発明の名称 両面研磨における定盤トルクの測定方法及びそれを用いた両面研磨機
出願人 国立大学法人金沢大学 (識別番号 504160781)
特許公開件数ランキング 692 位(44件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 912 位(32件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2023-11434
公報発行日 2023年1月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-11434
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