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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023118536
(43)【公開日】2023-08-25
(54)【発明の名称】温度制御装置
(51)【国際特許分類】
H01L 23/473 20060101AFI20230818BHJP
H01L 23/467 20060101ALI20230818BHJP
H05K 7/20 20060101ALI20230818BHJP
【ＦＩ】
H01L23/46 Z
H01L23/46 C
H05K7/20 N
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022021536
(22)【出願日】2022-02-15
(71)【出願人】
【識別番号】000005887
【氏名又は名称】三井化学株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】冨永 高広
(72)【発明者】
【氏名】森元 海
【テーマコード（参考）】
5E322
5F136
【Ｆターム（参考）】
5E322AA01
5E322AA05
5E322AB02
5E322EA10
5E322FA01
5F136BA08
5F136BA31
5F136BC01
5F136BC07
5F136CA11
5F136CB07
5F136FA02
5F136FA03
5F136FA55
(57)【要約】
【課題】被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】本開示の温度制御装置は、温度制御装置は、金属製の第１プレートと、第２プレートと、前記第１プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている流路壁部と、前記第１プレートと熱的に接続された金属製の少なくとも１つのフィンと、少なくとも１つの軟質部品と、前記第２プレートを前記第１プレートに固定している樹脂固定部とを備える。熱交換媒体を循環させるための内部流路が、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されている。前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されている。前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間を充填している。
【選択図】図２
【解決手段】本開示の温度制御装置は、温度制御装置は、金属製の第１プレートと、第２プレートと、前記第１プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている流路壁部と、前記第１プレートと熱的に接続された金属製の少なくとも１つのフィンと、少なくとも１つの軟質部品と、前記第２プレートを前記第１プレートに固定している樹脂固定部とを備える。熱交換媒体を循環させるための内部流路が、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されている。前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されている。前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間を充填している。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
少なくとも１つの被熱交換体の温度を制御するための温度制御装置であって、
金属製の第１プレートと、
第２プレートと、
前記第１プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている流路壁部と、
前記第１プレートと熱的に接続された金属製の少なくとも１つのフィンと、
少なくとも１つの軟質部品と、
前記第２プレートを前記第１プレートに固定している樹脂固定部と
を備え、
熱交換媒体を循環させるための内部流路が、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されており、
前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されており、
前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間を充填している、温度制御装置。
金属製の第１プレートと、
第２プレートと、
前記第１プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている流路壁部と、
前記第１プレートと熱的に接続された金属製の少なくとも１つのフィンと、
少なくとも１つの軟質部品と、
前記第２プレートを前記第１プレートに固定している樹脂固定部と
を備え、
熱交換媒体を循環させるための内部流路が、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されており、
前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されており、
前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間を充填している、温度制御装置。
【請求項2】
前記少なくとも１つの軟質部品は、エラストマーを含む、請求項１に記載の温度制御装置。
【請求項3】
前記少なくとも１つのフィンは、複数のスカイブフィンを含む、請求項１又は請求項２に記載の温度制御装置。
【請求項4】
前記第１プレートは、前記樹脂固定部と接触する部位に凹凸構造を有する、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【請求項5】
前記第２プレートは、金属製であり、
前記第１プレート及び前記第２プレートの一方並びに前記流路壁部は、金属製の一体成形品である、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の温度制御装置。
前記第１プレート及び前記第２プレートの一方並びに前記流路壁部は、金属製の一体成形品である、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【請求項6】
前記第２プレートは、金属製であり
前記流路壁部は、樹脂製である、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の温度制御装置。
前記流路壁部は、樹脂製である、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【請求項7】
前記流路壁部は、
前記第１プレートと対向する第１主面、及び第１主面とは反対側の第２主面を有する板部と、
前記第２主面に対して突出する、前記内部流路を形成するための環状壁部と
を有し、
前記内部流路が、前記第２プレート及び前記流路壁部によって形成されている、請求項６に記載の温度制御装置。
前記第１プレートと対向する第１主面、及び第１主面とは反対側の第２主面を有する板部と、
前記第２主面に対して突出する、前記内部流路を形成するための環状壁部と
を有し、
前記内部流路が、前記第２プレート及び前記流路壁部によって形成されている、請求項６に記載の温度制御装置。
【請求項8】
前記第２プレートは、前記樹脂固定部と接触する部位に凹凸構造を有する、請求項５～請求項７のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【請求項9】
第２プレート及び前記流路壁部は、樹脂製である、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【請求項10】
前記樹脂固定部は、インサート成形によって形成されている、請求項１～請求項９のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、温度制御装置に関する。
【背景技術】
【0002】
コンピュータに搭載される中央処理装置（ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、又は電気自動車に搭載される二次電池は、作動時に発熱する。このような発熱体を冷却するための手段として、冷却用媒体を用いる冷却装置が種々提案されている。
【0003】
特許文献１は、発熱体を冷却するための冷却構造及びその製造方法を開示している。
特許文献１に開示の冷却構造は、チャンバーと、フィン付き構造体と、物体（以下、「スペーサー」という。）とを備える。チャンバーは、内部空間を有する。チャンバーは、金属製の直方体状物であり、底板と、枠体と、上蓋とを有する。底板、枠体及び上蓋は、ろう付けされている。フィン付き構造体は、電子部品が発生する熱を放熱する。フィン付き構造体は、板形状の基部と、基部に設けられた複数のスカイブフィンとを有する。スカイブフィンは、微細な湾曲フィンであり、スカイブ切削加工によって形成されている。フィン付き構造体及びスペーサーの各々は、チャンバーの内部空間内の特定の位置に配置されている。フィン付き構造体は、チャンバーの底板に固定されている。チャンバーの外からチャンバーの内部に流入した液体（以下、「冷却用媒体」という。）は、複数のスカイブフィンの間のフィン間流路を流れてからチャンバーの外に流出する。
特許文献１に開示の冷却構造の製造方法は、ろう付け工程を含む。ろう付け工程では、フィン付き構造体が固定された底板、枠体、上蓋、及びスペーサーを用いて、ろう付けによって冷却構造を組み立てる。
特許文献１に開示の冷却構造は、チャンバーと、フィン付き構造体と、物体（以下、「スペーサー」という。）とを備える。チャンバーは、内部空間を有する。チャンバーは、金属製の直方体状物であり、底板と、枠体と、上蓋とを有する。底板、枠体及び上蓋は、ろう付けされている。フィン付き構造体は、電子部品が発生する熱を放熱する。フィン付き構造体は、板形状の基部と、基部に設けられた複数のスカイブフィンとを有する。スカイブフィンは、微細な湾曲フィンであり、スカイブ切削加工によって形成されている。フィン付き構造体及びスペーサーの各々は、チャンバーの内部空間内の特定の位置に配置されている。フィン付き構造体は、チャンバーの底板に固定されている。チャンバーの外からチャンバーの内部に流入した液体（以下、「冷却用媒体」という。）は、複数のスカイブフィンの間のフィン間流路を流れてからチャンバーの外に流出する。
特許文献１に開示の冷却構造の製造方法は、ろう付け工程を含む。ろう付け工程では、フィン付き構造体が固定された底板、枠体、上蓋、及びスペーサーを用いて、ろう付けによって冷却構造を組み立てる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００８－４６６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
複数のスカイブフィンの各々は、スカイブ切削加工により形成される。「スカイブ切削加工」とは、板状基材に対する切り起こしによりフィンを形成する加工方法を示す。そのため、複数のスカイブフィンの各々のフィン高さ寸法は、厳密に制御されにくい。「フィン高さ」とは、フィン付き構造体の基部の厚み方向におけるスカイブフィンの長さを示す。これにより、特許文献１に開示の冷却構造では、複数のスカイブフィンの各々の先端と、チャンバーの上蓋との間に、隙間（以下、「ショートラン隙間」という。）が形成されるおそれがある。そのため、チャンバーの内部に冷却用媒体が供給されると、冷却用媒体の一部は、ショートラン隙間を流通するおそれがある。ショートラン隙間を流通する冷却用媒体は、冷却用媒体は複数のスカイブフィンと物理的に接触しにくい。その結果、電子部品由来の熱は、複数のスカイブフィンを介して、冷却用媒体に熱伝導しにくい。それ故、電子部品と冷却用媒体との間の熱伝導が効率的でないおそれがある。
ショートラン隙間を埋める手段として、軟質部品をショートラン隙間に配置することが考えられる。軟質部品の主成分は、エラストマーである。特許文献１の冷却構造の製造方法は、ろう付け工程を含む。ろう付け工程では、ろう付けの際、冷却構造の構成部品は、高温（例えば、６００℃以上）に曝される。そのため、軟質部品がショートラン隙間に配置された冷却構造を特許文献１に開示の製造方法で製造しようとすると、軟質部品は、高温（例えば、６００℃以上）に曝されるおそれがある。軟質部品は、高温（例えば、６００℃以上）に曝されると、液状になり、その形状を保持できず、ショートラン隙間を埋めることができないおそれがある。その結果、特許文献１に開示の冷却構造の製造方法では、軟質部品がショートラン隙間に配置された冷却構造を製造できないおそれがある。
ショートラン隙間を埋める手段として、軟質部品をショートラン隙間に配置することが考えられる。軟質部品の主成分は、エラストマーである。特許文献１の冷却構造の製造方法は、ろう付け工程を含む。ろう付け工程では、ろう付けの際、冷却構造の構成部品は、高温（例えば、６００℃以上）に曝される。そのため、軟質部品がショートラン隙間に配置された冷却構造を特許文献１に開示の製造方法で製造しようとすると、軟質部品は、高温（例えば、６００℃以上）に曝されるおそれがある。軟質部品は、高温（例えば、６００℃以上）に曝されると、液状になり、その形状を保持できず、ショートラン隙間を埋めることができないおそれがある。その結果、特許文献１に開示の冷却構造の製造方法では、軟質部品がショートラン隙間に配置された冷却構造を製造できないおそれがある。
【0006】
本開示は、上記事情に鑑み、被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができる温度制御装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するための手段には、以下の実施態様が含まれる。
＜１＞ 少なくとも１つの被熱交換体の温度を制御するための温度制御装置であって、
金属製の第１プレートと、
第２プレートと、
前記第１プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている流路壁部と、
前記第１プレートと熱的に接続された金属製の少なくとも１つのフィンと、
少なくとも１つの軟質部品と、
前記第２プレートを前記第１プレートに固定している樹脂固定部と
を備え、
熱交換媒体を循環させるための内部流路が、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されており、
前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されており、
前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間を充填している、温度制御装置。
＜２＞ 前記少なくとも１つの軟質部品は、エラストマーを含む、前記＜１＞に記載の温度制御装置。
＜３＞ 前記少なくとも１つのフィンは、複数のスカイブフィンを含む、前記＜１＞又は＜２＞に記載の温度制御装置。
＜４＞ 前記第１プレートは、前記樹脂固定部と接触する部位に凹凸構造を有する、前記＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜５＞ 前記第２プレートは、金属製であり、
前記第１プレート及び前記第２プレートの一方並びに前記流路壁部は、金属製の一体成形品である、前記＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜６＞ 前記第２プレートは、金属製であり
前記流路壁部は、樹脂製である、前記＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜７＞ 前記流路壁部は、
前記第１プレートと対向する第１主面、及び第１主面とは反対側の第２主面を有する板部と、
前記第２主面に対して突出する、前記内部流路を形成するための環状壁部と
を有し、
前記内部流路が、前記第２プレート及び前記流路壁部によって形成されている、前記＜６＞に記載の温度制御装置。
＜８＞ 前記第２プレートは、前記樹脂固定部と接触する部位に凹凸構造を有する、前記＜５＞～＜７＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜９＞ 第２プレート及び前記流路壁部は、樹脂製である、前記＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜１０＞ 前記樹脂固定部は、インサート成形によって形成されている、前記＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜１＞ 少なくとも１つの被熱交換体の温度を制御するための温度制御装置であって、
金属製の第１プレートと、
第２プレートと、
前記第１プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている流路壁部と、
前記第１プレートと熱的に接続された金属製の少なくとも１つのフィンと、
少なくとも１つの軟質部品と、
前記第２プレートを前記第１プレートに固定している樹脂固定部と
を備え、
熱交換媒体を循環させるための内部流路が、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されており、
前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されており、
前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間を充填している、温度制御装置。
＜２＞ 前記少なくとも１つの軟質部品は、エラストマーを含む、前記＜１＞に記載の温度制御装置。
＜３＞ 前記少なくとも１つのフィンは、複数のスカイブフィンを含む、前記＜１＞又は＜２＞に記載の温度制御装置。
＜４＞ 前記第１プレートは、前記樹脂固定部と接触する部位に凹凸構造を有する、前記＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜５＞ 前記第２プレートは、金属製であり、
前記第１プレート及び前記第２プレートの一方並びに前記流路壁部は、金属製の一体成形品である、前記＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜６＞ 前記第２プレートは、金属製であり
前記流路壁部は、樹脂製である、前記＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜７＞ 前記流路壁部は、
前記第１プレートと対向する第１主面、及び第１主面とは反対側の第２主面を有する板部と、
前記第２主面に対して突出する、前記内部流路を形成するための環状壁部と
を有し、
前記内部流路が、前記第２プレート及び前記流路壁部によって形成されている、前記＜６＞に記載の温度制御装置。
＜８＞ 前記第２プレートは、前記樹脂固定部と接触する部位に凹凸構造を有する、前記＜５＞～＜７＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜９＞ 第２プレート及び前記流路壁部は、樹脂製である、前記＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
＜１０＞ 前記樹脂固定部は、インサート成形によって形成されている、前記＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の温度制御装置。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができる温度制御装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本開示の第１実施形態に係る温度制御装置の外観を示す斜視図である。
【図4】本開示の第１実施形態に係る温度制御装置の第２プレートを取り除いた状態の外観を示す上面図である。
【図5】本開示の第２実施形態に係る温度制御装置の断面図である。
【図6】本開示の第３実施形態に係る温度制御装置の断面図である。
【図7】本開示の第４実施形態に係る温度制御装置の断面図である。
【図8】本開示の第５実施形態に係る温度制御装置の外観を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本明細書において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、「工程」との用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、「工程」との用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
【0011】
以下、図面を参照して、本開示に係る温度制御装置の実施形態について説明する。図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
【0012】
（１）温度制御装置
本開示の温度制御装置は、金属製の第１プレート（以下、「第１金属プレート」という。）と、第２プレートと、流路壁部と、金属製の少なくとも１つのフィンと、少なくとも１つの軟質部品と、樹脂固定部とを備える。前記流路壁部は、前記第１金属プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている。前記少なくとも１つのフィンは、前記第１金属プレートと熱的に接続されている。前記樹脂固定部は、第２プレートを第１金属プレートに固定している。熱交換媒体を循環させるための内部流路は、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されている。前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されている。前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間（以下、「ショートパス隙間」という。）を充填している。
本開示の温度制御装置は、金属製の第１プレート（以下、「第１金属プレート」という。）と、第２プレートと、流路壁部と、金属製の少なくとも１つのフィンと、少なくとも１つの軟質部品と、樹脂固定部とを備える。前記流路壁部は、前記第１金属プレートと前記第２プレートとの間に挟まれている。前記少なくとも１つのフィンは、前記第１金属プレートと熱的に接続されている。前記樹脂固定部は、第２プレートを第１金属プレートに固定している。熱交換媒体を循環させるための内部流路は、前記第１プレート及び前記第２プレートの少なくとも一方、並びに前記流路壁部によって形成されている。前記少なくとも１つのフィンは、前記内部流路内に配置されている。前記少なくとも１つの軟質部品は、前記内部流路内において、前記少なくとも１つのフィンと前記第２プレートとの間に挟まれて、前記少なくとも１つのフィンの先端と前記第２プレートとの隙間（以下、「ショートパス隙間」という。）を充填している。
【0013】
本開示において、「内部流路」とは、熱交換媒体を流通させるための空間を示す。
「軟質部品」とは、軟質部品の溶融温度が１６０℃以上で、かつ温度制御装置の使用温度（例えば、５℃～６０℃）において、少なくとも１つのフィンと第２プレートとの間に挟まれると、フィンの先端の形状に追従して変形し、少なくとも１つのフィンと第２プレートとの間に挟まれた状態において、変形した形状を保持する性質を有する部品を示す。例えば、軟質部品のタイプＡデュロメータで測定された硬度（以下、「Ａ硬度」という。）は、Ａ３０～Ａ９５であってもよい。Ａ硬度は、JIS K 6253-3:2012で規定されるデュロメータ（ゴム硬度計）、又はこの規定に準拠したデュロメータ（ゴム硬度計）で測定した硬度で示す。
「フィン」とは、金属製の突起状物を示し、放熱機能を担う。
「金属製の第１プレート」とは、金属を含むプレートを示し、金属を主成分とするプレートでもよい。主成分とは、第１金属プレートの総質量に対して、９０質量％以上であり、好ましくは９５質量％以上である。
「軟質部品」とは、軟質部品の溶融温度が１６０℃以上で、かつ温度制御装置の使用温度（例えば、５℃～６０℃）において、少なくとも１つのフィンと第２プレートとの間に挟まれると、フィンの先端の形状に追従して変形し、少なくとも１つのフィンと第２プレートとの間に挟まれた状態において、変形した形状を保持する性質を有する部品を示す。例えば、軟質部品のタイプＡデュロメータで測定された硬度（以下、「Ａ硬度」という。）は、Ａ３０～Ａ９５であってもよい。Ａ硬度は、JIS K 6253-3:2012で規定されるデュロメータ（ゴム硬度計）、又はこの規定に準拠したデュロメータ（ゴム硬度計）で測定した硬度で示す。
「フィン」とは、金属製の突起状物を示し、放熱機能を担う。
「金属製の第１プレート」とは、金属を含むプレートを示し、金属を主成分とするプレートでもよい。主成分とは、第１金属プレートの総質量に対して、９０質量％以上であり、好ましくは９５質量％以上である。
【0014】
以下、少なくとも１つのフィンが１つのフィンである場合と、少なくとも１つのフィンが複数のフィンである場合とを区別しない場合、「少なくとも１つのフィン」を単に「フィン」という場合がある。
以下、少なくとも１つの軟質部品が１つの軟質部品である場合と、少なくとも１つの軟質部品が複数の軟質部品である場合とを区別しない場合、「少なくとも１つの軟質部品」を単に「軟質部品」という場合がある。
以下、少なくとも１つの被熱交換体が１つの被熱交換体である場合と、少なくとも１つの被熱交換体が複数の被熱交換体である場合とを区別しない場合、「少なくとも１つの被熱交換体」を単に「被熱交換体」という場合がある。
以下、少なくとも１つの軟質部品が１つの軟質部品である場合と、少なくとも１つの軟質部品が複数の軟質部品である場合とを区別しない場合、「少なくとも１つの軟質部品」を単に「軟質部品」という場合がある。
以下、少なくとも１つの被熱交換体が１つの被熱交換体である場合と、少なくとも１つの被熱交換体が複数の被熱交換体である場合とを区別しない場合、「少なくとも１つの被熱交換体」を単に「被熱交換体」という場合がある。
【0015】
本開示の温度制御装置は、上記の構成を有するため、被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができる。
この効果は、以下の理由によると推測されるが、これに限定されない。
本開示の温度制御装置では、軟質部品は、内部流路内において、フィンと第２プレートとの間に挟まれて、ショートパス隙間を充填している。これにより、温度制御装置の内部流路を流通する熱交換媒体はショートパス隙間内を流通しにくい。換言すると、熱交換媒体は、複数のフィンと物理的に接触しやすくなる。そのため、被熱交換体が第１金属プレートに熱的に接続されると、被熱交換媒体と熱交換媒体とは、第１金属プレート及びフィンを介して、従来よりも熱伝導しやすくなる。
更に、樹脂固定部は、第２プレートを第１金属プレートに固定している。樹脂固定部は、例えば、インサート成形又は溶着によって、第１金属プレート及び第２プレートの各々に固着している。換言すると、第１金属プレート及び第２プレートの各々は、ろう付けによって固定されていない。インサート成形又は溶着の際、温度制御装置を構成する構成部品が曝される温度は、ろう付けの際の温度（例えば、６００℃以上）よりも低い（例えば、１６０℃程度）。そのため、軟質部品は、温度制御装置の製造過程において、溶融しにくく、フィンの先端の形状に追従して変形した形状を保持することができる。
以上により、本開示の温度制御装置は、熱交換媒体の温度を従来よりも効率良く調整することができると推測される。
この効果は、以下の理由によると推測されるが、これに限定されない。
本開示の温度制御装置では、軟質部品は、内部流路内において、フィンと第２プレートとの間に挟まれて、ショートパス隙間を充填している。これにより、温度制御装置の内部流路を流通する熱交換媒体はショートパス隙間内を流通しにくい。換言すると、熱交換媒体は、複数のフィンと物理的に接触しやすくなる。そのため、被熱交換体が第１金属プレートに熱的に接続されると、被熱交換媒体と熱交換媒体とは、第１金属プレート及びフィンを介して、従来よりも熱伝導しやすくなる。
更に、樹脂固定部は、第２プレートを第１金属プレートに固定している。樹脂固定部は、例えば、インサート成形又は溶着によって、第１金属プレート及び第２プレートの各々に固着している。換言すると、第１金属プレート及び第２プレートの各々は、ろう付けによって固定されていない。インサート成形又は溶着の際、温度制御装置を構成する構成部品が曝される温度は、ろう付けの際の温度（例えば、６００℃以上）よりも低い（例えば、１６０℃程度）。そのため、軟質部品は、温度制御装置の製造過程において、溶融しにくく、フィンの先端の形状に追従して変形した形状を保持することができる。
以上により、本開示の温度制御装置は、熱交換媒体の温度を従来よりも効率良く調整することができると推測される。
【0016】
本開示の温度制御装置は、少なくとも１つの被熱交換体の温度を制御するために用いられる。詳しくは、温度制御装置は、被熱交換体と熱的に接触することで、被熱交換体から熱を奪う、又は被熱交換体に熱を与える。
被熱交換体は、電子デバイスを含む。電子デバイスとしては、特に限定されず、ＣＰＵ、メモリモジュール、電池モジュール、パワーモジュール等が挙げられる。メモリモジュールとしては、ＤＩＭＭ（Dual Inline Memory Module）等が挙げられる。電池モジュールとしては、リチウムイオン電池モジュール等が挙げられる。
被熱交換体は、電子デバイスを含む。電子デバイスとしては、特に限定されず、ＣＰＵ、メモリモジュール、電池モジュール、パワーモジュール等が挙げられる。メモリモジュールとしては、ＤＩＭＭ（Dual Inline Memory Module）等が挙げられる。電池モジュールとしては、リチウムイオン電池モジュール等が挙げられる。
【0017】
温度制御装置の形状及びサイズは、特に限定されず、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択され、例えば、直方体状物である。
【0018】
（１．１）第１金属プレート
第１金属プレートは、金属製の板状物である。
第１金属プレートの形状は、例えば、平板状等が挙げられる。第１金属プレートのサイズは、被熱交換体に応じて適宜選択される。
第１金属プレートは、金属製の板状物である。
第１金属プレートの形状は、例えば、平板状等が挙げられる。第１金属プレートのサイズは、被熱交換体に応じて適宜選択される。
【0019】
第１金属プレートは、樹脂固定部と接触する部位に、凹凸構造を有することが好ましい。これにより、樹脂固定部の一部は、第１金属プレートの凹凸構造の凹部内に入り込む。その結果、第１金属プレートは、樹脂固定部とより強固に接合する。それ故、温度制御装置の気密性は、より長期に亘って保持され得る。
【0020】
凹凸構造の状態は、第１金属プレートと樹脂固定部との接合強度（以下、「接合強度」という。）が充分に得られるのであれば特に制限されない。
凹凸構造における凹部の平均孔径は、好ましくは５ｎｍ～５００μｍ、より好ましくは１０ｎｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは１５ｎｍ～１００μｍである。
凹凸構造における凹部の平均孔深さは、好ましくは５ｎｍ～５００μｍで、より好ましくは１０ｎｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは１５ｎｍ～１００μｍである。
凹凸構造における凹部の平均孔径又は平均孔深さの少なくとも一方が上記数値範囲内であると、より強固な接合が得られる傾向にある。
凹部の平均孔径及び平均孔深さの測定方法は、JIS B0601-2001に準拠した方法である。
凹凸構造における凹部の平均孔径は、好ましくは５ｎｍ～５００μｍ、より好ましくは１０ｎｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは１５ｎｍ～１００μｍである。
凹凸構造における凹部の平均孔深さは、好ましくは５ｎｍ～５００μｍで、より好ましくは１０ｎｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは１５ｎｍ～１００μｍである。
凹凸構造における凹部の平均孔径又は平均孔深さの少なくとも一方が上記数値範囲内であると、より強固な接合が得られる傾向にある。
凹部の平均孔径及び平均孔深さの測定方法は、JIS B0601-2001に準拠した方法である。
【0021】
凹凸構造は、第１金属プレートの表面に粗化処理が施されることで形成される。金属部材の表面に粗化処理を施す方法は、特に制限されず、様々な公知の方法であってもよい。
第１金属プレートの表面は、接合強度を向上させる観点から、官能基を付加する処理が施されていてもよい。官能基を付加する処理は、様々な公知の方法であってもよい。
第１金属プレートの表面は、接合強度を向上させる観点から、官能基を付加する処理が施されていてもよい。官能基を付加する処理は、様々な公知の方法であってもよい。
【0022】
第１金属プレートを構成する金属は、特に制限されず、例えば、鉄、銅、ニッケル、金、銀、プラチナ、コバルト、亜鉛、鉛、スズ、チタン、クロム、アルミニウム、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金（ステンレス、真鍮、リン青銅等）等が挙げられる。なかでも、熱伝導性の観点からは、第１金属プレートを構成する金属は、好ましくはアルミニウム、アルミニウム合金、銅、又は銅合金であり、より好ましくは銅又は銅合金である。軽量化及び強度確保の観点からは、第１金属プレートを構成する金属は、アルミニウム又はアルミニウム合金であることが好ましい。
【0023】
第１金属プレートは、被熱交換体と熱的に接続されることが好ましい。これにより、温度制御装置は、被熱交換媒体の温度を効率良く制御することができる。
第１金属プレートと被熱交換体とは、直接的に接触していてもよいし、熱伝導層を介して間接的に接触していてもよい。
熱伝導層としては、例えば、熱伝導シート、熱伝導材料（ＴＩＭ：Thermal Interface Material）層等が挙げられる。熱伝導材料層は、熱伝導性材料が塗布されて形成された層を示す。熱伝導性材料は、熱伝導性グリース、熱伝導性ゲル、熱伝導接着剤、フェイズチェンジマテリアル（Phase Change Material）等が挙げられる。
第１金属プレートと被熱交換体とは、直接的に接触していてもよいし、熱伝導層を介して間接的に接触していてもよい。
熱伝導層としては、例えば、熱伝導シート、熱伝導材料（ＴＩＭ：Thermal Interface Material）層等が挙げられる。熱伝導材料層は、熱伝導性材料が塗布されて形成された層を示す。熱伝導性材料は、熱伝導性グリース、熱伝導性ゲル、熱伝導接着剤、フェイズチェンジマテリアル（Phase Change Material）等が挙げられる。
【0024】
（１．２）第２プレート
第２プレートは、板状物である。
第２プレートの形状は、例えば、平板状等が挙げられる。第２プレートのサイズは、被熱交換体に応じて適宜選択される。
第２プレートの材質としては、樹脂、金属等挙げられる。
第２プレートは、板状物である。
第２プレートの形状は、例えば、平板状等が挙げられる。第２プレートのサイズは、被熱交換体に応じて適宜選択される。
第２プレートの材質としては、樹脂、金属等挙げられる。
【0025】
以下、金属製の第２プレートを「第２金属プレート」という場合がある。樹脂製の第２プレートを「第２樹脂プレート」という場合がある。
【0026】
本開示において、「金属製の第２プレート」とは、金属を含むプレートを示し、金属を主成分とするプレートでもよい。主成分とは、第２金属プレートの総質量に対して、９０質量％以上であり、好ましくは９５質量％以上である。
【0027】
（１．２．１）第２金属プレート
第２金属プレートは、第２樹脂プレートよりも機械的強度に優れる。そのため、第２金属プレートは、第２樹脂プレートを用いる場合よりも、熱交換媒体の循環に起因する内圧に対する温度制御装置の耐圧性能を向上させることができる。
第２金属プレートは、第２樹脂プレートよりも機械的強度に優れる。そのため、第２金属プレートは、第２樹脂プレートを用いる場合よりも、熱交換媒体の循環に起因する内圧に対する温度制御装置の耐圧性能を向上させることができる。
【0028】
第２金属プレートを構成する金属は、特に制限されず、第１金属プレートを構成する金属として例示した金属と同様である。なかでも、熱伝導性の観点からは、第２金属プレートを構成する金属は、好ましくはアルミニウム、アルミニウム合金、銅、又は銅合金であり、より好ましくは銅又は銅合金である。軽量化及び強度確保の観点からは、第２金属プレートを構成する金属は、アルミニウム又はアルミニウム合金であることが好ましい。
【0029】
第２金属プレートは、樹脂固定部と接触する部位に、凹凸構造を有することが好ましい。これにより、樹脂固定部の一部は、第２金属プレートの凹凸構造の凹部内に入り込む。その結果、第２金属プレートは、樹脂固定部とより強固に接合する。それ故、温度制御装置の気密性は、より長期に亘って保持され得る。
凹凸構造の状態は、第２金属プレートと樹脂固定部との接合強度（以下、「接合強度」という。）が充分に得られるのであれば特に制限されず、第１金属プレートの凹凸構造として例示したものと同様である。
凹凸構造の状態は、第２金属プレートと樹脂固定部との接合強度（以下、「接合強度」という。）が充分に得られるのであれば特に制限されず、第１金属プレートの凹凸構造として例示したものと同様である。
【0030】
第２金属プレートは、被熱交換体と熱的に接続されることが好ましい。これにより、温度制御装置は、被熱交換媒体の温度を効率良く制御することができる。
第２金属プレートと被熱交換体とは、直接的に接触していてもよいし、熱伝導層を介して間接的に接触していてもよい。熱伝導層は、第１金属プレートの熱伝導層として例示したものと同様である。
第２金属プレートと被熱交換体とは、直接的に接触していてもよいし、熱伝導層を介して間接的に接触していてもよい。熱伝導層は、第１金属プレートの熱伝導層として例示したものと同様である。
【0031】
（１．２．２）第２樹脂プレート
第２樹脂プレートは、第２金属プレートを用いる場合よりも、温度制御装置を軽量化することができる。
第２樹脂プレートは、第２金属プレートを用いる場合よりも、温度制御装置を軽量化することができる。
【0032】
第２樹脂プレートは、第１樹脂組成物の成形体である。第２樹脂プレートは、射出成形品又はプレス成形品を含む。
第１樹脂組成物の樹脂成分は、特に制限されず、温度制御装置の用途等に応じて選択できる。第１樹脂組成物の樹脂成分としては、例えば、熱可塑性樹脂（エラストマーを含む）、熱硬化性樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂（エラストマーを含む）としては、ポリオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリルスチレン共重合体（ＡＳ）樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン共重体（ＡＢＳ）樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリアセタール系樹脂、フッ素系樹脂、ポリサルフォン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリケトン系樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。成形性の観点からは、第１樹脂組成物の樹脂成分は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。第１樹脂組成物は、樹脂成分からなってもよい。
第１樹脂組成物は、必要に応じて、充填材及び配合剤の少なくとも一方を含有してもよい。充填材としては、例えば、ガラス繊維、炭素繊維、セルロース繊維などの各種繊維、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、グラフェン、炭素粒子、粘土、タルク、シリカ、ミネラル等が挙げられる。これら充填材は、１種単独又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。配合剤としては、熱安定剤、酸化防止剤、顔料、耐候剤、難燃剤、可塑剤、分散剤、滑剤、離型剤、帯電防止剤等が挙げられる。これら配合剤は、１種単独又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。
第１樹脂組成物の樹脂成分は、特に制限されず、温度制御装置の用途等に応じて選択できる。第１樹脂組成物の樹脂成分としては、例えば、熱可塑性樹脂（エラストマーを含む）、熱硬化性樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂（エラストマーを含む）としては、ポリオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリルスチレン共重合体（ＡＳ）樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン共重体（ＡＢＳ）樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリアセタール系樹脂、フッ素系樹脂、ポリサルフォン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリケトン系樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。成形性の観点からは、第１樹脂組成物の樹脂成分は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。第１樹脂組成物は、樹脂成分からなってもよい。
第１樹脂組成物は、必要に応じて、充填材及び配合剤の少なくとも一方を含有してもよい。充填材としては、例えば、ガラス繊維、炭素繊維、セルロース繊維などの各種繊維、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、グラフェン、炭素粒子、粘土、タルク、シリカ、ミネラル等が挙げられる。これら充填材は、１種単独又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。配合剤としては、熱安定剤、酸化防止剤、顔料、耐候剤、難燃剤、可塑剤、分散剤、滑剤、離型剤、帯電防止剤等が挙げられる。これら配合剤は、１種単独又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【0033】
（１．３）流路壁部
流路壁部は、内部流路を形成する壁部の一部を構成する。流路壁部は、例えば、筒状物又は板状物である。板状物である流路壁部としては、板部と、内部流路を形成するための環状壁部とを有する流路壁部等が挙げられる。環状壁部は、第１金属プレートと対向する第１主面と、第１主面とは反対側の第２主面とを有する。環状壁部は、板部の第２主面に対して突出している。環状壁部は、筒状である。
流路壁部の形状及びサイズは、被熱交換体の種類に応じて適宜選択される。
流路壁部の材質としては、樹脂、金属等が挙げられる。
流路壁部は、内部流路を形成する壁部の一部を構成する。流路壁部は、例えば、筒状物又は板状物である。板状物である流路壁部としては、板部と、内部流路を形成するための環状壁部とを有する流路壁部等が挙げられる。環状壁部は、第１金属プレートと対向する第１主面と、第１主面とは反対側の第２主面とを有する。環状壁部は、板部の第２主面に対して突出している。環状壁部は、筒状である。
流路壁部の形状及びサイズは、被熱交換体の種類に応じて適宜選択される。
流路壁部の材質としては、樹脂、金属等が挙げられる。
【0034】
以下、金属製の流路壁部を「金属流路壁部」という場合がある。樹脂製の流路壁部を「樹脂流路壁部」という場合がある。
【0035】
（１．３．１）樹脂流路壁部
樹脂流路壁部は、金属流路壁部を用いる場合よりも、温度制御装置を軽量化することができるとともに、内部流路の設計の自由度を向上させることができる。
樹脂流路壁部は、金属流路壁部を用いる場合よりも、温度制御装置を軽量化することができるとともに、内部流路の設計の自由度を向上させることができる。
【0036】
樹脂流路壁部は、第２樹脂組成物の成形体である。樹脂流路壁部は、射出成形品又はプレス成形品を含む。
第２樹脂組成物の樹脂成分は、特に限定されず、第１樹脂組成物の樹脂成分として例示した樹脂と同様である。
第２樹脂組成物は、必要に応じて、充填材及び配合剤の少なくとも一方を含有してもよい。充填材及び配合剤としては、樹脂組成物に含まれ得る充填材及び配合剤として例示したものと同様のものが挙げられる。
第２樹脂組成物の樹脂成分は、特に限定されず、第１樹脂組成物の樹脂成分として例示した樹脂と同様である。
第２樹脂組成物は、必要に応じて、充填材及び配合剤の少なくとも一方を含有してもよい。充填材及び配合剤としては、樹脂組成物に含まれ得る充填材及び配合剤として例示したものと同様のものが挙げられる。
【0037】
第２プレートが樹脂製である場合、樹脂流路壁部は、第２樹脂プレートと別体であってもよい。この場合、樹脂流路壁部を第２樹脂プレートに固定する方法は、特に限定されず、溶着、公知の接着剤を用いる方法等が挙げられる。
第２プレートが樹脂製である場合、樹脂流路壁部及び第２樹脂プレートは、樹脂の一体成形品であってもよい。樹脂の一体成形品は、射出成形品、又はプレス成形品を含む。
第２プレートが樹脂製である場合、樹脂流路壁部及び第２樹脂プレートは、樹脂の一体成形品であってもよい。樹脂の一体成形品は、射出成形品、又はプレス成形品を含む。
【0038】
（１．３．２）金属流路壁部
金属流路壁部は、樹脂流路壁部よりも機械的強度に優れる。そのため、金属流路壁部は、樹脂流路壁部を用いる場合よりも、熱交換媒体の循環に起因する内圧に対する温度制御装置の耐圧性能を向上させることができる。
金属流路壁部は、樹脂流路壁部よりも機械的強度に優れる。そのため、金属流路壁部は、樹脂流路壁部を用いる場合よりも、熱交換媒体の循環に起因する内圧に対する温度制御装置の耐圧性能を向上させることができる。
【0039】
金属流路壁部を構成する金属は、特に限定されず、第１金属プレートを構成する金属として例示した金属と同様である。金属流路壁部を構成する金属は、第１金属プレート及び第２金属プレートの各々を構成する金属と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【0040】
金属流路壁部は、第１金属プレートと別体であってもよい。第２プレートが金属製である場合、金属流路壁部は、第２金属プレートと別体であってもよい。この場合、金属流路壁部を第１金属プレート及び第２金属プレートの少なくとも一方に固定する固定方法は、特に限定されず、インサート成形、公知の接着剤を用いる方法等が挙げられる。
【0041】
第１金属プレート及び金属流路壁部は、金属の一体成形品であってもよい。第２プレートが金属製である場合、第２金属プレート及び金属流路壁部は、金属の一体成形品であってもよい。第２プレートが金属製である場合、第１金属プレート及び金属流路壁部の一部、並びに第２金属プレート及び金属流路壁部の残部の各々は、金属の一体成形品であってもよい。金属の一体成形品は、ロール成形品、ダイキャスト成形品、切削加工品、圧延材、プレス成形品、又は押出材を含む。
【0042】
金属流路壁部を構成する金属と、第１金属プレートを構成する金属とが異種である場合、温度制御装置は、電気絶縁層を有することが好ましい。電気絶縁層は、金属流路壁部と、第１金属プレートとの間に介在する。これにより、異種の金属同士が、電気的に接触しにくい。そのため、異種の金属間の電食の発生を抑制することができる。その結果、第１金属プレートは腐食しにくい。
第２プレートが金属製である場合、金属流路壁部を構成する金属と、第２金属プレートを構成する金属とが異種である場合、温度制御装置は、電気絶縁層を有することが好ましい。電気絶縁層は、金属流路壁部と、第２金属プレートとの間に介在する。これにより、異種の金属同士が、電気的に接触しにくい。そのため、異種の金属間の電食の発生を抑制することができる。その結果、第２金属プレートは腐食しにくい。
電気絶縁層は、電気絶縁性を有する膜であれば特に限定されず、接着層、インサート接合層、エラストマーパッキン等が挙げられる。
第２プレートが金属製である場合、金属流路壁部を構成する金属と、第２金属プレートを構成する金属とが異種である場合、温度制御装置は、電気絶縁層を有することが好ましい。電気絶縁層は、金属流路壁部と、第２金属プレートとの間に介在する。これにより、異種の金属同士が、電気的に接触しにくい。そのため、異種の金属間の電食の発生を抑制することができる。その結果、第２金属プレートは腐食しにくい。
電気絶縁層は、電気絶縁性を有する膜であれば特に限定されず、接着層、インサート接合層、エラストマーパッキン等が挙げられる。
【0043】
（１．４）フィン
フィンは、熱交換媒体に対する伝熱面積を大きくする。これにより、第１金属プレートに熱的に接続される被熱交換体由来の熱は、熱交換媒体と熱伝導しやすい。
フィンは、熱交換媒体に対する伝熱面積を大きくする。これにより、第１金属プレートに熱的に接続される被熱交換体由来の熱は、熱交換媒体と熱伝導しやすい。
【0044】
フィンとしては、特に限定されず、スカイブフィン、プレートフィン（すなわち、切削フィン）、コルゲートフィン、リブフィン、スリットフィン、ディンプルフィン、デルタフィン、ピンフィン、ルーバーフィン、タービュレータ等が挙げられる。スカイブフィンは、スカイブ切削加工が施されている。
【0045】
少なくとも１つのフィンは、複数のスカイブフィンを含むことが好ましい。これにより、フィンの肉厚を薄くできるとともに、単位面積当たりのフィンの数を増やすことができる。そのため、フィンの伝熱面積はより増大する。つまり、フィンの放熱量及び放熱効率は、より向上する。その結果、温度制御装置は、被熱交換媒体の温度をより効率良く調整することができる。
【0046】
フィンの数及びフィンのサイズ等は、温度制御装置のサイズ、内部流路の形状及びサイズ、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択される。フィンの数は、放熱量及び放熱効率を向上させる観点から、複数であることが好ましい。
複数のフィンの配置位置は、フィンの形状及び熱交換媒体の流れ方向等に応じて適宜選択される。
複数のフィンの配置位置は、フィンの形状及び熱交換媒体の流れ方向等に応じて適宜選択される。
【0047】
フィンを構成する金属は、特に制限されず、第１金属プレートを構成する金属として例示した金属と同様である。なかでも、熱伝導性の観点からは、フィンを構成する金属は、好ましくはアルミニウム、アルミニウム合金、銅、又は銅合金であり、より好ましくは銅又は銅合金である。軽量化及び強度確保の観点からは、フィンを構成する金属は、アルミニウム又はアルミニウム合金であることが好ましい。
【0048】
フィンは、基台との金属の一体成形品（以下、「フィン付構造体」という。）であってもよい。基台を構成する材質は、フィンを構成する材質と同一である。基台の形状は、特に限定されず、例えば、平板状等挙げられる。基台のサイズは、温度制御装置のサイズ、内部流路の形状及びサイズ等に応じて適宜選択される。フィン付構造体に含まれるフィンの数は、放熱量及び放熱効率を向上させる観点から、複数であることが好ましい。フィン付構造体の数は、温度制御装置のサイズ、内部流路の形状及びサイズ等に応じて適宜選択される。フィン付構造体は、切削加工品（例えば、スカイブ切削加工等）、ダイキャスト成形品、プレス成形品、又は押出材を含む。
【0049】
フィンは、内部流路内に配置されている。フィンの内部流路内の配置位置は、特に限定されず、内部流路の形状及びサイズ等に応じて適宜選択される。
【0050】
フィン（フィン付構造体を含む。）は、第１金属プレートと別体であってもよい。
フィンは、第１金属プレートと熱的に接続されている。詳しくは、フィンと第１金属プレートとは、直接的に接触していてもよいし、熱伝導層を介して間接的に接触していてもよい。熱伝導層は、第１金属プレートの熱伝導層として例示したものと同様である。
フィンと第１金属プレートとが別体である場合、フィンを内部流路内に固定する方法は、特に限定されず、第１固定方法、第２固定方法、第３固定方法等が挙げられる。第１固定方法では、フィン付構造体は、内部流路を構成する壁部（例えば、第１金属プレート、第２金属プレート、軟質部品、仕切部材等）に挟まれた状態で保持される。第２固定方法では、フィン（フィン付構造体を含む。）は、第１金属プレートに溶接される。溶接は、金属溶接、又はろう接を含む。第３固定方法では、フィン付構造体は、締結用部品を用いる方法（以下、「機械締結」という。）によって、第１金属プレートに固定される。締結用部品は、ボルト、ナット、ネジ、リベット、又はピンを含む。これら固定方法は、１種単独又は２種以上を組み合わせてもよい。
フィンは、第１金属プレートと熱的に接続されている。詳しくは、フィンと第１金属プレートとは、直接的に接触していてもよいし、熱伝導層を介して間接的に接触していてもよい。熱伝導層は、第１金属プレートの熱伝導層として例示したものと同様である。
フィンと第１金属プレートとが別体である場合、フィンを内部流路内に固定する方法は、特に限定されず、第１固定方法、第２固定方法、第３固定方法等が挙げられる。第１固定方法では、フィン付構造体は、内部流路を構成する壁部（例えば、第１金属プレート、第２金属プレート、軟質部品、仕切部材等）に挟まれた状態で保持される。第２固定方法では、フィン（フィン付構造体を含む。）は、第１金属プレートに溶接される。溶接は、金属溶接、又はろう接を含む。第３固定方法では、フィン付構造体は、締結用部品を用いる方法（以下、「機械締結」という。）によって、第１金属プレートに固定される。締結用部品は、ボルト、ナット、ネジ、リベット、又はピンを含む。これら固定方法は、１種単独又は２種以上を組み合わせてもよい。
【0051】
フィン（フィン付構造体を含む。）は、第１金属プレートとの一体成形品であってもよい。つまり、フィンは、第１金属プレートと熱的に接続されている。フィンと第１金属プレートとの一体成形品は、切削加工品（例えば、スカイブ切削加工等）、ダイキャスト成形品、プレス成形品、又は押出材を含む。
【0052】
（１．５）軟質部品
軟質部品は、ショートパス隙間を充填して、熱交換媒体がショートパス隙間内を流通することを妨げる。
軟質部品は、ショートパス隙間を充填して、熱交換媒体がショートパス隙間内を流通することを妨げる。
【0053】
軟質部品の形状及びサイズは、ショートパス隙間を充填できれば特に限定されない。軟質部品の形状は、フィンの配置位置等に応じて適宜選択され、例えば、シート状、不定形状等が挙げられる。
【0054】
軟質部品の数等は、温度制御装置のサイズ、内部流路の形状、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択される。フィンがフィン付構造体に含まれる場合、軟質部品は、１つのフィン付構造体に対応して少なくとも１つ配置されてもよいし、複数のフィン付構造体に対応して１つ配置されてもよい。
【0055】
軟質部品は、フィンと第２金属プレートとの間に載置されていてもよい。軟質部品がフィンと第２プレートとの間に載置されている場合、軟質部品は、第２プレート及びフィンとの間に挟まれた状態で保持されていてもよい。
軟質部品は、フィン又は第２金属プレートの少なくとも一方に固定されていてもよい。軟質部品をフィン又は第２金属プレートの少なくとも一方に固定する方法は、公知の接着剤を用いる方法等が挙げられる。
軟質部品は、フィン又は第２金属プレートの少なくとも一方に固定されていてもよい。軟質部品をフィン又は第２金属プレートの少なくとも一方に固定する方法は、公知の接着剤を用いる方法等が挙げられる。
【0056】
軟質部品は、第３樹脂組成物の成形体であってもよい。軟質部品は、押出成形品、注型成形品、射出成形品、又はコンプレッション成形品であってもよい。
【0057】
（１．５．１）エラストマー
軟質部品（すなわち、第３樹脂組成物）は、エラストマーを含むことが好ましい。これにより、軟質部品は、フィンの先端の形状に追従してより変形しやすくなる。
軟質部品（すなわち、第３樹脂組成物）は、エラストマーを含むことが好ましい。これにより、軟質部品は、フィンの先端の形状に追従してより変形しやすくなる。
【0058】
本開示において、「エラストマー」とは、温度制御装置の使用温度（例えば、５℃～６０℃）でゴム弾性を示す高分子物質である。例えば、エラストマーの２５℃での引張弾性率は、６．０×１０８Ｐａ未満である。引張弾性率は、ＪＩＳ Ｋ７１６１－２：２０１４に準拠した測定値である。
【0059】
エラストマーは、熱可塑性エラストマー、及び熱硬化性エラストマーの少なくとも一方を含む。
【0060】
（１．５．１．１）熱可塑性エラストマー
熱可塑性エラストマーは、ゴムのように加硫をする必要のない弾性体材料である。熱可塑性エラストマーは、一般にハード成分（硬く剛直な成分）とソフト成分（軟らかくフレキシブルな成分）とを有する。
熱可塑性エラストマーとしては、ウレタン系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＵ」という場合がある。）、アミド系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＡＥ」という場合がある。）オレフィン系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＯ」という場合がある。）、スチレン系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＳ」という場合がある。）、ポリエステル系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＥＥ」という場合がある。）等が挙げられる。
なかでも、気密性及び耐熱性の観点から、熱可塑性エラストマーは、ＴＰＵ、ＴＰＡＥ、ＴＰＥＥのいずれか一方を含むことが好ましい。
コスト、リペア性（離形容易性）の観点から、熱可塑性エラストマーは、ＴＰＯ、及びＴＰＳのいずれか一方を含むことが好ましい。
熱可塑性エラストマーは、ゴムのように加硫をする必要のない弾性体材料である。熱可塑性エラストマーは、一般にハード成分（硬く剛直な成分）とソフト成分（軟らかくフレキシブルな成分）とを有する。
熱可塑性エラストマーとしては、ウレタン系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＵ」という場合がある。）、アミド系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＡＥ」という場合がある。）オレフィン系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＯ」という場合がある。）、スチレン系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＳ」という場合がある。）、ポリエステル系熱可塑性エラストマー（以下、「ＴＰＥＥ」という場合がある。）等が挙げられる。
なかでも、気密性及び耐熱性の観点から、熱可塑性エラストマーは、ＴＰＵ、ＴＰＡＥ、ＴＰＥＥのいずれか一方を含むことが好ましい。
コスト、リペア性（離形容易性）の観点から、熱可塑性エラストマーは、ＴＰＯ、及びＴＰＳのいずれか一方を含むことが好ましい。
【0061】
第２樹脂組成物がＴＰＵ及びＴＰＡＥを含む場合、ＴＰＵ及びＴＰＡＥの合計含有量は、第２樹脂組成物の総量に対して、好ましくは６０質量％以上１００質量％以下、より好ましくは６５質量％以上９５質量％以下、さらに好ましくは７０質量％以上９５質量％以下である。
【0062】
（１．５．１．２）ウレタン系熱可塑性エラストマー
ＴＰＵは、例えば、ジイソシアナートと短鎖グリコール（鎖延長剤）からなるハードセグメントと、数平均分子量が１０００～４０００程度のポリマーグリコールを主体とするソフトセグメントとから構成されるマルチブロックポリマーである。
ジイソシアナートとしては、例えば、芳香族イソシアナート、脂肪族イソシアナート等が挙げられる。芳香族イソシアナートは、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアナート（ＭＤＩ）を含む。脂肪族イソシアナートは、ヘキサメチレンジイソシアナート（ＨＤＩ）を含む。
短鎖グリコールとしては、例えば、エチレングリコール、１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ネオペンタルグリコール、１,４－シクロヘキサンジメタノール、１，４－ビスヒドロキシエチルハイドロキノン、及びそれらの混合物等が挙げられる。
ポリマーグリコールとしては、例えば、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカプロラクトンポリオール等が挙げられる。ポリエーテルポリオールは、ポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＥＧ）を含む。ポリエステルポリオールは、アジピン酸と脂肪族または芳香族グリコールとの縮合系である。ポリカプロラクトンポリオールは、例えば、ε－カプロラクトンを開環重合して得られる。
ＴＰＵは、例えば、ジイソシアナートと短鎖グリコール（鎖延長剤）からなるハードセグメントと、数平均分子量が１０００～４０００程度のポリマーグリコールを主体とするソフトセグメントとから構成されるマルチブロックポリマーである。
ジイソシアナートとしては、例えば、芳香族イソシアナート、脂肪族イソシアナート等が挙げられる。芳香族イソシアナートは、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアナート（ＭＤＩ）を含む。脂肪族イソシアナートは、ヘキサメチレンジイソシアナート（ＨＤＩ）を含む。
短鎖グリコールとしては、例えば、エチレングリコール、１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ネオペンタルグリコール、１,４－シクロヘキサンジメタノール、１，４－ビスヒドロキシエチルハイドロキノン、及びそれらの混合物等が挙げられる。
ポリマーグリコールとしては、例えば、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカプロラクトンポリオール等が挙げられる。ポリエーテルポリオールは、ポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＥＧ）を含む。ポリエステルポリオールは、アジピン酸と脂肪族または芳香族グリコールとの縮合系である。ポリカプロラクトンポリオールは、例えば、ε－カプロラクトンを開環重合して得られる。
【0063】
（１．５．１．３）アミド系熱可塑性エラストマー
ＴＰＡＥは、結晶性で融点の高いハードセグメントと、非晶性でガラス転移温度の低いソフトセグメントとを有する共重合体である。ハードセグメントを構成するポリマーの主鎖は、アミド結合（－ＣＯＮＨ－）を有する。
ＴＰＡＥとしては、例えば、ＪＩＳ Ｋ６４１８：２００７に規定されるアミド系熱可塑性エラストマーや、特開２００４－３４６２７３号公報に記載のポリアミド系エラストマー等を挙げることができる。
ＴＰＡＥは、結晶性で融点の高いハードセグメントと、非晶性でガラス転移温度の低いソフトセグメントとを有する共重合体である。ハードセグメントを構成するポリマーの主鎖は、アミド結合（－ＣＯＮＨ－）を有する。
ＴＰＡＥとしては、例えば、ＪＩＳ Ｋ６４１８：２００７に規定されるアミド系熱可塑性エラストマーや、特開２００４－３４６２７３号公報に記載のポリアミド系エラストマー等を挙げることができる。
【0064】
（１．５．２）熱硬化性エラストマー
熱硬化性エラストマーは、１液硬化型エラストマー、２液硬化型エラストマー、又はＵＶ（Ultraviolet）硬化型エラストマーを含む。
１液硬化型エラストマーは、硬化剤によらず、単独で加熱により主剤が硬化するエラストマーを示す。２液硬化型エラストマーは、例えば、主剤と呼ばれる成分と、硬化剤と呼ばれる成分とを、任意の混合比で混合することで、硬化反応が促進するエラストマーを示す。２液硬化型エラストマーを用いる場合、室温で硬化反応を促進させてもよいし、加熱により効果反応を促進させてもよい。ＵＶ硬化型エラストマーは、ＵＶが照射されることで主剤の重合反応が進行するエラストマーを示す。ＵＶ硬化型エラストマーは、公知の光重合開始剤を含有してもよい。
１液硬化型エラストマーとしては、公知の１液硬化型エラストマーを用いることができる。２液硬化型エラストマーとしては、公知の１液硬化型エラストマーを用いることができる。ＵＶ硬化型エラストマーとしては、公知のＵＶ硬化型エラストマーを用いることができる。
具体的に、熱硬化性エラストマーとしては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、イソプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）等が挙げられる。
熱硬化性エラストマーは、１液硬化型エラストマー、２液硬化型エラストマー、又はＵＶ（Ultraviolet）硬化型エラストマーを含む。
１液硬化型エラストマーは、硬化剤によらず、単独で加熱により主剤が硬化するエラストマーを示す。２液硬化型エラストマーは、例えば、主剤と呼ばれる成分と、硬化剤と呼ばれる成分とを、任意の混合比で混合することで、硬化反応が促進するエラストマーを示す。２液硬化型エラストマーを用いる場合、室温で硬化反応を促進させてもよいし、加熱により効果反応を促進させてもよい。ＵＶ硬化型エラストマーは、ＵＶが照射されることで主剤の重合反応が進行するエラストマーを示す。ＵＶ硬化型エラストマーは、公知の光重合開始剤を含有してもよい。
１液硬化型エラストマーとしては、公知の１液硬化型エラストマーを用いることができる。２液硬化型エラストマーとしては、公知の１液硬化型エラストマーを用いることができる。ＵＶ硬化型エラストマーとしては、公知のＵＶ硬化型エラストマーを用いることができる。
具体的に、熱硬化性エラストマーとしては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、イソプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）等が挙げられる。
【0065】
（１．５．３）配合剤
第３樹脂組成物は、種々の配合剤を含んでもよい。配合剤は、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択される。配合剤としては、充填材（例えば、ガラス繊維、カーボン繊維、無機粉末等）、熱安定剤、酸化防止剤、顔料、耐候剤、難燃剤、可塑剤、分散剤、滑剤、離型剤、帯電防止剤等が挙げられる。
第３樹脂組成物は、種々の配合剤を含んでもよい。配合剤は、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択される。配合剤としては、充填材（例えば、ガラス繊維、カーボン繊維、無機粉末等）、熱安定剤、酸化防止剤、顔料、耐候剤、難燃剤、可塑剤、分散剤、滑剤、離型剤、帯電防止剤等が挙げられる。
【0066】
（１．６）樹脂固定部
樹脂固定部は、第２プレートを第１金属プレートに固定している。樹脂固定部は、樹脂製の固定部である。
ことができる。
樹脂固定部は、第２プレートを第１金属プレートに固定している。樹脂固定部は、樹脂製の固定部である。
ことができる。
【0067】
樹脂固定部の形状及びサイズは、特に限定されず、第１金属プレート、第２プレート及び流路壁部等に応じて適宜選択される。
【0068】
樹脂固定部は、インサート成形によって形成されていてもよいし、溶着によって形成されていてもよい。
インサート成形では、第１金属プレート、第２プレート及び流路壁部の重ね合わせ体を金型内にインサートして、樹脂固定部の溶融物を重ね合わせ体の外面の所定の部位に射出して、樹脂固定部を形成する。
溶着は、熱溶着、振動溶着、レーザー溶着、超音波溶着、又は熱板溶着を含む。
樹脂固定部は、インサート成形によって形成されていることが好ましい。これにより、樹脂固定部は、第１金属プレート及び第２プレートの各々と接触する面の凹凸部の隙間に、溶着によって形成される場合よりも確実に入り込んでいる。そのため、樹脂固定部は、第１金属プレート及び第２プレートとより強く固着する。その結果、温度制御装置の気密性は、より長期に亘って保持され得る。
インサート成形では、第１金属プレート、第２プレート及び流路壁部の重ね合わせ体を金型内にインサートして、樹脂固定部の溶融物を重ね合わせ体の外面の所定の部位に射出して、樹脂固定部を形成する。
溶着は、熱溶着、振動溶着、レーザー溶着、超音波溶着、又は熱板溶着を含む。
樹脂固定部は、インサート成形によって形成されていることが好ましい。これにより、樹脂固定部は、第１金属プレート及び第２プレートの各々と接触する面の凹凸部の隙間に、溶着によって形成される場合よりも確実に入り込んでいる。そのため、樹脂固定部は、第１金属プレート及び第２プレートとより強く固着する。その結果、温度制御装置の気密性は、より長期に亘って保持され得る。
【0069】
樹脂固定部は、第４樹脂組成物の成形体である。
第４樹脂組成物の樹脂成分は、第１樹脂組成物の樹脂成分として例示した樹脂と同様であってもよい。第４樹脂組成物の樹脂成分は、第２樹脂組成物の樹脂成分と相溶性を有する樹脂を含むことが好ましい。これにより、樹脂固定部と樹脂流路壁部とは融着する。
第４樹脂組成物の樹脂成分は、第１樹脂組成物の樹脂成分として例示した樹脂と同様であってもよい。第４樹脂組成物の樹脂成分は、第２樹脂組成物の樹脂成分と相溶性を有する樹脂を含むことが好ましい。これにより、樹脂固定部と樹脂流路壁部とは融着する。
【0070】
「相溶性を有する」とは、樹脂固定部及び樹脂流路壁部の各々を構成する樹脂成分が溶融する雰囲気下において、樹脂固定部及び樹脂流路壁部の各々を構成する樹脂成分同士が分離せずに混ざり合うことを示す。
「樹脂固定部と樹脂流路壁部とは融着している」とは、室温（例えば、２３℃）において、接着剤、ねじ等を介さずに、樹脂流路壁部と樹脂固定部とが固着していることを示す。
「樹脂固定部と樹脂流路壁部とは融着している」とは、室温（例えば、２３℃）において、接着剤、ねじ等を介さずに、樹脂流路壁部と樹脂固定部とが固着していることを示す。
【0071】
第４樹脂組成物は、必要に応じて、充填材及び配合剤の少なくとも一方を含有してもよい。充填材及び配合剤としては、樹脂組成物に含まれ得る充填材及び配合剤として例示したものと同様のものが挙げられる。
【0072】
（１．７）内部流路
温度制御装置は、熱交換媒体を循環させるための内部流路を有する。熱交換媒体は、被熱交換体と熱交換する。内部流路は、温度制御装置の内部に位置する。
内部流路の形状は、特に限定されず、被熱交換体等に応じて適宜選択される。
熱交換媒体は、冷却用媒体又は加熱用媒体であり、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択される。
冷却用媒体は、被熱交換体から熱を奪うための媒体を示す。冷却用媒体としては、冷却用液体、冷却用気体等が挙げられる。冷却用液体としては、一般に冷却用に用いられる液体であれば特に限定されず、一例として水、油、グリコール系水溶液、エアコン用冷媒、非導電性液体、相変化液体等が挙げられる。冷却用気体としては、空気、窒素ガス等が挙げられる。冷却用媒体の温度は、被熱交換媒体の種類等に応じて、適宜調整される。
加熱用媒体は、被熱交換体に熱を与えるための媒体を示す。加熱用媒体としては、加熱用液体、加熱用気体等が挙げられる。加熱用液体としては、一般に加熱用液体として用いられる液体であれば特に限定されず、一例として水、油、グリコール系水溶液、エアコン用冷媒、非導電性液体、相変化液体等が挙げられる。加熱用気体は、空気、水蒸気等が挙げられる。加熱用媒体の温度は、被熱交換体の種類等に応じて、適宜調整される。
温度制御装置は、熱交換媒体を循環させるための内部流路を有する。熱交換媒体は、被熱交換体と熱交換する。内部流路は、温度制御装置の内部に位置する。
内部流路の形状は、特に限定されず、被熱交換体等に応じて適宜選択される。
熱交換媒体は、冷却用媒体又は加熱用媒体であり、被熱交換体の種類等に応じて適宜選択される。
冷却用媒体は、被熱交換体から熱を奪うための媒体を示す。冷却用媒体としては、冷却用液体、冷却用気体等が挙げられる。冷却用液体としては、一般に冷却用に用いられる液体であれば特に限定されず、一例として水、油、グリコール系水溶液、エアコン用冷媒、非導電性液体、相変化液体等が挙げられる。冷却用気体としては、空気、窒素ガス等が挙げられる。冷却用媒体の温度は、被熱交換媒体の種類等に応じて、適宜調整される。
加熱用媒体は、被熱交換体に熱を与えるための媒体を示す。加熱用媒体としては、加熱用液体、加熱用気体等が挙げられる。加熱用液体としては、一般に加熱用液体として用いられる液体であれば特に限定されず、一例として水、油、グリコール系水溶液、エアコン用冷媒、非導電性液体、相変化液体等が挙げられる。加熱用気体は、空気、水蒸気等が挙げられる。加熱用媒体の温度は、被熱交換体の種類等に応じて、適宜調整される。
【0073】
温度制御装置が内部流路を有することは、温度制御装置は、供給口及び回収口を有することを示す。供給口と回収口とは、内部流路を介して連通している。
供給口は、外部の供給部と接続される部位である。供給口は、供給部から供給された熱交換媒体を内部流路内に案内する。供給部は、熱交換媒体を温度制御装置に供給する。
回収口は、回収部と接続される部位である。回収口は、内部流路内の熱交換媒体を外部の回収部に案内する。回収部は、熱交換媒体を温度制御装置から回収する。
供給口、及び回収口（以下、「供給口等」という。）の各々は、接続部品を有してもよい。接続部品としては、メイルコネクター（ニップル）等が挙げられる。供給口等の各々が接続部品を有しない場合、温度制御装置には供給部及び回収部の各々を接続するための加工が施されていてもよい。加工方法としては、ネジ切り加工等が挙げられる。
温度制御装置が２つの主面を有する直方体状物である場合、供給口及び回収口の各々は、２つの主面、及び４つの側面のいずれかに配置されていればよい。例えば、供給口及び回収口の各々は、同一の主面に配置されていてもよいし、異なる主面に配置されていてもよいし、温度制御装置の側面のみに配置されていてもよい。
供給口等は、流路壁部によって構成されていてもよいし、第１金属プレート及び第２プレートの少なくとも一方によって構成されていてもよい。
供給口は、外部の供給部と接続される部位である。供給口は、供給部から供給された熱交換媒体を内部流路内に案内する。供給部は、熱交換媒体を温度制御装置に供給する。
回収口は、回収部と接続される部位である。回収口は、内部流路内の熱交換媒体を外部の回収部に案内する。回収部は、熱交換媒体を温度制御装置から回収する。
供給口、及び回収口（以下、「供給口等」という。）の各々は、接続部品を有してもよい。接続部品としては、メイルコネクター（ニップル）等が挙げられる。供給口等の各々が接続部品を有しない場合、温度制御装置には供給部及び回収部の各々を接続するための加工が施されていてもよい。加工方法としては、ネジ切り加工等が挙げられる。
温度制御装置が２つの主面を有する直方体状物である場合、供給口及び回収口の各々は、２つの主面、及び４つの側面のいずれかに配置されていればよい。例えば、供給口及び回収口の各々は、同一の主面に配置されていてもよいし、異なる主面に配置されていてもよいし、温度制御装置の側面のみに配置されていてもよい。
供給口等は、流路壁部によって構成されていてもよいし、第１金属プレート及び第２プレートの少なくとも一方によって構成されていてもよい。
【0074】
（１．８）仕切部材
温度制御装置は仕切部材を更に有してもよい。仕切部材は、内部流路を仕切って、内部流路内を流通する熱交換媒体の流れ方向を制御する。これにより、内部流路はより自由に設計され得る。
温度制御装置は仕切部材を更に有してもよい。仕切部材は、内部流路を仕切って、内部流路内を流通する熱交換媒体の流れ方向を制御する。これにより、内部流路はより自由に設計され得る。
【0075】
仕切部材は、内部流路内において、第１金属プレート及び第２プレートの間に配置される。仕切部材は、例えば、第１金属プレート及び第２プレートの少なくとも一方に固定されている。
仕切部材が第１金属プレート及び第２プレートの一方に固定されている場合、仕切部材は、その他方と接触していてもよいし、接触していなくてもよい。仕切部材が第１金属プレート及び第２プレートの他方と接触し、かつ仕切部材の材質が樹脂である場合、仕切部材は、その他方に接合していてもよい
仕切部材の材質は、樹脂であってもよいし、金属であってもよい。仕切部材を構成する樹脂としては、樹脂流路壁部を構成する樹脂として例示した樹脂と同様の樹脂が挙げられる。仕切部材を構成する金属としては、第１金属プレートを構成する金属として例示した金属と同様の金属が挙げられる。
仕切部材を第１金属プレート及び第２プレートの少なくとも一方に固定する固定方法は、仕切部材の材質に応じて適宜選択され、溶着法、公知の接着剤を用いる方法、機械締結、溶接等が挙げられる。これら固定方法は、１種単独又は２種以上を組み合わせてもよい。仕切部材の材質が金属である場合、仕切部材と第１金属プレート及び第２金属プレートの少なくとも一方とは、一体成形品であってもよい。仕切部材の材質が樹脂である場合、仕切部材と、流路壁部とは一体成形品であってもよい。
仕切部材が第１金属プレート及び第２プレートの一方に固定されている場合、仕切部材は、その他方と接触していてもよいし、接触していなくてもよい。仕切部材が第１金属プレート及び第２プレートの他方と接触し、かつ仕切部材の材質が樹脂である場合、仕切部材は、その他方に接合していてもよい
仕切部材の材質は、樹脂であってもよいし、金属であってもよい。仕切部材を構成する樹脂としては、樹脂流路壁部を構成する樹脂として例示した樹脂と同様の樹脂が挙げられる。仕切部材を構成する金属としては、第１金属プレートを構成する金属として例示した金属と同様の金属が挙げられる。
仕切部材を第１金属プレート及び第２プレートの少なくとも一方に固定する固定方法は、仕切部材の材質に応じて適宜選択され、溶着法、公知の接着剤を用いる方法、機械締結、溶接等が挙げられる。これら固定方法は、１種単独又は２種以上を組み合わせてもよい。仕切部材の材質が金属である場合、仕切部材と第１金属プレート及び第２金属プレートの少なくとも一方とは、一体成形品であってもよい。仕切部材の材質が樹脂である場合、仕切部材と、流路壁部とは一体成形品であってもよい。
【0076】
仕切部材が金属製である場合、仕切部材と第１金属プレートとは、金属の一体成形品であってもよい。仕切部材及び第２プレートが金属製である場合、仕切部材と第１金属プレートとは、金属の一体成形品であってもよい。
仕切部材及び第２プレートが樹脂製である場合、仕切部材と第２樹脂プレートとは、樹脂の一体成形品であってもよい。
仕切部材及び第２プレートが樹脂製である場合、仕切部材と第２樹脂プレートとは、樹脂の一体成形品であってもよい。
【0077】
（１．９）変形例
本開示の温度制御装置は、第２プレートが金属製である場合、別のフィン及び別の軟質部品を更に備えていてもよい。別のフィンは、第２金属プレートと熱的に接続されている。別のフィンは、内部流路内に配置されている。別の軟質部品は、別のフィンと第１金属プレートとの間に挟み込まれて、別のフィンの先端と第１金属プレートとの隙間を充填している。
別のフィンは、上述したフィンとして例示したものと同様である。別の軟質部品は、上述した軟質部品として例示したものと同様である。別のフィンを内部流路内に配置する方法は、フィンを内部流路内に配置する方法として例示した方法と同様である。別の軟質部品を、別のフィンと第１金属プレートとの間に配置する方法は、軟質部品を、フィンと第２金属プレートとの間に配置する方法として例示した方法と同様である。
本開示の温度制御装置は、第２プレートが金属製である場合、別のフィン及び別の軟質部品を更に備えていてもよい。別のフィンは、第２金属プレートと熱的に接続されている。別のフィンは、内部流路内に配置されている。別の軟質部品は、別のフィンと第１金属プレートとの間に挟み込まれて、別のフィンの先端と第１金属プレートとの隙間を充填している。
別のフィンは、上述したフィンとして例示したものと同様である。別の軟質部品は、上述した軟質部品として例示したものと同様である。別のフィンを内部流路内に配置する方法は、フィンを内部流路内に配置する方法として例示した方法と同様である。別の軟質部品を、別のフィンと第１金属プレートとの間に配置する方法は、軟質部品を、フィンと第２金属プレートとの間に配置する方法として例示した方法と同様である。
【0078】
【0079】
【0080】
第１実施形態に係る温度制御装置１Ａは、図１に示すように、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ａと、樹脂流路壁部１３Ａ（図２参照）と、仕切部材１４Ａ（図２参照）と、２つのフィン付き構造体１５（図２参照）と、２つの軟質部品１６（図２参照）と、樹脂固定部１７と、を備える。樹脂流路壁部１３Ａと仕切部材１４Ａとは、樹脂の一体成形品１３０（図２及び図４参照）である。
樹脂流路壁部１３Ａ、仕切部材１４Ａ、２つのフィン付き構造体１５、及び２つの軟質部品１６は、第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２Ａの間に配置されている。樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの周縁部に接触して、第１金属プレート１１に第２金属プレート１２Ａを固定している。２つのフィン付き構造体１５、及び２つの軟質部品１６は、樹脂流路壁部１３Ａ、仕切部材１４Ａ、第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２Ａに挟み込まれた状態で保持されている。
第２金属プレート１２Ａは、一対の接続部１２１（供給口及び回収口に相当）を有する。
樹脂流路壁部１３Ａ、仕切部材１４Ａ、２つのフィン付き構造体１５、及び２つの軟質部品１６は、第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２Ａの間に配置されている。樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの周縁部に接触して、第１金属プレート１１に第２金属プレート１２Ａを固定している。２つのフィン付き構造体１５、及び２つの軟質部品１６は、樹脂流路壁部１３Ａ、仕切部材１４Ａ、第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２Ａに挟み込まれた状態で保持されている。
第２金属プレート１２Ａは、一対の接続部１２１（供給口及び回収口に相当）を有する。
【0081】
温度制御装置１Ａの一対の接続部１２１が配置される側を温度制御装置１Ａの後側とし、その反対側を温度制御装置１Ａの前側と規定する。温度制御装置１Ａを前側から観たときの右側を温度制御装置１Ａの右側とし、その反対側を温度制御装置１Ａの左側と規定する。温度制御装置１Ａの前後方向及び左右方向と直交する方向において、第２金属プレート１２Ａが配置される側を温度制御装置１Ａの上側とし、その反対側を温度制御装置１Ａの下側と規定する。なお、これらの向きは、本開示の温度制御装置の使用時の向きを限定するものではない。
なお、図１～図４において、前側はＸ軸正方向に、後側はＸ軸負方向に、右側はＹ軸正方向に、左側はＹ軸負方向に、上側はＺ軸正方向に、下側はＺ軸負方向に、それぞれ対応する。
なお、図１～図４において、前側はＸ軸正方向に、後側はＸ軸負方向に、右側はＹ軸正方向に、左側はＹ軸負方向に、上側はＺ軸正方向に、下側はＺ軸負方向に、それぞれ対応する。
【0082】
温度制御装置１Ａは、直方体状物である。図１に示すように、温度制御装置１Ａの上側主面ＴＳ１側には、第２金属プレート１２Ａの一対の接続部１２１が配置されている。温度制御装置１Ａの下側主面ＢＳ１は、平面状である。
温度制御装置１Ａの寸法は、特に制限されず、温度制御装置１Ａの用途等に応じて選択され得る。例えば、温度制御装置１Ａの下側主面ＢＳ１の面積は、５０ｃｍ２以上５，０００ｃｍ２以下の範囲内であってもよい。例えば、温度制御装置１Ａの上下方向（Ｚ軸方向）の厚みは、１ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲内であってもよい。
温度制御装置１Ａの寸法は、特に制限されず、温度制御装置１Ａの用途等に応じて選択され得る。例えば、温度制御装置１Ａの下側主面ＢＳ１の面積は、５０ｃｍ２以上５，０００ｃｍ２以下の範囲内であってもよい。例えば、温度制御装置１Ａの上下方向（Ｚ軸方向）の厚みは、１ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲内であってもよい。
【0083】
（２．１．１）第１金属プレート
第１金属プレート１１は、平板状物である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸負方向）に観た第１金属プレート１１の形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状である。
第１金属プレート１１の材質は、第１金属プレートの材質として例示した金属と同様である。
第１金属プレート１１は、平板状物である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸負方向）に観た第１金属プレート１１の形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状である。
第１金属プレート１１の材質は、第１金属プレートの材質として例示した金属と同様である。
【0084】
（２．１．２）第２金属プレート
第２金属プレート１２Ａは、平板状物である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸下方向）に観た第２金属プレート１２Ａの形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状である。
第２金属プレート１２Ａは、図１に示すように、一対の接続部１２１を有する。一対の接続部１２１は、第２金属プレート１２Ａの上側主面ＴＳ１２から上方（Ｚ軸正方向）に突出している。第２金属プレート１２Ａの上側主面ＴＳ１２は、温度制御装置１Ａの上側主面ＴＳ１を構成している。
第２金属プレート１２Ａの材質は、第２金属プレートの材質として例示した金属と同様である。第２金属プレート１２Ａの材質は、第１金属プレート１１の材質と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
第２金属プレート１２Ａは、平板状物である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸下方向）に観た第２金属プレート１２Ａの形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状である。
第２金属プレート１２Ａは、図１に示すように、一対の接続部１２１を有する。一対の接続部１２１は、第２金属プレート１２Ａの上側主面ＴＳ１２から上方（Ｚ軸正方向）に突出している。第２金属プレート１２Ａの上側主面ＴＳ１２は、温度制御装置１Ａの上側主面ＴＳ１を構成している。
第２金属プレート１２Ａの材質は、第２金属プレートの材質として例示した金属と同様である。第２金属プレート１２Ａの材質は、第１金属プレート１１の材質と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【0085】
（２．１．３）樹脂流路壁部
樹脂流路壁部１３Ａは、図４に示すように、樹脂製の筒状物である。樹脂流路壁部１３Ａは、第１金属プレート１１の周縁Ｐ１１に沿って、周縁Ｐ１１の全周に亘って形成されている。樹脂流路壁部１３Ａは、内部流路Ｒ１を形成する壁部の一部を構成する。
樹脂流路壁部１３Ａの材質は、第１熱可塑性樹脂組成物として例示したものと同様である。
樹脂流路壁部１３Ａは、図４に示すように、樹脂製の筒状物である。樹脂流路壁部１３Ａは、第１金属プレート１１の周縁Ｐ１１に沿って、周縁Ｐ１１の全周に亘って形成されている。樹脂流路壁部１３Ａは、内部流路Ｒ１を形成する壁部の一部を構成する。
樹脂流路壁部１３Ａの材質は、第１熱可塑性樹脂組成物として例示したものと同様である。
【0086】
（２．１．４）仕切部材
仕切部材１４Ａは、図４に示すように、樹脂の長板状物である。樹脂流路壁部１３Ａは、前側壁部１３Ａ１及び後側壁部１３Ａ２を有する。仕切部材１４Ａは、後側壁部１３Ａ２の左右方向（Ｙ軸方向）の中央部から前側壁部１３Ａ１に向けて延在している。仕切部材１４Ａの前側（Ｘ軸正方向）の端部１４１と、前側壁部１３Ａ１とは離間している。
第１実施形態では、仕切部材１４Ａの材質は、樹脂流路壁部１３Ａの材質と同一である。
仕切部材１４Ａと樹脂流路壁部１３Ａとは、樹脂の一体成形品１３０である。樹脂の一体成形品１３０は、射出成形品、又はプレス成形品を含む。
仕切部材１４Ａは、図４に示すように、樹脂の長板状物である。樹脂流路壁部１３Ａは、前側壁部１３Ａ１及び後側壁部１３Ａ２を有する。仕切部材１４Ａは、後側壁部１３Ａ２の左右方向（Ｙ軸方向）の中央部から前側壁部１３Ａ１に向けて延在している。仕切部材１４Ａの前側（Ｘ軸正方向）の端部１４１と、前側壁部１３Ａ１とは離間している。
第１実施形態では、仕切部材１４Ａの材質は、樹脂流路壁部１３Ａの材質と同一である。
仕切部材１４Ａと樹脂流路壁部１３Ａとは、樹脂の一体成形品１３０である。樹脂の一体成形品１３０は、射出成形品、又はプレス成形品を含む。
【0087】
（２．１．５）フィン付き構造体
フィン付き構造体１５は、図３に示すように、複数のスカイブフィン１５１と、基部（図示せず）とを有する。複数のスカイブフィン１５１と基部とは、金属の一体成形品である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸負方向）に観た基部の形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状である。
フィン付き構造体１５は、図３に示すように、複数のスカイブフィン１５１と、基部（図示せず）とを有する。複数のスカイブフィン１５１と基部とは、金属の一体成形品である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸負方向）に観た基部の形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状である。
【0088】
樹脂流路壁部１３Ａは、図４に示すように、右側壁部１３Ａ３及び左側壁部１３Ａ４を有する。２つのフィン付き構造体１５は、図４に示すように、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１上に載置されている。詳しくは、一方のフィン付き構造体１５は、樹脂流路壁部１３Ａの右側壁部１３Ａ３及び仕切部材１４Ａの間に載置されている。他方のフィン付き構造体１５は、樹脂流路壁部１３Ａの左側壁部１３Ａ４及び仕切部材１４Ａの間に載置されている。
【0089】
複数のスカイブフィン１５１の各々は、基部の上側（Ｚ方向正方向）の主面から、上側（Ｚ軸方向正方向）に向けて突出している。スカイブフィン１５１の根元は、上下方向（Ｚ軸方向）に対して曲がっている。スカイブフィン１５１の先端は、尖っている。複数のスカイブフィン１５１は、スカイブ切削加工により形成されている。スカイブフィン１５１の高さＬ１（すなわち、上下方向（Ｚ軸方向）の長さＬ１）（図３参照）は、温度制御装置１Ａのサイズ等に応じて選択される。高さＬ１は、好ましくは１ｍｍ以上２０ｍｍ以下、より好ましく２ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。スカイブフィン１５１の肉厚Ｌ２（すなわち、左右方向（Ｙ軸方向）の長さＬ２）（図３参照）は、温度制御装置１Ａのサイズ等に応じて選択される。肉厚Ｌ２は、好ましくは０．０５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下、より好ましく０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。
複数のスカイブフィン１５１の各々は、左右方向（Ｙ軸方向）に沿って、所定の間隔を空けて、配置されている。隣接するスカイブフィン１５１同士の左右方向（Ｙ軸方向）の間隔Ｌ３（図３参照）は、温度制御装置１Ａのサイズ等に応じて選択される。間隔Ｌ３は、好ましくは０．０５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下、より好ましくは０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。
フィン付き構造体１５の材質は、フィンの材質として例示した金属と同様である。
複数のスカイブフィン１５１の各々は、左右方向（Ｙ軸方向）に沿って、所定の間隔を空けて、配置されている。隣接するスカイブフィン１５１同士の左右方向（Ｙ軸方向）の間隔Ｌ３（図３参照）は、温度制御装置１Ａのサイズ等に応じて選択される。間隔Ｌ３は、好ましくは０．０５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下、より好ましくは０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。
フィン付き構造体１５の材質は、フィンの材質として例示した金属と同様である。
【0090】
（２．１．６）軟質部品
軟質部品１６は、シート状物である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸負方向）に観た軟質部品１６第の形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状であり、フィン付き構造体１５の基部と同様である。
軟質部品１６は、シート状物である。上方（Ｚ軸正方向）から下方（Ｚ軸負方向）に観た軟質部品１６第の形状は、前後方向（Ｘ軸方向）を長辺とする略長方形状であり、フィン付き構造体１５の基部と同様である。
【0091】
２つの軟質部品１６は、図４に示すように、２つのフィン付き構造体１５上に載置されている。詳しくは、一方の軟質部品１６は、一方のフィン付き構造体１５を覆っている。他方の軟質部品１６は、他方のフィン付き構造体１５を覆っている。軟質部品１６の内部には、スカイブフィン１５１の先端の一部が入り込んでいる。
【0092】
軟質部品１６の厚みＬ４（上下方向（Ｚ軸方向）の長さＬ４）（図３参照）は、複数のスカイブフィン１５１の各々の先端と第２金属プレート１２Ａとの間の隙間を充填する厚みであればよい。厚みＬ４は、好ましくは０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下、より好ましくは１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。
軟質部品１６の材質は、エラストマーの成形体である。軟質部品１６に含まれるエラストマーは、第２樹脂組成物に含まれ得るエラストマーとして例示した材質と同様である。
軟質部品１６の材質は、エラストマーの成形体である。軟質部品１６に含まれるエラストマーは、第２樹脂組成物に含まれ得るエラストマーとして例示した材質と同様である。
【0093】
（２．１．７）樹脂固定部
樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１に第２金属プレート１２Ａを固定している。つまり、樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１、第２金属プレート１２Ａ、樹脂流路壁部１３Ａ、及び仕切部材１４Ａを一体にしている。
樹脂固定部１７の材質は、第３熱可塑性樹脂組成物として例示したものと同様である。第３樹脂組成物の樹脂成分は、第１樹脂組成物の樹脂成分と相溶性を有する。つまり、樹脂固定部１７と樹脂流路壁部１３Ａとは、融着している。そのため、樹脂固定部１７は、樹脂流路壁部１３Ａにより強く固着している。その結果、温度制御装置１Ａの気密性は、より長期に亘って保持され得る。
樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１に第２金属プレート１２Ａを固定している。つまり、樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１、第２金属プレート１２Ａ、樹脂流路壁部１３Ａ、及び仕切部材１４Ａを一体にしている。
樹脂固定部１７の材質は、第３熱可塑性樹脂組成物として例示したものと同様である。第３樹脂組成物の樹脂成分は、第１樹脂組成物の樹脂成分と相溶性を有する。つまり、樹脂固定部１７と樹脂流路壁部１３Ａとは、融着している。そのため、樹脂固定部１７は、樹脂流路壁部１３Ａにより強く固着している。その結果、温度制御装置１Ａの気密性は、より長期に亘って保持され得る。
【0094】
第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの間には、図２に示すように、空隙Ｒ１０が形成されている。詳しくは、空隙Ｒ１０は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの各々の周縁部と、樹脂流路壁部１３Ａの外周面とによって形成されている。空隙Ｒ１０は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの周縁部の全周に亘って形成されている。
樹脂固定部１７は、空隙Ｒ１０に充填されている。つまり、樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１の周縁部、第２金属プレート１２Ａの下側主面ＢＳ１２の周縁部、及び樹脂流路壁部１３Ａの外周面と物理的に接触している。
樹脂固定部１７は、空隙Ｒ１０に充填されている。つまり、樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１の周縁部、第２金属プレート１２Ａの下側主面ＢＳ１２の周縁部、及び樹脂流路壁部１３Ａの外周面と物理的に接触している。
【0095】
第１金属プレート１１の樹脂固定部１７と接触している面、及び第２金属プレート１２Ａの樹脂固定部１７と接触している面は、凹凸構造を有する。
樹脂固定部１７は、インサート成形によって形成されている。樹脂固定部１７は、樹脂流路壁部１３Ａに含まれる樹脂と相溶性を有する樹脂を含む。
樹脂固定部１７は、インサート成形によって形成されている。樹脂固定部１７は、樹脂流路壁部１３Ａに含まれる樹脂と相溶性を有する樹脂を含む。
【0096】
（２．１．８）内部流路
温度制御装置１Ａは、その内部に、内部流路Ｒ１を有する。内部流路Ｒ１は、第１金属プレート１１、第２金属プレート１２Ａ、樹脂流路壁部１３Ａ及び仕切部材１４Ａによって形成されている。内部流路Ｒ１には、冷却用媒体（熱交換媒体の一例）が流通する。
温度制御装置１Ａは、その内部に、内部流路Ｒ１を有する。内部流路Ｒ１は、第１金属プレート１１、第２金属プレート１２Ａ、樹脂流路壁部１３Ａ及び仕切部材１４Ａによって形成されている。内部流路Ｒ１には、冷却用媒体（熱交換媒体の一例）が流通する。
【0097】
（２．１．９）冷却用媒体の流れ
温度制御装置１Ａは、例えば、発熱体（被熱交換体の一例）が下側主面ＢＳ１に熱的に接触するように設置されて、使用される。この際、一方の接続部１２１には、外部の供給部が接続される。他方の接続部１２１には、外部の回収部が接続される。発熱体の熱は、第１金属プレート１１を介して、内部流路Ｒ１に充填された冷却用媒体に伝導する。
温度制御装置１Ａは、例えば、発熱体（被熱交換体の一例）が下側主面ＢＳ１に熱的に接触するように設置されて、使用される。この際、一方の接続部１２１には、外部の供給部が接続される。他方の接続部１２１には、外部の回収部が接続される。発熱体の熱は、第１金属プレート１１を介して、内部流路Ｒ１に充填された冷却用媒体に伝導する。
【0098】
冷却用媒体は、供給部によって一方の接続部１２１から内部流路Ｒ１に供給される。冷却用媒体は、ショートパス隙間を流通せずに、他方の接続部１２１に向けて移動する。この際、冷却用媒体は、第１金属プレート１１及び２つのフィン付き構造体１５と熱交換をする。
次いで、冷却用媒体は、他方の接続部１２１を介して、外部の回収部に回収される。
このようにして、冷却用媒体は、温度制御装置１Ａの内部で発熱体から熱を吸収し、温度制御装置１Ａの外部に排出される。これにより、温度制御装置１Ａは、発熱体の放熱を促進させる。つまり、温度制御装置１Ａは、発熱体の温度を制御する。
次いで、冷却用媒体は、他方の接続部１２１を介して、外部の回収部に回収される。
このようにして、冷却用媒体は、温度制御装置１Ａの内部で発熱体から熱を吸収し、温度制御装置１Ａの外部に排出される。これにより、温度制御装置１Ａは、発熱体の放熱を促進させる。つまり、温度制御装置１Ａは、発熱体の温度を制御する。
【0099】
（２．１．１０）作用効果
図１～図４を参照して説明したように、温度制御装置１Ａは、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ａと、樹脂流路壁部１３Ａと、仕切部材１４Ａと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７と、を備える。フィン付き構造体１５は、複数のスカイブフィン１５１を有する。２つの軟質部品１６は、内部流路Ｒ１内において、複数のスカイブフィン１５１と第２金属プレート１２Ａとの間に挟まれて、ショートパス隙間を充填している。
これにより、温度制御装置１Ａの内部流路Ｒ１に冷却用媒体が供給されると、冷却用熱媒体はショートパス隙間内を流通しにくい。換言すると、冷却用媒体は、複数のスカイブフィン１５１と物理的に接触しやすくなる。冷却用媒体が第１金属プレート１１に熱的に接続されると、発熱体と冷却用媒体とは、第１金属プレート１２Ａ及び複数のスカイブフィン１５１を介して、従来よりも熱伝導しやすくなる。
更に、樹脂固定部１７は、第２金属プレート１２Ａを第１金属プレート１１にインサート成形によって固定している。インサート成形の際、温度制御装置１Ａを構成する構成部品が曝される温度は、ろう付けの際の温度（例えば、６００℃以上）よりも低い（例えば、１６０℃程度）。そのため、軟質部品１６は、温度制御装置１Ａの製造過程において、溶融しにくく、スカイブフィン１５１の先端の形状に追従して変形した形状を保持することができる。
以上により、温度制御装置１Ａは、冷却用媒体の温度を従来よりも効率良く調整することができる。
図１～図４を参照して説明したように、温度制御装置１Ａは、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ａと、樹脂流路壁部１３Ａと、仕切部材１４Ａと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７と、を備える。フィン付き構造体１５は、複数のスカイブフィン１５１を有する。２つの軟質部品１６は、内部流路Ｒ１内において、複数のスカイブフィン１５１と第２金属プレート１２Ａとの間に挟まれて、ショートパス隙間を充填している。
これにより、温度制御装置１Ａの内部流路Ｒ１に冷却用媒体が供給されると、冷却用熱媒体はショートパス隙間内を流通しにくい。換言すると、冷却用媒体は、複数のスカイブフィン１５１と物理的に接触しやすくなる。冷却用媒体が第１金属プレート１１に熱的に接続されると、発熱体と冷却用媒体とは、第１金属プレート１２Ａ及び複数のスカイブフィン１５１を介して、従来よりも熱伝導しやすくなる。
更に、樹脂固定部１７は、第２金属プレート１２Ａを第１金属プレート１１にインサート成形によって固定している。インサート成形の際、温度制御装置１Ａを構成する構成部品が曝される温度は、ろう付けの際の温度（例えば、６００℃以上）よりも低い（例えば、１６０℃程度）。そのため、軟質部品１６は、温度制御装置１Ａの製造過程において、溶融しにくく、スカイブフィン１５１の先端の形状に追従して変形した形状を保持することができる。
以上により、温度制御装置１Ａは、冷却用媒体の温度を従来よりも効率良く調整することができる。
【0100】
【0101】
図１～図４を参照して説明したように、温度制御装置１Ａは、複数のスカイブフィン１５１を備える。これにより、冷却用媒体に対する伝熱面積は、増大する。その結果、温度制御装置１Ａは、発熱体の温度をより効率良く調整することができる。
【0102】
図１～図４を参照して説明したように、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの各々は、樹脂固定部１７と接触する部位に、凹凸構造を有する。これにより、樹脂固定部１７の一部は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの各々に凹凸構造の凹部内に入り込む。その結果、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの各々は、樹脂固定部１７とより強固に接合する。それ故、温度制御装置１Ａの気密性は、より長期に亘って保持され得る。
【0103】
図１～図４を参照して説明したように、樹脂固定部１７は、インサート成形によって形成されている。これにより、樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａの各々と接触する面の凹凸部の隙間に、溶着によって形成される場合よりも確実に入り込んでいる。そのため、樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ａとより強く固着する。その結果、温度制御装置１Ａの気密性は、より長期に亘って保持され得る。
【0104】
図１～図４を参照して説明したように、第２金属プレート１２Ａは、金属製であり、樹脂流路壁部１３Ａは、樹脂製である。これにより、冷却媒体の循環に起因する内圧に対する温度制御装置１Ａの耐圧性能は、第２金属プレート１２Ａの代わりに樹脂プレートを用いる場合よりも優れる。すなわち、温度制御装置１Ａは、被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができるとともに、耐圧性能に優れる。
【0105】
（２．２）第２実施形態
図１、及び図５を参照して、第２実施形態に係る温度制御装置について説明する。
なお、図５は、図１に示す切断線Ｃ２－Ｃ２と同様の切断線で切断した第２実施形態に係る温度制御装置１Ｂの断面である。
図１、及び図５を参照して、第２実施形態に係る温度制御装置について説明する。
なお、図５は、図１に示す切断線Ｃ２－Ｃ２と同様の切断線で切断した第２実施形態に係る温度制御装置１Ｂの断面である。
【0106】
第２実施形態に係る温度制御装置１Ｂは、主として、流路壁部が金属製であることの他は、第１実施形態に係る温度制御装置１Ａと同じである。
温度制御装置１Ｂは、図５に示すように、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ａと、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７と、電気絶縁層１８とを備える。第１金属プレート１１と、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂとは、金属の一体成形品１０１である。金属の一体成形品１０１としては、例えば、ロール成形品、ダイキャスト成形品、切削加工品、圧延材、プレス成形品、又は押出材である。
温度制御装置１Ｂは、図５に示すように、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ａと、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７と、電気絶縁層１８とを備える。第１金属プレート１１と、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂとは、金属の一体成形品１０１である。金属の一体成形品１０１としては、例えば、ロール成形品、ダイキャスト成形品、切削加工品、圧延材、プレス成形品、又は押出材である。
【0107】
金属流路壁部１３Ｂは、金属製であることの他は、樹脂流路壁部１３Ａと同様である。
金属流路壁部１３Ｂを構成する金属は、第１金属プレート１１を構成する金属と同一である。第２実施形態では、金属流路壁部１３Ｂを構成する金属と、第２金属プレート１２Ａを構成する金属とは、異種である。
金属流路壁部１３Ｂを構成する金属は、第１金属プレート１１を構成する金属と同一である。第２実施形態では、金属流路壁部１３Ｂを構成する金属と、第２金属プレート１２Ａを構成する金属とは、異種である。
【0108】
仕切部材１４Ｂは、金属製であることの他は、仕切部材１４Ａと同様である。
仕切部材１４Ｂを構成する金属は、第１金属プレート１１を構成する金属と同一である。第２実施形態では、仕切部材１４Ｂを構成する金属と、第２金属プレート１２Ａを構成する金属とは、異種である。
仕切部材１４Ｂを構成する金属は、第１金属プレート１１を構成する金属と同一である。第２実施形態では、仕切部材１４Ｂを構成する金属と、第２金属プレート１２Ａを構成する金属とは、異種である。
【0109】
電気絶縁層１８は、金属流路壁部１３Ｂ及び仕切部材１４Ｂの各々と、第２金属プレート１２Ａとの間に介在している。これにより、金属流路壁部１３Ｂ及び仕切部材１４Ｂの各々と第２金属プレート１２Ａとの電食の発生を抑制することができる。その結果、金属流路壁部１３Ｂ、仕切部材１４Ｂ及び第２金属プレート１２Ａは腐食しにくい。電気絶縁層１８としては、電気絶縁層として例示したものと同様である。
【0110】
（１．３）第３実施形態
図１及び図６を参照して、第３実施形態に係る温度制御装置ついて説明する。
なお、図６は、図１に示す切断線Ｃ２－Ｃ２と同様の切断線で切断した第３実施形態に係る温度制御装置１Ｃの断面である。
図１及び図６を参照して、第３実施形態に係る温度制御装置ついて説明する。
なお、図６は、図１に示す切断線Ｃ２－Ｃ２と同様の切断線で切断した第３実施形態に係る温度制御装置１Ｃの断面である。
【0111】
第３実施形態に係る温度制御装置１Ｃは、主として、第２プレートが樹脂製であることの他は、第１実施形態に係る温度制御装置１Ａと同じである。
温度制御装置１Ｃは、図６に示すように、第１金属プレート１１と、第２樹脂プレート１２Ｂと、樹脂流路壁部１３Ａと、仕切部材１４Ａと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７とを備える。第２樹脂プレート１２Ｂと、樹脂流路壁部１３Ａと、仕切部材１４Ａとは、樹脂の一体成形品１０２である。樹脂の一体成形品１０２としては、例えば、射出成形品、又はプレス成形品である。
温度制御装置１Ｃは、図６に示すように、第１金属プレート１１と、第２樹脂プレート１２Ｂと、樹脂流路壁部１３Ａと、仕切部材１４Ａと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７とを備える。第２樹脂プレート１２Ｂと、樹脂流路壁部１３Ａと、仕切部材１４Ａとは、樹脂の一体成形品１０２である。樹脂の一体成形品１０２としては、例えば、射出成形品、又はプレス成形品である。
【0112】
第２樹脂プレート１２Ｂは、樹脂製であることの他は、第２金属プレート１２Ａと同様である。第２樹脂プレート１２Ｂを構成する樹脂は、樹脂流路壁部１３Ａを構成する樹脂と同一である。
【0113】
（１．４）第４実施形態
図１、及び図７を参照して、第４実施形態に係る温度制御装置について説明する。
なお、図７は、図１に示す切断線Ｃ２－Ｃ２と同様の切断線で切断した第４実施形態に係る温度制御装置１Ｄの断面である。
図１、及び図７を参照して、第４実施形態に係る温度制御装置について説明する。
なお、図７は、図１に示す切断線Ｃ２－Ｃ２と同様の切断線で切断した第４実施形態に係る温度制御装置１Ｄの断面である。
【0114】
第４実施形態に係る温度制御装置１Ｄは、主として、流路壁部が金属製であることと、第２プレートが樹脂製であることとの他は、第１実施形態に係る温度制御装置１Ａと同じである。
温度制御装置１Ｄは、図７に示すように、第１金属プレート１１と、第２樹脂プレート１２Ｂと、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７とを備える。第１金属プレート１１と、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂとは、金属の一体成形品１０１である。
温度制御装置１Ｄは、図７に示すように、第１金属プレート１１と、第２樹脂プレート１２Ｂと、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂと、２つのフィン付き構造体１５と、２つの軟質部品１６と、樹脂固定部１７とを備える。第１金属プレート１１と、金属流路壁部１３Ｂと、仕切部材１４Ｂとは、金属の一体成形品１０１である。
【0115】
【0116】
第５実施形態に係る温度制御装置１Ｅは、主として、第２金属プレート及び樹脂流路壁部の形状が異なること、及び仕切部材を備えないことの他は、第１実施形態に係る温度制御装置１Ａと同様である。
温度制御装置１Ｅは、図８に示すように、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ｅと、樹脂流路壁部１３Ｅ（図９参照）と、１つのフィン付き構造体１５（図９参照）と、１つの軟質部品１６（図９参照）と、樹脂固定部１７と、を備える。
樹脂流路壁部１３Ｅ、フィン付き構造体１５、及び軟質部品１６は、第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２Ｅの間に配置されている。樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ｅの周縁部に接触して、第１金属プレート１１に第２金属プレート１２Ｅを固定している。フィン付き構造体１５、及び軟質部品１６は、樹脂流路壁部１３Ｅ及び第１金属プレート１１に挟み込まれた状態で保持されている。
温度制御装置１Ｅは、図８に示すように、第１金属プレート１１と、第２金属プレート１２Ｅと、樹脂流路壁部１３Ｅ（図９参照）と、１つのフィン付き構造体１５（図９参照）と、１つの軟質部品１６（図９参照）と、樹脂固定部１７と、を備える。
樹脂流路壁部１３Ｅ、フィン付き構造体１５、及び軟質部品１６は、第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２Ｅの間に配置されている。樹脂固定部１７は、第１金属プレート１１及び第２金属プレート１２Ｅの周縁部に接触して、第１金属プレート１１に第２金属プレート１２Ｅを固定している。フィン付き構造体１５、及び軟質部品１６は、樹脂流路壁部１３Ｅ及び第１金属プレート１１に挟み込まれた状態で保持されている。
【0117】
樹脂流路壁部１３Ｅは、一対の接続部１３１（供給口及び回収口に相当）を有する。一対の接続部１３１は、外部の供給部品又は回収部に接続され、外部と温度制御装置１Ｅとの間で冷却用媒体を供給又は排出する。
【0118】
温度制御装置１Ｅの一方の接続部１３１が配置される側を温度制御装置１Ｅの後側とし、その反対側を温度制御装置１Ｅの前側と規定する。温度制御装置１Ｅを前側から観たときの右側を温度制御装置１Ｅの右側とし、その反対側を温度制御装置１Ｅの左側と規定する。温度制御装置１Ｅの前後方向及び左右方向と直交する方向において、第１金属プレート１１が配置される側を温度制御装置１Ｅの上側とし、その反対側を温度制御装置１Ｅの下側と規定する。なお、これらの向きは、本開示の温度制御装置の使用時の向きを限定するものではない。
なお、図８及び図９において、前側はＸ軸正方向に、後側はＸ軸負方向に、右側はＹ軸正方向に、左側はＹ軸負方向に、上側はＺ軸正方向に、下側はＺ軸負方向に、それぞれ対応する。
なお、図８及び図９において、前側はＸ軸正方向に、後側はＸ軸負方向に、右側はＹ軸正方向に、左側はＹ軸負方向に、上側はＺ軸正方向に、下側はＺ軸負方向に、それぞれ対応する。
【0119】
（１．５．１）第２金属プレート
第２金属プレート１２Ｅは、一対の接続部１２１の代わりに一対の貫通孔を有することの他は、第２金属プレート１２Ａと同様である。
第２金属プレート１２Ｅは、図８に示すように、一対の貫通孔ＨＡを有する。一方の貫通孔ＨＡは、第２金属プレート１２Ｅの左右方向（Ｙ軸方向）の中央部で、かつ前後方向（Ｘ軸方向）の後部に位置する。他方の貫通孔ＨＡは、第２金属プレート１２Ｅの左右方向（Ｙ軸方向）の中央部で、かつ前後方向（Ｘ軸方向）の前部に位置する。
貫通孔ＨＡは、上下方向（Ｚ軸方向）に沿って、第２金属プレート１２Ｅを貫通している。貫通孔ＨＡは、温度制御装置１Ｅにおいて、内部流路Ｒ１（図９参照）と連通する。
第２金属プレート１２Ｅは、一対の接続部１２１の代わりに一対の貫通孔を有することの他は、第２金属プレート１２Ａと同様である。
第２金属プレート１２Ｅは、図８に示すように、一対の貫通孔ＨＡを有する。一方の貫通孔ＨＡは、第２金属プレート１２Ｅの左右方向（Ｙ軸方向）の中央部で、かつ前後方向（Ｘ軸方向）の後部に位置する。他方の貫通孔ＨＡは、第２金属プレート１２Ｅの左右方向（Ｙ軸方向）の中央部で、かつ前後方向（Ｘ軸方向）の前部に位置する。
貫通孔ＨＡは、上下方向（Ｚ軸方向）に沿って、第２金属プレート１２Ｅを貫通している。貫通孔ＨＡは、温度制御装置１Ｅにおいて、内部流路Ｒ１（図９参照）と連通する。
【0120】
（１．５．２）樹脂流路壁部
樹脂流路壁部１３Ｅは、形状が異なる他は、樹脂流路壁部１３Ａと同様である。
樹脂流路壁部１３Ｅは、板状物である。樹脂流路壁部１３Ｅには、外部の供給部品及び外部の排出部が接続される。樹脂流路壁部１３Ｅは、第２金属プレート１２Ｅとの間に内部流路Ｒ１（図９参照）を形成する。
詳しくは、樹脂流路壁部１３Ｅは、図９に示すように、一対の接続部１３１と、板部１３２と、内部流路Ｒ１を形成するための環状壁部１３３とを有する。一対の接続部１３１、板部１３２、及び環状壁部１３３は、樹脂の一体成形品である。
板部１３２は、上側主面ＴＳ１３２（第１主面に対応）と、下側主面ＢＳ１３２（第２主面に対応）を有する。上側主面ＴＳ１３２は、第２金属プレート１２Ｅの下側主面ＢＳ１２と対向している。一対の接続部１３１は、板部１３２の上側主面ＴＳ１３２に対して上側（Ｚ軸正方向）に突出している。環状壁部１３３は、板部１３２の下側主面ＢＳ１３２に対して下側（Ｚ軸負方向）に突出している。環状壁部１３３は、筒状である。
樹脂流路壁部１３Ｅは、形状が異なる他は、樹脂流路壁部１３Ａと同様である。
樹脂流路壁部１３Ｅは、板状物である。樹脂流路壁部１３Ｅには、外部の供給部品及び外部の排出部が接続される。樹脂流路壁部１３Ｅは、第２金属プレート１２Ｅとの間に内部流路Ｒ１（図９参照）を形成する。
詳しくは、樹脂流路壁部１３Ｅは、図９に示すように、一対の接続部１３１と、板部１３２と、内部流路Ｒ１を形成するための環状壁部１３３とを有する。一対の接続部１３１、板部１３２、及び環状壁部１３３は、樹脂の一体成形品である。
板部１３２は、上側主面ＴＳ１３２（第１主面に対応）と、下側主面ＢＳ１３２（第２主面に対応）を有する。上側主面ＴＳ１３２は、第２金属プレート１２Ｅの下側主面ＢＳ１２と対向している。一対の接続部１３１は、板部１３２の上側主面ＴＳ１３２に対して上側（Ｚ軸正方向）に突出している。環状壁部１３３は、板部１３２の下側主面ＢＳ１３２に対して下側（Ｚ軸負方向）に突出している。環状壁部１３３は、筒状である。
【0121】
接続部１３１は、図８及び図９に示すように、貫通孔ＨＡから露出している。接続部１３１は、開口Ｈ１３１及び中空部Ｒ１３１（図９参照）を有する。
開口Ｈ１３１には、冷却用媒体が供給される。開口Ｈ１３１は、樹脂流路壁部１３Ｅの上面に位置する。開口Ｈ１３１は、上方（Ｚ軸正方向）を向いている。
中空部Ｒ１３１は、図９に示すように、開口Ｈ１３１と、内部流路Ｒ１とを連結するために形成されている。中空部Ｒ１３１は、一方の接続部１３１の内部に形成されている。
開口Ｈ１３１には、冷却用媒体が供給される。開口Ｈ１３１は、樹脂流路壁部１３Ｅの上面に位置する。開口Ｈ１３１は、上方（Ｚ軸正方向）を向いている。
中空部Ｒ１３１は、図９に示すように、開口Ｈ１３１と、内部流路Ｒ１とを連結するために形成されている。中空部Ｒ１３１は、一方の接続部１３１の内部に形成されている。
【0122】
樹脂流路壁部１３Ｅの板部１３２の上側主面ＴＳ１３２のうち少なくとも接続部１３１を囲う部位は、第２金属プレート１２Ｅの下側主面ＢＳ１２と物理的に接触している。そのため、第２金属プレート１２Ｅの一対の貫通孔ＨＡの各々は、樹脂流路壁部１３Ｅで塞がれている。
【0123】
樹脂流路壁部１３Ｅは、図８及び図９に示すように、凹み部Ｒ１３２を更に有する。凹み部Ｒ１３２は、板部１３２の下側主面ＢＳ１３２と、環状壁部１３３の内周面とによって形成されている。凹み部Ｒ１３２は、樹脂流路壁部１３Ｅの下面側の前後方向（Ｘ軸方向）及び左右方向（Ｙ軸方向）における中央部に位置する。
凹み部Ｒ１３２は、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１との間に冷却用媒体が流通する内部流路Ｒ１を形成するために形成されている。
樹脂流路壁部１３Ｅの下側面のうち少なくとも凹み部Ｒ１３２を囲う部位（すなわち、環状壁部１３３の先端部）は、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１と物理的に接触している。そのため、凹み部Ｒ１３２と、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１との間には、内部流路Ｒ１が形成されている。
凹み部Ｒ１３２は、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１との間に冷却用媒体が流通する内部流路Ｒ１を形成するために形成されている。
樹脂流路壁部１３Ｅの下側面のうち少なくとも凹み部Ｒ１３２を囲う部位（すなわち、環状壁部１３３の先端部）は、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１と物理的に接触している。そのため、凹み部Ｒ１３２と、第１金属プレート１１の上側主面ＴＳ１１との間には、内部流路Ｒ１が形成されている。
【0124】
図８及び図９を参照して説明したように、第２金属プレート１２Ｅは、金属製であり、樹脂流路壁部１３Ｅは、樹脂製である。これにより、冷却媒体の循環に起因する内圧に対する温度制御装置１Ｅの耐圧性能は、第２金属プレート１２Ｅの代わりに樹脂プレートを用いる場合よりも優れる。すなわち、温度制御装置１Ｅは、被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができるとともに、耐圧性能に優れる。
【0125】
図８及び図９を参照して説明したように、樹脂流路壁部１３Ｅは、板部１３２と、環状壁部１３３とを有する。内部流路Ｒ１は、第２金属プレート１２Ｅ及び樹脂流路壁部１３Ｅによって形成されている。これにより、温度制御装置１Ｅは、被熱交換媒体の温度を効率良く調整することができるとともに、耐圧性能により優れる。
【符号の説明】
【0126】
１Ａ～１Ｅ 温度制御装置
１１ 第１プレート
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｅ 第２プレート
１２１、１３１ 接続部
１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｅ 流路壁部
１４Ａ、１４Ｂ 仕切部材
１５ フィン付き構造体
１６ 軟質部品
１７ 樹脂固定部
１８ 電気絶縁層
Ｒ１ 内部流路
１１ 第１プレート
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｅ 第２プレート
１２１、１３１ 接続部
１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｅ 流路壁部
１４Ａ、１４Ｂ 仕切部材
１５ フィン付き構造体
１６ 軟質部品
１７ 樹脂固定部
１８ 電気絶縁層
Ｒ１ 内部流路
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
