特開 2023-116394 真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023116394

(43)【公開日】2023-08-22

(54)【発明の名称】真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20230815BHJP

   F16C 19/16 20060101ALI20230815BHJP

   F16C 32/04 20060101ALI20230815BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 A

F16C19/16

F16C32/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022195651

(22)【出願日】2022-12-07

(31)【優先権主張番号】P 2022018857

(32)【優先日】2022-02-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100149009

【弁理士】

【氏名又は名称】古賀 稔久

(72)【発明者】

【氏名】西村 太貴

【テーマコード（参考）】

3H131

3J102

3J701

【Ｆターム（参考）】

3H131AA02

3H131BA06

3H131CA13

3J102AA01

3J102BA03

3J102BA19

3J102CA09

3J102CA23

3J102CA27

3J102DA02

3J102DA07

3J102DA11

3J102DA26

3J102GA06

3J701AA03

3J701AA42

3J701AA54

3J701AA62

3J701FA38

3J701FA41

3J701GA29

(57)【要約】

【課題】吸気口が筐体の側面に形成された場合であっても磁石の位置調整を容易に行うことが可能な真空ポンプを提供すること
【解決手段】真空ポンプ１では、筐体部２は、側面部１３に形成された吸気口Ｐ１１を有する。磁気軸受３２は、筐体部２に固定されたマグネットホルダ部１６の周囲に配置された第１永久磁石４１と、第１永久磁石４１と径方向において対向してロータ３に配置された第２永久磁石４２と、を有する。磁石ナット４６は、マグネットホルダ部１６の周囲に形成された雄ネジ形状に嵌る雌ネジ形状を内面に有する、磁石ナット４６は、マグネットホルダ部１６に対して回転させることでロータ３の回転軸に沿った方向に移動して第２永久磁石４２に対する第１永久磁石４１の位置は、磁石ナット４６を調整する。磁石ナット４６は、第１吸気口Ｐ１１から挿入される回転治具６１に係止される貫通孔５２ｃを側面に有する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転可能なロータと、
側面に形成された吸気口を有し、前記ロータを収容する筐体部と、
前記筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、前記第１磁石と径方向において対向して前記ロータに配置された第２磁石と、を有する磁気軸受と、
前記マグネットホルダ部の周囲に形成された第１ネジ形状に嵌る第２ネジ形状を内面に有し、前記マグネットホルダ部に対して回転させることで前記ロータの回転軸に沿った方向に移動して前記第２磁石に対する前記第１磁石の位置を調整する調整部材と、を備え、
前記調整部材は、前記吸気口から挿入される治具に係止される係止部を側面に有する、
真空ポンプ。

【請求項2】

前記係止部は、前記調整部材の側面に周方向に沿って形成された複数の貫通孔、複数の凹部、または複数の凸部である、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記ロータに配置され、前記第２磁石の位置を固定する固定部材を更に備え、
前記調整部材は、
前記径方向において前記固定部材と対向して配置され、前記第２ネジ形状が形成された第１部分と、
前記吸気口と対向して配置され、前記係止部が形成された第２部分と、を有する、
請求項１または２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記第２部分の内径は、前記第１部分の内径よりも大きく形成され、
前記係止部は、前記第２部分の側面に周方向に沿って等間隔で形成された複数の貫通孔である、
請求項３に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記ロータの軸芯であるロータシャフトの前記磁気軸受とは反対側の端部に配置され、前記ロータシャフトを前記筐体部に対して回転可能に支持する転がり軸受と、
前記転がり軸受の前記磁気軸受とは反対側であって前記ロータシャフトに固定され、前記転がり軸受に前記磁気軸受側の方向への予圧を付与する予圧付与部材と、を更に備えた、
請求項１または２に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記予圧付与部材は、前記転がり軸受と反対側から挿入される前記予圧を計測する治具と係合可能な被係合部を有する、
請求項５に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

前記予圧付与部材は、ナット部材であり、
前記被係合部は、前記ナット部材の外側面に形成された凹部である、
請求項６に記載の真空ポンプ。

【請求項8】

前記予圧付与部材は、ナット部材であり、
前記ナット部材は、前記転がり軸受の反対側に向かって外側に広がるように傾斜した外側面を有し、
前記被係合部は、前記外側面である、
請求項６に記載の真空ポンプ。

【請求項9】

前記筐体部は、
前記吸気口が形成され、前記ロータを覆うケーシングと、
前記ケーシングと接続されるベースと、を有し、
前記マグネットホルダ部は、前記ケーシングと一体に形成されている、
請求項１または２に記載の真空ポンプ。

【請求項10】

前記ロータは、前記吸気口側の端部に配置され、前記吸気口から前記ロータの回転バランスを修正可能な回転バランス修正部を有する、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項11】

前記回転バランス修正部は、
前記端部の側面に周方向に沿って等間隔に形成された複数のバランス修正孔と、
前記複数のバランス修正孔の全部または一部に配置される修正錘と、を有する、
請求項１０に記載の真空ポンプ。

【請求項12】

前記バランス修正孔の内周面には、雌ネジ形状が形成され、
前記修正錘は、外周面に雄ネジ形状が形成されており、前記バランス修正孔の前記内周面と螺合している、
請求項１１に記載の真空ポンプ。

【請求項13】

前記バランス修正孔は、前記回転軸に近づくに従って前記吸気口側と反対側に向かうように傾斜している、
請求項１１に記載の真空ポンプ。

【請求項14】

回転可能なロータと、
吸気口を有し、前記ロータを収容する筐体部と、
前記筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、前記第１磁石と径方向において対向して前記ロータに配置された第２磁石と、を有する磁気軸受と、
前記第２磁石に対する前記第１磁石の位置を調整する調整部材と、
前記ロータの軸芯であるロータシャフトの前記磁気軸受とは反対側の端部に配置され、前記ロータシャフトを前記筐体部に対して回転可能に支持する転がり軸受と、
前記転がり軸受の前記磁気軸受とは反対側であって前記ロータシャフトに固定され、前記転がり軸受に前記磁気軸受側の方向への予圧を付与する予圧付与部材と、を備え、
前記予圧付与部材は、前記転がり軸受と反対側から挿入される前記予圧を計測する治具と係合可能な被係合部を有する、
真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

ターボ分子ポンプは、超高真空用の真空ポンプ、およびリークディテクタ用の真空ポンプ等として使用される。例えば、特許文献１に示す真空ポンプは、筐体の内部にロータを収容し、ロータを数万回転で回転させることにより真空排気を行う。

【0003】

特許文献１に示す真空ポンプでは、磁気軸受および転がり軸受によってロータが筐体に回転可能に支持されている。磁気軸受は、ロータに配置された回転体側磁石と、筐体に固定されたマグネットホルダ部に配置された静止側磁石と、を含む。転がり軸受は、回転の際のガタや異音の発生を低減するために予圧をかける必要がある。静止側磁石に対する回転体側磁石の位置を調整することによって、適切な予圧を転がり軸受にかけることができる。

【0004】

回転体側磁石の位置調整は、マグネットホルダ部に螺合された磁石ナットを回転することによって行われる。筐体には、磁石ナットの上部に吸気口が形成されており、作業者は、吸気口を介して磁石ナットの回転を行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１２２５２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、リークディテクタに用いられるターボ分子ポンプ等では、吸気口が磁石ナットの上部に設けられておらず、磁石ナットの側面に形成されている場合がある。

【0007】

本発明は、吸気口が筐体の側面に形成された場合であっても磁石の位置調整を容易に行うことが可能な真空ポンプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様に係る真空ポンプは、ロータと、筐体部と、磁気軸受と、調整部材と、を備える。ロータは、回転可能である。筐体部は、側面に形成された吸気口を有し、ロータを収容する。磁気軸受は、筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、第１磁石と径方向において対向してロータに配置された第２磁石と、を有する。調整部材は、マグネットホルダ部の周囲に形成された第１ネジ形状に嵌る第２ネジ形状を内面に有し、マグネットホルダ部に対して回転させることでロータの回転軸に沿った方向に移動して第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。調整部材は、吸気口から挿入される治具に係止される係止部を側面に有する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、吸気口が筐体の側面に形成された場合であっても磁石の位置調整を容易に行うことが可能な真空ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態１に係る真空ポンプの断面図である。

【図2】図１のＳ部拡大図である。

【図3】実施形態１に係る真空ポンプの磁石ナットの斜視図である。

【図4】実施形態１に係る真空ポンプの磁石ナットの平面図である。

【図5】実施形態１に係る真空ポンプにおいて第１永久磁石の位置の調整方法を説明するための図である。

【図6】実施形態１に係る真空ポンプの磁石ナットの貫通孔に治具を差し込んでいる状態を示す図である。

【図7】（ａ）実施形態１に係る真空ポンプのスラストナットを示す断面図である、（ｂ）実施形態に係る真空ポンプの転がり軸受にかける予圧を計測するための治具を示す模式図である。

【図8】実施形態２に係る真空ポンプの第１吸気口の近傍を示す断面図である。

【図9】実施形態２に係る真空ポンプの最も第１吸気口側に位置するロータ翼ユニットを示す斜視図である。

【図10】実施形態２に係る真空ポンプの最も第１吸気口側に位置するロータ翼ユニットを示す平面図である。

【図11】実施形態２に係る真空ポンプの回転バランス修正部のバランス修正孔に治具を用いて止めネジを挿入している状態を示す断面図である。

【図12】（ａ）実施形態１の変形例に係る真空ポンプの磁石ナットの平面図である、（ｂ）実施形態の変形例に係る真空ポンプの磁石ナットの側面図である、

【図13】（ａ）実施形態１に係る真空ポンプの磁石ナットの平面図である、（ｂ）実施形態の変形例に係る真空ポンプの磁石ナットの側面図である、

【図14】（ａ）実施形態１の変形例に係る真空ポンプのスラストナットを示す断面図である、（ｂ）実施形態１の変形例に係る真空ポンプの転がり軸受にかける予圧計測するための治具を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本開示にかかる実施の形態の真空ポンプについて図面を参照しながら説明する。

【0012】

（実施形態１）
実施形態１に係る真空ポンプについて説明する。

【0013】

（真空ポンプ１）
図１は、実施形態に係る真空ポンプ１の断面図である。

【0014】

真空ポンプ１は、タービン部Ｔと、ドラッグポンプ部Ｄと、を含む。タービン部Ｔは、ターボ分子ポンプを構成する。ドラッグポンプ部Ｄは、ネジ溝ポンプを構成する。真空ポンプ１は、排気対象空間を含む排気対象装置に接続されている。排気対象空間からのガスは、タービン部Ｔで排気された後、ドラッグポンプ部Ｄで排気され、真空ポンプ１の外に排気される。

【0015】

真空ポンプ１は、図１に示すように、筐体部２と、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６と、を有する。筐体部２は、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６とを収容する。

【0016】

（筐体部２）
筐体部２は、ケーシング７と、ベース８と、を有する。筐体部２は、アルミニウム合金または鉄等の金属によって形成されている。ケーシング７は、筒状の部材である。

【0017】

ケーシング７は、複数のステータ翼ユニット５と、ロータ３に設けられた複数段のロータ翼ユニット２２と、を収容する。ケーシング７は、第１端部１１と、第２端部１２と、側面部１３と、を有する。第１端部１１は、ロータ３の軸Ａに対して垂直にロータ３を覆うように配置されている。

【0018】

第２端部１２は、ロータ３の軸Ａ方向において、第１端部１１と反対側に位置している。第２端部１２は、ベース８に接続される。側面部１３は、第１端部１１と第２端部１２を繋ぐ。ケーシング７の側面部１３には、第１吸気口Ｐ１１と、第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３が形成されている。第１吸気口Ｐ１１は、側面部１３の第１端部１１近傍に形成されている。第１吸気口Ｐ１１には、排気対象空間を含む排気対象装置が接続される。

【0019】

ベース８は、ケーシング７の第２端部１２側の開口を塞ぐように配置されている。ケーシング７およびベース８は、ステータ円筒部６と、ロータ３に設けられているロータ円筒部２３と、を収納する。ベース８は、ベース端部１５を有する。ベース端部１５は、ケーシング７の第２端部１２に接続される。なお、ケーシング７とベース８の接続は、互いに別体の部材が接合されることを含むものとし、また、一体の部材において別々の部分が連なっていることを含むものとする。

【0020】

ベース８の側面には、排気口Ｐ２１が形成されている。排気口Ｐ２１には、補助ポンプが接続される。筐体部２の内部空間には、第１吸気口Ｐ１１から排気口Ｐ２１に至る排気経路が形成される。この排気経路に、複数の第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３が接続される。真空ポンプ１をリークディテクタとして用いる場合には、複数の第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３に、それぞれ試験体からの配管が接続される。第２吸気口Ｐ１２は、タービン部Ｔとドラッグポンプ部Ｄの間に形成されている。第２吸気口Ｐ１３は、ドラッグポンプ部Ｄの途中に形成されている。なお、第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３は、真空ポンプ１の用途によっては形成されていなくてもよい。

【0021】

（ロータ３）
ロータ３は、シャフト２１と、複数段のロータ翼ユニット２２と、ロータ円筒部２３と、を有する。

【0022】

シャフト２１は、ロータ３の軸Ａ方向に延びている。以下の説明では、軸Ａ方向のうちベース８からケーシング７に向かう方向を第１方向Ａ１とし、その反対を第２方向Ａ２とする。

【0023】

真空ポンプ１は、マグネットホルダ部１６を有している。マグネットホルダ部１６は、ケーシング７の内側に配置されている。マグネットホルダ部１６は、ケーシング７の第１端部１１からベース８に向かって配置されている。マグネットホルダ部１６は、ケーシング７と一体に形成されている。一体に形成されているとは、例えば、同じ材料を用いて金型で成形することや、切削によって形成することである。

【0024】

マグネットホルダ部１６は、外形が円柱状である。マグネットホルダ部１６の第２方向Ａ２側の端には、第１方向Ａ１に向かって凹部１６ａが形成されている。凹部１６ａには、シャフト２１の第１方向Ａ１側の端が挿入されている。

【0025】

ベース８の第２方向Ａ２側の面の中央には、第１方向Ａ１に向かって凹部８ａが形成されている。真空ポンプ１は、蓋部９を有している。蓋部９は、ベース８の凹部８ａを塞ぐように配置されている。

【0026】

ベース８の凹部８ａの第１方向Ａ１側の天井部分には、軸Ａ方向に沿って貫通孔８ｂが形成されている。シャフト２１は貫通孔８ｂに挿入されており、シャフト２１の第２方向Ａ２側の端は凹部８ａの内側に突出している。

【0027】

真空ポンプ１は、保護軸受３１と、磁気軸受３２と、転がり軸受３３と、を有している。保護軸受３１は、マグネットホルダ部１６とシャフト２１の間に配置されている。保護軸受３１は、マグネットホルダ部１６の凹部１６ａの内部に配置されている。保護軸受３１は、シャフト２１の第１方向Ａ１側のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能する。シャフト２１が定常回転している状態では、シャフト２１と保護軸受３１は接触しておらず、大外乱が加わった場合や、回転の加速または減速時にシャフト２１の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト２１が保護軸受３１の内輪の内面に接触する。保護軸受３１は、例えばボールベアリング等を用いることができる。

【0028】

磁気軸受３２は、マグネットホルダ部１６とロータ３の間に配置されている。磁気軸受３２は、ロータ３を非接触支持する。磁気軸受３２については後段にて詳しく説明する。

【0029】

転がり軸受３３は、シャフト２１とベース８の間に配置される。転がり軸受３３は、ベース８に対してシャフト２１を回転可能に支持する。転がり軸受３３は、ベース８の貫通孔８ｂに配置されている。転がり軸受３３は、例えばボールベアリングを用いることができる。真空ポンプ１は、シャフト２１に固定されたスラストナット３４（予圧付与部材の一例、ナット部材の一例）を有している。スラストナット３４は、シャフト２１のうち貫通孔８ｂから突出して凹部８ａの内部に位置する部分に配置されている。スラストナット３４は、転がり軸受３３の第２方向Ａ２側に配置されている。後述する磁気軸受３２を調整すると、ロータ３にケーシング７側に移動する力が付与されるため、スラストナット３４が転がり軸受３３に第１方向Ａ１に向かって予圧を付与する。

【0030】

複数段のロータ翼ユニット２２は、それぞれシャフト２１に接続されている。複数段のロータ翼ユニット２２は、軸Ａ方向に互いに間隔をおいて配置されている。各々のロータ翼ユニット２２は、複数のロータ翼２５を含む、図示を省略するが、複数のロータ翼２５の各々は、シャフト２１を中心にして放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼ユニット２２の１つ、および複数のロータ翼２５の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼ユニット２２および他のロータ翼２５の符号は省略されている。

【0031】

ロータ円筒部２３は、シャフト２１に接続されている。ロータ円筒部２３は、ロータ翼ユニット２２の下方に配置されている。ロータ円筒部２３は、円筒状であり、軸Ａ方向に延びている。ロータ円筒部２３は、シャフト２１の外周側においてシャフト２１を囲むように配置されている。ロータ円筒部２３の外周面は筒状の曲面である。

【0032】

（モータ４）
モータ４は、ロータ３を回転駆動する。モータ４としては、例えばＤＣブラシレスモータが用いられる。モータ４は、モータロータ２６と、モータステータ２７と、を有する。モータロータ２６は、シャフト２１に取り付けられている。モータステータ２７は、ベース８に取り付けられている。モータステータ２７は、モータロータ２６と向かい合って配置されている。

【0033】

（複数段のステータ翼ユニット５）
複数段のステータ翼ユニット５は、ケーシング７の内面に接続されている。複数段のステータ翼ユニット５は、軸Ａ方向において、互いに間隔を空けて配置されている。複数段のステータ翼ユニット５の各々は、複数段のロータ翼ユニット２２の間に配置されている。各々のステータ翼ユニット５は、複数のステータ翼２８を含む。図示を省略するが、複数のステータ翼２８は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。

【0034】

複数段のロータ翼ユニット２２と複数段のステータ翼ユニット５とは、タービン部Ｔ（ターボ分子ポンプ）を構成する。なお、図面においては、複数のステータ翼ユニット５の１つ、および複数のステータ翼２８の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼ユニット５および他のステータ翼２８の符号は省略されている。

【0035】

（ステータ円筒部６）
ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向外側に配置されている。ステータ円筒部６は、ベース８に接続されている。ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向において、ロータ円筒部２３と向かい合って配置されている。

【0036】

ステータ円筒部６の内周面には、らせん状のネジ溝が設けられている。ロータ円筒部２３とステータ円筒部６は、ドラッグポンプ部Ｄ（ネジ溝ポンプ）を構成する。

【0037】

（磁気軸受３２）
図２は、図１のＳ部拡大図である。磁気軸受３２は、第１永久磁石４１（第１磁石の一例）と、第２永久磁石４２（第２磁石の一例）と、を有している。第１永久磁石４１は、マグネットホルダ部１６の外周面に配置されている。第２永久磁石４２は、ロータ３の内周面に固定されている。第１永久磁石４１と第２永久磁石４２は径方向Ｂにおいて対向するように配置されている。

【0038】

第１永久磁石４１と第２永久磁石４２はリング状である。図１では、軸Ａ方向に沿って第１永久磁石４１が３個、第２永久磁石４２が３個並んで配置されているが、第１永久磁石４１および第２永久磁石４２の個数は特に限定されるものではない。

【0039】

第１永久磁石４１と第２永久磁石４２の間には隙間が形成されている。第１永久磁石４１と第２永久磁石４２を構成する各々のリング状磁石要素は、軸Ａ方向の一端がＮ極、他端がＳ極になるように配置されている。積層されている第１永久磁石４１のリング状磁石要素は、Ｎ極同士、またはＳ極同士が軸Ａ方向おいて向かい合うように配置されている。積層されている第２永久磁石４２のリング状磁石要素は、Ｎ極同士、またはＳ極同士が軸Ａ方向おいて向かい合うように配置されている。第１永久磁石４１と第２永久磁石４２は、同じ極同士が概ね向かい合うように配置されているが、軸Ａ方向の位置ずれによって、シャフト２１にケーシング７およびベース８に対して第１方向Ａ１に移動する力が付与され、転がり軸受３３にスラストナット３４によって予圧力が付与される。第１永久磁石４１の第２永久磁石４２に対する軸Ａ方向における位置ズレ量を調整することによって予圧力を調整することができる。

【0040】

真空ポンプ１は、図２に示すように、固定部材４３と、皿バネ４４と、バネ支持部材４５と、磁石ナット４６と、を更に有する。

【0041】

固定部材４３は、第２永久磁石４２の第１方向Ａ１側の面に配置されている。固定部材４３はリング状である。固定部材４３は、ロータ３と繋がっており、ロータ３と同一の部品として図示されているが、別々の部品であってもよい。固定部材４３は、第２永久磁石４２の位置を固定するための押さえ部材である。ロータ３と別部品の場合、固定部材４３は、焼きばめ・冷やしばめ等によってロータ３に固定されている。

【0042】

皿バネ４４は、第１永久磁石４１の第２方向Ａ２側に配置されている。皿バネ４４の第１永久磁石４１と反対側の端は、マグネットホルダ部１６に固定されたバネ支持部材４５によって支持されている。弾性体である皿バネ４４は、第１永久磁石４１の第１方向Ａ１側の面に配置された磁石ナット４６とバネ支持部材４５との間で第１永久磁石４１を弾性支持している。なお、皿バネ４４と第１永久磁石４１の間にシムリングが配置されていてもよい。

【0043】

（磁石ナット４６）
磁石ナット４６は、リング状である。磁石ナット４６は、第１永久磁石４１の第１方向Ａ１側の面に配置されている。磁石ナット４６は、第１永久磁石４１の軸Ａ方向における位置を調整する。磁石ナット４６は、転がり軸受３３に加えられる磁石の反発力による予圧力の圧力を受けるための押さえ部材といえる。磁石ナット４６は、マグネットホルダ部１６の外周に移動可能に配置されている。

【0044】

図３は、磁石ナット４６の斜視図である。図４は、磁石ナット４６の平面図である。磁石ナット４６は、マグネットホルダ部１６と螺合する第１部分５１と、後述する回転治具６１（治具の一例）に係止される貫通孔５２ｃが形成された第２部分５２と、を有する。

【0045】

第１部分５１は、第２部分５２よりも第１永久磁石４１側に配置されている。第１部分５１は、磁石ナット４６のうち第１永久磁石４１を押さえる部分である。第１部分５１は、リング状である。第１部分５１の内周面５１ａには雌ネジ形状（第２ネジ形状の一例）が形成されている。マグネットホルダ部１６の外周面には雄ネジ形状（第１ネジ形状の一例）が形成されている。磁石ナット４６の第１部分５１の雌ネジ形状は、マグネットホルダ部１６の外周面の雄ネジ形状に嵌っている。第１部分５１は、径方向において固定部材４３と対向するように配置されている。

【0046】

第２部分５２は、第１部分５１の第１永久磁石４１とは反対側の端に繋がっている。第２部分５２は、リング状である。図４に示すように、第２部分５２は第１部分５１と同軸上に配置されている。図４に示すように、第２部分５２の内径Ｒ１は、第１部分５１の内径Ｒ２よりも大きく形成されている。第２部分５２の内周面５２ａには、雌ネジ形状が形成されていない。第２部分５２の外径Ｒ３は、第１部分５１の外径Ｒ４よりも大きく形成されている。第２部分５２は、第１部分５１よりも径方向の外側に位置している。第２部分５２は、軸Ａ方向において固定部材４３よりも第１端部１１側（第１方向Ａ１側）に配置されている。このため、第２部分５２は、第１部分５１よりも外側に位置することができる。第２部分５２は、図１に示すように、径方向Ｂにおいて第１吸気口Ｐ１１と対向するように配置されている。

【0047】

第２部分５２の側面５２ｂには、複数の貫通孔５２ｃが形成されている。複数の貫通孔５２ｃは、径方向Ｂに沿って形成されている。磁石ナット４６では、複数の貫通孔５２ｃは、周方向に沿って等間隔に形成されている。図３および図４に示す例では、第２部分５２には、１０個の貫通孔５２ｃが形成されている。１０個の貫通孔５２ｃは、軸Ａを中心に３６°間隔で形成されている。

【0048】

磁石ナット４６はマグネットホルダ部１６に螺合しているため、マグネットホルダ部１６に対して周方向に回転することによって、軸Ａ方向に沿って移動できる。なお、磁石ナット４６と第１永久磁石４１の間に、第１永久磁石４１を保護するためにスペーサを配置してもよい。

【0049】

磁石ナット４６がマグネットホルダ部１６に対して軸Ａ周りに回転すると、磁石ナット４６は軸Ａ方向に移動する。磁石ナット４６の移動によって皿バネ４４で弾性支持されている第１永久磁石４１が軸Ａ方向に沿って移動する。磁石ナット４６を回転させることによって第２永久磁石４２に対する第１永久磁石４１の位置を調整することができる。

【0050】

（位置調整方法）
次に、第１永久磁石４１の位置調整方法について説明する。磁石ナット４６を軸Ａ周りに回転させることによって、第２永久磁石４２に対する第１永久磁石４１の位置を調整して適切な予圧力を転がり軸受３３に付与する。

【0051】

図５は、第１永久磁石４１の位置の調整方法を説明するための図である。図５に示すように、作業者は、真空ポンプ１の第１吸気口Ｐ１１から磁石ナット４６を回転させるための回転治具６１を差し込む。回転治具６１の先端６１ａは、図６に示すように、磁石ナット４６の貫通孔５２ｃに挿入される。回転治具６１は、棒状である。回転治具６１の先端６１ａは、磁石ナット４６およびロータ３を保護するためにゴム等の弾性部材で覆われている方が好ましい。磁石ナット４６の貫通孔５２ｃに回転治具６１を差し込んだ状態で、回転治具６１の先端６１ａを左右方向Ｃ（軸Ａに対して垂直な方向ともいえる）に動かすことによって、マグネットホルダ部１６に対して軸Ａの周りに磁石ナット４６を回転させることができる。このように、貫通孔５２ｃの縁５２ｅに回転治具６１を係止して磁石ナット４６を回転することができる。回転治具６１の形状は、磁石ナット４６を回転させることができれば限定されるものではない。本実施の形態では、回転治具６１は円柱形状であるが、多角柱形状であってもよい。

【0052】

スラストナット３４には、図５に示すように、つかみ治具６２が取り付けられている。蓋部９がベース８に取り付けられていない状態では、つかみ治具６２を凹部８ａに挿入することができる。

【0053】

例えば、スラストナット３４の側面に凹部を形成し、凹部につかみ治具６２の先端が引っ掛けられている。つかみ治具６２は、フォースゲージ６３に取り付けられており、つかみ治具６２を第２方向Ａ２に引っ張ることによってスラストナット３４に付与した力を計測することができる。

【0054】

図７（ａ）は、スラストナット３４の形状を示す断面図である。スラストナット３４は、側面３４ａに形成された凹部３４ｂ（被係合部の一例）を有している。凹部３４ｂは少なくとも軸Ａを挟んで対向して２つ形成されている方が好ましく、対向する２つを１組として周方向に複数組形成されている方が好ましい。図７（ｂ）は、つかみ治具６２の模式図である。つかみ治具６２は、例えば、支持部６２ａと、支持部６２ａに対して回動可能（矢印参照）な一対の回動部６２ｂと、を有する。各々の回動部６２ｂは、支持部６２ａから第１方向Ａ１に向かって延びる。一対の回動部６２ｂは、対向して配置されている。回動部６２ｂの先端６２ｃが内側に向かって突出している。この先端６２ｃが、スラストナット３４の凹部３４ｂに挿入されることによって、スラストナット３４はつかみ治具６２によって係合される。

【0055】

磁気軸受３２によってスラストナット３４には第１方向Ａ１に向かって移動するように力が付与されている。スラストナット３４をつかみ治具６２で掴んだ状態で、つかみ治具６２を第２方向Ａ２に移動させるように力を付与し、スラストナット３４が第２方向Ａ２に移動したときの力をフォースゲージ６３で読み取る。これによって、現在の状態での予圧力を計測することができる。予圧力が適切な値よりも小さい場合には、回転治具６１を用いて磁石ナット４６を軸Ａ周りの一方向に回転させて第１永久磁石４１と第２永久磁石４２の位置ズレ量を大きくする。一方、予圧力が適切な値よりも大きい場合には、回転治具６１を用いて磁石ナット４６を軸Ａ周りの他方向に回転させて第１永久磁石４１と第２永久磁石４２の位置ズレ量を小さくする。

【0056】

このように回転治具６１を用いて磁石ナット４６を回転させた後に、つかみ治具６２を下方に移動させてスラストナット３４が第２方向Ａ２に移動した値をフォースゲージ６３で読み取る。これを繰り返すことによって、転がり軸受３３に適切な予圧力を付与できるように第１永久磁石４１の位置を調整することができる。

【0057】

（実施形態２）
実施形態２に係る真空ポンプについて説明する。
ターボ分子ポンプは、超高真空用の真空ポンプ、およびリークディテクタ用の真空ポンプ等として使用される。例えば、特許文献１に示す真空ポンプは、筐体の内部にロータを収容し、ロータを数万回転で回転させることにより真空排気を行う。

【0058】

このように、ターボ分子ポンプは、ロータを毎分数万位回転という高速回転で回転駆動させており、加速中も含めて運転中に低振動であることが求められている。低振動を実現させるためには精密なバランス修正が必要となる。

【0059】

特許文献１に示す真空ポンプでは、筐体のロータの上部に吸気口が形成されており、作業者は、吸気口を介してロータの回転バランスの修正を行う。

【0060】

しかしながら、リークディテクタに用いられるターボ分子ポンプ等では、吸気口が磁石ナットの上部に設けられておらず、ロータの側方に形成されている場合がある。

【0061】

本発明は、吸気口が筐体の側面に形成された場合であってもロータの回転バランスの修正を容易に行うことが可能な真空ポンプを提供することを目的とする。

【0062】

図８は、実施形態２の真空ポンプ３００の第１吸気口Ｐ１１の近傍を示す断面図である。この実施形態２の真空ポンプ３００は、実施形態１の真空ポンプ１と比較して、ロータ３３０の回転バランスを修正する回転バランス修正部３７０が設けられている。

【0063】

図８に示すように、真空ポンプ３００のロータ３３０は、シャフト２１と、複数段のロータ翼ユニット３２２と、ロータ円筒部２３と、回転バランス修正部３７０と、を有する。ロータ３３０と固定部材４３は繋がっており、同一の部品として図示されているが、別々の部品であってもよい。シャフト２１およびロータ円筒部２３（図１参照）は、実施形態１の構成と同じである。複数段のロータ翼ユニット３２２は、実施形態１と同様に、それぞれシャフト２１に接続されている。複数段のロータ翼ユニット３２２は、軸Ａ方向に互いに間隔をおいて配置されている。複数のロータ翼ユニット３２２のうち最も第１吸気口Ｐ１１側に位置するロータ翼ユニット３２２を３２２ａとして示す。

【0064】

図９は、ロータ翼ユニット３２２ａの示す斜視図である。図１０は、ロータ翼ユニット３２２ａの平面図である。図９および図１０に示すように、ロータ翼ユニット３２２ａは、円筒部３８１と、複数のロータ翼２５と、を含む。円筒部３８１は、シャフト２１の外側に配置される。複数のロータ翼２５は、円筒部３８１に固定されている。複数のロータ翼２５は、円筒部３８１の周囲に配置されている。なお、ロータ翼ユニット３２２ａ以外の他のロータ翼ユニット３２２も円筒部３８１と、複数のロータ翼２５と、を含む。

【0065】

回転バランス修正部３７０は、ロータ３３０の回転バランスを修正する。図１１～図１３に示すように、回転バランス修正部３７０は、複数段のロータ翼ユニット３２２のうち最も第１吸気口Ｐ１１側に位置するロータ翼ユニット３２２ａの円筒部３８１（端部の一例）に配置されている。回転バランス修正部３７０は、第１吸気口Ｐ１１からアクセス可能に配置されている。

【0066】

回転バランス修正部３７０は、複数のバランス修正孔３７１と、止めネジ３７２（修正錘の一例）と、を含む。図９および図１０に示すように、複数のバランス修正孔３７１は、円筒部３８１の側面３８１ａに周方向に沿って等間隔に形成されている。周方向とは、ロータ３３０の軸Ａを中心とする円周方向である。例えば、図１０に示すように、１２個のバランス修正孔３７１が円筒部３８１に３０度の等間隔で設けられている。図１０に示すように、各々のバランス修正孔３７１は、円筒部３８１の側面３８１ａから軸Ａに向かって形成されている。図８に示すように、各々のバランス修正孔３７１は、中心軸Ａに向かうに従って、第１吸気口Ｐ１１側から第１吸気口Ｐ１１とは反対側（排気口Ｐ２１側）に向かうように傾斜している。

【0067】

止めネジ３７２は、回転バランスをとるために複数のバランス修正孔３７１の全部または一部に適宜配置される。複数種類の止めネジ３７２が用意されており、回転バランスが保たれるように、適宜使用される。複数種類の止めネジ３７２とは、長さおよび重さが異なる止めネジのことである。バランス修正孔３７１の内周面には、雌ネジ形状が形成されている。止めネジ３７２の外周面には、雄ネジ形状が形成されている。バランス修正孔３７１に止めネジ３７２をネジ込むことによって、止めネジ３７２をバランス修正孔３７１内に挿入して配置することができる。このように、止めネジ３７２がバランス修正孔３７１に螺合しているため、ロータ３３０が回転しても、バランス修正孔３７１内において止めネジ３７２の位置を固定することができる。図８では、左側のバランス修正孔３７１に止めネジ３７２が配置され、右側のバランス修正孔３７１には止めネジ３７２が配置されていない状態を示す。

【0068】

ロータ翼ユニット３２２ａの円筒部３８１の上面３８１ｂには、溝部３８２が形成されている。図９に示すように、溝部３８２は、軸Ａを中心に円周状に形成されている。上述した複数のバランス修正孔３７１は、溝部３８２と連通している。この溝部３８２が形成されていない場合、バランス修正孔３７１に止めネジ３７２を挿入すると、止めネジ３７２の奥に空間が生じ、真空にする際に空間から気体が漏れ出すことになる。溝部３８２はガス抜き用として設けられている。

【0069】

図１４は、第１吸気口Ｐ１１から回転バランス修正部３７０に治具４００を挿入してバランス修正を行っている状態を示す断面図である。治具４００としては、止めネジ３７２を回転させるドライバー等を挙げることができる。治具４００を第１吸気口Ｐ１１から差し込んで、回転バランスを確認しながら、止めネジ３７２を複数のバランス修正孔３７１のうち所定の箇所に挿入する。このように、ロータ３３０の回転バランスの修正を行うことができる。

【0070】

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0071】

上記実施形態では、磁石ナット４６には、複数の貫通孔５２ｃが形成されているが、治具で係止して回転させることができれば、磁石ナット４６の形状は特に限定されるものではない。磁石ナット４６の第２部分５２の孔が貫通しておらず、凹んでいるだけでもよい。

【0072】

また、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示すような磁石ナット１４６であってもよい。図１２（ａ）は、実施形態の変形例の磁石ナット１４６の平面図である。図１２（ｂ）は、磁石ナット１４６の側面図である。磁石ナット１４６は、第１部分１５１と、第２部分１５２とを有する。磁石ナット１４６の第１部分１５１は、上述した磁石ナット４６の第１部分５１と同様の構成である。磁石ナット１４６の第２部分１５２は、第１部分１５１の第１永久磁石４１側の反対側の端（第１方向Ａ１側の端）に繋がっている。第２部分１５２は、リング状である。第２部分１５２は第１部分１５１と同軸上に配置されている。第２部分１５２の内径は、第１部分１５１の内径と同じである。第２部分１５２の内周面１５２ａと第１部分１５１の内周面１５２ａは、段差なく繋がっており、双方に雌ネジ形状が形成されている。第２部分１５２の外側面１５２ｂには、複数の凸部１５２ｃが径方向外側に向かって形成されている。複数の凸部１５２ｃは、外側面１５２ｂに沿って周方向に等間隔で形成されている。凸部１５２ｃは、外側面１５２ｂから径方向Ｂの外側に向かって突出している。図１２（ａ）に示す例では、８個の凸部１５２ｃが形成されている。隣り合う凸部１５２ｃの間に回転治具６１を差し込み、回転治具６１を凸部１５２ｃに係止することによって、磁石ナット１４６を回転させることができる。この場合、回転治具６１の先端６１ａの形状は円柱状よりも四角柱の方が凸部１５２ｃに係止しやすいため好ましい。また、回転治具６１としてフックレンチ状のものを用いてもよい。

【0073】

さらに、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示すような磁石ナット２４６であってもよい。図１３（ａ）は磁石ナット２４６の平面図である。図１３（ｂ）は、磁石ナット２４６の側面図である。磁石ナット２４６は、軸Ａを中心とするリンク状である。磁石ナット２４６の内側面２４６ａには、雌ネジ形状が形成されており、マグネットホルダ部１６の外周面の雄ネジ形状と螺合している。磁石ナット２４６の外側面２４６ｂには、複数の凹部２４６ｃが形成されている。凹部２４６ｃは、軸Ａ方向に沿って磁石ナット２４６の第１方向Ａ１の端から第２方向Ａ２の端まで形成されている。なお、凹部２４６ｃは、固定部材４３と対向する部分には形成されていなくてもよく、第１方向Ａ１側にのみ形成されていてもよい。

【0074】

上記実施形態では、予圧を計測するために、スラストナット３４に凹部３４ｂを形成した構成について説明したが、このような構成に限られるものではなく、スラストナット３４に第２方向Ａ２側に向かうような力を付与できればよい。

【0075】

例えば、図１４（ａ）に示すようなスラストナット１３４が用いられてもよい。図１４（ａ）は、シャフト２１に配置されたスラストナット１３４の断面図である。スラストナット１３４の外側面１３４ａは、転がり軸受３３とは反対側（第２方向Ａ２）に向かって外側に広がるように傾斜している。スラストナット１３４は、中心軸と垂直な断面形状が第２方向Ａ２に向かって大きくなるように形成されている。

【0076】

図１４（ｂ）は、つかみ治具１６２の模式図である。つかみ治具１６２は、例えば、本体部１６２ａと、本体部１６２ａに対して回動可能（矢印参照）な一対の回動部１６２ｂと、を有する。各々の回動部１６２ｂは、本体部１６２ａから第１方向Ａ１に向かって延びている。一対の回動部１６２ｂは対向して配置されている。各々の回動部１６２ｂの先端１６２ｃの内側に形成された内周面１６２ｄ（被係合部の一例）は、第２方向Ａ２に向かうに従って外側に向かうように傾斜している。一対の回動部１６２ｂの内周面１６２ｄの間隔は、第２方向Ａ２に向かって広くなっている。

【0077】

内周面１６２ｄでスラストナット１３４の外側面１３４ａを挟み込むことによって、つかみ治具１６２でスラストナット１３４を係合することができ、係合した状態で、つかみ治具１６２を第２方向Ａ２に向かって移動させることによって、スラストナット１３４に第２方向Ａ２に向かって力を付与することができる。上記実施形態では、リークディテクタに用いられる真空ポンプ１について説明したが、リークディテクタに限らなくてもよい。

【0078】

上記実施形態では、貫通孔５２ｃ、凸部１５２ｃ、および凹部２４６ｃは、周方向に沿って等間隔で形成されているが、等間隔でなくてもよい。

【0079】

上記実施形態では、止めネジ３７２をバランス修正孔３７１に挿入しているが、止めネジ３７２に限らなくてもよく、回転バランスを修正可能な錘であれば、ネジに限られるものではない。

【0080】

上記実施形態では、バランス修正孔３７１は、円筒部３８１の側面３８１ａから軸Ａに向かうに従って第１吸気口Ｐ１１とは反対側に向かうように傾斜しているが、傾斜していなくてもよく、側面３８１ａから軸Ａに向かって垂直に形成されていてもよい。

【0081】

なお、各実施形態に記載された構成は自由に組み合わせてもよい。

【0082】

（態様）
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者より理解される。

【0083】

（第１態様）真空ポンプは、ロータと、筐体部と、磁気軸受と、調整部材と、を備える。ロータは、回転可能である。筐体部は、側面に形成された吸気口を有し、ロータを収容する。磁気軸受は、筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、第１磁石と径方向において対向してロータに配置された第２磁石と、を有する。調整部材は、マグネットホルダ部の周囲に形成された第１ネジ形状に嵌る第２ネジ形状を内面に有し、マグネットホルダ部に対して回転させることでロータの回転軸に沿った方向に移動して第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。調整部材は、吸気口から挿入される治具に係止される係止部を側面に有する。

【0084】

第１態様に係る真空ポンプでは、筐体部の側面に形成された吸気口から治具を挿入し、治具を調整部材の係止部に係止することができる。このため、調整部材を回転して調整部材の位置を移動することにより、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整することができる。第１磁石の位置を調整することによって、ロータの筐体部への支持に用いる転がり軸受に適切な予圧をかけることができる。また、筐体部の外側から第１磁石の位置を調整することができるため、ロータ等の部品を筐体部に組み込んだ後も予圧の調整を行うことが可能となる。

【0085】

（第２態様）第１態様に係る真空ポンプにおいて、係止部は、調整部材の側面に周方向に沿って形成された複数の貫通孔、複数の凹部または複数の凸部である。

【0086】

第２態様に係る真空ポンプでは、側面に形成された吸気口から治具を挿入し、調整部材の外側面に形成された貫通孔の縁、凹部または凸部に治具を引っ掛けることによって調整部材を回転させることができる。

【0087】

（第３態様）第１または第２態様に係る真空ポンプにおいて、固定部材を更に備える。固定部材は、ロータに配置され、第２磁石の位置を固定する。調整部材は、第１部分と、第２部分と、を有する。第１部分は、径方向において固定部材と対向して配置され、第２ネジ形状が形成されている。第２部分は、吸気口と対向して配置され、係止部が形成されている。

【0088】

第３態様に係る真空ポンプでは、第２磁石の位置を固定する固定部材と干渉しないような位置に係止部を形成することができる。また、係止部が形成された第２部分が吸気口と対向して配置されているため、吸気口から挿入した治具で係止部を係止しやすく、調整部材を回転させやすい。

【0089】

（第４態様）第３態様に係る真空ポンプにおいて、第２部分の内径は、第１部分の内径よりも大きく形成されている。係止部は、第２部分の側面に周方向に沿って等間隔で形成された複数の貫通孔である。

【0090】

第４態様に係る真空ポンプでは、治具を貫通孔に挿入して左右に動かすことによって調整部材を回転させることができる。また、第２部分の内径を大きくすることによって、治具がマグネットホルダ部に当たることを低減できる。

【0091】

（第５態様）第１～４のいずれかの態様に係る真空ポンプにおいて、転がり軸受と、予圧付与部材と、を更に備える。転がり軸受は、ロータの軸芯であるロータシャフトの磁気軸受とは反対側の端部に配置され、ロータシャフトを筐体部に対して回転可能に支持する。予圧付与部材は、転がり軸受の磁気軸受とは反対側であってロータシャフトに固定され、転がり軸受に磁気軸受側の方向への予圧を付与する。

【0092】

第５態様に係る真空ポンプでは、治具で調整部材を移動することによって、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整し、転がり軸受に適切な予圧を付与することができる。

【0093】

（第６態様）第５の態様に係る真空ポンプにおいて、予圧付与部材は、転がり軸受と反対側から挿入される予圧を計測する治具と係合可能な被係合部を有する。

【0094】

第６態様に係る真空ポンプでは、転がり軸受とは反対側から予圧計測用の治具を挿入して予圧を計測しながら、吸気口から挿入した調整用の治具によって調整部材を動かして第２磁石に対する第１磁石の位置を調整することができる。また、吸気口が側面に形成された場合であっても、吸気口とは反対側から予圧付与部材を引っ張ることによって予圧を計測することができる。

【0095】

（第７態様）第６の態様に係る真空ポンプにおいて、予圧付与部材は、ナット部材である。被係合部は、ナット部材の外側面に形成された凹部である。

【0096】

第７態様に係る真空ポンプでは、凹部に予圧計測用の治具を係止することによって、予圧付与部材に吸気口とは反対側に向かって力を付与することができ、予圧を計測することができる。

【0097】

（第８態様）第６の態様に係る真空ポンプにおいて、予圧付与部材は、ナット部材である。ナット部材は、転がり軸受の反対側に向かって外側に広がるように傾斜した傾斜面を有する。被係合部は、傾斜面である。

【0098】

第８態様に係る真空ポンプでは、予圧計測用の治具の傾斜面に対応する部分によって予圧付与部材を係止することによって、予圧付与部材に吸気口とは反対側に向かって力を付与することができ、予圧を計測することができる。

【0099】

（第９態様）第１～８のいずれかの態様に係る真空ポンプにおいて、筐体部は、ケーシングと、ベースと、を有する。ケーシングは、吸気口が形成され、ロータを覆う。ベースは、ケーシングに接続される。マグネットホルダ部は、ケーシングと一体に形成されている。

【0100】

第９態様に係る真空ポンプでは、マグネットホルダ部がケーシングと一体に形成されているため、部品点数を減らすことが出来る。また、ロータの筐体部への支持に用いる転がり軸受と磁気軸受の同軸度を向上し、ロータの回転軸の傾きを抑えることができ、低振動および長寿命化を図ることができる。

【0101】

（第１０態様）第１の態様に係る真空ポンプにおいて、ロータは、吸気口側の端部に配置され、吸気口からロータの回転バランスを修正可能な回転バランス修正部を有する。

【0102】

第１０態様に係る真空ポンプでは、ロータの回転バランスを側面の吸気口から修正可能である。これにより、側面に吸気口が設けられた構成であっても、ケーシング内にロータを組み入れた状態でバランス修正を行うことができ、加速中も含めた運転中の振動を低減することができる。また、例えばマグネットホルダ部がケーシングと一体に形成されている場合、ロータをケーシングに組み込む前にバランス修正用の治具に組み込みバランス修正が行われる。しかしながら、バランス修正用の治具で使用されている静止側の磁石は、製品のケーシング側に使用される磁石と異なる。また、製品のケーシングと治具ではマグネットホルダ部の軸が異なる。このため、治具でのバランス修正後に、製品のケーシングに組み込むとバランス修正が崩れ、振動または騒音が発生する場合がある。本態様では、製品のケーシングにロータを組み入れた状態でバランス修正を行うことができるため、運転中の振動および騒音を低減することができる。

【0103】

（第１１態様）第１０の態様に係る真空ポンプにおいて、回転バランス修正部は、複数のバランス修正孔と、修正錘と、を有する。複数のバランス修正孔は、端部の側面に周方向に沿って等間隔に形成されている。修正錘は、複数のバランス修正孔の全部または一部に配置される。

【0104】

第１１態様に係る真空ポンプでは、複数のバランス修正孔のうちいずれのバランス修正孔に修正錘を配置するか、および配置する修正錘の種類を調整することによって、回転バランスを修正することができる。なお、修正錘の種類とは、例えば重さおよび長さが異なる修正錘を示す。

【0105】

（第１２態様）第１１の態様に係る真空ポンプにおいて、バランス修正孔の内周面には、雌ネジ形状が形成されている。修正錘は、外周面に雄ネジ形状が形成されており、バランス修正孔の内周面と螺合している。

【0106】

第１２態様に係る真空ポンプでは、バランス修正孔に修正錘が螺合しているため、遠心力によって移動しないように修正錘をバランス修正孔内に配置することができる。

【0107】

（第１３態様）第１１の態様に係る品空ポンプにおいて、バランス修正孔は、回転軸に近づくに従って吸気口側と反対側に向かうように傾斜している。

【0108】

第１３態様に係る真空ポンプでは、バランス修正孔が傾斜しているため、吸気口から治具を挿し込んで、バランス修正孔に修正錘を挿入し易い。

【0109】

（第１４態様）真空ポンプは、ロータと、筐体部と、磁気軸受と、調整部材と、転がり軸受と、予圧付与部材と、を備える。ロータは、回転可能である。筐体部は、吸気口を有し、ロータを収容する。磁気軸受は、筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、第１磁石と径方向において対向してロータに配置された第２磁石と、を有する。調整部材は、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。転がり軸受は、ロータの軸芯であるロータシャフトの磁気軸受とは反対側の端部に配置され、ロータシャフトを筐体部に対して回転可能に支持する。予圧付与部材は、転がり軸受の磁気軸受とは反対側であってロータシャフトに固定され、転がり軸受に磁気軸受側の方向への予圧を付与する。予圧付与部材は、転がり軸受と反対側から挿入される予圧を計測する治具と係合可能な被係合部を有する。

【0110】

これによって、転がり軸受とは反対側から予圧計測用の治具を挿入して予圧を計測しながら、吸気口から挿入した調整用の治具によって調整部材を動かして第２磁石に対する第１磁石の位置を調整することができる。

【0111】

また、吸気口の位置に限らず、例えば、吸気口が筐体部の第１端部に設けられている場合であっても、吸気口からは予圧計測用の治具と調整用の治具のうち一方の治具しか挿入できないため、治具の挿入を交代で行う必要がある。しかしながら、本態様では、調整用の治具を吸気口から挿入するとともに、吸気口とは別の位置か予圧計測用の治具を挿入することができるため、予圧調整を容易に行うことができる。

【符号の説明】

【0112】

１：真空ポンプ、２：筐体部、３：ロータ、４：モータ、５：ステータ翼ユニット、６：ステータ円筒部、７：ケーシング、８：ベース、８ａ：凹部、８ｂ：貫通孔、９：蓋部、１１：第１端部、１２：第２端部、１３：側面部、１４：吸気口、１５：ベース端部、１６：マグネットホルダ部、１６ａ：凹部、２１：シャフト、２２：ロータ翼ユニット、２３：ロータ円筒部、２５：ロータ翼、２６：モータロータ、２７：モータステータ、２８：ステータ翼、３１：保護軸受、３２：磁気軸受、３３：転がり軸受、３４：スラストナット、４１：第１永久磁石、４２：第２永久磁石、４３：固定部材、４４：皿バネ、４５：バネ支持部材、４６：磁石ナット、５１：第１部分、５１ａ：内周面、５２：第２部分、５２ａ：内周面、５２ｂ：側面、５２ｃ：貫通孔、６１：回転治具、６１ａ：先端、６２：治具、６３：フォースゲージ、１４６：磁石ナット、１５１：第１部分、１５２：第２部分、１５２ａ：内周面、１５２ｂ：外側面、１５２ｃ：凸部、２４６：磁石ナット、２４６ａ：内側面、２４６ｂ：外側面、２４６ｃ：凹部、２４６：磁石ナット、３００：真空ポンプ、３２２：ロータ翼ユニット、３３０：ロータ、３７０：回転バランス修正部、３７１：バランス修正孔、３７２：止めネジ、３８１：円筒部、３８１ａ：側面、３８１ｂ：上面、３８２：溝部、４００：治具、Ａ：軸、Ａ１：第１方向、Ａ２：第２方向、Ｂ：径方向、Ｄ：ドラッグポンプ部、Ｐ１１：第１吸気口、Ｐ１２：第２吸気口、Ｐ１３：第２吸気口、Ｐ２１：排気口、Ｒ１：内径、Ｒ２：内径、Ｒ３：外径、Ｒ４：外径、Ｔ：タービン部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】