特開 2023-115540 直動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023115540

(43)【公開日】2023-08-21

(54)【発明の名称】直動装置

(51)【国際特許分類】

   F16C 29/04 20060101AFI20230814BHJP

   F16C 41/00 20060101ALI20230814BHJP

【ＦＩ】

F16C29/04

F16C41/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022017801

(22)【出願日】2022-02-08

(71)【出願人】

【識別番号】000229335

【氏名又は名称】日本トムソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100136098

【弁理士】

【氏名又は名称】北野 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100137246

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 勝也

(74)【代理人】

【識別番号】100158861

【弁理士】

【氏名又は名称】南部 史

(74)【代理人】

【識別番号】100194674

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 覚史

(72)【発明者】

【氏名】水野 浩司

【テーマコード（参考）】

3J104

3J217

【Ｆターム（参考）】

3J104AA01

3J104AA70

3J104AA73

3J104BA07

3J104DA13

3J217JA02

3J217JA12

3J217JA23

3J217JA33

3J217JA42

3J217JB23

3J217JB84

(57)【要約】

【課題】直動部の正確な直線運動を担保することができる直動装置を提供する。
【解決手段】直動装置１０ａは、直動部と、支持機構３１ａと、検出部５１ａと、センサレール４１ａと、を備える。検出部５１ａは、空隙４２ａ内に配置されるセンサブロック５２ａと、センサレール４１ａ外に配置されるセンサ５３ａと、締め付けによりセンサ５３ａおよびセンサブロック５２ａをセンサレール４１ａに固定する固定ねじ５４ａと、センサブロック５２ａに取り付けられ、押し縮められた状態でセンサレール４１ａの内壁面４８ａと接触する弾性部材と、を含む。センサレール４１ａおよびセンサブロック５２ａの少なくともいずれか一方には、直線運動方向に垂直な断面において、弾性部材による弾性力により、弾性部材の押し縮められる方向に交差する方向へのセンサレール４１ａに対する検出部５１ａの位置を調整する位置調整部が設けられている。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

直線運動を行う直動部と、
前記直動部を支持する支持機構と、
前記直線運動方向における前記直動部の位置を検出する検出部と、
前記支持機構に取り付けられ、前記検出部を前記直線運動方向に移動可能に保持するセンサレールと、を備え、
前記センサレールには、
前記直線運動方向に延びる空隙と、
前記直線運動方向に延び、前記空隙から外部に至るスリットと、が設けられており、
前記検出部は、
前記空隙内に配置されるセンサブロックと、
前記センサレール外に配置されるセンサと、
前記スリット内に配置される胴部を含み、締め付けにより前記センサおよび前記センサブロックを前記センサレールに固定する固定ねじと、
前記センサブロックに取り付けられ、押し縮められた状態で前記センサレールの内壁面と接触する弾性部材と、を含み、
前記センサレールおよび前記センサブロックの少なくともいずれか一方には、前記直線運動方向に垂直な断面において、前記弾性部材による弾性力により、前記弾性部材の押し縮められる方向に交差する方向への前記センサレールに対する前記検出部の位置を調整する位置調整部が設けられている、直動装置。

【請求項2】

前記弾性部材は、板バネである、請求項１に記載の直動装置。

【請求項3】

前記弾性部材のうちの前記内壁面に接触する領域には、前記内壁面側に突出する円弧面が設けられている、請求項１または請求項２に記載の直動装置。

【請求項4】

前記センサレールは、
前記支持機構と接触して配置される平板状の底壁部と、
前記底壁部とそれぞれ連なって前記底壁部の厚さ方向に立ち上がるように配置される一対の平板状の側壁部と、
前記スリットが設けられており、一対の前記側壁部のそれぞれと連なって、前記底壁部と間隔をあけて配置される天壁部と、を含み、
前記空隙は、前記底壁部、一対の前記側壁部および前記天壁部によって取り囲まれて形成されており、
前記弾性部材は、前記底壁部の内壁面と接触する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の直動装置。

【請求項5】

前記位置調整部は、前記センサブロックに設けられ、前記天壁部の内壁面に対して傾斜しており、前記天壁部の前記スリット側に位置する角部と接触する第１傾斜面を含む、請求項４に記載の直動装置。

【請求項6】

前記位置調整部は、前記天壁部に設けられ、前記天壁部に対向する前記センサブロックの外周面に対して傾斜しており、前記天壁部と対向する前記センサブロックの角部と接触する第２傾斜面を含む、請求項４または請求項５に記載の直動装置。

【請求項7】

前記センサは、
光を出射する出射部と、
前記出射部から出射された光を受光する受光部と、を含み、
前記受光部における受光量に応じて、前記テーブル部の位置を検出する、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の直動装置。

【請求項8】

前記直動装置は、長手方向を前記直線運動方向として回転により前記直動部を直線運動させるねじ軸を含み、
前記支持機構は、前記長手方向に沿って延びる形状であり、前記直動部をガイドするガイドレールと、
前記ねじ軸を回転可能に支持する支持部と、を含む、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の直動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、直動装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

測定対象の温度を測定する温度検出素子と、温度検出素子を収容する筐体と、筐体の内部に設けられる付勢部材と、を備える測定対象に温度センサ装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に開示の温度センサ装置によると、筐体は、測定対象に押圧される外面を有する。付勢部材は、温度検出素子を測定対象に押圧する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１１２４１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ボールねじ駆動装置といった直線運動を行う直動部を含む直動装置が知られている。ボールねじ駆動装置のガイドレールにセンサレールを取り付け、センサレールの所定の箇所に固定された検出部を利用して、直動部であるテーブル部の直線運動の正確性を検出する場合がある。検出部は、直線運動方向に移動可能な構成が望ましい。また、テーブル部の位置の検出に際し、センサレールに対する検出部自体の正確な位置での固定が望まれる。検出部をセンサレールに固定する際に、固定ねじを用いる場合がある。この時、固定ねじを緩めて移動させたり、移動させた位置で固定ねじを再び締めたりして、検出部の位置の微調整を行う。

【0005】

ここで、固定ねじを緩めた際に、検出部の位置が緩める前の位置からずれてしまう場合がある。そうすると、検出部の位置の微調整を行うことができない。その結果、検出部を正確な位置に固定することが困難となる。特許文献１においては、温度検出素子の取り付けに際し、付勢部材を用いて押圧することとしている。しかし、この付勢部材による押圧のみでは、正確な位置への検出部の固定としては不十分である場合がある。

【0006】

そこで、直動部の正確な直線運動を担保することができる直動装置を提供することを目的の１つとする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示に従った直動装置は、直線運動を行う直動部と、直動部を支持する支持機構と、直線運動方向における直動部の位置を検出する検出部と、支持機構に取り付けられ、検出部を直線運動方向に移動可能に保持するセンサレールと、を備える。センサレールには、直線運動方向に延びる空隙と、直線運動方向に延び、空隙から外部に至るスリットと、が設けられている。検出部は、空隙内に配置されるセンサブロックと、センサレール外に配置されるセンサと、スリット内に配置される胴部を含み、締め付けによりセンサおよびセンサブロックをセンサレールに固定する固定ねじと、センサブロックに取り付けられ、押し縮められた状態でセンサレールの内壁面と接触する弾性部材と、を含む。センサレールおよびセンサブロックの少なくともいずれか一方には、直線運動方向に垂直な断面において、弾性部材による弾性力により、弾性部材の押し縮められる方向に交差する方向へのセンサレールに対する検出部の位置を調整する位置調整部が設けられている。

【発明の効果】

【0008】

上記直動装置によれば、直動部の正確な直線運動を担保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本開示の実施の形態１における直構装置を示す概略平面図である。

【図2】図２は、実施の形態１における直動装置を示す概略側面図である。

【図3】図３は、実施の形態１における直動装置を示す概略背面図である。

【図4】図４は、図２に示す実施の形態１の直動装置を図２中の線分ＩＶ－ＩＶで切断した場合の概略断面図である。

【図5】図５は、センサレールの一部および検出部を拡大して示す概略側面図である。

【図6】図５に示すセンサレールの一部および検出部を図５中の線分ＶＩ－ＶＩで切断した場合の概略断面図である。

【図7】図７は、センサレールおよび検出部を拡大して示す概略正面図である。

【図8】図８は、センサレールおよび検出部を図６中の線分ＶＩＩＩ－ＶＩＩＩで切断した場合の拡大断面図である。

【図9】図９は、図７中のＩＸで示す領域の拡大図である。

【図10】図１０は、位置調整治具の他の実施の形態を拡大して示す概略側面図である。

【図11】図１１は、位置調整治具の他の実施の形態を拡大して示す概略側面図である。

【図12】図１２は、位置調整治具の他の実施の形態を拡大して示す概略背面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［実施形態の概要］
本開示の直動装置は、直線運動を行う直動部と、直動部を支持する支持機構と、直線運動方向における直動部の位置を検出する検出部と、支持機構に取り付けられ、検出部を直線運動方向に移動可能に保持するセンサレールと、を備える。センサレールには、直線運動方向に延びる空隙と、直線運動方向に延び、空隙から外部に至るスリットと、が設けられている。検出部は、空隙内に配置されるセンサブロックと、センサレール外に配置されるセンサと、スリット内に配置される胴部を含み、締め付けによりセンサおよびセンサブロックをセンサレールに固定する固定ねじと、センサブロックに取り付けられ、押し縮められた状態でセンサレールの内壁面と接触する弾性部材と、を含む。センサレールおよびセンサブロックの少なくともいずれか一方には、直線運動方向に垂直な断面において、弾性部材による弾性力により、弾性部材の押し縮められる方向に交差する方向へのセンサレールに対する検出部の位置を調整する位置調整部が設けられている。

【0011】

本開示の直動装置によると、検出部の位置の微調整を行う場合において、固定ねじを緩めている際に、弾性部材の弾性力により、弾性部材の押し縮められた方向において、センサブロックおよび弾性部材がセンサレールの内壁面に押し当てられた状態となっている。そうすると、固定ねじを緩めた状態においても、弾性部材が押し縮められる方向において、センサブロックおよび弾性部材とセンサレールの内壁面との間に隙間が生じない。したがって、弾性部材の押し縮められた方向における検出部のがたつきを低減して、検出部の位置のずれを抑制することができる。この場合、弾性部材は、押し縮められた状態で接触しているため、検出部の長手方向の移動は容易である。また、上記構成の位置調整部が設けられているため、弾性部材の押し縮められた方向に交差する方向における検出部の位置のずれも抑制することができる。したがって、正確な位置に検出部を固定することができる。そして、検出部による直動部の位置を正確に検出することができる。その結果、このような構成の直動装置によると、直動部の正確な直線運動を担保することができる。

【0012】

上記直動装置において、弾性部材は、板バネであってもよい。このようにすることにより、安価な構成を確保しながら、適度な弾性力でセンサレールの空隙内にセンサブロックを配置させることが容易となる。

【0013】

上記直動装置において、弾性部材のうちの内壁面に接触する領域には、内壁面側に突出する円弧面が設けられていてもよい。このようにすることにより、弾性部材とセンサレールの内壁面との間における滑りを良好にして、円滑に検出部を移動させることができる。

【0014】

上記直動装置において、センサレールは、支持機構と接触して配置される平板状の底壁部と、底壁部とそれぞれ連なって底壁部の厚さ方向に立ち上がるように配置される一対の平板状の側壁部と、スリットが設けられており、一対の側壁部のそれぞれと連なって、底壁部と間隔をあけて配置される天壁部と、を含んでもよい。空隙は、底壁部、一対の側壁部および天壁部によって取り囲まれて形成されていてもよい。弾性部材は、底壁部の内壁面と接触してもよい。このようにすることにより、弾性部材とセンサレールの内壁面とを適切に接触させながら、検出部の位置を微調整して検出部を正確な位置に固定することができる。

【0015】

上記直動装置において、位置調整部は、センサブロックに設けられ、天壁部の内壁面に対して傾斜しており、天壁部のスリット側に位置する角部と接触する第１傾斜面を含んでもよい。このようにすることにより、弾性部材の弾性力により天壁部のスリット側に位置する角部を第１傾斜面に押し当てて、弾性部材の押し縮められた方向に交差する方向における検出部の位置のずれを是正することができる。したがって、弾性部材の押し縮められた方向に交差する方向において、より正確な位置に検出部を固定することができる。

【0016】

上記直動装置において、位置調整部は、天壁部に設けられ、天壁部に対向するセンサブロックの外周面に対して傾斜しており、天壁部と対向するセンサブロックの角部と接触する第２傾斜面を含んでもよい。このようにすることにより、弾性部材の弾性力により天壁部と対向するセンサブロックの角部を第２傾斜面に押し当てて、弾性部材の押し縮められた方向に交差する方向における検出部の位置のずれを是正することができる。したがって、弾性部材の押し縮められた方向に交差する方向において、より正確な位置に検出部を固定することができる。

【0017】

上記直動装置において、センサは、光を出射する出射部と、出射部から出射された光を受光する受光部と、を含んでもよい。受光部における受光量に応じて、テーブル部の位置を検出してもよい。このようにすることにより、出射部から出射される光を利用してより正確にテーブル部の位置を検出することができる。

【0018】

上記直動装置は、長手方向を直線運動方向として回転により直動部を直線運動させるねじ軸を含んでもよい。支持機構は、長手方向に沿って延びる形状であり、直動部をガイドするガイドレールと、ねじ軸を回転可能に支持する支持部と、を含んでもよい。このような直動装置は、ボールねじ駆動装置として有効に利用される。

【0019】

［実施形態の具体例］
次に、本開示の直動装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

【0020】

（実施の形態１）
まず、本開示の実施の形態である実施の形態１について説明する。図１は、本開示の実施の形態１における直動装置を示す概略平面図である。図２は、実施の形態１における直動装置を示す概略側面図である。図２は、図１に示す実施の形態１の直動装置を矢印Ｘで示す向きに見た場合を示す。図３は、実施の形態１における直動装置を示す概略背面図である。図３は、図１に示す実施の形態１の直動装置を矢印Ｙで示す向きと逆の向きに見た場合を示す。図４は、図２に示す実施の形態１の直動装置を図２中の線分ＩＶ－ＩＶで切断した場合の概略断面図である。図３と図４とは、Ｙ方向においてそれぞれ逆側から見た図である。なお、図１および以下に示す図において、Ｘ方向は、直動装置の幅方向である短手方向を示し、Ｙ方向は、直動装置の直線運動方向（後述するねじ軸の長手方向）を示し、Ｚ方向は、直動装置の高さ方向を示す。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向はそれぞれ、直交している。

【0021】

図１～図４を参照して、本開示の実施の形態１に係る直動装置１０ａは、ボールねじ１１ａと、支持機構３１ａと、検出部５１ａ，５１ｂと、センサレール４１ａと、を備える。すなわち、実施の形態１における直動装置１０ａは、二つの同じ構成の検出部５１ａ，５１ｂを含む。以下においては、主に検出部５１ａの構成について説明する。このような直動装置１０ａは、ボールねじ駆動機構として有効に利用される。

【0022】

ボールねじ１１ａは、直線運動を行う直動部としてのテーブル部１３ａと、長手方向を直線運動方向として回転によりテーブル部１３ａを直線運動させるねじ軸１２ａと、を含む。すなわち、直動装置１０ａは、テーブル部１３ａとねじ軸１２ａとを含むボールねじ１１ａを備える構成である。理解を容易にする観点から、ねじ軸１２ａの外周面に設けられたねじ溝の図示を省略している。テーブル部１３ａは、ねじ軸１２ａに取り付けられた図示しないナットを含む。テーブル部１３ａは、それぞれ後述するベース部２２ａ、第１のレール部２３ａ、第２のレール部２４ａ、第１支持部３２ａおよび第２支持部３３ａによって取り囲まれる空間３５ａ内に配置される。なお、ねじ軸１２ａを回転させるために用いられるモータ（不図示）は、ねじ軸１２ａの長手方向の一方側に取り付けられる。

【0023】

テーブル部１３ａは、ねじ軸１２ａを回転させることにより、ねじ軸１２ａの長手方向に沿って直線運動を行う。ねじ軸１２ａの回転の向きを逆向きとすることにより、テーブル部１３ａを直線往復運動させることができる。なお、図１～図４においては、テーブル部１３ａに取り付けられ、後述する検出部５１ａによる位置の検出の際に用いられる板状部１７ａも図示している。

【0024】

支持機構３１ａは、ガイドレール２１ａと、支持部としての第１支持部３２ａおよび第２支持部３３ａと、を含む。ガイドレール２１ａは、ベース部２２ａと、第１のレール部２３ａと、第２のレール部２４ａと、を含む。ベース部２２ａ、第１のレール部２３ａおよび第２のレール部２４ａは、それぞれＹ方向を長手方向とする板状であって、それぞれ厚さ方向に見て矩形状である。第１のレール部２３ａおよび第２のレール部２４ａはそれぞれ、ベース部２２ａからＺ方向に立ち上がるように設けられる。第１のレール部２３ａと第２のレール部２４ａとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置される。ガイドレール２１ａは、直線運動を行うテーブル部１３ａをガイドする。

【0025】

第１支持部３２ａおよび第２支持部３３ａはそれぞれ板状であって、Ｙ方向に間隔をあけて配置される。第１支持部３２ａおよび第２支持部３３ａはそれぞれ、ベース部２２ａからＺ方向に立ち上がるように設けられる。第１支持部３２ａおよび第２支持部３３ａにはそれぞれ、厚さ方向に貫通する貫通孔３４ａ，３５ａが設けられている。それぞれの貫通孔３４ａ，３５ａにねじ軸１２ａの両端部を嵌め込むことにより、支持機構３１ａは、ねじ軸１２ａを回転可能に支持する。本実施形態においては、支持機構３１ａは、ねじ軸１２ａを介してテーブル部１３ａを支持する。

【0026】

センサレール４１ａは、支持機構３１ａに取り付けられる。本実施形態においては、センサレール４１ａは、長手方向に延びる形状であって、ガイドレール２１ａに取り付けられる。より具体的には、センサレール４１ａは、第１のレール部２３ａの外側面２５ａに取り付けられる。センサレール４１ａは、Ｙ方向に真っ直ぐに延びるように設けられる。センサレール４１ａには、長手方向に延びる空隙４２ａと、長手方向に延び、空隙４２ａから外部に至るスリット４３ａと、が設けられている。センサレール４１ａは、検出部５１ａを、直線運動方向（長手方向）に移動可能に保持する。

【0027】

図５は、センサレール４１ａの一部および検出部５１ａを拡大して示す概略側面図である。図６は、図５に示すセンサレール４１ａの一部および検出部５１ａを図５中の線分ＶＩ－ＶＩで切断した場合の概略断面図である。図７は、センサレール４１ａおよび検出部５１ａを拡大して示す概略正面図である。図８は、センサレール４１ａおよび検出部５１ａを図６中の線分ＶＩＩＩ－ＶＩＩＩで切断した場合の拡大断面図である。図９は、図７中のＩＸで示す領域の拡大図である。図５～図９においては、検出部５１ａの位置を調整する際に用いられる位置調整治具７１ａも図示している。

【0028】

図５～図９を併せて参照して、センサレール４１ａは、底壁部４４ａと、一対の側壁部４５ａ，４６ａと、天壁部４７ａと、を含む。底壁部４４ａ、一対の側壁部４５ａ，４６ａおよび天壁部４７ａはそれぞれ、平板状である。底壁部４４ａは、ガイドレール２１ａと接触して配置される。具体的には、底壁部４４ａが第１のレール部２３ａの外側面２５ａに固定される。一対の側壁部４５ａ，４６ａはそれぞれ、底壁部４４ａと連なって底壁部４４ａの厚さ方向に立ち上がるように配置される。一対の側壁部４５ａ，４６ａは、間隔をあけて配置される。本実施形態においては、一対の側壁部４５ａ，４６ａは、Ｚ方向に間隔をあけて平行に配置される。天壁部４７ａは、一対の側壁部４５ａ，４６ａのそれぞれと連なって配置される。天壁部４７ａは、底壁部４４ａと間隔をあけて配置される。本実施形態においては、天壁部４７ａは、Ｘ方向に間隔をあけて底壁部４４ａと平行に配置される。天壁部４７ａには、スリット４３ａが設けられている。スリット４３ａが設けられている位置は、Ｚ方向において、天壁部４７ａの中央である。

【0029】

空隙４２ａは、底壁部４４ａ、一対の側壁部４５ａ，４６ａおよび天壁部４７ａによって取り囲まれて形成されている。空隙４２ａを取り囲む底壁部４４ａ、一対の側壁部４５ａ，４６ａおよび天壁部４７ａの内壁面は、Ｙ方向に見て矩形状である。

【0030】

検出部５１ａは、センサレール４１ａにより長手方向に移動可能に保持される。検出部５１ａは、直線運動方向（長手方向）におけるテーブル部１３ａの位置を検出する。検出部５１ａは、センサブロック５２ａと、センサ５３ａと、固定ねじ５４ａと、を含む。センサブロック５２ａは、空隙４２ａ内に配置される。センサブロック５２ａは、空隙４２ａ内に配置可能な大きさであり、Ｚ方向において、スリット４３ａの開口幅よりも大きい幅を有する。センサ５３ａは、センサレール４１ａ外に配置される。

【0031】

なお、センサ５３ａは、光を出射する出射部６２ａと、出射部６２ａから出射された光を受光する受光部６３ａと、を含む。センサ５３ａは、受光部６３ａにおける受光量に応じて、テーブル部１３ａの位置を検出する。

【0032】

固定ねじ５４ａは、スリット４３ａ内に配置される胴部５５ａを含む。固定ねじ５４ａは、締め付けによりセンサ５３ａおよびセンサブロック５２ａをセンサレール４１ａに固定する。すなわち、固定ねじ５４ａを締め付けることにより、検出部５１ａをセンサレール４１ａに固定することができる。

【0033】

ここで、検出部５１ａは、センサブロック５２ａに取り付けられ、押し縮められた状態でセンサレール４１ａの内壁面４８ａと接触する弾性部材としての板バネ５６ａを含む。板バネ５６ａは、センサブロック５２ａのうち、底壁部４４ａの内壁面４８ａに対向する面５７ａにねじ５８ａにより取り付けられている。板バネ５６ａは、帯状の金属板を折り曲げることにより形成されている。本実施形態においては、板バネ５６ａは、Ｘ方向に押し縮められている。板バネ５６ａのうちの内壁面４８ａに接触する領域には、内壁面４８ａ側に突出する円弧面５９ａが設けられている。円弧面５９ａは、Ｚ方向に見て円弧状である。本実施形態においては、帯状の金属板の先端を含む領域を円弧状に折り曲げることにより円弧面５９ａが形成される。

【0034】

また、センサレール４１ａおよびセンサブロック５２ａの少なくともいずれか一方には、直線運動方向（長手方向）に垂直な断面において、板バネ５６ａによる弾性力により、板バネ５６ａの押し縮められる方向に交差する方向へのセンサレール４１ａに対する検出部５１ａの位置を調整する位置調整部６１ａとしての第１傾斜面６６ａ，６６ｂが設けられている。本実施形態においては、位置調整部６１ａとしての第１傾斜面６６ａ，６６ｂは、図８に示す断面において、板バネ５６ａの押し縮められるＸ方向に直交するＺ方向へのセンサレール４１ａに対する検出部５１ａの位置を調整する。すなわち、位置調整部６１ａは、センサブロック５２ａに設けられ、天壁部４７ａの内壁面６７ａ，６７ｂに対して傾斜しており、天壁部４７ａのスリット４３ａ側に位置する角部６８ａ，６８ｂと接触する第１傾斜面６６ａ，６６ｂを含む。

【0035】

なお、検出部５１ａをセンサレール４１ａに固定する際に、位置調整治具７１ａが用いられる。位置調整治具７１ａにより、検出部５１ａの位置、具体的には、検出部５１ａの直線運動方向（長手方向）（Ｙ方向）の位置が微調整される。位置調整治具７１ａは、止めねじ７２ａと、ブラケット７３ａと、位置調整ブロック７４ａと、２つのねじ７５ａ，７６ａと、を含む。止めねじ７２ａは、ブラケット７３ａに取り付けられる。止めねじ７２ａは、止めねじ７２ａの胴部が延びる方向が直線運動方向（長手方向）（Ｙ方向）となるように配置される。ブラケット７３ａは、センサレール４１ａ外となるように配置される。位置調整ブロック７４ａは、空隙４２ａ内となるよう配置される。ねじ７５ａ，７６ａは、それぞれの胴部が、スリット４３ａ内となるよう配置され、ブラケット７３ａと位置調整ブロック７４ａとを連結する。ねじ７５ａ，７６ａはそれぞれ、締め付けにより位置調整治具７１ａを、センサレール４１ａの長手方向の所定の箇所に固定することができる。

【0036】

次に、検出部５１ａのセンサレール４１ａへの固定方法について、簡単に説明する。まず、固定ねじ５４ａを緩めた状態で、センサブロック５２ａが空隙４２ａ内となり、センサ５３ａがセンサレール４１ａ外となるよう配置する。この時、例えば、センサレール４１ａの長手方向の一方の端部側から空隙４２ａ内にセンサブロック５２ａを収容するようにして配置する。その後、検出部５１ａを固定したいおおよその所定の位置まで検出部５１ａをスライドさせて移動させる。

【0037】

次に、位置調整治具７１ａを配置する。この場合、ねじ７５ａ，７６ａを緩めた状態で、位置調整ブロック７４ａが空隙４２ａ内となり、ブラケット７３ａがセンサレール４１ａ外となるよう配置する。この時、例えば、センサレール４１ａの長手方向の一方の端部側から空隙４２ａ内に位置調整ブロック７４ａを収容するようにして配置する。そして、位置調整治具７１ａに含まれる止めねじ７２ａが、検出部５１ａのセンサ５３ａに近接するまで位置調整治具７１ａをスライドさせて移動させる。

【0038】

その後、固定ねじ５４ａを緩めた状態として、止めねじ７２ａを回転させて長手方向に延ばし、検出部５１ａ、具体的には検出部５１ａのセンサ５３ａに接触させる。そして、さらに止めねじ７２ａを回転させてセンサ５３ａを長手方向に押す。このようにして、検出部５１ａが所定の位置となるよう、位置調整治具７１ａによる検出部５１ａの位置の調整を行う。一旦固定ねじ５４ａを締め付けた後、検出部５１ａ自体の位置を測定する。検出部５１ａの位置が、狙いの位置に対してずれていれば、再び固定ねじ５４ａを緩めた状態とし、止めねじ７２ａによってセンサ５３ａ、引いては検出部５１ａを押し進めて、正確に検出部５１ａが所定の位置となるよう微調整を行う。なお、検出部５１ｂについても同様にしてセンサレール４１ａに固定する。

【0039】

検出部５１ａ，５１ｂを固定した後、板状部１７ａを取り付けたテーブル部１３ａを直線運動させて、板状部１７ａがどのタイミングで検出部５１ａ，５１ｂに到達するか、どのタイミングで検出部５１ａ，５１ｂが固定された位置から外れるのかをセンサ５３ａにより測定する。

【0040】

上記構成の直動装置１０ａによれば、検出部５１ａの位置の微調整を行う場合において、固定ねじ５４ａを緩めている際に、板バネ５６ａの弾性力により、板バネ５６ａの押し縮められた方向であるＸ方向において、センサブロック５２ａおよび板バネ５６ａがセンサレール４１ａの内壁面４８ａに押し当てられた状態となっている。そうすると、固定ねじ５４ａを緩めた状態においても、板バネ５６ａが押し縮められる方向において、センサブロック５２ａおよび板バネ５６ａとセンサレール４１ａの内壁面４８ａとの間に隙間が生じない。したがって、板バネ５６ａの押し縮められた方向における検出部５１ａのがたつきを低減して、検出部５１ａの位置のずれを抑制することができる。この場合、板バネ５６ａは、押し縮められた状態で接触しているため、検出部５１ａの長手方向の移動は容易である。また、上記構成の位置調整部６１ａが設けられているため、板バネ５６ａの押し縮められた方向に交差する方向における検出部５１ａの位置のずれも抑制することができる。したがって、正確な位置に検出部５１ａを固定することができる。そして、検出部５１ａによるテーブル部１３ａの直線運動を正確に検出することができる。その結果、このような構成の直動装置１０ａによると、テーブル部１３ａの正確な直線運動を担保することができる。

【0041】

本実施形態においては、弾性部材として板バネ５６ａを利用している。よって、安価な構成を確保しながら、適度な弾性力でセンサレール４１ａの空隙４２ａ内にセンサブロック５２ａを配置させることが容易となる。

【0042】

本実施形態においては、板バネ５６ａのうちの内壁面４８ａに接触する領域には、内壁面４８ａ側に突出する円弧面が設けられている。よって、板バネ５６ａとセンサレール４１ａの内壁面４８ａとの間における滑りを良好にして、円滑に検出部５１ａを移動させることができる。

【0043】

本実施形態においては、センサレール４１ａは、ガイドレール２１ａと接触して配置される平板状の底壁部４４ａと、底壁部４４ａとそれぞれ連なって底壁部４４ａの厚さ方向に立ち上がるように配置される一対の平板状の側壁部４５ａ，４６ａと、スリット４３ａが設けられており、一対の側壁部４５ａ，４６ａのそれぞれと連なって、底壁部４４ａと間隔をあけて配置される天壁部４７ａと、を含む。空隙４２ａは、底壁部４４ａ、一対の側壁部４５ａ，４６ａおよび天壁部４７ａによって取り囲まれて形成されている。板バネ５６ａは、底壁部４４ａの内壁面４８ａと接触する。よって、板バネ５６ａとセンサレール４１ａの内壁面４８ａとを適切に接触させながら、検出部５１ａの位置を微調整して検出部５１ａを正確な位置に固定することができる。

【0044】

本実施形態においては、位置調整部６１ａは、センサブロック５２ａに設けられ、天壁部４７ａの内壁面６７ａ，６７ｂに対して傾斜しており、天壁部４７ａのスリット４３ａ側に位置する角部６８ａ，６８ｂと接触する第１傾斜面６６ａ，６６ｂを含む。よって、板バネ５６ａの弾性力により天壁部４７ａのスリット４３ａ側に位置する角部６８ａ，６８ｂを第１傾斜面６６ａ，６６ｂに押し当てて、板バネ５６ａの押し縮められた方向に交差する方向であるＺ方向における検出部５１ａの位置のずれを是正することができる。したがって、板バネ５６ａの押し縮められた方向に交差する方向において、より正確な位置に検出部５１ａを固定することができる。

【0045】

なお、位置調整治具の構成については、以下の構成としてもよい。図１０および図１１はそれぞれ、位置調整治具の他の実施の形態を拡大して示す概略側面図である。図１２は、位置調整治具の他の実施の形態を拡大して示す概略背面図である。図１０および図１１は、Ｘ方向に見た場合を示し、図１２は、Ｙ方向に見た場合を示す。図１０は、位置調整治具を取り付けた後の状態を示し、図１１は、位置調整治具を取り付ける前の状態を示す。図１２は、図１１に示す位置調整治具の概略背面図である。

【0046】

図１０、図１１および図１２を参照して、位置調整治具７１ｂは、止めねじ７２ｂと、ブラケット７３ｂと、ナット８１ｂと、ねじ７５ｂと、を含む。止めねじ７２ｂは、ブラケット７３ｂに取り付けられる。ブラケット７３ｂは、センサレール４１ａ外となるように配置される。ナット８１ｂは、空隙４２ａ内となるよう配置される。ねじ７５ｂは、締め付けにより位置調整治具７１ｂを、センサレール４１ａの長手方向の所定の箇所に固定することができる。

【0047】

ここで、ナット８１ｂは、一対の突出部８２ｂ，８３ｂを含む。突出部８２ｂ，８３ｂはそれぞれ、図１０に示す状態において、Ｚ方向に突出するように設けられる。すなわち、突出部８２ｂ，８３ｂはそれぞれ、止めねじ７２ｂの胴部が延びる方向と垂直な方向に突出するよう設けられる。突出部８２ｂ，８３ｂの突出量は、ナット８１ｂが空隙４２ａ内に収まり、図１０に示す状態において、突出部８２ｂ，８３ｂがセンサレール４１ａの側壁部に干渉しない量である。また、突出部８２ｂ，８３ｂの先端同士の間隔は、スリット４３ａの幅よりも大きい。また、図１０に示す状態において、ナット８１ｂの側面８４ｂ，８５ｂのＹ方向の間隔は、スリット４３ａの幅よりも小さい。

【0048】

このような構成の位置調整治具７１ｂは、まず図１１および図１２に示すように、止めねじ７２ｂがＺ方向に延び、突出部８２ｂ，８３ｂがＹ方向に延びるようにした状態で、ナット８１ｂを空隙４２ａ内に配置させる。この時、側面８４ｂ，８５ｂの間隔は、スリット４３ａの幅よりも小さいため、突出部８２ｂ，８３ｂが天壁部４７ａに干渉すること無く、スムースにナット８１ｂを空隙４２内に収容することができる。

【0049】

そして、位置調整治具７１ｂを、図１１中の太い矢印で示すように９０度回転させる。そうすると、図１０に示す状態となる。この時、突出部８２ｂ，８３ｂの先端同士の間隔は、スリット４３ａの幅よりも大きいため、天壁部４７ａとナット８１ｂの突出部８２ｂ，８３ｂとが引っ掛かることになる。このように構成することにより、位置調整治具７１ｂを、センサレール４１ａの端部からではなく、センサレール４１ａの中央から取り付けることができる。そして、突出部８２ｂ，８３ｂにより位置調整治具７１ｂのセンサレール４１ａからの脱落を防止することができる。位置調整治具７１ｂの位置を所定の位置に配置させた後は、ねじ７５ｂを締めこんで、センサレール４１ａに位置調整治具７１ｂを固定すればよい。

【0050】

（他の実施の形態）
なお、上記実施の形態においては、弾性部材は、板バネであることとしたが、これに限らない。弾性部材は、金属製でなくともよく、樹脂製であってもよい。弾性部材は、ゴム状のブロック状の部材であってもよい。

【0051】

また、上記実施の形態においては、弾性部材のうちの内壁面に接触する領域には、内壁面側に突出する円弧面が設けられていることとしたが、これに限らず、弾性部材のうちの内壁面に接触する領域は、内壁面に沿った平面であってもよいし、内壁面に対して傾斜した平面であってもよい。また、円弧面は、Ｙ方向に見て円弧状に見える面であってもよい。

【0052】

なお、上記実施の形態においては、位置調整部は、センサブロックに設けられ、天壁部の内壁面に対して傾斜しており、天壁部のスリット側に位置する角部と接触する第１傾斜面を含むこととしたが、これに限らず、位置調整部は、天壁部に設けられ、天壁部に対向するセンサブロックの外周面に対して傾斜しており、天壁部と対向するセンサブロックの角部と接触する第２傾斜面を含むこととしてもよい。すなわち、上記第１傾斜面は、傾斜した面をセンサブロック側に設けることとしたが、上記第２傾斜面として傾斜した面をセンサレール側に設けることとしてもよい。また、上記第１傾斜面と上記第２傾斜面とを両方設けることにしてもよい。この場合、それぞれの傾斜の角度を同じとしてもよいし、異ならせてもよい。

【0053】

また、上記実施の形態においては、第１傾斜面は、平面であることとしたが、これに限らず、円弧面であってもよいし、円弧面と平面とが複数連なって第１傾斜面が構成されていてもよい。

【0054】

なお、上記実施の形態においては、直動装置がボールねじ駆動装置である場合について説明したが、これに限らない。例えば、直動装置として、リニアモータを適用してもよいし、タイミングベルトを適用してもよい。

【0055】

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0056】

１０ａ 直動装置、１１ａ ボールねじ、１２ａ ねじ軸、１３ａ テーブル部、１７ａ 板状部、２１ａ ガイドレール、２２ａ ベース部、２３ａ 第１のレール部、２４ａ 第２のレール部、２５ａ 外側面、３１ａ 支持機構、３２ａ 支持部（第１支持部）、３３ａ 支持部（第２支持部）、３４ａ，３５ａ 貫通孔、４１ａ センサレール、４２ａ 空隙、４３ａ スリット、４４ａ 底壁部、４５ａ，４６ａ 側壁部、４７ａ 天壁部、４８ａ，６７ａ，６７ｂ 内壁面、５１ａ，５１ｂ 検出部、５２ａ センサブロック、５３ａ センサ、５４ａ 固定ねじ、５５ａ 胴部、５６ａ 板バネ、５７ａ 面、５８ａ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ ねじ、５９ａ 円弧面、６１ａ 位置調整部、６２ａ 出射部、６３ａ 受光部、６６ａ，６６ｂ 第１傾斜面、６８ａ，６８ｂ 角部、７１ａ，７１ｂ 位置調整治具、７２ａ，７２ｂ 止めねじ、７３ａ，７３ｂ ブラケット、７４ａ 位置調整ブロック、８１ｂ ナット、８２ｂ，８３ｂ 突出部、８４ｂ，８５ｂ 側面。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】