2023-102104 搬送装置および搬送方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023102104

(43)【公開日】2023-07-24

(54)【発明の名称】搬送装置および搬送方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230714BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230714BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022002467

(22)【出願日】2022-01-11

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】高野 健

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA11

5F131AA12

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5F131KA33

5F131KA72

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5F131KB32

5F131KB33

5F131KB52

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】装置が大型化することを防止できる搬送装置およびシート貼付装置を提供する。
【解決手段】搬送装置ＥＡは、収容手段ＳＣに収容されている搬送対象物ＷＫの位置を検知する第１検知手段１０と、搬送対象物ＷＫを保持する保持手段２０と、第１検知手段１０と保持手段２０とを選択的に保持可能な保持部３１Ａを有し、保持部３１Ａで保持された第１検知手段１０または保持手段２０を移動可能な移動手段３０と、制御手段４０とを備え、制御手段４０は、移動手段３０を介して、第１検知手段保持位置ＨＰ１に保持部３１Ａ移動させて第１検知手段１０を保持た後、第１検知手段を移動させて搬送対象物ＷＫの位置を検知させるとともに、移動手段３０を介して、保持手段保持位置ＨＰ２に保持部３１Ａ移動させて保持手段２０を保持させた後、第１検知手段１０の検知結果に基づいて保持手段２０を移動させて搬送対象物ＷＫを保持して搬送するように各部材を制御する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を搬送する搬送装置であって、
前記搬送対象物を収容可能な収容手段に収容されている前記搬送対象物の位置を検知する第１検知手段と、
前記搬送対象物を保持する保持手段と、
前記第１検知手段と前記保持手段とを選択的に保持可能な保持部を有し、当該保持部で保持された前記第１検知手段または前記保持手段を移動可能な移動手段と、
当該搬送装置を構成する各部材の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記移動手段を介して、前記第１検知手段を保持する第１検知手段保持位置に前記保持部を移動させて当該第１検知手段を保持させた後、当該第１検知手段を移動させて前記搬送対象物の位置を検知させるとともに、前記移動手段を介して、前記保持手段を保持する保持手段保持位置に前記保持部を移動させて当該保持手段を保持させた後、前記第１検知手段の検知結果に基づいて当該保持手段を移動させて前記搬送対象物を保持して搬送するように各部材を制御することを特徴とする搬送装置。

【請求項2】

前記移動手段によって移動されることなく、前記収容手段に収容されている前記搬送対象物の位置を検知する第２検知手段を備え、
前記制御手段は、前記第１検知手段または前記第２検知手段の検知結果に基づいて、前記移動手段を介して、前記保持手段を移動させて前記搬送対象物を保持して搬送することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

搬送対象物に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
請求項１または請求項２に記載の搬送装置と、
前記搬送対象物に接着シート基材を貼付する貼付手段と、
前記接着シート基材を所定の形状に切断して前記接着シートを形成する切断手段とを備え、
前記移動手段は、前記切断手段をも前記保持部で選択的に保持可能に設けられ、
前記制御手段は、前記移動手段を介して、前記切断手段を保持する切断手段保持位置に前記保持部を移動させて当該切断手段を保持させた後、当該切断手段を移動させて前記接着シートを形成することを特徴とするシート貼付装置。

【請求項4】

搬送対象物を搬送する搬送方法であって、
前記搬送対象物を収容可能な収容手段に収容されている前記搬送対象物の位置を第１検知手段で検知する第１検知工程と、
前記搬送対象物を保持手段で保持する保持工程と、
前記第１検知手段と前記保持手段とを選択的に保持可能な保持部を有する移動手段で、当該保持部で保持された前記第１検知手段または前記保持手段を移動させる移動工程と、
当該搬送方法を実施する各部材の動作を制御する制御工程とを実施し、
前記制御工程では、前記移動手段を介して、前記第１検知手段を保持する第１検知手段保持位置に前記保持部を移動させて当該第１検知手段を保持させた後、当該第１検知手段を移動させて前記第１検知工程を実施するとともに、前記移動手段を介して、前記保持手段を保持する保持手段保持位置に前記保持部を移動させて当該保持手段を保持させた後、前記第１検知工程の検知結果に基づいて当該保持手段を移動させて前記保持工程を実施し、前記搬送対象物を保持して搬送するように各部材を制御することを特徴とする搬送方法。

【請求項5】

搬送対象物に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
請求項４に記載の搬送方法と、
前記搬送対象物に接着シート基材を貼付する貼付工程と、
前記接着シート基材を切断手段で所定の形状に切断して前記接着シートを形成する切断工程とを実施し、
前記移動手段は、前記切断手段をも前記保持部で選択的に保持可能に設けられ、
前記制御工程では、前記移動手段を介して、前記切断手段を保持する切断手段保持位置に前記保持部を移動させて当該切断手段を保持させた後、前記切断工程を実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置および搬送方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

収容手段に収容されている搬送対象物の位置を検知手段で検知し、検知結果に基づいて、搬送対象物を保持する保持手段を移動させて当該搬送対象物を保持して搬送する搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平７－１５３８１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたプロセス装置（搬送装置）では、ウエハ２（搬送対象物）を認識するウエハ認識装置６０（第１検知手段）と、搬送対象物を保持するハンド５（保持手段）とが一体に形成されてウエハ搬送ロボット４（移動手段）に保持されるため、装置が大型化するという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、装置が大型化することを防止することができる搬送装置および搬送方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、移動手段が第１検知手段と保持手段とを選択的に保持可能な保持部を有しているため、装置が大型化することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施形態に係る搬送装置およびシート貼付装置の説明図。（Ｃ）は、本発明の変形例に係る搬送装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

搬送装置ＥＡは、搬送対象物ＷＫを搬送する装置であって、搬送対象物ＷＫを収容可能な収容手段ＳＣに収容されている搬送対象物ＷＫの位置を検知する第１検知工程を実施する第１検知手段１０と、搬送対象物ＷＫを保持する保持工程を実施する保持手段２０と、第１検知手段１０と保持手段２０とを選択的に保持可能な保持部としての先端アーム３１Ａを有し、当該先端アーム３１Ａで保持された第１検知手段１０または保持手段２０を移動可能な移動工程を実施する移動手段３０と、搬送装置ＥＡおよびシート貼付装置ＥＡ１を構成する各部材の動作を制御する制御工程を実施する制御手段４０とを備えている。
シート貼付装置ＥＡ１は、搬送対象物ＷＫに接着シートＡＳを貼付する装置であって、搬送装置ＥＡと、搬送対象物ＷＫに接着シート基材ＡＢを貼付する貼付工程を実施する貼付手段５０と、接着シート基材ＡＢを所定の形状に切断して接着シートＡＳを形成する切断工程を実施する切断手段６０とを備え、収容手段ＳＣを支持する支持手段としての支持台７０と、搬送対象物ＷＫを支持する搬送対象物支持手段８０の近傍に配置されている。

【0011】

第１検知手段１０は、移動手段３０による保持が可能なブラケット１１と、ブラケット１１に支持され、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器１２を備えている。本実施形態の検知機器１２は、発光素子１２Ａおよび受光素子１２Ｂを有する光センサで構成されている。

【0012】

保持手段２０は、移動手段３０による保持が可能とされ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持機構）によって吸着保持が可能な保持面２１Ａを有する保持部材２１を備えている。

【0013】

移動手段３０は、先端アーム３１Ａを含む複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な移動機器であって駆動機器としての所謂多関節ロボット３１を備えている。本実施形態の移動手段３０は、切断手段６０をも先端アーム３１Ａで選択的に保持可能に設けられている。

【0014】

制御手段４０は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御機器４１を備え、移動手段３０を介して、第１検知手段１０を保持する第１検知手段保持位置ＨＰ１に先端アーム３１Ａを移動させて当該第１検知手段１０を保持させた後、当該第１検知手段１０を移動させて搬送対象物ＷＫの位置を検知させるとともに、移動手段３０を介して、保持手段２０を保持する保持手段保持位置ＨＰ２に先端アーム３１Ａを移動させて当該保持手段２０を保持させた後、第１検知手段１０の検知結果に基づいて当該保持手段２０を移動させて搬送対象物ＷＫを保持して搬送するように各部材を制御する構成となっている。
また、本実施形態の制御手段４０は、移動手段３０を介して、切断手段６０を保持する切断手段保持位置ＨＰ３に先端アーム３１Ａを移動させて当該切断手段６０を保持させた後、当該切断手段６０を移動させて接着シートＡＳを形成する構成となっている。

【0015】

貼付手段５０は、接着シート基材ＡＢを支持する支持ローラ５１と、接着シート基材ＡＢを案内するガイドローラ５２と、接着シート基材ＡＢを搬送対象物ＷＫに押圧して貼付する押圧手段５３と、駆動機器としてのリニアモータ５４のスライダ５４Ａに支持されたフレーム５５と、フレーム５５に支持された駆動機器としての回動モータ５６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５６Ｂとで接着シート基材ＡＢを挟み込む駆動ローラ５６と、フレーム５５に支持された図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、駆動ローラ５６との間に存在する不要シートＵＳに常に所定の張力を付与し、当該不要シートＵＳを回収する回収手段としての回収ローラ５７とを備えている。なお、不要シートＵＳは、切断手段６０による接着シート基材ＡＢの切断によって、接着シート基材ＡＢから所定形状の接着シートＡＳが切り抜かれたものである。
押圧手段５３は、リニアモータ５４のスライダ５４Ｂにブラケット５４Ｃを介して支持された駆動機器としての直動モータ５３Ａと、直動モータ５３Ａの出力軸５３Ｂに回転可能に支持された押圧ローラ５３Ｃとを備えている。

【0016】

切断手段６０は、移動手段３０による保持が可能な切断部材としての切断刃６１を備えている。

【0017】

搬送対象物支持手段８０は、駆動機器としての直動モータ８１と、直動モータ８１の出力軸８１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持機構）によって吸着保持が可能な搬送対象物支持面８２Ａと接着シート基材ＡＢを支持可能なシート支持面８２Ｂとを有するテーブル８２とを備えている。

【0018】

収容手段ＳＣは、上下方向に並設された複数の棚ＳＣ１を備え、複数の搬送対象物ＷＫを相互に当接させずに多段に収容する構成となっている。

【0019】

以上の搬送装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように接着シート基材ＡＢをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図１（Ａ）に示すように、搬送対象物ＷＫが収容された収容手段ＳＣを支持台７０上の所定の位置に載置すると、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、第１検知手段保持位置ＨＰ１に先端アーム３１Ａを移動させて当該先端アーム３１Ａで検知機器１２が支持されたブラケット１１を保持する。その後、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線および図１（Ｂ）に示すように、検知機器１２を移動させて発光素子１２Ａと受光素子１２Ｂとを収容手段ＳＣ内に位置させた後、検知機器１２を昇降させ、収容手段ＳＣに収容されている搬送対象物ＷＫの位置を検知機器１２に検知させる。

【0020】

次に、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、検知機器１２を初期位置に復帰させ、先端アーム３１Ａでのブラケット１１の保持を解除した後、保持手段保持位置ＨＰ２に先端アーム３１Ａを移動させて当該先端アーム３１Ａで保持部材２１を保持する。そして、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動するとともに、保持手段２０を介して図示しない減圧手段を駆動し、検知機器１２の検知結果に基づいて保持部材２１を移動させ、保持面２１Ａでの搬送対象物ＷＫの保持を開始した後、当該保持部材２１を移動させて搬送対象物ＷＫを搬送し、搬送対象物支持面８２Ａ上の所定の位置に載置する。次いで、制御手段４０が保持手段２０を介して図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面２１Ａでの搬送対象物ＷＫの保持を解除した後、移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、保持部材２１を初期位置に復帰させる。その後、制御手段４０が搬送対象物支持手段８０を介して図示しない減圧手段および直動モータ８１を駆動し、搬送対象物支持面８２Ａでの搬送対象物ＷＫの吸着保持を開始するとともに、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル８２を上昇させる。次に、制御手段４０が貼付手段５０を介して直動モータ５３Ａおよびリニアモータ５４を駆動し、押圧ローラ５３Ｃを下降させて接着シート基材ＡＢをシート支持面８２Ｂに所定の押圧力で押圧した後、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５３Ｃを右方に移動させ、搬送対象物ＷＫおよびシート支持面８２Ｂに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付する。この間に、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａでの保持部材２１の保持を解除した後、切断刃６１を保持する切断手段保持位置ＨＰ３に先端アーム３１Ａを移動させて当該先端アーム３１Ａで切断刃６１を保持する。

【0021】

そして、搬送対象物ＷＫへの接着シート基材ＡＢの貼付が完了すると、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シート基材ＡＢを切断する位置に切断刃６１を移動させて当該接着シート基材ＡＢに突き刺し、当該切断刃６１を搬送対象物ＷＫの外周に沿って移動させる。これにより、搬送対象物ＷＫの外周形状と同形状の接着シートＡＳが形成され、搬送対象物ＷＫ上に接着シートＡＳが貼付された状態で残り、当該接着シートＡＳの外周に不要シートＵＳが形成される。次いで、制御手段４０が貼付手段５０を介してリニアモータ５４および回動モータ５６Ａを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、フレーム５５を右方に移動させ、シート支持面８２Ｂから不要シートＵＳを剥離しながら当該不要シートＵＳを回収ローラ５７で回収する。この間に、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、切断刃６１を初期位置に復帰させ、先端アーム３１Ａでの切断刃６１の保持を解除した後、先端アーム３１Ａで保持部材２１を保持する。

【0022】

その後、シート支持面８２Ｂ全体から不要シートＵＳが剥離されると、制御手段４０が搬送対象物支持手段８０を介して直動モータ８１を駆動し、テーブル８２を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、搬送対象物支持面８２Ａでの搬送対象物ＷＫの吸着保持を解除する。次に、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動するとともに、保持手段２０を介して図示しない減圧手段を駆動し、接着シートＡＳが貼付された搬送対象物ＷＫ上に保持部材２１を移動させ、保持面２１Ａでの搬送対象物ＷＫの保持を開始した後、検知機器１２の検知結果に基づいて保持部材２１を移動させて搬送対象物ＷＫを搬送し、収容手段ＳＣ内の元に位置に収容する。そして、制御手段４０が貼付手段５０を介して直動モータ５３Ａおよびリニアモータ５４を駆動し、押圧ローラ５３Ｃを上昇させた後、回動モータ５６Ａの駆動を停止させた状態でリニアモータ５４を駆動し、押圧ローラ５３Ｃおよびフレーム５５を初期位置に復帰させ、接着シート基材ＡＢを搬送対象物支持手段８０上に繰り出す。次いで、制御手段４０が移動手段３０を介して多関節ロボット３１を駆動し、保持部材２１を初期位置に復帰させ、先端アーム３１Ａでの保持部材２１の保持を解除し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0023】

以上のような実施形態によれば、移動手段３０が第１検知手段１０と保持手段２０とを選択的に保持可能な先端アーム３１Ａを有しているため、装置が大型化することを防止することができる。

【0024】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0025】

例えば、第１検知手段１０は、検知機器１２のうちの一方が発光素子１２Ａで他方が受光素子１２Ｂでもよいし、検知機器１２が１体の部材で構成されでもよいし、検知機器１２が３体以上の部材で構成されてもよいし、収容手段ＳＣの外側から当該収容手段ＳＣ内の搬送対象物ＷＫの位置を検知してもよい。
第１検知手段１０は、複数の検知機器１２を備え、搬送対象物ＷＫや収容手段ＳＣの大きさ、形状または種類等によってそれら複数の検知機器１２のうちの１つを選択的に保持して搬送対象物ＷＫの位置検知を行ってもよい。これにより、多種多様の搬送対象物ＷＫや収容手段ＳＣに対応した位置検知ができるようになり、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１の汎用性を向上させることができる。

【0026】

保持手段２０は、保持部材２１に代えてまたは併用して、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段で搬送対象物ＷＫを保持してもよい。
保持手段２０は、複数の保持部材２１を備え、搬送対象物ＷＫや収容手段ＳＣの大きさ、形状または種類等によってそれら複数の保持部材２１のうちの１つを選択的に保持して搬送対象物ＷＫを保持してもよい。これにより、多種多様の搬送対象物ＷＫや収容手段ＳＣに対応した保持ができるようになり、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１の汎用性を向上させることができる。

【0027】

移動手段３０は、切断手段６０を先端アーム３１Ａで選択的に保持可能に設けられなくてもよい。
移動手段３０は、複数の移動機器を備え、検知機器１２、保持部材２１または切断刃６１の大きさ、形状または種類等によってそれら複数の移動機器のうちの１つを選択的に使用して検知機器１２、保持部材２１または切断刃６１を保持してもよい。これにより、多種多様の検知機器１２、保持部材２１または切断刃６１に対応した搬送ができるようになり、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１の汎用性を向上させることができる。

【0028】

貼付手段５０は、帯状の剥離シートに接着シート基材ＡＢが仮着された原反を繰り出し、剥離板や剥離ローラ等の剥離部材で接着シート基材ＡＢを剥離シートから剥離して搬送対象物ＷＫに貼付してもよいし、帯状の剥離シートに接着シートＡＳが仮着された原反を繰り出し、剥離板や剥離ローラ等の剥離部材で接着シートＡＳを剥離シートから剥離して搬送対象物ＷＫに貼付してもよいし、剥離シートに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して搬送対象物ＷＫに貼付してもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で接着シート基材ＡＢや不要シートＵＳを支持したり案内したりしてもよいし、接着シート基材ＡＢを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、不要シートＵＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして不要シートＵＳを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、搬送対象物ＷＫの下面や側面等に接着シート基材ＡＢを貼付してもよいし、本発明の搬送装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0029】

切断手段６０は、搬送対象物ＷＫの外縁形状と同形状または異なる形状の接着シートＡＳを形成したり、搬送対象物ＷＫの外縁形状よりも小さなまたは大きな接着シートＡＳを形成したりしてもよいし、貼付手段５０が帯状の剥離シートに接着シート基材ＡＢが仮着された原反を繰り出し、剥離板や剥離ローラ等の剥離部材で接着シート基材ＡＢを剥離シートから剥離して搬送対象物ＷＫに貼付する場合、搬送対象物ＷＫに接着シート基材ＡＢを貼付する前に接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、搬送対象物ＷＫに接着シート基材ＡＢを貼付した後に接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、搬送対象物ＷＫを切断してもよいし、切断刃６１が先端アーム３１Ａで保持可能に設けられなくてもよく、この場合、他の駆動機器で切断刃６１を保持し、当該切断刃６１を移動させて接着シート基材ＡＢを切断すればよいし、本発明の搬送装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
切断手段６０は、複数の切断刃６１を備え、接着シート基材ＡＢや搬送対象物ＷＫの大きさ、形状または種類等によってそれら複数の切断刃６１のうちの１つを選択的に保持して接着シート基材ＡＢや搬送対象物ＷＫを切断してもよい。これにより、多種多様の接着シート基材ＡＢや搬送対象物ＷＫに対応した切断ができるようになり、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１の汎用性を向上させることができる。

【0030】

収容手段ＳＣは、１体でもよいし、複数体でもよいし、棚ＳＣ１がなくてもよいし、複数の搬送対象物ＷＫを相互に当接させて段済み収容する構成とされてもよいし、実施形態のように複数の搬送対象物ＷＫを横置きで収容するものに代えて、複数の搬送対象物ＷＫを縦置きで収容するものであってもよいし、１体または複数体の搬送対象物ＷＫを収容するものであってもよいし、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0031】

支持手段は、収容手段ＳＣを支持した支持台７０が駆動機器やキャスター等によって移動可能な構成でもよいし、複数の収容手段ＳＣを支持する構成でもよいし、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0032】

搬送対象物支持手段８０は、搬送対象物支持面８２Ａでの吸着保持ができなくてもよいし、シート支持面８２Ｂでの吸着保持が可能でもよいし、不可能でもよいし、本発明の搬送装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0033】

搬送装置ＥＡは、図１（Ｃ）に示すように、移動手段３０によって移動されることなく、収容手段ＳＣに収容されている搬送対象物ＷＫの位置を検知する第２検知手段９０を備え、制御手段４０は、第１検知手段１０または第２検知手段９０の検知結果に基づいて、移動手段３０を介して、保持手段２０を移動させて搬送対象物ＷＫを保持して搬送するようにしてもよい。
第２検知手段９０は、支持台７０に支持された駆動機器としての直動モータ９１と、直動モータ９１の出力軸９１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ９２と、直動モータ９２の出力軸９２Ａに支持され、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器９３とを備え、制御手段４０が第２検知手段９０を介して直動モータ９１、９２を駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、検知機器９３を移動させることで、収容手段ＳＣに収容されている搬送対象物ＷＫの位置を検知する構成となっている。この場合、例えば搬送対象物ＷＫの大きさ、形状または種類等によって第１検知手段１０または第２検知手段９０を選択することができる。

【0034】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、搬送対象物を保持するものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0035】

接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび搬送対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび搬送対象物ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート基材ＡＢは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シート基材ＡＢは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、搬送対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0036】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段、支持（保持）機構、支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0037】

ＥＡ…搬送装置
ＥＡ１…シート貼付装置
１０…第１検知手段
２０…保持手段
３０…移動手段
３１Ａ…先端アーム（保持部）
４０…制御手段
５０…貼付手段
６０…切断手段
９０…第２検知手段
ＡＢ…接着シート基材
ＨＰ１…第１検知手段保持位置
ＨＰ２…保持手段保持位置
ＨＰ３…切断手段保持位置
ＷＫ…搬送対象物
ＳＣ…収容手段

【図1】