特開 2023-115737 レンズ成型物の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023115737

(43)【公開日】2023-08-21

(54)【発明の名称】レンズ成型物の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 45/42 20060101AFI20230814BHJP

   B29C 33/44 20060101ALI20230814BHJP

   B29C 39/36 20060101ALI20230814BHJP

   B29C 39/24 20060101ALI20230814BHJP

【ＦＩ】

B29C45/42

B29C33/44

B29C39/36

B29C39/24

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022018126

(22)【出願日】2022-02-08

(71)【出願人】

【識別番号】000002901

【氏名又は名称】株式会社ダイセル

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】竹中 啓起

(72)【発明者】

【氏名】本間 大海

【テーマコード（参考）】

4F202

4F204

【Ｆターム（参考）】

4F202AH74

4F202AM02

4F202AM32

4F202AP19

4F202CA09

4F202CA30

4F202CB01

4F202CM14

4F202CM90

4F204AH74

4F204AM32

4F204EA03

4F204EB01

4F204EF27

4F204EK25

(57)【要約】

【課題】レンズ成型物を成型する場合に、レンズ成型物が上型と下型の何れに残った場合にも、同じ姿勢でレンズ成型物を次工程に提供可能な技術を提供する。
【解決手段】レンズ成型物の製造方法であって、レンズ成型物の成型後に、成型されたレンズ成型物が上型に残っている第一状態か、下型に残っている第二状態かを判定する状態判定工程と、状態判定工程における判定結果に応じて、上型または下型に残るレンズ成型物の露出面を、成型物移動装置のアームの先端に設けられた吸着装置で吸着する吸着工程と、状態判定工程における判定結果が、第一状態または第二状態のいずれか一方の場合に、吸着装置で吸着した面を露出面と反対側の面に変更する、吸着面変更工程と、吸着装置で吸着したレンズ成型物をトレイに載置する載置工程と、を有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上型と下型を有する成型型による、レンズ成型物の製造方法であって、
前記レンズ成型物の成型後に、前記上型と前記下型とが離間した状態で、成型された前記レンズ成型物が前記上型に残っている第一状態か、前記下型に残っている第二状態かを判定する状態判定工程と、
前記状態判定工程における判定結果に応じて、前記上型または前記下型に残る前記レンズ成型物の露出面を、成型物移動装置のアームの先端に設けられた吸着装置で吸着する吸着工程と、
前記状態判定工程における判定結果が、前記第一状態または前記第二状態のいずれか一方の場合に、前記吸着装置で吸着した面を前記露出面と反対側の面に変更する、吸着面変更工程と、
前記吸着装置で吸着した前記レンズ成型物に対し、前記吸着装置による吸着を解除することで、トレイに載置する載置工程と、
を有する、レンズ成型物の製造方法。

【請求項2】

前記吸着面変更工程においては、前記吸着装置で吸着した前記レンズ成型物に対し、前記吸着装置による吸着を解除することで、前記レンズ成型物を仮置きトレイに一旦載置し、
前記吸着装置が、前記露出面と反対側の面を再吸着する、請求項１に記載のレンズ成型物の製造方法。

【請求項3】

前記状態判定工程において、前記第一状態と判定された場合にのみ、前記吸着面変更工程が実施される、請求項２に記載のレンズ成型物の製造方法。

【請求項4】

前記吸着装置の上側と下側の両側に、前記レンズ成型物の表面を吸着する吸着部を備え、
前記吸着工程において、
前記状態判定工程の判定結果が前記第一状態の場合には、前記吸着装置の上側に備えられた吸着部で前記レンズ成型物の前記露出面を吸着し、前記第二状態の場合には、前記吸着装置の下側に備えられた吸着部で前記レンズ成型物の前記露出面を吸着する、請求項３に記載のレンズ成型物の製造方法。

【請求項5】

前記吸着面変更工程において、
前記吸着装置の上側に備えられた前記吸着部で前記レンズ成型物の前記露出面を吸着した状態で、前記レンズ成型物を前記仮置きトレイに下側から一旦載置し、
前記吸着装置が、前記吸着装置の下側に備えられた吸着部で、前記露出面と反対側の面を上側から再吸着する、請求項４に記載のレンズ成型物の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、レンズ成型物の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、携帯電話、モバイルコンピュータ、パーソナル携帯情報端末、デジタルスチルカメラ等に代表される電子機器に関して、小型化、軽量化及び高性能化が飛躍的に進んでいる。これらの市場動向に伴い、電子機器に搭載されるカメラのレンズに対しても、小型化、薄肉化、及び軽量化が要求され、ウェハーレベルレンズが使用されるようになっている。

【0003】

このウェハーレベルレンズの製造方法として、例えば、液体の熱硬化性樹脂をロードセルが取付けられた下金型へ供給する第１の工程と、第１の工程後に上金型を降下させて、上金型と下金型の隙間を規定値にしておき、ヒータを用いて上金型および下金型を加熱する第２の工程と、第２の工程後に下金型の膨張および熱硬化性樹脂のゲル化に伴い発生する下金型が受ける圧縮方向の荷重をロードセルにより測定する第３の工程と、第３の工程後に前記圧縮方向の荷重が所定値に達した時に上金型を更に降下することによって隙間を狭める第４の工程と、を有することを特徴とするインプリント方法等が公知になっている（特許文献１を参照）。

【0004】

上記のように成型工程によってウェハーレベルレンズを製造する場合には、成型が終わり上型と下型を離間させた後、ウェハーレベルレンズを吸着装置で吸着し、成型型から取り出す必要がある。そして、取り出したウェハーレベルレンズをロボットアーム等の移動装置にて運搬し、次工程に供給するためのトレイに載置することが多い。しかしながら、成型が終わり上型と下型を離間させた際に、成型品が上型に残る場合と下型に残る場合があり、これらの場合によって、吸着装置で吸着するウェハーレベルレンズの面が異なり、トレイ上に載置される際の上下が逆になってしまう場合があった。その結果、ウェハーレベルレンズの上下を揃える工程が増加したり、次工程以降における誤作業の原因になる場合があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第５７２４１５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本開示の技術は上記の事情に鑑みて発明されたもので、その目的は、上型と下型を用いてレンズ成型物を成型する場合に、レンズ成型物が上型と下型の何れの方に残った場合にも、同じ姿勢でレンズ成型物を次工程に提供することが可能な技術を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決するために、本開示に係るレンズ成型物の製造方法は、上型と下型を有する成型型による、レンズ成型物の製造方法であって、
前記レンズ成型物の成型後に、前記上型と前記下型とが離間した状態で、成型された前記レンズ成型物が前記上型に残っている第一状態か、前記下型に残っている第二状態かを判定する状態判定工程と、
前記状態判定工程における判定結果に応じて、前記上型または前記下型に残る前記レン
ズ成型物の露出面を、成型物移動装置のアームの先端に設けられた吸着装置で吸着する吸着工程と、
前記状態判定工程における判定結果が、前記第一状態または前記第二状態のいずれか一方の場合に、前記吸着装置で吸着した面を前記露出面と反対側の面に変更する、吸着面変更工程と、
前記吸着装置で吸着した前記レンズ成型物に対し、前記吸着装置による吸着を解除することで、トレイに載置する載置工程と、
を有する。

【0008】

ここで、成型されたレンズ成型物が成型型の上型に残っている第一状態か、下型に残っている第二状態かによって、吸着装置で吸着する露出面が変わり、そのまま、吸着したレンズ成型物をトレイに載置した場合には、第一状態の場合と第二状態の場合で、トレイに載置されるレンズ成型物の姿勢が異なることとなる。これに対し、本開示においては、第一状態と第二状態のいずれか一方の場合に、吸着装置で吸着したレンズ成型品の面を、トレイまで移動させる途中で変更するので、第一状態の場合と第二状態の場合で、吸着装置で吸着するレンズ成型物の面を揃えることができる。これにより、トレイに載置されるレンズ成型物の姿勢を揃えることができ、製造工程におけるミスの発生を防止することが可能である。

【0009】

また、前記吸着面変更工程においては、前記吸着装置で吸着した前記レンズ成型物に対し、前記吸着装置による吸着を解除することで、前記レンズ成型物を仮置きトレイに一旦載置し、
前記吸着装置が、前記露出面と反対側の面を再吸着してもよい。これによれば、より確実に、吸着装置で吸着したレンズ成型品の面を、トレイまで移動させる途中で変更することが可能である。

【0010】

また、前記状態判定工程において、前記第一状態と判定された場合にのみ、前記吸着面変更工程が実施されてもよい。ここで、第二状態の場合には、下型に残ったレンズ成型物の露出面を、吸着装置で上側から吸着することになるので、成型物移動装置は、この姿勢を維持したまま、トレイまでレンズ成型物を移動して載置することが可能である。一方、第一状態の場合は、吸着装置は下側からレンズ成型物の露出面を吸着するので、トレイまでレンズ成型物を移動して載置する途中で、レンズ成型物の姿勢を上下反転させる必要がある。従って、第一状態の場合にのみ、吸着面変更工程を実施することで、レンズ成型に係る工程全体の効率化を図ることが可能となる。

【0011】

また、前記吸着装置の上側と下側の両側に、前記レンズ成型物の表面を吸着する吸着部を備え、
前記吸着工程において、
前記状態判定工程の判定結果が前記第一状態の場合には、前記吸着装置の上側に備えられた吸着部で前記レンズ成型物の前記露出面を吸着し、前記第二状態の場合には、前記吸着装置の下側に備えられた吸着部で前記レンズ成型物の前記露出面を吸着してもよい。このように、吸着装置の上下両側に設けられた吸着部でレンズ整形物の露出面を吸着することで、吸着工程や吸着面変更工程において、吸着装置の上下を反転させる必要がなくなる。よって、レンズ成型に係る工程全体の効率化を図ることが可能となる。

【0012】

また、前記吸着面変更工程において、
前記吸着装置の上側に備えられた前記吸着部で前記レンズ成型物の前記露出面を吸着した状態で、前記レンズ成型物を前記仮置きトレイに下側から一旦載置し、
前記吸着装置が、前記吸着装置の下側に備えられた吸着部で、前記露出面と反対側の面を上側から再吸着してもよい。これによれば、吸着装置の上側と下側の両側に備えられた
吸着部を用いて、吸着面変更工程において、吸着装置の上下を反転させずに、より確実に吸着装置で吸着した面を露出面と反対側の面に変更することができる。よって、レンズ成型に係る工程全体のさらなる効率化を図ることが可能となる。

【0013】

なお、本発明においては、可能な限り、上記の課題を解決するための手段を組み合わせて使用することができる。

【発明の効果】

【0014】

本開示によれば、上型と下型を用いてレンズ成型物を成型する場合に、レンズ成型物が上型と下型の何れの方に残った場合にも、同じ姿勢でレンズ成型物を次工程に提供することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、実施形態の製造方法に係るレンズ製造装置の概略図である。

【図2】図２は、反転トレイを用いたウェハーの反転動作について説明する第一の図である。

【図3】図３は、反転トレイを用いたウェハーの反転動作について説明する第二の図である。

【図4】図４は、反転トレイを用いたウェハーの反転動作について説明する第三の図である。

【図5】図５は、反転トレイの異なる形状を有する例について説明する図である。

【図6】図６は、反転トレイのさらに異なる形状を有する例について説明する図である。

【図7】図７は、従来の製造方法に係るレンズ製造装置の概略図である。

【図8】図８は、吸着装置の詳細について示す図である。

【図9】図９は、成型後のウェハーが上型に残った場合の、ピックアップロボットの従来の動作を示す図である。

【図10】図１０は、成型後のウェハーが下型に残った場合の、ピックアップロボットの従来の動作を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

〔実施形態〕
以下に、図面を参照して本開示の実施形態に係るレンズ成型物の製造方法について説明する。なお、実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は、一例であって、本開示の主旨から逸脱しない範囲内で、適宜、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。本開示は、実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。

【0017】

図７には、本実施形態における製造方法を適用する以前の、従前のレンズ製造装置１０１の概略図を示す。レンズ製造装置１０１では、複数のレンズを含む成型物、例えば複数の微細レンズ構造物を含むウェハーレベルレンズ（以下、単にウェハーＷともいう）を製造する。レンズ製造装置１０１には、ウェハーＷを成型する成型機２が備えられる。この成型機２の内部には、ウェハーＷを成型するための成型型３を有する。

【0018】

また、レンズ製造装置１０１には、成型機２で成型されたウェハーＷを、成型型３から取り出すピックアップロボット４を有する。ピックアップロボット４にはアーム４ａが備えられており、成型型３に成型後に残っているウェハーＷをアーム４ａの先端に設けられた吸着装置６で吸着して取り出し、次工程にウェハーＷを供給するためのトレイ５の上に並べて載置する。

【0019】

次に、図８を用いて、吸着装置６の詳細について説明する。図８（ａ）は、吸着装置６がウェハーＷを吸着して取り出す際の状態の一例を示す図である。また、図８（ｂ）には吸着装置６の平面図を示す。図８（ａ）に示すように、吸着装置６は、ピックアップロボット４のアーム４ａの先端部４ｂに結合されている。吸着装置６は、板状のベース６ｃを有する。ベース６ｃの先端側の上下には、ウェハーＷに吸着可能な吸着部６ａと６ｂが各４本ずつ設けられている。各４本の吸着部６ａ、６ｂは、ウェハーＷを安定して保持可能なように、縦横２本×２本が、長方形の四隅に位置するような形で配置されている。

【0020】

この吸着部６ａ、６ｂは管状の部分であり、その先端はゴム等の可撓性の素材からなるとともに吸盤状の形状を有している。この吸着部６ａ、６ｂは、ベース６ｃの内部または表面に配置された吸気管（不図示）を介して、ピックアップロボット４の外部に配置され真空装置（不図示）と連通され、真空装置によって吸気動作を行うことにより、ウェハーＷの表面に密着することが可能になっている。なお、通常、吸着部６ａ、６ｂは、ウェハーＷにおけるレンズ面以外の平面に吸着するような位置に配置されている。

【0021】

なお、図８（ａ）に示すように、本実施形態における成型型３は、上型３ａと下型３ｂを有する。そして、上型３ａと下型３ｂとが結合した状態でウェハーＷが成型された後、下型３ｂに対して上型３ａが離間する。その際、ウェハーＷが下型３ｂに残る場合と上型３ａに残る場合とがあり、この両方の場合に、吸着装置６は、ウェハーＷに吸着して上型３ａまたは下型３ｂから取り出す必要がある。吸着装置６におけるベース６ｃの先端には、上下方向に張り出し、ウェハーＷが上型３ａ、下型３ｂのいずれに残っているかを検出する物検センサ６ｄが備えられている。この物検センサ６ｄは、光学的にウェハーＷを検出するセンサであってもよいし、静電容量など、別の原理によってウェハーＷを検出するセンサであってもよい。

【0022】

次に、図９及び図１０を用いて、成型後のウェハーＷが上型３ａに残った場合と、ウェハーＷが下型３ｂに残った場合の、ピックアップロボット４の動作の相違について説明する。図９及び図１０においては、ウェハーＷにおける第一面（例えばレンズが形成された面としてもよい。）と、第一面の反対型の第二面が識別可能なように、ウェハーＷを２層で描いている。

【0023】

以下、ウェハーＷにおいて色の濃い側を第一面として説明する。図９には、ウェハーＷが下型３ｂに残った場合について記載されている。この場合、吸着装置６は、図９（ａ）に示すように、上型３ａと下型３ｂの間に配置された状態から下方に移動し、吸着部６ｂがウェハーＷの第一面側に吸着する。この工程は本開示における吸着工程に相当する。また、この場合のウェハーＷの第一面は、本開示における露出面に相当する。

【0024】

そして、アーム４ａの移動により、図９（ｂ）に示すように、ウェハーＷは、トレイ５の上部まで運搬される。このトレイ５は、次工程にウェハーＷを提供するために一時的にウェハーＷが載置される場所である。そして、吸着装置６は、トレイ５の上部から下降してウェハーＷをトレイ５の上面に載置するとともに吸着を解除する。この場合には、ウェハーＷの第一面が上側となった状態で、ウェハーＷがトレイ上に載置される。

【0025】

次に、図１０は、ウェハーＷが上型３ａに残った場合について示す。この場合には、図１０（ａ）に示すように、ウェハーＷを取り出す際に、吸着装置６は、上型３ａと下型３ｂの間に配置された状態から上側に移動し、吸着部６ａがウェハーＷの第二面に吸着する。この工程も、本開示における吸着工程に相当する。また、この場合のウェハーＷの第二面は、本開示における露出面に相当する。そして、アーム４ａの移動により、ウェハーＷは、トレイ５の上部まで運搬される。さらに吸着装置６の上下が反転された上で下降し吸着を解除することで、図１０（ｂ）に示すように、第二面が上側となった状態で、ウェハ
ーＷがトレイ５上に載置される。

【0026】

このように、従来のレンズ製造装置１０１では、成型後にウェハーＷが上型３ａに残るか下型３ｂに残るかで、トレイ５に載置される方向が反対になっていた。その結果、次工程にウェハーＷを提供する前にトレイ５上でウェハーＷの姿勢を揃える工数が増加したり、誤作業によりウェハーＷの姿勢が反対になったまま次工程に提供されてしまう等の不都合があった。

【0027】

次に、図１を用いて、本実施形態におけるレンズ製造装置１について説明する。レンズ製造装置１と先述のレンズ製造装置１０１との相違点は、レンズ製造装置１には、成型型３から取り出されたウェハーＷを、ピックアップロボット４がトレイ５まで運搬する途中で、ウェハーＷの上下を反転させるための反転トレイ７を備える点である。本実施形態では、ウェハーＷの成型後にウェハーＷが上型３ａに残っていた場合に、ピックアップロボット４は反転トレイ７でウェハーＷの上下を反転させる。

【0028】

ウェハーＷの成型後にウェハーＷが下型３ｂに残っていた場合には、ピックアップロボット４は反転トレイ７でウェハーＷの上下を反転させずに、ウェハーＷをトレイ５まで運搬する。なお、本実施形態において、ピックアップロボット４は成型物移動装置に相当する。また、ウェハーＷの成型後にウェハーＷが上型３ａに残っている状態は、本開示の第一状態に相当する。ウェハーＷの成型後にウェハーＷが下型３ｂに残っている状態は、本開示の第二状態に想到する。また、反転トレイ７は本開示の仮置きトレイに相当する。

【0029】

次に、図２～図４を用いて、反転トレイ７を用いたウェハーＷの反転動作について説明する。このウェハーＷの反転動作は、本開示における吸着面変更工程に相当する。図２及び図４は、成型後にウェハーＷが上型３ａに残っていた場合の、ウェハーＷの反転動作を水平方向から見た図である。図３は、同じ場合のウェハーＷの反転動作を上側から見た図である。先ず、図２（ａ）に示すように、吸着装置６は、上側の吸着部６ａにウェハーＷを吸着させた状態で、反転トレイ７の方向に移動する。

【0030】

その際、反転トレイ７の高さが、ベース６ｃとウェハーＷの間に位置するように、吸着装置６の高さが制御される。そして、図２（ｂ）に示すように、ウェハーＷが反転トレイ７の上側、ベース６ｃが反転トレイ７の下側に位置するまで、吸着装置６を水平方向に移動させる。なお、この際、反転トレイ７は、図３（ａ）に示すように、図２の奥行き方向に関して、奥行き方向に並ぶ２つの吸着部６ａの間を通る形となるため、吸着部６ａと反転トレイ７が衝突することはない。

【0031】

次に、吸着部６ａによる吸着を解除し、且つ、図２（ｃ）に示すように、吸着装置６を下方に移動させる。このことにより、ウェハーＷは、第一面を上にして、反転トレイ７の上に残る。そして、吸着装置６は、図４（ａ）に示すように、反転トレイ７の下から一旦離れるように水平方向に移動する。そして、図４（ｂ）に示すように、今度は、反転トレイ７の上に移動する。さらに、吸着装置６は下降して、下側の吸着部６ｂでウェハーＷの第一面を吸着する。そして、吸着装置６は図４（ｃ）に示すように、ウェハーＷを吸着したまま上昇する。次に、ピックアップロボット４は、図９（ｂ）で示した、ウェハーＷが成型後に下型３ｂに残った場合と同様、トレイ５の上側まで、第一面を上側にした状態で、ウェハーＷを移動し、トレイ５上に載置する。この工程は本開示における載置工程に相当する。

【0032】

以上、説明したとおり、本実施形態によれば、ウェハーＷの成型後において、ウェハーＷが上型３ａに残っているか下型３ｂに残っているかを、物検センサ６ｄで検知し、ウェハーＷが下型３ｂに残っている場合には、ウェハーＷの第一面を下側の吸着部６ｂで吸着
した。一方、ウェハーＷが上型３ａに残っている場合には、ウェハーＷの第二面を上側の吸着部６ａで吸着するとともに、反転トレイ７において、下側の吸着部６ｂで、ウェハーＷの第一面を吸着し直すこととした。

【0033】

従って、成型後にウェハーＷが下型３ｂに残っていた場合も、上型３ａに残っていた場合も、ウェハーＷをトレイ５まで移動する際には、下側の吸着部６ｂによって第一面を吸着する状態に揃えることが可能となった。その結果、トレイ５に載置されるウェハーＷの姿勢を自動的に一方向に揃えることが可能となり、トレイ５上におけるウェハーＷの姿勢のバラツキを回避することが可能となる。また、上記の実施形態においては、吸着装置６自体の上下を反転させる必要がないので、ピックアップロボット４の作動を単純化でき、コスト低減や、タクトタイムの低減を実現することが可能である。ここで、ウェハーＷが上型３ａに残っているか下型３ｂに残っているかを、物検センサ６ｄで検知する工程は、本開示における状態判定工程に相当する。

【0034】

なお、本開示においては、ベース６ｃの上下に上側の吸着部６ａと下側の吸着部６ｂを備える吸着装置６を用いた場合について説明したが、本開示の製造方法は、吸着装置６が、ベース６ｃの片側にのみ吸着部を備える場合にも適用可能である。この場合には、成型終了後にウェハーＷが上型３ａに残っているか下型３ｂに残っているかに応じて、ピックアップロボット４のアーム４ａの作動により吸着装置６の上下を反転して、吸着部によってウェハーＷの露出面を吸着する。

【0035】

この場合であっても、上記の実施形態と同様、成型終了後にウェハーＷが上型３ａに残っているか下型３ｂに残っているかによって吸着部が吸着するウェハーＷの面が異なる。したがって、例えば、成型終了後にウェハーＷが上型３ａに残っている場合には、反転トレイ７において、吸着部が吸着するウェハーの面を反転させることで、トレイ７上におけるウェハーＷの姿勢を揃えることが可能となる。

【0036】

なお、上記の実施形態においては、成型物移動装置の例として、ピックアップロボット４を上げて説明したが、成型物移動装置は必ずしもロボットである必要はない。所定のシーケンスに従って作動する如何なる製造機械であってもよい。また、上記の実施形態においては、ウェハーＷのレンズが形成された面を第一面、反対面を第二面としたが、第一面と第二面の定義は上記に限られない。また、レンズ成型物の例として、ウェハーレベルレンズを上げて説明したが、レンズ成型物はウェハーレベルレンズに限られない。レンズ機能を有する成型物であればよく、例えばレンズを一つだけ含む成型物であってもよい。また、レンズ成型物の材質は樹脂材料であってもよいし、ガラスなど他の材料であってもよい。成型方法についても、射出成型、インプリント成型、キャスティング成型等の他、如何なる成型方法であってもよい。

【0037】

また、上記の実施形態においては、ウェハーＷ上において、吸着部６ａ、６ｂによって吸着する場所は、上記した箇所に制限されない。例えば、図３（ｂ）において、ウェハーＷが、平面視で反転トレイ７と重ならない領域であれば、何れの場所を吸着しても構わない。また、上記の実施形態において吸着部６ａ、６ｂは管状の部分であり、その先端は吸盤状の形状を有していたが、吸着部の形状もこれに限定されない。上記の吸着可能な領域の一部を面吸着してもよい。その場合、吸着部の先端は例えば多孔質の素材で形成してもよい。

【0038】

また、上記の実施形態においては、反転トレイ７は平板状の形状を有していたが、反転トレイ７の形状もこれに限られない。図５には、反転トレイ７とは別の形状を有する反転トレイ１７の概略構成について示す。図５（ａ）は平面図、図５（ｂ）は断面Ａ－Ａ´による断面図である。反転トレイ１７における、ウェハーＷの進行方向に垂直な方向の両側
には、補助トレイ１７ａ、１７ｂが設けられている。なお、ウェハーＷの反転動作の際には、吸着部６ａは、反転トレイ１７と、補助トレイ１７ａ、１７ｂの間の隙間を通過するので、吸着部６ａと反転トレイ１７または補助トレイ１７ａ、１７ｂが衝突することはない。

【0039】

反転トレイ１７及び、補助トレイ１７ａ、１７ｂには、ウェハーＷの水平方向の移動を制限する突起部１７ｃが、平面視におけるウェハーＷの進行方向及び、進行方向と垂直方向に４カ所設けられている。これにより、より確実に、ウェハーＷを反転トレイ１７上に保持することが可能となる。

【0040】

次に、図６には、さらに別の形状を有する反転トレイ２７の概略構成について示す。図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は断面Ｂ－Ｂ´による断面図である。反転トレイ２７における、ウェハーＷが載置される部分には、平面視でウェハーＷの外径より若干大きい径を有する円弧状の段差２７ｂを有する窪み部２７ａが形成されている。段差２７ｂによって、ウェハーＷの水平方向の移動が制限される。この構造よっても、より確実に、ウェハーＷを反転トレイ２７上に保持することが可能となる。

【0041】

以上、本開示に係るレンズ成型物の製造方法の実施形態について説明したが、本明細書に開示された各々の態様は、本明細書に開示された他のいかなる特徴とも組み合わせることができる。

【符号の説明】

【0042】

１・・・レンズ製造装置
２・・・成型機
３・・・成型型
３ａ・・・上型
３ｂ・・・下型
４・・・ピックアップロボット
４ａ・・・アーム
５・・・トレイ
６・・・吸着装置
６ａ、６ｂ・・・吸着部
６ｃ・・・ベース
６ｄ・・・物検センサ
７、１７、２７・・・反転トレイ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】