Ｗの表面上の塵埃を除去する。

【0054】

従って、上述した給気管２２（エア供給システム）を用いた除塵システムによっても、軟Ｘ線を遮閉するための設備を別途設けることなく、その軟Ｘ線による除電を利用して物体Ｗ表面の塵埃を除去することができる。

【0055】

なお、上述した各除塵システムにおける除塵ヘッドの構造は、上述したもの（図２、図３参照）に限られない。この除塵ヘッドは、給気管を通してエアの供給を受け、除塵すべき物体の表面に向けてエア吐出口からエアを吐出するエア噴射室と、前記物体の表面上のエアをエア吸引口を通して吸引するエア吸引室とを有するものであれば、特に限定されない。

【0056】

また、上述した各除塵システムは、除塵ヘッド１０に対して物体Ｗが移動するものであったが、固定された物体Ｗに対して除塵ヘッド１０を移動させるものであってもよい。

【0057】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、この実施の形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0058】

本発明に係る除塵装置は、軟Ｘ線を遮閉するための設備を別途設けることなく、軟Ｘ線による除電を利用して物体表面の塵埃を除去するという効果を有し、除塵すべき物体の表面にエアを吹き付けつつその表面上のエアを吸引して前記物体の表面に付着した塵埃を除去する除塵システムとして有用である。

【符号の説明】

【0059】

１０ 除塵ヘッド
１１ ヘッド本体
１２ 排気ダクトユニット
１３、１４ 端部プレート
１５ 給気ポート
１６ 排気ポート
１７ 内ケース
１８、１９、１９ａ、１９ｂ、１９ｃ 軟Ｘ線照射器
２１ エア供給源
２２ 給気管
２２ａ 給気管本体
２２ｂ 閉鎖管
２２ｃ 密閉管
２２ｄ 上流側配管
２２ｅ 下流側配管
２３ エア吸引源
２４ 排気管
１１０ エア吸引室
１１１ 底板部
１１２ａ、１１２ｂ エア吸引口
１１３ 上壁部
１１４ 支持レール
１１５ａ、１１５ｂ 連通孔
１４０ 通孔
１２０ 排気経路（空間）
１７０ エア噴射室
１７１ ノズル板
１７２ 吊り下げ板
１７３ エア吐出口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】