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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023115818
(43)【公開日】2023-08-21
(54)【発明の名称】実装システム、及び実装方法
(51)【国際特許分類】
H05K 13/08 20060101AFI20230814BHJP
H05K 13/04 20060101ALI20230814BHJP
【ＦＩ】
H05K13/08 Q
H05K13/04 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022018239
(22)【出願日】2022-02-08
(71)【出願人】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002527
【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】海老原 悠人
(72)【発明者】
【氏名】杉野 晋平
(72)【発明者】
【氏名】藤原 弘之
【テーマコード（参考）】
5E353
【Ｆターム（参考）】
5E353CC03
5E353CC21
5E353EE52
5E353EE53
5E353EE89
5E353GG01
5E353HH11
5E353HH51
5E353HH71
5E353JJ02
5E353JJ21
5E353JJ28
5E353JJ48
5E353KK02
5E353KK03
5E353KK11
5E353KK25
5E353LL03
5E353QQ11
(57)【要約】
【課題】 実装ヘッドと同期して移動する撮像部を用いながら、捕捉部の位置ずれを判定できる実装システム、及び実装方法を提供する。
【解決手段】 実装システム１では、撮像部３は、実装ヘッド２と同期して移動し、少なくとも捕捉部２１の先端を撮像領域に含む。基準体８は、実装ヘッド２と別体に設けられている。判定部５３は、撮像部３が捕捉部２１の先端及び基準体８を撮像領域に含んで撮像した撮像画像に基づいて捕捉部２１の先端と基準体８との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力部５４は、判定部５３の判定結果に基づく信号を出力する。
【選択図】図１
【解決手段】 実装システム１では、撮像部３は、実装ヘッド２と同期して移動し、少なくとも捕捉部２１の先端を撮像領域に含む。基準体８は、実装ヘッド２と別体に設けられている。判定部５３は、撮像部３が捕捉部２１の先端及び基準体８を撮像領域に含んで撮像した撮像画像に基づいて捕捉部２１の先端と基準体８との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力部５４は、判定部５３の判定結果に基づく信号を出力する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１対象物に第２対象物を実装する実装システムであって、
前記第２対象物を捕捉可能な捕捉部を有して移動可能な実装ヘッドと、
前記実装ヘッドと同期して移動し、少なくとも前記捕捉部の先端を撮像領域に含む撮像部と、
前記実装ヘッドと別体に設けられている基準体と、
前記撮像部が前記捕捉部の先端及び前記基準体を前記撮像領域に含んで撮像した撮像画像に基づいて前記捕捉部の先端と前記基準体との相対位置を検出し、前記相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する判定部と、
前記判定部の判定結果に基づく信号を出力する出力部と、を備える
実装システム。
前記第２対象物を捕捉可能な捕捉部を有して移動可能な実装ヘッドと、
前記実装ヘッドと同期して移動し、少なくとも前記捕捉部の先端を撮像領域に含む撮像部と、
前記実装ヘッドと別体に設けられている基準体と、
前記撮像部が前記捕捉部の先端及び前記基準体を前記撮像領域に含んで撮像した撮像画像に基づいて前記捕捉部の先端と前記基準体との相対位置を検出し、前記相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する判定部と、
前記判定部の判定結果に基づく信号を出力する出力部と、を備える
実装システム。
【請求項2】
前記相対位置は、前記基準体の位置に対する前記捕捉部の先端の位置ずれであり、
前記判定部は、前記位置ずれが許容範囲に収まっているか否かを判定する
請求項１の実装システム。
前記判定部は、前記位置ずれが許容範囲に収まっているか否かを判定する
請求項１の実装システム。
【請求項3】
前記基準体が設けられている部材を更に備える
請求項１又は２の実装システム。
請求項１又は２の実装システム。
【請求項4】
前記実装ヘッドを駆動して、前記実装ヘッドを移動させる駆動部を更に備え、
前記判定部は、前記実装ヘッドが前記基準体の位置に対応する目標位置に移動したときに、前記相対位置を検出する
請求項１乃至３のいずれか１つの実装システム。
前記判定部は、前記実装ヘッドが前記基準体の位置に対応する目標位置に移動したときに、前記相対位置を検出する
請求項１乃至３のいずれか１つの実装システム。
【請求項5】
前記捕捉部及び前記撮像部が取り付けられているヘッドユニットを更に備え、
前記撮像部の撮像光軸は、鉛直方向に対して斜めに延びている
請求項１乃至４のいずれか１つの実装システム。
前記撮像部の撮像光軸は、鉛直方向に対して斜めに延びている
請求項１乃至４のいずれか１つの実装システム。
【請求項6】
第１対象物に第２対象物を実装する実装方法であって、
前記第２対象物を捕捉可能な捕捉部を有して移動可能な実装ヘッドと同期して移動する撮像部が、前記捕捉部の先端及び前記実装ヘッドと別体に設けられている基準体を含む撮像領域を撮像する撮像ステップと、
前記撮像部の撮像画像に基づいて前記捕捉部の先端と前記基準体との相対位置を検出し、前記相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づく信号を出力する出力ステップと、を含む
実装方法。
前記第２対象物を捕捉可能な捕捉部を有して移動可能な実装ヘッドと同期して移動する撮像部が、前記捕捉部の先端及び前記実装ヘッドと別体に設けられている基準体を含む撮像領域を撮像する撮像ステップと、
前記撮像部の撮像画像に基づいて前記捕捉部の先端と前記基準体との相対位置を検出し、前記相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づく信号を出力する出力ステップと、を含む
実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、実装システム、及び実装方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１の部品実装装置は、吸着ヘッド部と、部品認識カメラと、基板認識カメラと、ノズル認識カメラと、補正治具と、を有する。
【0003】
吸着ヘッド部は、部品を吸着する吸着ノズルを備え、吸着ノズルをほぼ鉛直方向に昇降させるとともに、吸着ノズルをそのノズル軸とほぼ一致する鉛直軸回りに回転させる。
【0004】
部品認識カメラは、吸着ノズルに吸着された部品を撮像して、部品の姿勢を認識する。
【0005】
基板認識カメラは、部品を搭載する基板を撮像して、基板の配置状態を認識する。
【0006】
ノズル認識カメラは、部品認識カメラで部品を撮像する際の吸着ノズルの高さ位置よりも下降した高さ位置にある吸着ノズルの先端を撮像して、吸着ノズルの下降に伴う吸着ノズル先端の中心位置の水平方向のずれ量を認識する。
【0007】
補正治具は、ノズル認識カメラの上方に配置され、ずれ量を認識する際の基準となる補正基準マークが上面に印された透明な治具である。
【0008】
そして、部品実装装置は、吸着ノズルの下降に伴う吸着ノズル先端の水平方向のずれ量を補正して、部品の吸着および搭載を行う。
【0009】
特許文献１では、ノズル認識カメラは、部品認識カメラと並んで配置され、部品供給部の側部に配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0010】
【特許文献1】特開２００９－１１７４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0011】
実装ヘッドと同期して移動する撮像部を備える実装システムにおいても、捕捉部の位置ずれを判定することの要望がある。
【0012】
本開示の目的は、実装ヘッドと同期して移動する撮像部を用いながら、捕捉部の位置ずれを判定できる実装システム、及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本開示の一態様に係る実装システムは、第１対象物に第２対象物を実装する。前記実装システムは、実装ヘッドと、撮像部と、基準体と、判定部と、出力部と、を備える。前記実装ヘッドは、前記第２対象物を捕捉可能な捕捉部を有して移動可能である。前記撮像部は、前記実装ヘッドと同期して移動し、少なくとも前記捕捉部の先端を撮像領域に含む。前記基準体は、前記実装ヘッドと別体に設けられている。前記判定部は、前記撮像部が前記捕捉部の先端及び前記基準体を前記撮像領域に含んで撮像した撮像画像に基づいて前記捕捉部の先端と前記基準体との相対位置を検出し、前記相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。前記出力部は、前記判定部の判定結果に基づく信号を出力する。
【0014】
本開示の一態様に係る実装方法は、第１対象物に第２対象物を実装する。前記実装方法は、撮像ステップと、判定ステップと、出力ステップと、を含む。前記撮像ステップは、前記第２対象物を捕捉可能な捕捉部を有して移動可能な実装ヘッドと同期して移動する撮像部が、前記捕捉部の先端及び前記実装ヘッドと別体に設けられている基準体を含む撮像領域を撮像する。前記判定ステップは、前記撮像部の撮像画像に基づいて前記捕捉部の先端と前記基準体との相対位置を検出し、前記相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。前記出力ステップは、前記判定ステップの判定結果に基づく信号を出力する。
【発明の効果】
【0015】
本開示では、実装ヘッドと同期して移動する撮像部を用いながら、捕捉部の位置ずれを判定できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下の実施形態は、一般に、実装システム、及び実装方法に関する。より詳細には、第１対象物に第２対象物を実装する生産動作を行う実装システム、及び実装方法に関する。
【0018】
以下、実施形態に係る実装システム、及び実装方法について、図１～図１０を参照して詳細に説明する。ただし、下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。なお、以下の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【0019】
【0020】
（１）実装システムの概要
以下、本実施形態に係る実装システム１の概要について説明する。
以下、本実施形態に係る実装システム１の概要について説明する。
【0021】
実装システム１は、図１、図５Ａ～図５Ｄに示すように、第１対象物Ｔ１に第２対象物Ｔ２を実装する実装装置（実装機）である。実装システム１は、例えば、工場、研究所、事務所及び教育施設等の施設において、電子機器、自動車、衣料品、食料品、医薬品及び工芸品等の種々の製品の製造のための作業に用いられる。
【0022】
本実施形態では、実装システム１が、工場での電子機器の製造に用いられる場合について説明する。一般的な電子機器は、例えば、電源回路及び制御回路等の各種の回路ブロックを有している。これらの回路ブロックの製造にあたっては、一例として、はんだ塗布工程、実装工程、及びはんだ付け工程が、この順で行われる。はんだ塗布工程では、基板（プリント配線板を含む）にクリーム状はんだが塗布（又は印刷）される。実装工程では、基板に部品（電子部品を含む）が実装（搭載）される。はんだ付け工程では、例えば、部品が実装された状態の基板を、リフロー炉にて加熱することにより、クリーム状はんだを溶かしてはんだ付けが行われる。実装システム１は、実装工程において、第１対象物Ｔ１である基板Ｔ１０に対して、第２対象物Ｔ２である部品Ｔ２０を実装する作業を行う。すなわち、本実施形態に係る実装システム１では、第１対象物Ｔ１は、基板Ｔ１０であり、第２対象物Ｔ２は、基板Ｔ１０に実装される部品Ｔ２０である。
【0023】
このように、第１対象物Ｔ１（基板Ｔ１０）への第２対象物Ｔ２（部品Ｔ２０）の実装に用いられる実装システム１は、図１に示すように、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、制御部５、基台６１、搬送装置６２、複数の部品供給装置６３、及び固定カメラ７を備えている。
【0024】
搬送装置６２は、基台６１上をＸ軸方向に延びた一対のコンベア機構６２ａを有しており、第１対象物Ｔ１である基板Ｔ１０をＸ軸方向に搬送して所定の実装スペースに位置決めする。
【0025】
複数の部品供給装置６３は、基台６１に連結される台車６４のフィーダベース６５にＸ軸方向に並んで取り付けられたテープフィーダを有する。各部品供給装置６３は、リール６６より供給されるキャリアテープ６７をピッチ送りし、キャリアテープ６７に保持された第２対象物Ｔ２である部品Ｔ２０を部品供給口６３ａに供給する。リール６６は台車６４に保持されている。固定カメラ７は、基台６１上に取り付けられ、上方を撮像する。
【0026】
実装ヘッド２は、Ｘ－Ｙ平面に沿って移動可能であり、さらに第２対象物Ｔ２を捕捉するための捕捉部２１を有する。捕捉部２１は、一例としてＺ軸に沿って鉛直方向に移動（上昇及び下降）するストローク動作が可能な吸着ノズルからなる。
【0027】
実装システム１は、実装工程において、基板Ｔ１０（第１対象物Ｔ１）に部品Ｔ２０（第２対象物Ｔ２）を実装する。実装工程における捕捉部２１の位置制御は、高い位置決め精度を要する。
【0028】
そこで、本実施形態の実装システム１は、実装ヘッド２と、撮像部３と、基準体８と、判定部５３と、出力部５４と、を備える。実装ヘッド２は、部品Ｔ２０を捕捉可能な捕捉部２１を有する。撮像部３は、実装ヘッド２と同期して移動し、少なくとも捕捉部２１の先端２１０を撮像領域Ｒ１（図４参照）に含む。基準体８は、実装ヘッド２と別体に設けられている。判定部５３は、撮像部３が捕捉部２１の先端２１０及び基準体８を撮像領域Ｒ１に含んで撮像した撮像画像に基づいて捕捉部２１の先端２１０と基準体８との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力部５４は、判定部５３の判定結果に基づく信号を出力する。
【0029】
上述の実装システム１は、実装ヘッド２と同期して移動する撮像部３を用いながら、捕捉部２１の位置ずれを判定できる。
【0030】
（２）詳細
（２．１）前提
本実施形態では一例として、表面実装技術（SMT：Surface Mount Technology）による部品Ｔ２０の実装に、実装システム１が用いられる場合について説明する。つまり、部品Ｔ２０は、表面実装用の部品（SMD：Surface Mount Device）であって、基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１（表面）上に配置されることをもって実装される。ただし、この例に限らず、挿入実装技術（IMT：Insertion Mount Technology）による部品Ｔ２０の実装に、実装システム１が用いられてもよい。この場合、部品Ｔ２０は、リード端子を有する挿入実装用の部品であり、基板Ｔ１０の孔にリード端子を挿入することをもって、基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１上に実装される。
（２．１）前提
本実施形態では一例として、表面実装技術（SMT：Surface Mount Technology）による部品Ｔ２０の実装に、実装システム１が用いられる場合について説明する。つまり、部品Ｔ２０は、表面実装用の部品（SMD：Surface Mount Device）であって、基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１（表面）上に配置されることをもって実装される。ただし、この例に限らず、挿入実装技術（IMT：Insertion Mount Technology）による部品Ｔ２０の実装に、実装システム１が用いられてもよい。この場合、部品Ｔ２０は、リード端子を有する挿入実装用の部品であり、基板Ｔ１０の孔にリード端子を挿入することをもって、基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１上に実装される。
【0031】
また、本開示でいう「撮像光軸」は、撮像部３で撮像される画像（撮像部３の撮像画像）についての光軸であって、撮像部３の撮像素子３１（図３参照）及び光学系３２（図３参照）の両方によって定まる光軸である。つまり、撮像素子３１の受光面の中心と、光学系３２を通して撮像素子３１の受光面の中心に結像する撮像領域Ｒ１（図４参照）内の部位と、を結ぶ直線が撮像部３の撮像光軸ＡＸ１（図４参照）となる。
【0032】
また、本開示において、撮像部３の撮像画像は、静止画（静止画像）及び動画（動画像）を含む。さらに、「動画」は、コマ撮り等により得られる複数の静止画にて構成される撮像画像を含む。撮像部３の撮像画像は、撮像部３から出力されたデータそのものでなくてもよい。例えば、撮像部３の撮像画像は、必要に応じて適宜データの圧縮、他のデータ形式への変換、又は撮像部３の撮像画像から一部を切り出す加工、ピント調整、明度調整、若しくはコントラスト調整等の加工が施されていてもよい。本実施形態では一例として、撮像部３の撮像画像は、フルカラーの動画である。
【0033】
以下では一例として、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸を設定し、基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１に平行な軸を「Ｘ軸」及び「Ｙ軸」とし、基板Ｔ１０の厚み方向に平行な軸を「Ｚ」軸とする。さらに、Ｚ軸に沿う両方向のうち一方向を上方向とし、他方向を下方向とする。例えば、捕捉部２１が基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１に対向しているとき、基板Ｔ１０は、捕捉部２１の下方に位置する。なお、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、いずれも仮想的な軸であり、図面中の「Ｘ」、「Ｙ」、「Ｚ」を示す矢印は、説明のために表記しているに過ぎず、いずれも実体を伴わない。また、これらの方向は実装システム１の使用時の方向を限定する趣旨ではない。
【0034】
また、実装システム１には、冷却水の循環用のパイプ、電力供給用のケーブル及び空圧（正圧及び真空を含む）供給用のパイプ等が接続されるが、本実施形態では、これらの図示を適宜省略する。
【0035】
【0036】
本実施形態に係る実装システム１は、実装ヘッド２と、撮像部３と、駆動部４と、制御部５と、基準体８と、を備えている。また、本実施形態では、実装システム１は、図３に示すように、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、制御部５、及び基準体８に加えて、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７を更に備えている。ただし、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７は、実装システム１に必須の構成ではない。つまり、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７の全部又は一部は、実装システム１の構成要素に含まれなくてもよい。また、図２では、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、及び基準体８のみを図示し、その他の実装システム１の構成の図示を適宜省略している。また、図４では、実装ヘッド２の周辺を図示し、その他の実装システム１の構成の図示を適宜省略している。
【0037】
実装ヘッド２は、少なくとも１つの捕捉部２１を有している。本実施形態では、実装ヘッド２はヘッドユニット２３を有し、ヘッドユニット２３には１つの捕捉部２１が取り付けられている。そして、実装ヘッド２は、捕捉部２１にて部品Ｔ２０を捕捉した状態で、捕捉部２１を基板Ｔ１０に近づけるように移動させ、部品Ｔ２０を基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１に実装する。つまり、実装ヘッド２は、捕捉部２１を、基板Ｔ１０に向けて移動可能に保持する。
【0038】
撮像部３は、実装ヘッド２のヘッドユニット２３に固定されている。撮像部３は、撮像素子３１と、光学系３２と、を有している。撮像部３は、例えば、動画を撮像するビデオカメラである。撮像部３は、捕捉部２１の少なくとも先端２１０を含む撮像領域Ｒ１を有する。
【0039】
上述の捕捉部２１及び撮像部３はヘッドユニット２３に取り付けられており、捕捉部２１及び撮像部３は、実装ヘッド２と同期して移動する。
【0040】
制御部５は、実装システム１の各部を制御する。制御部５は、コンピュータシステムを備えることが好ましい。すなわち、制御部５では、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、又はＭＰＵ（Micro Processing Unit）などのプロセッサがメモリに記憶されているプログラムを読み出して実行することによって、制御部５の一部又は全部の機能が実現される。制御部５は、プログラムに従って動作するプロセッサを主なハードウェア構成として備える。プロセッサは、プログラムを実行することによって機能を実現することができれば、その種類は問わない。プロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）を含む一つ又は複数の電子回路で構成される。ここでは、ＩＣやＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ(Very Large Scale Integration)、若しくはＵＬＳＩ(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれるものであってもよい。ＬＳＩの製造後にプログラムされる、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ(FPGA)、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成又はＬＳＩ内部の回路区画のセットアップができる再構成可能な論理デバイスも同じ目的で使うことができる。複数の電子回路は、一つのチップに集積されてもよいし、複数のチップに設けられてもよい。複数のチップは集約して配置されてもよいし、分散して配置されてもよい。
【0041】
制御部５は、例えば、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７の各々と電気的に接続されている。制御部５は、実装ヘッド２、及び駆動部４に制御信号を出力し、捕捉部２１にて捕捉した部品Ｔ２０を基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１に実装するように、実装ヘッド２及び駆動部４を制御する。また、制御部５は、撮像部３及び固定カメラ７に制御信号を出力して、撮像部３及び固定カメラ７を制御したり、撮像部３及び固定カメラ７のそれぞれの撮像画像を撮像部３及び固定カメラ７のそれぞれから取得したりする。
【0042】
駆動部４は、実装ヘッド２を移動させる装置である。本実施形態では、駆動部４は、Ｘ－Ｙ平面内で、実装ヘッド２を移動させる。ここでいう「Ｘ－Ｙ平面」は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面であって、Ｚ軸と直交する平面である。言い換えると、駆動部４は、実装ヘッド２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。本実施形態では、撮像部３が実装ヘッド２に固定されているため、駆動部４は、撮像部３についても実装ヘッド２と共に移動させる。言い換えると、図１において、実装ヘッド２及び撮像部３は、駆動部４によって、搬送装置６２の実装スペースに位置決めされている基板Ｔ１０の上方と部品供給装置６３の部品供給口６３ａの上方との間を移動する。
【0043】
具体的には、駆動部４は、図２に示すように、Ｘ軸駆動部４１と、Ｙ軸駆動部４２と、を有している。Ｘ軸駆動部４１は、実装ヘッド２をＸ軸方向に直進移動させる。Ｙ軸駆動部４２は、実装ヘッド２をＹ軸方向に直進移動させる。Ｙ軸駆動部４２は、実装ヘッド２を、Ｘ軸駆動部４１ごとＹ軸に沿って移動させることで、実装ヘッド２をＹ軸方向に直進移動させる。本実施形態では一例として、Ｘ軸駆動部４１及びＹ軸駆動部４２の各々は、リニアモータを含み、電力供給を受けてリニアモータで発生する駆動力により、実装ヘッド２を移動させる。
【0044】
部品供給装置６３は、実装ヘッド２の捕捉部２１にて捕捉される部品Ｔ２０を供給する。部品供給装置６３は、一例として、キャリアテープに収容された部品Ｔ２０を供給するテープフィーダを有している。または、部品供給装置６３は、複数の部品Ｔ２０が載せ置かれたトレイを有していてもよい。実装ヘッド２は、このような部品供給装置６３から、部品Ｔ２０を捕捉部２１にて捕捉する。
【0045】
搬送装置６２は、基板Ｔ１０を搬送する装置である。搬送装置６２は、例えば、ベルトコンベヤ等で実現される。搬送装置６２は、基板Ｔ１０を、例えば、Ｘ軸に沿って搬送する。搬送装置６２は、少なくとも実装ヘッド２の下方、つまりＺ軸方向において捕捉部２１と対向する実装スペースに、基板Ｔ１０を搬送する。そして、搬送装置６２は、実装ヘッド２による基板Ｔ１０への部品Ｔ２０の実装が完了するまでは、実装スペースに基板Ｔ１０を停止させる。
【0046】
図５Ａ～図５Ｄは、実装工程で行われる生産動作の概略を示す。まず、図５Ａでは、部品Ｔ２０を捕捉していない捕捉部２１が部品供給口６３ａの上方に位置している。そして、捕捉部２１は、矢印Ｍ１で示される鉛直方向に下降して、部品供給口６３ａに位置する部品Ｔ２０を捕捉（保持）する捕捉動作を行う。そして、図５Ｂに示すように、実装ヘッド２は、基板Ｔ１０に近付くように、矢印Ｍ２で示される水平方向に移動する。すなわち、部品Ｔ２０を捕捉している捕捉部２１は、基板Ｔ１０に近付くように移動する。そして、図５Ｃに示すように、実装ヘッド２は、捕捉部２１が基板Ｔ１０の上方にまで移動すると停止する。そして、図５Ｄに示すように、捕捉部２１が矢印Ｍ３で示される鉛直方向に下降して、基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１に部品Ｔ２０を実装する実装動作を行う。なお、図５Ｂにおいて、実装ヘッド２が水平方向に移動しているときに、捕捉部２１が下降を開始してもよい。
【0047】
実装システム１は、上記構成に加えて、バックアップ装置、照明装置、及び通信部などを備えていてもよい。
【0048】
バックアップ装置は、搬送装置６２によって実装スペースに搬送された基板Ｔ１０をバックアップする。つまり、搬送装置６２によって実装スペースに搬送された基板Ｔ１０は、バックアップ装置にて、実装スペースに保持される。
【0049】
照明装置は、撮像部３の撮像領域Ｒ１を照明する。照明装置は、少なくとも撮像部３が撮像するタイミングで点灯すればよく、例えば、撮像部３の撮像タイミングに合わせて発光する。本実施形態では、撮像部３の撮像画像は、フルカラーの動画であるので、照明装置は、白色光等の可視光領域の波長域の光を出力する。本実施形態では一例として、照明装置は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の光源を複数有している。照明装置は、これら複数の光源を発光させることで、撮像部３の撮像領域Ｒ１を照らす。照明装置は、例えば、リング照明又は同軸落射照明等の適宜の照明方式にて実現される。照明装置は、例えば、撮像部３と共に実装ヘッド２に固定されている。
【0050】
通信部は、直接的、又はネットワーク若しくは中継器等を介して間接的に、上位システムと通信するように構成されている。これにより、実装システム１は、上位システムとの間でデータを授受することが可能である。
【0051】
【0052】
本実施形態では、実装ヘッド２は、捕捉部２１に加えて、捕捉部２１を移動させるためのアクチュエータ２２（図３参照）と、捕捉部２１及びアクチュエータ２２を保持するヘッドユニット２３と、を更に有している。本実施形態に係る実装システム１では、１つのヘッドユニット２３に、捕捉部２１及びアクチュエータ２２が１つずつ取り付けられている。これにより、実装ヘッド２では、１つの部品Ｔ２０を捕捉可能である。
【0053】
捕捉部２１は、例えば、吸着ノズルである。捕捉部２１は、制御部５にて制御され、部品Ｔ２０を捕捉（保持）する捕捉状態と、部品Ｔ２０を解放（捕捉を解除）する解放状態と、を切替可能である。ただし、捕捉部２１は、吸着ノズルに限らず、例えば、ロボットハンドのように部品Ｔ２０を挟む（摘む）ことによって捕捉（保持）する構成でもよい。
【0054】
捕捉部２１による部品Ｔ２０の捕捉に関しては、実装ヘッド２は、動力としての空圧（真空）の供給を受けて動作する。つまり、実装ヘッド２は、捕捉部２１に繋がる空圧（真空）の供給路上のバルブを開閉することによって、捕捉部２１の捕捉状態と、解放状態と、を切り替える。
【0055】
アクチュエータ２２は、捕捉部２１をＺ軸方向に直進移動させる。さらに、アクチュエータ２２は、捕捉部２１をＺ軸方向に沿った軸線を中心とする回転方向（以下、「θ方向」という）に回転移動させる。本実施形態では一例として、Ｚ軸方向への捕捉部２１の移動に関しては、アクチュエータ２２は、リニアモータで発生する駆動力にて駆動する。θ方向への捕捉部２１の移動に関しては、アクチュエータ２２は、回転型モータで発生する駆動力にて駆動する。一方で、上述したように、実装ヘッド２は、駆動部４によりＸ軸方向及びＹ軸方向に直進移動する。結果的に、実装ヘッド２に含まれる捕捉部２１は、駆動部４及びアクチュエータ２２によって、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向に移動することが可能である。
【0056】
ヘッドユニット２３は、一例として、金属製であって直方体状に形成されている。捕捉部２１及びアクチュエータ２２がヘッドユニット２３に組み付けられることによって、ヘッドユニット２３は捕捉部２１及びアクチュエータ２２を保持する。本実施形態では、捕捉部２１は、Ｚ軸方向及びθ方向への移動が可能な状態で、アクチュエータ２２を介してヘッドユニット２３に間接的に保持される。実装ヘッド２は、ヘッドユニット２３が駆動部４にてＸ－Ｙ平面内で移動させられることによって、Ｘ－Ｙ平面内を移動する。
【0057】
上述した構成によれば、実装ヘッド２は、部品Ｔ２０を捕捉していない捕捉部２１を部品供給口６３ａに近付けるように移動させ、部品供給装置６３において部品Ｔ２０を捕捉（保持）する捕捉動作を行うことが可能となる。また、実装ヘッド２は、実装システム１は、捕捉部２１にて部品Ｔ２０を捕捉した状態で、捕捉部２１を基板Ｔ１０に近づけるように移動させ、部品Ｔ２０を基板Ｔ１０の実装面Ｔ１１に実装する実装動作を行うことが可能となる。
【0058】
【0059】
本実施形態では、撮像部３は、図４に示すように実装ヘッド２とともに移動する１つの移動カメラ３ａで構成されており、図３に示すように、撮像素子３１と、光学系３２と、を有している。光学系３２は、撮像素子３１に対して、撮像領域Ｒ１を撮像した撮像画像を結像する。
【0060】
撮像素子３１は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）又はＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）のようなイメージセンサである。撮像素子３１は、受光面に結像した画像を電気信号に変換して出力する。
【0061】
光学系３２は、１つ以上のレンズ及びミラー等を含んでいる。本実施形態では一例として、光学系３２は、複数のレンズの組み合わせ（レンズ群）にて実現される。光学系３２は、撮像領域Ｒ１からの光を撮像素子３１の受光面に結像させる。なお、光学系３２は、上記の構成に限定されない。
【0062】
撮像部３は、少なくとも捕捉部２１の先端（下端）２１０（図４参照）を撮像領域Ｒ１に含むように、捕捉部２１との相対的な位置を決められている。したがって、撮像部３の撮像画像には、少なくとも捕捉部２１の先端２１０が写る。
【0063】
具体的には、図１に示すように、撮像部３は、ヘッドユニット２３の下方において、Ｚ軸方向から見た平面視において捕捉部２１の側方に配置されることになる。このように、撮像部３は捕捉部２１とともにヘッドユニット２３に取り付けられており、捕捉部２１と撮像部３とは同時に移動する。したがって、実装システム１は、捕捉部２１と撮像部３とを別々に移動させる構成に比べて実装に要する時間を短縮して、生産性を向上させることができる。
【0064】
さらに、撮像部３は、Ｚ軸（鉛直方向）に対して交差する撮像光軸ＡＸ１を有している。言い換えると、撮像光軸ＡＸ１は、鉛直方向に対して斜めに延びている。つまり、撮像部３は、撮像部３の撮像方向が鉛直方向に交差するように、ヘッドユニット２３に固定されており、捕捉部２１を斜め上方から撮像する。したがって、撮像部３は、水平方向における捕捉部２１の挙動、及び鉛直方向における捕捉部２１の挙動を撮像することができる。なお、水平方向はＸ－Ｙ平面に沿った方向であり、鉛直方向は水平方向に直交する方向（Ｚ軸に沿う方向）である。
【0065】
（２．５）固定カメラ
固定カメラ７のより詳細な構成について、図１を参照して説明する。
固定カメラ７のより詳細な構成について、図１を参照して説明する。
【0066】
固定カメラ７は、実装スペースに位置決めされている基板Ｔ１０の上方と部品供給装置６３の部品供給口６３ａの上方との間を移動している実装ヘッド２を下方から撮像する。したがって、固定カメラ７の撮像画像には、捕捉部２１に捕捉されている部品Ｔ２０が写っている。すなわち、固定カメラ７の撮像画像には、捕捉部２１と部品Ｔ２０との相互の位置関係の情報、言い換えると捕捉部２１に対する部品Ｔ２０のずれの情報が含まれている。
【0067】
なお、固定カメラ７は、部品供給口６３ａから基板Ｔ１０に移動している実装ヘッド２を下方から撮像することが好ましい。この場合、固定カメラ７は、常時撮像するのではなく、部品Ｔ２０を捕捉している捕捉部２１が固定カメラ７の上方を通過するタイミングで撮像する。
【0068】
また、固定カメラ７は、部品供給口６３ａの下方に設置されてもよい。
【0069】
また、実装システム１は、固定カメラ７の撮像領域を照明する照明装置を更に備えることが好ましい。
【0070】
（２．６）基準体
基準体８は、基台６１の天面において固定カメラ７と搬送装置６２との間に配置されている。すなわち、基準体８は、固定カメラ７と搬送装置６２との間において、実装ヘッド２と別体に設けられている。基準体８は、一例として、基台６１の天面から上方に延びている円柱形状の棒体である。基準体８の先端面８１（上端面）は円形状である。ここでは、基台６１が、基準体８が設けられている部材に相当する。
基準体８は、基台６１の天面において固定カメラ７と搬送装置６２との間に配置されている。すなわち、基準体８は、固定カメラ７と搬送装置６２との間において、実装ヘッド２と別体に設けられている。基準体８は、一例として、基台６１の天面から上方に延びている円柱形状の棒体である。基準体８の先端面８１（上端面）は円形状である。ここでは、基台６１が、基準体８が設けられている部材に相当する。
【0071】
基準体８は、判定部５３が後述の判定処理を行う際に、捕捉部２１の先端２１０の位置ずれを判定するための基準点（又はマーカ）の機能を有する。
【0072】
（２．７）制御部
制御部５は、ヘッド制御部５１、画像取得部５２、判定部５３、及び出力部５４を備える。
制御部５は、ヘッド制御部５１、画像取得部５２、判定部５３、及び出力部５４を備える。
【0073】
（２．７．１）ヘッド制御部
ヘッド制御部５１は、実装ヘッド２及び駆動部４に制御信号を出力することで、実装ヘッド２及び駆動部４を制御する。
ヘッド制御部５１は、実装ヘッド２及び駆動部４に制御信号を出力することで、実装ヘッド２及び駆動部４を制御する。
【0074】
具体的に、ヘッド制御部５１は、駆動部４に水平制御信号を出力し、駆動部４を制御することで、実装ヘッド２及び撮像部３をＸ－Ｙ平面内で移動させる。また、ヘッド制御部５１は、アクチュエータ２２に鉛直制御信号を出力し、アクチュエータ２２を制御することで、捕捉部２１をＺ軸に沿って移動させる。また、ヘッド制御部５１は、アクチュエータ２２に回転制御信号を出力し、アクチュエータ２２を制御することで、捕捉部２１をθ方向に回転させる。
【0075】
特に、ヘッド制御部５１は、部品Ｔ２０を捕捉する捕捉動作、及び部品Ｔ２０を実装する実装動作では、撮像部３の撮像画像に基づいて駆動部４及びアクチュエータ２２をフィードバック制御する。ヘッド制御部５１は、撮像部３の撮像画像に基づいて駆動部４及びアクチュエータ２２をフィードバック制御することで、捕捉位置及び実装位置を補正する。この結果、実装システム１は、捕捉動作における捕捉精度、及び実装動作における実装精度を向上させることができる。
【0076】
（２．７．２）画像取得部
画像取得部５２は、撮像部３から撮像画像のデータを取得する（受け取る）通信インタフェースの機能を有する。
画像取得部５２は、撮像部３から撮像画像のデータを取得する（受け取る）通信インタフェースの機能を有する。
【0077】
撮像部３と画像取得部５２との間の通信は、無線通信及び有線通信のいずれでもよい。無線通信は、例えばWi-Fi（登録商標）、又は免許を必要としない小電力無線（特定小電力無線）等の規格に準拠した無線通信である。有線通信は、例えばツイストペアケーブル、専用通信線、又はＬＡＮ（Local Area Network）ケーブルなどを介した有線通信である。
【0078】
（２．７．３）判定部
判定部５３は、撮像部３の撮像画像に基づいて、捕捉部２１の位置ずれを判定する。
判定部５３は、撮像部３の撮像画像に基づいて、捕捉部２１の位置ずれを判定する。
【0079】
具体的に、判定部５３は、撮像部３が捕捉部２１の先端２１０及び基準体８を撮像領域Ｒ１に含んで撮像した撮像画像に基づいて捕捉部２１の先端２１０と基準体８との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。本実施形態では、相対位置は、基準体８の位置に対する捕捉部２１の先端２１０の位置ずれである。そして、判定部５３は、先端２１０の位置ずれが許容範囲に収まっているか否かを判定する。この場合、判定部５３が用いる所定条件は「位置ずれが許容範囲に収まっている」である。このような判定部５３を備える実装システム１は、捕捉部２１の位置ずれを精度よく判定できる。
【0080】
以下、判定部５３の判定処理について、図６Ａ、図６Ｂ、図７及び図８を用いて説明する。なお、この判定処理は、実装システム１が生産動作を行っているときに実行されてもよいし、実装システム１がメンテナンスのための診断動作を行っているときに実行されてもよい。
【0081】
図６Ａは、部品Ｔ２０を補足していない開放状態の捕捉部２１を示す。そして、ヘッド制御部５１は、予め決められたアルゴリズムを実行して駆動部４を制御し、実装ヘッド２をＸ－Ｙ平面の目標位置へ移動させる。目標位置は、基準体８の位置に対応して予め決められている。例えば、駆動部４が実装ヘッド２の位置を検出するためのエンコーダを備えていれば、目標位置は、エンコーダのカウント値で表される。
【0082】
図６Ｂは、目標位置へ移動した実装ヘッド２を示す。このとき、捕捉部２１は、基準体８の上方に位置し、撮像部３の撮像領域Ｒ１には、捕捉部２１の先端２１０及び基準体８が含まれている。そして、判定部５３は、実装ヘッド２が目標位置に移動した後に、相対位置を検出する。撮像部３は捕捉部２１を斜め上方から撮像しているので、判定部５３は、撮像部３の撮像画像に基づいて、捕捉部２１の先端２１０と基準体８とのＸ－Ｙ平面上の位置ずれを検出できる。この場合、相対位置は、捕捉部２１の先端２１０と基準体８とのＸ－Ｙ平面上の位置ずれである。言い換えると、相対位置は、Ｚ軸方向から見た平面視における先端２１０と基準体８との位置ずれである。
【0083】
具体的に、基準体８の上方に位置する捕捉部２１（図６Ｂ参照）は、捕捉部２１の挙動が不調でない通常時であれば、図７に示すように、先端２１０の位置ずれが許容範囲Ｇ１に収まっている。許容範囲Ｇ１は、Ｘ－Ｙ平面上で先端面８１の中心Ｐ１を中心とし、かつ、半径がＬ１となる円形状の内部である。すなわち、先端面８１の中心Ｐ１に対する先端２１０の位置ずれ量Ｗ１が、閾値Ｌ１以下になっている。なお、位置ずれ量Ｗ１は、Ｚ軸方向から見た平面視（Ｘ－Ｙ平面）における先端面８１の中心Ｐ１と捕捉部２１の先端２１０との間の距離である。閾値Ｌ１は、円形の許容範囲Ｇ１の半径の寸法であり、位置ずれ量Ｗ１に対して許容される上限値である。
【0084】
基準体８の上方に位置する捕捉部２１（図６Ｂ参照）は、捕捉部２１の挙動が不調である不調時であれば、図８に示すように、先端２１０の位置ずれが許容範囲Ｇ１に収まっていない。すなわち、先端面８１の中心Ｐ１に対する先端２１０の位置ずれ量Ｗ１が、閾値Ｌ１より大きくなっている。
【0085】
なお、「不調」とは、異常だけでなく、調子が悪い状態も含む。具体的に、不調は、捕捉部２１の位置制御の精度が低下する状態であり、駆動部４が備えるリニアモータなどの発熱によって、駆動部４のシャフトが歪むことを含む。また、不調は、機械構造の摩耗、歪みなどの経年劣化によって、捕捉部２１の位置制御の精度が低下する状態も含む。また、不調は、駆動部４への異物の噛み込み、潤滑材の不足などを含む。また、不調は、ボルトの緩みを含む。
【0086】
また、「通常」とは、捕捉部２１の位置制御の精度を所定精度以上に保つことができる状態である。
【0087】
（２．７．４）出力部
出力部５４は、判定部５３の判定結果に基づく信号を出力する。
出力部５４は、判定部５３の判定結果に基づく信号を出力する。
【0088】
具体的に、出力部５４は、判定部５３の判定結果が「位置ずれが許容範囲Ｇ１に収まっていない」であれば、捕捉部２１の挙動が不調であることを通知する通知信号を出力する。通知信号には、警告、位置ずれ量Ｗ１と閾値Ｌ１との比較結果、及び不調の要因などの情報が含まれる。
【0089】
具体的に、出力部５４は、管理者が使用する設備モニタ、パーソナルコンピュータ、タブレット端末、スマートフォンなどの情報端末に通知信号を出力する。この場合、通知信号は、画像情報を含む信号であり、さらには音声情報を含んでいてもよい。この通知信号は、実装システム１のメンテナンスの実施を管理者に促す信号である。管理者は、情報端末に表示された画像情報を見て、不調の状況を把握して、実装システム１のメンテナンスを行う。すなわち、管理者は、捕捉部２１の挙動を通常の挙動に戻すための適切な対応をとることができる。
【0090】
また、出力部５４は、管理システムに通知信号を出力してもよい。この場合、管理システムは、通知信号に基づいて、実装システム１のメンテナンスを行うためのメンテナンススケジューラを更新する。すなわち、管理システムは、捕捉部２１の挙動を通常の挙動に戻すための適切な対応をとることができる。
【0091】
なお、出力部５４は、判定部５３の判定結果が「位置ずれが許容範囲Ｇ１に収まっている」であれば、捕捉部２１の挙動が通常であることを通知する通知信号を出力してもよい。通知信号には、挙動が通常であることを示す情報、及び位置ずれ量Ｗ１と閾値Ｌ１との比較結果の情報などが含まれる。
【0092】
（３）利点
上述のように、実装システム１は、実装ヘッド２とともに（同期して）移動する捕捉部２１の撮像画像に基づいて、捕捉部２１の位置ずれを判定する。すなわち、実装システム１は、実装ヘッド２と同期して移動する撮像部３を用いながら、生産動作中又は診断動作中に捕捉部２１の位置ずれを判定できる。また、実装システム１に備わる基準体８を使用するので、位置ずれを判定するための治具を別途用意する必要がない。
上述のように、実装システム１は、実装ヘッド２とともに（同期して）移動する捕捉部２１の撮像画像に基づいて、捕捉部２１の位置ずれを判定する。すなわち、実装システム１は、実装ヘッド２と同期して移動する撮像部３を用いながら、生産動作中又は診断動作中に捕捉部２１の位置ずれを判定できる。また、実装システム１に備わる基準体８を使用するので、位置ずれを判定するための治具を別途用意する必要がない。
【0093】
また、実装システム１は、捕捉部２１の位置ずれの判定結果を通知することで、捕捉部２１の挙動が、通常の挙動（好ましい挙動）から外れたことを、管理者又は管理システムに通知できる。「不調」とは、異常だけでなく、調子が悪い状態も含む。また、「通常の挙動」とは、捕捉部２１の位置制御の位置決め精度を所定精度以上に保つことができる挙動である。管理者又は管理システムは、挙動が不調であることを通知されると、捕捉部２１の挙動を通常の挙動に戻すための対応をとることができる。この結果、実装システム１は、捕捉部２１の挙動が通常の挙動から外れることを抑制して、動作の精度を更に向上させることができる。
【0094】
また、従来は、決められた周期で定期的に実装システムのメンテナンスを実施していた。しかし、従来のメンテナンス方法では、メンテナンスの頻度を減らすことができず、管理者又は作業者などのオペレータの負担を軽減させることができなかった。従来のメンテナンス方法は、実装システムの性能の低下が許容できなくなる前にメンテナンスを実施できるように、メンテナンス周期を、実装システムの性能を確保可能な期間より短い周期としている。このため、オペレータの独断でメンテナンスの実施タイミングを変更すると、実装システムの性能を維持できない可能性がある。
【0095】
一方、実装システム１は、捕捉部２１の位置ずれに基づいて不調の予兆を検知し、実装システム１にとって必要なタイミングで、メンテナンスの実施を指示することができる。この結果、適切なタイミングでのメンテナンスが可能となるため、実装システム１の性能を維持しながらメンテナンスの頻度を低減でき、オペレータの作業負荷が軽減される。また、メンテナンスに実施が遅くなって、実装システム１の性能が低下し過ぎることも抑制できる。
【0096】
（４）実装方法
上述の実装システム１が実行する実装方法をまとめると、図９のフローチャートで表される。
上述の実装システム１が実行する実装方法をまとめると、図９のフローチャートで表される。
【0097】
実装方法は、基板Ｔ１０に部品Ｔ２０を実装する。実装方法は、撮像ステップＳ１と、判定ステップＳ２と、出力ステップＳ３と、を含む。撮像ステップＳ１では、部品Ｔ２０を捕捉可能な捕捉部２１を有して移動可能な実装ヘッド２と同期して移動する撮像部３が、捕捉部２１の先端２１０及び実装ヘッド２と別体に設けられている基準体８を含む撮像領域Ｒ１を撮像する。判定ステップＳ２では、判定部５３が、撮像部３の撮像画像に基づいて捕捉部２１の先端２１０と基準体８との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力ステップＳ３では、出力部５４が、判定部５３の判定結果に基づく信号を出力する。
【0098】
上述の実装方法は、実装ヘッド２と同期して移動する撮像部３を用いながら、捕捉部２１の位置ずれを判定できる。
【0099】
また、実装方法は、挙動が不調であることを通知することで、捕捉部２１の挙動が通常の挙動から外れることを抑制して、動作の精度を更に向上させることができる。
【0100】
また、実装方法は、実装システム１の性能を維持しながらメンテナンスの頻度を低減でき、オペレータの作業負荷が軽減される。また、メンテナンスに実施が遅くなって、実装システム１の性能が低下し過ぎることも抑制できる。
【0101】
（５）第１変形例
図１０は、撮像部３の変形例を示す。
図１０は、撮像部３の変形例を示す。
【0102】
図１０の撮像部３は２つの移動カメラ３ｂ、３ｃを備える。移動カメラ３ｂ、３ｃは、Ｙ軸方向に沿って並んで配置された、所謂ステレオカメラである。したがって、撮像部３は、水平方向における捕捉部２１の挙動、及び鉛直方向における捕捉部２１の挙動を撮像することができる。
【0103】
（６）第２変形例
実装システム１は、複数の基準体８を備えていてもよい。
実装システム１は、複数の基準体８を備えていてもよい。
【0104】
基準体８の形状は、棒体に限定されず、球体、又は円板などの他の形状であってもよい。また、基準体８は、基台６１などの部材に印刷又は塗布されたマークでもよい。マークは、例えば点形状、特定のシンボル、又は特定の図形である。
【0105】
図１１は、基準体の変形例である基準体８Ａを示す。図１１において、水平方向に延びる矩形板状のバー部材６８が、基台６１の上面（天面）に設置されている。そして、基準体８Ａは、矩形板状のバー部材６８の上面に設けられた円形状のマークである。基準体８Ａは、基台６１に印刷又は塗布された塗料、並びに基台６１に形成された凹部及び凸部のいずれであってもよい。
【0106】
上述の基準体８は、熱補正ポールを兼用してもよい。熱補正ポールは、駆動部４が備えるリニアモータなどの発熱によって、駆動部４のシャフト軸が歪むことによる捕捉部２１の位置ずれを補正するための棒体である。この場合、制御部５のヘッド制御部５１は、捕捉部２１の位置ずれ量Ｗ１に基づいて、実装ヘッド２の位置制御を補正することで、捕捉部２１の位置決め精度が低下することを抑制する。
【0107】
（７）第３変形例
撮像部３は、実装ヘッド２のヘッドユニット２３に固定されていなくてもよく、撮像部３は、実装ヘッド２と同期（連動）して移動する撮像用移動体に固定されていてもよい。すなわち、撮像用移動体は、実装ヘッド２と同一方向、同一距離、同一速度で移動する。
撮像部３は、実装ヘッド２のヘッドユニット２３に固定されていなくてもよく、撮像部３は、実装ヘッド２と同期（連動）して移動する撮像用移動体に固定されていてもよい。すなわち、撮像用移動体は、実装ヘッド２と同一方向、同一距離、同一速度で移動する。
【0108】
許容範囲Ｇ１は、円形状以外であってもよい。例えば、許容範囲Ｇ１は、Ｘ軸又はＹ軸に長い長円形状又は矩形状などであってもよい。
【0109】
また、捕捉部２１と基板Ｔ１０などの第１対象物Ｔ１との相対的な位置は、Ｚ軸に沿った上下方向に対向する構成に限定されない。すなわち、捕捉部２１と第１対象物Ｔ１との相対的な位置は、水平方向に対向する構成などの他の構成であってもよい。
【0110】
上述の実施形態、及び各変形例で説明した構成は、適宜組み合わせて適用可能である。
【0111】
（８）まとめ
実施形態に係る第１の態様の実装システム（１）は、第１対象物（Ｔ１）に第２対象物（Ｔ２）を実装する。実装システム（１）は、実装ヘッド（２）と、撮像部（３）と、基準体（８、８Ａ）と、判定部（５３）と、出力部（５４）と、を備える。実装ヘッド（２）は、第２対象物（Ｔ２）を捕捉可能な捕捉部（２１）を有して移動可能である。撮像部（３）は、実装ヘッド（２）と同期して移動し、少なくとも捕捉部（２１）の先端（２１０）を撮像領域（Ｒ１）に含む。基準体（８、８Ａ）は、実装ヘッド（２）と別体に設けられている。判定部（５３）は、撮像部（３）が捕捉部（２１）の先端（２１０）及び基準体（８、８Ａ）を撮像領域（Ｒ１）に含んで撮像した撮像画像に基づいて捕捉部（２１）の先端（２１０）と基準体（８、８Ａ）との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力部（５４）は、判定部（５３）の判定結果に基づく信号を出力する。
実施形態に係る第１の態様の実装システム（１）は、第１対象物（Ｔ１）に第２対象物（Ｔ２）を実装する。実装システム（１）は、実装ヘッド（２）と、撮像部（３）と、基準体（８、８Ａ）と、判定部（５３）と、出力部（５４）と、を備える。実装ヘッド（２）は、第２対象物（Ｔ２）を捕捉可能な捕捉部（２１）を有して移動可能である。撮像部（３）は、実装ヘッド（２）と同期して移動し、少なくとも捕捉部（２１）の先端（２１０）を撮像領域（Ｒ１）に含む。基準体（８、８Ａ）は、実装ヘッド（２）と別体に設けられている。判定部（５３）は、撮像部（３）が捕捉部（２１）の先端（２１０）及び基準体（８、８Ａ）を撮像領域（Ｒ１）に含んで撮像した撮像画像に基づいて捕捉部（２１）の先端（２１０）と基準体（８、８Ａ）との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力部（５４）は、判定部（５３）の判定結果に基づく信号を出力する。
【0112】
上述の実装システム（１）は、実装ヘッド（２）と同期して移動する撮像部（３）を用いながら、捕捉部（２１）の位置ずれを判定できる。
【0113】
実施形態に係る第２の態様の実装システム（１）では、第１の態様において、相対位置は、基準体（８、８Ａ）の位置に対する捕捉部（２１）の先端（２１０）の位置ずれであり、判定部（５３）は、位置ずれが許容範囲（Ｇ１）に収まっているか否かを判定することが好ましい。
【0114】
上述の実装システム（１）は、捕捉部（２１）の位置ずれを精度よく判定できる。
【0115】
実施形態に係る第３の態様の実装システム（１）は、第１又は第２の態様において、基準体（８、８Ａ）が設けられている部材（６１、６８）を更に備えることが好ましい。
【0116】
上述の実装システム（１）は、判定部（５３）の判定処理に用いる基準体（８、８Ａ）を実現できる。
【0117】
実施形態に係る第４の態様の実装システム（１）は、第１乃至第３の態様のいずれか１つにおいて、実装ヘッド（２）を駆動して、実装ヘッド（２）を移動させる駆動部（４）を更に備えることが好ましい。判定部（５３）は、実装ヘッド（２）が基準体（８、８Ａ）の位置に対応する目標位置に移動したときに、相対位置を検出する。
【0118】
上述の実装システム（１）は、捕捉部（２１）の先端（２１０）と基準体（８、８Ａ）との相対位置を精度よく検出できる。
【0119】
実施形態に係る第５の態様の実装システム（１）は、第１乃至第４の態様のいずれか１つにおいて、捕捉部（２１）及び撮像部（３）が取り付けられているヘッドユニット（２３）を更に備えることが好ましい。撮像部（３）の撮像光軸（ＡＸ１）は、鉛直方向に対して斜めに延びている。
【0120】
上述の実装システム（１）は、捕捉部（２１）の先端（２１０）の位置を精度よく検出できる。
【0121】
実施形態に係る第６の態様の実装方法は、第１対象物（Ｔ１）に第２対象物（Ｔ２）を実装する。実装方法は、撮像ステップ（Ｓ１）と、判定ステップ（Ｓ２）と、出力ステップ（Ｓ３）と、を含む。撮像ステップ（Ｓ１）は、第２対象物（Ｔ２）を捕捉可能な捕捉部（２１）を有して移動可能な実装ヘッド（２）と同期して移動する撮像部（３）が、捕捉部（２１）の先端（２１０）及び実装ヘッド（２）と別体に設けられている基準体（８、８Ａ）を含む撮像領域（Ｒ１）を撮像する。判定ステップ（Ｓ２）は、撮像部（３）の撮像画像に基づいて捕捉部（２１）の先端（２１０）と基準体（８、８Ａ）との相対位置を検出し、相対位置が所定条件を満たすか否かを判定する。出力ステップ（Ｓ３）は、判定ステップ（Ｓ２）の判定結果に基づく信号を出力する。
【0122】
上述の実装方法は、実装ヘッド（２）と同期して移動する撮像部（３）を用いながら、捕捉部（２１）の位置ずれを判定できる。
【符号の説明】
【0123】
１ 実装システム
２ 実装ヘッド
２１ 捕捉部
２１０ 先端
２３ ヘッドユニット
３ 撮像部
４ 駆動部
５３ 判定部
５４ 出力部
６１ 基台（部材）
６８ バー部材（部材）
８、８Ａ 基準体
Ｔ１ 第１対象物
Ｔ２ 第２対象物
Ｒ１ 撮像領域
Ｗ１ 位置ずれの量
Ｌ１ 閾値
ＡＸ１ 撮像光軸
Ｓ１ 撮像ステップ
Ｓ２ 判定ステップ
Ｓ３ 出力ステップ
２ 実装ヘッド
２１ 捕捉部
２１０ 先端
２３ ヘッドユニット
３ 撮像部
４ 駆動部
５３ 判定部
５４ 出力部
６１ 基台（部材）
６８ バー部材（部材）
８、８Ａ 基準体
Ｔ１ 第１対象物
Ｔ２ 第２対象物
Ｒ１ 撮像領域
Ｗ１ 位置ずれの量
Ｌ１ 閾値
ＡＸ１ 撮像光軸
Ｓ１ 撮像ステップ
Ｓ２ 判定ステップ
Ｓ３ 出力ステップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】