(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023113959
(43)【公開日】2023-08-16
(54)【発明の名称】弾性波装置
(51)【国際特許分類】
H03H 9/145 20060101AFI20230808BHJP
H03H 9/25 20060101ALI20230808BHJP
【ＦＩ】
H03H9/145 Z
H03H9/25 Z
H03H9/25 C
【審査請求】有
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023099130
(22)【出願日】2023-06-16
(62)【分割の表示】P 2021548454の分割
【原出願日】2020-09-25
(31)【優先権主張番号】P 2019177324
(32)【優先日】2019-09-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110001232
【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】木村 哲也
(72)【発明者】
【氏名】山根 毅
(72)【発明者】
【氏名】永友 翔
(72)【発明者】
【氏名】豊田 祐二
(57)【要約】
【課題】小型化を進めた場合であってもＱ値を高めることができ、スプリアスの位置や大きさを制御することができる、弾性波装置を提供する。
【解決手段】ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムからなる圧電層２と、前記圧電層２の厚み方向に交差する方向において対向している少なくとも１対の電極３，４とを備え、圧電層２の厚みをｄ、少なくとも１対の電極３，４の隣り合う電極の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐが０．５以下であり、少なくとも１対の電極３，４が長さ方向を有し、少なくとも１対の電極には、少なくとも１対の電極の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が互いに異なる第１電極３及び第２電極４が含まれている、弾性波装置１。
【選択図】図１
【解決手段】ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムからなる圧電層２と、前記圧電層２の厚み方向に交差する方向において対向している少なくとも１対の電極３，４とを備え、圧電層２の厚みをｄ、少なくとも１対の電極３，４の隣り合う電極の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐが０．５以下であり、少なくとも１対の電極３，４が長さ方向を有し、少なくとも１対の電極には、少なくとも１対の電極の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が互いに異なる第１電極３及び第２電極４が含まれている、弾性波装置１。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムからなる圧電層と、
前記圧電層の厚み方向に交差する方向において対向している少なくとも１対の電極とを備え、
前記圧電層の厚みをｄ、前記少なくとも１対の電極の隣り合う電極の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐが０．５以下であり、
前記少なくとも１対の電極が長さ方向を有し、
前記少なくとも１対の電極には、前記少なくとも１対の電極の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が互いに異なる第１電極及び第２電極が含まれている、弾性波装置。
前記圧電層の厚み方向に交差する方向において対向している少なくとも１対の電極とを備え、
前記圧電層の厚みをｄ、前記少なくとも１対の電極の隣り合う電極の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐが０．５以下であり、
前記少なくとも１対の電極が長さ方向を有し、
前記少なくとも１対の電極には、前記少なくとも１対の電極の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が互いに異なる第１電極及び第２電極が含まれている、弾性波装置。
【請求項2】
前記ｄ／ｐが０．２４以下である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項3】
前記少なくとも１対の電極の長さ方向に直交する方向のいずれかの断面において、前記圧電層に対する前記第１電極側面の少なくとも一部の傾斜角度が、前記第２電極の電極側面の少なくとも一部の傾斜角度と異なっている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項4】
前記少なくとも１対の電極の長さ方向に直交する方向のいずれかの断面において前記第１電極の厚みは、前記第２電極の厚みと異なっている、請求項１～３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項5】
前記第１電極の幅が、前記第２電極の幅と異なっている、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項6】
前記少なくとも１対の電極が対向している方向に視たときに、前記少なくとも１対の電極が重なり合っている領域である励振領域に対する、前記励振領域内の前記少なくとも１対の電極の面積の割合であるメタライゼーション比ＭＲが、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たす、請求項１～５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項7】
前記少なくとも１対の電極と接続される第１のバスバー及び第２のバスバーを備え、
前記少なくとも１対の電極は、前記第１のバスバーに接続される電極及び前記第２のバスバーに接続される電極を含む、請求項１～６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
前記少なくとも１対の電極は、前記第１のバスバーに接続される電極及び前記第２のバスバーに接続される電極を含む、請求項１～６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項8】
前記ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）が、以下の式（１）、式（２）または式（３）の範囲にある、請求項１～７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
（０°±１０°，０°～２０°，任意のψ） …式（１）
（０°±１０°，２０°～８０°，０°～６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２） または （０°±１０°，２０°～８０°，［１８０°－６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２］～１８０°） …式（２）
（０°±１０°，［１８０°－３０°（１－（ψ－９０）２／８１００）１／２］～１８０°，任意のψ） …式（３）
（０°±１０°，０°～２０°，任意のψ） …式（１）
（０°±１０°，２０°～８０°，０°～６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２） または （０°±１０°，２０°～８０°，［１８０°－６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２］～１８０°） …式（２）
（０°±１０°，［１８０°－３０°（１－（ψ－９０）２／８１００）１／２］～１８０°，任意のψ） …式（３）
【請求項9】
前記ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）が、図１０において、ハッチングを付して示す領域内にある、請求項１～７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項10】
前記圧電層の前記少なくとも１対の電極が設けられている側とは反対側に設けられている支持部材をさらに備える、請求項１～９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項11】
平面視した場合、前記少なくとも１対の電極が設けられている領域の少なくとも一部と重なる領域において、前記圧電層における前記少なくとも１対の電極が設けられている側とは反対側にはエアギャップを有する、請求項１０に記載の弾性波装置。
【請求項12】
前記圧電層の前記少なくとも１対の電極が設けられている側とは反対側に積層された音響多層膜をさらに備え、前記音響多層膜は、音響インピーダンスが相対的に低い低音響インピーダンス層と、音響インピーダンスが相対的に高い高音響インピーダンス層との積層構造を有する、請求項１～９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項13】
前記少なくとも１対の電極は、前記圧電層の同一面上において対向している、請求項１～１２のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ＬｉＮｂＯ３またはＬｉＴａＯ３からなる圧電層を有する弾性波装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ＬｉＮｂＯ３またはＬｉＴａＯ３からなる圧電膜を伝搬する板波を利用した弾性波装置が知られている。例えば、下記の特許文献１では、板波としてのラム波を利用した弾性波装置が開示されている。ここでは、ＬｉＮｂＯ３またはＬｉＴａＯ３からなる圧電膜の上面にＩＤＴ電極が設けられている。ＩＤＴ電極の一方電位に接続される複数の電極指と、他方電位に接続される複数の電極指との間に電圧が印加される。それによって、ラム波が励振される。このＩＤＴ電極の両側には反射器が設けられている。それによって、板波を利用した弾性波共振子が構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１２－２５７０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の弾性波装置において、小型化を図るために、電極指の本数を少なくすることが考えられる。しかしながら、電極指の本数を少なくすると、Ｑ値が低くなる。また、共振特性上にスプリアスが生じることがあった。
【0005】
本発明の目的は、小型化を進めた場合であっても、Ｑ値を高めることができ、スプリアスの位置や大きさを制御することができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本願発明は、ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムからなる圧電層と、前記圧電層の厚み方向に交差する方向において対向している少なくとも１対の電極とを備え、前記圧電層の厚みをｄ、前記少なくとも１対の電極の隣り合う電極の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐが０．５以下であり、前記少なくとも１対の電極が長さ方向を有し、前記少なくとも１対の電極には、前記少なくとも１対の電極の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が互いに異なる第１電極及び第２電極が含まれている、弾性波装置である。
【発明の効果】
【0007】
本発明に係る弾性波装置では、小型化を進めた場合であっても、Ｑ値を高めることができる。また、スプリアスの大きさや位置を制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0010】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【0011】
本願の第１，第２の発明は、ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムからなる圧電層と、圧電層の厚み方向に交差する方向において対向している少なくとも１対の電極とを備える。少なくとも１対の電極が長さ方向を有し、少なくとも１対の電極には、少なくとも１対の電極の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が互いに異なる第１電極及び第２電極が含まれている。そのため、スプリアスの大きさや位置を制御することができる。
【0012】
第１の発明では、厚み滑り１次モードのバルク波が利用されている。また、第２の発明では、圧電層の厚みをｄ、少なくとも１対の電極の隣り合う電極の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐが０．５以下とされている。それによって、第１，第２の発明では、小型化を進めた場合であっても、Ｑ値を高めることができる。
【0013】
図１（ａ）は、第１，第２の発明についての第１の実施形態に係る弾性波装置の外観を示す略図的斜視図であり、図１（ｂ）は、圧電層上の電極構造を示す平面図であり、図２は、図１（ａ）中のＡ－Ａ線に沿う部分の断面図である。
【0014】
弾性波装置１は、ＬｉＮｂＯ３からなる圧電層２を有する。圧電層２は、ＬｉＴａＯ３からなるものであってもよい。厚み滑り１次モードを利用するには、圧電層２の厚みは、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下であることが好ましい。また、圧電層２におけるカット角は、本実施形態では、Ｚカットであるが、回転ＹカットやＸカットであってもよい。さらに伝搬方位については、Ｙ伝搬と、Ｘ伝搬±３０°が好ましい。
【0015】
図１（ｂ）に示すように、電極３，４は矩形形状であり、長さ方向を有する。電極３，４の長さ方向と直交する方向が電極３，４の幅方向である。電極３，４の幅は、この電極３，４の幅方向に沿う寸法をいうものとする。
【0016】
電極３，４は、電極３，４の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が異なる第１電極と第２電極とを有する。より具体的には、本実施形態では、電極３の幅よりも電極４の幅が大きい。従って、例えば、図１（ｂ）のＰ－Ｐ線に沿う断面において、すなわち電極３，４の長さ方向と直交する断面において、第１電極である電極３と第２電極である電極４とは断面形状が異なっている。本実施形態の弾性波装置１では、電極３，４は上記のように構成されているため、スプリアスの大きさや位置を制御することができる。これについては、後程具体的な実施例に基づき、より詳細に説明する。
【0017】
圧電層２は、対向し合う第１，第２の主面２ａ，２ｂを有する。第１の主面２ａ上に、少なくとも１対の電極３，４が設けられている。図１（ａ）及び図１（ｂ）では、複数の電極３が、第１のバスバー５に接続されている。複数の電極４は、第２のバスバー６に接続されている。複数の電極３及び複数の電極４は、互いに間挿し合っている。電極３及び電極４は圧電層２の厚み方向に直交する方向において、対向している。また、電極３及び電極４は、矩形形状を有し、長さ方向を有する。この長さ方向と直交する方向において、電極３と、電極３と隣り合う電極４とが対向している。電極３,４の長さ方向、及び、電極３,４の長さ方向と直交する方向はいずれも、圧電層２の厚み方向に交差する方向である。このため、電極３と、隣りの電極４とは、圧電層２の厚み方向に交差する方向において対向しているともいえる。また、電極３,４の長さ方向が図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す電極３，４の長さ方向に直交する方向と入れ替わっても良い。すなわち、図１（ａ）及び図１（ｂ）において、第１のバスバー５及び第２のバスバー６が延びている方向に電極３,４を延ばしてもよい。その場合、第１のバスバー５及び第２のバスバー６は、図１（ａ）及び図１（ｂ）において電極３，４が延びている方向に延びることとなる。そして、一方電位に接続される電極３と、他方電位に接続される電極４とが隣り合う１対の構造が、上記電極３，４の長さ方向と直交する方向に、複数対設けられている。この対数は、整数対である必要はなく、１．５対や２．５対などであってもよい。
【0018】
圧電層２の第２の主面２ｂ側には、絶縁層７を介して支持部材８が設けられている。絶縁層７及び支持部材８は、枠状の形状を有し、図２に示すように、開口部７ａ，８ａを有する。それによって、エアギャップ９が形成されている。エアギャップ９は、圧電層２の励振領域の振動を妨げないために設けられている。すなわち、エアギャップ９は、平面視した場合、少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分の少なくとも一部と重なる領域において、少なくとも１対の電極３，４が設けられている側とは反対側に形成されている。従って、上記支持部材８は、少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分と重ならない位置において、第２の主面２ｂに絶縁層７を介して積層されている。なお、絶縁層７は設けられずともよい。従って、支持部材８は、圧電層２の第２の主面２ｂに直接または間接に積層され得る。また、支持部材８は、平面視して、少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分と重ならない位置だけでなく、少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分と重なる位置にも設けられていてもよい。この場合、平面視して少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分と重なる位置においては、エアギャップ９が圧電層２と支持部材８との間に設けられていることとなる。
【0019】
絶縁層７は、酸化ケイ素からなる。もっとも、酸化ケイ素の他、酸窒化ケイ素、アルミナなどの適宜の絶縁性材料を用いることができる。支持部材８は、Ｓｉからなる。Ｓｉの圧電層２側の面方位は、（１００）であってもよく、（１１０）、（１１１）であってもよい。また、好ましくは、抵抗率４ｋΩ以上の高抵抗のＳｉが望ましい。もっとも、支持部材８についても他の絶縁性材料や半導体材料を用いて構成することができる。
【0020】
上記複数の電極３，４及び第１，第２のバスバー５，６は、Ａｌ、ＡｌＣｕ合金などの適宜の金属もしくは合金からなる。本実施形態では、電極３，４は、Ｔｉ膜上にＡｌ膜を積層した構造を有する。Ｔｉ膜は密着層であり、密着層はＴｉ以外の材料からなるものであってもよい。
【0021】
駆動に際しては、複数の電極３と、複数の電極４との間に交流電圧を印加する。より具体的には、第１のバスバー５と第２のバスバー６との間に交流電圧を印加する。それによって、圧電層２において励振される厚み滑り１次モードのバルク波を利用した、共振特性を得ることが可能とされている。また、弾性波装置１では、圧電層２の厚みをｄ、複数対の電極３，４のうちいずれかの隣り合う電極３，４の中心間距離の距離をｐとした場合、ｄ／ｐは０．５以下とされている。そのため、上記厚み滑り１次モードのバルク波が効果的に励振され、良好な共振特性を得ることができる。より好ましくは、ｄ／ｐは０．２４以下であり、その場合には、より一層良好な共振特性を得ることができる。
【0022】
なお、電極３，４が隣り合うとは、電極３，４が直接接触している場合ではなく、電極３，４が間隔を介して隣り合って配置されている場合を指す。また、電極３，４が隣り合う場合、電極３，４の間には、電極３，４を含むホット電極またはグラウンド電極に接続される他の電極がない。さらに、電極３，４の少なくとも一方が複数本ある場合（電極３，４を一対の電極組とした場合に、１．５対以上の電極組がある場合）、電極３，４の中心間距離は、1.５対以上の電極３，４のうち隣り合う電極３，４それぞれの中心間距離の平均値を指す。
【0023】
なお、電極３，４間の中心間距離とは、電極３の長さ方向と直交する方向における電極３の寸法（幅寸法）の中心と、電極４の長さ方向と直交する方向における電極４の寸法（幅寸法）の中心とを結んだ距離である。
【0024】
また、本実施形態では、Ｚカットの圧電層を用いているため、電極３，４の長さ方向と直交する方向は、圧電層２の分極方向に直交する方向となる。圧電層２として他のカット角の圧電体を用いた場合には、この限りでない。ここにおいて、「直交」とは、厳密に直交する場合のみに限定されず、略直交（電極３，４の長さ方向と直交する方向と分極方向ＰＺ１とのなす角度が例えば９０°±１０°）でもよい。
【0025】
本実施形態の弾性波装置１では、上記構成を備えるため、小型化を図ろうとして、電極３，４の対数を小さくしたとしても、Ｑ値の低下が生じ難い。これは、反射器が有する反射電極指の本数が少なくても波を閉じ込められるので、伝搬ロスが少ないためである。また、厚み滑り１次モードのバルク波を利用していることによる。従来の弾性波装置で利用したラム波と、上記厚み滑り１次モードのバルク波の相違を、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照して説明する。
【0026】
図３（ａ）は、特許文献１に記載のような弾性波装置の圧電膜を伝搬するラム波を説明するための模式的正面断面図である。ここでは、圧電膜２０１中を矢印で示すように波が伝搬する。ここで、圧電膜２０１では、第１の主面２０１ａと、第２の主面２０１ｂとが対向しており、第１の主面２０１ａと第２の主面２０１ｂとを結ぶ厚み方向がＺ方向である。Ｘ方向は、ＩＤＴ電極の電極指が並んでいる方向である。図３（ａ）に示すように、ラム波では、波が図示のように、Ｘ方向に伝搬していく。板波であるため、圧電膜２０１が全体として振動するものの、波はＸ方向に伝搬するため、両側に反射器を配置して、共振特性を得ている。そのため、小型化を図った場合、すなわち、反射器が有する反射電極指の対数を少なくした場合、波の伝搬ロスが生じ、Ｑ値が低下する。
【0027】
これに対して、図３（ｂ）に示すように、本実施形態の弾性波装置では、振動変位は厚み滑り方向であるから、波は、圧電層２の第１の主面２ａと第２の主面２ｂとを結ぶ方向、すなわちＺ方向にほぼ伝搬し、共振する。すなわち、波のＸ方向成分がＺ方向成分に比べて著しく小さい。そして、このＺ方向の波の伝搬により共振特性が得られるため、必ずしも反射器を必要としない。従って、小型化を進めようとして、電極３，４からなる電極対の対数を減らしたとしても、Ｑ値の低下が生じ難い。
【0028】
上記のように、弾性波装置１では、電極３と電極４とからなる少なくとも１対の電極が配置されているが、Ｘ方向に波を伝搬させるものではないため、この電極３，４からなる電極対の対数は複数対ある必要は必ずしもない。すなわち、少なくとも１対の電極が設けられてさえおればよい。
【0029】
なお、厚み滑り１次モードのバルク波の振幅方向は、図４に示すように、圧電層２の励振領域に含まれる第１領域４５１と、励振領域に含まれる第２領域４５２とで逆になる。図４では、電極３と電極４との間に、電極４が電極３よりも高電位となる電圧が印加された場合のバルク波を模式的に示してある。第１領域４５１は、励振領域のうち、圧電層２の厚み方向に直交し圧電層２を２分する仮想平面ＶＰ１と、第１の主面２ａとの間の領域である。第２領域４５２は、励振領域のうち、仮想平面ＶＰ１と、第２の主面２ｂとの間の領域である。
【0030】
例えば、上記電極３がホット電位に接続される電極であり、電極４がグラウンド電位に接続される電極である。もっとも、電極３がグラウンド電位に、電極４がホット電位に接続されてもよい。本実施形態では、少なくとも１対の電極は、上記のように、ホット電位に接続される電極またはグラウンド電位に接続される電極であり、浮き電極は設けられていない。
【0031】
次に、本実施形態の弾性波装置１において、スプリアスの大きさ及び位置を制御し得ることを、以下の実施例１～３の対比により明らかにする。実施例１～３では、いずれも、圧電層２として、オイラー角（０°，０°，９０°）のＬｉＮｂＯ３膜を用いた。厚みは４００ｎｍとした。
【0032】
電極３，４の中心間距離であるピッチは３μｍとした。電極３，４の材料としては、１０ｎｍのＴｉ膜上に１００ｎｍの厚みのＡｌ膜を積層した構造を用いた。電極３の幅方向寸法及び電極４の幅方向寸法を、下記の表１に示す通りとした。従って、ｄ／ｐは、０．１３３である。
【0033】
電極３，４の電極３，４の長さ方向と直交する方向に視たときに重なり合っている領域すなわち励振領域の長さは２０μｍとした。電極３，４の対数は１００対とした。
【0034】
【表1】
【0035】
図５は、上記実施例１～３の共振子としての位相特性を示す図である。図５から明らかなように、上記のように、電極３の幅及び電極４の幅を実施例１～３に示されているように異ならせることにより、５０４０ＭＨｚ～５０７０ＭＨｚ付近に現れるスプリアスの大きさ及び位置並びに５２８０ＭＨｚ～５４００ＭＨｚ付近に現れるスプリアスの大きさ及び位置が変化することがわかる。従って、本実施形態の弾性波装置１では、上記のように、１対の電極３，４の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、他の電極と断面形状が異なる電極が含まれているため、この異ならせ方を調整することにより、スプリアスを小さくしたり、スプリアスを帯域から離れた位置にシフトさせたりすることができる。
【0036】
なお、第１の実施形態では、電極３の幅と電極４の幅とを異ならせたが、複数対の電極３，４が設けられている場合、全ての電極３の幅を等しくする必要はない。また電極４の幅についても全て等しくする必要はない。複数対の電極３，４が設けられている場合、電極３，４の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、断面形状が異なる電極が存在すればよい。
【0037】
ところで、上記圧電層２の厚みをｄ、電極３と電極４との電極の中心間距離をｐとした場合、前述したように、本実施形態では、ｄ／ｐは０．５以下、より好ましくは０．２４以下である。これを、図６Ａ及び図６Ｂを参照して説明する。
【0038】
【0039】
図６Ａから明らかなように、ｄ／２ｐが０．２５を超えると、すなわちｄ／ｐ＞０．５では、ｄ／ｐを調整しても、比帯域は５％未満である。これに対して、ｄ／２ｐ≦０．２５、すなわちｄ／ｐ≦０．５の場合には、その範囲内でｄ／ｐを変化させれば、比帯域を５％以上とすることができ、すなわち高い結合係数を有する共振子を構成することができる。また、ｄ／２ｐが０．１２以下の場合、すなわちｄ／ｐが０．２４以下の場合には、比帯域を７％以上と高めることができる。さらに好ましくは、ｄ／２ｐが０．０５以下であり、すなわち、ｄ／ｐが０．０２５以下であれば、より一層結合係数を高めることができる。加えて、ｄ／ｐをこの範囲内で調整すれば、より一層比帯域の広い共振子を得ることができ、より一層高い結合係数を有する共振子を実現することができる。従って、本願の第２の発明のように、ｄ／ｐを０．５以下とすることにより、上記厚み滑り１次モードのバルク波を利用した、高い結合係数を有する共振子を構成し得ることがわかる。また、図６Ｂから明らかなように、ｄ／２ｐは、より好ましくは、０．０４８以下である。この場合、結合係数をより一層高めることができる。さらに好ましくは、ｄ／２ｐは、０．０２４以上、０．０３６以下の範囲にある。この場合、ピッチｐが変動したとしても、結合係数の変化が小さい。
【0040】
なお、前述したように、少なくとも１対の電極は、１対でもよく、上記ｐは、１対の電極の場合、隣り合う電極３，４の中心間距離とする。また、１．５対以上の電極の場合には、隣り合う電極３，４の中心間距離の平均距離をｐとすればよい。
【0041】
弾性波装置１では、好ましくは、少なくとも１対の電極３，４が、電極３，４が対向している方向に視たときに重なっている領域である励振領域に対する、少なくとも１対の電極３，４のメタライゼーション比ＭＲが、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが望ましい。その場合には、スプリアスを効果的に小さくすることができる。これを、図７及び図８を参照して説明する。図７は、上記弾性波装置１の共振特性の一例を示す参考図である。矢印Ｂで示すスプリアスが、共振周波数と反共振周波数との間に現れている。なお、ｄ／ｐ＝０．０８として、かつＬｉＮｂＯ３のオイラー角（０°，０°，９０°）とした。また、上記メタライゼーション比ＭＲ＝０．３５とした。
【0042】
メタライゼーション比ＭＲを、図１（ｂ）を参照して説明する。図１（ｂ）の電極構造において、１対の電極３，４に着目した場合、この１対の電極３，４のみが設けられるとする。この場合、一点鎖線Ｃで囲まれた部分が励振領域となる。この励振領域とは、電極３と電極４とを、電極３，４の長さ方向と直交する方向すなわち対向方向に視たときに電極３における電極４と重なり合っている領域、電極４における電極３と重なり合っている領域、及び、電極３と電極４との間の領域における電極３と電極４とが重なり合っている領域である。そして、この励振領域の面積に対する、励振領域Ｃ内の電極３，４の面積が、メタライゼーション比ＭＲとなる。すなわち、メタライゼーション比ＭＲは、メタライゼーション部分の面積の励振領域の面積に対する比である。
【0043】
なお、複数対の電極が設けられている場合、励振領域の面積の合計に対する全励振領域に含まれているメタライゼーション部分の割合をＭＲとすればよい。
【0044】
図８は本実施形態に従って、多数の弾性波共振子を構成した場合の比帯域と、スプリアスの大きさとしての１８０度で規格化されたスプリアスのインピーダンスの位相回転量との関係を示す図である。なお、比帯域については、圧電層の膜厚や電極の寸法を種々変更し、調整した。また、図８は、ＺカットのＬｉＮｂＯ３からなる圧電層を用いた場合の結果であるが、他のカット角の圧電層を用いた場合においても、同様の傾向となる。
【0045】
図８中の楕円Ｊで囲まれている領域では、スプリアスが１．０と大きくなっている。図８から明らかなように、比帯域が０．１７を超えると、すなわち１７％を超えると、スプリアスレベルが１以上の大きなスプリアスが、比帯域を構成するパラメータを変化させたとしても、通過帯域内に現れる。すなわち、図７に示す共振特性のように、矢印Ｂで示す大きなスプリアスが帯域内に現れる。よって、比帯域は１７％以下であることが好ましい。この場合には、圧電層２の膜厚や電極３，４の寸法などを調整することにより、スプリアスを小さくすることができる。
【0046】
図９は、ｄ／２ｐと、メタライゼーション比ＭＲと、比帯域との関係を示す図である。上記弾性波装置において、ｄ／２ｐと、ＭＲが異なる様々な弾性波装置を構成し、比帯域を測定した。図９の破線Ｄの右側のハッチングを付して示した部分が、比帯域が１７％以下の領域である。このハッチングを付した領域と、付していない領域との境界は、ＭＲ＝３．５（ｄ／２ｐ）＋０．０７５で表される。すなわち、ＭＲ＝１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５である。従って、好ましくは、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５である。その場合には、比帯域を１７％以下としやすい。より好ましくは、図９中の一点鎖線Ｄ１で示すＭＲ＝３．５（ｄ／２ｐ）＋０．０５の右側の領域である。すなわち、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０５であれば、比帯域を確実に１７％以下にすることができる。
【0047】
図１０は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図９のハッチングを付して示した部分が、少なくとも５％以上の比帯域が得られる領域Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈである。領域Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈの範囲を近似すると、下記の式（１）、式（２）及び式（３）で表される範囲となる。
【0048】
（０°±１０°，０°～２０°，任意のψ） …式（１） …領域Ｅ
（０°±１０°，２０°～８０°，０°～６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２） または （０°±１０°，２０°～８０°，［１８０°－６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２］～１８０°） …式（２） …領域ＦまたはＧ
（０°±１０°，［１８０°－３０°（１－（ψ－９０）２／８１００）１／２］～１８０°，任意のψ） …式（３） …領域Ｈ
（０°±１０°，２０°～８０°，０°～６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２） または （０°±１０°，２０°～８０°，［１８０°－６０°（１－（θ－５０）２／９００）１／２］～１８０°） …式（２） …領域ＦまたはＧ
（０°±１０°，［１８０°－３０°（１－（ψ－９０）２／８１００）１／２］～１８０°，任意のψ） …式（３） …領域Ｈ
【0049】
従って、上記式（１）、式（２）または式（３）のオイラー角範囲の場合、比帯域を十分に広くすることができ、好ましい。
【0050】
上記の通り、本願の第１，第２の発明に係る弾性波装置では、反射器の電極指の本数を少なくしても、良好な共振特性を得ることができ、従って小型化を進めた場合でも、高いＱ値を実現することができる。また、電極３と電極４とを、電極３，４の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面で断面形状を異ならせることにより、スプリアスの大きさや位置を制御することができる。
【0051】
図１１は、第２の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す平面図である。第２の実施形態では、１対の電極３，４が圧電層２上に設けられている。このように、電極３，４からなる電極構造の対数は１対であってもよい。ここでも、電極４の幅が電極３の幅よりも広くされている。以下、本発明の他の実施形態及び変形例を説明する。
【0052】
第１の実施形態の弾性波装置１では、電極３の幅と電極４の幅とが異なるように少なくとも１対の電極３，４が構成されていた。これに対して、本発明においては、このような幅を異ならせたものに限らず、１対の電極３，４が長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、他の電極と断面形状が異なる電極が存在すればよく、その形態は様々に変更し得る。
【0053】
図１２～図１６を参照して、第３～第７の実施形態の弾性波装置の電極構造を説明する。図１２に示す第３の実施形態の弾性波装置では、電極３及び電極４が基端から先端に行くにつれて、細くなるように、テーパーが付けられた形状を有する。すなわち、等脚台形の形状を有している。ここで、電極３と電極４は、電極３，４の長さ方向と直交する方向のいずれかの断面で視た場合、電極３と電極４との断面形状が異なっている。すなわち、第３の実施形態の弾性波装置では、電極３が「第１電極」の一例であり、電極４が「第２電極」の一例である。例えば、図１２のＰ１－Ｐ１線に沿う断面において、電極３の断面形状と電極４の断面形状とは異なっている。このように、電極３や電極４を、等脚台形などの矩形以外の形状とすることにより、電極３，４の断面形状を、電極３，４の長さ方向と直交する断面において異ならせることができる。
【0054】
第３の実施形態においても、複数の電極３は全て等しい形状にする必要は必ずしもない。複数の電極４についても同様である。
【0055】
なお、電極３，４は等脚台形の形状を有していたが、非等脚台形や平行四辺形などの他の形状を有していてもよい。
【0056】
図１３は、第４の実施形態の弾性波装置の電極構造を説明するための平面図である。第４の実施形態では、第１のバスバー５に、矩形形状の電極３が接続されている。また、第２のバスバー６に、複数の電極４と、電極４Ａとが接続されている。電極４は、矩形形状を有し、電極３と同一形状とされている。他方、電極４Ａでは、長さ方向に延びる一方の側辺に複数の凹部４ａが設けられている。すなわち、電極４に凹部４ａを設けた形状に相当する。この場合、長さ方向とは、電極４Ａに外接している矩形Ｒの長さ方向となる。なお、第４の実施形態では凹部４ａが設けられているが、凹部４ａ電極４に少なくとも１つ設けられていれば良い。
【0057】
第４の実施形態においても、上記凹部４ａが設けられている位置を通るＰ２－Ｐ２線に沿う断面では、電極４Ａの断面形状は、他の電極３，４と異なる。すなわち、第４の実施形態の弾性波装置では、電極４Ａが「第１電極」の一例であり、電極３または電極４が「第２電極」の一例である。従って、この場合にも、電極３，４，４Ａの断面形状を調整することにより、スプリアスの大きさや位置を制御することができる。
【0058】
図１４は、第５の実施形態の弾性波装置の電極構造を説明するための平面図である。第５の実施形態の弾性波装置では、第１のバスバー５に、複数の電極３と電極３Ｂの一端が接続されている。第２のバスバー６に、複数の電極４Ｂと複数の電極４とが接続されている。ここで、電極３，４は矩形形状を有する。これに対して、電極３Ｂ，４Ｂは、図示のように、湾曲した形状を有する。すなわち、電極３Ｂは湾曲した１対の側辺３ｄ，３ｅを有する。同様に、電極４Ｂは、湾曲した１対の側辺４ｄ，４ｅを有する。このように湾曲した形状の電極３Ｂ，４Ｂでは、外接する矩形形状の長さ方向が電極３Ｂ，４Ｂの長さ方向となる。なお、「電極３Ｂ，４Ｂに外接する矩形形状」とは、少なくとも、電極３Ｂ，４Ｂにおいて第１のバスバー５または第２のバスバー６に接続されている箇所を除いた箇所に外接する矩形形状を含む。
【0059】
本実施形態においても、例えばＰ３－Ｐ３線に沿う断面において、電極３Ｂの断面形状と、電極４Ｂの断面形状とが異なっている。また、電極４Ｂの幅が、電極３や電極４の幅よりも大きい。すなわち、電極３Ｂが「第１電極」の一例であり、電極３、４、４Ｂ、が「第２電極」の一例である。または、電極４Ｂが「第１電極」の一例であり、電極３、３Ｂ、４が「第２電極」の一例である。そのため、この断面形状の異ならせ方を調整することにより、第１の実施形態と同様に、スプリアスの大きさや位置を調整することができる。
【0060】
図１５は、第６の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を説明するための平面図である。ここでは、第１のバスバー５に、電極３Ｃ，３Ｄの一端が接続されている。また、第２のバスバー６に、電極４Ｃ，４Ｄの一端が接続されている。すなわち、２対の電極３Ｃ，４Ｃ，３Ｄ，４Ｄが設けられている。もっとも、電極３Ｃは等脚台形の形状を有している。電極４Ｃは、電極３Ｃよりも細い台形形状を有している。さらに、電極４Ｄは、長さ方向中央に幅の細い部分４ｄ１が設けられている形状を有する。電極３Ｄは、基端から先端に行くにつれて幅が広がっている形状を有している。このような様々な矩形以外の異形の電極３Ｃ，４Ｃ，３Ｄ，４Ｄを用いてもよい。この場合においても、電極３Ｃ，４Ｃ，３Ｄ，４Ｄの長さ方向と直交する方向のいずれかの断面において、電極形状が異なる電極が存在することになる。すなわち、電極３Ｃ、４Ｃ、３Ｄ、４Ｄのいずれかが「第１電極」の一例であり、残りの電極が「第２電極」の一例である。従って、電極形状の異ならせ方を調整することによりスプリアスの大きさや位置を制御することができる。
【0061】
図１６は、第７の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す正面断面図である。本実施形態では、電極３及び電極４は、圧電層２上に配置された幅広部３ｆ，４ｆと、幅広部３ｆ，４ｆ上に設けられた矩形断面部３ｇ，４ｇとを有する。もっとも、幅広部３ｆ，４ｆの側面は、第１の主面２ａ側から矩形断面部３ｇ，４ｇに行くにつれて細くなるようにテーパーが付けられている。もっとも、幅広部３ｆの側面よりも、幅広部４ｆの側面の傾斜が急になるように、幅広部４ｆのテーパーは、幅広部３ｆのテーパーと異なっている。従って、図示の断面形状、すなわち電極３，４の長さ方向と直交する方向の断面において、電極３の断面形状と電極４の断面形状は異なっている。言い換えれば、電極３が「第１電極」の一例であり、電極４が「第２電極」の一例である。従って、この異なり方を調整することにより、スプリアスの大きさや位置を調整することができる。
【0062】
なお、第７の実施形態では、電極３，４の幅広部３ｆ，４ｆの側面の傾斜角度が異ならされていたが、電極３及び電極４の側面の全体の傾斜角度が異なるように構成されていてもよい。すなわち、電極３の側面の少なくとも一部の圧電層２に対する傾斜角度は、電極４の側面の少なくとも一部の傾斜角度と異なっていてもよい。
【0063】
図１７は、第８の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。弾性波装置８１では、電極３の厚みよりも、電極４の厚みが厚くされている。従って、本実施形態においても、電極３，４の長さ方向と直交する方向の断面において、電極３の断面形状と、電極４の断面形状とが異なっている。よって、異なり方を調整することにより、スプリアスの大きさや位置を調整することができる。また、少なくとも１対の電極３，４を覆うように、圧電層２の第１の主面２ａ上に、保護膜２２が積層されている。保護膜２２としては、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素などの絶縁性材料を好適に用いることができる。なお、保護膜２２は、電極３と電極４との間のギャップ領域をも覆っているが、ギャップ領域を部分的に覆っていてもよい。
【0064】
以下の図１８、図１９（ａ），図１９（ｂ）、図２０（ａ），図２０（ｂ）、図２１及び図２２では、電極３，４の構造は第１の実施形態と同様とされている。すなわち、電極４の幅が電極３の幅よりも大きくされている。よって、電極４と電極３の断面形状としての幅の異ならせ方を調整することにより、スプリアスの大きさや位置を調整することができる。
【0065】
図１８は、第９の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。弾性波装置９１では、圧電層２の第１の主面２ａ上に、第１の実施形態と同様に、幅が異なる電極３，４が設けられている。また、圧電層２の第２の主面２ｂに音響多層膜４２が積層されている。音響多層膜４２は、音響インピーダンスが相対的に低い低音響インピーダンス層４２ａ，４２ｃ，４２ｅと、音響インピーダンスが相対的に高い高音響インピーダンス層４２ｂ，４２ｄとの積層構造を有する。音響多層膜４２を用いた場合、弾性波装置１におけるエアギャップ９を用いずとも、厚み滑り１次モードのバルク波を圧電層２内に閉じ込めることができる。弾性波装置９１においても、上記ｄ／ｐを０．５以下とすることにより、厚み滑り１次モードのバルク波に基づく共振特性を得ることができる。なお、音響多層膜４２においては、その低音響インピーダンス層及び高音響インピーダンス層の積層数は特に限定されない。低音響インピーダンス層よりも、少なくとも１層の高音響インピーダンス層が圧電層２から遠い側に配置されておりさえすればよい。
【0066】
上記低音響インピーダンス層４２ａ，４２ｃ，４２ｅ及び高音響インピーダンス層４２ｂ，４２ｄは、上記音響インピーダンスの関係を満たす限り、適宜の材料で構成することができる。例えば、低音響インピーダンス層４２ａ，４２ｃ，４２ｅの材料としては、酸化ケイ素または酸窒化ケイ素などを挙げることができる。また、高音響インピーダンス層４２ｂ，４２ｄの材料としては、アルミナ、窒化ケイ素または金属などを挙げることができる。
【0067】
図１９（ａ）は、第１０の実施形態に係る弾性波装置を説明するための正面断面図であり、図１９（ｂ）は、その変形例を示す正面断面図である。図１９（ａ）では、第１０の実施形態の弾性波装置１０１の一部、すなわち圧電層２及び少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分のみを示す。第１０の実施形態の弾性波装置１０１では、圧電層２の第１の主面２ａ上に、少なくとも１対の電極３，４が設けられている。また、第２の主面２ｂ上にも、少なくとも1対の電極３，４が設けられている。このように、第２の主面２ｂ側にも、少なくとも１対の電極が設けられていてもよい。第２の主面２ｂ上に設けられている電極３，４は、好ましくは、第１の主面２ａ上の電極３，４と圧電層２を介して重なるように設けられる。
【0068】
もっとも、図１９（ｂ）に示す変形例の弾性波装置１０１Ａのように、第１の主面２ａ上の電極３，４は、第２の主面２ｂ上の電極３，４と部分的に重なっていてもよい。すなわち、少なくとも一部において、第１の主面２ａ上の電極３，４と、第２の主面２ｂ上の電極３，４とが重なり合っていればよい。
【0069】
図１９（ａ）では、図示を省略しているが、弾性波装置１０１では、圧電層２及び電極３，４以外は、弾性波装置１と同様に構成されている。従って、弾性波装置１と同様に、厚み滑り１次モードのバルク波による共振特性を良好に得ることができ、小型化を進めた場合であってもＱ値を高めることができる。
【0070】
図２０（ａ）は、第１１の実施形態の弾性波装置を説明するための正面断面図であり、図２０（ｂ）は、その変形例を示す正面断面図である。図２０（ａ）及び図２０（ｂ）においても、図１９（ａ）と同様に、弾性波装置１１１の圧電層２及び少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分のみを示す。弾性波装置１１１では、圧電層２の第１の主面２ａが粗面とされている。その場合、粗面の程度を調整することにより、周波数調整を行うことができる。弾性波装置１１１は、その他の構成は、第１の実施形態の弾性波装置１と同様である。
【0071】
また、図２０（ｂ）に示す変形例の弾性波装置１１１Ａでは、電極３と電極４との間のギャップ部が削られて凹部２ｃが設けられている。この凹部２ｃの大きさや深さを調整することによっても、周波数調整を行うことができる。
【0072】
図２１は、第１２の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。弾性波装置１２１では、圧電層２の第１の主面２ａ上に質量付加膜７２が設けられている。また、第２の主面２ｂ上にも、質量付加膜７３が設けられている。質量付加膜７２，７３は、励振領域外、すなわち複数の電極３，４が配置されている領域外に設けられている。励振領域外の任意の位置に、質量付加膜７２や質量付加膜７３を設けることができるが、図２１では、絶縁層７と重なる位置に、質量付加膜７２，７３が設けられている。
【0073】
質量付加膜７２，７３は、いずれか一方のみが設けられてもよい。また、質量付加膜７２，７３の材料としては、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、アルミナなどの絶縁体や、Ａｌなどの金属もしくは合金を用いることができる。
【0074】
図２２は、第１３の実施形態に係る弾性波装置の圧電層及び１対の電極を説明するための正面断面図である。弾性波装置１３１では、圧電層２の第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂが、曲面状となっている。このように、圧電層２は、平板状の圧電膜である必要はなく、少なくとも一部が湾曲していてもよい。
【0075】
図２３（ａ）は、第１４の実施形態に係る弾性波装置の圧電層及び１対の電極を説明するための正面断面図である。弾性波装置１４１では、少なくとも１対の電極３，４の断面形状が、矩形とは異なる異形形状を有している。すなわち、電極３，４は、それぞれ、第１の主面２ａ上に位置している幅広部３ｆ，４ｆと、幅広部３ｆ，４ｆ上に設けられた矩形断面部３ｇ，４ｇとを有する。幅広部３ｆ，４ｆの側面は、第１の主面２ａ側から矩形断面部３ｇ，４ｇ側にいくにつれて細くなるように幅広部３ｆ，４ｆにテーパーが設けられている。この幅広部３ｆ，４ｆを設けることにより、電極３と電極４との間の距離を小さくすることができる。従って、電極間の容量を大きくすることができる。よって、共振特性を大きく変化させることなく、容量を大きくすることができる。
【0076】
このように、少なくとも１対の電極３，４の断面形状は、矩形と異なる形状、すなわち異形形状であってもよい。また、電極３，４の一部に、相手側の電極４，３側に延ばされた部分を有していてもよい。
【0077】
また電極３，４は、例えば、図２３（ｂ）～図２３（ｄ）のいずれかのような形状であってもよい。図２３（ｂ）に示した電極３，４は、断面台形状の形状である。また、図２３（ｃ）に示した電極３，４は、末広がり状の形状であり、幅方向の両側面が曲面である。また、図２３（ｄ）に示した電極３，４は、上端側に断面台形状の部分を有し、下端側に上端側の断面台形状の部分よりも幅広の断面台形状の部分を有する。
【0078】
また、弾性波装置１は、図２４（ａ）～図２４（ｃ）のいずれかに示すように、圧電層２の第１の主面２ａと第１の主面２ａ上の電極３，４とを覆う誘電体膜１０を備えていてもよい。図２４（ａ）では、誘電体膜１０の厚さが電極３，４の厚さよりも薄く、誘電体膜１０の表面が、下地の形状に沿った凹凸形状を有している。図２４（ｂ）では、誘電体膜１０の表面が、平坦化されており、平面状となっている。図２４（ｃ）では、誘電体膜１０の厚さが電極３，４の厚さよりも厚く、誘電体膜１０の表面が、下地の形状に沿った凹凸形状を有している。
【符号の説明】
【0079】
１…弾性波装置
２…圧電層
２ａ…第１の主面
２ｂ…第２の主面
２ｃ…凹部
３，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ…電極
３ｄ，３ｅ，４ｄ，４ｅ…側辺
３ｆ，４ｆ…幅広部
３ｇ，４ｇ…矩形断面部
４ａ…凹部
４ｄ１…幅の細い部分
５，６…第１，第２のバスバー
７…絶縁層
８…支持部材
７ａ，８ａ…開口部
９…エアギャップ
１０…誘電体膜
２２…保護膜
４２…音響多層膜
４２ａ，４２ｃ，４２ｅ…低音響インピーダンス層
４２ｂ，４２ｄ…高音響インピーダンス層
７２…質量付加膜
７３…質量付加膜
８１，９１，１０１，１０１Ａ，１１１，１１１Ａ，１２１，１３１，１４１…弾性波装置
２０１…圧電膜
２０１ａ…第１の主面
２０１ｂ…第２の主面
４５１…第１領域
４５２…第２領域
２…圧電層
２ａ…第１の主面
２ｂ…第２の主面
２ｃ…凹部
３，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ…電極
３ｄ，３ｅ，４ｄ，４ｅ…側辺
３ｆ，４ｆ…幅広部
３ｇ，４ｇ…矩形断面部
４ａ…凹部
４ｄ１…幅の細い部分
５，６…第１，第２のバスバー
７…絶縁層
８…支持部材
７ａ，８ａ…開口部
９…エアギャップ
１０…誘電体膜
２２…保護膜
４２…音響多層膜
４２ａ，４２ｃ，４２ｅ…低音響インピーダンス層
４２ｂ，４２ｄ…高音響インピーダンス層
７２…質量付加膜
７３…質量付加膜
８１，９１，１０１，１０１Ａ，１１１，１１１Ａ，１２１，１３１，１４１…弾性波装置
２０１…圧電膜
２０１ａ…第１の主面
２０１ｂ…第２の主面
４５１…第１領域
４５２…第２領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】