特開 2023-118097 弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023118097

(43)【公開日】2023-08-24

(54)【発明の名称】弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 51/02 20060101AFI20230817BHJP

   H05H 7/14 20060101ALI20230817BHJP

   F16K 3/02 20060101ALI20230817BHJP

【ＦＩ】

F16K51/02 B

H05H7/14

F16K3/02 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023018971

(22)【出願日】2023-02-10

(31)【優先権主張番号】10 2022 103 235.3

(32)【優先日】2022-02-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(71)【出願人】

【識別番号】593030945

【氏名又は名称】バット ホールディング アーゲー

(74)【代理人】

【識別番号】100114890

【弁理士】

【氏名又は名称】アインゼル・フェリックス＝ラインハルト

(74)【代理人】

【識別番号】100098501

【弁理士】

【氏名又は名称】森田 拓

(74)【代理人】

【識別番号】100116403

【弁理士】

【氏名又は名称】前川 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100134315

【弁理士】

【氏名又は名称】永島 秀郎

(74)【代理人】

【識別番号】100162880

【弁理士】

【氏名又は名称】上島 類

(72)【発明者】

【氏名】トーマス マイアー

【テーマコード（参考）】

2G085

3H053

3H066

【Ｆターム（参考）】

2G085BD01

3H053AA11

3H053AA13

3H053BA01

3H053BA11

3H053BA12

3H053CA00

3H053DA09

3H066AA03

3H066BA01

3H066BA04

(57)【要約】      （修正有）

【課題】帯電粒子もしくは帯電粒子ビームをできるだけ乱さずにフランジの貫通開口部を通って案内することができる弁を提供する。
【解決手段】弁は、弁ハウジング（２）、弁開口部（３）、閉鎖機構（５）、弁駆動部（６）と、貫通開口部（１１）を有する２つのフランジ（９，１０）を備え、フランジ（９，１０）は、弁駆動部（６）によって相互に接近または離間するように移動可能であり、第１の移動方向（７）に沿った閉鎖機構の移動に関して、閉鎖機構と強制結合され、閉鎖機構の最大解放位置において、弁ハウジングの壁部領域（４）に押し付けられ、フランジの貫通開口部（１１）が弁開口部を相互に連通させる。ここで、２つのフランジ（９，１０）が、それぞれ一連のフィンガーと、それらの間に配置された凹部とを有し、フィンガーは、貫通開口部を取り囲み、一方のフランジ（９）のフィンガーは、それぞれ他方のフランジ（１０）の凹部に係合する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

弁（１）、特に真空弁であって、
弁ハウジング（２）と、該弁ハウジング（２）の相互に対向する壁部領域（４）の弁開口部（３）とを備え、
閉鎖機構（５）ならびに少なくとも１つの弁駆動部（６）を備え、
前記閉鎖機構（５）は、閉鎖位置では前記弁開口部（３）の少なくとも一方を閉鎖し、中間位置では両方の弁開口部（３）から持ち上げられて当該弁開口部（３）の間に配置され、最大解放位置では前記弁開口部（３）を完全に解放し、
前記閉鎖機構（５）は、少なくとも１つの前記弁駆動部（６）によって、前記最大解放位置と前記中間位置との間で相互に反する第１の移動方向（７）に往復移動可能であり、前記中間位置と前記閉鎖位置との間で相互に反する第２の移動方向（８）に往復移動可能であり、
前記弁（１）は、付加的に、それぞれが貫通開口部（１１）を有する相互に対向して配置された２つのフランジ（９，１０）を有し、
前記フランジ（９，１０）は、少なくとも１つの前記弁駆動部（６）によって相互に接近し、相互に離間するように移動可能であり、前記第１の移動方向（７）に沿った前記閉鎖機構（５）の移動に関して、前記閉鎖機構（５）と強制結合されて連動可能に接続されており、
前記フランジ（９，１０）は、前記閉鎖機構（５）の前記最大解放位置において、前記弁ハウジング（２）の相互に対向する前記壁部領域（４）に押し付けられ、そこで、前記フランジ（９，１０）の前記貫通開口部（１１）が前記弁開口部（３）を相互に連通させる、弁（１）において、
前記２つのフランジ（９，１０）が、それぞれ一連のフィンガー（１２）と、それぞれ２つの隣接するフィンガー（１２）の間に配置された凹部（１３）とを有し、
各前記フランジ（９，１０）の前記フィンガー（１２）は、各前記フランジ（９，１０）の前記貫通開口部（１１）を取り囲み、一方の前記フランジ（９）の前記フィンガー（１２）は、それぞれ他方の前記フランジ（１０）の前記凹部（１３）に係合することを特徴とする、弁（１）。

【請求項2】

一方の前記フランジ（９）の前記フィンガー（１２）は、前記フランジ（９，１０）のすべての位置において、相互に相対的に、それぞれ他方の前記フランジ（１０）の前記凹部（１３）にそれぞれ係合し、かつ／または一方の前記フランジ（９）の前記フィンガー（１２）は、好適には前記フランジ（９，１０）のすべての位置において、相互に相対的に、他方の前記フランジ（１０）の前記フィンガー（１２）に接触しない、請求項１記載の弁（１）。

【請求項3】

各前記フランジ（９，１０）の前記フィンガー（１２）は、各前記フランジ（９，１０）の前記貫通開口部（１１）を環状に取り囲み、かつ／または各前記フランジ（９，１０）の前記フィンガー（１２）は、他の前記フランジ（９，１０）に向かう方向に直線的にかつ／または長手方向に延在するように形成される、請求項１または２記載の弁（１）。

【請求項4】

前記フランジ（９，１０）の前記貫通開口部（１１）の開口部断面（１４）は、少なくとも前記フィンガー（１２）の領域ではどこでも同じ大きさである、請求項１から３までのいずれか１項記載の弁（１）。

【請求項5】

前記フランジ（９，１０）は、前記フランジ（９，１０）を相互に接続するブッシュ（１５）内の前記フィンガー（１２）の領域に配置される、請求項１から４までのいずれか１項記載の弁（１）。

【請求項6】

各前記フランジ（９，１０）は、前記貫通開口部（１１）に対向する、各前記フランジ（９，１０）の外面（１６）に、周方向で外方に突出するビード（１７）を有する、請求項１から５までのいずれか１項記載の弁（１）。

【請求項7】

前記フランジ（９，１０）は、好適には周方向に閉じられた接触板（１８）および／または管状の接触板（１８）を用いて相互に導電的に接続され、前記フランジ（９，１０）の前記フィンガー（１２）は、前記接触板（１８）によって取り囲まれた内部空間（１９）に配置される、請求項１から６までのいずれか１項記載の弁（１）。

【請求項8】

前記接触板（１８）は、それぞれ、各前記フランジ（９，１０）の前記ビード（１７）上に載置される、請求項６または７記載の弁（１）。

【請求項9】

各前記フランジ（９，１０）の一方の外面（１６）もしくは前記貫通開口部（１１）に対向する外面（１６）に、それぞれ取り外しソケット（２０，２１）が配置され、前記接触板（１８）は、それぞれ各前記取り外しソケット（２０，２１）と、各前記フランジ（９，１０）との間を通って案内される、請求項７または８記載の弁（１）。

【請求項10】

各前記取り外しソケット（２０，２１）は、周方向で内方に突出するビード（２２）を有し、該ビード（２２）と共に各前記取り外しソケット（２０，２１）が前記接触板（１８）に押し付けられる、請求項９記載の弁（１）。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弁、特に真空弁に関しており、この弁は、弁ハウジングと、該弁ハウジングの相互に対向する壁部領域の弁開口部とを備え、閉鎖機構ならびに少なくとも１つの弁駆動部を備え、ここで、閉鎖機構は、閉鎖位置では弁開口部の少なくとも一方を閉鎖し、中間位置では両方の弁開口部から持ち上げられて当該弁開口部の間に配置され、最大解放位置では弁開口部を完全に解放し、ここで、閉鎖機構は、少なくとも１つの弁駆動部によって、最大解放位置と中間位置との間で相互に反する第１の移動方向に往復移動可能であり、中間位置と閉鎖位置との間で相互に反する第２の移動方向に往復移動可能であり、ここで、弁は、付加的に、それぞれが貫通開口部を有する相互に対向して配置された２つのフランジを有し、ここで、フランジは、少なくとも１つの弁駆動部によって相互に接近し、相互に離間するように移動可能であり、第１の移動方向に沿った閉鎖機構の移動に関して、閉鎖機構と強制結合されて連動可能に接続されており、ここで、フランジは、閉鎖機構の最大解放位置において、弁ハウジングの相互に対向する壁部領域に押し付けられ、そこで、フランジの貫通開口部が弁開口部を相互に連通させる。

【0002】

このタイプの弁は、実際には、例えば粒子加速器などにおいて使用され、この場合、閉鎖機構の最大解放位置において、帯電粒子、特に帯電粒子ビームが、弁開口部およびフランジの貫通開口部を通って案内され得る。ここでは、本発明による弁により、帯電粒子もしくは帯電粒子ビームが可及的に僅かしか偏向しないことが重要である。従来技術では周知の事前使用からこの種の弁が公知であり、この弁では、フランジの間に弾性のあるテンション板が配置され、このテンション板が、フランジの相互に接近移動および離間移動の際に弾性変形させられる。このテンション板では、貫通開口部の延在方向にわたって開口部断面が変化し、このことがフランジの貫通開口部を通って案内される帯電粒子の不所望な偏向に結び付く可能性がある。

【0003】

本発明の課題は、冒頭に述べたような形式の弁において、帯電粒子もしくは帯電粒子ビームをできるだけ乱さずにフランジの貫通開口部を通って案内することができるように改善を行うことである。

【0004】

この目的のために、本発明は、請求項１記載の弁を提案する。

【0005】

したがって、本発明によれば、２つのフランジが、それぞれ一連のフィンガーと、それぞれ２つの隣接するフィンガーの間に配置された凹部とを有し、ここで、各フランジのフィンガーは、各フランジの貫通開口部を取り囲み、一方のフランジのフィンガーは、それぞれ他方のフランジの凹部に係合することが想定される。

【0006】

本発明による、フィンガーと、それぞれそれらの間に配置された凹部とを有する２つのフランジの構成により、フランジの貫通開口部の開口部断面を一定にもしくはどこでも実質的に同じ大きさに維持することが可能になる。驚いたことに、これによって、貫通開口部および弁開口部を通る際の帯電粒子もしくは帯電粒子ビームの不所望な偏向が非常に効果的に回避されることが示された。好適には、この文脈において、フランジの貫通開口部の開口部断面は、少なくともフィンガーの領域ではどこでも同じ大きさであることが想定される。このことは、好適には特に、フランジが、閉鎖機構の最大解放位置において、弁ハウジングの相互に対向する壁部領域に押し付けられるときにも当てはまる。

【0007】

２つのフランジの貫通開口部は、好適には、フランジのすべての位置において相互に面一になるように配置されている。また、弁ハウジングの相互に対向する壁部領域の弁開口部も、好適には、相互に面一に配置されている。

【0008】

本発明による弁駆動部は、閉鎖機構およびフランジを、相互に反する第１の移動方向に移動させるが、閉鎖機構を相互に反する第２の移動方向にも駆動し、さらにフランジもその移動の際に相互に接近させ、相互に離間させるように駆動する唯一の弁駆動部を有し得る。しかしながら代替的に、本発明による弁は、もちろん、２つ以上の弁駆動部、例えば、閉鎖機構およびフランジを相互に反する第１の移動方向に移動させるための第１の弁駆動部と、閉鎖機構を相互に反する第２の移動方向に移動させ、かつ／またはフランジを相互に接近させ、相互に離間させるための少なくとも１つのさらなる弁駆動部とを備えて構成されてもよい。そのような弁駆動部の設計のために、従来技術には、相応に適合化された形態で本発明による弁に使用することが可能な様々な手段が存在する。

【0009】

弁開口部が存在する弁ハウジングの相互に対向する壁部領域は、好適には、それ自体既知の手法で、それぞれ弁開口部の１つを取り囲む弁座として実施されてよい。

【0010】

第２の移動方向、好適には、フランジを相互に接近させ、相互に離間させるように移動可能である移動方向も、好適には、相互に反する第１の移動方向に対して、角度を付けて、好適には直交するように配向される。

【0011】

フランジが、閉鎖機構の最大解放位置において、弁ハウジングの相互に対向する壁部領域に押し付けられた場合、フランジの貫通開口部が弁開口部を相互に流体導通させると言うこともできよう。流体導通とは、要するに少なくとも帯電粒子および／または帯電粒子ビームを、貫通開口部および弁開口部を通って案内することができることを意味するものと理解されたい。

【0012】

閉鎖機構は、弁プレートであり得るが、他の成形された閉鎖機構であってもよい。ここでも、基本的には、従来技術による様々な実施形態を用いることが可能である。フランジのフィンガーは、ピン状に形成されてよいが、板状に形成されてもよい。これらは最終的には、突出する自由端部を有し、それらの間に対応する凹部が配置された長手方向に延在する要素である。これらはフィンガーと称する代わりに櫛歯要素あるいはフォークと言うこともできよう。

【0013】

好適にはいずれにせよ、一方のフランジのフィンガーは、フランジのすべての位置において、相互に相対的に、それぞれ他方のフランジの凹部にそれぞれ係合することが想定される。さらに好適には、一方のフランジのフィンガーは、他方のフランジのフィンガーには接触しないことが想定される。このことは、好適には、フランジのすべての位置において相互に相対的なことが当てはまる。代替的に、一方のフランジのフィンガーが、好適にはフランジのすべての位置において、相互に相対的に、接触することなく他方のフランジのフィンガーの間の凹部に配置されるとも言える。好適にはいずれにせよ、各フランジのフィンガーは、各フランジの貫通開口部を環状に取り囲んでいる。各フランジのフィンガーは、好適には、他のフランジに向かう方向に直線的にかつ／または長手方向に延在するように形成される。

【0014】

本発明の好適な変形形態は、フランジは、フランジを相互に接続するブッシュ内のフィンガーの領域に配置されることが想定される。このことも同様に、弁開口部およびフランジの貫通開口部を通って案内される帯電粒子または帯電粒子ビームの不所望な偏向をさらに良好に防止するのに好適であることが判明している。ブッシュは、好適には、フランジの少なくとも１つに摺動可能に支承されている。

【0015】

フランジは、好適には、相互に導電的に接続されている。これは、特に好適には、相互に相対的なフランジのすべての位置に当てはまるが、特に、フランジが、閉鎖機構の最大解放位置において、弁ハウジングの相互に対向する壁部領域に押し付けられ、そこで、フランジの貫通開口部が弁開口部を相互に連通させる場合に当てはまる。特に、フランジが接触板を用いて相互に導電的に接続され、ここで、フランジのフィンガーは接触板によって取り囲まれた内部空間に配置されている本発明の実施形態は好適である。この接触板は、好適には、周方向に閉じられて実施され、かつ／または管状に実施される。２つのフランジと接触板との間の特に良好な導電的な接触を保証するために、好適な変形形態では、各フランジは、貫通開口部に対向する、各フランジの外面に、周方向で外方に突出するビードを有することが想定される。次いで、好適には、接触板は、それぞれ、各フランジのビード上に載置されることが想定される。これにより、接触板を介したビード間の恒久的で確実な電気的接触接続が保証され得る。

【0016】

本発明の好適な実施形態では、各フランジの一方の外面もしくは貫通開口部に対向する外面に、それぞれ取り外しソケットが配置され、ここで、接触板は、それぞれ各取り外しソケットと、各フランジとの間を通って案内されることが想定される。取り外しソケットは、好適には、少なくとも所定の領域において、管体ソケットとして形成されている。好適には、ここでは、各取り外しソケットは、周方向で内方に突出するビードを有し、該ビードと共に各取り外しソケットが接触板に押し付けられることが想定される。つまり、接触板は、好適には、一方ではフランジのビード間でクランプされ、他方では取り外しソケットのビード間でクランプされる。確実な電気的接触接続の観点から、弾性変形可能な接触板もしくは弾力のある接触板が好適である。取り外しソケットのビードは、ここでは、好適には、フランジのビード間にある領域で接触板に押し付けられる。

【0017】

本発明の好適な実施形態のさらなる特徴および詳細は、以下の図面の説明において例示的に説明される。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明による弁の外側からの斜視図である。

【図2】図１の弁から弁ハウジングを外した図である。

【図3】閉鎖機構が閉鎖位置にある場合の図１の弁を通る縦断面図である。

【図4】閉鎖機構が最大解放位置にある場合の図１の本発明による弁を通る縦断面図である。

【図5】図１および図４による本実例のフランジ、接触板、および取り外しソケットの分解図である。

【図6】図４の領域Ａの拡大図である。

【0019】

本発明による弁１は、ここに示される実施例のように、好適には、いわゆる真空弁である。真空弁は通常、特殊な雰囲気や特殊な圧力レベルで作業すべき場合に使用される。特に、０．００１ｍｂａｒ（ミリバール）もしくは０．１パスカル以下の圧力差で作業する場合、弁と称する。ただし、常圧未満、つまり１ｂａｒ未満の圧力差に対して設計されている場合も既に真空弁と称し得る。

【0020】

ここで、図１は、真空弁として実施された本発明による弁１の変形実施形態を示しており、この弁１は、弁ハウジング２と、弁ハウジング２の対向する壁部領域４に配置された弁開口部３とを備えている。図示の実施例においても他の実施例においても、弁開口部３を取り囲む壁部領域４は、ハウジングフランジ２３として構成されてよく、これにより、弁１を、対応する管路および／またはプロセスチャンバのチャンバ外壁に固定することができる。このこと自体は公知のものであり、さらなる説明は不要である。本発明による弁１の閉鎖機構５は、図１にも見られるように、閉鎖位置において弁開口部３の少なくとも１つを閉鎖する。

【0021】

図２では、弁ハウジング２は図示されていない。これにより、とりわけ、弁駆動部６によって相互に反する第１の移動方向７に駆動される弁ロッド２４を見て取ることができる。図示の実施例では、弁駆動部６は、図３および図４による断面図に示されているように、それ自体公知の手法で、例えば油圧式または空気圧式に駆動されるピストン－シリンダアセンブリとして構成されてもよいが、電気式リニア駆動部などとして構成されてもよい純粋なリニア駆動部である。図２では、弁ロッド２４が閉鎖機構５を弁駆動部６とどのように連結させているかも良好に見て取ることができる。閉鎖機構５の下方には、２つのフランジ９のうちの一方が自身の貫通開口部１１と共に見て取れる。これに対して、第２のフランジ１０は、図２では見ることができない背面側にある。これらのフランジ９および１０は、少なくとも１つの弁駆動部６によって相互に接近し、相互に離間するように移動可能であり、相互に反する第１の移動方向７に沿った閉鎖機構の移動に関して、閉鎖機構５と強制結合される。このことは、閉鎖機構５が相互に反する第１の移動方向７に弁駆動部６によって移動する場合には常にフランジ９，１０が第１の移動方向７に連動することを意味する。

【0022】

フランジ９および１０も、閉鎖機構５も、ばね要素２５を介して案内ロッド２６上を案内される。また、案内ロッド２６上にはストッパ２８も存在するが、その機能については引き続き以下においてさらにより詳細に説明する。

【0023】

図３は、ここでは、閉鎖機構５が閉鎖位置にあり、それによって、弁開口部３の１つが閉鎖している位置を、弁１を通る縦断面図で示している。図３および図４の比較の際、閉鎖機構５は、リニア駆動部として実施された弁駆動部６によって、図４による最大解放位置と中間位置との間で相互に反する第１の移動方向７に往復移動されることが見て取れる。そのため、そのようなことは、それ自体公知である。中間位置では、閉鎖機構５は、両方の弁開口部３から持ち上げられているが、当該弁開口部３の間に配置されている。この中間位置から、閉鎖機構５は、第２の移動方向８の一方において、対応する弁開口部３を取り囲む壁部領域４の方向に、または換言すれば弁座に向かって移動し、ここでは、弁駆動部６がストッパ２８まで走行させて傾斜板２７が対応する拡がりを生じ、したがって閉鎖機構５が弁座もしくは弁開口部３を取り囲む弁ハウジング２の壁部領域４に押し付けられることが保証される。これにより、閉鎖機構５は、図３に示されているように、弁開口部３の一方を閉鎖する閉鎖位置にもたらされる。

【0024】

閉鎖機構５をこの閉鎖位置から再び中間位置にもたらすために、弁駆動部６によって弁ロッド２４が第１の移動方向７の一方で１ブロック先の上方に引き上げられ、これによって、傾斜板２７が相応に再び図４に示されている位置まで傾斜を戻される。次いで、弁ロッド２４における第１の移動方向７の一方での上方へのさらなる引き上げによって、閉鎖機構５は、フランジ９，１０と共に図４による最大解放位置に引き上げられる。フランジ９，１０は、この場合、第１の移動方向７に関するそれらの強制結合に基づいて、閉鎖機構５と連動される。その際、ストッパ２８への相応の当接により、フランジ９，１０は、そこに配置された傾斜板２７を用いて、拡がり方向２９の一方に相互に拡げられ、それによって、フランジ９，１０は、閉鎖機構５の最大解放位置において、弁ハウジング２の相互に対向する壁部領域４に押し付けられ、その際、図４に示されているようにフランジ９，１０の貫通開口部１１が弁開口部３を相互に連通させる。これらすべては、本実施例では、リニア駆動部として構成された唯一の弁駆動部６によって実行される。ストッパ２８および傾斜板２７を用いた拡がり、およびばね要素２５のみならず相互に反する第２の移動方向８への閉鎖機構５も、相互に反する拡がり方向２９へのフランジ９，１０も用いたリセットも、それ自体公知の従来技術準であるので、さらなる説明は不要であろう。本明細書で示されている実施例からは逸れるが、本発明による弁１は、もちろん、閉鎖位置において、相互に反する側でそれぞれ弁開口部３のうちの１つが閉鎖される２つの閉鎖機構を有することも可能であることを単に述べておく。このことは、本明細書で実現された支持板３０を第２の閉鎖機構５によって置き換えることにより、簡単な手法で達成することができる。いずれにせよ、このもしくはこれらの閉鎖機構５は、好適な実施形態では、弁プレートとして実施される。

【0025】

図５による分解図において、ここで、当該実施例においても、本発明によれば、両方のフランジ９および１０が、それぞれ、一連のフィンガー１２と、それぞれ、２つの隣接するフィンガー１２の間に配置された凹部１３とを有することが良好に見て取れる。次いで、図６において、ただし図３および図４においても、各フランジ９もしくは１０のフィンガー１２が、各フランジ９もしくは１０の貫通開口部１１を取り囲み、一方のフランジ９のフィンガー１２が、それぞれ他方のフランジ１０の凹部１３の１つに係合することが再び見て取れる。好適には、このことは、ここでも実現されるように、フランジ９および１０の相互に相対するすべての位置において当てはまる。さらに、ここでは、一方のフランジ９のフィンガー１２が他方のフランジ１０のフィンガー１２に接触しないことも好適である。図５では、本明細書で実現される２つのフランジ９および１０のフィンガー１２がプレート状、より厳密にはくさび形プレートの形態で形成されていることが良好に見て取れる。それらは好適には、直線的に長手方向に延在するように形成され、それらの突出する自由端部はそれぞれ他方のフランジ９もしくは１０の方向に配向される。さらに、図５では、各フランジ９および１０のフィンガー１２が、ここでは、各フランジ９および１０の貫通開口部１１を環状に取り囲んでいることが良好に見て取れる。

【0026】

しかしながら、既に冒頭で説明したように、本発明による実施形態は、多かれ少なかれ、板状ではなく、ピン状に形成されたフィンガー１２を設けることも可能である。図３および図４において見て取れるように、好適にはそれぞれ、フランジ９および１０の貫通開口部１１の開口部断面１４が、少なくともフィンガー１２の領域においてどこでも同じ大きさであることが想定される。

【0027】

また、図５においても、ブッシュ１５と、それぞれフランジ９，１０に形成された周方向で外方に突出するビード１７とが見て取れる。図５には、それぞれ内方に配向された周方向のビード２２を有する取り外しソケット２０，２１も示されている。

【0028】

ここでは、組み立て後の動作状態を、図４の区分Ａを拡大して示した図６に基づいて説明する。図５および図６を一緒に観察すれば、フランジ９および１０が、フランジ９および１０を相互に接続するブッシュ１５内のフィンガー１２の領域に配置されていることが良好に分かる。ブッシュ１５は、ここでは、相互に接近し、相互に離間するフランジ９および１０の対応する相対移動を妨げないようにするために、フランジ９もしくは１０の少なくとも一方に、摺動可能に支承されている。しかしながら、フランジ９および１０は、本実施例では、ここでは周方向に閉じた管状に実施される接触板１８を用いて相互に導電的に接続される。フランジ９および１０のフィンガー１２は、接触板１８によって取り囲まれた内部空間１９に配置されている。図６でも、接触板１８が、フランジ９および１０相互の最適な電気的接触接続の観点から、それぞれ、フランジ９および１０のビード１７上に載置されていることが良好に見て取れる。このことは、好適には、相互に相対的な両方のフランジ９および１０のすべての位置において当てはまる。図６では、取り外しソケット２０，２１が、貫通開口部１１にそれぞれ対向するフランジ９および１０の外面にどのように配置されているかも見て取れる。接触板１８は、図６に示されているように、本実施例では、それぞれ、各取り外しソケット２０および２１と、各フランジ９および１０との間も通って案内されている。

【0029】

取り外しソケット２０および２１の内方に突出するビード２２は、外側からそれぞれ接触板１８を押圧する。それにより、接触板１８を介して両方のフランジ９および１０は恒久的に導電的に接続される。接触板１８の所定の弾性、ならびにフランジ９および１０のビード１７と取り外しソケット２０および２１のビード２２との間の配置構成により、相互に相対的なフランジ９および１０のすべての位置において確実な接触接続が特に良好に保証される。ここでは、好適には、図６にも示されているように、取り外しソケット２０および２１のビード２２が、フランジ９および１０のビード１７間の領域に配置されている。総じて、本発明によるこの実施例においても、弁開口部３および貫通開口部１１を通って案内される帯電粒子もしくはビームの偏向もしくは妨害が可及的に少なくなる弁１が作成される。

【符号の説明】

【0030】

１ 弁
２ 弁ハウジング
３ 弁開口部
４ 壁部領域
５ 閉鎖機構
６ 弁駆動部
７ 第１の移動方向
８ 第２の移動方向
９ フランジ
１０ フランジ
１１ 貫通開口部
１２ フィンガー
１３ 凹部
１４ 開口部断面
１５ ブッシュ
１６ 外面
１７ ビード
１８ 接触板
１９ 内部空間
２０ 取り外しソケット
２１ 取り外しソケット
２２ ビード
２３ ハウジングフランジ
２４ 弁ロッド
２５ ばね要素
２６ 案内ロッド
２７ 傾斜板
２８ ストッパ
２９ 拡がり方向
３０ 支持板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【外国語明細書】