特開 2023-108248 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023108248

(43)【公開日】2023-08-04

(54)【発明の名称】基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230728BHJP

   B25J 15/00 20060101ALI20230728BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20230728BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J15/00 C

B65G49/07 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022009264

(22)【出願日】2022-01-25

(71)【出願人】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(74)【代理人】

【識別番号】100202728

【弁理士】

【氏名又は名称】三森 智裕

(72)【発明者】

【氏名】木下 真也

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707BS15

3C707DS10

3C707ES17

3C707EU12

3C707HS27

3C707NS12

5F131AA02

5F131CA70

5F131DA23

5F131DA43

5F131DB03

5F131DB52

5F131DB76

5F131DB82

(57)【要約】

【課題】基板を保持するブレードに対して駆動力が働かない場合でも、ブレード同士の間のピッチを維持することが可能な基板保持ハンドを提供する。
【解決手段】基板保持ハンド２０は、基板Ｗを各々支持し、互いに離間した状態で積層される複数のブレード３０と、複数のブレード３０を支持し、ブレード３０同士の間のピッチｐを変更するリンク機構４０と、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０に力を付与する付勢部材７０と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を各々支持し、互いに離間した状態で積層される複数のブレードと、
前記複数のブレードを支持し、前記ブレード同士の間のピッチを変更するリンク機構と、
前記リンク機構を駆動する駆動部とは別個に配置され、前記ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向に前記リンク機構に力を付与する力付与部材と、を備える、基板保持ハンド。

【請求項2】

前記力付与部材は、前記ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向に前記リンク機構を付勢する付勢部材を含む、請求項１に記載の基板保持ハンド。

【請求項3】

前記リンク機構を駆動する前記駆動部をさらに備え、
前記力付与部材により前記複数のブレードの自重に抗する付勢力を付与した状態で、前記駆動部により前記ブレード同士の間のピッチが変更される、請求項１または請求項２に記載の基板保持ハンド。

【請求項4】

前記駆動部の駆動力が無い状態で、前記力付与部材によって付与される力と前記複数のブレードの自重とはバランスしている、請求項３に記載の基板保持ハンド。

【請求項5】

前記リンク機構は、
前記駆動部に接続される第１リンク部材と、
前記複数のブレードの各々に接続される複数の第２リンク部材と、
前記複数の第２リンク部材同士を接続する第３リンク部材と、を含み、
前記力付与部材は、前記第１リンク部材と前記第３リンク部材とに接続されている、請求項３または請求項４に記載の基板保持ハンド。

【請求項6】

前記リンク機構は、
前記駆動部に接続される第１リンク部材と、
前記複数のブレードの各々に接続される複数の第２リンク部材と、
前記複数の第２リンク部材同士を接続する第３リンク部材と、を含み、
前記基板保持ハンドに固定される支持部をさらに備え、
前記力付与部材は、
前記第１リンク部材と前記支持部に接続される第１力付与部材と、
前記第３リンク部材と前記支持部に接続される第２力付与部材と、を含む、請求項３または請求項４に記載の基板保持ハンド。

【請求項7】

前記力付与部材は、前記第１リンク部材が前記ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向に回転する引張力を付与する引張コイルばねを含む、請求項５または請求項６に記載の基板保持ハンド。

【請求項8】

前記リンク機構は、
前記駆動部に接続される第１リンク部材と、
前記複数のブレードの各々に接続される複数の第２リンク部材と、
前記複数の第２リンク部材同士を接続する第３リンク部材と、を含み、
前記力付与部材は、前記第１リンク部材に配置されるウェイトを含む、請求項３または請求項４に記載の基板保持ハンド。

【請求項9】

前記リンク機構は、
前記駆動部に接続される第１リンク部材と、
前記複数のブレードの各々に接続される複数の第２リンク部材と、
前記複数の第２リンク部材同士を接続する第３リンク部材と、を含み、
前記力付与部材は、ワイヤおよび滑車を介して前記第３リンク部材に接続されるウェイトを含む、請求項３または請求項４に記載の基板保持ハンド。

【請求項10】

前記基板保持ハンドは、第１基板保持ハンドと、前記第１基板保持ハンドの上方に配置され、前記第１基板保持ハンドとは別個に動作する第２基板保持ハンドとを含み、
前記ブレードは、
前記第１基板保持ハンドに配置され、前記第１基板保持ハンドに固定されている第１ブレードと、
前記第２基板保持ハンドに配置され、前記リンク機構により前記ブレード同士の間のピッチが変更される複数の第２ブレードと、を含む、請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の基板保持ハンド。

【請求項11】

ロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に配置される基板保持ハンドと、を備え、
前記基板保持ハンドは、
基板を各々支持し、互いに離間した状態で積層される複数のブレードと、
前記複数のブレードを支持し、前記ブレード同士の間のピッチを変更するリンク機構と、
前記リンク機構を駆動する駆動部とは別個に配置され、前記ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向に前記リンク機構に力を付与する力付与部材と、を備える、基板搬送ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この開示は、基板保持ハンドおよび基板搬送ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板搬送ハンドを備える基板搬送ロボットが知られている。特許文献１には、基板を保持する複数のブレードと、ブレード同士の間のピッチを変更するピッチ変更機構部とを備える基板保持装置が開示されている。特許文献１では、ピッチ変更機構部は、複数のブレードの基端側に各々取り付けられるブレード取付用板を含む。複数のブレード取付用板は、ピッチ変換用シリンダに取り付けられている。ピッチ変換用シリンダがブレード取付用板を往復移動させることにより、ブレード同士の間のピッチが変更される。ピッチ変換用シリンダは、空圧によって駆動される。ピッチ変換用シリンダは、ブレード同士の間のピッチを、広いピッチと狭いピッチとの２段階に変更する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－３１３８６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の基板保持装置では、ピッチ変換用シリンダがブレード取付用板を往復移動させることにより、複数のブレードのピッチが変更されている。ここで、基板保持装置のメンテナンスなどの作業時、ピッチ変換用シリンダの駆動が停止される場合がある。この場合、ピッチ変換用シリンダに空気が供給されないため、ブレードの自重によって、ブレードが下方に移動してしまい、ブレード同士の間のピッチが狭くなってしまう。そこで、基板を保持するブレードに対して駆動力が働かない場合でも、ブレード同士の間のピッチを維持することが望まれている。

【0005】

この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、基板を保持するブレードに対して駆動力が働かない場合でも、ブレード同士の間のピッチを維持することが可能な基板保持ハンドおよび基板搬送ロボットを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この開示の第１の局面による基板保持ハンドは、基板を各々支持し、互いに離間した状態で積層される複数のブレードと、複数のブレードを支持し、ブレード同士の間のピッチを変更するリンク機構と、リンク機構を駆動する駆動部とは別個に配置され、ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向にリンク機構に力を付与する力付与部材と、を備える。

【0007】

この開示の第１の局面による基板保持ハンドは、上記のように、リンク機構を駆動する駆動部とは別個に配置され、ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向にリンク機構に力を付与する力付与部材を備える。これにより、力付与部材により、ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向にリンク機構に力が付与されるので、基板を保持するブレードに対して駆動力が働かない場合でも、ブレード同士の間のピッチを維持できる。

【0008】

この開示の第２の局面による基板搬送ロボットは、ロボットアームと、ロボットアームの先端に配置される基板保持ハンドと、を備え、基板保持ハンドは、基板を各々支持し、互いに離間した状態で積層される複数のブレードと、複数のブレードを支持し、ブレード同士の間のピッチを変更するリンク機構と、リンク機構を駆動する駆動部とは別個に配置され、ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向にリンク機構に力を付与する力付与部材と、を備える。

【0009】

この開示の第２の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、リンク機構を駆動する駆動部とは別個に配置され、ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向にリンク機構に力を付与する力付与部材を備える。これにより、力付与部材により、ブレード同士の間のピッチが大きくなる方向にリンク機構に力が付与されるので、基板を保持するブレードに対して駆動力が働かない場合でも、ブレード同士の間のピッチを維持することが可能な基板搬送ロボットを提供できる。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、基板を保持するブレードに対して駆動力が働かない場合でも、ブレード同士の間のピッチを維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態による基板搬送ロボットの構成を示す図である。

【図2】ブレード同士の間のピッチが大きい状態のリンク機構を示す斜視図である。

【図3】ブレード同士の間のピッチが大きい状態のリンク機構をＹ１側から見た図である。

【図4】ブレード同士の間のピッチが小さい状態のリンク機構をＹ１側から見た図である。

【図5】ブレードの接続部を示す図である。

【図6】ブレードの接続部と偏心部材とを示す図である。

【図7】ブレードの高さ位置が上方側に微調整された状態を示す図である。

【図8】ブレードの高さ位置が下方側に微調整された状態を示す図である。

【図9】ブレードの接続部と第２リンク部材との接続を説明するための図である。

【図10】第２実施形態による付勢部材を示す図である。

【図11】第１変形例によるウェイトを示す図である。

【図12】第２変形例によるウェイトを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本開示を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0013】

［第１実施形態］
（基板搬送ロボットの構成）
図１から図９までを参照して、第１実施形態による基板搬送ロボット１００の構成について説明する。図１に示すように、基板搬送ロボット１００は、ロボットアーム１０と、基板保持ハンド２０と、を備えている。

【0014】

なお、本願明細書において、上下方向をＺ方向とする。上方側をＺ１側とし、下方側をＺ２側とする。Ｚ方向に直交する方向をＸ方向とする。Ｘ方向の一方側をＸ１側とし、他方側をＸ２側とする。Ｚ方向およびＸ方向に直交する方向をＹ方向とする。Ｙ方向の一方側をＹ１側とし、他方側をＹ２側とする。

【0015】

ロボットアーム１０は、水平多関節ロボットアームである。ロボットアーム１０は、第１アーム１１と、第２アーム１２とを含む。第１アーム１１の一方端部は、第１関節１３ａを介してベース１４に接続されている。第２アーム１２の一方端部は、第２関節１３ｂを介して第１アーム１１の他方端部に接続されている。第２アーム１２の他方端部には、第３関節１３ｃを介して基板保持ハンド２０が接続されている。第１関節１３ａ、第２関節１３ｂおよび第３関節１３ｃの各関節には、回転駆動の駆動源であるサーボモータと、サーボモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置センサと、サーボモータの出力を関節に伝達する動力伝達機構とを含む駆動機構が配置されている。第１関節１３ａ、第２関節１３ｂおよび第３関節１３ｃは、各々、鉛直方向に沿った、第１回転軸線Ａ１、第２回転軸線Ａ２および第３回転軸線Ａ３周りに回転する。

【0016】

（基板保持ハンドの構成）
図２に示すように、基板保持ハンド２０は、ブレード３０と、リンク機構４０と、図６に示す偏心ボルト５０と、駆動部６０と、付勢部材７０と、を備えている。なお、図２、図３および図４では、リンク機構４０、偏心ボルト５０、駆動部６０および付勢部材７０を覆う図１に示されるカバー部２０ａは、省略されている。

【0017】

図１に示すように、基板保持ハンド２０は、ロボットアーム１０の先端に配置されている。上記のように、基板保持ハンド２０は、第２アーム１２の他方端部に接続されている。

【0018】

図１に示すように、基板保持ハンド２０は、第１基板保持ハンド２１と、第２基板保持ハンド２２とを含む。第２基板保持ハンド２２は、第１基板保持ハンド２１の上方に配置され、第１基板保持ハンド２１とは別個に動作する。具体的には、第１基板保持ハンド２１は、第２アーム１２の他方端部に接続されている。第２基板保持ハンド２２は、第１基板保持ハンド２１に接続されている。第２基板保持ハンド２２は、第３回転軸線Ａ３周りに回転する。

【0019】

第１実施形態では、図１に示すように、ブレード３０は、複数配置されている。複数のブレード３０は、基板Ｗを各々支持し、互いに離間した状態で積層されている。図２に示すように、ブレード３０は、ブレード本体部３１と、支持部３２と、接続部３３とを含む。ブレード本体部３１は、基板Ｗを支持する。ブレード本体部３１は、先端が２つに分離されたＹ字形状を有する。ブレード本体部３１は、薄板形状を有する。ブレード本体部３１の形状は、Ｙ字形状および薄板形状に限られない。支持部３２は、ブレード本体部３１を支持する。支持部３２は、ブレード本体部３１の基端側に配置されている。接続部３３は、支持部３２と後述する第２リンク部材４２とを接続する。接続部３３は、第２リンク部材４２に接続される第１接続部分３３ａと、第１接続部分３３ａと支持部３２とを接続する第２接続部分３３ｂとを含む。すなわち、ブレード本体部３１、支持部３２、第２接続部分３３ｂ、第１接続部分３３ａおよび第２リンク部材４２がこの順で接続されている。

【0020】

第１実施形態では、図１に示すように、ブレード３０は、第１ブレード３０ａと、第２ブレード３０ｂとを含む。第１ブレード３０ａは、第１基板保持ハンド２１に配置されている。第１ブレード３０ａは、第１基板保持ハンド２１に固定されている。第１ブレード３０ａは、１つ配置されている。第２ブレード３０ｂは、第２基板保持ハンド２２に配置されている。図３および図４に示すように、第２ブレード３０ｂは、リンク機構４０により第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐが変更される。第２ブレード３０ｂは、たとえば、４つ配置されている。複数の第２ブレード３０ｂの構成は、互いに同様である。第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐとは、隣り合う第２ブレード３０ｂの間のＺ方向における間隔を意味する。

【0021】

図３に示すように、第１基板保持ハンド２１は、基台部２１ａと接続部２１ｂとを含む。基台部２１ａには、第１ブレード３０ａが取り付けられる。接続部２１ｂは、第２アーム１２に接続される。

【0022】

図２に示すように、第２基板保持ハンド２２は、基台部２２ａと、ガイド部２３と、リンク機構４０と、を含む。基台部２２ａは、第１基板保持ハンド２１の基台部２１ａに接続されている。ガイド部２３は、基台部２２ａに取り付けられている。ガイド部２３は、リンク機構４０によって第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐが変更される際に、第２ブレード３０ｂのＺ方向の移動をガイドする。具体的には、ガイド部２３は、支柱部２３ａと、ガイドレール部２３ｂとを含む。支柱部２３ａは、Ｚ方向に沿うように配置される板形状を有する。ガイドレール部２３ｂは、Ｚ方向に沿う棒形状を有し、複数配置されている。具体的には、ガイドレール部２３ｂは、支柱部２３ａのＸ１側とＸ２側との両方に、各々、４つずつ配置されている。

【0023】

上から１番目の第２ブレード３０ｂの第２接続部分３３ｂは、ガイドレール部２３ｂによりガイドされる。上から２番目の第２ブレード３０ｂの第２接続部分３３ｂも同様に、ガイドレール部２３ｂによりガイドされる。上から３番目の第２ブレード３０ｂには、ガイドレール部２３ｂによりガイドされる被ガイド部３４が取り付けられている。上から４番目の第２ブレード３０ｂも同様に、ガイドレール部２３ｂによりガイドされる被ガイド部３４が取り付けられている。

【0024】

第１実施形態では、リンク機構４０は、複数のブレード３０を支持し、ブレード３０同士の間のピッチｐを変更する。具体的には、リンク機構４０は、第２ブレード３０ｂを支持し、第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐを変更する。リンク機構４０により第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐが変更されることにより、最下段の第２ブレード３０ｂと第１ブレード３０ａとの間のピッチｐも変更される。リンク機構４０は、駆動部６０の回転運動を、ブレード３０をＺ方向に沿って移動させるための往復運動に変換する。

【0025】

第１実施形態では、リンク機構４０は、第１リンク部材４１と、第２リンク部材４２と、第３リンク部材４３とを含む。第１リンク部材４１は、駆動部６０に接続される。複数の第２リンク部材４２は、各々、ブレード３０に接続される、第３リンク部材４３は、複数の第２リンク部材４２同士を接続する。第１リンク部材４１、第２リンク部材４２、および、第３リンク部材４３は、各々、金属からなるととも板形状を有する。第１リンク部材４１、第２リンク部材４２、および、第３リンク部材４３は、金属以外の材質から構成されていてもよいし、板形状以外の形状を有していてもよい。

【0026】

具体的には、第１リンク部材４１は、第１部分４１ａと第２部分４１ｂと、を含む。第１部分４１ａの一方端部は、駆動部６０の駆動軸に接続されている。第１部分４１ａは、駆動部６０の駆動力によって回転される。第１部分４１ａの一方端部は、Ｙ方向に沿ったＢ１軸線周りに回転する。第１部分４１ａの他方端部は、第２部分４１ｂの一方端部に接続されている。第２部分４１ｂの他方端部は、第３リンク部材４３の一方端部に接続されている。また、第１リンク部材４１および駆動部６０は、ガイド部２３の支柱部２３ａに接続される支持部４５に支持されている。

【0027】

第２リンク部材４２の一方端部は、第３リンク部材４３に接続されている。第２リンク部材４２の他方端部は、第２ブレード３０ｂに接続されている。第２リンク部材４２は、４つの第２ブレード３０ｂに対応して、４つ配置されている。４つの第２ブレード３０ｂのうちの上から１番目の第２ブレード３０ｂと３番目の第２ブレード３０ｂとの各々に接続される第２リンク部材４２ａおよび第２リンク部材４２ｃは、第３リンク部材４３のＹ１側に接続されている。上から２番目の第２ブレード３０ｂと４番目の第２ブレード３０ｂとの各々に接続される第２リンク部材４２ｂおよび第２リンク部材４２ｄは、第３リンク部材４３のＹ２側に接続されている。第２リンク部材４２ａ、第２リンク部材４２ｂ、第２リンク部材４２ｃおよび第２リンク部材４２ｄの長手方向の長さは、第２リンク部材４２ａの長さ＞第２リンク部材４２ｂの長さ＞第２リンク部材４２ｃの長さ＞第２リンク部材４２ｄの長さ、の関係を有する。

【0028】

第３リンク部材４３の一方端部は、第１リンク部材４１の第２部分４１ｂの他方端部に接続されている。第３リンク部材４３の他方端部は、基台部２２ａに配置された支持部４４に接続されている。第３リンク部材４３の他方端部は、Ｙ方向に沿ったＢ２軸線周りに回転する。

【0029】

駆動部６０は、リンク機構４０を駆動する。上記のように、駆動部６０は、第１リンク部材４１の第１部分４１ａに接続されており、第１部分４１ａの一方端部をＢ１軸線周りに回転させる。駆動部６０は、第１リンク部材４１を回転させるアクチュエーターである。たとえば、駆動部６０は、サーボモータである。

【0030】

（付勢部材）
第１実施形態では、付勢部材７０は、リンク機構４０を駆動する駆動部６０とは別個に配置されている。付勢部材７０は、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０に力を付与する。付勢部材７０は、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０を付勢する。

【0031】

第１実施形態では、付勢部材７０は、第１リンク部材４１と第３リンク部材４３とに接続されている。付勢部材７０は、第１リンク部材４１がブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転する引張力を付与する引張コイルばねを含む。具体的には、付勢部材７０の両端には、円形状のフック部７１が配置されている。第１リンク部材４１には、付勢部材取付部４１ｃが配置されている。第３リンク部材４３には、付勢部材取付部４３ａが配置されている。付勢部材取付部４１ｃおよび付勢部材取付部４３ａは、Ｌ字形状を有しＹ１側に突出する。付勢部材取付部４１ｃおよび付勢部材取付部４３ａは、各々、切欠き部４１ｄおよび孔部４３ｂを有する。付勢部材７０の両端のフック部７１が、各々、付勢部材取付部４１ｃの切欠き部４１ｄと、付勢部材取付部４３ａの孔部４３ｂとに取り付けられている。また、付勢部材７０は、１つのみ配置されている。

【0032】

第１実施形態では、付勢部材７０により複数の第２ブレード３０ｂの自重に抗する付勢力を付与した状態で、駆動部６０により第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐが変更される。また、駆動部６０の駆動力が無い状態で、付勢部材７０によって付与される力と複数の第２ブレード３０ｂの自重とはバランスしている。基板保持ハンド２０に複数の第２ブレード３０ｂが取り付けられていない状態では、付勢部材７０の付勢力によって、リンク機構４０の第１部分４１ａと第３リンク部材４３とがなす角度が最大の状態となる。基板保持ハンド２０に複数の第２ブレード３０ｂが取り付けられることによって、リンク機構４０の第１部分４１ａと第３リンク部材４３とがなす角度がある程度小さくなる。そして、付勢部材７０によって付与される力と複数の第２ブレード３０ｂの自重とがバランスする。これにより、駆動部６０の駆動力が無い状態で、作業者は、比較的小さな力で第２ブレード３０ｂをＺ方向に移動させることができる。

【0033】

また、付勢部材７０の付勢力と、複数の第２ブレード３０ｂの自重とがバランスした状態で、駆動部６０により第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐが変更される。図３に示すように、付勢部材７０の付勢力と、複数の第２ブレード３０ｂの自重とがバランスした状態では、第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐは大きい。図４に示すように、駆動部６０により第１リンク部材４１の第１部分４１ａが、反時計回りに回転されることにより、第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐが小さくなる。駆動部６０の回転量は連続的に変更可能であるので、第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐの大きさは連続的に変更可能である。

【0034】

（偏心部材）
第１実施形態では、図５に示すように、偏心ボルト５０は、複数のブレード３０とリンク機構４０とを接続する。図６に示すように、偏心ボルト５０は、軸部材５１と、軸部材５１の回転中心軸線Ｃ１から偏心している円盤状のフランジ部５２とを有する。偏心ボルト５０は、軸部材５１の回転中心軸線Ｃ１と、円盤状のフランジ部５２の回転中心軸線Ｃ２とがずれている部材である。偏心ボルト５０は、ブレード３０のＺ方向の高さ位置を微調整するための部材である。

【0035】

第１実施形態では、複数の第２ブレード３０ｂと、複数の第２リンク部材４２とは、各々、偏心ボルト５０により接続されている。第２ブレード３０ｂは、孔部３３ｃを有する。孔部３３ｃは、接続部３３の第１接続部分３３ａに配置されている。偏心ボルト５０は、孔部３３ｃに挿入される。孔部３３ｃの内側面にフランジ部５２が当接した状態で、孔部３３ｃに挿入された偏心ボルト５０が回転されることにより、第２ブレード３０ｂが上下方向に移動する。これにより、第２ブレード３０ｂの高さ位置が微調整される。また、孔部３３ｃには、底部３３ｄが配置されている。底部３３ｄには、孔部３３ｅが配置されている。偏心ボルト５０が孔部３３ｅに挿入された状態で、フランジ部５２は、底部３３ｄに当接する。

【0036】

図５に示すように、第２ブレード３０ｂの孔部３３ｃは、長円形状を有する。フランジ部５２がＹ１方向に突出するように偏心ボルト５０が回転されることにより、第２ブレード３０ｂの高さ位置がｈ１となる。図７に示すように、フランジ部５２がＺ１方向に突出するように偏心ボルト５０が回転されることにより、第２ブレード３０ｂの高さ位置がｈ１よりも高いｈ２となる。図８に示すように、フランジ部５２がＺ２方向に突出するように偏心ボルト５０が回転されることにより、第２ブレード３０ｂの高さ位置がｈ１よりも低いｈ３となる。偏心ボルト５０が回転されることにより、第２ブレード３０ｂの高さ位置は、ｈ２とｈ３との間で連続的に調整される。

【0037】

第１実施形態では、図９に示すように、偏心ボルト５０の一方端部には、ナット５３が螺合される。偏心ボルト５０は、第２ブレード３０ｂの上下方向の高さ位置を微調整する部材と、第２ブレード３０ｂと、第２リンク部材４２とを締結するための部材とを兼ねている。具体的には、第２リンク部材４２には、孔部４２１が配置されている。孔部４２１には、円環状の軸受け５４が配置される。第２リンク部材４２は、軸受け５４を覆うカバー部材４２２を含む。偏心ボルト５０の軸部材５１は、第２リンク部材４２の孔部４２１、軸受け５４および第２ブレード３０ｂの孔部３３ｃを貫通する。偏心ボルト５０の軸部材５１は、軸受け５４に支持される。偏心ボルト５０のフランジ部５２は、第２ブレード３０ｂの第１接続部分３３ａの孔部３３ｃに配置される。第１接続部分３３ａの孔部３３ｃを貫通した偏心ボルト５０の一方端部にナット５３が螺合されることにより、第２ブレード３０ｂと第２リンク部材４２とが締結される。偏心ボルト５０の一方端部にはワッシャ５５が配置されている。偏心ボルト５０の他方端部には、スナップリング５６が取り付けられる。

【0038】

［第１実施形態の効果］
リンク機構４０を駆動する駆動部６０とは別個に配置され、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０に力を付与する付勢部材７０が配置されている。これにより、付勢部材７０により、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０に力が付与されるので、基板Ｗを保持するブレード３０に対して駆動力が働かない場合でも、ブレード３０同士の間のピッチｐを維持できる。

【0039】

付勢部材７０は、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０を付勢する。これにより、付勢部材７０の付勢力によって、容易に、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０を付勢できる。

【0040】

付勢部材７０により複数のブレード３０の自重に抗する付勢力を付与した状態で、駆動部６０によりブレード３０同士の間のピッチｐが変更される。これにより、付勢部材７０により複数のブレード３０の自重に抗する付勢力が付与されるので、比較的小さい駆動部６０の駆動力によってブレード３０同士の間のピッチｐを変更できる。

【0041】

駆動部６０の駆動力が無い状態で、付勢部材７０によって付与される力と複数のブレード３０の自重とはバランスしている。これにより、複数のブレード３０の自重と付勢部材７０によって付与される力がバランスするので、基板Ｗを保持するブレード３０に対して駆動力が働かない場合でも、ブレード３０同士の間のピッチｐを容易に維持できる。

【0042】

付勢部材７０は、第１リンク部材４１と第３リンク部材４３とに接続されている。これにより、駆動部６０の駆動力が無い状態でも、付勢部材７０により、第１リンク部材４１と第３リンク部材４３とが、ブレード３０同士の間のピッチｐが小さくなる方向に回転することを抑制できる。

【0043】

付勢部材７０は、第１リンク部材４１がブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転する引張力を付与する引張コイルばねを含む。これにより、比較的簡易な構成の引張コイルばねによってブレード３０同士の間のピッチｐを維持できるので、基板保持ハンド２０の構造を簡略化できる。

【0044】

ブレード３０は、第１基板保持ハンド２１に配置され、第１基板保持ハンド２１に固定されている第１ブレード３０ａと、第２基板保持ハンド２２に配置され、リンク機構４０によりブレード３０同士の間のピッチｐが変更される複数の第２ブレード３０ｂと、を含む。これにより、第２ブレード３０ｂに対して駆動力が働かない場合でも、リンク機構４０により第２ブレード３０ｂ同士の間のピッチｐを維持できる。その結果、第２ブレード３０ｂと第１ブレード３０ａとの間のピッチｐも維持できる。

【0045】

［第２実施形態］
第２実施形態による付勢部材１７０の構成について説明する。図１０に示すように、付勢部材１７０は、一対の付勢部材１７０ａおよび付勢部材１７０ｂを含む。付勢部材１７０ａは、第１リンク部材４１と支持部１７１とに接続されている。付勢部材１７０ｂは、第３リンク部材４３と支持部１７１とに接続されている。支持部１７１は、第２基板保持ハンド２２に固定された部材である。付勢部材１７０ａおよび付勢部材１７０ｂは、各々、第１リンク部材４１および第３リンク部材４３がブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転する引張力を付与する引張コイルばねである。付勢部材１７０ａと付勢部材１７０ｂとの２つの付勢部材が配置されることにより、付勢部材１７０ａおよび付勢部材１７０ｂの伸び量や必要なバネ力を低減できる。付勢部材１７０は、力付与部材の一例である。付勢部材１７０ａおよび付勢部材１７０ｂは、それぞれ、第１力付与部材および第２力付与部材の一例である。

【0046】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0047】

たとえば、上記第１および第２実施形態では、第２ブレード３０ｂが４つ配置される例を示したが、本開示はこれに限られない。第２ブレード３０ｂの数は、４つ以外でもよい。

【0048】

また、上記第１実施形態では、第１リンク部材４１、第２リンク部材４２および第３リンク部材４３によってリンク機構４０が構成されている例を示したが、本開示はこれに限られない。リンク部材の種類の数、リンク機構の形状は、上記第１実施形態のリンク機構４０の構成に限られない。

【0049】

また、上記第１および第２実施形態では、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向にリンク機構４０に力を付与する力付与部材として、引張コイルばねである付勢部材７０および１７０を適用する例を示したが、本開示はこれに限られない。たとえば、図１１に示す第１変形例に示すように、第１リンク部材４１がブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転するように、第１リンク部材４１にウェイト２４１を配置してもよい。ウェイト２４１は、力付与部材の一例である。ウェイト２４１により、容易に、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転するように第１リンク部材４１に力を付与することができる。

【0050】

また、図１２に示す第２変形例に示すように、第３リンク部材４３がブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転するように、第３リンク部材４３にワイヤ３４１および滑車３４２を介してウェイト３４３を接続してもよい。ウェイト３４３は、力付与部材の一例である。ウェイト３４３により、容易に、ブレード３０同士の間のピッチｐが大きくなる方向に回転するように第１リンク部材４１に力を付与することができる。

【0051】

また、上記第１および第２実施形態では、基板保持ハンド２０は、第１基板保持ハンド２１と、第２基板保持ハンド２２とを含む例を示したが、本開示はこれに限られない。たとえば、第１基板保持ハンド２１が配置されない基板保持ハンドにも本開示を適用することは可能である。

【符号の説明】

【0052】

１０ ロボットアーム
２０ 基板保持ハンド
２１ 第１基板保持ハンド
２２ 第２基板保持ハンド
３０ ブレード
３０ａ 第１ブレード
３０ｂ 第２ブレード
４０ リンク機構
４１ 第１リンク部材
４２、４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ 第２リンク部材
４３ 第３リンク部
７０ 付勢部材（力付与部材）
６０ 駆動部
１００ 基板搬送ロボット
１７０ 付勢部材（力付与部材）
１７０ａ 付勢部材（第１力付与部材）
１７０ｂ 付勢部材（第２力付与部材）
１７１ 支持部
２４１ ウェイト（力付与部材）
３４１ ワイヤ
３４２ 滑車
３４３ ウェイト（力付与部材）
ｐ ピッチ
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】