特開 2022-90258 ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022090258

(43)【公開日】2022-06-17

(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20220610BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 303

B41J2/14 501

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020202531

(22)【出願日】2020-12-07

(71)【出願人】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100165179

【弁理士】

【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡

(74)【代理人】

【識別番号】100126664

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 慎吾

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(72)【発明者】

【氏名】堀口 悟史

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AF21

2C057AG14

2C057AG45

2C057AN01

2C057AP13

2C057BA03

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】印字品質の低下が抑制されたヘッドチップを提供する。
【解決手段】ヘッドチップ５０は、Ｙ方向に延びる吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６がＸ方向に交互に配列されたアクチュエータプレート５３と、アクチュエータプレート５３に対してＺ方向に重ね合わされるとともに、吐出チャネル７５に連通する連通孔１３０、および非吐出チャネル７６に連通する貫通孔１５０が形成された中間プレート５２と、中間プレート５２に対してＺ方向に、貫通孔１５０を閉塞した状態で重ね合わされるとともに、連通孔１３０に連通して吐出チャネル７５に収容された液体が噴射されるノズル孔１４５が吐出チャネル７５に対応する位置に形成されたノズルプレート５１と、を備える。非吐出チャネル７６は、外部に連通している。貫通孔１５０は、Ｚ方向から見て非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側に設けられている。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向に延びる噴射チャネルおよび非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートに対して前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向に重ね合わされるとともに、前記噴射チャネルに連通する連通孔、および前記非噴射チャネルに連通する貫通孔が形成された中間プレートと、
前記中間プレートに対して前記第３方向における前記アクチュエータプレートとは反対側に、前記貫通孔を閉塞した状態で重ね合わされるとともに、前記連通孔に連通して前記噴射チャネルに収容された液体が噴射される噴射孔が前記噴射チャネルに対応する位置に形成された噴射孔プレートと、
を備え、
前記非噴射チャネルは、外部に連通し、
前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記非噴射チャネルの前記第１方向に延びる内面よりも前記第２方向の内側に設けられている、
ヘッドチップ。

【請求項2】

前記噴射チャネルは、前記第２方向に隣り合う第１噴射チャネルおよび第２噴射チャネルを備え、
前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルの間に設けられている、
請求項１に記載のヘッドチップ。

【請求項3】

前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルそれぞれの両端よりも前記第１方向の内側に設けられている、
請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項4】

前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルそれぞれにおける前記第１方向の中心の間に設けられている、
請求項３に記載のヘッドチップ。

【請求項5】

前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルの間を前記第１方向の全長にわたって設けられている、
請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項6】

前記非噴射チャネルは、前記第２方向で隣り合う第１非噴射チャネルおよび第２非噴射チャネルを備え、
前記貫通孔は、
前記第１非噴射チャネルに連通する第１貫通孔と、
前記第２非噴射チャネルに連通する第２貫通孔と、
を備え、
前記中間プレートにおける前記噴射孔プレートとの接合面には、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔を接続する接続溝が形成されている、
請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項7】

前記中間プレートには、一の前記非噴射チャネルに連通する複数の前記貫通孔が形成されている、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のヘッドチップ。

【請求項8】

請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた液体噴射ヘッド。

【請求項9】

請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置。

【請求項10】

第１方向に延びる噴射チャネルおよび非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートに対して、前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向に重ね合わせて接合された中間プレートに、前記第３方向から見て前記非噴射チャネルの前記第１方向に延びる内面よりも前記第２方向の内側で貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
前記噴射チャネルに収容された液体が噴射される噴射孔が形成された噴射孔プレートを、前記噴射チャネルおよび前記噴射孔に連通する連通孔が形成された前記中間プレートに対して前記アクチュエータプレートとは反対側に重ね合わせて接合し、前記貫通孔を閉塞する接合工程と、
を備えるヘッドチップの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドに搭載されるヘッドチップを通じて被記録媒体にインクを吐出する。ヘッドチップは、吐出チャネルおよび非吐出チャネルが交互に形成されたアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに接合され、吐出チャネルに収容されたインクが噴射されるノズル孔が吐出チャネルに対応する位置に形成されたノズルプレートと、を備えている。

【0003】

近年では、チャネルの細溝化が進んだことで、アクチュエータプレートおよびノズルプレートの位置ずれの許容範囲が小さくなっている。具体的には、アクチュエータプレートに対するノズルプレートの位置がチャネルの幅方向にずれると、ノズル孔のチャネル側の開口の一部がチャネル間の壁によって閉塞され得る。ノズル孔のチャネル側の開口の一部が閉塞されると、ノズル孔へのインクの供給が阻害される。これにより、インクの噴射特性が悪化する可能性がある。

【0004】

下記特許文献１，２には、吐出チャネルおよびノズル孔の両方に連通する貫通孔が形成された中間プレートをアクチュエータプレートおよびノズルプレートの間に配置し、吐出チャネルの幅方向において貫通孔を吐出チャネルおよびノズル孔よりも大きく形成した構成が開示されている。この構成によれば、ノズル孔が中間プレートによって閉塞されない範囲でアクチュエータプレートおよびノズルプレートの位置ずれが許容されるので、ノズル孔へのインクの供給が阻害されることを抑制できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－４２９７９号公報

【特許文献2】特開２０１９－８９２３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、中間プレートとノズルプレートとの接合部に接合不良が存在すると、吐出チャネル同士が接合不良部を通じて連通し得る。吐出チャネル同士が連通すると、インクの吐出時に圧力が接合不良部を通じて伝播し、インクの噴射方向の偏向が誘発される場合がある。これにより、印字品質が低下する可能性がある。しかしながら、ノズルプレートが金属材料等の不透明材料によって形成されている場合には、ノズルプレートおよび中間プレートの接合不良を光学的に検出することが困難であった。

【0007】

そこで本開示は、噴射孔プレートと中間プレートとの接合不良に起因した印字品質の低下が抑制されたヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置およびヘッドチップの製造方法を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる噴射チャネルおよび非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに対して前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向に重ね合わされるとともに、前記噴射チャネルに連通する連通孔、および前記非噴射チャネルに連通する貫通孔が形成された中間プレートと、前記中間プレートに対して前記第３方向における前記アクチュエータプレートとは反対側に、前記貫通孔を閉塞した状態で重ね合わされるとともに、前記連通孔に連通して前記噴射チャネルに収容された液体が噴射される噴射孔が前記噴射チャネルに対応する位置に形成された噴射孔プレートと、を備え、前記非噴射チャネルは、外部に連通し、前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記非噴射チャネルの前記第１方向に延びる内面よりも前記第２方向の内側に設けられている。

【0009】

本態様によれば、中間プレートと噴射孔プレートとの接合不良部が中間プレートの貫通孔に接続することで、中間プレートの連通孔および貫通孔が接合不良部を介して連通する。これにより、噴射チャネルおよび非噴射チャネルが連通する。非噴射チャネルはヘッドチップの外部に連通しているので、噴射孔を閉塞して噴射チャネルを真空引きした際のリークを検出することで、接合不良部の存在を検出できる。
ここで、一般的に非噴射チャネルの第１方向に延びる内面には電極膜が設けられている。本態様では、貫通孔は第３方向から見て非噴射チャネルの第１方向に延びる内面よりも第２方向の内側に設けられているので、アクチュエータプレートに中間プレートを重ね合わせた状態で貫通孔を形成する際に、貫通孔を形成する手段が電極膜に干渉することを抑制できる。
以上により、中間プレートに貫通孔を形成する際に生じ得る電極膜の破損による信頼性の低下を抑制しつつ、中間プレートと噴射孔プレートとの接合不良を検出して、接合不良に起因した印字品質の低下を抑制できる。

【0010】

（２）上記（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記噴射チャネルは、前記第２方向に隣り合う第１噴射チャネルおよび第２噴射チャネルを備え、前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルの間に設けられていてもよい。

【0011】

本態様によれば、中間プレートおよび噴射孔プレートの接合部において一方の連通孔から他方の連通孔に向けて直線的に延びる経路上に貫通孔が設けられる。これにより、中間プレートと噴射孔プレートと接合不良のうち、特に噴射チャネル同士の連通を誘発しやすい接合不良を検出できる。

【0012】

（３）上記（２）の態様のヘッドチップにおいて、前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルそれぞれの両端よりも前記第１方向の内側に設けられていてもよい。

【0013】

本態様によれば、貫通孔が噴射チャネルよりも第１方向に沿う一方の外側から他方の外側にわたって設けられる構成と比べて、貫通孔の形成範囲減少によって貫通孔の形成に要する加工時間を短縮できる。

【0014】

（４）上記（３）の態様のヘッドチップにおいて、前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルそれぞれにおける前記第１方向の中心の間に設けられていてもよい。

【0015】

本態様によれば、中間プレートおよび噴射孔プレートの対向し合う部分における連通孔同士を接続する最短経路上に貫通孔が設けられる。これにより、最も液圧がかかりやすい箇所において、噴射チャネル同士の連通を誘発し得る接合不良を検出できる。

【0016】

（５）上記（２）の態様のヘッドチップにおいて、前記貫通孔は、前記第３方向から見て前記第１噴射チャネルおよび前記第２噴射チャネルの間を前記第１方向の全長にわたって設けられていてもよい。

【0017】

本態様によれば、中間プレートおよび噴射孔プレートの対向し合う部分において一方の連通孔から他方の連通孔に向けて直線的に延びる全ての経路上に貫通孔が設けられる。これにより、噴射チャネル同士の連通を誘発しやすい接合不良をより確実に検出できる。

【0018】

（６）上記（２）の態様のヘッドチップにおいて、前記非噴射チャネルは、前記第２方向で隣り合う第１非噴射チャネルおよび第２非噴射チャネルを備え、前記貫通孔は、前記第１非噴射チャネルに連通する第１貫通孔と、前記第２非噴射チャネルに連通する第２貫通孔と、を備え、前記中間プレートにおける前記噴射孔プレートとの接合面には、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔を接続する接続溝が形成されていてもよい。

【0019】

本態様によれば、中間プレートを貫通しないように接続溝を貫通孔と同様の手段で形成することで、第１貫通孔、接続溝および第２貫通孔を一連して形成できる。これにより、第１非噴射チャネルに連通する貫通孔、および第２非噴射チャネルに連通する貫通孔それぞれを単独で形成する場合と比べて、中間プレートの加工時間を短縮できる。

【0020】

（７）上記（１）から（６）のいずれかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記中間プレートには、一の前記非噴射チャネルに連通する複数の前記貫通孔が形成されていてもよい。

【0021】

本態様によれば、一の非噴射チャネルに連通する貫通孔を複数に分散して形成することで、単一の貫通孔が形成される構成と比べて、貫通孔の形成範囲の減少を抑制しつつ、中間プレートおよび噴射孔プレートの接合部の面積を確保できる。したがって、貫通孔を形成することによる中間プレートおよび噴射孔プレートの接合強度の低下を抑制できる。

【0022】

（８）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（７）のいずれかの態様に係るヘッドチップを備えている。

【0023】

本態様によれば、上記いずれかの態様に係るヘッドチップを備えているので、印字品質に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

【0024】

（９）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（８）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。

【0025】

本態様によれば、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えているので、印字品質に優れた液体噴射記録装置を提供できる。

【0026】

（１０）本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、第１方向に延びる噴射チャネルおよび非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートに対して、前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向に重ね合わせて接合された中間プレートに、前記第３方向から見て前記非噴射チャネルの前記第１方向に延びる内面よりも前記第２方向の内側で貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記噴射チャネルに収容された液体が噴射される噴射孔が形成された噴射孔プレートを、前記噴射チャネルおよび前記噴射孔に連通する連通孔が形成された前記中間プレートに対して前記アクチュエータプレートとは反対側に重ね合わせて接合し、前記貫通孔を閉塞する接合工程と、を備える。

【0027】

本態様によれば、アクチュエータプレートおよび中間プレートの位置合わせ精度によらず、貫通孔形成工程で非噴射チャネルに対する所望の位置に貫通孔を形成できる。したがって、非噴射チャネルに連通する貫通孔が形成された中間プレートを備えるヘッドチップにおいて、製造時の歩留まりの向上を図ることができる。

【発明の効果】

【0028】

本開示の一態様によれば、印字品質の低下を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】実施形態のプリンタの概略構成図である。

【図2】実施形態のインクジェットヘッドおよびインク循環機構の概略構成図である。

【図3】第１実施形態のヘッドチップの斜視図である。

【図4】第１実施形態のヘッドチップの分解斜視図である。

【図5】第１実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。

【図6】図５のＶＩ－ＶＩ線に相当するヘッドチップの断面図である。

【図7】図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当するヘッドチップの断面図である。

【図8】図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。

【図9】第１実施形態の中間プレートおよびアクチュエータプレートの底面図である。

【図10】第１実施形態のヘッドチップの製造方法を説明する図である。

【図11】第１実施形態のヘッドチップの製造方法を説明する図である。

【図12】第１実施形態のヘッドチップの製造方法を説明する図である。

【図13】第２実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。

【図14】第３実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。

【図15】第４実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。なお以下の説明では、同一または類似の機能を有する構成に同一の符号を付す。そして、それら構成の重複する説明は省略する場合がある。

【0031】

［実施形態］
＜プリンタ＞
各実施形態に共通するプリンタ１について説明する。
図１は、実施形態のプリンタの概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

【0032】

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第２方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（第１方向）は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向（第３方向）は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する高さ方向（鉛直方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本実施形態において、＋Ｚ側は鉛直方向の上方に相当し、－Ｚ側は鉛直方向の下方に相当する。

【0033】

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクタンク４に収容されるインクは、導電性インクであっても、非導電性インクであってもよい。

【0034】

図２は、実施形態のインクジェットヘッドおよびインク循環機構の概略構成図である。
図１および図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１およびインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

【0035】

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。

【0036】

吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４および吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

【0037】

走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

【0038】

図１に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６およびヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

【0039】

［第１実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第１実施形態のヘッドチップ５０について説明する。
図３は、第１実施形態のヘッドチップをノズルプレートを取り外した状態で－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、第１実施形態のヘッドチップの分解斜視図である。
図３および図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップである。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート（噴射孔プレート）５１（図４参照）と、中間プレート５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３およびカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を裏側とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を表側として説明する場合がある。

【0040】

アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、例えば分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電板を積層してなる、いわゆるシェブロン基板である。但し、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＺ方向の全域で一方向な、いわゆるモノポール基板であってもよい。

【0041】

図５は、第１実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。
図４および図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、２列）のチャネル列６１，６２が形成されている。各チャネル列６１，６２は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。本実施形態において、チャネル列６１，６２は、チャネルＡ列６１およびチャネルＢ列６２である。チャネルＡ列６１およびチャネルＢ列６２は、チャネル群６６を構成している。以下では、チャネル列６１，６２の構成について、チャネルＡ列６１を例にして説明する。

【0042】

図５に示すように、チャネルＡ列６１は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７５と、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６と、を有している。各チャネル７５，７６は、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向に直線状に延びるとともに、Ｘ方向に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６間に位置する部分は、吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。

【0043】

図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に相当するヘッドチップの断面図である。
図６に示すように、吐出チャネル７５は、Ｘ方向から見た側面視において、表面側に向けて凸の湾曲形状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５は、Ｙ方向の両端部に位置する切り上がり部７５ａと、各切り上がり部７５ａ間に位置する貫通部７５ｂと、を有している。

【0044】

切り上がり部７５ａは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７５ａは、Ｙ方向において貫通部７５ｂから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。
貫通部７５ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。

【0045】

図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当するヘッドチップの断面図である。
図７に示すように、非吐出チャネル７６は、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６は、貫通部７６ａと、切り上がり部７６ｂと、を備えている。

【0046】

貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。

【0047】

切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において貫通部７６ａから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。

【0048】

図５に示すように、チャネルＢ列６２は、アクチュエータプレート５３においてチャネルＡ列６１の＋Ｙ側に設けられている。チャネルＢ列６２は、上述したチャネルＡ列６１と同様に吐出チャネル（噴射チャネル）７５および非吐出チャネル（非噴射チャネル）７６がＸ方向に交互に並んだ構成である。具体的に、チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６は、チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、チャネルＡ列６１およびチャネルＢ列６２の吐出チャネル７５同士、並びにチャネルＡ列６１およびチャネルＢ列６２の非吐出チャネル７６同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合っている。但し、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士および非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合って配置されていてもよい。

【0049】

アクチュエータプレート５３のうち、チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５（貫通部７５ｂ）に対して－Ｙ側に位置する部分は、第１領域８１を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５に対して＋Ｙ側に位置する部分は、第２領域８６を構成している。

【0050】

図７に示すように、チャネルＡ列６１において、非吐出チャネル７６の貫通部７６ａは、第１領域８１をＹ方向およびＺ方向に貫通し、アクチュエータプレート５３の－Ｙ側を向く側面に開口している。チャネルＢ列６２において、非吐出チャネル７６の貫通部７６ａは、第２領域８６をＹ方向およびＺ方向に貫通し、アクチュエータプレート５３の＋Ｙ側を向く側面に開口している。これにより、非吐出チャネル７６は、ヘッドチップ５０の外部に連通している。

【0051】

図８は、図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
図８に示すように、吐出チャネル７５のＹ方向に延びる内面（駆動壁７０のうち各吐出チャネル７５に面する内側面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、吐出チャネル７５の内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと同等（アクチュエータプレート５３の表面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。

【0052】

非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃ（駆動壁７０のうち各非吐出チャネル７６に面する内側面）には、個別電極９７が形成されている。個別電極９７は、非吐出チャネル７６の内側面において、Ｚ方向の全域に亘って形成されている。

【0053】

図５に示すように、アクチュエータプレート５３の表面には、複数の共通端子９６が形成されている。共通端子９６は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされている。各共通端子９６は、対応する吐出チャネル７５の開口縁において一対の共通電極９５にそれぞれ接続されている。各共通端子９６は、対応する領域８１，８６内で終端している。

【0054】

領域８１，８６の表面において、共通端子９６よりもＹ方向の外側に位置する部分には、個別端子９８が形成されている。個別端子９８は、Ｘ方向に延在する帯状とされている。個別端子９８は、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で対向する非吐出チャネル７６の開口縁において、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極９７同士を接続している。なお、領域８１，８６において、共通端子９６と個別端子９８との間に位置する部分には、区画溝９９が形成されている。区画溝９９は、各領域８１，８６において、Ｘ方向に延びている。区画溝９９は、共通端子９６と個別端子９８とを分離している。なお、図３、図４等については、各電極９５，９７および各端子９６，９８は一部のみ示している。

【0055】

図６に示すように、第１領域８１の表面には、第１フレキシブルプリント基板１００が圧着されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、第１領域８１の表面において、チャネルＡ列６１に対応する共通端子９６および個別端子９８に接続されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、アクチュエータプレート５３の－Ｙ側を通って＋Ｚ側に引き出されている。

【0056】

第２領域８６の表面には、第２フレキシブルプリント基板１０１が圧着されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、第２領域８６の表面において、チャネルＢ列６２に対応する共通端子９６および個別端子９８に接続されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、アクチュエータプレート５３の＋Ｙ側を通って＋Ｚ側に引き出されている。

【0057】

図３および図４に示すように、カバープレート５４は、チャネル群６６を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の裏面に接着されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１，６２と対応する位置には、入口共通インク室１２０および出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。

【0058】

入口共通インク室１２０は、例えばチャネルＡ列６１において吐出チャネル７５の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。

【0059】

出口共通インク室１２１は、例えばチャネルＡ列６１において吐出チャネル７５の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。

【0060】

入口共通インク室１２０において、チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５と対応する位置には、入口スリット１２５が形成されている。入口スリット１２５は、各吐出チャネル７５の＋Ｙ側端部と、入口共通インク室１２０内と、の間を各別に連通している。

【0061】

出口共通インク室１２１において、チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５と対応する位置には、出口スリット１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５の－Ｙ側端部と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５および出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５に連通する一方、非吐出チャネル７６には連通していない。

【0062】

中間プレート５２は、チャネル群６６を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の表面に接合されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも短くなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（例えば、第１領域８１）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、フレキシブルプリント基板１００，１０１の圧着領域として機能する。なお、中間プレート５２は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。中間プレート５２には、連通孔１３０および貫通孔１５０が形成されている。

【0063】

連通孔１３０は、各吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと平面視で重なり合う。連通孔１３０は、アクチュエータプレート５３の表面側において、対応する吐出チャネル７５の貫通部７５ｂ内に各別に連通している。連通孔１３０は、Ｙ方向を長手方向とする長円形状に形成されている。連通孔１３０におけるＸ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも広い。但し、連通孔１３０におけるＸ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも短くてもよい。

【0064】

貫通孔１５０は、各非吐出チャネル７６の貫通部７６ａと平面視で重なり合う。貫通孔１５０は、アクチュエータプレート５３の表面側において、対応する非吐出チャネル７６の貫通部７６ａ内に各別に連通している。

【0065】

図９は、第１実施形態の中間プレートおよびアクチュエータプレートの底面図である。
図９に示すように、貫通孔１５０は、平面視で非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側に設けられている。貫通孔１５０の全体は、平面視で非吐出チャネル７６に重なっている。貫通孔１５０は、Ｘ方向に隣り合う一対の吐出チャネル７５（第１噴射チャネルおよび第２噴射チャネル）それぞれの貫通部７５ｂの間に設けられている。貫通孔１５０は、Ｘ方向に隣り合う一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂの両端よりもＹ方向の内側に設けられている。本実施形態では、貫通孔１５０は、非吐出チャネル７６よりもＸ方向に小さく、かつ吐出チャネル７５の貫通部７５ｂよりもＹ方向に小さい、平面視矩形状に形成されている。貫通孔１５０は、平面視で一対の吐出チャネル７５それぞれにおけるＹ方向の中心の間に設けられている。

【0066】

図３および図４に示すように、中間プレート５２において、連通孔１３０がＸ方向に並んだ領域は、連通領域１３５，１３６を構成している。本実施形態において、連通領域１３５，１３６は、チャネルＡ列６１に重なり合う連通Ａ領域１３５、およびチャネルＢ列に重なり合う連通Ｂ領域１３６である。各連通領域１３５，１３６は、Ｙ方向に間隔をあけて設けられている。

【0067】

図４に示すように、ノズルプレート５１は、中間プレート５２の表面に接合されている。ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅が中間プレート５２と同等になっている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ステンレス鋼の金属材料（ステンレス鋼やＮｉ－Ｐｄ等）により形成されている。但し、ノズルプレート５１は、金属材料の他、ポリイミド等の樹脂材料や、ガラス、シリコン等による単層構造、または積層構造であってもよい。

【0068】

ノズルプレート５１には、Ｘ方向に延びるノズル列（ノズルＡ列１４１およびノズルＢ列１４２）がＹ方向に間隔をあけて２列形成されている。
各ノズル列１４１，１４２は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（ノズルＡ孔１４５およびノズルＢ孔１４６）を有している。各ノズル孔１４５，１４６は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５，１４６は、例えば裏側から表側に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。各ノズル孔１４５，１４６の最大内径は、吐出チャネル７５のＹ方向の幅よりも大きく、連通孔１３０のＹ方向の幅よりも小さい。

【0069】

図６および図７に示すように、ノズルＡ孔１４５は、チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５のうちＹ方向の中央部に、連通Ａ領域１３５の連通孔１３０を通じて各別に連通している。ノズルＢ孔１４６は、チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５のうちＹ方向の中央部に、連通Ｂ領域１３６の連通孔１３０を通じて各別に連通している。ノズルプレート５１は、中間プレート５２の貫通孔１５０に連通する孔を有しておらず、貫通孔１５０を表面側から閉塞している。

【0070】

＜ヘッドチップの製造方法＞
本実施形態のヘッドチップ５０の製造方法について説明する。本実施形態のヘッドチップの製造方法は、第１接合工程と、第１検査工程と、貫通孔形成工程と、第２接合工程と、第２検査工程と、を備える。

【0071】

図１０から図１２は、第１実施形態のヘッドチップの製造方法を説明する図であって、図８に相当する断面図である。
図１０に示すように、第１接合工程では、アクチュエータプレート５３に対してＺ方向に中間プレート５２を重ね合わせて接合する。例えば、アクチュエータプレート５３および中間プレート５２を接着剤によって接合する。第１接合工程においてアクチュエータプレート５３に接合される中間プレート５２には、連通孔１３０および貫通孔１５０の両方が形成されていない。なお、図１０から図１２の各図において、非吐出チャネル７６の内面７６ｃに形成された個別電極９７の図示を省略している。

【0072】

続いて第１検査工程では、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２との接合部の接合不良を検出する。検出対象の接合不良は、吐出チャネル７５と非吐出チャネル７６とを連通するリークパスである。第１検査工程では、各吐出チャネル７５を真空引きし、その際のリークの有無を判定する。吐出チャネル７５と非吐出チャネル７６とを連通するリークパスが存在すると、アクチュエータプレート５３の側面に開口した非吐出チャネル７６からリークパスを通じて吐出チャネル７５に気体が流入するので、接合不良を検出できる。

【0073】

続いて、図１１に示すように、貫通孔形成工程では、第１検査工程を通過した物を対象に、中間プレート５２に連通孔１３０および貫通孔１５０を形成する。この際、非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側で貫通孔１５０を形成する。例えば、貫通孔形成工程では、レーザーを用いて中間プレート５２に連通孔１３０および貫通孔１５０を形成する。

【0074】

続いて、図１２に示すように、第２接合工程では、ノズル孔１４５，１４６が形成されたノズルプレート５１を、中間プレート５２に対してアクチュエータプレート５３とは反対側に重ね合わせて接合する。例えば、中間プレート５２およびノズルプレート５１を接着剤によって接合する。ノズルプレート５１を中間プレート５２に接合することで、連通孔１３０にノズル孔１４５，１４６を連通させるとともに、ノズルプレート５１によって貫通孔１５０を閉塞する。

【0075】

続いて第２検査工程では、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合部の接合不良を検出する。検出対象の接合不良は、連通孔１３０と貫通孔１５０とを連通するリークパスである。第２検査工程では、ノズル孔１４５，１４６を閉塞した状態で各吐出チャネル７５を真空引きし、その際のリークの有無を判定する。ノズル孔１４５，１４６の閉塞は、ノズルプレート５１に対して中間プレート５２とは反対側に図示しない治具等を重ね合わせることで行われる。連通孔１３０と貫通孔１５０とを連通するリークパスが存在すると、アクチュエータプレート５３の側面に開口した非吐出チャネル７６から貫通孔１５０、リークパスおよび連通孔１３０を通じて吐出チャネル７５に気体が流入するので、接合不良を検出できる。

【0076】

そして、第２検査工程を通過した物を対象に、フレキシブルプリント基板１００，１０１を圧着することで、ヘッドチップ５０が完成する。
なお、本実施形態では、第１接合工程で連通孔１３０が形成されていない中間プレート５２を用いたが、これに限定されない。すなわち、第１接合工程で連通孔１３０が形成された中間プレート５２を用いてもよい。この場合には、第１検査工程において、第２検査工程と同様に治具を用いて連通孔１３０を閉塞することで、吐出チャネル７５と非吐出チャネル７６とを連通するリークパスを検出できる。

【0077】

＜プリンタの動作＞
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

【0078】

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

【0079】

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４および吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０および入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

【0080】

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板１００，１０１を介して電極９５，９７に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極９５を基準電位ＧＮＤとして各電極９５，９７間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル７５を画成する２つ駆動壁７０に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁７０が非吐出チャネル７６側へ突出するように変形する。すなわち、各電極９５，９７間に電圧を印加することで、駆動壁７０がＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７５の容積が増大する。そして、吐出チャネル７５の容積が増大したことにより、入口共通インク室１２０内に貯留されたインクが入口スリット１２５を通じて吐出チャネル７５内に誘導される。吐出チャネル７５の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７５の内部に伝播する。圧力波がノズル孔１４５，１４６に到達したタイミングで、電極９５，９７間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁７０が復元し、一旦増大した吐出チャネル７５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７５の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクが連通孔１３０およびノズル孔１４５，１４６を通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。

【0081】

以上に説明したように、本実施形態のヘッドチップ５０は、吐出チャネル７５に連通する連通孔１３０、および非吐出チャネル７６に連通する貫通孔１５０が形成された中間プレート５２と、中間プレート５２に対して貫通孔１５０を閉塞した状態で重ね合わされるとともに、連通孔１３０に連通して吐出チャネル７５に収容されたインクが噴射されるノズル孔１４５，１４６が吐出チャネル７５に対応する位置に形成されたノズルプレート５１と、を備える。そして、非吐出チャネル７６が外部に連通し、貫通孔１５０が平面視で非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＹ方向の内側に設けられている。この構成によれば、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合不良部が中間プレート５２の貫通孔１５０に接続することで、中間プレート５２の連通孔１３０および貫通孔１５０が接合不良部を介して連通する。これにより、吐出チャネル７５および非吐出チャネル７６が連通する。非吐出チャネル７６はヘッドチップ５０の外部に連通しているので、ノズル孔１４５，１４６を閉塞して吐出チャネル７５を真空引きした際のリークを検出することで、接合不良部の存在を検出できる。
ここで、非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃには個別電極９７が設けられている。本実施形態では、貫通孔１５０は平面視で非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側に設けられているので、アクチュエータプレート５３に中間プレート５２を重ね合わせた状態で貫通孔１５０を形成する際に、貫通孔１５０を形成するレーザー等の手段が個別電極９７に干渉することを抑制できる。
以上により、中間プレート５２に貫通孔１５０を形成する際に生じ得る個別電極９７の破損による信頼性の低下を抑制しつつ、中間プレート５２とノズルプレート５１との接合不良を検出して、接合不良に起因した印字品質の低下を抑制できる。

【0082】

また、本実施形態のヘッドチップ５０の製造方法は、アクチュエータプレート５３に対して重ね合わせて接合された中間プレート５２に、平面視で非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側で貫通孔１５０を形成する貫通孔形成工程と、ノズルプレート５１を中間プレート５２に対してアクチュエータプレート５３とは反対側に重ね合わせて接合し、貫通孔１５０を閉塞する第２接合工程と、を備える。この製造方法によれば、アクチュエータプレート５３および中間プレート５２の位置合わせ精度によらず、貫通孔形成工程で非吐出チャネル７６に対する所望の位置に貫通孔１５０を形成できる。したがって、非吐出チャネル７６に連通する貫通孔１５０が形成された中間プレート５２を備えるヘッドチップ５０において、製造時の歩留まりの向上を図ることができる。

【0083】

また、貫通孔１５０は、平面視で、隣り合う一対の吐出チャネル７５の貫通部７５ｂの間に設けられている。この構成によれば、中間プレート５２およびノズルプレート５１の接合部において一方の連通孔１３０から他方の連通孔１３０に向けて直線的に延びる経路上に貫通孔１５０が設けられる。これにより、中間プレート５２とノズルプレート５１と接合不良のうち、特に吐出チャネル７５同士の連通を誘発しやすい接合不良を検出できる。

【0084】

貫通孔１５０は、平面視で、隣り合う一対の吐出チャネル７５の貫通部７５ｂそれぞれの両端よりもＹ方向の内側に設けられている。この構成によれば、貫通孔が吐出チャネル７５の貫通部７５ｂよりもＹ方向に沿う一方の外側から他方の外側にわたって設けられる構成と比べて、貫通孔１５０の形成範囲減少によって貫通孔１５０の形成に要する加工時間を短縮できる。

【0085】

貫通孔１５０は、平面視で、隣り合う一対の吐出チャネル７５の貫通部７５ｂそれぞれにおけるＹ方向の中心の間に設けられている。この構成によれば、中間プレート５２およびノズルプレート５１の対向し合う部分における連通孔１３０同士を接続する最短経路上に貫通孔１５０が設けられる。これにより、最も液圧がかかりやすい箇所において、吐出チャネル７５同士の連通を誘発し得る接合不良を検出できる。

【0086】

そして、本実施形態のインクジェットヘッド５およびプリンタ１では、上述したように接合不良に起因した印字品質の低下を抑制されたヘッドチップ５０を備えるので、印字品質に優れたインクジェットヘッド５およびプリンタ１を提供できる。

【0087】

［第２実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第２実施形態のヘッドチップ５０について説明する。
図１３は、第２実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。
図１３に示すように、本実施形態では、貫通孔２５０がＸ方向に隣り合う一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂの間をＹ方向の全長にわたって設けられている点で、第１実施形態とは異なる。貫通孔２５０は、平面視で貫通孔２５０を挟む一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂの両端よりもＹ方向の外側に突出している。換言すると、貫通孔２５０は、一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂよりもＹ方向の一方の外側から他方の外側にわたって配置されている。貫通孔２５０は、平面視で非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側に設けられている。貫通孔２５０の全体は、平面視で非吐出チャネル７６に重なっている。本実施形態では、貫通孔２５０は、非吐出チャネル７６よりもＸ方向に小さく、かつ吐出チャネル７５の貫通部７５ｂよりもＹ方向に大きい、平面視矩形状に形成されている。なお、その他の構成は、第１実施形態と同様である。

【0088】

このように、本実施形態では、平面視で貫通孔２５０が隣り合う一対の吐出チャネル７５の貫通部７５ｂの間をＹ方向の全長にわたって設けられている。この構成によれば、中間プレート５２およびノズルプレート５１の対向し合う部分において一方の連通孔１３０から他方の連通孔１３０に向けて直線的に延びる全ての経路上に貫通孔２５０が設けられる。これにより、吐出チャネル７５同士の連通を誘発しやすい接合不良をより確実に検出できる。

【0089】

［第３実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第３実施形態のヘッドチップ５０について説明する。
図１４は、第３実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。
図１４に示すように、本実施形態では、中間プレート５２には、Ｘ方向で隣り合う一対の貫通孔２５０を接続する接続溝２５１が形成されている点で、第２実施形態とは異なる。なお、その他の構成は、第２実施形態と同様である。

【0090】

接続溝２５１は、中間プレート５２の表面に形成されている。接続溝２５１は、中間プレート５２を貫通しないように形成されている。接続溝２５１は、吐出チャネル７５の貫通部７５ｂに対するＹ方向の外側で、Ｘ方向に沿って直線状に延びている。接続溝２５１は、隣り合う一対の貫通孔２５０（第１貫通孔および第２貫通孔）の端部同士を接続するように延びている。各貫通孔２５０の端部には、接続溝２５１が１つずつ接続されている。これにより、貫通孔２５０および接続溝２５１からなる凹部は、平面視で吐出チャネル７５を１つずつ避けるようにジグザグ状に延びている。例えば、接続溝２５１は、貫通孔２５０と同様にレーザーを用いて形成される。この場合、接続溝２５１を形成する際のレーザーの出力を、貫通孔２５０を形成する際のレーザーの出力よりも小さくすることで、中間プレート５２を貫通しない接続溝２５１を形成できる。

【0091】

このように、本実施形態では、中間プレート５２の表面には、Ｘ方向で隣り合う一対の貫通孔２５０を接続する接続溝２５１が形成されている。この構成によれば、中間プレート５２を貫通しないように接続溝２５１を貫通孔２５０と同様の手段で形成することで、一対の貫通孔２５０および接続溝２５１を一連して形成できる。これにより、隣り合う一対の非吐出チャネル７６に連通する貫通孔２５０それぞれを単独で形成する場合と比べて、中間プレート５２の加工時間を短縮できる。

【0092】

［第４実施形態］
＜ヘッドチップ＞
第４実施形態のヘッドチップ５０について説明する。
図１５は、第４実施形態のアクチュエータプレートの底面図である。
図１５に示すように、本実施形態では一の非吐出チャネル７６に連通する複数の貫通孔３５０が中間プレート５２に形成されている点で、第１実施形態と異なる。なお、その他の構成は、第１実施形態と同様である。

【0093】

中間プレート５２には、貫通孔群３５１が形成されている。貫通孔群３５１は、Ｘ方向から見て、隣り合う一対の吐出チャネル７５それぞれの間に設けられた複数（図示の例では２つ）の貫通孔３５０を有する。貫通孔群３５１は、一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂよりもＹ方向の一方の外側から他方の外側にわたる領域に形成されている。すなわち、貫通孔群３５１のうち少なくとも一対の貫通孔３５０は、平面視で、貫通孔群３５１を挟む一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂの両端よりもＹ方向の外側に配置されている。ただし、貫通孔群の全ての貫通孔は、平面視で貫通孔群を挟む一対の吐出チャネル７５それぞれの貫通部７５ｂの両端よりもＹ方向の内側に設けられていてもよい。各貫通孔３５０は、平面視で非吐出チャネル７６のＹ方向に延びる内面７６ｃよりもＸ方向の内側に設けられている。本実施形態では、貫通孔３５０は、非吐出チャネル７６よりもＸ方向に小さい、平面視矩形状に形成されている。なお、図示の例では、貫通孔３５０は、平面視で一対の吐出チャネル７５それぞれにおけるＹ方向の中心の間を避けるように形成されているが、貫通孔３５０の配置はこれに限定されない。すなわち、貫通孔群３５１の１つの貫通孔３５０は、平面視で一対の吐出チャネル７５それぞれにおけるＹ方向の中心の間に設けられていてもよい。

【0094】

このように、本実施形態では、中間プレート５２に一の非吐出チャネル７６に連通する複数の貫通孔３５０が形成されている。この構成によれば、一の非吐出チャネル７６に連通する貫通孔３５０を複数に分散して形成することで、単一の貫通孔が形成される構成と比べて、貫通孔３５０の形成範囲の減少を抑制しつつ、中間プレート５２およびノズルプレート５１の接合部の面積を確保できる。したがって、貫通孔３５０を形成することによる中間プレート５２およびノズルプレート５１の接合強度の低下を抑制できる。

【0095】

なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。

【0096】

上記実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上記実施形態では、Ｚ方向が鉛直方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。

【0097】

上記実施形態では、サイドシュートのヘッドチップについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用しても構わない。

【0098】

上記実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上記実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

【0099】

上記実施形態では、チャネル列が２列設けられているが、チャネル列の数は特に限定されない。
上記実施形態では、中間プレート５２の貫通孔１５０，２５０，３５０が平面視矩形状に形成されているが、これに限定されない。例えば、貫通孔は、円形状や長円形状等に形成されていてもよい。

【0100】

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

【符号の説明】

【0101】

１…プリンタ（液体噴射記録装置） ５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド） ５０…ヘッドチップ ５１…ノズルプレート（噴射孔プレート） ５２…中間プレート ５３…アクチュエータプレート ７５…吐出チャネル（噴射チャネル） ７６…非吐出チャネル（非噴射チャネル） ７６ｃ…内面 １３０…連通孔 １４５，１４６…ノズル孔（噴射孔） １５０，２５０，３５０…貫通孔 ２５１…接続溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】