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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023103961
(43)【公開日】2023-07-27
(54)【発明の名称】ＭＥＭＳ加速度計
(51)【国際特許分類】
G01P 15/08 20060101AFI20230720BHJP
G01P 15/125 20060101ALI20230720BHJP
【ＦＩ】
G01P15/08 102D
G01P15/08 101B
G01P15/125 Z
【審査請求】有
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022195998
(22)【出願日】2022-12-07
(31)【優先権主張番号】202210040635.9
(32)【優先日】2022-01-14
(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN
(71)【出願人】
【識別番号】522235504
【氏名又は名称】エーエーシー カイタイ テクノロジーズ （ウーハン） カンパニーリミテッド
(71)【出願人】
【識別番号】511027518
【氏名又は名称】エーエーシーアコースティックテクノロジーズ（シンセン）カンパニーリミテッド
【氏名又は名称原語表記】ＡＡＣ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ（Ｓｈｅｎｚｈｅｎ）Ｃｏ．，Ｌｔｄ
(74)【代理人】
【識別番号】100199819
【弁理士】
【氏名又は名称】大行 尚哉
(74)【代理人】
【識別番号】100087859
【弁理士】
【氏名又は名称】渡辺 秀治
(72)【発明者】
【氏名】厳世濤
(72)【発明者】
【氏名】ヂァン ヂァン
(72)【発明者】
【氏名】楊珊
(72)【発明者】
【氏名】馬昭
(72)【発明者】
【氏名】カアン シィアォ
(72)【発明者】
【氏名】彭宏韜
(72)【発明者】
【氏名】李楊
(72)【発明者】
【氏名】陳秋玉
(72)【発明者】
【氏名】洪燕
(72)【発明者】
【氏名】黎家健
(57)【要約】
【課題】本発明は、ＭＥＭＳ加速度計を提供する。
【解決手段】検査質量と、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造と、前記シーソー構造の回動または前記検査質量の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリとを備え、２つずつの対向設置された前記シーソー構造の間は、第１結合構造によって第１側で結合接続され、第１結合構造によって結合接続された当該２つのシーソー構造の第２側が、第２結合構造によって前記検査質量に接続され、前記第１結合構造、前記第２結合構造がいずれも弾性結合構造である。本発明は、容量変位検出のリニアリティーを向上させるのに有利であり、他の非容量の検出方式に有利であると共に、二重結合構造を採用し、シーソー構造の残りの並進および回動モードを抑制した。
【選択図】図３
【解決手段】検査質量と、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造と、前記シーソー構造の回動または前記検査質量の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリとを備え、２つずつの対向設置された前記シーソー構造の間は、第１結合構造によって第１側で結合接続され、第１結合構造によって結合接続された当該２つのシーソー構造の第２側が、第２結合構造によって前記検査質量に接続され、前記第１結合構造、前記第２結合構造がいずれも弾性結合構造である。本発明は、容量変位検出のリニアリティーを向上させるのに有利であり、他の非容量の検出方式に有利であると共に、二重結合構造を採用し、シーソー構造の残りの並進および回動モードを抑制した。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
検査質量と、
アンカーを介して基板に固定接続された、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造と、
基板と、
前記シーソー構造の回動または前記検査質量の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリと、を備え、
２つずつの対向設置された前記シーソー構造の間は、第１結合構造によって第１側で結合接続され、第１結合構造によって結合接続された当該２つのシーソー構造の第２側には、第２結合構造が設けられ、前記第１結合構造および／または第２結合構造が前記検査質量に接続され、前記第１結合構造、前記第２結合構造がいずれも弾性結合構造である、
ことを特徴とするＭＥＭＳ加速度計。
アンカーを介して基板に固定接続された、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造と、
基板と、
前記シーソー構造の回動または前記検査質量の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリと、を備え、
２つずつの対向設置された前記シーソー構造の間は、第１結合構造によって第１側で結合接続され、第１結合構造によって結合接続された当該２つのシーソー構造の第２側には、第２結合構造が設けられ、前記第１結合構造および／または第２結合構造が前記検査質量に接続され、前記第１結合構造、前記第２結合構造がいずれも弾性結合構造である、
ことを特徴とするＭＥＭＳ加速度計。
【請求項2】
前記第１結合構造のみ、または前記第２結合構造のみが前記検査質量に接続される、
ことを特徴とする請求項１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
ことを特徴とする請求項１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項3】
各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造と第２シーソー構造を有し、
前記第１シーソー構造は、前記基板に固定された第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１接続ビームと、を有し、前記第１結合構造から遠い側の第１接続ビームの第１端が前記第１弾性トーションスプリングに接続され、第２端が一方の前記第２結合構造に接続され、
前記第２シーソー構造は、一端が前記基板に固定された第２アンカーと、前記第２アンカーの他端に固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２接続ビームと、を有し、前記第１結合構造から遠い側の第２接続ビームの第１端が前記第２弾性トーションスプリングに接続され、第２端が他方の前記第２結合構造に接続され、前記第２結合構造が前記検査質量に接続される、
ことを特徴とする請求項２に記載のＭＥＭＳ加速度計。
前記第１シーソー構造は、前記基板に固定された第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１接続ビームと、を有し、前記第１結合構造から遠い側の第１接続ビームの第１端が前記第１弾性トーションスプリングに接続され、第２端が一方の前記第２結合構造に接続され、
前記第２シーソー構造は、一端が前記基板に固定された第２アンカーと、前記第２アンカーの他端に固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２接続ビームと、を有し、前記第１結合構造から遠い側の第２接続ビームの第１端が前記第２弾性トーションスプリングに接続され、第２端が他方の前記第２結合構造に接続され、前記第２結合構造が前記検査質量に接続される、
ことを特徴とする請求項２に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項4】
各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造と第２シーソー構造を有し、
前記第１シーソー構造は、前記基板に固定された第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂと、を有し、前記両側の第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂは、それぞれ第１接続ビームを介して前記第１弾性トーションスプリングに接続され、前記面外変位検出アセンブリは、前記第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ及び第１面外検出極板Ｂを有し、
前記第２シーソー構造は、一端が前記基板に固定された第２アンカーと、前記第２アンカーの他端に固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂと、を有し、前記両側の第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂは、それぞれ第２接続ビームを介して前記第２弾性トーションスプリングに接続され、前記面外変位検出アセンブリは、前記第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ及び第２面外検出極板Ｂをさらに有している、
ことを特徴とする請求項２に記載のＭＥＭＳ加速度計。
前記第１シーソー構造は、前記基板に固定された第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂと、を有し、前記両側の第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂは、それぞれ第１接続ビームを介して前記第１弾性トーションスプリングに接続され、前記面外変位検出アセンブリは、前記第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ及び第１面外検出極板Ｂを有し、
前記第２シーソー構造は、一端が前記基板に固定された第２アンカーと、前記第２アンカーの他端に固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂと、を有し、前記両側の第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂは、それぞれ第２接続ビームを介して前記第２弾性トーションスプリングに接続され、前記面外変位検出アセンブリは、前記第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ及び第２面外検出極板Ｂをさらに有している、
ことを特徴とする請求項２に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項5】
各対の対向設置されたシーソー構造のうちの一つの前記第１極板設置部Ｂは、前記第２極板設置部Ｂと前記第２弾性トーションスプリングとの間に設けられ、前記第２極板設置部Ｂは、一つの前記第１極板設置部Ｂと前記第１弾性トーションスプリングとの間に設けられ、前記第１シーソー構造の前記第１極板設置部Ｂと前記第２シーソー構造の前記第２極板設置部Ｂとが互いに入れ子された構造となり、
前記第１結合構造は、互いに入れ子された前記第１極板設置部Ｂと前記第２極板設置部Ｂとの間に設けられている、
ことを特徴とする請求項４に記載のＭＥＭＳ加速度計。
前記第１結合構造は、互いに入れ子された前記第１極板設置部Ｂと前記第２極板設置部Ｂとの間に設けられている、
ことを特徴とする請求項４に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項6】
前記第１接続ビームには、前記第２極板設置部Ｂを避けるように第１折り曲げ部が設けられ、前記第２接続ビームには、前記第１極板設置部Ｂを避けるように第２折り曲げ部が設けられている、
ことを特徴とする請求項５に記載のＭＥＭＳ加速度計。
ことを特徴とする請求項５に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項7】
前記面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであり、
前記第１極板設置部Ａ、第２極板設置部Ａのそれぞれと前記第１弾性トーションスプリング、第２弾性トーションスプリングとの間に、Ｘ軸加速度検出アセンブリおよび／またはＹ軸加速度検出アセンブリが設けられている、
ことを特徴とする請求項５に記載のＭＥＭＳ加速度計。
前記第１極板設置部Ａ、第２極板設置部Ａのそれぞれと前記第１弾性トーションスプリング、第２弾性トーションスプリングとの間に、Ｘ軸加速度検出アセンブリおよび／またはＹ軸加速度検出アセンブリが設けられている、
ことを特徴とする請求項５に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項8】
前記面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであり、
第１収納空間Ａ、第１収納空間Ｂ、第２収納空間Ａ、第２収納空間Ｂには、それぞれＸ軸加速度検出アセンブリおよび／またはＹ軸加速度検出アセンブリが設けられている、
ことを特徴とする請求項３に記載のＭＥＭＳ加速度計。
第１収納空間Ａ、第１収納空間Ｂ、第２収納空間Ａ、第２収納空間Ｂには、それぞれＸ軸加速度検出アセンブリおよび／またはＹ軸加速度検出アセンブリが設けられている、
ことを特徴とする請求項３に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項9】
前記ＭＥＭＳ式加速度計は、２対の対向設置されたシーソー構造を備え、当該２対の対向設置されたシーソー構造が第１結合構造を共用している、
ことを特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載のＭＥＭＳ式加速度計。
ことを特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載のＭＥＭＳ式加速度計。
【請求項10】
前記第２結合構造は、少なくとも１つの折り曲げ部を有する弾性結合構造である、
ことを特徴とする請求項９に記載のＭＥＭＳ加速度計。
ことを特徴とする請求項９に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項11】
前記検査質量は、第１検査質量と第２検査質量を有し、
前記第１結合構造と前記第２結合構造は、それぞれ第１検査質量と第２検査質量に接続される、
ことを特徴とする請、求項１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
前記第１結合構造と前記第２結合構造は、それぞれ第１検査質量と第２検査質量に接続される、
ことを特徴とする請、求項１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項12】
各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造と第２シーソー構造を有し、
前記第１シーソー構造は、第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１接続ビームと、を有し、前記第１接続ビームの第１端が前記第１弾性トーションスプリングに接続され、前記第１接続ビームの第２端が一方の前記第２結合構造に接続され、
前記第２シーソー構造は、第２アンカーと、前記第２アンカーに固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２接続ビームと、を有し、前記第２接続ビームの第１端が前記第２弾性トーションスプリングに接続され、前記第２接続ビームの第２端が他方の前記第２結合構造に接続され、前記第１弾性トーションスプリング、前記第１シーソー構造側に位置する第２結合構造、及び前記第１接続ビームの間には、それぞれ第１収納空間Ａが形成され、前記第１弾性トーションスプリング、前記第１結合構造、及び前記第１接続ビームの間には、それぞれ第１収納空間Ｂが形成され、
前記第２弾性トーションスプリング、前記第２シーソー構造側に位置する第２結合構造、及び前記第２接続ビームの間には、それぞれ第２収納空間Ａが形成され、前記第２弾性トーションスプリング、前記第１結合構造、及び前記第２接続ビームの間には、それぞれ第２収納空間Ｂが形成され、
前記第１収納空間Ａには、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第１極板設置部Ａが設けられ、前記第１収納空間Ｂには、第１検査質量が延伸することによって形成された第１極板設置部Ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ及び第１面外検出極板Ｂを有し、
前記第２収納空間Ａには、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ａが設けられ、前記第２収納空間Ｂには、第１検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ及び第２面外検出極板Ｂを有している、
ことを特徴とする請求項１１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
前記第１シーソー構造は、第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１接続ビームと、を有し、前記第１接続ビームの第１端が前記第１弾性トーションスプリングに接続され、前記第１接続ビームの第２端が一方の前記第２結合構造に接続され、
前記第２シーソー構造は、第２アンカーと、前記第２アンカーに固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２接続ビームと、を有し、前記第２接続ビームの第１端が前記第２弾性トーションスプリングに接続され、前記第２接続ビームの第２端が他方の前記第２結合構造に接続され、前記第１弾性トーションスプリング、前記第１シーソー構造側に位置する第２結合構造、及び前記第１接続ビームの間には、それぞれ第１収納空間Ａが形成され、前記第１弾性トーションスプリング、前記第１結合構造、及び前記第１接続ビームの間には、それぞれ第１収納空間Ｂが形成され、
前記第２弾性トーションスプリング、前記第２シーソー構造側に位置する第２結合構造、及び前記第２接続ビームの間には、それぞれ第２収納空間Ａが形成され、前記第２弾性トーションスプリング、前記第１結合構造、及び前記第２接続ビームの間には、それぞれ第２収納空間Ｂが形成され、
前記第１収納空間Ａには、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第１極板設置部Ａが設けられ、前記第１収納空間Ｂには、第１検査質量が延伸することによって形成された第１極板設置部Ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ及び第１面外検出極板Ｂを有し、
前記第２収納空間Ａには、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ａが設けられ、前記第２収納空間Ｂには、第１検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ及び第２面外検出極板Ｂを有している、
ことを特徴とする請求項１１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【請求項13】
前記ＭＥＭＳ式加速度計は、２対の対向設置されたシーソー構造を備え、当該２対の対向設置されたシーソー構造が第１結合構造を共用している、
ことを特徴とする請求項１１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
ことを特徴とする請求項１１に記載のＭＥＭＳ加速度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ：Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）の分野に関し、特に、ＭＥＭＳ加速度計に関する。
【背景技術】
【0002】
従来の面外加速度センサは、シーソー構造を用いて面外変位を検査している。図１に示すように、シーソー構造は、アンカー、トーションスプリング、面外検出極板および検査質量を有する。このシーソー構造は加速度により、非対称的な検査質量Ｍ１がトーションスプリングをトーションスプリングとアンカーが形成する回転軸に沿って回動させ、構造の上方または下方に対応するように容量検出極板が設置され、差動容量を形成する。加速度の変化は、容量変化を検出することにより得られる。
【0003】
このシーソー構造は、図２に示すように、構造が非対称であるため、Ｘ方向加速度によって面内Ｘ方向の揺動が生じる。
【0004】
以上の問題に対して、Ｍｕｒａｔａ社の特許出願（ＵＳ２０２０００１８７７７Ａ）には、２つのシーソーを採用した構造が開示されており、回転検査質量の本体はシーソー構造にあり、結合構造として剛体が外部に追加され、且つ１つのリニアマス（Ｌｉｎｅａｒ ｑｕａｌｉｔｙ）として、面外加速度が作用すると、リニアマスが面外方向に沿って直線運動する。このような構成は、検出極板を回転軸から遠くに設置し、容量変化まで回転するゲインを確保し、Ｘ方向（ＩＰ１方向）に沿った揺動を無くしたが、２つのシーソーのＺ軸（ＯＰ）周りの同方向回動およびＸ軸（ＩＰ１軸）周りの同方向回動を抑制することはできない。
【0005】
ＡＤＩ社の特許出願（ＵＳ２０２００１３２７１６Ａ１）には、面外加速度計がｂｕｔｔｅｒｆｌｙの構成を採用し、すなわち内側の結合構造が２つのシーソー構造の運動結合を実現し、単一のシーソー構造の面内回動と回転軸周りの同方向回動を抑制できる多軸加速度計が開示されている。Ｍｕｒａｔａ社の構成と比較して、Ｚ軸直線運動のリニア検査質量を外側結合構造として持っていないため、２つのシーソー構造のＺ軸周りの逆方向運動に対する抑制能力が劣る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、上記の技術的課題の少なくとも一つを解決するためのＭＥＭＳ加速度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の目的を達成するために、本発明により提供されるＭＥＭＳ加速度計は、検査質量と、アンカーを介して基板に固定接続された、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造と、基板と、前記シーソー構造の回動または前記検査質量の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリとを備え、２つずつの対向設置された前記シーソー構造の間は、第１結合構造によって第１側で結合接続され、第１結合構造によって結合接続されたこの２つのシーソー構造の第２側には、第２結合構造が設けられ、前記第１結合構造および／または第２結合構造が前記検査質量に接続され、前記第１結合構造、前記第２結合構造がいずれも弾性結合構造である。
【0008】
好ましくは、前記第１結合構造のみ、または前記第２結合構造のみが前記検査質量に接続される。
【0009】
好ましくは、各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造と第２シーソー構造を有し、前記第１シーソー構造は、前記基板に固定された第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１接続ビームと、を有し、前記第１結合構造から遠い側の第１接続ビームの第１端が前記第１弾性トーションスプリングに接続され、第２端が一方の前記第２結合構造に接続され、前記第２シーソー構造は、一端が前記基板に固定された第２アンカーと、前記第２アンカーの他端に固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２接続ビームと、を有し、前記第１結合構造から遠い側の第２接続ビームの第１端が前記第２弾性トーションスプリングに接続され、第２端が他方の前記第２結合構造に接続され、前記第２結合構造が前記検査質量に接続される。
【0010】
好ましくは、各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造と第２シーソー構造を有し、前記第１シーソー構造は、前記基板に固定された第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂと、を有し、前記両側の第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂは、それぞれ第１接続ビームを介して前記第１弾性トーションスプリングに接続され、前記面外変位検出アセンブリは、前記第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ及び第１面外検出極板Ｂを有し、前記第２シーソー構造は、一端が前記基板に固定された第２アンカーと、前記第２アンカーの他端に固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂと、を有し、前記両側の第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂは、それぞれ第２接続ビームを介して前記第２弾性トーションスプリングに接続され、前記面外変位検出アセンブリは、前記第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ及び第２面外検出極板Ｂをさらに有している。
【0011】
好ましくは、各対の対向設置されたシーソー構造のうちの一つの前記第１極板設置部Ｂは、前記第２極板設置部Ｂと前記第２弾性トーションスプリングとの間に設けられ、前記第２極板設置部Ｂは、一つの前記第１極板設置部Ｂと前記第１弾性トーションスプリングとの間に設けられ、前記第１シーソー構造の前記第１極板設置部Ｂと前記第２シーソー構造の前記第２極板設置部Ｂとが互いに入れ子された構造となり、前記第１結合構造は、互いに入れ子された前記第１極板設置部Ｂと前記第２極板設置部Ｂとの間に設けられている。
【0012】
好ましくは、前記第１接続ビームには、前記第２極板設置部Ｂを避けるように第１折り曲げ部が設けられ、前記第２接続ビームには、前記第１極板設置部Ｂを避けるように第２折り曲げ部が設けられている。
【0013】
好ましくは、前記面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであり、前記第１極板設置部Ａ、第２極板設置部Ａのそれぞれと前記第１弾性トーションスプリング、第２弾性トーションスプリングとの間に、Ｘ軸加速度検出アセンブリおよび／またはＹ軸加速度検出アセンブリが設けられている。
【0014】
好ましくは、前記面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであり、第１収納空間Ａ、第１収納空間Ｂ、第２収納空間Ａ、第２収納空間Ｂには、それぞれＸ軸加速度検出アセンブリおよび／またはＹ軸加速度検出アセンブリが設けられている。
【0015】
好ましくは、前記ＭＥＭＳ式加速度計は、２対の対向設置されたシーソー構造を備え、当該２対の対向設置されたシーソー構造が第１結合構造を共用している。
【0016】
好ましくは、前記第２結合構造は、少なくとも１つの折り曲げ部を有する弾性結合構造である。
【0017】
好ましくは、前記検査質量は、第１検査質量と第２検査質量を有し、前記第１結合構造と前記第２結合構造は、それぞれ第１検査質量と第２検査質量に接続される（内外部）。
【0018】
好ましくは、各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造と第２シーソー構造を有し、前記第１シーソー構造は、第１アンカーと、前記第１アンカーに固定された第１弾性トーションスプリングと、前記第１弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第１接続ビームと、を有し、前記第１接続ビームの第１端が前記第１弾性トーションスプリングに接続され、前記第１接続ビームの第２端が一方の前記第２結合構造に接続され、前記第２シーソー構造は、第２アンカーと、前記第２アンカーに固定された第２弾性トーションスプリングと、前記第２弾性トーションスプリングの両側に対向設置された第２接続ビームと、を有し、前記第２接続ビームの第１端が前記第２弾性トーションスプリングに接続され、前記第２接続ビームの第２端が他方の前記第２結合構造に接続され、前記第１弾性トーションスプリング、前記第１シーソー構造側に位置する第２結合構造、及び前記第１接続ビームの間には、それぞれ第１収納空間Ａが形成され、前記第１弾性トーションスプリング、前記第１結合構造、及び前記第１接続ビームの間には、それぞれ第１収納空間Ｂが形成され、前記第２弾性トーションスプリング、前記第２シーソー構造側に位置する第２結合構造、及び前記第２接続ビームの間には、それぞれ第２収納空間Ａが形成され、前記第２弾性トーションスプリング、前記第１結合構造、及び前記第２接続ビームの間には、それぞれ第２収納空間Ｂが形成され、前記第１収納空間Ａには、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第１極板設置部Ａが設けられ、前記第１収納空間Ｂには、第１検査質量が延伸することによって形成された第１極板設置部Ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第１極板設置部Ａ及び第１極板設置部Ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ及び第１面外検出極板Ｂを有し、前記第２収納空間Ａには、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ａが設けられ、前記第２収納空間Ｂには、第１検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第２極板設置部Ａ及び第２極板設置部Ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ及び第２面外検出極板Ｂを有している。
【0019】
好ましくは、前記ＭＥＭＳ式加速度計は、２対の対向設置されたシーソー構造を備え、当該２対の対向設置されたシーソー構造が第１結合構造を共用している。
【発明の効果】
【0020】
本発明のＭＥＭＳ加速度計では、関連技術に比べて、検査質量の支持構造として２つ以上のシーソー構造を採用し、検査質量を面外方向（Ｚ方向）加速度の作用下でＺ軸に沿って直線運動させるようにし、このような直線変位は、容量変位検出のリニアリティーの向上に寄与するだけでなく、光学変位検出などのその他の非容量の検出方式にも寄与する。また、本発明の実施例では、二重結合構造（第１結合構造、第２結合構造）を用いてシーソーの回動を共結合させ、シーソー構造の残りの並進と回動モードを抑制した。さらに、本発明の実施例では、検査質量が主に第２結合構造（外側）に分布しており（内側の第１結合構造であってもよい）、シーソー構造に回転検査質量を少し配置するか、配置しないで、シーソー構造の重心を回転軸に近づけたり、位置させたりし、このような検査質量の分布方は、質量をより集中させ、構成がより合理的で、スプリアスモードがより少ない。
【図面の簡単な説明】
【0021】
本発明の実施例における技術案をより明確に説明するために、以下、実施例の説明に必要な図面を簡単に説明し、明らかに、以下説明された図面は、本発明のいくつかの実施例に過ぎず、当業者であれば、進歩的な労働をしなくても、これらの図面に基づいて他の図面を取得することができ、そのうち、
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明の実施例における図面を参照しながら本発明の実施例における技術案を明確かつ完全に説明する。明らかに、記載された実施例は、全ての実施例ではなく、本発明の一部の実施例に過ぎない。当業者が本発明における実施例に基づいて進歩的な労働をしない前提に得られた他の全ての他の実施例は、本発明の保護範囲に含まれるものとする。
【0023】
実施例１
図３～４を参照して、本実施例により提供されるＭＥＭＳ加速度計２００は、検査質量２３０と、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造（２１０、２２０）と、基板（図示せず）と、シーソー構造（２１０、２２０）の回動または検査質量２３０の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリ２４０とを備えている。
図３～４を参照して、本実施例により提供されるＭＥＭＳ加速度計２００は、検査質量２３０と、少なくとも１対の対向設置されたシーソー構造（２１０、２２０）と、基板（図示せず）と、シーソー構造（２１０、２２０）の回動または検査質量２３０の面外直線運動を検出するための面外変位検出アセンブリ２４０とを備えている。
【0024】
ここで、２つずつの対向設置された前記シーソー構造（２１０、２２０）間は、第１結合構造２５０によって第１側で結合接続されて対称的に設置され、第１結合構造２５０によって結合接続された当該２つのシーソー構造（２１０、２２０）の第２側には、第２結合構造２６０が設けられており、本実施例では、第２結合構造２６０は、前記検査質量２３０に接続され、前記第１結合構造２５０、第２結合構造２６０は、いずれも弾性結合構造である。
【0025】
もちろん、他の選択可能な実施例において、２つずつの対向設置された前記シーソー構造（２１０、２２０）間が第１結合構造２５０によって第１側で結合接続される場合、非対称的に設置されていてもよく、具体的には実際の状況に応じて選択することができ、ここでは説明を繰り返さない。
【0026】
本実施例では、各対の対向設置されたシーソー構造（２１０、２２０）は、第１シーソー構造２１０と第２シーソー構造２２０を有し、前記第１シーソー構造２１０は、一端が前記基板に固定された第１アンカー２１１と、前記第１アンカー２１１の他端に固定された第１弾性トーションスプリング２１２と、前記第１弾性トーションスプリング２１２の両側に対向設置された第１極板設置部Ａ２１３ａおよび第１極板設置部Ｂ２１３ｂとを有し、前記両側の第１極板設置部Ａ２１３ａおよび第１極板設置部Ｂ２１３ｂは、それぞれ第１接続ビーム２１４を介して前記第１弾性トーションスプリング２１２に接続され、前記第１結合構造２５０に近い側の第１接続ビーム２１４の第１端が前記第１弾性トーションスプリング２１２に接続され、第２端が一方の前記第１結合構造２５０に接続され、前記面外変位検出アセンブリ２４０は、前記第１極板設置部Ａおよび第１極板設置部Ｂ２１３に設けられた第１面外検出極板Ａ２４１ａおよび第１面外検出極板Ｂ２４１ｂを有している。前記第２シーソー構造２２０は、一端が前記基板に固定された第２アンカー２２１と、前記第２アンカー２２１の他端に固定された第２弾性トーションスプリング２２２と、前記第２弾性トーションスプリング２２２の両側に対向設置された第２極板設置部Ａ２２３ａおよび第２極板設置部Ｂ２２３ｂとを備え、前記両側の第２極板設置部Ａ２２３ａおよび第２極板設置部Ｂ２２３ｂは、それぞれ第２接続ビーム２２４を介して前記第２弾性トーションスプリング２２２に接続され、前記面外変位検出アセンブリ２４０は、前記第２極板設置部Ａ２２３ａおよび第２極板設置部Ｂ２２３ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ２４２ａおよび第２面外検出極板Ｂ２４２ｂをさらに有している。
【0027】
実施例２
図５および図６に示すように、実施例１と異なるのは、一方の前記第１極板設置部Ｂ２１３ｂが、一方の第２極板設置部Ｂ２２３ｂと第２弾性トーションスプリング２２２との間に設けられ、一方の第２極板設置部Ｂ２２３ｂが、一方の第１極板設置部Ｂ２１３ｂと第１弾性トーションスプリング２１２との間に設けられ、第１シーソー構造２１０の一方の第１極板設置部Ｂ２１３ｂと第２シーソー構造２２０の一方の第２極板設置部Ｂ２２３ｂとが互いに入れ子された構造となり、前記第１結合構造２５０が、互いに入れ子された第１極板設置部Ｂ２１３ｂと第２極板設置部Ｂ２２３ｂとの間に設けられている点である。
図５および図６に示すように、実施例１と異なるのは、一方の前記第１極板設置部Ｂ２１３ｂが、一方の第２極板設置部Ｂ２２３ｂと第２弾性トーションスプリング２２２との間に設けられ、一方の第２極板設置部Ｂ２２３ｂが、一方の第１極板設置部Ｂ２１３ｂと第１弾性トーションスプリング２１２との間に設けられ、第１シーソー構造２１０の一方の第１極板設置部Ｂ２１３ｂと第２シーソー構造２２０の一方の第２極板設置部Ｂ２２３ｂとが互いに入れ子された構造となり、前記第１結合構造２５０が、互いに入れ子された第１極板設置部Ｂ２１３ｂと第２極板設置部Ｂ２２３ｂとの間に設けられている点である。
【0028】
さらに、シーソー構造の対称性に起因して、第１シーソー構造２１０の第１接続ビーム２１４には、第２シーソー構造２２０の第２極板設置部Ｂ２２３ｂを避けるように第１折り曲げ部２１５が設けられており、同様に、第２シーソー構造２２０の第２接続ビーム２２４にも、前記第１極板設置部Ｂ２１３ｂを避けるように第２折り曲げ部２２５が設けられている。
【0029】
本実施例では、実施例１に対して、面外容量検出極板が回転軸からより離れているため、より大きなゲインを得ることができる。
【0030】
実施例３
実施例２と異なるのは、本実施例では、図７に示すように、図５も参照すれば、第１面外検出極板Ａ２４１ａと第１面外検出極板Ｂ２４１、第２面外検出極板Ａ２４２ａ、第２面外検出極板Ｂ２４２ｂとからなる面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであるとともに、第１シーソー構造２１０の他方の第１極板設置部Ａ２１３ａと前記第１弾性トーションスプリング２１２との間には、Ｘ軸方向の加速度を検出するためのＸ軸加速度検出アセンブリ２７０が設けられ、第２シーソー構造２２０の他方の第２極板設置部Ａ２２３ａと前記第２弾性トーションスプリング２２２との間には、Ｙ軸方向の加速度を検出するためのＹ軸加速度検出アセンブリ２８０が設けられたことである。もちろん、Ｘ軸加速度検出アセンブリ２７０、Ｙ軸加速度検出アセンブリ２８０の位置は交換することができ、Ｘ軸加速度検出アセンブリ２７０、Ｙ軸加速度検出アセンブリ２８０も択一的にまたは同時に設けてもよく、具体的には必要に応じて設置することができる。
実施例２と異なるのは、本実施例では、図７に示すように、図５も参照すれば、第１面外検出極板Ａ２４１ａと第１面外検出極板Ｂ２４１、第２面外検出極板Ａ２４２ａ、第２面外検出極板Ｂ２４２ｂとからなる面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであるとともに、第１シーソー構造２１０の他方の第１極板設置部Ａ２１３ａと前記第１弾性トーションスプリング２１２との間には、Ｘ軸方向の加速度を検出するためのＸ軸加速度検出アセンブリ２７０が設けられ、第２シーソー構造２２０の他方の第２極板設置部Ａ２２３ａと前記第２弾性トーションスプリング２２２との間には、Ｙ軸方向の加速度を検出するためのＹ軸加速度検出アセンブリ２８０が設けられたことである。もちろん、Ｘ軸加速度検出アセンブリ２７０、Ｙ軸加速度検出アセンブリ２８０の位置は交換することができ、Ｘ軸加速度検出アセンブリ２７０、Ｙ軸加速度検出アセンブリ２８０も択一的にまたは同時に設けてもよく、具体的には必要に応じて設置することができる。
【0031】
実施例４
図８に示すように、本実施例では、各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造２１０と第２シーソー構造２２０を有し、前記第１シーソー構造は、第１アンカー２１１と、前記第１アンカー２１１に固定された第１弾性トーションスプリング２１２と、前記第１弾性トーションスプリング２１２の両側に対向設置された第１接続ビーム２１４とを有し、前記第１結合構造２５０に近い側の第１接続ビーム２１４の第１端が前記第１弾性トーションスプリング２１２に接続され、第２端が一方の前記第１結合構造２５０に接続され、第１結合構造２５０から遠い側の第１接続ビーム２１４の第１端が前記第１弾性トーションスプリング２１２に接続され、第２端が一方の第２結合構造２６０に接続されている。
図８に示すように、本実施例では、各対の対向設置されたシーソー構造は、第１シーソー構造２１０と第２シーソー構造２２０を有し、前記第１シーソー構造は、第１アンカー２１１と、前記第１アンカー２１１に固定された第１弾性トーションスプリング２１２と、前記第１弾性トーションスプリング２１２の両側に対向設置された第１接続ビーム２１４とを有し、前記第１結合構造２５０に近い側の第１接続ビーム２１４の第１端が前記第１弾性トーションスプリング２１２に接続され、第２端が一方の前記第１結合構造２５０に接続され、第１結合構造２５０から遠い側の第１接続ビーム２１４の第１端が前記第１弾性トーションスプリング２１２に接続され、第２端が一方の第２結合構造２６０に接続されている。
【0032】
第２シーソー構造２２０は、第２アンカー２２１と、前記第２アンカー２２１に固定された第２弾性トーションスプリング２２２と、前記第２弾性トーションスプリング２２２の両側に対向設置された第２接続ビーム２２４とを有し、第１結合構造２５０から遠い側の第２接続ビーム２２４の第１端が前記第２弾性トーションスプリング２２２に接続され、第２端が他方の前記第２結合構造２６０に接続されている。
【0033】
本実施例は、上記実施例と異なり、変位検出アセンブリをシーソー構造に設けず、本実施例のシーソー構造によれば、検査質量上（上面または下面）に容量検出極板を配置することによって検査質量の面外変位検出を実現することができ、光学干渉計測アセンブリを設けることによって検査質量の面外変位を検出することもできる。
【0034】
実施例５
上記実施例４に基づき、図８を併せて参照して、前記第１弾性トーションスプリング２１１、第１シーソー構造２１０側に位置する第２結合構造２６０、及び第１接続ビーム２１４の間には、それぞれ第１収納空間Ａ２１５が形成され、前記第１弾性トーションスプリング２１１、第１結合構造２５０、及び第１接続ビーム２１４の間には、それぞれ第１収納空間Ｂ２１６が形成される。
上記実施例４に基づき、図８を併せて参照して、前記第１弾性トーションスプリング２１１、第１シーソー構造２１０側に位置する第２結合構造２６０、及び第１接続ビーム２１４の間には、それぞれ第１収納空間Ａ２１５が形成され、前記第１弾性トーションスプリング２１１、第１結合構造２５０、及び第１接続ビーム２１４の間には、それぞれ第１収納空間Ｂ２１６が形成される。
【0035】
前記第２弾性トーションスプリング２２２、第２シーソー構造２２０側に位置する第２結合構造２６０、及び第２接続ビーム２２４の間には、それぞれ第２収納空間Ａ２２５が形成され、前記第２弾性トーションスプリング２２２、第１結合構造２５０、及び第２接続ビーム２２４の間には、それぞれ第２収納空間Ｂ２２６が形成されている。
【0036】
図９に示すように、図８も参照すれば、実施例４と異なるのは、本実施例では、検査質量が、第２結合構造２６０に接続された第２検査質量２３２と、第１結合構造２５０に接続された第１検査質量２３１とを有することである。
【0037】
前記第１収納空間Ａ２１５には、前記第２検査質量２３２が延伸することによって形成された第１極板設置部Ａ２１３ａが設けられ、前記第１収納空間Ｂ２１６には、第１検査質量２３１が延伸することによって形成された第１極板設置部Ｂ２１３ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第１極板設置部Ａ２１３ａ及び第１極板設置部Ｂ２１３ｂに設けられた第１面外検出極板Ａ２４１ａ及び第１面外検出極板Ｂ２４１ｂを有する。
【0038】
前記第２収納空間Ａ２２５には、前記第２検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ａ２２３ａが設けられ、前記第２収納空間Ｂ２２６には、第１検査質量が延伸することによって形成された第２極板設置部Ｂ２２３ｂが設けられ、前記面外変位検出アセンブリは、第２極板設置部Ａ２２３ａ及び第２極板設置部Ｂ２２３ｂに設けられた第２面外検出極板Ａ２４２ａ及び第２面外検出極板Ｂ２４２ｂを有する。
【0039】
本実施例では、第１結合構造２５０、第２結合構造２６０のいずれにおいても検査質量（第１検査質量２３１、第２検査質量２３２）を設けるとともに、第１検査質量２３１、第２検査質量２３２のいずれにおいても容量検出極板を設け、第２検査質量２３２と第１検査質量２３１との容量検出極板は差分容量を形成するとともに、互いに質量を相殺している。この構成のメリットは、面外容量検出極板の変位をすべて線形変位に変えることで、加速度検出のリニアリティーが改善されるとともに、面外容量検出極板がシーソーの先端に位置し、容量変化まで加速するゲインが保たれることである。
【0040】
【0041】
前記第１弾性トーションスプリング２１１、第１シーソー構造２１０側に位置する第２結合構造２６０、及び第１接続ビーム２１４の間には、それぞれ第１収納空間Ａ２１５が形成され、前記第１弾性トーションスプリング２１１、第１結合構造２５０、及び第１接続ビーム２１４の間には、それぞれ第１収納空間Ｂ２１６が形成されている。
【0042】
前記第２弾性トーションスプリング２２２、第２シーソー構造２２０側に位置する第２結合構造２６０、及び第２接続ビーム２２４の間には、それぞれ第２収納空間Ａ２２５が形成され、前記第２弾性トーションスプリング２２２、第１結合構造２５０、及び第２接続ビーム２２４の間には、それぞれ第２収納空間Ｂ２２６が形成されている。
【0043】
前記面外変位検出アセンブリは、Ｚ軸変位検出アセンブリであり、検査質量上に設置された面外容量検出極板、またはその他の光学検出アセンブリであり得る。また、前記第１収納空間Ａ２１５、第１収納空間Ｂ２１６、第２収納空間Ａ２２５、第２収納空間Ｂ２２６には、それぞれＸ軸加速度検出アセンブリ２１７および／またはＹ軸加速度検出アセンブリ２１８が設けられている。
【0044】
代替可能な実施形態として、検査質量２３０に溝を開けてＸ軸加速度検出アセンブリ２７０および／またはＹ軸加速度検出アセンブリ２８０を置いてもよい。
【0045】
実施例７
上記実施例と異なるのは、上記実施例はいずれも１対のシーソー構造であるが、本実施例は２対のシーソー構造を採用しており、具体的には、図１１に示すように、前記ＭＥＭＳ加速度計は、２対の対向設置されたシーソー構造を備え、それぞれ第１シーソー構造２１０ａ、第２シーソー構造２２０ａ、第１シーソー構造２１０ｂ、及び第２シーソー構造２２０ｂである。当該２対の対向設置されたシーソー構造は、一つの第一結合構造２５０を共用している。
上記実施例と異なるのは、上記実施例はいずれも１対のシーソー構造であるが、本実施例は２対のシーソー構造を採用しており、具体的には、図１１に示すように、前記ＭＥＭＳ加速度計は、２対の対向設置されたシーソー構造を備え、それぞれ第１シーソー構造２１０ａ、第２シーソー構造２２０ａ、第１シーソー構造２１０ｂ、及び第２シーソー構造２２０ｂである。当該２対の対向設置されたシーソー構造は、一つの第一結合構造２５０を共用している。
【0046】
本実施例では、前記第１結合構造２５０は、４つの対称に設けられた接続点を含んでおり、前記２対の対向設置されたシーソー構造（２１０、２２０）がそれぞれ４つの接続点に接続されて、交差設置された対称構造を形成している。
【0047】
平面上には、各シーソー構造が正方形に配置されており、２対のシーソー構造の合計４つのシーソー構造が平面上に交差して設けられた後、正方形の占有領域を形成し、検査質量２３０が４つのシーソー構造の外周を囲んで設けられている。もちろん、各シーソー構造の形状は、本実施例で提供される形態に限定されない。
【0048】
本実施例では、前記第２結合構造２６０は、少なくとも１つの折り曲げ部２６１を有する弾性結合構造であり、図１１に示すように、本実施例では、１つの折り曲げ部２６１を用いて第２結合構造２６０をＵ字形構造としている。これにより、検査質量２３０がシーソー構造をより容易に回動させることができる。
【0049】
本実施例では、４つのシーソー構造の配置を採用することで、構造をより合理的にし、不感軸モードの動きをより良く抑制しつつ、より多くの面外容量検出極板を設けてより大きなゲインを提供することができる。
【0050】
実施例８
図１２に示すように、本実施例では、実施例７に類似した複数対のシーソー構造を採用しているが、それと異なるのは、実施例２と同じような入れ子構造を採用することであり、すなわち、１対のシーソー構造の一方の第１極板設置部Ｂ２３１ｂと、他の１対のシーソー構造の一方の第２極板設置部Ｂ２３２ｂとの間に互いに入れ子された設置構造を形成することである。
図１２に示すように、本実施例では、実施例７に類似した複数対のシーソー構造を採用しているが、それと異なるのは、実施例２と同じような入れ子構造を採用することであり、すなわち、１対のシーソー構造の一方の第１極板設置部Ｂ２３１ｂと、他の１対のシーソー構造の一方の第２極板設置部Ｂ２３２ｂとの間に互いに入れ子された設置構造を形成することである。
【0051】
本実施例では、入れ子設置の方式を採用することで、面外容量検出極板を回転軸から遠ざけ、さらにより大きなゲインを取れるとともに、よりコンパクトな構成としている。
【0052】
実施例９
図１３に示すように、実施例８と異なり、シーソー構造に面外容量検出極板を設けず、面外容量検出極板を第２検査質量２３２と第１検査質量２３１に設置し、第１検査質量２３１が第１結合構造２５０と一体構造である。
図１３に示すように、実施例８と異なり、シーソー構造に面外容量検出極板を設けず、面外容量検出極板を第２検査質量２３２と第１検査質量２３１に設置し、第１検査質量２３１が第１結合構造２５０と一体構造である。
【0053】
以上の実施例から明らかなように、本発明の各実施例において、検査質量は、第２結合構造２６０のみに設けられた第２検査質量２３２であってもよいし、第１結合構造２５０のみに設けられた第１検査質量２３１であってもよい。
【0054】
以上の実施例から明らかなように、本発明の各実施例において、前記第２検査質量２３２は、前記シーソー構造を取り囲んで対称的な設置であってもよいし、第１検査質量２３１と同じように独立して設けられていてもよい。
【0055】
以上の実施例から明らかなように、本発明の実施例において、シーソー構造の数は偶数個であり、第１結合構造によって対称的な設置を実現してもよい。
【0056】
以上の実施例から明らかなように、本発明の実施例において、面外変位検出アセンブリは、面外容量検出極板であってもよいし、他の光学検出アセンブリ、または他のタイプの変位検出アセンブリであってもよい。
【0057】
以上の実施例から明らかなように、本発明の実施例において、面外変位検出アセンブリは、検査質量上に設けられてもよいし、シーソー構造上に設けられてもよいし、第１結合構造上に設けられてもよい。
【0058】
本発明のＭＥＭＳ加速度計では、関連技術に比べて、検査質量の支持構造として２つ以上のシーソー構造を採用し、検査質量を面外方向（Ｚ方向）加速度の作用下でＺ軸に沿って直線運動させるようにし、このような直線変位は、容量変位検出のリニアリティーの向上に寄与するだけでなく、光学変位検出などのその他の非容量の検出方式にも寄与する。また、本発明の実施例では、二重結合構造（第１結合構造、第２結合構造）を用いてシーソーの回動を共結合させ、シーソー構造の残りの並進と回動モードを抑制した。さらに、本発明の実施例では、検査質量が主に第２結合構造（外側）に分布しており（内側の第１結合構造であってもよい）、シーソー構造に回転検査質量を少し配置するか、配置しないで、シーソー構造の重心を回転軸に近づけたり、位置させたりし、このような検査質量の分布方は、質量をより集中させ、構成がより合理的で、スプリアスモードがより少ない。
【0059】
以上は、本発明の実施形態に過ぎない。当業者にとって、本発明の創造思想から逸脱することなく、改良を行うこともできるが、これらの改良はいずれも本発明の保護範囲に含まれるとここで指摘すべきである。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
