特開 2023-119115 アクチュエータおよびアクチュエータの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023119115

(43)【公開日】2023-08-28

(54)【発明の名称】アクチュエータおよびアクチュエータの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/08 20060101AFI20230821BHJP

   H04N 5/74 20060101ALI20230821BHJP

   H02K 33/16 20060101ALI20230821BHJP

【ＦＩ】

G02B26/08 D

H04N5/74 A

H02K33/16 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022021780

(22)【出願日】2022-02-16

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】新井 努

(72)【発明者】

【氏名】須江 猛

【テーマコード（参考）】

2H141

5C058

5H633

【Ｆターム（参考）】

2H141MA12

2H141MB23

2H141MB24

2H141MB39

2H141MC05

2H141MD12

2H141MD16

2H141MD20

2H141MD23

2H141MD24

2H141MD38

2H141MD40

2H141MF21

2H141MG03

2H141MG10

5C058BA25

5C058BA35

5C058EA11

5H633BB08

5H633BB15

5H633GG02

5H633HH03

5H633HH25

5H633JA04

(57)【要約】

【課題】光学要素を保持する可動体を固定体に対して回動させる磁気駆動機構を備えるアクチュエータにおいて、磁気駆動機構の駆動用コイルが非通電状態であるときに、固定体に対する可動体の回動方向において可動体を一定位置で保持することが可能であっても、コストを低減することが可能なアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１では、平板状に形成される磁性板８と保持用磁石７との間に、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を一定位置で保持するための磁気的吸引力が生じている。固定体４には、磁性板８が配置されて固定される磁性板配置穴４ｅが形成されており、磁性板配置穴４ｅの、保持用磁石７側の面は、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力によって磁性板８が接触する接触面４ｆとなっている。接触面４ｆには、保持用磁石７側に向かって窪む凹部４ｇが形成されている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光学要素を保持する可動体と、前記可動体が内周側に配置される枠状に形成されるとともに前記可動体を回動可能に保持する固定体と、前記固定体に対して前記可動体が傾く方向に前記可動体を回動させる磁気駆動機構と、前記固定体に対する前記可動体の回動方向である可動体回動方向において前記固定体に対して前記可動体を一定位置で保持するための保持用磁石および磁性板とを備え、
前記磁気駆動機構は、駆動用磁石と、前記駆動用磁石に対向配置される駆動用コイルとを備え、
前記保持用磁石は、前記可動体および前記固定体のいずれか一方に固定され、
前記磁性板は、平板状に形成されるとともに前記磁性板の厚さ方向において前記保持用磁石の一方側に配置され、
前記可動体および前記固定体のいずれか他方は、非磁性材料で形成され、
前記可動体および前記固定体のいずれか他方には、前記磁性板が配置されて固定される磁性板配置穴が形成され、
前記保持用磁石は、前記磁性板の厚さ方向に直交する第１方向で分極された２個の着磁部によって構成され、
前記駆動用コイルが非通電状態であるときに前記可動体回動方向において前記可動体を一定位置で保持するための磁気的吸引力が前記磁性板と前記保持用磁石との間に生じるとともに、前記第１方向における前記磁性板の位置によって前記駆動用コイルが非通電状態であるときの前記可動体回動方向における前記可動体の位置が規定され、
前記第１方向の一方側を第１方向一方側とし、前記第１方向の他方側を第１方向他方側とすると、
前記磁性板配置穴は、前記可動体および前記固定体のいずれか他方の少なくとも前記第１方向一方側端で開口し、
前記磁性板配置穴の、前記保持用磁石側の面は、前記磁性板と前記保持用磁石との間に生じる磁気的吸引力によって前記磁性板が接触する接触面となっており、
前記接触面には、前記保持用磁石側に向かって窪む凹部が形成され、
前記凹部は、前記磁性板配置穴の前記第１方向一方側端から前記第１方向他方側に向かって直線状に形成されるとともに、少なくとも前記磁性板の前記第１方向一方側端まで形成されていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

前記凹部は、前記磁性板の厚さ方向と前記第１方向とに直交する第２方向において間隔をあけた状態で複数箇所に形成されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記磁性板配置穴は、前記第１方向において前記可動体および前記固定体のいずれか他方を貫通する貫通穴であり、
前記凹部は、前記第１方向における前記磁性板配置穴の全域に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記磁性板の厚さ方向の一方側を厚さ方向一方側とし、前記磁性板の厚さ方向の他方側を厚さ方向他方側とすると、
前記磁性板配置穴の前記厚さ方向他方側の面は、前記接触面となっており、
前記磁性板配置穴の前記厚さ方向一方側の面には、前記厚さ方向一方側に向かって窪む第２凹部が形成され、
前記第２凹部は、前記磁性板の厚さ方向と前記第１方向とに直交する第２方向において前記凹部と同じ位置に形成されるとともに、前記第１方向において前記凹部と同じ範囲に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記可動体回動方向において前記固定体に対して前記可動体を一定位置で保持するための平板状の第２磁性板を備え、
前記駆動用磁石および前記保持用磁石は、前記可動体に固定され、
前記駆動用コイル、前記磁性板および前記第２磁性板は、前記固定体に固定され、
前記駆動用磁石は、前記第１方向で分極された２個の着磁部によって構成され、
前記駆動用コイルが非通電状態であるときに前記可動体回動方向において前記可動体を一定位置で保持するための磁気的吸引力が前記駆動用磁石と前記第２磁性板との間に生じ、
前記固定体には、前記第１方向において前記第２磁性板を位置決めするための位置決め部が形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項6】

請求項１から５のいずれかに記載のアクチュエータの製造方法であって、
前記凹部に一部が配置される棒状の治具を前記第１方向一方側から前記磁性板配置穴に挿入するとともに、前記磁性板配置穴の中に配置される固定前の前記磁性板の前記第１方向一方側の端面に前記治具の先端面を接触させて前記磁性板を前記第１方向他方側に移動させ、前記第１方向における前記磁性板の位置を調整する磁性板位置調整工程と、前記磁性板位置調整工程後に前記磁性板配置穴に前記磁性板を固定する磁性板固定工程とを備えることを特徴とするアクチュエータの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学要素を回動させるためのアクチュエータに関する。また、本発明は、かかるアクチュエータの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、投射光が透過するガラス板（光学ガラス）を振動させるための画像ずらし装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の画像ずらし装置は、プロジェクタに搭載されている。この画像ずらし装置は、ガラス板が固定されるガラスフレームと、ガラスフレームを回動可能に保持するベースと、ベースに対してガラスフレームを回動させる駆動部とを備えている。駆動部は、ガラスフレームに固定される駆動用磁石と、駆動用磁石に対向配置されるとともにベースに固定される駆動用コイルとを備えている。

【0003】

また、特許文献１に記載の画像ずらし装置は、駆動用コイルが非通電状態であるときに、ベースに対するガラスフレームの回動方向においてガラスフレームを一定位置で保持するための（すなわち、ベースに対してガラスフレームを一定の姿勢で保持するための）制動部を備えている。制動部は、ガラスフレームに固定される１個のフレーム側制動用磁石と、ベースに固定される２個のベース側制動用磁石とを備えている。フレーム側制動用磁石は、２個のベース側制動用磁石に挟まれている。駆動用コイルが非通電状態であるときには、フレーム側制動用磁石と２個のベース側制動用磁石との間に生じる磁気的反発力によって、ベースに対するガラスフレームの回動方向においてガラスフレームが一定位置で保持されている。

【0004】

また、特許文献１に記載の画像ずらし装置では、セットスクリューによって、ベース側制動用磁石の位置を調整することが可能になっており、フレーム側制動用磁石とベース側制動用磁石との距離を調整することが可能になっている。すなわち、この画像ずらし装置では、セットスクリューによって、フレーム側制動用磁石とベース側制動用磁石との間に生じる磁気的反発力を調整することが可能になっている。そのため、この画像ずらし装置では、駆動用コイルが非通電状態であるときのベースに対するガラスフレームの回動方向におけるガラスフレームの位置を調整することが可能になっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－２１５４６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載の画像ずらし装置は、制動部を備えているため、この画像ずらし装置では、駆動用コイルが非通電状態であるときにベースに対するガラスフレームの回動方向においてガラスフレームを一定位置で保持することが可能になっている。しかしながら、この画像ずらし装置では、駆動用コイルが非通電状態であるときにベースに対するガラスフレームの回動方向においてガラスフレームを一定位置で保持するために、３個の制動用磁石が必要になるため、画像ずらし装置のコストが高くなる。

【0007】

そこで、本発明の課題は、光学要素を保持する可動体と、可動体を回動可能に保持する固定体と、固定体に対して可動体を回動させる磁気駆動機構とを備えるアクチュエータにおいて、磁気駆動機構の駆動用コイルが非通電状態であるときに、固定体に対する可動体の回動方向において可動体を一定位置で保持することが可能であっても、コストを低減することが可能なアクチュエータを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるアクチュエータの製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本発明のアクチュエータは、光学要素を保持する可動体と、可動体が内周側に配置される枠状に形成されるとともに可動体を回動可能に保持する固定体と、固定体に対して可動体が傾く方向に可動体を回動させる磁気駆動機構と、固定体に対する可動体の回動方向である可動体回動方向において固定体に対して可動体を一定位置で保持するための保持用磁石および磁性板とを備え、磁気駆動機構は、駆動用磁石と、駆動用磁石に対向配置される駆動用コイルとを備え、保持用磁石は、可動体および固定体のいずれか一方に固定され、磁性板は、平板状に形成されるとともに磁性板の厚さ方向において保持用磁石の一方側に配置され、可動体および固定体のいずれか他方は、非磁性材料で形成され、可動体および固定体のいずれか他方には、磁性板が配置されて固定される磁性板配置穴が形成され、保持用磁石は、磁性板の厚さ方向に直交する第１方向で分極された２個の着磁部によって構成され、駆動用コイルが非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体を一定位置で保持するための磁気的吸引力が磁性板と保持用磁石との間に生じるとともに、第１方向における磁性板の位置によって駆動用コイルが非通電状態であるときの可動体回動方向における可動体の位置が規定され、第１方向の一方側を第１方向一方側とし、第１方向の他方側を第１方向他方側とすると、磁性板配置穴は、可動体および固定体のいずれか他方の少なくとも第１方向一方側端で開口し、磁性板配置穴の、保持用磁石側の面は、磁性板と保持用磁石との間に生じる磁気的吸引力によって磁性板が接触する接触面となっており、接触面には、保持用磁石側に向かって窪む凹部が形成され、凹部は、磁性板配置穴の第１方向一方側端から第１方向他方側に向かって直線状に形成されるとともに、少なくとも磁性板の第１方向一方側端まで形成されていることを特徴とする。

【0009】

本発明のアクチュエータは、固定体に対する可動体の回動方向である可動体回動方向において固定体に対して可動体を一定位置で保持するための保持用磁石および磁性板を備えており、平板状に形成される磁性板と保持用磁石との間に、駆動用コイルが非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体を一定位置で保持するための磁気的吸引力が生じている。そのため、本発明では、平板状に形成される磁性板と保持用磁石とによって、駆動用コイルが非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体を一定位置で保持することが可能になる。したがって、本発明では、駆動用コイルが非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体を一定位置で保持することが可能であっても、３個の制動用磁石を有する特許文献１に記載の画像ずらし装置と比較して、アクチュエータのコストを低減することが可能になる。

【0010】

また、本発明では、磁性板の厚さ方向に直交する第１方向における磁性板の位置によって駆動用コイルが非通電状態であるときの可動体回動方向における可動体の位置が規定されているため、アクチュエータの製造時に第１方向における磁性板の位置を調整することで、駆動用コイルが非通電状態であるときの可動体回動方向における可動体の位置を調整することが可能になる。

【0011】

また、本発明では、磁性板が配置されて固定される磁性板配置穴が可動体および固定体のいずれか他方の少なくとも第１方向一方側で開口しているため、アクチュエータの製造時に、磁性板配置穴の第１方向一方側から磁性板配置穴に棒状の治具を挿入するとともに、磁性板配置穴の中に配置される固定前の磁性板の第１方向一方側の端面に治具の先端面を接触させて磁性板を第１方向他方側に移動させることで第１方向における磁性板の位置を調整することが可能になる。

【0012】

さらに、本発明では、磁性板配置穴の、保持用磁石側の面は、磁性板と保持用磁石との間に生じる磁気的吸引力によって磁性板が接触する接触面となっており、接触面には、保持用磁石側に向かって窪む凹部が形成されている。また、本発明では、凹部は、磁性板配置穴の第１方向一方側端から第１方向他方側に向かって直線状に形成されるとともに、少なくとも磁性板の第１方向一方側端まで形成されている。

【0013】

そのため、本発明では、たとえば、磁性板の厚さが非常に薄くなっていても、また、棒状に形成される治具の先端面の縁に面取り加工が施されていても、アクチュエータの製造時に、一部が凹部の中に配置される治具の先端面を磁性板の第１方向一方側の端面に確実に接触させることが可能になる。したがって、本発明では、磁性板の厚さが非常に薄くなっていても、また、棒状に形成される治具の先端面の縁に面取り加工が施されていても、アクチュエータの製造時に治具を用いて第１方向における磁性板の位置を容易に調整することが可能になる。

【0014】

本発明において、凹部は、磁性板の厚さ方向と第１方向とに直交する第２方向において間隔をあけた状態で複数箇所に形成されていることが好ましい。このように構成すると、アクチュエータの製造時に、第２方向において間隔をあけた状態で配置される複数本の棒状の治具を用いて、磁性板を第１方向他方側に移動させやすくなる。したがって、アクチュエータの製造時に、第１方向における磁性板の位置をより容易に調整することが可能になる。

【0015】

本発明において、磁性板配置穴は、第１方向において可動体および固定体のいずれか他方を貫通する貫通穴であり、凹部は、第１方向における磁性板配置穴の全域に形成されていることが好ましい。このように構成すると、磁性板の第１方向一方側の端面に治具の先端面を接触させて磁性板を第１方向他方側に移動させるときに、磁性板を第１方向他方側に移動させ過ぎてしまっても、磁性板配置穴の第１方向他方側から磁性板配置穴に治具を挿入するとともに、一部が凹部の中に配置される治具の先端面を磁性板の第１方向他方側の端面に確実に接触させて磁性板を第１方向一方側に戻すことが可能になる。

【0016】

本発明において、磁性板の厚さ方向の一方側を厚さ方向一方側とし、磁性板の厚さ方向の他方側を厚さ方向他方側とすると、磁性板配置穴の厚さ方向他方側の面は、接触面となっており、磁性板配置穴の厚さ方向一方側の面には、厚さ方向一方側に向かって窪む第２凹部が形成され、第２凹部は、磁性板の厚さ方向と第１方向とに直交する第２方向において凹部と同じ位置に形成されるとともに、第１方向において凹部と同じ範囲に形成されていることが好ましい。このように構成すると、磁性板の厚さ方向における磁性板配置穴の幅が狭くても、凹部および第２凹部を利用して、磁性板配置穴に治具を挿入して、第１方向一方側に磁性板を移動させることが可能になる。

【0017】

本発明において、たとえば、アクチュエータは、可動体回動方向において固定体に対して可動体を一定位置で保持するための平板状の第２磁性板を備え、駆動用磁石および保持用磁石は、可動体に固定され、駆動用コイル、磁性板および第２磁性板は、固定体に固定され、駆動用磁石は、第１方向で分極された２個の着磁部によって構成され、駆動用コイルが非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体を一定位置で保持するための磁気的吸引力が駆動用磁石と第２磁性板との間に生じ、固定体には、第１方向において第２磁性板を位置決めするための位置決め部が形成されている。この場合には、第１方向における第２磁性板の位置の調整が行われないため、アクチュエータの製造工程を簡素化することが可能になる。

【0018】

本発明のアクチュエータは、たとえば、凹部に一部が配置される棒状の治具を第１方向一方側から磁性板配置穴に挿入するとともに、磁性板配置穴の中に配置される固定前の磁性板の第１方向一方側の端面に治具の先端面を接触させて磁性板を第１方向他方側に移動させ、第１方向における磁性板の位置を調整する磁性板位置調整工程と、磁性板位置調整工程後に磁性板配置穴に磁性板を固定する磁性板固定工程とを備えるアクチュエータの製造方法で製造される。

【発明の効果】

【0019】

以上のように、本発明では、光学要素を保持する可動体と、可動体を回動可能に保持する固定体と、固定体に対して可動体を回動させる磁気駆動機構とを備えるアクチュエータにおいて、磁気駆動機構の駆動用コイルが非通電状態であるときに、固定体に対する可動体の回動方向において可動体を一定位置で保持することが可能であっても、アクチュエータのコストを低減することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施の形態にかかるアクチュエータの斜視図である。

【図2】図１に示すアクチュエータの平面図である。

【図3】図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。

【図4】（Ａ）は、図２のＥ－Ｅ断面の断面図であり、（Ｂ）は、図２のＦ－Ｆ断面の断面図である。

【図5】図２のＧ部の拡大図である。

【図6】図４（Ｂ）に示す磁性板の上下方向の位置の調整方法を説明するための図である。

【図7】本発明の他の実施の形態に係る磁性板配置穴の構成を説明するための図である。

【図8】本発明の他の実施の形態に係る磁性板配置穴の構成を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0022】

（アクチュエータの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の平面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４（Ａ）は、図２のＥ－Ｅ断面の断面図であり、図４（Ｂ）は、図２のＦ－Ｆ断面の断面図である。

【0023】

以下の説明では、図１等に示すように、互いに直交する３方向のそれぞれをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向とし、Ｘ方向を左右方向、Ｙ方向を前後方向、Ｚ方向を上下方向とする。また、左右方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「左」側とし、前後方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「後ろ」側とし、上下方向の一方側である図１等のＺ１方向側を「上」側とし、その反対側である図１等のＺ２方向側を「下」側とする。

【0024】

本形態のアクチュエータ１は、光学要素としての光学ガラス２を振動させるための装置であり、プロジェクタに搭載されて使用される。光学ガラス２は、光の透過性を有するガラス板であり、正方形の平板状に形成されている。光学ガラス２は、プロジェクタの投射光学系の一部を構成している。アクチュエータ１は、プロジェクタが投影する映像を高画質化するために、光学ガラス２を所定の周波数で一定角度振動させて光学ガラス２の姿勢を周期的に変える。たとえば、アクチュエータ１は、光学ガラス２を６０Ｈｚで振動させる。

【0025】

アクチュエータ１は、全体として上下方向の厚さが薄い扁平な直方体状に形成されている。アクチュエータ１は、光学ガラス２を保持する可動体３と、可動体３を回動可能に保持する固定体４とを備えている。可動体３および固定体４は、枠状に形成されている。光学ガラス２は、可動体３の内周側に配置されている。可動体３は、固定体４の内周側に配置されている。また、アクチュエータ１は、固定体４に対して可動体３が傾く方向に可動体３を回動させて光学ガラス２を振動させる磁気駆動機構５と、固定体４に対する可動体３の回動の支点となる支点部６と、固定体４に対する可動体３の回動方向である可動体回動方向において固定体４に対して可動体３を一定位置で保持するための保持用磁石７および磁性板８、９とを備えている。本形態の磁性板９は、第２磁性板である。

【0026】

本形態では、磁気駆動機構５の一部を構成する後述の駆動用コイル１６に電流が供給されていないときに（すなわち、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに）、可動体回動方向において固定体４に対して可動体３が所定の基準位置に配置されている。可動体回動方向において固定体４に対して可動体３が基準位置に配置されているときには、光学ガラス２の厚さ方向と上下方向とが一致している。

【0027】

また、可動体回動方向において固定体４に対して可動体３が基準位置に配置されているときには、プロジェクタに搭載されたアクチュエータ１では、光学ガラス２の厚さ方向とプロジェクタの投射光学系の光軸方向とが一致しているとともに、プロジェクタの投射光学系の光軸が光学ガラス２の中心を通過する。なお、光学ガラス２が振動するときの固定体４に対する可動体３の回動角度は、たとえば、０．５°未満であって非常に小さい。そのため、光学ガラス２が振動しているのか否かにかかわらず、光学ガラス２の厚さ方向は、上下方向とほぼ一致している。

【0028】

可動体３は、固定体４の外周側から見たときに固定体４に対して可動体３が傾く方向に回動可能となっている。また、可動体３は、光学ガラス２の厚さ方向に直交する第１直交方向（図２のＶ方向）を回動の軸方向として固定体４に対して回動可能となっている。すなわち、可動体３は、第１直交方向を軸線方向とする軸線Ｌ１（図２参照）を回動中心にして固定体４に対して回動可能となっている。第１直交方向は、上下方向に直交している。また、第１直交方向は、上側から見たときに、前後方向に対して図２の時計回りの方向へ４５°ずれた方向となっている。光学ガラス２の厚さ方向から見たときに、軸線Ｌ１は、光学ガラス２の中心を通過している。支点部６は、第１直交方向における可動体３の両端側に配置されている。

【0029】

可動体３は、光学ガラス２を保持するガラスホルダである。可動体３は、非磁性材料で形成されている。また、可動体３は、樹脂材料で形成されている。可動体３は、上述のように枠状に形成されている。具体的には、可動体３は、正方形または長方形の枠状に形成されている。可動体回動方向において固定体４に対して可動体３が基準位置に配置されているときには、外形が正方形状または長方形状をなす可動体３の外周面を構成する４辺のうちの２辺は、左右方向と平行になっており、残りの２辺は、前後方向と平行になっている。

【0030】

可動体３には、磁気駆動機構５の一部を構成する後述の駆動用磁石１５が配置される磁石配置凹部３ａと、保持用磁石７が配置される磁石配置凹部３ｂとが形成されている。磁石配置凹部３ａは、可動体３の右端から左側に向かって窪んでいる。磁石配置凹部３ｂは、可動体３の左端から右側に向かって窪んでいる。磁石配置凹部３ａ、３ｂは、光学ガラス２の厚さ方向における可動体３の全域に形成されている。また、図３に示すように、可動体３には、第１直交方向の両側に向かって突出する突起部３ｃが形成されている。突起部３ｃは、円柱状に形成されている。円柱状に形成される突起部３ｃの軸方向は、第１直交方向と一致している。

【0031】

上述のように、光学ガラス２は、可動体３の内周側に配置されている。光学ガラス２は、可動体３に固定されている。可動体回動方向において固定体４に対して可動体３が基準位置に配置されているときには、外形が正方形状をなす光学ガラス２の外周面のうちの４辺のうちの２辺は、左右方向と平行になっており、残りの２辺は、前後方向と平行になっている。

【0032】

固定体４は、非磁性材料で形成されている。また、固定体４は、樹脂材料で形成されている。固定体４は、上述のように枠状に形成されている。具体的には、固定体４は、正方形または長方形の枠状に形成されている。外形が正方形状または長方形状をなす固定体４の外周面を構成する４辺のうちの２辺は、左右方向と平行になっており、残りの２辺は、前後方向と平行になっている。固定体４には、磁気駆動機構５の一部を構成する後述の駆動用コイル１６が配置されるコイル配置凹部４ａと、磁性板９が配置される磁性板配置凹部４ｂとが形成されている。

【0033】

コイル配置凹部４ａおよび磁性板配置凹部４ｂは、固定体４の右辺部に形成されている。コイル配置凹部４ａは、固定体４の右辺部の左端から右側に向かって窪んでいる。コイル配置凹部４ａは、固定体４の上下方向の全域に形成されている。磁性板配置凹部４ｂは、コイル配置凹部４ａの右側に形成されている。磁性板配置凹部４ｂは、コイル配置凹部４ａよりも右側に窪んでいる。磁性板配置凹部４ｂは、固定体４の上下方向の全域には形成されておらず、固定体４の右辺部の下端側には、磁性板９が載置される磁性板載置部４ｃが形成されている。磁性板載置部４ｃの上面は、上下方向に直交する平面となっている。

【0034】

また、固定体４には、支点部６の一部を構成する後述の板バネ１３が配置されるバネ配置部４ｄと、磁性板８が配置されて固定される磁性板配置穴４ｅとが形成されている。バネ配置部４ｄは、正方形の枠状に形成される固定体４の、一方の対角線上の２個の角部に形成されている。具体的には、バネ配置部４ｄは、固定体４の右後端の角部と左前端の角部とに形成されている。磁性板配置穴４ｅは、固定体４の左辺部に形成されている。磁性板配置穴４ｅは、上下方向において固定体４を貫通する貫通穴である。また、磁性板配置穴４ｅは、前後方向に細長い長方形の角穴である。磁性板配置穴４ｅの具体的な構成については後述する。

【0035】

支点部６は、球状に形成される球体（ボール）１１と、球体１１を保持するための球体保持部材１２と、球体１１の一部に所定の接触圧で接触する凹曲面状の接触面１３ａ（図３参照）が形成される板バネ１３とを備えている。球体１１は、セラミックスで形成されている。球体保持部材１２は、金属材料で形成されている。球体保持部材１２は、筒状に形成される円筒部と筒部の一端に繋がる底部とを有する有底の円筒状に形成されている。球体保持部材１２の内径は、球体１１の外径よりも大きくなっている。

【0036】

球体保持部材１２は、可動体３の突起部３ｃに固定されている。突起部３ｃは、第１直交方向の内側から球体保持部材１２の内周側に軽圧入されている。球体保持部材１２は、接着剤によって突起部３ｃに固定されている。球体１１は、球体保持部材１２の内周側に配置されている。球体保持部材１２の底部は、突起部３ｃの先端面よりも第１直交方向の外側に配置されている。突起部３ｃの先端面と球体保持部材１２の底部との間には、球体１１を配置するための隙間が形成されている。

【0037】

球体保持部材１２の底部には、球体保持部材１２の内周側に配置される球体１１の一部を球体保持部材１２の外部に配置させるための貫通穴が形成されている。この貫通穴の内径は、球体１１の外径よりも小さくなっている。球体１１は、突起部３ｃの先端面に形成される凹部の底面に接触するとともに、貫通穴の縁に接触している。球体１１の一部は、球体保持部材１２の底部よりも第１直交方向の外側に配置されており、球体保持部材１２の外部に配置されている。球体１１は、突起部３ｃと球体保持部材１２とによって可動体３に保持されている。

【0038】

板バネ１３は、バネ性を有するステンレス鋼板等の金属板を所定形状に折り曲げることで形成されている。板バネ１３は、Ｕ形状に形成されている。板バネ１３は、上下方向から見たときの板バネ１３の形状がＵ形状となるようにバネ配置部４ｄに配置されている。光学ガラス２の厚さ方向から見たときに、右後端に配置される板バネ１３と左前端に配置される板バネ１３とは、光学ガラス２の中心に対して点対称に配置されている。板バネ１３は、位置決めされた状態でバネ配置部４ｄに固定されている。板バネ１３の接触面１３ａは、球体保持部材１２の外部に配置される球体１１の一部に第１直交方向の外側から所定の接触圧で接触している。板バネ１３は、第１直交方向の内側に向かって球体１１を付勢している。

【0039】

磁気駆動機構５は、駆動用磁石１５と、駆動用磁石１５に対向配置される駆動用コイル１６とを備えている。駆動用磁石１５は、可動体３に固定されている。具体的には、駆動用磁石１５は、磁石配置凹部３ａの中に配置されており、可動体３の右面側に固定されている。駆動用磁石１５は、前後方向に細長い直方体状に形成されている。駆動用磁石１５は、上下方向において分極された２個の着磁部１５ａによって構成されている。より具体的には、駆動用磁石１５は、光学ガラス２の厚さ方向において分極された２個の着磁部１５ａによって構成されている。

【0040】

駆動用コイル１６は、たとえば、導線が空芯状に巻回されることで形成された空芯コイルである。駆動用コイル１６は、フレキシブルプリント基板１７に実装されている。また、駆動用コイル１６は、コイル配置凹部４ａの中に配置されている。フレキシブルプリント基板１７は、固定体４に固定されている。駆動用コイル１６は、フレキシブルプリント基板１７を介して固定体４に固定されている。駆動用磁石１５と駆動用コイル１６とは左右方向で対向している。

【0041】

磁気駆動機構５は、第１直交方向を回動の軸方向として固定体４に対して可動体３を回動させる。なお、フレキシブルプリント基板１７には、固定体４に対する可動体３の回動位置を検知するためのホールセンサ（図示省略）が実装されている。ホールセンサは、駆動用磁石１５に対向配置されている。駆動用コイル１６には、ホールセンサの検知結果に基づいて電流が供給される。

【0042】

保持用磁石７は、可動体３に固定されている。具体的には、保持用磁石７は、磁石配置凹部３ｂの中に配置されており、可動体３の左面側に固定されている。保持用磁石７は、前後方向に細長い直方体状に形成されている。また、保持用磁石７は、駆動用磁石１５と同様に構成されており、上下方向において分極された２個の着磁部７ａによって構成されている。より具体的には、保持用磁石７は、光学ガラス２の厚さ方向において分極された２個の着磁部７ａによって構成されている。

【0043】

図２に示すように、保持用磁石７の前後方向の中心と駆動用磁石１５の前後方向の中心とは、前後方向においてずれている。具体的には、保持用磁石７の前後方向の中心は、駆動用磁石１５の前後方向の中心よりも後ろ側に配置されている。本形態では、光学ガラス２の厚さ方向から見たときに、保持用磁石７と駆動用磁石１５とは、可動体３の中心に対して点対称に配置されている。また、光学ガラス２の厚さ方向から見たときに、保持用磁石７と駆動用磁石１５とは、光学ガラス２の中心に対して点対称に配置されている。

【0044】

磁性板８は、磁性を有する金属材料によって形成されている。磁性板８は、平板状に形成されている。具体的には、磁性板８は、細長い長方形状の平板状に形成されている。磁性板８の厚さは薄くなっている。たとえば、磁性板８の厚さは、０．１～０．２（ｍｍ）程度となっており、非常に薄くなっている。磁性板８は、磁性板８の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。すなわち、本形態の左右方向（Ｘ方向）は、磁性板８の厚さ方向となっている。また、磁性板８は、長方形状の平板状に形成される磁性板８の長辺方向と前後方向とが一致するように配置されている。

【0045】

磁性板８は、磁性板配置穴４ｅの中に配置されており、磁性板配置穴４ｅの中で固定されている。すなわち、磁性板８は、固定体４に固定されている。磁性板８は、接着剤によって固定体４に固定されている。たとえば、磁性板８は、熱硬化性の接着剤によって固定体４に固定されている。また、磁性板８は、保持用磁石７の左側に配置されている。すなわち、磁性板８は、磁性板８の厚さ方向において保持用磁石７の一方側に配置されている。保持用磁石７の左側面は、左右方向に略直交する平面となっており、上下方向において２極に着磁されている。駆動用コイル１６が非通電状態であるときに、保持用磁石７の左側面の上下方向の中心と磁性板８の上下方向の中心とは、設計上、上下方向において一致している。本形態では、後述のように、固定体４に磁性板８を固定する前に上下方向における磁性板８の位置が調整される。

【0046】

本形態の左側（Ｘ２方向側）は、磁性板８の厚さ方向の一方側である厚さ方向一方側となっており、右側（Ｘ１方向側）は、磁性板８の厚さ方向の他方側である厚さ方向他方側となっている。また、本形態の上下方向（Ｚ方向）は、磁性板８の厚さ方向に直交する第１方向となっており、前後方向（Ｙ方向）は、磁性板８の厚さ方向と第１方向とに直交する第２方向となっている。さらに、本形態の下側（Ｚ２方向側）は、第１方向の一方側である第１方向一方側となっており、上側（Ｚ１方向側）は、第１方向の他方側である第１方向他方側となっている。

【0047】

磁性板９は、磁性板８と同様に構成されており、平板状に形成されている。磁性板９は、磁性板９の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。また、磁性板９は、長方形状の平板状に形成される磁性板９の長辺方向と前後方向とが一致するように配置されている。磁性板９は、磁性板配置凹部４ｂの中に配置されている。図４（Ａ）に示すように、磁性板９は、磁性板載置部４ｃに載置されており、磁性板９の下端面は、磁性板載置部４ｃの上面に接触している。すなわち、磁性板９は、上下方向において位置決めされている。

【0048】

本形態の磁性板載置部４ｃは、第１方向である上下方向において磁性板９を位置決めするための位置決め部となっている。すなわち、固定体４には、第１方向において磁性板９を位置決めするための位置決め部である磁性板載置部４ｃが形成されている。また、磁性板９は、フレキシブルプリント基板１７に固定されており、フレキシブルプリント基板１７を介して固定体４に固定されている。磁性板９は、駆動用磁石１５の右側に配置されている。駆動用磁石１５の右側面は、左右方向に略直交する平面となっており、上下方向において２極に着磁されている。駆動用コイル１６が非通電状態であるときに、駆動用磁石１５の右側面の上下方向の中心と磁性板９の上下方向の中心とは、設計上、上下方向において一致している。

【0049】

本形態では、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を一定位置で保持するための（すなわち、固定体４に対して可動体３を一定の姿勢で保持するための）磁気的吸引力が、磁性板８と保持用磁石７との間、および、磁性板９と駆動用磁石１５との間に生じている。具体的には、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を基準位置で保持するための磁気的吸引力が、磁性板８と保持用磁石７との間、および、磁性板９と駆動用磁石１５との間に生じている。

【0050】

また、本形態では、上下方向における磁性板８の位置を調整することで、駆動用コイル１６が非通電状態であるときの可動体回動方向における可動体３の位置を調整することが可能になっている。すなわち、本形態では、磁性板８の上下方向の位置によって駆動用コイル１６が非通電状態であるときの可動体回動方向における可動体３の位置が規定されている。なお、本形態では、磁性板８、９の大きさを変えれば、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力、および、磁性板９と駆動用磁石１５との間に生じる磁気的吸引力が変わる。また、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力、および、磁性板９と駆動用磁石１５との間に生じる磁気的吸引力を変えることで、光学ガラス２を振動させるときのアクチュエータ１の共振周波数を変えることが可能になっている。

【0051】

（磁性板配置穴の構成）
図５は、図２のＧ部の拡大図である。

【0052】

上述のように、磁性板配置穴４ｅは、上下方向において固定体４を貫通する貫通穴である。すなわち、磁性板配置穴４ｅは、固定体４の上端および固定体４の下端で開口している。また、上述のように、磁性板配置穴４ｅは、前後方向に細長い長方形の角穴である。磁性板配置穴４ｅの左右方向の幅は、磁性板８の厚さよりも広くなっており、磁性板配置穴４ｅの前後方向の長さは、磁性板８の前後方向の長さ（長辺方向の長さ）よりも長くなっている。磁性板配置穴４ｅの右側の面は、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力によって磁性板８が接触する接触面４ｆとなっている。すなわち、磁性板配置穴４ｅの、保持用磁石７側の面は接触面４ｆとなっている。接触面４ｆは、左右方向に直交する平面である。

【0053】

接触面４ｆには、右側に向かって（すなわち、保持用磁石７側に向かって）窪む凹部４ｇが形成されている。凹部４ｇは、磁性板配置穴４ｅの下端から上側に向かって直線状に形成されている。すなわち、凹部４ｇは、上下方向に平行な直線状に形成されている。本形態の凹部４ｇは、磁性板配置穴４ｅの上下方向の全域に形成されており、磁性板配置穴４ｅの下端から磁性板配置穴４ｅの上端まで形成されている。また、凹部４ｇは、前後方向において間隔をあけた状態で複数箇所に形成されている。本形態では、接触面４ｆの前端部と後端部との２箇所に凹部４ｇが形成されている。上下方向から見たときの凹部４ｇの側面は、円弧状の凹曲面になっている。

【0054】

磁性板配置穴４ｅの左側の面である左側面４ｈは、左右方向に直交する平面となっている。左側面４ｈには、左側に向かって窪む第２凹部としての凹部４ｊが形成されている。凹部４ｊは、磁性板配置穴４ｅの下端から磁性板配置穴４ｅの上端まで直線状に形成されている。すなわち、凹部４ｊは、上下方向に平行な直線状に形成されている。凹部４ｊは、前後方向において凹部４ｇと同じ位置に形成されている。すなわち、凹部４ｊは、２箇所に形成されている。また、上述のように、凹部４ｊは、磁性板配置穴４ｅの下端から磁性板配置穴４ｅの上端まで形成されており、上下方向において凹部４ｇと同じ範囲に形成されている。

【0055】

上下方向から見たときの凹部４ｊの側面は、円弧状の凹曲面になっている。凹部４ｊの側面の曲率半径は、凹部４ｇの側面の曲率半径と等しくなっている。また、上下方向から見たときに、凹部４ｊの側面の曲率中心は、凹部４ｇの側面の曲率中心と一致している。

【0056】

（アクチュエータの製造方法）
図６は、図４（Ｂ）に示す磁性板８の上下方向の位置の調整方法を説明するための図である。

【0057】

本形態では、アクチュエータ１を構成する各部品のばらつきやアクチュエータ１の製造上のばらつきが生じても、駆動用コイル１６が非通電状態であるときの光学ガラス２の厚さ方向と上下方向とが一致するように、アクチュエータ１の製造工程の最終段階において、固定体４に対する磁性板８の上下方向の位置が調整される。磁性板８の上下方向の位置が調整されるときには、光学ガラス２、保持用磁石７および駆動用磁石１５が固定された可動体３と支点部６とが固定体４に取り付けられるとともに、磁性板９、駆動用コイル１６およびフレキシブルプリント基板１７が固定体４に取り付けられている。

【0058】

磁性板８の上下方向の位置調整には、棒状の治具２０が使用される。治具２０は、円柱状に形成されている。治具２０の半径（外径の半分）は、凹部４ｇ、４ｊの側面の曲率半径とほぼ等しくなっている。本形態では、磁性板８の上下方向の位置調整に２本の治具２０が使用される。２本の治具２０は、治具２０の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、２本の治具２０は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。２本の治具２０の前後方向のピッチは、２個の凹部４ｇの前後方向のピッチと等しくなっている。２本の治具２０は、治具２０を昇降させる昇降機構（図示省略）に連結されている。治具２０は、磁性板配置穴４ｅの、凹部４ｇ、４ｊが形成された箇所に挿入される。なお、治具２０の先端面の縁には、面取り加工が施されている。

【0059】

また、磁性板８の上下方向の位置が調整されるときには、磁性板８は、磁性板配置穴４ｅの中に配置されている。磁性板８は、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力によって接触面４ｆに接触している。磁性板８は、磁性板配置穴４ｅの中で接着固定されていない状態においても、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力によって、上下方向の一定位置で保持されている。

【0060】

上下方向の位置調整が行われる前の磁性板８は、設計上の磁性板８の上下方向の位置よりも下側に配置されている。この状態で、図６（Ａ）に示すように、凹部４ｇ、４ｊに一部が配置される治具２０を下側から磁性板配置穴４ｅに挿入するとともに（すなわち、先端面が上側を向いている治具２０を、磁性板配置穴４ｅの凹部４ｇ、４ｊが形成されている部分に下側から挿入するとともに）、磁性板配置穴４ｅの中に配置される固定前の磁性板８の下端面に治具２０の先端面を接触させて磁性板８を上側に移動させ、上下方向における磁性板８の位置を調整する（磁性板位置調整工程）。

【0061】

磁性板位置調整工程では、たとえば、レーザ変位計によって光学ガラス２の傾きを確認しながら、磁性板８を徐々に上側に移動させていく。光学ガラス２の厚さ方向と上下方向とが一致すると、上下方向における磁性板８の位置調整が終わる。上下方向における磁性板８の位置調整が終わると、磁性板配置穴４ｅに磁性板８を固定する（磁性板固定工程）。すなわち、磁性板位置調整工程後には、磁性板配置穴４ｅに磁性板８を固定する。具体的には、接着剤によって磁性板配置穴４ｅに磁性板８を固定する。

【0062】

また、磁性板位置調整工程において、磁性板８を上側に移動させ過ぎてしまった場合には、磁性板配置穴４ｅに磁性板８を固定する前に、図６（Ｂ）に示すように、凹部４ｇ、４ｊに一部が配置される治具２０を上側から磁性板配置穴４ｅに挿入するとともに（すなわち、先端面が下側を向いている治具２０を、磁性板配置穴４ｅの凹部４ｇ、４ｊが形成されている部分に上側から挿入するとともに）、磁性板配置穴４ｅの中に配置される固定前の磁性板８の上端面に治具２０の先端面を接触させて磁性板８を下側に移動させ、上下方向における磁性板８の位置を調整する。上下方向における磁性板８の位置調整が終わると、磁性板配置穴４ｅに磁性板８を固定する。

【0063】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を基準位置で保持するための磁気的吸引力が、磁性板８と保持用磁石７との間、および、磁性板９と駆動用磁石１５との間に生じている。そのため、本形態では、薄い平板状の２枚の磁性板８、９と、１個の保持用磁石７と、磁気駆動機構５の一部を構成する駆動用磁石１５とによって、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を基準位置で保持することが可能になる。したがって、本形態では、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を一定位置で保持することが可能であっても、３個の制動用磁石および駆動用磁石を有する特許文献１に記載の画像ずらし装置と比較して、アクチュエータ１のコストを低減することが可能になる。

【0064】

本形態では、磁性板８の上下方向の位置によって駆動用コイル１６が非通電状態であるときの可動体回動方向における可動体３の位置が規定されている。また、本形態では、アクチュエータ１の製造時に、凹部４ｇ、４ｊに一部が配置される治具２０を下側から磁性板配置穴４ｅに挿入するとともに、磁性板配置穴４ｅの中に配置される固定前の磁性板８の下端面に治具２０の先端面を接触させて磁性板８を上側に移動させ、上下方向における磁性板８の位置を調整している。そのため、本形態では、駆動用コイル１６が非通電状態であるときの光学ガラス２の厚さ方向と上下方向とが一致するように可動体回動方向における可動体３の位置を調整することが可能になる。

【0065】

また、本形態では、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる磁気的吸引力によって磁性板８が接触する接触面４ｆに左側に向かって窪む凹部４ｇが形成されており、凹部４ｇは、磁性板配置穴４ｅの下端から上端まで直線状に形成されている。そのため、本形態では、磁性板８の厚さが非常に薄くなっていても、また、棒状に形成される治具２０の先端面の縁に面取り加工が施されていても、一部が凹部４ｇの中に配置される治具２０の先端面を磁性板８の下端面に確実に接触させることが可能になる。したがって、本形態では、磁性板８の厚さが非常に薄くなっていても、また、治具２０の先端面の縁に面取り加工が施されていても、治具２０を用いて磁性板８の上下方向の位置を容易に調整することが可能になる。

【0066】

本形態では、凹部４ｇは、前後方向において間隔をあけた状態で２箇所に形成されている。そのため、本形態では、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２本の治具２０を用いて、磁性板８を上下方向に移動させやすくなる。したがって、本形態では、磁性板８の上下方向の位置をより容易に調整することが可能になる。

【0067】

本形態では、磁性板配置穴４ｅは、上下方向で固定体４を貫通する貫通穴であり、凹部４ｇは、上下方向における磁性板配置穴４ｅの全域に形成されている。そのため、本形態では、上述のように、磁性板位置調整工程において磁性板８を上側に移動させ過ぎてしまっても、先端面が下側を向いている治具２０を、磁性板配置穴４ｅの凹部４ｇ、４ｊが形成されている部分に上側から挿入するとともに、磁性板配置穴４ｅの中に配置される固定前の磁性板８の上端面に治具２０の先端面を確実に接触させて磁性板８を下側に戻すことが可能になる。

【0068】

本形態では、磁性板配置穴４ｅの左側面４ｈに、左側に向かって窪む凹部４ｊが形成されており、凹部４ｊは、前後方向において凹部４ｇと同じ位置に形成されるとともに、上下方向における磁性板配置穴４ｅの全域に形成されている。そのため、本形態では、磁性板配置穴４ｅの左右方向の幅が狭くても、凹部４ｇ、４ｊを利用して、磁性板配置穴４ｅに治具２０を挿入して、上下方向に磁性板８を移動させることが可能になる。

【0069】

本形態では、磁性板９は、固定体４の磁性板載置部４ｃに載置されていて、上下方向で位置決めされており、磁性板９の上下方向の位置調整は行われない。そのため、本形態では、磁性板９の上下方向の位置調整が行われる場合と比較して、アクチュエータ１の製造工程を簡素化することが可能になる。

【0070】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0071】

上述した形態では、凹部４ｇは、磁性板配置穴４ｅの上下方向の全域に形成されているが、凹部４ｇは、少なくとも、磁性板配置穴４ｅの下端から、磁性板配置穴４ｅの中で固定されている状態の磁性板８の下端までの範囲と、磁性板配置穴４ｅの上端から、磁性板配置穴４ｅの中で固定されている状態の磁性板８の上端までの範囲とに形成されていれば良い。

【0072】

上述した形態では、磁性板配置穴４ｅの全体が上下方向で固定体４を貫通しているが、磁性板配置穴４ｅの一部のみが上下方向で固定体４を貫通していても良い。たとえば、図７に示すように、磁性板配置穴４ｅの、凹部４ｇ、４ｊが形成されている部分のみが上下方向で固定体４を貫通していても良い。この場合には、たとえば、磁性板配置穴４ｅの、上下方向で貫通している部分の上端部は、丸穴となっており、磁性板配置穴４ｅの、上下方向で貫通している部分に固定体４の上側から治具２０を挿入して、磁性板８を下側に移動させることが可能になっている。なお、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＨ－Ｈ断面の断面図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ａ）のＪ－Ｊ断面の断面図である。

【0073】

また、磁性板配置穴４ｅの一部のみが上下方向で固定体４を貫通している場合には、たとえば、図８に示すように、磁性板配置穴４ｅの、凹部４ｇ、４ｊが形成されていない一部分のみが上下方向で固定体４を貫通していても良い。この場合には、たとえば、磁性板配置穴４ｅの、上下方向で貫通している部分の上端部は、丸穴となっており、この部分には、接触面４ｆよりも右側に窪む凹部４ｐと左側面４ｈよりも左側に窪む凹部４ｒとが形成されている。

【0074】

また、この場合でも、磁性板配置穴４ｅの、上下方向で貫通している部分に固定体４の上側から治具２０を挿入して、磁性板８を下側に移動させることが可能になっている。また、この場合には、凹部４ｇは、磁性板配置穴４ｅの上下方向の全域に形成されていても良いが、少なくとも、磁性板配置穴４ｅの下端から、磁性板配置穴４ｅの中で固定されている状態の磁性板８の下端までの範囲に形成されていれば良い。なお、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＫ－Ｋ断面の断面図である。

【0075】

上述した形態において、磁性板配置穴４ｅは、上下方向において固定体４を貫通していなくても良い。この場合には、磁性板配置穴４ｅは、たとえば、固定体４の下端から上側に向かって窪むように形成されており、固定体４の下端のみで開口している。また、この場合には、凹部４ｇは、たとえば、磁性板配置穴４ｅの上下方向の全域に形成されていても良いが、凹部４ｇは、少なくとも、磁性板配置穴４ｅの下端から、磁性板配置穴４ｅの中で固定されている状態の磁性板８の下端までの範囲に形成されていれば良い。

【0076】

また、磁性板配置穴４ｅが上下方向において固定体４を貫通していない場合には、磁性板配置穴４ｅは、固定体４の上端から下側に向かって窪むように形成されていて、固定体４の上端のみで開口していても良い。この場合には、上側（Ｚ１方向側）が第１方向一方側となっており、下側（Ｚ２方向側）が第１方向他方側となっている。

【0077】

上述した形態において、治具２０は、円柱状に形成されていなくても良い。たとえば、治具２０は、角柱状に形成されていても良い。この場合には、上下方向から見たときの凹部４ｇ、４ｊの側面の形状は、治具２０の形状に応じた形状になっている。また、上述した形態において、凹部４ｇ、４ｊは、前後方向において間隔をあけた状態で３箇所以上に形成されていても良い。また、凹部４ｇ、４ｊは、１箇所のみに形成されていても良い。

【0078】

上述した形態において、磁性板配置穴４ｅの左右方向の幅が広くなっていて、左側面４ｈに凹部４ｊが形成されていなくても、磁性板配置穴４ｅに治具２０を挿入することができるのであれば、左側面４ｈに凹部４ｊが形成されていなくても良い。また、磁性板配置穴４ｅは、固定体４の左端において開口していても良い。また、上述した形態において、アクチュエータ１は、磁性板９を備えていなくても良い。この場合には、駆動用コイル１６が非通電状態であるときに可動体回動方向において可動体３を一定位置で保持するための磁気的吸引力が、磁性板８と保持用磁石７との間に生じる。

【0079】

上述した形態において、保持用磁石７が固定体４に固定され、磁性板８が可動体３に固定されていても良い。この場合には、磁性板８が配置されて固定される磁性板配置穴が可動体３に形成されている。また、上述した形態において、駆動用磁石１５が固定体４に固定され、駆動用コイル１６および磁性板９が可動体３に固定されていても良い。さらに、上述した形態において、磁気駆動機構５は、駆動用コイル１６に加えて、保持用磁石７に対向配置される駆動用コイルを備えていても良い。この場合には、保持用磁石７は、磁気駆動機構５の一部を構成しており、駆動用磁石としての機能を果たす。

【0080】

上述した形態において、アクチュエータ１は、プロジェクタ以外の装置に搭載されて使用されても良い。この場合には、光学ガラス２以外の光学要素が可動体３に保持されていても良い。たとえば、レンズ、プリズム、反射板または光学フィルタ等の光学素子が可動体３に保持されていても良い。また、撮像素子が可動体３に保持されていても良い。可動体３に撮像素子が保持されている場合には、アクチュエータ１は、たとえば、カメラに搭載されている。本明細書における「光学要素」には、撮像素子も含まれている。

【符号の説明】

【0081】

１ アクチュエータ
２ 光学ガラス（光学要素）
３ 可動体
４ 固定体
４ｃ 磁性板載置部（位置決め部）
４ｅ 磁性板配置穴
４ｆ 接触面
４ｇ 凹部
４ｈ 左側面（磁性板配置穴の厚さ方向一方側の面）
４ｊ 凹部（第２凹部）
５ 磁気駆動機構
７ 保持用磁石
７ａ 着磁部
８ 磁性板
９ 磁性板（第２磁性板）
１５ 駆動用磁石
１５ａ 着磁部
１６ 駆動用コイル
２０ 治具
Ｘ 磁性板の厚さ方向
Ｘ１ 厚さ方向他方側
Ｘ２ 厚さ方向一方側
Ｙ 第２方向
Ｚ 第１方向
Ｚ１ 第１方向他方側
Ｚ２ 第１方向一方側

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】