(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023115592
(43)【公開日】2023-08-21
(54)【発明の名称】研削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 27/00 20060101AFI20230814BHJP
B24B 55/06 20060101ALI20230814BHJP
B24B 47/14 20060101ALI20230814BHJP
【ＦＩ】
B24B27/00 Z
B24B55/06
B24B47/14
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022017893
(22)【出願日】2022-02-08
(71)【出願人】
【識別番号】000191353
【氏名又は名称】新明工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000394
【氏名又は名称】弁理士法人岡田国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】村尾 大樹
(72)【発明者】
【氏名】川澄 誠
(72)【発明者】
【氏名】志水 秀行
(72)【発明者】
【氏名】星屋 瑛祐
【テーマコード（参考）】
3C034
3C047
3C158
【Ｆターム（参考）】
3C034AA19
3C034BB23
3C047FF09
3C047HH13
3C158AA03
3C158AA16
3C158AC05
3C158CA01
3C158CB06
3C158DA15
(57)【要約】
【課題】砥石車３３の回転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置１を提供すること。
【解決手段】被研削材２に取り付け可能なフレーム１０と、被研削材２にフレーム１０が取り付けられた取付状態において、被研削材２を研削する加工ユニット３０と、加工ユニット３０にエアーを給排気するロータリージョイント２０と、を備え、加工ユニット３０は、自転することで被研削材２の表面を研削する砥石車３３と、ロータリージョイント２０からのエアーの供給を受けて砥石車３３を自転させるエアーモーター３２と、を有する研削装置１。
【選択図】図２
【解決手段】被研削材２に取り付け可能なフレーム１０と、被研削材２にフレーム１０が取り付けられた取付状態において、被研削材２を研削する加工ユニット３０と、加工ユニット３０にエアーを給排気するロータリージョイント２０と、を備え、加工ユニット３０は、自転することで被研削材２の表面を研削する砥石車３３と、ロータリージョイント２０からのエアーの供給を受けて砥石車３３を自転させるエアーモーター３２と、を有する研削装置１。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被研削材に取り付け可能なフレームと、
前記被研削材に前記フレームが取り付けられた取付状態において、前記被研削材を研削する加工ユニットと、
前記加工ユニットにエアーを給排気するロータリージョイントと、
を備え、
前記加工ユニットは、自転することで前記被研削材の表面を研削する砥石車と、前記ロータリージョイントからのエアーの供給を受けて前記砥石車を自転させるエアーモーターと、を有する、
研削装置。
前記被研削材に前記フレームが取り付けられた取付状態において、前記被研削材を研削する加工ユニットと、
前記加工ユニットにエアーを給排気するロータリージョイントと、
を備え、
前記加工ユニットは、自転することで前記被研削材の表面を研削する砥石車と、前記ロータリージョイントからのエアーの供給を受けて前記砥石車を自転させるエアーモーターと、を有する、
研削装置。
【請求項2】
請求項１に記載の研削装置であって、
前記ロータリージョイントは、外部との間でエアーを給排気する固定部と、前記固定部から前記エアーモーターに連通する可変部と、を有し、
前記フレームは、前記可変部を回転させることが可能な動力伝達部材と、前記動力伝達部材を動かすことが可能な原動機と、を付設し、
前記固定部は、前記加工ユニットの研削範囲となる加工面の幾何中心を加工中心とし、前記加工中心から前記被研削材の外方となる離れた位置において、前記フレームに固定され、
前記可変部は、前記加工中心において前記被研削材の外方に延び出す仮想直線を回転軸として、前記固定部に対して回転可能に位置され、
前記原動機は、前記加工ユニットから離れた位置に位置するとともに、前記動力伝達部材を動かし、もって前記固定部に対して前記可変部を回転させ、
前記加工ユニットは、前記可変部の回転に追従して、前記回転軸の周りを前記可変部が回転する方向に公転する、
研削装置。
前記ロータリージョイントは、外部との間でエアーを給排気する固定部と、前記固定部から前記エアーモーターに連通する可変部と、を有し、
前記フレームは、前記可変部を回転させることが可能な動力伝達部材と、前記動力伝達部材を動かすことが可能な原動機と、を付設し、
前記固定部は、前記加工ユニットの研削範囲となる加工面の幾何中心を加工中心とし、前記加工中心から前記被研削材の外方となる離れた位置において、前記フレームに固定され、
前記可変部は、前記加工中心において前記被研削材の外方に延び出す仮想直線を回転軸として、前記固定部に対して回転可能に位置され、
前記原動機は、前記加工ユニットから離れた位置に位置するとともに、前記動力伝達部材を動かし、もって前記固定部に対して前記可変部を回転させ、
前記加工ユニットは、前記可変部の回転に追従して、前記回転軸の周りを前記可変部が回転する方向に公転する、
研削装置。
【請求項3】
請求項２に記載の研削装置であって、
前記加工ユニットには、前記加工ユニットを前記公転の円の径方向にスライドさせる径方向リニアガイドが取り付けられ、
前記径方向リニアガイドは、前記加工ユニットが前記径方向にスライドする径方向送りねじと、前記径方向送りねじに併設されて、この前記径方向送りねじに対する前記加工ユニットの回動を制限する径方向ガイドレールと、を有し、
前記径方向送りねじには、前記径方向送りねじを収容する中空のカバーと、前記可変部から前記カバーに連通するカバー与圧ノズルと、が取り付けられ、
前記カバー与圧ノズルが、前記カバーの内側にエアーを供給し、
さらに、前記径方向を基準とした仰俯角方向に前記加工ユニットを揺動させることで、当該加工ユニットにおける前記仰俯角方向の傾きを調整する揺動フレームを備えている、
研削装置。
前記加工ユニットには、前記加工ユニットを前記公転の円の径方向にスライドさせる径方向リニアガイドが取り付けられ、
前記径方向リニアガイドは、前記加工ユニットが前記径方向にスライドする径方向送りねじと、前記径方向送りねじに併設されて、この前記径方向送りねじに対する前記加工ユニットの回動を制限する径方向ガイドレールと、を有し、
前記径方向送りねじには、前記径方向送りねじを収容する中空のカバーと、前記可変部から前記カバーに連通するカバー与圧ノズルと、が取り付けられ、
前記カバー与圧ノズルが、前記カバーの内側にエアーを供給し、
さらに、前記径方向を基準とした仰俯角方向に前記加工ユニットを揺動させることで、当該加工ユニットにおける前記仰俯角方向の傾きを調整する揺動フレームを備えている、
研削装置。
【請求項4】
請求項３に記載の研削装置であって、
前記径方向リニアガイドには、エアーが流れることで互いに反対方向に回転する、径方向送りインデックスおよび径方向戻りインデックス、ならびに、前記径方向送りインデックスおよび前記径方向戻りインデックスが伝達する回転を切り替え可能な径方向クラッチが取り付けられ、
前記径方向クラッチは、前記径方向送りインデックスまたは前記径方向戻りインデックスの、いずれか一方を前記径方向送りねじから離間状態にし、他方を前記径方向送りねじに近接状態にして、他方の回転を前記径方向送りねじに伝達し、もって前記加工ユニットの送り状態および前記加工ユニットの戻り状態を切替える、
研削装置。
前記径方向リニアガイドには、エアーが流れることで互いに反対方向に回転する、径方向送りインデックスおよび径方向戻りインデックス、ならびに、前記径方向送りインデックスおよび前記径方向戻りインデックスが伝達する回転を切り替え可能な径方向クラッチが取り付けられ、
前記径方向クラッチは、前記径方向送りインデックスまたは前記径方向戻りインデックスの、いずれか一方を前記径方向送りねじから離間状態にし、他方を前記径方向送りねじに近接状態にして、他方の回転を前記径方向送りねじに伝達し、もって前記加工ユニットの送り状態および前記加工ユニットの戻り状態を切替える、
研削装置。
【請求項5】
請求項１から請求項４のうちのいずれか一項に記載の研削装置であって、
前記加工ユニットは、前記被研削材の表面に対して包囲空間を形成する囲みを有し、
前記加工ユニットには、前記ロータリージョイントからのエアーの流れを受け、前記包囲空間内の粉体をエアーとともに吸引する集塵機構が付設されている、
研削装置。
前記加工ユニットは、前記被研削材の表面に対して包囲空間を形成する囲みを有し、
前記加工ユニットには、前記ロータリージョイントからのエアーの流れを受け、前記包囲空間内の粉体をエアーとともに吸引する集塵機構が付設されている、
研削装置。
【請求項6】
請求項１から請求項５のうちのいずれか一項に記載の研削装置であって、
前記加工ユニットには、前記ロータリージョイントからのエアーの供給を受け、このエアーを前記砥石車にブローして前記砥石車を冷却するドライノズルが付設されている、
研削装置。
前記加工ユニットには、前記ロータリージョイントからのエアーの供給を受け、このエアーを前記砥石車にブローして前記砥石車を冷却するドライノズルが付設されている、
研削装置。
【請求項7】
請求項１から請求項６のうちのいずれか一項に記載の研削装置に用いられる制御装置であって、
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量と、前記記憶流量に対応する前記砥石車の自転速度となる記憶自転速度と、の対応関係を記憶する記憶部、
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測する計測部、および、
前記対応関係から、前記実測流量に対応する前記砥石車の自転速度となる算定自転速度を算定する算定部、を備えている、
制御装置。
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量と、前記記憶流量に対応する前記砥石車の自転速度となる記憶自転速度と、の対応関係を記憶する記憶部、
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測する計測部、および、
前記対応関係から、前記実測流量に対応する前記砥石車の自転速度となる算定自転速度を算定する算定部、を備えている、
制御装置。
【請求項8】
請求項２から請求項４のうちのいずれか一項に記載の研削装置に用いられる制御装置であって、
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量と、前記記憶流量に対応する前記加工ユニットにおける公転角速度となる記憶公転角速度と、の対応関係を記憶する記憶部、
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測する計測部、および、
前記対応関係から、前記実測流量に対応する前記加工ユニットの公転角速度となる算定公転角速度を算定する算定部、を備えている、
制御装置。
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量と、前記記憶流量に対応する前記加工ユニットにおける公転角速度となる記憶公転角速度と、の対応関係を記憶する記憶部、
前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測する計測部、および、
前記対応関係から、前記実測流量に対応する前記加工ユニットの公転角速度となる算定公転角速度を算定する算定部、を備えている、
制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、被研削材を研削する加工ユニットを備えた研削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、航空機の製造分野では、軽量で高強度な炭素繊維複合材のシート（以下、「ＣＦＲＰシート」という。）が盛んに使用されてきている。例えば、航空機の胴体や翼の外表面を形成する外板は、ＣＦＲＰシートなどが用いられている。
【0003】
一方で、ＣＦＲＰシートが用いられた箇所が衝撃等を受けて損傷すると、修復・補修が必要となる。例えば、メンテナンス時において、衝撃等により損傷した部位（欠陥部位）があることが見つかると、その欠陥部位を除去し、さらにスカーフサンディング加工を経て、修理・補修が行われることとなる。ここで、スカーフサンディング加工は、特許文献１にあるように、欠陥部位を除去した凹部への応力集中を避けるために、その周囲を一層毎に剥がし、すり鉢状に削り取る研削工程である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－１５９４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上述した特許文献１では、研削材として砥石車たるダイヤモンドホイールが用いられ、このダイヤモンドホイールが外周面で被研削材を研削するよう、円板が垂直に立てられた状態で装置に取り付けられている。そうすると、この装置は、ダイヤモンドホイールを自転させて被研削材を研削することとなる。ここで、ダイヤモンドホイールを自転させる動力源としてモーターが想定されるが、この動力源については火気器具に該当しない構成が望まれていた。
【0006】
そのため、本開示は、砥石車の自転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本開示に係る研削装置は次の手段をとる。
【0008】
まず、第１の開示は、被研削材に取り付け可能なフレームと、前記被研削材に前記フレームが取り付けられた取付状態において、前記被研削材を研削する加工ユニットと、前記加工ユニットにエアーを給排気するロータリージョイントと、を備え、前記加工ユニットは、自転することで前記被研削材の表面を研削する砥石車と、前記ロータリージョイントからのエアーの供給を受けて前記砥石車を自転させるエアーモーターと、を有する、研削装置である。
【0009】
第１の開示に係る研削装置によれば、本装置に係る加工ユニットは、取付状態において、エアーモーターにより砥石車を自転させ、その自転により被研削材の表面を研削する。ここで、加工ユニットは、ロータリージョイントからエアーモーターにエアーを給排気することで駆動する。これにより、本装置は、砥石車の回転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置を提供することができる。
【0010】
ここで、第１の開示に係る研削装置は、後述する第２の開示に係る研削装置であっても良い。この第２の開示に係る研削装置においては、前記ロータリージョイントは、外部との間でエアーを給排気する固定部と、前記固定部から前記エアーモーターに連通する可変部と、を有し、前記フレームは、前記可変部を回転させることが可能な動力伝達部材と、前記動力伝達部材を動かすことが可能な原動機と、を付設し、前記固定部は、前記加工ユニットの研削範囲となる加工面の幾何中心を加工中心とし、前記加工中心から前記被研削材の外方となる離れた位置において、前記フレームに固定され、前記可変部は、前記加工中心において前記被研削材の外方に延び出す仮想直線を回転軸として、前記固定部に対して回転可能に位置され、前記原動機は、前記加工ユニットから離れた位置に位置するとともに、前記動力伝達部材を動かし、もって前記固定部に対して前記可変部を回転させ、前記加工ユニットは、前記可変部の回転に追従して、前記回転軸の周りを前記可変部が回転する方向に公転する、ものである。
【0011】
第２の開示に係る研削装置によれば、本装置に係る原動機は、加工ユニットから離れて位置するとともに、動力伝達部材を動かし、もって固定部に対して可変部を回転させることとなる。これにより、本装置は、加工ユニットの周囲から火気器具に該当する構成を離間させることができる。
【0012】
また、本装置は、ロータリージョイントと、加工ユニットと、の間で配管・配線のねじれを生じさせずに被研削材の研削加工を行うことができる。
【0013】
ここで、第２の開示に係る研削装置は、後述する第３の開示に係る研削装置であっても良い。この第３の開示に係る研削装置においては、前記加工ユニットには、前記加工ユニットを前記公転の円の径方向にスライドさせる径方向リニアガイドが取り付けられ、前記径方向リニアガイドは、前記加工ユニットが前記径方向にスライドする径方向送りねじと、前記径方向送りねじに併設されて、この前記径方向送りねじに対する前記加工ユニットの回動を制限する径方向ガイドレールと、を有し、前記径方向送りねじには、前記径方向送りねじを収容する中空のカバーと、前記可変部から前記カバーに連通するカバー与圧ノズルと、が取り付けられ、前記カバー与圧ノズルが、前記カバーの内側にエアーを供給し、さらに、前記径方向を基準とした仰俯角方向に前記加工ユニットを揺動させることで、当該加工ユニットにおける前記仰俯角方向の傾きを調整する揺動フレームを備えている、ものである。
【0014】
なお、ここでいう「径方向を基準とした仰俯角方向」とは、径方向およびこの径方向に対応する周方向の両方向に広がる仮想的な平面に対して傾く方向のことをいう。
【0015】
第３の開示に係る研削装置によれば、本装置に係る径方向リニアガイドは、径方向送りねじを回動させることで、回動が制限された加工ユニットを、加工ユニットが公転する円の径方向にスライドさせている。これにより、加工ユニットをスライドさせた後の研削による軌跡であるスライド後軌跡は、加工ユニットをスライドさせる前の研削による軌跡であるスライド前軌跡の中心である加工中心に対して同心状に併設させることができる。
【0016】
また、本装置に係るカバー与圧ノズルが、カバーの内側にエアーを供給している。そうすると、カバーの内側はカバーの外側より気圧が高くなり、加工面から生じた粉体はカバーの内側に入りにくくなる。これにより、カバーの内側に収容された径方向送りねじが、粉体にさらされるおそれを低減することができる。
【0017】
ところで、スカーフサンディング加工においては、被研削材に対して研削の角度を一定にすることが肝要とされている。ここで、本装置に係る揺動フレームは、加工ユニットにおける上記仰俯角方向の傾きを一定の角度となるように調整することができる。これにより、加工ユニットにおける砥石車は、被研削材を一定の研削角度で研削することができる。
【0018】
ここで、第３の開示に係る研削装置は、後述する第４の開示に係る研削装置であっても良い。この第４の開示に係る研削装置においては、前記径方向リニアガイドには、エアーが流れることで互いに反対方向に回転する、径方向送りインデックスおよび径方向戻りインデックス、ならびに、前記径方向送りインデックスおよび前記径方向戻りインデックスが伝達する回転を切り替え可能な径方向クラッチが取り付けられ、前記径方向クラッチは、前記径方向送りインデックスまたは前記径方向戻りインデックスの、いずれか一方を前記径方向送りねじから離間状態にし、他方を前記径方向送りねじに近接状態にして、他方の回転を前記径方向送りねじに伝達し、もって前記加工ユニットの送り状態および前記加工ユニットの戻り状態を切替える、ものである。
【0019】
ここで、径方向送りインデックスおよび径方向戻りインデックスは、エアーが流れることで、所定の回転数のみ回転するものである。
【0020】
第４の開示に係る研削装置によれば、本装置に係る径方向送りインデックスおよび径方向戻りインデックスは、エアーが流れることで互いに反対方向に回転する。そして、径方向送りインデックスまたは径方向戻りインデックスの、いずれか一方は、径方向クラッチにより、径方向送りねじから離間状態とされ、他方は、径方向送りねじに近接状態とされる。そうすると、径方向クラッチが働いていないときは、径方向送りインデックスの回転および径方向戻りインデックスの回転を径方向送りねじが受けることなく、加工ユニットの位置が留められることとなる。一方、径方向クラッチが働いているときは、径方向送りインデックスの回転または径方向戻りインデックスの回転の、いずれか一方を径方向送りねじが受け、加工ユニットが、規定のピッチで送られたり、戻されたりすることとなる。これにより、加工ユニットを加工面の研削幅毎に送ったり、戻したりすることができる。
【0021】
ここで、第１の開示から第４の開示のうちのいずれか一つに係る研削装置は、後述する第５の開示に係る研削装置であっても良い。この第５の開示に係る研削装置においては、前記加工ユニットは、粉体をエアーとともに吸引する集塵機構が付設され、前記集塵機構は、前記被研削材の表面に対して包囲空間を形成する囲みと、前記ロータリージョイントからのエアーの流れを受けて前記包囲空間内の粉体をエアーとともに吸引する集塵ユニットと、を備えている、ものである。
【0022】
第５の開示に係る研削装置によれば、本装置に係る集塵機構は、被研削材の表面における粉体を集塵するものである。粉体は、囲みによって形成された包囲空間の内側で生じ、包囲空間の外側に飛散することが抑えられることとなる。そして、ロータリージョイントからのエアーの流れを受ける集塵ユニットは、包囲空間の内側の粉体をエアーとともに吸引することとなる。これにより、粉体を加工ユニットの周囲に飛散させることを抑制して、集塵することができる。
【0023】
ここで、第１の開示から第５の開示のうちのいずれか一つに係る研削装置は、後述する第６の開示に係る研削装置であっても良い。この第６の開示に係る研削装置においては、前記加工ユニットには、前記ロータリージョイントからのエアーの供給を受け、このエアーを前記砥石車にブローして前記砥石車を冷却するドライノズルが付設されている、ものである。
【0024】
第６の開示に係る研削装置によれば、本装置に係るドライノズルは、砥石車にエアーをブローすることで、砥石車を冷却しつつ、ドライ加工を可能としている。さらに、砥石車の研削面の目詰まりが抑制され、研削力の低下を抑えることができる。
【0025】
ここで、第１の開示から第６の開示のうちのいずれか一つに係る研削装置に用いられる制御装置は、後述する第７の開示に係る制御装置であっても良い。この第７の開示に係る制御装置においては、前記エアーモーターは、エアーの供給を制御する制御装置を有し、前記制御装置は、前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量と、前記記憶流量に対応する前記砥石車の自転速度となる記憶自転速度と、の対応関係を記憶する記憶部、前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測する計測部、および、前記対応関係から、前記実測流量に対応する前記砥石車の自転速度となる算定自転速度を算定する算定部、を備えている、ものである。
【0026】
第７の開示に係る制御装置によれば、本制御装置は、エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量および記憶流量に対応する砥石車の自転速度となる記憶自転速度について、記憶部で記憶している。そして、エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測部で計測し、実測流量および対応関係から、砥石車の自転速度となる算定自転速度を算定部で算定している。これにより、加工ユニットが被研削材を研削する際に、砥石車の算定自転速度を算定することができる。
【0027】
ここで、第２の開示から第４の開示のうちのいずれか一つに係る研削装置に用いられる制御装置は、後述する第８の開示に係る制御装置であっても良い。この第８の開示に係る制御装置においては、前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量と、前記記憶流量に対応する前記加工ユニットにおける公転角速度となる記憶公転角速度と、の対応関係を記憶する記憶部、前記エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測する計測部、および、前記対応関係から、前記実測流量に対応する前記加工ユニットの公転角速度となる算定公転角速度を算定する算定部、を備えている、ものである。
【0028】
第８の開示に係る制御装置によれば、本制御装置は、エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量および記憶流量に対応する前記加工ユニットにおける公転角速度となる記憶公転角速度について、記憶部で記憶している。そして、エアーモーターに流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量を計測部で計測し、実測流量および対応関係から、加工ユニットの公転角速度となる算定公転角速度を算定部で算定している。これにより、加工ユニットが被研削材を研削する際に、加工ユニットの算定公転角速度を算定することができる。
【発明の効果】
【0029】
本開示は、上記の構成をもつことにより、砥石車の回転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【発明を実施するための形態】
【0031】
＜第１の実施形態＞
以下、図面を用いて本開示の第１の実施形態に係る研削装置１を説明する。この研削装置１は、図２に示すように、被研削材２に取り付けられた取付状態を実現可能なフレーム１０と、該取付状態にて被研削材２を研削する加工ユニット３０とを有する。
以下、図面を用いて本開示の第１の実施形態に係る研削装置１を説明する。この研削装置１は、図２に示すように、被研削材２に取り付けられた取付状態を実現可能なフレーム１０と、該取付状態にて被研削材２を研削する加工ユニット３０とを有する。
【0032】
＜被研削材の構成＞
本実施形態では、被研削材２は、構造物や輸送機械等の外板用素材たるＣＦＲＰシートである。被研削材２には、直円筒形状をなす下穴８が予め形成されている。この下穴８は、被研削材２における損傷部位（欠陥部位）を削り取った跡である。また、被研削材２は、加工ユニット３０により下穴８の周縁８Ｆ（図５参照）が削り広げられて、下穴８の底面８Ａに対して傾きαとなるすり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）を有する形状に加工される。
本実施形態では、被研削材２は、構造物や輸送機械等の外板用素材たるＣＦＲＰシートである。被研削材２には、直円筒形状をなす下穴８が予め形成されている。この下穴８は、被研削材２における損傷部位（欠陥部位）を削り取った跡である。また、被研削材２は、加工ユニット３０により下穴８の周縁８Ｆ（図５参照）が削り広げられて、下穴８の底面８Ａに対して傾きαとなるすり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）を有する形状に加工される。
【0033】
この加工の過程において、下穴８の周縁８Ｆには、図２５に仮想線で示すように、下穴８の穴側面８Ｂを加工ユニット３０が公転６しながら研削した跡である円環穴９が形成される。すなわち、円環穴９は下穴８の周縁８Ｆを包含する。
【0034】
円環穴９は、図２４に示すように、被研削材２の削り広げにおける「削り始めの基準」（scratch）として形成される。また、円環穴９は、図２５に仮想線で示すように、後述する回転軸５を中心とした径方向でみて、この回転軸５からの距離が一定の距離範囲に収まる円環状の領域に形成される。この領域は、研削装置１から見て所定の位置公差の範囲内で位置ずれが生じうる下穴８に対し、この下穴８の穴側面８Ｂを上記位置ずれのいかんによらず完全包含するように設定される。
【0035】
すなわち、円環穴９の外径９Ｄは、下穴８の外径８Ｄよりも大きく設定され、円環穴９の内径９Ｃは、下穴８の外径８Ｄよりも小さく設定される。そして、円環穴９の外周９Ｆは、上記位置ずれのいかんによらず、上記径方向の外方から下穴８の穴側面８Ｂを取り巻く状態に位置される。また、円環穴９の内周９Ｅは、上記位置ずれのいかんによらず、下穴８の穴側面８Ｂにより上記径方向の外方から取り巻かれた状態に位置される。これによれば、研削装置１から見た下穴８の位置ずれの誤差が、被研削材２の削り広げにおける「削り始めの基準」（scratch）に伝播されることを抑えて、加工ユニット３０が研削するすり鉢状の穴８Ｃの加工精度を向上させることができる。
【0036】
＜第１の実施形態に係る研削装置＞
研削装置１は、図２に示すように、上記取付状態において、研削装置１に備えられたロータリージョイント２０から給気を受けた加工ユニット３０により被研削材２を研削するものである。この加工ユニット３０は、ロータリージョイント２０からの給気によりローター軸３２Ｂ（図１０参照）を回転させるエアーモーター３２を有し、もって該ローター軸３２Ｂに固定された砥石車３３を自転させる（すなわち、ローター軸３２Ｂを中心に回転させる）。
研削装置１は、図２に示すように、上記取付状態において、研削装置１に備えられたロータリージョイント２０から給気を受けた加工ユニット３０により被研削材２を研削するものである。この加工ユニット３０は、ロータリージョイント２０からの給気によりローター軸３２Ｂ（図１０参照）を回転させるエアーモーター３２を有し、もって該ローター軸３２Ｂに固定された砥石車３３を自転させる（すなわち、ローター軸３２Ｂを中心に回転させる）。
【0037】
＜研削装置の構成＞
研削装置１は、フレーム１０と、加工ユニット３０と、加工ユニット３０にエアーを給排気するロータリージョイント２０と、を備える。以下にフレーム１０と、ロータリージョイント２０と、ロータリージョイント２０から給排気を受ける構成（加工ユニット３０を含む）と、上記給排気を制御する制御装置（後述するコンピューター１００。図１参照）とを説明する。
研削装置１は、フレーム１０と、加工ユニット３０と、加工ユニット３０にエアーを給排気するロータリージョイント２０と、を備える。以下にフレーム１０と、ロータリージョイント２０と、ロータリージョイント２０から給排気を受ける構成（加工ユニット３０を含む）と、上記給排気を制御する制御装置（後述するコンピューター１００。図１参照）とを説明する。
【0038】
＜フレームの構成＞
フレーム１０は、ロータリージョイント２０を介してメインフレーム１８を旋回可能に支持する円板状のベースフレーム１１と、ベースフレーム１１の縁部から、その板面の片側に延び出す吸着アッセンブリ１２とを有する。これら吸着アッセンブリ１２は、それぞれ、上記片側に延び出す部分に、被研削材２に吸着する吸着脚８０を備える。この吸着は、ロータリージョイント２０に係るエアー系統とは別のエアー系統から吸着脚８０への給気によって実現される。この給気は、後述する制御電磁弁（図示せず）および研削電磁弁（図示せず）とは別の開閉弁にて制御される。
フレーム１０は、ロータリージョイント２０を介してメインフレーム１８を旋回可能に支持する円板状のベースフレーム１１と、ベースフレーム１１の縁部から、その板面の片側に延び出す吸着アッセンブリ１２とを有する。これら吸着アッセンブリ１２は、それぞれ、上記片側に延び出す部分に、被研削材２に吸着する吸着脚８０を備える。この吸着は、ロータリージョイント２０に係るエアー系統とは別のエアー系統から吸着脚８０への給気によって実現される。この給気は、後述する制御電磁弁（図示せず）および研削電磁弁（図示せず）とは別の開閉弁にて制御される。
【0039】
＜フレームの詳細＞
ここで、ベースフレーム１１には、ロータリージョイント２０が備える固定部２１を固定する固定フレーム１３（図３参照）が付設されている。この固定フレーム１３は、固定部２１を、加工中心４（本実施形態では例えば加工ユニット３０の研削範囲たる加工面３の幾何中心。図５参照）から被研削材２の外方となる離れた位置（すなわち上記片側とは反対側となる位置）に固定する。また、ベースフレーム１１には、ロータリージョイント２０が備える可変部２２を旋回させる旋回用リングギア１４と、旋回用リングギア１４を旋回させる旋回用サーボモーター１６と、が付設されている。ここで、固定フレーム１３は、図１に示すように、旋回用リングギア１４の旋回に際し、これと干渉しないように位置される。ここで、旋回用リングギア１４は本開示における「動力伝達部材」に相当し、旋回用サーボモーター１６は本開示における「原動機」に相当する。
ここで、ベースフレーム１１には、ロータリージョイント２０が備える固定部２１を固定する固定フレーム１３（図３参照）が付設されている。この固定フレーム１３は、固定部２１を、加工中心４（本実施形態では例えば加工ユニット３０の研削範囲たる加工面３の幾何中心。図５参照）から被研削材２の外方となる離れた位置（すなわち上記片側とは反対側となる位置）に固定する。また、ベースフレーム１１には、ロータリージョイント２０が備える可変部２２を旋回させる旋回用リングギア１４と、旋回用リングギア１４を旋回させる旋回用サーボモーター１６と、が付設されている。ここで、固定フレーム１３は、図１に示すように、旋回用リングギア１４の旋回に際し、これと干渉しないように位置される。ここで、旋回用リングギア１４は本開示における「動力伝達部材」に相当し、旋回用サーボモーター１６は本開示における「原動機」に相当する。
【0040】
＜旋回用リングギアの構成＞
旋回用リングギア１４は、図２に示すように、旋回用サーボモーター１６が回転させるローラピニオン１７とかみ合う伝達用歯１４Ａ（図１参照）を有して、上記可変部２２と一体に旋回するように構成されている。
旋回用リングギア１４は、図２に示すように、旋回用サーボモーター１６が回転させるローラピニオン１７とかみ合う伝達用歯１４Ａ（図１参照）を有して、上記可変部２２と一体に旋回するように構成されている。
【0041】
＜旋回用リングギアの詳細＞
旋回用リングギア１４は、ベースフレーム１１に対し、旋回用ベアリング１５を介して付設される。これにより、旋回用リングギア１４は、その旋回が容易とされる。また、旋回用リングギア１４には、加工ユニット３０が後述する減速位置または原点位置に位置したときに、これを旋回用サーボモーター１６に検知させる複数のドグ（図示せず）が設けられている。
旋回用リングギア１４は、ベースフレーム１１に対し、旋回用ベアリング１５を介して付設される。これにより、旋回用リングギア１４は、その旋回が容易とされる。また、旋回用リングギア１４には、加工ユニット３０が後述する減速位置または原点位置に位置したときに、これを旋回用サーボモーター１６に検知させる複数のドグ（図示せず）が設けられている。
【0042】
＜旋回用サーボモーターの構成＞
旋回用サーボモーター１６は、加工ユニット３０およびロータリージョイント２０から離れて位置される。
旋回用サーボモーター１６は、加工ユニット３０およびロータリージョイント２０から離れて位置される。
【0043】
＜旋回用サーボモーターの詳細＞
旋回用サーボモーター１６は、上記取付状態においてベースフレーム１１における被研削材２と向き合う側の反対側の面（すなわち上記片側の面）に位置している。この構成は、旋回用サーボモーター１６が被研削材２から生じた粉体（図示省略）にさらされることを抑える。また、旋回用サーボモーター１６は、上記ドグを検知する検知部（図示せず）を備え、加工ユニット３０が減速位置に位置すること、および加工ユニット３０が原点位置に位置することを検知する。この検知の検知結果は、加工ユニット３０からコンピューター１００（図１参照）に送られる。このコンピューター１００は、上記検知結果から、算定公転角速度（すなわち加工ユニット３０が公転６（図５参照）する公転角速度）を算定する。なお、公転６とは、メインフレーム１８に支持される各構成（図５では砥石車３３で代表して表す。）が、メインフレーム１８（図２参照）の旋回に追従して、その回転軸５の周りを回ることをいう。
旋回用サーボモーター１６は、上記取付状態においてベースフレーム１１における被研削材２と向き合う側の反対側の面（すなわち上記片側の面）に位置している。この構成は、旋回用サーボモーター１６が被研削材２から生じた粉体（図示省略）にさらされることを抑える。また、旋回用サーボモーター１６は、上記ドグを検知する検知部（図示せず）を備え、加工ユニット３０が減速位置に位置すること、および加工ユニット３０が原点位置に位置することを検知する。この検知の検知結果は、加工ユニット３０からコンピューター１００（図１参照）に送られる。このコンピューター１００は、上記検知結果から、算定公転角速度（すなわち加工ユニット３０が公転６（図５参照）する公転角速度）を算定する。なお、公転６とは、メインフレーム１８に支持される各構成（図５では砥石車３３で代表して表す。）が、メインフレーム１８（図２参照）の旋回に追従して、その回転軸５の周りを回ることをいう。
【0044】
＜ロータリージョイントの構成＞
ロータリージョイント２０は、図４に示すように、外からエアーを給排気する筒をなす固定部２１を有する。また、ロータリージョイント２０は、固定部２１と該固定部２１の給排気の対象たる各構成を連通する可変部２２を有する。ここで、固定部２１と可変部２２との連通は、連通路２３を介して実現される。また、可変部２２に連通される各構成は、図２に示すように、いずれもメインフレーム１８に取り付けられる。これら各構成には、揺動シリンダー１９、加工ユニット３０、径方向リニアガイド４０、深さ方向リニアガイド５０、集塵機構６０、ドライノズル７０（図８参照）および残圧排気弁（図示せず）が含まれる。また、連通路２３は、図４に示すように、固定部２１と可変部２２との間にて可変部２２の旋回の周方向に延びる隙間２３Ａを含む。
ロータリージョイント２０は、図４に示すように、外からエアーを給排気する筒をなす固定部２１を有する。また、ロータリージョイント２０は、固定部２１と該固定部２１の給排気の対象たる各構成を連通する可変部２２を有する。ここで、固定部２１と可変部２２との連通は、連通路２３を介して実現される。また、可変部２２に連通される各構成は、図２に示すように、いずれもメインフレーム１８に取り付けられる。これら各構成には、揺動シリンダー１９、加工ユニット３０、径方向リニアガイド４０、深さ方向リニアガイド５０、集塵機構６０、ドライノズル７０（図８参照）および残圧排気弁（図示せず）が含まれる。また、連通路２３は、図４に示すように、固定部２１と可変部２２との間にて可変部２２の旋回の周方向に延びる隙間２３Ａを含む。
【0045】
＜ロータリージョイントの詳細＞
固定部２１は、図３に示すように、ベースフレーム１１に付設する固定フレーム１３に固定される。また、可変部２２は、ベースフレーム１１の旋回用リングギア１４およびメインフレーム１８に固定される。これにより、ロータリージョイント２０は、ロータリージョイント２０が給排気するエアーを固定部２１と可変部２２との間で流通させながら、可変部２２を固定部２１に対して旋回させる。このとき、可変部２２は、この可変部２２に固定されているメインフレーム１８と一体に旋回するため、メインフレーム１８に取り付けられている上記各構成も同様に公転６（図５参照）する。
固定部２１は、図３に示すように、ベースフレーム１１に付設する固定フレーム１３に固定される。また、可変部２２は、ベースフレーム１１の旋回用リングギア１４およびメインフレーム１８に固定される。これにより、ロータリージョイント２０は、ロータリージョイント２０が給排気するエアーを固定部２１と可変部２２との間で流通させながら、可変部２２を固定部２１に対して旋回させる。このとき、可変部２２は、この可変部２２に固定されているメインフレーム１８と一体に旋回するため、メインフレーム１８に取り付けられている上記各構成も同様に公転６（図５参照）する。
【0046】
可変部２２は、図２に示すように、加工中心４（図５参照）において被研削材２の外方に延び出す仮想直線を回転軸５として、固定部２１に対して回転可能に位置される。これにより、メインフレーム１８およびメインフレーム１８に取り付けられる各構成は、ベースフレーム１１に対する旋回が可能とされる。
【0047】
固定部２１の外周面には、図４に示すように、外部（図示せず）との間で給排気する外エアーチューブ２４（図１参照）が取り付けられた外周固定ポート２１Ａが付設されている。また、固定部２１の軸方向における外側の面には、外エアーチューブ２４が取り付けられた中央固定ポート２１Ｍが付設されている。ここで、外周固定ポート２１Ａおよび中央固定ポート２１Ｍは、外部との間で給排気する外エアーチューブ２４と繋がっている。このため、外周固定ポート２１Ａおよび中央固定ポート２１Ｍは、ロータリージョイント２０から給排気を受ける各構成にそれぞれ対応するエアーを流し、これら各構成から排出されるエアーを残圧排気弁（図示せず）に流す。また、可変部２２の外周面には、図１に示すように、内エアーチューブ２５が取り付けられた外周可変ポート２２Ａが付設されている。ここで、外周可変ポート２２Ａに取り付けられる内エアーチューブ２５は、図２に示す揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０、ならびに、図８に示すドライノズル７０に給排気するものである。また、可変部２２の軸方向における外側の面には、図２に示すように、内エアーチューブ２５が取り付けられた中央可変ポート２２Ｍが付設されている。ここで、中央可変ポート２２Ｍに取り付けられる内エアーチューブ２５は、加工ユニット３０および集塵機構６０に給排気する。また、外周可変ポート２２Ａおよび中央可変ポート２２Ｍは、図４に示すように、連通路２３に繋がっている。このため、外周可変ポート２２Ａおよび中央可変ポート２２Ｍは、加工ユニット３０（図１０参照）を含むロータリージョイント２０から給排気を受ける各構成にエアーを流し、これら各構成から排出されるエアーを残圧排気弁（図示せず）に流す。
【0048】
＜メインフレームの構成＞
メインフレーム１８は、図２に示すように、板状の平行フレーム１８Ａと、間隔フレーム１８Ｂと、第１揺動フレーム１８Ｄと、伸縮自在な揺動シリンダー１９と、で構成される。ここで、平行フレーム１８Ａは、図６に示すように、回転軸５に対して垂直に広がる面に沿う板面を有する。また、間隔フレーム１８Ｂは、２つが対をなし、これらが平行フレーム１８Ａの板面における面内方向の一方側の端から、該板面に対して垂直に延び出す。これら延び出しの先端部分には、それぞれ、ピボットヒンジをなす第１揺動軸中心１８Ｃが取り付けられている。これら第１揺動軸中心１８Ｃには、Ｕ字形状に形成された第１揺動フレーム１８Ｄの各端部が接続される。これにより、第１揺動フレーム１８Ｄは、各間隔フレーム１８Ｂに対し第１揺動軸中心１８Ｃのまわりに揺動可能とされる。この揺動においては、第１揺動フレーム１８ＤのＵ字形状における変曲部１８Ｅは、被研削材２（図２参照）に近づいたり離れたりするように移動する。また、揺動シリンダー１９は、２つが対をなして第１揺動フレーム１８Ｄの変曲部１８Ｅを挟み込み、これら変曲部１８Ｅおよび平行フレーム１８Ａにおいて上記一方側とは反対となる他方側の端を連結する。なお、第１揺動フレーム１８Ｄは、径方向リニアガイド４０を付設させることが可能な大きさである。
メインフレーム１８は、図２に示すように、板状の平行フレーム１８Ａと、間隔フレーム１８Ｂと、第１揺動フレーム１８Ｄと、伸縮自在な揺動シリンダー１９と、で構成される。ここで、平行フレーム１８Ａは、図６に示すように、回転軸５に対して垂直に広がる面に沿う板面を有する。また、間隔フレーム１８Ｂは、２つが対をなし、これらが平行フレーム１８Ａの板面における面内方向の一方側の端から、該板面に対して垂直に延び出す。これら延び出しの先端部分には、それぞれ、ピボットヒンジをなす第１揺動軸中心１８Ｃが取り付けられている。これら第１揺動軸中心１８Ｃには、Ｕ字形状に形成された第１揺動フレーム１８Ｄの各端部が接続される。これにより、第１揺動フレーム１８Ｄは、各間隔フレーム１８Ｂに対し第１揺動軸中心１８Ｃのまわりに揺動可能とされる。この揺動においては、第１揺動フレーム１８ＤのＵ字形状における変曲部１８Ｅは、被研削材２（図２参照）に近づいたり離れたりするように移動する。また、揺動シリンダー１９は、２つが対をなして第１揺動フレーム１８Ｄの変曲部１８Ｅを挟み込み、これら変曲部１８Ｅおよび平行フレーム１８Ａにおいて上記一方側とは反対となる他方側の端を連結する。なお、第１揺動フレーム１８Ｄは、径方向リニアガイド４０を付設させることが可能な大きさである。
【0049】
＜メインフレームの詳細＞
揺動シリンダー１９は、図２に示すように、この揺動シリンダー１９に供給されるロータリージョイント２０からのエアーによって伸縮され、もって第１揺動フレーム１８Ｄの揺動を実現させる。この揺動は、コンピューター１００による上記エアーのコントロールによって実現される。ここで、第１揺動フレーム１８Ｄには、その変曲部１８Ｅと両端（第１揺動軸中心１８Ｃに取り付けられる部分）との間に、径方向リニアガイド４０が付設されている。この径方向リニアガイド４０には、後述する第２揺動フレーム３１がスライド可能に取り付けられている。この第２揺動フレーム３１には、加工ユニット３０および後述する基準ユニット３４が取り付けられている。このため、第１揺動フレーム１８Ｄが揺動すると、径方向リニアガイド４０、第２揺動フレーム３１、加工ユニット３０および基準ユニット３４は、被研削材２に対し近づいたり離れたりする。
揺動シリンダー１９は、図２に示すように、この揺動シリンダー１９に供給されるロータリージョイント２０からのエアーによって伸縮され、もって第１揺動フレーム１８Ｄの揺動を実現させる。この揺動は、コンピューター１００による上記エアーのコントロールによって実現される。ここで、第１揺動フレーム１８Ｄには、その変曲部１８Ｅと両端（第１揺動軸中心１８Ｃに取り付けられる部分）との間に、径方向リニアガイド４０が付設されている。この径方向リニアガイド４０には、後述する第２揺動フレーム３１がスライド可能に取り付けられている。この第２揺動フレーム３１には、加工ユニット３０および後述する基準ユニット３４が取り付けられている。このため、第１揺動フレーム１８Ｄが揺動すると、径方向リニアガイド４０、第２揺動フレーム３１、加工ユニット３０および基準ユニット３４は、被研削材２に対し近づいたり離れたりする。
【0050】
本実施形態においては、揺動シリンダー１９は、その両端に、エアーの流量を調整する揺動調整バルブ１９Ａを備えている。また、基準ユニット３４は、その一端に２つ１組の倣い玉３５を備えて、この一端が被研削材２側を向いた状態となるように、第２揺動フレーム３１に取り付けられる。２つの倣い玉３５は、基準ユニット３４が第１揺動フレーム１８Ｄの揺動に伴って被研削材２に近づけられたときに、これら倣い玉３５が被研削材２の表面に押し当てられた押し当て状態を実現させる。
【0051】
平行フレーム１８Ａは、図６に示すように、集塵ユニット６２を支持し、これと一体に公転６（図５参照）を行う。ここで、集塵ユニット６２は、図３に示すように、メインフレーム１８に対して上記片側となる側（図３では下側）に位置される。また、旋回用サーボモーター１６は、図２に示すように、メインフレーム１８に対して上記片側とは反対側なる側（図２では上側）に位置される。
【0052】
＜径方向リニアガイドの構成＞
径方向リニアガイド４０は、図８に示すように、第２揺動フレーム３１の公転６の軌道における径方向（図５参照）にスライドする径方向送りねじ４１を有する。この径方向送りねじ４１には、径方向送りねじ４１に対する加工ユニット３０の回動を制限する径方向ガイドレール４２が付設されている。この径方向ガイドレール４２は、径方向送りねじ４１が回動するとき、径方向送りねじ４１に対する第２揺動フレーム３１の回動を制限する。この際、径方向送りねじ４１は、第２揺動フレーム３１に固定される加工ユニット３０を上記径方向にスライドさせる。
径方向リニアガイド４０は、図８に示すように、第２揺動フレーム３１の公転６の軌道における径方向（図５参照）にスライドする径方向送りねじ４１を有する。この径方向送りねじ４１には、径方向送りねじ４１に対する加工ユニット３０の回動を制限する径方向ガイドレール４２が付設されている。この径方向ガイドレール４２は、径方向送りねじ４１が回動するとき、径方向送りねじ４１に対する第２揺動フレーム３１の回動を制限する。この際、径方向送りねじ４１は、第２揺動フレーム３１に固定される加工ユニット３０を上記径方向にスライドさせる。
【0053】
＜径方向送りねじの構成＞
径方向送りねじ４１は、第２揺動フレーム３１が嵌合される径方向軸部４１Ａと、径方向軸部４１Ａの軸方向における端に固定される径方向プーリー４１Ｂとを有する。また、径方向送りねじ４１は、径方向軸部４１Ａにおける軸方向の動きが制限されている。この径方向軸部４１Ａは、径方向プーリー４１Ｂの回動に追従して回動することで、第２揺動フレーム３１に固定される加工ユニット３０を上記径方向にスライドさせる。
径方向送りねじ４１は、第２揺動フレーム３１が嵌合される径方向軸部４１Ａと、径方向軸部４１Ａの軸方向における端に固定される径方向プーリー４１Ｂとを有する。また、径方向送りねじ４１は、径方向軸部４１Ａにおける軸方向の動きが制限されている。この径方向軸部４１Ａは、径方向プーリー４１Ｂの回動に追従して回動することで、第２揺動フレーム３１に固定される加工ユニット３０を上記径方向にスライドさせる。
【0054】
＜径方向送りねじの詳細＞
ここで、径方向軸部４１Ａにおける、ねじピッチ（図示省略）は、第２揺動フレーム３１が精度良くスライドするように、設定されている。
ここで、径方向軸部４１Ａにおける、ねじピッチ（図示省略）は、第２揺動フレーム３１が精度良くスライドするように、設定されている。
【0055】
また、径方向送りねじ４１には、図７に示すように、径方向送りねじ４１を収容する中空のカバー４３と、可変部２２（図４参照）からカバー４３の内側にエアーを流すカバー与圧ノズル４４とが取り付けられている。このため、径方向送りねじ４１を収容するカバー４３の内側の気圧は、同じく外側の気圧よりも高くなる。この構成によれば、粉体（図示省略）等の異物が、カバー４３の外側から内側に入りにくくなる。
【0056】
＜径方向リニアガイドの詳細＞
径方向リニアガイド４０は、図８に示すように、後述する径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６、ならびに、径方向クラッチ４７を有している。径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６は、ロータリージョイント２０（図２参照）からの給気に対して互いに反対方向に回転する。径方向クラッチ４７は、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６の一方を径方向送りねじ４１から離間させ、他方を径方向送りねじ４１に接触させる。これにより、径方向クラッチ４７は、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６が伝達する回転を切り替え、もって加工ユニット３０における送り状態と戻り状態との切り替えを実現させる。
径方向リニアガイド４０は、図８に示すように、後述する径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６、ならびに、径方向クラッチ４７を有している。径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６は、ロータリージョイント２０（図２参照）からの給気に対して互いに反対方向に回転する。径方向クラッチ４７は、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６の一方を径方向送りねじ４１から離間させ、他方を径方向送りねじ４１に接触させる。これにより、径方向クラッチ４７は、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６が伝達する回転を切り替え、もって加工ユニット３０における送り状態と戻り状態との切り替えを実現させる。
【0057】
＜径方向送りインデックスおよび径方向戻りインデックスの構成＞
径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６は、その回転の方向が反対であることに対応して形状が反転している点を除いて、全く同じ構成を有している。このため、以下においては、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６について、その詳細な説明を径方向送りインデックス４５の説明により代表させて行う。そして、径方向戻りインデックス４６の各構成については、径方向送りインデックス４５の各構成の符号における「４５」を「４６」に置き換えた符号を付して対応させ、その詳細な説明を省略する。
径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６は、その回転の方向が反対であることに対応して形状が反転している点を除いて、全く同じ構成を有している。このため、以下においては、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６について、その詳細な説明を径方向送りインデックス４５の説明により代表させて行う。そして、径方向戻りインデックス４６の各構成については、径方向送りインデックス４５の各構成の符号における「４５」を「４６」に置き換えた符号を付して対応させ、その詳細な説明を省略する。
【0058】
＜径方向送りインデックスの構成＞
径方向送りインデックス４５は、図７に示すように、直円筒をなす径方向送りシリンダー４５Ａと、径方向送り回転軸４５Ｂと、径方向送りピストン４５Ｃと、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅとを備える。径方向送りシリンダー４５Ａは、その軸方向の両端でロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受ける。径方向送りピストン４５Ｃは、径方向送りシリンダー４５Ａの内周面をスライドする。径方向送り回転軸４５Ｂは、径方向送りピストン４５Ｃにおける軸方向の端面から延び出る。径方向送りシリンダー４５Ａにおける筒の内側の両端部分には、被押当部４５Ｄが設けられている。径方向送りピストン４５Ｃの両端部分には、その表面上に押当部４５Ｘが設けられている。この押当部４５Ｘは、径方向送りピストン４５Ｃのスライドによって被押当部４５Ｄに押し当てられたときに、径方向送りピストン４５Ｃを特定の周方向に回転させる。本実施形態においては、押当部４５Ｘは、被押当部４５Ｄに押し当てられたときにこの被押当部４５Ｄと互いにかみ合うかみ合い状態を実現させる。
径方向送りインデックス４５は、図７に示すように、直円筒をなす径方向送りシリンダー４５Ａと、径方向送り回転軸４５Ｂと、径方向送りピストン４５Ｃと、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅとを備える。径方向送りシリンダー４５Ａは、その軸方向の両端でロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受ける。径方向送りピストン４５Ｃは、径方向送りシリンダー４５Ａの内周面をスライドする。径方向送り回転軸４５Ｂは、径方向送りピストン４５Ｃにおける軸方向の端面から延び出る。径方向送りシリンダー４５Ａにおける筒の内側の両端部分には、被押当部４５Ｄが設けられている。径方向送りピストン４５Ｃの両端部分には、その表面上に押当部４５Ｘが設けられている。この押当部４５Ｘは、径方向送りピストン４５Ｃのスライドによって被押当部４５Ｄに押し当てられたときに、径方向送りピストン４５Ｃを特定の周方向に回転させる。本実施形態においては、押当部４５Ｘは、被押当部４５Ｄに押し当てられたときにこの被押当部４５Ｄと互いにかみ合うかみ合い状態を実現させる。
【0059】
＜径方向送りインデックスの詳細＞
径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、径方向送りシリンダー４５Ａの外側で径方向送り回転軸４５Ｂに固定される。径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、径方向送り回転軸４５Ｂの軸方向（図８参照）に伸縮する径方向送り伸縮バネ４５Ｆを有する。また、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、径方向送り伸縮バネ４５Ｆが自然状態であるとき、図８に示す径方向回転伝達機構４８の径方向送りプーリー４５Ｈに、その回転を伝達する。径方向送り回転軸４５Ｂは、径方向送りインデックス４５にエアーが流れたときに所定の回転角度（本実施形態では例えば９０°）だけ回転する。
径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、径方向送りシリンダー４５Ａの外側で径方向送り回転軸４５Ｂに固定される。径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、径方向送り回転軸４５Ｂの軸方向（図８参照）に伸縮する径方向送り伸縮バネ４５Ｆを有する。また、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、径方向送り伸縮バネ４５Ｆが自然状態であるとき、図８に示す径方向回転伝達機構４８の径方向送りプーリー４５Ｈに、その回転を伝達する。径方向送り回転軸４５Ｂは、径方向送りインデックス４５にエアーが流れたときに所定の回転角度（本実施形態では例えば９０°）だけ回転する。
【0060】
径方向送りピストン４５Ｃおよび径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅは、上記かみ合い状態が実現されるまでの間その回転状態を継続し、かみ合い状態が実現されるとその回転を停止させる。このため、径方向プーリー４１Ｂが固定される径方向軸部４１Ａは、所定の回転角度のみ回転し、もって第２揺動フレーム３１（図２参照）を径方向軸部４１Ａの回転角度に対応する対応距離（すなわち一定値）だけスライドさせる。本実施形態においては、上記対応距離は、ＣＦＲＰシートの積層方向と交差する方向にて、このシートを研削可能となるように設定される。また、上記スライドは、径方向移動距離開閉総回数分だけ行われることで、第２揺動フレーム３１を径方向移動距離Ｐ２０だけ移動させる。そして、この径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）の移動が予備径方向移動総回数分、円環径方向移動総回数分、および、深さ方向移動総回数に１を足した回数分行われることで、第２揺動フレーム３１を後述する径方向移動総距離（図示せず）だけ移動させる。なお、径方向送りシリンダー４５Ａの両端には、それぞれ、給気されるエアーの流量を調整する径方向送り調整バルブ４５Ｇが取り付けられている。
【0061】
ところで、径方向リニアガイド４０に給排気する内エアーチューブ２５は、図６に示すように、二股エアージョイント２６Ａを備えるチューブ２５Ａと、二股エアージョイント２６Ｂを備えるチューブ２５Ｂとからなる。二股エアージョイント２６Ａは、径方向リニアガイド４０において２つずつ存在する径方向送り調整バルブ４５Ｇおよび径方向戻り調整バルブ４６Ｇのうち、上記一方側にある径方向送り調整バルブ４５Ｇおよび径方向戻り調整バルブ４６Ｇに接続される。二股エアージョイント２６Ｂは、径方向リニアガイド４０において２つずつ存在する径方向送り調整バルブ４５Ｇおよび径方向戻り調整バルブ４６Ｇのうち、上記他方側にある径方向送り調整バルブ４５Ｇおよび径方向戻り調整バルブ４６Ｇに接続される。この構成によれば、径方向リニアガイド４０に給排気する内エアーチューブ２５に割かれる、外周可変ポート２２Ａのポート数を節約することができる。
【0062】
ここで、コンピューター１００（図１４参照）は、その制御電磁弁（後述）により、チューブ２５Ａにて給気が行われ、チューブ２５Ｂにて排気が行われる順方向状態と、チューブ２５Ｂにて給気が行われ、チューブ２５Ａにて排気が行われる逆方向状態とを切り替える。これにより、コンピューター１００は、径方向送りピストン４５Ｃが、径方向送りシリンダー４５Ａにおける軸方向の両端にスライドすることを実現させる。
【0063】
径方向回転伝達機構４８は、図８に示すように、径方向送りプーリー４５Ｈと、径方向送り回転ベルト４５Ｉとを備える。径方向送りプーリー４５Ｈは、径方向送り伸縮バネ４５Ｆ（図７参照）が自然状態のときには径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）の回転を受け、径方向送り伸縮バネ４５Ｆが圧縮状態のときには径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅの回転を受けないように構成される。径方向送り回転ベルト４５Ｉは、径方向送りプーリー４５Ｈと径方向プーリー４１Ｂとの間にかけ渡される。
【0064】
また、径方向回転伝達機構４８は、径方向戻りプーリー４６Ｈと、径方向戻り回転ベルト４６Ｉとを備えている。径方向戻りプーリー４６Ｈは、径方向戻り伸縮バネ４６Ｆ（図７参照）が自然状態のときには径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅの回転を受け、径方向戻り伸縮バネ４６Ｆ（図７参照）が圧縮状態のときには径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）の回転を受けないように構成されている。径方向戻り回転ベルト４６Ｉは、径方向戻りプーリー４６Ｈと径方向プーリー４１Ｂとの間にかけ渡される。
【0065】
＜径方向クラッチの構成＞
また、径方向回転伝達機構４８には、径方向クラッチ４７が付設されている。この径方向クラッチ４７は、径方向送り伸縮バネ４５Ｆ（図９参照）および径方向戻り伸縮バネ４６Ｆ（図７参照）のいずれか一方を圧縮状態にし、他方を自然状態にする。これにより、径方向クラッチ４７は、該一方に対応するスリーブ（径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）または径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅ）からの回転の伝達を遮断し、同じく他方に対応するスリーブからの回転を伝達する。ここで、上記回転の伝達先は、径方向送りプーリー４５Ｈまたは径方向戻りプーリー４６Ｈである。言い換えると、径方向クラッチ４７は、径方向送りインデックス４５または径方向戻りインデックス４６の、いずれか一方を径方向送りねじ４１から離間状態にし、他方を径方向送りねじ４１に近接状態にして、他方の回転を径方向送りねじ４１に伝達し、もって加工ユニット３０の送り状態および加工ユニット３０の戻り状態を切替える。
また、径方向回転伝達機構４８には、径方向クラッチ４７が付設されている。この径方向クラッチ４７は、径方向送り伸縮バネ４５Ｆ（図９参照）および径方向戻り伸縮バネ４６Ｆ（図７参照）のいずれか一方を圧縮状態にし、他方を自然状態にする。これにより、径方向クラッチ４７は、該一方に対応するスリーブ（径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）または径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅ）からの回転の伝達を遮断し、同じく他方に対応するスリーブからの回転を伝達する。ここで、上記回転の伝達先は、径方向送りプーリー４５Ｈまたは径方向戻りプーリー４６Ｈである。言い換えると、径方向クラッチ４７は、径方向送りインデックス４５または径方向戻りインデックス４６の、いずれか一方を径方向送りねじ４１から離間状態にし、他方を径方向送りねじ４１に近接状態にして、他方の回転を径方向送りねじ４１に伝達し、もって加工ユニット３０の送り状態および加工ユニット３０の戻り状態を切替える。
【0066】
ここで、「径方向送りねじ４１から離間状態」とは、径方向送りインデックス４５または径方向戻りインデックス４６が径方向回転伝達機構４８から離間していることをいう。また、「径方向送りねじ４１に近接状態」とは、径方向送りインデックス４５または径方向戻りインデックス４６が径方向回転伝達機構４８に接触していることをいう。
【0067】
＜径方向クラッチの詳細＞
径方向クラッチ４７は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊを有している。これら径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊは、それぞれ、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの供給を受けて、対応するスリーブ（径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）または径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅ）を伸縮方向に移動させる。これにより、径方向クラッチ４７は、径方向送りプーリー４５Ｈに対する径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅの回転の伝達を遮断したり、径方向戻りプーリー４６Ｈに対する径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅの回転の伝達を遮断したりする。なお、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊには、エアーにより所定の一方向に直線運動する直線往復運動機構（本実施形態では、例えば、単動式のエアーシリンダー）が用いられる。この直線往復運動機構には、エアーの流量を調整する径方向送り遮断調整バルブ（図示せず）および径方向戻り遮断調整バルブ（図示せず）が取り付けられている。
径方向クラッチ４７は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊを有している。これら径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊは、それぞれ、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの供給を受けて、対応するスリーブ（径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）または径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅ）を伸縮方向に移動させる。これにより、径方向クラッチ４７は、径方向送りプーリー４５Ｈに対する径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅの回転の伝達を遮断したり、径方向戻りプーリー４６Ｈに対する径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅの回転の伝達を遮断したりする。なお、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊには、エアーにより所定の一方向に直線運動する直線往復運動機構（本実施形態では、例えば、単動式のエアーシリンダー）が用いられる。この直線往復運動機構には、エアーの流量を調整する径方向送り遮断調整バルブ（図示せず）および径方向戻り遮断調整バルブ（図示せず）が取り付けられている。
【0068】
ところで、径方向クラッチ４７は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊのいずれにもエアーが流れないときに、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅ（図７参照）および径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅの両方を上記近接状態とする。このとき、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅおよび径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅの各回転は互いに相殺し、径方向送りねじ４１が回転しない停止状態を実現させる。なお、上記エアーの流れは、コンピューター１００（図１４参照）が径方向送り遮断シリンダー４５Ｊおよび径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊに対応する制御電磁弁（図示せず）を開閉させることで発生する。
【0069】
径方向送りインデックス４５、径方向戻りインデックス４６および径方向クラッチ４７は、コンピューター１００（図１４参照）の制御により起動する。すなわち、コンピューター１００は、径方向送りインデックス４５、径方向戻りインデックス４６および径方向クラッチ４７のそれぞれに対応する制御電磁弁（図示せず）を開閉する。この開閉は、径方向リニアガイド４０に付設される第２揺動フレーム３１のスライド移動を生じさせる。
【0070】
＜第２揺動フレームの構成＞
第２揺動フレーム３１は、ピッチ送り部３１Ａと、間隔部３１Ｂと、第２揺動部３１Ｄとを有する。ピッチ送り部３１Ａは、径方向リニアガイド４０にスライド可能に取り付けられる板をなす。間隔部３１Ｂは、ピッチ送り部３１Ａの板面からこの板面の法線方向に延び出す。第２揺動部３１Ｄは、間隔部３１Ｂの延び出しにおける先端部分に取り付けられる。この先端部分には、第２揺動部３１Ｄを間隔部３１Ｂに対して揺動可能にする第２揺動軸中心３１Ｃが設定される。そして、第２揺動部３１Ｄには、加工ユニット３０、基準ユニット３４（図１０参照）およびドライノズル７０が付設されている。
第２揺動フレーム３１は、ピッチ送り部３１Ａと、間隔部３１Ｂと、第２揺動部３１Ｄとを有する。ピッチ送り部３１Ａは、径方向リニアガイド４０にスライド可能に取り付けられる板をなす。間隔部３１Ｂは、ピッチ送り部３１Ａの板面からこの板面の法線方向に延び出す。第２揺動部３１Ｄは、間隔部３１Ｂの延び出しにおける先端部分に取り付けられる。この先端部分には、第２揺動部３１Ｄを間隔部３１Ｂに対して揺動可能にする第２揺動軸中心３１Ｃが設定される。そして、第２揺動部３１Ｄには、加工ユニット３０、基準ユニット３４（図１０参照）およびドライノズル７０が付設されている。
【0071】
＜第２揺動フレームの詳細＞
径方向リニアガイド４０は、図２に示すように、第１揺動フレーム１８Ｄに付設されている。第１揺動フレーム１８Ｄは、第１揺動軸中心１８Ｃを中心に揺動し、第１揺動軸中心１８Ｃは、平行フレーム１８Ａの板面に平行に位置される。基準ユニット３４は、第２揺動部３１Ｄ（図８参照）にスライド可能に取り付けられる。この基準ユニット３４には、被研削材２の表面を転がる２つの倣い玉３５が、図２で見て、第１揺動フレーム１８Ｄが延びる方向に並列して取り付けられる。このため、第１揺動フレーム１８Ｄが被研削材２側に揺動するとき、基準ユニット３４の２つの倣い玉３５は、被研削材２の表面に当たって第１揺動フレーム１８Ｄの押圧に抗する。これにより、基準ユニット３４は、加工ユニット３０が公転６（図５参照）する円の径方向において、被研削材２の表面に対して垂直に立つ。この場合、基準ユニット３４は、第２揺動軸中心３１Ｃ（図８参照）に対して垂直となる。すなわち、基準ユニット３４は、加工ユニット３０が公転６する円の周方向に沿い、かつ平行フレーム１８Ａの板面に対して垂直な方向に延びる。言い換えると、基準ユニット３４は、被研削材２の表面が平行フレーム１８Ａの板面と平行となる部分において、法線方向に立つ。
径方向リニアガイド４０は、図２に示すように、第１揺動フレーム１８Ｄに付設されている。第１揺動フレーム１８Ｄは、第１揺動軸中心１８Ｃを中心に揺動し、第１揺動軸中心１８Ｃは、平行フレーム１８Ａの板面に平行に位置される。基準ユニット３４は、第２揺動部３１Ｄ（図８参照）にスライド可能に取り付けられる。この基準ユニット３４には、被研削材２の表面を転がる２つの倣い玉３５が、図２で見て、第１揺動フレーム１８Ｄが延びる方向に並列して取り付けられる。このため、第１揺動フレーム１８Ｄが被研削材２側に揺動するとき、基準ユニット３４の２つの倣い玉３５は、被研削材２の表面に当たって第１揺動フレーム１８Ｄの押圧に抗する。これにより、基準ユニット３４は、加工ユニット３０が公転６（図５参照）する円の径方向において、被研削材２の表面に対して垂直に立つ。この場合、基準ユニット３４は、第２揺動軸中心３１Ｃ（図８参照）に対して垂直となる。すなわち、基準ユニット３４は、加工ユニット３０が公転６する円の周方向に沿い、かつ平行フレーム１８Ａの板面に対して垂直な方向に延びる。言い換えると、基準ユニット３４は、被研削材２の表面が平行フレーム１８Ａの板面と平行となる部分において、法線方向に立つ。
【0072】
ここで、基準ユニット３４の内側には、図１０に示すように、深さ方向軸部５１Ａが内蔵されている。この深さ方向軸部５１Ａは、被研削材２（図２参照）に対して加工ユニット３０の研削深さを調節する深さ方向リニアガイド５０が有する構成の１つである。この深さ方向リニアガイド５０は、基準ユニット３４が第２揺動部３１Ｄに対してスライドする際に、このスライドをガイドする。
【0073】
＜深さ方向リニアガイドの構成＞
深さ方向リニアガイド５０は、基準ユニット３４を深さ方向において第２揺動部３１Ｄに対してスライドさせる深さ方向送りねじ５１を有する。この深さ方向送りねじ５１には、深さ方向送りねじ５１に対する基準ユニット３４の回動を制限する深さ方向ガイドレール５２が付設されている。この深さ方向ガイドレール５２は、深さ方向送りねじ５１が回動するとき、深さ方向送りねじ５１に対する基準ユニット３４の回動を制限する。この際、深さ方向送りねじ５１は、第２揺動部３１Ｄを被研削材２（図２参照）の表面に押し当てられた基準ユニット３４に対して上記深さ方向にスライドさせる。
深さ方向リニアガイド５０は、基準ユニット３４を深さ方向において第２揺動部３１Ｄに対してスライドさせる深さ方向送りねじ５１を有する。この深さ方向送りねじ５１には、深さ方向送りねじ５１に対する基準ユニット３４の回動を制限する深さ方向ガイドレール５２が付設されている。この深さ方向ガイドレール５２は、深さ方向送りねじ５１が回動するとき、深さ方向送りねじ５１に対する基準ユニット３４の回動を制限する。この際、深さ方向送りねじ５１は、第２揺動部３１Ｄを被研削材２（図２参照）の表面に押し当てられた基準ユニット３４に対して上記深さ方向にスライドさせる。
【0074】
＜深さ方向送りねじの構成＞
深さ方向送りねじ５１は、基準ユニット３４が嵌合される深さ方向軸部５１Ａと、深さ方向軸部５１Ａの軸方向における端に固定される深さ方向プーリー５１Ｂとを有する。また、深さ方向送りねじ５１は、深さ方向軸部５１Ａにおける軸方向の動きが制限されている。この深さ方向軸部５１Ａは、深さ方向プーリー５１Ｂの回動に追従して回動することで、基準ユニット３４を上記深さ方向にスライドさせる。
深さ方向送りねじ５１は、基準ユニット３４が嵌合される深さ方向軸部５１Ａと、深さ方向軸部５１Ａの軸方向における端に固定される深さ方向プーリー５１Ｂとを有する。また、深さ方向送りねじ５１は、深さ方向軸部５１Ａにおける軸方向の動きが制限されている。この深さ方向軸部５１Ａは、深さ方向プーリー５１Ｂの回動に追従して回動することで、基準ユニット３４を上記深さ方向にスライドさせる。
【0075】
＜深さ方向送りねじの詳細＞
ここで、深さ方向軸部５１Ａにおける、ねじピッチ（図示省略）は、基準ユニット３４が精度良くスライドするように、設定されている。
ここで、深さ方向軸部５１Ａにおける、ねじピッチ（図示省略）は、基準ユニット３４が精度良くスライドするように、設定されている。
【0076】
また、深さ方向送りねじ５１には、深さ方向送りねじ５１を収容する中空のハウジング５３と、可変部２２（図２参照）からハウジング５３の内側にエアーを流すハウジング与圧ノズル５４とが取り付けられている。このため、深さ方向送りねじ５１を収容するハウジング５３の内側の気圧は、同じく外側の気圧よりも高くなる。この構成によれば、粉体（図示省略）等の異物が、ハウジング５３の外側から内側に入りにくくなる。
【0077】
＜深さ方向リニアガイドの詳細＞
深さ方向リニアガイド５０は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６、ならびに、深さ方向クラッチ５７を有している。深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６は、ロータリージョイント２０（図２参照）からの給気に対して互いに反対方向に回転する。深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６の一方を深さ方向送りねじ５１から離間させ、他方を深さ方向送りねじ５１に接触させる。これにより、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６が伝達する回転を切り替え、もって基準ユニット３４における送り状態と戻り状態との切り替えを実現させる。
深さ方向リニアガイド５０は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６、ならびに、深さ方向クラッチ５７を有している。深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６は、ロータリージョイント２０（図２参照）からの給気に対して互いに反対方向に回転する。深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６の一方を深さ方向送りねじ５１から離間させ、他方を深さ方向送りねじ５１に接触させる。これにより、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６が伝達する回転を切り替え、もって基準ユニット３４における送り状態と戻り状態との切り替えを実現させる。
【0078】
＜深さ方向送りインデックスおよび深さ方向戻りインデックスの構成＞
深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６は、その回転の方向が反対であることに対応して形状が反転している点を除いて、全く同じ構成を有している。このため、以下においては、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６について、その詳細な説明を深さ方向送りインデックス５５の説明により代表させて行う。そして、深さ方向戻りインデックス５６の各構成については、深さ方向送りインデックス５５の各構成の符号における「５５」を「５６」に置き換えた符号を付して対応させ、その詳細な説明を省略する。
深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６は、その回転の方向が反対であることに対応して形状が反転している点を除いて、全く同じ構成を有している。このため、以下においては、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６について、その詳細な説明を深さ方向送りインデックス５５の説明により代表させて行う。そして、深さ方向戻りインデックス５６の各構成については、深さ方向送りインデックス５５の各構成の符号における「５５」を「５６」に置き換えた符号を付して対応させ、その詳細な説明を省略する。
【0079】
＜深さ方向送りインデックスの構成＞
深さ方向送りインデックス５５は、直円筒をなす深さ方向送りシリンダー５５Ａと、深さ方向送り回転軸５５Ｂと、深さ方向送りピストン５５Ｃと、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅとを備える。深さ方向送りシリンダー５５Ａは、その軸方向の両端でロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受ける。深さ方向送りピストン５５Ｃは、深さ方向送りシリンダー５５Ａの内周面をスライドする。深さ方向送り回転軸５５Ｂは、深さ方向送りピストン５５Ｃにおける軸方向の端面から延び出る。深さ方向送りシリンダー５５Ａにおける筒の内側の両端部分には、被押当部５５Ｄが設けられている。深さ方向送りピストン５５Ｃの両端部分には、その表面上に押当部５５Ｘが設けられている。この押当部５５Ｘは、深さ方向送りピストン５５Ｃのスライドによって被押当部５５Ｄに押し当てられたときに、深さ方向送りピストン５５Ｃを特定の周方向に回転させる。本実施形態においては、押当部５５Ｘは、被押当部５５Ｄに押し当てられたときにこの被押当部５５Ｄと互いにかみ合うかみ合い状態を実現させる。
深さ方向送りインデックス５５は、直円筒をなす深さ方向送りシリンダー５５Ａと、深さ方向送り回転軸５５Ｂと、深さ方向送りピストン５５Ｃと、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅとを備える。深さ方向送りシリンダー５５Ａは、その軸方向の両端でロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受ける。深さ方向送りピストン５５Ｃは、深さ方向送りシリンダー５５Ａの内周面をスライドする。深さ方向送り回転軸５５Ｂは、深さ方向送りピストン５５Ｃにおける軸方向の端面から延び出る。深さ方向送りシリンダー５５Ａにおける筒の内側の両端部分には、被押当部５５Ｄが設けられている。深さ方向送りピストン５５Ｃの両端部分には、その表面上に押当部５５Ｘが設けられている。この押当部５５Ｘは、深さ方向送りピストン５５Ｃのスライドによって被押当部５５Ｄに押し当てられたときに、深さ方向送りピストン５５Ｃを特定の周方向に回転させる。本実施形態においては、押当部５５Ｘは、被押当部５５Ｄに押し当てられたときにこの被押当部５５Ｄと互いにかみ合うかみ合い状態を実現させる。
【0080】
＜深さ方向送りインデックスの詳細＞
深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、深さ方向送りシリンダー５５Ａの外側で深さ方向送り回転軸５５Ｂに固定される。深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、深さ方向に伸縮する深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆを有する。また、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆが自然状態であるとき、深さ方向回転伝達機構５８の深さ方向送りプーリー５５Ｈに、その回転を伝達する。深さ方向送り回転軸５５Ｂは、深さ方向送りインデックス５５にエアーが流れたときに所定の回転角度（本実施形態では例えば９０°）だけ回転する。
深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、深さ方向送りシリンダー５５Ａの外側で深さ方向送り回転軸５５Ｂに固定される。深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、深さ方向に伸縮する深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆを有する。また、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆが自然状態であるとき、深さ方向回転伝達機構５８の深さ方向送りプーリー５５Ｈに、その回転を伝達する。深さ方向送り回転軸５５Ｂは、深さ方向送りインデックス５５にエアーが流れたときに所定の回転角度（本実施形態では例えば９０°）だけ回転する。
【0081】
深さ方向送りピストン５５Ｃおよび深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅは、上記かみ合い状態が実現されるまでの間その回転状態を継続し、かみ合い状態が実現されるとその回転を停止させる。このため、深さ方向プーリー５１Ｂが固定される深さ方向軸部５１Ａは、所定の回転角度のみ回転し、もって基準ユニット３４を深さ方向軸部５１Ａの回転角度に対応する対応距離（すなわち一定値）だけ第２揺動部３１Ｄに対してスライドさせる。本実施形態においては、上記対応距離はＣＦＲＰシートを構成する一層の厚みよりも短い距離に設定される。また、深さ方向送りシリンダー５５Ａの両端には、それぞれ、給気されるエアーの流量を調整する深さ方向送り調整バルブ５５Ｇが取り付けられている。
【0082】
上記スライドは、深さ方向移動距離開閉総回数分（本実施形態では１回分）だけ行われることで、基準ユニット３４を深さ方向に深さ方向移動距離Ｐ１０（図２４参照）だけ移動させる。この移動は、深さ方向移動総回数を下回らない最小の整数回分だけ繰り返し行われる。この繰り返しによって、基準ユニット３４は、この基準ユニット３４が深さ方向に移動されるべき距離に比して微小距離だけ短い距離を、深さ方向に向かって移動する。本明細書においては、上記「基準ユニット３４が深さ方向に移動されるべき距離」のことを「深さ方向移動総距離Ｐ１２」とも称し、上記「微小距離」のことを「深さ方向補正距離Ｐ１１」とも称する（いずれも図２４を参照）。
【0083】
ここで、深さ方向軸部５１Ａは、上記繰り返しによる基準ユニット３４の移動の後、基準ユニット３４を第２揺動部３１Ｄに対して上記対応距離よりも短い所定距離だけ移動させる。この移動は、深さ方向補正開閉総回数（後述）分を１セットとして、所定のセット回数（本実施形態では６セット）だけ繰り返し行われることで、基準ユニット３４を深さ方向に深さ方向補正距離Ｐ１１だけ進行させる。この進行と、上記繰り返しによる基準ユニット３４の移動とにより、基準ユニット３４は深さ方向に深さ方向移動総距離Ｐ１２だけ移動される。
【0084】
ところで、深さ方向リニアガイド５０に給排気する内エアーチューブ２５は、二股エアージョイント２６Ｃを備えるチューブ２５Ｃと、二股エアージョイント２６Ｄを備えるチューブ２５Ｄとからなる。二股エアージョイント２６Ｃは、深さ方向リニアガイド５０において２つずつ存在する深さ方向送り調整バルブ５５Ｇおよび深さ方向戻り調整バルブ５６Ｇのうち、上記片側にある深さ方向送り調整バルブ５５Ｇおよび深さ方向戻り調整バルブ５６Ｇに接続される。二股エアージョイント２６Ｄは、深さ方向リニアガイド５０において２つずつ存在する深さ方向送り調整バルブ５５Ｇおよび深さ方向戻り調整バルブ５６Ｇのうち、上記片側の反対側にある深さ方向送り調整バルブ５５Ｇおよび深さ方向戻り調整バルブ５６Ｇに接続される。この構成によれば、深さ方向リニアガイド５０に給排気する内エアーチューブ２５に割かれる、外周可変ポート２２Ａのポート数を節約することができる。
【0085】
ここで、コンピューター１００（図１４参照）は、その制御電磁弁（後述）により、チューブ２５Ｃにて給気が行われ、チューブ２５Ｄにて排気が行われる順方向状態と、チューブ２５Ｄにて給気が行われ、チューブ２５Ｃにて排気が行われる逆方向状態とを切り替える。これにより、コンピューター１００は、深さ方向送りピストン５５Ｃが、深さ方向送りシリンダー５５Ａにおける軸方向の両端にスライドすることを実現させる。
【0086】
深さ方向回転伝達機構５８は、深さ方向送りプーリー５５Ｈと、深さ方向送り回転ベルト５５Ｉとを備える。深さ方向送りプーリー５５Ｈは、深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆ（図１０参照）が自然状態のときには深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅの回転を受け、深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆが圧縮状態のときには深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅの回転を受けないように構成される。深さ方向送り回転ベルト５５Ｉは、深さ方向送りプーリー５５Ｈと深さ方向プーリー５１Ｂとの間にかけ渡される。
【0087】
また、深さ方向回転伝達機構５８は、深さ方向戻りプーリー５６Ｈと、深さ方向戻り回転ベルト５６Ｉとを備えている。深さ方向戻りプーリー５６Ｈは、深さ方向戻り伸縮バネ５６Ｆが自然状態のときには深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅの回転を受け、深さ方向戻り伸縮バネ５６Ｆが圧縮状態のときには深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅの回転を受けないように構成されている。深さ方向戻り回転ベルト５６Ｉは、深さ方向戻りプーリー５６Ｈと深さ方向プーリー５１Ｂとの間にかけ渡される。
【0088】
＜深さ方向クラッチの構成＞
また、深さ方向回転伝達機構５８には、深さ方向クラッチ５７が付設されている。この深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆおよび深さ方向戻り伸縮バネ５６Ｆのいずれか一方を圧縮状態にし、他方を自然状態にする。これにより、深さ方向クラッチ５７は、該一方に対応するスリーブ（深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅまたは深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅ）からの回転の伝達を遮断し、同じく他方に対応するスリーブからの回転を伝達する。ここで、上記回転の伝達先は、深さ方向送りプーリー５５Ｈまたは深さ方向戻りプーリー５６Ｈである。言い換えると、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りインデックス５５または深さ方向戻りインデックス５６の、いずれか一方を深さ方向送りねじ５１から離間状態にし、他方を深さ方向送りねじ５１に近接状態にして、他方の回転を深さ方向送りねじ５１に伝達し、もって基準ユニット３４の送り状態および基準ユニット３４の戻り状態を切替える。
また、深さ方向回転伝達機構５８には、深さ方向クラッチ５７が付設されている。この深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送り伸縮バネ５５Ｆおよび深さ方向戻り伸縮バネ５６Ｆのいずれか一方を圧縮状態にし、他方を自然状態にする。これにより、深さ方向クラッチ５７は、該一方に対応するスリーブ（深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅまたは深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅ）からの回転の伝達を遮断し、同じく他方に対応するスリーブからの回転を伝達する。ここで、上記回転の伝達先は、深さ方向送りプーリー５５Ｈまたは深さ方向戻りプーリー５６Ｈである。言い換えると、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りインデックス５５または深さ方向戻りインデックス５６の、いずれか一方を深さ方向送りねじ５１から離間状態にし、他方を深さ方向送りねじ５１に近接状態にして、他方の回転を深さ方向送りねじ５１に伝達し、もって基準ユニット３４の送り状態および基準ユニット３４の戻り状態を切替える。
【0089】
ここで、「深さ方向送りねじ５１から離間状態」とは、深さ方向送りインデックス５５または深さ方向戻りインデックス５６が深さ方向回転伝達機構５８から離間していることをいう。また、「深さ方向送りねじ５１に近接状態」とは、深さ方向送りインデックス５５または深さ方向戻りインデックス５６が深さ方向回転伝達機構５８に接触していることをいう。
【0090】
＜深さ方向クラッチの詳細＞
深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊを有している。これら深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊは、それぞれ、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの供給を受けて、対応するスリーブ（深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅまたは深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅ）を伸縮方向に移動させる。これにより、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りプーリー５５Ｈに対する深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅの回転の伝達を遮断したり、深さ方向戻りプーリー５６Ｈに対する深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅの回転の伝達を遮断したりする。なお、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊには、エアーにより所定の一方向に直線運動する直線往復運動機構（本実施形態では、例えば、単動式のエアーシリンダー）が用いられる。この直線往復運動機構には、エアーの流量を調整する深さ方向送り遮断調整バルブ（図示せず）および深さ方向戻り遮断調整バルブ（図示せず）が取り付けられている。
深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊを有している。これら深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊは、それぞれ、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの供給を受けて、対応するスリーブ（深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅまたは深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅ）を伸縮方向に移動させる。これにより、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送りプーリー５５Ｈに対する深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅの回転の伝達を遮断したり、深さ方向戻りプーリー５６Ｈに対する深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅの回転の伝達を遮断したりする。なお、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊには、エアーにより所定の一方向に直線運動する直線往復運動機構（本実施形態では、例えば、単動式のエアーシリンダー）が用いられる。この直線往復運動機構には、エアーの流量を調整する深さ方向送り遮断調整バルブ（図示せず）および深さ方向戻り遮断調整バルブ（図示せず）が取り付けられている。
【0091】
ところで、深さ方向クラッチ５７は、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊのいずれにもエアーが流れないときに、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅおよび深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅの両方を上記近接状態とする。このとき、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅおよび深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅの各回転は互いに相殺し、深さ方向送りねじ５１が回転しない停止状態を実現させる。なお、上記エアーの流れは、コンピューター１００（図１４参照）が深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊおよび深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊに対応する制御電磁弁（図示せず）を開閉させることで発生する。
【0092】
深さ方向送りインデックス５５、深さ方向戻りインデックス５６および深さ方向クラッチ５７は、コンピューター１００の制御により起動する。すなわち、コンピューター１００は、深さ方向送りインデックス５５、深さ方向戻りインデックス５６および深さ方向クラッチ５７のそれぞれに対応する制御電磁弁（図示せず）を開閉する。この開閉は、深さ方向リニアガイド５０に付設される基準ユニット３４のスライド移動（すなわち、加工ユニット３０を固設する第２揺動部３１Ｄに対する基準ユニット３４のスライド移動）を生じさせる。
【0093】
＜加工ユニットの構成＞
加工ユニット３０は、図２に示すように、自転により外周面３３Ｂ（図１０参照）で被研削材２を研削する砥石車３３と、ロータリージョイント２０からの給気を受けて砥石車３３を自転させるエアーモーター３２とを有する。このため、加工ユニット３０は、取付状態において、ロータリージョイント２０からの給気を受けて被研削材２の表面を研削する。
加工ユニット３０は、図２に示すように、自転により外周面３３Ｂ（図１０参照）で被研削材２を研削する砥石車３３と、ロータリージョイント２０からの給気を受けて砥石車３３を自転させるエアーモーター３２とを有する。このため、加工ユニット３０は、取付状態において、ロータリージョイント２０からの給気を受けて被研削材２の表面を研削する。
【0094】
＜加工ユニットの詳細＞
加工ユニット３０は、第２揺動フレーム３１に固定されている。この固定は、取付状態において、砥石車３３の外周面３３Ｂ（図１０参照）が、基準ユニット３４が接する被研削材２の表面に対して垂直となる方向へ傾きα（図１０参照。本実施形態では例えばα＝２°）で傾くように行われる。また、第２揺動フレーム３１は、図３に示すように、第２揺動軸中心３１Ｃにて第１揺動フレーム１８Ｄに揺動可能に取り付けられ、第１揺動フレーム１８Ｄは第１揺動軸中心１８Ｃにて間隔部３１Ｂに揺動可能に取り付けられる。これにより、第１揺動フレーム１８Ｄおよび第２揺動フレーム３１は、径方向（図２参照）を基準とした仰俯角方向（図２、図３および図１０参照）に加工ユニット３０の傾きを調整することができる。そして、砥石車３３の外周面３３Ｂは、押し付け状態において、径方向を基準とした仰俯角方向に傾きαで傾くことが可能となる。これにより、加工ユニット３０が研削した後の加工面３は、上記底面８Ａに対して傾きαとなるすり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）を呈する。
加工ユニット３０は、第２揺動フレーム３１に固定されている。この固定は、取付状態において、砥石車３３の外周面３３Ｂ（図１０参照）が、基準ユニット３４が接する被研削材２の表面に対して垂直となる方向へ傾きα（図１０参照。本実施形態では例えばα＝２°）で傾くように行われる。また、第２揺動フレーム３１は、図３に示すように、第２揺動軸中心３１Ｃにて第１揺動フレーム１８Ｄに揺動可能に取り付けられ、第１揺動フレーム１８Ｄは第１揺動軸中心１８Ｃにて間隔部３１Ｂに揺動可能に取り付けられる。これにより、第１揺動フレーム１８Ｄおよび第２揺動フレーム３１は、径方向（図２参照）を基準とした仰俯角方向（図２、図３および図１０参照）に加工ユニット３０の傾きを調整することができる。そして、砥石車３３の外周面３３Ｂは、押し付け状態において、径方向を基準とした仰俯角方向に傾きαで傾くことが可能となる。これにより、加工ユニット３０が研削した後の加工面３は、上記底面８Ａに対して傾きαとなるすり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）を呈する。
【0095】
【0096】
砥石車３３には、図１２に示すように、被研削材２（図２参照）の表面に対して包囲空間７を形成する囲み６１が付設されている。このため、被研削材２で生ずる粉体（図示省略）は、囲み６１が形成する包囲空間７の外に飛散しにくくなる。
【0097】
＜エアーモーターの構成＞
エアーモーター３２は、図１０に示すように、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受けて、ローター軸３２Ｂおよびローター軸３２Ｂに固定される砥石車３３を、所定の回転方向に自転させるものである。なお、エアーモーター３２には、筐体３２Ａとローター軸３２Ｂとの潤滑を担うオイル（図示省略）が使用されている。また、エアーモーター３２には、上記オイル由来のオイルミストがエアーモーター３２の排気するエアー中に混入することを抑える、オイルフィルター３６（図６参照）が付設されている。
エアーモーター３２は、図１０に示すように、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受けて、ローター軸３２Ｂおよびローター軸３２Ｂに固定される砥石車３３を、所定の回転方向に自転させるものである。なお、エアーモーター３２には、筐体３２Ａとローター軸３２Ｂとの潤滑を担うオイル（図示省略）が使用されている。また、エアーモーター３２には、上記オイル由来のオイルミストがエアーモーター３２の排気するエアー中に混入することを抑える、オイルフィルター３６（図６参照）が付設されている。
【0098】
＜エアーモーターの詳細＞
ここで、エアーモーター３２に流れるエアーは、その単位時間当たりの流量が、コンピューター１００（図１４参照）に付設されるセンサー（図示省略）によって計測される。このセンサーの計測値は、コンピューター１００（図１４参照）において実測流量２５２（図２８参照）として扱われる。この実測流量２５２は、砥石車３３の自転を制御する用に供される。
ここで、エアーモーター３２に流れるエアーは、その単位時間当たりの流量が、コンピューター１００（図１４参照）に付設されるセンサー（図示省略）によって計測される。このセンサーの計測値は、コンピューター１００（図１４参照）において実測流量２５２（図２８参照）として扱われる。この実測流量２５２は、砥石車３３の自転を制御する用に供される。
【0099】
＜砥石車の構成＞
砥石車３３は、図１０に示すように、円板状の部分である円板部３３Ａを有し、その外周面３３Ｂおよび両側の軸面３３Ｃに被研削材２（図２参照）を研削するダイヤモンドの砥粒（図示省略）が設けられた電着ダイヤモンドホイールである。円板部３３Ａは、その中心３３Ｄ（図１１参照）に固定されたローター軸３２Ｂの自転に追従して自転する。この状態は、以下においては、「砥石車３３の自転状態」とも称する。また、円板部３３Ａには、図１１に示すように、その中心３３Ｄから放射状に延びる溝３３Ｘが複数設けられている。この溝３３Ｘは、軸面３３Ｃが被研削材２を研削したことで生じる粉体（図示省略）が通るものであり、本実施形態では、例えば、その深さが砥石車３３の厚みの１／３となるように設定されている。
砥石車３３は、図１０に示すように、円板状の部分である円板部３３Ａを有し、その外周面３３Ｂおよび両側の軸面３３Ｃに被研削材２（図２参照）を研削するダイヤモンドの砥粒（図示省略）が設けられた電着ダイヤモンドホイールである。円板部３３Ａは、その中心３３Ｄ（図１１参照）に固定されたローター軸３２Ｂの自転に追従して自転する。この状態は、以下においては、「砥石車３３の自転状態」とも称する。また、円板部３３Ａには、図１１に示すように、その中心３３Ｄから放射状に延びる溝３３Ｘが複数設けられている。この溝３３Ｘは、軸面３３Ｃが被研削材２を研削したことで生じる粉体（図示省略）が通るものであり、本実施形態では、例えば、その深さが砥石車３３の厚みの１／３となるように設定されている。
【0100】
＜砥石車の詳細＞
ここで、砥石車３３の自転速度は、コンピューター１００（図１４参照）が算定する算定自転速度２４３（図２８参照）になる。すなわち、加工ユニット３０が被研削材２を研削する研削時間は、算定自転速度２４３を含めて考慮される。
ここで、砥石車３３の自転速度は、コンピューター１００（図１４参照）が算定する算定自転速度２４３（図２８参照）になる。すなわち、加工ユニット３０が被研削材２を研削する研削時間は、算定自転速度２４３を含めて考慮される。
【0101】
＜集塵機構の構成＞
集塵機構６０は、図１２に示すように、包囲空間７を形成する囲み６１と、ロータリージョイント２０（図２参照）からの給気を受けて包囲空間７の内側の粉体（図示省略）をエアーとともに吸引する集塵ユニット６２とを有する。ここで、集塵ユニット６２がエアーを吸引する吸引口６３は、囲み６１において上記公転６（図５参照）の進行側とは反対側に設けられる。また、吸引口６３は、被研削材２（図５参照）の表面を向くように構成されている。
集塵機構６０は、図１２に示すように、包囲空間７を形成する囲み６１と、ロータリージョイント２０（図２参照）からの給気を受けて包囲空間７の内側の粉体（図示省略）をエアーとともに吸引する集塵ユニット６２とを有する。ここで、集塵ユニット６２がエアーを吸引する吸引口６３は、囲み６１において上記公転６（図５参照）の進行側とは反対側に設けられる。また、吸引口６３は、被研削材２（図５参照）の表面を向くように構成されている。
【0102】
＜囲みの構成＞
囲み６１は、砥石車３３をくるむ筒型のブラシ６１Ａによって構成されている。このブラシ６１Ａは、砥石車３３を囲んで配設される柄６１Ｃと、この柄６１Ｃから上記片側（図１１で見て下側）に延び出す多数の毛の束である穂６１Ｂとを備える。これにより、被研削材２の研削により生じる粉体（図示省略）の包囲空間７外への飛散が抑えられる。
囲み６１は、砥石車３３をくるむ筒型のブラシ６１Ａによって構成されている。このブラシ６１Ａは、砥石車３３を囲んで配設される柄６１Ｃと、この柄６１Ｃから上記片側（図１１で見て下側）に延び出す多数の毛の束である穂６１Ｂとを備える。これにより、被研削材２の研削により生じる粉体（図示省略）の包囲空間７外への飛散が抑えられる。
【0103】
＜囲みの詳細＞
本実施形態においては、穂６１Ｂは、取付状態において被研削材２の表面に当たることで、この表面上にある粉体（図示省略）等の異物を掃き寄せることが可能とされている。
本実施形態においては、穂６１Ｂは、取付状態において被研削材２の表面に当たることで、この表面上にある粉体（図示省略）等の異物を掃き寄せることが可能とされている。
【0104】
＜集塵ユニットの構成＞
集塵ユニット６２は、図１３に示すように、サイクロンユニット６４と、エジェクター６５と、排気フィルター６６とを有する。エジェクター６５は、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受けて、このエアーをサイクロンユニット６４の内部のエアーと一緒に排気フィルター６６に移送する。サイクロンユニット６４は、エジェクター６５によるエアーの移送を利用して、吸引口６３を介したエアーの吸引と、吸引されたエアーから粉体（図示省略）等の異物を遠心分離させることとを実現させる。排気フィルター６６は、エジェクター６５から移送されるエアーが通ることで、このエアーに含まれる異物をこしとる。この構成によれば、集塵ユニット６２は、その排気フィルター６６に通されるべきエアーに含まれる異物を、予めサイクロンユニット６４で遠心分離する。これにより、集塵ユニット６２は、排気フィルター６６が異物によって目詰まりするおそれを減らすことができる。
集塵ユニット６２は、図１３に示すように、サイクロンユニット６４と、エジェクター６５と、排気フィルター６６とを有する。エジェクター６５は、ロータリージョイント２０（図２参照）からのエアーの流れを受けて、このエアーをサイクロンユニット６４の内部のエアーと一緒に排気フィルター６６に移送する。サイクロンユニット６４は、エジェクター６５によるエアーの移送を利用して、吸引口６３を介したエアーの吸引と、吸引されたエアーから粉体（図示省略）等の異物を遠心分離させることとを実現させる。排気フィルター６６は、エジェクター６５から移送されるエアーが通ることで、このエアーに含まれる異物をこしとる。この構成によれば、集塵ユニット６２は、その排気フィルター６６に通されるべきエアーに含まれる異物を、予めサイクロンユニット６４で遠心分離する。これにより、集塵ユニット６２は、排気フィルター６６が異物によって目詰まりするおそれを減らすことができる。
【0105】
＜ドライノズルの構成＞
ドライノズル７０は、図１２に示すように、包囲空間７と内エアーチューブ２５とを連通し、この内エアーチューブ２５から流れるエアーを砥石車３３にブローして砥石車３３を冷却する。
ドライノズル７０は、図１２に示すように、包囲空間７と内エアーチューブ２５とを連通し、この内エアーチューブ２５から流れるエアーを砥石車３３にブローして砥石車３３を冷却する。
【0106】
＜ドライノズルの詳細＞
ドライノズル７０は、図１１に示すように、砥石車３３における軸面３３Ｃにエアーをブローする２つの軸方向ノズル７１Ａ，７１Ｂと、砥石車３３における外周面３３Ｂにエアーをブローする周方向ノズル７２と、を備える。軸方向ノズル７１Ａは砥石車３３の軸面３３Ｃにおける被研削材２から離れる側（図１１では上側）にエアーをブローする。軸方向ノズル７１Ｂは砥石車３３の軸面３３Ｃにおける被研削材２側（図１１では下側）にエアーをブローする。周方向ノズル７２は、砥石車３３に対して吸引口６３とは反対側から砥石車３３の外周面３３Ｂにエアーをブローする。これにより、砥石車３３は、軸面３３Ｃが受ける軸方向ノズル７１（すなわち２つの軸方向ノズル７１Ａ，７１Ｂ）のエアーと、外周面３３Ｂが受ける周方向ノズル７２のエアーの両方より冷却される。
ドライノズル７０は、図１１に示すように、砥石車３３における軸面３３Ｃにエアーをブローする２つの軸方向ノズル７１Ａ，７１Ｂと、砥石車３３における外周面３３Ｂにエアーをブローする周方向ノズル７２と、を備える。軸方向ノズル７１Ａは砥石車３３の軸面３３Ｃにおける被研削材２から離れる側（図１１では上側）にエアーをブローする。軸方向ノズル７１Ｂは砥石車３３の軸面３３Ｃにおける被研削材２側（図１１では下側）にエアーをブローする。周方向ノズル７２は、砥石車３３に対して吸引口６３とは反対側から砥石車３３の外周面３３Ｂにエアーをブローする。これにより、砥石車３３は、軸面３３Ｃが受ける軸方向ノズル７１（すなわち２つの軸方向ノズル７１Ａ，７１Ｂ）のエアーと、外周面３３Ｂが受ける周方向ノズル７２のエアーの両方より冷却される。
【0107】
＜残圧排気弁の構成＞
残圧排気弁（図示せず）は、研削装置１の使用後に、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の残存エアーを排気するものである。この排気は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０を常圧の状態とし、研削装置１をより安全に管理するために行われる。
残圧排気弁（図示せず）は、研削装置１の使用後に、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の残存エアーを排気するものである。この排気は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０を常圧の状態とし、研削装置１をより安全に管理するために行われる。
【0108】
＜コンピューターの構成＞
コンピューター１００は、図１４に示すように、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０に流れるエアーを制御する第１制御プログラム１１０を実行する。また、コンピューター１００は、加工ユニット３０（図２参照）における、エアーモーター３２（図２参照）に流れる単位時間当たりのエアーの流量を計測する第２制御プログラム２１０を実行する。また、コンピューター１００は、エアーモーター３２に流れる単位時間当たりのエアーの流量に対応して、旋回用サーボモーター１６の駆動速度を制御する第３制御プログラム３１０を実行する。これにより、コンピューター１００は、研削装置１に被研削材２のスカーフサンディング加工を行う機能を実現させる。なお、コンピューター１００には、研削装置１を制御する制御プログラムが入力可能なコンピューター（本実施形態では、例えば、ティーチングペンダント）が用いられる。
コンピューター１００は、図１４に示すように、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０に流れるエアーを制御する第１制御プログラム１１０を実行する。また、コンピューター１００は、加工ユニット３０（図２参照）における、エアーモーター３２（図２参照）に流れる単位時間当たりのエアーの流量を計測する第２制御プログラム２１０を実行する。また、コンピューター１００は、エアーモーター３２に流れる単位時間当たりのエアーの流量に対応して、旋回用サーボモーター１６の駆動速度を制御する第３制御プログラム３１０を実行する。これにより、コンピューター１００は、研削装置１に被研削材２のスカーフサンディング加工を行う機能を実現させる。なお、コンピューター１００には、研削装置１を制御する制御プログラムが入力可能なコンピューター（本実施形態では、例えば、ティーチングペンダント）が用いられる。
【0109】
＜コンピューターの詳細＞
第１制御プログラム１１０、第２制御プログラム２１０および第３制御プログラム３１０は、それぞれ、コンピューター１００が有する記録媒体であるストレージ（図示せず）に、コンピューター読み取り可能に記録されている。このストレージには、複数の制御プログラムを互いに独立して動作させる機能をコンピューター１００に実現させるプログラムであるオペレーティングシステム（図示せず）が、コンピューター読み取り可能に記録されている。このオペレーティングシステムは、コンピューター１００の起動に伴って自動的に実行され、第１制御プログラム１１０、第２制御プログラム２１０および第３制御プログラム３１０を協働させる用に供される。
第１制御プログラム１１０、第２制御プログラム２１０および第３制御プログラム３１０は、それぞれ、コンピューター１００が有する記録媒体であるストレージ（図示せず）に、コンピューター読み取り可能に記録されている。このストレージには、複数の制御プログラムを互いに独立して動作させる機能をコンピューター１００に実現させるプログラムであるオペレーティングシステム（図示せず）が、コンピューター読み取り可能に記録されている。このオペレーティングシステムは、コンピューター１００の起動に伴って自動的に実行され、第１制御プログラム１１０、第２制御プログラム２１０および第３制御プログラム３１０を協働させる用に供される。
【0110】
＜第１制御プログラムの構成＞
第１制御プログラム１１０は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０に供給するエアーを制御する機能を、コンピューター１００に実現させる。具体的には、第１制御プログラム１１０は、コンピューター１００を、第１入力部１２０、第１記憶部１３０、第１算定部１４０、第１制御部１６０および第１送受信部１７０として機能させる。第１入力部１２０は、欠陥部位を除去することで形成される下穴８（図２参照）の深さ１２１（図２参照）、下穴８の外径８Ｄ（図５参照）、後述する第２揺動フレーム３１（図２参照）の径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）、および後述する基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離Ｐ１０（図２４参照）を入力可能なものである。また、第１記憶部１３０は、下穴８の深さ１２１、下穴８の外径８Ｄ、第２揺動フレーム３１の径方向移動距離および基準ユニット３４の深さ方向移動距離を記憶する。また、第１算定部１４０は、径方向リニアガイド４０における第２揺動フレーム３１の径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）、および深さ方向リニアガイド５０における基準ユニット３４の深さ方向移動総回数を算定する。また、第１制御部１６０は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０、および深さ方向リニアガイド５０に対応する、制御電磁弁（図示せず）の開閉を指令する。また、第１送受信部１７０は、旋回用サーボモーター１６における、駆動開始の信号（図示省略）および駆動終了の信号（図示省略）を第３送受信部３７０との間で送受する。また、第１送受信部１７０は、第２揺動フレーム３１の径方向距離を送信するとともに、基準ユニット３４の、深さ方向距離についても第３送受信部３７０に送信する。
第１制御プログラム１１０は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０に供給するエアーを制御する機能を、コンピューター１００に実現させる。具体的には、第１制御プログラム１１０は、コンピューター１００を、第１入力部１２０、第１記憶部１３０、第１算定部１４０、第１制御部１６０および第１送受信部１７０として機能させる。第１入力部１２０は、欠陥部位を除去することで形成される下穴８（図２参照）の深さ１２１（図２参照）、下穴８の外径８Ｄ（図５参照）、後述する第２揺動フレーム３１（図２参照）の径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）、および後述する基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離Ｐ１０（図２４参照）を入力可能なものである。また、第１記憶部１３０は、下穴８の深さ１２１、下穴８の外径８Ｄ、第２揺動フレーム３１の径方向移動距離および基準ユニット３４の深さ方向移動距離を記憶する。また、第１算定部１４０は、径方向リニアガイド４０における第２揺動フレーム３１の径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）、および深さ方向リニアガイド５０における基準ユニット３４の深さ方向移動総回数を算定する。また、第１制御部１６０は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０、および深さ方向リニアガイド５０に対応する、制御電磁弁（図示せず）の開閉を指令する。また、第１送受信部１７０は、旋回用サーボモーター１６における、駆動開始の信号（図示省略）および駆動終了の信号（図示省略）を第３送受信部３７０との間で送受する。また、第１送受信部１７０は、第２揺動フレーム３１の径方向距離を送信するとともに、基準ユニット３４の、深さ方向距離についても第３送受信部３７０に送信する。
【0111】
＜第１入力部の構成＞
第１入力部１２０は、少なくとも下穴８（図２参照）がなす円の外径８Ｄ（図５参照）、下穴８の深さ１２１（図２参照）、後述する基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離を第１記憶部１３０に入力可能なヒューマン・インターフェース・デバイス（本実施形態では、例えばタッチパネル）である。
第１入力部１２０は、少なくとも下穴８（図２参照）がなす円の外径８Ｄ（図５参照）、下穴８の深さ１２１（図２参照）、後述する基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離を第１記憶部１３０に入力可能なヒューマン・インターフェース・デバイス（本実施形態では、例えばタッチパネル）である。
【0112】
＜第１記憶部の構成＞
第１記憶部１３０は、少なくとも第１入力部１２０が入力する外径８Ｄ（図５参照）および深さ１２１（図２参照）を記憶することが可能な記憶媒体（本実施形態では、例えば、メモリおよびＨＤＤ）である。この第１記憶部１３０は、後述する基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離を記憶することが可能なものである。
第１記憶部１３０は、少なくとも第１入力部１２０が入力する外径８Ｄ（図５参照）および深さ１２１（図２参照）を記憶することが可能な記憶媒体（本実施形態では、例えば、メモリおよびＨＤＤ）である。この第１記憶部１３０は、後述する基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離を記憶することが可能なものである。
【0113】
＜第１記憶部の詳細＞
第１記憶部１３０には、予め、傾きα（図１０参照）、径方向補正値および深さ方向補正距離Ｐ１１（本実施形態では、例えば、ＣＦＲＰシートを構成する一層の厚みの１／３）の各データが、それぞれ所定値として記憶されている。また、第１記憶部１３０には、径方向リニアガイド４０における第２揺動フレーム３１（図２参照）の径方向移動距離開閉総回数を算定する式と、同じく径方向移動距離Ｐ２０を算定する式と、同じく予備径方向移動総回数を算定する式と、同じく円環径方向移動総回数を算定する式と、同じく径方向復帰開閉総回数を算定する式とが記憶されている。また、第１記憶部１３０には、深さ方向リニアガイド５０における基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離開閉総回数を算定する式と、同じく非接触深さ方向移動総回数を算定する式と、同じく深さ方向移動総回数を算定する式と、同じく深さ方向補正開閉総回数を算定する式と、が記憶されている。
第１記憶部１３０には、予め、傾きα（図１０参照）、径方向補正値および深さ方向補正距離Ｐ１１（本実施形態では、例えば、ＣＦＲＰシートを構成する一層の厚みの１／３）の各データが、それぞれ所定値として記憶されている。また、第１記憶部１３０には、径方向リニアガイド４０における第２揺動フレーム３１（図２参照）の径方向移動距離開閉総回数を算定する式と、同じく径方向移動距離Ｐ２０を算定する式と、同じく予備径方向移動総回数を算定する式と、同じく円環径方向移動総回数を算定する式と、同じく径方向復帰開閉総回数を算定する式とが記憶されている。また、第１記憶部１３０には、深さ方向リニアガイド５０における基準ユニット３４（図２参照）の深さ方向移動距離開閉総回数を算定する式と、同じく非接触深さ方向移動総回数を算定する式と、同じく深さ方向移動総回数を算定する式と、同じく深さ方向補正開閉総回数を算定する式と、が記憶されている。
【0114】
＜第１算定部の構成＞
第１算定部１４０は、第１記憶部１３０が記憶する各データおよび各式に基づいて、研削装置１の制御に必要となる種々の制御量を算定することが可能な演算装置（本実施形態では、例えばＣＰＵ）である。
第１算定部１４０は、第１記憶部１３０が記憶する各データおよび各式に基づいて、研削装置１の制御に必要となる種々の制御量を算定することが可能な演算装置（本実施形態では、例えばＣＰＵ）である。
【0115】
＜第１制御部の構成＞
第１制御部１６０は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の動作の切り替えを実現させる各種の制御電磁弁（図示せず。本実施形態では、例えば外エアーチューブ２４（図１参照）に付設されたサイレンサ付き電磁弁）の開閉を指令するスイッチング素子である。これら制御電磁弁は、プログラム制御が可能なものであり、第１制御部１６０の指令を受けて、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０を動かす。これにより、第２揺動フレーム３１（図２参照）が径方向移動総距離（図示せず）（本実施形態では、すり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）における縁の半径）まで動くことができる。また、基準ユニット３４（図２参照）が深さ方向移動総距離Ｐ１２（図２４参照）（本実施形態では、押し当て状態における基準ユニット３４（図１５参照）と被研削材２（図１５参照）との接触部から穴底面９Ａ（図２５参照）までの深さ方向で見た距離）まで動くことができる。また、第１制御部１６０は、加工ユニット３０（図２参照）に対応する研削電磁弁（図示せず。本実施形態では、例えば、制御電磁弁と同一のもの）の開閉を指令することも可能とされている。
第１制御部１６０は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の動作の切り替えを実現させる各種の制御電磁弁（図示せず。本実施形態では、例えば外エアーチューブ２４（図１参照）に付設されたサイレンサ付き電磁弁）の開閉を指令するスイッチング素子である。これら制御電磁弁は、プログラム制御が可能なものであり、第１制御部１６０の指令を受けて、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０を動かす。これにより、第２揺動フレーム３１（図２参照）が径方向移動総距離（図示せず）（本実施形態では、すり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）における縁の半径）まで動くことができる。また、基準ユニット３４（図２参照）が深さ方向移動総距離Ｐ１２（図２４参照）（本実施形態では、押し当て状態における基準ユニット３４（図１５参照）と被研削材２（図１５参照）との接触部から穴底面９Ａ（図２５参照）までの深さ方向で見た距離）まで動くことができる。また、第１制御部１６０は、加工ユニット３０（図２参照）に対応する研削電磁弁（図示せず。本実施形態では、例えば、制御電磁弁と同一のもの）の開閉を指令することも可能とされている。
【0116】
＜第１送受信部の構成＞
第１制御部１６０は、旋回用サーボモーター１６における駆動の開始および終了の各信号を、第３制御部３６０との間で送受する。この送受は、第１算定部１４０および第１送受信部１７０、ならびに、第３算定部３４０および第３送受信部３７０を経由して行われる。第１算定部１４０は、第１送受信部１７０を用いて、第２揺動フレーム３１の径方向距離および基準ユニット３４の深さ方向距離を第３送受信部３７０に送信する。第３算定部３４０は、第３送受信部３７０を用いて、第１算定部１４０の送信データを受信し、これを第３制御部３６０に出力する。第３制御部３６０は、第３算定部３４０の出力に従って旋回用サーボモーター１６を制御し、もって加工ユニット３０（図２参照）の公転６（図５参照）を制御する。
第１制御部１６０は、旋回用サーボモーター１６における駆動の開始および終了の各信号を、第３制御部３６０との間で送受する。この送受は、第１算定部１４０および第１送受信部１７０、ならびに、第３算定部３４０および第３送受信部３７０を経由して行われる。第１算定部１４０は、第１送受信部１７０を用いて、第２揺動フレーム３１の径方向距離および基準ユニット３４の深さ方向距離を第３送受信部３７０に送信する。第３算定部３４０は、第３送受信部３７０を用いて、第１算定部１４０の送信データを受信し、これを第３制御部３６０に出力する。第３制御部３６０は、第３算定部３４０の出力に従って旋回用サーボモーター１６を制御し、もって加工ユニット３０（図２参照）の公転６（図５参照）を制御する。
【0117】
ここで、径方向距離とは、上述した押し当て状態における、第２揺動フレーム３１（図１５参照）から回転軸５（図５参照）までの距離（図示せず）のことをいう。この径方向距離は、厳密には、平行フレーム１８Ａ（図１５参照）と第１揺動フレーム１８Ｄ（図１５参照）とがなす角度の関数として与えられる。しかるに、本実施形態における各種の処理では、径方向距離を所定の定数とみなす。また、深さ方向距離とは、上記押し当て状態における基準ユニット３４（図１５参照）と被研削材２（図１５参照）との接触部から砥石車３３（図１５参照）の被研削材２側の端までの深さ方向で見た距離（図示せず）のことをいう。
【0118】
＜第２制御プログラムの構成＞
第２制御プログラム２１０は、加工ユニット３０（図２参照）に供給するエアーの流量から砥石車３３（図２参照）の自転速度を算定する機能を、コンピューター１００に実現させる。具体的には、第２制御プログラム２１０は、コンピューター１００を、第２記憶部２３０、第２算定部２４０、計測部２５０および表示部２８０（図１４参照）として機能させる。
第２制御プログラム２１０は、加工ユニット３０（図２参照）に供給するエアーの流量から砥石車３３（図２参照）の自転速度を算定する機能を、コンピューター１００に実現させる。具体的には、第２制御プログラム２１０は、コンピューター１００を、第２記憶部２３０、第２算定部２４０、計測部２５０および表示部２８０（図１４参照）として機能させる。
【0119】
計測部２５０は、上述した実測流量２５２（図２８参照）をリアルタイムで計測する。また、計測部２５０は、計測した実測流量２５２をリアルタイムで第２算定部２４０および表示部２８０に出力する。
【0120】
第２記憶部２３０には、記憶流量２３２および記憶自転速度２３３（図２７参照）が、それぞれ所与のデータとして記憶されている。ここで、記憶流量２３２は、エアーモーター３２（図２参照）に流れる単位時間当たりのエアーの流量を、この流量の測定時刻と紐づけてなるデータの集合である。また、記憶自転速度２３３は、記憶流量２３２に含まれる各データにつき、その測定時刻と同じ時刻に測定された砥石車３３の自転速度を、上記測定時刻と紐づけてなるデータの集合である。
【0121】
第２算定部２４０は、記憶流量２３２に含まれる各データと、記憶自転速度２３３に含まれる各データとを、その測定時刻によって対応付けられたデータ対とする。また、第２算定部２４０は、各データ対をまとめて解析し、もって記憶流量２３２を記憶自転速度２３３の離散関数とした対応関係である第２の対応関係２３４を導出する。また、第２算定部２４０は、導出した第２の対応関係２３４を第２記憶部２３０に記憶させる。また、第２算定部２４０は、導出された第２の対応関係２３４に計測部２５０が出力する実測流量２５２を代入し、その代入結果を算定自転速度２４３として表示部２８０に出力する。表示部２８０は、計測部２５０が出力する実測流量２５２と、第２算定部２４０が出力する算定自転速度２４３とを、セットにして外部に出力する。
【0122】
＜計測部の構成＞
本実施形態においては、計測部２５０は、計測した実測流量２５２を第２記憶部２３０にも出力するように構成されている。
本実施形態においては、計測部２５０は、計測した実測流量２５２を第２記憶部２３０にも出力するように構成されている。
【0123】
＜第２記憶部の構成＞
第２記憶部２３０（図１４参照）は、記憶されたデータのコンピューター読み取りおよび該データの書き換えが可能な記憶媒体（本実施形態では、例えばメモリおよびＨＤＤ）である。本実施形態においては、第２記憶部２３０は、第２の対応関係２３４をテーブル２３１（図２７参照）の形で記憶する。また、第２記憶部２３０は、計測部２５０（図１４参照）が出力する実測流量２５２（図２８参照）を、算定自転速度２４３とセットにして記憶する。
第２記憶部２３０（図１４参照）は、記憶されたデータのコンピューター読み取りおよび該データの書き換えが可能な記憶媒体（本実施形態では、例えばメモリおよびＨＤＤ）である。本実施形態においては、第２記憶部２３０は、第２の対応関係２３４をテーブル２３１（図２７参照）の形で記憶する。また、第２記憶部２３０は、計測部２５０（図１４参照）が出力する実測流量２５２（図２８参照）を、算定自転速度２４３とセットにして記憶する。
【0124】
＜第２算定部の構成＞
本実施形態においては、第２算定部２４０は、記憶流量２３２に含まれる各データのうち、そのエアーの流量が実測流量２５２に最も近似しているデータを実記憶流量２３２Ａ（図２７参照）として取得する。そして、第２算定部２４０は、取得した実記憶流量２３２Ａをテーブル２３１にあてはめて得られる実記憶自転速度２３３Ａ（図２７参照）を算定自転速度２４３として出力する。
本実施形態においては、第２算定部２４０は、記憶流量２３２に含まれる各データのうち、そのエアーの流量が実測流量２５２に最も近似しているデータを実記憶流量２３２Ａ（図２７参照）として取得する。そして、第２算定部２４０は、取得した実記憶流量２３２Ａをテーブル２３１にあてはめて得られる実記憶自転速度２３３Ａ（図２７参照）を算定自転速度２４３として出力する。
【0125】
＜表示部の構成＞
本実施形態においては、表示部２８０は、図２８に示すように、出力すべきデータ（実測流量２５２および算定自転速度２４３）を視認可能な形でリアルタイム表示するディスプレイである。
本実施形態においては、表示部２８０は、図２８に示すように、出力すべきデータ（実測流量２５２および算定自転速度２４３）を視認可能な形でリアルタイム表示するディスプレイである。
【0126】
＜第３制御プログラムの構成＞
第３制御プログラム３１０は、図１４に示すように、旋回用サーボモーター１６を制御する機能を、コンピューター１００に実現させる。具体的には、第３制御プログラム３１０は、コンピューター１００を、第３入力部３２０、第３記憶部３３０、第３算定部３４０、第３制御部３６０および第３送受信部３７０として機能させる。
第３制御プログラム３１０は、図１４に示すように、旋回用サーボモーター１６を制御する機能を、コンピューター１００に実現させる。具体的には、第３制御プログラム３１０は、コンピューター１００を、第３入力部３２０、第３記憶部３３０、第３算定部３４０、第３制御部３６０および第３送受信部３７０として機能させる。
【0127】
＜第３入力部の構成＞
第３入力部３２０は、加工ユニット３０（図２参照）が公転６（図５参照）する公転角速度を切り替える基準となる砥石車３３（図２参照）の自転速度（以下、「設定自転速度」とも称する。）を入力可能なヒューマン・インターフェース・デバイスである。本実施形態においては、第３入力部３２０は、上記公転角速度を予備公転角速度３３３Ｄ（図２７参照）から「低速度」３３３Ｃ（図２７参照）に切り替える設定自転速度である切替自転速度と、上記公転角速度を「低速度」３３３Ｃから「停止」３３３Ｂ（図２７参照）に切り替える設定自転速度である下限自転速度および上限自転速度とを入力できるように構成されている。
第３入力部３２０は、加工ユニット３０（図２参照）が公転６（図５参照）する公転角速度を切り替える基準となる砥石車３３（図２参照）の自転速度（以下、「設定自転速度」とも称する。）を入力可能なヒューマン・インターフェース・デバイスである。本実施形態においては、第３入力部３２０は、上記公転角速度を予備公転角速度３３３Ｄ（図２７参照）から「低速度」３３３Ｃ（図２７参照）に切り替える設定自転速度である切替自転速度と、上記公転角速度を「低速度」３３３Ｃから「停止」３３３Ｂ（図２７参照）に切り替える設定自転速度である下限自転速度および上限自転速度とを入力できるように構成されている。
【0128】
＜第３記憶部の構成＞
第３記憶部３３０には、実測流量２５２（図２８参照）、記憶流量２３２（図２７参照）および記憶自転速度２３３（図２７参照）、ならびに第２の対応関係２３４（図２７参照）の各データが、コンピューター読み取りおよび書き換えが可能な形で記憶されている。これら各データは、上述した第２記憶部２３０および第２算定部２４０（図１４参照）の説明にて説明したものと同じであるため、ここではその詳細な説明を省略する。
第３記憶部３３０には、実測流量２５２（図２８参照）、記憶流量２３２（図２７参照）および記憶自転速度２３３（図２７参照）、ならびに第２の対応関係２３４（図２７参照）の各データが、コンピューター読み取りおよび書き換えが可能な形で記憶されている。これら各データは、上述した第２記憶部２３０および第２算定部２４０（図１４参照）の説明にて説明したものと同じであるため、ここではその詳細な説明を省略する。
【0129】
＜第３算定部の構成＞
第３算定部３４０は、第２の対応関係２３４（図２７参照）、上述の実測流量２５２（図２８参照）および単位距離から、加工ユニット３０（図２参照）が公転６（図５参照）する公転角速度となる、算定公転角速度を算定する。また、第３算定部３４０は、上述の実測流量２５２（図２７参照）および第２の対応関係２３４から算定自転速度２４３（図２７参照）を算定することができるように構成されている。また、第３算定部３４０は、補正自転速度を、算定自転速度２４３に単位距離を掛け、さらに径方向距離で割ることで算定することができるように構成されている。
第３算定部３４０は、第２の対応関係２３４（図２７参照）、上述の実測流量２５２（図２８参照）および単位距離から、加工ユニット３０（図２参照）が公転６（図５参照）する公転角速度となる、算定公転角速度を算定する。また、第３算定部３４０は、上述の実測流量２５２（図２７参照）および第２の対応関係２３４から算定自転速度２４３（図２７参照）を算定することができるように構成されている。また、第３算定部３４０は、補正自転速度を、算定自転速度２４３に単位距離を掛け、さらに径方向距離で割ることで算定することができるように構成されている。
【0130】
＜第３記憶部の詳細＞
第３算定部３４０（図１４参照）は、加工ユニット３０（図２参照）の公転角速度を、「停止」３３３Ｂ、「低速度」３３３Ｃ、「中速度」（図示省略）および「高速度」（図示省略）の中から選択する。第３算定部３４０は、「停止」３３３Ｂの選択により、旋回用リングギア１４（図２参照）の旋回を停止させる。また、第３算定部３４０は、加工ユニット３０の公転角速度を、「低速度」３３３Ｃ、「中速度」および「高速度」から適宜に選択することで、すり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）の加工精度を確保する。
第３算定部３４０（図１４参照）は、加工ユニット３０（図２参照）の公転角速度を、「停止」３３３Ｂ、「低速度」３３３Ｃ、「中速度」（図示省略）および「高速度」（図示省略）の中から選択する。第３算定部３４０は、「停止」３３３Ｂの選択により、旋回用リングギア１４（図２参照）の旋回を停止させる。また、第３算定部３４０は、加工ユニット３０の公転角速度を、「低速度」３３３Ｃ、「中速度」および「高速度」から適宜に選択することで、すり鉢状の穴８Ｃ（図２５参照）の加工精度を確保する。
【0131】
＜研削装置の使用＞
上述した研削装置１で被研削材２（図１５参照）を研削する場合、ユーザー（図示せず）は以下の流れで被研削材２を研削する。
上述した研削装置１で被研削材２（図１５参照）を研削する場合、ユーザー（図示せず）は以下の流れで被研削材２を研削する。
【0132】
＜第１制御プログラムの制御＞
ユーザー（図示せず）は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の駆動をコンピューター１００に制御させる。この際、ユーザーは、図１６のステップＡ１０を実行する。
ユーザー（図示せず）は、揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の駆動をコンピューター１００に制御させる。この際、ユーザーは、図１６のステップＡ１０を実行する。
【0133】
ステップＡ１０において、ユーザー（図示せず）は、研削装置１および被研削材２についての事前準備を行う。
【0134】
上記事前準備には、被研削材２に直円筒形状の下穴８（図１５参照）を形成する処理が含まれる。上記事前準備には、ユーザーが研削装置１のスイッチを入れて、第１制御プログラム１１０、第２制御プログラム２１０および第３制御プログラム３１０の３つのプログラムを起動させる処理が含まれる。
【0135】
ステップＡ１０の事前準備に対し、コンピューター１００の第１算定部１４０は、図１６のステップＡ２０を実行する。
【0136】
ステップＡ２０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＡ３０に進める。この初期設定には、後述するステップＡ８０に係る繰り返し処理の繰り返し回数を規定する変数（深さ方向移動総回数）を算定する処理が含まれる。
【0137】
ステップＡ３０において、第１算定部１４０は、研削装置１のプリセットの開始命令である加工準備操作の第１入力部１２０への入力をユーザーに求める。そして、第１算定部１４０は、ユーザーによって上記加工準備操作が第１入力部１２０に入力されると、その処理をステップＡ４０に進める。
【0138】
ステップＡ４０において、第１算定部１４０は、図１７に示すサブルーチン１を呼び出し、研削装置１のプリセットを行う。そして、第１算定部１４０は、その処理を図１６のステップＡ５０に進める。ここで、上記プリセットは、砥石車３３（図２参照）を被研削材２の表面に引っ掛かりにくくなる位置に移動させ、もって研削装置１を被研削材２に取り付け易くするために行われる。なお、サブルーチン１における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0139】
ステップＡ５０において、第１算定部１４０は、研削装置１の被研削材２への装着をユーザーに求める。これに対し、ユーザーは、研削装置１を被研削材２に装着し、もって上述した取付状態を実現させる。この際、ユーザーは、加工ユニット３０が公転６する回転軸５の上に下穴８の幾何学的中心（図示せず）を合わせる。また、ユーザーは、上記取付状態を実現させると、その旨を第１入力部１２０に入力する。第１算定部１４０は、上記取付状態が実現された旨の入力が第１入力部１２０にあったときに、その処理をステップＡ６０に進める。
【0140】
ステップＡ６０において、第１算定部１４０は、円環穴９の研削開始命令である円環穴研削の第１入力部１２０への入力をユーザーに求める。これに対し、ユーザーは、上記円環穴研削の入力を、第１入力部１２０に対し、適宜のタイミングで実行する。第１算定部１４０は、ユーザーによって上記円環穴研削が第１入力部１２０に入力されると、その処理をステップＡ７０に進める。
【0141】
ステップＡ７０において、第１算定部１４０は、図２０に示すサブルーチン４を呼び出し、下穴８の周縁８Ｆを加工ユニット３０により研削して円環穴９を形成する。そして、第１算定部１４０は、その処理を図１６のステップＡ８０に進める。なお、サブルーチン４における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0142】
上記円環穴９の形成に際しては、上述した砥石車３３の自転状態が実現される。このとき、砥石車３３の外周面３３Ｂおよび軸面３３Ｃは、これらに接触するものを研削する状態となる。また、基準ユニット３４は、深さ方向（図２参照）において被研削材２側に移動される深さ方向移動を繰り返す。このため、砥石車３３の外周面３３Ｂは、被研削材２の下穴８の周縁８Ｆに設定される加工面３を研削し、これを上記深さ方向に向かって削り広げて穴底面９Ａ（図２５参照）を形成する。ここで、外周面３３Ｂは、上記径方向外方に向かうにつれて研削深さが浅くなるように傾斜している。このため、加工面３において外周面３３Ｂにより研削された部分は、上記径方向外方に向かって深さが浅くなる傾斜面８Ｘ（図２５参照）をなす。本実施形態においては、砥石車３３の自転状態は、後述する原点復帰（ステップＡ１４０）が実行されるタイミングまで継続される。
【0143】
ステップＡ８０において、第１算定部１４０は、後述するステップＡ９０からステップＡ１２０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、上記深さ方向移動回数が上記深さ方向移動総回数に１を足した回数に達する（すなわち上記深さ方向移動回数が上記深さ方向移動総回数を超える）までの間繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、上記深さ方向移動回数が深さ方向移動総回数に１を足した回数に達すると、ステップＡ８０の繰り返し処理を終了させて、その処理をステップＡ１２３に進める。
【0144】
ステップＡ９０において、第１算定部１４０は、図１９に示すサブルーチン３を呼び出し、基準ユニット３４を深さ方向において被研削材２から離れる側に移動させる深さ方向移動を実現させる。そして、第１算定部１４０は、その処理を図１６のステップＡ１００に進める。この際、第１算定部１４０は、ステップＡ２０にて算定された深さ方向移動距離開閉総回数をサブルーチン３に渡すべき引数である開閉総回数とする。なお、サブルーチン３における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0145】
ステップＡ１００において、第１算定部１４０は、図１８に示すサブルーチン２を呼び出し、第２揺動フレーム３１を円環穴９における径方向外方に移動させる径方向送り移動を実現させる。この際、第１算定部１４０は、ステップＡ２０にて算定された径方向移動距離開閉総回数をサブルーチン２に渡すべき引数である開閉総回数とする。そして、第１算定部１４０は、その処理を図１６のステップＡ１１０に進める。
【0146】
上記径方向送り移動に際しては、図２４に示すように、砥石車３３の外周面３３Ｂおよび軸面３３Ｃは、被研削材２の下穴８の周縁８Ｆに設定される加工面３を研削し、これを上記径方向外方に向かって削り広げる。ここで、外周面３３Ｂは、上記径方向外方に向かうにつれて研削深さが浅くなるように傾斜している。このため、加工面３において外周面３３Ｂにより研削された部分は、上記径方向外方に向かって深さが浅くなる傾斜面８Ｘ（図２５参照）をなす。
【0147】
ステップＡ１１０において、第１算定部１４０は、第３制御プログラム３１０の呼び出し処理を実行し、その処理をステップＡ１２０に進める。これに対し、旋回用リングギア１４を３６０°旋回させる旋回処理を実行する。なお、上記旋回処理における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0148】
上記旋回処理によれば、砥石車３３は、被研削材２における下穴８の縁の全周を、砥石車３３の外周面３３Ｂおよび／または軸面３３Ｃが届く範囲において円形に研削する。これにより、直前に実行されたステップＡ１００の径方向送り移動により削り広げられた傾斜面８Ｘは、さらにすり鉢状の穴８Ｃの一部となるように削り広げられる。
【0149】
ステップＡ１２０は、上述したステップＡ８０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記深さ方向移動回数が深さ方向移動総回数に１を足した回数に達する場合はその処理をステップＡ１２３に進め、そうでない場合はその処理をステップＡ９０に進める。
【0150】
上述したステップＡ８０の繰り返し処理によれば、砥石車３３は、その研削深さを浅くしながら研削範囲を上述した径方向外方に移動させる。このため、被研削材２の加工面３は、すり鉢状の穴８Ｃをなすように削り広げられる。
【0151】
ステップＡ１２３において、第１算定部１４０は、エアーモーター３２の回転を停止させるための命令を発し、もって砥石車３３の回転を停止させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＡ１２５に進める。
【0152】
ステップＡ１２５において、第１算定部１４０は、第１揺動フレーム１８Ｄを揺動させるための命令を発し、もって上述した押し当て状態を解除する。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＡ１３０に進める。
【0153】
ステップＡ１３０において、第１算定部１４０は、第２揺動フレーム３１および基準ユニット３４の位置を上述したステップＡ４０の実行前の位置に戻す原点復帰の開始命令をユーザーに求める。これに対し、ユーザーは、上記原点復帰の開始命令を、第１入力部１２０に対し、適宜のタイミングで入力する。第１算定部１４０は、ユーザーによって上記原点復帰の開始命令が第１入力部１２０に入力されると、その処理をステップＡ１４０に進める。
【0154】
ステップＡ１４０において、第１算定部１４０は、図２２に示すサブルーチン６を呼び出し、上記原点復帰を実行する。本実施形態の原点復帰に際しては、砥石車３３は、その自転状態が解除されて停止される。そして、第１算定部１４０は、第１制御プログラム１１０の終了処理を実行する。なお、サブルーチン６における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0155】
上述したサブルーチン１においては、第１算定部１４０は、まず、図１７のステップＢ１０を実行する。
【0156】
ステップＢ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＢ２０に進める。
【0157】
ここで、上記初期設定には、残圧排気弁（図示せず）を閉じた状態で、径方向送りインデックス４５、径方向戻りインデックス４６、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６にエアーを所定時間（本実施形態では例えば１秒）だけ流し続ける処理が含まれる。また、上記初期設定には、カバー４３（図７参照）およびハウジング５３（図１０参照）の内側にエアーを流して、この内側の空間を与圧状態とする処理が含まれる。なお、以下においては、直近において上記各構成に流されたエアーの向きを「順向き」として、この順向きとは反対となるエアーの向きを「逆向き」とする。
【0158】
ステップＢ２０において、第１算定部１４０は、後述するステップＢ３０の処理を繰り返し実行する。この繰り返しは、ステップＢ２０の繰り返し処理においてステップＢ３０の処理が実行された回数である径方向移動回数が、予備径方向移動総回数になるまでの間実行される。この予備径方向移動総回数は、円環穴９の内半径における最大許容寸法（以下、単に「内半径」と称する）を径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）で割った商である。円環穴９の内半径（図２５の内径９Ｃの半分）は、ステップＡ２０にて入力された下穴８の外径８Ｄおよび第１記憶部１３０に記憶された径方向補正値から算定される。ここで、径方向補正値は、下穴８の外径８Ｄにおける最大許容寸法と実寸の差である。なお、第１算定部１４０は、径方向移動回数が予備径方向移動総回数に達したときにステップＢ２０の繰り返し処理を終了させ、その処理をステップＢ４０に進める。
【0159】
ステップＢ３０において、第１算定部１４０は、図１８に示すサブルーチン２を呼び出し、第２揺動フレーム３１を円環穴９における径方向外方に径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）だけ移動させる径方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、ステップＡ２０にて算定された径方向移動距離開閉総回数をサブルーチン２に渡すべき引数である開閉総回数とする。なお、サブルーチン２における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0160】
ステップＢ４０において、第１算定部１４０は、後述するステップＢ５０の処理を繰り返し実行する。この繰り返しは、ステップＢ４０の繰り返し処理においてステップＢ５０の処理が実行された回数である深さ方向移動回数が、ステップＡ２０（図１６参照）にて算定された非接触深さ方向移動総回数になるまでの間実行される。なお、第１算定部１４０は、深さ方向移動回数が非接触深さ方向移動総回数に達すると、ステップＢ４０の繰り返し処理を終了させる。そして、第１算定部１４０は、サブルーチン１からの復帰処理を実行する。この復帰処理に際しては、第１算定部１４０は、現時点における深さ方向移動回数の値を、戻り値として戻す。
【0161】
ステップＢ５０において、第１算定部１４０は、図１９に示すサブルーチン３を呼び出し、基準ユニット３４を深さ方向において被研削材２から離れる側に深さ方向移動距離Ｐ１０（図２４参照）だけ移動させる深さ方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、ステップＡ２０にて算定された深さ方向移動距離開閉総回数をサブルーチン３に渡すべき引数である開閉総回数とする。なお、サブルーチン３における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0162】
上述したサブルーチン２においては、第１算定部１４０は、まず、図１８のステップＣ１０を実行する。
【0163】
ステップＣ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＣ２０に進める。ここで、上記初期設定には、上記開閉総回数を引数として取得する処理が含まれる。
【0164】
ステップＣ２０において、第１算定部１４０は、後述するステップＣ３０からステップＣ６０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、ステップＣ２０の繰り返し処理においてステップＣ３０の処理が実行された回数である開閉回数が、上記開閉総回数になるまでの間繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、開閉回数が上記開閉総回数に達したときにステップＣ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン２からの復帰処理を実行する。
【0165】
ステップＣ３０において、第１算定部１４０は、径方向クラッチ４７における径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊの駆動を開始させる。これにより、第１算定部１４０は、径方向戻りプーリー４６Ｈに対する径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅの回転の伝達を遮断する。この際、径方向送りねじ４１は、径方向送りインデックス４５の回転のみが伝達される状態となる。言い換えると、第１算定部１４０は、径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊにより径方向戻りインデックス４６の回転を遮断する。なお、ステップＣ３０の処理を実行した第１算定部１４０は、その処理をステップＣ４０に進める。
【0166】
ステップＣ４０において、第１算定部１４０は、径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊの駆動を維持したまま、外エアーチューブ２４に付設された制御電磁弁を動作させる。これにより、第１算定部１４０は、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６にエアーを所定時間（本実施形態では例えば１秒）だけ逆向きに流し続ける処理を、ロータリージョイント２０およびこれに接続される各構成に実行させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＣ５０に進める。
【0167】
ステップＣ５０において、第１算定部１４０は、径方向クラッチ４７における径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊの駆動を停止させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＣ６０に進める。
【0168】
ステップＣ５０の処理に際しては、径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅおよび径方向戻り伸縮スリーブ４６Ｅは、その両方が上記近接状態とされる。このため、径方向送りねじ４１においては、上述した停止状態が実現される。すなわち、第１算定部１４０は、径方向戻り遮断シリンダー４６Ｊにより径方向戻りインデックス４６の回転を解放する。
【0169】
ステップＣ６０は、上述したステップＣ２０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記開閉回数が上記開閉総回数に達しない場合はその処理をステップＣ３０に進め、達している場合はステップＣ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン２からの復帰処理を実行する。
【0170】
上述したサブルーチン３においては、第１算定部１４０は、まず、図１９のステップＤ１０を実行する。
【0171】
ステップＤ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＤ２０に進める。ここで、上記初期設定には、上記開閉総回数を引数として取得する処理が含まれる。
【0172】
ステップＤ２０において、第１算定部１４０は、後述するステップＤ３０からステップＤ６０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、ステップＤ２０の繰り返し処理においてステップＤ３０の処理が実行された回数である開閉回数が、上記開閉総回数になるまでの間繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、開閉回数が上記開閉総回数に達したときにステップＣ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン３からの復帰処理を実行する。
【0173】
ステップＤ３０において、第１算定部１４０は、深さ方向クラッチ５７における深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊの駆動を開始させる。これにより、第１算定部１４０は、深さ方向送りプーリー５５Ｈに対する深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅの回転の伝達を遮断する。この際、深さ方向送りねじ５１は、深さ方向戻りインデックス５６の回転のみが伝達される状態となる。言い換えると、第１算定部１４０は、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊにより深さ方向送りインデックス５５の回転を遮断する。なお、ステップＤ３０の処理を実行した第１算定部１４０は、その処理をステップＤ４０に進める。
【0174】
ステップＤ４０において、第１算定部１４０は、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊの駆動を維持したまま、外エアーチューブ２４に付設された制御電磁弁を動作させる。これにより、第１算定部１４０は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６にエアーを所定時間（本実施形態では例えば１秒）だけ逆向きに流し続ける処理を、ロータリージョイント２０およびこれに接続される各構成に実行させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＤ５０に進める。
【0175】
ステップＤ５０において、第１算定部１４０は、深さ方向クラッチ５７における深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊの駆動を停止させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＤ６０に進める。
【0176】
ステップＤ５０の処理に際しては、深さ方向送り伸縮スリーブ５５Ｅおよび深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅは、その両方が上記近接状態とされる。このため、深さ方向送りねじ５１においては、上述した停止状態が実現される。すなわち、第１算定部１４０は、深さ方向送り遮断シリンダー５５Ｊにより深さ方向送りインデックス５５の回転を解放する。
【0177】
ステップＤ６０は、上述したステップＤ２０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記開閉回数が上記開閉総回数に達しない場合はその処理をステップＤ３０に進め、達している場合はステップＤ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン３からの復帰処理を実行する。
【0178】
上述したサブルーチン４においては、第１算定部１４０は、まず、図２０のステップＥ１０を実行する。
【0179】
ステップＥ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＥ２０に進める。
【0180】
ここで、上記初期設定には、第１算定部１４０が第１揺動フレーム１８Ｄを揺動させるための命令を発し、もって上述した押し当て状態を実現させる処理が含まれる。
【0181】
ステップＥ２０において、第１算定部１４０は、第２制御プログラム２１０の呼び出し処理を行い、その処理をステップＥ３０に進める。ここで、第２制御プログラム２１０によって実行される処理については後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0182】
ステップＥ３０において、第１算定部１４０は、後述するステップＥ４０の処理を繰り返し実行する。この繰り返しは、ステップＥ３０の繰り返し処理においてステップＥ４０の処理が実行された回数である深さ方向移動回数が、ステップＡ２０（図１６参照）にて算定された非接触深さ方向移動総回数になるまでの間実行される。なお、第１算定部１４０は、深さ方向移動回数が非接触深さ方向移動総回数に達すると、ステップＥ３０の繰り返し処理を終了させ、その処理をステップＥ５０に進める。
【0183】
ステップＥ４０において、第１算定部１４０は、図２１に示すサブルーチン５を呼び出し、基準ユニット３４を深さ方向において被研削材２側に移動させる深さ方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、ステップＡ２０にて算定された深さ方向移動距離開閉総回数をサブルーチン５に渡すべき引数である開閉総回数とする。なお、サブルーチン５における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0184】
ステップＥ５０において、第１算定部１４０は、後述するステップＥ６０からステップＥ８０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、上記深さ方向移動回数がステップＡ２０で算定された深さ方向移動総回数以上となるまでの間繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、上記深さ方向移動回数が深さ方向移動総回数以上となると、ステップＥ５０の繰り返し処理を終了させ、その処理をステップＥ８５に進める。
【0185】
ステップＥ６０において、第１算定部１４０は、図２１に示すサブルーチン５を呼び出し、基準ユニット３４を深さ方向において被研削材２側に移動させる深さ方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、深さ方向移動距離開閉総回数をサブルーチン５に渡すべき引数である開閉総回数とする。そして、第１算定部１４０は、その処理を図２０のステップＥ７０に進める。なお、サブルーチン５における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0186】
ステップＥ７０において、第１算定部１４０は、第３制御プログラム３１０の呼び出し処理を実行する。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＥ８０に進める。なお、第３制御プログラム３１０における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0187】
ステップＥ８０は、上述したステップＥ５０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記深さ方向移動回数が上記深さ方向移動総回数未満の場合はその処理をステップＥ６０に進め、深さ方向移動総回数以上の場合はステップＥ５０の繰り返し処理を終了させ、その処理をステップＥ８５に進める。
【0188】
ステップＥ８５において、第１算定部１４０は、後述するステップＥ９０からステップＥ１０５に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、所定のセット回数（本実施形態では例えば６回）だけ繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、上記一連の処理を所定のセット回数繰り返すと、ステップＥ８５の繰り返し処理を終了させ、その処理をステップＥ１１０に進める。
【0189】
ステップＥ９０において、第１算定部１４０は、図２１に示すサブルーチン５を呼び出し、基準ユニット３４を深さ方向において被研削材２側に移動させる深さ方向移動を行う。この際、深さ方向補正開閉総回数をサブルーチン５に渡すべき引数の１つである開閉総回数とする。なお、サブルーチン５における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＥ１００に進める。
【0190】
ステップＥ１００において、第１算定部１４０は、第３制御プログラム３１０の呼び出し処理を実行する。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＥ１０５に進める。なお、第３制御プログラム３１０における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0191】
ステップＥ１０５は、上述したステップＥ８５の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記一連の処理の繰り返し回数が上記セット回数に達しない場合はその処理をステップＥ９０に進め、達している場合はステップＥ８５の繰り返し処理を終了させ、その処理をステップＥ１１０に進める。
【0192】
ステップＥ１１０において、第１算定部１４０は、後述するステップＥ１２０からステップＥ１４０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この繰り返しは、ステップＥ１１０の繰り返し処理においてステップＥ１２０の処理が実行された回数である径方向移動回数が、円環径方向移動総回数になるまでの間実行される。この円環径方向移動総回数は、円環穴９における、外半径の最大許容寸法（以下、単に「外半径」と称する。）から内半径を引いた寸法を径方向移動距離Ｐ２０（図２４参照）で割った商である。円環穴９の外半径（図２５の外径９Ｄの半分）は、ステップＡ２０にて入力された下穴８の外径８Ｄおよび第１記憶部１３０に記憶された径方向補正値から算定される。ここで、径方向補正値は、下穴８の外径８Ｄにおける最大許容寸法と実寸の差である。なお、第１算定部１４０は、上記径方向移動回数が円環径方向移動総回数となると、ステップＥ１１０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン４からの復帰処理を実行する。
【0193】
ステップＥ１２０において、第１算定部１４０は、図１８に示すサブルーチン２を呼び出し、第２揺動フレーム３１を円環穴９における径方向外方に径方向補正値だけ移動させる径方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、径方向移動距離開閉総回数をサブルーチン２に渡すべき引数である開閉総回数とする。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＥ１３０に進める。なお、サブルーチン２における具体的な処理は上述しているため、ここではその詳細な説明を省略する。
【0194】
ステップＥ１３０において、第１算定部１４０は、第３制御プログラム３１０の呼び出し処理を実行する。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＥ１４０に進める。なお、第３制御プログラム３１０における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0195】
ステップＥ１４０は、上述したステップＥ１１０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記径方向移動回数が円環径方向移動総回数に達しない場合はその処理をステップＥ１１０に進め、達している場合はステップＥ１１０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン４からの復帰処理を実行する。
【0196】
上述したサブルーチン５においては、第１算定部１４０は、まず、図２１のステップＦ１０を実行する。
【0197】
ステップＦ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＦ２０に進める。ここで、上記初期設定には、上記開閉総回数を引数として取得する処理が含まれる。
【0198】
ステップＦ２０において、第１算定部１４０は、後述するステップＦ３０からステップＦ６０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、ステップＦ２０の繰り返し処理においてステップＦ３０の処理が実行された回数である開閉回数が、上記開閉総回数になるまでの間繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、開閉回数が上記開閉総回数に達したときにステップＦ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン５からの復帰処理を実行する。
【0199】
ステップＦ３０において、第１算定部１４０は、深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊの駆動を開始させる。これにより、第１算定部１４０は、深さ方向送りねじ５１に対する深さ方向戻り伸縮スリーブ５６Ｅの回転の伝達を遮断する。この際、深さ方向送りねじ５１は、深さ方向送りインデックス５５の回転のみが伝達される状態となる。言い換えると、第１算定部１４０は、深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊにより深さ方向戻りインデックス５６の回転を遮断する。なお、ステップＦ３０の処理を実行した第１算定部１４０は、その処理をステップＦ４０に進める。
【0200】
ステップＦ４０において、第１算定部１４０は、深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊの駆動を維持したまま、外エアーチューブ２４に付設された制御電磁弁を動作させる。これにより、第１算定部１４０は、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６にエアーを所定時間（本実施形態では例えば１秒）だけ逆向きに流し続ける処理を、ロータリージョイント２０およびこれに接続される各構成に実行させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＦ５０に進める。
【0201】
ステップＦ５０において、第１算定部１４０は、深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊの駆動を停止させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＦ６０に進める。
【0202】
ステップＦ５０の処理に際しては、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６は、その両方が上記近接状態とされる。このため、深さ方向送りねじ５１においては、上述した停止状態が実現される。すなわち、第１算定部１４０は、深さ方向戻り遮断シリンダー５６Ｊにより深さ方向戻りインデックス５６の回転を解放する。
【0203】
ステップＦ６０は、上述したステップＦ２０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記開閉回数が上記開閉総回数に達しない場合はその処理をステップＦ３０に進め、達している場合はステップＦ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン５からの復帰処理を実行する。
【0204】
上述したサブルーチン６においては、第１算定部１４０は、まず、図２２のステップＧ１０を実行する。
【0205】
ステップＧ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＧ４０に進める。
【0206】
ステップＧ４０において、第１算定部１４０は、図２１に示すサブルーチン５を呼び出し、基準ユニット３４を深さ方向において被研削材２側に移動させる深さ方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、深さ方向補正開閉総回数をサブルーチン５に渡すべき引数である開閉総回数とする。そして、第１算定部１４０は、その処理を図２２のステップＧ５０に進める。なお、サブルーチン５における具体的な処理は上述しているため、ここではその詳細な説明を省略する。
【0207】
ステップＧ５０において、第１算定部１４０は、図２３に示すサブルーチン７を呼び出し、第２揺動フレーム３１を径方向において回転軸５側に移動させる径方向移動を行う。この際、第１算定部１４０は、径方向復帰開閉総回数をサブルーチン７に渡すべき引数である開閉総回数とする。そして、第１算定部１４０は、その処理を図２２のステップＧ６０に進める。なお、サブルーチン７における具体的な処理は後述するものとし、ここではその詳細な説明を省略する。
【0208】
ステップＧ６０において、第１算定部１４０は、揺動シリンダー１９を停止させるための命令を発し、もってこれを停止させる。第１算定部１４０は、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の各構成を停止させるための命令を発し、もってこれら各構成を停止させる。この各構成の中には、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６が含まれる。また、上記各構成の中には、深さ方向送りインデックス５５および深さ方向戻りインデックス５６が含まれる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＧ７０に進める。
【0209】
ステップＧ７０において、第１算定部１４０は、上述した残圧排気弁を開くための命令を発し、もって揺動シリンダー１９、径方向リニアガイド４０および深さ方向リニアガイド５０の残存エアーを排気する。そして、第１算定部１４０は、サブルーチン６からの復帰処理を実行する。
【0210】
上述したサブルーチン７においては、第１算定部１４０は、まず、図２３のステップＨ１０を実行する。
【0211】
ステップＨ１０において、第１算定部１４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＨ２０に進める。ここで、上記初期設定には、上記開閉総回数を引数として取得する処理が含まれる。
【0212】
ステップＨ２０において、第１算定部１４０は、後述するステップＨ３０からステップＨ６０に至る一連の処理を繰り返し実行する。この一連の処理は、ステップＨ２０の繰り返し処理においてステップＨ３０の処理が実行された回数である開閉回数が、上記開閉総回数になるまでの間繰り返し実行される。なお、第１算定部１４０は、開閉回数が上記開閉総回数に達したときにステップＨ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン７からの復帰処理を実行する。
【0213】
ステップＨ３０において、第１算定部１４０は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊの駆動を開始させる。これにより、第１算定部１４０は、径方向送りねじ４１に対する径方向送り伸縮スリーブ４５Ｅの回転の伝達を遮断する。この際、径方向送りねじ４１は、径方向戻りインデックス４６の回転のみが伝達される状態となる。言い換えると、第１算定部１４０は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊにより径方向送りインデックス４５の回転を遮断する。なお、ステップＨ３０の処理を実行した第１算定部１４０は、その処理をステップＨ４０に進める。
【0214】
ステップＨ４０において、第１算定部１４０は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊの駆動を維持したまま、外エアーチューブ２４に付設された制御電磁弁を動作させる。これにより、第１算定部１４０は、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６にエアーを所定時間（本実施形態では例えば１秒）だけ逆向きに流し続ける処理を、ロータリージョイント２０およびこれに接続される各構成に実行させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＨ５０に進める。
【0215】
ステップＨ５０において、第１算定部１４０は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊの駆動を停止させる。そして、第１算定部１４０は、その処理をステップＨ６０に進める。
【0216】
ステップＨ５０の処理に際しては、径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６は、その両方が上記近接状態とされる。このため、径方向送りねじ４１においては、上述した停止状態が実現される。すなわち、第１算定部１４０は、径方向送り遮断シリンダー４５Ｊにより径方向送りインデックス４５の回転を解放する。
【0217】
ステップＨ６０は、上述したステップＨ２０の繰り返し処理における戻り処理である。すなわち、第１算定部１４０は、上記開閉回数が上記開閉総回数に達しない場合はその処理をステップＨ３０に進め、達している場合はステップＨ２０の繰り返し処理を終了させ、サブルーチン７からの復帰処理を実行する。
【0218】
第２制御プログラム２１０によって第２算定部２４０として機能されるコンピューター１００（以下、単に「第２算定部２４０」と称する。）は、まず、図２６のステップＫ１０を実行する。
【0219】
ステップＫ１０において、第２算定部２４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＫ２０に進める。
【0220】
ステップＫ２０において、第２算定部２４０は、エアーモーター３２を回転させるための命令を発し、もって上述した砥石車３３の自転状態を実現させる。そして、第２算定部２４０は、その処理をステップＫ３０に進める。
【0221】
ステップＫ３０において、第２算定部２４０は、コンピューター１００に付設されるセンサー（図示省略）の出力を取得し、もって実測流量２５２を計測する。そして、第２算定部２４０は、その処理をステップＫ４０に進める。
【0222】
ステップＫ４０において、第２算定部２４０は、第２記憶部２３０にアクセスして、この第２記憶部２３０にテーブル２３１（図２７参照）の形で記憶された第２の対応関係２３４を取得する。そして、第２算定部２４０は、その処理をステップＫ５０に進める。
【0223】
ステップＫ５０において、第２算定部２４０は、第２記憶部２３０にアクセスして、この第２記憶部２３０に記憶された、記憶流量２３２および記憶自転速度２３３（図２７参照）のデータ対を検索する。これにより、第２算定部２４０は、記憶流量２３２に含まれる各データのうち、そのエアーの流量が、直近に実行されたステップＫ３０にて計測された実測流量２５２に最も近似しているデータを実記憶流量２３２Ａ（図２７参照）として取得する。そして、第２算定部２４０は、その処理をステップＫ６０に進める。
【0224】
ステップＫ６０において、第２算定部２４０は、直前に実行されたステップＫ５０にて取得した実記憶流量２３２Ａをテーブル２３１にあてはめる。これにより、第２算定部２４０は、実記憶自転速度２３３Ａ（図２７参照）を算定する。そして、第２算定部２４０は、その処理をステップＫ７０に進める。
【0225】
ステップＫ７０において、第２算定部２４０は、直前に実行されたステップＫ５０にて算定された実記憶自転速度２３３Ａを算定自転速度２４３とする。ついで、第２算定部２４０は、直近に実行されたステップＫ３０にて計測された実測流量２５２を算定自転速度２４３と一緒に表示部２８０に出力する。そして、第２算定部２４０は、第２制御プログラム２１０の終了処理を実行する。
【0226】
第３制御プログラム３１０によって第３算定部３４０として機能されるコンピューター１００（以下、単に「第３算定部３４０」と称する。）は、まず、図２９のステップＭ１０を実行する。
【0227】
ステップＭ１０において、第３算定部３４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる初期設定を行い、その処理をステップＭ２０に進める。
【0228】
ステップＭ２０において、第３算定部３４０は、後述する各ステップを実行するために必要となる種々のデータの送信を第１算定部１４０および第２算定部２４０に要請し、これらから上記種々のデータを受信する。この種々のデータには、径方向距離、深さ方向距離および下穴８の深さ１２１が含まれる。また、上記種々のデータには、算定自転速度２４３が含まれる。そして、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ３０に進める。
【0229】
ステップＭ３０において、第３算定部３４０は、第１送受信部１７０により取得した深さ方向距離が、所定のしきい値以下の値であるか否かを判定する。この判定の結果が「はい」である（すなわち深さ方向距離≦しきい値である）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ４０に進める。上記判定の結果が「いいえ」である（すなわち深さ方向距離＞しきい値である）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ５０に進める。
【0230】
ステップＭ４０において、第３算定部３４０は、加工ユニット３０の公転角速度として設定されるべき角速度を格納する変数である予備公転角速度３３３Ｄを「高速度」に設定する。そして、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ６０に進める。
【0231】
ステップＭ５０において、第３算定部３４０は、予備公転角速度３３３Ｄを「中速度」に設定する。そして、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ６０に進める。
【0232】
ステップＭ６０において、第３算定部３４０は、経過時間を測るためのタイマーをセットし、その処理をステップＭ７０に進める。本実施形態においては、上記タイマーは、上述したオペレーティングシステムがコンピューター１００に実現させる機能の１つである。
【0233】
ステップＭ７０において、第３算定部３４０は、径方向距離および算定自転速度２４３から算定される補正自転速度が、第３記憶部３３０に記憶された下限自転速度以上、かつ上限自転速度以下の値であるか否かを判定する。この判定の結果が「はい」である（すなわち下限自転速度≦補正自転速度≦上限自転速度である）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ９０に進める。上記判定の結果が「いいえ」である（すなわち補正自転速度＜下限自転速度、または上限自転速度＜補正自転速度である）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ８０に進める。
【0234】
ステップＭ８０において、第３算定部３４０は、上述した算定公転角速度を「停止」３３３Ｂに設定する。そして、第３算定部３４０は、第３制御プログラム３１０の終了処理を実行する。これに対し、旋回用リングギア１４は、その旋回を停止させ、もって加工ユニット３０の公転角速度をゼロにする。
【0235】
ステップＭ９０において、第３算定部３４０は、直近に実行されたステップＭ６０にて設定されたタイマーが示す経過時間を参照し、このタイマーがセットされてから所定の予備時間（本実施形態では例えば１０秒）が経過したか否かを判定する。この判定の結果が「はい」である（すなわち予備時間が経過している）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１１０に進める。上記判定の結果が「いいえ」である（すなわち予備時間が経過していない）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１００に進める。
【0236】
ステップＭ１００において、第３算定部３４０は、上述した算定公転角速度を「低速度」３３３Ｃに設定する。そして、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ７０に進める。これに対し、旋回用リングギア１４は、その旋回の角速度を上記算定公転角速度に対応させ、もって加工ユニット３０の公転角速度を「低速度」にする。
【0237】
ステップＭ１１０において、第３算定部３４０は、旋回用サーボモーター１６にアクセスする。このアクセスは、旋回用サーボモーター１６が備える検知部による、旋回用リングギア１４のドグの検知結果を取得するために行われる。ついで、第３算定部３４０は、取得したドグの検知結果を解析し、加工ユニット３０の位置についての情報を得る。さらに、第３算定部３４０は、加工ユニット３０の位置による条件判断を行う。この条件判断において、加工ユニット３０の位置が、上述した減速位置に到達していない位置であると判断された場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１２０に進める。また、上記条件判断において、加工ユニット３０の位置が、上記減速位置に到達し、かつ、上述した原点位置に到達していない位置であると判断された場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１００に進める。また、上記条件判断において、加工ユニット３０の位置が、上記原点位置に到達した位置であると判断された場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１４０に進める。
【0238】
ステップＭ１２０において、第３算定部３４０は、直近に実行されたステップＭ７０にて用いた補正自転速度が、第３記憶部３３０に記憶された切替自転速度以上の値であるか否かを判定する。この判定の結果が「はい」である（すなわち補正自転速度≧切替自転速度である）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１３０に進める。上記判定の結果が「いいえ」である（すなわち補正自転速度＜切替自転速度である）場合、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ１００に進める。
【0239】
ステップＭ１３０において、第３算定部３４０は、現時点において設定されている予備公転角速度を算定公転角速度として設定する。そして、第３算定部３４０は、その処理をステップＭ７０に進める。これに対し、旋回用リングギア１４は、その旋回の角速度を上記算定公転角速度に対応させ、もって加工ユニット３０の公転角速度を設定する。
【0240】
ステップＭ１４０において、第３算定部３４０は、第１送受信部１７０に旋回用サーボモーター１６の駆動を終了する旨を送信する。そして、第３算定部３４０は、第３制御プログラム３１０の終了処理を実行する。
【0241】
＜作用・効果＞
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係る加工ユニット３０は、取付状態において、エアーモーター３２により砥石車３３を自転させ、その自転により被研削材２の表面を研削する。ここで、加工ユニット３０は、ロータリージョイント２０からエアーモーター３２にエアーを給排気することで駆動する。これにより、研削装置１は、砥石車３３の回転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置１を提供することができる。
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係る加工ユニット３０は、取付状態において、エアーモーター３２により砥石車３３を自転させ、その自転により被研削材２の表面を研削する。ここで、加工ユニット３０は、ロータリージョイント２０からエアーモーター３２にエアーを給排気することで駆動する。これにより、研削装置１は、砥石車３３の回転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置１を提供することができる。
【0242】
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係る旋回用サーボモーター１６は、加工ユニット３０から離れた位置に位置するとともに、旋回用リングギア１４を動かし、もって固定部２１に対して可変部２２を回転させることとなる。これにより、研削装置は、加工ユニット３０の周囲から火気器具に該当する構成を離間させることができる。
【0243】
また、研削装置１は、ロータリージョイント２０と、加工ユニット３０と、の間で配管・配線のねじれを生じさせずに被研削材２の研削加工を行うことができる。
【0244】
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係る径方向リニアガイド４０は、径方向送りねじ４１を回動させることで、回動が制限された加工ユニット３０を、加工ユニット３０が公転６する円の径方向にスライドさせている。これにより、加工ユニット３０をスライドさせた後の研削による軌跡であるスライド後軌跡は、加工ユニット３０をスライドさせる前の研削による軌跡であるスライド前軌跡の中心である加工中心４に対して同心状に併設させることができる。
【0245】
また、研削装置１に係るカバー与圧ノズル４４が、カバー４３の内側にエアーを供給している。そうすると、カバー４３の内側はカバー４３の外側より気圧が高くなり、加工面３から生じた粉体（図示省略）はカバー４３の内側に入りにくくなる。これにより、カバー４３の内側に収容された径方向送りねじ４１が、粉体にさらされるおそれを低減することができる。
【0246】
ところで、スカーフサンディング加工においては、被研削材２に対して研削の角度を一定にすることが肝要とされている。ここで、研削装置１に係る第１揺動フレーム１８Ｄおよび第２揺動フレーム３１は、加工ユニット３０における上記仰俯角方向の傾きを一定の角度となるように調整することができる。これにより、加工ユニット３０における砥石車３３は、被研削材２を一定の研削角度で研削することができる。
【0247】
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係る径方向送りインデックス４５および径方向戻りインデックス４６は、エアーが流れることで互いに反対方向に回転する。そして、径方向送りインデックス４５または径方向戻りインデックス４６の、いずれか一方は、径方向クラッチ４７により、径方向送りねじ４１から離間状態とされ、他方は、径方向送りねじ４１に近接状態とされる。そうすると、径方向クラッチ４７が働いていないときは、径方向送りインデックス４５の回転および径方向戻りインデックス４６の回転を径方向送りねじ４１が受けることなく、加工ユニット３０の位置が留められることとなる。一方、径方向クラッチ４７が働いているときは、径方向送りインデックス４５の回転または径方向戻りインデックス４６の回転の、いずれか一方を径方向送りねじ４１が受け、加工ユニット３０が、規定のピッチで送られたり、戻されたりすることとなる。これにより、加工ユニット３０を加工面３の研削幅毎に送ったり、戻したりすることができる。
【0248】
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係る集塵機構６０は、被研削材２の表面における粉体（図示省略）を集塵するものである。粉体は、囲み６１によって形成された包囲空間７の内側で生じ、包囲空間７の外側に飛散することが抑えられることとなる。そして、ロータリージョイント２０からのエアーの流れを受ける集塵ユニット６２は、包囲空間７の内側の粉体をエアーとともに吸引することとなる。これにより、粉体を加工ユニット３０の周囲に飛散させることを抑制して、集塵することができる。
【0249】
上述した研削装置１によれば、研削装置１に係るドライノズル７０は、砥石車３３にエアーをブローすることで、砥石車３３を冷却しつつ、ドライ加工を可能としている。さらに、砥石車３３の研削面である外周面３３Ｂの目詰まりが抑制され、研削力の低下を抑えることができる。
【0250】
上述した研削装置１によれば、研削装置１は、エアーモーター３２に流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量２３２および記憶流量２３２に対応する砥石車３３の自転速度となる記憶自転速度２３３について、第２記憶部２３０で記憶している。そして、エアーモーター３２に流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量２５２を計測部２５０で計測し、実測流量２５２および第２の対応関係２３４から、砥石車３３の自転速度となる算定自転速度２４３を第２算定部２４０で算定している。これにより、加工ユニット３０が被研削材２を研削する際に、砥石車３３の算定自転速度２４３を算定することができる。
【0251】
上述した研削装置１によれば、研削装置１は、エアーモーター３２に流れる単位時間当たりのエアーの流量となる記憶流量２３２および記憶流量２３２に対応する加工ユニット３０における公転角速度となる記憶公転角速度３３３について、第３記憶部３３０で記憶している。そして、エアーモーター３２に流れる単位時間当たりのエアーの流量となる実測流量２５２を計測部２５０で計測し、実測流量２５２および第２の対応関係２３４から、加工ユニット３０の公転角速度となる算定公転角速度を第３算定部３４０で算定している。これにより、加工ユニット３０が被研削材２を研削する際に、加工ユニット３０の算定公転角速度を算定することができる。
【0252】
本開示は、上記の構成をもつことにより、砥石車３３の自転を火気器具に該当しない構成により実現させ、もって研削加工を行うことができる研削装置１を提供することができる。
【0253】
＜他の実施形態＞
以上、本発明を実施するための形態について、上述した実施形態によって説明した。しかしながら、当業者であれば、本発明の目的を逸脱することなく種々の代用、手直し、変更が可能であることは明らかである。すなわち、本発明の目的を実施するための形態は、本明細書に添付した請求の範囲の精神および目的を逸脱しない全ての代用、手直し、変更を含みうるものである。例えば、本発明を実施するための形態として、以下のような各種の形態を実施することができる。
以上、本発明を実施するための形態について、上述した実施形態によって説明した。しかしながら、当業者であれば、本発明の目的を逸脱することなく種々の代用、手直し、変更が可能であることは明らかである。すなわち、本発明の目的を実施するための形態は、本明細書に添付した請求の範囲の精神および目的を逸脱しない全ての代用、手直し、変更を含みうるものである。例えば、本発明を実施するための形態として、以下のような各種の形態を実施することができる。
【0254】
上述した研削装置１は、被研削材２の研削にあたり、プリセット、円環穴９の形成、被研削材２側への深さ方向移動の繰り返し、繰り返し処理、原点復帰の各処理をこの順で実行する。ここで、上記繰り返し処理は、被研削材２から離れる側への深さ方向移動、径方向送り移動、旋回処理の各処理をこの順で実行する一連の処理を繰り返すものである。しかるに、本開示に係る研削装置が被研削材を研削する際の処理の流れは、上記のものに限定されない。すなわち、研削装置は、例えば、被研削材の研削に際してプリセット、円環穴の形成、原点復帰の各処理の１つ以上を実行しないものであってもよい。また、被研削材を研削する際に繰り返し処理として繰り返される一連の処理は、その処理内容および処理の実行順を適宜に変更することができる。具体的には、上記一連の処理は、被研削材側への深さ方向移動の繰り返し、旋回処理、被研削材から離れる側への深さ方向移動の繰り返し、径方向送り移動の各処理をこの順で実行するものであっても良い。
【0255】
上述した研削装置１は、径方向軸部４１Ａおよび深さ方向軸部５１Ａの回転１回当たりの回転角度は、それぞれ一定値である。このため、径方向軸部４１Ａの対応距離および深さ方向軸部５１Ａの対応距離も、それぞれ一定値となる。しかしながら、本開示はこれに限定されない。すなわち、回転するものを「無段階」タイプ（例えばエアーモーター）としても良い。
【0256】
本開示に係る研削装置は、上述した研削装置１の説明にて説明された構成以外の追加構成を備えるものであっても良い。このような追加構成には、旋回用リングギアを可変部に固定するスプリングワッシャー付きねじが含まれる。また、上記追加構成には、研削装置の各構成を耐油性の素材からなるものとした構成が含まれる。また、上記追加構成には、ユーザーが「円環穴研削」および「原点復帰の開始命令」を第１入力部に入力するタイミングで点灯する報知ランプが含まれる。また、上記追加構成には、メインフレームに取り付けられて、第１揺動フレームと平行フレームとがなす角度を計測してこれを第１記憶部に記憶させる角度計が含まれる。この角度計を追加構成とした場合、第１算定部は径方向移動距離を精度良く算定することができる。
【0257】
本開示に係る研削装置は、第２揺動部に第２揺動フレームがスライドする方向に延びる回動軸となる第３揺動軸中心を設け、この第３揺動軸中心に補助フレームを揺動可能に取り付けたものであっても良い。この場合において、補助フレームには、基準ユニットおよび加工ユニットを固定しても良い。さらに、基準ユニットには被研削材の表面を転がる倣い玉を３つ三角形状に取り付けても良い。係る場合、基準ユニットが、基準ユニットが公転する円の周方向においても垂直に立つこととなり、研削する深さの不確かさを減少させることができる。
【0258】
本開示に係る研削装置において、第１記憶部は、第１揺動フレームおよび基準ユニットのそれぞれが移動する移動履歴をデータとして保存しても良い。また、上記追加構成には、第１送受信部が、このデータを別のコンピューターに送信しても良い。係る場合、ユーザーがこのデータを被研削材の修理に用いられるパッチの設計に利用することができる。また、上記追加構成には、第１記憶部が、砥石車における、外周面および軸面が摩耗する摩耗データを記憶することが含まれる。また、上記追加構成には、第１制御プログラムが、コンピューターを、砥石車の摩耗をユーザーに報知させる表示部として機能させることが含まれる。係る場合、第１算定部がこの履歴に係るデータがそれぞれの摩耗データ以上であると判定するとき、第１算定部は、砥石車の摩耗を表示部に表示させることができる。
【0259】
本開示に係る研削装置において、第２算定部が実測流量に対応する算定自転速度を算定する手法は、上述した手法に限定されない。すなわち、第２算定部は、実測流量より大きい２つの実記憶流量および実測流量より小さい２つの実記憶流量を記憶流量から選択し、これらの実記憶流量と、これらの実記憶流量と対応関係にある実記憶自転速度から定まる３次のラグランジュ補完式により、実測流量に対応する算定自転速度を算定しても良い。また、第２算定部は、記憶流量および記憶流量と対応関係にある記憶自転速度から最小二乗法により求めたフィッティング関数により、実測流量に対応する算定自転速度を算定しても良い。これらの場合、砥石車の算定自転速度をより精度良く算定することができる。
【0260】
本開示に係る研削装置は、第２記憶部がエアーモーターの駆動時間となる記憶時間および記憶時間に対応する砥石車の自転速度となる記憶自転速度と、の対応関係を記憶し、計測部が計測する単位時間当たりのエアーの流量に同期してエアーモーターの駆動時間を積算する積算部を備えているものであっても良い。係る場合、記憶流量および記憶時間を制御因子とした分散分析または実験計画法により、記憶自転速度に対応する記憶時間の、主効果および記憶流量とともに生ずる交互作用効果を記憶させ、もって駆動時間に対応する算定自転速度を算定することができる。なお、記憶時間を測定するタイマーについては、第２算定部に付設させても良い。
【0261】
本開示に係る研削装置は、第３算定部が、加工ユニットが公転する算定公転角速度として「停止」を設定する際に、異常を知らせる警告灯を点滅させたり、異常を知らせる警報機を鳴らしたりしても良い。係る場合、ユーザーは、エアーモーターに流れるエアーの異常を検知することができる。
【0262】
本開示に係る研削装置は、第３算定部が、タイマーに停止時間（加工ユニットが公転する算定公転角速度として「停止」が設定されている間の時間）を計測させても良い。そして、第３算定部が、この停止時間が旋回用サーボモーターの安定駆動に影響を与える時間より短いか否かを判定しても良い。係る場合、第３算定部が、停止時間が旋回用サーボモーターの安定駆動に影響を与える時間未満と判定するとき、算定公転角速度として「低速度」または予備公転角速度を設定することができる。また、第３算定部が、停止時間が旋回用サーボモーターの安定駆動に影響を与える時間以上と判定するとき、第３制御プログラムを終了することができる。
【符号の説明】
【0263】
１ 研削装置
２ 被研削材
３ 加工面
４ 加工中心
５ 回転軸
６ 公転
７ 包囲空間
８ 下穴
８Ａ 底面
８Ｂ 穴側面
８Ｃ すり鉢状の穴
８Ｄ 外径
８Ｆ 周縁
８Ｘ 傾斜面
９ 円環穴
９Ａ 穴底面
９Ｃ 内径
９Ｄ 外径
９Ｅ 内周
９Ｆ 外周
１０ フレーム
１１ ベースフレーム
１２ 吸着アッセンブリ
１３ 固定フレーム
１４ 旋回用リングギア
１４Ａ 伝達用歯
１４Ｂ スプリングワッシャー付きねじ
１５ 旋回用ベアリング
１６ 旋回用サーボモーター
１７ ローラピニオン
１８ メインフレーム
１８Ａ 平行フレーム
１８Ｂ 間隔フレーム
１８Ｃ 第１揺動軸中心
１８Ｄ 第１揺動フレーム
１８Ｅ 変曲部
１９ 揺動シリンダー
１９Ａ 揺動調整バルブ
２０ ロータリージョイント
２１ 固定部
２１Ａ 外周固定ポート
２１Ｍ 中央固定ポート
２２ 可変部
２２Ａ 外周可変ポート
２２Ｍ 中央可変ポート
２３ 連通路
２３Ａ 隙間
２４ 外エアーチューブ
２５ 内エアーチューブ
２５Ａ チューブ
２５Ｂ チューブ
２５Ｃ チューブ
２５Ｄ チューブ
２６Ａ 二股エアージョイント
２６Ｂ 二股エアージョイント
２６Ｃ 二股エアージョイント
２６Ｄ 二股エアージョイント
３０ 加工ユニット
３１ 第２揺動フレーム
３１Ａ ピッチ送り部
３１Ｂ 間隔部
３１Ｃ 第２揺動軸中心
３１Ｄ 第２揺動部
３２ エアーモーター
３２Ａ 筐体
３２Ｂ ローター軸
３３ 砥石車
３３Ａ 円板部
３３Ｂ 外周面
３３Ｃ 軸面
３３Ｄ 中心
３３Ｘ 溝
３４ 基準ユニット
３５ 倣い玉
３６ オイルフィルター
４０ 径方向リニアガイド
４１ 径方向送りねじ
４１Ａ 径方向軸部
４１Ｂ 径方向プーリー
４２ 径方向ガイドレール
４３ カバー
４４ カバー与圧ノズル
４５ 径方向送りインデックス
４５Ａ 径方向送りシリンダー
４５Ｂ 径方向送り回転軸
４５Ｃ 径方向送りピストン
４５Ｄ 被押当部
４５Ｅ 径方向送り伸縮スリーブ
４５Ｆ 径方向送り伸縮バネ
４５Ｇ 径方向送り調整バルブ
４５Ｈ 径方向送りプーリー
４５Ｉ 径方向送り回転ベルト
４５Ｊ 径方向送り遮断シリンダー
４５Ｘ 押当部
４６ 径方向戻りインデックス
４６Ａ 径方向戻りシリンダー
４６Ｂ 径方向戻り回転軸
４６Ｃ 径方向戻りピストン
４６Ｄ 被押当部
４６Ｅ 径方向戻り伸縮スリーブ
４６Ｆ 径方向戻り伸縮バネ
４６Ｇ 径方向戻り調整バルブ
４６Ｈ 径方向戻りプーリー
４６Ｉ 径方向戻り回転ベルト
４６Ｊ 径方向戻り遮断シリンダー
４６Ｘ 押当部
４７ 径方向クラッチ
４８ 径方向回転伝達機構
５０ 深さ方向リニアガイド
５１ 深さ方向送りねじ
５１Ａ 深さ方向軸部
５１Ｂ 深さ方向プーリー
５２ 深さ方向ガイドレール
５３ ハウジング
５４ ハウジング与圧ノズル
５５ 深さ方向送りインデックス
５５Ａ 深さ方向送りシリンダー
５５Ｂ 深さ方向送り回転軸
５５Ｃ 深さ方向送りピストン
５５Ｄ 被押当部
５５Ｅ 深さ方向送り伸縮スリーブ
５５Ｆ 深さ方向送り伸縮バネ
５５Ｇ 深さ方向送り調整バルブ
５５Ｈ 深さ方向送りプーリー
５５Ｉ 深さ方向送り回転ベルト
５５Ｊ 深さ方向送り遮断シリンダー
５５Ｘ 押当部
５６ 深さ方向戻りインデックス
５６Ａ 深さ方向戻りシリンダー
５６Ｂ 深さ方向戻り回転軸
５６Ｃ 深さ方向戻りピストン
５６Ｄ 被押当部
５６Ｅ 深さ方向戻り伸縮スリーブ
５６Ｆ 深さ方向戻り伸縮バネ
５６Ｇ 深さ方向戻り調整バルブ
５６Ｈ 深さ方向戻りプーリー
５６Ｉ 深さ方向戻り回転ベルト
５６Ｊ 深さ方向戻り遮断シリンダー
５６Ｘ 押当部
５７ 深さ方向クラッチ
５８ 深さ方向回転伝達機構
６０ 集塵機構
６１ 囲み
６１Ａ ブラシ
６１Ｂ 穂
６１Ｃ 柄
６２ 集塵ユニット
６３ 吸引口
６４ サイクロンユニット
６５ エジェクター
６５Ａ 排気口
６６ 排気フィルター
７０ ドライノズル
７１ 軸方向ノズル
７１Ａ 軸方向ノズル
７１Ｂ 軸方向ノズル
７２ 周方向ノズル
８０ 吸着脚
１００ コンピューター
１１０ 第１制御プログラム
１２０ 第１入力部
１２１ 深さ
１３０ 第１記憶部
１４０ 第１算定部
１６０ 第１制御部
１７０ 第１送受信部
２１０ 第２制御プログラム
２３０ 第２記憶部
２３１ テーブル
２３２ 記憶流量
２３２Ａ 実記憶流量
２３３ 記憶自転速度
２３３Ａ 実記憶自転速度
２３３Ｘ 補記憶自転速度
２３４ 第２の対応関係
２４０ 第２算定部
２４３ 算定自転速度
２５０ 計測部
２５２ 実測流量
２８０ 表示部
３１０ 第３制御プログラム
３２０ 第３入力部
３３０ 第３記憶部
３３３ 記憶公転角速度
３３３Ｂ 「停止」
３３３Ｃ 「低速度」
３３３Ｄ 予備公転角速度
３３３Ｘ 補記憶公転角速度
３４０ 第３算定部
３６０ 第３制御部
３７０ 第３送受信部
Ｐ１０ 深さ方向移動距離
Ｐ１１ 深さ方向補正距離
Ｐ１２ 深さ方向移動総距離
Ｐ２０ 径方向移動距離
２ 被研削材
３ 加工面
４ 加工中心
５ 回転軸
６ 公転
７ 包囲空間
８ 下穴
８Ａ 底面
８Ｂ 穴側面
８Ｃ すり鉢状の穴
８Ｄ 外径
８Ｆ 周縁
８Ｘ 傾斜面
９ 円環穴
９Ａ 穴底面
９Ｃ 内径
９Ｄ 外径
９Ｅ 内周
９Ｆ 外周
１０ フレーム
１１ ベースフレーム
１２ 吸着アッセンブリ
１３ 固定フレーム
１４ 旋回用リングギア
１４Ａ 伝達用歯
１４Ｂ スプリングワッシャー付きねじ
１５ 旋回用ベアリング
１６ 旋回用サーボモーター
１７ ローラピニオン
１８ メインフレーム
１８Ａ 平行フレーム
１８Ｂ 間隔フレーム
１８Ｃ 第１揺動軸中心
１８Ｄ 第１揺動フレーム
１８Ｅ 変曲部
１９ 揺動シリンダー
１９Ａ 揺動調整バルブ
２０ ロータリージョイント
２１ 固定部
２１Ａ 外周固定ポート
２１Ｍ 中央固定ポート
２２ 可変部
２２Ａ 外周可変ポート
２２Ｍ 中央可変ポート
２３ 連通路
２３Ａ 隙間
２４ 外エアーチューブ
２５ 内エアーチューブ
２５Ａ チューブ
２５Ｂ チューブ
２５Ｃ チューブ
２５Ｄ チューブ
２６Ａ 二股エアージョイント
２６Ｂ 二股エアージョイント
２６Ｃ 二股エアージョイント
２６Ｄ 二股エアージョイント
３０ 加工ユニット
３１ 第２揺動フレーム
３１Ａ ピッチ送り部
３１Ｂ 間隔部
３１Ｃ 第２揺動軸中心
３１Ｄ 第２揺動部
３２ エアーモーター
３２Ａ 筐体
３２Ｂ ローター軸
３３ 砥石車
３３Ａ 円板部
３３Ｂ 外周面
３３Ｃ 軸面
３３Ｄ 中心
３３Ｘ 溝
３４ 基準ユニット
３５ 倣い玉
３６ オイルフィルター
４０ 径方向リニアガイド
４１ 径方向送りねじ
４１Ａ 径方向軸部
４１Ｂ 径方向プーリー
４２ 径方向ガイドレール
４３ カバー
４４ カバー与圧ノズル
４５ 径方向送りインデックス
４５Ａ 径方向送りシリンダー
４５Ｂ 径方向送り回転軸
４５Ｃ 径方向送りピストン
４５Ｄ 被押当部
４５Ｅ 径方向送り伸縮スリーブ
４５Ｆ 径方向送り伸縮バネ
４５Ｇ 径方向送り調整バルブ
４５Ｈ 径方向送りプーリー
４５Ｉ 径方向送り回転ベルト
４５Ｊ 径方向送り遮断シリンダー
４５Ｘ 押当部
４６ 径方向戻りインデックス
４６Ａ 径方向戻りシリンダー
４６Ｂ 径方向戻り回転軸
４６Ｃ 径方向戻りピストン
４６Ｄ 被押当部
４６Ｅ 径方向戻り伸縮スリーブ
４６Ｆ 径方向戻り伸縮バネ
４６Ｇ 径方向戻り調整バルブ
４６Ｈ 径方向戻りプーリー
４６Ｉ 径方向戻り回転ベルト
４６Ｊ 径方向戻り遮断シリンダー
４６Ｘ 押当部
４７ 径方向クラッチ
４８ 径方向回転伝達機構
５０ 深さ方向リニアガイド
５１ 深さ方向送りねじ
５１Ａ 深さ方向軸部
５１Ｂ 深さ方向プーリー
５２ 深さ方向ガイドレール
５３ ハウジング
５４ ハウジング与圧ノズル
５５ 深さ方向送りインデックス
５５Ａ 深さ方向送りシリンダー
５５Ｂ 深さ方向送り回転軸
５５Ｃ 深さ方向送りピストン
５５Ｄ 被押当部
５５Ｅ 深さ方向送り伸縮スリーブ
５５Ｆ 深さ方向送り伸縮バネ
５５Ｇ 深さ方向送り調整バルブ
５５Ｈ 深さ方向送りプーリー
５５Ｉ 深さ方向送り回転ベルト
５５Ｊ 深さ方向送り遮断シリンダー
５５Ｘ 押当部
５６ 深さ方向戻りインデックス
５６Ａ 深さ方向戻りシリンダー
５６Ｂ 深さ方向戻り回転軸
５６Ｃ 深さ方向戻りピストン
５６Ｄ 被押当部
５６Ｅ 深さ方向戻り伸縮スリーブ
５６Ｆ 深さ方向戻り伸縮バネ
５６Ｇ 深さ方向戻り調整バルブ
５６Ｈ 深さ方向戻りプーリー
５６Ｉ 深さ方向戻り回転ベルト
５６Ｊ 深さ方向戻り遮断シリンダー
５６Ｘ 押当部
５７ 深さ方向クラッチ
５８ 深さ方向回転伝達機構
６０ 集塵機構
６１ 囲み
６１Ａ ブラシ
６１Ｂ 穂
６１Ｃ 柄
６２ 集塵ユニット
６３ 吸引口
６４ サイクロンユニット
６５ エジェクター
６５Ａ 排気口
６６ 排気フィルター
７０ ドライノズル
７１ 軸方向ノズル
７１Ａ 軸方向ノズル
７１Ｂ 軸方向ノズル
７２ 周方向ノズル
８０ 吸着脚
１００ コンピューター
１１０ 第１制御プログラム
１２０ 第１入力部
１２１ 深さ
１３０ 第１記憶部
１４０ 第１算定部
１６０ 第１制御部
１７０ 第１送受信部
２１０ 第２制御プログラム
２３０ 第２記憶部
２３１ テーブル
２３２ 記憶流量
２３２Ａ 実記憶流量
２３３ 記憶自転速度
２３３Ａ 実記憶自転速度
２３３Ｘ 補記憶自転速度
２３４ 第２の対応関係
２４０ 第２算定部
２４３ 算定自転速度
２５０ 計測部
２５２ 実測流量
２８０ 表示部
３１０ 第３制御プログラム
３２０ 第３入力部
３３０ 第３記憶部
３３３ 記憶公転角速度
３３３Ｂ 「停止」
３３３Ｃ 「低速度」
３３３Ｄ 予備公転角速度
３３３Ｘ 補記憶公転角速度
３４０ 第３算定部
３６０ 第３制御部
３７０ 第３送受信部
Ｐ１０ 深さ方向移動距離
Ｐ１１ 深さ方向補正距離
Ｐ１２ 深さ方向移動総距離
Ｐ２０ 径方向移動距離
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】