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青山学院大学 (神奈川県相模原市中央区淵野辺)

2023-109729カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023109729

(43)【公開日】2023-08-08

(54)【発明の名称】カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

(51)【国際特許分類】

G03F 7/004 20060101AFI20230801BHJP

C07C 381/12 20060101ALI20230801BHJP

C07C 62/24 20060101ALI20230801BHJP

C07C 61/135 20060101ALI20230801BHJP

C07C 63/70 20060101ALI20230801BHJP

C09K 3/00 20060101ALI20230801BHJP

C07D 321/10 20060101ALI20230801BHJP

G03F 7/039 20060101ALI20230801BHJP

G03F 7/038 20060101ALI20230801BHJP

G03F 7/20 20060101ALI20230801BHJP

【ＦＩ】

G03F7/004 502

C07C381/12 CSP

C07C62/24

C07C61/135

C07C63/70

C09K3/00 K

C07D321/10

G03F7/004 503A

G03F7/039 601

G03F7/038 601

G03F7/20 521

【審査請求】未請求

【請求項の数】22

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023010337

(22)【出願日】2023-01-26

(31)【優先権主張番号】P 2022011213

(32)【優先日】2022-01-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000002093

【氏名又は名称】住友化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000202

【氏名又は名称】弁理士法人新樹グローバル・アイピー

(72)【発明者】

【氏名】小室勝洋

(72)【発明者】

【氏名】寺東祥平

(72)【発明者】

【氏名】市川幸司

【テーマコード（参考）】

2H197

2H225

4H006

【Ｆターム（参考）】

2H197AA12

2H197CA06

2H197CA08

2H197CA09

2H197CA10

2H197CE01

2H197CE10

2H197HA03

2H197JA22

2H225AF22P

2H225AF23P

2H225AF53P

2H225AF67P

2H225AF71P

2H225AF73P

2H225AF92P

2H225AF99P

2H225AH17

2H225AH19

2H225AJ13

2H225AJ55

2H225AJ59

2H225AM23P

2H225AM27P

2H225AN38P

2H225AN39P

2H225AN45P

2H225AN54P

2H225BA02P

2H225BA26P

2H225BA29P

2H225CA12

2H225CB10

2H225CC01

2H225CC15

2H225CD05

4H006AA01

4H006AA03

4H006AB80

4H006BM30

4H006BM74

4H006BR70

4H006BS20

4H006BS30

4H006TN10

4H006TN30

(57)【要約】（修正有）

【課題】良好なＣＤ均一性を有するレジストパターンを製造することができるカルボン酸塩、カルボン酸発生剤及びこれを含むレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩、カルボン酸発生剤及びレジスト組成物。

［式中、Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３はそれぞれ置換基を有してもよいナフタレン、置換基を有してもよいアントラセン又は置換基を有してもよいフェナントレンを表す。Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９はそれぞれハロゲン原子、ハロアルキル基又は炭化水素基を表す。Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３はそれぞれ炭化水素基を表す。Ｘ^０は、置換基を有してもよい炭化水素基を表す。］
【選択図】なし

【特許請求の範囲】

【請求項1】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩を含有するカルボン酸発生剤。

【請求項2】

Ａ^１が、＊＊＊－Ｘ^０１－Ｌ^０１－又は＊＊＊－Ｌ^０１－Ｘ^０１－であり、
Ａ^２が、＊＊＊－Ｘ^０２－Ｌ^０２－又は＊＊＊－Ｌ^０２－Ｘ^０２－であり、
Ａ^３が、＊＊＊－Ｘ^０３－Ｌ^０３－又は＊＊＊－Ｌ^０３－Ｘ^０３－であり、
Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－を表し、
Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｓ^＋と結合するベンゼン環との結合部位を表す請求項１に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項3】

Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である請求項２に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項4】

Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である請求項２に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項5】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、式（ＩＡ）で表されるカルボン酸塩である請求項１に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項6】

ｍ４、ｍ５及びｍ６の少なくとも１つが１以上の整数であり、
Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６が、それぞれ独立に、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である請求項５に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項7】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、式（ＩＢ）で表されるカルボン酸塩である請求項１に記載のカルボン酸発生剤。

［式（ＩＢ）中、
Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ７、ｍ８、ｍ９、Ａ^１、Ａ^２、Ａ^３、Ｘ^０は、式（Ｉ）と同じものを表す。
Ｒ^４Ａ、Ｒ^５Ａ及びＲ^６Ａは、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又はヒドロキシ基を表す。
Ｒ^４Ｂ、Ｒ^５Ｂ及びＲ^６Ｂは、それぞれ独立に、炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１０、ｍ１１及びｍ１２は、それぞれ独立に、０又は１を表す。
ｍ４Ａは、１≦ｍ４Ａ≦７＋２×ｍ１０を満たすいずれかの整数を表し、ｍ４Ａが２以上のとき、複数のＲ^４Ａは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４Ｂは、０≦ｍ４Ｂ≦６＋２×ｍ１０を満たすいずれかの整数を表し、ｍ４Ｂが２以上のとき、複数のＲ^４Ｂは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５Ａは、０≦ｍ５Ａ≦７＋２×ｍ１１を満たすいずれかの整数を表し、ｍ５Ａが２以上のとき、複数のＲ^５Ａは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５Ｂは、０≦ｍ５Ｂ≦７＋２×ｍ１１を満たすいずれかの整数を表し、ｍ５Ｂが２以上のとき、複数のＲ^５Ｂは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ６Ａは、０≦ｍ６Ａ≦７＋２×ｍ１２を満たすいずれかの整数を表し、ｍ６Ａが２以上のとき、複数のＲ^６Ａは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ６Ｂは、０≦ｍ６Ｂ≦７＋２×ｍ１２を満たすいずれかの整数を表し、ｍ６Ｂが２以上のとき、複数のＲ^６Ｂは互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ４Ａ＋ｍ４Ｂ≦９であり、０≦ｍ５Ａ＋ｍ５Ｂ≦９、０≦ｍ６Ａ＋ｍ６Ｂ≦９である。］

【請求項8】

Ｘ^０が、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である請求項１に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項9】

Ｘ^０が、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である請求項８に記載のカルボン酸発生剤。

【請求項10】

請求項１～９のいずれかに記載のカルボン酸発生剤及び該カルボン酸発生剤以外の酸発生剤を含有するレジスト組成物。

【請求項11】

酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂をさらに含有し、
酸不安定基を有する構造単位が、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む請求項１０に記載のレジスト組成物。

【請求項12】

フッ素原子を有する構造単位を含む樹脂をさらに含有する請求項１０に記載のレジスト組成物。

【請求項13】

（１）請求項１０に記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。

【請求項14】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩。

【請求項15】

【請求項16】

Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である請求項１５に記載のカルボン酸塩。

【請求項17】

Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である請求項１５又は１６に記載のカルボン酸塩。

【請求項18】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、式（ＩＡ）で表されるカルボン酸塩である請求項１４又は１５に記載のカルボン酸塩。

【請求項19】

ｍ４、ｍ５及びｍ６の少なくとも１つが１以上の整数であり、
Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６が、それぞれ独立に、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である請求項１８に記載のカルボン酸塩。

【請求項20】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、式（ＩＢ）で表されるカルボン酸塩である請求項１４又は１５に記載のカルボン酸塩。

【請求項21】

Ｘ^０が、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である請求項１４又は１５に記載のカルボン酸塩。

【請求項22】

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、下記式で表されるカルボン酸塩をカルボン酸発生剤として含有するレジスト組成物がそれぞれ記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－０４６６６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明は、上記の塩を含有するレジスト組成物によって形成されたレジストパターンよりも、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）が良好なレジストパターンを形成するカルボン酸塩を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、以下の発明を含む。
［１］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩を含有するカルボン酸発生剤。

［式（Ｉ）中、
Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立に、置換基を有してもよいナフタレン、置換基を有してもよいアントラセン又は置換基を有してもよいフェナントレンを表す。
Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。
Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ３は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ３が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ^７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ^８は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ９は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ９が２以上のとき、複数のＲ^９は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５、０≦ｍ３＋ｍ９≦５である。
Ｘ^０は、置換基を有してもよい炭素数１～７２の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。］
［２］Ａ^１が、＊＊＊－Ｘ^０１－Ｌ^０１－又は＊＊＊－Ｌ^０１－Ｘ^０１－であり、
Ａ^２が、＊＊＊－Ｘ^０２－Ｌ^０２－又は＊＊＊－Ｌ^０２－Ｘ^０２－であり、
Ａ^３が、＊＊＊－Ｘ^０３－Ｌ^０３－又は＊＊＊－Ｌ^０３－Ｘ^０３－であり、
Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－を表し、
Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｓ^＋と結合するベンゼン環との結合部位を表す［１］に記載のカルボン酸発生剤。
［３］Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である［２］に記載のカルボン酸発生剤。
［４］Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［２］又は［３］に記載のカルボン酸発生剤。
［５］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、式（ＩＡ）で表されるカルボン酸塩である［１］～［４］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤。

［式（ｂｂ）中、
Ｌ^Ａは、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～６のアルカンジイル基又はハロゲン原子もしくは炭素数１～４のペルフルオロアルキル基を有していてもよい炭素数６～１４の芳香族炭化水素基を表す。
Ｌ^Ｂは、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
Ｒ^Ａは、置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
＊は、－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。］
［９］Ｘ^０が、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である［８］に記載のカルボン酸発生剤。
［１０］［１］～［９］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤及び該カルボン酸発生剤以外の酸発生剤を含有するレジスト組成物。
［１１］酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂をさらに含有し、酸不安定基を有する構造単位が、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む［１０］に記載のレジスト組成物。

［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
Ｌ^ａ０１、Ｌ^ａ１及びＬ^ａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒ^ａ０１、Ｒ^ａ４及びＲ^ａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒ^ａ０２、Ｒ^ａ０３及びＲ^ａ０４は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
［１２］フッ素原子を有する構造単位を含む樹脂をさらに含有する［１０］又は［１１］に記載のレジスト組成物。
［１３］（１）［１０］～［１２］のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。
［１４］上述した式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩。
［１５］Ａ^１が、＊＊＊－Ｘ^０１－Ｌ^０１－又は＊＊＊－Ｌ^０１－Ｘ^０１－であり、
Ａ^２が、＊＊＊－Ｘ^０２－Ｌ^０２－又は＊＊＊－Ｌ^０２－Ｘ^０２－であり、
Ａ^３が、＊＊＊－Ｘ^０３－Ｌ^０３－又は＊＊＊－Ｌ^０３－Ｘ^０３－であり、
Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－を表し、
Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｓ^＋と結合するベンゼン環との結合部位を表す［１４］に記載のカルボン酸塩。
［１６］Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である［１５］に記載のカルボン酸塩。
［１７］Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［１５］又は［１６］に記載のカルボン酸塩。
［１８］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、上述した式（ＩＡ）で表されるカルボン酸塩である［１４］～［１７］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［１９］ｍ４、ｍ５及びｍ６の少なくとも１つが１以上の整数であり、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６が、それぞれ独立に、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［１８］に記載のカルボン酸塩。
［２０］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩が、上述した式（ＩＢ）で表されるカルボン酸塩である［１４］～［１７］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［２１］Ｘ^０が、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、上述した式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である［１４］～［２０］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［２２］Ｘ^０が、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である［２１］に記載のカルボン酸塩。

【発明の効果】

【0006】

本発明のカルボン酸塩を含有するレジスト組成物を用いることにより、良好なＣＤ均一性（ＣＤＵ）でレジストパターンを製造することができる。

【発明を実施するための形態】

【0007】

本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及びメタクリル系モノマーの少なくとも１種」を意味する。「（メタ）アクリレート」及び「（メタ）アクリル酸」等の表記も同様の意味を表す。本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。炭化水素基等に含まれる－ＣＨ₂－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わる場合、各基において同様の例を適用するものとする。「組み合わせた基」とは、例示した基を２種以上結合させた基を意味し、それら基の価数は結合形態によって適宜変更してもよい。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性Ｃ＝Ｃ結合が重合により－Ｃ－Ｃ－基（単結合）となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤（Ｅ）を除いた成分の合計を意味する。

【0008】

〔式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩〕
本発明は、式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩（以下「塩（Ｉ）」又は「カルボン酸塩（Ｉ）」という場合がある）に関する。
塩（Ｉ）のうち、正電荷を有する側を「カチオン（Ｉ）」、負電荷を有する側を「アニオン（Ｉ）」と称することがある。

［式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。］
〔カチオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）で表される塩のカチオン（Ｉ）は、式（Ｉ－Ｃ）で表されるカチオンである。

［式（Ｉ－Ｃ）中、全ての符号は、式（Ｉ）と同じ意味を表す。］

【0009】

Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立に、ナフタレン、アントラセン又はフェナントレンを表し、Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３のナフタレン、アントラセン及びフェナントレンに置換されていてもよい置換基としては、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）が挙げられる。Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３のこれらの置換基は、－ＣＨ₂－の－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－での置き換わりも含めて、以下に示すＲ^７、Ｒ^８及びＲ^９と同様のものが挙げられる。
Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９の炭素数１～１２のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数１～１２のアルキル基を表し、炭素数１～１２のフッ化アルキル基、炭素数１～１２の塩化アルキル基、炭素数１～１２の臭化アルキル基、炭素数１～１２のヨウ化アルキル基等が挙げられる。ハロアルキル基としては、炭素数１～１２のペルフルオロアルキル基（トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等）、２，２，２－トリフルオロエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、４，４，４－トリフルオロブチル基、及び３，３，４，４，４－ペンタフルオロブチル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基等が挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９の炭素数１～３６の炭化水素基としては、アルキル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～３０であり、より好ましくは１～２４であり、さらに好ましくは１～１８である。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、さらにより好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。

具体的には、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等の単環式シクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基等の多環式シクロアルキル基、スピロシクロヘキサン－１，２’－シクロペンタン基、スピロアダマンタン－２，３’－シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
２種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－芳香族炭化水素基－＊）、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－脂環式炭化水素基－＊）、芳香族炭化水素基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊）が挙げられる。＊は結合部位を表す。ここで、アルカンジイル基、アルキル基等の鎖式炭化水素基、芳香族炭化水素基、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルキル基－芳香族炭化水素基－＊としては、トリル基、キシリル基、クメニル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、１－（アダマンタン－１－イル）メチル基、１－（アダマンタン－１－イル）－１－メチルエチル基等のシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。
アルキル基－脂環式炭化水素基－＊としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、２－アルキルアダマンタン－２－イル基等のアルキル基を有するシクロアルキル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊としては、フェニルシクロヘキシル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖式炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。
ハロアルキル基及び炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、ハロアルコキシ基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、ハロアルコキシカルボニル基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、ハロアルキルカルボニル基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、ハロアルキルカルボニルオキシ基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、２－エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、２－エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
ハロアルコキシ基、ハロアルコキシカルボニル基、ハロアルキルカルボニル基、ハロアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数１～１１のハロアルコキシ基、炭素数２～１１のハロアルコキシカルボニル基、炭素数２～１２のハロアルキルカルボニル基、炭素数２～１１のハロアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、上記に例示した基の１以上の水素原子をハロゲン原子に置き換えた基が挙げられる。

【0010】

また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。また、以下に表される基のうち、－Ｏ－が－Ｓ－、－ＣＯ－が－ＳＯ_２－にそれぞれ置き換わった基等も挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。

ハロアルキル基及び炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つでもよいし、２以上でもよい。

【0011】

Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基が挙げられる。
ハロゲン原子としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９の炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わった基により、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、実質的に、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基等の置換基を有することができる。
尚、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９のハロアルキル基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わった基としては、上述の炭化水素基のうちアルキル基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わった基と同様のものが挙げられる。
炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。

【0012】

Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３の炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基（例えば、アルカンジイル基等）、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組み合わせたものでもよい。炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１９であり、より好ましくは１～１８であり、さらに好ましくは１～１６であり、より一層好ましくは１～１４であり、さらに一層好ましくは１～１２である。
鎖式炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、さらにより好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。

具体的には、シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基である単環式の脂環式炭化水素基及び
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の脂環式炭化水素基、スピロシクロヘキサン－１，２’－シクロペンタン基、スピロアダマンタン－２，３’－シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２である。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。

【0013】

２種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基及び脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基が挙げられる。組み合わせにおいて、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がベンゼン環に結合していてもよい。
脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、－２価の脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の脂環式炭化水素基－等が挙げられる。
芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、－２価の芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の芳香族炭化水素基－等が挙げられる。
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－、－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－、－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－等が挙げられる。

【0014】

Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３では、炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つでもよいし、２以上でもよいが、１つ～３つであることが好ましい。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。

【0015】

また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。また、以下に表される基のうち、－Ｏ－が－Ｓ－、－ＣＯ－が－ＳＯ_２－にそれぞれ置き換わった基等も挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。

Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、Ｒ^７～Ｒ^９で挙げた基と同様の基が挙げられる。

【0016】

Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。但し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－の少なくとも１つは、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっている。）であることが好ましい。具体的には、Ａ^１は、＊＊＊－Ｌ^０１１－Ｘ^０１－Ｌ^０１２－であり、Ａ^２は、＊＊＊－Ｌ^０２１－Ｘ^０２－Ｌ^０２２－であり、Ａ^３は、＊＊＊－Ｌ^０３１－Ｘ^０３－Ｌ^０３２－である（Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－を表す。Ｌ^０１１、Ｌ^０１２、Ｌ^０２１、Ｌ^０２２、Ｌ^０３１及びＬ^０３２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。但し、Ｌ^０１１とＬ^０１２との炭素数合計は、０～１９であり、Ｌ^０２１とＬ^０２２との炭素数合計は、０～１９であり、Ｌ^０３１とＬ^０３２との炭素数合計は、０～１９である。＊＊＊は、Ｓ^＋が結合するベンゼン環との結合部位を表す。）ことがより好ましく、Ａ^１は、＊＊＊－Ｘ^０１－Ｌ^０１－又は＊＊＊－Ｌ^０１－Ｘ^０１－であり、Ａ^２は、＊＊＊－Ｘ^０２－Ｌ^０２－又は＊＊＊－Ｌ^０２－Ｘ^０２－であり、Ａ^３は、＊＊＊－Ｘ^０３－Ｌ^０３－又は＊＊＊－Ｌ^０３－Ｘ^０３－である（Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－を表す。Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。＊＊＊は、Ｓ^＋が結合するベンゼン環との結合部位を表す。）ことがさらに好ましい。Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－での置き換わり以外に、置換基を有さないものが好ましい。
Ｌ^０１１、Ｌ^０１２、Ｌ^０２１、Ｌ^０２２、Ｌ^０３１、Ｌ^０３２、Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３の炭素数１～１９の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）としては、炭素数が１～１９の範囲で、Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｘ^０１、Ｘ^０２及びＸ^０３は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－であることが好ましく、－Ｏ－であることがより好ましい。
Ｌ^０１１、Ｌ^０１２、Ｌ^０２１、Ｌ^０２２、Ｌ^０３１、Ｌ^０３２、Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合又は炭素数１～１２の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合又は炭素数１～９の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基又はカルボニル基であることがより好ましい。
Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３のＳ^＋が結合しているベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、Ｓ^＋の結合位置に対して、それぞれ独立に、ｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。より具体的には、ｍ１、ｍ２及びｍ３が１の場合、Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、ｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ１、ｍ２及びｍ３が２の場合、Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがо位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ１、ｍ２及びｍ３が３の場合、Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ１、ｍ２及びｍ３が４の場合、Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがо位に結合しており、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。
Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３のＲ^１、Ｒ^２及びＲ^３への結合位置は、特に限定されないが、それぞれ独立に、Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３の１位、２位又は９位が好ましく、１位又は２位がより好ましい。
ｍ１は、１、２、３又は４であることが好ましく、１、２又は３であることがより好ましく、１又は２であることがさらに好ましく、１であることがさらにより好ましい。
ｍ２は、０、１、２、３又は４であることが好ましく、０、１、２又は３であることがより好ましく、０、１又は２であることがさらに好ましく、０又は１であることがより一層好ましく、０であることがさらに一層好ましい。
ｍ３は、０、１、２、３又は４であることが好ましく、０、１、２又は３であることがより好ましく、０、１又は２であることがさらに好ましく、０又は１であることがより一層好ましく、０であることがさらに一層好ましい。
ｍ７は、０、１、２又は３であることが好ましく、０、１又は２であることがより好ましく、０又は１であることがさらに好ましい。
ｍ８は、０、１、２又は３であることが好ましく、０、１又は３であることがより好ましい。
ｍ９は、０、１、２又は３であることが好ましく、０、１又は３であることがより好ましい。
なかでも、ｍ８及びｍ９の少なくとも１つが１以上の整数であることが好ましく、ｍ８及びｍ９の双方が１以上の整数であることがより好ましい。この場合、Ｒ^８及び／又はＲ^９の結合位置は、Ｓ^＋の結合位置に対して、ｏ位、ｍ位又はｐ位のいずれでもよいが、少なくとも１つがｍ位又はｐ位に結合していることが好ましく、Ｒ^８及びＲ^９の結合位置は、Ｓ^＋の結合位置に対して、少なくとも１つがｐ位に結合していることがより好ましい。
Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、ヒドロキシ基、メトキシ基、メチル基又はｔ－ブチル基であることがより一層好ましい。
Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、ｍ７、ｍ８及びｍ９が１の場合、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、ｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ７、ｍ８及びｍ９が２の場合、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、１つがｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ７、ｍ８及びｍ９が３の場合、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ７、ｍ８及びｍ９が４の場合、Ｒ^７、Ｒ^８及びＲ^９は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがо位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。

【0017】

式（Ｉ）で表される塩の一つの好ましい実施形態としては、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３がそれぞれ置換基を有してもよいナフタレンであり、式（ＩＡ）で表される塩（以下「塩（ＩＡ）」という場合がある）が挙げられる。

［式（ＩＡ）中、
Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ７、ｍ８、ｍ９、Ａ^１、Ａ^２、Ａ^３、Ｘ^０は、式（Ｉ）と同じものを表す。
Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。
ｍ４は、０～７のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ^４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～７のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ^５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ６は、０～７のいずれかの整数を表し、ｍ６が２以上のとき、複数のＲ^６は互いに同一であっても異なってもよい。］
Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６のハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基及び炭素数１～３６の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）としては、それぞれＲ^７、Ｒ^８、Ｒ^９で挙げたハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基及び炭素数１～３６の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）と同様の例が挙げられる。
中でも、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、メチル基、ヒドロキシ基又はトリフルオロメチル基であることがより一層好ましく、ヒドロキシ基又はヨウ素原子であることがさらに一層好ましい。
ｍ４は、０、１、２、３、４又は５であることが好ましく、０、１、２、３又は４であることがより好ましく、０、１、２又は３であることがさらに好ましく、１、２又は３であることがさらにより好ましい。
ｍ５は、０、１、２、３、４又は５であることが好ましく、０、１、２、３又は４であることがより好ましく、０、１、２又は３であることがさらに好ましい。
ｍ６は、０、１、２、３、４又は５であることが好ましく、０、１、２、３又は４であることがより好ましく、０、１、２又は３であることがさらに好ましい。
さらに、式（ＩＡ）で表される塩は、式（ＩＡ－１）で表される塩（以下、「塩（ＩＡ－１）」という場合がある）が挙げられる。

［式（ＩＡ－１）中、
Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５、ｍ６、ｍ７、ｍ８、ｍ９、Ｘ^０は、式（Ｉ）及び式（ＩＡ）と同じものを表す。
Ｌ^１、Ｌ^２及びＬ^３は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。
Ｘ^１、Ｘ^２及びＸ^３は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－を表す。］

【0018】

Ｒ^４～Ｒ^９及びｍ１～ｍ９は、それぞれ、上記と同じ意味を表し、上述した例と同様の例が挙げられる。
Ｌ^１、Ｌ^２及びＬ^３の炭素数１～１９の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）としては、炭素数が１～１９の範囲で、Ｌ^０１、Ｌ^０２及びＬ^０３で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｘ^１、Ｘ^２及びＸ^３は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－であることが好ましく、－Ｏ－であることがより好ましい。
Ｘ^１、Ｘ^２及びＸ^３のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｓ^＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、Ａ^１、Ａ^２及びＡ^３のベンゼン環への結合位置と同様の結合位置であることが好ましい。
Ｌ^１、Ｌ^２及びＬ^３のナフタレンへの結合位置は、特に限定されないが、中でも、それぞれ独立に、１位又は２位が好ましい。

【0019】

式（Ｉ）で表される塩の他の好ましい実施形態としては、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３の少なくとも１つがそれぞれハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有するナフタレン又はアントラセンであり、式（ＩＢ）で表される塩（以下「塩（ＩＢ）」という場合がある）も挙げられる。

［式（ＩＢ）中、
Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ７、ｍ８、ｍ９、Ａ^１、Ａ^２、Ａ^３、Ｘ^０は、式（Ｉ）と同じものを表す。
Ｒ^４Ａ、Ｒ^５Ａ及びＲ^６Ａは、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又はヒドロキシ基を表す。
Ｒ^４Ｂ、Ｒ^５Ｂ及びＲ^６Ｂは、それぞれ独立に、炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１０、ｍ１１及びｍ１２は、それぞれ独立に、０又は１を表す。
ｍ４Ａは、１≦ｍ４Ａ≦７＋２×ｍ１０を満たすいずれかの整数を表し、ｍ４Ａが２以上のとき、複数のＲ^４Ａは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４Ｂは、０≦ｍ４Ｂ≦６＋２×ｍ１０を満たすいずれかの整数を表し、ｍ４Ｂが２以上のとき、複数のＲ^４Ｂは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５Ａは、０≦ｍ５Ａ≦７＋２×ｍ１１を満たすいずれかの整数を表し、ｍ５Ａが２以上のとき、複数のＲ^５Ａは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５Ｂは、０≦ｍ５Ｂ≦７＋２×ｍ１１を満たすいずれかの整数を表し、ｍ５Ｂが２以上のとき、複数のＲ^５Ｂは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ６Ａは、０≦ｍ６Ａ≦７＋２×ｍ１２を満たすいずれかの整数を表し、ｍ６Ａが２以上のとき、複数のＲ^６Ａは互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ６Ｂは、０≦ｍ６Ｂ≦７＋２×ｍ１２を満たすいずれかの整数を表し、ｍ６Ｂが２以上のとき、複数のＲ^６Ｂは互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ４Ａ＋ｍ４Ｂ≦９であり、０≦ｍ５Ａ＋ｍ５Ｂ≦９、０≦ｍ６Ａ＋ｍ６Ｂ≦９である。］

【0020】

Ｒ^７～Ｒ^９、Ａ^１～Ａ^３、ｍ１～ｍ３及びｍ７～ｍ９は、それぞれ、上記と同じ意味を表し、上述した例と同様の例が挙げられる。
Ｒ^４Ａ、Ｒ^５Ａ及びＲ^６Ａのハロゲン原子及び炭素数１～１２のハロアルキル基としては、Ｒ^４～Ｒ^９で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^４Ｂ、Ｒ^５Ｂ及びＲ^６Ｂの炭素数１～３６の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－で置き換わっていてもよい。）としては、Ｒ^４～Ｒ^９で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^４Ａ、Ｒ^５Ａ及びＲ^６Ａは、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又はヒドロキシ基であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又はヒドロキシ基であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、トリフルオロメチル基又はヒドロキシ基であることがより一層好ましく、ヨウ素原子又はヒドロキシ基であることがさらに一層好ましい。
Ｒ^４Ｂ、Ｒ^５Ｂ及びＲ^６Ｂは、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましい。
ｍ４Ａは、１、２、３、４又は５であることが好ましく、１、２、３又は４であることがより好ましく、１、２又は３であることがさらに好ましい。
ｍ５Ａ及びｍ６Ａは、それぞれ独立に、０、１、２、３、４又は５であることが好ましく、０、１、２、３又は４であることがより好ましく、０、１、２又は３であることがさらに好ましい。
ｍ４Ｂ、ｍ５Ｂ及びｍ６Ｂは、それぞれ独立に、０又は１であることが好ましく、０であることがより好ましい。

【0021】

塩（Ｉ）のカチオンとしては、以下の式（Ｉ－ｃ－１）～式（Ｉ－ｃ－９９）で表されるカチオン等が挙げられる。

【0022】

【0023】

【0024】

【0025】

【0026】

【0027】

〔アニオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩のアニオン（Ｉ）は、Ｘ^０－ＣＯＯ^－で表されるアニオンである。
式（Ｉ）において、Ｘ^０で表される炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基（アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等の鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基）、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基等が挙げられる。炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。炭化水素基において、ＣＯ_２ ^－に隣接する原子は炭素原子であることが好ましく、脂肪族炭化水素基において、ＣＯ_２ ^－に隣接する原子は炭素原子であることがより好ましい。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、より一層好ましくは１～６であり、さらに一層好ましくは１～４である。
アルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
アルキニル基としては、エチニル基、プロピニル基、イソプロピニル基、ブチニル基、イソブチニル基、ｔｅｒｔ－ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基、ノニニル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基、フェニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、より一層好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、より一層好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、より一層好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基、アルカンジイルオキシカルボニル基、アルカンジイルカルボニル基、アルカンジイルカルボニルオキシ基、アルカンジイルスルホニル基、アルカンジイルチオ基としては、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルスルホニル基の任意の位置の１つの水素原子を結合手に置き換えればよい。
なお、アルケニル基、アルキニル基における置き換わりは、上述したアルキル基における置き換わりの例示において、任意の位置に炭素－炭素二重結合又は炭素－炭素三重結合を含むものであればよい。

【0028】

脂環式炭化水素基は、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等の多環式シクロアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、下記の基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。

脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～３６であり、より好ましくは３～２４であり、さらに好ましくは３～１８であり、より一層好ましくは３～１６であり、さらに一層好ましくは３～１２である。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、具体的に、下記の基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。

脂環式炭化水素基としては、式（ｙ１）～式（ｙ１１）、式（ｙ４４）～式（ｙ４８）、式（ｙ５９）～式（ｙ６１）のいずれかで表される基が好ましく、式（ｙ３）、式（ｙ４）、式（ｙ９）、式（ｙ１１）のいずれかで表される基がより好ましい。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、式（ｙ１２）～式（ｙ２０）、式（ｙ２６）、式（ｙ２７）、式（ｙ３０）、式（ｙ３１）、式（ｙ３９）～式（ｙ４３）、式（ｙ４９）～式（ｙ７１）のいずれかで表される基が好ましく、式（ｙ１４）、式（ｙ１５）、式（ｙ１６）、式（ｙ２０）、式（ｙ２６）、式（ｙ２７）、式（ｙ３０）、式（ｙ３１）、式（ｙ３９）、式（ｙ４０）、式（ｙ４２）、式（ｙ４３）、式（ｙ４９）～式（ｙ５８）、式（ｙ６２）～式（ｙ７１）のいずれかで表される基がより好ましい。

【0029】

芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～３６であり、より好ましくは６～２４であり、さらに好ましくは６～１８であり、より一層好ましくは６～１４であり、さらに一層好ましくは６～１０である。
組み合わせた基の場合、上述の基において価数の異なる基（アルカンジイル基、アルカントリイル基、アルカンテトライル基、シクロアルカンジイル基、シクロアルカントリイル基、シクロアルカンテトライル基等）が含まれていてもよい。

【0030】

組み合わせた基とは、
脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
鎖式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、及び
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）を表す。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、鎖式炭化水素基及び芳香族炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。
具体的には、組み合わせた基としては、
アダマンチルメチレン基、シクロヘキシルメチレン基等の脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
メチルアダマンチル基、ジメチルアダマンチル基等の鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
トリル基、キシリル基等の鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
メチルシクロヘキシルメチレン基等の鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
ベンジル基等の芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
トリルメチル基等の鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
メチルアダマンタンメチレンアダマンチル基、ジ（メチルアダマンタンメチレン）アダマンチル基等の鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基）_２－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊、（鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基）_２－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）、
等が挙げられる。ここで、＊はカルボニル基の炭素原子との結合部位を表す。

【0031】

Ｘ^０で表される炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、Ｘ^０で表される炭化水素基に置換基が結合する場合、置換する前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。
Ｘ^０で表される炭化水素基は、１又は複数の置換基を有していてもよい。
置換基としては、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基、炭素数６～１０の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基、ドデシルオキシ基等が挙げられる。
炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基及び炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
炭素数３～１２の脂環式炭化水素基としては、下記に示す基が挙げられる。＊＊はＸ^０との結合部位を表す。

炭素数６～１０の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、ヒドロキシ基と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基、炭素数１～１２のアルキル基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、ハロゲン原子と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基等が挙げられる。
ヒドロキシ基と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等の炭素数１～１２のヒドロキシアルキル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、ベンジル基等の炭素数７～２２のアラルキル基、トリル基、キシリル基等の炭素数７～２２のアルキルアリール基が挙げられる。
炭素数３～１２の脂環式炭化水素基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
ハロゲン原子と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基としては、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等の炭素数１～１２のペルフルオロアルキル基等が挙げられる。

【0032】

Ｘ^０で表される炭化水素基としては、好ましくは、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基であり、
より好ましくは、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよい芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基であり、
さらに好ましくは、＊－脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有していてもよい。＊は－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基であり、
より一層好ましくは、＊－多環式の脂環式炭化水素基（該多環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該多環式の脂環式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－多環式の脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基（該多環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該多環式の脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－鎖式炭化水素基－多環式の脂環式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該多環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基及び該多環式の脂環式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有してもよい芳香族炭化水素基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基であり、
特に好ましくは、アダマンチル基、アダマンタノン基、ヒドロキシアダマンチル基、アダマンチル基とアルキル基とを組み合わせた基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、式（Ｙ３０Ｆ）で表される基、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又はヒドロキシ基を有するフェニル基、式（ａａ）で表される基又は式（ｂｂ）で表される基である。
上記の基において、脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～３６であり、より好ましくは３～２４であり、さらに好ましくは３～１８であり、より一層好ましくは３～１６であり、さらに一層好ましくは３～１２である。鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、より一層好ましくは１～６であり、さらに一層好ましくは１～４である。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～３６であり、より好ましくは６～２４であり、さらに好ましくは６～１８であり、より一層好ましくは６～１４であり、さらに一層好ましくは６～１０である。

［式（ａａ）中、
Ｘ^a及びＸ^bは、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
Ｘ^１ａは、置換基を有してもよい炭素数１～２４の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
Ｘ^２ａは、置換基を有してもよい炭素数１～４８の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
＊は、－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。］
［式（ｂｂ）中、
Ｌ^Ａは、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～６のアルカンジイル基又はハロゲン原子もしくは炭素数１～４のペルフルオロアルキル基を有していてもよい炭素数６～１４の芳香族炭化水素基を表す。
Ｌ^Ｂは、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
Ｒ^Ａは、置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
＊は、－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。］

【0033】

Ｘ^a及びＸ^bは、同じ原子であることが好ましく、ともに酸素原子であることがより好ましい。

【0034】

Ｘ^１ａ及びＸ^２ａで表される炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基又はこれらを２種以上組み合わせた基等が挙げられる。なお、これら炭化水素基は置換基を有していてもよい。また、これら炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。ここで、炭化水素基の炭素数は、置換基を有さない、置き換わりのない炭化水素基の炭素数を意味する。

【0035】

Ｘ^１ａの脂肪族炭化水素基としては、アルカントリイル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基が挙げられる。
アルカントリイル基としては、具体的には、メチン基、エタントリイル基、プロパントリイル基、ブタントリイル基、ペンタントリイル基、ヘキサントリイル基、ヘプタントリイル基、オクタントリイル基、ノナントリイル基、デカントリイル基、ウンデカントリイル基、ドデカントリイル基等が挙げられる。

【0036】

脂環式炭化水素基は、単環式又は多環式のいずれであってもよい。
単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロブタントリイル基、シクロペンタントリイル基、シクロヘキサントリイル基、シクロオクタントリイル基等が挙げられる。
多環式の脂環式炭化水素基としては、ノルボルナントリイル基、アダマンタントリイル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、ベンゼントリイル基、ナフタレントリイル基、アントラセントリイル基等が挙げられる。
組み合わせた基の場合、上述の基において価数の異なる基（アルキル基、アルカンジイル基、アルカンテトライル基、シクロアルキル基、シクロアルカンジイル基、シクロアルカンテトライル基等）が含まれていてもよい。

【0037】

Ｘ^１ａで表される炭化水素基は、炭素数が１～２４であり、さらに１又は複数の置換基を有していてもよい。該置換基としては、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基、炭素数６～１０の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基は、上記と同様の基が挙げられる。

【0038】

Ｘ^１ａで表される炭化水素基としては、置換基を有してもよい炭素数１～６のアルカントリイル基又は置換基を有してもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であることが好ましく、炭素数１～６のアルカントリイル基、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－１１）で表される基であることがより好ましく、炭素数１～６のアルカントリイル基、式（ｗ１－１）で表される基又は式（ｗ１－３）で表される基等の多環式炭化水素基、式（ｗ１－２）で表される基又は式（ｗ１－６）で表される基等の単環式炭化水素基であることがさらに好ましい。

［式（ｗ１－１）～式（ｗ１－１１）中、
環は、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基、炭素数６～１０の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を有していてもよい。
＊は結合部位を表す。］

【0039】

Ｘ^２ａで表される炭化水素基の炭素数は、２～４８であることが好ましく、４～４８であることがより好ましく、６～４４であることがさらに好ましく、８～４０であることがより一層好ましく、１０～３８であることがさらに一層好ましい。

【0040】

Ｘ^２ａにおける炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基、炭素数６～１０の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基等が挙げられる。
ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基は、上記と同様の基が挙げられる。
Ｘ^２ａで表される炭素数１～４８の炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
Ｘ^２ａにおける炭化水素基が有していてもよい置換基としては、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基であることが好ましい。

【0041】

Ｘ^２ａにおける炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基（例えば、アルカンジイル基等）、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組み合わせたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基である単環式の脂環式炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の脂環式炭化水素基；
フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基、アントリレン基、フェナントリレン基、ビナフチレン基等の芳香族炭化水素基等が挙げられる。
組み合わせた基の場合、上述の基において価数の異なる基（アルキル基、アルカントリイル基、アルカンテトライル基、シクロアルキル基、シクロアルカントリイル基、シクロアルカンテトライル基等）が含まれていてもよい。
組み合わせた基としては、鎖式炭化水素基と脂環式炭化水素基を組み合わせた基、鎖式炭化水素基と芳香族炭化水素基を組み合わせた基、脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基を組み合わせた基等が挙げられ、具体的に、鎖式炭化水素基に１以上の脂環式炭化水素基が結合した基（例えば、－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基、－鎖式炭化水素基－（脂環式炭化水素基）_２等）、脂環式炭化水素基に１以上の鎖式炭化水素基が結合した基（例えば、－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基、－脂環式炭化水素基－（鎖式炭化水素基）_２等）、鎖式炭化水素基に１以上の脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基が結合した基（例えば、－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基、－鎖式炭化水素基－（脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基）_２等）等が挙げられる。

【0042】

Ｘ^２ａにおける炭化水素基としては、
炭素数２～１８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。）、
炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。）、又は、
炭素数１～１２の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）を組み合わせた基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることが好ましく、
炭素数４～１８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。）、又は、
炭素数１～１２の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数３～１６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）を組み合わせた基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることがより好ましく、
炭素数６～１４の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。）、又は、
炭素数１～１２の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数５～１４の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）を組み合わせた基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることがさらに好ましい。

【0043】

具体的に、Ｘ^２ａにおける炭化水素基としては、例えば、
炭素数２～１８のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基は、置換基を有していてもよい。）、
炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。）、
炭素数１～１２のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）とからなる基（該基は、置換基を有していてもよい。）、又は、
炭素数１～１２のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基と炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とからなる基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることが好ましく、
炭素数４～１８のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基は、置換基を有していてもよい。）、
炭素数１～１２のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数３～１６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）とからなる基（該基は、置換基を有していてもよい。）、又は、
炭素数１～１２のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数３～１６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とからなる基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることがより好ましく、
炭素数６～１４のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基は、置換基を有していてもよい。）、
炭素数１～１２のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とアダマンタンジイル基（該アダマンタンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とからなる基（該基は、置換基を有していてもよい。）、又は、
炭素数１～１２のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とアダマンタンジイル基と炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とからなる基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることがさらに好ましい。

【0044】

より具体的には、Ｘ^２ａは、式（Ｘ^２－１）で表される基、式（Ｘ^２－２）で表される基、式（Ｘ^２－３）で表される基又は式（Ｘ^２－４）で表される基であることが好ましい。

［式中、
Ｒ^1ｘ、Ｒ^2ｘ、Ｒ^3ｘ、Ｒ^4ｘ、Ｒ^5ｘ及びＲ^6ｘは、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルキル基、炭素数５～１２の脂環式炭化水素基又はこれらの２種以上の基を組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。
＊は、Ｘ^a及びＸ^bとの結合部位を表す。］
組み合わせた基は、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを１つずつ組み合わせたものでも、いずれかを２以上又は双方を２以上組み合わせた基でもよい。この場合、組み合わせた基の炭素数は３９以下であり、３７以下が好ましい。

【0045】

なかでも、Ｒ^1ｘ、Ｒ^2ｘ、Ｒ^3ｘ、Ｒ^4ｘ、Ｒ^5ｘ及びＲ^6ｘとしては、炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキル基は、置換基を有していてもよい。）、炭素数５～１２の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基は、置換基を有していてもよい。）又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）と炭素数５～１２の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）とを組み合わせた基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることが好ましく、メトキシ基、アダマンチル基（該アダマンチル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アダマンチル基は、置換基を有していてもよい。）又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）とアダマンチル基とを組み合わせた基（該基は、置換基を有していてもよい。）であることがより好ましい。
式（ａａ）で表される基は、以下の式（ａａ１）、式（ａａ２）、式（ａａ３）及び式（ａａ４）のいずれかで表される基であることがより好ましい。

［式（ａａ１）～式（ａａ４）中、
Ｗ^１ａは、炭素数３～1８の脂環式炭化水素基を表す。
Ｘ^a及びＸ^bは、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
Ｒ^１ｘ、Ｒ^２ｘ、Ｒ^３ｘ、Ｒ^４ｘ、Ｒ^５ｘ、Ｒ^６ｘは、それぞれ独立に、式（Ｘ^２－１）、式（Ｘ^２－２）、式（Ｘ^２－３）及び式（Ｘ^２－４）と同じ意味を表す。
＊は、－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。］
式（ａａ１）～式（ａａ４）において、Ｗ^１ａの脂環式炭化水素基としては、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－１１）で表される基であることがより好ましく、式（ｗ１－１）で表される基又は式（ｗ１－３）で表される基等の多環式炭化水素基、式（ｗ１－２）で表される基又は式（ｗ１－６）で表される基等の単環式炭化水素基であることがさらに好ましい。

【0046】

式（ｂｂ）において、Ｌ^Ａ及びＬ^Ｂにおける炭素数１～６のアルカンジイル基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；プロパン－１，２－ジイル基、１－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、１－メチルブタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基等が挙げられる。アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは１～４であり、より好ましくは１～３である。
フッ素原子を有していてもよいアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルカンジイル基の総炭素数とする。アルカンジイル基は、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＳＯ_２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ₂－ＣＨ₂－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）を有していてもよい。
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルスルホニル基は上記と同様のものが挙げられる。
アルカンジイルオキシ基としては、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。
アルカンジイルチオ基としては、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロパンジイルチオ基、ブタンジイルチオ基、ペンタンジイルチオ基等が挙げられる。
アルカンジイルスルホニル基としては、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロパンジイルスルホニル基、ブタンジイルスルホニル基、ペンタンジイルスルホニル基等が挙げられる。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。
アルカンジイルカルボニル基としては、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。
アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Ｌ^Ａにおける炭素数６～１４の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１０であり、より好ましくは６である。
Ｌ^Ａが有していてもよいハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｌ^Ａが有していてもよい炭素数１～４のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等が挙げられる。
Ｌ^Ａは、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～４のアルカンジイル基又はハロゲン原子もしくは炭素数１～４のペルフルオロアルキル基を有していてもよい炭素数６～１０の芳香族炭化水素基であることが好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～３のアルカンジイル基又はフッ素原子、ヨウ素原子もしくは炭素数１～３のペルフルオロアルキル基を有していてもよいフェニレン基であることがより好ましい。
Ｌ^Ｂは、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい）であることが好ましく、単結合、メチレン基又はエチレン基であることがより好ましい。

【0047】

Ｒ^Ａにおける炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基（アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等の鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基）、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、ｎ－オクチル基、ｎ－ノニル基、ｎ－デシル基、ｎ－ウンデシル基、ｎ－ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、より一層好ましくは１～６であり、さらに一層好ましくは１～４である。
アルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
アルキニル基としては、エチニル基、プロピニル基、イソプロピニル基、ブチニル基、イソブチニル基、ｔｅｒｔ－ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基、ノニニル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルスルホニル基、アルキルチオ基等が挙げられる。
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルスルホニル基及びアルキルチオ基としては、例えば、炭素数１～１７のアルコキシ基、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基及び炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、上述した基と同様の基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基等の多環式シクロアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基及び脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、具体的に、上記の式（ｙ１）～式（ｙ７１）で表される基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～３６であり、より好ましくは３～２４であり、さらに好ましくは３～１８であり、より一層好ましくは３～１６であり、さらに一層好ましくは３～１２である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～３６であり、より好ましくは６～２４であり、さらに好ましくは６～１８であり、より一層好ましくは６～１４であり、さらに一層好ましくは６～１０である。
組み合わせた基の場合、上述の基において価数の異なる基（アルカンジイル基、アルカントリイル基、シクロアルカンジイル基、シクロアルカントリイル基等）が含まれていてもよい。
組み合わせることにより形成される基としては、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－芳香族炭化水素基－＊）、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－脂環式炭化水素基－＊）、芳香族炭化水素基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊）が挙げられる。＊は結合部位を表す。
芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルキル基－芳香族炭化水素基－＊としては、トリル基、キシリル基、クメニル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、１－（アダマンタン－１－イル）メチル基、１－（アダマンタン－１－イル）－１－メチルエチル基等のシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。
アルキル基－脂環式炭化水素基－＊としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、２－アルキルアダマンタン－２－イル基等のアルキル基を有するシクロアルキル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊としては、フェニルアダマンチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊としては、アダマンチルフェニル基等が挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖式炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がＬ^Ｂに結合していてもよい。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わった基としては、上述した基の他に、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等も挙げられる。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－で置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つでもよいし、２以上でもよい。

【0048】

Ｒ^Ａの炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい）が挙げられる。
ハロゲン原子としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－が、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数１～１１のアルコキシ基、炭素数２～１１のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１２のアルキルカルボニル基、炭素数２～１１のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、上述した基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^Ａにおける炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。

【0049】

Ｒ^Ａにおける炭化水素基としては、置換基を有してもよい炭素数１～１２のアルキル基（但し、該アルキル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）又は置換基を有してもよい炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を有してもよい炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましい。

【0050】

環状炭化水素基としては、単環式又は多環式の炭素数３～１８の脂環式炭化水素基及び炭素数６～１８の芳香族炭化水素基等の環状炭化水素基もしくはこれらを組み合わせた基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、組み合わせた基としては、上述した基と同様のものが挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がＬ^Ｂに結合していてもよい。

【0051】

炭素数３～１８の環状炭化水素基（該環状炭化水素基は、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）は、
フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基又は炭素数１～４のペルフルオロアルキル基を有してもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）、又は、
フッ素原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～４のアルキル基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（例えば、フェニル基又はナフチル基）であることが好ましい。
式（ｂｂ）で表される基は、式（ｂｂ１）で表される基であることがより好ましい。

［式（ｂｂ１）中、
Ｌ^Ａ及びＬ^Ｂは、式（ｂｂ）と同じ意味を表す。
Ｗ^１ａは、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。
＊は、－ＣＯＯ^－の炭素原子との結合部位を表す。］
式（ｂｂ１）において、Ｗ^１ａは、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基又は炭素数１～４のペルフルオロアルキル基を有してもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。）であることがより好ましい。
式（ｂｂ１）において、Ｗ^１ａの脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、下記の基（結合部位は任意の位置である）が好ましい。

【0052】

式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩におけるカルボン酸アニオンとしては、下記に記載のカルボン酸アニオン等が挙げられる。

【0053】

【0054】

【0055】

【0056】

カルボン酸塩（Ｉ）の具体例として、上記したカチオンとアニオンとを任意に組み合わせた塩が挙げられる。カルボン酸塩（Ｉ）の具体例を下記表に示す。
下記表において、各符号は、上述のアニオンやカチオンを表す構造に付した符号を表し、「～」は、カルボン酸塩（Ｉ）とアニオン（Ｉ）又はカチオン（Ｉ）とのそれぞれが対応することを示す。たとえば、カルボン酸塩（Ｉ－１）は、式（Ｉ－ａ－１）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）で示されるカチオンとからなる塩、カルボン酸塩（Ｉ－２）は、式（Ｉ－ａ－２）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）で示されるカチオンとからなる塩、カルボン酸塩（Ｉ－９６）は、式（Ｉ－ａ－１）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－２）で示されるカチオンとからなる塩を示す。

【表1】

【0057】

なかでも、カルボン酸塩（Ｉ）としては、式（Ｉ－ａ－１）～式（Ｉ－ａ－５）、式（Ｉ－ａ－１０）～式（Ｉ－ａ－２１）及び式（Ｉ－ａ－５７）～式（Ｉ－ａ－６６）のいずれかで表されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）～式（Ｉ－ｃ－９０）のいずれかで表されるカチオンとを組み合わせた塩が好ましく、具体的には、カルボン酸塩（Ｉ－１）～カルボン酸塩（Ｉ－５）、カルボン酸塩（Ｉ－１０）～カルボン酸塩（Ｉ－２１）、カルボン酸塩（Ｉ－５７）～カルボン酸塩（Ｉ－６６）、カルボン酸塩（Ｉ－９６）～カルボン酸塩（Ｉ－１００）、カルボン酸塩（Ｉ－１０５）～カルボン酸塩（Ｉ－１１６）、カルボン酸塩（Ｉ－１５２）～カルボン酸塩（Ｉ－１６１）、カルボン酸塩（Ｉ－１９１）～カルボン酸塩（Ｉ－１９５）、カルボン酸塩（Ｉ－２００）～カルボン酸塩（Ｉ－２１１）カルボン酸塩（Ｉ－２４７）～カルボン酸塩（Ｉ－２５６）、カルボン酸塩（Ｉ－２８６）～カルボン酸塩（Ｉ－２９０）、カルボン酸塩（Ｉ－２９５）～カルボン酸塩（Ｉ－３０６）、カルボン酸塩（Ｉ－３４２）～カルボン酸塩（Ｉ－３５１）、カルボン酸塩（Ｉ－３８１）～カルボン酸塩（Ｉ－３８５）、カルボン酸塩（Ｉ－３９０）～カルボン酸塩（Ｉ－４０１）、カルボン酸塩（Ｉ－４３７）～カルボン酸塩（Ｉ－４４６）、カルボン酸塩（Ｉ－４７６）～カルボン酸塩（Ｉ－４８０）カルボン酸塩（Ｉ－４８５）～カルボン酸塩（Ｉ－４９６）、カルボン酸塩（Ｉ－５３２）～カルボン酸塩（Ｉ－５４１）、カルボン酸塩（Ｉ－５７１）～カルボン酸塩（Ｉ－５７５）、カルボン酸塩（Ｉ－５８０）～カルボン酸塩（Ｉ－５９１）、カルボン酸塩（Ｉ－６２７）～カルボン酸塩（Ｉ－６３６）、カルボン酸塩（Ｉ－６６６）～カルボン酸塩（Ｉ－６７０）、カルボン酸塩（Ｉ－６７５）～カルボン酸塩（Ｉ－６８６）、カルボン酸塩（Ｉ－７２２）～カルボン酸塩（Ｉ－７３１）、カルボン酸塩（Ｉ－７６１）～カルボン酸塩（Ｉ－７６５）、カルボン酸塩（Ｉ－７７０）～カルボン酸塩（Ｉ－７８１）、カルボン酸塩（Ｉ－８１７）～カルボン酸塩（Ｉ－８２６）、カルボン酸塩（Ｉ－８５６）～カルボン酸塩（Ｉ－８６０）、カルボン酸塩（Ｉ－８６５）～カルボン酸塩（Ｉ－８７６）、カルボン酸塩（Ｉ－９１２）～カルボン酸塩（Ｉ－９２１）、カルボン酸塩（Ｉ－９５１）～カルボン酸塩（Ｉ－９５５）、カルボン酸塩（Ｉ－９６０）～カルボン酸塩（Ｉ－９７１）、カルボン酸塩（Ｉ－１００７）～カルボン酸塩（Ｉ－１０１６）、カルボン酸塩（Ｉ－１０４６）～カルボン酸塩（Ｉ－１０５０）、カルボン酸塩（Ｉ－１０５５）～カルボン酸塩（Ｉ－１０６６）、カルボン酸塩（Ｉ－１１０２）～カルボン酸塩（Ｉ－１１１１）、カルボン酸塩（Ｉ－１１４１）～カルボン酸塩（Ｉ－１１４５）、カルボン酸塩（Ｉ－１１５０）～カルボン酸塩（Ｉ－１１６１）、カルボン酸塩（Ｉ－１１９７）～カルボン酸塩（Ｉ－１２０６）、カルボン酸塩（Ｉ－１２３６）～カルボン酸塩（Ｉ－１２４０）、カルボン酸塩（Ｉ－１２４５）～カルボン酸塩（Ｉ－１２５６）、カルボン酸塩（Ｉ－１２９２）～カルボン酸塩（Ｉ－１３０１）、カルボン酸塩（Ｉ－１３３１）～カルボン酸塩（Ｉ－１３３５）、カルボン酸塩（Ｉ－１３４０）～カルボン酸塩（Ｉ－１３５１）、カルボン酸塩（Ｉ－１３８７）～カルボン酸塩（Ｉ－１３９６）、カルボン酸塩（Ｉ－１４２６）～カルボン酸塩（Ｉ－１４３０）、カルボン酸塩（Ｉ－１４３５）～カルボン酸塩（Ｉ－１４４６）、カルボン酸塩（Ｉ－１４８２）～カルボン酸塩（Ｉ－１４９１）、カルボン酸塩（Ｉ－１５２１）～カルボン酸塩（Ｉ－１５２５）、カルボン酸塩（Ｉ－１５３０）～カルボン酸塩（Ｉ－１５４１）、カルボン酸塩（Ｉ－１５７７）～カルボン酸塩（Ｉ－１５８６）、カルボン酸塩（Ｉ－１６１６）～カルボン酸塩（Ｉ－１６２０）、カルボン酸塩（Ｉ－１６２５）～カルボン酸塩（Ｉ－１６３６）、カルボン酸塩（Ｉ－１６７２）～カルボン酸塩（Ｉ－１６８１）、カルボン酸塩（Ｉ－１７１１）～カルボン酸塩（Ｉ－１７１５）、カルボン酸塩（Ｉ－１７２０）～カルボン酸塩（Ｉ－１７３１）、カルボン酸塩（Ｉ－１７６７）～カルボン酸塩（Ｉ－１７７６）、カルボン酸塩（Ｉ－１８０６）～カルボン酸塩（Ｉ－１８１０）、カルボン酸塩（Ｉ－１８１５）～カルボン酸塩（Ｉ－１８２６）、カルボン酸塩（Ｉ－１８６２）～カルボン酸塩（Ｉ－１８７１）、カルボン酸塩（Ｉ－１９０１）～カルボン酸塩（Ｉ－１９０５）、カルボン酸塩（Ｉ－１９１０）～カルボン酸塩（Ｉ－１９２１）、カルボン酸塩（Ｉ－１９５７）～カルボン酸塩（Ｉ－１９６６）、カルボン酸塩（Ｉ－１９９６）～カルボン酸塩（Ｉ－２０００）、カルボン酸塩（Ｉ－２００５）～カルボン酸塩（Ｉ－２０１６）、カルボン酸塩（Ｉ－２０５２）～カルボン酸塩（Ｉ－２０６１）、カルボン酸塩（Ｉ－２０９１）～カルボン酸塩（Ｉ－２０９５）、カルボン酸塩（Ｉ－２１００）～カルボン酸塩（Ｉ－２１１１）、カルボン酸塩（Ｉ－２１４７）～カルボン酸塩（Ｉ－２１５６）、カルボン酸塩（Ｉ－２１８６）～カルボン酸塩（Ｉ－２１９０）、カルボン酸塩（Ｉ－２１９５）～カルボン酸塩（Ｉ－２２０６）、カルボン酸塩（Ｉ－２２４２）～カルボン酸塩（Ｉ－２２５１）、カルボン酸塩（Ｉ－２２８１）～カルボン酸塩（Ｉ－２２８５）、カルボン酸塩（Ｉ－２２９０）～カルボン酸塩（Ｉ－２３０１）、カルボン酸塩（Ｉ－２３３７）～カルボン酸塩（Ｉ－２３４６）、カルボン酸塩（Ｉ－２３７６）～カルボン酸塩（Ｉ－２３８０）、カルボン酸塩（Ｉ－２３８５）～カルボン酸塩（Ｉ－２３９６）、カルボン酸塩（Ｉ－２４３２）～カルボン酸塩（Ｉ－２４４１）、カルボン酸塩（Ｉ－２４７１）～カルボン酸塩（Ｉ－２４７５）、カルボン酸塩（Ｉ－２４８０）～カルボン酸塩（Ｉ－２４９１）、カルボン酸塩（Ｉ－２５２７）～カルボン酸塩（Ｉ－２５３６）、カルボン酸塩（Ｉ－２５６６）～カルボン酸塩（Ｉ－２５７０）、カルボン酸塩（Ｉ－２５７５）～カルボン酸塩（Ｉ－２５８６）、カルボン酸塩（Ｉ－２６２２）～カルボン酸塩（Ｉ－２６３１）、カルボン酸塩（Ｉ－２６６１）～カルボン酸塩（Ｉ－２６６５）、カルボン酸塩（Ｉ－２６７０）～カルボン酸塩（Ｉ－２６８１）、カルボン酸塩（Ｉ－２７１７）～カルボン酸塩（Ｉ－２７２６）、カルボン酸塩（Ｉ－２７５６）～カルボン酸塩（Ｉ－２７６０）、カルボン酸塩（Ｉ－２７６５）～カルボン酸塩（Ｉ－２７７６）、カルボン酸塩（Ｉ－２８１２）～カルボン酸塩（Ｉ－２８２１）、カルボン酸塩（Ｉ－２８５１）～カルボン酸塩（Ｉ－２８５５）、カルボン酸塩（Ｉ－２８６０）～カルボン酸塩（Ｉ－２８７１）、カルボン酸塩（Ｉ－２９０７）～カルボン酸塩（Ｉ－２９１６）、カルボン酸塩（Ｉ－２９４６）～カルボン酸塩（Ｉ－２９５０）、カルボン酸塩（Ｉ－２９５５）～カルボン酸塩（Ｉ－２９６６）、カルボン酸塩（Ｉ－３００２）～カルボン酸塩（Ｉ－３０１１）、カルボン酸塩（Ｉ－３０４１）～カルボン酸塩（Ｉ－３０４５）、カルボン酸塩（Ｉ－３０５０）～カルボン酸塩（Ｉ－３０６１）、カルボン酸塩（Ｉ－３０９７）～カルボン酸塩（Ｉ－３１０６）、カルボン酸塩（Ｉ－３１３６）～カルボン酸塩（Ｉ－３１４０）、カルボン酸塩（Ｉ－３１４５）～カルボン酸塩（Ｉ－３１５６）、カルボン酸塩（Ｉ－３１９２）～カルボン酸塩（Ｉ－３２０１）、カルボン酸塩（Ｉ－３２３１）～カルボン酸塩（Ｉ－３２３５）、カルボン酸塩（Ｉ－３２４０）～カルボン酸塩（Ｉ－３２５１）、カルボン酸塩（Ｉ－３２８７）～カルボン酸塩（Ｉ－３２９６）、カルボン酸塩（Ｉ－３３２６）～カルボン酸塩（Ｉ－３３３０）、カルボン酸塩（Ｉ－３３３５）～カルボン酸塩（Ｉ－３３４６）、カルボン酸塩（Ｉ－３３８２）～カルボン酸塩（Ｉ－３３９１）、カルボン酸塩（Ｉ－３４２１）～カルボン酸塩（Ｉ－３４２５）、カルボン酸塩（Ｉ－３４３０）～カルボン酸塩（Ｉ－３４４１）、カルボン酸塩（Ｉ－３４７７）～カルボン酸塩（Ｉ－３４８６）、カルボン酸塩（Ｉ－３５１６）～カルボン酸塩（Ｉ－３５２０）、カルボン酸塩（Ｉ－３５２５）～カルボン酸塩（Ｉ－３５３６）、カルボン酸塩（Ｉ－３５７２）～カルボン酸塩（Ｉ－３５８１）、カルボン酸塩（Ｉ－３６１１）～カルボン酸塩（Ｉ－３６１５）、カルボン酸塩（Ｉ－３６２０）～カルボン酸塩（Ｉ－３６３１）、カルボン酸塩（Ｉ－３６６７）～カルボン酸塩（Ｉ－３６７６）、カルボン酸塩（Ｉ－３７０６）～カルボン酸塩（Ｉ－３７１０）、カルボン酸塩（Ｉ－３７１５）～カルボン酸塩（Ｉ－３７２６）、カルボン酸塩（Ｉ－３７６２）～カルボン酸塩（Ｉ－３７７１）、カルボン酸塩（Ｉ－３８０１）～カルボン酸塩（Ｉ－３８０５）、カルボン酸塩（Ｉ－３８１０）～カルボン酸塩（Ｉ－３８２１）、カルボン酸塩（Ｉ－３８５７）～カルボン酸塩（Ｉ－３８６６）、カルボン酸塩（Ｉ－３８９６）～カルボン酸塩（Ｉ－３９００）、カルボン酸塩（Ｉ－３９０５）～カルボン酸塩（Ｉ－３９１６）、カルボン酸塩（Ｉ－３９５２）～カルボン酸塩（Ｉ－３９６１）、カルボン酸塩（Ｉ－３９９１）～カルボン酸塩（Ｉ－３９９５）、カルボン酸塩（Ｉ－４０００）～カルボン酸塩（Ｉ－４０１１）、カルボン酸塩（Ｉ－４０４７）～カルボン酸塩（Ｉ－４０５６）、カルボン酸塩（Ｉ－４０８６）～カルボン酸塩（Ｉ－４０９０）、カルボン酸塩（Ｉ－４０９５）～カルボン酸塩（Ｉ－４１０６）、カルボン酸塩（Ｉ－４１４２）～カルボン酸塩（Ｉ－４１５１）、カルボン酸塩（Ｉ－４１８１）～カルボン酸塩（Ｉ－４１８５）、カルボン酸塩（Ｉ－４１９０）～カルボン酸塩（Ｉ－４２０１）、カルボン酸塩（Ｉ－４２３７）～カルボン酸塩（Ｉ－４２４６）、カルボン酸塩（Ｉ－４２７６）～カルボン酸塩（Ｉ－４２８０）、カルボン酸塩（Ｉ－４２８５）～カルボン酸塩（Ｉ－４２９６）、カルボン酸塩（Ｉ－４３３２）～カルボン酸塩（Ｉ－４３４１）、カルボン酸塩（Ｉ－４３７１）～カルボン酸塩（Ｉ－４３７５）、カルボン酸塩（Ｉ－４３８０）～カルボン酸塩（Ｉ－４３９１）、カルボン酸塩（Ｉ－４４２７）～カルボン酸塩（Ｉ－４４３６）、カルボン酸塩（Ｉ－４４６６）～カルボン酸塩（Ｉ－４４７０）、カルボン酸塩（Ｉ－４４７５）～カルボン酸塩（Ｉ－４４８６）、カルボン酸塩（Ｉ－４５２２）～カルボン酸塩（Ｉ－４５３１）、カルボン酸塩（Ｉ－４５６１）～カルボン酸塩（Ｉ－４５６５）、カルボン酸塩（Ｉ－４５７０）～カルボン酸塩（Ｉ－４５８１）、カルボン酸塩（Ｉ－４６１７）～カルボン酸塩（Ｉ－４６２６）、カルボン酸塩（Ｉ－４６５６）～カルボン酸塩（Ｉ－４６６０）、カルボン酸塩（Ｉ－４６６５）～カルボン酸塩（Ｉ－４６７６）、カルボン酸塩（Ｉ－４７１２）～カルボン酸塩（Ｉ－４７２１）、カルボン酸塩（Ｉ－４７５１）～カルボン酸塩（Ｉ－４７５５）、カルボン酸塩（Ｉ－４７６０）～カルボン酸塩（Ｉ－４７７１）、カルボン酸塩（Ｉ－４８０７）～カルボン酸塩（Ｉ－４８１６）、カルボン酸塩（Ｉ－４８４６）～カルボン酸塩（Ｉ－４８５０）、カルボン酸塩（Ｉ－４８５５）～カルボン酸塩（Ｉ－４８６６）、カルボン酸塩（Ｉ－４９０２）～カルボン酸塩（Ｉ－４９１１）、カルボン酸塩（Ｉ－４９４１）～カルボン酸塩（Ｉ－４９４５）、カルボン酸塩（Ｉ－４９５０）～カルボン酸塩（Ｉ－４９６１）、カルボン酸塩（Ｉ－４９９７）～カルボン酸塩（Ｉ－５００６）、カルボン酸塩（Ｉ－５０３６）～カルボン酸塩（Ｉ－５０４０）、カルボン酸塩（Ｉ－５０４５）～カルボン酸塩（Ｉ－５０５６）、カルボン酸塩（Ｉ－５０９２）～カルボン酸塩（Ｉ－５１０１）、カルボン酸塩（Ｉ－５１３１）～カルボン酸塩（Ｉ－５１３５）、カルボン酸塩（Ｉ－５１４０）～カルボン酸塩（Ｉ－５１５１）、カルボン酸塩（Ｉ－５１８７）～カルボン酸塩（Ｉ－５１９６）、カルボン酸塩（Ｉ－５２２６）～カルボン酸塩（Ｉ－５２３０）、カルボン酸塩（Ｉ－５２３５）～カルボン酸塩（Ｉ－５２４６）、カルボン酸塩（Ｉ－５２８２）～カルボン酸塩（Ｉ－５２９１）、カルボン酸塩（Ｉ－５
３２１）～カルボン酸塩（Ｉ－５３２５）、カルボン酸塩（Ｉ－５３３０）～カルボン酸塩（Ｉ－５３４１）、カルボン酸塩（Ｉ－５３７７）～カルボン酸塩（Ｉ－５３８６）、カルボン酸塩（Ｉ－５４１６）～カルボン酸塩（Ｉ－５４２０）、カルボン酸塩（Ｉ－５４２５）～カルボン酸塩（Ｉ－５４３６）、カルボン酸塩（Ｉ－５４７２）～カルボン酸塩（Ｉ－５４８１）、カルボン酸塩（Ｉ－５５１１）～カルボン酸塩（Ｉ－５５１５）、カルボン酸塩（Ｉ－５５２０）～カルボン酸塩（Ｉ－５５３１）、カルボン酸塩（Ｉ－５５６７）～カルボン酸塩（Ｉ－５５７６）、カルボン酸塩（Ｉ－５６０６）～カルボン酸塩（Ｉ－５６１０）、カルボン酸塩（Ｉ－５６１５）～カルボン酸塩（Ｉ－５６２６）、カルボン酸塩（Ｉ－５６６２）～カルボン酸塩（Ｉ－５６７１）、カルボン酸塩（Ｉ－５７０１）～カルボン酸塩（Ｉ－５７０５）、カルボン酸塩（Ｉ－５７１０）～カルボン酸塩（Ｉ－５７２１）、カルボン酸塩（Ｉ－５７５７）～カルボン酸塩（Ｉ－５７６６）、カルボン酸塩（Ｉ－５７９６）～カルボン酸塩（Ｉ－５８００）、カルボン酸塩（Ｉ－５８０５）～カルボン酸塩（Ｉ－５８１６）、カルボン酸塩（Ｉ－５８５２）～カルボン酸塩（Ｉ－５８６１）、カルボン酸塩（Ｉ－５８９１）～カルボン酸塩（Ｉ－５８９５）、カルボン酸塩（Ｉ－５９００）～カルボン酸塩（Ｉ－５９１１）、カルボン酸塩（Ｉ－５９４７）～カルボン酸塩（Ｉ－５９５６）、カルボン酸塩（Ｉ－５９８６）～カルボン酸塩（Ｉ－５９９０）、カルボン酸塩（Ｉ－５９９５）～カルボン酸塩（Ｉ－６００６）、カルボン酸塩（Ｉ－６０４２）～カルボン酸塩（Ｉ－６０５１）、カルボン酸塩（Ｉ－６０８１）～カルボン酸塩（Ｉ－６０８５）、カルボン酸塩（Ｉ－６０９０）～カルボン酸塩（Ｉ－６１０１）、カルボン酸塩（Ｉ－６１３７）～カルボン酸塩（Ｉ－６１４６）、カルボン酸塩（Ｉ－６１７６）～カルボン酸塩（Ｉ－６１８０）、カルボン酸塩（Ｉ－６１８５）～カルボン酸塩（Ｉ－６１９６）、カルボン酸塩（Ｉ－６２３２）～カルボン酸塩（Ｉ－６２４１）、カルボン酸塩（Ｉ－６２７１）～カルボン酸塩（Ｉ－６２７５）、カルボン酸塩（Ｉ－６２８０）～カルボン酸塩（Ｉ－６２９１）、カルボン酸塩（Ｉ－６３２７）～カルボン酸塩（Ｉ－６３３６）、カルボン酸塩（Ｉ－６３６６）～カルボン酸塩（Ｉ－６３７０）、カルボン酸塩（Ｉ－６３７５）～カルボン酸塩（Ｉ－６３８６）、カルボン酸塩（Ｉ－６４２２）～カルボン酸塩（Ｉ－６４３１）、カルボン酸塩（Ｉ－６４６１）～カルボン酸塩（Ｉ－６４６５）、カルボン酸塩（Ｉ－６４７０）～カルボン酸塩（Ｉ－６４８１）、カルボン酸塩（Ｉ－６５１７）～カルボン酸塩（Ｉ－６５２６）、カルボン酸塩（Ｉ－６５５６）～カルボン酸塩（Ｉ－６５６０）、カルボン酸塩（Ｉ－６５６５）～カルボン酸塩（Ｉ－６５７６）、カルボン酸塩（Ｉ－６６１２）～カルボン酸塩（Ｉ－６６２１）、カルボン酸塩（Ｉ－６６５１）～カルボン酸塩（Ｉ－６６５５）、カルボン酸塩（Ｉ－６６６０）～カルボン酸塩（Ｉ－６６７１）、カルボン酸塩（Ｉ－６７０７）～カルボン酸塩（Ｉ－６７１６）、カルボン酸塩（Ｉ－６７４６）～カルボン酸塩（Ｉ－６７５０）、カルボン酸塩（Ｉ－６７５５）～カルボン酸塩（Ｉ－６７６６）、カルボン酸塩（Ｉ－６８０２）～カルボン酸塩（Ｉ－６８１１）、カルボン酸塩（Ｉ－６８４１）～カルボン酸塩（Ｉ－６８４５）、カルボン酸塩（Ｉ－６８５０）～カルボン酸塩（Ｉ－６８６１）、カルボン酸塩（Ｉ－６８９７）～カルボン酸塩（Ｉ－６９０６）、カルボン酸塩（Ｉ－６９３６）～カルボン酸塩（Ｉ－６９４０）、カルボン酸塩（Ｉ－６９４５）～カルボン酸塩（Ｉ－６９５６）、カルボン酸塩（Ｉ－６９９２）～カルボン酸塩（Ｉ－７００１）、カルボン酸塩（Ｉ－７０３１）～カルボン酸塩（Ｉ－７０３５）、カルボン酸塩（Ｉ－７０４０）～カルボン酸塩（Ｉ－７０５１）、カルボン酸塩（Ｉ－７０８７）～カルボン酸塩（Ｉ－７０９６）、カルボン酸塩（Ｉ－７１２６）～カルボン酸塩（Ｉ－７１３０）、カルボン酸塩（Ｉ－７１３５）～カルボン酸塩（Ｉ－７１４６）、カルボン酸塩（Ｉ－７１８２）～カルボン酸塩（Ｉ－７１９１）、カルボン酸塩（Ｉ－７２２１）～カルボン酸塩（Ｉ－７２２５）、カルボン酸塩（Ｉ－７２３０）～カルボン酸塩（Ｉ－７２４１）、カルボン酸塩（Ｉ－７２７７）～カルボン酸塩（Ｉ－７２８６）、カルボン酸塩（Ｉ－７３１６）～カルボン酸塩（Ｉ－７３２０）、カルボン酸塩（Ｉ－７３２５）～カルボン酸塩（Ｉ－７３３６）、カルボン酸塩（Ｉ－７３７２）～カルボン酸塩（Ｉ－７３８１）、カルボン酸塩（Ｉ－７４１１）～カルボン酸塩（Ｉ－７４１５）、カルボン酸塩（Ｉ－７４２０）～カルボン酸塩（Ｉ－７４３１）、カルボン酸塩（Ｉ－７４６７）～カルボン酸塩（Ｉ－７４７６）、カルボン酸塩（Ｉ－７５０６）～カルボン酸塩（Ｉ－７５１０）、カルボン酸塩（Ｉ－７５１５）～カルボン酸塩（Ｉ－７５２６）、カルボン酸塩（Ｉ－７５６２）～カルボン酸塩（Ｉ－７５７１）、カルボン酸塩（Ｉ－７６０１）～カルボン酸塩（Ｉ－７６０５）、カルボン酸塩（Ｉ－７６１０）～カルボン酸塩（Ｉ－７６２１）、カルボン酸塩（Ｉ－７６５７）～カルボン酸塩（Ｉ－７６６６）、カルボン酸塩（Ｉ－７６９６）～カルボン酸塩（Ｉ－７７００）、カルボン酸塩（Ｉ－７７０５）～カルボン酸塩（Ｉ－７７１６）、カルボン酸塩（Ｉ－７７５２）～カルボン酸塩（Ｉ－７７６１）、カルボン酸塩（Ｉ－７７９１）～カルボン酸塩（Ｉ－７８６５）、カルボン酸塩（Ｉ－７８００）～カルボン酸塩（Ｉ－７８１１）、カルボン酸塩（Ｉ－７８４７）～カルボン酸塩（Ｉ－７８５６）、カルボン酸塩（Ｉ－７８８６）～カルボン酸塩（Ｉ－７９６０）、カルボン酸塩（Ｉ－７８９５）～カルボン酸塩（Ｉ－７９０６）、カルボン酸塩（Ｉ－７９４２）～カルボン酸塩（Ｉ－７９５１）、カルボン酸塩（Ｉ－７９８１）～カルボン酸塩（Ｉ－７９８５）、カルボン酸塩（Ｉ－７９９０）～カルボン酸塩（Ｉ－８００１）、カルボン酸塩（Ｉ－８０３７）～カルボン酸塩（Ｉ－８０４６）、カルボン酸塩（Ｉ－８０７６）～カルボン酸塩（Ｉ－８０８０）、カルボン酸塩（Ｉ－８０８５）～カルボン酸塩（Ｉ－８０９６）、カルボン酸塩（Ｉ－８１３２）～カルボン酸塩（Ｉ－８１４１）、カルボン酸塩（Ｉ－８１７１）～カルボン酸塩（Ｉ－８１７５）、カルボン酸塩（Ｉ－８１８０）～カルボン酸塩（Ｉ－８１９１）、カルボン酸塩（Ｉ－８２２７）～カルボン酸塩（Ｉ－８２３６）、カルボン酸塩（Ｉ－８２６６）～カルボン酸塩（Ｉ－８２７０）、カルボン酸塩（Ｉ－８２７５）～カルボン酸塩（Ｉ－８２８６）、カルボン酸塩（Ｉ－８３２２）～カルボン酸塩（Ｉ－８３３１）、カルボン酸塩（Ｉ－８３６１）～カルボン酸塩（Ｉ－８３６５）、カルボン酸塩（Ｉ－８３７０）～カルボン酸塩（Ｉ－８３８１）、カルボン酸塩（Ｉ－８４１７）～カルボン酸塩（Ｉ－８４２６）、カルボン酸塩（Ｉ－８４５６）～カルボン酸塩（Ｉ－８４６０）、カルボン酸塩（Ｉ－８４６５）～カルボン酸塩（Ｉ－８４７６）、カルボン酸塩（Ｉ－８５１２）～カルボン酸塩（Ｉ－８５２１）が好ましい。

【0058】

＜塩（Ｉ）の製造方法＞
塩（Ｉ）及び（ＩＡ）は、式（Ｉ－ａ）で表される塩と、式（Ｉ－ｂ）で表される塩とを、溶剤中で反応させることにより製造することができる。

［式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５、ｍ６、ｍ７、ｍ８、ｍ９、Ａ^１、Ａ^２、Ａ^３、Ｘ^０は、それぞれ前記と同じ意味を表す。
Ｒ^A、Ｒ^B及びＲ^Cは、それぞれ独立に、炭素数１～１２の炭化水素基を表すか、又は、Ｒ^A、Ｒ^B及びＲ^Cが一緒になって芳香環を形成してもよい。Ｒ^Dは、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表す。］
この反応における溶媒としては、クロロホルム、アセトニトリル、イオン交換水等が挙げられる。
反応温度は、通常１５℃～８０℃であり、反応時間は、通常０．５～２４時間である。

【0059】

式（Ｉ－ｂ）で表される塩は、特開２０１１－３９５０２号公報、特開２０１４－８８３６７号公報に記載された方法を参考にして合成することができ、以下で表される塩などが挙げられる。

【0060】

式（Ｉ－ａ）で表される塩は、式（Ｉ－ｃ）で表される塩と、式（Ｉ－ｄ１）で表される化合物と、式（Ｉ－ｄ２）で表される化合物と、式（Ｉ－ｄ３）で表される化合物とを、触媒の存在下、溶剤中で反応させることにより製造することができる。

［式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。］
触媒としては、水素化ナトリウム、炭酸カリウムなどが挙げられる。
溶剤としては、クロロホルム、モノクロロベンゼン、アセトニトリル、水などが挙げられる。
反応温度は、通常１５℃～１００℃であり、反応時間は、通常０．５～２４時間である。

【0061】

式（Ｉ－ｃ）で表される塩としては、下記式で表される塩等が挙げられ、市場より容易に入手することができる。

【0062】

式（Ｉ－ｄ１）で表される化合物、式（Ｉ－ｄ２）で表される化合物及び式（Ｉ－ｄ３）で表される化合物としては、以下で表される化合物等が挙げられ、市場より容易に入手することができる。

【0063】

式（Ｉ－ａ）で表される塩は、式（Ｉ－ｄ１）で表される化合物と、式（Ｉ－ｄ２）で表される化合物と、式（Ｉ－ｄ３）で表される化合物を、溶剤中で、カルボニルジイミダゾールと反応させた後、さらに、式（Ｉ－ｅ）で表される塩と反応させることにより製造することもできる。

［式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。］
溶剤としては、クロロホルム、モノクロロベンゼン、アセトニトリルなどが挙げられる。
反応温度は、通常１５℃～８０℃であり、反応時間は、通常０．５～２４時間である。

【0064】

式（Ｉ－ｅ）で表される塩としては、下記式で表される塩等が挙げられ、市場より容易に入手することができる。

塩（ＩＢ）は、式（ＩＡ）を製造する過程において、式（Ｉ－ａ）で表される塩を式（Ｉ-ｅ）で表される塩に置き換えることで製造できる。

［式中、Ｒ^４Ａ、Ｒ^５Ａ、Ｒ^６Ａ、Ｒ^４Ｂ、Ｒ^５Ｂ、Ｒ^６Ｂ、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４Ａ、ｍ４Ｂ、ｍ５Ａ、ｍ５Ｂ、ｍ６Ａ、ｍ６Ｂ、ｍ７、ｍ８、ｍ９、Ａ^１、Ａ^２、Ａ^３は、それぞれ前記式（ＩＢ）と同じ意味を表す。］
式（Ｉ－ｅ）で表される塩は、式（Ｉ－ｃ）で表される塩から式（Ｉ－ａ）で表される塩を合成する過程において、式（Ｉ－ｄ１）で表される化合物、式（Ｉ－ｄ２）で表される化合物及び式（Ｉ－ｄ３）で表される化合物を、それぞれ式（Ｉ－ｆ１）で表される化合物、式（Ｉ－ｆ２）で表される化合物及び式（Ｉ－ｆ３）で表される化合物にそれぞれ置き換えることで合成できる。

［式（Ｉ－ｆ１）中、Ｒ^４Ａ及Ｒ^４Ｂ、ｍ４Ａ、ｍ４Ｂ、ｍ１０、Ａ^１の符号は、それぞれ、式（ＩＢ）と同じ意味を表す。］
式（Ｉ－ｆ２）は、式（Ｉ－ｆ１）におけるＲ^４Ａ、Ｒ^４Ｂ、ｍ４Ａ、ｍ４Ｂ、ｍ１０及びＡ^１の符号をそれぞれ、Ｒ^５Ａ、Ｒ^５Ｂ、ｍ５Ａ、ｍ５Ｂ、ｍ１１及びＡ^２にそれぞれ置き換えたものを用いる。式（Ｉ－ｆ３）は、式（Ｉ－ｆ１）におけるＲ^４Ａ、Ｒ^４Ｂ、ｍ４Ａ、ｍ４Ｂ、ｍ１０及びＡ^１の符号をそれぞれ、Ｒ^６Ａ、Ｒ^６Ｂ、ｍ６Ａ、ｍ６Ｂ、ｍ１２及びＡ^３にそれぞれ置き換えたものを用いる。
式（Ｉ－ｆ１）～式（Ｉ－ｆ３）で表される化合物としては、例えば、以下の化合物が挙げられる。

また、式（Ｉ）において、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３が、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有するフェナントレンである塩を合成する場合には、式（ＩＢ）の合成過程において、式（Ｉ－ｆ１）～式（Ｉ－ｆ３）で表される化合物それぞれについて、所望のハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基もしくはヒドロキシ基を有し、かつ、＊－Ａ^１－Ｈ（＊は、フェナントレンとの結合手を表す。）を有するフェナントレンに置き換えることで合成できる。

【0065】

〔カルボン酸発生剤〕
本発明のカルボン酸発生剤は、カルボン酸塩（Ｉ）を含有する酸発生剤である。本発明のカルボン酸塩（Ｉ）は、レジスト組成物中において、酸発生剤として作用させることができる。カルボン酸塩（Ｉ）をレジスト組成物中の酸発生剤として用いる場合、酸発生剤は１種のみ又は２種類以上のカルボン酸塩（Ｉ）を含有してもよい。
また、本発明の酸発生剤は、後述するように、カルボン酸塩（Ｉ）以外のレジスト分野で公知の酸発生剤（以下「酸発生剤（Ｂ）」という場合がある。）及び／又はカルボン酸塩（Ｉ）以外のレジスト分野で公知のカルボン酸発生剤をさらに含有してもよい。酸発生剤（Ｂ）は、単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明のカルボン酸発生剤が、酸発生剤（Ｂ）等を含有する場合、カルボン酸塩（Ｉ）と酸発生剤（Ｂ）等との含有量の比（質量比；カルボン酸塩（Ｉ）：酸発生剤（Ｂ））等は、通常、１：９９～１００：０、好ましくは１：９９～９９：１、より好ましくは２：９８～９８：２、さらに好ましくは５：９５～９５：５である。

【0066】

〔レジスト組成物〕
レジスト組成物は、本発明のカルボン酸塩（Ｉ）を含有するカルボン酸発生剤と、カルボン酸塩（Ｉ）以外の酸発生剤（Ｂ）とを少なくとも含有する。本発明のレジスト組成物は、酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂（以下「樹脂（Ａ）」という場合がある）を含有してもよい。ここでの「酸不安定基」は、脱離基を有し、酸との接触により脱離基が脱離して、親水性基（例えば、ヒドロキシ基又はカルボキシ基）を形成する基を意味する。
レジスト組成物は、さらに、クエンチャー（以下「クエンチャー（Ｃ）」という場合がある）及び／又は溶剤（以下「溶剤（Ｅ）」という場合がある）を含有することが好ましい。
本発明のレジスト組成物においては、カルボン酸塩（Ｉ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、０．１質量％以上３５質量％以下が好ましく、０．５質量％以上３０質量％以下がより好ましく、１質量％以上２５質量％以下がさらに好ましい。

【0067】

＜酸発生剤（Ｂ）＞
酸発生剤（Ｂ）は、カルボン酸以外の酸を発生する非イオン系又はイオン系のいずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤としては、スルホネートエステル類（例えば２－ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネート、オキシムスルホネート、Ｎ－スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジアゾナフトキノン４－スルホネート）、スルホン類（例えばジスルホン、ケトスルホン、スルホニルジアゾメタン）等が挙げられる。イオン系酸発生剤としては、オニウムカチオンを含むオニウム塩（例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩）が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン等が挙げられる。

【0068】

酸発生剤（Ｂ）としては、特開昭６３－２６６５３号、特開昭５５－１６４８２４号、特開昭６２－６９２６３号、特開昭６３－１４６０３８号、特開昭６３－１６３４５２号、特開昭６２－１５３８５３号、特開昭６３－１４６０２９号、米国特許第３，７７９，７７８号、米国特許第３，８４９，１３７号、独国特許第３９１４４０７号、欧州特許第１２６，７１２号等に記載の放射線によって酸を発生する化合物を使用することができる。また、公知の方法で製造した化合物を使用してもよい。酸発生剤（Ｂ）は、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【0069】

酸発生剤（Ｂ）は、好ましくは式（Ｂ１）で表される塩（以下「酸発生剤（Ｂ１）」という場合がある。但し、塩（Ｉ）を除く。）である。

［式（Ｂ１）中、
Ｑ^b1及びＱ^b2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｌ^b1は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ１^＋は、有機カチオンを表す。］

【0070】

Ｑ^ｂ１及びＱ^ｂ２の表すペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Ｑ^ｂ１及びＱ^ｂ２の表すアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。
酸発生剤（Ｂ）はフッ素含有酸発生剤であることが好ましく、酸発生剤（Ｂ１）としては、Ｑ^ｂ１及びＱ^ｂ２は、Ｑ^ｂ１及びＱ^ｂ２の少なくとも一方に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を含むことが好ましく、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることがさらに好ましく、ともにフッ素原子であることがさらにより好ましい。

【0071】

Ｌ^b1における２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。

【0072】

Ｌ^b1で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）のいずれかで表される基が挙げられる。なお、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基及びそれらの具体例である式（ｂ１－４）～式（ｂ１－１１）で表される基において、＊及び＊＊は結合部位を表し、＊は－Ｙとの結合部位を表す。

【0073】

［式（ｂ１－１）中、
Ｌ^b2は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b3は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌ^b2とＬ^b3との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－２）中、
Ｌ^b4は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b5は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌ^b4とＬ^b5との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－３）中、
Ｌ^b6は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Ｌ^b7は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌ^b6とＬ^b7との炭素数合計は、２３以下である。］

【0074】

式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
２価の飽和炭化水素基としては、Ｌ^b1の２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。

【0075】

Ｌ^b2は、好ましくは単結合、メチレン基、－ＣＨ（ＣＦ_３）－又は－Ｃ（ＣＦ_３）_２－である。
Ｌ^b3は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b4は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基であり、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよく、より好ましくは、メチレン基、－ＣＨ（ＣＦ_３）－、－Ｃ（ＣＦ_３）_２－である。
Ｌ^b5は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b6は、好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b7は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。

【0076】

Ｌ^b1で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、式（ｂ１－１）又は式（ｂ１－３）で表される基が好ましい。

【0077】

式（ｂ１－１）で表される基としては、式（ｂ１－４）～式（ｂ１－８）でそれぞれ表される基が挙げられる。

［式（ｂ１－４）中、
Ｌ^b8は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式（ｂ１－５）中、
Ｌ^b9は、炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌ^b10は、単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b9及びＬ^b10の合計炭素数は２０以下である。
式（ｂ１－６）中、
Ｌ^b11は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b12は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b11及びＬ^b12の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－７）中、
Ｌ^b13は、炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b14は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌ^b15は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b13～Ｌ^b15の合計炭素数は１９以下である。
式（ｂ１－８）中、
Ｌ^b16は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌ^b17は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b18は、単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b16～Ｌ^b18の合計炭素数は１９以下である。］

【0078】

Ｌ^b8は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b9は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b10は、好ましくは単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b11は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b12は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b13は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b14は、好ましくは単結合又は炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b15は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b16は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b17は、好ましくは炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b18は、好ましくは単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。

【0079】

式（ｂ１－３）で表される基としては、式（ｂ１－９）～式（ｂ１－１１）でそれぞれ表される基が挙げられる。

［式（ｂ１－９）中、
Ｌ^b19は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b20は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b19及びＬ^b20の合計炭素数は２３以下である。
式（ｂ１－１０）中、
Ｌ^b21は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b22は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b23は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b21、Ｌ^b22及びＬ^b23の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－１１）中、
Ｌ^b24は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b25は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b26は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b24、Ｌ^b25及びＬ^b26の合計炭素数は２１以下である。］

【0080】

なお、式（ｂ１－９）で表される基から式（ｂ１－１１）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる水素原子がアルキルカルボニルオキシ基に置換されている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。

【0081】

アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。

【0082】

式（ｂ１－４）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0083】

式（ｂ１－５）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0084】

式（ｂ１－６）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0085】

式（ｂ１－７）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0086】

式（ｂ１－８）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0087】

式（ｂ１－２）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0088】

式（ｂ１－９）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0089】

式（ｂ１－１０）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0090】

式（ｂ１－１１）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

【0091】

Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－に置き換わっていない脂環式炭化水素基としては、例えば、式（Ｙ１）～式（Ｙ１１）、式（Ｙ３６）～式（Ｙ３８）で表される基が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－で置き換わる場合、その数は１つでもよいし、２以上でもよい。そのような基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基が挙げられる。式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ_２－に置き換わっていてもよい。＊はＬ^b1との結合部位を表す。

Ｙで表される脂環式炭化水素基としては、好ましくは式（Ｙ１）～式（Ｙ２０）、式（Ｙ２６）、式（Ｙ２７）、式（Ｙ３０）、式（Ｙ３１）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）のいずれかで表される基であり、より好ましくは式（Ｙ１１）、式（Ｙ１５）、式（Ｙ１６）、式（Ｙ２０）、式（Ｙ２６）、式（Ｙ２７）、式（Ｙ３０）、式（Ｙ３１）、式（Ｙ３９）、式（Ｙ４０）、式（Ｙ４２）又は式（Ｙ４３）で表される基であり、さらに好ましくは式（Ｙ１１）、式（Ｙ１５）、式（Ｙ２０）、式（Ｙ２６）、式（Ｙ２７）、式（Ｙ３０）、式（Ｙ３１）、式（Ｙ３９）、式（Ｙ４０）、式（Ｙ４２）又は式（Ｙ４３）で表される基である。
Ｙで表される脂環式炭化水素基が式（Ｙ２８）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）、式（Ｙ４０）、式（Ｙ４２）、式（Ｙ４３）等の酸素原子を有するスピロ環である場合には、２つの酸素原子間のアルカンジイル基は、１以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。

【0092】

Ｙで表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ_２）_ｊａ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ^ｂ１基又は－（ＣＨ_２）_ｊａ－Ｏ－ＣＯ－Ｒ^ｂ１基（式中、Ｒ^ｂ１は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。）等が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数７～２１のアラルキル基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ_２）_ｊａ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ^ｂ１基又は－（ＣＨ_２）_ｊａ－Ｏ－ＣＯ－Ｒ^ｂ１基（式中、Ｒ^ｂ１は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。）等が挙げられる。

【0093】

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基は、鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１２であり、より好ましくは３～１０である。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基としては、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等が挙げられ、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基としては、ｐ－シクロへキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１４であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキル基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、アルコキシ基、アルキルスルホニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルキルスルホニル基としては、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニルオキシ基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
組み合わせた基としては、例えば、アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基等が挙げられる。アルコキシアルキル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。アルコキシアルコキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチル基、メトキシプロピオニル基、エトキシアセチル基、エトキシプロピオニル基等のアルコキシアルキルカルボニル基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチルオキシ基、メトキシプロピオニルオキシ基、エトキシアセチルオキシ基、エトキシプロピオニルオキシ基等のアルコキシアルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が－Ｏ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基等が挙げられる。

【0094】

Ｙとしては、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基であり、さらに好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、さらにより好ましくは置換基を有していてもよいアダマンチル基又は置換基を有していてもよいノルボルニル基であり、該脂環式炭化水素基、アダマンチル基及びノルボルニル基を構成する－ＣＨ_２－は－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、具体的には、以下のものが挙げられる。

【0095】

なかでも、Ｙは、好ましくはアダマンチル基、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基、ノルボルナンラクトン基又は式（Ｙ４２）、式（Ｙ１００）～式（Ｙ１１４）、式（Ｙ１３４）～式（Ｙ１３９）で表される基であり、特に好ましくは、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基、これらを含む基又は式（Ｙ４２）、式（Ｙ１００）～式（Ｙ１１４）、式（Ｙ１３４）～式（Ｙ１３９）で表される基である。

【0096】

式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－６５）で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン（Ｂ１－Ａ－１）」等という場合がある。〕が好ましく、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－４）、式（Ｂ１－Ａ－９）、式（Ｂ１－Ａ－１０）、式（Ｂ１－Ａ－２４）～式（Ｂ１－Ａ－３３）、式（Ｂ１－Ａ－３６）～式（Ｂ１－Ａ－４０）、式（Ｂ１－Ａ－４７）～式（Ｂ１－Ａ－６５）のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。

【0097】

【0098】

ここでＲⁱ²～Ｒⁱ⁷は、それぞれ独立に、例えば、炭素数１～４のアルキル基、好ましくはメチル基又はエチル基である。Ｒⁱ⁸は、例えば、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、好ましくは炭素数１～４のアルキル基、炭素数５～１２の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。Ｌ^A4は、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基である。Ｑ^b1及びＱ^b2は、上記と同じ意味を表す。
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、具体的には、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたアニオンが挙げられる。

【0099】

好ましい式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４３）でそれぞれ表されるアニオンが挙げられる。

【0100】

【0101】

なかでも、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４）、式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１１）、式（Ｂ１ａ－１４）～式（Ｂ１ａ－３０）及び式（Ｂ１ａ－３５）～式（Ｂ１ａ－４０）のいずれかで表されるアニオンが好ましい。
スルホニルイミドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。

スルホニルメチドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。

【0102】

Ｚ１^＋の有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオン等が挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。具体的には、式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）のいずれかで表されるカチオン（以下、式番号に応じて「カチオン（ｂ２－１）」等という場合がある。）が挙げられる。

［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）中、
Ｒ^b4～Ｒ^b6は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。
Ｒ^b4とＲ^b5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒ^b7及びＲ^b8は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。
ｍ２が２以上のとき、複数のＲ^b7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ^b8は同一でも異なってもよい。
Ｒ^b9及びＲ^b10は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒ^b9とＲ^b10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒ^b11は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ^b12は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Ｒ^b11とＲ^b12とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒ^b13～Ｒ^b18は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
Ｒ^b13とＲ^b14とは、互いに結合してそれらが結合するベンゼン環と一緒になって硫黄原子を含む環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｌ^b31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
ｏ２、ｐ２、ｓ２、及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
ｕ２は０又は１を表す。
ｏ２が２以上のとき、複数のＲ^b13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ^b14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ^b15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ^b16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ^b17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ^b18は同一又は相異なる。］
ｕ２が０のとき、ｏ２、ｐ２、ｑ２及びｒ２のうちいずれか１つは１以上であり、Ｒ^b13～Ｒ^b1６のうち少なくとも１つはハロゲン原子であることが好ましく、ｕ２が１のとき、ｏ２、ｐ２、ｓ２、ｔ２、ｑ２及びｒ２のうちいずれか１つは１以上であり、Ｒ^b13～Ｒ^b18のうち少なくとも１つはハロゲン原子であることが好ましい。
さらに、ｕ２が０のとき、ｒ２は１以上であることが好ましく、１であることがさらに好ましい。また、ｕ２が０、かつ、ｒ２が１以上のとき、Ｒ^ｂ１６がハロゲン原子であることが好ましい。
ｏ２が２以上のとき、複数のＲ^b13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ^b14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ^b15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ^b16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ^b17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ^b18は同一又は相異なる。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Ｒ^b9～Ｒ^b12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数１～１２である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。

特に、Ｒ^b9～Ｒ^b12の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数３～１８、より好ましくは炭素数４～１２である。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、２－メチルアダマンタン－２－イル基、２－エチルアダマンタン－２－イル基、２－イソプロピルアダマンタン－２－イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは２０以下である。
フッ化アルキル基とは、フッ素原子を有する炭素数１～１２のアルキル基を表し、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル基等が挙げられる。フッ化アルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロへキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）等が挙げられる。
なお、芳香族炭化水素基が、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有する場合は、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、ｐ－メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び２－エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Ｒ^b4とＲ^b5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数３～１８の環が挙げられ、好ましくは炭素数４～１８の環である。また、硫黄原子を含む環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環であり、例えば下記の環が挙げられる。＊は結合部位を表す。

Ｒ^b9とＲ^b10とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環である。例えば、チオラン－１－イウム環（テトラヒドロチオフェニウム環）、チアン－１－イウム環、１，４－オキサチアン－４－イウム環等が挙げられる。
Ｒ^b11とＲ^b12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。

【0103】

カチオン（ｂ２－１）～カチオン（ｂ２－４）の中でも、好ましくは、カチオン（ｂ２－１）である。
カチオン（ｂ２－１）としては、以下のカチオンが挙げられる。

カチオン（ｂ２－２）としては、以下のカチオンが挙げられる。

カチオン（ｂ２－３）としては、以下のカチオンが挙げられる。

カチオン（ｂ２－４）としては、以下のカチオンが挙げられる。

【0104】

酸発生剤（Ｂ）は、上述のアニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組合せることができる。酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４）、式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１１）、式（Ｂ１ａ－１４）～式（Ｂ１ａ－３０）及び式（Ｂ１ａ－３５）～式（Ｂ１ａ－４０）のいずれかで表されるアニオンと、カチオン（ｂ２－１）、カチオン（ｂ２－２）、カチオン（ｂ２－３）又はカチオン（ｂ２－４）との組合せが挙げられる。

【0105】

酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－６０）でそれぞれ表されるものが挙げられる。中でもアリールスルホニウムカチオンを含むものが好ましく、式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－３）、式（Ｂ１－５）～式（Ｂ１－７）、式（Ｂ１－１１）～式（Ｂ１－１４）、式（Ｂ１－２０）～式（Ｂ１－２６）、式（Ｂ１－２９）、式（Ｂ１－３１）～式（Ｂ１－６０）で表されるものがとりわけ好ましい。

【0106】

【0107】

【0108】

本発明のレジスト組成物においては、酸発生剤（Ｂ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、好ましくは０．１質量％以上９９．９質量％以下、より好ましくは１質量％以上、４５質量％以下より好ましくは１質量％以上４０質量％以下、さらに好ましくは３質量％以上４０質量％以下であり、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１質量部以上４５質量部以下、より好ましくは１質量部以上４０質量部以下、さらに好ましくは３質量部以上３５質量部以下である。本発明のレジスト組成物は、酸発生剤（Ｂ）の１種を単独で含有してもよく、複数種を含有してもよい。

【0109】

＜樹脂（Ａ）＞
樹脂（Ａ）は、酸不安定基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ１）」という場合がある）を含む。樹脂（Ａ）は、さらに、構造単位（ａ１）以外の構造単位を含むことが好ましい。構造単位（ａ１）以外の構造単位としては、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ｓ）」という場合がある）、構造単位（ａ１）及び構造単位（ｓ）以外の構造単位（例えば、後述するハロゲン原子を有する構造単位（以下「構造単位（ａ４）」という場合がある）、後述する非脱離炭化水素基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ５）」という場合がある）及びその他の当該分野で公知のモノマーに由来する構造単位等が挙げられる。

【0110】

〈構造単位（ａ１）〉
構造単位（ａ１）は、酸不安定基を有するモノマー（以下「モノマー（ａ１）」という場合がある）から導かれる。
樹脂（Ａ）に含まれる酸不安定基は、式（１）で表される基（以下、基（１）とも記す）及び／又は式（２）で表される基（以下、基（２）とも記す）が好ましい。

［式（１）中、Ｒ^a1、Ｒ^a２及びＲ^a3は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～２０の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ｒ^a1及びＲ^a2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
ｍａ及びｎａは、それぞれ独立して、０又は１を表し、ｍａ及びｎａの少なくとも一方は１を表す。
＊は結合部位を表す。］

［式（２）中、Ｒ^ａ１’及びＲ^ａ２’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒ^ａ３’は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^ａ２’及びＲ^ａ３’は互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－Ｓ－で置き換わってもよい。
Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｎａ’は、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］

【0111】

Ｒ^ａ１、Ｒ^a２及びＲ^ａ３におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
Ｒ^a1、Ｒ^a2及びＲ^a3におけるアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Ｒ^ａ１、Ｒ^a２及びＲ^ａ３における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。Ｒ^a1、Ｒ^a２及びＲ^a3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６である。

Ｒ^ａ１、Ｒ^ａ２及びＲ^ａ３における芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。
好ましくは、ｍａは０であり、ｎａは１である。
Ｒ^a1及びＲ^a2が互いに結合して脂環式炭化水素基を形成する場合の－Ｃ（Ｒ^a1）（Ｒ^a2）（Ｒ^a3）としては、下記の基が挙げられる。脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数３～１２である。＊は－Ｏ－との結合部位を表す。

【0112】

Ｒ^ａ１’ 、Ｒ^a２’及びＲ^ａ３’における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及び組み合わせた基は、Ｒ^ａ１、Ｒ^a２及びＲ^ａ３で挙げた基と同様のものが挙げられる。
Ｒ^ａ２’及びＲ^ａ３’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに複素環基を形成する場合、－Ｃ（Ｒ^a1’）（Ｒ^a2’）－Ｘ－Ｒ^a3’としては、下記の基が挙げられる。＊は、結合部位を表す。

Ｒ^ａ１’及びＲ^ａ２’のうち、少なくとも１つは水素原子であることが好ましい。
ｎａ’は、好ましくは０である。

【0113】

基（１）としては、以下の基が挙げられる。
式（１）においてＲ^a1、Ｒ^a２及びＲ^a3がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。当該基としては、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基が好ましい。
式（１）において、Ｒ^a1、Ｒ^a2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ｒ^a3がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
式（１）において、Ｒ^a1及びＲ^a2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ｒ^a3がアダマンチル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
基（１）としては、具体的には以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。

【0114】

基（２）の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。

【0115】

モノマー（ａ１）は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノマー、より好ましくは酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーである。

【0116】

酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数５～２０の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー（ａ１）に由来する構造単位を有する樹脂（Ａ）をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。

【0117】

基（１）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位として、式（ａ１－０）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－０）という場合がある。）、式（ａ１－１）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－１）という場合がある。）又は式（ａ１－２）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－２）という場合がある。）が挙げられる。好ましくは、構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造単位であり、より好ましくは、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも１種又は２種の構造単位である。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。

［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
Ｌ^a01、Ｌ^ａ１及びＬ^ａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒ^a01、Ｒ^ａ４及びＲ^ａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒ^a02、Ｒ^a03及びＲ^a04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］

【0118】

Ｒ^a01、Ｒ^a4及びＲ^a5は、好ましくは水素原子又はメチル基であり、より好ましくはメチル基である。
Ｌ^a01、Ｌ^ａ１及びＬ^ａ２は、好ましくは酸素原子又は＊－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｋ０１－ＣＯ－Ｏ－であり（但し、ｋ０１は、好ましくは１～４のいずれかの整数、より好ましくは１である。）、より好ましくは酸素原子である。
Ｒ^a02、Ｒ^a03、Ｒ^a04、Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７におけるアルキル基、アルケニル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式（１）のＲ^ａ１、Ｒ^a2及びＲ^ａ３で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^a02、Ｒ^a03、及びＲ^a04におけるアルキル基は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７におけるアルキル基は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基又はｔ－ブチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基又はｔ－ブチル基である。
Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７におけるアルケニル基は、好ましくは炭素数２～６のアルケニル基であり、より好ましくはエテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基又はブテニル基である。
Ｒ^a02、Ｒ^a03、Ｒ^a04、Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは５～１２であり、より好ましくは５～１０である。
Ｒ^a02、Ｒ^a03、Ｒ^a04、Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７の芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１２であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
アルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
Ｒ^a02及びＲ^a03は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、フェニル基又はナフチル基である。
Ｒ^a04は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数５～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
Ｒ^ａ６及びＲ^ａ７は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基又は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ－ブチル基、エテニル基、フェニル基又はナフチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基、ｔ－ブチル基、エテニル基又はフェニル基である。
ｍ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１’は好ましくは０又は１である。

【0119】

構造単位（ａ１－０）としては、例えば、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１８）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－０）におけるＲ^ａ０１に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基（ハロゲン原子を有するアルキル基）又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１０）、式（ａ１－０－１３）、式（ａ１－０－１４）のいずれかで表される構造単位が好ましい。

【0120】

構造単位（ａ１－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－７）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－１）におけるＲ^ａ４に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が好ましく、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましい。

【0121】

構造単位（ａ１－２）としては、式（ａ１－２－１）～式（ａ１－２－１４）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－２）におけるＲ^ａ５に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－２－２）、式（ａ１－２－５）、式（ａ１－２－６）及び式（ａ１－２－１０）～式（ａ１－２－１４）のいずれかで表される構造単位が好ましい。

【0122】

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ１－０）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、５モル％以上が挙げられ、好ましくは１０モル％以上である。また、８０モル％以下が挙げられ、好ましくは７５モル％以下であり、より好ましくは７０モル％以下である。具体的には、５～８０モル％が挙げられ、好ましくは５～７５モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％である。
樹脂（Ａ）が構造単位（ａ１－１）及び／又は構造単位（ａ１－２）を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１０モル％以上が挙げられ、好ましくは１５モル％以上であり、より好ましくは２０モル％以上である。また、９０モル％以下が挙げられ、好ましくは８５モル％以下であり、より好ましくは８０モル％以下であり、さらに好ましくは７５モル％以下であり、より一層好ましくは７０モル％以下である。具体的には、１０～９０モル％が挙げられ、好ましくは１５～８５モル％であり、より好ましくは２０～８０モル％であり、さらに好ましくは２０～７５モル％であり、さらにより好ましくは２０～７０モル％である。

【0123】

構造単位（ａ１）において基（２）を有する構造単位としては、式（ａ１－４）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ１－４）」という場合がある。）が挙げられる。

［式（ａ１－４）中、
Ｒ^a32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒ^a33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａ^a30は、単結合又は＊－Ｘ^a31－（Ａ^a32－Ｘ^a32）_nc－を表し、＊は－Ｒ^a32が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａ^a32は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘ^a31及びＸ^a32は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｃは、０又は１を表す。
ｌａは、０～４のいずれかの整数を表す。ｌａが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲ^a33は互いに同一であっても異なっていてもよい。
Ｒ^a34及びＲ^a35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒ^a36は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^a35及びＲ^a36は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｏ－とともに炭素数２～２０の２価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該２価の炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－Ｓ－で置き換わってもよい。］

【0124】

Ｒ^a32及びＲ^a33におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒ^a32におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ｒ^a32は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a33におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒ^a33におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a33におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ｒ^a33におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ｒ^a33におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｒ^a33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。

【0125】

＊－Ｘ^a31－（Ａ^a32－Ｘ^a32）_nc－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a32－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａ^a32－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａ^a32－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a32－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａ^a32－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a32－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａ^a32－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。

【0126】

Ａ^a32におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａ^a32は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。

【0127】

Ａ^a30は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a32－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。

【0128】

ｌａは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０がさらに好ましい。
Ｒ^a34、Ｒ^a35及びＲ^a36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。

芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。特に、Ｒ^a36としては、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。

【0129】

Ｒ^a34は、好ましくは、水素原子である。
Ｒ^a35は、好ましくは、水素原子、炭素数１～１２のアルキル基又は炭素数３～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒ^a36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数７～１８のアラルキル基である。Ｒ^a36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ｒ^a36における芳香族炭化水素基は、炭素数６～１０のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。

【0130】

構造単位（ａ１－４）における－ＯＣ（Ｒ^a34）（Ｒ^a35）－Ｏ－Ｒ^a36は、酸（例えばｐ－トルエンスルホン酸）と接触して脱離し、ヒドロキシ基を形成する。
－ＯＣ（Ｒ^a34）（Ｒ^a35）－Ｏ－Ｒ^a36は、ベンゼン環のｍ－位又はｐ－位に結合することが好ましい。

【0131】

構造単位（ａ１－４）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－２４）でそれぞれ表される構造単位及び構造単位（ａ１－４）におけるＲ^ａ３２に相当する水素原子が、ハロゲン原子、ハロアルキル基又はアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、より好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－５）、式（ａ１－４－１０）、式（ａ１－４－１３）、式（ａ１－４－１４）、式（ａ１－４－１９）、式（ａ１－４－２０）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。

【0132】

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１－４）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位の合計に対して、１０～９５モル％であることが好ましく、１５～９０モル％であることがより好ましく、２０～８５モル％であることがさらに好ましく、２０～７０モル％であることがより一層好ましく、２０～６０モル％であることがさらに一層好ましい。

【0133】

基（２）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位としては、式（ａ１－５）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ１－５）」という場合がある）も挙げられる。

［式（ａ１－５）中、
Ｒ^a8は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｚ^a1は、単結合又は＊－（ＣＨ₂）_h3－ＣＯ－Ｌ⁵⁴－を表し、ｈ３は１～４のいずれかの整数を表し、＊は、Ｌ⁵¹との結合部位を表す。
Ｌ⁵¹、Ｌ⁵²、Ｌ⁵³及びＬ⁵⁴は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｓ１は、１～３のいずれかの整数を表す。
ｓ１’は、０～３のいずれかの整数を表す。］

【0134】

ハロゲン原子としては、フッ素原子及び塩素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式（ａ１－５）においては、Ｒ^a8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
Ｌ⁵¹は、酸素原子が好ましい。
Ｌ⁵²及びＬ⁵³のうち、一方が－Ｏ－であり、他方が－Ｓ－であることが好ましい。
ｓ１は、１が好ましい。
ｓ１’は、０～２のいずれかの整数が好ましい。
Ｚ^a1は、単結合又は＊－ＣＨ₂－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。

【0135】

構造単位（ａ１－５）としては、例えば、特開２０１０－６１１１７号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－５－１）～式（ａ１－５－４）でそれぞれ表される構造単位が好ましく、式（ａ１－５－１）又は式（ａ１－５－２）で表される構造単位がより好ましい。

【0136】

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１－５）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、３～４５モル％がより好ましく、５～４０モル％がさらに好ましく、５～３０モル％がさらにより好ましい。

【0137】

また、構造単位（ａ１）としては、以下の構造単位も挙げられる。

【0138】

樹脂（Ａ）が、（ａ１－３－１）～（ａ１－３－７）のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１０～９５モル％が好ましく、１５～９０モル％がより好ましく、２０～８５モル％がさらに好ましく、２０～７０モル％がさらにより好ましく、２０～６０モル％が特に好ましい。

【0139】

〈構造単位（ｓ）〉
構造単位（ｓ）は、酸不安定基を有さないモノマー（以下「モノマー（ｓ）」という場合がある）から導かれる。構造単位（ｓ）を導くモノマーは、レジスト分野で公知の酸不安定基を有さないモノマーを使用できる。
構造単位（ｓ）としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有するのが好ましい。ヒドロキシ基を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ２）」という場合がある）及び／又はラクトン環を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ３）」という場合がある）を含む樹脂を本発明のレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。

【0140】

〈構造単位（ａ２）〉
構造単位（ａ２）が有するヒドロキシ基は、アルコール性ヒドロキシ基でも、フェノール性ヒドロキシ基でもよい。
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、電子線又はＥＵＶ（超紫外光）等の高エネルギー線を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－Ａ）を用いることがより好ましい。また、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）等を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－１）を用いることがより好ましい。構造単位（ａ２）としては、１種を単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。

【0141】

構造単位（ａ２）においてフェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては式（ａ２－Ａ）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－Ａ）」という場合がある）が挙げられる。

［式（ａ２－Ａ）中、
Ｒ^a50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒ^a51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａ^a50は、単結合又は＊－Ｘ^a51－（Ａ^a52－Ｘ^a52）_nｂ－を表し、＊は－Ｒ^a50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａ^a52は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘ^a51及びＸ^a52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲ^a51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］

【0142】

Ｒ^a50及びＲ^a51におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒ^a50におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ｒ^a50は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒ^a51におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a51におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ｒ^a51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ｒ^a51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｒ^a51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。

【0143】

＊－Ｘ^a51－（Ａ^a52－Ｘ^a52）_nb－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a52－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａ^a52－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａ^a52－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a52－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａ^a52－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a52－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａ^a52－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。

【0144】

Ａ^a52におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａ^a52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。

【0145】

Ａ^a50は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａ^a52－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。

【0146】

ｍｂは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０がさらに好ましい。
ヒドロキシ基は、少なくとも１つが、ベンゼン環のメタ位又はパラ位に結合することが好ましい。フェニル基に２つのヒドロキシ基が結合している場合、それぞれのヒドロキシ基は、メタ位とパラ位に結合していることが好ましい。

【0147】

構造単位（ａ２－Ａ）としては、特開２０１０－２０４６３４号公報、特開２０１２－１２５７７号公報に記載されているモノマー由来の構造単位が挙げられる。
構造単位（ａ２－Ａ）としては、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－２４）で表される構造単位及び式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－２４）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲ^ａ５０に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位（ａ２－Ａ）は、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－６）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－６）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲ^ａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましく、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１４）で表される構造単位、式（ａ２－２－１８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１４）で表される構造単位、式（ａ２－２－１８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲ^ａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがより好ましく、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲ^ａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがさらに好ましい。

【0148】

樹脂（Ａ）中に構造単位（ａ２－Ａ）が含まれる場合の構造単位（ａ２－Ａ）の含有率は、全構造単位に対して、好ましくは５モル％以上であり、より好ましくは１０モル％以上であり、さらに好ましくは１５モル％以上であり、より一層好ましくは２０モル％以上である。また、好ましくは８０モル％以下であり、より好ましくは７０モル％以下であり、さらに好ましくは６５モル％以下である。具体的には、好ましくは５～８０モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％であり、さらに好ましくは１５～６５モル％であり、さらにより好ましくは２０～６５モル％である。
構造単位（ａ２－Ａ）は、例えば構造単位（ａ１－４）を用いて重合した後、ｐ－トルエンスルホン酸等の酸で処理することにより、樹脂（Ａ）に含ませることができる。また、アセトキシスチレン等を用いて重合した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリで処理することにより、構造単位（ａ２－Ａ）を樹脂（Ａ）に含ませることができる。

【0149】

構造単位（ａ２）においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式（ａ２－１）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－１）」という場合がある。）が挙げられる。

［式（ａ２－１）中、
Ｌ^a3は、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ₂）_k2－ＣＯ－Ｏ－を表し、
ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒ^a14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a15及びＲ^a16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。］

【0150】

式（ａ２－１）では、Ｌ^a3は、好ましくは、－Ｏ－、－Ｏ－（ＣＨ₂）_f1－ＣＯ－Ｏ－であり（前記ｆ１は、１～４のいずれかの整数を表す）、より好ましくは－Ｏ－である。
Ｒ^a14は、好ましくはメチル基である。
Ｒ^a15は、好ましくは水素原子である。
Ｒ^a16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
ｏ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数、より好ましくは０又は１である。

【0151】

構造単位（ａ２－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－６）のいずれかで表される構造単位が好ましく、式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましく、式（ａ２－１－１）又は式（ａ２－１－３）で表される構造単位がさらに好ましい。

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ２－１）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１モル％以上が挙げられ、２モル％以上が好ましい。また、４５モル％以下が挙げられ、好ましくは４０モル％以下であり、より好ましくは３５モル％以下であり、さらに好ましくは２０モル％以下であり、より一層好ましくは１０モル％以下である。具体的には、１～４５モル％が挙げられ、好ましくは１～４０モル％であり、より好ましくは１～３５モル％であり、さらに好ましくは１～２０モル％であり、さらにより好ましくは１～１０モル％である。

【0152】

〈構造単位（ａ３）〉
構造単位（ａ３）が有するラクトン環は、β－プロピオラクトン環、γ－ブチロラクトン環、δ－バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ－ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ－ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環（例えば下式（ａ３－２）で表される構造単位）が挙げられる。

【0153】

構造単位（ａ３）は、好ましくは、式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）又は式（ａ３－４）で表される構造単位である。これらの１種を単独で含有してもよく、２種以上を含有してもよい。

［式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）及び式（ａ３－４）中、
Ｌ^ａ４、Ｌ^ａ５及びＬ^ａ６は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｋ３－ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
Ｌ^ａ７は、－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌ^ａ８－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌ^ａ８－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌ^ａ８－ＣＯ－Ｏ－Ｌ^ａ９－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌ^ａ８－Ｏ－ＣＯ－Ｌ^ａ９－Ｏ－を表す。
Ｌ^ａ８及びＬ^ａ９は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
＊はカルボニル基との結合部位を表す。
Ｒ^ａ１８、Ｒ^ａ１９、Ｒ^ａ２０及びＲ^ａ２４は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ^ａ３は、－ＣＨ_２－又は酸素原子を表す。
Ｒ^ａ２１は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｒ^ａ２２、Ｒ^ａ２３及びＲ^ａ２５は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｐ１は０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲ^ａ２１、Ｒ^ａ２２、Ｒ^ａ２３及び／又はＲ^ａ２５は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。］

【0154】

Ｒ^a21、Ｒ^a22、Ｒ^a23及びＲ^a25における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基及びｔｅｒｔ－ブチル基等のアルキル基が挙げられる。
Ｒ^ａ１８、Ｒ^ａ１９、Ｒ^ａ２０及びＲ^ａ２４におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒ^ａ１８、Ｒ^ａ１９、Ｒ^ａ２０及びＲ^ａ２４におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
Ｒ^ａ１８、Ｒ^ａ１９、Ｒ^ａ２０及びＲ^ａ２４におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
Ｌ^ａ８及びＬ^ａ９におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。

【0155】

式（ａ３－１）～式（ａ３－３）において、Ｌ^ａ４～Ｌ^ａ６は、それぞれ独立に、好ましくは－Ｏ－又は、＊－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｋ３－ＣＯ－Ｏ－において、ｋ３が１～４のいずれかの整数である基、より好ましくは－Ｏ－及び、＊－Ｏ－ＣＨ_２－ＣＯ－Ｏ－、さらに好ましくは酸素原子である。
Ｒ^ａ１８～Ｒ^ａ２１は、好ましくはメチル基である。
Ｒ^ａ２２及びＲ^ａ２３は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
ｐ１、ｑ１及びｒ１は、それぞれ独立に、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。

【0156】

式（ａ３－４）において、Ｒ^ａ２４は、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Ｒ^ａ２５は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
Ｌ^ａ７は、好ましくは－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌ^ａ８－ＣＯ－Ｏ－であり、より好ましくは－Ｏ－、－Ｏ－ＣＨ_２－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－Ｃ_２Ｈ_４－ＣＯ－Ｏ－である。
ｗ１は、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
特に、式（ａ３－４）は、式（ａ３－４）’が好ましい。

（式中、Ｒ^ａ２４、Ｌ^ａ７は、上記と同じ意味を表す。）

【0157】

構造単位（ａ３）としては、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー、特開２０００－１２２２９４号公報に記載されたモノマー、特開２０１２－４１２７４号公報に記載されたモノマーに由来の構造単位が挙げられる。構造単位（ａ３）としては、式（ａ３－１－１）、式（ａ３－１－２）、式（ａ３－２－１）、式（ａ３－２－２）、式（ａ３－３－１）、式（ａ３－３－２）及び式（ａ３－４－１）～式（ａ３－４－１２）のいずれかで表される構造単位及び、前記構造単位において、式（ａ３－１）～式（ａ３－４）におけるＲ^ａ１８、Ｒ^ａ１９、Ｒ^ａ２０及びＲ^a24に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましい。

【0158】

【0159】

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ３）を含む場合、その合計含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１モル％以上が挙げられ、好ましくは３モル％以上であり、より好ましくは５モル％以上であり、さらに好ましくは１０モル％以上である。また、７０モル％以下が挙げられ、好ましくは６５モル％以下であり、より好ましくは６０モル％以下である。具体的には、１～７０モル％が挙げられ、好ましくは３～７０モル％であり、より好ましくは５～６５モル％であり、さらに好ましくは５～６０モル％であり、さらにより好ましくは１０～６０モル％である。
また、構造単位（ａ３－１）、構造単位（ａ３－２）、構造単位（ａ３－３）又は構造単位（ａ３－４）の含有率は、それぞれ、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、好ましくは１モル％以上であり、より好ましくは３モル％以上であり、さらに好ましくは５モル％以上である。また、好ましくは６０モル％以下であり、より好ましくは５５モル％以下であり、さらに好ましくは５０モル％以下である。具体的には、１～６０モル％が好ましく、３～６０モル％がより好ましく、５～５５モル％がさらに好ましく、５～５０モル％がより一層好ましく、１０～５０モル％がさらに一層好ましい。

【0160】

〈構造単位（ａ４）〉
構造単位（ａ４）としては、以下の構造単位が挙げられる。

［式（ａ４）中、
Ｒ⁴¹は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ⁴²は、炭素数１～２４のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
Ｒ⁴²で表される飽和炭化水素基は、鎖式炭化水素基及び単環又は多環の脂環式炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。

【0161】

鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。単環又は多環の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。

組み合わせにより形成される基としては、１以上のアルキル基又は１以上のアルカンジイル基と、１以上の脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基、－脂環式炭化水素基－アルキル基、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－アルキル基等が挙げられる。

【0162】

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－０）、式（ａ４－１）、式（ａ４－２）、式（ａ４－３）及び式（ａ４－４）からなる群から選択される少なくとも１つで表される構造単位が挙げられる。

［式（ａ４－０）中、
Ｒ⁵は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ^4ａは、単結合又は炭素数１～４の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^3ａは、炭素数１～８のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数３～１２のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
Ｒ⁶は、水素原子又はフッ素原子を表す。］

【0163】

Ｌ^4ａにおける２価の脂肪族飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基及び２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ｌ^3ａにおけるペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパン－１，１－ジイル基、ペルフルオロプロパン－１，３－ジイル基、ペルフルオロプロパン－１，２－ジイル基、ペルフルオロプロパン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，４－ジイル基、ペルフルオロブタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－１，５－ジイル基、ペルフルオロペンタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－１，６－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－１，７－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－３，４－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－４，４－ジイル基、ペルフルオロオクタン－１，８－ジイル基、ペルフルオロオクタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロオクタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロオクタン－４，４－ジイル基等が挙げられる。
Ｌ^3ａにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。

【0164】

Ｌ^4ａは、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結合、メチレン基である。
Ｌ^3ａは、好ましくは炭素数１～６のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルカンジイル基である。

【0165】

構造単位（ａ４－０）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ４－０）におけるＲ^５に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

【0166】

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－１）で表される構造単位が挙げられる。

［式（ａ４－１）中、
Ｒ^a41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a42は、置換基を有していてもよい炭素数１～２０の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ａ^a41は、置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルカンジイル基又は式（ａ－ｇ１）で表される基を表す。ただし、Ａ^ａ４１及びＲ^ａ４２のうち少なくとも１つは、置換基としてハロゲン原子（好ましくはフッ素原子）を有する。

〔式（ａ－ｇ１）中、
ｓは０又は１を表す。
Ａ^a42及びＡ^a44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ａ^a43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘ^a41及びＸ^a42は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ただし、Ａ^a42、Ａ^a43、Ａ^a44、Ｘ^a41及びＸ^a42の炭素数の合計は７以下である。〕
＊は結合部位であり、右側の＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒ^a42との結合部位である。］

【0167】

Ｒ^a42における飽和炭化水素基としては、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。

組み合わせにより形成される基としては、１以上のアルキル基又は１以上のアルカンジイル基と、１以上の脂環式飽和炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、－アルカンジイル基－脂環式飽和炭化水素基、－脂環式飽和炭化水素基－アルキル基、－アルカンジイル基－脂環式飽和炭化水素基－アルキル基等が挙げられる。

【0168】

Ｒ^a42が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子及び式（ａ－ｇ３）で表される基から選択される少なくとも１種が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、好ましくはフッ素原子である。

［式（ａ－ｇ３）中、
Ｘ^a43は、酸素原子、カルボニル基、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す。
Ａ^a45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の脂肪族炭化水素基を表す。＊はＲ^a42との結合部位を表す。］
ただし、Ｒ^a42－Ｘ^a43－Ａ^a45において、Ｒ^a42がハロゲン原子を有しない場合は、Ａ^a45は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する炭素数１～１７の脂肪族炭化水素基を表す。

【0169】

Ａ^a45における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等のアルキル基；
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基；並びにデカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。

【0170】

Ｒ^a42は、ハロゲン原子を有してもよい脂肪族炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するアルキル基及び／又は式（ａ－ｇ３）で表される基を有する脂肪族炭化水素基がより好ましい。
Ｒ^a42がハロゲン原子を有する脂肪族炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する脂肪族炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が１～６のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ｒ^a42が、式（ａ－ｇ３）で表される基を有する脂肪族炭化水素基である場合、式（ａ－ｇ３）で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ｒ^a42の総炭素数は、１５以下が好ましく、１２以下がより好ましい。式（ａ－ｇ３）で表される基を置換基として有する場合、その数は１個が好ましい。

【0171】

Ｒ^a42が式（ａ－ｇ３）で表される基を有する脂肪族炭化水素基である場合、Ｒ^a42は、さらに好ましくは式（ａ－ｇ２）で表される基である。

［式（ａ－ｇ２）中、
Ａ^a46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の２価の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘ^a44は、＊＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊＊はＡ^a46との結合部位を表す）。
Ａ^a47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の脂肪族炭化水素基を表す。
ただし、Ａ^a46、Ａ^a47及びＸ^a44の炭素数の合計は１８以下であり、Ａ^a46及びＡ^a47のうち、少なくとも一方は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する。
＊はカルボニル基との結合部位を表す。］

【0172】

Ａ^a46の脂肪族炭化水素基の炭素数は１～６が好ましく、１～３がより好ましい。
Ａ^a47の脂肪族炭化水素基の炭素数は４～１５が好ましく、５～１２がより好ましく、Ａ^a47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。

【0173】

式（ａ－ｇ２）で表される基の好ましい構造は、以下の構造である（＊はカルボニル基との結合部位である）。

【0174】

Ａ^a41におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、１－メチルブタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ａ^a41のアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
Ａ^a41は、好ましくは炭素数１～４のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数２～４のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。

【0175】

式（ａ－ｇ１）で表される基におけるＡ^ａ４２、Ａ^ａ４３及びＡ^ａ４４の表す２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基及び単環又は多環の２価の脂環式炭化水素基、並びに、アルカンジイル基及び２価の脂環式炭化水素基を組合せることにより形成される基等が挙げられる。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、１－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等が挙げられる。
Ａ^ａ４２、Ａ^ａ４３及びＡ^ａ４４の表す２価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
ｓは、０であることが好ましい。

【0176】

式（ａ－ｇ１）で表される基において、Ｘ^a42が－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－である基としては、以下の基等が挙げられる。以下の例示において、＊及び＊＊はそれぞれ結合部位を表し、＊＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒ^a42との結合部位である。

【0177】

式（ａ４－１）で表される構造単位としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の式（ａ４－１）で表される構造単位におけるＲ^a41に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

【0178】

【0179】

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－２）で表される構造単位が好ましい。

［式（ａ４－２）中、
Ｒ^f5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ⁴⁴は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ₂－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒ^f6は、炭素数１～２０のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ⁴⁴及びＲ^f6の合計炭素数の上限は２１である。］

【0180】

Ｌ⁴⁴の炭素数１～６のアルカンジイル基は、Ａ^ａ4１におけるアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｒ^f6の飽和炭化水素基は、Ｒ^a42で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｌ^４4における炭素数１～６のアルカンジイル基としては、炭素数２～４のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。

【0181】

式（ａ４－２）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１－１）～式（ａ４－１－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－２）におけるＲ^f５に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－２）で表される構造単位として挙げられる。

【0182】

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－３）で表される構造単位が挙げられる。

［式（ａ４－３）中、
Ｒ^f7は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ⁵は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ａ^f13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ^f12は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＡ^f13との結合部位を表す。）。
Ａ^f14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
但し、Ａ^f13及びＡ^f14の少なくとも１つは、フッ素原子を有し、Ｌ⁵、Ａ^f13及びＡ^f14の合計炭素数の上限は２０である。］

【0183】

Ｌ⁵におけるアルカンジイル基としては、Ａ^ａ4１の２価の飽和炭化水素基におけるアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ａ^f13におけるフッ素原子を有していてもよい２価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基；ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
Ａ^f14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ｒ^a42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。

【0184】

式（ａ４－３）において、Ｌ⁵は、エチレン基が好ましい。
Ａ^f13の２価の飽和炭化水素基は、炭素数１～６の２価の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１２の２価の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数２～３の２価の鎖式飽和炭化水素基がさらに好ましい。
Ａ^f14の飽和炭化水素基は、炭素数３～１２の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１２の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数３～１０の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１０の脂環式飽和炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Ａ^f14は、好ましくは炭素数３～１２の脂環式飽和炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。

【0185】

式（ａ４－３）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１’－１）～式（ａ４－１’－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－３）におけるＲ^f７に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－３）で表される構造単位として挙げられる。

【0186】

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－４）で表される構造単位も挙げられる。

［式（ａ４－４）中、
Ｒ^f21は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ^f21は、－（ＣＨ₂）_j1－、－（ＣＨ₂）_j2－Ｏ－（ＣＨ₂）_j3－又は－（ＣＨ₂）_j4－ＣＯ－Ｏ－（ＣＨ₂）_j5－を表す。
ｊ１～ｊ５は、それぞれ独立に、１～６のいずれかの整数を表す。
Ｒ^f22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０の飽和炭化水素基を表す。］

【0187】

Ｒ^f22の飽和炭化水素基は、Ｒ^a42で表される飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。Ｒ^f22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基又はフッ素原子を有する炭素数１～１０の脂環式炭化水素基が好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～６のアルキル基がさらに好ましい。

【0188】

式（ａ４－４）においては、Ａ^f21としては、－（ＣＨ₂）_ｊ1－が好ましく、エチレン基又はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。

【0189】

式（ａ４－４）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び以下の式で表される構造単位において、構造単位（ａ４－４）におけるＲ^f21に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

【0190】

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ４）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～２０モル％が好ましく、２～１５モル％がより好ましく、３～１０モル％がさらに好ましい。

【0191】

〈構造単位（ａ５）〉
構造単位（ａ５）が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位（ａ５）は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位（ａ５）としては、例えば、式（ａ５－１）で表される構造単位が挙げられる。

［式（ａ５－１）中、
Ｒ⁵¹は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ⁵²は、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数１～８の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
Ｌ⁵⁵は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］

【0192】

Ｒ⁵²における脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、アダマンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数１～８の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、３－メチルアダマンチル基などが挙げられる。
Ｒ⁵²は、好ましくは、無置換の炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
Ｌ⁵⁵における２価の飽和炭化水素基としては、２価の鎖式飽和炭化水素基及び２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、好ましくは２価の鎖式飽和炭化水素基である。
２価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。

【0193】

Ｌ⁵⁵の表す２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（Ｌ１－１）～式（Ｌ１－４）で表される基が挙げられる。下記式中、＊及び＊＊は各々結合部位を表し、＊は酸素原子との結合部位を表す。

［式（Ｌ１－１）中、
Ｘ^x1は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＬ^x1との結合部位を表す。）。
Ｌ^x1は、炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^x2は、単結合又は炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x1及びＬ^x2の合計炭素数は、１６以下である。
式（Ｌ１－２）中、
Ｌ^x3は、炭素数１～１７の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^x4は、単結合又は炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x3及びＬ^x4の合計炭素数は、１７以下である。
式（Ｌ１－３）中、
Ｌ^x5は、炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^x6及びＬ^x7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１４の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x5、Ｌ^x6及びＬ^x7の合計炭素数は、１５以下である。
式（Ｌ１－４）中、
Ｌ^x8及びＬ^x9は、単結合又は炭素数１～１２の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｗ^x1は、炭素数３～１５の２価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x8、Ｌ^x9及びＷ^x1の合計炭素数は、１５以下である。］

【0194】

Ｌ^x1は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌ^x2は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
Ｌ^x3は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌ^x4は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌ^x5は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌ^x6は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌ^x7は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌ^x8は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｌ^x9は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｗ^x1は、好ましくは、炭素数３～１０の２価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。

【0195】

式（Ｌ１－１）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

式（Ｌ１－２）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

式（Ｌ１－３）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

式（Ｌ１－４）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

Ｌ⁵⁵は、好ましくは、単結合又は式（Ｌ１－１）で表される基である。

【0196】

構造単位（ａ５－１）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ５－１）におけるＲ⁵¹に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ５）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～３０モル％が好ましく、２～２０モル％がより好ましく、３～１５モル％がさらに好ましい。

【0197】

〈構造単位（ａ６）〉
構造単位（ａ６）は、－ＳＯ_２－基を有する構造単位であり、－ＳＯ_２－基を側鎖に有することが好ましい。
－ＳＯ_２－基を有する構造単位は、－ＳＯ_２－基を有する直鎖状構造を有していてもよいし、－ＳＯ_２－基を有する分岐状構造を有していてもよいし、－ＳＯ_２－基を有する環状構造（単環及び多環構造）を有していてもよい。好ましくは、－ＳＯ_２－基を有する環状構造を有する構造単位であり、より好ましくは、－ＳＯ_２－Ｏ－を含む環状構造（スルトン環）を有する構造単位である。

【0198】

スルトン環としては、下記式（Ｔ^１－１）、式（Ｔ^１－２）、式（Ｔ^１－３）及び式（Ｔ^１－４）で表される環が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。スルトン環は、単環式であってもよいが、多環式であることが好ましい。多環式のスルトン環とは、環を構成する原子団として－ＳＯ_２－Ｏ－を含む橋かけ環を意味し、式（Ｔ^１－１）及び式（Ｔ^１－２）で表される環が挙げられる。スルトン環は、式（Ｔ^１－２）で表される環のように、環を構成する原子団として、－ＳＯ_２－Ｏ－以外に、さらにヘテロ原子を含んでいてもよい。ヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子又は窒素原子が挙げられ、好ましくは酸素原子である。

【0199】

スルトン環は置換基を有してもよく、置換基としては、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１２のアリール基、炭素数７～１２のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数２～１２のアルコキシカルボニル基及び炭素数２～４のアルキルカルボニル基等が挙げられる。

【0200】

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及びデシル基が挙げられ、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。
ハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基が挙げられ、好ましくはトリフルオロメチル基が挙げられる。
ヒドロキシ基を有するアルキル基としては、ヒドロキシメチル基及び２－ヒドロキシエチル基のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基が挙げられる。
アリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クミル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基及び２－メチル－６－エチルフェニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等のアルコキシ基とカルボニル基とが結合した基が挙げられ、好ましくは炭素数６以下のアルコキシカルボニル基が挙げられ、より好ましくはメトキシカルボニル基が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。

【0201】

構造単位（ａ６）を導くモノマーの製造が容易であるという観点から、置換基を有さないスルトン環が好ましい。
スルトン環としては、以下の式（Ｔ１’）で表される環が好ましい。

［式（Ｔ１’）中、
Ｘ^１１は、酸素原子、硫黄原子又はメチレン基を表す。
Ｒ^４１は、ハロゲン原子もしくはヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１２のアリール基、炭素数７～１２のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数２～１２のアルコキシカルボニル基又は炭素数２～４のアルキルカルボニル基を表す。
ｍａは、０～９のいずれかの整数を表す。ｍａが２以上のとき、複数のＲ^４１は同一であっても異なってもよい。
結合部位は任意の位置である。］
Ｘ^１１は、好ましくは酸素原子又はメチレン基であり、より好ましくはメチレン基である。
Ｒ^４１としては、上述したスルトン環の置換基と同様のものが挙げられ、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基が好ましい。
ｍａは、好ましくは０又は１であり、より好ましくは０である。

【0202】

式（Ｔ１’）で表される環としては、以下の環が挙げられる。結合部位は任意の位置である。なかでも、結合部位は１位又は３位であるものが好ましい。

【0203】

－ＳＯ_２－基を有する構造単位は、さらに、重合性基に由来する基を有することが好ましい。重合性基としては、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイルアミノ基、メタクリロイルアミノ基、アクリロイルチオ基、メタクリロイルチオ基等が挙げられる。
中でも、構造単位（ａ６）を導くモノマーは、好ましくはエチレン性不飽和結合を有するモノマーであり、より好ましくは（メタ）アクリル系モノマーである。

【0204】

構造単位（ａ６）は、好ましくは、式（ａ６－０）で表される構造単位である。

［式（ａ６－０）中、
Ｒ^ｘは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ａ^ｘｘは、酸素原子、－Ｎ（Ｒ^ｃ）－又は硫黄原子を表す。
Ａ^ｘは、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－又は－Ｎ（Ｒ^ｄ）－に置き換わっていてもよい。
Ｘ^１１、Ｒ^４１及びｍａは、上記と同じ意味を表す。
Ｒ^ｃ及びＲ^ｄは、互いに独立に、水素原子又は炭素数１～６のアルキル基を表す。］

【0205】

Ｒ^ｘのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒ^ｘのアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基及びｎ－ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒ^ｘのハロゲン原子を有するアルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基などが挙げられる。
Ｒ^ｘは、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。

【0206】

Ａ^ｘの２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基、ヘプタデカン－１，１７－ジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基及びプロパン－２，２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Ａ^ｘのスルトン環への結合位置は、任意の位置とすることができるが、１位であるものが好ましい。

【0207】

構造単位（ａ６－０）としては、以下の構造単位が挙げられる。

【0208】

なかでも、式（ａ６－１）、式（ａ６－２）、式（ａ６－６）、式（ａ６－７）、式（ａ６－８）及び式（ａ６－１２）で表される構造単位が好ましく、式（ａ６－１）、式（ａ６－２）、式（ａ６－７）及び（ａ６－８）で表される構造単位がより好ましい。
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ６）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、２～４０モル％がより好ましく、３～３０モル％がさらに好ましい。

【0209】

＜構造単位（ＩＩ）＞
樹脂（Ａ）は、さらに、露光により分解して酸を発生する構造単位（以下、「構造単位（ＩＩ）」という場合がある）を含有してもよい。構造単位（ＩＩ）としては、具体的には特開２０１６－７９２３５号公報に記載の構造単位が挙げられ、側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位又は側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位であることが好ましい。

【0210】

側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位であることが好ましい。

［式（ＩＩ－２－Ａ’）中、
Ｘ^ＩＩＩ３は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基又はヒドロキシ基で置き換わっていてもよい。
Ａ^ｘ１は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる水素原子は、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基で置換されていてもよい。
ＲＡ^－は、スルホナート基又はカルボキシレート基を表す。
Ｒ^ＩＩＩ３は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
ＺＡ^＋は、有機カチオンを表す。］

【0211】

Ｒ^ＩＩＩ３で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒ^ＩＩＩ３で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、Ｒ^ａ８で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と同じものが挙げられる。
Ａ^ｘ１で表される炭素数１～８のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａ^X1において置換されていてもよい炭素数１～６のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Ｘ^ＩＩＩ３で表される炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環飽和炭化水素基が挙げられ、これらの組み合わせてあってもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基；ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の２価の多環式脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わったものとしては、例えば式（Ｘ１）～式（Ｘ５３）で表される２価の基が挙げられる。ただし、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－が、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わる前の炭素数はそれぞれ１７以下である。下記式において、＊及び＊＊は結合部位を表し、＊はＡ^ｘ１との結合部位を表す。

【0212】

Ｘ³は、２価の炭素数１～１６の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ⁴は、２価の炭素数１～１５の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ⁵は、２価の炭素数１～１３の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ⁶は、２価の炭素数１～１４の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ⁷は、３価の炭素数１～１４の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ⁸は、２価の炭素数１～１３の飽和炭化水素基を表す。

【0213】

式（ＩＩ－２－Ａ’）中のＺＡ^＋は、式（Ｂ１）で表される塩におけるカチオンＺ１^＋と同様のものが挙げられる。

【0214】

式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ）で表される構造単位であることが好ましい。

［式（ＩＩ－２－Ａ）中、
Ｒ^ＩＩＩ３、Ｘ^ＩＩＩ３及びＺＡ^＋は、上記と同じ意味を表す。
ｚ２Ａは、０～６のいずれかの整数を表す。
Ｒ^ＩＩＩ２及びＲ^ＩＩＩ４は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表し、ｚ２Ａが２以上のとき、複数のＲ^ＩＩＩ２及びＲ^ＩＩＩ４は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
Ｑ^ａ及びＱ^ｂは、それぞれ独立して、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。］
Ｒ^ＩＩＩ２、Ｒ^ＩＩＩ４、Ｑ^ａ及びＱ^ｂで表される炭素数１～６のペルフルオロアルキル基としては、前述のＱ^ｂ１で表される炭素数１～６のペルフルオロアルキル基と同じものが挙げられる。

【0215】

式（ＩＩ－２－Ａ）で表される構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ－１）で表される構造単位であることが好ましい。

［式（ＩＩ－２－Ａ－１）中、
Ｒ^ＩＩＩ２、Ｒ^ＩＩＩ３、Ｒ^ＩＩＩ４、Ｑ^a、Ｑ^b及びＺＡ^＋は、上記と同じ意味を表す。
Ｒ^ＩＩＩ５は、炭素数１～１２の飽和炭化水素基を表す。
ｚ２Ａ１は、０～６のいずれかの整数を表す。
Ｘ^Ｉ2は、炭素数１～１１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。］
Ｒ^ＩＩＩ５で表される炭素数１～１２の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等の直鎖又は分岐のアルキル基が挙げられる。
Ｘ^Ｉ２で表される２価の飽和炭化水素基としては、Ｘ^ＩＩＩ３で表される２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。

【0216】

式（ＩＩ－２－Ａ－１）で表される構造単位としては、式（ＩＩ－２－Ａ－２）で表される構造単位がさらに好ましい。

［式（ＩＩ－２－Ａ－２）中、
Ｒ^ＩＩＩ３、Ｒ^ＩＩＩ５及びＺＡ^＋は、上記と同じ意味を表す。
ｍ及びｎＡは、互いに独立に、１又は２を表す。］

【0217】

式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位、Ｒ^III3のメチル基に相当する基が水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子）又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基（例えば、トリフルオロメチル基等）に置き換わった構造単位及び国際公開第２０１２／０５００１５号記載の構造単位が挙げられる。ＺＡ^＋は、有機カチオンを表す。

【0218】

側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位は、式（ＩＩ－１－１）で表される構造単位であることが好ましい。

［式（ＩＩ－１－１）中、
Ａ^ＩＩ１は、単結合又は２価の連結基を表す。
Ｒ^ＩＩ１は、炭素数６～１８の２価の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ^ＩＩ２及びＲ^ＩＩ３は、それぞれ独立して、炭素数１～１８の炭化水素基を表し、Ｒ^ＩＩ２及びＲ^ＩＩ３は互いに結合してそれらが結合する硫黄原子とともに環を形成していてもよい。
Ｒ^II4は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ａ^－は、有機アニオンを表す。］
Ｒ^ＩＩ１で表される炭素数６～１８の２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基及びナフチレン基等が挙げられる。
Ｒ^ＩＩ２及びＲ^ＩＩ３で表される炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等は、上記と同様のものが挙げられる。
Ｒ^ＩＩ４で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒ^ＩＩ４で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、Ｒ^ａ８で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と同じものが挙げられる。
Ａ^ＩＩ１で表される２価の連結基としては、例えば、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基が挙げられ、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ_２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。具体的には、Ｘ^ＩＩＩ３で表される炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。

【0219】

式（ＩＩ－１－１）中のカチオンを含む構造単位としては、以下で表される構造単位及びＲ^II4のメチル基に相当する基が、水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子）又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基（例えば、トリフルオロメチル基等）等に置き換わった構造単位などが挙げられる。

【0220】

Ａ^－で表される有機アニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオン等が挙げられる。Ａ^－で表される有機アニオンは、スルホン酸アニオンが好ましく、スルホン酸アニオンとしては、前述の式（Ｂ１）で表される塩に含まれるアニオンであることがより好ましい。スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオンは、前述の酸発生剤（Ｂ）で例示したアニオンであることがより好ましい。カルボン酸アニオンは、式（Ｉ）で表される塩に含まれるアニオン及び以下のカルボン酸アニオンが挙げられる。

【0221】

式（ＩＩ－１－１）で表される構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。

【0222】

樹脂（Ａ）中に、構造単位（ＩＩ）を含有する場合の構造単位（ＩＩ）の含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、好ましくは１～２０モル％であり、より好ましくは２～１５モル％であり、さらに好ましくは３～１０モル％である。

【0223】

樹脂（Ａ）は、好ましくは、構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、すなわち、モノマー（ａ１）とモノマー（ｓ）との共重合体である。
構造単位（ａ１）は、好ましくは構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）（好ましくはシクロヘキシル基、又はシクロペンチル基を有する該構造単位）からなる群から選ばれる少なくとも一種であり、より好ましくは少なくとも二種であり、さらに好ましくは、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも二種である。
構造単位（ｓ）は、好ましくは構造単位（ａ２）及び構造単位（ａ３）からなる群から選ばれる少なくとも一種である。構造単位（ａ２）は、好ましくは構造単位（ａ２－１）又は構造単位（ａ２－Ａ）である。構造単位（ａ３）は、好ましくは式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも一種である。
樹脂（Ａ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組み合わせて用いてもよく、これら構造単位を導くモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（Ａ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは、２，０００以上（より好ましくは２，５００以上、さらに好ましくは３，０００以上）、５０，０００以下（より好ましくは３０，０００以下、さらに好ましくは１５，０００以下）である。本明細書では、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで実施例に記載の条件により求めた値である。

【0224】

＜樹脂（Ａ）以外の樹脂＞
本発明のレジスト組成物は、樹脂（Ａ）以外の樹脂を併用してもよい。
樹脂（Ａ）以外の樹脂としては、例えば、構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）を含有する樹脂（以下、樹脂（Ｘ）という場合がある）等が挙げられる。
樹脂（Ｘ）がさらに有していてもよい構造単位としては、構造単位（ａ１）、構造単位（ａ２）、構造単位（ａ３）及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、樹脂（Ｘ）は、構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）のみからなる樹脂であることが好ましい。
樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ４）を含む場合、樹脂（Ｘ）において、構造単位（ａ４）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、２０モル％以上が挙げられ、３０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％以上がさらに好ましい。また、１００モル％以下が挙げられ、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下がさらに好ましく、５５モル％以下がより一層好ましい。具体的には、２０～１００モル％が挙げられ、２０～８０モル％が好ましく、３０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％がさらに好ましく、４５～５５モル％がより一層好ましい。樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ５）を含む場合、構造単位（ａ５）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、２０モル％以上が挙げられ、３０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％以上がさらに好ましい。また、１００モル％以下が挙げられ、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下がさらに好ましく、５５モル％以下がより一層好ましい。具体的には、２０～１００モル％が挙げられ、２０～８０モル％が好ましく、３０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％がさらに好ましく、４５～５５モル％がより一層好ましい。また、樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ４）及び構造単位（ａ５）を含む場合、構造単位（ａ４）及び構造単位（ａ５）の合計含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、４０モル％以上が挙げられ、６０モル％以上が好ましく、７０モル％以上がより好ましく、８０モル％以上がさらに好ましい。さらに、１００モル％以下が挙げられる。具体的には、４０～１００モル％が挙げられ、６０～１００モル％が好ましく、７０～１００モル％がより好ましく、８０～１００モル％がさらに好ましい。
樹脂（Ｘ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（Ｘ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ｘ）の重量平均分子量は、好ましくは６，０００以上（より好ましくは７，０００以上）、８０，０００以下（より好ましくは６０，０００以下）である。樹脂（Ｘ）の重量平均分子量の測定手段は、樹脂（Ａ）の場合と同様である。

【0225】

本発明のレジスト組成物が、樹脂（Ｘ）を含む場合、その含有量は、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１～６０質量部であり、より好ましくは１～５０質量部であり、さらに好ましくは１～４０質量部であり、より一層好ましくは１～３０質量部であり、さらに一層好ましくは１～８質量部である。

【0226】

レジスト組成物における樹脂（Ａ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下がより好ましい。また、樹脂（Ａ）以外の樹脂を含む場合は、樹脂（Ａ）と樹脂（Ａ）以外の樹脂との合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下がより好ましい。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含有率は、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。

【0227】

＜溶剤（Ｅ）＞
溶剤（Ｅ）の含有率は、レジスト組成物中、通常９０質量％以上９９．９質量％以下であり、好ましくは９２質量％以上９９質量％以下であり、より好ましくは９４質量％以上９９質量％以下である。溶剤（Ｅ）の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
溶剤（Ｅ）としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルイソブチルケトン、２－ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類；γ－ブチロラクトン等の環状エステル類；等を挙げることができる。溶剤（Ｅ）の１種を単独で使用してもよく、２種以上を使用してもよい。

【0228】

＜クエンチャー（Ｃ）＞
クエンチャー（Ｃ）は、塩基性の含窒素有機化合物又は酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩（但し、式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩を除く。）が挙げられる。レジスト組成物がクエンチャー（Ｃ）を含有する場合、クエンチャー（Ｃ）の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、０．０１～１５質量％程度であることが好ましく、０．０１～１０質量％程度であることがより好ましく、０．１～８質量％程度であることがさらに好ましく、０．１～７質量％程度であることがさらにより好ましい。
塩基性の含窒素有機化合物としては、アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンが挙げられる。
アミンとしては、１－ナフチルアミン、２－ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、２－，３－又は４－メチルアニリン、４－ニトロアニリン、Ｎ－メチルアニリン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２－（２－メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’－ジアミノ－１，２－ジフェニルエタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチルジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチルジフェニルメタン、２，２’－メチレンビスアニリン、イミダゾール、４－メチルイミダゾール、ピリジン、４－メチルピリジン、１，２－ジ（２－ピリジル）エタン、１，２－ジ（４－ピリジル）エタン、１，２－ジ（２－ピリジル）エテン、１，２－ジ（４－ピリジル）エテン、１，３－ジ（４－ピリジル）プロパン、１，２－ジ（４－ピリジルオキシ）エタン、ジ（２－ピリジル）ケトン、４，４’－ジピリジルスルフィド、４，４’－ジピリジルジスルフィド、２，２’－ジピリジルアミン、２，２’－ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは２，６－ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３－（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ－ｎ－ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。

【0229】

酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数（ｐＫａ）で示される。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常－３＜ｐＫａの塩であり、好ましくは－１＜ｐＫａ＜７の塩であり、より好ましくは０＜ｐＫａ＜５の塩である。
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開２０１５－１４７９２６号公報記載の式（Ｄ）で表される塩（以下、「弱酸分子内塩（Ｄ）」という場合がある。）、並びに特開２０１２－２２９２０６号公報、特開２０１２－６９０８号公報、特開２０１２－７２１０９号公報、特開２０１１－３９５０２号公報及び特開２０１１－１９１７４５号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、好ましくは、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱いカルボン酸を発生する塩（カルボン酸アニオンを有する塩）であり、より好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）であり、さらに好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）のうち、カルボン酸アニオンが置換されたフェニル基を含むジフェニルヨードニウム塩である。

【0230】

弱酸分子内塩（Ｄ）としては、２つのフェニル基が結合したヨードニウムカチオンと、ヨードニウムカチオンに結合した２つのフェニル基のうち少なくとも一方のフェニル基に置換されたカルボン酸アニオンと、を有するジフェニルヨードニウム塩であることが好ましく、具体的には、以下の式で表される塩が挙げられる。

【0231】

［式（Ｄ）中、
Ｒ^D1及びＲ^D2は、それぞれ独立に、炭素数１～１２の炭化水素基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～７のアシル基、炭素数２～７のアシルオキシ基、炭素数２～７のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ’が２以上の場合、複数のＲ^D1は同一であっても異なってもよく、ｎ’が２以上の場合、複数のＲ^D2は同一であっても異なってもよい。］
Ｒ^D1及びＲ^D2の炭化水素基としては、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロノニル基、シクロドデシル基等のシクロアルキル基、ノルボニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、１－ナフチル基、２－ナフチル基、２－メチルフェニル基、３－メチルフェニル基、４－メチルフェニル基、４－エチルフェニル基、４－プロピルフェニル基、４－イソプロピルフェニル基、４－ブチルフェニル基、４－ｔ－ブチルフェニル基、４－ヘキシルフェニル基、４－シクロヘキシルフェニル基、アントリル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
これらを組み合わせることにより形成される基としては、アルキル－シクロアルキル基、シクロアルキル－アルキル基、アラルキル基（例えば、フェニルメチル基、１－フェニルエチル基、２－フェニルエチル基、１－フェニル－１－プロピル基、１－フェニル－２－プロピル基、２－フェニル－２－プロピル基、３－フェニル－１－プロピル基、４－フェニル－１－ブチル基、５－フェニル－１－ペンチル基、６－フェニル－１－ヘキシル基等）等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、シクロヘキサンカルボニル基等が挙げられる。
アシルオキシ基としては、上記アシル基にオキシ基（－Ｏ－）が結合した基等が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、上記アルコキシ基にカルボニル基（－ＣＯ－）が結合した基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
Ｒ^D1及びＲ^D2は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１０のシクロアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアシル基、炭素数２～４のアシルオキシ基、炭素数２～４のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子が好ましい。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０～２のいずれかの整数であることが好ましく、０であることがより好ましい。ｍ’が２以上の場合、複数のＲ^D1は同一であっても異なってもよく、ｎ’が２以上の場合、複数のＲ^D2は同一であっても異なってもよい。

【0232】

より具体的には、以下の塩が挙げられる。

【0233】

〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分（以下「その他の成分（Ｆ）」という場合がある。）を含有していてもよい。その他の成分（Ｆ）に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。

【0234】

〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、カルボン酸塩（Ｉ）、樹脂（Ａ）、酸発生剤（Ｂ）、並びに、必要に応じて、樹脂（Ａ）以外の樹脂、溶剤（Ｅ）、クエンチャー（Ｃ）及びその他の成分（Ｆ）を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、１０～４０℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤（Ｅ）に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、０．５～２４時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径０．００３～０．２μｍ程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。

【0235】

〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
（１）本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板、表面にレジスト膜等が形成された有機基板等が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること（いわゆるプリベーク）により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、５０～２００℃であることが好ましく、加熱時間は、１０～１８０秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、１～１．０×１０⁵Ｐａ程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）、Ｆ₂エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源（ＹＡＧ又は半導体レーザ等）からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光（ＥＵＶ）を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理（いわゆるポストエキスポジャーベーク）を行う。加熱温度は、通常５０～２００℃程度、好ましくは７０～１５０℃程度である。加熱後の組成物の表面側にある樹脂の親水性又は疎水性を調整する化学処理（シリル化）を行ってもよい。また、現像を行う前に、露光後の組成物層上に、レジスト組成物の塗布、乾燥、露光、加熱の工程を繰り返し行ってもよい。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、５～６０℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、５～３００秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２－ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液（以下「有機系現像液」という場合がある）を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、２－ヘキサノン、２－ヘプタノン等のケトン溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤；酢酸ブチル等のエステル溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤；Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤；アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、９０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９５質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び２－ヘプタノンの合計含有率は、５０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。

【0236】

〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、ＫｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物、特に、ＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物として好適であり、半導体の微細加工に有用である。

【実施例0237】

実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「％」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム：TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：1.0mL／min
検出器：RI検出器
カラム温度：40℃
注入量：100μl
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）
化合物の構造は、質量分析（ＬＣはＡｇｉｌｅｎｔ製１１００型、ＭＡＳＳはＡｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「ＭＡＳＳ」で示す。

【0238】

実施例１：式（Ｉ－２）で表される塩の合成

式（Ｉ－２－ａ）で表される化合物１．５８部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－２－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２－ｄ）で表される塩２．９５部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－２）で表される塩１．９８部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋４１９．２
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１９３．１

【0239】

実施例２：式（Ｉ－６２７２）で表される塩の合成

式（Ｉ－６２７２－ａ）で表される化合物１．７４部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－６２７２－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２－ｄ）で表される塩２．９５部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－６２７２）で表される塩１．０２部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋４３５．１
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１９３．１

【0240】

実施例３：式（Ｉ－１９２）で表される塩の合成

式（Ｉ－１９２－ａ）で表される化合物３．００部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－１９２－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２－ｄ）で表される塩２．９５部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－１９２）で表される塩４．２２部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋５６１．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１９３．１

【0241】

実施例４：式（Ｉ－２８７）で表される塩の合成

式（Ｉ－２８７－ａ）で表される化合物４．２６部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－２８７－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２－ｄ）で表される塩２．９５部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－２８７）で表される塩６．０２部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋６８６．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１９３．１

【0242】

実施例５：式（Ｉ－２８９）で表される塩の合成

式（Ｉ－２８７－ａ）で表される化合物４．２６部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－２８７－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－４－ｄ）で表される塩４．３９部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－２８９）で表される塩６．５６部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋６８６．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－３３７．１

【0243】

実施例６：式（Ｉ－３８４）で表される塩の合成

式（Ｉ－３８４－ａ）で表される化合物３．００部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－３８４－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－４－ｄ）で表される塩４．３９部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－３８４）で表される塩０．６９部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋５６１．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－３３７．１

【0244】

実施例７：式（Ｉ－２７５９）で表される塩の合成

式（Ｉ－２７５９－ａ）で表される化合物３．１４部及びクロロホルム３０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２７５９－ｂ）で表される化合物１．６２部を添加し、５０℃に昇温後、５０℃で２時間撹拌した。得られた反応混合物に、式（Ｉ－２７５９－ｃ）で表される塩３．１５部を添加し、５０℃で３時間攪拌した後、２３℃まで冷却し、式（Ｉ－２７５９－ｄ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物に、５％シュウ酸水溶液１０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－４－ｄ）で表される塩４．３９部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－２７５９）で表される塩８．２１部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋５７５．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－３３７．１

【0245】

実施例８：式（Ｉ－８４５８）で表される塩の合成

式（Ｉ－８４５８－ａ）で表される化合物３．１４部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－８４５８－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－３－ｄ）で表される塩２．８１部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－８４５８）で表される塩１．２３部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋５７５．１
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１７９．１

【0246】

実施例９：式（Ｉ－８６９２）で表される塩の合成

式（Ｉ－８６９２－ａ）で表される化合物２．９８部及びクロロホルム３０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２７５９－ｂ）で表される化合物１．６２部を添加し、５０℃に昇温後、５０℃で２時間撹拌した。得られた反応混合物に、式（Ｉ－２７５９－ｃ）で表される塩３．１５部を添加し、５０℃で３時間攪拌した後、２３℃まで冷却し、式（Ｉ－８６９２－ｄ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物に、５％シュウ酸水溶液１０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－９７－ｄ）で表される塩６．０１部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－８６９２）で表される塩７．８２部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋５５９．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－４９８．７

【0247】

実施例１０：式（Ｉ－２３７７）で表される塩の合成

式（Ｉ－２３７７－ａ）で表される化合物４．１２部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－２－ｂ）で表される塩３．１７部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－２３７７－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２－ｄ）で表される塩２．９５部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－２３７７）で表される塩４．３６部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋６７２．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１９３．１

【0248】

実施例１１：式（Ｉ－５２２７）で表される塩の合成

式（Ｉ－２８７－ａ）で表される化合物４．２６部及びジメチルホルムアミド１０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物を０℃に冷却した後、水素化ナトリウム０．３０部を混合し、０℃で４時間攪拌した。得られた混合物に、０℃で、式（Ｉ－５２２７－ｂ）で表される塩４．５３部を添加し、０℃で３時間攪拌することにより、式（Ｉ－５２２７－ｃ）で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を２３℃まで昇温した後、５％シュウ酸水溶液１１部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、式（Ｉ－２－ｄ）で表される塩２．９５部を添加し、２３℃で７時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム３０部及びイオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水３０部を添加し、２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を７回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル３０部を加えて、２３℃で３０分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式（Ｉ－５２２７）で表される塩７．１９部を得た。
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋８２２．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^－１９３．１

【0249】

樹脂の合成
樹脂（Ａ）の合成に使用した化合物（モノマー）を下記に示す。以下、これらの化合物をその式番号に応じて、「モノマー（ａ１－１－３）」等という。

【0250】

合成例１：樹脂Ａ１の合成
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－１）及びモノマー（ａ３－４－２）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－１）：モノマー（ａ３－４－２）〕が４５：１４：２．５：３８．５となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．８×１０^３の樹脂Ａ１を収率６９％で得た。この樹脂Ａ１は、以下の構造単位を有するものである。

【0251】

合成例２：樹脂Ｘ１の合成
モノマーとして、モノマー（ａ５－１－１）及びモノマー（ａ４－０－１２）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ５－１－１）：モノマー（ａ４－０－１２）〕が５０：５０となるように混合し、全モノマー量の１．２質量倍のメチルイソブチルケトンを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して３ｍｏｌ％添加し、７０℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過し、重量平均分子量１．０×１０^４の樹脂Ｘ１を収率９１％で得た。この樹脂Ｘ１は、以下の構造単位を有するものである。

【0252】

＜レジスト組成物の調製＞
表２に示すように、以下の各成分を混合し、得られた混合物を孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過することにより、レジスト組成物を調製した。

【表2】

【0253】

＜樹脂＞
Ａ１、Ｘ１：樹脂Ａ１、樹脂Ｘ１
＜酸発生剤＞
Ｂ１－２１：式（Ｂ１－２１）で表される塩
Ｂ１－２２：式（Ｂ１－２２）で表される塩

＜カルボン酸塩（Ｉ）＞
Ｉ－２：式（Ｉ－２）で表される塩
Ｉ－１９２：式（Ｉ－１９２）で表される塩
Ｉ－２８７：式（Ｉ－２８７）で表される塩
Ｉ－２８９：式（Ｉ－２８９）で表される塩
Ｉ－３８４：式（Ｉ－３８４）で表される塩
Ｉ－２３７７：式（Ｉ－２３７７）で表される塩
Ｉ－２７５９：式（Ｉ－２７５９）で表される塩
Ｉ－５２２７：式（Ｉ－５２２７）で表される塩
Ｉ－６２７２：式（Ｉ－６２７２）で表される塩
Ｉ－８４５８：式（Ｉ－８４５８）で表される塩
Ｉ－８６９２：式（Ｉ－８６９２）で表される塩
＜クンチャー（Ｃ）＞
ＩＸ－１：特開２０２０－０４６６６２号公報記載の方法で合成
ＩＸ－２：特開２０２０－０４６６６２号公報記載の方法で合成

＜溶剤＞
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２６５部
プロピレングリコールモノメチルエーテル２０部
２－ヘプタノン２０部
γ－ブチロラクトン３．５部

【0254】

＜レジストパターンの製造及びその評価＞
シリコンウェハに、有機反射防止膜用組成物（ＡＲＣ－２９；日産化学（株）製）を塗布して、２０５℃、６０秒の条件でベークすることによって、ウェハ上に膜厚７８ｎｍの有機反射防止膜を形成した。次いで、この有機反射防止膜の上に、上記のレジスト組成物を乾燥後の膜厚が８５ｎｍとなるように塗布（スピンコート）した。塗布後、シリコンウェハをダイレクトホットプレート上にて、表２の「ＰＢ」欄に記載された温度で６０秒間プリベークし、組成物層を形成した。組成物層が形成されたシリコンウェハに、液浸露光用ＡｒＦエキシマステッパー（ＸＴ：１９００Ｇｉ；ＡＳＭＬ社製、ＮＡ＝１．３５、３／４ＡｎｎｕｌａｒＸ－Ｙ偏光）で、コンタクトホールパターン（ホールピッチ９０ｎｍ／ホール径５５ｎｍ）を形成するためのマスクを用いて、露光量を段階的に変化させて露光した。なお、液浸媒体としては超純水を使用した。
露光後、ホットプレート上にて、表２の「ＰＥＢ」欄に記載された温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として酢酸ブチル（東京化成工業（株）製）を用いて、２３℃で２０秒間ダイナミックディスペンス法によって現像を行うことにより、ネガ型レジストパターンを製造した。

【0255】

現像後に得られたレジストパターンにおいて、前記マスクを用いて形成したホール径が４５ｎｍとなる露光量を実効感度とした。

【0256】

＜ＣＤ均一性（ＣＤＵ）評価＞
実効感度において、ホール径５５ｎｍのマスクで形成したパターンのホール径を、一つのホールにつき２４回測定し、その平均値を一つのホールの平均ホール径とした。同一ウェハ内の、ホール径５５ｎｍのマスクで形成したパターンの平均ホール径を４００箇所測定したものを母集団として標準偏差を求めた。
その結果を表３に示す。括弧内の数値は標準偏差（ｎｍ）を示す。

【表3】

比較組成物１～２と比較して、組成物１～１１での標準偏差が小さく、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）評価が良好であった。

【産業上の利用可能性】

【0257】

本発明のカルボン酸塩及び該カルボン酸塩を含むレジスト組成物は、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）が良好であり、半導体の微細加工に有用である。

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