特開2023-113092光検査装置及び光検査方法

発明の名称　光検査装置及び光検査方法

出願人　株式会社ブイ・テクノロジー　（識別番号 500171707）

　　　　特許公開件数ランキング 3969 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2439 位（6件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社ナノシステムソリューションズ　（識別番号 504385524）

　　　　特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4213 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-113092

公報発行日　2023年8月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-113092

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