特開 2023-111575 電気検査装置及び電気検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023111575

(43)【公開日】2023-08-10

(54)【発明の名称】電気検査装置及び電気検査方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/00 20060101AFI20230803BHJP

【ＦＩ】

H05K3/00 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022013489

(22)【出願日】2022-01-31

(71)【出願人】

【識別番号】594123387

【氏名又は名称】ヤマハファインテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100159499

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 義典

(74)【代理人】

【識別番号】100120329

【弁理士】

【氏名又は名称】天野 一規

(74)【代理人】

【識別番号】100106264

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 耕治

(72)【発明者】

【氏名】石井 徹

(72)【発明者】

【氏名】竹山 裕隆

(57)【要約】

【課題】本発明は、電気検査ヘッドをプリント基板に対して素早くかつ容易に位置合わせすることが可能な電気検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の一態様に係る電気検査装置１は、プリント基板Ｗに法線方向側から接触可能な電気検査ヘッド１０と、電気検査ヘッド１０を、プリント基板Ｗの法線方向と平行な回転軸Ｒを中心として回転させる回転機構１１と、プリント基板Ｗに対して法線方向から正対する光学素子２２ａを有し、プリント基板Ｗを撮像可能な撮像部１２と、撮像部１２を近接位置Ｐ１と回避位置Ｐ２との間で移動させる移動機構１３とを備え、近接位置Ｐ１は、電気検査ヘッド１０が回転したときに撮像部１２が電気検査ヘッド１０と接触し得る位置であり、回避位置Ｐ２は、電気検査ヘッド１０が回転したときに撮像部１２が電気検査ヘッド１０と接触しない位置である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プリント基板に法線方向側から接触可能な電気検査ヘッドと、
前記電気検査ヘッドを、前記法線方向と平行な回転軸を中心として回転させる回転機構と、
前記プリント基板に対して法線方向から正対する光学素子を有し、前記プリント基板を撮像可能な撮像部と、
前記撮像部を近接位置と回避位置との間で移動させる移動機構と
を備え、
前記近接位置は、前記電気検査ヘッドが回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触し得る位置であり、
前記回避位置は、前記電気検査ヘッドが回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触しない位置である
電気検査装置。

【請求項2】

前記移動機構が、前記電気検査ヘッドとは独立して前記撮像部を移動させる請求項１に記載の電気検査装置。

【請求項3】

前記回避位置が、前記近接位置から前記プリント基板の法線方向に遠ざかる位置である請求項１又は請求項２に記載の電気検査装置。

【請求項4】

前記プリント基板の法線方向視において、前記近接位置における前記撮像部と前記回転軸との間隔が、前記回避位置における前記撮像部と前記回転軸との間隔と同じである請求項１、請求項２又は請求項３に記載の電気検査装置。

【請求項5】

前記電気検査ヘッドを、前記プリント基板の平面方向に位置決め可能な位置決め機構をさらに備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の電気検査装置。

【請求項6】

前記位置決め機構が、前記電気検査ヘッドと前記撮像部とを同時に前記平面方向に位置決めする請求項５に記載の電気検査装置。

【請求項7】

プリント基板に法線方向側から接触可能な電気検査ヘッドと、
前記電気検査ヘッドを、前記法線方向と平行な回転軸を中心として回転させる回転機構と、
前記プリント基板に対して法線方向から正対する光学素子を有し、前記プリント基板を撮像可能な撮像部と、
前記撮像部を近接位置と回避位置との間で移動させる移動機構と
を備える電気検査装置を用い、
前記近接位置が、前記電気検査ヘッドを回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触し得る位置であり、前記回避位置が、前記電気検査ヘッドを回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触しない位置であるように前記撮像部を移動させる、
電気検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電気検査装置及び電気検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント基板の電気的な特性を検査するために電気検査装置が用いられている。この電気検査装置は、複数のプローブ（電気接触子）が配置された電気検査ヘッドと、プリント基板を法線方向から撮像可能な撮像部とを備えている。この電気検査装置は、撮像部によってプリント基板を撮像し、電気検査ヘッドをプリント基板の被検査領域に対して位置合わせしたうえで、電気検査ヘッドをプリント基板に法線方向から接触させることで、プリント基板の電気的な特性を検査する（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－５２５１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１には、第４実施形態において、電気検査治具５０ａのベースプレート５１に連結される位置決め機構５７を有しており、この位置決め機構５７に画像認識用カメラ５６が配置された構成が記載されている。

【0005】

特許文献１に記載されている電気検査装置は、位置決め機構５７によって画像認識用カメラ５６の位置調節ができるため、画像認識用カメラ５６を予め正確な位置に固定しておくことを要しない。

【0006】

一方で、このような電気検査装置では、電気検査ヘッドをプリント基板の被検査領域に位置合わせする際に、電気検査ヘッドをプリント基板の法線方向と平行な軸の周りに回転させることがある。しかしながら、特許文献１に記載されている構成によると、電気検査ヘッドを回転させた場合に、画像認識用カメラが電気検査ヘッドと一緒に回転する。そのため、特許文献１に記載されている電気検査装置は、画像認識用カメラによる撮像と電気検査ヘッドの被検査領域に対する位置合わせとを連続して素早く行う点で、さらなる改良の余地がある。

【0007】

本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、本発明の目的は、電気検査ヘッドをプリント基板に対して素早くかつ容易に位置合わせすることが可能な電気検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様に係る電気検査装置は、プリント基板に法線方向側から接触可能な電気検査ヘッドと、前記電気検査ヘッドを、前記法線方向と平行な回転軸を中心として回転させる回転機構と、前記プリント基板に対して法線方向から正対する光学素子を有し、前記プリント基板を撮像可能な撮像部と、前記撮像部を近接位置と回避位置との間で移動させる移動機構とを備え、前記近接位置は、前記電気検査ヘッドが回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触し得る位置であり、前記回避位置は、前記電気検査ヘッドが回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触しない位置である。

【0009】

前記移動機構が、前記電気検査ヘッドとは独立して前記撮像部を移動させるとよい。

【0010】

前記回避位置が、前記近接位置から前記プリント基板の法線方向に遠ざかる位置であるとよい。

【0011】

前記プリント基板の法線方向視において、前記近接位置における前記撮像部と前記回転軸との間隔が、前記回避位置における前記撮像部と前記回転軸との間隔と同じであるとよい。

【0012】

当該電気検査装置は、前記電気検査ヘッドを、前記プリント基板の平面方向に位置決め可能な位置決め機構をさらに備えるとよい。

【0013】

前記位置決め機構が、前記電気検査ヘッドと前記撮像部とを同時に前記平面方向に位置決めするとよい。

【0014】

本発明の別の一態様に係る電気検査方法は、プリント基板に法線方向側から接触可能な電気検査ヘッドと、前記電気検査ヘッドを、前記法線方向と平行な回転軸を中心として回転させる回転機構と、前記プリント基板に対して法線方向から正対する光学素子を有し、前記プリント基板を撮像可能な撮像部と、前記撮像部を近接位置と回避位置との間で移動させる移動機構とを備える電気検査装置を用い、前記近接位置が、前記電気検査ヘッドを回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触し得る位置であり、前記回避位置が、前記電気検査ヘッドを回転したときに前記撮像部が前記電気検査ヘッドと接触しない位置であるように前記撮像部を移動させる。

【発明の効果】

【0015】

本発明の一態様に係る電気検査装置は、前記撮像部を近接位置に配置した状態で、この撮像部によって前記プリント基板を法線方向から撮像した後に、前記撮像部を前記電気検査ヘッドが回転したときに前記電気検査ヘッドと接触しない回避位置に移動することができる。そのため、当該電気検査装置は、前記電気検査ヘッドの近傍から前記撮像部によって前記プリント基板を撮像したうえで、前記電気検査ヘッドを前記撮像部とは独立して回転させることができる。その結果、当該電気検査装置は、前記電気検査ヘッドを前記プリント基板に対して素早くかつ容易に位置合わせすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る電気検査装置を、プリント基板の法線方向に対して垂直な方向から見た模式的側面図である。

【図2】図２は、図１の電気検査装置の模式的平面図である。

【図3】図３は、図１の電気検査装置における撮像部を回避位置に移動した状態を示す模式的側面図である。

【図4】図４は、図１の電気検査装置を用いた電気検査方法を示すフロー図である。

【図5】図５は、図４の電気検査方法における電気検査ヘッドの回転途中の状態を示す模式的平面図である。

【図6】図６は、図４の電気検査方法における電気検査ヘッドの回転後に撮像部を近接位置に移動した状態を示す模式的側面図である。

【図7】図７は、図４の電気検査方法における電気検査ヘッドをプリント基板に接触させた状態を示す模式的側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。なお、本明細書に記載の数値については、記載された上限値と下限値との一方のみを採用すること、或いは上限値と下限値を任意に組み合わせることが可能である。

【0018】

［電気検査装置］
図１及び図２の電気検査装置１は、プリント基板Ｗに法線方向（図１のＺ方向）側から接触可能な電気検査ヘッド１０と、電気検査ヘッド１０を、前記法線方向と平行な回転軸Ｒを中心として回転させる回転機構１１と、プリント基板Ｗに対して法線方向から正対する光学素子２２ａを有し、プリント基板Ｗを撮像可能な撮像部１２と、撮像部１２を近接位置と回避位置との間で移動させる移動機構１３とを備える。また、当該電気検査装置１は、電気検査ヘッド１０を、プリント基板Ｗの平面方向（図１のＸＹ平面方向）に位置決め可能な位置決め機構１４と、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの法線方向に昇降させる昇降機構１５と、位置決め機構１４に接続される筐体１６と、回転機構１１、移動機構１３、位置決め機構１４及び昇降機構１５の動作を制御する制御部１７とを備える。なお、図１では、プリント基板Ｗの両面側にそれぞれ電気検査ヘッド１０及び撮像部１２が配置されている。但し、当該電気検査装置１において、電気検査ヘッド１０及び撮像部１２の一方又は両方は、プリント基板Ｗの片面側にのみ配置されていてもよい。また、図１では、電気検査ヘッド１０と制御部１７とが１対１対応で設けられた構成を図示している。但し、当該電気検査装置１は、一対の電気検査ヘッド１０に共通の制御部１７を有していてもよい。

【0019】

〔プリント基板〕
プリント基板Ｗは、板状又はシート状である。プリント基板Ｗとしては、薄膜状の基材に回路パターンが配置されたものを用いることができる。プリント基板Ｗには、複数の被検査領域が存在している。当該電気検査装置１は、各被検査領域に対して電気検査ヘッド１０を接触させることで、被検査領域毎に電気検査を行うように構成されている。当該電気検査装置１は、プリント基板Ｗに配置されている複数の被検査領域に対して連続的に電気検査するよう構成されている。なお、本発明において「板状」と「シート状」との間に明確な区別はないが、自重による撓みを実質的に生じないものを「板状」といい、可撓性を有しており、自重により撓みを生じるものを「シート状」ということができる。また、「シート状」は「フィルム状」を含む概念である。

【0020】

プリント基板Ｗは例えば平面視矩形状である。プリント基板Ｗは、把持具３１によって４つの角部を把持された状態で水平に保持されている。プリント基板Ｗは、その周縁部が把持具３１によって部分的に把持されることで空中に保持されている。

【0021】

プリント基板Ｗには、撮像部１２による撮像対象となる基準位置マーカー（不図示）が設けられている。この基準位置マーカーは、プリント基板Ｗの被検査領域と電気検査ヘッド１０との相対的な位置関係を求めるために用いられる。前記基準位置マーカーは、例えば回路パターンそのものであってもよく、回路パターンとは別個に設けられた位置決め用のマークであってもよい。

【0022】

（電気検査ヘッド）
電気検査ヘッド１０は、複数のプローブ２１ａと、複数のプローブ２１ａが通過可能な貫通孔を有する一対の支持板（プリント基板Ｗに法線方向から接触可能な底板２１ｂ、及びプリント基板Ｗから法線方向に離れる方向において底板２１ｂと対向して配置される天板２１ｃ）と、天板２１ｃに固定される基台２１ｄとを有する。複数のプローブ２１ａは、プリント基板Ｗの回路パターンに接触可能に設けられている。

【0023】

プリント基板Ｗの法線方向視（以下、「平面視」ともいう）において、電気検査ヘッド１０は角部を有している。より詳しくは、電気検査ヘッド１０は、４つの角部を有する平面視矩形状である。また、基台２１ｄは、平面視で角部を有している。基台２１ｄの平面形状は、電気検査ヘッド１０の平面形状と等しい。基台２１ｄの具体的な形状としては、プリント基板Ｗの法線方向を厚さ方向とする直方体が挙げられる。なお、「直方体」とは、完全な直方体に限定されず、部分的に凹凸を有する形状や、角部が丸められている形状等を含む。

【0024】

基台２１ｄの厚さＴ１は、必要な強度を維持しつつ複数のプローブ２１ａを適切に保持できる範囲で設定可能である。このような観点から、基台２１ｄの厚さＴ１の下限としては、３０ｍｍが好ましく、４０ｍｍがより好ましい。一方、基台２１ｄの厚さＴ１の上限としては、１００ｍｍが好ましく、８０ｍｍがより好ましく、６０ｍｍがさらに好ましい。前記厚さＴ１が前記上限を超えると、移動機構１３による撮像部１２の移動距離を十分に小さくし難くなるおそれがある。

【0025】

電気検査ヘッド１０の厚さＴ２（底板２１ｂの底面と基台２１ｄの天面とによって画定される厚さ）は、必要な強度を維持しつつ、複数のプローブ２１ａによってプリント基板Ｗの電気検査を適切に行える範囲で設定可能である。電気検査ヘッド１０の厚さＴ２の下限としては、例えば５０ｍｍが好ましく、６０ｍｍがより好ましい。一方、電気検査ヘッド１０の厚さＴ２の上限としては、例えば１５０ｍｍが好ましく、１２０ｍｍがより好ましく、９０ｍｍがさらに好ましい。

【0026】

（回転機構）
回転機構１１は、撮像部１２（より詳しくは、後述の撮像端末２２）とは独立して、電気検査ヘッド１０を回転可能に構成されている。回転機構１１は、電気検査ヘッド１０に直交する回転軸Ｒを回転中心として電気検査ヘッド１０を回転させる。回転軸Ｒは、平面視における電気検査ヘッド１０の中心部分に配置されている。回転機構１１の具体的な構成としては、特に限定されるものではないが、筐体１６に配置された軸受（不図示）によって電気検査ヘッド１０を直接的又は間接的に回転可能に保持する構成が挙げられる。

【0027】

（撮像部）
撮像部１２は、プリント基板Ｗに法線方向から正対する前述の光学素子２２ａを含む撮像端末２２と、画像処理部とを有する。撮像端末２２はデジタル画像を撮像可能に設けられている。撮像端末２２は、プリント基板Ｗに設けられている前述の基準位置マーカーを前記法線方向から撮像する。光学素子２２ａとしては、例えばレンズが挙げられる。前記画像処理部は、撮像端末２２が撮像したデジタル画像を処理する。

【0028】

撮像端末２２は、電気検査ヘッド１０の側方から前記基準位置マーカーを撮像可能に設けられている。このように構成されることで、撮像時における撮像端末２２とプリント基板Ｗとの間隔を小さくすることができる。その結果、撮像端末２２に取り込む光量を大きくし、撮像端末２２で撮像される画像の認識精度を高めることができる。

【0029】

撮像端末２２は、電気検査ヘッド１０に近接する位置（近接位置Ｐ１）から前記基準位置マーカーを撮像する。より詳しくは、撮像端末２２は、電気検査ヘッド１０を回転させた際に電気検査ヘッド１０の角部と接触し得る位置から前記基準位置マーカーを撮像する。このように撮像端末２２を電気検査ヘッド１０に近接して配置することで、前記基準位置マーカーの撮影後に、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの被検査領域に位置合わせする際の電気検査ヘッド１０の移動距離を小さくすることができる。その結果、電気検査処理の効率化を図りつつ、電気検査ヘッド１０の移動に起因する誤差を抑制することができる。

【0030】

前記画像処理部は、制御部１７に含まれていてもよく、制御部１７とは別個に設けられていてもよい。前記画像処理部が制御部１７に含まれる場合、前記画像処理部は、制御部１７によって処理されるプログラムの一部であってもよい。

【0031】

（移動機構）
移動機構１３は、撮像端末２２を保持している。図１及び図３に示すように、移動機構１３は、撮像端末２２を近接位置Ｐ１と回避位置Ｐ２との間で移動させる。近接位置Ｐ１は、電気検査ヘッド１０が回転したときに撮像部１２（より詳しくは撮像端末２２）が電気検査ヘッド１０と接触し得る位置である。また、回避位置Ｐ２は、電気検査ヘッド１０が回転したときに撮像部１２（より詳しくは撮像端末２２）が電気検査ヘッド１０と接触しない位置である。

【0032】

前述のように、当該電気検査装置１は、近接位置Ｐ１から撮像端末２２によって前記基準位置マーカーを撮像することによって電気検査処理の効率化等を図ることができる。一方で、撮像端末２２が近接位置Ｐ１に配置されていると、電気検査ヘッド１０の回転が制限されることになり、電気検査ヘッド１０を被検査領域に位置合わせし難くなることがある。そのため、当該電気検査装置１では、移動機構１３によって撮像端末２２を回避位置Ｐ２に移動できるよう構成している。

【0033】

移動機構１３は、電気検査ヘッド１０とは独立して撮像部１２を移動させることが好ましい。換言すると、移動機構１３は、電気検査ヘッド１０が回転及び昇降した際に、撮像端末２２が電気検査ヘッド１０に追随して移動しないように設けられていることが好ましい。この構成によると、プリント基板Ｗに対する光学素子２２ａの焦点距離を保ちつつ、プリント基板Ｗに対して電気検査ヘッド１０を位置合わせし、かつこの位置合わせ後に電気検査ヘッド１０によって電気検査を行うことができる。その結果、電気検査をより効率的かつ安定的に行うことができる。

【0034】

図３に示すように、回避位置Ｐ２は、近接位置Ｐ１からプリント基板Ｗの法線方向に遠ざかる位置であることが好ましい。このように構成されることで、当該電気検査装置１は、撮像端末２２を電気検査ヘッド１０の側方で、かつ電気検査ヘッド１０と近接して配置した場合でも、撮像端末２２の移動距離が増加することを防止できる。その結果、電気検査処理の効率化を促進しつつ、電気検査ヘッド１０の移動に起因する誤差をより容易に抑制することができる。

【0035】

プリント基板Ｗの法線方向視において、近接位置Ｐ１における撮像部１２（より詳しくは撮像端末２２）と回転軸Ｒとの間隔は、回避位置Ｐ２における撮像部１２（より詳しくは撮像端末２２）と回転軸Ｒとの間隔と同じであることが好ましい。このように構成されることで、撮像端末２２の移動距離を容易に小さくすることができる。

【0036】

移動機構１３は、撮像端末２２を直動させるように設けられていることが好ましい。この構成によると、撮像端末２２の移動距離をより容易に小さくすることができる。

【0037】

近接位置Ｐ１と回避位置Ｐ２との間における撮像部１２の移動距離としては、電気検査ヘッド１０の厚さＴ２以下が好ましく、基台２１ｄの厚さＴ１以下がより好ましい。当該電気検査装置１は、例えば基台２１ｄの側方から撮像端末２２によって前記基準位置マーカーを撮像するように構成することで、撮像部１２の移動距離を基台２１ｄの厚さＴ１以下に制御することができる。この構成によると、近接位置Ｐ１におけるプリント基板Ｗに対する光学素子２２ａの焦点距離を適切に維持しつつ、撮像端末２２の移動距離を容易に小さくすることができる。

【0038】

移動機構１３は、筐体１６に連結された状態で撮像端末２２を保持している。移動機構１３は、撮像端末２２を筐体１６に対してプリント基板Ｗの法線方向にスライド可能に設けられている。このように構成されることで、移動機構１３は、電気検査ヘッド１０とは独立して、撮像端末２２をプリント基板Ｗの法線方向に移動することができる。移動機構１３の具体的な構成としては、例えば筐体１６に配置されるレール部材と、このレール部材にスライド可能に配置され、撮像端末２２を固定可能な可動部材とを有する構成が挙げられる。

【0039】

（位置決め機構）
位置決め機構１４は、電気検査ヘッド１０の向きを維持した状態で、この電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの平面方向に位置決めする。当該電気検査装置１は、位置決め機構１４を備えることで、前記基準位置マーカーを撮像部１２によって撮像した後に、電気検査ヘッド１０を被検査領域に容易に位置合わせすることができる。

【0040】

位置決め機構１４の具体的な構成としては、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの平面方向に位置決めできる限り、特に限定されるものではないが、例えば図１及び図２に示す直交座標型システムが挙げられる。位置決め機構１４は、プリント基板Ｗの平面方向と平行な一方向（図１及び図２のＹ方向）に並行に延びる一対の固定レール１４ａと、プリント基板Ｗの平面方向と平行に延び、一対の固定レール１４ａ間に掛け渡される可動レール１４ｂと、可動レール１４ｂに配置される移動体１４ｃとを有する。移動体１４ｃには、筐体１６が固定されている。

【0041】

位置決め機構１４は、一対の固定レール１４ａの延在方向（図１及び図２のＹ方向）に沿って可動レール１４ｂが移動し、かつ可動レール１４ｂの延在方向（図１及び図２のＸ方向）に沿って移動体１４ｃが移動するように構成されている。このように構成されていることで、筐体１６は、プリント基板Ｗの平面方向における向きを維持しつつ、この平面方向に移動可能に設けられる。その結果、電気検査ヘッド１０も、筐体１６と共に、プリント基板Ｗの平面方向における向きを維持しつつ、この平面方向に移動する。

【0042】

また、位置決め機構１４は、電気検査ヘッド１０と撮像部１２とを同時にプリント基板Ｗの平面方向に位置決め可能に設けられている。より詳しく説明すると、撮像端末２２は、移動機構１３を介して筐体１６に連結されていることで、筐体１６と共に、プリント基板Ｗの平面方向に移動するよう構成されている。その結果、電気検査ヘッド１０と撮像端末２２とは、筐体１６を介して、位置決め機構１４によって同時にプリント基板Ｗの平面方向に位置決めされるよう構成されている。このように構成されていることで、当該電気検査装置１は、電気検査処理の効率化を促進しつつ、電気検査ヘッド１０の移動に起因する誤差をより容易に抑制することができる。

【0043】

（昇降機構）
昇降機構１５は、電気検査ヘッド１０の基台２１ｄに固定される固定部材１８を昇降可能に設けられている。昇降機構１５は、固定部材１８を昇降させることで、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの法線方向に移動させる。

【0044】

固定部材１８は、筐体１６に対してスライド可能に配置されている。固定部材１８は、筐体１６とは独立して昇降するよう構成されている。このように構成されることで、昇降機構１５は、移動機構１３による撮像部１２の移動とは独立して電気検査ヘッド１０を昇降させるように設けられている。

【0045】

（筐体）
筐体１６は、前述のように移動体１４ｃに固定されている。これにより、筐体１６は、プリント基板Ｗの平面方向における向きを維持しつつ、プリント基板Ｗの平面方向に移動可能に構成されている。

【0046】

（制御部）
制御部１７は、例えばデータ処理を行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）や各種情報を一時的或いは恒久的に記憶する半導体メモリ等の記憶部を有するコンピュータを含んで構成される。

【0047】

制御部１７による制御手順の一例について説明する。制御部１７は、まず、撮像端末２２によって近接位置Ｐ１からプリント基板Ｗの前記基準位置マーカーを撮像させる。次に、制御部１７は、撮像端末２２を回避位置Ｐ２に移動させ、この状態で電気検査ヘッド１０を回転軸Ｒを回転中心として９０°回転させると共に、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの被検査領域に位置合わせする。また、制御部１７は、電気検査ヘッド１０の回転後に、撮像端末２２を近接位置Ｐ１に移動させる。さらに、制御部１７は、撮像端末２２を近接位置Ｐ１に維持しつつ、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗに法線方向側から接触させ、プリント基板Ｗの被検査領域における電気検査を行う。制御部１７は、電気検査ヘッド１０による電気検査が終わった後に、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗから離間させる。制御部１７は、プリント基板Ｗの各被検査領域に対して、必要に応じて一部の手順を変更しつつ前述の手順を行うよう、回転機構１１、移動機構１３、位置決め機構１４及び昇降機構１５の動作を制御する。当該電気検査装置１は、制御部１７が前述の制御を行うことで、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗに対して素早くかつ容易に位置合わせしつつ、プリント基板Ｗの電気検査を適切に行うことができる。

【0048】

［電気検査方法］
次に、各図を参照して、図１及び図２の電気検査装置１を用いた電気検査方法について説明する。

【0049】

当該電気検査方法は、プリント基板Ｗに法線方向側から接触可能な電気検査ヘッド１０と、電気検査ヘッド１０を、前記法線方向と平行な回転軸Ｒを中心として回転させる回転機構１１と、プリント基板Ｗに対して法線方向から正対する光学素子２２ａを有し、プリント基板Ｗを撮像可能な撮像部１２と、撮像部１２を近接位置Ｐ１と回避位置Ｐ２との間で移動させる移動機構１３とを備える電気検査装置１を用いて行う。図４に示すように、当該電気検査方法は、近接位置Ｐ１で撮像部１２によってプリント基板Ｗを撮像し（Ｓ１）、撮像部１２を回避位置Ｐ２に移動し（Ｓ２）、電気検査ヘッド１０を回転し（Ｓ３）、撮像部１２を近接位置Ｐ１に移動し（Ｓ４）、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗに接触させる（Ｓ５）。なお、当該電気検査方法は、Ｓ５の後に、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗから離間する手順を備える。当該電気検査方法は、プリント基板Ｗの各被検査領域に対して、必要に応じて一部の手順を変更しつつ前述の手順を繰り返し行うことで、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗに対して素早くかつ容易に位置合わせしつつ、プリント基板Ｗの電気検査を適切に行うことができる。

【0050】

（Ｓ１）
Ｓ１では、図１に示すように、撮像端末２２が近接位置Ｐ１に配置されている状態で、撮像端末２２によってプリント基板Ｗの基準位置マーカーを撮像する。

【0051】

（Ｓ２）
Ｓ２では、図３に示すように、撮像端末２２を回避位置Ｐ２に移動する。Ｓ２では、近接位置Ｐ１が、電気検査ヘッド１０を回転したときに撮像部１２（より詳しくは撮像端末２２）が電気検査ヘッド１０に接触し得る位置であり、回避位置Ｐ２が、電気検査ヘッド１０を回転したときに撮像部１２（より詳しくは撮像端末２２）が電気検査ヘッド１０と接触しない位置であるように撮像部１２を移動させる。

【0052】

（Ｓ３）
Ｓ３では、図５に示すように、撮像端末２２が回避位置Ｐ２にある状態で、回転軸Ｒを回転中心として電気検査ヘッド１０を回転させる。より詳しくは、Ｓ３では、プリント基板Ｗの法線方向視において、撮像端末２２が電気検査ヘッド１０と重なり合わない位置まで電気検査ヘッド１０を回転させる。電気検査ヘッド１０の回転角度としては、特に限定されるものではないが、典型的には９０°とすることができる。

【0053】

（Ｓ４）
Ｓ４では、図６に示すように、Ｓ３で電気検査ヘッド１０を回転した後に、撮像端末２２を近接位置Ｐ１に移動する。より詳しくは、Ｓ４では、Ｓ２で撮像端末２２を近接位置Ｐ１から回避位置Ｐ２に移動させたのと同じ経路を通って撮像端末２２を回避位置Ｐ２から近接位置Ｐ１に移動する。なお、当該電気検査方法では、Ｓ１の終わりからＳ５の開始までの任意のタイミングで、位置決め機構１４によって電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗの被検査領域に位置合わせするとよい。

【0054】

（Ｓ５）
Ｓ５では、図７に示すように、電気検査ヘッド１０をプリント基板Ｗに法線方向側から接触させ、複数のプローブ２１ａによって被検査領域の電気検査を行う。

【0055】

＜利点＞
当該電気検査装置１は、撮像部１２を近接位置Ｐ１に配置した状態で、この撮像部１２によってプリント基板Ｗを法線方向から撮像した後に、撮像部１２を電気検査ヘッド１０が回転したときに電気検査ヘッド１０と接触しない回避位置Ｐ２に移動することができる。そのため、当該電気検査装置１は、電気検査ヘッド１０の近傍から撮像部１２によってプリント基板Ｗを撮像したうえで、電気検査ヘッド１０を撮像部１２とは独立して回転させることができる。その結果、当該電気検査装置１は、電気検査ヘッド１０を前記プリント基板Ｗに対して素早くかつ容易に位置合わせすることができる。このため、当該電気検査装置１は、プリント基板Ｗの電気検査を素早くかつ安定的に行うことができる。

【0056】

当該電気検査方法は、撮像部１２を近接位置Ｐ１に配置した状態で、この撮像部１２によってプリント基板Ｗを法線方向から撮像した後に、撮像部１２を電気検査ヘッド１０が回転したときに電気検査ヘッド１０と接触しない回避位置Ｐ２に移動することができる。そのため、当該電気検査方法は、電気検査ヘッド１０の近傍から撮像部１２によってプリント基板Ｗを撮像したうえで、電気検査ヘッド１０を撮像部１２とは独立して回転させることができる。その結果、当該電気検査方法は、電気検査ヘッド１０を前記プリント基板Ｗに対して素早くかつ容易に位置合わせすることができる。このため、当該電気検査方法は、プリント基板Ｗの電気検査を素早くかつ安定的に行うことができる。

【0057】

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

【0058】

前記実施形態では、移動機構が撮像部をプリント基板の法線方向に移動させる構成について説明した。但し、当該電気検査装置において、前記撮像部の移動方向は前記プリント基板の法線方向に限定されない。例えば前記移動機構は、前記撮像部を前記プリント基板の平面方向に移動させてもよい。また、前記移動機構は、前記撮像部を直動させなくてもよい。例えば前記移動機構は、前記撮像部を前記プリント基板の平面方向に旋回移動させてもよい。

【0059】

前記実施形態では、前記プリント基板が水平方向に保持される構成について説明した。但し、前記プリント基板の保持方向は、装置の仕様に応じて変更可能である。また、前記実施形態では、把持具によって前記プリント基板の角部を把持する構成について説明したが、当該電気検査装置におけるプリント基板の把持方法は前記構成に限定されるものではない。

【0060】

前記電気検査ヘッドの具体的な構成は、前述の実施形態の構成に限定されない。例えば前記電気検査ヘッドは、前述の支持板を有しない構成を採用することも可能である。前記支持板を有しない構成としては、前記底板及び前記天板の一方又は両方を有しない構成が挙げられる。例えば前記電気検査ヘッドが前記底板を有しない場合、前記電気検査ヘッドの厚さは、前記基台と前記プローブとの合計厚さによって求めることができる。なお、ここでいうプローブの厚さとは、電気検査前の状態におけるプローブの突出長さを意味する。

【0061】

前述のように、前記移動機構は、前記電気検査ヘッドとは独立して前記撮像部を移動できることが好ましい。但し、当該電気検査装置は、前記撮像部を前記電気検査ヘッドの回転にあわせて回転しないように保持できる場合であれば、前記撮像部が前記電気検査ヘッドにあわせて昇降する構成を採用することも可能である。

【0062】

前記実施形態では、前記電気検査ヘッドと前記撮像部とが、前記位置決め機構によって前記プリント基板の平面方向に同時に位置決めされる構成について説明した。但し、当該電気検査装置は、前記電気検査ヘッドと前記撮像部とが、前記プリント基板の平面方向に別々に位置決めされる構成を採用することも可能である。

【0063】

前記実施形態では、前記電気検査ヘッドが、前記位置決め機構によって前記プリント基板の平面方向に位置決めされる構成について説明した。但し、当該電気検査装置は、前記プリント基板が平面方向に移動することで、前記電気検査ヘッドが前記プリント基板の平面方向に位置決めされるよう構成されていてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0064】

以上説明したように、本発明の一態様に係る電気検査装置は、電気検査ヘッドをプリント基板に対して素早くかつ容易に位置合わせするのに適している。

【符号の説明】

【0065】

１ 電気検査装置
１０ 電気検査ヘッド
１１ 回転機構
１２ 撮像部
１３ 移動機構
１４ 位置決め機構
１４ａ 固定レール
１４ｂ 可動レール
１４ｃ 移動体
１５ 昇降機構
１６ 筐体
１７ 制御部
１８ 固定部材
２１ａ プローブ
２１ｂ 底板
２１ｃ 天板
２１ｄ 基台
２２ 撮像端末
２２ａ 光学素子
３１ 把持具
Ｒ 回転軸
Ｗ プリント基板
Ｐ１ 近接位置
Ｐ２ 回避位置
Ｔ１ 基台の厚さ
Ｔ２ 電気検査ヘッドの厚さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】