特開 2023-114174 テーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023114174

(43)【公開日】2023-08-17

(54)【発明の名称】テーブル装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 1/44 20060101AFI20230809BHJP

   G12B 5/00 20060101ALI20230809BHJP

   B23Q 1/64 20060101ALI20230809BHJP

【ＦＩ】

B23Q1/44 H

G12B5/00 T

B23Q1/64 D

B23Q1/44 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022016375

(22)【出願日】2022-02-04

(71)【出願人】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 俊徳

【テーマコード（参考）】

2F078

3C048

【Ｆターム（参考）】

2F078CA01

2F078CA08

2F078CB10

2F078CB12

2F078CC02

3C048BB20

3C048BC02

3C048CC01

3C048CC04

3C048CC11

3C048DD00

(57)【要約】

【課題】簡易な構成によりテーブルの傾斜を実現可能なテーブル装置を提供する。
【解決手段】テーブル装置は、第１接続部材を垂直方向に駆動可能な第１垂直駆動装置と、第２接続部材を垂直方向に駆動可能な第２垂直駆動装置と、第３接続部材を垂直方向に駆動可能な第３垂直駆動装置と、第１垂直駆動装置と第２垂直駆動装置と第３垂直駆動装置とによって支持され、垂直方向に直交する水平方向に延びるテーブルと、を備える。第１接続部材と、第２接続部材と、第３接続部材とは、テーブルの下面に接続する。第１接続部材の水平方向における剛性は、第２接続部材および第３接続部材の水平方向における剛性より大きい。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１接続部材を垂直方向に駆動可能な第１垂直駆動装置と、
第２接続部材を垂直方向に駆動可能な第２垂直駆動装置と、
第３接続部材を垂直方向に駆動可能な第３垂直駆動装置と、
前記第１垂直駆動装置と、前記第２垂直駆動装置と、前記第３垂直駆動装置と、によって支持され、前記垂直方向に直交する水平方向に延びるテーブルと、
を備えるテーブル装置であって、
前記第１接続部材と、前記第２接続部材と、前記第３接続部材とは、前記テーブルの下面に接続し、
前記第１接続部材の前記水平方向における剛性は、前記第２接続部材および前記第３接続部材の前記水平方向における剛性より大きい、
テーブル装置。

【請求項2】

前記第１接続部材、前記第２接続部材、および前記第３接続部材の前記垂直方向への変位量が同一の場合、前記テーブルは水平状態が維持され、
前記第１接続部材、前記第２接続部材、および前記第３接続部材の前記垂直方向への変位量が異なる場合、前記第２接続部材および前記第３接続部材は撓むように変形し、前記テーブルが前記水平方向から傾斜する、
請求項１に記載のテーブル装置。

【請求項3】

前記第１垂直駆動装置と、前記第２垂直駆動装置と、前記第３垂直駆動装置の各々は、
前記水平方向における第１方向において移動可能な第１部材と、
前記第１接続部材、前記第２接続部材、または前記第３接続部材を支持し、前記垂直方向に移動可能である第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材との間に配置され、前記第１部材の前記第１方向への移動により、前記第２部材が前記垂直方向に移動するように、前記第２部材をガイドするガイド装置と、
を備える
請求項１または２に記載のテーブル装置。

【請求項4】

前記水平方向において前記第１方向と直交する第２方向に沿って、前記第２垂直駆動装置、前記第１垂直駆動装置、前記第３垂直駆動装置の順に配置される
請求項３に記載のテーブル装置。

【請求項5】

前記第１垂直駆動装置は、前記第１方向において、前記第２垂直駆動装置および前記第３垂直駆動装置に対し、逆向きに配置される
請求項４に記載のテーブル装置。

【請求項6】

前記第１接続部材と、前記第２接続部材と、前記第３接続部材の各々は、柱状のピンによって構成される、
請求項１～５のいずれか１項に記載のテーブル装置。

【請求項7】

前記第１接続部材の外径は、前記第２接続部材および前記第３接続部材の外径より大きい、
請求項６に記載のテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置において、例えば特許文献１に開示されているような、移動可能なテーブルを備えるテーブル装置が使用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－５１０５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示のテーブル装置は、水平方向の駆動をくさび方式によって垂直方向に変換する位置決めテーブルを有する。上面のテーブルは、球面軸受と直動軸受とによって支持され、これらの軸受を組み合わせてテーブルの傾斜を実現し、物体を正確に位置決めすることを図っている。また、このテーブル装置は、テーブルが傾斜した際に支持点部に集中応力が働き、テーブルが変形することを抑制している。

【0005】

しかしながら、上述の構成では、軸受部の剛性が直列ばねで連結支持されているため、剛性が低下するのみならず、製造コストが上昇するという問題がある。

【0006】

本発明は、簡易な構成によりテーブルの傾斜を実現可能なテーブル装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１） 第１接続部材を垂直方向に駆動可能な第１垂直駆動装置と、
第２接続部材を垂直方向に駆動可能な第２垂直駆動装置と、
第３接続部材を垂直方向に駆動可能な第３垂直駆動装置と、
前記第１垂直駆動装置と、前記第２垂直駆動装置と、前記第３垂直駆動装置と、によって支持され、前記垂直方向に直交する水平方向に延びるテーブルと、
を備えるテーブル装置であって、
前記第１接続部材と、前記第２接続部材と、前記第３接続部材とは、前記テーブルの下面に接続し、
前記第１接続部材の前記水平方向における剛性は、前記第２接続部材および前記第３接続部材の前記水平方向における剛性より大きい、
テーブル装置。
（２） 前記第１接続部材、前記第２接続部材、および前記第３接続部材の前記垂直方向への変位量が同一の場合、前記テーブルは水平状態が維持され、
前記第１接続部材、前記第２接続部材、および前記第３接続部材の前記垂直方向への変位量が異なる場合、前記第２接続部材および前記第３接続部材は撓むように変形し、前記テーブルが前記水平方向から傾斜する、
（１）に記載のテーブル装置。
（３） 前記第１垂直駆動装置と、前記第２垂直駆動装置と、前記第３垂直駆動装置の各々は、
前記水平方向における第１方向において移動可能な第１部材と、
前記第１接続部材、前記第２接続部材、または前記第３接続部材を支持し、前記垂直方向に移動可能である第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材との間に配置され、前記第１部材の前記第１方向への移動により、前記第２部材が前記垂直方向に移動するように、前記第２部材をガイドするガイド装置と、
を備える
（１）または（２）に記載のテーブル装置。
（４） 前記水平方向において前記第１方向と直交する第２方向に沿って、前記第２垂直駆動装置、前記第１垂直駆動装置、前記第３垂直駆動装置の順に配置される
（３）に記載のテーブル装置。
（５） 前記第１垂直駆動装置は、前記第１方向において、前記第２垂直駆動装置および前記第３垂直駆動装置に対し、逆向きに配置される
（４）に記載のテーブル装置。
（６） 前記第１接続部材と、前記第２接続部材と、前記第３接続部材の各々は、柱状のピンによって構成される、
（１）～（５）のいずれか１つに記載のテーブル装置。
（７） 前記第１接続部材の外径は、前記第２接続部材および前記第３接続部材の外径より大きい、
（６）に記載のテーブル装置。

【0008】

本発明によれば、簡易な構成によりテーブルの傾斜を実現可能なテーブル装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係るテーブル装置をＺ軸方向から見た上面図である。

【図2】図２は、図１のテーブル装置のテーブルを二点鎖線で示した上面図である。

【図3】図３は、図１のテーブル装置をＹ軸方向から見た側面図である。

【図4】図４は、図１のテーブル装置をＸ軸方向から見た側面図である。

【図5】図５は、図１のテーブル装置を図４とは逆のＸ軸方向から見た側面図である。

【図6】図６は、テーブルが傾斜状態において、図１のテーブル装置をＹ軸方向から見た側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平方向における一方向をＸ軸方向、水平方向においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する垂直方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面（水平方向）と直交する。

【0011】

以下、本発明に係るテーブル装置の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係るテーブル装置１００をＺ軸方向から見た上面図である。図２は、図１のテーブル装置１００のテーブル３を二点鎖線で示した上面図である。図３は、図１のテーブル装置１００をＹ方向から見た側面図である。図４は、図１のテーブル装置１００をＸ方向から見た側面図である。図５は、図１のテーブル装置１００を図４とは逆のＸ軸方向から見た側面図である。

【0012】

テーブル装置１００は、最下面に板状のベース部材８を備えている。ベース部材８は、例えばテーブル装置１００が設置される施設（例えば工場）の床面などに配置される。

【0013】

テーブル装置１００は、それぞれベース部材８の上面に設置された、第１垂直駆動装置１０Ａと、第２垂直駆動装置１０Ｂと、第３垂直駆動装置１０Ｃと、を備えている。テーブル装置１００は、さらに、第１垂直駆動装置１０Ａと、第２垂直駆動装置１０Ｂと、第３垂直駆動装置１０Ｃとによって支持され、水平方向（ＸＹ軸方向）の延びるテーブル３を備えている。

【0014】

テーブル３は、Ｚ方向における互いに反対側の面である、上面３Ａ及び下面３Ｂを備える。上面３Ａ及び下面３Ｂは水平方向に延びる平面であり、図１に示すように、Ｚ方向から見て円形状である。上面３Ａには、テーブル装置１００が搬送対象とする物体が配置される。このような物体は、例えば半導体のウェハ、フラットパネルなどを含み、特にその種類は限定されない。テーブル装置１００は、このような物体の製造、加工、検査などをするために物体を搬送する。

【0015】

第１垂直駆動装置１０Ａは、柱状のピンによって構成される第１接続部材２２Ａを備えている。第２垂直駆動装置１０Ｂは、柱状のピンによって構成される第２接続部材２２Ｂを備えている。第３垂直駆動装置１０Ｃは、柱状のピンによって構成される第３接続部材２２Ｃを備えている。そして、第１垂直駆動装置１０Ａ、第２垂直駆動装置１０Ｂ、第３垂直駆動装置１０Ｃは、それぞれ、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃを垂直方向に駆動可能である。駆動の方法は後述する。

【0016】

第１接続部材２２Ａと、第２接続部材２２Ｂと、第３接続部材２２Ｃとが、テーブル３の下面３Ｂの異なる箇所に接続することにより、テーブル３は、第１垂直駆動装置１０Ａと、第２垂直駆動装置１０Ｂと、第３垂直駆動装置１０Ｃと、によって支持される。よって、第１垂直駆動装置１０Ａ、第２垂直駆動装置１０Ｂ、第３垂直駆動装置１０Ｃが、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃを垂直方向に駆動することにより、テーブル３を垂直方向に駆動することができる。

【0017】

次に、第１垂直駆動装置１０Ａと、第２垂直駆動装置１０Ｂと、第３垂直駆動装置１０Ｃと、のそれぞれの構成について説明する。特に図３において、第３垂直駆動装置１０ＣのＹ軸方向側面の全体が示されているため、以下、第３垂直駆動装置１０Ｃについて中心に説明する。ただし、第１垂直駆動装置１０Ａと、第２垂直駆動装置１０Ｂと、第３垂直駆動装置１０Ｃは、先述した第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃを除いて、同等な構成を有しており、以下の説明は、三つの垂直駆動装置に共通である。

【0018】

第３垂直駆動装置１０Ｃは、第１部材１と、第２部材２と、第１ガイド装置（ガイド装置）４と、を含む。第１部材１は、Ｘ軸方向である第１方向において移動可能である。第２部材２は、Ｚ軸方向（垂直方向）である第２方向において移動可能であり、第１部材１に対して相対移動可能である。

【0019】

第３垂直駆動装置１０Ｃの第２部材２は、Ｚ軸方向における上方に第３接続部材２２Ｃを支持する。同様に、第１垂直駆動装置１０Ａの第２部材２は、Ｚ軸方向における上方に第１接続部材２２Ａを支持し、第２垂直駆動装置１０Ｂの第２部材２は、Ｚ軸方向における上方に第２接続部材２２Ｂを支持する。

【0020】

第１ガイド装置４は、第１部材１と第２部材２との間に配置され、第１部材１のＸ軸方向への移動により、第２部材２がＺ軸方向に移動するように、第２部材２をガイドする。

【0021】

テーブル３は、三個の第２部材２に支持される。本実施形態において、それぞれの第２部材２の上面には、接続板２１が配置され、接続板２１の上面に第１～第３接続部材２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃが配置される。したがって、それぞれの第２部材２は、接続板２１および第１～第３接続部材２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを介して、テーブル３を支持する。第２部材２と、接続板２１と、第１～第３接続部材２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとは、互いに固定される。なお、接続板２１は省略することができる。

【0022】

第１部材１、第２部材２のそれぞれは、テーブル３の下方の空間（－Ｚ側の空間）において移動する。第１部材１、第２部材２のそれぞれは、ベース部材８の上方の空間（＋Ｚ側の空間）において移動する。

【0023】

第１部材１は、ＸＹ平面（水平面）内において移動可能である。本実施形態において、第１部材１は、Ｘ軸方向（第１方向）に移動可能である。ＸＺ平面内における第１部材１の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。図３に示すように、第１部材１は、ＸＹ平面と平行な下面１Ｂと、ＸＹ平面に対して傾斜する斜面１Ｇと、Ｚ軸と平行な側面１Ｓと、を有する。斜面１Ｇ及び側面１Ｓは、下面１Ｂよりも上側（＋Ｚ側）に配置される。斜面１Ｇは、＋Ｘ方向に向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する。斜面１Ｇの下端部と下面１Ｂの－Ｘ側の端部とが結ばれる。斜面１Ｇの上端部と側面１Ｓの上端部とが結ばれる。側面１Ｓの下端部と下面１Ｂの＋Ｘ側の端部とが結ばれる。

【0024】

第２部材２は、第１部材１に移動可能に支持される。第１部材１と第２部材２とは相対移動可能である。第２部材２は、第１部材１の上方（＋Ｚ側）において、第１部材１に対して相対移動する。

【0025】

第２部材２は、少なくともＺ軸方向（垂直方向）に移動可能である。本実施形態においては、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、第２部材２がＺ軸方向に移動する。ＸＺ平面内における第２部材２の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。図３に示すように、第２部材２は、ＸＹ平面と平行な上面２Ａと、ＸＹ平面に対して傾斜する斜面２Ｇと、Ｚ軸と平行な側面２Ｓとを有する。上面２Ａは、側面２Ｓ及び斜面２Ｇよりも上側（＋Ｚ側）に配置される。斜面２Ｇは、＋Ｘ方向に向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する。本実施形態において、斜面１Ｇと斜面２Ｇとは平行であり、互いに隙間を介して対向する。斜面２Ｇの上端部と上面２Ａの＋Ｘ側の端部とが結ばれる。斜面２Ｇの下端部と側面２Ｓの下端部とが結ばれる。側面２Ｓの上端部と上面２Ａの－Ｘ側の端部とが結ばれる。

【0026】

第１ガイド装置４は、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に第２部材２が移動するように第２部材２をガイドする。本実施形態において、第１ガイド装置４は、第１部材１に配置されたレール４１と、第２部材２に配置され、レール４１上を移動可能なスライダ４２とを含む。レール４１は、第１部材１の斜面１Ｇに配置される。スライダ４２は、第２部材２の斜面２Ｇに配置される。

【0027】

本実施形態において、スライダ４２は、第２部材２の斜面２Ｇに２つ配置される。なお、スライダ４２は、第２部材２に１つ配置されてもよく、３つ以上配置されてもよい。

【0028】

なお、後述するように、第１垂直駆動装置１０Ａは、Ｘ軸方向において、第２垂直駆動装置１０Ｂおよび第３垂直駆動装置１０Ｃに対し、逆向きに配置される。したがって、第２および第３垂直駆動装置１０Ｂ，１０Ｃにおける第１部材１、第２部材２、及び第１ガイド装置４の形状や配置は上述の説明の通りであるが、第１垂直駆動装置１０Ａにおける第１部材１、第２部材２、及び第１ガイド装置４の形状や配置は、上述の説明においてＸ方向で反転させたものである。

【0029】

第１～第３垂直駆動装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、さらに、第２ガイド装置（ガイド装置）５を含む。第２ガイド装置５は、第１ガイド装置４と協働して、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に第２部材２が移動するように第２部材２をガイドする。第２ガイド装置５の少なくとも一部は、第２部材２に配置される。本実施形態において、第２ガイド装置５は、ベース部材８から起立した壁部材１５に配置されたレール５１と、第２部材２に配置され、レール５１を移動可能なスライダ５２と、を含む。スライダ５２は、第２部材２の側面２Ｓに配置される。

【0030】

第２部材２は、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に移動するように第１ガイド装置４および第２ガイド装置５にガイドされる。第２および第３垂直駆動装置１０Ｂ，１０Ｃにおいては、第１部材１が－Ｘ方向に移動すると、第２部材２は＋Ｚ方向に移動（上昇）し、第１部材１が＋Ｘ方向に移動すると、第２部材２は－Ｚ方向に移動（下降）する。第１垂直駆動装置１０Ａにおいては、第１部材１が＋Ｘ方向に移動すると、第２部材２は＋Ｚ方向に移動（上昇）し、第１部材１が－Ｘ方向に移動すると、第２部材２は－Ｚ方向に移動（下降）する。

【0031】

テーブル３は、第２部材２に支持されている。そのため、Ｚ軸方向に関する第２部材２の移動（昇降）により、テーブル３も、第２部材２と一緒に移動（昇降）する。すなわち、第２部材２が＋Ｚ方向に移動（上昇）すると、テーブル３は第２部材２と一緒に＋Ｚ方向に移動（上昇）する。第２部材２が－Ｚ方向に移動（下降）すると、テーブル３は第２部材２と一緒に－Ｚ方向に移動（下降）する。

【0032】

なお、第１ガイド装置４において、第１部材１の斜面１Ｇにスライダ４２が配置され、第２部材２の斜面２Ｇにレール４１が配置されてもよい。また、第２ガイド装置５において、第２部材２の側面２Ｓにレール５１が配置され、壁部材１５にスライダ５２が配置されてもよい。

【0033】

第１部材１の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。第２部材２の外形も、ほぼ三角形（くさび形）である。すなわち、本実施形態において、テーブル装置１００は、所謂、くさび型昇降装置を含む。第１部材１を、くさび部材（第１くさび部材）１と称してもよい。第２部材２を、くさび部材（第２くさび部材）２と称してもよい。

【0034】

第１～第３垂直駆動装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、さらに、第１部材１をＸ軸方向に駆動するアクチュエータ７を含む。アクチュエータ７は、第１部材１をＸＹ平面内において移動可能である。アクチュエータ７は、第１部材１を移動するための動力を発生する。アクチュエータ７は、第１部材１がＸＹ平面内において移動するように動力を発生する。本実施形態においては、アクチュエータ７の作動により、第１部材１はＸ軸方向に移動する。アクチュエータ７は、回転モータを含み、供給される電力により作動する。図２および図３に示すように、アクチュエータ７と第１部材１とは、動力伝達装置１１を介して接続される。アクチュエータ７の動力（駆動力）は、動力伝達装置１１を介して、第１部材１に伝達される。

【0035】

本実施形態において、動力伝達装置１１は、アクチュエータ７の回転運動を直線運動に変換する。本実施形態において、アクチュエータ（回転モータ）７のシャフトが回転し、動力伝達装置１１は、この回転運動を、Ｘ軸方向の直線運動に変換して、第１部材１に伝達する。第１部材１は、動力伝達装置１１を介して伝達されるアクチュエータ７の動力（駆動力）により、Ｘ軸方向に移動する。

【0036】

本実施形態において、動力伝達装置１１は、ボールねじ１１Ｂを含む。ボールねじ１１Ｂは、アクチュエータ７の作動により回転するねじ軸と、第１部材１に接続され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールと、を含む。ボールねじ１１Ｂのねじ軸は、支持軸受１２により回転可能に支持される。本実施形態において、ボールねじ１１Ｂが回転することにより、ナット及びそのナットが接続されている第１部材１がＸ軸方向に移動（直線移動）する。

【0037】

アクチュエータ（回転モータ）７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を一方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、第１部材１が＋Ｘ方向に移動する。アクチュエータ（回転モータ）７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を逆方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、第１部材１が－Ｘ方向に移動する。すなわち、アクチュエータ７の回転方向（ボールねじ１１Ｂのねじ軸の回転方向）に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動方向（＋Ｘ方向及び－Ｘ方向のいずれか一方の方向）が決定される。第１部材１の移動方向に基づいて、Ｚ軸方向に関する第２部材２（テーブル３）の移動方向（－Ｚ方向及び＋Ｚ方向のいずれか一方の方向）が決定される。

【0038】

第１～第３垂直駆動装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、さらに、第１部材１をガイドする第３ガイド装置（ガイド装置）９を有する。第３ガイド装置９は、第１部材１をＸ軸方向にガイドする。第３ガイド装置９は、アクチュエータ７の作動により、Ｘ軸方向に第１部材１が移動するように第１部材１をガイドする。第３ガイド装置９の少なくとも一部は、ベース部材８に配置される。本実施形態において、第３ガイド装置９は、ベース部材８に配置されたレール９１と、第１部材１に配置され、レール９１を移動可能なスライダ９２と、を含む。レール９１は、ベース部材８の上面に配置される。スライダ９２は、第１部材１の下面１Ｂに配置される。

【0039】

なお、第３ガイド装置９において、ベース部材８の上面にスライダ９２が配置され、第１部材１の下面１Ｂにレール９１が配置されてもよい。

【0040】

第１ガイド装置４、第２ガイド装置５、第３ガイド装置９のそれぞれは、直動型の軸受を含む。本実施形態において、第１ガイド装置４、第２ガイド装置５、第３ガイド装置９のそれぞれは、転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、転がり軸受は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、第１ガイド装置４、第２ガイド装置５、第３ガイド装置９のそれぞれは、直動型玉軸受（ｌｉｎｅａｒ ｂａｌｌ ｂｅａｒｉｎｇ）を含む。

【0041】

なお、本実施形態において、第１ガイド装置４は、転動体を有する転がり軸受を含むこととした。第１ガイド装置４が、転動体を有しない直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、第１ガイド装置４が、スライダを有しなくてもよい。例えば、第２部材２がＺ軸方向に移動するように、第１部材１に設けられたレールに沿って第２部材２の斜面２Ｇが移動されてもよい。この場合、第１部材１に設けられたレールが、第２部材２をガイドするガイド装置として機能する。同様に、第２ガイド装置５および第３ガイド装置９が、直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、第２ガイド装置５および第３ガイド装置９が、スライダを有しなくてもよい。

【0042】

次に、第１垂直駆動装置１０Ａ、第２垂直駆動装置１０Ｂ、第３垂直駆動装置１０Ｃの配置形態および第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃについて説明する。図１、図２、図４、図５に示すように、テーブル装置１００は、ＸＹ平面（水平面）内において、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向である第２方向に沿って、第２垂直駆動装置１０Ｂ、第１垂直駆動装置１０Ａ、第３垂直駆動装置１０Ｃの順（－Ｙ軸方向）に配置された、三つの垂直駆動装置を備えている。すなわち、テーブル装置１００は、三つの垂直駆動装置を有する三式垂直駆動装置である。

【0043】

また、第１垂直駆動装置１０Ａは、Ｘ軸方向において、第２および第３垂直駆動装置１０Ｂ，１０Ｃに対し、逆向きに配置される。すなわち、第１垂直駆動装置１０Ａにおいては、－Ｘ軸方向端部にアクチュエータ７が配置されるのに対し、第２垂直駆動装置１０Ｂおよび第３垂直駆動装置１０Ｃにおいては、＋Ｘ軸方向端部にアクチュエータ７が配置される。そして、第１垂直駆動装置１０Ａの第２部材２、接続板２１、第１接続部材２２Ａは、Ｙ軸方向において、第２及び第３垂直駆動装置１０Ｂ，１０Ｃのアクチュエータ７に隣り合うように配置されている。また、第２垂直駆動装置１０Ｂは、図３において、第３垂直駆動装置１０Ｃの奥側（＋Ｙ軸方向）において、第３垂直駆動装置１０Ｃにぴったりと重なるように配置されている。

【0044】

このような配置により、第１垂直駆動装置１０Ａの第１接続部材２２Ａ、第２垂直駆動装置１０Ｂの第２接続部材２２Ｂ、および第３垂直駆動装置１０Ｃの第３接続部材２２Ｃは、ＸＹ平面内において互いに異なる位置に配置されている。また、第２垂直駆動装置１０Ｂの第２接続部材２２Ｂおよび第３垂直駆動装置１０Ｃの第３接続部材２２Ｃは、Ｘ軸方向において同一位置に配置される。すなわち、図１に示すように、第１接続部材２２Ａは、Ｘ軸上の座標Ｉの位置に配置されているが、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃは、Ｘ軸上の座標ＩＩの位置に配置されている。

【0045】

本実施形態において、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃの各々は、柱状のピンによって構成される。より詳しくは、柱状のピンは、Ｚ軸方向から見た断面が円形である、円柱状のピンであり、ＸＹ平面に平行な面において外径を有している。図２に示すように、第１接続部材２２Ａの外径はＤ１、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの外径はＤ２である。

【0046】

第１接続部材２２Ａの外径Ｄ１は、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの外径Ｄ２より大きい（外径Ｄ１＞外径Ｄ２）。すなわち、第１接続部材２２Ａは太いピンにより構成され、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃは細いピンにより構成される。

【0047】

第１垂直駆動装置１０Ａ、第２垂直駆動装置１０Ｂ、第３垂直駆動装置１０Ｃは、それぞれ、独立して第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃを駆動することができる。図３の状態から、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃの全てが同じ量だけ上昇すれば、テーブル３が水平状態を保ったまま上昇する。テーブル３の上昇後、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃの全てが同じ量だけ下降すれば、テーブル３が水平状態を保ったまま下降する。すなわち、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２ＣのＺ方向への変位量（上昇量、下降量）が同一の場合、テーブル３は水平状態を維持したままＺ方向に変位（上昇、下降）する。このようにして、テーブル装置１００は、テーブル３に載せられた物体を搬送することができる。この場合、テーブル３に載せられた物体も、当然水平状態を維持している。

【0048】

ところで、テーブル装置１００は、場合によっては、テーブル３に載せられた物体を傾斜させた状態で、製造、加工、検査などをする必要がある。このような場合、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃのうち、少なくとも一つの接続部材のＺ方向への変位量を、他の接続部材のＺ方向への変位量と異ならせることにより、テーブル装置１００は、テーブル３およびテーブル３に載せられた物体を傾斜した状態にすることができる。第１垂直駆動装置１０Ａ、第２垂直駆動装置１０Ｂ、第３垂直駆動装置１０Ｃは、それぞれ、独立して第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃを駆動することができるため、このような操作が可能である。

【0049】

図６は、テーブル３が傾斜した状態において、図１のテーブル装置１００をＹ軸方向から見た側面図である。本状態は、図１の状態から、第１垂直駆動装置１０Ａのみが第１接続部材２２ＡをＺ軸方向（垂直方向）における上方に駆動した状態である。すなわち、第１垂直駆動装置１０Ａのアクチュエータ７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を一方向に回転し、第１垂直駆動装置１０Ａの第１部材１が＋Ｘ方向に移動する。第１垂直駆動装置１０Ａの第１部材１が＋Ｘ方向に移動すると、第１垂直駆動装置１０Ａの第２部材２は＋Ｚ方向に上昇する。Ｚ軸方向に関する第２部材２の上昇により、第１垂直駆動装置１０Ａの接続板２１および第１接続部材２２Ａが上昇し、テーブル３の第１接続部材２２Ａに接続した側も上昇する。

【0050】

図６においては、第１垂直駆動装置１０Ａおよび第２垂直駆動装置１０Ｂは駆動していないので、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃは、図１の状態から動いていない。当然ながら、テーブル３の第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃに接続した側も動かない。これにより、テーブル３はＸ軸方向に沿って、二点鎖線で示すように傾斜するが、テーブル３の傾斜に伴う応力が、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃに付与される。

【0051】

ここで、本実施形態においては、上述したように、第１接続部材２２Ａの外径Ｄ１が、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの外径Ｄ２より大きくなるように設定されている（外径Ｄ１＞外径Ｄ２）。このことは、第１接続部材２２Ａの水平方向（ＸＹ軸方向）の剛性が、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２ＣのＸＹ軸方向の剛性より大きいことを意味する。

【0052】

テーブル３の傾斜に伴う応力が、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃに付与されたとき、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃが、わずかに撓む。この撓みは、第１接続部材２２Ａの水平方向における剛性と、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの水平方向における剛性との差に依拠して発生する。なお、図６においては、第３接続部材２２Ｃの変形が実際よりも誇張して描かれている。

【0053】

第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃが撓むように変形すると、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃは、テーブル３の傾斜に伴う応力を吸収する。これにより、テーブル３は円滑に傾斜し、かつ傾斜状態を安定的に維持することができる。これにより、テーブル３の変形、ＸＹ平面内でのテーブル３の予期せぬ移動（変形）のような弊害を防止することが可能となる。また、テーブル３の傾斜駆動を、簡易な構成により実現することができ、コストを低減することも実現可能である。

【0054】

また、テーブル３の傾斜のみならず、テーブル３の水平状態を維持した昇降運動においても、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃの昇降量を、それぞれ独立して調整することにより、サブμｍオーダの水平状態を維持し、かつ再現性が高い精密な搬送も可能になる。なお、図６に示したテーブル３の傾斜により生み出されるテーブル３のＺ軸方向の移動距離は、実際の装置では数μｍ～数１０μｍ程度である。

【0055】

以上説明したように、本実施形態では、第１接続部材２２Ａの少なくとも水平方向（ＸＹ軸方向）の剛性が、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの水平方向の剛性より大きい。すなわちテーブル３の傾斜方向に沿って剛性の差異が、第１接続部材２２Ａと、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃとの間に設けられている。さらに本実施形態においては、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃの各々は、断面が円形の円柱状のピンであり、断面に沿ったＸＹ平面において、３６０度方向に対称な形状を有している。したがって、第１接続部材２２Ａの水平方向における剛性が、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの水平方向における剛性より大きい。これにより、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃは、より円滑に変形し、撓むことができる。

【0056】

また、上述の実施形態においては、第１接続部材２２Ａの外径を、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの外径と異ならせることにより、第１接続部材２２Ａの水平方向の剛性を、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの水平方向の剛性と異ならせている。しかしながら、このような剛性の差異は、接続部材の外径の差のみならず、他の方法によっても生み出すことが可能である。たとえば、第１接続部材２２Ａの材料と、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの材料を異なるものとすることにより、剛性の差異を生み出してもよい。また、第１接続部材２２Ａの形状と、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの形状を異なるものとすることにより、剛性の差異を生み出してもよい。このように、第１接続部材２２Ａの少なくとも水平方向の剛性と、第２接続部材２２Ｂおよび第３接続部材２２Ｃの水平方向の剛性が異なればよく、第１接続部材２２Ａ、第２接続部材２２Ｂ、第３接続部材２２Ｃの形態は特に限定されない。

【0057】

また、上述の実施形態においては、垂直駆動装置および接続部材の数は三つであるが、さらに垂直駆動装置および接続部材の数を増やすことも可能である。

【0058】

尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。

【符号の説明】

【0059】

１ 第１部材
１Ｂ 下面
１Ｇ 斜面
１Ｓ 側面
２ 第２部材
２Ａ 上面
２Ｇ 斜面
２Ｓ 側面
２１ 接続板
２２Ａ 第１接続部材
２２Ｂ 第２接続部材
２２Ｃ 第３接続部材
３ テーブル
３Ａ 上面
３Ｂ 下面
４ 第１ガイド装置（ガイド装置）
４１ レール
４２ スライダ
５ 第２ガイド装置
５１ レール
５２ スライダ
７ アクチュエータ
８ ベース部材
９ 第３ガイド装置
９１ レール
９２ スライダ
１０Ａ 第１垂直駆動装置
１０Ｂ 第２垂直駆動装置
１０Ｃ 第３垂直駆動装置
１１ 動力伝達装置
１１Ｂ ボールねじ
１２ 支持軸受
１５ 壁部材
１００ テーブル装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】