特開 2023-112261 樹脂組成物、接着シート、プリプレグ、及び、積層板

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023112261

(43)【公開日】2023-08-14

(54)【発明の名称】樹脂組成物、接着シート、プリプレグ、及び、積層板

(51)【国際特許分類】

   C08L 71/08 20060101AFI20230804BHJP

   C08K 3/013 20180101ALI20230804BHJP

   C08K 3/22 20060101ALI20230804BHJP

   C08K 3/28 20060101ALI20230804BHJP

   C08K 3/38 20060101ALI20230804BHJP

   C08K 5/14 20060101ALI20230804BHJP

   C08F 2/44 20060101ALI20230804BHJP

   C09J 7/35 20180101ALI20230804BHJP

   C09J 11/06 20060101ALI20230804BHJP

   C09J 11/04 20060101ALI20230804BHJP

   C09J 171/12 20060101ALI20230804BHJP

   C09J 179/08 20060101ALI20230804BHJP

   C08J 5/24 20060101ALI20230804BHJP

   B32B 27/00 20060101ALI20230804BHJP

   B32B 27/34 20060101ALI20230804BHJP

   B32B 27/20 20060101ALI20230804BHJP

   B32B 27/04 20060101ALI20230804BHJP

   B32B 5/10 20060101ALI20230804BHJP

   B32B 15/088 20060101ALI20230804BHJP

【ＦＩ】

C08L71/08

C08K3/013

C08K3/22

C08K3/28

C08K3/38

C08K5/14

C08F2/44 Z

C09J7/35

C09J11/06

C09J11/04

C09J171/12

C09J179/08

C08J5/24

B32B27/00 M

B32B27/00 D

B32B27/34

B32B27/20 Z

B32B27/04

B32B5/10

B32B15/088

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022013928

(22)【出願日】2022-02-01

(71)【出願人】

【識別番号】591045703

【氏名又は名称】利昌工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091683

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼川 俊雄

(74)【代理人】

【識別番号】100179316

【弁理士】

【氏名又は名称】市川 寛奈

(72)【発明者】

【氏名】窪山 典人

(72)【発明者】

【氏名】今井 翔太

【テーマコード（参考）】

4F072

4F100

4J002

4J004

4J011

4J040

【Ｆターム（参考）】

4F072AB09

4F072AB27

4F072AD03

4F072AD42

4F072AE02

4F072AE06

4F072AF03

4F072AG03

4F072AG17

4F072AG19

4F072AH02

4F072AJ22

4F072AL12

4F100AA13A

4F100AA14A

4F100AA19A

4F100AA19H

4F100AA20A

4F100AA20H

4F100AB01C

4F100AB17B

4F100AB17C

4F100AB33B

4F100AB33C

4F100AD11A

4F100AG00A

4F100AH02A

4F100AH02H

4F100AK25A

4F100AK41A

4F100AK42B

4F100AK46A

4F100AK47A

4F100AK49A

4F100AK54A

4F100BA02

4F100BA07

4F100CA23A

4F100CA30A

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4F100DH01A

4F100DH02A

4F100EJ172

4F100EJ422

4F100EJ82A

4F100EJ91B

4F100GB41

4F100GB43

4F100JA07A

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4F100JG04A

4F100JG05

4F100JJ01C

4F100JK06

4F100JK07

4F100JL11

4J002CH071

4J002DE148

4J002DF019

4J002DK009

4J002EK007

4J002EU026

4J002FD146

4J002FD157

4J002GF00

4J002GK00

4J002GK02

4J004AA11

4J004AB05

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4J004FA08

4J011PA07

4J011PA08

4J011PA14

4J011PA90

4J011PB22

4J011PB40

4J011PC02

4J011PC08

4J040EE061

4J040EH031

4J040HA136

4J040JA09

4J040JB02

4J040KA34

4J040MA02

4J040MA10

4J040MB03

4J040MB09

4J040NA19

(57)【要約】

【課題】従来の高周波用基板材料と同様の硬化条件でありながら、低伝送損失と放熱性能とを両立させることができる、熱硬化性樹脂組成物、接着シート、プリプレグ、及び、積層板を提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂組成物は、１分子中に少なくとも２個のマレイミド基を有するマレイミド化合物、１分子中に少なくとも２個の反応性の有機基を有するポリフェニレンエーテル化合物、硬化促進剤、及び、無機充填材を含有し、前記無機充填材は、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムであり、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムは、Ｎａ^＋イオンの含有量が１０ｐｐｍ以下である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

１分子中に少なくとも２個のマレイミド基を有するマレイミド化合物、１分子中に少なくとも２個の反応性の有機基を有するポリフェニレンエーテル化合物、硬化促進剤、及び、無機充填材を含有し、
前記無機充填材は、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムであり、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムは、Ｎａ^＋イオンの含有量が１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする熱硬化性樹脂組成物。

【請求項2】

前記無機充填材として、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムに、窒化ホウ素、又は、窒化アルミニウムを加えることを特徴とする請求項１に記載の熱硬化性樹脂。

【請求項3】

前記硬化促進剤は、ペルオキシ基を有する有機過酸化物であることを特徴とする請求項１又は２に記載の熱硬化性樹脂組成物。

【請求項4】

前記マレイミド化合物１００重量部に対して、ペルオキシ基を有する有機過酸化物を１～３０重量部含有することを特徴とする請求項３に記載の熱硬化性樹脂組成物。

【請求項5】

前記マレイミド化合物１００重量部に対して、前記ポリフェニレンエーテル化合物を１０～１００重量部、前記酸化アルミニウムを４００～７００重量部含有することを特徴とする１～４のいずれか１項に記載の熱硬化性樹脂組成物。

【請求項6】

前記マレイミド化合物は、脂肪族骨格マレイミド樹脂、多官能型マレイミド樹脂、又は、ビスフェノールＡ型マレイミド樹脂であることを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の熱硬化性樹脂組成物。

【請求項7】

前記マレイミド化合物は、溶剤が添加された液状であることを特徴とする請求項６に記載の熱硬化性樹脂組成物。

【請求項8】

前記ポリフェニレンエーテル化合物は、重量平均分子量Ｍｗが、１０００～１００００であることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載の熱硬化性樹脂組成物。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか１項に記載の熱硬化性樹脂組成物、及び、キャリアフィルムからなる接着シートであって、
前記キャリアフィルムの一方の表面に塗工された前記熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態であることを特徴とする接着シート。

【請求項10】

前記キャリアフィルムは、銅箔又はＰＥＴフィルムであることを特徴とする請求項９に記載の接着シート。

【請求項11】

請求項１～８のいずれか１項に記載の熱硬化性樹脂組成物、及び、繊維基材からなるプリプレグであって、
前記繊維基材に含浸された前記熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態であることを特徴とするプリプレグ。

【請求項12】

前記繊維基材が、ガラス繊維、液晶ポリマー繊維、アラミド繊維、カーボン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、アクリル繊維、又は、ビニロン繊維からなることを特徴とする請求項１１に記載のプリプレグ。

【請求項13】

請求項９又は請求項１０に記載の接着シートからキャリアフィルムを除去したものを、１枚で、又は、複数枚積層された状態で加熱加圧成型されてなることを特徴とする積層板。

【請求項14】

請求項１１又は請求項１２に記載のプリプレグが１枚で、又は、複数枚積層された状態で加熱加圧成型されてなることを特徴とする積層板。

【請求項15】

少なくとも一方の表面に金属箔が配置されていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の積層板。

【請求項16】

一方の表面に金属箔が配置され、他方の表面に放熱用金属板が配置されていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の積層板。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂組成物、前記樹脂組成物を用いた接着シート及びプリプレグ、及び、前記接着シート又は前記プリプレグを用いた積層板に関するものである。

【背景技術】

【0002】

次世代通信システムではデータ通信において、さらなる大容量・高速伝送化が進むと予測される。第５世代移動通信システム（５Ｇ）では小型基地局の需要が大幅に増加し、基地局で用いられる基板にも小型化、省スペース化に加えて、両面板から高多層化への需要が高まっており、高周波領域で高速通信ができる低伝送損失と放熱性に優れた材料が求められている。

【0003】

従来の高周波用基板材料として、フッ素樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、液晶ポリマー、ベンゾオキサジン樹脂等の主剤に、無機充填剤の球状シリカや中空シリカを加えた複合材料が一般的に用いられている（特許文献１～３）。しかしながら、無機充填剤の球状シリカや中空シリカは熱伝導率が低く、放熱性を高めることは困難である。

【0004】

そのため、放熱性能を付与する為に、樹脂に液晶ポリマー、無機充填剤に酸化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウムが用いられているが、液晶ポリマーは成型温度が非常に高いことから、接着シート、プリプレグとして扱うことは難しいという問題がある。また、無機充填剤の酸化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウムは誘電特性が低下してしまうことから、従来の高周波用基板材料では、低伝送損失と放熱性の両立は困難であった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１７－１４１３１４号公報

【特許文献2】特開２０１２－１４９２３７号公報

【特許文献3】特開２０１７－ ７５２２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで、本発明は従来の問題点を鑑み、従来の高周波用基板材料と同様の硬化条件でありながら、低伝送損失と放熱性能とを両立させることができる、熱硬化性樹脂組成物、接着シート、プリプレグ、及び、積層板を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、１分子中に少なくとも２個のマレイミド基を有するマレイミド化合物、１分子中に少なくとも２個の反応性の有機基を有するポリフェニレンエーテル化合物、硬化促進剤、及び、無機充填材を含有し、前記無機充填材は、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムであり、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムは、Ｎａ^＋イオンの含有量が１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする。

【0008】

前記無機充填材として、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムに、窒化ホウ素、又は、窒化アルミニウムを加えることができる。

【0009】

前記硬化促進剤は、ペルオキシ基を有する有機過酸化物であることが好ましく、さらに、前記マレイミド化合物１００重量部に対して、ペルオキシ基を有する有機過酸化物を１～３０重量部含有することが好ましい。

【0010】

前記マレイミド化合物１００重量部に対して、前記ポリフェニレンエーテル化合物を１０～１００重量部、前記酸化アルミニウムを４００～７００重量部含有することが好ましい。

【0011】

前記マレイミド化合物は、脂肪族骨格マレイミド樹脂、多官能型マレイミド樹脂、又は、ビスフェノールＡ型マレイミド樹脂であり、さらに、前記マレイミド化合物は、溶剤が添加された液状であることが好ましい。

【0012】

前記ポリフェニレンエーテル化合物は、重量平均分子量Ｍｗが、１０００～１００００であることが好ましい。

【0013】

本発明の接着シートは、前記熱硬化性樹脂組成物、及び、キャリアフィルムからなる接着シートであって、前記キャリアフィルムの一方の表面に塗工された前記熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態であることを特徴とする。

【0014】

前記キャリアフィルムは、銅箔又はＰＥＴフィルムを用いることができる。

【0015】

本発明のプリプレグは、前記熱硬化性樹脂組成物、及び、繊維基材からなるプリプレグであって、前記繊維基材に含浸された前記熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態であることを特徴とする。

【0016】

前記繊維基材が、ガラス繊維、液晶ポリマー繊維、アラミド繊維、カーボン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、アクリル繊維、又は、ビニロン繊維からなることが好ましい。

【0017】

本発明の積層板は、前記接着シートからキャリアフィルムを除去したものを、１枚で、又は、複数枚積層された状態で加熱加圧成型されてなることを特徴とする。

【0018】

本発明の積層板は、前記プリプレグが１枚で、又は、複数枚積層された状態で加熱加圧成型されてなることを特徴とする。

【0019】

前記積層板は、少なくとも一方の表面に金属箔が配置されている。

【0020】

前記積層板は、一方の表面に金属箔が配置され、他方の表面に放熱用金属板が配置されている。

【発明の効果】

【0021】

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、１分子中に少なくとも２個のマレイミド基を有するマレイミド化合物、１分子中に少なくとも２個の反応性の有機基を有するポリフェニレンエーテル化合物、硬化促進剤、及び、無機充填材を含有し、前記無機充填材は、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムであり、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムは、Ｎａ^＋イオンの含有量が１０ｐｐｍ以下であることにより、低伝送損失と放熱性能とを両立した積層板を形成することができる。

【0022】

本発明の接着シートは、前記熱硬化性樹脂組成物、及び、キャリアフィルムからなる接着シートであって、前記キャリアフィルムの一方の表面に塗工された前記熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態であり、前記接着シートを用いて積層板を形成することにより、低伝送損失と放熱性能とを両立した積層板を実現することができる。

【0023】

本発明のプリプレグは、前記熱硬化性樹脂組成物、及び、繊維基材からなるプリプレグであって、前記繊維基材に含浸された前記熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態であり、前記プリプレグを用いて積層板を形成することにより、低伝送損失と放熱性能とを両立した積層板を実現することができる。

【0024】

本発明の積層板は、前記接着シートからキャリアフィルムを除去したものを、１枚で、又は、複数枚積層された状態で加熱加圧成型されてなる、又は、前記プリプレグが１枚で、又は、複数枚積層された状態で加熱加圧成型されてなることにより、低伝送損失と放熱性能とを両立させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明の接着シートの概略断面図である。

【図2】接着シートを用いた積層板を金属箔張り積層板とした場合の概略断面図である。

【図3】プリプレグを用いた積層板を金属ベース金属箔張り積層板とした場合の概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

本発明の熱硬化性樹脂組成物、接着シート、プリプレグ、及び、積層板について説明する。まず初めに、本発明の熱硬化性樹脂組成物について説明する。

【0027】

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、高周波用基板材料として用いることを目的としており、１分子中に少なくとも２個のマレイミド基を有するマレイミド化合物、１分子中に少なくとも２個の反応性の有機基を有するポリフェニレンエーテル化合物、硬化促進剤、及び、無機充填材を含有する。

【0028】

前記無機充填材としては、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムを用いる。低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムとは、Ｎａ^＋イオンの含有量が１０ｐｐｍ以下の酸化アルミニウムである。さらに、前記無機充填材は、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウムに、窒化ホウ素、又は、窒化アルミニウムを加えることも可能である。

【0029】

前記硬化促進剤として、ペルオキシ基を有する有機過酸化物を用いる。有機過酸化物の含有量が、１重量部未満では反応性が不十分であり、３０重量部を超えると特性が低下することから、前記マレイミド化合物１００重量部に対して、有機過酸化物を１～３０重量部含有する。

【0030】

前記マレイミド化合物としては、脂肪族骨格マレイミド樹脂、多官能型マレイミド樹脂、ビスフェノールＡ型マレイミド樹脂を用いる。マレイミド樹脂は必要に応じ溶剤を添加して、液状で用いる。そのため、マレイミド樹脂は溶剤溶解性がよい方が好ましい。

【0031】

ポリフェニレンエーテル化合物は、重量平均分子量Ｍｗが、１０００～１００００とする。ポリフェニレンエーテル化合物の分子量が大きい場合は溶剤溶解性や反応性が低下することから、これらを踏まえて所定の分子量のポリフェニレンエーテル化合物を用いることが必要である。

【0032】

熱硬化性樹脂組成物は、マレイミド化合物１００重量部に対して、前記ポリフェニレンエーテル化合物を１０～１００重量部、前記酸化アルミニウムを４００～７００重量部含有すし、さらに、ペルオキシ基を有する有機過酸化物を１～３０重量部含有する。

【0033】

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、１分子中に少なくとも２個のマレイミド基を有するマレイミド化合物、１分子中に少なくとも２個の反応性の有機基を有するポリフェニレンエーテル化合物、及び、硬化促進剤からなる熱硬化性樹脂に、無機充填材として、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウム及び窒化ホウ素、又は、低ナトリウムタイプの酸化アルミニウム及び窒化アルミニウムを配合し、攪拌又は混錬等によって分散させることにより形成される。この時、必要に応じて、高級脂肪酸エステル、官能基を有する共重合体等の界面活性剤を用いることができ、さらに、溶剤等を用いることも可能である。

【0034】

このようにして得られた熱硬化性樹脂組成物を用いて、本発明の接着シート及びプリプレグを作成し、さらに、接着シート及びプリプレグを用いて積層板を作成する。次に、本発明の接着シート及びプリプレグについて説明する。

【0035】

本発明の接着シートは、前記熱硬化性樹脂組成物及びキャリアフィルムからなり、前記キャリアフィルムの一方の表面に塗工された前記熱硬化性樹脂組成物は半硬化状態となっている。本発明の接着シートは、熱硬化性樹脂組成物をキャリアフィルムの一方の表面に塗工し、加熱乾燥等の手段によって半硬化させることで得られる。前記キャリアフィルムとしては、銅箔又はＰＥＴフィルムを用いることができる。本発明の接着シートを使用する際には、キャリアフィルムを除去し、半硬化状態の熱硬化性樹脂組成物のシートの状態とする。そのため、熱硬化性樹脂を塗工する際に、キャリアフィルムの塗工面に、離型剤を転写しておくことで、キャリアフィルムを除去しやすくすることができる。

【0036】

本発明のプリプレグは、前記熱硬化性樹脂組成物及び繊維基材からなり、前記繊維基材に含浸された前記熱硬化性樹脂組成物は半硬化状態となっている。前記プリプレグは、織布、不織布等の繊維基材に前記熱硬化性樹脂組成物を含浸させ、その後、加熱乾燥等の手段によって半硬化させることで得られる。

【0037】

前記繊維基材としては、ガラス織布等が挙げられる。前記繊維基材の繊維としては、ガラス繊維、液晶ポリマー繊維、アラミド繊維、カーボン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、アクリル繊維、又は、ビニロン繊維等が用いられる。

【0038】

次に、本発明の積層板について説明する。本発明の積層板は、前記接着シート又は前記プリプレグからなる積層板である。接着シートからなる本発明の積層板は、前記接着シートからキャリアフィルムを除去し、半硬化状態の熱硬化性樹脂組成物のシート状のものを、１枚で又は複数枚積層した状態で、加熱及び加圧手段によって挟み込み、所定の温度及び圧力で加熱加圧成型することにより得られる。

【0039】

プリプレグからなる本発明の積層板は、前記プリプレグを１枚又は複数枚積層した状態で、加熱及び加圧手段である金属板によって挟み込み、所定の温度及び圧力で加熱加圧成型することにより得られる。

【0040】

本発明の積層板は、さらに、少なくとも一方の面に、金属箔を有する金属箔張り積層板とすることができる。前記金属箔張り積層板は、前記接着シートを１枚又は複数枚積層したものの少なくとも一表面に、又は、前記プリプレグを１枚又は複数枚積層したものの少なくとも一表面に金属箔を配し、その後、加熱加圧成型することで得られるものである。金属箔は、電気絶縁材料として用いることのできる材質であればよく、特に限定するものではないが、銅箔、アルミ箔を用いることが好ましい。

【0041】

また、本発明の積層板は、一方の表面に金属箔を有し、他方の表面に放熱用金属板を有する、金属ベース金属箔張り積層板とすることもできる。前記金属ベース金属箔張り積層板は、前記接着シートを１枚又は複数枚積層したものの一表面に、又は、前記プリプレグを１枚又は複数枚積層したものの一表面に金属箔を配し、他方の表面に放熱用金属ベース板を配して、その後、加熱加圧成型することにより得られるものである。放熱用金属板としては、アルミ板、銅板等を用いることができる。

【0042】

本発明の積層板は、従来の高周波用基板材料と同様の硬化条件でありながら、低伝送損失と放熱性能とを両立させることができるようになり、高周波用基板材料として求められる性能を満たすことができる。

【0043】

本発明の積層板の１つの形態である、金属箔張り積層板１について図を用いて説明する。前記金属箔張り積層板１の一例として、２枚の接着シート２を積層し、両面に金属箔３を配した形態を図２に示す。初めに、接着シート２について説明する。熱硬化性樹脂組成物２２をバーコーター等を用いて所定の厚さになるようにキャリアフィルム２１の一方の表面に塗工し、前記熱硬化性樹脂組成物を加熱乾燥等することにより、図１に示すような、熱硬化性樹脂組成物２２が半硬化状態となった接着シート２を得ることができる。この際に、キャリアフィルム２１の塗工面に、離型剤を転写しておくことで、キャリアフィルム２１を除去しやすくすることができる。

【0044】

その後、前記接着シート２から、キャリアフィルム２１を取り除き、半硬化状態の熱硬化性樹脂組成物２２だけの状態としたものを２枚積層し、２枚積層した状態の接着シート２の両面に２枚の金属箔３を別々に重ねる。その後、加熱及び加圧手段である金属板によって挟み込んで所定の温度及び圧力で加熱加圧成型すると、図２に示すような断面構造の金属箔張り積層板１が完成する。

【0045】

さらに、本発明の積層板の別の形態である、金属ベース金属箔張り積層板１０について説明する。前記金属ベース金属箔張り積層板１０の一例として、２枚のプリプレグ２０を積層し、一方の表面に金属箔３を配し、他方の表面に放熱用金属ベース板４を配した形態を図３に示す。前記金属箔張り積層板１０は、まず初めに、繊維基材であるガラス織布に前記熱硬化性樹脂組成物を含浸させる。その後、前記ガラス織布に含浸させた前記熱硬化性樹脂組成物を加熱乾燥することにより、熱硬化性樹脂組成物が半硬化状態となったプリプレグ２０を得る。

【0046】

その後、前記プリプレグ２０を２枚積層し、２枚積層した状態のプリプレグ２０の一方の表面に金属箔３を配し、他方の表面に放熱用金属ベース板４を配する。その後、加熱及び加圧手段である金属板によって挟み込んで所定の温度及び圧力で加熱加圧成型すると、図３に示すような断面構造の金属ベース金属箔張り積層板１０が完成する。

【0047】

実施例を用いて、本発明の積層板について説明する。実施例１～３は接着シートを用いた積層板であり、実施例４はプリプレグを用いた積層板である。比較例１～３は接着シートを用いた積層板である。以下に、実施例１～４と比較例１～３について順に説明する。

【実施例0048】

脂肪族骨格マレイミド樹脂１００重量部に対し、ポリフェニレンエーテル樹脂（重量平均分子量：１０００～１００００）を２０重量部、及び、硬化促進剤としてペルオキシ基を有する有機過酸化物１０重量部を含有する熱硬化性樹脂に対して、無機充填材として低ナトリウムタイプの酸化アルミニウム６００重量部を均一に分散した熱硬化性樹脂組成物である第１樹脂ワニスを準備する。

【0049】

第１樹脂ワニスを成形後の厚さが０．１ｍｍになるように、キャリアフィルムであるＰＥＴフィルムの一方の表面にバーコーターで塗工し、その後、加熱乾燥させて第１接着シートを得る。第１樹脂ワニスが塗工される前記キャリアフィルムの一方の表面には離型剤が転写されている。そして、前記第１接着シートからキャリアフィルムを取り除く。キャリアフィルムが除去された前記第１接着シートの両面に厚さ０．０３５ｍｍの銅箔を配して積層し、その後、温度：２００℃、圧力：２ＭＰａの条件下で加熱加圧成型することで厚さ０．１ｍｍの実施例１の金属箔張り積層板を得る。

【実施例0050】

脂肪族骨格マレイミド樹脂１００重量部に対し、ポリフェニレンエーテル樹脂（重量平均分子量：１０００～１００００）を２０重量部、及び、硬化促進剤としてペルオキシ基を有する有機過酸化物１０重量部を含有する熱硬化性樹脂に対して、無機充填材として低ナトリウムタイプの酸化アルミニウム４００重量部、及び、窒化ホウ素２００重量部を均一に分散した熱硬化性樹脂組成物である第２樹脂ワニスを準備する。

【0051】

第２樹脂ワニスを、実施例１と同様に、成形後の厚さが０．１ｍｍになるように、キャリアフィルムであるＰＥＴフィルムの一方の表面にバーコーターで塗工し、その後、加熱乾燥させて第２接着シートを得る。第２樹脂ワニスが塗工される前記キャリアフィルムの一方の表面には離型剤が転写されている。そして、前記第２接着シートからキャリアフィルムを取り除く。キャリアフィルムが除去された前記第２接着シートの両面に厚さ０．０３５ｍｍの銅箔を配して積層し、その後、温度：２００℃、圧力：２ＭＰａの条件下で加熱加圧成型することで厚さ０．１ｍｍの実施例２の金属箔張り積層板を得る。