特開 2023-112462 プラズマ発生装置及び気体浄化装置等

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023112462

(43)【公開日】2023-08-14

(54)【発明の名称】プラズマ発生装置及び気体浄化装置等

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/24 20060101AFI20230804BHJP

   A61L 9/20 20060101ALI20230804BHJP

   A61L 9/22 20060101ALI20230804BHJP

   B01J 19/08 20060101ALN20230804BHJP

【ＦＩ】

H05H1/24

A61L9/20

A61L9/22

B01J19/08 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】24

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022014265

(22)【出願日】2022-02-01

(71)【出願人】

【識別番号】504414787

【氏名又は名称】インパクトワールド株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100123401

【弁理士】

【氏名又は名称】花田 吉秋

(74)【代理人】

【識別番号】100182615

【弁理士】

【氏名又は名称】花田 健史

(72)【発明者】

【氏名】林 佑二

【テーマコード（参考）】

2G084

4C180

4G075

【Ｆターム（参考）】

2G084AA18

2G084AA25

2G084BB11

2G084CC03

2G084CC19

2G084CC33

2G084CC34

2G084DD12

2G084DD13

2G084DD14

2G084DD15

2G084DD18

2G084DD22

2G084DD25

2G084DD63

4C180AA02

4C180AA07

4C180AA16

4C180BB01

4C180BB05

4C180BB06

4C180BB09

4C180CA01

4C180CA10

4C180CC02

4C180CC13

4C180CC16

4C180DD03

4C180DD11

4C180DD17

4C180EA14X

4C180EA16X

4C180EA17X

4C180EA35X

4C180EA38X

4C180EA54X

4C180HH05

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4C180LL06

4C180MM08

4G075AA03

4G075BA05

4G075BB10

4G075CA33

4G075CA47

4G075CA54

4G075DA02

4G075EB41

4G075EC21

4G075FA12

4G075FB01

4G075FB02

4G075FB06

4G075FC04

4G075FC11

4G075FC15

(57)【要約】

【課題】
誘電体バリア放電によりプラズマを発生させるとともに、プラズマが発する紫外線その他の電磁波を効率的に利用することができるプラズマ発生装置及びこれを利用する気体浄化装置等を提供すること。
【解決手段】
第一電極（１１ａ）と、前記第一電極（１１ａ）との間に距離を隔てて配置される第二電極（１１ｂ）と、前記第一電極（１１ａ）と前記第二電極（１１ｂ）との間に配置されるとともに、前記第二電極（１１ｂ）との間に空間を隔てて配置される第一ガラス層（１２ａ）と、前記第一電極（１１ａ）と前記第一ガラス層（１２ａ）との間に配置される第一金属膜層（１３ａ）であって、前記第一電極（１１ａ）と直ちに又は導電性粘着層を介して接するとともに、前記第一ガラス層（１２ａ）と直ちに又は導電性粘着層を介して接するものと、を備えるプラズマ発生装置（１０）。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一電極と、
前記第一電極との間に距離を隔てて配置される第二電極と、
前記第一電極と前記第二電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第一ガラス層と、
前記第一電極と前記第一ガラス層との間に配置される第一金属膜層であって、前記第一電極と直ちに又は導電性粘着層を介して接するとともに、前記第一ガラス層と直ちに又は導電性粘着層を介して接するものと、を備える
プラズマ発生装置。

【請求項2】

前記第一電極と前記第一金属膜層との間に配置される第一電極側導電性粘着層と、前記第一ガラス層と前記第一金属膜層との間に配置される第一ガラス層側導電性粘着層と、を備える
請求項１に記載のプラズマ発生装置。

【請求項3】

前記第一金属膜層が、前記第一電極と前記第一電極側導電性粘着層を介して接する第一電極側金属膜と、前記第一ガラス層と前記第一ガラス層側導電性粘着層を介して接する第一ガラス層側金属膜と、の組み合わせからなる
請求項２に記載のプラズマ発生装置。

【請求項4】

前記第二電極との間に距離を隔てて配置される第三電極であって、前記第一電極との間に前記第二電極を挟んで配置されるものと、
前記第二電極と前記第三電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第二ガラス層と、
前記第三電極と前記第二ガラス層との間に配置される第二金属膜層であって、前記第三電極と直ちに又は導電性粘着層を介して接するとともに、前記第二ガラス層と直ちに又は導電性粘着層を介して接するものと、を備える
請求項１～３のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置。

【請求項5】

前記第三電極と前記第二金属膜層との間に配置される第三電極側導電性粘着層と、前記第二ガラス層と前記第二金属膜層との間に配置される第二ガラス層側導電性粘着層と、を備える
請求項４に記載のプラズマ発生装置。

【請求項6】

前記第二金属膜層が、前記第三電極と前記第三電極側導電性粘着層を介して接する第三電極側金属膜と、前記第二ガラス層と前記第二ガラス層側導電性粘着層を介して接する第二ガラス層側金属膜と、の組み合わせからなる
請求項５に記載のプラズマ発生装置。

【請求項7】

前記第一電極と前記第三電極とが、それぞれ板状の銅からなるものであり、
前記第二電極が、棒状、雄螺子状若しくは螺旋状のチタンからなるものであるか、又は棒状の金属からなり、線状の金属若しくはその酸化物であって、触媒として作用するものが螺旋状に巻き付けられたものであり、
前記第一ガラス層と前記第二ガラス層とが、それぞれ板状の石英ガラス又はホウケイ酸ガラスからなるものであり、
前記第一金属膜層と前記第二金属膜層とが、それぞれアルミニウム若しくは銀の箔からなるものであるか、又はそれぞれアルミニウム若しくは銀の蒸着膜からなるものである
請求項４～６のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置。

【請求項8】

前記第一ガラス層、前記第二電極及び前記第二ガラス層のそれぞれとの間に空間を隔てて配置される第四電極であって、前記第一ガラス層との間に前記第二電極を挟むことなく配置されるとともに、前記第三ガラス層との間に前記第二電極を挟むことなく配置されるものを更に備え、
前記第四電極が、棒状、雄螺子状若しくは螺旋状のチタンからなるものであるか、又は棒状の金属からなり、線状の金属若しくはその酸化物であって、触媒として作用するものが螺旋状に巻き付けられたものである
請求項４～７のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が流れるための流路と、を備える
気体浄化装置。

【請求項10】

前記第二電極の延びる方向と前記流路の延びる方向とが互いに交わるように配置される
請求項９に記載の気体浄化装置。

【請求項11】

オゾンを分解する触媒及びこれを保持する担体からなる第一フィルタを備え、
前記第一フィルタが、前記流路のうち、前記第二電極より下流側に配置され、前記第一電極と前記第三電極との間に配置され、かつ、前記第一電極と接するとともに、前記第三電極と接する
請求項９又は１０に記載の気体浄化装置。

【請求項12】

前記第一電極のうち前記第二電極と対向する側にある表面が、
前記第一金属膜層と直ちに又は導電性粘着層を介して接する部分である第一部分と、
前記第一フィルタと接する部分である第二部分と、
前記第一部分と前記第二部分との間にあって、露出する部分である第三部分と、
を備えるとともに、
前記第三電極のうち前記第二電極と対向する側にある表面が、
前記第二金属膜層と直ちに又は導電性粘着層を介して接する部分である第一部分と、
前記第一フィルタと接する部分である第二部分と、
前記第一部分と前記第二部分との間にあって、露出する部分である第三部分と、
を備える
請求項１１に記載の気体浄化装置。

【請求項13】

カルシウム及びこれを保持する担体からなる第二フィルタを備え、
前記第二フィルタが、前記流路のうち、前記第二電極より下流側に配置される
請求項９～１２のいずれか１項に記載の気体浄化装置。

【請求項14】

酸化第二鉄及びこれを保持する担体からなる第三フィルタを備え、
前記第三フィルタが、前記流路のうち、前記第二電極より下流側に配置される
請求項９～１３のいずれか１項に記載の気体浄化装置。

【請求項15】

請求項９～１４のいずれか１項に記載の気体浄化装置と、
請求項９～１４のいずれか１項に記載の他の気体浄化装置と、を備え、
前記気体浄化装置の前記第一電極と前記他の気体浄化装置の前記第三電極とが電気的に接続されるか、又は前記気体浄化装置の前記第二電極と前記他の気体浄化装置の前記第二電極とが電気的に接続されることにより、前記気体浄化装置と前記他の気体浄化装置とが垂直的に又は水平的に結合した構造を有する
気体浄化装置。

【請求項16】

請求項１～８のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が通過するための流路と、
前記流路に沿って風を送るための送風装置と、を備える
気体浄化装置。

【請求項17】

請求項１～３のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が流れるための流路と、を備え、
前記第一電極と前記第一ガラス層とが、それぞれ環状のものであり、
前記第二電極が、羽根状のものであって、回転軸に連結されるものである
気体浄化装置。

【請求項18】

二以上の通風孔を有する有孔鏡を備え、
前記有孔鏡が、前記流路のうち、前記第二電極より上流側に配置される
請求項９～１７のいずれか１項に記載の気体浄化装置。

【請求項19】

床面を走行するための走行手段と、
前記走行手段を駆動するための駆動手段と、
前記駆動手段を自動制御するための自動制御手段と、を備える
請求項９～１８のいずれか１項に記載の気体浄化装置。

【請求項20】

請求項１～８のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置と、活性化しようとする気体が流れるための流路と、を備える気体活性化装置と、
前記気体活性化装置に向けて風を送るための送風装置と、を備える
固体浄化装置。

【請求項21】

室内の空気を循環させながら調節する空気調節装置に請求項９～１５のいずれか１項に記載の気体浄化装置を取り付けることにより、室内の空気を循環させながら、これを調整するとともに浄化する空気調整浄化装置を製造する方法。

【請求項22】

第一電極と、
前記第一電極との間に距離を隔てて配置される第二電極と、
前記第二電極との間に距離を隔てて配置される第三電極であって、前記第一電極との間に前記第二電極を挟んで配置されるものと、
前記第一電極と前記第二電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第一ガラス層と、
前記第二電極と前記第三電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第二ガラス層と、を備え、
前記第一電極と前記第一ガラス層とが、直ちに又は導電性粘着層を介して互いに接して紫外線を反射する第一反射鏡を構成し、
前記第三電極と前記第二ガラス層とが、直ちに又は導電性粘着層を介して互いに接して紫外線を反射する第二反射鏡を構成する
プラズマ発生装置。

【請求項23】

請求項２２に記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が流れるための流路と、を備える
気体浄化装置

【請求項24】

前記第二電極の延びる方向と前記流路の延びる方向とが互いに交わるように配置される請求項２３に記載の気体浄化装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プラズマ発生装置及びこれを利用することにより室内の空気その他の気体を浄化する気体浄化装置等に関するものである。

【背景技術】

【0002】

本発明者は、プラズマと触媒とを融合させた技術（Plasma Assisted Catalytic Technology，ＰＡＣＴ）、すなわち、プラズマの作用と触媒の作用とを相乗的に利用して気体を浄化する技術を開発し（特許文献１）、以来、当該技術について研究を重ねてきた（例えば、特許文献２、特許文献３等）。

【0003】

当該技術は、常温かつ大気圧下においてプラズマを発生させ、オゾンその他のラジカルを発生させるとともに、触媒を活性化させることによって、気体中に含まれる有害物質を酸化分解し、あるいはこれを還元分解し、もって当該気体を効率的に浄化するものである（特許文献２）。すなわち、当該技術は、プラズマ励起と触媒活性の両効果を時空間的に共存させるものである。

【0004】

さらに、本発明者らが当該技術を使用してウイルスを不活性化させることができるか否かについて試験を行ったところ、当該技術がウイルスを不活性化させるための有効な手段となることが示された（非特許文献１）。

【0005】

ところで、ウイルスの感染経路として、接触感染、飛沫感染又は飛沫核感染（いわゆる「空気感染」）等の種類があるところ、現下の新型コロナウイルス感染症（COVID-19）の病原体であるコロナウイルス（SARS-CoV-2。以下単に「新型コロナウイルス」という。）については、接触感染及び飛沫感染の蓋然性が報告されているほか、飛沫核感染の可能性も指摘されている。

【0006】

いずれにせよ、新型コロナウイルスを含むウイルスについて、飛沫感染のうち、空気中で浮遊する微小化した飛沫を介したもの（いわゆる「エアロゾル感染」ないし「マイクロ飛沫感染」）の可能性を否定することができない限り、室内の空気中を浮遊するウイルスの量を可能な限り減少させることが求められている。

【0007】

取り分け、新型コロナウイルスのうち、突然変異をしたものの一部、例えば、デルタ株（B.1.617.2）等にあっては、従来のものに比してより少ないウイルスの量をもって感染が成立することが報告されており、その一因として、従来のものに感染するか、又は従来のものに向けられたｍＲＮＡワクチンを接種することにより液性免疫が誘導された場合であっても、突然変異をしたものの一部に対しては、当該液性免疫が十分な効果を奏しないおそれが指摘される中、今後も更なる突然変異の可能性を否定することができない。

【0008】

このため、新型コロナウイルスの突然変異に対応することができるワクチン及び治療薬の開発が急がれる中、これらの開発とともに、日常生活においても、室内の空気中に浮遊するウイルスの量を可能な限り減少させることが求められている。

【0009】

そこで、従来の空気浄化装置のうちプラズマ発生装置を利用するものについてみると、例えば、「放電電極の少なくとも一部が誘電体で覆われた電極パネルを積層した構造を有し、隣接する前記電極パネル間の隙間に気体を流して電圧を印加することによりプラズマを発生させるプラズマパネル積層体を備えるプラズマ発生器と、前記プラズマ発生器の下流側に配設され、オゾンを分解する触媒を触媒担体に担持させてなるオゾンフィルタとを備えたことを特徴とする空気清浄器」がある（特許文献４の段落［０００８］。以下この空気清浄器を「従来の空気浄化装置」という。）。

【0010】

そして、従来の空気浄化装置によれば、「気体がプラズマ発生器の電極パネル間の隙間を通過する際に、誘電体バリア放電による電撃により、……、生物微粒子であるウイルスが不活性化される」（特許文献４の段落［０００９］）という。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特公平８－２２３６７号公報

【特許文献2】特開２０１１－５０９２９号公報（特許第５４７９８２６号公報）

【特許文献3】特開２０１２－３４７６０号公報（特許第５６９７０７５号公報）

【特許文献4】特開２０１８－１１０６４８号公報

【非特許文献】

【0012】

【非特許文献1】The Journal of Veterinary Medical Science 80(9):1459-1462,2018

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

プラズマは、一般に、可視光線その他の電磁波を発するものであるところ、空気は窒素を含むことから、空気のプラズマは窒素のプラズマを含むことになる。

【0014】

そして、窒素のプラズマは、可視光線（電磁波のうち波長が４００～８００ｎｍの範囲にあるものをいう。）を発するほか、紫外線（電磁波のうち波長が１～４００ｎｍの範囲にあるものをいう。）のうち、近紫外線（電磁波のうち波長が２００～４００ｎｍの範囲にあるものをいう。）、特に波長が３００～３８０ｎｍの範囲にあるものを発する。

【0015】

ところで、紫外線にウイルスを不活性化させる働きがあることが知られているところ、この点に関し、従来の空気浄化装置についてみると、次のとおりである。

【0016】

従来の空気浄化装置にあっては、誘電体として、セラミックス、特に酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）からなるものが採用されている（特許文献４の段落［００１１］）。

【0017】

しかしながら、酸化アルミニウムの有する紫外線反射率は十分なものではなく、また、酸化アルミニウムからなる表面が紫外線の照射を受け続けるうちに変色することに伴って紫外線反射率が更に低減する、との問題がある。

【0018】

同様に、誘電体以外の部分、例えば、ハウジングについてみても、ステンレスからなるものが採用されており（同段落［００２３］）、その紫外線反射率は、酸化アルミニウムに比して、更に低いものとなっている。

【0019】

このため、従来の空気浄化装置にあっては、窒素のプラズマが発する紫外線が誘電体又はハウジングの表面に衝突した場合において、その少なくない部分が反射されることなく吸収されてしまい、紫外線の利用に損失が生じる結果、紫外線により不活性化させることができるウイルスの量を十分なものとすることができないおそれがある。

【0020】

そこで、本発明は、誘電体バリア放電によりプラズマを発生させるとともに、プラズマが発する紫外線その他の電磁波を効率的に利用することを課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0021】

本発明は、課題を解決するための手段として、以下の構成を有する。

【0022】

［１］
第一電極と、
前記第一電極との間に距離を隔てて配置される第二電極と、
前記第一電極と前記第二電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第一ガラス層と、
前記第一電極と前記第一ガラス層との間に配置される第一金属膜層であって、前記第一電極と直ちに又は導電性粘着層を介して接するとともに、前記第一ガラス層と直ちに又は導電性粘着層を介して接するものと、を備える
プラズマ発生装置。

【0023】

［２］
前記第一電極と前記第一金属膜層との間に配置される第一電極側導電性粘着層と、前記第一ガラス層と前記第一金属膜層との間に配置される第一ガラス層側導電性粘着層と、を備える
上記［１］に記載のプラズマ発生装置。

【0024】

［３］
前記第一金属膜層が、前記第一電極と前記第一電極側導電性粘着層を介して接する第一電極側金属膜と、前記第一ガラス層と前記第一ガラス層側導電性粘着層を介して接する第一ガラス層側金属膜と、の組み合わせからなる
上記［２］に記載のプラズマ発生装置。

【0025】

［４］
前記第二電極との間に距離を隔てて配置される第三電極であって、前記第一電極との間に前記第二電極を挟んで配置されるものと、
前記第二電極と前記第三電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第二ガラス層と、
前記第三電極と前記第二ガラス層との間に配置される第二金属膜層であって、前記第三電極と直ちに又は導電性粘着層を介して接するとともに、前記第二ガラス層と直ちに又は導電性粘着層を介して接するものと、を備える
上記［１］～［３］のいずれかに記載のプラズマ発生装置。

【0026】

［５］
前記第三電極と前記第二金属膜層との間に配置される第三電極側導電性粘着層と、前記第二ガラス層と前記第二金属膜層との間に配置される第二ガラス層側導電性粘着層と、を備える
上記［４］に記載のプラズマ発生装置。

【0027】

［６］
前記第二金属膜層が、前記第三電極と前記第三電極側導電性粘着層を介して接する第三電極側金属膜と、前記第二ガラス層と前記第二ガラス層側導電性粘着層を介して接する第二ガラス層側金属膜と、の組み合わせからなる
上記［５］に記載のプラズマ発生装置。

【0028】

［７］
前記第一電極と前記第三電極とが、それぞれ板状の銅からなるものであり、
前記第二電極が、棒状、雄螺子状若しくは螺旋状のチタンからなるものであるか、又は棒状の金属からなり、線状の金属若しくはその酸化物であって、触媒として作用するものが螺旋状に巻き付けられたものであり、
前記第一ガラス層と前記第二ガラス層とが、それぞれ板状の石英ガラス又はホウケイ酸ガラスからなるものであり、
前記第一金属膜層と前記第二金属膜層とが、それぞれアルミニウム若しくは銀の箔からなるものであるか、又はそれぞれアルミニウム若しくは銀の蒸着膜からなるものである
上記［４］～［６］のいずれかに記載のプラズマ発生装置。

【0029】

［８］
前記第一ガラス層、前記第二電極及び前記第二ガラス層のそれぞれとの間に空間を隔てて配置される第四電極であって、前記第一ガラス層との間に前記第二電極を挟むことなく配置されるとともに、前記第三ガラス層との間に前記第二電極を挟むことなく配置されるものを更に備え、
前記第四電極が、棒状、雄螺子状若しくは螺旋状のチタンからなるものであるか、又は棒状の金属からなり、線状の金属若しくはその酸化物であって、触媒として作用するものが螺旋状に巻き付けられたものである
上記［４］～［７］のいずれかに記載のプラズマ発生装置。

【0030】

［９］
上記［１］～［８］のいずれかに記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が流れるための流路と、を備える
気体浄化装置。

【0031】

［１０］
前記第二電極の延びる方向と前記流路の延びる方向とが互いに交わるように配置される
上記［９］に記載の気体浄化装置。

【0032】

［１１］
オゾンを分解する触媒及びこれを保持する担体からなる第一フィルタを備え、
前記第一フィルタが、前記流路のうち、前記第二電極より下流側に配置され、前記第一電極と前記第三電極との間に配置され、かつ、前記第一電極と接するとともに、前記第三電極と接する
上記［９］又は［１０］に記載の気体浄化装置。

【0033】

［１２］
前記第一電極のうち前記第二電極と対向する側にある表面が、
前記第一金属膜層と直ちに又は導電性粘着層を介して接する部分である第一部分と、
前記第一フィルタと接する部分である第二部分と、
前記第一部分と前記第二部分との間にあって、露出する部分である第三部分と、
を備えるとともに、
前記第三電極のうち前記第二電極と対向する側にある表面が、
前記第二金属膜層と直ちに又は導電性粘着層を介して接する部分である第一部分と、
前記第一フィルタと接する部分である第二部分と、
前記第一部分と前記第二部分との間にあって、露出する部分である第三部分と、
を備える
上記［１１］に記載の気体浄化装置。

【0034】

［１３］
カルシウム及びこれを保持する担体からなる第二フィルタを備え、
前記第二フィルタが、前記流路のうち、前記第二電極より下流側に配置される
上記［９］～［１２］のいずれかに記載の気体浄化装置。

【0035】

［１４］
酸化第二鉄及びこれを保持する担体からなる第三フィルタを備え、
前記第三フィルタが、前記流路のうち、前記第二電極より下流側に配置される
上記［９］～［１３］のいずれかに記載の気体浄化装置。

【0036】

［１５］
上記［９］～［１４］のいずれかに記載の気体浄化装置と、
上記［９］～［１４］のいずれかに記載の他の気体浄化装置と、を備え、
前記気体浄化装置の前記第一電極と前記他の気体浄化装置の前記第三電極とが電気的に接続されるか、又は前記気体浄化装置の前記第二電極と前記他の気体浄化装置の前記第二電極とが電気的に接続されることにより、前記気体浄化装置と前記他の気体浄化装置とが垂直的に又は水平的に結合した構造を有する
気体浄化装置。

【0037】

［１６］
上記［１］～［８］のいずれかに記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が通過するための流路と、
前記流路に沿って風を送るための送風装置と、を備える
気体浄化装置。

【0038】

［１７］
上記［１］～［３］のいずれかに記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が流れるための流路と、を備え、
前記第一電極と前記第一ガラス層とが、それぞれ環状のものであり、
前記第二電極が、羽根状のものであって、回転軸に連結されるものである
気体浄化装置。

【0039】

［１８］
二以上の通風孔を有する有孔鏡を備え、
前記有孔鏡が、前記流路のうち、前記第二電極より上流側に配置される
上記［９］～［１７］のいずれかに記載の気体浄化装置。

【0040】

［１９］
床面を走行するための走行手段と、
前記走行手段を駆動するための駆動手段と、
前記駆動手段を自動制御するための自動制御手段と、を備える
上記［９］～［１８］のいずれかに記載の気体浄化装置。

【0041】

［２０］
上記［１］～［８］のいずれかに記載のプラズマ発生装置と、活性化しようとする気体が流れるための流路と、を備える気体活性化装置と、
前記気体活性化装置に向けて風を送るための送風装置と、を備える
固体浄化装置。

【0042】

［２１］
室内の空気を循環させながら調節する空気調節装置に上記［９］～［１５］のいずれかに記載の気体浄化装置を取り付けることにより、室内の空気を循環させながら、これを調整するとともに浄化する空気調整浄化装置を製造する方法。

【0043】

［２２］
第一電極と、
前記第一電極との間に距離を隔てて配置される第二電極と、
前記第二電極との間に距離を隔てて配置される第三電極であって、前記第一電極との間に前記第二電極を挟んで配置されるものと、
前記第一電極と前記第二電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第一ガラス層と、
前記第二電極と前記第三電極との間に配置されるとともに、前記第二電極との間に空間を隔てて配置される第二ガラス層と、を備え、
前記第一電極と前記第一ガラス層とが、直ちに又は導電性粘着層を介して互いに接して紫外線を反射する第一反射鏡を構成し、
前記第三電極と前記第二ガラス層とが、直ちに又は導電性粘着層を介して互いに接して紫外線を反射する第二反射鏡を構成する
プラズマ発生装置。

【0044】

［２３］
上記［２２］に記載のプラズマ発生装置と、
浄化しようとする気体が流れるための流路と、を備える
気体浄化装置

【0045】

［２４］
前記第二電極の延びる方向と前記流路の延びる方向とが互いに交わるように配置される上記［２３］に記載の気体浄化装置。

【発明の効果】

【0046】

よって、本発明は、誘電体バリア放電によりプラズマを発生させるとともに、プラズマが発する紫外線その他の電磁波を効率的に利用することができる、との効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【0047】

【図1】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の正面図（ａ）及び同装置の部分拡大図（ｂ）である。

【図2】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用図（ａ）及び比較例に係るプラズマ発生装置の作用図（ｂ）である。

【図3】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の側面図（ａ）及び同装置の作用図（ｂ）である。

【図4】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の斜視図である。

【図5】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の斜視部分断面図である。

【図6】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用図（ａ）及び比較例に係るプラズマ発生装置の作用図（ｂ）である。

【図7】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用図である。

【図8】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の他の態様の斜視図（ａ１）及び斜視断面図（ａ２）の組み合わせ（ａ）、同装置の他の態様の斜視図（ｂ１）及び斜視断面図（ｂ２）の組み合わせ（ｂ）並びに本発明の第七実施形態に係るプラズマ発生装置の斜視図（ｃ１）及び斜視断面図（ｃ２）の組み合わせ（ｃ）である。

【図9】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置等と関係する第二電極の他の態様の正面図（ａ）、同（ｂ）及び同（ｃ）並びに同電極の他の態様の部分断面正面図（ｄ）並びに同電極の他の態様の部分拡大部分断面正面図（ｅ）である。

【図10】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の正面図（ａ）及び同装置の部分拡大図（ｂ）である。

【図11】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の背面図（ａ）及び同装置の部分拡大図（ｂ）である。

【図12】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の断面図（ａ）及び同装置の作用図（ｂ）である。

【図13】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の他の態様の断面図（ａ）及び同装置の他の態様の断面図（ｂ）である。

【図14】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の他の態様の断面図（ａ）及び同装置の他の態様の断面図（ｂ）である。

【図15】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の斜視図である。

【図16】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の斜視図である。

【図17】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の斜視断面図である。

【図18】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置等と関係する第一フィルタの斜視図（ａ）並びに同フィルタの部分拡大図（ｂ）及び同（ｃ）である。

【図19】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の分解斜視図である。

【図20】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の分解正面図（ａ）並びに同装置の分解断面図（ｂ）及び同（ｃ）である。

【図21】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の分解平面図（ａ）、同（ｂ）、同（ｃ）及び同（ｄ）である。

【図22】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の分解底面図（ａ）、同（ｂ）、同（ｃ）及び同（ｄ）である。

【図23】本発明の第一実施形態に係る複数の気体浄化装置の組立過程図（ａ）、同装置の部分拡大図（ｂ）及び同装置の組立完了図（ｃ）である。

【図24】本発明の第一実施形態に係る複数の気体浄化装置の正面図（ａ）並びに同装置の部分拡大図（ｂ）及び同（ｃ）である。

【図25】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の背面図である。

【図26】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の断面図である。

【図27】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の作用図である。

【図28】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の斜視図である。

【図29】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の斜視部分断面図である。

【図30】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の斜視部分断面図である。

【図31】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を利用する本発明の第三実施形態に係る自走式気体浄化装置の斜視図である。

【図32】本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を利用する本発明の第三実施形態に係る自走式気体浄化装置の斜視部分断面図である。

【図33】本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置の正面図（ａ）及び同装置の背面図（ｂ）である。

【図34】本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置の斜視図（ａ）及び同（ｂ）である。

【図35】本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置の分解斜視図である。

【図36】本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置の分解斜視図である。

【図37】本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置と密閉容器との組み合わせの斜視図である。

【図38】本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置と密閉容器との組み合わせの作用図である。

【図39】本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を利用する本発明の第六実施形態に係る空気調節浄化装置の斜視断面図（ａ）及び同空気調節浄化装置の部分拡大図（ｂ）である。

【図40】本発明の第八実施形態に係るプラズマ発生装置を利用する本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の斜視図（ａ）、同気体浄化装置の斜視断面図（ｂ）及び同装置の断面図（ｃ）である。

【図41】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用図（ａ）及び同（ｂ）である。

【図42】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の他の態様の部分拡大図（ａ）、同（ｂ）、同（ｃ）、同（ｄ）及び同（ｅ）である。

【図43】本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の他の態様の部分拡大図（ａ）、同（ｂ）、同（ｃ）、同（ｄ）及び同（ｅ）である。

【発明を実施するための形態】

【0048】

本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら、説明する。本発明を実施するための形態として、例えば、第一実施形態と第二実施形態と第三実施形態と第四実施形態と第五実施形態と第六実施形態と第七実施形態と第八実施形態とがある。

【0049】

［図面の詳細な説明］
図面は、図１から図４３まである。これらの詳細について説明すると、以下のとおりである。図１から図２４（図８（ｃ）を除く。）まで及び図４１から図４３までは、本発明の第一実施形態を示す図面であり、図２５から図３０までは本発明の第二実施形態を示す図面であり、図３１及び図３２は本発明の第三実施形態を示す図面であり、図３３から図３８までは本発明の第四実施形態及び第五実施形態を示す図面であり、図３９は本発明の第六実施形態を示す図面であり、図８（ｃ）は本発明の第七実施形態を示す図面であり、図４０は本発明の第八実施形態を示す図面である。

【0050】

図１は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の正面を示す正面図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｂ）と、からなるものである。

【0051】

図２は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用を示す作用図（ａ）と、比較例に係るプラズマ発生装置の作用を示す作用図（ｂ）と、からなるものである。

【0052】

図３は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の側面を示す側面図（ａ）と、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用を示す作用図（ｂ）と、からなるものである。

【0053】

図４は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の正面、平面及び右側面を示す斜視図（ａ）である。この図において、斜視部分断面図である図５のための切断線を一点鎖線によりａ－ａ線として示す。

【0054】

図５は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置を部分的に図４中のａ－ａ線に沿って切断したものの正面、平面及び右側面を示す斜視部分断面図である。この図において、図６及び図７において省略する部分を示す省略線を波状の一点鎖線により示す。

【0055】

図６は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の作用を示す作用図（ａ）と、比較例に係るプラズマ発生装置の作用を示す作用図（ｂ）と、からなるものである。

【0056】

図７は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置のうち、対向する一対の反射鏡を有するものの作用を示す作用図である。

【0057】

図８は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の他の態様を示す斜視図（ａ１）及び斜視断面図（ａ２）の組み合わせ（ａ）、同装置の他の態様の斜視図（ｂ１）及び斜視断面図（ｂ２）の組み合わせ（ｂ）並びに本発明の第七実施形態に係るプラズマ発生装置の斜視図（ｃ１）及び斜視断面図（ｃ２）の組み合わせ（ｃ）からなるものである。（ａ）は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置で環状の第一電極と棒状の第二電極とを備えるものを示す斜視図（ａ１）と、同装置を（ａ１）中のｂ－ｂ線に沿って切断したものを示す斜視断面図（ａ２）と、の組み合わせである。（ｂ）は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置で板状の第一電極と棒状の第二電極とを備えるものを示す斜視図（ｂ１）と、同装置を（ｂ１）中のｃ－ｃ線に沿って切断したものを示す斜視断面図（ｂ２）と、の組み合わせである。（ｃ）は、本発明の第七実施形態に係るプラズマ発生装置を示す斜視図（ｃ１）と、同装置を（ｃ１）中のｄ－ｄ線に沿って切断したものを示す斜視断面図（ｃ２）と、の組み合わせである。

【0058】

図９は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置等と関係する第二電極の他の態様を示す図面（ａ）、同（ｂ）、同（ｃ）、同（ｄ）及び同（ｅ）からなるものである。（ａ）は、棒状の第二電極を示す正面図である。（ｂ）は、螺旋状の第二電極を示す正面図である。（ｃ）は、棒状の第二電極と螺旋状の触媒層との組み合わせを示す正面図である。（ｄ）は、棒状の第二電極と環状の触媒層との組み合わせを示す正面図であって、その一部分の断面を併せて示す部分断面図でもある。（ｅ）は、雄螺子状の第二電極とその溝部に配置された触媒層との組み合せの一部分を拡大するとともに、他の部分を省略して示す部分拡大正面図であって、当該一部分のうち更にその一部分の断面を併せて示す部分断面図でもある。

【0059】

図１０は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の正面を示す正面図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｂ）と、からなるものである。この図において、断面図である図１２及び斜視断面図である図１７のための切断線を一点鎖線によりｅ－ｅ線として示す。以下、図１１、図１５及び図１６において同じ。

【0060】

図１１は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の背面を示す背面図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｂ）と、からなるものである。

【0061】

図１２は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を図１０（ａ）中のｅ―ｅ線に沿って切断したものを示す断面図（ａ）と、同装置の作用を示す作用図（ｂ）と、からなるものである。この図において、浄化しようとする気体（本発明の第三実施形態に係る気体活性化装置において、「活性化しようとする気体」と読み替えて準用する場合を含む。）が流れる方向を黒矢印付きの破線により示す。以下、図１３、図１４、図１５、図１６、図１７、図１８、図２６、図２７、図２８、図２９、図３０、図３１、図３２、図３４、図３５、図３６、図３８、図３９及び図４０において同じ。また、この図において、熱が伝わる方向を白矢印付きの破線により示す。以下、図２１、図２２及び図４１において同じ。

【0062】

図１３は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置で二本の第二電極を備えるものを図１０（ａ）中のｅ―ｅ線に準ずる切断線に沿って切断したものを示す断面図（ａ）と、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置でフィルタを備えないものを図１０（ａ）中のｅ―ｅ線に準ずる切断線に沿って切断したものを示す断面図（ｂ）と、からなるものである。

【0063】

図１４は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置で第一フィルタと第二フィルタとを備えるものを図１０（ａ）中のｅ―ｅ線に準ずる切断線に沿って切断したものを示す断面図（ａ）と、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置で第一フィルタと第三フィルタとを備えるものを図１０（ａ）中のｅ―ｅ線に準ずる切断線に沿って切断したものを示す断面図（ｂ）と、からなるものである。

【0064】

図１５は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の正面、平面及び右側面を示す斜視図である。この図において、斜視断面図である図１７のための切断線を一点鎖線によりｆ－ｆ線として示す。以下、図１６において同じ。また、この図において、第二電極が延びる方向を白矢印付きの破線により示す。以下、図１６、図１７及び図４０（ｂ）において同じ。

【0065】

図１６は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の背面、左側面及び平面を示す斜視図である。

【0066】

図１７は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を図１５及び図１６中のｅ―ｅ線に沿って切断し、更に図１５及び図１６中のｆ―ｆ線に沿って切断したものの正面、平面及び右側面を示す斜視断面図である。

【0067】

図１８は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置等と関係する第一フィルタの正面、平面及び右側面を示す斜視図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｂ）と、（ｂ）図中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｃ）と、からなるものである。

【0068】

図１９は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を分解したものの正面、平面及び右側面を示す斜視図である。なお、図中の一点鎖線は、切断線を示す場合を除き、配置における要素間又は部分間の対応関係を示すものである。以下、図２０から図２２までにおいて同じ。また、図中のギリシャ文字α，β，γ，δも、配置における要素間又は部分間の対応関係を示すものである。

【0069】

図２０は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を分解したものの正面を示す正面図（ａ）と、同装置を（ａ）中のｇ―ｇ線に沿って切断したものを示す断面図（ｂ）と、同装置を（ａ）中のｈ―ｈ線に沿って切断したものを示す断面図（ｃ）と、からなるものである。

【0070】

図２１は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を分解したものの底面を示す底面図であって、第一電極を示す部分（ａ）と、第一金属膜層を示す部分（ｂ）と、第一ガラス層を示す部分（ｃ）と、第二電極、第一スペーサ及び第二スペーサ並びに第一フィルタを示す部分（ｄ）と、からなるものである。なお、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、透過図でもある。

【0071】

図２２は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を分解したものの底面を示す底面図であって、第二電極、第一スペーサ及び第二スペーサ並びに第一フィルタを示す部分（ａ）と、第二ガラス層を示す部分（ｂ）と、第二金属膜層を示す部分（ｃ）と、第三電極を示す部分（ｄ）と、からなるものである。なお、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は、透過図でもある。

【0072】

図２３は、本発明の第一実施形態に係る複数の気体浄化装置を互いに組み合わせる過程にあるものの正面、平面及び右側面を示す斜視図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｂ）と、本発明の第一実施形態に係る複数の気体浄化装置を互いに組み合わせたものの正面、平面及び右側面を示す斜視図（ｃ）と、からなるものである。

【0073】

図２４は、本発明の第一実施形態に係る複数の気体浄化装置を互いに組み合わせたものの正面を示す正面図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図であって、連結手段を強調するもの（ｂ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図であって、一部を透過させて第二電極を強調するもの（ｃ）と、からなるものである。

【0074】

図２５は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の背面を示す背面図である。この図において、断面図である図２６のための切断線を一点鎖線によりｉ－ｉ１線として示すとともに、斜視部分断面図である図２９及び図３０のための切断線を一点鎖線によりｉ―ｉ２線として示す。以下、図２８において同じ。また、この図において、第二電極が回転する方向を白矢印付きの破線により示す。以下、図２８及び図２９において同じ。

【0075】

図２６は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を図２５中のｉ－ｉ１線に沿って切断したものを示す断面図である。

【0076】

図２７は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の作用を示す作用図である。この図において、紫外線が進む方向を白矢印付きの破線により示す。

【0077】

図２８は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置の背面、左側面及び平面を示す斜視図である。

【0078】

図２９は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を図２５及び図２８中のｉ―ｉ２線に沿って切断したものの背面、左側面及び平面を示す斜視部分断面図である。

【0079】

図３０は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を図２５及び図２８中のｉ―ｉ２線に沿って切断したものの正面、左側面及び平面を示す斜視部分断面図である。

【0080】

図３１は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を利用する本発明の第三実施形態に係る自走式気体浄化装置の正面、右側面及び底面を示す斜視図である。この図において、斜視部分断面図である図３２のための切断線を一点鎖線によりｊ－ｊ線として示す。

【0081】

図３２は、本発明の第二実施形態に係る気体浄化装置を利用する本発明の第三実施形態に係る自走式気体浄化装置を図３１中のｊ－ｊ線に沿って切断したものの正面、右側面及び底面を示す斜視部分断面図である。

【0082】

図３３は、本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置の正面を示す正面図（ａ）と、同固体浄化装置の背面を示す背面図（ｂ）と、からなるものである。

【0083】

図３４は、本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置の背面、底面及び左側面を示す斜視図（ａ）と、同固体浄化装置の正面、平面及び右側面を示す斜視図（ｂ）と、からなるものである。

【0084】

図３５は、本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置を分解したものの正面、平面及び右側面を示す斜視図である。

【0085】

図３６は、本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置を分解したものの背面、右側面及び底面を示す斜視図である。

【0086】

図３７は、本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置及び密閉容器の組み合わせの正面、右側面及び底面を示す斜視図である。なお、密閉容器の一部を透過させて、密閉容器の内部の状態を示している。以下、図３８において同じ。また、この図において、密閉容器の扉が開閉することを白矢印付き破線により示す。

【0087】

図３８は、本発明の第四実施形態に係る気体活性化装置を利用する本発明の第五実施形態に係る固体浄化装置及び密閉容器の組み合わせの作用を示す作用図である。

【0088】

図３９は、本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置を利用する本発明の第六実施形態に係る空気調節浄化装置を水平面に対して垂直に交わる平面で切断したものの正面、右側面及び底面を示す斜視断面図（ａ）と、（ａ）中の破線で囲んだ部分を拡大して示す部分拡大図（ｂ）と、からなるものである。

【0089】

図４０は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置に代えて本発明の第八実施形態に係るプラズマ発生装置を利用する本発明の第一実施形態に係る気体浄化装置の正面、平面及び右側面を示す斜視図（ａ）で、斜視断面図である（ｂ）及び断面図である（ｃ）のための切断線を一点鎖線によりｋ－ｋ線として示すものと、同気体浄化装置を（ａ）中のｋ－ｋ線に沿って切断したものの正面、平面及び右側面を示す斜視断面図（ｂ）と、同装置を（ａ）中のｋ－ｋ線に沿って切断したものの断面図（ｃ）である。

【0090】

図４１は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置でより好ましい態様のものの作用を示す作用図（ａ）と、同装置で当該より好ましい態様のものと対比するためのものの作用を示す作用図（ｂ）と、からなるものである。（ａ）は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置でより好ましい態様のものが熱を受けてある状態（ａ１）から他の状態（ａ２）へと変化することを示すものである。（ｂ）は、同装置で当該より好ましい態様のものと対比するためのものが熱を受けてある状態（ｂ１）から他の状態（ｂ２）へと変化することを示すものである。なお、この図において、（ａ１）及び（ａ２）間並びに（ｂ１）及び（ｂ２）間の層と層との対応関係を破線により示す。

【0091】

図４２は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の他の態様の一部を拡大して示す部分拡大図（ａ）と、同（ｂ）と、同（ｃ）と、同（ｄ）と、同（ｅ）と、からなるものである。（ａ）は、拡大されたある部分（ａ１）と拡大された他の部分（ａ２）との組み合わせであり、（ｂ）から（ｅ）もこの例による。

【0092】

図４３は、本発明の第一実施形態に係るプラズマ発生装置の他の態様の一部を拡大して示す部分拡大図（ａ）と、同（ｂ）と、同（ｃ）と、同（ｄ）と、同（ｅ）と、からなるものである。（ａ）は、拡大されたある部分（ａ１）と拡大された他の部分（ａ２）との組み合わせであり、（ｂ）から（ｅ）もこの例による。

【第一実施形態】

【0093】

［気体浄化装置１］
気体浄化装置１は、室内の空気その他の浄化しようとする気体Ｇを、内部に入れて浄化してから外部に出すことにより、浄化した気体を得るためのものである。すなわち、気体浄化装置１は、気体浄化機能を有するものである。

【0094】

なお、この明細書にいう「浄化しようとする気体Ｇ」には、浄化しようとする気体そのもののほか、これを現に浄化した気体と、これらの間の状態にある気体と、を含むことがあるものとする。このことは、図面においても同様である。

【0095】

浄化しようとする気体として、例えば、室内の空気のほか、酸素マスク又は人工呼吸器における感染症患者からの呼気、空気調節装置からの冷媒ガス、内燃機関からの排気ガスが挙げられる。

【0096】

この明細書にいう「室内」には、住屋、病院、学校、店舗、事業所、工場、倉庫その他の土地に定着している建物の室内のほか、自動車、トロリーバス、路面電車、鉄道車両、船舶、航行機その他の人が乗ることができる機器の室内を含むものとする。なお、ここでいう「自動車」として、例えば、バス、タクシーその他の事業用自動車、自家用自動車が該当し、ここでいう「航空機」として、例えば、飛行機、回転翼航空機、滑空機、飛行船が該当する。また、ここでいう「鉄道車両」には、モノレール、自動案内軌条式旅客輸送システム、リニアモーターカーを含むものとする。

【0097】

気体浄化装置１は、全体として、平板状のものであり、例えば、ハーモニカのように、人の掌に乗せることができる程度の大きさのものであることが好ましい。もっとも、気体浄化装置１は、全体として、円筒状のものであってもよい。

【0098】

気体浄化装置１が平板状のものである場合にあっては、気体浄化装置１の大きさ等は、次のとおりである。

【0099】

気体浄化装置１の幅は、４０～１６０ｍｍであることが好ましく、６０～１４０ｍｍであることがより好ましく、８０～１２０ｍｍであることが更により好ましい。

【0100】

気体浄化装置１の高さは、４～１６ｍｍであることが好ましく、６～１４ｍｍであることがより好ましく、８～１２ｍｍであることが更により好ましい。

【0101】

気体浄化装置１の奥行きは、２０～８０ｍｍであることが好ましく、３０～７０ｍｍであることがより好ましく、４０～６０ｍｍであることが更により好ましい。

【0102】

気体浄化装置１の重さは、５～３５ｇであることが好ましく、１０～３０ｇであることがより好ましく、１５～２５ｇであることが更により好ましい。

【0103】

このように、気体浄化装置１は、小型かつ軽量のものであるため、例えば、室内の空気を循環させながら調整する空気調節装置に事前又は事後に容易に取り付けることができ、当該空気調節装置をして空気浄化機能を有するものとすることができる。さらに、自走式装置に取り付けて、その機能を拡大することもできる。もっとも、気体浄化装置１と流路に沿って風を送るための送風装置とを組み合わせて、気体浄化機能と送風機能とを併せて有する気体浄化装置とすることもできる。

【0104】

気体浄化装置１は、プラズマ発生装置１０と、流路２０と、を少なくとも備えるものである。これらのほか、気体浄化装置１は、例えば、フィルタ３０を更に備えるものであることが好ましいが、フィルタ３０を備えるものでなくてもよい。

【0105】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０］
プラズマ発生装置１０は、プラズマＰを発生させるための装置として、気体浄化装置１の一部を構成するためのものである。

【0106】

プラズマ発生装置１０は、電極１１とガラス層１２と金属膜層１３との組み合わせからなるものである。すなわち、プラズマ発生装置１０は、例えば、一の電極１１及びこれと対をなす他の電極１１とからなる一対の電極Ｅと、ガラス層１２と、金属膜層１３と、を備えるものである。ここで、プラズマ発生装置１０は、第一の一対の電極Ｅ１と、第二の一対の電極Ｅ２と、一対のガラス層１２，１２と、一対の金属膜層１３，１３とを備えるものであることが好ましい。

【0107】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１］
電極１１は、電気伝導体からなり、互いの間に距離を隔てて配置され、これと対をなす他の電極１１と併せて、一対の電極Ｅを構成するためのものである。

【0108】

一対の電極Ｅは、所定の電圧が加えられると放電し、これらの間にある空間ＳにおいてプラズマＰを発生させる。

【0109】

電極１１は、電気伝導体のうち、例えば、金属からなるものが好ましいが、このほか、ステンレス（ＳＵＳ）その他の合金からなるものであってもよい。

【0110】

一対の電極Ｅにあっては、一の電極１１と、これと対をなす他の電極１１とが、互いの間にある空間Ｓにおいて、絶縁体である気体（以下単に「気体」ということがあるほか、特に「もとの気体」ということがある。）を挟んで配置される。すなわち、空間Ｓには、気体以外の物質（固体の粒子又は液体の粒子のいずれも除く。以下同じ。）が存在しないため、気体が存在することができる。

【0111】

一対の電極Ｅ間に電位差を与えて絶縁破壊を生じさせると放電が始まり、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに存在する気体中を電流が流れるようになる。すなわち、当該気体を構成する原子又は分子が電離し、又は当該気体を構成する分子が解離を経て若しくは解離と同時に電離すること等によって、プラズマＰが発生する。

【0112】

なお、プラズマＰは、電離した原子又は分子及び電離した電子のほか、当該気体を構成する分子から解離した原子であって、電離することなく中性のままであるもの、電離した電子が当該気体を構成する原子又は分子のうち電離することなく中性のままであるものと衝突することによって生じた陰イオン、同衝突等によって励起した原子又は分子その他の活性を有するものを含むものでもある。

【0113】

プラズマＰは、大気圧下において発生させたものであることが好ましく、かつ、常温下において発生させたものであることがより好ましい。もっとも、プラズマＰは、減圧下において発生させたものであってもよく、高温下において発生させたものであってもよい。

【0114】

プラズマＰが発生すると、電離した電子が電離した原子又は分子と再結合する過程又は励起した電子がより低いエネルギー準位に遷移する過程において、電磁波を発するほか、もとの気体以外の他の気体であって、活性を有するもの（以下特に「新たな気体」ということがある。）が新たに生じる等の現象がみられる。

【0115】

プラズマＰが発する電磁波は、例えば、次の場合に紫外線ＵＶを含むものとなる。もとの気体が、窒素（Ｎ_２）であるか、又は窒素（Ｎ_２）を含むものである場合である。もとの気体が空気である場合にあっては、空気は窒素（Ｎ_２）を含む気体であるから、もとの気体が窒素（Ｎ_２）を含むものである場合に当たるため、紫外線ＵＶが発生する。これをより詳しくみると、もとの気体が窒素（Ｎ_２）である場合又は窒素（Ｎ_２）を含むものである場合において、当該もとの気体が発する紫外線ＵＶは、近紫外線のうち、その波長が３００～３８０ｎｍの範囲にあって、そのピーク波長が３３７ｎｍ付近にあるものを含むものとなる。また、このことは、他の気体、例えば、酸素（Ｏ_２）の存在にかかわらず、同様となる。以下もとの気体が窒素（Ｎ_２）である場合又はもとの気体が窒素（Ｎ_２）を含むものである場合（もとの気体が空気である場合を含む。）において「紫外線」というとき、特に近紫外線をいうことがあるものとする。なお、紫外線のうち、近紫外線を利用することによる利益は、プラズマ発生装置１０の作用の項及び気体浄化装置１の作用の項において、それぞれ説明する。

【0116】

これらのほか、もとの気体が、貴ガス、例えば、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）若しくはキセノン（Ｘｅ）であるか、又はこれらのうちのいずれかを含むものである場合にあっても、紫外線が発生する。さらに、もとの気体が、ハロゲンガス、すなわち、フッ素（Ｆ_２）、塩素（Ｃｌ_２）又は臭素（Ｂｒ_２）のうちのいずれかと貴ガスとを含むものである場合にあっても、紫外線ＵＶが発生する。

【0117】

新たな気体は、例えば、次の場合に生じる。第一の場合は、もとの気体の分子から解離した原子がもとの気体の分子と結合する場合であり、例えば、酸素原子（Ｏ）と酸素分子（Ｏ_２）とが結合してオゾン（Ｏ_３）が生じる。第二の場合は、もとの気体の原子のうち励起状態にあるものと基底状態にあるものとが結合する場合であり、例えば、励起状態にあるアルゴン原子（Ａｒ）と基底状態にあるアルゴン原子（Ａｒ）とが結合してアルゴンエキシマ（Ａｒ_２）が生じる。第三に、もとの気体が一の気体と他の気体とを含む気体である場合において、一の気体の原子のうち励起状態にあるものと他の気体の分子から解離した原子とが結合するときであり、例えば、アルゴン原子（Ａｒ）とフッ素原子（Ｆ）とが結合してフッ化アルゴンエキシプレックス（ＡｒＦ）が生じる。

【0118】

さらに、新たな気体がエキシマ又はエキシプレックスである場合にあっては、これらが再びもとの気体へと戻る過程において、更なる紫外線を発生する。

【0119】

以上のとおりであるから、もとの気体が空気である場合にあっては、プラズマＰが発生すると、空気中の窒素のプラズマが紫外線ＵＶを発するほか、空気中の酸素（Ｏ_２）からオゾン（Ｏ_３）が生じる等の現象がみられる。これらのほか、特に酸素（Ｏ_２）からは、各種の活性酸素、例えば、酸素原子、酸素の陰イオンであるスーパーオキシドアニオン、励起した酸素分子である一重項酸素等が発生する。

【0120】

一対の電極Ｅ間における放電は、誘電体を介して行う誘電体バリア放電である。誘電体バリア放電によって、プラズマＰの発生を安定して行うことができるとともに、電極１１の消耗を抑えることもできる。

【0121】

誘電体バリア放電は、交流電圧によるものであることが好ましい。その交流電圧が示す波形は、正弦波、矩形波又は三角波のうち、正弦波であることが好ましい。その交流電圧の示す振幅、すなわち、電圧の最大値は、６～１０ＫＶであることが好ましい。その交流電圧の示す周波数は、５～２５ＫＨｚであることが好ましい。

【0122】

以上のような交流電圧を一対の電極Ｅに加えるための電源として、例えば、ロジー電子株式会社製の電源（型名：LHV-05AC、LHV-10AC、LHV-12AC、LHV-13AC）等を使用することができる。さらに、電源から得られる電圧を所定の電圧に変換するための変圧器を併せて使用することもできる。

【0123】

なお、誘電体層バリア放電を行うための交流電圧は、直流電源から得られた直流電圧を変換して得られたものであってもよく、直流電圧を交流電圧に変換してから一対の電極Ｅに加えるための電源として、例えば、ロジー電子株式会社製の電源（型名：LHV-05DC、LHV-09K-12）等を使用することができる。

【0124】

電極１１として、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとがあるほか、更に第三電極１１ｃがあることが好ましい。これらのほか、電極１１として、第四電極１１ｄ、第五電極（図示しない）、第六電極（図示しない）、第七電極（図示しない）……等があってもよい。

【0125】

一対の電極Ｅは、例えば、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとから構成されるか、又は第二電極１１ｂと第三電極１１ｃとから構成される。

【0126】

一対の電極Ｅが二対ある場合にあっては、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとから第一の一対の電極Ｅ１が構成されるとともに、第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとから第二の一対の電極Ｅ２が構成される。

【0127】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第一電極１１ａ］
第一電極１１ａは、電極１１のうち、第二電極１１ｂと併せて、第一の一対の電極Ｅ１を構成するためのものである。

【0128】

第一電極１１ａは、熱伝導率が高い金属からなるものであることが好ましく、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、タングステン（Ｗ）又は金（Ａｕ）のうちのいずれかからなるものであることがより好ましく、これらのうち、アルミニウム、銅又は銀のうちのいずれかからなるものであることが更により好ましい。

【0129】

これらのほか、第一電極１１ａは、上記金属の中から選ばれる一つを主成分とする合金からなるものであってもよく、ステンレス（ＳＵＳ）からなるものであってもよい。

【0130】

第一電極１１ａの形状は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図８（ａ）、図８（ｂ）、図２０、図２１（ａ）等を参照する。

【0131】

第一電極１１ａは、中身の詰まった立体であって、一対の平らな表面をその表側と裏側とにおいて有するものからなるか、又は一対の曲がった表面をその表側と裏側とにおいて若しくはその内側と外側とにおいて有するものからなる。

【0132】

第一電極１１ａは、板状のものであるか、又は環状のものであることが好ましく、板状のものであることがより好ましい。

【0133】

第一電極１１ａが板状のものである場合にあっては、板状のもののうち、円形、多角形その他の自らと交わらない閉じた曲線からなる平面図形を、当該平面図形と交わる方向に平行に移動させて得られる中身の詰まった立体又はこれに類する立体からなるものであることが好ましく、短辺と長辺とを有する長方形である平面図形を、当該平面図形と垂直に交わる方向に平行移動させて得られる中身の詰まった立体又はこれに類する立体からなるものであることがより好ましい。ここで、このような板状の第一電極１１ａの例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図８（ｂ）、図２０、図２１（ａ）等を参照する。

【0134】

第一電極１１ａが環状のものである場合にあっては、環状のもののうち、長方形である平面図形を、当該平面図形と同一平面上にあり、当該長方形が有する一辺と平行であり、かつ、当該平面図形と交わらない直線を軸として回転させて得られる中身の詰まった立体又はこれに類する立体からなるものであることが好ましく、長辺と短辺とを有する長方形である平面図形を、当該平面図形と同一平面上にあり、当該長方形が有する長辺と平行であり、かつ、当該平面図形と交わらない直線を軸として３６０度回転させて得られる中身の詰まった立体又はこれに類する立体からなるものであることがより好ましい。ここで、このような環状の第一電極１１ａの例として、図８（ａ）を参照する。

【0135】

第一電極１１ａの厚みは、０．２～０．８ｍｍであることが好ましく、０．３～０．７ｍｍであることがより好ましく、０．４～０．６ｍｍであることが更により好ましい。

【0136】

また、第一電極１１ａが板状のものである場合にあっては、第一電極１１ａの厚み以外の大きさは、次のとおりである。

【0137】

第一電極１１ａの幅は、３４～１３６ｍｍであることが好ましく、５１～１１９ｍｍであることがより好ましく、６８～１０２ｍｍであることが更により好ましい。

【0138】

第一電極１１ａの奥行きは、２０～８０ｍｍであることが好ましく、３０～７０ｍｍであることがより好ましく、４０～６０ｍｍであることが更により好ましい。

【0139】

第一電極１１ａと他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0140】

第一電極１１ａは、第二電極１１ｂとの間に距離を隔てて配置される。第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間に、第一ガラス層１２ａと第一金属膜層１３ａとがそれぞれ配置される。第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、第一金属膜層１３ａと直ちに又は第一電極側導電性粘着層１４ａ１を介して接する。第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側とは反対側にある表面は、気体浄化装置１の外部からの電気的接続を容易なものにする観点から、その少なくとも一部又は全部が露出することが好ましい。

【0141】

ここでいう「ある物が、他の物に直ちに接する」とは、ある物の少なくとも一部と他の物の少なくとも一部との間において、互いの間に距離を隔てることなく配置される関係が成立するように、ある物が他の物に対して配置されることをいう。例えば、「ある物が、他の物と直ちに接する」という場合において、当該ある物の少なくとも一部以外の部分と当該他の物の少なくとも一部以外の部分との間に距離があることは妨げられない。また、同様の場合において、当該他の物が、当該ある物の少なくとも一部以外の部分に対応する部分を有しないことも妨げられない。以下同じ。

【0142】

なお、ある物が、他の物と直ちに又は粘着層若しくは接着層を介して接することを単に「ある物が、他の物と接する」ということがある。以下同じ。

【0143】

第一電極１１ａと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１２（ａ）、図１７、図１９、図２０、図２１等を参照する。

【0144】

第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、第一金属膜層１３ａと接する部分である第一部分１１ａ１を備えるほか、第一フィルタ３０ａと接する部分である第二部分１１ａ２を備えることが好ましく、第一部分１１ａ１と第二部分１１ａ２との間にあって、露出する部分である第三部分１１ａ３を備えることがより好ましい。

【0145】

また、第一電極１１ａが板状のものである場合にあっては、第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、第一スペーサ４０ａと接する部分である第四部分１１ａ４と第二スペーサ４０ｂと接する部分である第五部分１１ａ５とを更に備えていてもよい。このとき、第四部分１１ａ４と第五部分１１ａ５とが、互いの間に第一部分１１ａ１と第二部分１１ａ２と第三部分１１ａ３とを挟んで配置されることが好ましく、第一電極１１ａの幅方向における両端に配置されることがより好ましい。

【0146】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第二電極１１ｂ］
第二電極１１ｂは、電極１１のうち、第一電極１１ａと併せて、第一の一対の電極Ｅ１を構成するためのものであるとともに、プラズマ発生装置１０が第三電極１１ｃを備える場合にあっては、第三電極１１ｃと併せて、第二の一対の電極Ｅ２を構成するためのものでもある。

【0147】

第二電極１１ｂは、そのままで又はその表面が酸化されることで触媒としても作用する金属（以下単に「触媒金属」ということがある。）からなるものであることが好ましく、触媒金属のうち、紫外線又は熱を受けて触媒として活性化するものがより好ましい。

【0148】

触媒金属として、周期表における第３族から第１１族までに属する元素であって、周期表における第４周期から第６周期までに属するもの（以下「特定遷移金属」という。）が好ましく、チタン（Ｔｉ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、ルテウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、タングステン（Ｗ）又は白金（Ｐｔ）がより好ましく、チタンが特に好ましい。

【0149】

第二電極１１ｂがチタンからなるものである場合にあっては、第二電極１１ｂの表面が酸化されることで酸化チタン（ＴｉＯ_２）からなる表面となり、第二電極１１ｂは紫外線を受けて光触媒としても作用するものとなる。

【0150】

これらのほか、第二電極１１ｂは、上記特定遷移金属の中から選ばれる一つを主成分とする合金からなるものであってもよい。

【0151】

第二電極１１ｂの形状その他の態様は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９等を参照する。

【0152】

第二電極１１ｂは、棒状、雄螺子状又は螺旋状のものであり、これらのうち、雄螺子状のものであることが好ましい。ここで、第二電極１１ｂのうち、棒状のものの例として、図９（ａ）、図８（ａ）、図８（ｂ）等を参照し、雄螺子状のものの例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照し、また、螺旋状のものの例として、図９（ｂ）を参照する。

【0153】

特に第二電極１１ｂが雄螺子状のものである場合にあっては、その溝部と突部とが交互に形成される形状により、プラズマの発光量を増やすことができるとともに、圧力損失を減らすことができるほか、第二電極１１ｂを第一スペーサ４０ａ及び第二スペーサ４０ｂに螺子止めすることができるため、組立てや交換、保守等が容易となる。

【0154】

また、第二電極１１ｂが雄螺子状のものである場合にあっては、その螺子山と螺子山との間に存在する溝部において、金属又はその酸化物であって、触媒として作用するものを蒸着し、又は塗布することにより、触媒からなる層を形成することも好ましい。この場合において、第二電極１１ｂは、雄螺子状の電極本体１１ｂ１と、その螺子山と螺子山との間に配置された触媒層１１ｂ２と、から構成される。ここで、このような第二電極１１ｂの例として、図９（ｅ）を参照する。

【0155】

ここで、金属又はその酸化物であって、触媒として作用するものとして、紫外線又は熱を受けて活性化するものが好ましく、例えば、特定遷移金属又はその酸化物の中から選択することができる。

【0156】

特定遷移金属が触媒として作用するに当たって、対象の分子結合を解離させてから吸着する場合（以下「解離吸着型の場合」ということがある。）と、対象の分子結合を解離させることなく吸着する場合（以下「非解離吸着型の場合」ということがある。）と、がある。

【0157】

特定遷移金属のうち、第４周期に属し、第３族から第８族までのいずれかに該当するもの、すなわち、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、第５周期に属し、第３族から第７族までのいずれかに該当するもの、すなわち、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、テクネチウム（Ｔｃ）、第６周期に属し、第３族から第７族までのいずれかに該当するもの、例えば、ランタン（Ｌａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）は、触媒として作用するに当たって解離吸着型の場合を示す傾向がある。

【0158】

特定遷移金属のうち、第４周期に属し、第９族から第１０族までのいずれかに該当するもの、すなわち、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、第５周期に属し、第８族から第１１族までのいずれかに該当するもの、すなわち、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｒｄ）、第６周期に属し、第７族から第１１族までのいずれかに該当するもの、すなわち、レニウム（Ｒｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）は、触媒として作用するに当たって非解離吸着型の場合を示す傾向がある。

【0159】

ここで、例えば、第二電極１１ｂが白金からなるものであり、分解しようとする気体が二酸化炭素ガス（ＣＯ_２）である場合を例として説明すると、以下のとおりである。

【0160】

二酸化炭素ガス（ＣＯ_２）がプラズマＰの発生している空間Ｓを通過すると、解離分子（ＣＯ）が発生する。触媒が解離吸着型を示す場合は、解離分子（ＣＯ）は、炭素（Ｃ）と酸素（Ｏ）とに解離されてから、それぞれ触媒表面に吸着された後、炭素（Ｃ）と酸素ガス（Ｏ_２）へと分解される。これに対し、触媒が非解離吸着型を示す場合は、解離分子（ＣＯ）は、触媒表面に炭素（Ｃ）側から吸着された後、炭素（Ｃ）と酸素ガス（Ｏ_２）へと分解される。

【0161】

なお、ある特定遷移金属が触媒として作用するに当たって解離吸着型又は非解離吸着型のいずれを示すかは、当該特定遷移金属の表面の状態、分解しようとするガスの種類及びその濃度、反応させようとする温度、プラズマを発生させようとする条件等により異なり得る。いずれにせよ、目的に応じて最も適当な特定遷移金属を触媒として選定することが必要であり、また、重要でもある。

【0162】

第二電極１１ｂは、棒状の金属からなり、線状の金属又はその酸化物であって、触媒として作用するものが螺旋状に巻き付けられたものであることも好ましい。このとき、第二電極１１ｂは、棒状の電極本体１１ｂ１と、その周りに配置された螺旋状の触媒層１１ｂ２と、から構成される。ここで、このような第二電極１１ｂの例として、図９（ｃ）を参照する。

【0163】

また、第二電極１１ｂは、棒状の金属からなり、環状の金属又はその酸化物であって、触媒として作用するもので覆われたものであってもよい。このとき、第二電極１１ｂは、棒状の電極本体１１ｂ１と、その周りに配置された環状の触媒層１１ｂ２と、から構成される。ここで、このような第二電極１１ｂの例として、図９（ｄ）を参照する。

【0164】

第二電極１１ｂの直径は、１～５ｍｍであることが好ましく、２～４ｍｍであることがより好ましい。

【0165】

第二電極１１ｂの長さは、４０～１６０ｍｍであることが好ましく、６０～１４０ｍｍであることがより好ましく、８０～１２０ｍｍであることが更により好ましい。

【0166】

第二電極１１ｂと他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0167】

第二電極１１ｂは、第一電極１１ａとの間に距離を隔てて配置される。第二電極１１ｂと第一電極１１ａとの間に、第一ガラス層１２ａと第一金属膜層１３ａとがそれぞれ配置される。第二電極１１ｂは、第一ガラス層１２ａとの間に空間を隔てて配置される。

【0168】

プラズマ発生装置１０が第三電極１１ｃを備える場合にあっては、第二電極１１ｂと他の要素との関係は、次のとおりである。

【0169】

第二電極１１ｂは、第三電極１１ｃとの間に距離を隔てて配置される。第二電極１１ｂと第三電極１１ｃとの間に、第二ガラス層１２ｂと第二金属膜層１３ｂとがそれぞれ配置される。第二電極１１ｂは、第二ガラス層１２ｂとの間に空間を隔てて配置される。

【0170】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第三電極１１ｃ］
第三電極１１ｃは、電極１１のうち、第二電極１１ｂと併せて、第二の一対の電極Ｅ２を構成するためのものである。

【0171】

プラズマ発生装置１０は、第一の一対の電極Ｅ１のほか、第二の一対の電極Ｅ２を更に備えることによって、より多くの量のプラズマＰを発生させることができるものとなり、例えば、気体浄化装置１において不活性化させることができるウイルスの量を更に増やすことができる。もっとも、プラズマ発生装置１０は、第三電極１１ｃを備えるものでなくてもよい。ここで、第三電極１１ｃを備えないプラズマ発生装置１０の例として、図８（ａ）、図８（ｂ）を参照する。

【0172】

第三電極１１ｃは、熱伝導率が高い金属からなるものであることが好ましく、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、タングステン（Ｗ）又は金（Ａｕ）のうちのいずれかからなるものであることがより好ましく、これらのうち、アルミニウム、銅又は銀のうちのいずれかからなるものであることが更により好ましい。

【0173】

これらのほか、第三電極１１ｃは、上記金属の中から選ばれる一つを主成分とする合金からなるものであってもよく、ステンレス（ＳＵＳ）からなるものであってもよい。

【0174】

第三電極１１ｃの形状は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図２０、図２２（ｄ）等を参照する。

【0175】

第三電極１１ｃは、板状のものである。このとき、第三電極１１ｃは、六面のうち最も広い二面において、第一電極１１ａのそれと合同をなすものであることが好ましい。ここで、このような第三電極１１ｃの例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図２０、図２２（ｄ）等を参照する。

【0176】

第三電極１１ｃの厚みは、０．２～０．８ｍｍであることが好ましく、０．３～０．７ｍｍであることがより好ましく、０．４～０．６ｍｍであることが更により好ましい。

【0177】

なお、第三電極１１ｃの厚み以外の大きさは、次のとおりである。

【0178】

第三電極１１ｃの幅は、３４～１３６ｍｍであることが好ましく、５１～１１９ｍｍであることがより好ましく、６８～１０２ｍｍであることが更により好ましい。

【0179】

第三電極１１ｃの奥行きは、２０～８０ｍｍであることが好ましく、３０～７０ｍｍであることがより好ましく、４０～６０ｍｍであることが更により好ましい。

【0180】

第三電極１１ｃと他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0181】

第三電極１１ｃは、第二電極１１ｂとの間に距離を隔てて配置される。第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間に、第二ガラス層１２ｂと第二金属膜層１３ｂとがそれぞれ配置される。第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、第二金属膜層１３ｂと直ちに又は第三電極側導電性粘着層１４ａ２を介して接する。なお、第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側とは反対側にある表面は、気体浄化装置１の外部からの電気的接続を容易なものにする観点から、露出することが好ましい。

【0182】

第三電極１１ｃと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１２（ａ）、図１７、図１９、図２０、図２２等を参照する。

【0183】

第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、第二金属膜層１３ｂと接する部分である第一部分１１ｃ１を備えるほか、第一フィルタ３０ａと接する部分である第二部分１１ｃ２を備えることが好ましく、第一部分１１ｃ１と第二部分１１ｃ２との間にあって、露出する部分である第三部分１１ｃ３を備えることがより好ましい。

【0184】

また、第三電極１１ｃが板状のものである場合にあっては、第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、第一スペーサ４０ａと接する部分である第四部分１１ｃ４と第二スペーサ４０ｂと接する部分である第五部分１１ｃ５とを更に備えていてもよい。このとき、第四部分１１ｃ４と第五部分１１ｃ５とが、互いの間に第一部分１１ｃ１と第二部分１１ｃ２と第三部分１１ｃ３とを挟んで配置されることが好ましく、第三電極１１ｃの幅方向における両端に配置されることがより好ましい。

【0185】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第四電極１１ｄ等］
第四電極１１ｄは、電極１１のうち、第一電極１１ａと併せて、第三の一対の電極Ｅ３を構成するためのものであるとともに、プラズマ発生装置１０が第三電極１１ｃを備える場合にあっては、第三電極１１ｃと併せて、第四の一対の電極Ｅ４を構成するためのものでもある。

【0186】

第四電極１１ｄと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１３（ａ）を参照する。

【0187】

第四電極１１ｄは、第一ガラス層１２ａ、第二電極１１ｂ及び第二ガラス層１２ｂのそれぞれとの間に空間を隔てて配置され、第一ガラス層１２ａとの間に第二電極１１ｂを挟むことなく配置されるとともに、第二ガラス層１２ｂとの間に第二電極１１ｂを挟むことなく配置される。

【0188】

第四電極１１ｄのその余については第二電極１１ｂと同様であるから、第二電極１１ｂについてした説明を第四電極１１ｄについて準用する。なお、第五電極（図示しない）、第六電極（図示しない）、第七電極（図示しない）・・・等についても、第四電極１１ｄと同様である。

【0189】

気体浄化装置１が第四電極１１ｄを備える場合にあっては、発生させるプラズマＰの量を増やすことができる。

【0190】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／ガラス層１２］
ガラス層１２は、誘電体であるガラスからなる誘電体層として、一対の電極Ｅ間に配置されて、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３（導電性粘着層１４を更に介する場合にあっては、金属膜層１３のほか、導電性粘着層１４）を介して接することによって、誘電体バリア放電を行うとともに、紫外線その他の電磁波を透過する層として、金属膜層１３と併せて、紫外線その他の電磁波を反射する反射鏡Ｍを構成するためのものである。

【0191】

さらに、もとの気体が酸素（Ｏ_２）を含む場合にあっては、ガラス層１２は、金属膜層１３が気体中の酸素と接触しないようにし、金属膜層１３の表面が酸化されることを防ぐことにより、金属膜層１３が長期にわたって紫外線その他の電磁波を反射することできるように、その特性を維持するためのものでもある。

【0192】

ガラス層１２は、ガラスのうち、紫外線を透過する特性を有するガラスからなることが好ましく、紫外線透過率の高いガラスからなることがより好ましく、例えば、石英ガラス又はホウケイ酸ガラスからなるものであることが更により好ましい。さらに、石英ガラス又はホウケイ酸ガラスのうち、紫外線透過率の高さ及び熱膨張率の低さの観点から、石英ガラスに次いでホウケイ酸ガラスが好ましく、これらの観点のほか、加工が容易であり、量産性にも優れることから、ホウケイ酸ガラスも好ましい。さらに、ホウケイ酸ガラスのうち、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）及び酸化ホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）を含むほか、酸化ナトリウム（Ｎａ_２Ｏ）及び酸化アルミウム（Ａｌ_２Ｏ_３）を更に含むものがより好ましい。

【0193】

ガラス層１２の厚みは、０．４～１．６ｍｍであることが好ましく、０．６～１．４ｍｍであることがより好ましく、０．８～１．２ｍｍであることが更により好ましく、特に１．０ｍｍであることが最も好ましい。

【0194】

ガラス層１２として、例えば、光学顕微鏡とともに観察の用に供されるスライドガラスを使用することができる。スライドガラスから構成されるガラス層１２は、紫外線透過性及び熱膨張率の点において優れるほか、市場から容易に取得することができるものであるため、プラズマ発生装置１０、ひいては気体浄化装置１を、安価に、かつ、安定的に供給することを可能とする。

【0195】

ガラス層１２として、第一ガラス層１２ａがあるほか、好ましくは第二ガラス層１２ｂがある。

【0196】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／ガラス層１２／第一ガラス層１２ａ］
第一ガラス層１２ａは、ガラス層１２のうち、第一金属膜層１３ａと併せて、第一反射鏡Ｍ１を構成するためのものである。

【0197】

第一ガラス層１２ａの形状は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図８（ａ）、図８（ｂ）、図２０、図２１（ｃ）等を参照する。

【0198】

第一ガラス層１２ａは、第一電極１１ａの形状に応じ、板状のものであるか、又は環状のものが選択される。ここで、第一ガラス層１２ａのうち、板状のものの例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図８（ｂ）、図２０、図２１（ｃ）等を参照し、また、環状のものの例として、図８（ａ）を参照する。

【0199】

なお、第一ガラス層１２ａが板状のものである場合にあっては、第一ガラス層１２ａの厚み以外の大きさは、次のとおりである。

【0200】

第一ガラス層１２ａの幅は、３２～１２８ｍｍであることが好ましく、４８～１１２ｍｍであることがより好ましく、６４～９６ｍｍであることが更により好ましい。

【0201】

第一ガラス層１２ａの奥行きは、１０～４０ｍｍであることが好ましく、１５～３５ｍｍであることがより好ましく、２０～３０ｍｍであることが更により好ましい。

【0202】

第一ガラス層１２と他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0203】

第一ガラス層１２ａは、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間に配置される。第一ガラス層１２ａは、第二電極１１ｂとの間に空間を隔てて配置される。第一ガラス層１２ａのうち第一電極１１ａと対向する側にある表面は、第一金属膜層１３ａと直ちに又は第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１を介して接する。第一ガラス層１２ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、露出する。

【0204】

第一ガラス層１２ａと第二電極１１ｂとの間にある距離は、０．３～０．９ｍｍであることが好ましく、０．４～０．８ｍｍであることがより好ましく、０．５～０．７ｍｍであることが更により好ましく、特に０．６ｍｍであることが最も好ましい。

【0205】

第一ガラス層１２ａと第二電極１１ｂとの間には気体以外の物質が存在しない空間Ｓが存在し、空間Ｓには、絶縁体である気体、例えば、浄化しようとする気体Ｇを存在させることができる。なお、空間Ｓは、プラズマＰが発生する空間となる。

【0206】

第一ガラス層１２ａと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１２（ａ）、図１７、図１９、図２０、図２１等を参照する。

【0207】

第一ガラス層１２ａは、第一金属膜層１３ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面の全部を覆うことが好ましい。第一ガラス層１２ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、露出する部分である第一部分１２ａ１を備えるほか、第一スペーサ４０ａと接する部分である第二部分１２ａ２と、第二スペーサ４０ｂと接する部分である第三部分１２ａ３と、を備えることが好ましい。

【0208】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／ガラス層１２／第二ガラス層１２ｂ］
第二ガラス層１２ｂは、ガラス層１２のうち、第二金属膜層１３ｂと併せて、第二反射鏡Ｍ２を構成するためのものである。

【0209】

第二ガラス層１２ｂの形状は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図２０、図２２（ｂ）等を参照する。

【0210】

第二ガラス層１２ｂは、板状のものである。このとき、第二ガラス層１２ｂは、六面のうち最も広い二面において、第一ガラス層１２ａのそれと合同をなすものであることが好ましい。ここで、このような第二ガラス層１２ｂの例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図２０、図２２（ｂ）等を参照する。

【0211】

なお、第二ガラス層１２ｂの厚み以外の大きさは、次のとおりである。

【0212】

第二ガラス層１２ｂの幅は、３２～１２８ｍｍであることが好ましく、４８～１１２ｍｍであることがより好ましく、６４～９６ｍｍであることが更により好ましい。

【0213】

第二ガラス層１２ｂの奥行きは、１０～４０ｍｍであることが好ましく、１５～３５ｍｍであることがより好ましく、２０～３０ｍｍであることが更により好ましい。

【0214】

第二ガラス層１２ｂと他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0215】

第二ガラス層１２ｂは、第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間に配置される。第二ガラス層１２ｂは、第二電極１１ｂとの間に空間を隔てて配置される。第二ガラス層１２ｂのうち第三電極１１ｃと対向する側にある表面は、第二金属膜層１３ｂと直ちに又は第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２を介して接する。第二ガラス層１２ｂのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、露出する。

【0216】

第二ガラス層１２ｂと第二電極１１ｂとの間にある距離は、０．３～０．９ｍｍであることが好ましく、０．４～０．８ｍｍであることがより好ましく、０．５～０．７ｍｍであることが更により好ましく、特に０．６ｍｍであることが最も好ましい。

【0217】

第二ガラス層１２ｂと第二電極１１ｂとの間には気体以外の物質が存在しない空間Ｓが存在し、空間Ｓには、絶縁体である気体、例えば、浄化しようとする気体Ｇを存在させることができる。なお、空間Ｓは、プラズマＰが発生する空間となる。

【0218】

第二ガラス層１２ｂと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１２（ａ）、図１７、図１９、図２０、図２２を参照する。

【0219】

第二ガラス層１２ｂは、第二金属膜層１３ｂのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面の全部を覆うことが好ましい。第二ガラス層１２ｂのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面は、露出する部分である第一部分１２ｂ１を備えるほか、第一スペーサ４０ａと接する部分である第二部分１２ｂ２と、第二スペーサ４０ｂと接する部分である第三部分１２ｂ３と、を備えることが好ましい。

【0220】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／金属膜層１３］
金属膜層１３は、金属の膜からなる層として、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１とガラス層１２との間に配置されて、これらと直ちに又は導電性粘着層１４を介して接することによって、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１からガラス層１２までの電気伝導を行うとともに、ガラス層１２と併せて、紫外線その他の電磁波を反射する反射鏡Ｍを構成するためのものである。

【0221】

金属膜層１３は、紫外線を反射する特性を有する金属からなるものである。もっとも、金属膜層１３は、紫外線を反射するほか、可視光線、赤外線その他の紫外線以外の電磁波を反射する特性を有する金属からなるものであってもよく、また、そのようなものであることが好ましい。

【0222】

金属膜層１３は、紫外線を反射する特性を有する金属のうち、紫外線反射率が高い金属からなるものであることが好ましく、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ロジウム（Ｒｈ）、銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうちのいずれかからなるものであることがより好ましく、アルミニウム又は銀からなるものであることが更により好ましく、アルミニウムからなるものであることが最も好ましい。

【0223】

近紫外線は、紫外線Ａ波（ＵＶ－Ａ。紫外線のうち波長が３１５～４００ｎｍの範囲にあるものをいう。）と、紫外線Ｂ波（ＵＶ－Ｂ。紫外線のうち波長が２８０～３１５ｎｍの範囲にあるものをいう。）と、紫外線Ｃ波（ＵＶ－Ｃ。紫外線のうち波長が２００～２８０ｎｍにあるものをいう。）と、に更に分類される。ここで、例えば、窒素（Ｎ_２）のプラズマが発する近紫外線は、その波長が３００～３８０ｎｍの範囲にあるものとして、紫外線Ａ波に属するものである。また、そのプラズマが発する近紫外線のピーク波長は、３３７ｎｍ付近にある。そして、銀は、紫外線Ａ波の範囲のうちの一部の範囲、特に波長３８０ｎｍにおいて高い反射率を示すものであり、アルミニウムは、紫外線Ａ波の全部の範囲にわたって高い反射率を示すものである。

【0224】

したがって、もとの気体が窒素（Ｎ_２）であるか、又は窒素（Ｎ_２）を含むものである場合、例えば、もとの気体が空気である場合にあっては、金属膜層１３は、アルミニウム又は銀からなるものであることがより好ましく、アルミニウムからなるものであることが最も好ましい。

【0225】

これを一般化していうと、ある気体のプラズマを発生させたとした場合において、そのプラズマが発する紫外線その他の電磁波が有する固有の波長、特にピーク波長に応じて、当該波長を含む波長範囲において高い反射率を示す金属を選択し、当該金属をもって金属膜層１３を構成することができ、また、そうすることが好ましい。

【0226】

金属膜層１３は、紫外線を反射する特性を有する金属、好ましくは紫外線反射率が高い金属の箔からなるものであってもよく、紫外線を反射する特性を有する金属、好ましくは紫外線反射率が高い金属を一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１又はガラス層１２に蒸着させて構成した蒸着膜からなるものであってもよい。ここで、蒸着法として、真空蒸着法のほか、スパッタリング、イオンプレーティングその他の物理気相成長法を使用することができる。また、金属膜層１３は、紫外線を反射する特性を有する金属、好ましくは紫外線反射率が高い金属を電極１１のうちの一方の電極１１に電着させて構成した電着膜からなるものであってもよい。

【0227】

すなわち、金属膜層１３は、例えば、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１又はガラス層１２に対し、アルミニウム又は銀の箔を密着させることにより構成したものであってもよく、アルミニウム又は銀を蒸着させることにより構成したものであってもよい。

【0228】

金属膜層１３は、０．２ｍｍ以下の厚みを有するものに限らず、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１とガラス層１２との間に配置されて、これらの両方と接触し、好ましくはこれらの両方と密着するために必要かつ十分な厚みを有するものであることが好ましい。すなわち、金属膜層１３として、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１とガラス層１２との間の距離に応じて、適当な厚さのものが選択される。このとき、金属膜層１３は、一の金属膜からなるもののほか、二以上の金属膜の組み合わせからなるものであってもよい。

【0229】

金属膜層１３は、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１及びガラス層１２の両方と接触することが好ましく、これらの両方と密着することがより好ましい。この場合において、金属膜層１３は、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１からガラス層１２までの電気伝導をより効率的に行うことができる。

【0230】

金属膜層１３は、一方の電極Ｅのうちの一方の電極１１と密着するものとして、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と導電性粘着層１４を介して接するものであってもよく、金属膜層１３は、ガラス層１２と密着するものとして、ガラス層１２と導電性粘着層１４を介して接するものであってもよい。例えば、金属膜層１３は、一方の電極Ｅのうちの一方の電極１１と導電性粘着層１４を介して接するとともに、ガラス層１２と直ちに接するものであってもよく、一方の電極Ｅのうちの一方の電極１１と導電性粘着層１４を介して接するとともに、ガラス層１２と導電性粘着層１４を介して接するものであってもよい。

【0231】

金属膜層１３として、第一金属膜層１３ａがあるほか、好ましくは第二金属膜層１３ｂがある。

【0232】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／金属膜層１３／第一金属膜層１３ａ］
第一金属膜層１３ａは、金属膜層１３のうち、第一ガラス層１２ａと併せて、第一反射鏡Ｍ１を構成するためのものである。

【0233】

第一金属膜層１３ａの形状は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図８（ａ）、図８（ｂ）、図２０、図２１（ｂ）等を参照する。

【0234】

第一金属膜層１３ａは、膜状のものであり、第一電極１１ａの形状に応じた形状のものとなる。ここで、第一金属膜層１３ａのうち、板状の第一電極１１ａに応じた形状のものの例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図８（ｂ）、図２０、図２１（ｂ）等を参照し、また、環状の第一電極１１ａに応じた形状のものの例として、図８（ａ）を参照する。

【0235】

第一金属膜層１３ａと他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0236】

第一金属膜層１３ａは、第一電極１１ａと第一ガラス層１２ａとの間に配置され、第一電極１１ａと直ちに又は第一電極側導電性粘着層１４ａ１を介して接するとともに、第一ガラス層１２ａと直ちに又は第一ガラス側導電性粘着層１４ｂ１を介して接する。

【0237】

第一金属膜層１３ａと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１２（ａ）、図１７、図１９、図２０、図２１等を参照する。

【0238】

第一金属膜層１３ａは、第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面の一部を覆うことが好ましい。また、第一金属膜層１３ａのうち第二電極１１ｂ又は第三電極１１ｃと対向する側の表面は、その全部が第一ガラス層１２ａによって覆われることが好ましい。

【0239】

第一金属膜層１３ａは、二以上の金属膜の組み合わせからなるもの、例えば、第一電極側金属膜１３ａ１と第一ガラス層側金属膜１３ａ２との組み合わせからなるものであってもよい。第一電極側金属膜１３ａ１は、第一電極１１ａと直ちに又は第一電極側導電性粘着層１４ａ１を介して接するものであり、第一ガラス層側金属膜１３ａ２は、第一ガラス層１２ａと直ちに又は第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１を介して接するものである。

【0240】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／金属膜層１３／第二金属膜層１３ｂ］
第二金属膜層１３ｂは、金属膜層１３のうち、第二ガラス層１２ｂと併せて、第二反射鏡Ｍ２を構成するためのものである。

【0241】

第二金属膜層１３ｂの形状は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図２０、図２２（ｃ）等を参照する。

【0242】

第二金属膜層１３ｂは、膜状のものであり、第三電極１１ｃの形状に応じた形状のものとなる。ここで、板状の第三電極１１ｃに応じた形状の第二金属膜層１３ｂの例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図４、図５、図２０、図２２（ｃ）を参照する。

【0243】

第二金属膜層１３ｂと他の要素との関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１（ａ）、図３（ａ）等を参照する。

【0244】

第二金属膜層１３ｂは、第三電極１１ｃと第二ガラス層１２ｂとの間に配置され、第三電極１１ｃと直ちに又は第三電極側導電性粘着層１４ａ２を介して接するとともに、第二ガラス層１２ｂと直ちに又は第二ガラス側導電性粘着層１４ｂ２を介して接する。

【0245】

第二金属膜層１３ｂと他の要素との更なる関係は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図１２（ａ）、図１７、図１９、図２０、図２２等を参照する。

【0246】

第二金属膜層１３ｂは、第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面の一部を覆うことが好ましい。また、第二金属膜層１３ｂのうち第二電極１１ｂ又は第一電極１１ａと対向する側の表面は、その全部が第二ガラス層１２ｂによって覆われることが好ましい。

【0247】

第二金属膜層１３ｂは、二以上の金属膜の組み合わせからなるもの、例えば、第三電極側金属膜１３ｂ１と第二ガラス層側金属膜１３ｂ２との組み合わせからなるものであってもよい。第三電極側金属膜１３ｂ１は、第三電極１１ｃと直ちに又は第三電極側導電性粘着層１４ａ２を介して接するものであり、第二ガラス層側金属膜１３ｂ２は、第二ガラス層１２ｂと直ちに又は第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２を介して接するものである。

【0248】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４］
導電性粘着層１４は、粘着性のほか、導電性を有する層として、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間に配置されて、これらを密着させることによって、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１から金属膜層１３までの電気伝導率を高めるためのものである。このほか、導電性粘着層１４は、上記のとおりの層として、ガラス層１２と金属膜層１３との間に配置されて、これらを密着させることによって、ガラス層１２から金属膜層１３までの電気伝導率を高めるためのものでもある。

【0249】

導電性粘着層１４は、粘着性を有するものとして、粘弾性を有する粘着層と、導電性を有するものとして、当該粘着層に含有される多数の導電性粒子と、から構成されるものであることが好ましい。

【0250】

導電性粘着層１４にあっては、粘着層は、粘着性を有するほか、透明性を有する高分子化合物からなるものであることが好ましく、例えば、アクリル酸系共重合体からなるものであることがより好ましい。

【0251】

アクリル酸系共重合体は、例えば、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２－エチルヘキシルその他のアクリル酸エステルを主モノマーとして、アクリル酸メチル又はメタクリル酸メチルをコモノマーとして、アクリル酸又はメタクリル酸を官能基含有モノマーとして、共重合されるものであることが好ましい。この場合において、アクリル酸エステルを主モノマーとするものに代えて、メタクリル酸エステルを主モノマーとするものであってもよい。

【0252】

導電性粘着層１４にあっては、導電性粒子は、導電性を有するほか、紫外線を反射する特性を有する金属からなるものであることが好ましく、紫外線反射率が高い金属からなるものであることが更により好ましい。ここで、紫外線反射率が高い金属として、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ロジウム（Ｒｈ）、銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうちのいずれかが好ましく、アルミニウム又は銀が更により好ましく、アルミニウムが最も好ましい。

【0253】

導電性粘着層１４として、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と接する電極側導電性粘着層１４ａと、ガラス層１２と接するガラス層側導電性粘着層１４ｂと、がある。

【0254】

これらのほか、金属膜層１３が二以上の金属膜から構成される場合にあっては、導電性粘着層１４として、一の金属膜と他の金属膜との間に配置されて、これらと接する金属膜層間導電性粘着層１４ｃがある。

【0255】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／電極側導電性粘着層１４ａ］
電極側導電性粘着層１４ａとして、第一電極側導電性粘着層１４ａ１と、第三電極側導電性粘着層１４ａ２と、がある。

【0256】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／電極側導電性粘着層１４ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１］
第一電極側導電性粘着層１４ａ１は、電極側導電性粘着層１４ａのうち、第一電極１１ａと接するものである。第一電極側導電性粘着層１４ａ１は、第一電極１１ａと第一金属膜層１３ａとの間に配置されて、これらを密着させるためのものである。

【0257】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／電極側導電性粘着層１４ａ／第三電極側導電性粘着層１４ａ２］
第三電極側導電性粘着層１４ａ２は、電極側導電性粘着層１４ａのうち、第三電極１１ｃと接するものである。第三電極側導電性粘着層１４ａ２は、第三電極１１ｃと第二金属膜層１３ｂとの間に配置されて、これらを密着させるためのものである。

【0258】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／ガラス層側導電性粘着層１４ｂ］
ガラス層側導電性粘着層１４ｂとして、第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１と、第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２と、がある。

【0259】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／ガラス層側導電性粘着層１４ｂ／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１］
第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１は、ガラス層側導電性粘着層１４ｂのうち、第一ガラス層１２ａと接するものである。第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１は、第一ガラス層１２ａと第一金属膜層１３ａとの間に配置されて、これらを密着させるためのものである。

【0260】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／ガラス層側導電性粘着層１４ｂ／第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２］
第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２は、ガラス層側導電性粘着層１４ｂのうち、第二ガラス層１２ｂと接するものである。第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２は、第二ガラス層１２ｂと第二金属膜層１３ｂとの間に配置されて、これらを密着させるためのものである。

【0261】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／金属膜層間導電性粘着層１４ｃ］
金属膜層間導電性粘着層１４ｃとして、第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１と、第二金属膜層間導電性粘着層１４ｃ２と、がある。

【0262】

第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１は、第一電極側金属膜１３ａ１と第一ガラス層側金属膜１３ａ２との間に配置されて、これらと接するものである。第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１は、第一電極側金属膜１３ａ１と第一ガラス層側金属膜１３ａ２とを密着させるためのものである。

【0263】

第二金属膜層間導電性粘着層１４ｃ２は、第三電極側金属膜１３ｂ１と第二ガラス層側金属膜１３ｂ２との間に配置されて、これらと接するものである。第二金属膜層間導電性粘着層１４ｃ２は、第三電極側金属膜１３ｂ１と第二ガラス層側金属膜１３ｂ２とを密着させるためのものである。

【0264】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／金属膜層１３と導電性粘着層１４との積層体］
ところで、金属箔からなる基材層の片面に導電性粘着剤からなる導電性粘着層を設けたもの（以下「導電性片面粘着テープ」ということがある。）や、金属箔からなる基材層の両面に導電性粘着剤からなる導電性粘着層を設けたもの（以下「導電性両面粘着テープ」ということがある。）があり（例えば、特開２０１３－２４５２３４号公報を参照。）、それぞれ市場を通じて得ることができる（例えば、ＤＩＣ株式会社製の工業用粘着テープ「ダイタック」（登録商標）。品番：52050AD-2、#8530AD ）。

【0265】

そこで、金属膜層１３と導電性粘着層１４とが予め積み重ねられている積層体として、導電性片面粘着テープ又は導電性両面粘着テープを使用することができる。例えば、第一金属膜層１３ａと第一電極側導電性粘着層１４ａ１とからなる積層体、第二金属膜層１３ｂと第三電極側側導電性粘着層１４ａ２とからなる積層体、第一金属膜層１３ａと第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１とからなる積層体又は第二金属膜層１３ｂと第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２とからなる積層体として、導電性片面粘着テープを使用することができる。また、第一電極側導電性粘着層１４ａ１と第一金属膜層１３ａと第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１とからなる積層体又は第三電極側導電性粘着層１４ａ２と第二金属膜層１３ｂと第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２とからなる積層体として、導電性両面粘着テープを使用することもできる。

【0266】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／作用］
一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１とガラス層１２との間に金属膜層１３を配置し、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１からガラス層１２までの電気伝導を金属膜層１３を介して行うに当たっては、次のような課題がある。

【0267】

すなわち、金属とガラスとにあっては、それぞれの熱膨張率を互いに異にする。また、金属と金属とであっても、それぞれの元素その他の成分を異にする限り、同様である。

【0268】

したがって、プラズマ発生装置１０を製造する過程又はこれを使用する過程において、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３とにそれぞれ熱が加わると、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３とにおいて、それぞれの熱膨張率に応じて反りが生じ、これらの間において隙間が生じるおそれがある。このとき、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間に生じた隙間において真空層Ｖ又は空気層Ａが形成されることとなる。ここで、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間に真空層Ｖ又は空気層Ａが形成されるおそれがあることに関して、図４１（ｂ）を参照する。

【0269】

ここで、真空又は空気の電気伝導率は、いずれも極めて低いものである。したがって、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間において真空層Ｖ又は空気層Ａが形成された場合にあっては、プラズマ発生装置１０が導電性粘着層１４を備えるものであるときに比して、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１から金属膜層１３までの電気伝導率が低下するおそれがある。また、このことは、ガラス層１２と金属膜層１３との間についても同様に当てはまる。

【0270】

このような電気伝導率の低下が生じた場合にあっては、当該プラズマ発生装置１０は、プラズマ発生装置１０が導電性粘着層１４を備えるものであるときに比して、プラズマＰを安定して発生させることができなくなるおそれがある。

【0271】

これに対して、電極側導電性粘着層１４ａは、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間に配置されることによって、次のような作用を生じるものである。

【0272】

電極側導電性粘着層１４ａは、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３とにおいて反りが生じた場合であっても、粘着性を有するものとして、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３とそれぞれ密着しながら、粘弾性を有するものとして、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１において生じた反りと金属膜層１３において生じた反りとにそれぞれ従って、これらに応じる形状に自らの形状変えることができるものでもある。その結果として、電極側導電性粘着層１４ａは、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間において真空層又は空気層が形成されるおそれを低減させる。ここで、導電性粘着層１４が一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間に真空層又は空気層が形成されるおそれを低減させることに関して、図４１（ａ）を参照する。

【0273】

ここで、電極側導電性粘着層１４ａは粘着層と導電性粒子とから構成されるものであるところ、導電性粒子は真空又は空気に比して高い電気伝導率を有するものであり、また、粘着層、例えば、アクリル酸系共重合体も真空又は空気に比して高い電気伝導率を有するものである。

【0274】

以上のとおりであるから、電極側導電性粘着層１４ａは、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３との間に真空層又は空気層が形成されるおそれを低減させることにより、プラズマ発生装置１０をしてプラズマＰを安定して発生させるものとすることができる。

【0275】

さらに、ガラス層側導電性粘着層１４ｂも、電極側導電性粘着層１４ａにおける場合と同様の作用により、ガラス層１２と金属膜層１３との間に真空層又は空気層が形成されるおそれを低減させることにより、プラズマ発生装置１０をしてプラズマＰを安定して発生させるものとすることができる。また、金属膜層間導電性粘着層１４ｃについても、同様である。

【0276】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１とガラス層１２と金属膜層１３と導電性粘着層１４との組み合わせ］
プラズマ発生装置１０にあっては、一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と、ガラス層１２と、金属膜層１３と、導電性粘着層１４との組み合わせの態様として、例えば、次のものが挙げられる。なお、（Ａ１）から（Ｆ７）までにおいて、「α／β」は、αとβとが直ちに接することを示し、また、「α／（蒸着）／β」は、αがβに蒸着されてαとβとが直ちに接するか、又はβがαに蒸着されてαとβとが直ちに接することを示すものである。

【0277】

（Ａ１）第一電極１１ａ／第一金属膜層１３ａ／第一ガラス層１２ａ。
（Ａ２）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一金属膜層１３ａ／第一ガラス層１２ａ。
（Ａ３）第一電極１１ａ／第一金属膜層１３ａ／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ。

【0278】

（Ｂ１）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一金属膜層１３ａ／第一ガラス層１２ａ（図４２（ａ）中の（ａ１）を参照）。
（Ｂ２）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一金属膜層１３ａ／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４２（ａ）中の（ａ１）を参照）。

【0279】

（Ｃ１）第一電極１１ａ／第一金属膜層１３ａ／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｂ）中の（ｂ１）を参照）。
（Ｃ２）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一金属膜層１３ａ／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｂ）中の（ｂ１）を参照）。

【0280】

（Ｄ）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一金属膜層１３ａ／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｃ）中の（ｃ１）を参照）。

【0281】

（Ｅ１）第一電極１１ａ／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｄ）中の（ｄ１）を参照）。
（Ｅ２）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｄ）中の（ｄ１）を参照）。
（Ｅ３）第一電極１１ａ／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｄ）中の（ｄ１）を参照）。
（Ｅ４）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｄ）中の（ｄ１）を参照）。
（Ｅ５）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４２（ｅ）中の（ｅ１）を参照）。
（Ｅ６）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図４３（ａ）中の（ａ１）を参照）。
（Ｅ７）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｂ）中の（ｂ１）を参照）。

【0282】

（Ｆ１）第一電極１１ａ／第一電極側金属膜１３ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｃ）中の（ｃ１）を参照）。
（Ｆ２）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一電極側金属膜１３ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｃ）中の（ｃ１）を参照）。
（Ｆ３）第一電極１１ａ／第一電極側金属膜１３ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｃ）中の（ｃ１）を参照）。
（Ｆ４）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一電極側金属膜１３ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｃ）中の（ｃ１）を参照）。
（Ｆ５）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一電極側金属膜１３ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／（蒸着）／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｄ）中の（ｄ１）を参照）。
（Ｆ６）第一電極１１ａ／（蒸着）／第一電極側金属膜１３ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図示しない）。
（Ｆ７）第一電極１１ａ／第一電極側導電性粘着層１４ａ１／第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１／第一電極側金属膜１３ａ１／第一ガラス層側金属膜１３ａ２／第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１／第一ガラス層１２ａ（図４３（ｅ）中の（ｅ１）を参照）。

【0283】

以上の態様のうち、プラズマ発生装置１０をしてプラズマＰを安定して発生させるとの観点から、（Ｂ２）又は（Ｄ）が好ましく、これらのうち、長期的なプラズマ発生安定性の観点から、（Ｂ２）がより好ましく、また、短期的なプラズマ発生安定性の観点から、（Ｄ）もより好ましく、プラズマ発生装置１０を使用する目的に応じて適当なものを選択することが更により好ましい。

【0284】

また、（Ｅ５）、（Ｅ７）、（Ｆ５）又は（Ｆ７）も好ましく、これらのうち、長期的なプラズマ発生安定性の観点から、（Ｅ５）又は（Ｆ５）がより好ましく、また、短期的なプラズマ発生安定性の観点から、（Ｅ７）又は（Ｆ７）もより好ましく、プラズマ発生装置１０を使用する目的に応じて適当なものを選択することが更により好ましい。

【0285】

また、プラズマ発生装置１０をしてプラズマＰを安定して発生させるとの観点のほか、量産性にも優れるとの観点も考慮すると、（Ｆ３）又は（Ｆ６）もまた好ましい。

【0286】

以上のことは、「第一電極１１ａ」とあるのを「第三電極１１ｃ」と、「第一金属膜層１３ａ」とあるのを「第二金属膜層１３ｂ」と、「第一ガラス層１２ａ」とあるのを「第二ガラス層１２ｂ」と、「第一電極側導電性粘着層１４ａ１」とあるのを「第三電極側導電性粘着層１４ａ２」と、「第一ガラス層側導電性粘着層１４ｂ１」とあるのを「第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２」と、「第一電極側金属膜１３ａ１」とあるのを「第三電極側金属膜１３ｂ２」と、「第一ガラス層側金属膜１３ａ２」とあるのを「第二ガラス層側金属膜１３ｂ２」と、「第一金属膜層間導電性粘着層１４ｃ１」とあるのを「第二金属膜層間導電性粘着層１４ｃ２」と、それぞれ読み替えた場合についても同様に当てはまるものである。この場合において、（Ｂ１）を上記のとおりに読み替えた態様については、（Ｂ１）について参照した「図４２（ａ）中の（ａ１）」に代えて、「図４２（ａ）中の（ａ２）」を参照するものとし、その余についてもこの例による。

【0287】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／反射鏡Ｍ］
プラズマ発生装置１０にあっては、ガラス層１２と金属膜層１３とが、併せて反射鏡Ｍを構成する。反射鏡Ｍは、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を反射するためのものである。また、反射鏡Ｍは、発生させるプラズマＰの量を増やすことができるものでもある。

【0288】

反射鏡Ｍにおいて、ガラス層１２は紫外線を透過させ、金属膜層１３はガラス層１２を透過した紫外線を反射する。このとき、ガラス層１２は、金属膜層１３の紫外線反射率を低減させるおそれがある要因、例えば、酸化による損傷から金属膜層１３を保護する。

【0289】

反射鏡Ｍを構成するに当たって、金属膜層１３を採用することは、第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃの選択の幅を拡げるものとなる。すなわち、ガラス層１２と金属膜層１３とから反射鏡Ｍを構成することができるため、紫外線反射率の観点以外の観点、例えば、熱伝導率の観点から、第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃを選択することができるようになる。例えば、アルミニウムは、紫外線反射率に優れるが、熱伝導率には劣るのに対し、銅は、熱伝導率に優れるが、紫外線反射率には劣る。ガラス層１２と第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃとから反射鏡Ｍを構成したときは、第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃの選択において、高い紫外線反射率と高い熱伝導率とを共存させることはできない。これに対して、ガラス層１２と金属膜層１３とから反射鏡Ｍを構成するときは、金属膜層１３により高い紫外線反射率がもたらされるため、仮に熱伝導率の観点から第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃを選択したとしても、プラズマ発生装置１０において、高い紫外線反射率と高い熱伝導率とを共存させることができる。以上をより具体的にいうと、次のとおりである。

【0290】

反射鏡Ｍを構成するガラス層１２と金属膜層１３との組み合わせとして、例えば、以下のものが好ましい。すなわち、石英ガラスからなるガラス層１２とアルミニウムからなる金属膜層１３との組み合わせ、石英ガラスからなるガラス層１２と銀からなる金属膜層１３との組み合わせ、ホウケイ酸ガラスからなるガラス層１２とアルミニウムからなる金属膜層１３との組み合わせ、ホウケイ酸ガラスからなるガラス層１２と銀からなる金属膜層１３との組み合わせが好ましく、これらのうち、ホウケイ酸ガラスからなるガラス層１２とアルミニウムからなる金属膜層１３との組み合わせがより好ましい。

【0291】

また、これらのガラス層１２と金属膜層１３とから構成される反射鏡Ｍと組み合わせる第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃとして好ましいものは、銅からなる第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃである。

【0292】

以上のような組み合わせとすることによって、反射鏡Ｍの紫外線反射率を高めたまま、第一電極１１ａ又は第三電極１１ｃの熱伝導率を高めることができる。

【0293】

プラズマ発生装置１０は、反射鏡Ｍとして、第一反射鏡Ｍ１と、第二反射鏡Ｍ２と、を備えることが好ましく、これらが互いに向き合うように配置されており、合わせ鏡の関係をなしていることがより好ましい。このとき、第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２との間で紫外線の反射が反復して行われることとなる。

【0294】

すなわち、プラズマ発生装置１０は、第一電極１１ａと第二電極１１ｂと第一ガラス層１２ａと第一金属膜層１３ａとを備えるほか、第三電極１１ｃと第二ガラス層１２ｂと第二金属膜層１３ｂとを備えることが好ましい。このとき、プラズマ発生装置１０は、第一の一対の電極Ｅ１と第二の一対の電極Ｅ２と第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２とを備えることになる。さらに、このとき、第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２とが、互いに対向することがより好ましい。ここで、このような関係にある第一反射鏡Ｍ１及び第二反射鏡Ｍ２の例として、図１（ａ）、図３（ａ）、図１２（ａ）等を参照する。

【0295】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／作用］
プラズマ発生装置１０の作用は、例えば、次のとおりのものである。

【0296】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／作用／紫外線ＵＶを反射すること］
一対の電極Ｅに所定の電圧を加えると、誘電体バリア放電によって、一対の電極Ｅ間の空間Ｓにおいて、プラズマＰが発生する。これをより詳くみると、次のとおりである。

【0297】

第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間に所定の電位差を与えると、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間の空間ＳにプラズマＰが発生する。また、プラズマ発生装置１０が第三電極１１ｃを更に備える場合にあっては、第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間に所定の電位差を与えると、第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間の空間ＳにプラズマＰが発生する。さらに、第一電極１１ａと第三電極１１ｃとにおける電位を等しくし、当該電位と第二電極１１ｂにおける電位との間の差を所定のものとすると、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間の空間ＳにプラズマＰが発生するとともに、第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間の空間ＳにもプラズマＰが発生する。このとき、第一電極１１ａと第三電極１１ｃとにおける電位を等しくするためには、例えば、これらを接地させればよい。ここで、第一の一対の電極Ｅ１間の空間Ｓ若しくは第二の一対の電極Ｅ２の空間Ｓの一方又は両方にプラズマＰが発生することに関して、図２（ａ）、図３（ｂ）、図１２（ｂ）等を参照する。

【0298】

この場合において、例えば、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに窒素の気体（Ｎ_２）が存在するときは、窒素のプラズマが発生し、この窒素のプラズマが、紫外線ＵＶを発する。また、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに存在する気体が窒素以外の気体、例えば、貴ガスである場合にあっても、当該気体が窒素である場合と同様に、紫外線ＵＶを発生させることができる。

【0299】

紫外線ＵＶが反射鏡Ｍに当たると、反射鏡Ｍは、紫外線ＵＶを吸収することなく、これを反射する。ここで、反射鏡Ｍが紫外線ＵＶを反射することに関して、図６（ａ）を参照する。

【0300】

したがって、プラズマ発生装置１０は、反射鏡Ｍを備えるものとして、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに存在する気体のほか、その浮遊物に対して、紫外線ＵＶの照射を反復して行うことができる。

【0301】

これに対して、従来のプラズマ発生装置ＣＥＸのように、一対の電極Ｅ間に配置された誘電体層が、ガラス層１２ではなく、セラミックス層Ｃからなる場合にあっては、紫外線ＵＶが反射鏡Ｍに当たると、セラミックス層Ｃは、紫外線ＵＶを吸収してしまい、これを反射しないか、又は紫外線ＵＶを反射するとしても、その紫外線反射率が十分なものではないおそれがある。ここで、セラミックス層Ｃが紫外線ＵＶを吸収することに関し、図６（ｂ）を参照する。

【0302】

また、プラズマ発生装置１０は、反射鏡Ｍとして第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２とを備える場合にあっては、第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２との間において、紫外線ＵＶの反射を反復して行うことができる。ここで、第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２との間において紫外線ＵＶの反射を反復することに関して、図７を参照する。

【0303】

以上のとおり、プラズマ発生装置１０は、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶを反射し、これを効率的に利用することができるものである。

【0304】

また、もとの気体が窒素（Ｎ_２）である場合又は窒素（Ｎ_２）を含むものである場合にあっては、当該もとの気体が発する紫外線ＵＶは、近紫外線を含むものとなる。ここで、金属膜層１３における近紫外線に対する紫外線反射率は、通常、近紫外線以外の紫外線に対する紫外線反射率に比して、高いものとなる。すなわち、金属膜層１３における紫外線反射率は、紫外線Ａ波から紫外線Ｂ波を経て紫外線Ｃ波までにわたって、紫外線の波長が短くなることに従って、低下する傾向にある。このような傾向は、紫外線を反射する特性を有する金属一般においてみられるものであるところ、金属膜層１３が、例えば、銀からなるものである場合において急な低下がみられるほか、アルミニウムからなるものである場合においても銀からなるものである場合に比して緩やかな低下ながらも同様にみられるものである。

【0305】

そこで、もとの気体として、窒素（Ｎ_２）又は窒素（Ｎ_２）を含むもの、例えば、空気を選択した場合にあっては、当該プラズマ発生装置１０は、紫外線ＵＶのうち近紫外線を発生させて、この発生させた近紫外線を金属膜層１３によって高い紫外線反射率をもって反射し、もって紫外線ＵＶをより効率的に利用することができるものとなる。

【0306】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／作用／プラズマＰの量を増やすこと］
プラズマ発生装置１０にあっては、一対の電極Ｅ間に反射鏡Ｍが存在することにより、当該一対の電極Ｅ間の空間Ｓにおいて発生するプラズマＰの量を、一対の電極Ｅ間に反射鏡Ｍが存在しない場合に比して、増やすことができる。その機序は、次のとおりである。

【0307】

一対の電極Ｅ間における誘電体バリア放電により発生させたプラズマ（以下単に「もとのプラズマ」という。）は、電離した電子が電離した原子又は分子と再結合する過程又は励起した電子がより低いエネルギー準位に遷移する過程において、電磁波を発する。

【0308】

もとのプラズマが発した電磁波は、反射鏡Ｍにより反射され、もとのプラズマの周囲に存在する気体を構成する原子又は分子と衝突し、これらを電離させ、あるいは励起させ、もとのプラズマの周囲において新たなプラズマを発生させる。その結果として、プラズマ発生装置１０が発生させるプラズマＰの量は、もとのプラズマに対して新たなプラズマを加えたものとなる。

【0309】

したがって、プラズマ発生装置１０は、従来のプラズマ発生装置ＣＥＸのように、一対の電極Ｅ間に配置された誘電体層が、ガラス層１２ではなく、セラミックス層Ｃからなる場合に比して、その発生させるプラズマＰの量を増やすことができる。ここで、反射鏡Ｍが発生させるプラズマＰの量を増やすことに関して、図２、図３（ｂ）を参照する。

【0310】

以上のとおり、プラズマ発生装置１０は、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する電磁波を反射し、その発生させるプラズマＰの量を増やすことができるものである。

【0311】

なお、プラズマ発生装置１０を、気体を浄化しようとするものとして、すなわち、気体浄化装置１の一部を構成するものとして利用することは、固体を浄化しようとする場合に比して、取り分け有益なものとなる。この点については、特に後述する。

【0312】

［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／作用／オゾン等の量を増やすこと］
一対の電極Ｅ間の空間Ｓに酸素（Ｏ_２）が存在する場合にあっては、プラズマ発生装置１０は、酸素（Ｏ_２）に対して、紫外線ＵＶその他の電磁波の照射を反復して行うことのほか、その発生させたより多くの量のプラズマＰと接触させることによって、より多くの量のオゾン（Ｏ_３）を発生させることもできる。

【0313】

同様の場合において、プラズマ発生装置１０は、電離した酸素分子、酸素分子から解離した酸素原子、酸素分子の陰イオン、励起した酸素分子その他の酸素から発生する活性を有するもの（以下「活性酸素」ということがある。）についても、より多くの量のものを発生させることができる。

【0314】

［気体浄化装置１／流路２０］
流路２０は、気体浄化装置１において、室内の空気その他の浄化しようとする気体Ｇが流れるための部分である。気体浄化装置１にあっては、流路２０のうちのいずれかの部分にプラズマ発生装置１０が配置され、浄化しようとする気体Ｇは流路２０を流れる過程において浄化される。

【0315】

流路２０は、入口２０ａと、出口２０ｂと、経路２０ｃと、から少なくとも構成されるものである。入口２０ａは、浄化しようとする気体Ｇが気体浄化装置１の内部に入るための開口からなる部分である。出口２０ｂは、浄化しようとする気体Ｇが気体浄化装置１の外部に出るための開口からなる部分である。また、経路２０ｃは、浄化しようとする気体Ｇが入口２０ａから出口２０ｂまで流れるための通路からなる部分である。

【0316】

気体Ｇは、気体浄化装置１において、入口２０ａから入り、入口２０ａがある方向から出口２０ｂがある方向に向けて経路２０ｃを流れ、出口２０ｂから出ることになる。

【0317】

気体浄化装置１を利用して室内の空気を浄化しようとする場合にあっては、入口２０ａと出口２０ｂとを室内に向けて開放するか、又は導管を介して室内に接続する。気体浄化装置１を利用して室内の空気以外の気体を浄化しようとする場合にあっては、感染症患者の口及び鼻、空気調節装置の冷媒配管、内燃機関その他の当該気体の供給源と入口２０ａとを導管を介して接続するとともに、出口２０ｂを室内に向けて開放するか、又は導管を介して屋外に開放する。

【0318】

ここで、経路２０ｃのうち、基準となるものより入口２０ａ側にある部分を「流路２０のうち、（基準となるもの）より上流側」といい、基準となる物より出口２０ｂ側にある部分を「流路２０のうち、（基準となるもの）より下流側」という。また、入口２０ａ側を気体浄化装置１の正面側とし、出口２０ｂ側を気体浄化装置１の背面側とする。

【0319】

［気体浄化装置１／流路２０／入口２０ａ、出口２１ｂ及び経路２０ｃ］
流路２０は、浄化しようとする気体Ｇが上記のとおりに流れることができるものである限りにおいて、その具体的態様は特に限られるものではないが、例えば、第一電極１１ａと第三電極１１ｃと第一ガラス層１２ａと第二ガラス層１２ｂと第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとから構成されるものであることが好ましい。ここで、このような流路２０の例として、図１０、図１１、図１２（ａ）、図１５、図１６、図１７等を参照する。

【0320】

入口２０ａは、第一ガラス層１２ａと第二ガラス層１２ｂと第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとに囲まれるものとして、構成されることが好ましい。ここで、このような入口２０ａの例として、図１０、図１２（ａ）、図１５等を参照する。

【0321】

出口２０ｂは、第一電極１１ａと第三電極１１ｃと第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとに囲まれるものとして、構成されることが好ましい。ここで、このような出口２０ｂの例として、例えば、図１１、図１２（ａ）、図１６等を参照する。

【0322】

経路２０ｃは、第一ガラス層１２ａと第二ガラス層１２ｂと第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとに囲まれる第一部分２０ｃ１と、第一電極１１ａと第三電極１１ｃと第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとに囲まれる第二部分２０ｃ２と、から構成されることが好ましい。また、第一部分２０ｃ１が、流路２０のうち、第二部分２０ｃ２より上流側に配置されることがより好ましい。ここで、このような経路２０ｃの例として、図１２（ａ）、図１７を参照する。

【0323】

第一部分２０ｃ１にあっては、第二電極１１ｂと第一ガラス層１２ａとの間において、好ましくは、更に第二電極１１ｂと第二ガラス層１２ｂとの間において、一対の電極Ｅ間の空間Ｓが構成され、この空間ＳにおいてプラズマＰが発生する。浄化しようとする気体Ｇは、経路２０ｃのうち空間Ｓ及び空間Ｓに後続する部分を通過しながら、浄化される。また、第二部分２０ｃ２にあっては、フィルタ３０が配置されることが好ましい。

【0324】

［気体浄化装置１／流路２０／第二電極１１ｂと流路２０との関係］
気体浄化装置１において第二電極１１ｂを配置するに当たり、第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが、互いに平行となるように配置されてもよいが、互いに交わるように配置されることが好ましく、互いに垂直となるように配置されることがより好ましい。第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが互いに交わるように配置されることにより、第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが互いに平行となるように配置される場合に比して、一対の電極Ｅ間の空間Ｓの体積を変えることなく、流路２０の長さを短くすることができるため、圧力損失を小さくすることができ、浄化しようとする気体Ｇのうち単位時間当たりに浄化することができる気体Ｇの量を増加させることができる。さらに、第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが互いに垂直となるように配置されることにより、圧力損失を最も小さくすることができ、浄化しようとする気体Ｇのうち単位時間当たりに浄化することができる気体Ｇの量を最も増加させることができる。ここで、このような関係にある第二電極１１ｂ及び流路２０の例として、図１５、図１６、図１７等を参照する。

【0325】

第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが交わる場合において、これらがなす角のうち鋭角の角度は、４５°以上であることが好ましく、６０以上であることがより好ましく、７５°以上であることが更により好ましく、そして、９０°であることが最も好ましい。

【0326】

ここで、流路２０が、曲がりながら延びるものであるか、又は曲がりながら延びる部分を有するものである場合にあっては、「流路２０の延びる方向」とは、流路２０が曲がりながら延びる方向に沿って延びる仮想曲線と第二電極１１ｂの延びる方向に沿って延びる仮想直線との交点における接線を求め、当該接線が延びる方向をいうものとする。

【0327】

さらに、気体浄化装置１の一部を構成するプラズマ発生装置１０は、反射鏡Ｍを備えるものとして、発生させるプラズマＰの量を増やし、浄化しようとする気体ＧがプラズマＰと接触する確率を高めることができるものでもあるため、浄化しようとする気体Ｇの量の増加にかかわらず、これをその高められた確率をもって浄化することができる。

【0328】

これに対して、第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが互いに平行となるように配置された場合にあっては、反射鏡Ｍを備えるものではないプラズマ発生装置ＣＥＸを利用したときであっても、流路２０の延びる方向に沿って一対の電極Ｅ間の空間Ｓが配置されることになるため、浄化しようとする気体ＧがプラズマＰと接触する確率を高めることができるものの、流路２０も長くなるため、圧力損失が大きくなり、ひいては浄化しようとする気体Ｇの量も限られたものとなってしまう。

【0329】

以上のとおり、気体浄化装置１にあっては、第二電極１１ｂの延びる方向と流路２０の延びる方向とが垂直となるように配置することによって、プラズマ発生装置１０が備える反射鏡Ｍの存在と相俟って、浄化することができる気体Ｇの量を増やすことができる。

【0330】

［気体浄化装置１／フィルタ３０］
フィルタ３０は、ここを気体が通過した場合において、気体に占める特定の気体の濃度を減少させるためのものである。

【0331】

フィルタ３０は、網状のものからなる。ここでいう「網状」のものとは、二以上の要素が互いの間に隙間を介して細かく密に組み合わせられた骨格と、当該隙間からなり、空気が通過するための通路と、当該骨格のうち、当該通路を通過する空気と触れる部分となる表面と、を有するものをいう。さらに、ここでいう「網状」のものには、柵状、放射状、格子状、蜂の巣状、水玉状その他の二以上の要素が一定のきまりに従って組み合わされているもののほか、二以上の要素が一定のきまりに従うことなく組み合わされているもの、例えば、不織布状のものを含むものとする。以下同じ。

【0332】

フィルタ３０は、網状のもののうち、蜂の巣状のものからなることが好ましい。ここでいう「蜂の巣状」のものには、環状の骨格であって、その断面における輪郭が正六角形をなすものが互いに組み合わされて隙間なく配置されたもののほか、環状の骨格であって、その断面における輪郭が互いに組み合わせることができる多角形又はこれに近似する形状をなすものが互いに組み合わされて隙間なく配置されたものを含むものとする。

【0333】

ここで、多角形のうち、その断面における輪郭が互いに組み合わせることができるものとして、例えば、正六角形のほか、正三角形又は正四方形が好ましいが、直角三角形若しくは二等辺三角形（正三角形を除く。）又は台形若しくは平行四辺形（長方形及び菱形を含み、正四方形を除く。）であってもよく、ここでいう「二等辺三角形」に近似する形状として、二等辺三角形を構成する三辺のうち長さの等しい二辺に代えて一本の正弦曲線としたもの、いわゆるコルゲート状のものを含むものとする。

【0334】

フィルタ３０は、その表面において、触媒として又は自らと反応させて、特定の気体を分解する物質が配置されるものからなることが好ましい。

【0335】

もっとも、フィルタ３０は、その骨格そのものが、触媒として又は自らと反応させて、特定の気体を分解する物質からなるものであってもよい。

【0336】

フィルタ３０は、例えば、特定の気体を分解する触媒及びこれを保持する担体からなるもの、特定の気体を分解する触媒のみからなるもの、特定の気体と反応して分解する物質及びこれを保持する担体からなるもの、特定の気体と反応して分解する物質のみからなるもの、特定の気体を分解する触媒及び特定の気体と反応して分解する物質の組み合わせ並びにこれらを保持する担体からなるものの中から選ばれる。

【0337】

フィルタ３０は、分解しようとする特定の気体の別に応じ、流路２０のうちのいずれかの部分に配置される。このとき、フィルタ３０は、流路２０のうち当該部分を塞ぐように配置されることが好ましい。

【0338】

フィルタ３０として、例えば、第一フィルタ３０ａのほか、第二フィルタ３０ｂと第三フィルタ３０ｃとがある。

【0339】

［気体浄化装置１／フィルタ３０／第一フィルタ３０ａ］
第一フィルタ３０ａは、ここを気体が通過した場合において、当該気体に占めるオゾン（Ｏ_３）の濃度を減少させることにより、室内の空気に占めるオゾンの濃度が上がることを抑制するためのものである。

【0340】

気体浄化装置１は、例えば、第一フィルタ３０ａを備えることによって、室内の空気に占めるオゾンの濃度を下げることができ、第一フィルタ３０ａを備えないことによって、室内の空気に占めるオゾンの濃度を上げることができるほか、密閉容器内の空気に占めるオゾンの濃度を上げることもできる。

【0341】

気体浄化装置１は、例えば、室内の空気を浄化する空気浄化装置としての用に供される場合にあっては、第一フィルタ３０ａを備えるものであることが好ましい。ここで、このような気体浄化装置１の例として、図１０、図１１、図１２（ａ）、図１３（ａ）、図１４、図１５、図１６、図１７等を参照する。

【0342】

ただし、気体浄化装置１は、室内の空気を浄化する空気浄化装置としての用に供される場合であっても、人が存在しない室内、例えば、夜間の室内において使用されるときは、第一フィルタ３０ａを備えるものではないことが好ましい。ここで、このような気体浄化装置１の例として、図１３（ｂ）を参照する。

【0343】

第一フィルタ３０ａは、オゾンを分解する触媒及びこれを保持する担体からなるものが好ましく、蜂の巣状の骨格を有する担体の表面にオゾンを分解する触媒が保持されているものからなることがより好ましい。さらに、第一フィルタ３０ａは、二以上の正六角形状の筒が互いの間に隙間を介して細かく密に組み合わせてなる蜂の巣状の骨格３０ａ１と、当該隙間からなり、空気Ｇが通過するための通路３０ａ２と、当該骨格３０ａ１のうち、当該通路３０ａ２を通過する空気Ｇと触れる部分となる表面３０ａ３と、を有するものであって、その表面３０ａ３にオゾン分解する触媒が保持されているものであることが特に好ましい。ここで、このような第一フィルタ３０ａの例として、図１７、図１８等を参照する。

【0344】

触媒としてオゾンを分解するものとして、例えば、酸化マンガンが好ましく、酸化マンガンのうち、Ｍｎ_３Ｏ_４、Ｍｎ_２Ｏ_３、ＭｎＯ又はＭｎＯ_２がより好ましく、Ｍｎ_３Ｏ_４が最も好ましい。もっとも、触媒としてオゾンを分解するものは、酸化ニッケル（ＮｉＯ）その他の酸化マンガン以外の金属酸化物であってもよく、酸化マンガンと酸化マンガン以外の他の金属酸化物とを組み合わせたものであってもよい。

【0345】

また、第一フィルタ３０ａの表面において、オゾンを自らと反応させて分解するものが配置されていてもよく、触媒としてオゾンを分解するものと、オゾンを自らと反応させて分解するものとが組み合わされて配置されていてもよい。オゾンを自らと反応させて分解するものとして、炭素が好ましく、活性炭がより好ましい。

【0346】

オゾンを分解する触媒を保持する担体は、絶縁体からなるものであることが好ましく、例えば、シリカアルミナ繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、ムライト繊維、ガラス繊維、ロックウール繊維、炭素繊維その他の無機繊維からなるものであることがより好ましい。

【0347】

なお、オゾンを分解する触媒を保持する担体は、金属からなるものであってもよいが、第一フィルタ３０ａが電極１１と接する場合は、この限りでない。

【0348】

第一フィルタ３０ａの厚み及び幅は、流路２０のうち第一フィルタ３０ａが配置される部分を塞ぐことができる程度の厚み及び幅であればよく、例えば、第一フィルタ３０ａの厚みは、４～１０ｍｍであることが好ましく、５～９ｍｍであることがより好ましく、６～８ｍｍであることが更により好ましく、第一フィルタ３０ａの幅は、３０～１２０ｍｍであることが好ましく、４５～１０５ｍｍであることがより好ましく、６０～９０ｍｍであることが更により好ましい。

【0349】

第一フィルタ３０ａの奥行きは、８～３２ｍｍであることが好ましく、１２～１６ｍｍであることがより好ましく、１６～２４ｍｍであることが更により好ましい。

【0350】

以上のような第一フィルタ３０ａとして、例えば、無機繊維不織布からなり、蜂の巣状の骨格を有する担体の表面に活性炭粉末と酸化マンガンとが保持されているものがあり（特開２００６－２３１３２４号公報を参照）、ニチアス株式会社が製造販売する「ハニクル（登録商標）－ＺＶ」を通じて取得することができる。

【0351】

気体浄化装置１にあっては、第一フィルタ３０ａは、流路２０のうち、第二電極１１ｂより下流側に配置される。ここで、このような第一フィルタ３０ａの例として、図１２（ａ）、図１３（ａ）、図１４、図１７等を参照する。

【0352】

このほか、第一フィルタ３０ａは、第一電極１１ａと接することが好ましい。さらに、第一フィルタ３０ａは、第一電極１１ａと第三電極１１ｃとの間に配置されることがより好ましく、このとき、第一電極１１ａと接するとともに、第三電極１１ｃと接することが特に好ましい。ここで、このような第一フィルタ３０ａの例として、図１１、図１２（ａ）、図１３（ａ）、図１４、図１６、図１７等を参照する。

【0353】

オゾンを含む気体が第一フィルタ３０ａを通過し、触媒としてオゾンを分解するものが配置された表面に触れると、オゾン（Ｏ_３)は、酸素(Ｏ_２)に変換され、分解される。

【0354】

このため、オゾンを含む気体に第一フィルタ３０ａを通過させると、当該気体に占めるオゾンの濃度を減少させることができる。

【0355】

なお、第一フィルタ３０ａは、容易に交換することができる態様で、配置されることが好ましい。

【0356】

［気体浄化装置１／フィルタ３０／第二フィルタ３０ｂ］
第二フィルタ３０ｂは、ここを気体が通過した場合において、当該気体に占めるフッ素（Ｆ_２）又はフッ素化合物の濃度を減少させるためのものである。ここで、フッ素化合物として、例えば、特定フロン、すなわち、クロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）類のほか、パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）類、ハイドロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣ）類、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）類、六フッ化硫黄（ＳＦ_６）その他の代替フロンが挙げられる。

【0357】

プラズマ発生装置１０及びこれを備える気体浄化装置１は、プラズマＰのほか、これに伴って発生するオゾン及び紫外線ＵＶを利用するものとして、気体中の揮発性有機化合物を効率的に分解することができるものの、気体中のフッ素及びフッ素化合物を効率的に分解することが難しい傾向にある。

【0358】

そこで、気体浄化装置１をして、第二フィルタ３０ｂを備えるものとすることにより、気体中のフッ素及びフッ素化合物を効率的に分解できるものとすることができる。

【0359】

第二フィルタ３０ｂは、触媒としてフッ素又はフッ素化合物を分解するもの及びこれを保持する担体からなるもの好ましい。

【0360】

触媒としてフッ素又はフッ素化合物を分解するものとして、例えば、カルシウム（Ｃａ）が好ましく、粉末状のカルシウムがより好ましい。

【0361】

気体浄化装置１にあっては、第二フィルタ３０ｂは、流路２０のうち、第二電極１１ｂより下流側に、かつ、第一フィルタ３０ａより上流側に配置される。ここで、このような第二フィルタ３０ｂの例として、図１４（ａ）を参照する。

【0362】

フッ素又はフッ素化合物を含む気体が第二フィルタ３０ｂを通過し、カルシウムが保持された表面に触れると、フッ素又はフッ素化合物が分解される。

【0363】

このため、フッ素又はフッ素化合物を含む気体に第二フィルタ３０ｂを通過させると、当該気体に占めるフッ素又はフッ素化合物の濃度を減少させることができる。

【0364】

［気体浄化装置１／フィルタ３０／第三フィルタ３０ｃ］
第三フィルタ３０ｃは、ここを気体が通過した場合において、当該気体に占める硫化水素（Ｈ_２Ｓ）の濃度を減少させるためのものである。

【0365】

プラズマ発生装置１０及びこれを備える気体浄化装置１は、プラズマＰのほか、これに伴って発生するオゾン及び紫外線ＵＶを組み合わせて利用するものとして、気体中の揮発性有機化合物を効率的に分解することができるものの、気体中の硫化水素を効率的に分解することが難しい傾向にある。

【0366】

そこで、気体浄化装置１をして、第三フィルタ３０ｃを備えるものとすることにより、気体中の硫化水素を効率的に分解できるものとすることができる。

【0367】

第二フィルタ３０ｂは、触媒としてフッ素又はフッ素化合物を分解するもの及びこれを保持する担体からなるもの好ましい。

【0368】

第三フィルタ３０ｃは、自らと反応させて硫化水素を分解するもの及びこれを保持する担体からなるものが好ましい。

【0369】

自らと反応させて硫化水素を分解するものとして、例えば、酸化第二鉄（Ｆｅ_２Ｏ_３）が好ましい。

【0370】

気体浄化装置１にあっては、第三フィルタ３０ｃは、流路２０のうち、第二電極１１ｂより上流側に配置される。ここで、このような第三フィルタ３０ｃの例として、図１４（ｂ）を参照する。

【0371】

硫化水素を含む気体が第三フィルタ３０ｃを通過し、酸化第二鉄が保持された表面に触れると、硫化水素が分解される。

【0372】

このため、硫化水素を含む気体に第三フィルタ３０ｃを通過させると、当該気体に占める硫化水素の濃度を減少させることができる。

【0373】

［気体浄化装置１／フィルタ３０／電極１１とフィルタ３０との関係］

【0374】

［気体浄化装置１／フィルタ３０／電極１１とフィルタ３０との関係／フィルタ３０に関する課題］
ところで、他の従来の空気浄化装置にあっては、発生させたオゾンが室内に出ることにより室内の空気に占めるオゾンの濃度が高くなると、人体に好ましくない影響があることから、室内の空気に占めるオゾンの濃度を低い値に制御するために、発生させるオゾンの量を抑制することが行われている（特開２０１８－１３０２０８号公報。特に段落［００１５］及び［００４０］等を参照）。

【0375】

しかしながら、他の従来の空気浄化装置にあっては、室内の空気に占めるオゾンの濃度を低い値に制御するために、発生させるオゾンの量を抑制するものであることから、空気浄化装置内を通過する空気中を浮遊するウイルスを十分に不活性化させることができないおそれがある。

【0376】

このため、発生させるオゾンの量を抑制することなく室内の空気に占めるオゾンの濃度を低い値に制御するためには、空気浄化装置において浄化した気体にオゾンの濃度を減少させるためのフィルタを通過させてから室内に再び出すことを要するほか、当該フィルタにおいてオゾンを分解する能力が十分なものであることを要する。

【0377】

そこで、本発明は、気体に占めるオゾンの濃度を減少させるためのフィルタにおいて、そのオゾンを分解する能力を更に高めることを他の課題とするものでもある。

【0378】

さらに、本発明は、オゾンのほか、オゾン以外の特定の気体の濃度を減少させるためのフィルタにおいて、当該特定の気体を分解する能力を更に高めることを課題とするものでもあってもよい。

【0379】

［気体浄化装置１／フィルタ３０／電極１１とフィルタ３０との関係／フィルタ３０に関する課題に対する解決手段］
他の課題を解決するためには、気体浄化装置１は、次の構成を有することが好ましい。

【0380】

気体浄化装置１にあっては、第一電極１１ａと第一フィルタ３０ａとが、互いに接することが好ましい。この場合において、第一電極１１ａが第一フィルタ３０ａを覆うように配置されることがより好ましい。このとき、第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面において、第二部分１１ａ２が構成される。このほか、第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面において、第二部分１１ａ２と互いに隣接するものとして、第三部分１１ａ３が構成されることが特に好ましい。ここで、このような関係にある第一電極１１ａ及び第一フィルタ３０ａの例として、図１２（ａ）、図１３（ａ）、図１４、図１７、図１９、図２０、図２１等を参照する。

【0381】

第三部分１１ａ３は、露出して気体に接する部分として、第一金属膜層１３ａを介して第一ガラス層１２ａに覆われた第一部分１１ａ１に比して、高い熱伝導率を有する部分となる。

【0382】

気体浄化装置１にあっては、第三電極１１ｃと第一フィルタ３０ａとが、互いに接することも好ましい。この場合において、第三電極１１ｃが第一フィルタ３０ａを覆うように配置されることがより好ましい。このとき、第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面において、第二部分１１ｃ２が構成される。このほか、第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面において、第二部分１１ｃ２と互いに隣接するものとして、第三部分１１ｃ３が構成されることも特に好ましい。ここで、このような関係にある第一電極１１ａ及び第一フィルタ３０ａの例として、図１２（ａ）、図１３（ａ）、図１４、図１７、図１９、図２０、図２２等を参照する。

【0383】

第三部分１１ｃ３も、露出して気体に接する部分として、第二金属膜層１３ｂを介して第二ガラス層１２ｂに覆われた第一部分１１ｃ１に比して、高い熱伝導率を有する部分となる。

【0384】

一対の電極Ｅに所定の電圧を加えると、一対の電極Ｅ間の空間Ｓにおいて、プラズマＰが発生する。プラズマＰが発生すると、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに存在する気体の温度が上昇する。そのエネルギーは、熱Ｈとして、一対の電極Ｅに伝わり、一対の電極Ｅの温度が上昇する。

【0385】

一対の電極Ｅに伝わったエネルギーのうち、第一電極１１ａに伝わったエネルギーは、第一フィルタ３０ａに伝わり、第一フィルタ３０ａの温度が上昇する。さらに、第三電極１１ｃに伝わったエネルギーもまた、第一フィルタ３０ａに伝わり、第一フィルタ３０aの温度が更に上昇する。以上をより詳くみると、次のとおりである。

【0386】

第一の電極１１ａと第二電極１１ｂとの間の空間Ｓを満たす気体の温度が上昇すると、そのエネルギーは、熱Ｈとして、第一電極１１ａのうち第三部分１１ａ３に伝わり、第三部分１１ａ３から第二部分１１ａ２に伝わり、第二部分１１ａ２から第一フィルタ３０ａに伝わる。

【0387】

第三の電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間の空間Ｓを満たす気体の温度が上昇すると、そのエネルギーは、熱として、第三電極１１ｃのうち、第三部分１１ｃ３に伝わり、第三部分１１ｃ３から第二部分１１ｃ２に伝わり、第二部分１１ｃ２から第一フィルタ３０ａに伝わる。

【0388】

ここで、プラズマＰの発生に伴って発生した熱Ｈが第一フィルタ３０ａに伝わるまでに第一電極１１ａ若しくは第三電極１１ｃの一方又は両方を介することに関して、図１２（ｂ）、図２１（ａ）、図２２（ｄ）を参照する。

【0389】

第一フィルタ３０ａの温度が上昇すると、第一フィルタ３０ａの表面に配置された触媒が熱を受けて活性化し、そのオゾンを分解する能力が更に高まる。

【0390】

よって、本発明は、気体に占めるオゾンの濃度を減少させるためのフィルタにおいて、そのオゾンを分解する能力を更に高めることができる、との他の効果を奏する。

【0391】

また、以上のことは、第一フィルタ３０ａにおける場合と同様に、第二フィルタ３０ｂ及び第三フィルタ３０ｃについても同様に当てはまる。

【0392】

なお、使用を経て第一フィルタ３０ａがオゾンを分解する能力に逓減がみられる場合に際しては、新たな第一フィルタ３０ａに速やかに交換することが好ましい。

【0393】

［気体浄化装置１／スペーサ４０］
スペーサ４０は、一対の電極Ｅを構成する電極１１と他の電極１１とを支持し、これらを互いに距離を隔てて配置するとともに、ガラス層１２を支持し、ガラス層１２と一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１とを互いの間に空間を隔てて配置するための部材である。さらに、スペーサ４０は、流路２０の一部を構成するものでもあることが好ましい。

【0394】

スペーサ４０は、絶縁体、すなわち、その電気伝導率がガラス層１４を構成するガラスのそれに比して低いものからなり、例えば、エポキシ樹脂からなるものが好ましい。

【0395】

スペーサ４０は、一対の電極Ｅを構成する電極１１及び他の電極１１のほか、ガラス層１２を上記のとおりに配置することができるものである限りにおいて、その具体的態様は特に限られるものではないが、一対の電極Ｅを構成する電極１１及び他の電極１１の形状並びにこれらの組み合わせの態様に応じ、適当なものが任意に選択される。

【0396】

スペーサ４０は、単一の部材から構成されるものであってもよく、一対の部材から構成されるものであってもよい。また、スペーサ４０は、他の部材の一部、例えば、ケースの一部から構成されるものであってもよい。さらに、スペーサ４０は、連結手段４１を兼ね備えるものであってもよい。

【0397】

スペーサ４０として、第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとから構成されるものがある。

【0398】

［気体浄化装置１／スペーサ４０／第一スペーサ４０ａ］
第一スペーサ４０ａは、スペーサ４０のうち、プラズマ発生装置１０が第一電極１１ａと第二電極１１ｂと第三電極１１ｃとを備える場合において、適当なものとして、任意に選択されるものである。

【0399】

第一スペーサ４０ａは、例えば、角柱状のものからなり、上面、左側面、下面、右側面正面、背面をそれぞれ有する。

【0400】

第一スペーサ４０ａは、第一電極支持面４０ａ１と第二電極支持孔４０ａ２とを備えるほか、第三電極支持面４０ａ３を更に備えるものであることが好ましい。このとき、第一スペーサ４０ａは、上下対称構造を有するものとなる。ここで、このような第一スペーサ４０ａの例として、図１０（ａ）、図１１（ａ）、図１５、図１６、図１７、図１９、図２０、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0401】

第一電極支持面４０ａ１は、平らな表面であって、第一スペーサ４０ａの上面又は下面のうち、いずれか一方を構成する表面からなるものである。第一電極支持面４０ａ１は、第一電極１１ａのうち第四部分１１ａ４に対応する。ここで、このような対応関係の例として、図１９、図２０、図２１等を参照する。

【0402】

第二電極支持孔４０ａ２は、第一スペーサ４０ａの左側面から右側面まで貫通する貫通孔からなる。第二電極支持孔４０ａ２は、第二電極１１ｂの形状に応じた形状のものからなる。例えば、第二電極１１ｂが螺子状のものであるときは、第二電極支持孔４０ａ２は螺子孔状のものとなる。ここで、このような第二電極支持孔４０ａ２の例として、図１７、図１９、図２０、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0403】

第三電極支持面４０ａ３は、平らな表面であって、第一スペーサ４０ａの上面又は下面のうち、第一電極支持面４０ａ１がある側とは反対側にある他方を構成する表面からなるものである。第三電極支持面４０ａ３は、第三電極１１ｃのうち第四部分１１ｃ４に対応する。ここで、このような対応関係の例として、図１９、図２０、図２２等を参照する。

【0404】

もっとも、第一スペーサ４０ａは、第一電極支持面４０ａ１に代えて、溝からなる第一電極支持溝（図示しない）を備えるものであってもよく、また、第三電極支持面４０ａ３に代えて、溝からなる第三電極支持溝（図示しない）を備えるものであってもよい。この場合において、第一電極支持溝は第一電極１１ａを挿入することができるものとして構成され、第三電極支持溝は第三電極１１ｃを挿入することができるものとして構成される。

【0405】

これらのほか、第一スペーサ４０ａは、第一ガラス層支持面４０ａ４と、第二ガラス層支持面４０ａ５と、を更に備えるものであることが好ましい。ここで、このような第一スペーサ４０ａの例として、図１９、図２０、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0406】

第一ガラス層支持面４０ａ４は、平らな表面であって、第一電極支持面４０ａ１と段をなす表面からなるものであり、第一ガラス層１２ａのうち第二部分１２ａ２に対応する。

【0407】

第二ガラス層支持面４０ａ５は、平らな表面であって、第三電極支持面４０ａ３と段をなす表面からなるものであり、第二ガラス層１２ｂのうち第二部分１２ｂ２に対応する。

【0408】

［気体浄化装置１／スペーサ４０／第二スペーサ４０ｂ］
第二スペーサ４０ｂは、スペーサ４０のうち、プラズマ発生装置１０が第一電極１１ａと第二電極１１ｂと第三電極１１ｃとを備える場合において、適当なものとして、任意に選択されるものである。

【0409】

第二スペーサ４０ｂは、例えば、角柱状のものからなり、上面、左側面、下面、右側面正面、背面をそれぞれ有するほか、第一スペーサ４０ａとの関係において、左右対称構造をとるものからなる。

【0410】

第二スペーサ４０ｂは、第一電極支持面４０ｂ１と第二電極支持孔４０ｂ２とを備えるほか、第三電極支持面４０ｂ３を更に備えるものであることが好ましい。このとき、第二スペーサ４０ｂは、上下対称構造を有するものとなる。ここで、このような第二スペーサ４０ｂの例として、図１０（ａ）、図１１（ａ）、図１５、図１６、図１９、図２０（ａ）、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0411】

第一電極支持面４０ｂ１は、平らな表面であって、第二スペーサ４０ｂの上面又は下面のうち、いずれか一方を構成する表面からなるものである。第一電極支持面４０ｂ１は、第一電極１１ａのうち第五部分１１ａ５に対応する。ここで、このような対応関係の例として、図１９、図２０（ａ）、図２１等を参照する。

【0412】

第二電極支持孔４０ｂ２は、第二スペーサ４０ｂの左側面から右側面まで貫通する貫通孔からなる。第二電極支持孔４０ｂ２は、第二電極１１ｂの形状に応じた形状のものからなる。例えば、第二電極１１ｂが螺子状のものであるときは、第二電極支持孔４０ｂ２は螺子孔状のものとなる。ここで、このような第二電極支持孔４０ｂ２の例として、図１９、図２０（ａ）、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0413】

第三電極支持面４０ｂ３は、平らな表面であって、第二スペーサ４０ｂの上面又は下面のうち、第一電極支持面４０ｂ１がある側とは反対側にある他方を構成する表面からなるものである。第三電極支持面４０ｂ３は、第三電極１１ｃのうち第五部分１１ｃ５に対応する。ここで、このような対応関係の例として、図１９、図２０（ａ）、図２２等を参照する。

【0414】

もっとも、第二スペーサ４０ｂは、第一電極支持面４０ｂ１に代えて、溝からなる第一電極支持溝（図示しない）を備えるものであってもよく、また、第三電極支持面４０ｂ３に代えて、溝からなる第三電極支持溝（図示しない）を備えるものであってもよい。この場合において、第一電極支持溝は第一電極１１ａを挿入することができるものとして構成され、第三電極支持溝は第三電極１１ｃを挿入することができるものとして構成される。

【0415】

これらのほか、第二スペーサ４０ｂは、第一ガラス層支持面４０ｂ４と、第二ガラス層支持面４０ｂ５と、を更に備えるものであることが好ましい。ここで、このような第二スペーサ４０ｂの例として、図１９、図２０（ａ）、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0416】

第一ガラス層支持面４０ｂ４は、平らな表面であって、第一電極支持面４０ｂ１と段をなす表面からなるものであり、第一ガラス層１２ａのうち第二部分１２ａ２に対応する。

【0417】

第二ガラス層支持面４０ｂ５は、平らな表面であって、第三電極支持面４０ｂ３と段をなす表面からなるものであり、第二ガラス層１２ｂのうち第二部分１２ｂ２に対応する。

【0418】

［気体浄化装置１／スペーサ４０／一対のスペーサ４０ａ，４０ｂ］
第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとが、一対のスペーサ４０ａ，４０ｂを構成する。このとき、第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとは、互いに対向し、かつ、互いの間に空間を隔てて配置される。なお、正面視において、第一スペーサ４０ａは左側に配置され、第二スペーサ４０ｂは右側に配置される。

【0419】

一対のスペーサ４０ａ，４０ｂは、第一電極１１ａを、次のように支持する。ここで、説明のための例として、図１９、図２０、図２１等を参照する。

【0420】

第一スペーサ４０ａの第一電極支持面４０ａ１と、第一電極１１ａの第四部分１１ａ４とを一致させ、これらを接着する。ここで、スペーサ４０と接着するための方法として、例えば、接着剤によるもののほか、溶接又は溶着であってもよい。以下同じ。

【0421】

第二スペーサ４０ｂの第一電極支持面４０ｂ１と、第一電極１１ａの第五部分１１ａ５とを一致させ、これらを接着する。

【0422】

一対のスペーサ４０ａ，４０ｂは、第二電極１１ｂを、次のように支持する。ここで、説明のための例として、図１９、図２０、図２１（ｄ）、図２２（ａ）等を参照する。

【0423】

第二電極１１ｂの一端を、例えば、第二スペーサ４０ｂの第二電極支持孔４０ｂ２から挿入させ、第二スペーサ４０ｂを貫通させ、第一スペーサ４０ａと第二スペーサ４０ｂとの間の空間を通過させ、第一スペーサ４０ａの第二電極支持孔４０ａ２から挿入させ、第一スペーサ４０ａを貫通させる。このとき、第二電極１１ｂの他端が第二スペーサ４０ｂを通過してしまわないようにする。これにより、第二電極１１ｂの一端が第一スペーサ４０ａの第二電極支持孔４０ａ２から露出するとともに、第二電極１１ｂの他端が第二スペーサ４０ｂの第二電極支持孔４０ｂ２から露出することとなる。

【0424】

一対のスペーサ４０ａ，４０ｂは、第三電極１１ｃを、次のように支持する。ここで、説明のための例として、図１９、図２０、図２２等を参照する。

【0425】

第一スペーサ４０ａの第三電極支持面４０ａ３と、第三電極１１ｃの第四部分１１ｃ４とを一致させ、これらを接着する。

【0426】

第二スペーサ４０ｂの第三電極支持面４０ａ３と、第三電極１１ｃの第五部分１１ｃ５の他方とを一致させ、これらを接着する。

【0427】

以上のように行うことによって、一対のスペーサ４０ａ，４０ｂは、第一電極１１ａと第二電極１１ｂと第三電極１１ｃとを支持し、これらを所定の関係において配置することができる（以下「電極１１の配置」ということがある。）。

【0428】

なお、第一ガラス層１２ａ、第二ガラス層１２ｂ、第一金属膜層１３ａ、第二金属膜層１３ｂの配置は、電極１１の配置に続けて、また、好ましくはこれに先立って、例えば、次のように行う。ここで、説明のための例として、図１９、図２０、図２１、図２２等を参照する。

【0429】

第一ガラス層１２ａの片面に第一金属膜層１３ａが予め積層されてなる第一積層体Ｌ１を準備するとともに、第二ガラス層１２ｂの片面に第二金属膜層１３ｂが予め積層されてなる第二積層体Ｌ２を準備する（以下「積層体Ｌの準備」ということがある。）。積層体Ｌの準備は、ガラス層１２の表面に金属膜層１３を蒸着することによって行ってもよく、ガラス層１２と金属膜層１３とを互いの間にガラス層側導電性粘着層１４ｂを介して予め積層することによって行ってもよい。いずれにせよ、積層体Ｌにおいて、ガラス層１２と金属膜層１３とが密着することが好ましい。

【0430】

第一積層体Ｌ１の表面のうち第一金属膜層１３ａがある側の表面を、第一電極１１ａの第一部分１１ａ１に一致させ、これらを密着する。同様に、第二積層体Ｌ２の表面のうち第二金属膜層１３ｂがある側の表面を、第三電極１１ｃの第一部分１１ｃ１に一致させ、これらを密着する。一対の電極Ｅのうちの一方の電極１１と金属膜層１３とを密着するに当たっては、これらの間に電極側導電性粘着層１４ａを配置してもよく、また、そうすることが好ましい。

【0431】

なお、一対のスペーサ４０ａ，４０ｂが一対の第一ガラス層支持面４０ａ４，４０ｂ４及び一対の第二ガラス支持面４０ａ５，４０ｂ５を更に備える場合にあっては、第一ガラス層１２ａ及び第二ガラス層１２ｂ並びに第一金属膜層１３ａ及び第二金属膜層１３ｂの配置は、例えば、次のように行う。ここで、説明のための例として、図１９、図２０、図２１、図２２等を参照する。

【0432】

第一積層体Ｌ１の表面のうち第一ガラス層１２ａがある側の表面を、一対の第一ガラス層支持面４０ａ４，４０ｂ４に一致させ、これらを接着する。同様に、第二積層体Ｌ２の表面のうち第二ガラス層１２ｂがある側の表面を、一対の第二ガラス支持面４０ａ５，４０ｂ５に一致させ、これらを接着する。

【0433】

電極１１の配置を行う。電極１１の配置に当たり、第一電極１１ａのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面と第一金属膜層１３ａとを密着するとともに、第三電極１１ｃのうち第二電極１１ｂと対向する側にある表面と第二金属膜層１３ｂとを密着することが好ましい。

【0434】

以上のように、一対のスペーサ４０ａ，４０ｂは、プラズマ発生装置１０の組立て及び分解を容易なものとすることができるとともに、これを小型かつ軽量のものとすることができる。

【0435】

なお、積層体Ｌとして、ガラス層１２の片面に金属膜層１３が予め蒸着されてなるものを使用するほか、金属膜層１３の片面又は両面に導電性粘着層１４が予め積層されているもの、すなわち、導電性片面粘着テープ又は導電性両面粘着テープをガラス層１２の片面に粘着させてなるものを使用することもできる。もっとも、積層体Ｌを使用することなく電極１１の配置その他の要素の配置を行ってもよい。

【0436】

また、一対のスペーサ４０ａ，４０ｂ間に他のスペーサ（図示しない）を更に配置してもよい。他のスペーサは、第一電極１１ａと第三電極１１ｃとの間に配置され、これらを支持することにより、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間の距離及び第三電極１１ｃと第二電極１１ｂとの間の距離をより均一なものとすることができる。

【0437】

［気体浄化装置１／スペーサ４０／連結手段４１］
連結手段４１は、スペーサ４０の一部を構成し、気体浄化装置１と他の気体浄化装置１とを連結するためのものである。

【0438】

連結手段４１は、気体浄化装置１と他の気体浄化装置１とを連結することができる限りにおいて、その具体的態様は特に限られるものではないが、例えば、互いに嵌め合わせることできる一対の部分を備えるものであることが好ましく、畝部４１ａと溝部４１ｂとを備えるものであることがより好ましい。ここで、畝部４１ａと溝部４１ｂとを備える一対のスペーサ４０，４０の例として、図２３、図２４を参照する。

【0439】

畝部４１ａは、一対のスペーサ４０，４０のそれぞれの上面に配置され、溝部４１ｂは一対のスペーサ４０，４０のそれぞれの底面に配置される。

【0440】

気体浄化装置１の畝部４１ａに対し、他の気体浄化装置１の溝部４１ｂを背面方向から挿入して正面方向に滑らせるか、又は正面方向から挿入して背面方向に滑らせると、畝部４１ａと溝部４１ｂとが互いに嵌め合わされ、気体浄化装置１と他の気体浄化装置１とが連結される。ここで、このような連結方法について、図２３を参照する。

【0441】

［気体浄化装置１／作用］
気体浄化装置１の作用は、例えば、次のとおりのものである。

【0442】

［気体浄化装置１／作用／紫外線ＵＶを反射してウイルスを不活性化すること］
気体浄化装置１は、その備えるプラズマ発生装置１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに存在する気体のほか、当該気体中を浮遊する浮遊物に対して、紫外線ＵＶの照射を反復して行うことができるものである。

【0443】

ここで、気体浄化装置１が浄化しようする気体Ｇは、その浮遊物を伴いながら、一対の電極Ｅ間の空間Ｓを通過し、その通過する間、空間Ｓに存在する。

【0444】

したがって、浄化しようとする気体Ｇが浮遊物としてウイルスを含むものである場合にあっては、気体浄化装置１は、浄化しようとする気体Ｇ中を浮遊するウイルスに対して、紫外線ＵＶの照射を反復して行うことができ、もってより多くの量のウイルスを不活性化させることができる。

【0445】

また、気体浄化装置１は、その備えるプラズマ発生装置１０が反射鏡Ｍとして第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２とを備える場合にあっては、第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２との間において、紫外線ＵＶの反射を反復して行うことができ、もって更なるより多くの量のウイルスを不活性化させることができる。

【0446】

以上のとおりであるから、気体浄化装置１は、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶを反射し、浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものである。

【0447】

［気体浄化装置１／作用／プラズマＰの量を増やしてウイルスを不活性化すること］
気体浄化装置１は、その備えるプラズマ発生装置１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、その発生させるプラズマＰの量を増やすことができるものである。

【0448】

ここで、プラズマＰの量を増やすことは、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに占めるプラズマＰの体積を増やし、浄化しようとする気体Ｇが流路２０を通過するまでにプラズマＰと接触する確率を高めることにつながる。浄化しようとする気体ＧがプラズマＰと接触する確率を高めることは、浄化しようとする気体Ｇが浮遊物としてウイルスを含むものである場合において、浄化しようとする気体Ｇ中を浮遊するウイルスがプラズマＰと接触する確率を高めることにつながり、ひいては気体浄化装置１が浄化しようとする気体Ｇ中を浮遊するウイルスを不活性化させることができる確率を高めることにもつながる。

【0449】

すなわち、浄化しようとする対象が固体である場合にあっては、浄化しようとする固体を一対の電極Ｅ間に配置すれば、浄化しようとする固体は一対の電極Ｅ間に留まり続けるものであるため、プラズマＰを発生させる時間を長くすることにより、浄化しようとする固体の表面がプラズマＰと接触する確率を高めることができる。

【0450】

これに対して、浄化しようとする対象が気体である場合にあっては、浄化しようとする気体Ｇは一対の電極Ｅ間を通過するものであるため、プラズマＰを発生させる時間を長くしても、浄化しようとする気体ＧがプラズマＰと接触する確率を高めることができない。

【0451】

したがって、プラズマ発生装置１０を気体浄化装置１の一部を構成するものとして利用することは、固体を浄化しようとする場合に比して、取り分け有益なものとなる。

【0452】

以上のとおりであるから、気体浄化装置１は、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する電磁波を反射し、その発生させるプラズマＰの量を増やし、浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスがプラズマＰと接触する確率を高めることができるものとして、もって浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるである。

【0453】

［気体浄化装置１／作用／オゾン等の量を増やしてウイルスを不活性化すること］
気体浄化装置１は、その備えるプラズマ発生装置１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、その発生させるオゾンの量を増やすことができるものである。

【0454】

ここで、オゾンは、その有する強い酸化力によって、ウイルスを不活性化させる働きがある。

【0455】

以上のとおりであるから、気体浄化装置１は、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶを反射し、浄化しようとする気体Ｇ中の酸素に対して紫外線ＵＶの照射を反復して行い、その発生させるオゾンの量を増やすことができるものとして、もって浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものである。

【0456】

さらに、気体浄化装置１は、その発生させる活性酸素の量を増やすことができるものとして、もって浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものでもある。

【0457】

［気体浄化装置１／作用／更なる作用］
気体浄化装置１は、プラズマＰのほか、これに伴って発生する紫外線ＵＶ及びオゾン等を組み合わせて利用することによって、ウイルスはもとよりとして、ウイルス以外の他の微生物、例えば、細菌類及び真菌類を不活性化させることができるとともに、窒素酸化物（ＮＯｘ）、揮発性有機化合物（Volatile Organic Compounds，ＶＯＣ）その他の人体に好ましくない影響を与える気体を分解することができるものでもある。このことは、削減が求められている二酸化炭素（ＣＯ_２）、臭気の原因となるアンモニア（ＮＨ_３）その他の特定の気体についても同様に当てはまる。

【0458】

したがって、気体浄化装置１は、大気圧下において空気のプラズマを発生させることによって、特定の気体を分解し、これを浄化するためのものとしても使用することができ、また、そうすることが特に好ましい。空気には窒素（Ｎ_２）と酸素（Ｏ_２）とが含まれるところ、窒素（Ｎ_２）のプラズマが発する電磁波は近紫外線を含み、これは酸素（Ｏ_２）との共存下でも変わらない。ここで、近紫外線は、そのエネルギーによって、浄化しようとする気体を励起し、当該気体を構成する原子間の結合、特に切断が困難とされるπ結合であっても、これを容易に切断することができるものである。このため、気体浄化装置１を上記のとおりに使用した場合にあっては、比較的低いエネルギーをもってして多種多様な気体を分解し、これを浄化することができる。さらに、同様の場合において、例えば、第二電極１１ｂを触媒として作用するものから構成したときは、当該気体浄化装置１は、大気圧プラズマ励起と電極表面触媒活性とを時空間的に共存させたものとして、更により効率的に気体を分解し、これを浄化することができるものとなる。

【0459】

なお、分解しようとする気体において吸収することができる電磁波の波長が近紫外線の範囲内に存在しない場合であっても、共鳴励起関係が成立する限り、当該気体を励起し、これを分解することができる。

【0460】

さらに、第二電極１１ｂが触媒金属のうち紫外線又は熱を受けて触媒として活性化するものからなる場合にあっては、第二電極１１ｂが、プラズマＰに伴って発生する熱又は光によって触媒としても活性化するため、プラズマ励起と触媒活性との相乗効果を得ることができ、微生物の不活性化及び特定の気体の分解をより効率的に行うことができる。

【0461】

取り分け第二電極１１ｂが光触媒として作用するものからなる場合にあっては、窒素のプラズマが発する電磁波のうち波長が３００～３８０ｎｍの範囲にある近紫外線は光触媒を活性化させることができるものでもあることから、反射鏡Ｍが存在することによって、プラズマ励起と触媒活性との相乗効果を更に高めることもできる。

【0462】

さらに、気体浄化装置１は、微生物の不活性化及び特定の気体の分解に関して、これらの効率を高めることができるものである結果、装置としての十分な性能を維持したまま、これを小型化し、また、これを軽量化することもできる。

【0463】

［気体浄化装置１／作用／小括］
気体浄化装置１は、その備えるプラズマ発生装置１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を反射することに基づいて、例えば、以下の作用効果を奏するものである。

【0464】

すなわち、気体浄化装置１は、
（１）浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスに対して紫外線ＵＶの照射を反復して行い、
（２）その発生させるプラズマＰの量を増やし、浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスがプラズマＰと接触する確率を高め、あるいは、
（３）その発生させるオゾンの量を増やすことにより、
もって、浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものである。

【0465】

よって、気体浄化装置１は、プラズマ発生装置１０を備えるものとして、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を効率的に利用することができるものである。

【0466】

このほか、気体浄化装置１は、より多くの量のオゾンを発生させることができるものであるにもかかわらず、気体に占めるオゾンの濃度を減少させるためのフィルタにおいて、そのオゾンを分解する能力を更に高めることによって、その発生させるオゾンの量を抑制することなく、室内の空気に占めるオゾンの濃度を低い値に制御することができるものでもある。

【0467】

気体浄化装置１は、以上のとおりのものとして、例えば、室内の空気を循環させながら浄化する空気調節装置に取り付けられた場合にあっては、その一対の電極Ｅ間の空間Ｓに室内の空気Ｇを通過させ、室内の空気Ｇのうち一対の電極Ｅ間の空間Ｓを通過した部分中のウイルスを不活性化させることを継続反復し、もって室内の空気Ｇ全体中のウイルスを不活性化させることができるものとなる。

【0468】

［気体浄化装置１，１等］
気体浄化装置１は、他の気体浄化装置１と組み合わせて使用することもでき、例えば、二以上の気体浄化装置１が垂直的に又は水平的に連結した構造とすることができる。これにより、気体浄化装置１を単独で使用する場合に比して、浄化することができる気体の量を増やすことができる。

【0469】

例えば、気体浄化装置１と他の気体浄化装置１とが、それぞれが備える連結手段４１を介して、垂直的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１を構成することが好ましい。このとき、気体浄化装置１の第一電極１１ａと他の気体浄化装置１の第三電極１１ｃとが電気的に接続されることがより好ましく、これらが互いに接することがより好ましい。

【0470】

また、気体浄化装置１と他の気体浄化装置１とが、それぞれが備える第二電極１１ｂを通じて、水平的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１を構成することも好ましい。このとき、気体浄化装置１の第二電極１１ｂと他の気体浄化装置１の第二電極１１ｂとが電気的に接続されることがより好ましく、気体浄化装置１と他の気体浄化装置１とが単一の第二電極１１ｂを互いに共有する構造とすることが特に好ましい。

【0471】

さらに、垂直的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１と、垂直的に結合した構造を有する他の気体浄化装置１，１とが、更に水平的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１，１，１を構成することもできる。また、水平的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１と、水平的に結合した構造を有する他の気体浄化装置１，１とが、更に垂直的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１，１，１を構成することもできる。

【0472】

以上のほか、垂直的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１と気体浄化装置１とが更に垂直的に結合した構造を有する気体浄化装置１，１，１としてもよい。

【0473】

ここで、二以上の気体浄化装置１を組み合わせたもののの例として、図２３、図２４を参照する。

【第二実施形態】

【0474】

［気体浄化装置１０１］
気体浄化装置１０１は、室内の空気その他の浄化しようとする気体Ｇを、内部に入れて浄化してから外部に出すことにより、浄化した気体を得るためのものであって、自ら送風することにより、浄化しようとする気体Ｇを出し入れするためのものである。このほか、気体浄化装置１０１は、紫外線ＵＶを外部に向けて照射するものであることが好ましい。すなわち、気体浄化装置１０１は、気体浄化機能を有するほか、送風機能を有し、好ましくは、紫外線照射機能を更に有するものである。

【0475】

気体浄化装置１０１は、全体として、円筒状のものである。

【0476】

気体浄化装置１０１の直径は、５０～１５０ｍｍであることが好ましく、７５～１２５ｍｍであることがより好ましく、１００ｍｍであることが特に好ましい。

【0477】

気体浄化装置１０１の奥行きは、１７０～２００ｍｍであることが好ましく、１８０～１９０ｍｍであることがより好ましく、１８５ｍｍであることが特に好ましい。

【0478】

気体浄化装置１０１は、プラズマ発生装置１１０と、流路１２０と、を少なくとも備えるものである。これらのほか、気体浄化装置１０１は、送風装置１５０を更に備えるものである。ただし、気体浄化装置１０１は、第一フィルタ１３０ａを備えるものではなく、また、第二フィルタ１３０ｂを備えるものでもない。

【0479】

また、気体浄化装置１０１は、有孔鏡１６０を更に備えるものであることが好ましい。

【0480】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０］
プラズマ発生装置１１０は、プラズマＰを発生させるための装置として、気体浄化装置１０１の一部を構成するためのものである。

【0481】

プラズマ発生装置１１０は、電極１１１とガラス層１１２と金属膜層１１３との組み合わせからなるものである。すなわち、プラズマ発生装置１１０は、例えば、第一電極１１１ａと第二電極１１１ｂとからなる一対の電極Ｅと、第一ガラス層１１２ａと、第一金属膜層１１３ａと、を備えるものである。

【0482】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／電極１１１］
電極１１１として、第一電極１１１ａがあるほか、第二電極１１１ｂがある。

【0483】

一対の電極Ｅは、第一電極１１１ａと第二電極１１１ｂとから構成される。

【0484】

電極１１１のその余については、「電極１１」と同様のものであるから、「電極１１」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１］においてした説明をいう。ただし、「第三電極１１ｃ」に関する部分を除く。）を準用する。

【0485】

なお、準用に当たり、「電極１１」とあるのは「電極１１１」と、「第一電極１１ａ」とあるのは「第一電極１１１ａ」と読み替えるものとし、その余の要素についても、この例による。以下この明細書において同じ。

【0486】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／電極１１１／第一電極１１１ａ］
第一電極１１１ａは、電極１１１のうち、第二電極１１１ｂと併せて、一対の電極Ｅを構成するためのものである。

【0487】

第一電極１１１ａは、環状のものである。ここで、第一電極１１１ａの例として、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0488】

なお、第一電極１１１ａのうち第二電極１１１ｂと対向する側とは反対側にある表面は、気体浄化装置１０１の外部からの電気的接続を容易なものとする観点から、その一部が径方向に板状に突出し、ケース１４０を貫通して外部に露出することが好ましい。

【0489】

第一電極１１１ａのその余については、「第一電極１１ａ」と同様のものであるから、「第一電極１１ａ」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第一電極１１ａ］においてした説明をいう。ただし、「第一フィルタ３０ａ」、「第一スペーサ４０ａ」又は「第二スペーサ４０ｂ」のそれぞれに関する部分を除く。）を準用する。この場合において、同説明中において参照する図面に代えて、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照するものとする。

【0490】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／電極１１１／第二電極１１１ｂ］
第二電極１１１ｂは、電極１１１のうち、第一電極１１１ａと併せて、一対の電極Ｅを構成するとともに、送風装置１５０の一部を構成するためのものである。

【0491】

第二電極１１１ｂの形状その他の態様は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0492】

第二電極１１１ｂは、羽根状のものである。すなわち、第二電極１１１ｂは、回転軸に直接的に又は間接的に連結され、回転軸の中心線を中心に公転することにより、風を送ることができる形状のものである。第二電極１１１ｂは、例えば、原動機１５１から延びる駆動軸１５２にかたく嵌め合わされた轂１５３ａから径方向に延び、この駆動軸１５２の中心線を中心に公転することにより風を起こすことができるものであることが好ましい。

【0493】

第二電極１１１ｂの厚みは、０．２～０．８ｍｍであることが好ましく、０．３～０．７ｍｍであることがより好ましく、０．４～０．６ｍｍであることが更により好ましい。

【0494】

第二電極１１１ｂの長さ（径方向に延びる長さをいう。）は、１０～３０ｍｍであることが好ましく、１５～２５ｍｍであることがより好ましい。

【0495】

第二電極１１１ｂは、その先端部分１１１ｂ１において、触媒層が配置されているものであることが好ましい。また、触媒層に代えて、誘電体層が配置されているものであってもよい。さらに、二以上の第二電極１１１ｂとして、触媒層を先端部分１１１ｂ１に配置した第二電極１１１ｂと誘電体層を先端部分１１１ｂ１に配置した第二電極１１１ｂとを組み合わせてもよい。第二電極１１１ｂの先端部分１１１ｂに配置される触媒層又は誘電体層の厚みは、２０μｍ以上であることが好ましい。

【0496】

第二電極１１１ｂのその余については、「第二電極１１ｂ」と同様のものであるから、「第二電極１１ｂ」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第二電極１１ｂ］においてした説明をいう。ただし、「第三電極１１ｃ」、「第一スペーサ４０ａ」又は「第二スペーサ４０ｂ」のそれぞれに関する部分を除く。）を準用する。この場合において、同説明中において参照する図面に代えて、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照するものとする。

【0497】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／ガラス層１１２］
ガラス層１１２として、第一ガラス層１１２ａがある。

【0498】

ガラス層１１２のその余については、「ガラス層１２」と同様のものであるから、「ガラス層１２」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／ガラス層１２］においてした説明をいう。）を準用する。

【0499】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／ガラス層１１２／第一ガラス層１１２ａ］
第一ガラス層１１２ａは、第一電極１１１ａの形状に応じ、環状のものが選択される。

【0500】

第一ガラス層１１２ａのその余については、「第一ガラス層１２ａ」と同様のものであるから、「第一ガラス層１２ａ」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／ガラス層１２／第一ガラス層１２ａ］においてした説明をいう。ただし、「第一スペーサ４０ａ」又は「第二スペーサ４０ｂ」のそれぞれに関する部分を除く。）を準用する。この場合において、同説明中において参照する図面に代えて、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照するものとする。

【0501】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／金属膜層１１３］
金属膜層１１３として、第一金属膜層１１３ａがある。

【0502】

金属膜層１１３のその余については、「金属膜層１３」と同様のものであるから、「金属膜層１３」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／金属膜層１３］においてした説明をいう。）を準用する。

【0503】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／金属膜層１１３／第一金属膜層１１３ａ］
第一金属膜層１１３ａについては、「第一金属膜層１３ａ」と同様のものであるから、「第一金属膜層１３ａ」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／金属膜層１３／第一金属膜層１３ａ］においてした説明をいう。）を準用する。この場合において、同説明中において参照する図面に代えて、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照するものとする。

【0504】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／導電性粘着層１１４］
導電性粘着層１１４として、第一電極１１１ａと接する第一電極側導電性粘着層１１４ａ１と、第一ガラス層１１２ａと接するガラス層側導電性粘着層１１４ｂ１と、がある。

【0505】

これらのほか、第一金属膜層１１３ａが二以上の金属膜から構成される場合にあっては、導電性粘着層１１４として、一の金属膜と他の金属膜との間に配置されて、これらと接する第一金属膜層間導電性粘着層１１４ｃ１がある。

【0506】

導電性粘着層１１４のその余については、「導電性粘着層１４」と同様のものであるから、「導電性粘着層１４」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４］から［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／導電性粘着層１４／作用］までにおいてした説明をいう。ただし、「第三電極側導電性粘着層１４ａ２」、「第二ガラス層側導電性粘着層１４ｂ２」又は「第二金属膜層間導電性粘着層１４ｃ２」のそれぞれに関する部分を除く。）を準用する。

【0507】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／電極１１１とガラス層１１２と金属膜層１１３と導電性粘着層１１４との組み合わせ］
プラズマ発生装置１１０にあっては、第一電極１１１ａと、第一ガラス層１１２ａと、第一金属膜層１１３ａと、導電性粘着層１１４との組み合わせの態様として、例えば、「プラズマ発生装置１０」について挙げたものと同様のものが挙げられる。

【0508】

そこで、第一電極１１１ａと、第一ガラス層１１２ａと、第一金属膜層１１３ａと、導電性粘着層１１４との組み合わせについて、「プラズマ発生装置１０」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１とガラス層１２と金属膜層１３と導電性粘着層１４との組み合わせ］においてした説明をいう。）を準用する。

【0509】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／反射鏡Ｍ］
プラズマ発生装置１１０にあっては、第一ガラス層１１２ａと第一金属膜層１１３ａとが、併せて反射鏡Ｍを構成する。反射鏡Ｍは、プラズマＰが発する紫外線ＵＶを反射するためのものである。さらに、反射鏡Ｍは、発生させるプラズマＰの量を増やすことができるものでもある。

【0510】

反射鏡Ｍにおいて、第一ガラス層１１２ａは紫外線を透過させ、第一金属膜層１１３ａは第一ガラス層１１２ａを透過した紫外線を反射する。このとき、第一ガラス層１１２ａは、第一金属膜層１１３ａの紫外線反射率を低減させるおそれがある要因、例えば、プラズマ、紫外線、酸化による損傷から第一金属膜層１１３ａを保護する。

【0511】

もっとも、第一電極１１１ａを紫外線を反射する特性を有する金属からなるものとし、当該第一電極１１１ａと第一ガラス層１１２ａとを、互いの間に第一金属膜層１１３ａを介することなく、互いに接するものとすることによって、反射鏡Ｍを、第一ガラス層１１２ａと第一金属膜層１１３ａとから構成することに代えて、第一電極１１１ａと第一金属膜層１１３ａとから構成することもできる。

【0512】

プラズマ発生装置１１０にあっては、第一電極１１１ａが環状のものであり、このことに応じて第一ガラス層１１２ａと第一金属膜層１１３ａとがいずれも環状のものとなり、これらから構成される反射鏡Ｍもまた環状のものとなる。このため、反射鏡Ｍの内表面のうち互いに対向する部分と部分との間に合わせ鏡の関係が成り立ち、これらの間で、又はこれらと有孔鏡１６０との間で、紫外線の反射が反復して行われることになる。ここで、このような反射鏡Ｍの例として、図２５、図２６、図２７、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0513】

［気体浄化装置１０１／プラズマ発生装置１１０／作用］
一対の電極Ｅに所定の電圧を加えると、誘電体バリア放電によって、一対の電極Ｅ間の空間Ｓにおいて、プラズマＰが発生する。すなわち、第一電極１１１ａと第二電極１１１ｂとの間に所定の電位差を与えると、第一電極１１１ａと第二電極１１１ｂとの間の空間ＳにプラズマＰが発生する。このとき、プラズマＰは、第二電極１１１ｂが公転する方向に沿って環状に発生するものとなる。

【0514】

この場合において、例えば、一対の電極Ｅ間の空間Ｓに窒素の気体（Ｎ_２）が存在するときは、窒素のプラズマが発生し、この窒素のプラズマが、紫外線ＵＶを発する。

【0515】

紫外線ＵＶが反射鏡Ｍに当たると、反射鏡Ｍは、紫外線ＵＶを吸収することなく、これを反射する。ここで、反射鏡Ｍが紫外線ＵＶを反射することに関して、図２７を参照する。

【0516】

プラズマ発生装置１１０が、紫外線ＵＶを反射することのその余のほか、プラズマＰの量を増やすこと、オゾン等の量を増やすことのそれぞれについては、「プラズマ発生装置１０」における場合と同様であるから、「プラズマ発生装置１０」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／作用］から［気体浄化装置１／作用／オゾン等の量を増やすこと］までにおいてした説明をいう。ただし、「第三電極１１ｃ」に関する部分を除く。）を準用する。

【0517】

［気体浄化装置１０１／流路１２０］
流路１２０は、気体浄化装置１０１において、室内の空気その他の浄化しようとする気体Ｇが流れるための部分である。気体浄化装置１０１にあっては、流路１２０のうちのいずれかの部分にプラズマ発生装置１１０が配置され、浄化しようとする気体Ｇは流路１２０を流れる過程において浄化される。

【0518】

流路１２０は、入口１２０ａと、出口１２０ｂと、経路１２０ｃと、から少なくとも構成されるものである。

【0519】

入口１２０ａは、浄化しようとする気体Ｇが気体浄化装置１０１の内部に入るための開口からなる部分である。出口１２０ｂは、浄化しようとする気体Ｇが気体浄化装置１０１の外部に出るための開口からなる部分である。また、経路１２０ｃは、浄化しようとする気体Ｇが入口１２０ａから出口１２０ｂまで流れるための通路からなる部分である。

【0520】

浄化しようとする気体Ｇは、気体浄化装置１０１において、入口１２０ａから入り、入口１２０ａがある方向から出口１２０ｂがある方向に向けて経路１２０ｃを流れ、出口１２０ｂから出ることになる。

【0521】

気体浄化装置１０１を利用して室内の空気を浄化しようとする場合にあっては、入口１２０ａと出口１２０ｂとを室内に向けて開放するか、又は導管を介して室内に接続する。気体浄化装置１０１を利用して室内の空気以外の気体を浄化しようとする場合にあっては、感染症患者の口及び鼻、空気調節装置の冷媒配管、内燃機関その他の当該気体の供給源と入口１２０ａとを導管を介して接続するとともに、出口１２０ｂを室内に向けて開放するか、又は導管を介して屋外に開放する。

【0522】

ここで、経路１２０ｃのうち、基準となるものより入口１２０ａ側にある部分を「流路１２０のうち、（基準となるもの）より上流側」といい、基準となる物より出口１２０ｂ側にある部分を「流路１２０のうち、（基準となるもの）より下流側」という。また、入口１２０ａ側を気体浄化装置１０１の正面側とし、出口１２０ｂ側を気体浄化装置１０１の背面側とする。

【0523】

流路１２０は、浄化しようとする気体Ｇが上記のとおりに流れることができるものである限りにおいて、その具体的態様は特に限られるものではないが、例えば、第一ガラス層１１２ａとケース１４０とから構成されるものであることが好ましい。ここで、このような流路１２０の例として、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0524】

入口１２０ａは、ケース１４０に囲まれた貫通孔であって、ケース１４０の側部のうち一端側に配置されたものから構成されることが好ましい。また、入口１２０ａは、左右に一対のものとして構成されることがより好ましい。ここで、このような入口１２０ａの例として、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0525】

出口１２０ｂは、ケース１４０に囲まれた開口であって、ケース１４０の他端側に配置されたものから構成されることが好ましい。ここで、このような出口１２０ｂの例として、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0526】

経路１２０ｃは、第一ガラス層１１２ａに囲まれる第一部分１２０ｃ１と、ケース１４０の内面に囲まれる第二部分１２０ｃ２と、から構成されることが好ましい。また、第一部分１２０ｃ１が、流路１２０のうち、第二部分１２０ｃ２より下流側に配置されることがより好ましい。ここで、このような経路１２０ｃの例として、図２６、図２９、図３０等を参照する。

【0527】

第一部分１２０ｃ１にあっては、第二電極１１１ｂと第一ガラス層１１２ａとの間において、一対の電極Ｅ間の空間Ｓが構成され、この空間ＳにおいてプラズマＰが発生する。浄化しようとする気体Ｇは、経路１２０ｃのうち空間Ｓ及び空間Ｓに後続する部分を通過しながら、浄化される。また、第二部分１２０ｃ２にあっては、有孔鏡１６０が配置されることが好ましい。この場合において、気体浄化装置１０１が第三フィルタ１３０ｃを備えるときにあっては、第三フィルタ１３０ｃは、流路１２０ｃのうち、有孔鏡１６０より上流側に配置されることが好ましい。

【0528】

［気体浄化装置１０１／フィルタ１３０］
フィルタ１３０は、ここを気体が通過した場合において、当該気体に占める特定の気体の濃度を減少させるためのものである。

【0529】

ただし、気体浄化装置１０１は、フィルタ１３０のうち、第一フィルタ１３０ａを備えるものではなく、第二フィルタ１３０ｂを備えるものでもない。もっとも、気体浄化装置１０１は、第三フィルタ１３０ｃを備えるものであってもよい。

【0530】

気体浄化装置１０１は、第一フィルタ１３０ａを備えるものではないため、流路１２０のうち、第二電極１１１ｂより下流側において、オゾンを含む気体Ｇが出口１２０ｂから外部に向けて放出されることを妨げるものが存在しない。

【0531】

さらに、気体浄化装置１０１は、第一フィルタ１３０ａを備えるものではなく、また、第二フィルタ１３０ｂを備えるものでもないため、流路１２０のうち、第二電極１１１ｂより下流側において、紫外線ＵＶが出口１２０ｂから外部に向けて照射されることを妨げるものが存在しない。

【0532】

以上のとおりであるから、気体浄化装置１０１は、オゾンを含む気体Ｇを出口１２０ｂから外部に向けて放出することができるとともに、紫外線ＵＶを出口１２０ｂから外部に向けて照射することができるものとなる。

【0533】

気体浄化装置１０１にあっては、第三フィルタ１３０ｃは、流路１２０のうち、第二電極１１１ｂより上流側に配置される。また、気体浄化装置１０１が有孔鏡１６０を備える場合にあっては、第三フィルタ１３０ｃは、流路１２０のうち、有孔鏡１６０より上流側に配置される。

【0534】

フィルタ１３０（第一フィルタ１３０ａ、第二フィルタ１３０ｂ及び第三フィルタ１３０ｃを含む。）のその余については、「フィルタ３０」（「第一フィルタ３０ａ」、「第二フィルタ３０ｂ」及び「第三フィルタ３０ｃ」を含む。）と同様のものであるから、「フィルタ３０」についてした説明（［気体浄化装置１／フィルタ３０］から［気体浄化装置１／フィルタ３０／電極１１とフィルタ３０との関係／フィルタ３０に関する課題に対する解決手段］までにおいてした説明をいう。ただし、「第三電極１１ｃ」に関する部分を除く。）を準用する。

【0535】

［気体浄化装置１０１／ケース１４０］
ケース１４０は、気体浄化装置１０１を構成する各要素を内部に収納し、これらを所定の関係において配置するとともに、これらを保護するためのものである。

【0536】

ケース１４０は、上記を満たす限りことができるものである限りにおいて、その具体的態様は特に限られるものではないが、気体浄化装置１０１を構成する各要素の態様に応じ、適当なものが任意に選択される。

【0537】

ケース１４０は、絶縁体からなるか、又は強度があり、かつ、電磁シールド可能な金属からなるものであることが好ましい。なお、ケース１４０が金属からなるときは、ケース１４０と第一電極１１１ａとの間に絶縁体を介在させる。

【0538】

ケース１４０は、第一電極１１１ａの形状に応じ、環状のものであり、例えば、環状のもののうち、円形状のものが好ましく、一端が閉じ、他端が開いた円筒状のものからなることがより好ましいが、両端が開いたものであってもよい。

【0539】

ケース１４０にあっては、その一端側に入口１２０ａが構成され、その他端側には出口１２０ｂが構成される。このとき、入口１２０ａは、ケース１４０の側部のうち一端側に配置された貫通孔から構成されることが好ましく、出口１２０ｂは、ケース１４０の他端側に配置された開口から構成されることが好ましい。また、入口１２０ａは、二以上あることが好ましい。ここで、このようなケース１４０の例として、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0540】

なお、ケース１４０は、単一の部材から構成されるものであってもよく、また、二以上の部材から構成されるものであってもよい。

【0541】

［気体浄化装置１０１／送風装置１５０］
送風装置１５０は、風を送ることによって、浄化しようとする気体Ｇを、入口１２０ａから入れて出口１２０ｂから出すためのものであって、その一部として第二電極１１１ｂを備えるものである。

【0542】

送風装置１５０は、例えば、原動機１５１と、原動機１５１から軸方向に延びる駆動軸１５２と、駆動軸１５２にかたく嵌め合わされた羽根車１５３のほか、原動機１５１から径方向に延びる取付部材１５４と、からなるものである。

【0543】

羽根車１５３は、轂１５３ａと、二以上の第二電極１１１ｂと、を備えるものである。二以上の第二電極１１１ｂは、轂１５３ａの周方向に沿って互いに間隔をおいて配置されており、かつ、それぞれ轂１５３ａの径方向に沿って延びている。

【0544】

送風装置１５０は、例えば、取付部材１５４を介して、ケース１４０に取り付けられ、ケース１４０の内部に配置される。このとき、羽根車１５３の一部として送風装置１５０の一部を構成する第二電極１１１ｂは、第一電極１１１ａとの間に距離を隔てて配置されることになる。すなわち、取付部材１５４は、送風装置１５０を所定の位置に配することを介して、スペーサとしての機能を果たしている。ここで、このような送風装置１５０の例として、図２５、図２６、図２８、図２９、図３０等を参照する。

【0545】

原動機１５１を動かすと、駆動軸１５２がその中心線を中心に自転する。駆動軸１５２が自転すると、これとかたく嵌め合わされている轂１５３ａが羽根車１５３ごと駆動軸１５２の中心線を中心に公転する。その結果、第二電極１１１ｂが駆動軸１５２の中心線を中心に公転し、入口１２０ａから出口１２０ｂに向けて流れる風が生じ、送風が始まる。

【0546】

さらに、一対の電極Ｅを構成する第一電極１１１ａと第二電極１１１ｂとに所定の電圧を加えると、誘電体バリア放電によって、これらの間にある空間ＳにおいてプラズマＰが発生し、プラズマＰが発生すると、紫外線ＵＶが発生するほか、オゾンが発生する。

【0547】

以上のとおり、気体浄化装置１０１にあっては、原動機１５１を動かしながら第一電極１１１ａと第二電極１１１ｂとから構成される一対の電極Ｅに所定の電圧を加えることによって、プラズマＰを発生させながら、オゾンを含む気体Ｇを風として送ることができるとともに、一対の電極Ｅ間の空間Ｓにおいて紫外線ＵＶを発生させることができる。ここで、送風装置１５０がオゾンを含む気体Ｇと紫外線ＵＶとを発生させる点に関して、図２７を参照する。

【0548】

［気体浄化装置１０１／有孔鏡１６０］
有孔鏡１６０は、一対の電極Ｅ間の空間Ｓにおいて発生した紫外線ＵＶを反射することによって、出口１２０ｂから気体浄化装置１０１の外部に向けて、効率的に紫外線ＵＶを照射するためのものである。

【0549】

有孔鏡１６０は、円環状の平面鏡からなるものであることが好ましい。もっとも、平面鏡に代えて、凸面鏡又は凹面鏡からなるものであってもよい。

【0550】

有孔鏡１６０の態様は、次のとおりである。ここで、説明のための例として、図２５、図２６、図２９、図３０等を参照する。

【0551】

有孔鏡１６０は、二以上の通風孔１６１を有するほか、中心孔１６２を更に有するものであることが好ましい。

【0552】

通風孔１６１は、有孔鏡１６０を貫通する貫通孔からなるものであり、例えば、円形状の貫通孔が有孔鏡１６０の周方向に沿って互いに間隔をおいて配置されているものであることが好ましい。通風孔１６１は、風を通すことができるものである限りにおいて、その具体的態様は特に限られるものではない。

【0553】

中心孔１６２は、有孔鏡１６０の中心を貫通する孔であって、ここに送風装置１５０の一部又は全部を通すためのものである。有孔鏡１６０が中心孔１６２を更に有する場合にあっては、送風装置１５０が存在するにもかかわらず、一対の電極Ｅと有孔鏡１６０とを互いに接近させることにより、紫外線ＵＶの反射を効率的に行うことができる。例えば、中心孔１６２に原動機１５１を通らせることによって、有孔鏡１６０と一対の電極Ｅとを互いに接近させるとともに、第二電極１１１ｂの回転を妨げないことが好ましい。

【0554】

有孔鏡１６０は、鏡面側が出口１２０ｂ側を向くように配置される。有孔鏡１６０は、経路１２０ｃと交わうとともに、流路１２０のうち、第二電極１１１ｂより上流側に配置される。このほか、有孔鏡１６０は、第一電極１１１ａより入口１２０ａ側に配置されることが好ましく、さらに、第一電極１１１ａに接近することが特に好ましい。このとき、有孔鏡１６０は、更により効率的に紫外線ＵＶを反射することができるものとなる。

【0555】

気体浄化装置１０１は、反射鏡Ｍのほか、有孔鏡１６０を更に備えるものとして、出口１２０ｂから外部に向けて、効率的に紫外線ＵＶを照射することができるものともなる。なお、有孔鏡１６０は、経路１２０ｃと交わるものであるにもかかわらず、通風孔１６１を有するものであるから、風が通ることの妨げとならない。

【0556】

［気体浄化装置１０１／作用］
気体浄化装置１０１は、その備えるプラズマ発生装置１１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を反射することに基づいて、例えば、以下の作用効果を奏するものである。

【0557】

すなわち、気体浄化装置１０１は、
（１）浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスに対して紫外線ＵＶの照射を反復して行い、
（２）その発生させるプラズマＰの量を増やし、浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスがプラズマＰと接触する確率を高め、あるいは、
（３）その発生させるオゾンその他の活性化した気体の量を増やすことにより、
もって、浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものである。

【0558】

なお、これらの作用の詳細については、「気体浄化装置１」における場合と同様であるから、「気体浄化装置１」についてした説明（［気体浄化装置１／作用］から［気体浄化装置１／作用／更なる作用］までにおいてした説明をいう。ただし、「第二反射鏡Ｍ２」に関する部分を除く。）を準用する。

【0559】

これらのほか、気体浄化装置１０１は、送風装置１５０を備えるものとして、その発生させたより多くの量のオゾンを含む気体Ｇを気体浄化装置１０１の外部に向けて放出することができるものであり、例えば、室内の空気中を浮遊するウイルスのほか、室内の床、壁その他の表面に付着したウイルスを不活性化させることができるものでもある。

【0560】

以上のほか、気体浄化装置１０１が有孔鏡１６０を更に備える場合にあっては、紫外線ＵＶを気体浄化装置１０１の外部に向けて照射することができるものとして、例えば、室内の空気中を浮遊するウイルスのほか、室内の床、壁その他の表面に付着したウイルスを不活性化させることができるものともなる。

【0561】

ここで、気体浄化装置１０１が、プラズマＰを発生させるほか、外部に向けて、オゾンを含む気体Ｇを放出するとともに、紫外線ＵＶを照射することに関して、図２７等を参照する。

【0562】

なお、オゾンを含む気体Ｇ及び紫外線ＵＶは、人体に好ましくない影響を与えるものでもあるから、これを室内に向けて放出し、又は照射するに当たっては、夜間その他の室内に人が存在しない時機を選んで行うことが好ましい。

【0563】

［他の気体浄化装置２０１］
他の気体浄化装置２０１は、室内の空気その他の浄化しようとする気体Ｇを、内部に入れて浄化してから外部に出すことにより、浄化した気体を得るためのものであって、自ら送風することにより、浄化しようとする気体Ｇを出し入れするためのものである。すなわち、他の気体浄化装置２０１は、気体浄化機能を有するほか、送風機能を有するものである。

【0564】

他の気体浄化装置２０１は、プラズマ発生装置２１０と、流路２２０と、を少なくとも備えるものである。これらのほか、他の気体浄化装置２０１は、送風装置２５０を更に備えるものである。以上のほか、他の気体浄化装置２０１は、第一フィルタ２３０ａを更に備えるものである。さらに、他の気体浄化装置２０１は、第二フィルタ２３０ｂを備えるものであってもよく、また、第三フィルタ２３０ｃを備えるものであってもよい。

【0565】

第一フィルタ２３０ａは、第一電極２１１ａの間に配置され、その内周面と接するものであることが好ましい。同様に、第二フィルタ２３０ｂも、第一電極２１１ａの間に配置され、その内周面と接するものであることが好ましい。

【0566】

ここで、他の気体浄化装置２０１と気体浄化装置１０１とを対比すると、他の気体浄化装置２０１は少なくとも第一フィルタ２３０ａを備えるものであるのに対して、気体浄化装置１０１は第一フィルタ１３０ａを備えるものではなく、また、第二フィルタ１３０ｂを備えるものでもない点において相違し、その余の点において共通する。

【0567】

そこで、他の気体浄化装置２０１のその余については、「気体浄化装置１０１」と同様のものであるから、「気体浄化装置１０１」についてした説明（［気体浄化装置１０１］から［気体浄化装置１０１／有孔鏡１６０］までにおいてした説明をいい、［気体浄化装置１０１／作用］においてした説明を除く。）を準用する。この場合において、［気体浄化装置１０１／有孔鏡１６０］においてした説明中「気体浄化装置１０１は、有孔鏡１６０を備えることによって、出口１２０ｂから外部に向けて、紫外線ＵＶを照射することができるものともなる。」とあるのは「他の気体浄化装置２０１は、有孔鏡２６０を備えることによって、その内部において、紫外線ＵＶの反射を反復することができるものともなる。」と読み替えるものとする。

【0568】

［他の気体浄化装置２０１／作用］
他の気体浄化装置２０１は、その備えるプラズマ発生装置２１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を反射することに基づいて、例えば、以下の作用効果を奏するものである。

【0569】

すなわち、気体浄化装置２０１は、
（１）浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスに対して紫外線ＵＶの照射を反復して行い、
（２）その発生させるプラズマＰの量を増やし、浄化しようとする気体Ｇ中のウイルスがプラズマＰと接触する確率を高め、あるいは、
（３）その発生させるオゾンその他の活性化した気体の量を増やすことにより、
もって、浄化しようとする気体Ｇ中のより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものである。

【0570】

なお、これらの作用の詳細については、「気体浄化装置１」における場合と同様であるから、「気体浄化装置１」についてした説明（［気体浄化装置１／作用］から［気体浄化装置１／作用／更なる作用］までにおいてした説明をいう。）を準用する。

【0571】

このほか、他の気体浄化装置２０１が有孔鏡２６０を更に備える場合にあっては、他の気体浄化装置２０１は、その内部において、紫外線ＵＶの反射を反復することによって、更により多くの量のウイルスを不活性化させることができる。

【第三実施形態】

【0572】

［自走式気体浄化装置１００１］
自走式気体浄化装置１００１は、気体浄化装置のうち、室内の空気その他の浄化しようとする気体Ｇを、内部に入れて浄化してから外部に出すことにより、浄化した気体を得るためのものであって、自ら送風することにより、浄化しようとする気体Ｇを出し入れするとともに、自ら走行することができるものである。

【0573】

自走式気体浄化装置１００１は、気体浄化装置１０１のほか、例えば、床面を走行するための走行手段１０１０と、走行手段１０１０を駆動するための駆動手段（図示しない）と、駆動手段を自動制御するための自動制御手段（図示しない）と、を備えるものであることが好ましく、これらのほか、他の気体浄化装置２０１を更に備えるものであることがより好ましい。

【0574】

走行手段１０１０は、自走式気体浄化装置１００１の底面に配置され、例えば、二以上の車輪からなる。また、走行手段１０１０は、自動制御手段により制御されるものであることが好ましい。

【0575】

ところで、気体浄化装置１０１は、送風機能を併せて有するものとして、空気調節装置以外の装置に取り付けることによって、当該装置に気体浄化機能と送風機能とを付与することができるものでもある。

【0576】

そこで、気体浄化装置１０１を、例えば、自動走行する装置（以下単に「自走式装置」という。）１０００に取り付けることによって更に自走機能を有する自走式気体浄化装置１００１とすることが好ましい。ここで、自走式装置として、例えば、自走式ロボットのほか、自走式掃除機が挙げられる。

【0577】

気体浄化装置１０１を自走式装置１０００に取り付けて自走式気体浄化装置１００１とするに当たっては、気体浄化装置１０１の出口１２０ｂを下方に向けることが好ましい。このとき、自走式気体浄化装置１００１は、出口１２０ｂから床面に向けてオゾンを含む気体Ｇを送風するとともに、出口１２０ｂから床面に向けて紫外線ＵＶを照射するものとなる。

【0578】

他の気体浄化装置２０１を自走式装置１０００に取り付けるに当たっては、その取付け位置の具体的態様は、特に限られるものではないが、例えば、他の気体浄化装置２０１の出口２２０ｂが前方に向けられることが好ましい。

【0579】

ここで、以上のような自走式気体浄化装置１００１の例として、図３１、図３２を参照する。

【0580】

以上のように、自走式気体浄化装置１００１は、自動走行しながらオゾンを含む気体Ｇ及び紫外線ＵＶを外部に出すことによって、空気中又は床面のウイルスを不活性化させることができるものとなる。また、このことは、ウイルス以外の他の微生物についても同様である。

【第四実施形態】

【0581】

［気体活性化装置３０１］
気体活性化装置３０１は、活性化しようとする気体Ｇを、内部に入れて活性化してから外部に出すことにより、活性化した気体を得るためのものである。すなわち、気体活性化装置３０１は、気体活性化機能を有するものである。

【0582】

なお、この明細書にいう「活性化しようとする気体Ｇ」には、活性化しようとする気体そのもののほか、これを現に活性化した気体と、これらの間の状態にある気体と、を含むことがあるものとする。このことは、図面においても同様である。

【0583】

活性化しようとする気体として、例えば、空気のほか、酸素（Ｏ_２）、窒素（Ｎ_２）、水素（Ｈ_２）が挙げられる。ここで、空気として、密閉容器内の空気のほか、室内の空気が挙げられる。これらのほか、活性化しようとする気体として、貴ガス、ハロゲンガスと貴ガスとの混合気体も挙げられるが、特に以上のものに限定されない。

【0584】

活性化した気体として、例えば、活性化しようとする気体が酸素（Ｏ_２）を含むものである場合にあっては、オゾン（Ｏ_３）のほか、活性酸素が挙げられ、窒素（Ｎ_２）を含むものである場合にあっては、窒素の励起分子（Ｎ_２）又は励起原子（Ｎ）が挙げられる。

【0585】

なお、活性化した気体を気体活性化装置３０１の外部に放出し、当該活性化した気体と浄化しようとする気体とを互いに接触させることによって、当該浄化しようとする気体を励起させて分解し、もってこれを浄化することもできる。すなわち、ある気体を励起することは、すなわち、これを活性化することであり、場合によっては、これを浄化することでもある。このとき、気体を浄化する過程において有害な中間体を生じさせないように、例えば、電圧、周波数その他のプラズマを発生させるための条件を最適化することにより発生させるプラズマの放電形態の在り方を最適化し、更に第二電極３１１ｂを触媒として作用するものから構成した場合にあっては、特定遷移金属の選定、設定位置その他の触媒を作用させるための条件を併せて最適化することによりプラズマ励起と電極表面触媒活性とを時空間的に共存させ、もって浄化しようとする気体中に含まれる有害な物質を可能な限り無害なものすることも必要であり、また、重要でもある。

【0586】

気体活性化装置３０１は、密閉容器２０００の内部において配置されて使用され、又は室内において配置されて使用されることによって、固体浄化装置２００１を構成する。

【0587】

気体活性化装置３０１は、プラズマ発生装置３１０と、流路３２０と、を少なくとも備えるものである。ただし、気体活性化装置３０１は、フィルタ３３０を備えるものではない。

【0588】

気体活性化装置３０１の奥行きは、１０～４０ｍｍであることが好ましく、１５～３５ｍｍであることがより好ましく、２０～３０ｍｍであることが更により好ましい。

【0589】

気体活性化装置３０１の大きさ（奥行きを除く。）及び重さは、「気体浄化装置１」における場合と同様のものであるから、「気体浄化装置１」についてした説明を準用する。

【0590】

［気体活性化装置３０１／プラズマ発生装置３１０］
プラズマ発生装置３１０は、プラズマＰを発生させるための装置として、気体活性化装置３０１の一部を構成するためのものである。

【0591】

プラズマ発生装置３１０のその余については、「プラズマ発生装置１０」と同様のものであるから、「プラズマ発生装置１０」についてした説明（［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０］から［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／作用／オゾン等の量を増やすこと］までにおいてした説明をいう。ただし、「第一フィルタ３０ａ」に関する部分を除く。）を準用する。この場合において、同説明中「気体浄化装置１」とあるのは「気体活性化装置３０１」と、「浄化」とあるのは「活性化」と、読み替えるものとする。このとき、同説明中において参照する図１２（ａ）に代えて図１３（ｂ）を準用して参照するものとする。

【0592】

また、同様の場合において、［気体浄化装置１／プラズマ発生装置１０／電極１１／第三電極１１ｃ］においてした説明中「例えば、気体浄化装置１において不活性化させることができるウイルスの量を更に増やすことができる。」とあるのは、「例えば、気体活性化装置３０１において活性化させることができる気体の量を更に増やすことができる。」と読み替えるものとする。

【0593】

［気体活性化装置３０１／流路３２０］
流路３２０は、気体活性化装置３０１において、活性化しようとする気体Ｇが流れるための部分である。気体活性化装置３０１にあっては、流路３２０のうちのいずれかの部分にプラズマ発生装置３１０が配置され、活性化しようとする気体Ｇは流路３２０を流れる過程において活性化される。

【0594】

気体活性化装置３０１を利用して密閉容器内の空気を活性化しようとする場合にあっては、入口３２０ａと出口３２０ｂとを密閉容器内に向けて開放するか、又は導管を介して密閉容器内に接続する。気体活性化装置３０１を利用して室内の空気を活性化しようとする場合にあっては、入口３２０ａと出口３２０ｂとを室内に向けて開放するか、又は導管を介して室内に接続する。

【0595】

流路３２０のその余については、「流路２０」と同様のものであるから、「流路２０」についてした説明（［気体浄化装置１／流路２０］から［気体浄化装置１／流路２０／第二電極１１ｂと流路２０との関係］までにおいてした説明をいう。）を準用する。この場合において、同説明中「気体浄化装置１」とあるのは「気体活性化装置３０１」と、「浄化」とあるのは「活性化」と、読み替えるものとする。このとき、同説明中において参照する図面に代えて図１３（ｂ）を準用して参照するものとする。

【0596】

［気体活性化装置３０１／フィルタ３３０］
フィルタ３３０は、ここを気体が通過した場合において、当該気体に占める特定の気体の濃度を減少させるためのものである。

【0597】

ただし、気体活性化装置３０１は、フィルタ３３０を備えるものではない。すなわち、気体活性化装置３０１は、第一フィルタ３３０ａを備えるものではなく、第二フィルタ３３０ｂを備えるものでもなく、第三フィルタ３３０ｃを備えるものでもない。ここで、このような気体活性装置３０１の例として、図１３（ｂ）を準用して参照する。

【0598】

気体活性化装置３０１は、第一フィルタ３３０ａその他のフィルタ３３０を備えるものではないため、流路３２０のうち、第二電極３１１ｂより下流側において、オゾンその他の活性化した気体Ｇが出口３２０ｂから外部に向けて放出されることを妨げるものが存在しない。

【0599】

このとおりであるから、気体活性化装置３０１は、オゾンその他の活性化した気体Ｇを出口３２０ｂから外部に向けて放出することができる。

【0600】

フィルタ３３０（第一フィルタ３３０ａ、第二フィルタ３３０ｂ及び第三フィルタ３３０ｃを含む。）のその余については、「フィルタ３０」（「第一フィルタ３０ａ」、「第二フィルタ３０ｂ」及び「第三フィルタ３０ｃ」を含む。）と同様のものであるから、「フィルタ３０」についてした説明（［気体浄化装置１／フィルタ３０］から［気体浄化装置１／フィルタ３０／第三フィルタ３０ｃ］までにおいてした説明をいう。）を準用する。この場合において、「気体浄化装置１」とあるのは「気体活性化装置３０１」と読み替えるものとする。

【0601】

［気体活性化装置３０１／スペーサ３４０］
スペーサ３４０は、「スペーサ４０」と同様のものであるから、「スペーサ４０」についてした説明（「気体浄化装置１／スペーサ４０」から「気体浄化装置１／連結手段４１」までにおいてした説明をいう。）を準用する。この場合において、同説明中「気体浄化装置１」とあるのは「気体活性化装置３０１」と読み替えるものとする。

【0602】

［気体活性化装置３０１／作用］
気体浄化装置３０１は、その備えるプラズマ発生装置３１０が反射鏡Ｍを備えるものとして、誘電体バリア放電によってプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を反射することに基づいて、例えば、以下の作用効果を奏するものである。

【0603】

すなわち、気体浄化装置３０１は、活性化しようとする気体Ｇに対して紫外線ＵＶその他の電磁波の照射を反復して行い、あるいは、その発生させたプラズマＰの量を増やし、活性化しようとする気体ＧがプラズマＰと接触する確率を高めることにより、もってその発生させる活性化した気体の量を増やすことができるものである。

【0604】

したがって、気体浄化装置３０１は、活性化しようとする気体Ｇが酸素（Ｏ_２）を含むものである場合にあっては、より多くの量のオゾン（Ｏ_３）のほか、より多くの量の活性酸素を発生させることができる。

【第五実施形態】

【0605】

［密閉容器２０００］
密閉容器２０００は、その内部において気体活性化装置３０１を使用することにより、気体活性化装置３０１を固体浄化装置２００１として使用するための前提を構成するものである。すなわち、密閉容器２０００は、常に、固体浄化装置２００１を構成する要素となるものではない。もっとも、固体浄化装置２００１が、予め密閉容器２０００を備えることは妨げられない。

【0606】

密閉容器２０００は、その内部に気体活性化装置３０１と浄化しようとする固体Ｏとを収めた状態で密閉して、その内部を気体活性化装置３０１が放出する活性化した気体Ｇで満たすことによって、活性化した気体Ｇと浄化しようとする固体Ｏの表面とが触れ続けるようにするためのものである。

【0607】

密閉容器２０００は、例えば、金属からなるものであることが好ましく、例えば、屋内施設に備えられているロッカーをそのまま使用することもできる。

【0608】

密閉容器２０００は、例えば、密閉容器本体２０００ａと、蝶番２０００ｂと、扉２０００ｃと、を備えるものである。扉２０００ｃは、密閉容器本体２０００ａに対して蝶番２０００ｂを介して開閉可能に連結されている。

【0609】

密閉容器２０００を使用しようとする者は、扉２０００ｃを開き、収めようとする固体Ｏを密閉容器本体２０００の内部に収めた後、扉２０００ｃを閉じて密閉する。

【0610】

ここで、以上のような密閉容器２０００の例として、図３７、図３８を参照する。

【0611】

［固体浄化装置２００１］
固体浄化装置２００１は、浄化しようとする固体Ｏとともに密閉容器２０００の内部に配置され、密閉容器２０００の内部を活性化した気体Ｇをもって満たすことにより、浄化した固体を得るためのものである。すなわち、固体浄化装置２００１は、固体浄化機能を有するものである。

【0612】

浄化しようとする固体Ｏとして、例えば、医療機器、医療用衣服その他の医療行為及びこれに準ずる行為の提供の用に供する物（医療行為及びこれに準ずる行為の提供に当たりその提供を受ける者（貸し渡す物を含む。）の利用に供する物を含む。）のほか、野菜、果物、その他の生鮮食品が挙げられる。

【0613】

固体浄化装置２００１は、気体活性化装置３０１を少なくとも備えるものである。すなわち、気体活性化装置３０１が密閉容器２０００の内部において使用されることによって固体浄化装置２００１が構成される。このほか、密閉容器２０００であって、その内部に気体活性化装置３０１が予め設置されたものをもってして、固体浄化装置２００１が構成されてもよい。

【0614】

固体浄化装置２００１は、気体活性化装置３０１のほか、例えば、送風装置２０１０を備えるものであることが好ましく、また、ボックス２０２０と、電源２０３０と、制御手段２０４０と、検知手段２０５０と、設置手段２０６０と、を更に備えるものであることが好ましい。

【0615】

ここで、以上のような固体浄化装置２００１の例として、図３３、図３４、図３５、図３６等を参照する。

【0616】

もっとも、固体浄化装置２００１は、上記にかかわらず、気体活性化装置３０１と送風装置２０１０とを備えることに代えて気体浄化装置１０１を気体活性化装置として備えるものであってもよい。気体浄化装置１０１は、フィルタ１３０を備えるものでないため、気体活性化装置として使用することもできることによる。

【0617】

［固体浄化装置２００１／気体活性化装置３０１］
気体活性化装置３０１は、活性化しようとする気体Ｇを、内部に入れて活性化してから外部に出すことにより、活性化した気体を得て、これをもって密閉容器２０００の内部を満たすためのものである。すなわち、気体活性化装置３０１は、気体活性化機能を有するものである。

【0618】

気体活性化装置３０１の数は、一であってもよく、二以上であってもよく、例えば、三の気体活性化装置３０１，３０１，３０１としてもよい。ここで、固体浄化装置２００１を構成する三の気体活性化装置３０１，３０１，３０１の例として、図３５、図３６等を参照する。

【0619】

なお、気体活性化装置３０１のその余については、「気体活性化装置３０１」と同一のものであるから、「気体活性化装置３０１」についてした説明（［気体活性化装置３０１］から［気体活性化装置３０１／作用］までにおいてした説明をいう。）を援用する。

【0620】

［固体浄化装置２００１／送風装置２０１０］
送風装置２０１０は、気体活性化装置３０１に向けて風を送ることによって、活性化しようとする気体Ｇを、気体活性化装置３０１の入口３２０ａから入れて出口３２０ｂから出すためのものであるとともに、ボックス２０２０の入口２０２０ａから入れて出口２０２０ｂから出すためのものでもある。

【0621】

送風装置２０１０は、例えば、原動機と、原動機から軸方向に延びる駆動軸と、駆動軸にかたく嵌め合わされた羽根車のほか、原動機から径方向に延びる取付部材と、取付部材と連結された枠体と、からなるものである。

【0622】

送風装置２０１０は、気体活性化装置３０１に対して入口３２０ａ側に配置されることが好ましい。これにより、活性化した気体Ｇをその活性が失われてしまう前に気体活性化装置３０１の外部に放出することができる。もっとも、送風装置２０１０が出口３２０ｂ側に配置されることも妨げられない。

【0623】

送風装置２０１０の数は、一であってもよく、また、二以上であってもよく、例えば、三の送風装置２０１０，２０１０，２０１０とすることもできる。

【0624】

ここで、気体活性化装置３０１に対して入口３２０ａ側に配置され、固体浄化装置２００１の一部を構成する三の送風装置２０１０，２０１０，２０１０の例として、図３５、図３６等を参照する。

【0625】

［固体浄化装置２００１／ボックス２０２０］
ボックス２０２０は、その内部において気体活性化装置３０１及び送風装置２０１０を収めることにより、これらを互いに適当な関係をなすように配置するためのものである。

【0626】

これらのほか、ボックス２０２０は、例えば、電源２０３０を更に収めることができるものであることが好ましく、制御手段２０４０、検知手段２０５０及び設置手段２０６０を設けることができるものであることがより好ましい。

【0627】

ボックス２０２０は、その内部に気体活性化装置３０１及び送風装置２０１０を収めることができる程度の大きさの空間を少なくとも有するとともに、活性化しようとする気体Ｇが入るための入口２０２０ａと、活性化した気体Ｇが出るための出口２０２０ｂと、を有する。また、ボックス２０２０は、ボックス本体２０２０ｃと、蓋２０２０ｄと、から構成されることが好ましい。

【0628】

ここで、以上のようなボックス２０２０の例として、図３３、図３４、図３５、図３６等を参照する。

【0629】

［固体浄化装置２００１／電源２０３０］
電源２０３０は、気体活性化装置３０１が備えるプラズマ発生装置３１０に対して電圧を加えるためのものである。このほか、電源２０３０は、送風装置２０１０と、制御手段２０４０と、検知手段２０５０とに対し、それぞれ電圧を加えることができるものであることが好ましい。

【0630】

電源２０３０は、ボックス２０２０の内部に配置され、気体活性化装置３０１その他の電圧を加えようとする装置等に対して電線（図示しない）を通じて電気的に接続される。ここで、このような電源２０３０の例として、図３５、図３６を参照する。

【0631】

なお、電源２０３０は、気体活性化装置その他の電圧を加えようとする装置等に対して所定の電圧を加えることができるものであれば、その具体的態様は特に限られるものではないが、予め蓄電された蓄電池と、これから得られる電圧を所定の電圧に変換するための変圧器とからなるものであってもよく、また、外部の他の電源に接続するための電線と、これから得られる電圧を所定の電圧に変換するための変圧器と、からなるものであってもよい。

【0632】

［固体浄化装置２００１／制御手段２０４０］
制御手段２０４０は、気体活性化装置３０１が備えるプラズマ発生装置３１０に対して電源２０３０が電圧を加えるか否かのほか、例えば、電圧を加えるとした場合において、電圧をどの程度の大きさのものとするか等、固体浄化装置２００１がその目的を達成するために必要な事項その他の事項について、固体浄化装置２００１を使用しようとする者の求めに応じて、あるいは予め定められたところに従って、制御するためのものである。

【0633】

制御手段２０４０は、操作手段２０４０ａと、表示手段２０４０ｂと、を備えるほか、記憶手段（図示しない）と、演算手段（図示しない）と、を備えることが好ましい。

【0634】

操作手段２０４０ａは、気体活性化装置３０１が備えるプラズマ発生装置３１０に対して電源２０３０が電圧を加えるか否かのほか、電圧を加えるとした場合において、電圧をどの程度の大きさのものとするかについて、固体浄化装置２００１を使用しようとする者が操作するためのものである。

【0635】

これらのほか、制御手段２０４０は、所定の処理を行うことを定めた後、所定の時間の経過を待って、当該処理を開始する機能のほか、所定の処理を開始した後、所定の時間の経過を待って、当該処理を終了する機能を更に備えるものであることが好ましい。

【0636】

表示手段２０４０ｂは、操作の結果又は状態を表示するためのものである。このほか、表示手段２０４０ｂは、検知手段２０５０が検知した情報を表示することができるものであることが好ましく、液晶ディスプレイを利用するものであることがより好ましい。

【0637】

ここで、操作手段２０４０ａと表示手段２０４０ｂとを備える制御手段２０４０の例として、図３３（ａ）、図３４（ｂ）、図３５等を参照する。

【0638】

もっとも、操作手段２０４０ａと表示手段２０４０ｂとがタッチパネルを利用するものであってもよい。

【0639】

［固体浄化装置２００１／検知手段２０５０］
検知手段２０５０は、気体活性化装置３０１が設置された密閉容器２０００の内部又は近傍において、オゾンその他の特定の気体の濃度を検知するか、又はヒトの存在若しくはその接近を検知するためのものである。

【0640】

検知手段２０５０は、例えば、ボックス２０２０の表面に配置されることが好ましく、ボックス２０２０の表面のうち底面側にある表面に配置されることが好ましい。ここで、このような検知手段２０５０の例として、図３３、図３４（ａ）、図３５、図３６等を参照する。

【0641】

検知手段２０５０は、例えば、密閉容器２０００の内部を占める気体中のオゾンの濃度が所定の範囲を超えたことを検知したときは、制御手段２０４０を通じて、電源２０３０が気体活性化装置３０１に対して電圧を加えることを停止する処理を行う。

【0642】

また、検知手段２０５０は、例えば、密閉容器２０００の密閉が解除されている場合において、密閉容器２０００の近傍へのヒトの接近を検知したときも、同様の処理を行う。

【0643】

［固体浄化装置２００１／設置手段２０６０］
設置手段２０６０は、気体活性化装置３０１を密閉容器２０００の内表面に取り付けることによって、固体浄化装置２００１を密閉容器２０００の内部に設置するためのものである。

【0644】

設置手段２０６０は、例えば、固体浄化装置２００１を密閉容器２０００の天井に設置する場合にあっては、ボックス２０２０の上面側に配置すればよく、また、固体浄化装置２００１を密閉容器２０００の壁面に設置する場合にあっては、ボックス２０２０の側面側に配置すればよい。

【0645】

設置手段２０６０は、例えば、密閉容器２０００の内表面が金属のものからなる場合にあっては、磁石からなるものであることが好ましい。

【0646】

設置手段２０６０の数は、一であってもよいが、二以上であることが好ましい。

【0647】

［固体浄化装置２００１／使用方法］
固体浄化装置２００１の使用する方法は、以下のとおりである。ここで、説明のための例として、図３７、図３８を参照する。

【0648】

固体浄化装置２００１を使用しようとする者は、例えば、以下の操作を行う。
（Ａ）密閉容器２０００の密閉を解除し、その内部に浄化しようとする固体Ｏを収める。
（Ｂ）操作手段２０４０ａを介して、制御手段２０４０に対して、所定の時間が経過した後に所定の電圧を気体活性化装置３０１のプラズマ発生装置３１０に加える処理を行い、他の所定の時間が経過した後に当該処理を停止することを定める。
（Ｃ）密閉容器２０００を再び密閉する。

【0649】

以上の操作を受けて、固体浄化装置２００１は、以下の処理を行う。
（ａ）制御手段２０４０は、所定の時間の経過を待って、電源２０３０に対して気体活性化装置３０１のプラズマ発生装置３１０に所定の電圧を加えるように指令するとともに、送風装置２０１０に対して気体活性化装置３０１に風を送るように指令する。
（ｂ）気体活性化装置３０１及び送風装置２０１０は、制御手段２０４０からの当該指令に従って、密閉容器２０００の内部の空気Ｇを入口３２０ａから入れて活性化させてから出口３２０ｂから出す。このとき、例えば、空気Ｇ中に含まれる酸素（Ｏ_２）からオゾン（Ｏ_３）のほか、活性酸素が生じる。
（ｃ）密閉容器２０００の内部は密閉された状態にあるため、密閉容器２０００の内部の気体Ｇが密閉容器２０００の内部と固体浄化装置２００１との間を循環して流れ続けて、密閉容器２０００の内部の気体Ｇ中のオゾンその他の活性化した気体Ｇの濃度が高くなる結果、密閉容器２０００の内部はオゾンその他の活性化した気体Ｇによって満たされる。
（ｄ）オゾンその他の活性化した気体Ｇが浄化しようとする固体Ｏの表面に付着しているウイルスに触れることにより、当該ウイルスが不活性化される。
（ｅ）制御手段２０４０は、他の所定の時間の経過を待って、電源２０３０に対して気体活性化装置３０１のプラズマ発生装置３１０に所定の電圧を加えることを停止するように指令するとともに、送風装置２０１０に対して気体活性化装置３０１に風を送ることを停止するように指令し、電源２０３０及び送風装置２０１０は、当該指令に従う。
（ｆ）密閉容器２０００の内部を満たしていたオゾンその他の活性化した気体Ｇは、時間の経過に伴い、その活性を失う。

【0650】

ただし、上記の処理の途中であっても、密閉容器２０００の密閉が解除されている場合において、密閉容器２０００の近傍へのヒトの接近を検知したときは、処理を中止する。

【0651】

その後、固体浄化装置２００１を使用した者は、例えば、以下の操作を行う。
（Ｄ）密閉容器２０００の密閉を解除し、その内部から浄化した固体Ｏを得る。

【0652】

［固体浄化装置２００１／作用］
以上のとおりであるから、固体浄化装置２００１は、誘電体バリア放電によりプラズマＰを発生させるとともに、プラズマＰが発する紫外線ＵＶその他の電磁波を反射し、より多くの量の活性化した気体Ｇを発生させ、浄化しようとする固体Ｏの表面に付着したより多くの量のウイルスを不活性化させることができるものである。

【0653】

また、浄化しようとする固体Ｏが生鮮食品である場合にあっては、密閉容器２０００の内部に浄化しようとする固体Ｏを収めるとともに、固体浄化装置２００１を動かし続けることによって、浄化しようとする固体Ｏの表面に付着している黴を不活性化させ、これが増殖することを予防し、浄化しようとする固体Ｏの鮮度を維持しながら保管をすることができる。

【第六実施形態】

【0654】

［空気調整浄化装置４０１］
空気調整浄化装置４０１は、室内の空気Ｇを、内部に入れて調整するとともに浄化してから外部に出すためのものである。すなわち、空気調整浄化装置４０１は、空気調節機能のほか、空気浄化機能を更に有するものである。

【0655】

空気調節浄化装置４０１は、例えば、次のとおりのものである。ここで、説明のための例として、図３９を参照する。

【0656】

空気調節浄化装置４０１は、例えば、気体浄化装置１を空気調節装置の室内機４００に取り付けることによって製造することができる。

【0657】

ここで、空気調節装置は、室内の空気Ｇを循環しながら調節するための装置であって、例えば、室内機４００と、室外機（図示しない）と、室内機４００と室外機との間を連結する冷媒配管（図示しない）と、から少なくともなるものである。

【0658】

室内機４００は、室内に設置されるものであって、通常、ケース４１０と、流路４２０と、送風機４３０と、熱交換器４４０と、ドレンパン（Drain Pan）４５０と、を備えるものである。

【0659】

流路４２０は、室内機４００において、調整しようとする室内の空気Ｇが流れるための部分であって、入口４２０ａと、出口４２０ｂと、経路４２０ｃと、から少なくとも構成されるものである。室内機４００において、通常、入口４２０ａはケース４１０の上面側に配置され、出口４２０ｂはケース４１０の前面側に配置される。室内の空気Ｇは、室内機４００において、入口４２０ａから入り、入口４２０ａがある方向から出口４２０ｂがある方向に向けて経路４２０ｃを流れ、出口４２０ｂから出ることになる。この間、調整しようとする室内の空気Ｇは、送風機４３０による送風に導かれて、経路４２０間に配置された熱交換器４４０の近傍を通過する過程において、冷却その他の調整が行われることになる。

【0660】

室内の空気Ｇは、その熱が熱交換器４４０において冷媒に吸収されることによって冷却されるところ、このとき、室内の空気Ｇに含まれていた水蒸気が凝集して液体となって、熱交換器４４０の表面に結露する。ドレンパン４５０は、この結露を受けるための受け皿として、熱交換器４４０の下方に配置される。また、ドレンパン４５０の下方には、出口４２０ｂが配置される。

【0661】

気体浄化装置１は、室内機４００における室内の空気Ｇの流れとの関係において、気体浄化装置１の入口２０ａが上流側に配置されるとともに、気体浄化装置１の出口１１ｂが下流側に配置されるように、室内機４００に取り付けられる。

【0662】

気体浄化装置１を室内機４００に取り付けるに当たって、気体浄化装置１が配置される空間は、例えば、室内機４００の入口４２０ａの近傍又は室内機４００の出口４２０ｂの近傍が好ましく、これらのうち、室内機４００の出口４２０ｂの近傍がより好ましい。

【0663】

気体浄化装置１を室内機４００の出口４２０ｂの近傍に配置するに当たって、気体浄化装置１は、例えば、ドレンパン４５０の下側に取り付けられることが好ましい。

【0664】

気体浄化装置１は、室内機４００に取り付けて空気調整浄化装置４０１を構成するためのものとして、例えば、ケース５０と、電源（図示しない）と、制御手段６０と、取付手段（図示しない）と、を更に備えるものであることが好ましい。

【0665】

ケース５０は、その内部において、気体浄化装置１を構成する装置等のうちケース５０以外のもの、例えば、プラズマ発生装置１０と、流路２０と、フィルタ３０と、スペーサ４０と、を収めることができるほか、更に電源を収めることができるとともに、その表面において、制御手段６０を配置することができるものであることが好ましい。

【0666】

電源は、気体浄化装置１が備えるプラズマ発生装置１０に対して、電圧を加えるためのものである。このほか、電源は、制御手段６０に対しても電圧を加えることができるものであることが好ましい。

【0667】

電源は、ケース５０の内部に配置され、プラズマ発生装置１０その他の電圧を加えようとする装置等に対して電線（図示しない）を通じて電気的に接続される。

【0668】

電源は、室内機４００用の電源に接続するための電線と、これから得られる電圧を所定の電圧に変換するための変圧器と、からなるものであることが好ましい。

【0669】

制御手段６０は、気体浄化装置１が備えるプラズマ発生装置１０に対して電源が電圧を加えるか否かのほか、例えば、電圧を加えるとした場合において、電圧をどの程度の大きさのものとするか等、気体浄化装置１が、空気調節浄化装置４０１において、その目的を達成するために必要な事項その他の事項について、空気調節浄化装置４０１を使用しようとする者の求めに応じて、あるいは予め定められたところに従って、制御するためのものである。

【0670】

制御手段６０は、操作手段６０ａと、表示手段６０ｂと、を備えるほか、記憶手段（図示しない）と、演算手段（図示しない）と、を備えることが好ましい。

【0671】

操作手段６０ａは、気体浄化装置１が備えるプラズマ発生装置１０に対して電源が電圧を加えるか否かのほか、電圧を加えるとした場合において、電圧をどの程度の大きさのものとするかについて、空気調節浄化装置４０１を使用しようとする者が操作するためのものである。

【0672】

表示手段６０ｂは、操作の結果又は状態を表示するためのものであって、例えば、液晶ディスプレイを利用するものであることがより好ましい。

【0673】

もっとも、操作手段６０ａと表示手段６０ｂとがタッチパネルを利用するものであってもよい。

【0674】

設置手段は、気体浄化装置１を室内機４００に取り付けるためのものであり、例えば、気体浄化装置１の上面に配置されることが好ましく、ケース５０の上面に配置されることがより好ましい。

【0675】

空気調節装置に電圧を加えるとともに、気体浄化装置１に電圧を加えることによって、空気調節浄化装置４０１が動き始める。空気調節浄化装置４０１が動き始めると、室内の空気Ｇを調整しながら浄化する。これをより詳しくみると、例えば、次のとおりである。

【0676】

室内の空気Ｇは、送風機４３０による送風に導かれ、空調機４００の入口４２０ａから室内機４００の内部へと入り、経路４２０ｃを通過する過程において、熱交換器４４０の近くを通過する間に冷却、加熱等の調整が行われた後、気体浄化装置１の入口２０ａから気体浄化装置１の内部へと入り、経路２０ｃを通過する過程において、一対の電極Ｅ間の空間Ｓを通過する間にウイルスその他の微生物の不活性化が行われた後、気体浄化装置１の出口２０ｂから気体浄化装置１の外部へと出て、更に室内機４００の出口４２０ｂから室内機４００の外部へと出て、再び室内に至ることになる。

【0677】

さらに、空気調節浄化装置４０１は、室内の空気Ｇを循環させながら、上記のとおりの調整と浄化とを反復して行い、もって室内の空気Ｇを調整するとともに、これを浄化することができるものである。

【第七実施形態】

【0678】

［第二プラズマ発生装置１０］
プラズマ発生装置１０は、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとから構成される一対の電極Ｅに代えて、第一板状電極１１ｅと第二板状電極１１ｆとから構成される一対の電極Ｅを備えるもの（以下「第二プラズマ発生装置１０」という。）であってもよい。

【0679】

すなわち、第二プラズマ発生装置１０は、第一板状電極１１ｅと、第一板状電極１１ｅとの間に距離を隔てて配置された第二板状電極１１ｆと、第一板状電極１１ｅと第二板状電極１１ｆとの間に配置された第一ガラス層１２ａと、第一ガラス層１２ａと第二板状電極１１ｆとの間に配置されるとともに、第一ガラス層１２ａとの間に空間を隔てて配置された第二ガラス層１２ｂと、第一板状電極１１ｅと第一ガラス層１２ａとの間に配置され、第一板状電極１１ｅと接するとともに、第一ガラス層１２ａと接する第一金属膜層１３ａと、第二板状電極１１ｆと第二ガラス層１２ｂとの間に配置され、第二板状電極１１ｆと接するとともに、第二ガラス層１２ｂと接する第二金属膜層１３ｂと、を備えるものである。ここで、第二プラズマ発生装置１０の例として、図８（ｃ）を参照する。

【0680】

第二プラズマ発生装置１０にあっては、第一板状電極１１ｅと第二板状電極１１ｆとが併せて一対の電極Ｅを構成し、第一ガラス層１２ａと第二ガラス層１２ｂとの間の空間ＳにおいてプラズマＰが発生する。

【0681】

ここで、第一板状電極１１ｅのその余については、「第一電極１１ａ」と同様のものであるから、「第一電極１１ａ」についてした説明を準用する。また、第二板状電極１１ｆのその余についても、「第三電極１１ｃ」と同様のものであるから、「第三電極１１ｃ」についてした説明を準用する。

【0682】

なお、第二プラズマ発生装置１０において、第一ガラス層１２ａと第一金属膜層１３ａとが第一反射鏡Ｍ１を構成するとともに、第二ガラス層１２ｂと第二金属膜層１３ｂとが第二反射鏡Ｍ２を構成する点は、「プラズマ発生装置１０」における場合と同様である。

【0683】

さらに、第二プラズマ発生装置１０のその余についても、「プラズマ発生装置１０」と同様のものであるから、「プラズマ発生装置１０」についてした説明を準用する。

【0684】

第二プラズマ発生装置１０は、例えば、気体浄化装置１においてプラズマ発生装置１０に代わるものとして使用することができるほか、気体活性化装置３０１においてプラズマ発生装置３１０に代わるものとして使用することもできる。すなわち、第二プラズマ発生装置１０は、二以上の気体浄化装置１を組み合わせて使用する場合、特にこれらを垂直に連結して使用する場合において、特に有益である。

【第八実施形態】

【0685】

［第三プラズマ発生装置１０］
プラズマ発生装置１０は、第一ガラス層１２ａと第一金属膜層１３ａとから構成される第一の反射鏡Ｍ１に代えて、第一電極１１ａと第一ガラス層１２ａとから構成される第一の反射鏡Ｍ１を備えるとともに、第二ガラス層１２ｂと第二金属膜層１３ｂとから構成される第二の反射鏡Ｍ２に代えて、第三電極１１ｃと第二ガラス層１２ｂとから構成される第二の反射鏡Ｍ２を備えるもの（以下「第三プラズマ発生装置１０」という。）であってもよい。

【0686】

すなわち、第三プラズマ発生装置１０は、第一電極１１ａと、第一電極１１ａとの間に距離を隔てて配置される第二電極１１ｂと、第二電極１１ｂとの間に距離を隔てて配置される第三電極１１ｃであって、第一電極１１ａとの間に第二電極１１ｂを挟んで配置されるものと、第一電極１１ａと第二電極１１ｂとの間に配置されるとともに、第二電極１１ｂとの間に空間を隔てて配置される第一ガラス層１２ａと、第二電極１１ｂと第三電極１１ｃとの間に配置されるとともに、第二電極１１ｂとの間に空間を隔てて配置される第二ガラス層１２ｂと、を備え、第一電極１１ａと第一ガラス層１２ａとが紫外線ＵＶを反射する第一反射鏡Ｍ１を構成し、第三電極１１ｃと第二ガラス層１２ｂとが紫外線ＵＶを反射する第二反射鏡Ｍ２を構成するものである。ここで、第三プラズマ発生装置１０の例として、図４０を参照する。

【0687】

第三プラズマ発生装置１０にあっては、第一電極１１ａ及び第三電極１１ｃは、いずれも紫外線を反射する特性を有する金属からなるものである。もっとも、第一電極１１ａ及び第三電極１１ｃは、紫外線を反射するほか、可視光線、赤外線その他の紫外線以外の電磁波を反射する特性を有する金属からなるものであってもよく、また、そのようなものであることが好ましい。

【0688】

第三プラズマ発生装置１０にあっては、第一電極１１ａ及び第三電極１１ｃは、紫外線を反射する特性を有する金属のうち、紫外線反射率が高い金属からなるものであることが好ましく、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ロジウム（Ｒｈ）、銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうちのいずれかからなるものであることがより好ましく、アルミニウム又は銀からなるものであることが更により好ましく、アルミニウムからなるものであることが最も好ましい。

【0689】

第三プラズマ発生装置１０にあっては、第一電極１１ａ及び第三電極１１ｃは、膜状のものであってもよい。すなわち、第一電極１１ａは、第一ガラス層１２ａに対し、金属の箔、例えば、アルミニウム又は銀の箔を導電性粘着層１４を介して密着させることにより構成したものであってもよく、金属、例えば、アルミニウム又は銀を蒸着させることにより構成したものであってもよい。また、第三電極１１ｃも、第二ガラス層１２ｂに対し、金属の箔、例えば、アルミニウム又は銀の箔を導電性粘着層１４を介して密着させることにより構成したものであってもよく、金属、例えば、アルミニウム又は銀を蒸着させることにより構成したものであってもよい。

【0690】

第三プラズマ発生装置１０にあっては、第一電極１１ａと第一ガラス層１２ａとが併せて第一反射鏡Ｍ１を構成するとともに、第三電極１１ｃと第二ガラス層１２ｂとが併せて第二反射鏡Ｍ２を構成し、第一反射鏡Ｍ１と第二反射鏡Ｍ２との間で紫外線ＵＶの反射が反復して行われる。

【0691】

ここで、第三プラズマ発生装置１０のその余については、「プラズマ発生装置１０」と同様のものであるから、「プラズマ発生装置１０」についてした説明を準用する。

【0692】

第三プラズマ発生装置１０は、例えば、気体浄化装置１においてプラズマ発生装置１０に代わるものとして使用することができるほか、気体活性化装置３０１においてプラズマ発生装置３１０に代わるものとして使用することもできる。すなわち、第三プラズマ発生装置１０は、第一電極１１ａ及び第三電極１１ｃに対して高い熱伝導率を求めない場合において、特に有益である。

【符号の説明】

【0693】

・１ 気体浄化装置
・・１０ プラズマ発生装置
・・・１１ 電極
・・・・１１ａ 第一電極
・・・・・１１ａ１ 第一部分（第一金属膜層と接する部分）
・・・・・１１ａ２ 第二部分（第一フィルタと接する部分）
・・・・・１１ａ３ 第三部分（露出する部分）
・・・・・１１ａ４ 第四部分（第一スペーサと接する部分）
・・・・・１１ａ５ 第五部分（第二スペーサと接する部分）
・・・・１１ｂ 第二電極
・・・・・１１ｂ１ 電極本体
・・・・・１１ｂ２ 触媒層
・・・・１１ｃ 第三電極
・・・・・１１ｃ１ 第一部分（第一金属膜層と接する部分）
・・・・・１１ｃ２ 第二部分（第一フィルタと接する部分）
・・・・・１１ｃ３ 第三部分（露出する部分）
・・・・・１１ｃ４ 第四部分（第一スペーサと接する部分）
・・・・・１１ａ５ 第五部分（第二スペーサと接する部分）
・・・・１１ｄ 第四電極
・・・・１１ｅ 第一板状電極
・・・・１１ｆ 第二板状電極
・・・１２ ガラス層
・・・・１２ａ 第一ガラス層
・・・・・１２ａ１ 第一部分（露出する部分）
・・・・・１２ａ２ 第二部分（第一スペーサと接する部分）
・・・・・１２ａ３ 第三部分（第二スペーサと接する部分）
・・・・１２ｂ 第二ガラス層
・・・・・１２ｂ１ 第一部分（露出する部分）
・・・・・１２ｂ２ 第二部分（第一スペーサと接する部分）
・・・・・１２ｂ３ 第三部分（第二スペーサと接する部分）
・・・１３ 金属膜層
・・・・１３ａ 第一金属膜層
・・・・・１３ａ１ 第一電極側金属膜
・・・・・１３ａ２ 第一ガラス層側金属膜
・・・・１３ｂ 第二金属膜層
・・・・・１３ｂ１ 第三電極側金属膜
・・・・・１３ｂ２ 第二ガラス層側金属膜
・・・１４ 導電性粘着層
・・・・１４ａ 電極側導電性粘着層
・・・・・１４ａ１ 第一電極側導電性粘着層
・・・・・１４ａ２ 第三電極側導電性粘着層
・・・・１４ｂ ガラス層側導電性粘着層
・・・・・１４ｂ１ 第一ガラス層側導電性粘着層
・・・・・１４ｂ２ 第二ガラス層側導電性粘着層
・・・・１４ｃ 金属膜層間導電性粘着層
・・・・・１４ｃ１ 第一金属膜層間導電性粘着層
・・・・・１４ｃ２ 第二金属膜層間導電性粘着層
・・２０ 流路
・・・２０ａ 入口
・・・２０ｂ 出口
・・・２０ｃ 経路
・・・・２０ｃ１ 第一部分
・・・・２０ｃ２ 第二部分
・・３０ フィルタ
・・・３０ａ 第一フィルタ
・・・３０ｂ 第二フィルタ
・・・３０ｃ 第三フィルタ
・・４０ スペーサ
・・・４０ａ 第一スペーサ
・・・・４０ａ１ 第一電極支持面
・・・・４０ａ２ 第二電極支持孔
・・・・４０ａ３ 第三電極支持面
・・・・４０ａ４ 第一ガラス層支持面
・・・・４０ａ５ 第二ガラス層支持面
・・・４０ｂ 第二スペーサ
・・・・４０ｂ１ 第一電極支持面
・・・・４０ｂ２ 第二電極支持孔
・・・・４０ｂ３ 第三電極支持面
・・・・４０ｂ４ 第一ガラス層支持面
・・・・４０ｂ５ 第二ガラス層支持面
・・・４１ 連結手段
・・・・４１ａ 畝部
・・・・４１ｂ 溝部
・１０１ 気体浄化装置
・・１１０ プラズマ発生装置
・・・１１１ 電極
・・・・１１１ａ 第一電極
・・・・１１１ｂ 第二電極
・・・・・１１１ｂ１ 先端部分
・・・１１２ ガラス層
・・・・１１２ａ 第一ガラス層
・・・１１３ 金属膜層
・・・・１１３ａ 第一金属膜層
・・１２０ 流路
・・・１２０ａ 入口
・・・１２０ｂ 出口
・・・１２０ｃ 経路
・・１４０ ケース
・・１５０ 送風装置
・・・１５１ 原動機
・・・１５２ 駆動軸
・・・１５３ 羽根車
・・・・１５３ａ 轂
・・・・１１１ｂ 第二電極
・・・１５４ 取付部材
・・１６０ 有孔鏡
・・・１６１ 通風孔
・・・１６２ 中心孔
・２０１ 他の気体浄化装置
・・・２２０ａ 入口
・・・２２０ｂ 出口
・・・２３０ａ 第一フィルタ
・１０００ 自走式装置
・１００１ 自走式気体浄化装置
・・１０１ 気体浄化装置
・・２０１ 他の気体浄化装置
・・１０１０ 走行手段
・３０１ 気体活性化装置
・・・３２０ａ 入口
・・・３２０ｂ 出口
・２０００ 密閉容器
・・２０００ａ 密閉容器本体
・・２０００ｂ 蝶番
・・２０００ｃ 扉
・２００１ 固体浄化装置
・・３０１ 気体活性化装置
・・２０１０ 送風装置
・・２０２０ ボックス
・・・２０２０ａ 入口
・・・２０２０ｂ 出口
・・・２０２０ｃ ボックス本体
・・・２０２０ｄ 蓋
・・２０３０ 電源
・・２０４０ 制御手段
・・・２０４０ａ 操作手段
・・・２０４０ｂ 表示手段
・・２０５０ 検知手段
・・２０６０ 設置手段
・４０１ 空気調整浄化装置
・・１ 気体浄化装置
・・・５０ ケース
・・・６０ 制御手段
・・・・６０ａ 操作手段
・・・・６０ｂ 表示手段
・・４００ 室内機
・・・４１０ ケース
・・・４２０ 流路
・・・・４２０ａ 入口
・・・・４２０ｂ 出口
・・・・４２０ｃ 経路
・・・４３０ 送風機
・・・４４０ 熱交換器
・・・４５０ ドレンパン
・Ａ 空気層
・ＣＥＸ 比較例
・・Ｃ セラミックス層
・Ｄ 第二電極が延びる方向
・Ｅ 一対の電極
・・Ｅ１ 第一の一対の電極
・・Ｅ２ 第二の一対の電極
・・Ｅ３ 第三の一対の電極
・・Ｅ４ 第四の一対の電極
・Ｇ 浄化しようとする気体又は活性化しようとする気体
・Ｈ 熱
・Ｌ 積層体
・・Ｌ１ 第一積層体
・・Ｌ２ 第二積層体
・Ｍ 反射鏡
・・Ｍ１ 第一反射鏡
・・Ｍ２ 第二反射鏡
・Ｏ 浄化しようとする固体
・Ｐ プラズマ
・Ｓ 一対の電極間の空間
・ＵＶ 紫外線（近紫外線）
・Ｖ 真空層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】

【図39】

【図40】

【図41】

【図42】

【図43】