特開 2023-114874 位置決め装置及び処理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023114874

(43)【公開日】2023-08-18

(54)【発明の名称】位置決め装置及び処理システム

(51)【国際特許分類】

   G03F 9/00 20060101AFI20230810BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20230810BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20230810BHJP

【ＦＩ】

G03F9/00 H

G03F7/20 521

G03F7/20 501

H01L21/68 K

H01L21/68 F

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022017442

(22)【出願日】2022-02-07

(71)【出願人】

【識別番号】000220170

【氏名又は名称】竹田東京プロセスサービス株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000111270

【氏名又は名称】ニューロング精密工業株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】517355958

【氏名又は名称】株式会社ニシダ

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100162868

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 英輔

(74)【代理人】

【識別番号】100196689

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 康一郎

(72)【発明者】

【氏名】木村 幹

(72)【発明者】

【氏名】田中 良治

(72)【発明者】

【氏名】田代 季生

【テーマコード（参考）】

2H197

5F131

【Ｆターム（参考）】

2H197BA02

2H197CA04

2H197CD12

2H197CD15

2H197CD18

2H197EA19

2H197EA25

2H197EB22

2H197EB23

2H197HA03

5F131AA03

5F131AA10

5F131CA32

5F131CA42

5F131DA09

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA02

5F131EA15

5F131EA22

5F131EA24

5F131KA14

5F131KA47

5F131KA72

5F131KB07

5F131KB12

5F131KB32

5F131KB53

5F131KB54

5F131KB55

(57)【要約】

【課題】手動位置合わせ式の処理装置に取付けられて、この処理装置を、低コストで自動位置合わせ式の処理装置にすることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】支持面１７ａ上で対象物Ｗ１，Ｗ２を支持する支持台１２と、支持台に対する対象物の位置及び向きを保持する保持機構と、を有し、対象物を処理する処理装置１０に取付けて用いられる位置決め装置３０であって、支持面上の対象物の像を取得する撮像部３１と、支持台に対する対象物の、支持面に沿うとともに互いに交差する第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び支持面に直交する軸線周りの向きを調節可能な調節部３２と、像に基づいて、調節部により、支持台に対する対象物の第１方向及び第２方向の位置、及び軸線周りの向きを調節する制御部３３と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持面上で対象物を支持する支持台と、前記支持台に対する前記対象物の位置及び向きを保持する保持機構と、を有し、前記対象物を処理する処理装置に取付けて用いられる位置決め装置であって、
前記支持面上の前記対象物の像を取得する撮像部と、
前記対象物の、前記支持面に沿うとともに互いに交差する第１方向及び第２方向の位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの向きを調節可能な調節部と、
前記像に基づいて、前記調節部により、前記支持台に対する前記対象物の前記第１方向及び前記第２方向の位置、及び前記軸線周りの向きを調節する制御部と、
を備える、位置決め装置。

【請求項2】

前記処理装置は、前記支持台及び前記保持機構を搬送する搬送部を有し、
前記調節部は、前記支持台に接続された状態から離脱可能である、請求項１に記載の位置決め装置。

【請求項3】

前記調節部は、
前記支持台を、前記支持台に対する前記第１方向の第１側から係止して前記第１方向に位置決めする第１位置決め部と、
前記支持台を、前記支持台に対する前記第１方向の前記第１側から係止して、前記第１位置決め部とは前記第２方向に異なる位置を前記第１方向に位置決めする第２位置決め部と、
前記支持台を、前記支持台に対する前記第２方向の第１側から係止して前記第２方向に位置決めする第３位置決め部と、を有する、請求項１又は２に記載の位置決め装置。

【請求項4】

前記処理装置は、前記支持台を搬送する搬送部を備え、
前記支持面に直交する方向に見たときに、前記保持機構により前記対象物を保持した前記支持台は、前記搬送部により、前記第１方向の第２側と前記第２方向の第２側との間の向きに搬送される、請求項３に記載の位置決め装置。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか一項に記載の位置決め装置と、
前記処理装置と、
を備える処理システムであって、
前記制御部が、前記対象物の、前記第１方向及び前記第２方向の位置、及び前記軸線周りの向きを調節してから、前記制御部が、前記処理装置に動作開始の指示を出す、処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、位置決め装置及び処理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、スクリーン印刷機等の、対象物を処理する処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示された処理装置は、対象物との位置合わせを作業者が手動で行う、いわゆる手動位置合わせ式の処理装置である。支持台の支持面上で位置決めされた対象物は、保持機構により支持台に対する位置及び向きを保持される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２－０５２６８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、対象物の位置合わせを、対象物の像を取得する撮像部により行う、いわゆる自動位置合わせ式の処理装置は、比較的高価である。手動位置合わせ式の処理装置から、自動位置合わせ式の処理装置に買い替えるには、多大なコストを要する。

【0005】

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、手動位置合わせ式の処理装置に取付けられて、この処理装置を、低コストで自動位置合わせ式の処理装置にすることができる位置決め装置、及びこの位置決め装置を備える処理システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の位置決め装置は、支持面上で対象物を支持する支持台と、前記支持台に対する前記対象物の位置及び向きを保持する保持機構と、を有し、前記対象物を処理する処理装置に取付けて用いられる位置決め装置であって、前記支持面上の前記対象物の像を取得する撮像部と、前記対象物の、前記支持面に沿うとともに互いに交差する第１方向及び第２方向の位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの向きを調節可能な調節部と、前記像に基づいて、前記調節部により、前記支持台に対する前記対象物の前記第１方向及び前記第２方向の位置、及び前記軸線周りの向きを調節する制御部と、を備えることを特徴としている。

【0007】

この発明では、位置決め装置は、支持台及び保持機構を有し、手動位置合わせ式の処理装置に取付けて用いられる。例えば、作業者が、処理装置の支持台の支持面上に対象物を配置する。その後で、位置決め装置の制御部は、撮像部が取得した支持面上の対象物の像に基づいて、調節部により、対象物の第１方向及び第２方向の位置、及び軸線周りの向きを自動的に調節する。すなわち、対象物の位置合わせが、位置決め装置によって自動で行われる。処理装置において、保持機構により支持台に対する対象物の位置及び向きを保持する。このように、既存の手動位置合わせ式の処理装置を用いることにより、処理装置を自動位置合わせ式にするのに必要なコストが抑えられる。
以上のように、手動位置合わせ式の処理装置に位置決め装置を取付けることにより、この処理装置を、低コストで自動位置合わせ式の処理装置にすることができる。

【0008】

また、前記位置決め装置において、前記処理装置は、前記支持台及び前記保持機構を搬送する搬送部を有し、前記調節部は、前記支持台に接続された状態から離脱可能であってもよい。
この発明では、位置決め装置の調節部が支持台に接続された状態で、調節部により、対象物の位置及び軸線向きを自動的に調節する。その後、処理装置の保持機構により支持台に対する対象物の位置及び向きが保持された状態で、調節部を支持台から離脱させる。この状態で、処理装置の搬送部により、調節部を搬送することなく、支持台及び保持機構を搬送することができる。

【0009】

また、前記位置決め装置において、前記調節部は、前記支持台を、前記支持台に対する前記第１方向の第１側から係止して前記第１方向に位置決めする第１位置決め部と、前記支持台を、前記支持台に対する前記第１方向の前記第１側から係止して、前記第１位置決め部とは前記第２方向に異なる位置を前記第１方向に位置決めする第２位置決め部と、前記支持台を、前記支持台に対する前記第２方向の第１側から係止して前記第２方向に位置決めする第３位置決め部と、を有してもよい。
この発明では、第１位置決め部及び第２位置決め部により支持台の第１方向の位置、及び軸線周りの向きが調節され、第３位置決め部により支持台の第２方向の位置が調節される。このように、第１位置決め部、第２位置決め部、及び第３位置決め部という比較的簡単な構成で、支持台により支持される対象物の第１方向及び第２方向の位置、及び軸線周りの向きを調節することができる。

【0010】

また、前記位置決め装置において、前記処理装置は、前記支持台を搬送する搬送部を備え、前記支持面に直交する方向に見たときに、前記保持機構により前記対象物を保持した前記支持台は、前記搬送部により、前記第１方向の第２側と前記第２方向の第２側との間の向きに搬送されてもよい。
この発明では、搬送部により、支持台が第１方向の第２側と第２方向の第２側との間の向きに搬送される際には、搬送される支持台に対して、第１位置決め部、第２位置決め部、及び第３位置決め部が支障とならない。
従って、第１位置決め部、第２位置決め部、及び第３位置決め部に対して、搬送部により支持台を容易に搬送することができる。

【0011】

また、本発明の処理システムは、前記のいずれかに記載の位置決め装置と、前記処理装置と、を備える処理システムであって、前記制御部が、前記対象物の、前記第１方向及び前記第２方向の位置、及び前記軸線周りの向きを調節してから、前記制御部が、前記処理装置に動作開始の指示を出すことを特徴としている。

【0012】

この発明では、位置決め装置により対象物の位置及び向きを調節した後で、処理装置の動作を開始させることができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の位置決め装置及び処理システムでは、手動位置合わせ式の処理装置に取付けて、この処理装置を、低コストで自動位置合わせ式の処理装置にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１実施形態の露光システムの概要を示す図である。

【図2】同露光システムにおける要部の斜視図である。

【図3】同露光システムの動作を説明する一部を破断した斜視図である。

【図4】本発明の第１実施形態の変形例における露光システムの要部の斜視図である。

【図5】本発明の第２実施形態の露光システムにおける要部の斜視図である。

【図6】同露光システムの動作を説明する斜視図である。

【図7】本発明の第２実施形態の変形例における露光システムの要部の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

（第１実施形態）
以下、本発明に係る処理システムの第１実施形態を、処理システムが露光システムである場合を例にとって、図１から図４を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施形態の露光システム１は、露光装置（処理装置）１０と、本実施形態の位置決め装置３０とを備える。
図２に示すように、例えば、露光装置１０は、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の位置合わせを作業者が手動で行う、いわゆる手動位置合わせ式の処理装置である。基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２は、それぞれ対象物を構成する。

【0016】

例えば、基板Ｗ１はシリコン等で形成されている。ガラスマスクＷ２では、ガラスに、図示しないパターン原版が形成されている。ガラスマスクＷ２の上面又は下面には、図示しないアライメントマークが設けられている。例えば、アライメントマークは、上面又は下面に形成された凸形状、凹形状、貫通孔等である。アライメントマークは、基板Ｗ１にも設けられてもよい。
図１及び図２に示すように、露光装置１０は、筐体１１と、支持台１２と、保持機構（不図示）と、搬送部１３と、露光部１４と、露光制御部１５とを有する。

【0017】

図１に示すように、筐体１１は、露光装置１０の下部の外形を形成する。例えば、筐体１１は、後述する第１方向Ｘに長い直方体状である。
図２に示すように、本実施形態では、支持台１２は、平面視で矩形を呈する箱状である。支持台１２は、いわゆる治具テーブルである。支持台１２は、本体１６と、支持板１７とを有する。
本体１６は、上方が開口する箱状である。支持板１７は、本体１６の開口を覆う。支持板１７の上面である支持面１７ａは、平坦である。支持台１２は、支持板１７の支持面１７ａが水平面に沿うように配置されている。なお、支持台１２が配置される向きは、これに限定されない。

【0018】

ここで、支持面１７ａに沿うとともに互いに直交する方向を、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙと規定する。支持面１７ａに直交する軸線を、軸線Ｌ１と規定する。
なお、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは、支持面１７ａに沿うとともに互いに交差する方向であるとしてもよい。
例えば、本体１６内には、公知のＸＹθステージ（不図示）が配置されている。ＸＹθステージは、作業者が、手動位置合わせに用いていたステージであってもよい。
ＸＹθステージは、第１ステージと、第２ステージと、回転ステージとを有する。第１ステージは、本体１６に対して支持板１７が第１方向Ｘに移動するように案内する。第２ステージは、本体１６に対して支持板１７が第２方向Ｙに移動するように案内する。回転ステージは、本体１６に対して支持板１７が軸線Ｌ１周り回転するように案内する。
なお、ＸＹθステージの構成はこれに限定されない。例えば、ＸＹθステージでは、第１ステージ、第２ステージ、及び回転ステージが一体に構成されてもよい。

【0019】

支持台１２は、支持面１７ａ上で基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２を支持する。本実施形態では、支持面１７ａ上に基板Ｗ１が配置され、さらに基板Ｗ１上にガラスマスクＷ２が配置されている。

【0020】

例えば、保持機構は、真空引きによる公知の吸着方法により、支持台１２に対する基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙそれぞれの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを保持する。保持機構は、支持台１２に内蔵されている。
搬送部１３は、支持台１２及び保持機構を搬送する。例えば、搬送部１３は、レール１８と、図示しない駆動モータとを有している。
レール１８は、第１方向Ｘに延びている。レール１８は、支持台１２の本体１６の下部と嵌め合っている。レール１８は、支持台１２の本体１６を第１方向Ｘに案内する。
駆動モータは、レール１８上の支持台１２を第１方向Ｘの第２側Ｘ２（以下では、単に第２側Ｘ２とも言う）、及び第１方向Ｘにおける第２側Ｘ２とは反対側の第１側Ｘ１（以下では、単に第１側Ｘ１とも言う）に移動させる。

【0021】

図１に示すように、露光部１４は、基板Ｗ１を露光（処理）する。図示はしないが、露光部１４は、例えば、メタルハライドランプと、反射板とを有する。
メタルハライドランプは、下方に向かって光Ｌ３を照射する。反射板は、メタルハライドランプの上方を覆う。反射板は、一対の脚部２３により筐体１１における第２側Ｘ２の部分上に支持されている。
露光制御部１５は、保持機構、搬送部１３、及び露光部１４に接続され、保持機構、搬送部１３、及び露光部１４を制御する。露光制御部１５は、図示はしないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、メモリとを有する。メモリには、ＣＰＵを動作させるための制御プログラム等が記憶されている。ＣＰＵは、制御プログラムを読み込むと、制御プログラムに基づいて保持機構、搬送部１３、及び露光部１４を制御する。

【0022】

位置決め装置３０は、露光装置１０に取付けて用いられる。例えば、位置決め装置３０は、露光装置１０の筐体１１に固定される。図１及び図２に示すように、位置決め装置３０は、撮像部３１と、調節部３２と、位置決め制御部（制御部）３３とを有する。
本実施形態では、撮像部３１は、第１カメラ３６と、第２カメラ３７とを有する。すなわち、撮像部３１は、２台のカメラ３６，３７を有する。なお、撮像部が有するカメラの数に制限は無く、１台でもよいし、３台以上でもよい。
各カメラ３６，３７は、撮像素子を有している。各カメラ３６，３７は、支持面１７ａ上の基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の像を取得する。各カメラ３６，３７は、取得した像を信号に変換し、この信号を位置決め制御部３３に送る。
例えば、第１カメラ３６は、支持台１２の支持面１７ａ上の基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２における所定の隅部の像を取得する。第２カメラ３７は、支持面１７ａ上の基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２における、前記所定の隅部とは異なる隅部の像を取得する。
カメラ３６，３７は、支持部材３８により筐体１１における第１側Ｘ１の部分上に支持されている。

【0023】

調節部３２は、支持台１２の本体１６に対する、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを調節可能である。
調節部３２は、図示はしないが、第１移動モータと、第２移動モータと、回転モータとを有する。調節部３２が支持台１２に接続されたときに、各モータは支持台１２のＸＹθステージに以下のように接続される。すなわち、第１移動モータは、第１ステージに接続される。同様に、第２移動モータは第２ステージに接続され、回転モータは回転ステージに接続される。例えば、各モータとステージとの接続は、例えば、ピニオンギアとラックギアとの接続のように行われる。
図２に示すように、調節部３２は、支持台１２の側面に連なるように配置され、支持台１２に接続されている。調節部３２が支持台１２に接続された状態から、例えば第１移動モータを駆動すると、第１移動モータに接続された第１ステージにより、支持台１２の本体１６に対して支持板１７が第１方向Ｘに移動する。第２移動モータ及び回転モータについても、第１移動モータと同様である。

【0024】

一方で、第１ステージに接続された第１移動モータは、第１ステージから離脱可能である。同様に、第２ステージに接続された第２移動モータは、第２ステージから離脱可能である。回転ステージに接続された回転移動モータは、回転ステージから離脱可能である。
以上のようにして、調節部３２は、支持台１２に接続された状態から離脱可能である。なお、調節部３２は、支持台１２に着脱可能であってもよい。

【0025】

位置決め制御部３３は、露光制御部１５と同様に構成されている。位置決め制御部３３は、撮像部３１、調節部３２、及び露光装置１０の露光制御部１５に接続され、撮像部３１及び調節部３２を制御する。
位置決め制御部３３は、前記像に基づいて、調節部３２により、支持台１２に対する基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを調節する。例えば、位置決め制御部３３のメモリには、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置のズレ、及び軸線Ｌ１周りの向きのズレがそれぞれ無い状態での、アライメントマークの位置情報が記憶されている。

【0026】

次に、以上のように構成された露光システム１の動作について説明する。予め、基板Ｗ１におけるガラスマスクＷ２側の表面にはレジストが塗布されている。基板Ｗ１とガラスマスクＷ２との位置合わせは、終わっているとする。
作業者は、露光装置１０の支持台１２の支持面１７ａ上に、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２を置く。このとき、ガラスマスクＷ２よりも基板Ｗ１が下方となるように配置する。
位置決め装置３０を起動すると、位置決め制御部３３は、撮像部３１のカメラ３６，３７により、支持面１７ａ上の基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の像を取得する。カメラ３６，３７は、取得した像を信号に変換し、この信号を位置決め制御部３３に送る。

【0027】

位置決め制御部３３は、メモリから読み出したアライメントマークの位置情報、及びカメラ３６，３７から送られた像の信号に基づいて、支持面１７ａ上の基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２に、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置ズレ、及び軸線Ｌ１周りの向きのズレがそれぞれあるか否かを判断する。像の信号から基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の側面の位置を抽出するのには、公知の画像処理方法が用いられる。
少なくとも一方のズレがあると位置決め制御部３３が判断すると、位置決め制御部３３は、調節部３２により、支持台１２に対する基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きの少なくとも一方を調節する。この調節の後で、位置決め制御部３３は、露光装置１０の露光制御部１５に動作開始の指示を出す。
一方で、いずれのズレも無いと位置決め制御部３３が判断すると、位置決め制御部３３は、調節部３２による調節をすることなく、露光制御部１５に動作開始の指示を出す。

【0028】

露光制御部１５は、保持機構により、支持台１２に対する基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙそれぞれの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを保持させる。搬送部１３により、支持台１２及び保持機構を第２側Ｘ２に搬送させ、図３に示すように、支持台１２及び保持機構を、露光部１４の光源２１の下方に移動させる。このとき、調節部３２は支持台１２から離脱する。
露光部１４により、メタルハライドランプから光Ｌ３を照射させる。照射された光Ｌ３の一部はガラスマスクＷ２を通過し、基板Ｗ１を露光する。
露光制御部１５は、搬送部１３により、支持台１２及び保持機構を第１側Ｘ１に搬送させる。調節部３２は、支持台１２に接続される。露光制御部１５は、保持機構による保持を解除する。作業者は、支持台１２の支持面１７ａ上から基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２を取外す。
この後で、基板Ｗ１における露光されなかったレジストを除去する等の処理を適宜行い、露光システム１による基板Ｗ１の露光処理が終了する。

【0029】

以上説明したように、本実施形態の位置決め装置３０は、支持台１２及び保持機構を有し、手動位置合わせ式の露光装置１０に取付けて用いられる。作業者が、露光装置１０の支持台１２の支持面１７ａ上に基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２を配置する。その後で、位置決め制御部３３は、撮像部３１が取得した支持面１７ａ上の基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の像に基づいて、調節部３２により、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを自動的に調節する。すなわち、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の位置合わせが、位置決め装置３０によって自動で行われる。露光装置１０において、露光制御部１５は、保持機構により支持台１２に対する基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを保持する。このように、既存の手動位置合わせ式の露光装置１０を用いることにより、露光装置１０を自動位置合わせ式にするのに必要なコストが抑えられる。

【0030】

以上のように、手動位置合わせ式の露光装置１０に位置決め装置３０を取付けることにより、この露光装置１０を、低コストで自動位置合わせ式の露光装置にすることができる。基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の位置決め作業において、作業者による位置決めのバラつきを無くすことができる。
後から取付ける、いわゆる外付け式の位置決め装置３０を手動位置合わせ式の露光装置１０に取付けることにより、露光装置１０の改造を最小限に抑えることができる。
露光装置１０が、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の位置及び向きを一度だけ調節すればよい装置である場合には、位置決め装置３０によりこれらを調節した後で、露光装置１０から位置決め装置３０を取外してもよい。そして、位置決め装置３０を他の手動位置合わせ式の露光装置１０に取付けて、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の位置及び向きを調節してもよい。すなわち、複数台の露光装置１０で、１台の位置決め装置３０を共有して用いてもよい。

【0031】

露光装置１０は搬送部１３を有し、調節部３２は支持台１２に接続された状態から離脱可能である。位置決め装置３０の調節部３２が支持台１２に接続された状態で、調節部３２により、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを自動的に調節する。その後、露光装置１０の保持機構により支持台１２に対する基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の位置及び向きが保持された状態で、調節部３２を支持台１２から離脱させる。この状態で、露光装置１０の搬送部１３により、調節部３２を搬送することなく、支持台１２及び保持機構を搬送することができる。
搬送部１３により搬送される対象が軽くなるため、支持台１２の位置決め精度が向上するとともに、支持台１２の搬送速度を速めることができる。
また、本実施形態の露光システム１では、位置決め装置３０により基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置及び軸線Ｌ１周りの向きを調節した後で、露光装置１０の動作を開始させることができる。

【0032】

なお、図４に示す変形例の露光システム１Ａにおける露光装置１０Ａのように、支持台４５を構成してもよい。支持台４５の本体４６は、筒状部４７と、張出し部４８とを有する。筒状部４７は、有底筒状である。張出し部４８は、筒状部４７の上方に設けられ、調節部３２の上方を覆うように張出している。
変形例の露光システム１Ａでも、本実施形態の露光システム１と同様の効果を奏することができる。

【0033】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図５から図７を参照しながら説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図５に示すように、本実施形態の露光システム２は、第１実施形態の露光システム１の位置決め装置３０に代えて、位置決め装置５５を備えている。位置決め装置５５は、位置決め装置３０の調節部３２に代えて、調節部５６を有する。
本実施形態の調節部５６は、第１位置決め部５９と、第２位置決め部６０と、第３位置決め部６１と、を有する。

【0034】

例えば、第１位置決め部５９は、ネジ部６４と、本体６５とを有する。ネジ部６４の外周面には、ネジ部６４の全長にわたって雄ネジ（不図示）が形成されている。ネジ部６４は、第１方向Ｘに延びるように配置されている。本体６５は、ネジ部６４における第１側Ｘ１の端部に嵌め合っている。本体６５は、ネジ部６４を第１方向Ｘに移動させる。第１位置決め部５９は、支持台１２をネジ部６４により、支持台１２に対する第１側Ｘ１から係止して第１方向Ｘに位置決めする。

【0035】

第２位置決め部６０は、第１位置決め部５９と同一の構成であり、ネジ部６４、本体６５と同一の構成のネジ部６８、本体６９を有する。第２位置決め部６０は、支持台１２をネジ部６８により、支持台１２に対する第１側Ｘ１から係止して第１方向Ｘに位置決めする。第２位置決め部６０は、支持台１２における第１位置決め部５９が位置決めする位置とは第２方向Ｙに異なる位置を、第１方向Ｘに位置決めする。
第３位置決め部６１は、第１位置決め部５９と同一の構成であり、ネジ部６４、本体６５と同一の構成のネジ部７２、本体７３を有する。第３位置決め部６１は、支持台１２をネジ部７２により、支持台１２に対する第２方向Ｙの第１側Ｙ１（以下では、単に第１側Ｙ１とも言う）から係止して第２方向Ｙに位置決めする。
また、以下では、第２方向Ｙにおける第１側Ｙ１とは反対側を、単に第２側Ｙ２とも言う。

【0036】

位置決め部５９，６０，６１の各本体６５，６９，７３は、支持台７５により一体になっている。
調節部５６は、第１位置決め部５９に対して、支持台１２を挟んで対向する位置に、バネ等の付勢部材を有してもよい。そして、その付勢部材によりて、支持台１２を第１側Ｘ１に付勢してもよい。
調節部５６は、位置決め部６０，６１に対応して、同様に付勢部材を有してもよい。

【0037】

調節部５６では、第１位置決め部５９及び第２位置決め部６０により支持台１２の第１方向Ｘの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きが調節される。調節部５６では、第３位置決め部６１により支持台１２の第２方向Ｙの位置が調節される。
なお、図５では、基板Ｗ１上にガラスマスクＷ２を配置してもよい。
本実施形態では、図６に示すように、露光制御部１５は、保持機構により支持台１２に対する基板Ｗ１の位置及び向きを保持した状態で、調節部５６により支持台１２及び基板Ｗ１の位置及び向きを調節させる。そして、搬送部１３により、支持台１２及び保持機構を第２側Ｘ２に搬送させる。

【0038】

このように構成された、本実施形態の位置決め装置５５では、手動位置合わせ式の露光装置１０に取付けられて、この露光装置１０を、低コストで自動位置合わせ式の処理装置にすることができる。
さらに、第１位置決め部５９、第２位置決め部６０、及び第３位置決め部６１という比較的簡単な構成で、支持台１２により支持される基板Ｗ１の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの位置、及び軸線Ｌ１周りの向きを調節することができる。

【0039】

なお、図７に示す変形例の露光システム２Ａのように、支持面１７ａに直交する方向に見たときに、保持機構により基板Ｗ１を保持した支持台１２は、搬送部１３により、第２側Ｘ２と第２側Ｙ２との間の向きに搬送されてもよい。図７中に、搬送された支持台１２を二点鎖線Ｌ５で示す。

【0040】

変形例の露光システム２Ａでは、搬送部１３により、支持台１２が第２側Ｘ２と第２側Ｙ２との間の向きに搬送される際には、搬送される支持台１２に対して、第１位置決め部５９、第２位置決め部６０、及び第３位置決め部６１が支障とならない。
従って、第１位置決め部５９、第２位置決め部６０、及び第３位置決め部６１に対して、搬送部１３により支持台１２を容易に搬送することができる。

【0041】

以上、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更、組み合わせ、削除等も含まれる。さらに、各実施形態で示した構成のそれぞれを適宜組み合わせて利用できることは、言うまでもない。
例えば、前記第１実施形態及び第２実施形態では、露光装置１０，１０Ａは、搬送部１３を備えなくてもよい。この場合、撮像部３１が支持台１２の上方から退避するとともに、露光装置１０の露光部１４が支持台１２の上方に移動するように構成してもよい。
調節部３２は、支持台１２に固定されていてもよい。この場合、搬送部１３は、支持台１２、保持機構、及び調節部３２を搬送する。

【0042】

基板Ｗ１に設けられたピン等の指標により、位置決め装置が位置決めをしてもよい。
対象物が、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２であるとした。しかし、対象物は、紙、ガラス基板等でもよい。
ＸＹθステージは、平面視で基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２の外側に配置されてもよい。そして、ＸＹθステージは、基板Ｗ１及びガラスマスクＷ２を着脱可能に保持してもよい。
処理装置は露光装置１０であるとしたが、処理装置は印刷装置等であるとしてもよい。この場合、処理システムは印刷システム等となる。

【符号の説明】

【0043】

１，１Ａ，２，２Ａ 露光システム（処理システム）
１０，１０Ａ 露光装置（処理装置）
１２，４５ 支持台
１３ 搬送部
１７ａ 支持面
３０，５５ 位置決め装置
３１ 撮像部
３２，５６ 調節部
３３ 位置決め制御部（制御部）
５９ 第１位置決め部
６０ 第２位置決め部
６１ 第３位置決め部
Ｌ１ 軸線
Ｗ１ 基板（対象物）
Ｗ２ ガラスマスク（対象物）
Ｘ 第１方向
Ｘ１，Ｙ１ 第１側
Ｘ２，Ｙ２ 第２側
Ｙ 第２方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】