特開 2023-114998 基板を下降させるための昇降装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023114998

(43)【公開日】2023-08-18

(54)【発明の名称】基板を下降させるための昇降装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230810BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023015831

(22)【出願日】2023-02-06

(31)【優先権主張番号】10 2022 102 742.2

(32)【優先日】2022-02-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(71)【出願人】

【識別番号】593030945

【氏名又は名称】バット ホールディング アーゲー

(74)【代理人】

【識別番号】100114890

【弁理士】

【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト

(74)【代理人】

【識別番号】100098501

【弁理士】

【氏名又は名称】森田 拓

(74)【代理人】

【識別番号】100116403

【弁理士】

【氏名又は名称】前川 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100134315

【弁理士】

【氏名又は名称】永島 秀郎

(74)【代理人】

【識別番号】100162880

【弁理士】

【氏名又は名称】上島 類

(72)【発明者】

【氏名】クレメンス キューネ

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA18

5F131EA05

5F131EA23

5F131EB72

5F131EB79

(57)【要約】      （修正有）

【課題】昇降ロッドの位置もしくは線形の昇降運動軌道の位置を極めて正確に調整できる昇降装置及びチャンバフランジを有するプロセスチャンバを備えるアセンブリを提供する。
【解決手段】アセンブリは昇降装置を付加的に有し、昇降装置１は、昇降ロッド線形駆動装置６のための駆動装置ハウジング９と、駆動装置ハウジングフランジ１０と、駆動装置ハウジングフランジ１０によって取り囲まれた貫通開口１１とを有する。昇降ロッド５は、貫通開口１１を通して貫通案内されている。調整ねじ８は、それぞれ駆動装置ハウジングフランジ１０に設けられた調整ねじ収容開口を通して螺入されており、調整ねじ収容開口が、互いに離間させられて駆動装置ハウジングフランジ１０に配置されている。駆動装置ハウジングフランジ１０を越える各々の調整ねじ８の張出し量が、各々の調整ねじ８を各々の調整ねじ収容開口に夫々異なる深さで螺入することによって調整可能である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プロセスチャンバ（４）内、特に真空プロセスチャンバ内で基板（２）を基板支持体（３）に下降させるためのかつ前記基板（２）を前記基板支持体（３）から上昇させるための昇降装置（１）であって、昇降ロッド（５）と、該昇降ロッド（５）を線形の昇降運動軌道（７）に沿って往復動させるための昇降ロッド線形駆動装置（６）と、前記昇降運動軌道（７）の位置を調整するための複数の調整ねじ（８）とを有する、昇降装置（１）において、
前記昇降装置（１）は、前記昇降ロッド線形駆動装置（６）のための駆動装置ハウジング（９）と、駆動装置ハウジングフランジ（１０）と、該駆動装置ハウジングフランジ（１０）によって取り囲まれた貫通開口（１１）とを有し、前記昇降ロッド（５）は、前記貫通開口（１１）を通して貫通案内されており、前記調整ねじ（８）は、それぞれ前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）に設けられた調整ねじ収容開口（１２）を通して螺入されており、該調整ねじ収容開口（１２）は、互いに離間させられて前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）に配置されており、該駆動装置ハウジングフランジ（１０）の、前記駆動装置ハウジング（９）とは反対側に位置している組付け面（１４）において前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）を越える各々の前記調整ねじ（８）の張出し量（１３）が、各々の前記調整ねじ（８）を各々の前記調整ねじ収容開口（１２）にそれぞれ異なる深さで螺入することによって調整可能であることを特徴とする、昇降装置（１）。

【請求項2】

前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）には、正確に３つの調整ねじ（８）が、前記調整ねじ収容開口（１２）の各々の調整ねじ収容開口（１２）を通して螺入されており、かつ／または前記調整ねじ（８）は、それぞれ０．２５ｍｍ／回転～０．６ｍｍ／回転の範囲、好ましくは０．３ｍｍ／回転～０．５ｍｍ／回転の範囲のねじピッチを有することを特徴とする、請求項１記載の昇降装置（１）。

【請求項3】

前記昇降装置（１）は、前記調整ねじ（８）に加えて、それぞれ前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）を通して貫通案内された、該駆動装置ハウジングフランジ（１０）を前記プロセスチャンバ（４）のチャンバフランジ（１６）に固定するための複数の結合ねじ（１５）を有することを特徴とする、請求項１または２記載の昇降装置（１）。

【請求項4】

前記昇降装置（１）は、前記結合ねじ（１５）の各々の結合ねじ（１５）のために、前記チャンバフランジ（１６）内への前記各々の結合ねじ（１５）の螺入深さ（１７）を予め設定するためのストッパ（１８）を有することを特徴とする、請求項３記載の昇降装置（１）。

【請求項5】

各々の前記ストッパ（１８）は、前記各々の結合ねじ（１５）自体に形成されているか、または前記各々のストッパ（１８）は、それぞれブシュ（１９）に形成されていて、前記各々の結合ねじ（１５）は、各々の前記ブシュ（１９）を通して貫通案内されていることを特徴とする、請求項４記載の昇降装置（１）。

【請求項6】

前記昇降装置（１）は、前記プロセスチャンバ（４）のチャンバフランジ（１６）もしくは前記チャンバフランジ（１６）に向かって前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）に弾性的な予荷重を加えるための複数の弾性的な予荷重要素（２０）を有することを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載の昇降装置（１）。

【請求項7】

各々の前記弾性的な予荷重要素（２０）の前記弾性的な予荷重は、それぞれ前記駆動装置ハウジング（９）とは反対側に位置している前記組付け面（１４）において前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）を越える前記各々の調整ねじ（８）の前記張出し量（１３）の増大とは逆方向に向けられており、かつ／または前記弾性的な予荷重要素（２０）は、それぞれ環状に、好ましくは少なくとも１つの皿ばねとして形成されていることを特徴とする、請求項６記載の昇降装置（１）。

【請求項8】

前記結合ねじ（１５）のそれぞれ１つの結合ねじ（１５）は、前記弾性的な予荷重要素（２０）のそれぞれ１つの予荷重要素（２０）の結合ねじ収容開口（２２）を通して貫通案内されていることを特徴とする、請求項３から５までのいずれか１項および請求項６または７記載の昇降装置（１）。

【請求項9】

前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）の、前記駆動装置ハウジング（９）とは反対側に位置している前記組付け面（１４）は、平らな面として形成されていることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記載の昇降装置（１）。

【請求項10】

チャンバフランジ（１６）を有するプロセスチャンバ（４）を備えたアセンブリにおいて、
前記アセンブリは、請求項１から９までのいずれか１項記載の昇降装置（１）を付加的に有し、前記昇降装置（１）は、前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）で前記チャンバフランジ（１６）に固定されており、前記昇降ロッド（５）は、前記プロセスチャンバ（４）のチャンバ内室（２３）内に達しており、前記昇降ロッド（５）の前記昇降運動軌道（７）の前記位置は、前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）の、駆動装置ハウジング（９）とは反対側に位置している組付け面（１４）において前記駆動装置ハウジングフランジ（１０）を越える前記調整ねじ（８）の各々の張出し量（１３）の調整によって調整可能であることを特徴とする、アセンブリ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プロセスチャンバ内、特に真空プロセスチャンバ内で基板を基板支持体に下降させるためのかつ基板を基板支持体から上昇させるための昇降装置であって、昇降ロッドと、昇降ロッドを線形の昇降運動軌道に沿って往復動させるための昇降ロッド線形駆動装置と、昇降運動軌道の位置を調整するための複数の調整ねじとを有する、昇降装置に関する。

【0002】

このような形式の昇降装置は、プロセスチャンバ内で、例えばウェハまたはこれに類するもののような基板を基板支持体に下降させるかまたは基板を基板支持体から上昇させるために使用される。このような運動を実施できるようにするために、昇降ロッドは昇降ロッド線形駆動装置によって線形の昇降運動軌道に沿って往復動させられる。通常、昇降ロッドの位置もしくは線形の昇降運動軌道の位置は極めて正確に調整できることが必要である。

【0003】

米国特許第１１１８３４１８号明細書には、このような形式の従来技術が開示されている。同明細書では、昇降ロッド線形駆動装置は複数部分から成る支持体に固定されている。昇降運動軌道の位置を調整するために、複数部分から成るこの支持体には溝が形成されていて、この溝によってそれぞれ一種の屈曲ヒンジが実現される。同明細書には調整ねじも開示されており、これらの調整ねじは、支持体の異なる部分領域に作用し、溝もしくは溝によって形成された屈曲ヒンジと協働して、昇降ロッドもしくは線形の昇降運動軌道の位置の調整を可能にする。

【0004】

米国特許第１１１８３４１８号明細書の欠点は、複数部分から成る支持体と、この支持体に配置された溝とが、比較的複雑に形成されていることである。

【0005】

本発明の課題は、冒頭に記載した昇降装置を改良して、昇降運動軌道の位置を調整することができるようにするための代替的な可能性を提供することである。

【0006】

このことは、本発明によれば、請求項１記載の昇降装置によって解決される。

【0007】

したがって、本発明によれば、昇降装置は、昇降ロッド線形駆動装置のための駆動装置ハウジングと、駆動装置ハウジングフランジと、駆動装置ハウジングフランジによって取り囲まれた貫通開口とを有し、昇降ロッドは、貫通開口を通して貫通案内されており、調整ねじは、それぞれ駆動装置ハウジングフランジに設けられた調整ねじ収容開口を通して螺入されており、調整ねじ収容開口は、互いに離間させられて駆動装置ハウジングフランジに配置されており、駆動装置ハウジングフランジの、駆動装置ハウジングとは反対側に位置している組付け面において駆動装置ハウジングフランジを越える各々の調整ねじの張出し量が、各々の調整ねじを各々の調整ねじ収容開口にそれぞれ異なる深さで螺入することによって調整可能であることが特定されている。

【0008】

したがって、調整ねじは、駆動装置ハウジングフランジに設けられた相応の調整ねじ収容開口を通して螺入されている。各々の調整ねじを、駆動装置ハウジングフランジに設けられた調整ねじ収容開口にどの程度螺入するかに応じて、駆動装置ハウジングフランジの組付け面において、調整ねじの張出し量が残される。調整ねじの相応の回転によるこれらの張出し量の調整によって、駆動装置ハウジングフランジを通して設けられた相応の貫通開口を通して貫通案内されている昇降ロッドの位置ひいては昇降運動軌道の位置を極めて正確に調整することができる。組付け面において駆動装置ハウジングフランジを越える調整ねじの端部は、例えばチャンバフランジに支持されてよい。チャンバフランジと駆動装置ハウジングフランジとの間には、好ましくは間隙が形成されており、各々の調整ねじの領域における間隙幅もまた同様にそれぞれ各々の調整ねじによって調整することができる。

【0009】

昇降装置自体のみならず、本発明は、チャンバフランジを有するプロセスチャンバを備えたアセンブリであって、アセンブリは、本発明に係る昇降装置を付加的に有し、昇降装置は、駆動装置ハウジングフランジでチャンバフランジに固定されており、昇降ロッドは、プロセスチャンバのチャンバ内室内に達しており、昇降ロッドの昇降運動軌道の位置は、駆動装置ハウジングフランジの、駆動装置ハウジングとは反対側に位置している組付け面において駆動装置ハウジングフランジを越える調整ねじの各々の張出し量の調整によって調整可能である、アセンブリに関する。

【0010】

下記のことは必ずしも必要ではないが、しかしながら好ましくは、駆動装置ハウジングフランジの、駆動装置ハウジングとは反対側に位置している組付け面は、平らな面として形成されていることが特定されている。

【0011】

冒頭に記載したように、基板は、昇降装置によって基板支持体に下降させることができるかまたは言い換えると基板支持体に載せることができるだけでなく、基板支持体から上昇させることもできる。つまり、昇降装置は、本来厳密に言えば、上昇および下降装置である。しかしながら、本明細書では、表現を簡単にするため、単に昇降装置と呼ぶことにする。

【0012】

好ましくは、駆動装置ハウジングフランジには、正確に３つの調整ねじが、調整ねじ収容開口の各々の調整ねじ収容開口を通して螺入されている。このようにして、駆動装置ハウジングフランジの組付け面における３つの調整ねじの端部もしくは３つの調整ねじの張出し量が、１つの平面を明確に予め設定することができ、このことは、昇降ロッドの線形の昇降運動軌道の明確な調整に好適である。

【0013】

調整時に可能な限り細かい調整を可能にするために、調整ねじは、好ましくは細目ねじ山を有している。特にこれに関連して、好ましくは、調整ねじは、それぞれ０．２５ｍｍ／回転～０．６ｍｍ／回転の範囲、好ましくは０．３ｍｍ／回転～０．５ｍｍ／回転の範囲のねじピッチを有することが特定されている。

【0014】

駆動装置ハウジングフランジをチャンバフランジに固定できるようにするために、昇降装置の好適な変化形態では、昇降装置は、調整ねじに加えて、それぞれ駆動装置ハウジングフランジを通して貫通案内された、駆動装置ハウジングフランジをプロセスチャンバのチャンバフランジに固定するための複数の結合ねじを有することが特定されている。結合ねじもまた、好ましくは互いに離間させられて駆動装置ハウジングフランジに配置されている。

【0015】

好適な変化形態では、昇降装置は、結合ねじの各々の結合ねじのために、チャンバフランジ内への各々の結合ねじの螺入深さを予め設定するためのストッパを有することが特定されている。ストッパは、駆動装置ハウジングフランジとチャンバフランジとの間に間隙が残るように、駆動装置ハウジングフランジをチャンバフランジに固定することを可能にする。ストッパの位置によって、各々の結合ねじの領域における最大の間隙幅を予め設定することができる。そして、実際の間隙幅を調整ねじを用いて調整することができる。

【0016】

各々の結合ねじにおけるストッパの形成のためには、様々な可能性がある。例えば、各々のストッパは、各々の結合ねじ自体に形成されていてよい。しかしながら、また代替的に、各々のストッパは、それぞれブシュに形成されていてもよく、このような構成では、各々の結合ねじは、各々のブシュを通して貫通案内されている。

【0017】

本発明の好適な変化形態では、昇降装置は、プロセスチャンバのチャンバフランジもしくは上述したチャンバフランジに向かって駆動装置ハウジングフランジに弾性的な予荷重を加えるための複数の弾性的な予荷重要素を有することが特定されている。このように構成されていると、予荷重要素が駆動装置ハウジングフランジにチャンバフランジに向かう方向で予荷重を加えるように、予荷重要素の弾性的な予荷重を向けることができ、これによって、調整ねじをそれぞれ駆動装置ハウジングフランジに設けられた各々の調整ねじ収容開口に相応に大きく螺入することにより、調整ねじが、各々の調整ねじの領域で駆動装置ハウジングフランジとチャンバフランジとの間の間隙を予荷重要素の予荷重に抗して開放するかもしくは増大させることができる。調整ねじの相応の回転によって、組付け面で駆動装置ハウジングフランジを越える張出し量を減少させられると、予荷重要素の予荷重は、これによって、この領域におけるチャンバフランジと駆動装置ハウジングフランジとの間の間隙が小さくなるように自動的に働く。つまり、言い換えると、各々の弾性的な予荷重要素の弾性的な予荷重は、それぞれ駆動装置ハウジングとは反対側に位置している組付け面において駆動装置ハウジングフランジを越える各々の調整ねじの張出し量の増大とは逆方向に向けられているということが特定されていてよい。

【0018】

弾性的な予荷重要素は、それぞれ環状に形成されていてよい。弾性的な予荷重要素は、基本的に様々な構成を有していてよく、種々異なる材料から成っていてよい。予荷重要素は、好ましくは少なくとも１つの皿ばねまたは皿ばねセットでもある。しかしながらまた、もちろん、コイルばね、エラストマー体またはこれに類するもののような他の弾性体を弾性的な予荷重要素として使用することも可能である。弾性的な予荷重要素は、金属、エラストマーまたは他の適宜な材料から成っていてよい。

【0019】

各々の結合ねじに１つの弾性的な予荷重要素が割り当てられていることが特定されていてよい。特に好ましくは、結合ねじのそれぞれ１つの結合ねじは、弾性的な予荷重要素のそれぞれ１つの予荷重要素の結合ねじ収容開口を通して貫通案内されていることが特定されている。

【0020】

基板は、基板支持体への下降時にまたは基板支持体からの基板の上昇時にも、昇降ロッドの、昇降ロッド線形駆動装置とは相応に反対側に位置している端部に直接載置されていてよい。しかしながら、昇降ロッドの、昇降ロッド線形駆動装置とは反対側に位置している上述した端部には、冒頭に述べた従来技術に基づいて自体公知の支持プレートが配置されていてもよく、この支持プレートには、基板支持体を通して貫通案内されている昇降ピンが支持されている。このような構成でも、昇降運動軌道に沿った昇降ロッドの上昇によって、昇降ピンひいては昇降ピンに載置されている基板も上昇させられる。下降に対しても同様のことが言える。このことは、それ自体、冒頭に述べた従来技術に基づいて公知であるので、これについてさらに述べる必要はない。支持プレートはまた開口を有していてよく、この開口を通して、基板支持体を保持する支持ロッドが場合によっては長手方向移動可能に貫通案内されていてよい。

【0021】

本発明に係る昇降装置は、特にプロセスチャンバもしくは真空プロセスチャンバに相俟って使用され、プロセスチャンバもしくは真空プロセスチャンバのチャンバ内室では、例えばウェハのような加工すべき基板が特殊な雰囲気内でかつ／または特殊な圧力レベル下で加工される。真空プロセスチャンバというのは、チャンバ内室内で０．００１ｍｂａｒ（ミリバール）もしくは０．１パスカル以下の圧力を有する運転状態が得られるプロセスチャンバのことである。しかしながらまた、標準気圧、つまり１ｂａｒを下回る圧力のために設計されている場合でも、真空チャンバと呼ぶことができる。

【0022】

本発明の好適な構成形態のさらなる特徴および詳細については、例として本発明の３つの変化形態を参照しながら説明する。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】第１の実施例による本発明に係る昇降装置を備えたプロセスチャンバを下から見た図である。

【図2】図１に示した切断線Ａ－Ａに沿った鉛直断面図である。

【図3】図１に示した切断線Ｂ－Ｂに沿った鉛直断面図である。

【図4】図２に示した領域Ｃを拡大して示す図である。

【図5】図３に示した領域Ｄを拡大して示す図である。

【図6】図２と同様な断面図であるが、図２に比べて昇降ロッドがさらに上昇させられた状態を示す断面図である。

【図7】第２の実施例による本発明に係る昇降装置を備えたプロセスチャンバを下から見た図である。

【図8】図７に示した切断線Ｅ－Ｅに沿った鉛直断面図である。

【図9】図７に示した切断線Ｆ－Ｆに沿った鉛直断面図である。

【図10】図８に示した詳細部Ｇを拡大して示す詳細図である。

【図11】図９に示した詳細部Ｈを拡大して示す詳細図である。

【図12】図８と同様な断面図であるが、図８に比べて昇降ロッドがさらに上昇させられた状態を示す断面図である。

【図13】第３の実施例による本発明に係る昇降装置を備えたプロセスチャンバを下から見た図である。

【図14】図１３に示した切断線Ｉ－Ｉに沿った鉛直断面図である。

【図15】図１３に示した切断線Ｊ－Ｊに沿った鉛直断面図である。

【図16】図１４に示した領域Ｋを拡大して示す図である。

【図17】図１５に示した領域Ｌを拡大して示す図である。

【図18】基板支持体図１４と同様な断面図であるが、図１４に比べて昇降ロッドがさらに上昇させられた状態を示す断面図である。

【0024】

図１には、プロセスチャンバ４の下側に配置されている本発明に係る昇降装置１の第１の実施例が示してある。プロセスチャンバ４を下から見たこの図では、昇降装置１の駆動装置ハウジング９とプロセスチャンバ４の下側とが見える。この図では同様に、駆動装置ハウジングフランジ１０と、相応の調整ねじ収容開口１２を通して螺入された調整ねじ８と、結合ねじ１５と、以下においてさらに説明する固定ねじ２４と、支持ディスク２５とが見える。駆動装置ハウジングフランジ１０のみならず、プロセスチャンバ４を下から見たこの図では、支持ロッド２６をも見ることができる。さらに図１には、切断線Ａ－ＡおよびＢ－Ｂも示してある。

【0025】

図２には、図１に示した切断線Ａ－Ａに沿った鉛直断面図が示してある。図２において良好に見ることができるように、昇降装置１は、ここではより詳細に示していない昇降ロッド線形駆動装置６を有していて、この昇降ロッド線形駆動装置６は、昇降ロッド５を線形の昇降運動軌道７に沿って往復動させることができる。好ましくは、昇降ロッド線形駆動装置６は、昇降ロッド５をもっぱら昇降運動軌道７の互いに逆向きの２つの方向で運動させることができるように形成されている。昇降ロッド線形駆動装置６は、自体公知の極めて様々な構成形態で構成することができる。昇降ロッド線形駆動装置６は、例えば相応の空気圧式または液圧式の線形駆動装置であってよい。電気式の線形駆動装置または自体公知の他の線形駆動装置も同様に考えられる。図示の実施例では昇降ロッド線形駆動装置６は、他の好適な構成形態と同様に、いずれにせよ駆動装置ハウジング９内に配置されているかもしくは駆動装置ハウジング９によって取り囲まれている。駆動装置ハウジング９のみならず、昇降装置１は、貫通開口１１を取り囲む駆動装置ハウジングフランジ１０をも有している。貫通開口１１を通して、昇降ロッド５は貫通案内されている。駆動装置ハウジングフランジ１０は、この実施例のように、駆動装置ハウジング９に一体に一体成形されていてもよいが、しかしながら他の形式で駆動装置ハウジング９に結合されていてもよい。貫通開口１１を通して昇降ロッド５は、いずれにせよプロセスチャンバ４のチャンバ内室２３内に達している。駆動装置ハウジング９に対してチャンバ内室２３をシールするために、相応のベローズ２７が設けられている。昇降装置１の駆動装置ハウジングフランジ１０との結合のために、プロセスチャンバ４はチャンバフランジ１６を有している。このチャンバフランジ１６はまた内室を取り囲んでいて、この内室を通して昇降ロッド５は貫通案内されている。駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４は、チャンバフランジ１６に向けられている。駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４とチャンバフランジ１６との間には、間隙３０が存在しており、この間隙３０の、以下においてさらに詳しく説明する間隙幅は、調整ねじ８を用いて調整することができる。調整ねじ８の相応の螺入または螺出によって、駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４を越える調整ねじ８の張出し量１３を個々に調整することができるので、昇降運動軌道７の位置もしくは昇降ロッド５の方向付けの相応の調整が、調整ねじ８を用いて可能である。この調整が具体的にどのように行われるかは、以下において図４および図５を参照しながら説明する。図４には、図２の領域Ｃが拡大して示してあり、図５には、図３の領域Ｄが拡大して示してある。

【0026】

昇降ロッド５の、昇降ロッド線形駆動装置６とは反対側の端部には、ここに示した実施例では、この実施例では環状に開口３１を取り囲む支持プレート２９が配置されている。開口３１を通して、この実施例では例として支持ロッド２６が貫通案内されていて、この支持ロッド２６には基板支持体３が固定されている。基板支持体３は、いずれにせよプロセスチャンバ４のチャンバ内室２３内に位置している。基板支持体３には、加工プロセス中に、加工すべき基板２が載置されている。プロセスチャンバ４のチャンバ内室２３内に基板２を導入するためかつチャンバ内室２３から基板２を取り出すために、プロセスチャンバ４のチャンバ壁は、自体公知の形式でチャンバ開口２１を有しており、このチャンバ開口２１は、ここには図示しないが自体公知の弁によって閉鎖することができる。基板支持体３は、ここに図示したように支持ロッド２６を用いて鉛直方向で高さ調整可能であってよいが、チャンバ内室２３内に固定して配置することも同様に可能である。

【0027】

図示の実施例では、いずれにせよ昇降ピン２８が基板支持体３を通して貫通案内されている。昇降ピン２８は、支持プレート２９に支持されている。支持プレート２９は、昇降ロッド５の相応の調整によって極めて正確に方向付けることができる。昇降ロッド５が、昇降ロッド線形駆動装置６によって昇降運動軌道７に沿って上方に向かって上昇させられると、これによって支持プレート２９に支持された昇降ピン２８もまた同様に上方に向かって移動させられ、基板支持体３に載置されている基板２を上昇させる。昇降ロッド５を昇降運動軌道７に沿って下方に向かって下降させることによって、支持プレート２９もまた下降させられる。これによって、昇降ピン２８も、昇降ピン２８に載置されている基板２も相応に下降する。つまり昇降ロッド５を用いた基板支持体３への基板２の下降もしくは基板支持体３からの基板２の上昇は、この実施例では支持プレート２９および昇降ピン２８を介して行われる。しかしながらもちろん、このような態様とは異なり、昇降ロッド５が特に昇降ロッド線形駆動装置６とは反対側に位置しているその端部で、基板２に直接係合し、これによって基板２を基板支持体３から上昇させるかまたは基板支持体３に下降させることができるような構成が特定されていてもよい。そのためには、例えばここには図示していない開口が基板支持体３に設けられていてよく、この開口を通して昇降ロッド５は相応に貫通案内可能であり、これによって昇降ロッド５は直接基板２に達することができる。

【0028】

図３には、この実施例が図１に示した切断線Ｂ－Ｂに沿った鉛直断面図で示してある。図６には、この実施例が図２と同様の図で示してあるが、ここでは昇降ロッド５は、昇降ロッド５が支持プレート２９および昇降ピン２８を用いて基板２を基板支持体３から上昇させるまで鉛直方向に上昇させられている。基板２の加工中に、基板２が図２に示すように基板支持体３に載置されている場合には、基板２を、図６に示した位置で、例えば相応のロボットアームまたはこれに類するものによって把持して、チャンバ開口２１を通して取り出すかまたは逆に外からチャンバ開口２１を通してチャンバ内室２３内に運動させ、昇降ピン２８に下ろすことができる。基板２の下降は、次いで同様に昇降ロッド５を昇降運動軌道７に沿って下方に向かって相応に運動させることによって行われる。

【0029】

図２の詳細部Ｃを拡大して示す図４には、駆動装置ハウジングフランジ１０を通して設けられた相応の調整ねじ収容開口１２を通して螺入された調整ねじ８のうちの１つの調整ねじ８が示してある。調整ねじ収容開口１２および調整ねじ８に設けられた相応のねじ山は、別途図示していないが、従来技術において自体公知のように形成されていてよい。このねじ山は、通常、調整ねじ８における雄ねじ山と、および調整ねじ収容開口１２を取り囲む駆動装置ハウジングフランジ１０における相応の雌ねじ山である。調整ねじ８の相応の螺入および螺出によって、駆動装置ハウジングフランジ１０の、駆動装置ハウジング９とは反対側に位置している組付け面１４において、駆動装置ハウジングフランジ１０を越える各々の調整ねじ８の張出し量１３を調整することができる。張出し量１３は、各々の調整ねじ８の領域における間隙３０の間隙幅をも予め設定する。個々の調整ねじ８ひいては調整ねじ収容開口１２は、図１において良好に見ることができるように、互いに離間させられて駆動装置ハウジングフランジ１０に配置されている。好ましくは、駆動装置ハウジングフランジ１０には、それぞれ調整ねじ収容開口１２のうちの１つの調整ねじ収容開口１２を通して螺入されている正確に３つの調整ねじ８が設けられている。調整ねじ８は、好ましくは、冒頭で述べたように、相応の細目ねじ山を有しているので、駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４を越える張出し量１３の値を、極めて正確に調整することができる。

【0030】

調整ねじ８に加えて、昇降装置１はさらに複数の結合ねじ１５を有している。これらの結合ねじ１５は、駆動装置ハウジングフランジ１０を通して貫通案内されていて、プロセスチャンバ４のチャンバフランジ１６に駆動装置ハウジングフランジ１０を固定するために働く。そのために結合ねじ１５のねじ山付きピン３２は、チャンバフランジ１６における相応のねじ山付き孔３３内に螺入される。このとき、好ましくは、昇降装置１は、結合ねじ１５の各々の結合ねじ１５のために、チャンバフランジ１６内への各々の結合ねじ１５の螺入深さ１７を予め設定するためのストッパ１８を有していることが特定されている。つまり結合ねじ１５は、それぞれ駆動装置ハウジングフランジ１０における相応の開口を通して、結合ねじ１５のストッパ１８がチャンバフランジ１６に当接するまで深く螺入され、これによって確定された螺入深さ１７が予め設定される。図１～図６に示した第１の実施例では、各々のストッパ１８はそれぞれブシュ１９に形成されており、各々の結合ねじ１５は、各々のブシュ１９を通して貫通案内されている。

【0031】

結合ねじ１５もまた、好ましくは互いに離間させられた箇所で、駆動装置ハウジングフランジ１０を通して貫通案内されている。ここに図示した実施例は、それぞれ１つの結合ねじ１５がそれぞれ調整ねじ８の近傍に配置されていてよいことを例示している。しかしながらこのことは、必ずしもそうである必要はない。

【0032】

調整ねじ８および結合ねじ１５に加えて、本発明に係る昇降装置１は、好ましくはプロセスチャンバ４のチャンバフランジ１６に向かって駆動装置ハウジングフランジ１０に弾性的な予荷重を加えるための複数の弾性的な予荷重要素２０を有している。ここでも実現されているように、好ましくは、弾性的な予荷重要素２０の予荷重方向は、この予荷重要素２０が駆動装置ハウジングフランジ１０にチャンバフランジ１６に向かう方向で予荷重を加えるように方向付けられていることが特定されている。つまり言い換えれば、弾性的な予荷重要素２０の予荷重は、駆動装置ハウジングフランジ１０とチャンバフランジ１６との間の間隙３０の間隙幅を減少させる方向で作用する。このことはまた、各々の弾性的な予荷重要素２０の弾性的な予荷重がそれぞれ、駆動装置ハウジング９とは反対に位置している組付け面において、駆動装置ハウジングフランジ１０を越える各々の調整ねじ８の張出し量１３の増大とは逆方向であるように作用する。

【0033】

弾性的な予荷重要素２０は、様々に構成することができる。弾性的な予荷重要素２０は、金属ばねであっても、他の弾性体であってもよい。好適な構成形態では、本明細書のように、弾性的な予荷重要素がそれぞれ環状に形成されていることが特定されていてよい。例えばここでも実現されているように、皿ばねを弾性的な予荷重要素２０として使用することが可能である。皿ばねは、個々の皿ばねであっても、またはここに示した実施例におけるように皿ばねセットであってもよい。特に好ましくは、ここでも実現されているように、結合ねじ１５は、弾性的な予荷重要素２０のそれぞれ１つの予荷重要素２０の結合ねじ収容開口２２を通して貫通案内されている。

【0034】

具体的な構成とは無関係に、いずれにせよ、調整ねじ８と弾性的な予荷重要素２０とは、調整ねじ８の各々の領域における間隙３０の幅を調整するために互いに相互作用することが好ましい。張出し量１３が、各々の調整ねじ８を駆動装置ハウジングフランジ１０における各々の調整ねじ収容開口１２を通して相応に螺入することによって増大させられると、これによってこの領域における間隙３０の間隙幅もまた相応に増大させられる。この場合、弾性的な予荷重要素２０はその予荷重に抗して圧縮される。これに対して、各々の調整ねじ８を逆方向に相応に回転させることによって、駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４における調整ねじ８の張出し量１３が減少させられると、弾性的な予荷重要素２０の予荷重は、この領域における間隙３０の間隙幅を減少するために働く。このことは、調整ねじ８の相応の螺入および螺出ひいては駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４を越える調整ねじ８の張出し量１３の相応の調整によって、チャンバフランジ１６に対して相対的な駆動装置ハウジングフランジ１０の位置ひいては昇降運動軌道７もしくは昇降ロッド５の位置をも極めて正確に調整することを可能にする。これによって、ここに示したこの実施例では、チャンバ内室２３における支持プレート２９の方向付けおよび位置もまた極めて正確に自動調整される。

【0035】

駆動装置ハウジングフランジ１０の、駆動装置ハウジング９とは反対側に位置している組付け面１４は、好ましくは平らな面として形成されている。このことは、好ましくはチャンバフランジ１６の、駆動装置ハウジングフランジ１０に向いた相応の表面に対しても言える。しかしながら両方のことは、必ずしもそうである必要はない。組付け面１４とチャンバフランジ１６の、相応に向かい合って位置している表面とは、他の形態で形成されていてもよい。

【0036】

図４において良好に見ることができるように、ここでは皿ばねとして形成された両方の弾性的な予荷重要素２０は、ブシュ１９と駆動装置ハウジングフランジ１０との間に挟み込まれている。結合ねじ１５が、相応にストッパ１８に達するまでチャンバフランジ１６におけるねじ山付き孔３３内に螺入されると、ブシュ１９および弾性的な予荷重要素２０は、これによって紛失しないように各々の結合ねじ１５によって保持される。結合ねじ１５がまだ相応に駆動装置ハウジングフランジ１０を通してチャンバフランジ１６内に螺入されていない状態でも、ブシュ１９および／または予荷重要素２０の紛失を回避するために、この実施例では、特に図５にもしくは図３の相応の領域Ｄに示した固定ねじ２４が設けられている。これらの固定ねじ２４は、各々の頭部で、図５に図示したように、支持ディスク２５を用いてブシュ１９および弾性的な予荷重要素２０を駆動装置ハウジングフランジ１０に押圧しており、これによって結合ねじ１５がまだ存在していない場合でも、ブシュ１９および予荷重要素２０は駆動装置ハウジングフランジ１０におけるその所定の位置で不動に保持されている。したがって固定ねじ２４は、この第１の実施例では純粋な取付け補助部材である。結合ねじ１５が相応に十分に、図４および図５に図示したように、駆動装置ハウジングフランジ１０を通してチャンバフランジ１６内に螺入されると、固定ねじ２４および支持ディスク２５は本来もはや不要になる。しかしながらそれにもかかわらず、固定ねじ２４および支持ディスク２５は、この状態でも邪魔にならないので、そのまま残されていてよい。

【0037】

図７～図１２には、相応のチャンバ４における本発明に係る昇降装置１の第２の実施例が示してあり、この第２の実施例では、固定ねじ２４および支持ディスク２５は省かれている。第１の実施例に対する以下に記載した相違を除けば、第２の実施例は第１の実施例に相当しているので、ここでは相違についてだけ触れる。第２の実施例に関するその他の点については、第１の実施例の上で述べた記載が参照される。

【0038】

この第２の実施例においても同様に図７には、昇降装置１およびチャンバ４を下から見た図が示してある。図８および図１２にも同様に、図７に示した切断線Ｅ－Ｅに沿った鉛直断面図が示してあり、図８では、昇降ロッド５は昇降運動軌道７に沿って、基板２が基板支持体３に載置されるまで下方に向かって走行させられている。図１２に示した状況では、昇降ロッド５を上方に向かって相応にさらに上方走行させることによって、基板２は基板支持体３から上昇させられている。図９には、切断線Ｆ－Ｆに沿った鉛直断面図が示してある。図１０には、図８に示した領域Ｇが拡大して示してある。図１１には、図９に示した領域Ｈが拡大して示してある。図１０および図１１では、第１の実施例に対する相違も良好に見ることができる。第１の実施例に対する相違は、この変化形態では各々のブシュ１９が各々の結合ねじ１５と一体に形成されていることにある。これによってこの実施例では、各々のストッパ１８を各々の結合ねじ１５自体に形成することが達成される。固定ねじ２４および支持ディスク２５は、この実施例では完全に省かれる。その代わりにこの実施例および特に調整ねじ８と弾性的な予荷重要素２０との相互作用は、第１の実施例におけると同じ形式で機能する。ここでも昇降運動軌道７の位置の調整は、調整ねじ８の相応の螺入および／または螺出ひいては駆動装置ハウジングフランジ１０の組付け面１４を越える調整ねじ８の張出し量１３の相応の調整によって行われる。

【0039】

図１３～図１８に示した本発明の第３の実施例では、第１の実施例および第２の実施例に対する相違を、再び結合ねじ１５の領域において見いだすことができる。第３の実施例では結合ねじ１５は、いわゆるショルダボルトとして形成されている。すなわち、各々の結合ねじ１５のストッパ１８は、結合ねじ１５の軸領域における相応の肩部によって形成されている。結合ねじ１５の残りの軸部は、ねじ山付きピン３２として形成されていて、このねじ山付きピン３２は同様に、チャンバフランジ１６における相応のねじ山付き孔３３内に螺入される。このようにしてストッパ１８は同様に、結合ねじ１５の螺入深さ１７を予め設定する。このことは、図１６および図１７において特に良好に見ることができる。図１６には、図１４に示した領域Ｋが拡大して示してあり、図１７には、図１５に示した領域Ｌが拡大して示してある。図１６および図１７ではまた、この実施例ではブシュ１９が完全に省かれることを良好に見ることができる。ここでは、各々の結合ねじ１５の頭部に支持されるそれぞれ１つの支持ディスク２５が設けられている。そして支持ディスク２５と駆動装置ハウジングフランジ１０との間には、各々の予荷重要素２０が挟み込まれている。

【0040】

上に記載した相違を除けば、この第３の実施例の構造および機能形式は、同様に第１の実施例に相当しているので、ここでもその他の点については、第１の実施例の上で述べた記載が参照される。付言しておくと、図１３は同様に昇降装置１およびプロセスチャンバ４を下から見た図である。図１４および図１８は、同様に切断線Ｉ－Ｉに沿った鉛直断面図を示しており、図１４は、基板２が基板支持体３に下ろされた状態を示す図であり、図１８は、基板２が基板支持体３から持ち上げられた状態を示す図である。図１５は、図１３に示した切断線Ｊ－Ｊに沿った鉛直断面図である。

【符号の説明】

【0041】

１ 昇降装置
２ 基板
３ 基板支持体
４ プロセスチャンバ
５ 昇降ロッド
６ 昇降ロッド線形駆動装置
７ 昇降運動軌道
８ 調整ねじ
９ 駆動装置ハウジング
１０ 駆動装置ハウジングフランジ
１１ 貫通開口
１２ 調整ねじ収容開口
１３ 張出し量
１４ 組付け面
１５ 結合ねじ
１６ チャンバフランジ
１７ 螺入深さ
１８ ストッパ
１９ ブシュ
２０ 予荷重要素
２１ チャンバ開口
２２ 結合ねじ収容開口
２３ チャンバ内室
２４ 固定ねじ
２５ 支持ディスク
２６ 支持ロッド
２７ ベローズ
２８ 昇降ピン
２９ 支持プレート
３０ 間隙
３１ 開口
３２ ねじ山付きピン
３３ ねじ山付き孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【外国語明細書】