特開 2023-11301 比抵抗計の自動校正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023011301

(43)【公開日】2023-01-24

(54)【発明の名称】比抵抗計の自動校正方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/22 20060101AFI20230117BHJP

   G01N 27/06 20060101ALI20230117BHJP

【ＦＩ】

G01R27/22

G01N27/06 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021115078

(22)【出願日】2021-07-12

(71)【出願人】

【識別番号】000004400

【氏名又は名称】オルガノ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100123788

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 昭夫

(74)【代理人】

【識別番号】100127454

【弁理士】

【氏名又は名称】緒方 雅昭

(72)【発明者】

【氏名】村上 和利

(72)【発明者】

【氏名】本田 薫

(72)【発明者】

【氏名】星野 隆文

【テーマコード（参考）】

2G028

2G060

【Ｆターム（参考）】

2G028AA01

2G028BB20

2G028BC04

2G028CG02

2G028GL01

2G060AA05

2G060AC01

2G060AF07

2G060FA15

2G060HC01

2G060HC02

(57)【要約】

【課題】純水製造装置に内蔵される水質測定用の比抵抗計を校正する作業に要する時間を短縮し、設定のミスやばらつきを低減する。
【解決手段】水質測定用比抵抗計２８を校正する自動校正方法は、純水製造装置１０において純水が流れる配管２７，３０に、既に校正がなされている比較用比抵抗計６０を仮設で接続する接続工程と、接続工程ののち、純水製造装置１０の運転を開始する工程と、純水製造装置１０の運転を継続しながら、水質測定用比抵抗計２８での測定に基づく比抵抗値が比較用比抵抗計６０での測定された比抵抗値に一致するように、水質測定用比抵抗計２８のセル定数を自動的に設定する校正工程と、を有する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

純水製造装置において製造された純水の水質を測定するために前記純水製造装置において純水が流れる配管に設けられる水質測定用比抵抗計を校正する自動校正方法であって、
前記配管に、既に校正がなされている比較用比抵抗計を仮設で接続する接続工程と、
前記接続工程ののち、前記純水製造装置の運転を開始する工程と、
前記純水製造装置の運転を継続しながら、前記水質測定用比抵抗計での測定に基づく比抵抗値が前記比較用比抵抗計で測定された比抵抗値に一致するように、前記水質測定用比抵抗計のセル定数を自動的に設定する校正工程と、
を有する、自動校正方法。

【請求項2】

前記水質測定用比抵抗計及び前記比較用比抵抗計は温度測定機能を備え、
前記校正工程において、前記水質測定用比抵抗計での測定に基づく水温値が、前記比較用比抵抗計で測定された水温値に一致するように、前記水質測定用比抵抗計の温度測定機能における温度定数を補正してから、前記セル定数を自動的に設定する、請求項１に記載の自動校正方法。

【請求項3】

前記温度定数を自動的に補正する、請求項２に記載の自動校正方法。

【請求項4】

前記校正工程において、前記純水製造装置の運転を継続することによって前記比較用比抵抗計で測定された比抵抗値が規定値となったのちに、前記水質測定用比抵抗計での測定に基づく比抵抗値が前記規定値となるように前記セル定数を自動的に設定する、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の自動校正方法。

【請求項5】

前記純水製造装置は、前記水質測定用比抵抗計の抵抗検出値が入力して前記抵抗検出値と前記セル定数とに基づいて前記純水の比抵抗を算出するプロセッサを有し、
前記校正工程において、前記プロセッサは、前記抵抗検出値と前記セル定数とから算出される比抵抗値が前記比較用比抵抗計で測定された比抵抗値に一致するように前記セル定数を設定し、設定した前記セル定数を記憶する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の自動校正方法。

【請求項6】

前記水質測定用比抵抗計及び前記比較用比抵抗計は温度測定機能を備え、
前記純水製造装置は、前記水質測定用比抵抗計の抵抗検出値及び温度検出値が入力して前記抵抗検出値と前記温度検出値と前記セル定数と前記水質測定用比抵抗計の温度測定機能の温度定数とに基づいて前記純水の比抵抗を算出するプロセッサを有し、
前記校正工程において前記プロセッサは、前記水質測定用比抵抗計での温度検出値から算出される水温が前記比較用比抵抗計で測定される水温に一致するように前記温度定数を補正し、その後、前記抵抗検出値と前記セル定数とから算出される比抵抗値が前記比較用比抵抗計で測定された比抵抗値に一致するように前記セル定数を設定し、補正後の前記温度定数と設定した前記セル定数とを記憶する、
請求項１に記載の自動校正方法。

【請求項7】

前記純水が流れる配管において前記水質測定用比抵抗計の設置位置よりも下流側に前記比較用比抵抗計を接続する、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の自動校正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、純水製造装置あるいは超純水製造装置に内蔵される比抵抗計を自動的に校正するための方法に関する。

【背景技術】

【0002】

純水製造装置や超純水製造装置には、その生成する純水あるいは超純水の水質を計測するために、比抵抗計が設けられる。以下の説明において、純水というときは超純水を含み、純水製造装置というときは超純水製造装置を含むものとする。純水製造装置に設けられる比抵抗計は、対向して１対の電極が設けられているセル内を純水で満たしたときの電極間の電気抵抗に基づいて、その純水の比抵抗を計測するものである。一般に比抵抗計において、比抵抗は、１対の電極間の実測された電気抵抗値をセル定数で除算することによって算出される。セル定数は、電極の間隔を電極の面積で除算した値に相当するパラメータであって、セルの物理的形状やそのサイズ、電極の形状やサイズ、電極の間隔などに基づいて定まり、比抵抗計のセルごとに異なる。したがって、比抵抗計による正確な測定を行うためには事前にセル定数の校正を行う必要がある。

【0003】

不純物を含まない水の理論的な比抵抗は２５℃において１８．２ＭΩ・ｃｍである。そこで純水製造装置において純水の経路に設けられる比抵抗計のセル定数の校正は、既に校正が行われている比較用の比抵抗計を用意し、校正対象の比抵抗計と比較用の比抵抗計とを直列に接続し、比抵抗が例えば１８．０ＭΩ・ｃｍ以上の純水をこれらの比抵抗計に流しながらオンラインで測定を行うことによって実行することができる。その場合、それぞれの比抵抗計での測定値を比較し、同じ値になるように校正対象の比抵抗計のセル定数を手作業で調整して設定することになる。

【0004】

水の比抵抗は温度によっても変化し、水温が上昇すれば比抵抗は低下する。水質管理の観点からは、水温によらずに比抵抗値だけで管理を行える方が好都合であるから、比抵抗の測定とともに水温も測定し、測定された比抵抗値を水温に応じて２５℃での値に換算して表示できることが好ましい。このため比抵抗計は一般に水温測定のためにサーミスタなどの温度センサも備えており、温度センサも校正の対象となる。温度センサがサーミスタであれば、サーミスタの電気抵抗の実測値に温度定数を乗じたものが温度測定値となるから、温度定数の校正を行うことになる。

【0005】

特許文献１は、比抵抗の逆数である導電率の測定に関するものであるが、セルを含む電極プローブにセル定数識別用の抵抗を設け、導電率計の本体である変換器に電極プローブを接続したときに、変換器において識別用の抵抗の値に応じて識別信号を発生し、識別信号に応じて記憶部からセル定数を呼び出し、呼び出したセル定数を用いて導電率を算出することを開示している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】実開昭６３－１９５２６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

校正対象の比抵抗計（すなわち純水製造装置において水質測定に用いられる比抵抗計）と比較用の比抵抗計とを直列に接続して純水を流し、両方の比抵抗計の測定値に基づいて校正対象の比抵抗計のセル定数を調整するときは、トライアル・アンド・エラーの繰り返しとなり、校正作業に時間を要する。純水製造装置に内蔵される水質測定用比抵抗計の校正は、一般に純正製造装置の出荷時に出荷検査の一項目として行われるものであって出荷検査に要する時間の短縮が望まれているから、比抵抗計の校正作業に要する時間の短縮も望まれている。また、手作業による校正作業では、校正作業を担当する作業者によってセル定数の設定にばらつきが生じたり、設定そのものにミスが生じる可能性がある。また、特許文献１に記載の技術は、電極プローブに設けられるセルのセル定数が既に分かっていることを前提とするものであるので、セル定数自体の決定には使用することができない。

【0008】

本発明の目的は、純水製造装置に内蔵される水質測定用の比抵抗計を校正する作業に要する時間を短縮でき、設定のミスやばらつきを低減できる自動校正方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の自動校正方法は、純水製造装置において製造された純水の水質を測定するために純水製造装置において純水が流れる配管に設けられる水質測定用比抵抗計を校正する自動校正方法であって、配管に、既に校正がなされている比較用比抵抗計を仮設で接続する接続工程と、接続工程ののち、純水製造装置の運転を開始する工程と、純水製造装置の運転を継続しながら、水質測定用比抵抗計での測定に基づく比抵抗値が比較用比抵抗計で測定された比抵抗値に一致するように、水質測定用比抵抗計のセル定数を自動的に設定する校正工程と、を有する。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、純水製造装置に内蔵される水質測定用の比抵抗計を校正する作業に要する時間を短縮でき、設定のミスやばらつきを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】純水製造装置の構成の一例を示す図である。

【図2】図１に示す純水製造装置における比抵抗計の校正手順を示すフローチャートである。

【図3】セル定数を決定する手順を示すフローチャートである。

【図4】純水製造装置の構成の別の例を示す図である。

【図5】純水製造装置の構成の別の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

次に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施の一形態の比抵抗計の自動校正方法が適用される純水製造装置の構成を示す図である。

【0013】

図示される純水製造装置１０は、水道水などを供給水として供給水から純水を製造するものであり、供給水をまず処理する活性炭装置（ＡＣ）１１と、逆浸透膜を備えて活性炭装置１１の出口水を処理する逆浸透膜装置（ＲＯ）１２を備えている。逆浸透膜装置１２から透過水はタンク２１に貯えられ、逆浸透膜装置１２からの濃縮水は外部に排出される。タンク２１の出口には、タンク２１に貯えられた水を給送するポンプ２２が設けられ、ポンプ２２の出口すなわち２次側には、流量センサ（ＦＩ）２３、紫外線酸化装置（ＵＶ）２４、非再生型イオン交換装置（カートリッジポリッシャー（ＣＰ））２５がこの順で設けられている。非再生型イオン交換装置２５の出口には、この純水製造装置１０で製造された純水をユースポイントに対して供給するための純水配管２７が設けられ、純水配管２７には、ユースポイントへの純水の供給を制御するために電磁弁２９が設けられている。純水配管２７において電磁弁２９よりも上流側となる位置には、純水配管２７を流れる純水の水質を測定するために水質測定用比抵抗計２８が設けられている。水質測定用比抵抗計２８は、純水の比抵抗を測定する比抵抗センサ（ＲＩ）と純水の水温を測定する温度センサ（ＴＩ）とを備えている。比抵抗センサは、純水が流れるセルに１対の電極を配置した構成となっており、電極間の電気抵抗を測定して抵抗値を出力する。その電気抵抗をセルに固有のセル定数Ｊで除算することによって純水の比抵抗を求めることができる。本発明に基づく自動校正方法は、水質測定用比抵抗計２８の比抵抗センサのセル定数Ｊを自動的に設定しようとするものである。温度センサは、例えばサーミスタなどの測温体によって構成されており、温度センサでの測定出力値に対してその測温体に固有の温度定数を適用することによって正確な水温を求めることができる。

【0014】

純水製造装置１０では、純水配管２７において水質測定用比抵抗計２８の接続位置と電磁弁２９との間の位置から分岐してタンク２１に接続する循環配管３０が設けられている。循環配管３０には電磁弁３１が設けられている。循環配管３０は、ユースポイントに供給されなかった純水をタンク２１に戻すために設けられており、これにより純水製造装置１０では、ユースポイントでの純水の需要の有無に係らずに純水を常時製造してそれを装置内で循環させることができる。純水が装置内で循環し、循環するたびに純水がさらに精製されて水質がさらに向上するので、この純水製造装置１０によれば、より水質に優れた純水あるいは超純水を需要に応じてユースポイントに供給することができる。

【0015】

純水製造装置１０には、純水製造装置１０の全体を制御する制御装置５０と、制御装置５０に接続して利用者に対して表示を行い、利用者からの入力を受け付ける操作パネル５１とがさらに設けられている。制御装置５０は、例えばマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）あるいはマイクロコンピュータなどのプロセッサによって構成され、特に電磁弁２９，３１の開閉を制御する。制御装置５０には流量センサ２３の検出出力と水質測定用比抵抗計２８の検出出力とが入力する。制御装置５０は、水質測定用比抵抗計のセル定数Ｊと温度定数とを記憶する機能を有し、水質測定用比抵抗計２８の抵抗検出値と温度検出値が入力する。制御装置５０は、抵抗検出値をセル定数Ｊで除算して比抵抗値を算出し、さらに算出された比抵抗値を水温が２５℃のときの値に変換して操作パネル５１に出力する機能を有する。比抵抗値を２５℃のときに値に変換するためには水温の測定値が必要であるが、制御装置５０は、水質測定用比抵抗計２８の温度検出値に対して温度定数を適用して、正確な水温を算出する。制御装置５０が算出した水温も操作パネル５１に対して出力可能である。

【0016】

純水製造装置１０は、ユースポイントへの純水の供給に関し、いくつかの動作モードを備えている。例えば、指定された量の純水をユースポイントに供給するときは、制御装置５０は、流量センサ２３で測定される流量の積算値がその指定された量となるまで、電磁弁３１を閉じ電磁弁２９を開ける制御を行なう。あるいは、入力があるときだけユースポイントに純水を供給するときは、入力があるときだけ電磁弁３１を開ける制御を行なう。

【0017】

次に、図１に示した純水製造装置１０における水質測定用比抵抗計２８のセル定数の自動校正について説明する。図２は自動校正の手順を示すフローチャートである。

【0018】

まず、ステップ１０１において、純水製造装置１０において純水が流れる配管に対し、比較用比抵抗計６０を仮設で接続する。図１に示した例では、循環配管３０において電磁弁３１とタンク２１の間に比較用比抵抗計６０を取り付けている。純水製造装置１０においては、配管にはフレキシブルチューブなどの可撓性を有する配管部材が用いられることが多く、それらの配管部材はワンタッチ継手などにより相互に接続される。したがって、ワンタッチ継手を介した配管部材の接続関係を変更することにより、循環配管３０に対して比較用比抵抗計６０を仮設で接続することは容易である。図示した例では、純水が流れる経路において水質測定用比抵抗計２８の下流側の位置に比較用比抵抗計６０が接続されている。純水が流れる経路において水質測定用比抵抗計２８の上流側の位置に比較用比抵抗計６０を接続することも可能であるが、純水製造装置１０内でのコンタミネーションの発生を防ぐために、水質測定用比抵抗計２８の下流に比較用比抵抗計６０を配置することが好ましい。比較用比抵抗計６０は既に校正済みのものであり、水質測定用比抵抗計と同様に比抵抗センサ（ＲＩ）と温度センサ（ＴＩ）を備えている。比較用比抵抗計６０は、測定した比抵抗値と温度値（水温値）とを出力あるいは表示することが可能な構成となっている。比較用比抵抗計６０で出力あるいは表示される比抵抗値は、一般に、水温が２５℃のときの値に換算されたものである。

【0019】

次に、電磁弁２９を閉じ、電磁弁３１を開けた状態で供給水を純水製造装置１０に供給し、この状態でステップ１０２において純水製造装置１０の運転を開始する。純水製造装置１０で製造された純水は循環配管３０を介してタンク２１に戻されるので、純水の循環精製が行われることとなり、時間の経過とともに純水製造装置１０内の純水の水質が向上し、やがて、比較用比抵抗計６０で表示される比抵抗が、１８．２ＭΩ・ｃｍ（すなわち規定値）に到達する。ステップ１０３に示すように、比較用比抵抗計６０で測定される比抵抗値が規定値（２５℃換算で１８．２ＭΩ・ｃｍ）に達するまで処理を待ち合わせる。

【0020】

比較用比抵抗計６０で測定される比抵抗値が規定値に達したら、次に、ステップ１０４において、比較用比抵抗計６０での温度測定値に基づいて、水質測定用比抵抗計２８の温度センサの温度定数を校正する。温度定数の校正は、水質測定用比抵抗計２８の温度センサでの温度測定値が比較用比抵抗計６０での温度測定値と一致するように、手動または自動で温度定数を変化させることによって行われる。手動で温度定数の校正を行うときは、水質測定用比抵抗計２８での温度測定値を操作パネル５１に表示させ、操作パネル５１に表示される温度測定値が水質測定用比抵抗計２８での温度測定値と一致するまで、操作パネル５１を介して温度定数を増減するコマンドを制御装置５０に入力する。自動で温度定数を校正するときは、温度定数を増減させるこの処理を制御装置５０自体が実行する。校正された温度定数は、制御装置５０内のメモリ（不図示）に記憶され、それ以降の水温測定に使用される。

【0021】

温度定数の校正が済んだら、制御装置５０における自動校正プロセスを開始する。自動校正プロセスは、制御装置５０内のプロセッサがプログラムを実行することによって実行される。自動校正プロセスが開始すると、ステップ１０５において制御装置５０は、セル定数Ｊの値に初期値を代入する。初期値として、例えば、水質測定用比抵抗計２８の機種ごとにあらかじめ定められている値を使用することができる。過去にセル定数の校正を行ったことがあるときはその校正で求めたセル定数を初期値として使用してもよい。その後、ステップ１０６において、制御装置５０は、水質測定用比抵抗計２８により比抵抗を測定する。比抵抗値は、水質測定用比抵抗計２８から入力する抵抗検出値をセル定数Ｊで除算し、さらに水温による補償を行うことによって算出される。この時点で純水製造装置１０は循環精製によって純水の製造を継続しており、純水の比抵抗は水温２５℃の値に換算して上述した規定値（１８．２ＭΩ・ｃｍ）となっているはずである。そこで制御装置５０は、ステップ１０７において、水質測定用比抵抗計２８での測定に基づいて上述のように算出される比抵抗値が規定値と一致するかどうか、すなわち正しく比抵抗を測定できているかどうかを判定する。正しく比抵抗を測定できているときは、処理はステップ１０９に進み、正しく測定できていないときは、ステップ１０８において制御装置５０は、正しく測定できるようにセル定数Ｊを変更し、その後、ステップ１０６の比抵抗の測定からの処理を繰り返す。結局、水質測定用比抵抗計２８での測定に基づく比抵抗値が規定値と一致するようになるまで、セル定数の調整が繰り返し行われることになる。

【0022】

ステップ１０９において制御装置５０は、ステップ１０６からステップ１０８までの処理を繰り返すことによって校正されたセル定数を制御装置５０のメモリ（不図示）に記憶するとともに、利用者に確認を促すために操作パネル５１に表示する。これにより、自動校正のプロセスを終了する。これ以降、水質測定用比抵抗計２８によって純水の水質を測定するときは、ステップ１１０に示すように、上述のようにして校正されて記憶されたセル定数を用いて比抵抗値を算出すればよい。セル定数の校正が済めば比較用比抵抗計６０は不要となるので、ステップ１１１において純水製造装置１０での純水製造を停止してポンプ２２も停止し、ステップ１１２において比較用比抵抗計６０を取り外す。

【0023】

図３は、ステップ１０８での処理の一例を示すフローチャートであり、説明を分かりやすくするため。図２のステップ１０６からステップ１０９までの部分も示している。ステップ１０７において比抵抗を正しく測定できていない場合には、水質測定用比抵抗計２８の抵抗検出値と水温とから算出される比抵抗値（算出値とする）が、上述した規定値（図３では「目標値」と記載する）よりも大きい場合と小さい場合とがある。そこで、ステップ１０８Ａでは、算出値が目標値よりも小さいかどうかを判定する。校正の目標は算出値と目標値とが一致することである。ここで一致とは、測定精度などを考えてＭΩ・ｃｍ単位で表したときに例えば小数第１位までの数値として比抵抗の値が一致することである。算出値＜目標値であるときは、ステップ１０８Ｂにおいてセル定数をΔだけ小さくしてステップ１０６に戻り、算出値＜目標値ではないときは、ステップ１０８Ｂにおいてセル定数をΔだけ大きくしてステップ１０６に戻る。なお、算出値と目標値が一致する場合は、正しく比抵抗を測定できているとステップ１０７において既に判定されている場合であるから、セル定数の変更は起こらない。セル定数の変更の刻み幅であるΔは、あらかじめ定められた数値であって、例えば０．０１ｍ^－１である。

【0024】

以上説明した本実施形態の自動校正方法によれば、純水製造装置１０に内蔵される水質測定用比抵抗計２８のセル定数の校正作業を自動化でき、校正に要する時間を短縮できるとともに、設定のミスやばらつきを低減できる。例えば、人手でセル定数を校正する作業には例えば３～４分間程度の時間を要するのに対し、本実施形態の方法によれば、１０秒程度でセル定数の校正を終らせることができる。

【0025】

比較用比抵抗計６０として、制御装置５０が受け入れ可能なデータフォーマットで検出結果を信号として出力するものを用いることもできる。図４は、そのような比較用比抵抗計６０を取り付けることができる純水製造装置１０を示している。図４に示す純水製造装置１０では、比較用比抵抗計６０を循環配管３０に仮設で接続したときに、比較用比抵抗計６０と制御装置５０とを信号線６１で接続することができる。制御装置５０は信号線６１が接続可能な入力ポートを備えている。信号線６１で接続することにより、比較用比抵抗計６０で測定された比抵抗値と水温とが信号線６１を介して制御装置５０に入力する。図４に示した純水製造装置１０での水質測定用比抵抗計２８の校正は、図２に示したプロセスよりもさらに自動化された形態で行うことができる。

【0026】

図４に示した純水製造装置１０の水質測定用比抵抗計２８の校正を行うときは、上述の場合と同様に比較用比抵抗計６０を循環配管３０に接続し、さらに、信号線６１を制御装置５０に接続する。そして純水製造装置１０の運転を開始し、制御装置５０を自動校正モードに設定する。自動校正モードに設定すると制御装置５０内のプロセッサが実行するプログラムにより、制御装置５０は、比較用比抵抗計６０から温度の測定値を読み込んで上述と同様に温度定数の自動校正を行い、続いて、比較用比抵抗計６０から比抵抗の測定値が読み込み、読み込んだ測定値を目標値として図３で示したものと同様の処理を行ってセル定数の自動校正を行い、その後、校正された温度定数とセル定数とをメモリ（不図示）に記憶し、校正されたセル定数を操作パネル５１に出力する。比較用比抵抗計６０での比抵抗の測定値が制御装置５０に常時入力するので、図４に示す純水製造装置１０の場合は、純水製造装置１０内を循環する純水の比抵抗が２５℃換算で１８．２ＭΩ・ｃｍに到達する前の段階においてもセル定数の校正を完了させることができる。

【0027】

図５は本発明の自動校正方法が適用される別の純水製造装置の例を示している。実験室などで純水を例えばビーカーやフラスコ、試験管などに採水するときは、純水製造装置に接続する採水ディスペンサーを使用する。採水ディスペンサーから吐出される純水の水質を高めるために、特開２０２０－００６２９５号公報には、循環精製のために純水が循環する配管を純水製造装置から採水ディスペンサーにまで延長することを開示している。図５は、循環精製のための配管を採水ディスペンサーまで延長した例を示している。図５に示す純水製造装置１０は、図４に示す純水製造装置１０において、活性炭装置や逆浸透膜装置を設けずにタンク２１に一次純水が供給されるようにするとともに、非再生型イオン交換装置２５の出口に接続する限外ろ過膜装置（ＵＦ）２６と、採水ディスペンサー７０との間で純水を循環させるための循環出口３２及び循環入口３３とをさらに設けたものである。純水配管２７は限外ろ過膜装置２６と循環出口３２との間に設けられている。純水配管２７には電磁弁は設けられていない。循環配管３０は、給水配管２７から分岐するのではなく、循環入口３３とタンク２１の間に設けられている。採水ディスペンサー７０が純水製造装置１０に接続していないときであっても純水製造装置１０における循環精製による純水の製造を可能とするために、純水配管２７と循環配管３０とを接続するバイパス配管３４が設けられ、バイパス配管３４にはバイパス弁３５が設けられている。バイパス配管３４が循環配管３０に接続する位置は、電磁弁３１とタンク２１の間の位置である。水質測定用比抵抗計２８は、純水配管２７において、バイパス配管３３が分岐する位置と循環出口３２との間の位置に設けられている。

【0028】

純水製造装置１０と採水ディスペンサー７０の間は、循環出口３２に接続して純水製造装置１０から採水ディスペンサー７０に向けて純水が流れる配管７１と、循環入口３３に接続して採水ディスペンサー７０から純水製造装置１０に向けて純水が流れる配管７２とによって接続されている。配管７１，７２として例えばフレキシブルチューブが用いられる。採水ディスペンサー７０には、配管７３，７４と電磁弁７５とノズル７６とスイッチ７７とが設けられている。配管７３の一端は配管７１に接続し、配管７４の一端は配管７２に接続する。配管７３の他端と配管７４の他端とは相互に接続し、この接続点とノズル７６とを接続する配管に電磁弁７５が設けられている。したがって、配管７１，７２を介して純水が採水ディスペンサー７０に循環しているときに電磁弁７５を開ければ、循環している純水の少なくとも一部がノズル７６から吐出することになる。ノズル７６から吐出する純水を例えば試験管やビーカーなどに注ぐことができる。

【0029】

スイッチ７７は制御装置５０に電気的に接続しており、利用者がスイッチ７７を操作することによって入力された指令は制御装置５０に伝達される。電磁弁７５は制御装置５０によって制御される。その結果、利用者がスイッチ７７を操作している電磁弁７５を開く制御を制御装置５０が実行すれば、スイッチ７７を操作しているときだけノズル７６から純水が吐出する。あるいは、利用者による１回のスイッチ操作があったときに、制御装置５０は、流量センサ２３での検出結果に基づいて、あらかじめ規定された体積の純水がノズル７６から吐出するような制御を行なうこともできる。

【0030】

図５に示す純水製造装置１０の水質測定用比抵抗計２８の校正を行うときは、純水製造装置１０から採水ディスペンサー７０に向けて純水が流れる配管７１に対して比較用比抵抗計６０を接続すればよい。比較用比抵抗計６０のこの接続位置では循環精製のために純水が循環して流れているので、上述した例と同様の手順により、水質測定用比抵抗計２８の校正を行うことができる。

【0031】

以上、本発明の実施の形態を説明した。純水製造装置１０に設けられる水質測定用比抵抗計２８の校正は、純水製造装置１０の工場出荷時に行なわれるほか、出荷後も、例えば１年に１回程度の頻度で行われることが多い。管理する純水製造装置１０の台数が多く、それに伴って水質測定用比抵抗計２８の台数も多い場合には、各水質測定用比抵抗計２８の校正記録を管理することには労力を要する。そこで、クラウド側に設けられたサーバに対して各純水製造装置１０の制御措置５０をネットワークを介して接続し、本発明に基づく方法で自動校正された各水質測定用比抵抗計２８のセル定数をサーバへ送信し、クラウド側でセル定数を記録することにより、多数の純水製造装置１０についての定期的な校正の記録をクラウド上で一括管理することが可能となる。

【符号の説明】

【0032】

２１ タンク
２４ 紫外線酸化装置
２５ 非再生式イオン交換装置
２６ 限外ろ過膜装置
２７ 純水配管
３０ 循環配管
２８ 水質測定用比抵抗計
５０ 制御装置
５１ 操作パネル
６０ 比較用比抵抗計
７０ 採水ディスペンサー
７６ ノズル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】