(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022097961
(43)【公開日】2022-07-01
(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20220624BHJP
B41J 2/18 20060101ALI20220624BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 303
B41J2/14 611
B41J2/18
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020211236
(22)【出願日】2020-12-21
(71)【出願人】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(72)【発明者】
【氏名】久保田 禅
【テーマコード（参考）】
2C056
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C056KB16
2C057AF51
2C057AG44
2C057AG92
2C057AG93
2C057AP22
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】吐出圧力を確保することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３が形成されたアクチュエータプレート５３と、アクチュエータプレート５３の下端面上に設けられ帰還プレート５２と、を備えている。第１吐出チャネル６２は、Ｘ方向で向かい合う一対の上流駆動壁７１，７２により囲まれている。第２吐出チャネル６３は、Ｘ方向で向かい合う一対の下流駆動壁７３，７４により囲まれている。
【選択図】図４
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３が形成されたアクチュエータプレート５３と、アクチュエータプレート５３の下端面上に設けられ帰還プレート５２と、を備えている。第１吐出チャネル６２は、Ｘ方向で向かい合う一対の上流駆動壁７１，７２により囲まれている。第２吐出チャネル６３は、Ｘ方向で向かい合う一対の下流駆動壁７３，７４により囲まれている。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１方向に間隔をあけて配列されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向の一方側を向く端面上で開口する第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、
前記第１噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第１噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第１駆動壁により囲まれ、
前記第２噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第２噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第２駆動壁により囲まれているヘッドチップ。
前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、
前記第１噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第１噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第１駆動壁により囲まれ、
前記第２噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第２噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第２駆動壁により囲まれているヘッドチップ。
【請求項2】
前記アクチュエータプレートには、
前記第１噴射チャネルに対して前記第２噴射チャネルとは反対側に位置し、前記第２方向に延びる第１非噴射チャネルと、
前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネルの間に位置し、前記第２方向に延びる第２非噴射チャネルと、
前記第２噴射チャネルに対して前記第１噴射チャネルとは反対側に位置し、前記第２方向に延びる第３非噴射チャネルと、が形成され、
前記一対の第１駆動壁のうち、一方の前記第１駆動壁は、前記第１噴射チャネルと前記第１非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、
前記一対の第１駆動壁のうち、他方の前記第１駆動壁は、前記第１噴射チャネルと前記第２非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、
前記一対の第２駆動壁のうち、一方の前記第２駆動壁は、前記第２噴射チャネルと前記第２非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、
前記一対の第２駆動壁のうち、他方の前記第２駆動壁は、前記第２噴射チャネルと前記第３非噴射チャネルとの間に位置する部分である請求項１に記載のヘッドチップ。
前記第１噴射チャネルに対して前記第２噴射チャネルとは反対側に位置し、前記第２方向に延びる第１非噴射チャネルと、
前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネルの間に位置し、前記第２方向に延びる第２非噴射チャネルと、
前記第２噴射チャネルに対して前記第１噴射チャネルとは反対側に位置し、前記第２方向に延びる第３非噴射チャネルと、が形成され、
前記一対の第１駆動壁のうち、一方の前記第１駆動壁は、前記第１噴射チャネルと前記第１非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、
前記一対の第１駆動壁のうち、他方の前記第１駆動壁は、前記第１噴射チャネルと前記第２非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、
前記一対の第２駆動壁のうち、一方の前記第２駆動壁は、前記第２噴射チャネルと前記第２非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、
前記一対の第２駆動壁のうち、他方の前記第２駆動壁は、前記第２噴射チャネルと前記第３非噴射チャネルとの間に位置する部分である請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項3】
前記第１非噴射チャネル、前記第２非噴射チャネル及び前記第３非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートの前記端面上で開口し、
前記エンド部材は、前記第１非噴射チャネル、前記第２非噴射チャネル及び前記第３非噴射チャネルを閉塞する閉塞部を備えている請求項２に記載のヘッドチップ。
前記エンド部材は、前記第１非噴射チャネル、前記第２非噴射チャネル及び前記第３非噴射チャネルを閉塞する閉塞部を備えている請求項２に記載のヘッドチップ。
【請求項4】
前記第２方向から見て前記第１方向に交差する方向を前記アクチュエータプレートの厚さ方向とすると、
前記第１噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第１主面上で少なくとも開口し、
前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第２主面上で少なくとも開口し、
前記アクチュエータプレートの前記第１主面側には、前記第１噴射チャネル内に連通する第１液体流路が形成された第１カバープレートが設けられ、
前記アクチュエータプレートの前記第２主面側には、前記第２噴射チャネル内に連通する第２液体流路が形成された第２カバープレートが設けられている請求項１から請求項３の何れか１項に記載のヘッドチップ。
前記第１噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第１主面上で少なくとも開口し、
前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第２主面上で少なくとも開口し、
前記アクチュエータプレートの前記第１主面側には、前記第１噴射チャネル内に連通する第１液体流路が形成された第１カバープレートが設けられ、
前記アクチュエータプレートの前記第２主面側には、前記第２噴射チャネル内に連通する第２液体流路が形成された第２カバープレートが設けられている請求項１から請求項３の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項5】
前記アクチュエータプレートは、前記第１噴射チャネルに対して前記第２方向の他方側に位置する尾部を備え、
前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートを前記厚さ方向に貫通し、
前記アクチュエータプレートには、
前記第１噴射チャネルの内面及び前記尾部における前記第１主面に亘って形成された第１配線部と、
前記第２噴射チャネルの内面及び前記尾部における前記第１主面に亘って形成された第２配線部と、が形成されている請求項４に記載のヘッドチップ。
前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートを前記厚さ方向に貫通し、
前記アクチュエータプレートには、
前記第１噴射チャネルの内面及び前記尾部における前記第１主面に亘って形成された第１配線部と、
前記第２噴射チャネルの内面及び前記尾部における前記第１主面に亘って形成された第２配線部と、が形成されている請求項４に記載のヘッドチップ。
【請求項6】
前記第１噴射チャネルの内面のうち前記第２方向の一方側に露呈する面は、前記第１主面上での前記第１噴射チャネルの開口縁の一部を構成するとともに、前記厚さ方向において前記第２主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第１ガイド面を備え、
前記第２噴射チャネルの内面のうち前記第２方向の一方側に露呈する面は、
前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第２ガイド面と、
前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に他方側に向けて延びるとともに、前記第１主面上での前記第２噴射チャネルの開口縁の一部を構成する傾斜面と、を備え、
前記第１配線部は、
前記第１噴射チャネルの内面のうち前記第１方向で向かい合う内側面に形成された第１対向電極と、
前記尾部における前記第１主面に形成された第１端子と、
前記第１ガイド面に形成され、前記第１対向電極及び前記第１端子間を電気的に接続する第１接続部と、を備え、
前記第２配線部は、
前記第２噴射チャネルの内面のうち前記第１方向で向かい合う内側面に形成された第２対向電極と、
前記尾部における前記第１主面に形成された第２端子と、
前記傾斜面に形成され、前記第２対向電極及び前記第２端子間を電気的に接続する第２接続部と、を備えている請求項５に記載のヘッドチップ。
前記第２噴射チャネルの内面のうち前記第２方向の一方側に露呈する面は、
前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第２ガイド面と、
前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に他方側に向けて延びるとともに、前記第１主面上での前記第２噴射チャネルの開口縁の一部を構成する傾斜面と、を備え、
前記第１配線部は、
前記第１噴射チャネルの内面のうち前記第１方向で向かい合う内側面に形成された第１対向電極と、
前記尾部における前記第１主面に形成された第１端子と、
前記第１ガイド面に形成され、前記第１対向電極及び前記第１端子間を電気的に接続する第１接続部と、を備え、
前記第２配線部は、
前記第２噴射チャネルの内面のうち前記第１方向で向かい合う内側面に形成された第２対向電極と、
前記尾部における前記第１主面に形成された第２端子と、
前記傾斜面に形成され、前記第２対向電極及び前記第２端子間を電気的に接続する第２接続部と、を備えている請求項５に記載のヘッドチップ。
【請求項7】
第１方向に間隔をあけて配列されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向の一方側を向く端面上で開口する第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、
前記第１噴射チャネルは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向において前記アクチュエータプレートの第１主面上で少なくとも開口するとともに、前記第２方向の一方側に露呈する面に、前記第１主面上での前記第１噴射チャネルの開口縁の一部を構成するとともに、前記厚さ方向において前記第２主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第１ガイド面を備え、
前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第２主面上で少なくとも開口するとともに、前記第２方向の一方側に露呈する面に、前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第２ガイド面を備え、
前記アクチュエータプレートの前記第１主面側には、前記厚さ方向で前記第１ガイド面に向かい合う位置に前記第１噴射チャネル内に連通する第１液体流路が形成された第１カバープレートが設けられ、
前記アクチュエータプレートの前記第２主面側には、前記厚さ方向で前記第２ガイド面に向かい合う位置に前記第２噴射チャネル内に連通する第２液体流路が形成された第２カバープレートが設けられているヘッドチップ。
前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、
前記第１噴射チャネルは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向において前記アクチュエータプレートの第１主面上で少なくとも開口するとともに、前記第２方向の一方側に露呈する面に、前記第１主面上での前記第１噴射チャネルの開口縁の一部を構成するとともに、前記厚さ方向において前記第２主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第１ガイド面を備え、
前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第２主面上で少なくとも開口するとともに、前記第２方向の一方側に露呈する面に、前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第２ガイド面を備え、
前記アクチュエータプレートの前記第１主面側には、前記厚さ方向で前記第１ガイド面に向かい合う位置に前記第１噴射チャネル内に連通する第１液体流路が形成された第１カバープレートが設けられ、
前記アクチュエータプレートの前記第２主面側には、前記厚さ方向で前記第２ガイド面に向かい合う位置に前記第２噴射チャネル内に連通する第２液体流路が形成された第２カバープレートが設けられているヘッドチップ。
【請求項8】
請求項１から請求項７の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
【請求項9】
請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【0002】
インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドに搭載されるヘッドチップを通じて被記録媒体にインクを吐出する。ヘッドチップは、吐出チャネル及び非吐出チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、吐出チャネルに連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を備えている。吐出チャネル及び非吐出チャネルは、駆動壁を隔てて交互に配列されている。
ヘッドチップにおいて、インクを吐出させるには、駆動壁に形成された電極間に電圧を印加して、駆動壁を厚み滑り変形させる。これにより、吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。
ヘッドチップにおいて、インクを吐出させるには、駆動壁に形成された電極間に電圧を印加して、駆動壁を厚み滑り変形させる。これにより、吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。
【0003】
例えば下記特許文献１には、一の非吐出チャネルに対して両側に配置された一対の吐出チャネル間でインクを循環させる、いわゆる循環式のヘッドチップが開示されている。具体的に、下記特許文献１に記載のヘッドチップは、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に、一対の吐出チャネル、及びノズル孔間を連通させる帰還路が設けられている。
この構成によれば、駆動壁の変形に伴う吐出チャネル内の圧力変動が帰還路を流通するインクに伝播することで、帰還路を流通するインクがノズル孔を通じて吐出される。
この構成によれば、駆動壁の変形に伴う吐出チャネル内の圧力変動が帰還路を流通するインクに伝播することで、帰還路を流通するインクがノズル孔を通じて吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１０－３０３１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上述した特許文献１のヘッドチップにあっては、一対の吐出チャネルと、非吐出チャネルと、の間を仕切る部分のみが駆動壁として機能する構成である。すなわち、特許文献１に記載のヘッドチップでは、一の吐出チャネルに対して片側のみにしか駆動壁が設けられていないため、インク吐出時における吐出チャネル内の容積変化量には限界があった。したがって、従来のヘッドチップでは、吐出圧力を確保する点で未だ改善の余地があった。
【0006】
本開示は、吐出圧力を確保することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に間隔をあけて配列されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向の一方側を向く端面上で開口する第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、前記第１噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第１噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第１駆動壁により囲まれ、前記第２噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第２噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第２駆動壁により囲まれている。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に間隔をあけて配列されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向の一方側を向く端面上で開口する第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、前記第１噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第１噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第１駆動壁により囲まれ、前記第２噴射チャネルは、前記第１方向で向かい合うとともに、前記第２噴射チャネルを拡大又は縮小させるように変形する一対の第２駆動壁により囲まれている。
【0008】
本態様によれば、接続路を挟んで両側に位置する第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルがそれぞれ一対の駆動壁により囲まれている。液体噴射時において、第１駆動壁及び第２駆動壁をそれぞれ変形させることで、液体経路（第１噴射チャネルから接続路を経て第２噴射チャネルに至る流路）内の容積変化を大きくすることができる。その結果、液体流路内の液体に対し強い圧力波を発生させることができる。そのため、液体の噴射圧力を確保できる。
【0009】
（２）上記（１）の態様に係る態様のヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートには、前記第１噴射チャネルに対して前記第２噴射チャネルとは反対側に位置し、前記第２方向に延びる第１非噴射チャネルと、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネルの間に位置し、前記第２方向に延びる第２非噴射チャネルと、前記第２噴射チャネルに対して前記第１噴射チャネルとは反対側に位置し、前記第２方向に延びる第３非噴射チャネルと、が形成され、前記一対の第１駆動壁のうち、一方の前記第１駆動壁は、前記第１噴射チャネルと前記第１非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、前記一対の第１駆動壁のうち、他方の前記第１駆動壁は、前記第１噴射チャネルと前記第２非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、前記一対の第２駆動壁のうち、一方の前記第２駆動壁は、前記第２噴射チャネルと前記第２非噴射チャネルとの間に位置する部分であり、前記一対の第２駆動壁のうち、他方の前記第２駆動壁は、前記第２噴射チャネルと前記第３非噴射チャネルとの間に位置する部分であることが好ましい。
本態様によれば、各噴射チャネルの間に非噴射チャネルを形成することで、噴射チャネルと非噴射チャネルとで囲まれた部分に駆動壁が形成される。これにより、各噴射チャネル噴射の両側に駆動壁を簡単に形成することができる。
本態様によれば、各噴射チャネルの間に非噴射チャネルを形成することで、噴射チャネルと非噴射チャネルとで囲まれた部分に駆動壁が形成される。これにより、各噴射チャネル噴射の両側に駆動壁を簡単に形成することができる。
【0010】
（３）上記（２）の態様に係る態様のヘッドチップにおいて、前記第１非噴射チャネル、前記第２非噴射チャネル及び前記第３非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートの前記端面上で開口し、前記エンド部材は、前記第１非噴射チャネル、前記第２非噴射チャネル及び前記第３非噴射チャネルを閉塞する閉塞部を備えていることが好ましい。
本態様によれば、非噴射チャネルのうちアクチュエータプレートの端面上での開口部をエンド部で閉塞することで、駆動壁を端面まで延ばすことができる。これにより、液体の噴射圧力を噴射孔まで効果的に伝播させ易い。
本態様によれば、非噴射チャネルのうちアクチュエータプレートの端面上での開口部をエンド部で閉塞することで、駆動壁を端面まで延ばすことができる。これにより、液体の噴射圧力を噴射孔まで効果的に伝播させ易い。
【0011】
（４）上記（１）から（３）の何れかの態様に係る態様のヘッドチップにおいて、前記第２方向から見て前記第１方向に交差する方向を前記アクチュエータプレートの厚さ方向とすると、前記第１噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第１主面上で少なくとも開口し、前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第２主面上で少なくとも開口し、前記アクチュエータプレートの前記第１主面側には、前記第１噴射チャネル内に連通する第１液体流路が形成された第１カバープレートが設けられ、前記アクチュエータプレートの前記第２主面側には、前記第２噴射チャネル内に連通する第２液体流路が形成された第２カバープレートが設けられていることが好ましい。
本態様によれば、第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルがアクチュエータプレートの異なる主面で少なくとも開口することで、アクチュエータプレートに対して厚さ方向の両側にカバープレートをそれぞれ設けることが可能になる。これにより、第１液体流路及び第２液体流路を一枚のカバープレートに比べ、構成の簡素化を図ることができる。
本態様によれば、第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルがアクチュエータプレートの異なる主面で少なくとも開口することで、アクチュエータプレートに対して厚さ方向の両側にカバープレートをそれぞれ設けることが可能になる。これにより、第１液体流路及び第２液体流路を一枚のカバープレートに比べ、構成の簡素化を図ることができる。
【0012】
（５）上記（４）の態様に係る態様のヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートは、前記第１噴射チャネルに対して前記第２方向の他方側に位置する尾部を備え、前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートを前記厚さ方向に貫通し、前記アクチュエータプレートには、前記第１噴射チャネルの内面及び前記尾部における前記第１主面に亘って形成された第１配線部と、前記第２噴射チャネルの内面及び前記尾部における前記第１主面に亘って形成された第２配線部と、が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、各噴射チャネルに対応する配線部を、アクチュエータプレートの第１主面側で外部配線に接続することができる。これにより、構成の簡素化を図ることができる。
本態様によれば、各噴射チャネルに対応する配線部を、アクチュエータプレートの第１主面側で外部配線に接続することができる。これにより、構成の簡素化を図ることができる。
【0013】
（６）上記（５）の態様に係る態様のヘッドチップにおいて、前記第１噴射チャネルの内面のうち前記第２方向の一方側に露呈する面は、前記第１主面上での前記第１噴射チャネルの開口縁の一部を構成するとともに、前記厚さ方向において前記第２主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第１ガイド面を備え、前記第２噴射チャネルの内面のうち前記第２方向の一方側に露呈する面は、前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第２ガイド面と、前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に他方側に向けて延びるとともに、前記第１主面上での前記第２噴射チャネルの開口縁の一部を構成する傾斜面と、を備え、前記第１配線部は、前記第１噴射チャネルの内面のうち前記第１方向で向かい合う内側面に形成された第１対向電極と、前記尾部における前記第１主面に形成された第１端子と、前記第１ガイド面に形成され、前記第１対向電極及び前記第１端子間を電気的に接続する第１接続部と、を備え、前記第２配線部は、前記第２噴射チャネルの内面のうち前記第１方向で向かい合う内側面に形成された第２対向電極と、前記尾部における前記第１主面に形成された第２端子と、前記傾斜面に形成され、前記第２対向電極及び前記第２端子間を電気的に接続する第２接続部と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、例えば第１液体流路を入口側流路とし、第２液体流路を出口側流路とした場合には、第１液体流路から第１噴射チャネル内に流入した液体は、第１ガイド面に沿ってエンド部材（接続路）に向けてスムーズに流れる。一方、接続路から第２噴射チャネル内に流入した液体は、第２ガイド面に沿って第２液体流路に向けてスムーズに流れる。これにより、噴射チャネル内での圧力損失を軽減し、液体経路内において液体を効率的に循環させることができる。
しかも、本態様では、第１噴射チャネルの第１ガイド面が第１噴射チャネルの開口部を通じて第１主面側に露呈し、第２噴射チャネルの傾斜面が第２噴射チャネルの開口部を通じて第１主面側に露呈する。これにより、第１主面側の開口部を通じて各噴射チャネル内に第１配線部及び第２配線部の電極材料を供給する際に、第１配線部の電極材料を第１ガイド面に効果的に成膜できるとともに、第２配線部の電極材料を傾斜面に効果的に成膜できる。これにより、対向電極と端子部との電気的な接続を確保できる。
本態様によれば、例えば第１液体流路を入口側流路とし、第２液体流路を出口側流路とした場合には、第１液体流路から第１噴射チャネル内に流入した液体は、第１ガイド面に沿ってエンド部材（接続路）に向けてスムーズに流れる。一方、接続路から第２噴射チャネル内に流入した液体は、第２ガイド面に沿って第２液体流路に向けてスムーズに流れる。これにより、噴射チャネル内での圧力損失を軽減し、液体経路内において液体を効率的に循環させることができる。
しかも、本態様では、第１噴射チャネルの第１ガイド面が第１噴射チャネルの開口部を通じて第１主面側に露呈し、第２噴射チャネルの傾斜面が第２噴射チャネルの開口部を通じて第１主面側に露呈する。これにより、第１主面側の開口部を通じて各噴射チャネル内に第１配線部及び第２配線部の電極材料を供給する際に、第１配線部の電極材料を第１ガイド面に効果的に成膜できるとともに、第２配線部の電極材料を傾斜面に効果的に成膜できる。これにより、対向電極と端子部との電気的な接続を確保できる。
【0014】
（７）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に間隔をあけて配列されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向の一方側を向く端面上で開口する第１噴射チャネル及び第２噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前記端面上に設けられ、前記第１噴射チャネル及び前記第２噴射チャネル間を接続する接続路、及び前記接続路の内外を連通する噴射孔を有するエンド部材と、を備え、前記第１噴射チャネルは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向において前記アクチュエータプレートの第１主面上で少なくとも開口するとともに、前記第２方向の一方側に露呈する面に、前記第１主面上での前記第１噴射チャネルの開口縁の一部を構成するとともに、前記厚さ方向において前記第２主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第１ガイド面を備え、前記第２噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記厚さ方向の第２主面上で少なくとも開口するとともに、前記第２方向の一方側に露呈する面に、前記厚さ方向において前記第１主面側に向かうに従い前記第２方向に一方側に向けて延びる第２ガイド面を備え、前記アクチュエータプレートの前記第１主面側には、前記厚さ方向で前記第１ガイド面に向かい合う位置に前記第１噴射チャネル内に連通する第１液体流路が形成された第１カバープレートが設けられ、前記アクチュエータプレートの前記第２主面側には、前記厚さ方向で前記第２ガイド面に向かい合う位置に前記第２噴射チャネル内に連通する第２液体流路が形成された第２カバープレートが設けられている。
本態様によれば、例えば第１液体流路を入口側流路とし、第２液体流路を出口側流路とした場合には、第１液体流路から第１噴射チャネル内に流入した液体は、第１ガイド面に沿ってエンド部材（接続路）に向けてスムーズに流れる。一方、接続路から第２噴射チャネル内に流入した液体は、第２ガイド面に沿って第２液体流路に向けてスムーズに流れる。これにより、噴射チャネル内での圧力損失を軽減し、液体経路内において液体を効率的に循環させることができる。
本態様によれば、例えば第１液体流路を入口側流路とし、第２液体流路を出口側流路とした場合には、第１液体流路から第１噴射チャネル内に流入した液体は、第１ガイド面に沿ってエンド部材（接続路）に向けてスムーズに流れる。一方、接続路から第２噴射チャネル内に流入した液体は、第２ガイド面に沿って第２液体流路に向けてスムーズに流れる。これにより、噴射チャネル内での圧力損失を軽減し、液体経路内において液体を効率的に循環させることができる。
【0015】
（８）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（７）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、吐出圧力を確保し、高性能な液体噴射ヘッドを提供できる。
本態様によれば、吐出圧力を確保し、高性能な液体噴射ヘッドを提供できる。
【0016】
（９）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（８）の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、吐出圧力を確保し、高性能な液体噴射記録装置を提供できる。
本態様によれば、吐出圧力を確保し、高性能な液体噴射記録装置を提供できる。
【発明の効果】
【0017】
本開示の一態様によれば、吐出圧力を確保することができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図2】実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。
【図3】実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0020】
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。
【0021】
以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第１方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（厚さ方向）は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向（第１方向）は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本実施形態において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。
【0022】
搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクタンク４に収容されるインクは、導電性インクであっても、非導電性インクであってもよい。
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクタンク４に収容されるインクは、導電性インクであっても、非導電性インクであってもよい。
【0023】
図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。
【0024】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
【0025】
走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。
【0026】
＜インクジェットヘッド５＞
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
【0027】
＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。図４は、図５のＩＶ－ＩＶ線に対応する断面図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル６２，６３における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆる縦循環式エッジシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（エンド部材：図４参照）と、帰還プレート（エンド部材）５２と、アクチュエータプレート５３と、第１カバープレート５４と、第２カバープレート５５と、を備えている。
図３は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。図４は、図５のＩＶ－ＩＶ線に対応する断面図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル６２，６３における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆる縦循環式エッジシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（エンド部材：図４参照）と、帰還プレート（エンド部材）５２と、アクチュエータプレート５３と、第１カバープレート５４と、第２カバープレート５５と、を備えている。
【0028】
アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、例えば分極方向がＹ方向（厚さ方向）の全域で一方向な、いわゆるモノポール基板である。但し、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＹ方向で異なる２枚の圧電板を積層してなる、いわゆるシェブロン基板であってもよい。
【0029】
アクチュエータプレート５３には、複数の循環チャネル５８が設けられている。循環チャネル５８は、アクチュエータプレート５３においてＸ方向に並んで設けられている。循環チャネル５８は、第１吐出チャネル（噴射チャネル）６２、及び第１吐出チャネル（噴射チャネル）６２に対して－Ｘ側に配置された第２吐出チャネル６３を備えている。
【0030】
アクチュエータプレート５３のうち、各吐出チャネル６２，６３の間に位置する部分には、インクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）６４～６６が形成されている。非吐出チャネル６４～６６のうち、第１非吐出チャネル６４は、一の循環チャネル５８に対して＋Ｘ側に配置されている。非吐出チャネル６４～６６のうち、第２非吐出チャネル６５は、一の循環チャネル５８において、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３間に配置されている。非吐出チャネル６４～６６のうち、第３非吐出チャネル６６は、一の循環チャネル５８に対して－Ｘ側に配置されている。すなわち、各チャネル６２～６６は、Ｘ方向において、第１非吐出チャネル６４、第１吐出チャネル６２、第２非吐出チャネル６５、及び第２吐出チャネル６３及び第３非吐出チャネル６６の順に並んでいる。
【0031】
本実施形態において、一の循環チャネル５８の＋Ｘ側に配置された第１非吐出チャネル６４は、一の循環チャネル５８に対して＋Ｘ側に配置された他の循環チャネル５８の第３非吐出チャネル６６と共用している。また、一の循環チャネル５８の－Ｘ側に配置された第３非吐出チャネル６６は、一の循環チャネル５８に対して－Ｘ側に配置された他の循環チャネル５８の第１非吐出チャネル６４と共用している。但し、第１非吐出チャネル６４及び第３非吐出チャネル６６は、各循環チャネル５８に対応して別々に備えていてもよい。すなわち、隣り合う循環チャネル５８の間に位置する部分に、一の循環チャネル５８に対応する第１非吐出チャネル６４と、他の循環チャネル５８に対応する第３非吐出チャネル６６と、が配置されていてもよい。
【0032】
各チャネル６２～６６は、アクチュエータプレート５３において、Ｚ方向に延びるとともに、少なくとも一部においてアクチュエータプレート５３をＹ方向に貫通している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＺ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＺ方向に交差していてもよい。
【0033】
以下、各チャネル６２～６６について、詳細に説明する。以下の説明において、＋Ｙ側を表面側とし、－Ｙ側を裏面側とし、＋Ｚ側を上側とし、－Ｚ側を下側として説明する。
図５は、図４のＶ－Ｖ線に対応する断面図である。
図５に示すように、第１吐出チャネル６２は、インクが充填されるチャネルであって、循環チャネル５８内におけるインクの流通過程で上流側流路を構成する。第１吐出チャネル６２は、例えば円板状のダイサー２００（図１０参照）をアクチュエータプレート５３の表面側から進入させて形成される。
図５は、図４のＶ－Ｖ線に対応する断面図である。
図５に示すように、第１吐出チャネル６２は、インクが充填されるチャネルであって、循環チャネル５８内におけるインクの流通過程で上流側流路を構成する。第１吐出チャネル６２は、例えば円板状のダイサー２００（図１０参照）をアクチュエータプレート５３の表面側から進入させて形成される。
【0034】
第１吐出チャネル６２は、延在部６２ａと、切り上がり部６２ｂと、を備えている。
延在部６２ａは、アクチュエータプレート５３をＹ方向に貫通するとともに、Ｚ方向に延びている。延在部６２ａは、アクチュエータプレート５３の下端面（第２方向の一方側を向く端面）において、開放されている。
切り上がり部６２ｂは、延在部６２ａの上端に連なっている。切り上がり部６２ｂは、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。具体的に、切り上がり部６２ｂの底面（以下、第１ガイド面６２ｃという。）は、上方に向かうに従い表面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。なお、第１ガイド面６２ｃは、上方に向かうに従い表面側に向けて延びる構成であればよい。
延在部６２ａは、アクチュエータプレート５３をＹ方向に貫通するとともに、Ｚ方向に延びている。延在部６２ａは、アクチュエータプレート５３の下端面（第２方向の一方側を向く端面）において、開放されている。
切り上がり部６２ｂは、延在部６２ａの上端に連なっている。切り上がり部６２ｂは、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。具体的に、切り上がり部６２ｂの底面（以下、第１ガイド面６２ｃという。）は、上方に向かうに従い表面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。なお、第１ガイド面６２ｃは、上方に向かうに従い表面側に向けて延びる構成であればよい。
【0035】
図６は、図４のＶＩ－ＶＩ線に対応する断面図である。
図６に示すように、第２吐出チャネル６３は、第２非吐出チャネル６５を間に挟んで第１吐出チャネル６２とＸ方向で向かい合っている。第２吐出チャネル６３は、インクが充填されるチャネルであって、循環チャネル５８内におけるインクの流通過程で下流側流路を構成する。第２吐出チャネル６３のＺ方向の最大寸法は、第１吐出チャネル６２と同等になっている。第２吐出チャネル６３は、例えば円板状のダイサー２００（図１０参照）をアクチュエータプレート５３の表面側及び裏面側から進入させて形成される。
図６に示すように、第２吐出チャネル６３は、第２非吐出チャネル６５を間に挟んで第１吐出チャネル６２とＸ方向で向かい合っている。第２吐出チャネル６３は、インクが充填されるチャネルであって、循環チャネル５８内におけるインクの流通過程で下流側流路を構成する。第２吐出チャネル６３のＺ方向の最大寸法は、第１吐出チャネル６２と同等になっている。第２吐出チャネル６３は、例えば円板状のダイサー２００（図１０参照）をアクチュエータプレート５３の表面側及び裏面側から進入させて形成される。
【0036】
第２吐出チャネル６３は、延在部６３ａと、裏面側切り上がり部６３ｂと、表面側切り上がり部６３ｃと、を備えている。
延在部６３ａは、アクチュエータプレート５３をＹ方向に貫通するとともに、Ｚ方向に延びている。延在部６３ａは、アクチュエータプレート５３の下端面において、開放されている。延在部６３ａの上端は、裏面側切り上がり部６３ｂ及び表面側切り上がり部６３ｃの二股に分かれている。
延在部６３ａは、アクチュエータプレート５３をＹ方向に貫通するとともに、Ｚ方向に延びている。延在部６３ａは、アクチュエータプレート５３の下端面において、開放されている。延在部６３ａの上端は、裏面側切り上がり部６３ｂ及び表面側切り上がり部６３ｃの二股に分かれている。
【0037】
裏面側切り上がり部６３ｂは、Ｘ方向から見た側面視において、表面側に向けて凸の円弧状に形成されている。裏面側切り上がり部６３ｂは、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。具体的に、裏面側切り上がり部６３ｂの底面（以下、第２ガイド面６３ｄという。）は、上方に向かうに従い裏面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。Ｚ方向において、裏面側切り上がり部６３ｂの上端位置は、切り上がり部６２ｂの上端位置と同等の高さに位置している。なお、第２ガイド面６３ｄは、上方に向かうに従い裏面側に向けて延びる構成であればよい。
【0038】
表面側切り上がり部６３ｃは、側面視において、裏面側に向けて凸の円弧状に形成されている。表面側切り上がり部６３ｃは、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。具体的に、表面側切り上がり部６３ｃの底面（以下、成膜面６３ｆという。）は、上方に向かうに従い表面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。なお、成膜面（傾斜面）６３ｆは、上方に向かうに従い裏面側に向けて延びる構成であればよい。また、図示の例において、各ガイド面６２ｃ，６３ｄ及び成膜面６３ｆの曲率半径は、互いに一様であっても、異なっていてもよい。
【0039】
本実施形態において、裏面側切り上がり部６３ｂの最大深さは、表面側切り上がり部６３ｃの最大深さに比べて深くなっていることが好ましい。したがって、表面側切り上がり部６３ｃの上端位置は、裏面側切り上がり部６３ｂの上端位置よりも下方に位置している。但し、裏面側切り上がり部６３ｂの最大深さは、表面側切り上がり部６３ｃの最大深さと同等であってもよく、表面側切り上がり部６３ｃよりも浅くてもよい。
【0040】
裏面側切り上がり部６３ｂ及び表面側切り上がり部６３ｃ同士は、エッジ部６３ｇを介して連なっている。すなわち、第２吐出チャネル６３の内面のうち、第２ガイド面６３ｄ及び成膜面６３ｆは、下方に露呈している。本実施形態において、例えば下方に「露呈する」とは、側面視において、第２ガイド面６３ｄ及び成膜面６３ｆの任意の位置での法線方向にＺ方向の成分を含んでいればよい。
【0041】
ここで、側面視において、アクチュエータプレート５３の表面と成膜面６３ｆとのなす第１角度θ１は、アクチュエータプレート５３の表面と第２ガイド面６３ｄとのなす第２角度θ１よりも小さく設定されている。本実施形態において、第１角度θ１とは、断面視において、成膜面６３ｆのうち第２吐出チャネル６３の表面側開口縁を通る第１接線Ｌ１と、アクチュエータプレート５３の表面と、のなす角度である。第２角度θ１とは、断面視において、第２ガイド面６３ｄのうち第１エッジ部６３ｇを通る第２接線Ｌ２と、アクチュエータプレート５３の表面と、のなす角度である。本実施形態において、第１角度θ１は鋭角をなし、第２角度θ２は鈍角をなしている。また、図示の例において、エッジ部６３ｆは、鋭角をなしている。但し、エッジ部６３ｇは、鈍角をなしていてもよい。
【0042】
図７は、図４のＶＩＩ－ＶＩＩ線に対応する断面図である。
図７に示すように、第１非吐出チャネル６４は、Ｘ方向において、第１吐出チャネル６２と向かい合っている。第１非吐出チャネル６４は、アクチュエータプレート５３をＺ方向及びＹ方向に貫通している。
図７に示すように、第１非吐出チャネル６４は、Ｘ方向において、第１吐出チャネル６２と向かい合っている。第１非吐出チャネル６４は、アクチュエータプレート５３をＺ方向及びＹ方向に貫通している。
【0043】
図８は、図４のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に対応する断面図である。
図８に示すように、第２非吐出チャネル６５は、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３の間に位置している。第２非吐出チャネル６５は、アクチュエータプレート５３をＺ方向及びＹ方向に貫通している。
図８に示すように、第２非吐出チャネル６５は、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３の間に位置している。第２非吐出チャネル６５は、アクチュエータプレート５３をＺ方向及びＹ方向に貫通している。
【0044】
図７に示すように、第３非吐出チャネル６６は、Ｘ方向において、第２吐出チャネル６３と向かい合っている。第３非吐出チャネル６６は、アクチュエータプレート５３をＺ方向及びＹ方向に貫通している。なお、各非吐出チャネル６４～６６は、少なくとも吐出チャネル６２，６３とＸ方向で対向する部分について、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通していればよい。
【0045】
図９は、図４のＩＸ－ＩＸ線に対応する断面図である。
図４、図９に示すように、アクチュエータプレート５３のうち、第１非吐出チャネル６４及び第１吐出チャネル６２間に位置する部分は、第１上流駆動壁（第１駆動壁）７１を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、第１吐出チャネル６２及び第２非吐出チャネル６５間に位置する部分は、第２上流駆動壁（第１駆動壁）７２を構成している。すなわち、第１吐出チャネル６２は、第１上流駆動壁７１及び第２上流駆動壁７２によってＸ方向の両側が囲まれている。
アクチュエータプレート５３のうち、第２非吐出チャネル６５及び第２吐出チャネル６３間に位置する部分は、第１下流駆動壁（第２駆動壁）７３を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、第２吐出チャネル６３及び第３非吐出チャネル６６間に位置する部分は、第２下流駆動壁（第２駆動壁）７４を構成している。すなわち、第２吐出チャネル６３は、第１下流駆動壁７３及び第２下流駆動壁７４によってＸ方向の両側が囲まれている。
図４、図９に示すように、アクチュエータプレート５３のうち、第１非吐出チャネル６４及び第１吐出チャネル６２間に位置する部分は、第１上流駆動壁（第１駆動壁）７１を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、第１吐出チャネル６２及び第２非吐出チャネル６５間に位置する部分は、第２上流駆動壁（第１駆動壁）７２を構成している。すなわち、第１吐出チャネル６２は、第１上流駆動壁７１及び第２上流駆動壁７２によってＸ方向の両側が囲まれている。
アクチュエータプレート５３のうち、第２非吐出チャネル６５及び第２吐出チャネル６３間に位置する部分は、第１下流駆動壁（第２駆動壁）７３を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、第２吐出チャネル６３及び第３非吐出チャネル６６間に位置する部分は、第２下流駆動壁（第２駆動壁）７４を構成している。すなわち、第２吐出チャネル６３は、第１下流駆動壁７３及び第２下流駆動壁７４によってＸ方向の両側が囲まれている。
【0046】
このように、上述した循環チャネル５８は、第１吐出チャネル６２が上流駆動壁７１，７２によって区画され、第２吐出チャネル６３が下流側駆動壁７３，７４によって区画されて構成されている。本実施形態において、第１吐出チャネル６２に対応する第１上流駆動壁７１及び第２上流駆動壁７２と、第２吐出チャネル６３に対応する第１下流駆動壁７３及び第２下流駆動壁７４は、１つのノズル孔１４１から一の循環チャネル５８内を流通するインクを吐出する駆動セル６７を構成している。したがって、一の駆動セル６７の第１上流駆動壁７１は、第１非吐出チャネル６４を隔てて＋Ｘ側に隣り合う他の駆動セル６７の第２下流駆動壁７４と向かい合っている。一方、一の駆動セル６７の第２下流駆動壁７４は、第３非吐出チャネル６６を隔てて－Ｘ側に隣り合う他の駆動セル６７の第１上流駆動壁７１と向かい合っている。
【0047】
図３、図４に示すように、アクチュエータプレート５３には、第１共通配線（第１配線部）８１、第２共通配線（第２配線部）８２、第１駆動配線８３及び第２駆動配線８４が形成されている。
第１共通配線８１は、第１共通電極９１と、第１共通端子（第１端子）９２と、を備えている。
図５に示すように、第１共通電極９１は、第１吐出チャネル６２の内面に形成されている。第１共通電極９１は、対向電極９１ａ及び接続部９１ｂを備えている。対向電極９１ａは、第１吐出チャネル６２の内側面（上流駆動壁７１，７２のうちＸ方向で向かい合う面）にそれぞれ形成されている。Ｙ方向において、対向電極９１ａは、第１吐出チャネル６２の内側面のうち、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。Ｚ方向において、対向電極９１ａは、第１吐出チャネル６２の内側面全域に亘って形成されている。
第１共通配線８１は、第１共通電極９１と、第１共通端子（第１端子）９２と、を備えている。
図５に示すように、第１共通電極９１は、第１吐出チャネル６２の内面に形成されている。第１共通電極９１は、対向電極９１ａ及び接続部９１ｂを備えている。対向電極９１ａは、第１吐出チャネル６２の内側面（上流駆動壁７１，７２のうちＸ方向で向かい合う面）にそれぞれ形成されている。Ｙ方向において、対向電極９１ａは、第１吐出チャネル６２の内側面のうち、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。Ｚ方向において、対向電極９１ａは、第１吐出チャネル６２の内側面全域に亘って形成されている。
【0048】
接続部９１ｂは、第１ガイド面６２ｃ上に形成されている。接続部９１ｂは、第１吐出チャネル６２内において、対向電極９１ａ同士の間を架け渡している。なお、接続部９１ｂは、第１ガイド面６２ｃのうち、少なくとも第１吐出チャネル６２の表面側開口縁に連なる所定の領域に形成されていればよい。
【0049】
図４、図５に示すように、第１共通端子９２は、アクチュエータプレート５３のうち、第１吐出チャネル６２に対して上方に位置する部分（以下、尾部９５という。）の表面上に形成されている。第１共通端子９２は、尾部９５の表面のうち、第１吐出チャネル６２のＸ方向での幅内に位置する部分に、Ｚ方向に直線状に延びている。第１共通端子９２のＸ方向の幅は、第１吐出チャネル６２の幅と同等になっている。
【0050】
第１共通端子９２の下端縁は、第１吐出チャネル６２の表面側開口縁において、第１ガイド面６２ｃに形成された接続部９１ｂに電気的に接続されている。一方、第１共通端子９２の上端縁は、尾部９５上で終端している。
【0051】
図６に示すように、第２共通配線８２は、第２共通電極９３と、第２共通端子（第２端子）９４と、を備えている。
第２共通電極９３は、第２吐出チャネル６３の内面に形成されている。第２共通電極９３は、対向電極９３ａ及び接続部９３ｂを備えている。対向電極９３ａは、第２吐出チャネル６３の内側面（下流駆動壁７３，７４のうちＸ方向で向かい合う面）にそれぞれ形成されている。Ｙ方向において、対向電極９３ａは、第２吐出チャネル６３の内側面のうち、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。具体的に、対向電極９３ａは、Ｙ方向において表面側切り上がり部６３ｃの全域に亘って形成されるとともに、延在部６３ａの半分以上の領域に亘って形成されている。
第２共通電極９３は、第２吐出チャネル６３の内面に形成されている。第２共通電極９３は、対向電極９３ａ及び接続部９３ｂを備えている。対向電極９３ａは、第２吐出チャネル６３の内側面（下流駆動壁７３，７４のうちＸ方向で向かい合う面）にそれぞれ形成されている。Ｙ方向において、対向電極９３ａは、第２吐出チャネル６３の内側面のうち、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。具体的に、対向電極９３ａは、Ｙ方向において表面側切り上がり部６３ｃの全域に亘って形成されるとともに、延在部６３ａの半分以上の領域に亘って形成されている。
【0052】
接続部９３ｂは、成膜面６３ｆの全域に亘って形成されている。接続部９３ｂは、第２吐出チャネル６３内において、対向電極９３ａ同士の間を架け渡している。なお、接続部９３ｂは、成膜面６３ｆのうち、少なくとも第２吐出チャネル６３の表面側開口縁に連なる所定の領域に形成されていればよい。
【0053】
図４、図６に示すように、第２共通端子９４は、尾部９５の表面のうち、第２吐出チャネル６３のＸ方向での幅内に位置する部分に、Ｚ方向に直線状に延びている。第２共通端子９４のＸ方向の幅は、第２吐出チャネル６３の幅と同等になっている。
第２共通端子９４の下端縁は、第２非吐出チャネル６３の表面側開口縁において、成膜面６３ｆに形成された接続部９３ｂに電気的に接続されている。一方、第２共通端子９４の上端縁は、尾部９５上で終端している。
第２共通端子９４の下端縁は、第２非吐出チャネル６３の表面側開口縁において、成膜面６３ｆに形成された接続部９３ｂに電気的に接続されている。一方、第２共通端子９４の上端縁は、尾部９５上で終端している。
【0054】
図４、図７に示すように、第１駆動配線８３は、第１個別電極９７と、第１個別端子９８と、を備えている。
第１個別電極９７は、第１上流駆動壁７１のうち第１非吐出チャネル６４に面する内側面、及び第２上流駆動壁７２のうち第２非吐出チャネル６５に面する内側面に形成されている。図示の例において、第１個別電極９７は、各非吐出チャネル６４，６５の内側面において、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。
第１個別電極９７は、第１上流駆動壁７１のうち第１非吐出チャネル６４に面する内側面、及び第２上流駆動壁７２のうち第２非吐出チャネル６５に面する内側面に形成されている。図示の例において、第１個別電極９７は、各非吐出チャネル６４，６５の内側面において、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。
【0055】
第１個別端子９８は、尾部９５の表面において、第１共通端子９２よりも上方に位置する部分に形成されている。第１個別端子９８は、Ｘ方向に延びる帯状とされている。第１個別端子９８は、第１吐出チャネル６２を間に挟んでＸ方向で対向する非吐出チャネル６４，６５の開口縁において、第１吐出チャネル６２を間に挟んでＸ方向で対向する第１個別電極９７同士を接続している。
【0056】
図４、図８に示すように、第２駆動配線８４は、第２個別電極１００と、第２個別端子１０１と、を備えている。
第２個別電極１００は、第１下流駆動壁７３のうち第２非吐出チャネル６５に面する内側面、及び第２下流駆動壁７４のうち第３非吐出チャネル６６に面する内側面に形成されている。図示の例において、第２個別電極１００は、各非吐出チャネル６５，６６の内側面において、アクチュエータプレート５３の表面側からＺ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。
第２個別電極１００は、第１下流駆動壁７３のうち第２非吐出チャネル６５に面する内側面、及び第２下流駆動壁７４のうち第３非吐出チャネル６６に面する内側面に形成されている。図示の例において、第２個別電極１００は、各非吐出チャネル６５，６６の内側面において、アクチュエータプレート５３の表面側からＺ方向の半分以上の深さに亘って形成されている。
【0057】
第２個別端子１０１は、尾部９５の表面において、第２共通端子９４よりも上方に位置する部分に形成されている。第２個別端子１０１は、Ｘ方向に延在する帯状とされている。第２個別端子１０１は、第２吐出チャネル６３を間に挟んでＸ方向で対向する非吐出チャネル６５，６６の開口縁において、第２吐出チャネル６３を間に挟んでＸ方向で対向する第２個別電極１００同士を接続している。
【0058】
尾部９５において、第１共通端子９２と第１個別端子９８との間、及び第２共通端子９４と第２個別端子１０１との間に位置する部分には、区画溝１０５が形成されている。区画溝１０５は、尾部９５において、Ｘ方向に延びている。区画溝１０５は、第１共通端子９２と第１個別端子９８との間、及び第２共通端子９４と第２個別端子１０１との間をそれぞれ分離している。
【0059】
尾部９５の表面には、フレキシブルプリント基板１０８が圧着されている。フレキシブルプリント基板１０８は、尾部９５の表面において、共通端子９２，９４及び個別端子９８，１０１に接続されている。フレキシブルプリント基板１０８は、上方に引き出されている。
【0060】
＜第１カバープレート５４＞
図３、図５、図６に示すように、第１カバープレート５４は、アクチュエータプレート５３の表面に接着等により固定されている。具体的に、第１カバープレート５４は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。Ｚ方向において、第１カバープレート５４の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。Ｚ方向において、第１カバープレート５４の上端面は、アクチュエータプレート５３の区画溝１０５よりも下方に位置している。したがって、第１カバープレート５４は、尾部９５の表面において、第１共通端子９２及び第２共通端子９４の少なくとも一部を露出させた状態でアクチュエータプレート５３の表面に固定されている。
図３、図５、図６に示すように、第１カバープレート５４は、アクチュエータプレート５３の表面に接着等により固定されている。具体的に、第１カバープレート５４は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。Ｚ方向において、第１カバープレート５４の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。Ｚ方向において、第１カバープレート５４の上端面は、アクチュエータプレート５３の区画溝１０５よりも下方に位置している。したがって、第１カバープレート５４は、尾部９５の表面において、第１共通端子９２及び第２共通端子９４の少なくとも一部を露出させた状態でアクチュエータプレート５３の表面に固定されている。
【0061】
第１カバープレート５４において、循環チャネル５８の上端部とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口共通インク室１１０が形成されている。入口共通インク室１１０は、例えば各循環チャネル５８を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、第１カバープレート５４の表面上で開口している。
入口共通インク室１１０において、第１吐出チャネル６２とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口スリット（第１液体流路）１１１が形成されている。入口スリット１１１は、各第１吐出チャネル６２の上端部と、入口共通インク室１１０内と、の間を各別に連通している。入口スリット１１１は、第１ガイド面６２ｃとＹ方向に向かい合っている。したがって、入口スリット１１１は、それぞれ各第１吐出チャネル６２に連通する一方、第２吐出チャネル６３及び各非吐出チャネル６４～６６には連通していない。
入口共通インク室１１０において、第１吐出チャネル６２とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口スリット（第１液体流路）１１１が形成されている。入口スリット１１１は、各第１吐出チャネル６２の上端部と、入口共通インク室１１０内と、の間を各別に連通している。入口スリット１１１は、第１ガイド面６２ｃとＹ方向に向かい合っている。したがって、入口スリット１１１は、それぞれ各第１吐出チャネル６２に連通する一方、第２吐出チャネル６３及び各非吐出チャネル６４～６６には連通していない。
【0062】
＜第２カバープレート５５＞
第２カバープレート５５は、アクチュエータプレート５３の裏面に接着等により固定されている。具体的に、第２カバープレート５５は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。Ｚ方向において、第２カバープレート５５の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。Ｚ方向において、第２カバープレート５５の上端面は、アクチュエータプレート５３の上端面と面一に配置されている。
第２カバープレート５５は、アクチュエータプレート５３の裏面に接着等により固定されている。具体的に、第２カバープレート５５は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。Ｚ方向において、第２カバープレート５５の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。Ｚ方向において、第２カバープレート５５の上端面は、アクチュエータプレート５３の上端面と面一に配置されている。
【0063】
第２カバープレート５５において、循環チャネル５８の上端部とＹ方向から見て重なり合う位置には、出口共通インク室１１５が形成されている。出口共通インク室１１５は、例えば各循環チャネル５８を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、第２カバープレート５５の裏面上で開口している。
出口共通インク室１１５において、第２吐出チャネル６３とＹ方向から見て重なり合う位置には、出口スリット（第２液体流路）１１６が形成されている。出口スリット１１６は、各第２吐出チャネル６３の上端部と、出口共通インク室１１５内と、の間を各別に連通している。出口スリット１１６は、第２ガイド面６３ｄとＹ方向に向かい合っている。したがって、出口スリット１１６は、それぞれ各第２吐出チャネル６３に連通する一方、第１吐出チャネル６２及び各非吐出チャネル６４～６６には連通していない。
出口共通インク室１１５において、第２吐出チャネル６３とＹ方向から見て重なり合う位置には、出口スリット（第２液体流路）１１６が形成されている。出口スリット１１６は、各第２吐出チャネル６３の上端部と、出口共通インク室１１５内と、の間を各別に連通している。出口スリット１１６は、第２ガイド面６３ｄとＹ方向に向かい合っている。したがって、出口スリット１１６は、それぞれ各第２吐出チャネル６３に連通する一方、第１吐出チャネル６２及び各非吐出チャネル６４～６６には連通していない。
【0064】
＜帰還プレート５２＞
図４～図６に示すように、帰還プレート５２は、アクチュエータプレート５３、第１カバープレート５４及び第２カバープレート５５の下端面に、接着等によりまとめて固定されている。具体的に、帰還プレート５２は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。
図４～図６に示すように、帰還プレート５２は、アクチュエータプレート５３、第１カバープレート５４及び第２カバープレート５５の下端面に、接着等によりまとめて固定されている。具体的に、帰還プレート５２は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。
【0065】
帰還プレート５２には、複数の接続路１２０が形成されている。各接続路１２０は、一の循環チャネル５８を構成する第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３同士を連通させている。接続路１２０は、Ｙ方向に直交する断面視において、Ｕ字状に形成されている。具体的に、接続路１２０は、流出流路１２１、流入流路１２２及び通過流路１２３を備えている。
【0066】
流出流路１２１は、帰還プレート５２のうち、第１吐出チャネル６２の下端開口部と平面視で重なり合う位置に形成されている。流出流路１２１は、帰還プレート５２の上面で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。
流入流路１２２は、帰還プレート５２のうち、第２吐出チャネル６３の下端開口部と平面視で重なり合う位置に形成されている。流入流路１２２は、帰還プレート５２の上面で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。
流入流路１２２は、帰還プレート５２のうち、第２吐出チャネル６３の下端開口部と平面視で重なり合う位置に形成されている。流入流路１２２は、帰還プレート５２の上面で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。
【0067】
通過流路１２３は、流出流路１２１及び流入流路１２２の下端開口部同士を接続している。具体的に、通過流路１２３は、帰還プレート５２の下面で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。通過流路１２３は、＋Ｘ側端部において流出流路１２１に連通し、－Ｘ側端部において流入流路１２２に連通している。
【0068】
帰還プレート５２のうち、一の接続路１２０に対して＋Ｘ側に位置する部分は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）に対応する第１非吐出チャネル６４（＋Ｘ側に隣り合う駆動セル６７に対応する第３非吐出チャネル６６）の下端開口部を閉塞する第１閉塞部１３１を構成している。
帰還プレート５２のうち、一の接続路１２０の流出流路１２１及び流入流路１２２間に位置する部分は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）に対応する第２非吐出チャネル６５の下端開口部を閉塞する第２閉塞部１３２を構成している。
帰還プレート５２のうち、一の接続路１２０に対して－Ｘ側に位置する部分は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）に対応する第３非吐出チャネル６６（－Ｘ側に隣り合う他の駆動セル６７に対応する第１非吐出チャネル６４）の下端開口部を閉塞する第３閉塞部１３３を構成している。
したがって、帰還プレート５２は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）を構成する吐出チャネル６２，６３同士を連通させつつ、非吐出チャネル６４～６６を閉塞している。
帰還プレート５２のうち、一の接続路１２０の流出流路１２１及び流入流路１２２間に位置する部分は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）に対応する第２非吐出チャネル６５の下端開口部を閉塞する第２閉塞部１３２を構成している。
帰還プレート５２のうち、一の接続路１２０に対して－Ｘ側に位置する部分は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）に対応する第３非吐出チャネル６６（－Ｘ側に隣り合う他の駆動セル６７に対応する第１非吐出チャネル６４）の下端開口部を閉塞する第３閉塞部１３３を構成している。
したがって、帰還プレート５２は、一の駆動セル６７（循環チャネル５８）を構成する吐出チャネル６２，６３同士を連通させつつ、非吐出チャネル６４～６６を閉塞している。
【0069】
なお、本実施形態では、帰還プレート５２を単層の部材として示すが、この構成に限られない。帰還プレート５２は、例えば流出流路１２１及び流入流路１２２が形成された第１プレートと、通過流路１２３が形成された第２プレートと、の積層構造等であってもよい。
【0070】
図４に示すように、ノズルプレート５１は、帰還プレート５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。
【0071】
ノズルプレート５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔１４１が形成されている。各ノズル孔１４１は、ノズルプレート５１のうち、各通過流路１２３に平面視で重なる位置にそれぞれ形成されている。したがって、接続路１２０は、ノズル孔１４１を通じてヘッドチップ５０の外部に連通している。各ノズル孔１４１は、例えば上方から下方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。図示の例において、ノズル孔１４１の上端開口部は、通過流路１２３におけるＸ方向の中央部（第２閉塞部１３２と平面視で重なる位置）で開口している。但し、ノズル孔１４１は、通過流路１２３内に連通する構成であれば、例えばＸ方向の任意の位置に配置されていてもよい。
【0072】
［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【0073】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
【0074】
ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のような縦循環式エッジシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１１０及び入口スリット１１１を通して各循環チャネル５８の第１吐出チャネル６２内に供給される。第１吐出チャネル６２内に供給されたインクは、第１ガイド面６２ｃに案内されながら第１吐出チャネル６２内を下方に流通する。その後、インクは、第１吐出チャネル６２の下端開口部を通じて接続路１２０内（流出流路１２１）に流出する。接続路１２０を流れるインクは、流出流路１２１、通過流路１２３及び流入流路１２２を経て、第２吐出チャネル６３の下端開口部を通じて第２吐出チャネル６３内に流入する。第２吐出チャネル６３内に流入したインクは、第２吐出チャネル６３内を上方に流通し、第２ガイド面６３ｄに案内されながら、出口スリット１１６に向けて流れる。そして、インクは、出口スリット１１６を通じて出口共通インク室１１５に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。
本実施形態のような縦循環式エッジシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１１０及び入口スリット１１１を通して各循環チャネル５８の第１吐出チャネル６２内に供給される。第１吐出チャネル６２内に供給されたインクは、第１ガイド面６２ｃに案内されながら第１吐出チャネル６２内を下方に流通する。その後、インクは、第１吐出チャネル６２の下端開口部を通じて接続路１２０内（流出流路１２１）に流出する。接続路１２０を流れるインクは、流出流路１２１、通過流路１２３及び流入流路１２２を経て、第２吐出チャネル６３の下端開口部を通じて第２吐出チャネル６３内に流入する。第２吐出チャネル６３内に流入したインクは、第２吐出チャネル６３内を上方に流通し、第２ガイド面６３ｄに案内されながら、出口スリット１１６に向けて流れる。そして、インクは、出口スリット１１６を通じて出口共通インク室１１５に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。
【0075】
キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板１０８を介して第１共通電極９１及び第１個別電極９７間、並びに第２共通電極９３及び第２個別電極１００間に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９７，１００を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極９１，９３を基準電位ＧＮＤとして各電極間に駆動電圧を印加する。すると、第１吐出チャネル６２を画成する上流駆動壁７１，７２、及び第２吐出チャネル６３を画成する下流駆動壁７３，７４にそれぞれ厚み滑り変形が生じる。これにより、各駆動壁７１～７４がＹ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。すなわち、上流駆動壁７１，７２は第１吐出チャネル６２の容積が拡大するように変形し、下流駆動壁７３，７４は第２吐出チャネル６３の容積が拡大するように変形する。
【0076】
各吐出チャネル６２，６３の容積を増大させた後、第１共通電極９１及び第１個別電極９７間、並びに第２共通電極９３及び第２個別電極１００間に印加した電圧をゼロにする。すると、駆動壁７１～７４が復元し、一旦増大した吐出チャネル６２，６３の容積が元の容積に戻る。これにより、吐出チャネル６２，６３の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。そして、吐出チャネル６２，６３内の圧力増加によって発生した圧力波が、接続路１２０に伝播する。その結果、通過流路１２３内のインクがノズル孔１４１を通じて液滴状に吐出される。ノズル孔１４１から吐出されたインクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【0077】
＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１０～図１５は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する斜視図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
ヘッドチップ５０の製造方法は、裏面加工工程と、第２カバープレート積層工程と、グラインド工程と、パターン形成工程と、表面加工工程と、成膜工程と、第１カバープレート積層工程と、を備えている。なお、各プレート５３～５５には、重ね合わせ工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１０～図１５は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する斜視図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
ヘッドチップ５０の製造方法は、裏面加工工程と、第２カバープレート積層工程と、グラインド工程と、パターン形成工程と、表面加工工程と、成膜工程と、第１カバープレート積層工程と、を備えている。なお、各プレート５３～５５には、重ね合わせ工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。
【0078】
図１０に示すように、裏面加工工程では、アクチュエータプレート５３に対して裏面側凹部１５０を形成する。裏面側凹部１５０は、図６に示す第２吐出チャネル６３のうち、裏面側切り上がり部６３ｂと、延在部６３ａの一部（裏面側）と、を構成する。裏面加工工程では、アクチュエータプレート５３のうち、第２吐出チャネル６３の加工領域に対して、アクチュエータプレート５３の裏面側から円板状のダイサー２００を進入させる。この際、ダイサーの進入量は、アクチュエータプレート５３の厚さよりも浅く設定する。裏面加工工程によって、アクチュエータプレート５３には、表面側に向けて凸の円弧状の裏面側凹部１５０が形成される。
【0079】
図１１に示すように、第２カバープレート積層工程では、アクチュエータプレート５３の裏面に第２カバープレート５５を積層する。具体的には、対応する出口スリット１１６が一の裏面側凹部１５０にそれぞれ連通するように、アクチュエータプレート５３と第２カバープレート５５とを貼り合わせる。
【0080】
図１２に示すように、グラインド工程では、アクチュエータプレート５３の表面に対してグラインド加工を施す。この際、グラインド加工の加工量は、アクチュエータプレート５３の表面から裏面側凹部１５０が開口しない程度に設定することが好ましい。
【0081】
図１３に示すように、マスク形成工程では、アクチュエータプレート５３の表面上にマスクパターン２２０を形成する。具体的には、アクチュエータプレート５３の表面上にマスク材料（例えば、レジスト膜）を形成した後、フォトリソグラフィ技術を用いてマスク材料をパターニングする。この際、マスク材料のうち、少なくとも共通端子９２，９４及び個別端子９８，１０１の加工領域が開口したマスクパターン２２０を形成する。図示の例において、マスクパターン２２０に形成された第１共通端子９２用のマスク開口２２１、及び第２共通端子９４用のマスク開口２２２は、それぞれ尾部９５の表面上をＺ方向に延びている。マスク開口２２１の下端部は、第１吐出チャネル６２の加工領域の一部にＹ方向から見て重なり合っている。マスク開口２２２の下端部は、第２吐出チャネル６３の加工領域の一部にＹ方向から見て重なり合っている。但し、マスク開口２２１，２２２は、少なくとも下端部が対応する吐出チャネル６２，６３の加工領域に達していればよい。
一方、マスク開口２２１，２２２の上端部は、区画溝１０５の加工領域（図１３中鎖線１０５参照）にＹ方向から見て重なり合っている。
一方、マスク開口２２１，２２２の上端部は、区画溝１０５の加工領域（図１３中鎖線１０５参照）にＹ方向から見て重なり合っている。
【0082】
マスクパターン２２０に形成された個別端子９８，１０１用のマスク開口２２３は、尾部９５の表面上をＸ方向に延びている。マスク開口２２３の一部は、区画溝１０５の加工領域に平面視で重なり合っている。但し、マスク開口２２３は、区画溝１０５の加工領域に達していなくてもよい。
【0083】
図１４に示す表面加工工程では、アクチュエータプレート５３に対して第１吐出チャネル６２、表面側凹部１５１及び非吐出チャネル６４～６６を形成する。表面側凹部１５１は、第２吐出チャネル６３のうち、表面側切り上がり部６３ｃと、延在部６３ａの一部（表面側）と、を構成する。表面加工工程において、第１吐出チャネル６２を加工するには、アクチュエータプレート５３のうち、第１吐出チャネル６２の加工領域に対して、アクチュエータプレート５３の表面側から円板状のダイサー２００を進入させる。この際、ダイサー２００の進入量は、アクチュエータプレート５３の厚さよりも僅かに深く設定する。これにより、第１吐出チャネル６２がアクチュエータプレート５３をＹ方向に貫通する。
【0084】
表面加工工程において、表面側凹部１５１を加工するには、アクチュエータプレート５３のうち、第２吐出チャネル６３の加工領域に対して、アクチュエータプレート５３の表面側から円板状のダイサー２００を進入させる。この際、ダイサー２００の進入量は、裏面側凹部１５０とアクチュエータプレート５３の表面との間の最小距離よりも深く、上述した裏面加工工程でのダイサー２００の進入量よりも浅く設定する。アクチュエータプレート５３に対してダイサー２００を進入させると、マスクパターン２２０のうち第２吐出チャネル６３の加工領域を覆う部分とともにアクチュエータプレート５３が切削される。これにより、アクチュエータプレート５３には、裏面側に向けて凸の円弧状の表面側凹部１５１が形成される。また、表面側凹部１５１及び裏面側凹部１５０は、互いに連通して第２吐出チャネル６３を形成する。この際、表面側凹部１５１は、表面側切り上がり部６３ｃに形成された成膜面６３ｆが、第２吐出チャネル６３の表面側開口部を通じて表面側に露呈する。
【0085】
表面加工工程において、非吐出チャネル６４～６６を形成するには、アクチュエータプレート５３のうち非吐出チャネル６４～６６の加工領域に対して、アクチュエータプレート５３の表面側からダイサー２００を進入させることで行う。この際、ダイサー２００の進入量は、アクチュエータプレート５３の厚さよりも僅かに深く設定する。これにより、非吐出チャネル６４～６６がアクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通する。
【0086】
成膜工程では、アクチュエータプレート５３の表面側から電極材料を成膜することで、配線８１～８４を形成する。本実施形態において、成膜工程は、例えば斜め蒸着等によってアクチュエータプレート５３の表面に対してＸ方向に傾斜した方向から電極材料を成膜する。すると、マスクパターン２２０のマスク開口２２１～２２３を通じてアクチュエータプレート５３の表面上に電極材料が成膜されるとともに、チャネル６２～６６の表面側開口部を通じてチャネル６２～６６の内面に電極材料が成膜される。電極材料の成膜後、リフトオフ等によってマスクパターン２２０を除去し、成膜工程が終了する。
【0087】
図１５に示すように、第１カバープレート積層工程では、アクチュエータプレート５３の表面に第１カバープレート５４を積層する。具体的には、対応する入口スリット１１１が一の表面側凹部１５１にそれぞれ連通するように、アクチュエータプレート５３と第１カバープレート５４とを貼り合わせる。これにより、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４，５５との接合体２３０が形成される。
【0088】
その後、接合体２３０の下端面に帰還プレート５２を貼り合わせる。この際、一の循環チャネル５８を構成する第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３に接続路１２０が連通するように、帰還プレート５２を接合体２３０に貼り合わせる。
続いて、帰還プレート５２の下端面にノズルプレート５１を貼り合わせる。この際、ノズル孔１４１が対応する接続路１２０に連通するように、ノズルプレート５１を帰還プレート５２に貼り合わせる。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
続いて、帰還プレート５２の下端面にノズルプレート５１を貼り合わせる。この際、ノズル孔１４１が対応する接続路１２０に連通するように、ノズルプレート５１を帰還プレート５２に貼り合わせる。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
【0089】
なお、ヘッドチップ５０は、ウエハレベルで製造してもよい。ウエハレベルで製造する場合には、まず複数のアクチュエータプレート５３が連なるアクチュエータウエハと、複数の第１カバープレート５４が連なる第１カバーウエハと、複数の第２カバープレート５５が連なるカバーウエハと、を接合してウエハ接合体を形成する。続いて、ウエハ接合体を切断した後、上述した帰還プレート５２やノズルプレート５１をウエハ接合体に取り付けることにより複数のヘッドチップ５０が形成される。
【0090】
このように、本実施形態のヘッドチップ５０において、接続路１２０を挟んでインクの流通方向の両側に位置する吐出チャネル６２，６３のうち、第１吐出チャネル６２は一対の上流駆動壁７１，７２により囲まれ、第２吐出チャネル６３は一対の下流駆動壁７３，７４により囲まれている構成とした。
この構成によれば、吐出時において、上流駆動壁７１，７２及び下流駆動壁７３，７４をそれぞれ変形させることで、インク経路（第１吐出チャネル６２から接続路１２０を経て第２吐出チャネル６３に至る経路）内の容積変化を大きくすることができる。その結果、インク経路内のインクに対し強い圧力波を発生させることができる。そのため、インクの吐出圧力を確保できる。
この構成によれば、吐出時において、上流駆動壁７１，７２及び下流駆動壁７３，７４をそれぞれ変形させることで、インク経路（第１吐出チャネル６２から接続路１２０を経て第２吐出チャネル６３に至る経路）内の容積変化を大きくすることができる。その結果、インク経路内のインクに対し強い圧力波を発生させることができる。そのため、インクの吐出圧力を確保できる。
【0091】
本実施形態では、一対の上流駆動壁７１，７２のうち、第１上流駆動壁７１は第１吐出チャネル６２と第１非吐出チャネル６４との間に位置する部分であり、第２上流駆動壁７２は第１吐出チャネル６２と第２非吐出チャネル６５との間に位置する部分である構成とした。また、一対の下流駆動壁７３，７４のうち、第１下流駆動壁７３は第２吐出チャネル６３と第２非吐出チャネル６５との間に位置する部分であり、第２下流駆動壁７４は第２吐出チャネル６３と第３非吐出チャネル６６との間に位置する部分である構成とした。
この構成によれば、各吐出チャネル６２，６３の間に非吐出チャネル６４～６６を形成することで、各吐出チャネル６２，６３と非吐出チャネル６４～６６とで囲まれた部分に駆動壁７１～７４が形成される。これにより、各吐出チャネル６２，６３の両側に駆動壁７１～７４を簡単に形成することができる。
この構成によれば、各吐出チャネル６２，６３の間に非吐出チャネル６４～６６を形成することで、各吐出チャネル６２，６３と非吐出チャネル６４～６６とで囲まれた部分に駆動壁７１～７４が形成される。これにより、各吐出チャネル６２，６３の両側に駆動壁７１～７４を簡単に形成することができる。
【0092】
本実施形態において、帰還プレート５２は、非吐出チャネル６４～６６の下端開口部を閉塞する閉塞部１３１～１３３を備える構成とした。
この構成によれば、非吐出チャネル６４～６６の下端開口部を帰還プレート５２で閉塞することで、駆動壁７１～７４をアクチュエータプレート５３の下端面まで延ばすことができる。これにより、インクの吐出圧力をノズル孔まで効果的に伝播させ易い。
この構成によれば、非吐出チャネル６４～６６の下端開口部を帰還プレート５２で閉塞することで、駆動壁７１～７４をアクチュエータプレート５３の下端面まで延ばすことができる。これにより、インクの吐出圧力をノズル孔まで効果的に伝播させ易い。
【0093】
本実施形態において、アクチュエータプレート５３の表面側に第１吐出チャネル６２内に連通する入口スリット１１１が形成された第１カバープレート５４が設けられ、アクチュエータプレート５３の裏面側に第２吐出チャネル６３内に連通する出口スリット１１６が形成された第２カバープレート５５が設けられている構成とした。
この構成によれば、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３がアクチュエータプレート５３の異なる面で少なくとも開口することで、アクチュエータプレート５３に対して厚さ方向の両側に入口側及び出口側のカバープレート５４，５５をそれぞれ設けることが可能になる。これにより、一枚のカバープレートに入口スリット及び出口スリットを形成する場合に比べ、構成の簡素化を図ることができる。
この構成によれば、第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３がアクチュエータプレート５３の異なる面で少なくとも開口することで、アクチュエータプレート５３に対して厚さ方向の両側に入口側及び出口側のカバープレート５４，５５をそれぞれ設けることが可能になる。これにより、一枚のカバープレートに入口スリット及び出口スリットを形成する場合に比べ、構成の簡素化を図ることができる。
【0094】
本実施形態において、アクチュエータプレート５３には、第１吐出チャネル６２の内面及び尾部９５の表面に亘って形成された第１共通配線８１と、第２吐出チャネル６３の内面及び尾部９５の表面に亘って形成された第２共通配線８２と、が形成されている構成とした。
この構成によれば、各吐出チャネル６２，６３に対応する共通配線８１，８２を、アクチュエータプレート５３の表面側でフレキシブルプリント基板１０８に接続することができる。これにより、構成の簡素化を図ることができる。
この構成によれば、各吐出チャネル６２，６３に対応する共通配線８１，８２を、アクチュエータプレート５３の表面側でフレキシブルプリント基板１０８に接続することができる。これにより、構成の簡素化を図ることができる。
【0095】
本実施形態において、第１吐出チャネル６２は裏面側に向かうに従い下方に延びる第１ガイド面６２ｃを備え、第２吐出チャネル６３は表面側に向かうに従い下方に延びる第２ガイド面６３ｄを備える構成とした。
この構成によれば、入口スリット１１１から第１吐出チャネル６２内に流入したインクは、第１ガイド面６２ｃに沿って接続路１２０に向けてスムーズに流れる。一方、接続路１２０から第２吐出チャネル６３内に流入したインクは、第２ガイド面６３ｄに沿って出口スリット１１６に向けてスムーズに流れる。これにより、吐出チャネル６２，６３内での圧力損失を軽減し、インク経路内においてインクを効率的に循環させることができる。
この構成によれば、入口スリット１１１から第１吐出チャネル６２内に流入したインクは、第１ガイド面６２ｃに沿って接続路１２０に向けてスムーズに流れる。一方、接続路１２０から第２吐出チャネル６３内に流入したインクは、第２ガイド面６３ｄに沿って出口スリット１１６に向けてスムーズに流れる。これにより、吐出チャネル６２，６３内での圧力損失を軽減し、インク経路内においてインクを効率的に循環させることができる。
【0096】
本実施形態のヘッドチップ５０は、第２吐出チャネル６３の内面のうち、下方に露呈する面に、第２吐出チャネル６３の表面側開口縁の一部を構成するとともに、裏面側に向かうに従い下方に向けて延びる成膜面６３ｆを備えている。本実施形態のヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５３の表面と成膜面６３ｆとのなす第１角度θ１は、アクチュエータプレート５３の表面と第２ガイド面６３ｄとのなす第２角度θ２よりも小さく設定されている構成とした。
この構成によれば、成膜面６３ｆが第２吐出チャネル６３の表面側開口部を通じて外部に露呈する。そのため、第２吐出チャネル６３の表面側開口部を通じて第２吐出チャネル６３内に第２共通電極９３の電極材料を導入する際に、第２共通電極９３の電極材料を成膜面６３ｆに効果的に成膜することができる。そして、接続部９３ｂにおいて第２共通電極９３と第２共通端子９４とを接続することで、第２吐出チャネル６３の表面側開口縁を通じて第２共通電極９３と第２共通端子９４との電気的な接続を確保できる。
この構成によれば、成膜面６３ｆが第２吐出チャネル６３の表面側開口部を通じて外部に露呈する。そのため、第２吐出チャネル６３の表面側開口部を通じて第２吐出チャネル６３内に第２共通電極９３の電極材料を導入する際に、第２共通電極９３の電極材料を成膜面６３ｆに効果的に成膜することができる。そして、接続部９３ｂにおいて第２共通電極９３と第２共通端子９４とを接続することで、第２吐出チャネル６３の表面側開口縁を通じて第２共通電極９３と第２共通端子９４との電気的な接続を確保できる。
【0097】
（変形例）
次に、上述した実施形態の変形例について説明する。上述した実施形態では、第２吐出チャネル６３が成膜面６３ｆを備える構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１６に示すヘッドチップ５０のように、第２吐出チャネル６３は、第１吐出チャネル６２の第１ガイド面６２ｃとは反対側に向けて延びる第２ガイド面６３ｄのみを有する構成であってもよい。すなわち、本変形例のアクチュエータプレート５３において、第１ガイド面６２ｃは上方に向かうに従い表面側に向けて延びる一方、第２ガイド面６３ｄは上方に向かうに従い裏面側に向けて延びている。この場合、第２共通端子９４は、第２ガイド面６３ｄを経て尾部９５の裏面上に引き回される。第２共通端子９４は、尾部９５の裏面側に別途フレキシブルプリント基板を圧着してもよく、尾部９５の上端面や尾部９５のスルーホール等を通じて尾部９５の表面側に引き回されていてもよい。
次に、上述した実施形態の変形例について説明する。上述した実施形態では、第２吐出チャネル６３が成膜面６３ｆを備える構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１６に示すヘッドチップ５０のように、第２吐出チャネル６３は、第１吐出チャネル６２の第１ガイド面６２ｃとは反対側に向けて延びる第２ガイド面６３ｄのみを有する構成であってもよい。すなわち、本変形例のアクチュエータプレート５３において、第１ガイド面６２ｃは上方に向かうに従い表面側に向けて延びる一方、第２ガイド面６３ｄは上方に向かうに従い裏面側に向けて延びている。この場合、第２共通端子９４は、第２ガイド面６３ｄを経て尾部９５の裏面上に引き回される。第２共通端子９４は、尾部９５の裏面側に別途フレキシブルプリント基板を圧着してもよく、尾部９５の上端面や尾部９５のスルーホール等を通じて尾部９５の表面側に引き回されていてもよい。
【0098】
本変形例においても、第１ガイド面６２ｃが入口スリット１１１とＹ方向で向かい合い、第２ガイド面６３ｄが出口スリット１１６とＹ方向で向かい合う。
そのため、入口スリット１１１から第１吐出チャネル６２内に流入したインクは、第１ガイド面６２ｃに沿って接続路１２０に向けてスムーズに流れる。一方、接続路１２０から第２吐出チャネル６３内に流入したインクは、第２ガイド面６３ｄに沿って出口スリット１１６に向けてスムーズに流れる。これにより、吐出チャネル６２，６３内での圧力損失を軽減し、インク経路内においてインクを効率的に循環させることができる。
そのため、入口スリット１１１から第１吐出チャネル６２内に流入したインクは、第１ガイド面６２ｃに沿って接続路１２０に向けてスムーズに流れる。一方、接続路１２０から第２吐出チャネル６３内に流入したインクは、第２ガイド面６３ｄに沿って出口スリット１１６に向けてスムーズに流れる。これにより、吐出チャネル６２，６３内での圧力損失を軽減し、インク経路内においてインクを効率的に循環させることができる。
【0099】
また、上述した実施形態では、各吐出チャネル６２，６３がそれぞれ一対の駆動壁７１～７４に囲まれた構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１７に示すヘッドチップ５０のように、第１吐出チャネル６２に対して＋Ｘ側に上流駆動壁７１が設けられ、第２吐出チャネル６３に対して－Ｘ側に下流駆動壁７４が設けられた、いわゆる片側駆動式であってもよい。この場合、アクチュエータプレート５３のうち、各吐出チャネル６２，６３の間に位置する部分は、吐出チャネル６２，６３を仕切る仕切壁２５０として機能する。すなわち、本実施形態では、上流駆動壁７１及び下流駆動壁７４が、２つの駆動壁７１，７４の駆動によって、１つのノズル孔１４１から一の循環チャネル５８内を流通するインクを吐出する駆動セル６７を構成している。
【0100】
（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
【0101】
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＸ方向に一致し、第２方向がＺ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＺ方向とは別に定めてもよい。
上述した実施形態では、第２角度θ２が鈍角をなしている構成としたが、この構成に限られない。例えば、第２角度θ２は、第１角度θ１よりも大きい構成であれば、鋭角であってもよく、直角であってもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＸ方向に一致し、第２方向がＺ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＺ方向とは別に定めてもよい。
上述した実施形態では、第２角度θ２が鈍角をなしている構成としたが、この構成に限られない。例えば、第２角度θ２は、第１角度θ１よりも大きい構成であれば、鋭角であってもよく、直角であってもよい。
【0102】
上述した実施形態では、共通端子９２，９４が吐出チャネル６２，６３のうち、Ｘ方向での幅内に設けられている構成について説明したが、この構成に限られない。共通端子９２，９４は、吐出チャネル６２，６３に対してＸ方向の両側にはみ出していてもよい。
上述した実施形態では、ダイサー２００を用いて各チャネル６２～６６を切削する構成について説明したが、この構成に限られない。各チャネル６２～６６は、サンドブラストやレーザ加工、エッチング等によって形成してもよい。
上述した実施形態では、ダイサー２００を用いて各チャネル６２～６６を切削する構成について説明したが、この構成に限られない。各チャネル６２～６６は、サンドブラストやレーザ加工、エッチング等によって形成してもよい。
【0103】
上述した実施形態では、吐出チャネル６２，６３と非吐出チャネル６４～６６との間に位置する部分を駆動壁７１～７４として用いた構成について説明したが、この構成に限られない。駆動壁７１～７４は、吐出チャネル６２，６３をそれぞれ画成し、吐出チャネル６２，６３を拡大又は縮小させる方向に変形可能であればよい。
上述した実施形態では、第１吐出チャネル６２を上流側流路とし、第２吐出チャネル６３を下流側流路とする循環式のヘッドチップ５０を例にして説明したが、この構成に限られない。第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３内のインクがそれぞれ接続路１２０に向けて流れる構成にしてもよい。
上述した実施形態では、第１吐出チャネル６２を上流側流路とし、第２吐出チャネル６３を下流側流路とする循環式のヘッドチップ５０を例にして説明したが、この構成に限られない。第１吐出チャネル６２及び第２吐出チャネル６３内のインクがそれぞれ接続路１２０に向けて流れる構成にしてもよい。
【0104】
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５３の両面にそれぞれカバープレート５４，５５が設けられる構成について説明したが、この構成に限られない。入口スリット及び出口スリットが形成されたカバープレートが、アクチュエータプレート５３の何れかの主面のみに設けられていてもよい。
上述した実施形態では、各配線８１～８４がアクチュエータプレート５３の表面上に引き回される構成について説明したが、この構成に限られない。各配線８１～８４は、アクチュエータプレート５３の両面で別々に外部配線に接続される構成であってもよい。
上述した実施形態では、本開示に係るエンド部材として、ノズルプレート５１と帰還プレート５２とを別々に有する構成について説明したが、この構成に限られない。エンド部材は、少なくとも接続路及びノズル孔を有する構成であれば、一体で形成されていてもよい。
上述した実施形態では、各配線８１～８４がアクチュエータプレート５３の表面上に引き回される構成について説明したが、この構成に限られない。各配線８１～８４は、アクチュエータプレート５３の両面で別々に外部配線に接続される構成であってもよい。
上述した実施形態では、本開示に係るエンド部材として、ノズルプレート５１と帰還プレート５２とを別々に有する構成について説明したが、この構成に限られない。エンド部材は、少なくとも接続路及びノズル孔を有する構成であれば、一体で形成されていてもよい。
【0105】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0106】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（エンド部材）
５２…帰還プレート（エンド部材）
５３…アクチュエータプレート
５４…第１カバープレート
５５…第２カバープレート
６２…第１吐出チャネル（第１噴射チャネル）
６２ｃ…第１ガイド面
６３…第２吐出チャネル（第２噴射チャネル）
６３ｄ…第２ガイド面
６３ｆ…成膜面（傾斜面）
６４…第１非吐出チャネル（第１非噴射チャネル）
６５…第２非吐出チャネル（第２非噴射チャネル）
６６…第３非吐出チャネル（第３非噴射チャネル）
７１…第１上流駆動壁（第１駆動壁）
７２…第２上流駆動壁（第１駆動壁）
７３…第１下流駆動壁（第２駆動壁）
７４…第２下流駆動壁（第２駆動壁）
８１…第１共通配線（第１配線部）
８２…第２共通配線（第２配線部）
９１ａ…対向電極（第１対向電極）
９１ｂ…接続部（第１接続部）
９２…第１共通端子（第１端子）
９３ａ…対向電極（第２対向電極）
９３ｂ…接続部（第２接続部）
９４…第２共通端子（第２端子）
９５…尾部
１１１…入口スリット（第１液体流路）
１１６…出口スリット（第２液体流路）
１２０…接続路
１３１…第１閉塞部（閉塞部）
１３２…第２閉塞部（閉塞部）
１３３…第３閉塞部（閉塞部）
１４１…ノズル孔（噴射孔）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（エンド部材）
５２…帰還プレート（エンド部材）
５３…アクチュエータプレート
５４…第１カバープレート
５５…第２カバープレート
６２…第１吐出チャネル（第１噴射チャネル）
６２ｃ…第１ガイド面
６３…第２吐出チャネル（第２噴射チャネル）
６３ｄ…第２ガイド面
６３ｆ…成膜面（傾斜面）
６４…第１非吐出チャネル（第１非噴射チャネル）
６５…第２非吐出チャネル（第２非噴射チャネル）
６６…第３非吐出チャネル（第３非噴射チャネル）
７１…第１上流駆動壁（第１駆動壁）
７２…第２上流駆動壁（第１駆動壁）
７３…第１下流駆動壁（第２駆動壁）
７４…第２下流駆動壁（第２駆動壁）
８１…第１共通配線（第１配線部）
８２…第２共通配線（第２配線部）
９１ａ…対向電極（第１対向電極）
９１ｂ…接続部（第１接続部）
９２…第１共通端子（第１端子）
９３ａ…対向電極（第２対向電極）
９３ｂ…接続部（第２接続部）
９４…第２共通端子（第２端子）
９５…尾部
１１１…入口スリット（第１液体流路）
１１６…出口スリット（第２液体流路）
１２０…接続路
１３１…第１閉塞部（閉塞部）
１３２…第２閉塞部（閉塞部）
１３３…第３閉塞部（閉塞部）
１４１…ノズル孔（噴射孔）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】