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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023107415
(43)【公開日】2023-08-03
(54)【発明の名称】テンション計測装置及びテンション計測方法
(51)【国際特許分類】
G01L 5/10 20200101AFI20230727BHJP
B21C 51/00 20060101ALI20230727BHJP
G01L 5/102 20200101ALI20230727BHJP
G03F 1/62 20120101ALI20230727BHJP
【ＦＩ】
G01L5/10 C
B21C51/00 C
B21C51/00 J
B21C51/00 R
G01L5/102
G03F1/62
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022008610
(22)【出願日】2022-01-24
(71)【出願人】
【識別番号】500171707
【氏名又は名称】株式会社ブイ・テクノロジー
(74)【代理人】
【識別番号】110001520
【氏名又は名称】弁理士法人日誠国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】米澤 良
【テーマコード（参考）】
2F051
2H195
【Ｆターム（参考）】
2F051AA21
2F051AB04
2H195BC32
2H195BD08
(57)【要約】
【課題】気体の噴射以外の要因でペリクル膜が揺れてしまう場合であっても、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を正確に計測することができるテンション計測装置及びテンション計測方法を提供すること。
【解決手段】ペリクル膜に圧縮空気を噴射するエアノズルと、噴射された圧縮空気による直交方向へのペリクル膜の変位を計測する第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と、ペリクル膜上において、噴射された圧縮空気による変位が生じる領域外における直交方向へのペリクル膜の変位を計測する第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５と、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測されたペリクル膜の変位と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位との差分に基づいてペリクル膜にかかっているテンションを計測する制御部と、を備える。
【選択図】図６
【解決手段】ペリクル膜に圧縮空気を噴射するエアノズルと、噴射された圧縮空気による直交方向へのペリクル膜の変位を計測する第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と、ペリクル膜上において、噴射された圧縮空気による変位が生じる領域外における直交方向へのペリクル膜の変位を計測する第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５と、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測されたペリクル膜の変位と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位との差分に基づいてペリクル膜にかかっているテンションを計測する制御部と、を備える。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定の張力のかかったペリクル膜に気体を噴射するノズルと、
前記ノズルを中心として同心円上に前記ペリクル膜が前記張力を受けている方向である張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ設けられ、前記ノズルから噴射された前記気体による、前記張力方向に直交する直交方向への前記ペリクル膜の変位を計測する第１の超音波センサと、
前記ペリクル膜上において、前記ノズルから噴射された前記気体による変位が生じる領域外における前記直交方向への前記ペリクル膜の変位を計測する複数の第２の超音波センサと、
前記第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測する制御部と、を備えるテンション計測装置。
前記ノズルを中心として同心円上に前記ペリクル膜が前記張力を受けている方向である張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ設けられ、前記ノズルから噴射された前記気体による、前記張力方向に直交する直交方向への前記ペリクル膜の変位を計測する第１の超音波センサと、
前記ペリクル膜上において、前記ノズルから噴射された前記気体による変位が生じる領域外における前記直交方向への前記ペリクル膜の変位を計測する複数の第２の超音波センサと、
前記第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測する制御部と、を備えるテンション計測装置。
【請求項2】
前記第１の超音波センサは、前記ノズルを中心として同心円上に前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に前記ノズルを挟んで２つ設けられる請求項１に記載のテンション計測装置。
【請求項3】
前記制御部は、所定の微小圧の前記気体を、パルス状に前記ペリクル膜に噴射する請求項１または請求項２に記載のテンション計測装置。
【請求項4】
前記制御部は、前記気体を噴射した後の前記ペリクル膜が最大に変位した時から最大変化量の半分まで戻る時間を半戻り時間として計測し、前記半戻り時間に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測する請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
【請求項5】
前記ペリクル膜は、複数の方向に前記張力を受けており、前記複数の方向それぞれに、前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ前記第１の超音波センサが設けられ、
前記制御部は、前記気体を噴射した後の前記ペリクル膜が最大に変位した時の最大変化量を計測し、前記最大変化量に基づいて前記ペリクル膜にかかっている複数の前記張力の異方性を計測する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
前記制御部は、前記気体を噴射した後の前記ペリクル膜が最大に変位した時の最大変化量を計測し、前記最大変化量に基づいて前記ペリクル膜にかかっている複数の前記張力の異方性を計測する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
【請求項6】
前記ノズルの近傍において超音波を反射する反射部を、さらに備え、
前記第１の超音波センサは、前記ノズルに対して前記反射部よりも離隔した位置に配置されている請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
前記第１の超音波センサは、前記ノズルに対して前記反射部よりも離隔した位置に配置されている請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
【請求項7】
前記直線上であって前記第１の超音波センサと前記ノズルの中心との間に、前記ノズルから噴射される前記気体の噴射方向に対して傾斜した傾斜面を有する傾斜部材を、さらに備え、
前記反射部は、前記傾斜面によって構成されており、
前記第１の超音波センサは、前記傾斜面で反射した超音波を受信可能なように受信面を前記傾斜面に向けて設置されている請求項６に記載のテンション計測装置。
前記反射部は、前記傾斜面によって構成されており、
前記第１の超音波センサは、前記傾斜面で反射した超音波を受信可能なように受信面を前記傾斜面に向けて設置されている請求項６に記載のテンション計測装置。
【請求項8】
前記第１の超音波センサを支持する支持部材を、さらに備え、
前記支持部材は、前記第１の超音波センサの前記反射部に対する角度を調整可能に構成されている請求項６又は請求項７に記載のテンション計測装置。
前記支持部材は、前記第１の超音波センサの前記反射部に対する角度を調整可能に構成されている請求項６又は請求項７に記載のテンション計測装置。
【請求項9】
前記傾斜部材は、前記ノズルを収容する中空部を有する請求項７に記載のテンション計測装置。
【請求項10】
前記第１の超音波センサの超音波の伝搬路の長さと、前記第２の超音波センサの超音波の伝搬路の長さと、が同一となるよう、前記第１の超音波センサと前記第２の超音波センサとが配置されていることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
【請求項11】
前記第１の超音波センサは、前記ノズルを中心として同心円上に４つ設けられ、
前記第２の超音波センサは、前記ノズルを中心として前記第１の超音波センサとは異なる同心円上に４つ設けられ、
前記第１の超音波センサと前記第２の超音波センサとは、前記ノズルを中心とした円周方向に交互に配置され、
前記制御部は、一の第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分を求めるにあたり、前記４つの第２の超音波センサにより計測された前記ペリクル膜の変位のそれぞれに対し、前記一の第１の超音波センサとの距離に応じた重み付けをし、当該重み付けされた前記ペリクル膜の変位の加重平均を求め、当該加重平均を、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位とみなすことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
前記第２の超音波センサは、前記ノズルを中心として前記第１の超音波センサとは異なる同心円上に４つ設けられ、
前記第１の超音波センサと前記第２の超音波センサとは、前記ノズルを中心とした円周方向に交互に配置され、
前記制御部は、一の第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分を求めるにあたり、前記４つの第２の超音波センサにより計測された前記ペリクル膜の変位のそれぞれに対し、前記一の第１の超音波センサとの距離に応じた重み付けをし、当該重み付けされた前記ペリクル膜の変位の加重平均を求め、当該加重平均を、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位とみなすことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のテンション計測装置。
【請求項12】
所定の張力のかかったペリクル膜に気体をノズルから噴射するステップと、
前記ノズルから噴射された前記気体による、前記ペリクル膜が前記張力を受けている方向である張力方向に直交する直交方向への前記ペリクル膜の変位を、前記ノズルを中心として同心円上に前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ設けられる第１の超音波センサにより計測するステップと、
前記ペリクル膜上において、前記ノズルから噴射された前記気体による変位が生じる領域外における前記直交方向への前記ペリクル膜の変位を複数の第２の超音波センサにより計測するステップと、
前記第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測するステップと、を備えるテンション計測方法。
前記ノズルから噴射された前記気体による、前記ペリクル膜が前記張力を受けている方向である張力方向に直交する直交方向への前記ペリクル膜の変位を、前記ノズルを中心として同心円上に前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ設けられる第１の超音波センサにより計測するステップと、
前記ペリクル膜上において、前記ノズルから噴射された前記気体による変位が生じる領域外における前記直交方向への前記ペリクル膜の変位を複数の第２の超音波センサにより計測するステップと、
前記第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測するステップと、を備えるテンション計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ペリクル膜などの張設された膜のテンションを計測するテンション計測装置及びテンション計測方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体素子、液晶表示素子などのデバイスを製造するためのフォトグラフィ工程では、マスクに形成された回路パターンの像を、露光装置の光学系を介して感光基板上のレジスト層に転写する。
【0003】
マスクには、一般に、パターン領域への塵埃などの異物の付着を防止するために、パターン領域を囲んで配設されるペリクルフレームに、パターン領域を覆うようにペリクル膜を張設している。
【0004】
ペリクル膜は、ペリクルフレームに所定のテンションで張設されている必要があり、また、縦横のテンションは同等であることが望ましい。
【0005】
ペリクル膜は、長方形のペリクルフレームに架設される。架設する際に、ペリクルフレームの長辺と短辺のそれぞれに平行な方向（縦方向及び横方向）にペリクルを引っ張りながらペリクルフレームに接着する。
【0006】
このとき、縦方向と横方向のテンションが同等であることが望ましく、縦方向のテンションと横方向のテンションの違いである異方性を計測することが求められる。
【0007】
また、ペリクル膜は、ミクロンオーダーの非常に薄い膜なので、接触してテンションを計測することは不可能であり、非接触でテンションを計測することが求められる。
【0008】
従来、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を計測する装置として、特許文献１に記載のテンション計測装置が知られている。このテンション計測装置では、ペリクル膜に圧縮空気を噴射して、そのときのペリクル膜の変化を４つの超音波センサによって検出することで、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を計測する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【特許文献1】特開２０２１－１７９５９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
ところが、特許文献１に記載のテンション計測装置にあっては、ペリクル膜のテンションやテンションの異方性の計測時に、圧縮空気以外の要因でペリクル膜が揺れてしまうと、ペリクル膜のテンションやテンションの異方性の計測が正確に行えないおそれがあった。
【0011】
例えば、ペリクル膜のテンション計測装置が設けられるクリーンルームにおいては、空調・気流方式として主としてダウンフロー方式が採用されているため、ダウンフローによってペリクル膜が揺れてしまうことがある。ダウンフローの影響によりペリクル膜が揺れてしまうと、ペリクル膜のテンションやテンションの異方性の計測が正確に行えない。
【0012】
ここで、ダウンフローにより生じるペリクル膜の揺れよりも、テンション計測装置からの圧縮空気の噴射により生じるペリクル膜の揺れの振幅が十分大きければ、上記のような問題は生じない。しかしながら、ペリクル膜に対して上記問題が生じないような強い圧縮空気の噴射を行うと、ペリクル膜に塑性変形や破壊が生じてしまう。このため、現実的には、ダウンフローにより生じるペリクル膜の揺れの振幅が、テンション計測装置からの圧縮空気の噴射により生じるペリクル膜の揺れの振幅と、同程度か、又は大きくなるような条件での計測しか行えない。このような制約の下、ペリクル膜のテンションを計測可能な計測装置や計測方法が必要である。
【0013】
本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、気体の噴射以外の要因でペリクル膜が揺れてしまう場合であっても、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を正確に計測することができるテンション計測装置及びテンション計測方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0014】
本発明のテンション計測装置は、所定の張力のかかったペリクル膜に気体を噴射するノズルと、前記ノズルを中心として同心円上に前記ペリクル膜が前記張力を受けている方向である張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ設けられ、前記ノズルから噴射された前記気体による、前記張力方向に直交する直交方向への前記ペリクル膜の変位を計測する第１の超音波センサと、前記ペリクル膜上において、前記ノズルから噴射された前記気体による変位が生じる領域外における前記直交方向への前記ペリクル膜の変位を計測する複数の第２の超音波センサと、前記第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測する制御部と、を備える。
【0015】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、ノズルから噴射された気体によるペリクル膜の張力方向に直交する直交方向への変位が第１の超音波センサにより計測され、ペリクル膜にかかっている張力が計測される。このため、非接触でペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0016】
また、本発明のテンション計測装置は、ペリクル膜上において、ノズルから噴射された気体による変位が生じる領域外における直交方向へのペリクル膜の変位を計測する複数の第２の超音波センサを設け、第１の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位と、第２の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位と、の差分に基づいてペリクル膜にかかっている張力を計測するよう構成されている。
【0017】
これにより、本発明のテンション計測装置は、例えばクリーンルーム内のダウンフロー等の気体の噴射以外の要因でペリクル膜が揺れてしまう場合であっても、気体の噴射以外の要因によって生じたペリクル膜の変位の影響を排除でき、気体の噴射によるペリクル膜の変位を正確に測定することができる。この結果、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を正確に計測することができる。
【0018】
また、本発明のテンション計測装置において、前記第１の超音波センサは、前記ノズルを中心として同心円上に前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に前記ノズルを挟んで２つ設けられる構成を有する。
【0019】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、ペリクル膜がテンションを受けている張力方向の、気体が噴射される位置の両側でペリクル膜の変化を計測することができ、精度良くペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0020】
また、本発明のテンション計測装置において、前記制御部は、所定の微小圧の前記気体を、パルス状に前記ペリクル膜に噴射する構成を有する。
【0021】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、ペリクル膜にダメージを与えずに、音波に対する影響を抑えて、精度良くペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0022】
また、本発明のテンション計測装置において、前記制御部は、前記気体を噴射した後の前記ペリクル膜が最大に変位した時から最大変化量の半分まで戻る時間を半戻り時間として計測し、前記半戻り時間に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測する構成を有する。
【0023】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、気体の噴射圧の変動の影響を抑え、精度良くペリクル膜のテンションを計測することができる。
【0024】
また、本発明のテンション計測装置において、前記ペリクル膜は、複数の方向に前記張力を受けており、前記複数の方向それぞれに、前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ前記第１の超音波センサが設けられ、前記制御部は、前記気体を噴射した後の前記ペリクル膜が最大に変位した時の最大変化量を計測し、前記最大変化量に基づいて前記ペリクル膜にかかっている複数の前記張力の異方性を計測する構成を有する。
【0025】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、テンションのかかっている方向の相互の影響を抑え、精度良くペリクル膜の複数のテンションの異方性を計測することができる。
【0026】
また、本発明のテンション計測装置は、前記ノズルの近傍において超音波を反射する反射部を、さらに備え、前記第１の超音波センサは、前記ノズルに対して前記反射部よりも離隔した位置に配置されている構成を有する。
【0027】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、ノズルの中心と、第１の超音波センサの中心を通り第１の超音波センサの送受信面に直交する中心線と、の距離を小さくすることができる。このため、ノズルの中心に対向する位置に近く、かつテンションの異方性を正確に計測可能なペリクル膜の変形を第１の超音波センサによって計測できる。これにより、ペリクル膜のテンションの異方性を正確に計測できる程度の変形量を計測することができる。
【0028】
また、本発明のテンション計測装置は、前記直線上であって前記第１の超音波センサと前記ノズルの中心との間に、前記ノズルから噴射される前記気体の噴射方向に対して傾斜した傾斜面を有する傾斜部材を、さらに備え、前記反射部は、前記傾斜面によって構成されており、前記第１の超音波センサは、前記傾斜面で反射した超音波を受信可能なように受信面を前記傾斜面に向けて設置されている構成を有する。
【0029】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、傾斜部材の傾斜面によって超音波を反射させることで、第１の超音波センサをノズルから離した位置に配置しても、ノズルの中心に対向する位置に近く、かつテンションの異方性を正確に計測可能なペリクル膜の変形を第１の超音波センサによって計測することができる。
【0030】
また、本発明のテンション計測装置は、前記第１の超音波センサを支持する支持部材を、さらに備え、前記支持部材は、前記第１の超音波センサの前記反射部に対する角度を調整可能に構成されている。
【0031】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、超音波が当たるペリクル膜の位置を調整することができる。これにより、第１の超音波センサがペリクル膜の変形を計測する位置を調整することができる。
【0032】
また、本発明のテンション計測装置において、前記傾斜部材は、前記ノズルを収容する中空部を有する。
【0033】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、ノズルから噴射される気体と超音波とが干渉することを防止できる。これにより、第１の超音波センサで受信される超音波が、ノズルから噴射される気体の影響を受けてしまうことを防止することができる。
【0034】
また、本発明のテンション計測装置は、前記第１の超音波センサの超音波の伝搬路の長さと、前記第２の超音波センサの超音波の伝搬路の長さと、が同一となるよう、前記第１の超音波センサと前記第２の超音波センサとが配置されている構成を有する。
【0035】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、第１の超音波センサの超音波の伝搬路の長さと第２の超音波センサの超音波の伝搬路の長さとの違いによる補正等を加える必要がないため、制御部による処理を簡素化することができる。
【0036】
また、本発明のテンション計測装置において、前記第１の超音波センサは、前記ノズルを中心として同心円上に４つ設けられ、前記第２の超音波センサは、前記ノズルを中心として前記第１の超音波センサとは異なる同心円上に４つ設けられ、前記第１の超音波センサと前記第２の超音波センサとは、前記ノズルを中心とした円周方向に交互に配置され、前記制御部は、一の第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分を求めるにあたり、前記４つの第２の超音波センサにより計測された前記ペリクル膜の変位のそれぞれに対し、前記一の第１の超音波センサとの距離に応じた重み付けをし、当該重み付けされた前記ペリクル膜の変位の加重平均を求め、当該加重平均を、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位とみなす構成を有する。
【0037】
この構成により、本発明のテンション計測装置は、第１の超音波センサの配置に応じて異なるおそれのある、例えばダウンフローによって生じるペリクル膜の変位をより正確に計測することができる。このため、第１の超音波センサのそれぞれにおいて、ノズルから噴射された気体によるペリクル膜の変位をより正確に測定することができる。
【0038】
また、本発明のテンション計測方法は、所定の張力のかかったペリクル膜に気体をノズルから噴射するステップと、前記ノズルから噴射された前記気体による、前記ペリクル膜が前記張力を受けている方向である張力方向に直交する直交方向への前記ペリクル膜の変位を、前記ノズルを中心として同心円上に前記張力方向と平行で前記ノズルの中心を通る直線上に少なくとも１つ設けられる第１の超音波センサにより計測するステップと、前記ペリクル膜上において、前記ノズルから噴射された前記気体による変位が生じる領域外における前記直交方向への前記ペリクル膜の変位を複数の第２の超音波センサにより計測するステップと、前記第１の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、前記第２の超音波センサで計測された前記ペリクル膜の変位と、の差分に基づいて前記ペリクル膜にかかっている前記張力を計測するステップと、を備える。
【0039】
本発明のテンション計測方法によれば、ノズルから噴射された気体によるペリクル膜の張力方向に直交する直交方向への変位が第１の超音波センサにより計測され、ペリクル膜にかかっている張力が計測される。このため、非接触でペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0040】
また、第１の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位と、ペリクル膜上において、ノズルから噴射された気体による変位が生じる領域外における直交方向へのペリクル膜の変位を計測する複数の第２の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位と、の差分に基づいてペリクル膜にかかっている張力を計測する。これにより、例えばクリーンルーム内のダウンフロー等の気体の噴射以外の要因でペリクル膜が揺れてしまう場合であっても、気体の噴射以外の要因によって生じたペリクル膜の変位の影響を排除でき、気体の噴射によるペリクル膜の変位を正確に測定することができる。この結果、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を正確に計測することができる。
【発明の効果】
【0041】
本発明は、気体の噴射以外の要因でペリクル膜が揺れてしまう場合であっても、非接触でペリクル膜のテンションやテンションの異方性を正確に計測することができるテンション計測装置及びテンション計測方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0042】
【発明を実施するための形態】
【0043】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るペリクル検査装置ついて詳細に説明する。
【0044】
【0045】
［ペリクル検査装置］
図１において、本発明の一実施形態に係るペリクル検査装置１は、例えば、略鉛直方向に被検査対象のペリクル膜が張設された長方形のペリクルフレームＰを支持し、カメラ等を鉛直方向に移動させてペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜の検査をする検査装置である。
図１において、本発明の一実施形態に係るペリクル検査装置１は、例えば、略鉛直方向に被検査対象のペリクル膜が張設された長方形のペリクルフレームＰを支持し、カメラ等を鉛直方向に移動させてペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜の検査をする検査装置である。
【0046】
【0047】
定盤１０は、ステージとして構成されており、設置面Ｆ上の複数箇所（６箇所）に設置されている除振台５０の上に支持される。
【0048】
定盤１０は、下面１０ａと、下面１０ａと平行な上面１０ｅと、を有し、下面１０ａと上面１０ｅとの距離は、上面１０ｅの短辺より短い。
【0049】
定盤１０の下面１０ａには、略立方体形状の凹部１０ｂ、１０ｃが形成される。凹部１０ｂは、下面１０ａの４つの隅のそれぞれに一箇所ずつ形成される。凹部１０ｃは、下面１０ａの長辺に沿ってそれぞれ一箇所ずつ、合計２箇所形成される。このように、凹部１０ｂ、凹部１０ｃは、合計６箇所に形成される。凹部１０ｂに加えて凹部１０ｃを設けることで、定盤１０の歪みを少なくすることができる。
【0050】
凹部１０ｂ、凹部１０ｃの内部には、設置面Ｆ上に載置された除振台５０が設けられる。凹部１０ｂ、凹部１０ｃの底面は、除振台５０により支持される支持面１０ｄである。
【0051】
図１に示すとおり、凹部１０ｂ、凹部１０ｃの深さより、除振台５０の高さが高い。したがって、除振台５０が支持面１０ｄを支持することで、定盤１０が除振台５０を介して設置面Ｆ上に載置される。
【0052】
定盤１０の上面１０ｅには、溝１０ｆが形成される。溝１０ｆは、平面視（図２参照）において、凹部１０ｂ、凹部１０ｃと重ならない位置に、定盤１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って形成される。
【0053】
溝１０ｆの深さは、定盤１０の厚さに比べて十分に小さい。したがって、溝１０ｆを形成したとしても、定盤１０の剛性を十分に高い状態とすることができる。
【0054】
溝１０ｆは、ペリクル支持部３０をＸ方向に移動自在に支持する。溝１０ｆを、ペリクル支持部３０を移動させる時のガイドとすることで、検査部２０やペリクル支持部３０の高さを低くし、これにより重心を低くすることができる。
【0055】
溝１０ｆの深さは、テンション計測装置２３が定盤１０の上面１０ｅに当接した時のカメラ２２の光軸が、ペリクル支持部３０に支持されたペリクルフレームＰの下端と一致するように設定される。すなわち、カメラ２２及びテンション計測装置２３は、ペリクル支持部３０に支持されたペリクルフレームＰの全面を検査することができる。
【0056】
検査部２０は、定盤１０から上方に突出して設けられた柱２１と、柱２１に設けられたカメラ２２及びテンション計測装置２３と、検査位置においてペリクル支持部３０を支持する支持部２４と、を含んで構成される。
【0057】
柱２１は、定盤１０の上面１０ｅから上方（＋Ｙ方向）に突出するように、上面１０ｅに取り付けられる。柱２１は、セラミック等により形成される。重心位置を低くするため、柱２１は中空とすることが好ましい。
【0058】
カメラ２２は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）カメラや、特殊なＣＣＤカメラであるＴＤＩ（Time Delay Integration）カメラで構成される。
【0059】
テンション計測装置２３は、ペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜のテンションを計測する。
【0060】
カメラ２２とテンション計測装置２３との間には、エアパッドを含む図示しない移動部が設けられる。カメラ２２は、その光軸がＺ軸と平行となるように、移動部に設けられる。
【0061】
移動部が上下方向（Ｙ方向）に移動することにより、カメラ２２及びテンション計測装置２３が上下方向に移動する。移動部は、カメラ２２及びテンション計測装置２３を、テンション計測装置２３が定盤１０の上面１０ｅに当接する初期位置と、カメラ２２が柱２１の上端近傍に位置する上端位置（図１の二点鎖線で示した位置）との間を、柱２１に沿って移動させる。
【0062】
支持部２４は、ペリクル支持部３０が検査位置に移動されたときに、ペリクル支持部３０が水平方向に傾かないようにペリクル支持部３０を支持する。
【0063】
ペリクル支持部３０は、ペリクルフレームＰを支持する。ペリクル支持部３０は、フレーム３１と、調整機構３２と、ガイド部材３３と、を含んで構成される。
【0064】
フレーム３１は、鉛直に支持されるペリクルフレームＰの外周を囲むよう、枠状に形成される。フレーム３１は、ペリクルフレームＰのペリクル膜がＸＹ平面と平行となるようにペリクルフレームＰを支持する。
【0065】
フレーム３１の下方には、調整機構３２が設けられる。調整機構３２は、ペリクルフレームＰの下辺の高さ方向（Ｙ方向）の位置を変更する。ガイド部材３３は、溝１０ｆの内部を移動する部材である。
【0066】
［テンション計測装置の主要構成］
次に、テンション計測装置２３について説明する。
図３に示すように、テンション計測装置２３は、主要な構成として、ノズルとしてのエアノズル２３１と、第１の超音波センサ２３２と、第１の超音波センサ２３３と、第１の超音波センサ２３４と、第１の超音波センサ２３５と、第２の超音波センサ３３２と、第２の超音波センサ３３３と、第２の超音波センサ３３４と、第２の超音波センサ３３５と、圧縮空気噴射部２３６と、制御部２３７と、を含んで構成される。
次に、テンション計測装置２３について説明する。
図３に示すように、テンション計測装置２３は、主要な構成として、ノズルとしてのエアノズル２３１と、第１の超音波センサ２３２と、第１の超音波センサ２３３と、第１の超音波センサ２３４と、第１の超音波センサ２３５と、第２の超音波センサ３３２と、第２の超音波センサ３３３と、第２の超音波センサ３３４と、第２の超音波センサ３３５と、圧縮空気噴射部２３６と、制御部２３７と、を含んで構成される。
【0067】
（エアノズル）
エアノズル２３１は、圧縮空気噴射部２３６で圧縮された空気（気体）をペリクル膜に噴射する。テンション計測装置２３は、エアノズル２３１から噴射された空気がペリクル膜に略垂直に当たるように移動部に設けられる。
エアノズル２３１は、圧縮空気噴射部２３６で圧縮された空気（気体）をペリクル膜に噴射する。テンション計測装置２３は、エアノズル２３１から噴射された空気がペリクル膜に略垂直に当たるように移動部に設けられる。
【0068】
（第１の超音波センサ）
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５は、超音波を発信し、対象物から反射してくる超音波を受信して対象物との距離を測定する。
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５は、超音波を発信し、対象物から反射してくる超音波を受信して対象物との距離を測定する。
【0069】
図６に示すように、第１の超音波センサ２３２は、エアノズル２３１（図８参照）の上側に設けられる。第１の超音波センサ２３３は、エアノズル２３１（図８参照）の下側に設けられる。第１の超音波センサ２３４は、エアノズル２３１（図８参照）の右側に設けられる。第１の超音波センサ２３５は、エアノズル２３１（図８参照）の左側に設けられる。
【0070】
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５は、ペリクル膜と平行な平面上に、エアノズル２３１を中心として同心円上に上下左右方向に設けられる。
【0071】
第１の超音波センサ２３２及び第１の超音波センサ２３３は、上下方向（Ｙ方向）の同一直線上にその中心が位置するように設けられる。第１の超音波センサ２３４及び第１の超音波センサ２３５は、左右方向（Ｘ方向）の同一直線上にその中心が位置するように設けられる。
【0072】
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の設置位置は、ペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜がテンション（張力）を受けている方向（以下、「張力方向」という）にエアノズル２３１を挟んで設けるとよい。本実施形態においては、ペリクルフレームＰは長方形であるため、ペリクル膜は、上下方向と左右方向の２つの方向にテンションを受けている。このため、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の設置位置は、上下左右の４方向となる。
【0073】
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５は、エアノズル２３１から噴射された空気による、上述の張力方向に直交する方向（以下、「直交方向」という）へのペリクル膜の変位を計測するようになっている。
【0074】
（第２の超音波センサ）
第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５は、第１の超音波センサと同様、超音波を発信し、対象物から反射してくる超音波を受信して対象物との距離を測定する。
第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５は、第１の超音波センサと同様、超音波を発信し、対象物から反射してくる超音波を受信して対象物との距離を測定する。
【0075】
図６に示すように、第２の超音波センサ３３２は、第１の超音波センサ２３２の右側かつ第１の超音波センサ２３４の上側に設けられる。第２の超音波センサ３３３は、第１の超音波センサ２３２の左側かつ第１の超音波センサ２３５の上側に設けられる。第２の超音波センサ３３４は、第１の超音波センサ２３３の左側かつ第１の超音波センサ２３５の下側に設けられる。第２の超音波センサ３３５は、第１の超音波センサ２３３の右側かつ第１の超音波センサ２３４の下側に設けられる。
【0076】
第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５は、エアノズル２３１を中心として、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５とは異なる同心円上に設けられている。
【0077】
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５とは、エアノズル２３１を中心とした円周方向に交互に配置されている。
【0078】
第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５は、ペリクル膜上において、エアノズル２３１から噴射された空気による変位が生じる領域（図９中、Ｒで示す領域）外における上述の直交方向へのペリクル膜の変位を計測するようになっている。第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５は、例えば、クリーンルーム内のダウンフローによるペリクル膜の変位を計測する。
【0079】
第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５は、エアノズル２３１から噴射された空気による変位が生じる領域（図９中、Ｒで示す領域）外を計測可能であって、より好ましくは、エアノズル２３１から噴射された空気による変位が生じる領域Ｒに近い位置におけるペリクル膜の変位を計測するようになっている。
【0080】
（圧縮空気噴射部）
図３に示すように、圧縮空気噴射部２３６は、コンプレッサ、ソレノイドバルブ等から構成され、空気を圧縮し、所定の圧力でエアノズル２３１を通してペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜に噴射する。
図３に示すように、圧縮空気噴射部２３６は、コンプレッサ、ソレノイドバルブ等から構成され、空気を圧縮し、所定の圧力でエアノズル２３１を通してペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜に噴射する。
【0081】
（制御部）
制御部２３７は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５及び第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５と、圧縮空気噴射部２３６と、の制御を行う。
制御部２３７は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５及び第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５と、圧縮空気噴射部２３６と、の制御を行う。
【0082】
制御部２３７は、圧縮空気噴射部２３６によりエアノズル２３１からペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜にエアを所定の圧力で所定の時間噴射させ、その空気を受けたペリクル膜の凹み量を第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５により計測する。
【0083】
制御部２３７は、所定の微小圧の圧縮空気を、パルス状にペリクル膜に噴射させる。制御部２３７は、例えば、ペリクル膜にダメージを与えない微小圧の圧縮空気を、パルス状にペリクル膜に噴射させる。ペリクル膜にダメージを与えないとは、ペリクル膜に塑性変形を生じさせないということである。例えば、ペリクル膜が受けているテンションが弱まってしまったりすることがないということである。
【0084】
圧縮空気を噴射した瞬間は、断熱膨張した空気がエアノズル２３１先端に広がるので、気温が変化し音速に影響を与えるが、パルス状に噴射することで、膨張した空気がそのままペリクル膜や超音波経路に達するわけではなく、いままでそこにあった空気を押すだけなので、冷たい空気が計測を乱すことはない。
【0085】
一方、圧縮空気の噴射方向のペリクル膜の後方にも空気が存在するため、ペリクル膜のテンションに関係なく、パルス状の噴射では変形し難さもあるので、計測に適した噴射の圧力を設定する。
【0086】
図４は、圧縮空気を噴射開始（ブロー開始）してからのペリクル膜の変形量の例を示したグラフである。
【0087】
図４に示す最大ペリクル変形量や、変形戻り速度は、圧縮空気の噴射圧の変動の影響を受ける可能性が高く、圧縮空気噴射部２３６のソレノイドバルブの安定度まで考慮する必要がある。それに対して、例えば、半分まで戻る時間（図中「半戻り時間」）なら圧縮空気の噴射圧による変化が少ないと考えられる。
【0088】
このため、本実施形態の制御部２３７は、圧縮空気を噴射した後のペリクル膜が最大に変化した時から最大変化量の半分まで戻る時間を半戻り時間として計測し、この半戻り時間に基づいてペリクル膜のテンションを計測する。
【0089】
ピンポイントの圧縮空気の噴射で変形するペリクル膜の範囲は、直径５０ｍｍ程度に限られる。それを、例えば、一つ１０ｍｍ直径の第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測する。
【0090】
制御部２３７は、例えば、直径１０ｍｍ内での半戻り時間を第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５でそれぞれ計測し、計測した半戻り時間の平均値を算出し、算出した平均値によりペリクル膜のテンションを算出する。
【0091】
半戻り時間は、テンションがかかっている方向に並んでいる超音波センサ（第１の超音波センサ２３２と第１の超音波センサ２３３、第１の超音波センサ２３４と第１の超音波センサ２３５）の計測値を平均してもよい。
【0092】
また、圧縮空気噴射時のペリクル膜の半戻り時間ではなく、ペリクル膜の最大変化量や、戻り速度を用いてテンションの強さを判定してもよい。
【0093】
一方、テンションの異方性を計るため、例えば、縦横のテンションの比を計ろうとすると、縦方向のテンションが横方向へ、また横方向のテンションが縦方向に影響を与えてしまい、半戻り時間で計測するのは不適当となる。
【0094】
このため、制御部２３７は、圧縮空気を噴射した後のペリクル膜が最大に変化した時の変化の大きさに基づいてテンションの異方性を計測する。
【0095】
図５は、圧縮空気を噴射した後のペリクル膜が最大に変化した時（圧縮空気が噴射されたエアノズル２３１に対応する部分が最も押し込まれた時）の変化量の等しい点を結んだ線を示す図である。
【0096】
図５（ａ）に示すように、変化量が同一となる点を結んだ図形が円に近ければ、すなわち、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５でそれぞれ計測された変化量がほぼ等しければ、上下左右のテンションは均一である。
【0097】
図５（ｂ）に示すように、変化量が同一となる点を結んだ図形が楕円形になってしまうと、上下左右のテンションは均一でない。
【0098】
制御部２３７は、例えば、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５でそれぞれ計測された最大ペリクル変形量の、テンションがかかっている方向に並んでいる超音波センサ（第１の超音波センサ２３２と第１の超音波センサ２３３、第１の超音波センサ２３４と第１の超音波センサ２３５）の計測値を平均する。制御部２３７は、例えば、テンションがかかっている方向ごとの最大ペリクル変形量の平均値の差が所定の範囲内であれば、テンションがかかっている方向それぞれのテンションは、ほぼ均一であると判定する。
【0099】
制御部２３７は、例えば、パルス状に圧縮空気の噴射を行い、１回の噴射で第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のいずれか１つで計測を行い、４回の計測で上下左右の計測を行う。
【0100】
なお、ペリクル膜と第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５との距離、すなわち、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の超音波の伝搬路の長さの１／２は、例えば、５０ｍｍ程度が良いが、本実施形態では、計測時に移動部によりペリクル膜との距離を調整する。ここで、超音波の伝搬路とは、例えば、超音波センサのセンサ振動面から発信された超音波がペリクル膜で反射されて再度、超音波センサに受信されるまでの経路のことである。
【0101】
制御部２３７は、例えばクリーンルーム内のダウンフローによって生じたペリクル膜の変形量を第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５により計測する。ペリクル膜は、エアノズル２３１から噴射された空気による変位が生じる領域外においては、ダウンフロー等の影響により直交方向の一方（例えば、テンション計測装置２３から離隔する方向）又は他方（例えば、テンション計測装置２３に近接する方向）に変位する可能性がある。
【0102】
制御部２３７は、例えば、直交方向の一方へのペリクル膜の変位を正の値として計測し、直交方向の他方へのペリクル膜の変位を負の値として計測する。
【0103】
制御部２３７は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測されたペリクル膜の変位と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位と、の差分に基づいてペリクル膜にかかっているテンションを計測するようになっている。
【0104】
具体的には、制御部２３７は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測されたペリクル膜の変位から第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位を差し引くことで、例えばクリーンルーム内のダウンフローによって生じたペリクル膜の変位の影響を排除して、エアノズル２３１から噴射された空気によるペリクル膜の変位のみを計測することが可能となる。
【0105】
【0106】
図６から図８に示すように、テンション計測装置２３は、支持台２４０と、支柱２４１と、装置本体２４２と、を備えている。支持台２４０は、柱２１（図１参照）に設けられた図示しない移動部に取り付けられている。支柱２４１は、下端が支持台２４０の上面に固定されている。支柱２４１の上端には、装置本体２４２が固定されている。図６から図８においては、テンション計測装置２３のペリクル膜に対向する面を正面、当該正面と反対側の面を背面と、それぞれ定義する。
【0107】
テンション計測装置２３は、支持台２４０が柱２１（図１参照）に設けられた図示しない移動部に取り付けられることにより、柱２１に沿って上下方向に移動可能に構成される。
【0108】
なお、テンション計測装置２３は、支持台２４０及び支柱２４１を備えない構成であってもよい。この場合、テンション計測装置２３は、装置本体２４２が柱２１（図１参照）に設けられた図示しない移動部に取り付けられる。
【0109】
【0110】
（支持部材）
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれは、各支持部材２４５によって支持されることで、エアノズル２３１（図８参照）に対して後述する装置本体２４２の傾斜面２４２ａよりも離隔した位置に配置される。
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれは、各支持部材２４５によって支持されることで、エアノズル２３１（図８参照）に対して後述する装置本体２４２の傾斜面２４２ａよりも離隔した位置に配置される。
【0111】
各支持部材２４５は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５をそれぞれ保持するセンサ筐体２４５ａと、センサ筐体２４５ａを回転可能に支持するブラケット２４５ｂと、を含んで構成される。
【0112】
図８に示すように、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれは、２本のＯリング２５０によってセンサ筐体２４５ａ内に保持されている。２本のＯリング２５０は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５それぞれの送受信面Ｓに直交する方向に互いに離隔して、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５それぞれの外周に巻き付けられている。これにより、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５からセンサ筐体２４５ａに伝わる振動が他の部材（例えば、金属部品）に伝達されてしまうことを回避することができる。
【0113】
センサ筐体２４５ａは、ブラケット２４５ｂに対して図中、矢印Ｐで示す方向（以下、「ピッチ方向」という）に軸部材２４５ｃを支点に回転可能に、すなわち超音波センサの送受信面Ｓと後述する傾斜面２４２ａとのなす角度を調整可能に、ブラケット２４５ｂに支持されている。
【0114】
軸部材２４５ｃは、センサ筐体２４５ａの回転軸としての機能と、センサ筐体２４５ａを調整した角度で回転不能に固定する固定部材としての機能と、を兼ねる。
【0115】
また、図７に示すように、ブラケット２４５ｂは、装置本体２４２に対して図中、矢印Ｙで示す方向（以下、「ヨー方向」という）に軸部材２４５ｄを支点に回転可能に、すなわち装置本体２４２へのブラケット２４５ｂの設置平面上での回転角度を調整可能に、装置本体２４２に支持されている。これにより、センサ筐体２４５ａのヨー方向の回転角度を調整することができる。
【0116】
ブラケット２４５ｂは、２つの固定部材２４５ｅによって、調整した回転角度で装置本体２４２に対して回転不能に固定される。
【0117】
なお、支持部材２４５は、センサ筐体２４５ａのピッチ方向及びヨー方向の回転角度を調整可能であれば、上述した構成に限らない。また、支持部材２４５は、センサ筐体２４５ａのピッチ方向又はヨー方向のいずれかの回転角度を調整可能な構成であってもよい。
【0118】
（傾斜面）
図８に示すように、装置本体２４２は、正面側（図８中、左側）に傾斜面２４２ａが形成されている。傾斜面２４２ａは、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５に合わせて上下左右にそれぞれ形成されている。本実施形態に係る装置本体２４２は、傾斜部材を構成する。
図８に示すように、装置本体２４２は、正面側（図８中、左側）に傾斜面２４２ａが形成されている。傾斜面２４２ａは、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５に合わせて上下左右にそれぞれ形成されている。本実施形態に係る装置本体２４２は、傾斜部材を構成する。
【0119】
各傾斜面２４２ａは、装置本体２４２の背面側から正面側先端に向かうに従い、徐々にエアノズル２３１の中心（図８中、一点鎖線で示す）Ｏｎに近づくように傾斜している。このため、装置本体２４２の正面側の形状は、装置本体２４２の正面側先端を上面とする四角錐台形状、又は、装置本体２４２の正面側先端を頂点とする四角錐形状をなしている。
【0120】
各傾斜面２４２ａは、エアノズル２３１を中心として同心円上にペリクル膜がテンション（張力）を受けている張力方向と平行でエアノズル２３１の中心Ｏｎを通る直線上であって、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれとエアノズル２３１の中心Ｏｎとの間に設けられている。
【0121】
各傾斜面２４２ａは、エアノズル２３１の近傍において、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５から出力された超音波（送信波）、及び、ペリクル膜で反射された超音波（反射波）を反射する反射部として機能する。
【0122】
なお、本実施形態では、装置本体２４２に傾斜面２４２ａを形成した構成について説明したが、装置本体２４２と別体の部材に傾斜面２４２ａを形成してもよい。
【0123】
第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれは、各傾斜面２４２ａで反射した超音波を受信可能なように送受信面Ｓをそれぞれの傾斜面２４２ａに向けて設置されている。
【0124】
（中空部）
図８に示すように、装置本体２４２は、エアノズル２３１を収容する中空状の中空部２４２ｂを有している。
図８に示すように、装置本体２４２は、エアノズル２３１を収容する中空状の中空部２４２ｂを有している。
【0125】
中空部２４２ｂは、装置本体２４２の正面側先端から背面側に貫通するように形成された筒状の中空空間であり、エアノズル２３１を取り囲むように形成されている。中空部２４２ｂの形状は、円筒状に限らず、多角形の筒状であってもよい。
【0126】
中空部２４２ｂの正面側の開口端（図８中、左端）は、エアノズル２３１の正面側先端よりも正面側に位置しているのが好ましい。
【0127】
（フレーム部材）
図６に示すように、テンション計測装置２３は、装置本体２４２を取り囲むように設けられたフレーム部材３００を有している。フレーム部材３００は、柱２１（図１参照）に設けられた図示しない移動部に取り付けられている。
図６に示すように、テンション計測装置２３は、装置本体２４２を取り囲むように設けられたフレーム部材３００を有している。フレーム部材３００は、柱２１（図１参照）に設けられた図示しない移動部に取り付けられている。
【0128】
フレーム部材３００の四隅の内側には、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５をそれぞれ保持するセンサ筐体３４０が取り付けられている。ここで、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５が領域Ｒ（図９参照）外であって、より好ましくは、エアノズル２３１から噴射された空気による変位が生じる領域Ｒに近い位置におけるペリクル膜の変位を計測可能な配置となるよう、フレーム部材３００の４辺の長さ等が設定されている。
【0129】
第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５のそれぞれは、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と同様、図示しない２本のＯリングを介して各センサ筐体３４０に保持されているのが望ましい。
【0130】
第２の超音波センサ３３３、３３４のセンサ筐体３４０は、その表面３４０ａが図７中、左側に向かうに従い背面側に傾斜している。第２の超音波センサ３３２、３３５のセンサ筐体３４０は、その表面３４０ａが図７中、右側に向かうに従い背面側に傾斜している。
【0131】
これにより、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５のそれぞれから出力されペリクル膜で反射した超音波のうち、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５に戻ってくる超音波以外の超音波が、センサ筐体３４０の傾斜した表面３４０ａでフレーム部材３００の外側（本実施例では、左右外方）に向けて反射される。このため、ペリクル膜で反射した超音波のうち、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５に戻ってくる超音波以外の超音波がセンサ筐体とペリクル面の間での多重反射により第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５や第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５に戻ってくる超音波と干渉することがなく、それら超音波センサの計測への影響を抑制することができる。
【0132】
また、図９に示すように、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の超音波の伝搬路Ｐａｔｈ＿１の長さと、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５の超音波の伝搬路Ｐａｔｈ＿２とが同一となるよう、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５とが配置されている。つまり、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５とが上記のような配置となるよう、支持台２４０とフレーム部材３００とが位置決めされている。
【0133】
［ペリクル検査装置の動作］
以上のように構成された本実施形態に係るペリクル検査装置１の動作について説明する。まず、フレーム３１にペリクルフレームＰを取り付けて、調整機構３２によりペリクルフレームＰの下辺の高さ方向（Ｙ方向）の位置を調整する。このときは、ペリクル支持部３０は、定盤１０の＋Ｘ方向の端近傍の取付位置に位置する。
以上のように構成された本実施形態に係るペリクル検査装置１の動作について説明する。まず、フレーム３１にペリクルフレームＰを取り付けて、調整機構３２によりペリクルフレームＰの下辺の高さ方向（Ｙ方向）の位置を調整する。このときは、ペリクル支持部３０は、定盤１０の＋Ｘ方向の端近傍の取付位置に位置する。
【0134】
次に、ガイド部材３３を溝１０ｆに沿って－Ｘ方向に移動させて、ペリクルフレームＰを取付位置から検査位置に移動させる。
【0135】
ペリクルフレームＰが検査位置に移動したら、検査部２０によりペリクル膜の検査を行う。本実施形態では、カメラ２２で撮像された画像によりペリクル膜に付着している塵埃などの異物を検出する。また、テンション計測装置２３により、ペリクル膜にかかっているテンションが計測される。
【0136】
なお、ペリクル膜に塵埃などの異物が付着していることが検出された場合、図示しないノズルにより異物に空気などの気体を吹き付けて除去する。このノズルは、テンション計測装置２３のエアノズル２３１と共用してもよい。
【0137】
この検査を、まず、カメラ２２が柱２１の上端近傍に位置する上端位置で行う。検査部２０は、ガイド部材３３、すなわちペリクルフレームＰを所定距離だけ－Ｘ方向に移動させる。このようにしてペリクル支持部３０に支持されたペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜を順次検査していく。
【0138】
このように、－Ｘ方向の端から＋Ｘ方向の端へとカメラ２２及びテンション計測装置２３を移動させつつ検査をしたら、検査部２０は、カメラ２２及びテンション計測装置２３を柱２１に沿って下方（－Ｙ方向）に移動させる。そして、検査部２０は、同様に、ガイド部材３３、すなわちペリクルフレームＰを＋Ｘ方向に移動させつつ検査を行う。
【0139】
このような動作を繰り返し行うことにより、ペリクルフレームＰに張設されたペリクル膜の全面を検査することができる。
【0140】
なお、異物検査の場合、検査を行うクリーンルームの中はダウンフローなため、ブローされ除去された異物が下側に再付着する可能性が高い。このため、異物検査を行う場合は、検査は上から下に行う。ペリクル膜にかかっているテンションの計測のみを行う場合は、下から上に検査を行なってもよい。
【0141】
［テンション計測装置の動作］
次に、テンション計測装置２３の動作について説明する。
次に、テンション計測装置２３の動作について説明する。
【0142】
テンション計測装置２３は、テンションのかかったペリクル膜に対してエアノズル２３１から圧縮空気を噴射する。テンション計測装置２３は、エアノズル２３１から噴射された圧縮空気による直交方向へのペリクル膜の変位を第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５によって計測する。
【0143】
また、テンション計測装置２３は、ペリクル膜上において、エアノズル２３１から噴射された圧縮空気による変位が生じる領域外における直交方向へのペリクル膜の変位を第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５により計測する。
【0144】
テンション計測装置２３は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測されたペリクル膜の変位から第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位を差し引くことで、例えばクリーンルーム内のダウンフローによって生じたペリクル膜の変位の影響を排除して、エアノズル２３１から噴射された圧縮空気によるペリクル膜の変位のみを計測する。
【0145】
このとき、テンション計測装置２３の制御部２３７は、一の第１の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位と、の差分を求めるにあたり、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５により計測されたペリクル膜の変位のそれぞれに対し、当該一の第１の超音波センサとの距離に応じた重み付けを行う。距離に加えて計測順に応じた重み付けを加えてもよい。
【0146】
制御部２３７は、上記のように重み付けされたペリクル膜の変位の加重平均を求め、当該加重平均を、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位とみなす。これにより、制御部２３７は、当該一の第１の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位から、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位として上記のように加重平均で求められたペリクル膜の変位を差し引くことで、当該一の第１の超音波センサで計測される、エアノズル２３１から噴射された空気によるペリクル膜の変位のみを計測することができる。
【0147】
［テンション計測装置の作用効果］
以上のように、本実施形態に係るテンション計測装置は、ペリクル膜に圧縮空気を噴射するエアノズル２３１を中心として同心円上にペリクル膜がテンション（張力）を受けている張力方向と平行でエアノズル２３１の中心を通る直線上に少なくとも１つの第１の超音波センサ（本実施形態では４つ）を設ける。
以上のように、本実施形態に係るテンション計測装置は、ペリクル膜に圧縮空気を噴射するエアノズル２３１を中心として同心円上にペリクル膜がテンション（張力）を受けている張力方向と平行でエアノズル２３１の中心を通る直線上に少なくとも１つの第１の超音波センサ（本実施形態では４つ）を設ける。
【0148】
これにより、ペリクル膜に圧縮空気を噴射したときのペリクル膜の変化を計測することにより、非接触でペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0149】
また、第１の超音波センサは、エアノズル２３１を中心として同心円上にペリクル膜がテンションを受けている張力方向と平行でエアノズル２３１の中心を通る直線上にエアノズル２３１を挟んで２つ設けるとよい。
【0150】
これにより、ペリクル膜が張力方向の、圧縮空気が噴射される位置の両側でペリクル膜の変化を計測することができ、精度良くペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0151】
制御部２３７は、ペリクル膜にダメージを与えない微小圧の圧縮空気を、パルス状にペリクル膜に噴射させる。
【0152】
これにより、ペリクル膜にダメージを与えずに、音波に対する影響を抑えて、精度良くペリクル膜のテンション及びテンションの異方性を計測することができる。
【0153】
また、制御部２３７は、圧縮空気を噴射した後のペリクル膜が最大に変化した時から最大変化量の半分まで戻る時間を半戻り時間として計測し、この半戻り時間によりペリクル膜のテンションを計測する。
【0154】
これにより、圧縮空気の噴射圧の変動の影響を抑え、精度良くペリクル膜のテンションを計測することができる。
【0155】
また、制御部２３７は、圧縮空気を噴射した後のペリクル膜が最大に変化した時の変化量を計測し、この変化量によりペリクル膜のテンションの異方性を計測する。
【0156】
これにより、テンションのかかっている方向の相互の影響を抑え、精度良くペリクル膜のテンションの異方性を計測することができる。
【0157】
ここで、図９に示すように、エアノズル２３１から噴射された圧縮空気によるペリクル膜Ｐｆの変形量は、圧縮空気が当たる箇所、すなわち、エアノズル２３１の中心Ｏｎに対向する位置に近いほど、大きくなる。したがって、ペリクル膜Ｐｆは、エアノズル２３１の中心Ｏｎに対向する位置から遠ざかるほど、変形が小さくなったり、変形が生じなくなったりする。
【0158】
ペリクル膜Ｐｆの変形が生じていない箇所、又は、変形が生じていてもその変形が微小である箇所において、その変形量を超音波センサで計測しようとしても、ペリクル膜Ｐｆのテンションの異方性を正確に計測できる程度の変形量を計測することはできない。
【0159】
図９において、ペリクル膜Ｐｆのテンションの異方性を正確に計測できる程度の変形量を計測するのに好適な変形領域を点線Ｄｆで囲んだ領域とすると、ペリクル膜Ｐｆのテンションの異方性を正確に計測できる程度の変形量を計測するには、エアノズル２３１の中心と第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の中心との距離Ｄ１は小さい方が望ましく、より好ましくは、ペリクル膜Ｐｆの好適な変形領域Ｄｆと超音波の当たる領域との重なりが大きいほうがよい。
【0160】
本実施形態に係るテンション計測装置は、エアノズル２３１の近傍において、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５から出力された超音波（送信波）、及び、ペリクル膜Ｐｆ（図９参照）で反射された超音波（反射波）を反射する傾斜面２４２ａを備えている。
【0161】
ここで、図９に示すように、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の中心を通り超音波センサの送受信面Ｓに直交する線を中心線Ｏｓとする。中心線Ｏｓは、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５から出力された超音波（送信波）、及び、ペリクル膜Ｐｆで反射された超音波（反射波）の中心軸と一致しており、超音波と同様、傾斜面２４２ａで反射するように描いている。
【0162】
本実施形態に係るテンション計測装置は、上述の通り、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５から出力された超音波を傾斜面２４２ａで反射させる構成であるため、エアノズル２３１の中心Ｏｎと上述の中心線Ｏｓとの距離Ｄ１を小さくすることができる。
【0163】
このため、本実施形態に係るテンション計測装置は、超音波の当たる領域をエアノズル２３１の中心Ｏｎに対向する位置に近づけることができ、ペリクル膜Ｐｆの好適な変形領域Ｄｆと超音波の当たる領域との重なりを大きくすることができる。
【0164】
これにより、テンションの異方性を正確に計測可能なペリクル膜Ｐｆの変形を第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５によって計測できる。つまり、ペリクル膜Ｐｆのテンションの異方性を正確に計測可能な変形が確実に生じている箇所において、その変形を計測することができる。これにより、ペリクル膜Ｐｆのテンションの異方性を正確に計測できる程度の変形量を計測することができる。
【0165】
また、本実施形態に係るテンション計測装置において、各傾斜面２４２ａは、エアノズル２３１を中心として同心円上にペリクル膜Ｐｆがテンション（張力）を受けている張力方向と平行でエアノズル２３１の中心Ｏｎを通る直線上であって、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれとエアノズル２３１の中心Ｏｎとの間に設けられている。さらに、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５が、各傾斜面２４２ａで反射した超音波を受信可能なように送受信面Ｓを各傾斜面２４２ａに向けて設置されている。
【0166】
これにより、本実施形態に係るテンション計測装置は、傾斜面２４２ａによって超音波を反射させることで、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５をエアノズル２３１から離した位置に配置しても、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５がエアノズル２３１の中心Ｏｎに対向する位置に近く、かつテンションの異方性を正確に計測可能なペリクル膜Ｐｆの変形を計測することができる。
【0167】
ここで、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５は、例えば残響波等の影響を抑制してその測定精度を維持するために防振を十分に行う必要がある。このため、超音波センサ周辺には、防振のための付加的な構造を設ける必要があり、超音波センサを含む超音波センサ周辺の構造が大型化する傾向にある。防振のための付加的な構造としては、例えば、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５に鉛板を巻いたり、センサ筐体２４５ａ等の支持部材２４５を大きくしたりする構造が挙げられる。
【0168】
本実施形態に係るテンション計測装置は、上述の通り第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５をエアノズル２３１から離した位置に配置して傾斜面２４２ａによって超音波を反射させる構成であるため、超音波センサを含む超音波センサ周辺の構造が大型化しても、その影響を回避することができる。
【0169】
つまり、超音波センサを含む超音波センサ周辺の構造の大型化しても、エアノズル２３１と第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５との距離が大きくなることがない。このため、超音波センサを含む超音波センサ周辺の構造の大型化によって超音波の当たる領域がエアノズル２３１の中心Ｏｎに対向する位置から遠ざかってしまうといった影響を回避できる。
【0170】
また、本実施形態に係るテンション計測装置は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５をそれぞれ支持する支持部材２４５を有しており、当該支持部材２４５が、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の傾斜面２４２ａに対する角度、具体的にはピッチ方向の回転角度及びヨー方向の回転角度を調整可能に構成されている。
【0171】
これにより、本実施形態に係るテンション計測装置は、超音波が当たるペリクル膜Ｐｆの位置、及び、ペリクル膜Ｐｆに超音波が当たる角度を調整することができる。これにより、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５がペリクル膜Ｐｆの変形を計測する位置及び角度を調整することができる。このように、ペリクル膜Ｐｆに対する超音波の位置や角度を調整できれば、超音波（反射波）の振幅が最大になる位置関係を探すことができる。
【0172】
なお、本実施形態では、上述のように第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のピッチ方向及びヨー方向の回転角度を調整可能に構成したが、これに加えて、センサ筐体２４５ａの回転軸に直交し、かつ中心軸Ｏｓと交差する方向に、センサ筐体２４５ａ又はブラケット２４５ｂを移動可能に構成してもよい。例えば、超音波センサの送受信面Ｓ（図８参照）に平行な方向や、ブラケット２４５ｂの回転軸と平行な方向に、センサ筐体２４５ａ又はブラケット２４５ｂが移動可能に構成される。
【0173】
これにより、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のピッチ方向及びヨー方向の回転角度の調整と、ペリクル膜Ｐｆに超音波の中心軸Ｏｓが当たる位置の調整と、を独立して行うことができる。
【0174】
また、センサ筐体２４５ａ又はブラケット２４５ｂは、センサ筐体２４５ａの回転軸に直交し、かつ中心軸Ｏｓと交差する方向にのみ移動可能な構成であってもよい。この場合、簡易な構成でペリクル膜Ｐｆに超音波の中心軸Ｏｓが当たる位置のみを調整可能である。
【0175】
また、本実施形態に係るテンション計測装置において、装置本体２４２は、エアノズル２３１を収容する中空部２４２ｂを有する。
【0176】
これにより、本実施形態に係るテンション計測装置は、エアノズル２３１から噴射される圧縮空気と超音波とが干渉することを防止できる。これにより、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で受信される超音波が、エアノズル２３１から噴射される圧縮空気の影響を受けてしまうことを防止することができる。
【0177】
次に、本実施形態に係るテンション計測装置において、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５を設けたことによる作用効果を説明する。
【0178】
図１０は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のみにより、時間ｔ１において圧縮空気を噴射した際のペリクル膜の変位を計測した場合におけるペリクル膜の変位の時間的な変化の一例を示すグラフである。なお、図１０のグラフは、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のうちの１つにおける計測結果を示すものである。
【0179】
図１０に示すように、圧縮空気を噴射した直後の時間ｔ０から時間ｔ１までの期間Ｔにおけるペリクル膜の変位が圧縮空気による変位である。しかしながら、圧縮空気の噴射が終わった時間ｔ１以降においても、ペリクル膜に変位が継続的に生じている。
【0180】
この時間ｔ１以降におけるペリクル膜の変位は、例えばクリーンルーム内のダウンフローによって生じる変位である。このように、圧縮空気による変位以外に、無視できないほどの変位がペリクル膜に生じてしまっている。このため、上述の期間Ｔにおけるペリクル膜の変位にも、ダウンフローによって生じる変位が加わっているものと考えられる。したがって、圧縮空気によるペリクル膜の変位を正確に測定するには、前述のダウンフローによって生じる変位を排除することが好ましい。
【0181】
そこで、本実施形態に係るテンション計測装置では、ペリクル膜上において、エアノズル２３１から噴射された圧縮空気による変位が生じる領域Ｒ（図９参照）外におけるペリクル膜の変位を計測する第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５を設けた。このため、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５によって、例えばクリーンルーム内のダウンフローによるペリクル膜の変位を計測することができる。
【0182】
さらに、本実施形態に係るテンション計測装置では、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５で計測されたペリクル膜の変位から第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位を差し引くことにより、エアノズル２３１から噴射された空気によるペリクル膜の変位のみを計測するようにした。これにより、例えばクリーンルーム内のダウンフローによって生じたペリクル膜の変位の影響を排除でき、圧縮空気によるペリクル膜の変位を正確に測定することができる。
【0183】
また、本実施形態に係るテンション計測装置において、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の超音波の伝搬路Ｐａｔｈ＿１の長さと、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５の超音波の伝搬路Ｐａｔｈ＿２とが同一となるよう、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５とを配置した。
【0184】
これにより、本実施形態に係るテンション計測装置は、伝搬路Ｐａｔｈ＿１の長さと伝搬路Ｐａｔｈ＿２の長さとの違いによる補正等を加える必要がないため、制御部２３７による処理を簡素化することができる。
【0185】
また、本実施形態に係るテンション計測装置において、一の第１の超音波センサで計測されたペリクル膜の変位と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位と、の差分を求めるにあたり、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５により計測されたペリクル膜の変位のそれぞれに対し、当該一の第１の超音波センサとの距離に応じた重み付けをし、当該重み付けされたペリクル膜の変位の加重平均を求め、当該加重平均を、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位とみなすようにした。
【0186】
これにより、本実施形態に係るテンション計測装置は、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５の配置に応じて異なるおそれのある、例えばダウンフローによって生じるペリクル膜の変位をより正確に計測することができる。このため、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５のそれぞれにおいて、圧縮空気によるペリクル膜の変位をより正確に測定することができる。
【0187】
なお、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５で計測されたペリクル膜の変位の平均値を、例えばダウンフローによって生じるペリクル膜の変位として計測してもよい。
【0188】
また、本実施形態においては、超音波センサによりペリクル膜の変化を計測したが、光学式変位センサなどによりペリクル膜の変化を計測してもよい。
【0189】
また、本実施形態においては、空気をペリクル膜に噴射したが、空気以外の窒素やアルゴンなどを噴射するようにしてもよい。
【0190】
また、本実施形態においては、第２の超音波センサを４つ配置したが、第２の超音波センサを３つとし、これら３つの第２の超音波センサを結ぶ線が正三角形となるように３つの第２の超音波センサを配置してもよい。
【0191】
また、本実施形態においては、圧縮空気によるペリクル膜の変位の計測を複数回行って、これら計測の平均値を、圧縮空気によるペリクル膜の変位として計測してもよい。この場合、圧縮空気によるペリクル膜の変位をより正確に求めることができる。
【0192】
また、本実施形態においては、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５及び第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５の各超音波センサでの計測を所定時間の間に所定の順序で行う構成としたが、これに限らず、例えば第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５とが互いに独立して計測可能な構成としてもよい。この場合、第１の超音波センサ２３２、２３３、２３４、２３５と、第２の超音波センサ３３２、３３３、３３４、３３５との計測タイミングを合わせることができる。
【0193】
上述の所定の順序としては、例えば、第１の超音波センサ２３２、第１の超音波センサ２３３、第１の超音波センサ２３４、第１の超音波センサ２３５、第２の超音波センサ３３２、第２の超音波センサ３３３、第２の超音波センサ３３４、第２の超音波センサ３３５などが挙げられるが、これに限定されるものではなく、実験等により任意の順序に設定可能である。なお、例えば線形補間やバイキュービック補間などの補間方法によって各超音波センサ間における時間的なずれを補間することによって、各超音波センサ間の時間的なずれを解消することも可能である。
【0194】
本発明の実施形態を開示したが、当業者によっては本発明の範囲を逸脱することなく変更が加えられうることは明白である。すべてのこのような修正及び等価物が次の請求項に含まれることが意図されている。
【符号の説明】
【0195】
１ ペリクル検査装置
２３ テンション計測装置
２３１ エアノズル（ノズル）
２３２、２３３、２３４、２３５ 第１の超音波センサ
３３２、３３３、３３４、３３５ 第２の超音波センサ
２３６ 圧縮空気噴射部
２３７ 制御部
２４０ 支持台
２４１ 支柱
２４２ 装置本体（傾斜部材）
２４２ａ 傾斜面（反射部）
２４２ｂ 中空部
２４５ 支持部材
２４５ａ センサ筐体
２４５ｂ ブラケット
２４５ｃ 軸部材
２４５ｄ 軸部材
２４５ｅ 固定部材
３００ フレーム部材
３４０ センサ筐体
３４０ａ 表面
Ｓ 送受信面（受信面）
Ｐａｔｈ＿１ 第１の超音波センサの超音波の伝搬路
Ｐａｔｈ＿２ 第２の超音波センサの超音波の伝搬路
Ｒ 噴射された圧縮空気による変位が生じる領域
２３ テンション計測装置
２３１ エアノズル（ノズル）
２３２、２３３、２３４、２３５ 第１の超音波センサ
３３２、３３３、３３４、３３５ 第２の超音波センサ
２３６ 圧縮空気噴射部
２３７ 制御部
２４０ 支持台
２４１ 支柱
２４２ 装置本体（傾斜部材）
２４２ａ 傾斜面（反射部）
２４２ｂ 中空部
２４５ 支持部材
２４５ａ センサ筐体
２４５ｂ ブラケット
２４５ｃ 軸部材
２４５ｄ 軸部材
２４５ｅ 固定部材
３００ フレーム部材
３４０ センサ筐体
３４０ａ 表面
Ｓ 送受信面（受信面）
Ｐａｔｈ＿１ 第１の超音波センサの超音波の伝搬路
Ｐａｔｈ＿２ 第２の超音波センサの超音波の伝搬路
Ｒ 噴射された圧縮空気による変位が生じる領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】