特開 2023-117896 イオン分析装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023117896

(43)【公開日】2023-08-24

(54)【発明の名称】イオン分析装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 49/04 20060101AFI20230817BHJP

   G01N 27/62 20210101ALI20230817BHJP

   H01J 49/16 20060101ALI20230817BHJP

【ＦＩ】

H01J49/04 770

G01N27/62 G

H01J49/04 500

H01J49/16 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022020705

(22)【出願日】2022-02-14

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001069

【氏名又は名称】弁理士法人京都国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】橋口 佳実

【テーマコード（参考）】

2G041

【Ｆターム（参考）】

2G041CA01

2G041CA02

2G041DA05

2G041DA18

2G041EA04

2G041GA17

2G041GA20

2G041GA23

2G041GA26

(57)【要約】

【課題】試料プローブ内で液体試料が沸騰することを防ぐことができるイオン分析装置を提供する。
【解決手段】質量分析装置（イオン分析装置）（１０）は、イオン化室（１１）と、イオン化室（１１）の壁（１１１）に固定された、イオン化室（１１）内に液体試料を噴霧する試料プローブ（１５）と、両端壁（２１２）及び周壁（２１１）を有する管状部材（２１）、管状部材（２１）の内部を加熱するヒータ（２５）、管状部材（２１）の周壁（２１１）又は端壁（２１２）に設けられたガス流入口（２２）及びガス流出口（２３）、並びに一端がガス流出口（２３）に接続され他端がイオン化室（１１）内に挿入されたガス流出管（２４）を有するガス加熱器（２０）と、ガス加熱器（２０）をイオン化室（１１）の壁に固定する固定具（２６）と、固定具（２６）を冷却する冷却部（２８）とを備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

イオン化室と、
前記イオン化室の壁に固定された、該イオン化室内に液体試料を噴霧する試料プローブと、
両端壁及び周壁を有する管状部材と、前記管状部材の内部を加熱するヒータと、前記管状部材の前記周壁又は前記端壁に設けられたガス流入口及びガス流出口と、一端が前記ガス流出口に接続され他端が前記イオン化室内に挿入されたガス流出管とを有するガス加熱器と、
前記ガス加熱器を前記イオン化室の壁に固定する固定具と、
前記固定具を冷却する冷却部と
を備えるイオン分析装置。

【請求項2】

前記冷却部が、一端が前記ガス流入口に接続されたガス流入管を有し、前記固定具が該ガス流入管と熱的に接触している、請求項１に記載のイオン分析装置。

【請求項3】

前記固定具が金属製である、請求項１又は２に記載のイオン分析装置。

【請求項4】

前記固定具が、前記ガス流出管が通過し該ガス流出管の外径よりも径が大きいガス流出管通過孔を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載のイオン分析装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、質量分析装置やイオン移動度分析装置等のイオン分析装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体クロマトグラフと組み合わせて用いられる質量分析装置は一般に、該液体クロマトグラフのカラムから溶出してきた液体試料中の成分を略大気圧雰囲気の下でイオン化するイオン化室を有する。イオン化室には、液体試料を噴霧するためのネブライザガスと共に、噴霧された液体試料からの溶媒の気化（脱溶媒）を促進するために、高温（例えば400℃程度）に加熱されたヒーティングガスが導入される。

【0003】

特許文献１には、両端壁及び周壁を有する管状部材と、管状部材の内部を加熱するヒータと、管状部材の周壁又は端壁に設けられたガス流入口及びガス流出口と、一端がガス流出口に接続され他端がイオン化室に挿入されたガス流出管（同文献では「第２管状部材」と記載）とを有するガス加熱器を備えたイオン分析装置が記載されている。このガス加熱器では、ヒータで管状部材の内部を加熱しつつガス流入口からガスを導入し、管状部材の内部で加熱されたガス（ヒーティングガス）をガス流出口からガス流出管を通してイオン化室に導入する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開2021-089227号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載のイオン分析装置では、ネブライザガスと共にイオン化室内に噴霧された液体試料の近傍の所定の位置にヒーティングガスを導入する必要がある。これら噴霧された液体試料とヒーティングガスの位置関係がずれないように、液体試料を噴霧する試料プローブとガス加熱器は共にイオン化室の壁に固定される。このような構成では、ヒータによってガスのみならずガス加熱器の管状部材も加熱されることから、管状部材の熱が、それが取りつけられるイオン化室の壁を介して、該壁に固定された試料プローブに伝導し、試料プローブが加熱されてしまう。これにより、試料プローブ内の液体試料が沸騰してイオン室内に間欠的に噴出し、液体試料に含まれる成分の量の多寡とは無関係に検出信号の強度が時間変化してしまう。

【0006】

ここまでは質量分析装置を例に説明したが、液体試料をイオン化して分析を行う、イオン移動度分析装置等の他のイオン分析装置においても同様の問題が生じる。

【0007】

本発明が解決しようとする課題は、試料プローブ内で液体試料が沸騰することを防ぐことができるイオン分析装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために成された本発明に係るイオン分析装置は、
イオン化室と、
前記イオン化室の壁に固定された、該イオン化室内に液体試料を噴霧する試料プローブと、
両端壁及び周壁を有する管状部材と、前記管状部材の内部を加熱するヒータと、前記管状部材の前記周壁又は前記端壁に設けられたガス流入口及びガス流出口と、一端が前記ガス流出口に接続され他端が前記イオン化室内に挿入されたガス流出管とを有するガス加熱器と、
前記ガス加熱器を前記イオン化室の壁に固定する固定具と、
前記固定具を冷却する冷却部と
を備える。

【発明の効果】

【0009】

本発明に係るイオン分析装置によれば、ガス加熱器をイオン化室の壁に固定する固定具を冷却部により冷却するため、ガス加熱器の管状部材の熱が固定具及びイオン化室の壁を介して試料プローブに伝導することを抑え、試料プローブ内で液体試料が沸騰することを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明に係るイオン分析装置の一実施形態である質量分析装置の概略構成図。

【図2】本実施形態の質量分析装置が有するガス加熱器の斜視図。

【図3】本実施形態の質量分析装置が有するガス加熱器の断面図。

【図4】本実施形態の質量分析装置が有する固定具の斜視図。

【図5】本実施形態の質量分析装置において、ガス加熱器をイオン化室の壁に取りつけた状態を示す部分拡大斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

図１～図５を用いて、本発明に係るイオン分析装置の実施形態を説明する。

【0012】

(1) 本発明に係る質量分析装置（イオン分析装置）の一実施形態の構成
図１に、本実施形態のイオン分析装置である質量分析装置１０の概略構成を示す。この質量分析装置１０は、略大気圧であるイオン化室１１と、真空ポンプにより真空排気された高真空の分析室１４と、それらイオン化室１１と分析室１４との間に段階的に真空度が高められるように設けられた第１中間真空室１２及び第２中間真空室１３とを備えた多段差動排気系の構成を有している。イオン化室１１と第１中間真空室１２の間は細径のキャピラリ１１２を介して連通している。第１中間真空室１２と第２中間真空室１３との間は、頂部に小孔を有するスキマー１２３で隔てられている。第１中間真空室１２と第２中間真空室１３にはそれぞれ、イオンを収束させつつ後段へ輸送するためのイオンガイド１２１、１３１が設置されている。分析室１４には、四重極マスフィルタ１４１とイオン検出器１４２が設置されている。イオン化室１１、第１中間真空室１２、第２中間真空室１３及び分析室１４の壁（外壁）は、本実施形態ではアルミニウム製である。

【0013】

イオン化室１１の壁１１１には、試料プローブ（イオン化プローブ）１５が固定されている。試料プローブ１５は、液体試料が流れる金属製のキャピラリ１５１と、キャピラリ１５１の外側に同軸に設けられた管状の部材から成るネブライザガスノズル１５２とを有する。キャピラリ１５１及びネブライザガスノズル１５２の先端付近はイオン化室１１内に挿入されている。キャピラリ１５１には、接地との間に電圧を印加する電源（図示せず）が接続されている。ネブライザガスノズル１５２にはネブライザガスを供給する第１ガスボンベ１５３が接続されている。ネブライザガスには、例えば窒素ガスを用いることができる。

【0014】

質量分析装置１０はさらに、ガス加熱器２０を有する。ガス加熱器２０は（上記ネブライザガスとは別の）ガスを加熱してイオン化室１１内に供給するものである。以下では、ガス加熱器２０で加熱される前のガスを「加熱前ガス」、加熱前ガスがガス加熱器２０で加熱された後のガスを「ヒーティングガス」と呼ぶ。本実施形態におけるガス加熱器２０は、図２及び図３に示すように、円筒形の管状部材２１と、2個のガス流入口２２と、ガス流出口２３と、ガス流出管２４と、ヒータ２５とを有する。

【0015】

管状部材２１は、周壁２１１と、管状部材２１の両端を気密に閉鎖する2枚の端壁２１２とを有する。周壁２１１及び端壁２１２はいずれも、ステンレス鋼製である。2個のガス流入口２２は管状部材２１の両端付近の周壁２１１にそれぞれ1個ずつ設けられている。ガス流入口２２にはそれぞれ、管状部材２１の外側でガス流入管２２１が接続されている。ガス流出口２３は、管状部材２１の長手方向中央の周壁２１１に設けられている。本実施形態では、ガス流出口２３の周方向の位置はガス流入口２２の周方向の位置から70°ずらしている。

【0016】

ガス流出管２４の一端は、管状部材２１の外側でガス流出口２３に接続されている。ガス流出管２４の他端側は、イオン化室１１の壁１１１に設けられた孔を通してイオン化室１１内に挿入されている。

【0017】

ヒータ２５はニクロム線で構成されており、管状部材２１の内径よりも小さい外径を有するセラミックス製のボビン２５１の周壁の外面に巻回させてコイル状にしたものである。ボビン２５１には、その内径とほぼ等しい幅を有する板材２５１１が内部を貫くように設けられており、該板材２５１１の両端が2個の端壁２１２の内表面に固定されることによって管状部材２１内に保持されている。なお、図３ではガス流入管２２１の軸に平行な断面を示しており、板材２５１１はその板面に対して傾斜した断面で表されている。ヒータ２５は、両端壁２１２にそれぞれ設けられた端子２５２に接続されており、この端子２５２を通して電流が供給される。また、管状部材２１内には熱電対（図３の断面内には無いため図示省略）が配置されており、管状部材２１の外に設けた端子２５３（図２）に接続されている。

【0018】

ガス加熱器２０は、固定具２６によってイオン化室１１の壁１１１に固定される。固定具２６はステンレス鋼製の板材を加工したものであって、イオン化室１１の壁１１１に接触しつつ固定される板状の主部２６１と、主部２６１から90°折り曲げられた板状の被冷却部２６２とを有する（図２、図４参照）。

【0019】

主部２６１には、ガス流出管２４が通過する孔であるガス流出管通過孔２６３が設けられている。なお、ガス流出管２４とイオン化室１１の壁１１１が接触していると、ガス流出管２４内を流れるヒーティングガスの熱がイオン化室１１の壁１１１に伝導しやすくなる。そのため本実施形態では、ガス流出管通過孔２６３の縁とガス流出管２４の側面が非接触となるように、ガス流出管通過孔２６３の径をガス流出管２４の外径よりも大きくしている。

【0020】

被冷却部２６２は、本実施形態では互いに分離して2つ設けられている。それら2つの被冷却部２６２にはそれぞれ、ガス流入管２２１が通過する孔であって該ガス流入管２２１の外径と略同一の径を有するガス流入管通過孔２６５が設けられている。さらに、ガス流入管２２１の外側には、雄ネジが切られていると共に、該ガス流入管２２１の外径と略同一の内径を有し雌ネジが切られた押さえ具２６６が設けられている（なお、図２ではガス流入管通過孔２６５は、押さえ具２６６により隠れているため図示されていない）。押さえ具２６６は、ガス流入管２２１にねじ込まれることにより被冷却部２６２に押しつけられている。このような構造により、固定具２６は、ガス流入管通過孔２６５の縁及び押さえ具２６６を介して、ガス流入管２２１内を通過する加熱前ガスにより冷却される。従って、ガス流入管２２１及び押さえ具２６６は冷却部２８として機能する。

【0021】

ガス流入管２２１には、加熱前ガスを供給する第２ガスボンベ２９（図１）が接続されている。加熱前ガス（及びそれが加熱されたヒーティングガス）には、例えば乾燥空気や窒素ガスを用いることができる。

【0022】

主部２６１のうちの一部であってガス流出管通過孔２６３の周囲には面接触部２７が設けられている。面接触部２７は、主部２６１よりも表面が平滑になるように研磨されたステンレス鋼から成り、イオン化室１１の壁１１１に設けられた、ガス流出管２４を通過させる孔の周囲にある該壁１１１の外壁面と面接触する。面接触部２７により、ガス流出管通過孔２６３からイオン化室１１内に固体や液体の異物が侵入することを防ぐと共に、ガス流出管通過孔２６３を通してイオン化室１１と外部の間で気体が流出入することを抑えている。なお、ガス流出管２４内を通過するヒーティングガスが400℃程度に加熱され、それによってガス流出管２４も同程度の温度に加熱されるため、ガス流出管通過孔２６３の所をＯリング等の耐熱性の低いシール材を用いて気密にシールすることはできない。また、イオン化室１１は内部が略大気圧であり、外部との間で気体が多少流出入することは許容されるため、気密にシールする必要性もない。

【0023】

固定具２６及び面接触部２７は共通のネジ２７１によって管状部材２１の周壁２１１に固定されている。また、固定具２６の主部２６１には、固定具２６をイオン化室１１の壁１１１に固定するネジ２６７（図５参照）が通過する孔又は切れ込みである4つのネジ通過部２６４が設けられている。ネジ２７１を用いて管状部材２１を固定具２６に固定したうえで、ネジ２６７を用いて固定具２６をイオン化室１１の壁１１１に固定することにより、ガス加熱器２０がイオン化室１１の壁１１１に固定される（図５）。ネジ通過部２６４の径（孔の場合）及び幅（切れ込みの場合）はネジ２６７の径よりも大きくなっており、それにより、イオン化室１１内におけるガス流出管２４の位置を微調整したうえでガス加熱器２０を固定することができるようになっている。なお、イオン化室１１の壁１１１にはネジ２７１の頭に対応する位置に凹部が設けられており、面接触部２７とイオン化室１１の壁１１１を面接触させることにネジ２７１の頭が支障することはない。

【0024】

キャピラリ１５１には、液体クロマトグラフ３０のカラム３４の出口が接続されている（図１）。液体クロマトグラフ３０は、カラム３４の他に、移動相が貯留された移動相容器３１と、移動相を吸引して一定流量（あるいは流速）で送給するポンプ３２と、移動相中に所定量の試料原液を注入するインジェクタ３３とを備える。カラム３４は、試料原液に含まれる成分を時間的に分離するものである。カラム３４から流出した、試料原液の成分と移動相から成る液体試料は、キャピラリ１５１に導入される。また、液体クロマトグラフ３０には、インジェクタ３３に複数の液体試料を１つずつ導入するオートサンプラ３５が接続されている。

【0025】

(2) 本実施形態の質量分析装置の動作
本実施形態の質量分析装置１０は、ガス加熱器２０及びその周辺の構成要素（固定具２６，冷却部２８等）を除いて、従来の質量分析装置と同様に動作する。そのため以下では、ガス加熱器２０及びその周辺の構成要素の動作を中心に説明し、それ以外の質量分析装置１０の構成要素の動作は概略のみを説明する。

【0026】

液体クロマトグラフ３０では、従来と同様に試料原液に含まれる成分が時間的に分離された液体試料がカラム３４から流出し、試料プローブ１５のキャピラリ１５１に導入される。試料プローブ１５では、キャピラリ１５１の先端から液体試料が放出されると共に、第１ガスボンベ１５３から供給されるネブライザガスがネブライザガスノズル１５２の先端から放出されることにより、霧状の液体試料がイオン化室１１内に噴霧される。

【0027】

また、第２ガスボンベ２９からは常温の加熱前ガスが、ガス流入管２２１を通してガス加熱器２０の管状部材２１内に供給される。管状部材２１内では、ヒータ２５に電流を流すことによってヒータ２５から熱が発生し、加熱前ガスが加熱される。管状部材２１内で所定の温度（例えば400℃程度）に加熱されたガスは、ヒーティングガスとして、ガス流出管２４からイオン化室１１内に導入される。

【0028】

このようにヒーティングガスがイオン化室１１内に導入されることにより、試料プローブ１５からイオン化室１１内に噴霧された液体試料の脱溶媒が促進される。それと共に、キャピラリ１５１と接地の間に電圧が印加されることにより、液体試料からイオンが生成される。こうして溶媒が脱離したイオンは、イオンガイド１２１、１３１によって収束しつつ第１中間真空室１２及び第２中間真空室１３を通過し、分析室１４に導入される。分析室１４では、四重極マスフィルタ１４１によって、特定の質量電荷比を有するイオンのみを通過させるか、又は通過させるイオンの質量電荷比を所定の範囲内で走査し、四重極マスフィルタ１４１を通過したイオンをイオン検出器１４２で検出する。

【0029】

ここでガス加熱器２０では、管状部材２１内のガスが加熱されるのに伴い、管状部材２１自体も加熱される。仮に、このように加熱された管状部材２１から固定具２６及びイオン化室１１の壁１１１を介して試料プローブ１５に熱が伝導すると、試料プローブ１５内の液体試料が沸騰してしまい、それによって試料プローブ１５から液体試料が間欠的に噴出してしまうため、検出信号が不安定になってしまう。しかし、本実施形態では、冷却部２８であるガス流入管２２１及び押さえ具２６６が固定具２６の被冷却部２６２と熱的に接触しているため、ガス流入管２２１内を流れる加熱前ガスによって固定具２６が冷却される。そのため、ガス加熱器２０の管状部材２１の熱によって試料プローブ１５が加熱されること、ひいては試料プローブ１５内の液体試料が沸騰することを抑えることができる。また、固定具２６の熱は加熱前ガスに回収され、加熱前ガスを加熱してヒーティングガスを得ることに寄与するため、熱の利用効率を高くすることができる。

【0030】

なお、固定具２６を介した熱の伝導を抑えるという点だけを考慮すると、固定具２６に断熱性の高い材料（断熱材）から成るものを用いることも考えられる。しかしながら、断熱材は一般に金属よりも脆いため、固定具２６の形状に加工し難いうえに、質量分析装置１０を長期間使用している間に断熱材の一部が崩れて微細な滓となり、イオン化室１１の壁１１１に設けられた孔とガス流出管２４との隙間からイオン化室１１内に侵入してしまうおそれがある。また、断熱材は一般に金属よりも柔らかいため、断熱材から成る固定具を用いるとイオン化室１１内でガス流出管２４の位置や向きが時間と共に変化し、それによって、イオン化室１１内に導入されたヒーティングガスと液体試料の位置関係がずれてしまい、適切に脱溶媒することができなくなってしまう。そのため、固定具２６には、長期間使用しても崩れることがなく且つ硬い材料である金属を用いることが好ましい。そして、金属は一般に熱が伝導し易いため、金属製の固定具２６は本実施形態のように冷却することが好ましい。

【0031】

(3) 変形例
本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変形が可能である。

【0032】

例えば、上記実施形態ではガス流入管２２１と固定具２６を熱的に接触させることにより、ガス流入管２２１内を流れる加熱前ガスを冷媒として用いたが、その代わりに、加熱前ガスとは別の液体（例えば水）又は気体（例えば代替フロンガス）が流れる管を固定具２６に熱的に接触させるようにしてもよい。あるいは、固定具２６を固体の熱浴に熱的に接触させるようにしてもよい。

【0033】

固定具２６の形状は上記実施形態のものには限定されず、ガス加熱器２０をイオン化室１１の壁１１１に固定できるのであれば任意の形状とすることができる。また、上記実施形態ではガス加熱器２０を1個の固定具２６で固定したが、2個以上の固定具を用い、それら2個以上の固定具をそれぞれ冷却部で冷却するようにしてもよい。

【0034】

ガス加熱器２０の構成は上記実施形態のものには限定されない。例えば、上記実施形態ではガス流入口２２とガス流出口２３を管状部材２１の周方向に70°ずらして配置したが、それら両者を周方向に180°あるいはそれら以外の角度にずらして配置してもよい。管状部材２１の長手方向に関するガス流入口２２及びガス流出口２３の位置も上記実施形態の例には限定されない。また、ガス流入口２２及び／又はガス流出口２３を管状部材２１の端壁２１２に設けてもよい。ガス流入口２２の個数は上記実施形態における2個には限定されず、1個又は3個以上であってもよい。さらに、ヒータ２５は、上記実施形態では管状部材２１の内部の空間に設けたが、管状部材２１の壁内や管状部材２１の外側に設けてもよい。また、ヒータ２５は上記実施形態におけるニクロム線から成るものには限定されず、管状部材２１の内部の空間を加熱するものであれば任意のヒータを用いることができる。管状部材２１の材料は上記実施形態におけるステンレス鋼には限定されず、管状部材２１内のガスの温度に対する耐性を有する材料であれば任意の材料を用いることができる。但し、固定具２６と同様に、長期間使用している間に崩れることがない金属材料を管状部材２１の材料に用いることが好ましい。

【0035】

また、質量分析装置の構成や、液体クロマトグラフの構成も上記実施形態におけるものには限定されず、適宜変形が可能である。あるいは、液体クロマトグラフと併用しない質量分析装置にも本発明を適用することができる。さらに、イオン移動度分析装置等の、質量分析装置以外のイオン分析装置にも本発明を適用することができる。

【0036】

［態様］
上述した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0037】

（第１項）
第１項に係るイオン分析装置は、
イオン化室と、
前記イオン化室の壁に固定された、該イオン化室内に液体試料を噴霧する試料プローブと、
両端壁及び周壁を有する管状部材と、前記管状部材の内部を加熱するヒータと、前記管状部材の前記周壁又は前記端壁に設けられたガス流入口及びガス流出口と、一端が前記ガス流出口に接続され他端が前記イオン化室内に挿入されたガス流出管とを有するガス加熱器と、
前記ガス加熱器を前記イオン化室の壁に固定する固定具と、
前記固定具を冷却する冷却部と
を備える。

【0038】

第１項に係るイオン分析装置によれば、ガス加熱器をイオン化室の壁に固定する固定具を冷却部により冷却するため、ガス加熱器の管状部材の熱が固定具及びイオン化室の壁を介して試料プローブに伝導することを抑え、試料プローブ内で液体試料が沸騰することを防ぐことができる。

【0039】

（第２項）
第２項に係るイオン分析装置は、第１項に係るイオン分析装置において、前記冷却部が、一端が前記ガス流入口に接続されたガス流入管を有し、前記固定具が該ガス流入管と熱的に接触している。

【0040】

第２項に係るイオン分析装置によれば、固定具がガス流入管と熱的に接触しているため、ガス流入管内を流れる加熱前ガスによって固定具が冷却される。また、固定具の熱が加熱前ガスに回収され、加熱前ガスを加熱してヒーティングガスを得ることに寄与するため、熱の利用効率を高くすることができる。

【0041】

（第３項）
第３項に係るイオン分析装置は、第１項又は第２項に係るイオン分析装置において、前記固定具が金属製である。

【0042】

第３項に係るイオン分析装置によれば、固定具が金属製であるため、長期間使用している間に崩れて滓を発生させることがなく、そのような滓が侵入してイオン化室内を汚染させることがない。また、金属製の固定具は変形し難いため、イオン化室においてガス流出管の位置がずれ難く、試料プローブから噴霧される液体試料とガス流出管から供給されるヒーティングガスの位置関係がずれることを抑えることができる。

【0043】

（第４項）
第４項に係るイオン分析装置は、第１項～第３項のいずれか１項に係るイオン分析装置において、前記固定具が、前記ガス流出管が通過し該ガス流出管の外径よりも径が大きいガス流出管通過孔を有する。

【0044】

第４項に係るイオン分析装置によれば、ガス流出管の外径よりもガス流出管通過孔の径の方が大きいため、ガス流出管の側面とガス流出管通過孔の縁を接触させることなくガス加熱器を固定具でイオン化室の壁に取り付けることができる。そのため、ガス加熱器の熱がガス流出管から固定具に伝導することを抑えることができる。

【符号の説明】

【0045】

１０…質量分析装置
１１…イオン化室
１１１…壁
１１２…キャピラリ
１２…第１中間真空室
１２１、１３１…イオンガイド
１２３…スキマー
１３…第２中間真空室
１４…分析室
１４１…四重極マスフィルタ
１４２…イオン検出器
１５…試料プローブ
１５１…キャピラリ
１５２…ネブライザガスノズル
１５３…第１ガスボンベ
２０…ガス加熱器
２１…管状部材
２１１…管状部材の周壁
２１２…管状部材の端壁
２２…ガス流入口
２２１…ガス流入管
２３…ガス流出口
２４…ガス流出管
２５…ヒータ
２５１…ボビン
２５１１…ボビンを固定する板材
２５２…ヒータの端子
２５３…熱電対の端子
２６…固定具
２６１…固定具の主部
２６２…固定具の被冷却部
２６３…ガス流出管通過孔
２６４…ネジ通過部
２６５…ガス流入管通過孔
２６６…押さえ具
２６７、２７１…ネジ
２７…面接触部
２８…冷却部
２９…第２ガスボンベ
３０…液体クロマトグラフ
３１…移動相容器
３２…ポンプ
３３…インジェクタ
３４…カラム
３５…オートサンプラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】