特開 2023-106682 樹脂封止装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023106682

(43)【公開日】2023-08-02

(54)【発明の名称】樹脂封止装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20230726BHJP

   B29C 43/34 20060101ALI20230726BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 R

B29C43/34

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022007549

(22)【出願日】2022-01-21

(71)【出願人】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】弁理士法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】田上 秀作

(72)【発明者】

【氏名】柳澤 誠

【テーマコード（参考）】

4F204

5F061

【Ｆターム（参考）】

4F204AA36

4F204AC04

4F204AD19

4F204AH37

4F204FA01

4F204FB01

4F204FB17

4F204FN11

4F204FN15

4F204FN17

4F204FQ40

5F061AA01

5F061BA01

5F061BA03

5F061CA22

(57)【要約】

【課題】ワークや成形品の表面に付着した塵埃を除去して不良品の発生を防止できる樹脂封止装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る樹脂封止装置１は、ワークＷが収容されるワークストッカ１０２と、ワークＷをワークストッカ１０２からワークセット部１０４へ移動させるワーク移動部１３０と、成形品Ｗｐが収容される成形品ストッカ１０８と、成形品Ｗｐを成形品セット部１１４から成形品ストッカ１０８へ移動させる成形品移動部１３２とを備え、ワーク移動部１３０による移動途中におけるワークＷの上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対して吸引力を作用させて集塵する第１ダクト部１１７を有するワーク集塵部１１６、または、成形品移動部１３２による移動途中における成形品Ｗｐの上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対して吸引力を作用させて集塵する第２ダクト部１１９を有する成形品集塵部１１８、の少なくとも一方を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上型と下型とを有する封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する樹脂封止装置であって、
前記ワークが収容されるワークストッカと、
前記ワークストッカに隣接して配設され、前記ワークを前記ワークストッカからワークセット部へ移動させるワーク移動部と、
前記成形品が収容される成形品ストッカと、
前記成形品ストッカに隣接して配設され、前記成形品を成形品セット部から前記成形品ストッカへ移動させる成形品移動部と、を備え、
前記ワーク移動部による移動途中における前記ワークの上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第１ダクト部を有するワーク集塵部、
または、
前記成形品移動部による移動途中における前記成形品の上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第２ダクト部を有する成形品集塵部、
の少なくとも一方を備えること
を特徴とする樹脂封止装置。

【請求項2】

前記ワーク集塵部を備える場合において、
前記ワーク移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記ワークを移動させる構成を有し、
連続送りの場合には、前記ワークを移動させている状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であり、
順送りの場合には、前記ワークを前記第１ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項3】

前記成形品集塵部を備える場合において、
前記成形品移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記成形品を移動させる構成を有し、
連続送りの場合には、前記成形品を移動させている状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であり、
順送りの場合には、前記成形品を前記第２ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項4】

前記ワーク集塵部は、前記第１ダクト部の吸引力によって前記ワークが上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有すること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項5】

前記成形品集塵部は、前記第２ダクト部の吸引力によって前記成形品が上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有すること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項6】

前記ワーク集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有すること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項7】

前記成形品集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有すること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂封止装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基材に電子部品が搭載されたワークを封止樹脂（以下、単に「樹脂」と称する場合がある）により封止して成形品に加工する樹脂封止装置の例として、トランスファ成形方式や圧縮成形方式によるものが知られている。

【0003】

トランスファ成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる二個の上下型の封止領域（キャビティ）に所定量の樹脂を供給するポットを設け、当該各封止領域に対応する位置にワークをそれぞれ配置して、上型と下型とでクランプしポットからキャビティに樹脂を流し込む操作によって樹脂封止する技術である。また、圧縮成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる封止領域（キャビティ）に所定量の樹脂を供給すると共に当該封止領域にワークを配置して、上型と下型とでクランプする操作によって樹脂封止する技術である。一例として、上型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、ワーク上の中心位置に一括して樹脂を供給して成形する技術等が知られている。一方、下型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、当該キャビティを含む金型面を覆うフィルム及び樹脂を供給して成形する技術等が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１－１８７４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで、従来の樹脂封止装置において、ワークの表面に塵埃が付着すると、成形時（樹脂封止時）に封止金型が噛み込み、成形不良を生じさせるという課題がある。特に、供給機構として複数のワークを一括収容するストッカを備える装置の場合には、ストッカの運搬もしくはセット時に上下反転されることが少なからずあり、その動作に起因して、当該ストッカの内部に収容されたワーク同士で、例えば、ワークの電子部品に付着した塵埃が落下して、別のワークの基材に付着するといったケースが生じ易い。

【0006】

一方、樹脂封止後の成形品に塵埃が付着すると、当該成形品が組み込まれる製品において動作不良を生じさせるという課題がある。

【0007】

これらの課題に対し、封止金型のクリーニングを行うことによって塵埃を除去しようとする技術等が開示されている（特許文献１：特開２０１１－１８７４５号公報参照）。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、ワークの表面に付着した塵埃を除去して成形不良の発生を防止でき、また、成形品の表面に付着した塵埃を除去して動作不良の発生を防止できる樹脂封止装置を提供することを目的とする。

【0009】

本発明は、一実施形態として以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。

【0010】

本発明に係る樹脂封止装置は、上型と下型とを有する封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する樹脂封止装置であって、前記ワークが収容されるワークストッカと、前記ワークストッカに隣接して配設され、前記ワークを前記ワークストッカからワークセット部へ移動させるワーク移動部と、前記成形品が収容される成形品ストッカと、前記成形品ストッカに隣接して配設され、前記成形品を成形品セット部から前記成形品ストッカへ移動させる成形品移動部と、を備え、前記ワーク移動部による移動途中における前記ワークの上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第１ダクト部を有するワーク集塵部、または、前記成形品移動部による移動途中における前記成形品の上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第２ダクト部を有する成形品集塵部、の少なくとも一方を備えることを要件とする。

【0011】

ワーク集塵部を備える構成によれば、ワークにおける吸引対象面に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。また、成形品集塵部を備える構成によれば、成形品における吸引対象面に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。

【0012】

また、前記ワーク集塵部を備える場合において、前記ワーク移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記ワークを移動させる構成を有し、連続送りの場合には、前記ワークを移動させている状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であり、順送りの場合には、前記ワークを前記第１ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であることが好ましい。また、前記成形品集塵部を備える場合において、前記成形品移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記成形品を移動させる構成を有し、連続送りの場合には、前記成形品を移動させている状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であり、順送りの場合には、前記成形品を前記第２ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であることが好ましい。これによれば、連続送りの際には、吸引対象面に対して移動方向に沿って均等に吸引力を作用させることができ、特に移動方向端部の吸引不足を防ぐことができる。また、順送りの際には、吸引対象面に対して長い時間吸引力を作用させることができ、集塵効果を高めることができる。

【0013】

また、前記ワーク集塵部は、前記第１ダクト部の吸引力によって前記ワークが上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有することが好ましい。また、前記成形品集塵部は、前記第２ダクト部の吸引力によって前記成形品が上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有することが好ましい。これによれば、吸引時に、ワークや成形品が所定の移動経路から逸脱してしまうことが防止できる。

【0014】

また、前記ワーク集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有することが好ましい。また、成形品集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有することが好ましい。これによれば、吸引のみでは除去困難な塵埃に対しても、こすり取るようにして除去することができる。あるいは、圧縮エアやイオンエアを吹き付けて、もしくは超音波を放射して塵埃を浮かせて除去することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、ワークの表面に付着した塵埃を除去して成形不良の発生を防止することができる。また、成形品の表面に付着した塵埃を除去して動作不良の発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の例を示す平面図である。

【図2】図１の樹脂封止装置のワーク集塵部の例を示す側面図である。

【図3】図１の樹脂封止装置のワーク集塵部の他の例を示す側面図である。

【図4】図１の樹脂封止装置のワーク集塵部の他の例を示す側面図である。

【図5】図１の樹脂封止装置の型開閉機構、封止金型、ローダの例を示す側面図である。

【図6】図１の樹脂封止装置の成形品集塵部の例を示す側面図である。

【図7】図１の樹脂封止装置の成形品集塵部の他の例を示す側面図である。

【図8】図１の樹脂封止装置の成形品集塵部の他の例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（全体構成）
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。図１は、本実施形態に係る樹脂封止装置１の例を示す平面図（概略図）である。尚、説明の便宜上、図中において矢印により樹脂封止装置１における前後、左右、上下の方向を説明する場合がある。また、各実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰返しの説明は省略する場合がある。

【0018】

本実施形態に係る樹脂封止装置１として、キャビティが設けられた上型と、下型とを備える封止金型を用いて、複数個（一例として、二個）のワークを一括して樹脂で封止し、複数個（一例として、二個）の成形品を形成する圧縮成形装置を例に挙げて説明する。但し、この構成に限定されるものではない。

【0019】

先ず、成形対象であるワークＷは、基材に複数個の電子部品が搭載された構成を備えている。より具体的には、基材の例として、長方形状、円形状等に形成された樹脂基板、セラミックス基板、金属基板、キャリアプレート、リードフレーム、ウェハ等の板状部材が挙げられる。また、電子部品の例として、半導体チップ、ＭＥＭＳチップ、受動素子、放熱板、導電部材、スペーサ等が挙げられる。但し、これらに限定されるものではない。

【0020】

基材に電子部品を搭載する方法の例として、ワイヤボンディング実装、フリップチップ実装等による搭載方法がある。あるいは、樹脂封止後に成形品Ｗｐから基材（ガラス製や金属製のキャリアプレート）を剥離する構成の場合には、熱剥離性を有する粘着テープや紫外線照射により硬化する紫外線硬化性樹脂を用いて電子部品を貼付ける方法もある。

【0021】

一方、樹脂Ｒの例として、顆粒状（円柱状等を含む）、粉砕状、もしくは粉末状（本願において「粒状」と総称する場合がある）の熱硬化性樹脂（例えば、フィラー含有のエポキシ系樹脂等）が用いられる。尚、樹脂Ｒは、上記の状態に限定されるものではなく、液状、板状、シート状等、他の状態（形状）であってもよく、エポキシ系熱硬化性樹脂以外の樹脂であってもよい。

【0022】

続いて、本実施形態に係る樹脂封止装置１の概要について説明する。図１に示すように、樹脂封止装置１は、左から順に、ワークＷの供給を主に行うワーク供給ユニット１００Ａ、樹脂Ｒの供給を主に行う樹脂供給ユニット１００Ｂ、ワークＷを樹脂封止して成形品Ｗｐへの加工を主に行うプレスユニット１００Ｃ（一例として、二台）、及び樹脂封止後の成形品Ｗｐの収納を主に行う成形品収納ユニット１００Ｄを主要構成として備えている。但し、この構成に限定されるものではなく、各ユニットの構成変更や、他のユニットの追加等、適宜、変更することができる。

【0023】

また、樹脂封止装置１は、各ユニット間を移動して、ワークＷ、樹脂Ｒ、及び成形品Ｗｐの搬送を行う搬送装置１００Ｅを備えている。一例として、搬送装置１００Ｅは、ガイドレール１２６及び当該ガイドレール１２６に沿って往復動するローダ１２４を備えて構成されている。尚、変形例として、ローダ１２４とは別に封止金型２０２への搬入・搬出を行うローダを備える構成としてもよい（不図示）。

【0024】

本実施形態に係るローダ１２４は、ワークＷ（本実施形態では、樹脂Ｒが載置された状態）を保持可能なワーク保持部１２４Ａ、及び成形品Ｗｐを保持可能な成形品保持部１２４Ｂを備えている。ここで、ワーク保持部１２４Ａ及び成形品保持部１２４Ｂには、公知の保持機構（例えば、保持爪を有して挟持する構成、吸引装置に連通する吸引孔を有して吸着する構成、等）が用いられる（不図示）。但し、この構成に限定されるものではない。尚、ローダ１２４に関して、ワーク保持部１２４Ａとは別の成形品保持部１２４Ｂを独立に設けたローダ形状で独立に動くことのできるアンローダを設けてもよい（不図示）。

【0025】

（ワーク供給ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備えるワーク供給ユニット１００Ａについて説明する。ここで、図２にワーク供給ユニット１００Ａの主要構成の側面図（概略図）を示す。

【0026】

図１、図２に示すように、ワーク供給ユニット１００Ａは、ワークＷの収容に用いられるワークストッカ１０２と、ワークＷを保持（載置）するワークセット部（例えば、テーブル）１０４と、ワークストッカ１０２に隣接して配設され、ワークＷをワークストッカ１０２からワークセット部１０４へ移動させるワーク移動部１３０と、を備えている。当該ワークストッカ１０２には、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられ、複数個のワークＷを一括して収容可能となっている。尚、ワークセット部１０４に載置されるワークＷの個数は二個に限定されるものではない。

【0027】

また、ワーク供給ユニット１００Ａは、ワーク移動部１３０による移動途中におけるワークＷの上面及び下面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第１ダクト部１１７を有するワーク集塵部１１６を備えている。具体的に、第１ダクト部１１７は、管状部材を用いて形成されており、吸引装置（不図示）に接続されると共に、先端の開口部１１７ａがワークＷの上面及び下面に対して所定距離離間した位置に配置されている。これにより、ワークＷにおける吸引対象面（ここでは、上面及び下面）に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。尚、変形例として、第１ダクト部１１７は、ワークＷの上面もしくは下面の一方の面に対してのみ設ける構成としてもよい（不図示）。また、別の変形例として、上下の一方を清浄エアの吹き付け側とし、他方を吸引する側としてもよい（不図示）。

【0028】

上記のように、ワークＷに対して吸引力を作用させる構成であるため、ワーク集塵部１１６は、第１ダクト部１１７の吸引力によってワークＷが上下方向に移動しないように規制するガード部（不図示）を備える構成とすることが好適である。これにより、吸引時に、ワークＷが所定の移動経路から逸脱してしまうことが防止できる。尚、ガード部の構成は特に限定されないが、ガードレール、押さえローラ、把持クリップ等を用いることができる。

【0029】

一方、ワーク移動部１３０は、レール１３０Ａ、プッシャ１３０Ｂ、及び牽引グリップ１３０Ｃを備えて構成されている。これにより、プッシャ１３０Ｂを用いてワークストッカ１０２からワークＷを押し出し、次いで、牽引グリップ１３０Ｃを用いてワークＷをレール１３０Ａ上で移動させることができる。但し、ワーク移動部１３０は、この構成に限定されるものではなく、コンベアを備える構成や、ローラ及びベルトを備える構成等としてもよい。さらに、公知のピックアップやエレベータ等を並設する構成としてもよい（いずれも不図示）。

【0030】

本実施形態に係るワーク移動部１３０は、「連続送り」、及び「順送り」のいずれの移動方式も実施可能に構成されている。したがって、「連続送り」の場合には、ワークＷを移動させている状態で（すなわち、移動させながら）、ワーク集塵部１１６によって当該ワークＷの集塵を行うことができる。これにより、ワークＷの移動方向に沿って均等に吸引力を作用させることができ、特にワークＷにおける移動方向端部の吸引不足を防ぐことができる。また、「順送り」の場合には、ワークＷを第１ダクト部１１７の先端の開口部１１７ａと平面視において一致（一例として、相互の中心が一致）する位置で停止させた状態で、ワーク集塵部１１６によって当該ワークＷの集塵を行うことができる。これにより、ワークＷにおける吸引対象面に長い時間吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果を高めることができる。

【0031】

ここで、ワーク集塵部１１６の他の実施形態を図３に示す。具体的に、第１ダクト部１１７の先端の開口部１１７ａが、ワークＷの吸引対象面と平面視で同程度の大きさに拡張された構成を備えている。この構成によれば、特に、ワークＷを順送りする場合に、ワークＷにおける吸引対象面の全域に吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果をより一層、高めることができる。

【0032】

また、ワーク集塵部１１６の他の実施形態を図４に示す。具体的に、ワークＷにおける集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部１２０を備えている。この構成によれば、吸引のみでは除去困難な塵埃に対しても、こすり取るようにして除去することができる。さらに、別の実施形態として、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部を設けてもよい（いずれも不図示）。この構成によれば、例えば、ブラシ部が設置できない場合や、ブラシ部の摺接が適切でないワークＷである場合等において、圧縮エアやイオンエアを吹き付けて、もしくは超音波を放射して塵埃を浮かせて除去することができる。尚、上記のブラシ部１２０、吹き付け部、放射部は、第１ダクト部１１７の先端に設けてもよく、あるいは、別個に設けてもよい。

【0033】

上記構成を備えるワーク供給ユニット１００Ａにおける動作概要は次の通りである。先ず、ワーク移動部１３０によってワークストッカ１０２からワークＷが移動される。当該移動の途中時点で、ワーク集塵部１１６によって塵埃の除去が行われた後、ワークＷがワークセット部１０４上に載置される。次いで、ワークセット部１０４上に載置されたワークＷが、ローダ１２４によって保持されて樹脂供給ユニット１００Ｂへ搬送される。

【0034】

（樹脂供給ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備える樹脂供給ユニット１００Ｂについて説明する。

【0035】

本実施形態に係る樹脂供給ユニット１００Ｂは、ワークＷを保持（載置）するワークセット部（例えば、テーブル）１０６と、樹脂Ｒを供給する樹脂供給部１４０とを備えている。これにより、ワークセット部１０６上に載置されたワークＷの上面に、樹脂供給部１４０から設定量の樹脂Ｒが供給される。

【0036】

尚、他の実施形態として、ワークＷとは別に、樹脂Ｒを直接、封止金型２０２内へ搬入する樹脂ローダを備える構成としてもよい（不図示）。あるいは、樹脂供給ユニット１００Ｂを個別に設けずに、ワーク供給ユニット１００Ａのワークセット部１０４にワークＷが載置された状態で、当該ワークＷ上に樹脂Ｒを供給する構成としてもよい（不図示）。

【0037】

上記構成を備える樹脂供給ユニット１００Ｂにおける動作概要は次の通りである。先ず、ローダ１２４によってワーク供給ユニット１００Ａから搬入されたワークＷが、ワークセット部１０６上に載置される。次いで、ワークセット部１０６上に載置されたワークＷの上面に、樹脂供給部１４０から設定量の樹脂Ｒが供給される。次いで、上面に樹脂Ｒが供給（搭載）されたワークＷが、ローダ１２４によって保持されてプレスユニット１００Ｃへ搬送される。

【0038】

（プレスユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備えるプレスユニット１００Ｃについて説明する。ここで、図５に樹脂封止装置１の型開閉機構２５０、封止金型２０２、及びローダ１２４の側面図（概略図）を示す。

【0039】

プレスユニット１００Ｃは、開閉される一対の金型として、鉛直方向上方側の上型２０４と下方側の下型２０６とを有する封止金型２０２を備えている。本実施形態においては、上型２０４の下面にキャビティ２０８が設けられると共に、対応する下型２０６の上面にワーク保持部２０５が設けられている。但し、この構成に限定されるものではなく、上型２０４に代えて、もしくは、上型２０４と共に、下型２０６の上面にキャビティが設けられる構成としてもよい（不図示）。

【0040】

また、封止金型２０２は、公知の型開閉機構２５０によって型開閉が行われる。一例として図５に示すように、型開閉機構２５０は、一対のプラテン２５２、２５４と、一対のプラテン２５２、２５４が架設される複数の連結機構２５６と、プラテン２５４を可動（昇降）させる駆動源（例えば、電動モータ）２６０及び駆動伝達機構（例えば、ボールねじやトグルリンク機構）２６２等を備えて構成されている。

【0041】

上記構成を備えるプレスユニット１００Ｃにおける動作概要は次の通りである。先ず、ローダ１２４によって樹脂供給ユニット１００Ｂから搬入されたワークＷが、封止金型２０２内の所定位置（本実施形態では、下型２０６のワーク保持部２０５）に保持される。次いで、型閉じを行ってワークＷが樹脂封止されて成形品Ｗｐに加工される。次いで、型開きした封止金型２０２内から取り出され成形品Ｗｐが、ローダ１２４によって保持されて成形品収納ユニット１００Ｄへ搬送される。尚、樹脂封止の際に、適宜、公知のリリースフィルム（不図示）を用いてもよい。

【0042】

（成形品収納ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備える成形品収納ユニット１００Ｄについて説明する。ここで、図６に成形品収納ユニット１００Ｄの主要構成の側面図（概略図）を示す。

【0043】

図１、図６に示すように、成形品収納ユニット１００Ｄは、成形品Ｗｐの収容に用いられる成形品ストッカ１０８と、成形品Ｗｐを保持（載置）する成形品セット部（例えば、テーブル）１１４と、成形品ストッカ１０８に隣接して配設され、ワークＷを成形品セット部１１４から成形品ストッカ１０８へ移動させる成形品移動部１３２と、を備えている。当該成形品ストッカ１０８には、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられ、複数個の成形品Ｗｐを一括して収容可能となっている。尚、成形品セット部１１４に載置される成形品Ｗｐの個数は二個に限定されるものではない。

【0044】

また、成形品収納ユニット１００Ｄは、成形品移動部１３２による移動途中における成形品Ｗｐの上面及び下面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第２ダクト部１１９を有する成形品集塵部１１８を備えている。具体的に、第２ダクト部１１９は、管状部材を用いて形成されており、吸引装置（不図示）に接続されると共に、先端の開口部１１９ａが成形品Ｗｐの上面及び下面に対して所定距離離間した位置に配置されている。これにより、成形品Ｗｐにおける吸引対象面（ここでは、上面及び下面）に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。尚、変形例として、第２ダクト部１１９は、成形品Ｗｐの上面もしくは下面の一方の面に対してのみ設ける構成としてもよい（不図示）。また、別の変形例として、上下の一方を清浄エアの吹き付け側とし、他方を吸引する側としてもよい（不図示）。

【0045】

上記のように、成形品Ｗｐに対して吸引力を作用させる構成であるため、成形品集塵部１１８は、第２ダクト部１１９の吸引力によって成形品Ｗｐが上下方向に移動しないように規制するガード部（不図示）を備える構成とすることが好適である。これにより、吸引時に、成形品Ｗｐが所定の移動経路から逸脱してしまうことが防止できる。尚、ガード部の構成は特に限定されないが、ガードレール、押さえローラ、把持クリップ等を用いることができる。

【0046】

一方、成形品移動部１３２は、レール１３２Ａ、及びプッシャ１３２Ｂを備えて構成されている。これにより、プッシャ１３２Ｂを用いて成形品Ｗｐを押してレール１３２Ａ上から移動させ、成形品ストッカ１０８へ収容することができる。但し、成形品移動部１３２は、この構成に限定されるものではなく、コンベアを備える構成や、ローラ及びベルトを備える構成等としてもよい。さらに、公知のピックアップやエレベータ等を並設する構成としてもよい（いずれも不図示）。

【0047】

本実施形態に係る成形品移動部１３２は、「連続送り」、及び「順送り」のいずれの移動方式も実施可能に構成されている。したがって、「連続送り」の場合には、成形品Ｗｐを移動させている状態で（すなわち、移動させながら）、成形品集塵部１１８によって当該成形品Ｗｐの集塵を行うことができる。これにより、成形品Ｗｐの移動方向に沿って均等に吸引力を作用させることができ、特に成形品Ｗｐにおける移動方向端部の吸引不足を防ぐことができる。また、「順送り」の場合には、成形品Ｗｐを第２ダクト部１１９の先端の開口部１１９ａと平面視において一致（一例として、相互の中心が一致）する位置で停止させた状態で、成形品集塵部１１８によって当該成形品Ｗｐの集塵を行うことができる。これにより、成形品Ｗｐにおける吸引対象面に長い時間吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果を高めることができる。

【0048】

ここで、成形品集塵部１１８の他の実施形態を図７に示す。具体的に、第２ダクト部１１９の先端の開口部１１９ａが、成形品Ｗｐの吸引対象面と平面視で同程度の大きさに拡張された構成を備えている。この構成によれば、特に、成形品Ｗｐを順送りする場合に、成形品Ｗｐにおける吸引対象面の全域に吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果をより一層、高めることができる。

【0049】

また、成形品集塵部１１８の他の実施形態を図８に示す。具体的に、成形品Ｗｐにおける集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部１２１を備えている。この構成によれば、吸引のみでは除去困難な塵埃に対しても、こすり取るようにして除去することができる。さらに、別の実施形態として、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部を設けてもよい（いずれも不図示）。この構成によれば、例えば、ブラシ部が設置できない場合や、ブラシ部の摺接が適切でない成形品Ｗｐである場合等において、圧縮エアやイオンエアを吹き付けて、もしくは超音波を放射して塵埃を浮かせて除去することができる。尚、上記のブラシ部１２１、吹き付け部、放射部は、第２ダクト部１１９の先端に設けてもよく、あるいは、別個に設けてもよい。

【0050】

上記構成を備える成形品収納ユニット１００Ｄにおける動作概要は次の通りである。
先ず、ローダ１２４によって成形品Ｗｐが成形品セット部１１４上に載置される。次いで、成形品移動部１３２によって成形品セット部１１４上に載置された成形品Ｗｐが移動される。当該移動の途中時点で、成形品集塵部１１８によって塵埃の除去が行われた後、成形品Ｗｐが成形品ストッカ１０８へ収容される。

【0051】

以上、説明した通り、本発明に係る樹脂封止装置によれば、ワークの表面に付着した塵埃を除去して成形不良の発生を防止することができる。また、成形品の表面に付着した塵埃を除去して動作不良の発生を防止することができる。

【0052】

尚、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、上記の実施形態においては、ワーク集塵部及び成形品集塵部の両方を備える構成を例に挙げて説明したが、いずれか一方のみを備える構成としてもよい。

【0053】

また、上記の実施形態においては、上型にキャビティを備える圧縮成形装置を例に挙げて説明したが、下型にキャビティを備える圧縮成形装置にも適用可能である。さらに、圧縮成形装置に限定されるものではなく、トランスファ成形装置にも適用可能である。

【符号の説明】

【0054】

１ 樹脂封止装置
１１６ ワーク集塵部
１１７ 第１ダクト部
１１８ 成形品集塵部
１１９ 第２ダクト部
１３０ ワーク移動部
１３２ 成形品移動部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】