特開 2023-119459 圧電素子の電気接続性検査方法及び磁気ヘッドサスペンションの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023119459

(43)【公開日】2023-08-28

(54)【発明の名称】圧電素子の電気接続性検査方法及び磁気ヘッドサスペンションの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/21 20060101AFI20230821BHJP

   G11B 20/18 20060101ALI20230821BHJP

   G11B 5/60 20060101ALI20230821BHJP

【ＦＩ】

G11B21/21 C

G11B20/18 501B

G11B21/21 D

G11B5/60 C

G11B5/60 P

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022022375

(22)【出願日】2022-02-16

(71)【出願人】

【識別番号】000175722

【氏名又は名称】サンコール株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001597

【氏名又は名称】弁理士法人アローレインターナショナル

(72)【発明者】

【氏名】倉地 祐也

(72)【発明者】

【氏名】藤本 泰夫

【テーマコード（参考）】

5D059

【Ｆターム（参考）】

5D059AA01

5D059BA01

5D059DA04

5D059DA31

5D059DA35

5D059DA36

(57)【要約】

【課題】圧電素子の第１電極の第１電極端子領域と当該第１電極端子領域が導電性接着材によって電気接続される第１電極用接続領域との電気接続性を検査可能とする。
【解決手段】本発明は、第１絶縁性接着材によって圧電素子を所定設置位置に固着させた後に、第１電極端子領域及び第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、前記導電性接着材によって第１電極端子領域を第１電極用接続領域に電気接続させた後に、検査エリア上に存在する前記導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、導電算出工程及び絶縁算出工程の算出値の差分に基づき、第１電極と第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備える。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

磁気ヘッドスライダが搭載されるジンバル領域をディスク面と平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備え、前記圧電素子が第１絶縁性接着材によって所定の設置位置に固定され、且つ、前記圧電素子の厚み方向一方側の第１電極における所定の第１電極端子領域が前記第１絶縁性接着材をブリッジ状に覆った第１電極用導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションを製造する際に適用される圧電素子の電気接続性検査方法であって、
前記第１絶縁性接着材によって前記圧電素子を前記所定設置位置に固着させた後に、前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、
前記第１電極用導電性接着材によって前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させた後に、前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、
前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする圧電素子の電気接続性検査方法。

【請求項2】

前記検査エリアは、前記圧電素子の設置基準点を基準にして設定されることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子の電気接続性検査方法。

【請求項3】

前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、２次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの２次元画像に基づいて、前記検査エリアのうち対応する接着材によって覆われている部分の平面積を算出するように構成されており、
前記判定工程は、前記導電算出工程によって算出された前記第１電極用導電性接着材の平面積と前記絶縁算出工程によって算出された前記第１絶縁性接着材の平面積との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電素子の電気接続性検査方法。

【請求項4】

前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、３次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの３次元画像に基づいて、前記検査エリア上に存在する対応する接着材の体積を算出するように構成されており、
前記判定工程は、前記導電算出工程によって算出された前記第１電極用導電性接着材の体積と前記絶縁算出工程によって算出された前記第１絶縁性接着材の体積との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電素子の電気接続性検査方法。

【請求項5】

前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、紫外線照射装置によって前記検査エリアに紫外線を照射した状態で前記撮影装置による撮影を行うように構成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の圧電素子の電気接続性検査方法。

【請求項6】

磁気ヘッドスライダが搭載されるジンバル領域をディスク面と平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備え、前記圧電素子が第１絶縁性接着材によって所定の設置位置に固定され、且つ、前記圧電素子の厚み方向一方側の第１電極における所定の第１電極端子領域が前記第１絶縁性接着材をブリッジ状に覆った第１電極用導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記第１絶縁性接着材によって前記圧電素子を前記所定設置位置に固着させる固着工程と、
前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、
所定量の前記第１電極用導電性接着材を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる第１電極電気接続工程と、
前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、
前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項7】

磁気ヘッドスライダが搭載されるジンバル領域をディスク面と平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備え、前記圧電素子が第１絶縁性接着材によって所定の設置位置に固定され、且つ、前記圧電素子の厚み方向一方側の第１電極における所定の第１電極端子領域が前記第１絶縁性接着材をブリッジ状に覆った第１電極用導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記第１絶縁性接着材によって前記圧電素子を前記所定設置位置に固着させる固着工程と、
前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、
前記絶縁算出工程の算出結果に基づき、前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる為の前記第１電極用導電性接着材の塗布量を算出する塗布量算出工程と、
前記塗布量算出工程によって算出された塗布量の前記第１電極用導電性接着材を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる第１電極電気接続工程とを備えていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項8】

前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、
前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項9】

前記検査エリアは、前記圧電素子の設置基準点を基準にして設定されることを特徴とする請求項６から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項10】

前記算出工程は、２次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの２次元画像に基づいて、前記検査エリアのうち対応する接着材によって覆われている部分の平面積を算出するように構成されていることを特徴とする請求項６から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項11】

前記算出工程は、３次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの３次元画像に基づいて、前記検査エリア上に存在する対応する接着材の体積を算出するように構成されていることを特徴とする請求項６から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項12】

前記算出工程は、紫外線照射装置によって前記検査エリアに紫外線を照射した状態で前記撮影装置による撮影を行うように構成されていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項13】

前記磁気ヘッドサスペンションは、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ前記ジンバル領域を前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記ジンバル領域に伝達するロードビーム部と、前記ジンバル領域を有するフレクシャ基板及び前記フレクシャ基板に固着された配線体を含むフレクシャ部と、一対の前記圧電素子とを備え、
前記支持部は、前記揺動中心を有する基端側支持部と、前記荷重曲げ部の基端部を支持する先端側支持部と、前記先端側支持部が前記基端側支持部に対してサスペンション長手方向中心線を基準にしてシーク方向両側へ揺動可能なように前記先端側支持部及び前記基端側支持部を連結する弱剛性支持部であって、前記一対の圧電素子がサスペンション長手方向中心線を挟んで左右対称に配置されることを可能とする開口部が設けられた弱剛性支持部とを含み、
前記支持部におけるディスク面と対向する下面には、前記開口部に配置される前記一対の圧電素子の下面の一部をディスク面側へ露出させるアクセス開口を有しつつ前記一対の圧電素子の下面を支持する支持プレートが固着され、
前記配線体は、前記フレクシャ基板におけるディスク面と対向する下面に設けられた絶縁層と、前記絶縁層に設けられた導体層とを含み、
前記絶縁層は、平面視において前記アクセス開口内へ延びる延在領域を有し、
前記導体層は、前記磁気ヘッドスライダに電気接続される信号配線と、前記圧電素子に駆動電圧を供給する為の圧電素子配線であって、前記延在領域に位置する圧電素子端子領域を有する圧電素子配線とを有し、
前記圧電素子の厚み方向他方側の第２電極が、前記アクセス開口と前記延在領域に設けられた貫通孔とに充填される第２電極用導電性接着材を介して前記圧電素子端子領域に電気的に接続されており、
前記製造方法は、さらに、前記固着工程の前に、前記アクセス開口及び前記貫通孔に第２電極用導電性接着材を塗布し且つ前記支持プレートに仮止め用の第２絶縁性接着材を塗布した状態で、前記圧電素子の第２電極が前記第２電極用導電性接着材に接触し且つ前記圧電素子の下面の周縁領域が前記仮止め用の第２絶縁性接着材に接触するように前記圧電素子を設置する仮止め工程を備え、
前記固着工程は、前記圧電素子と前記基端側支持部、前記先端側支持部及び前記弱剛性支持部のそれぞれとの間の隙間に前記第１絶縁性接着材を塗布するように構成され、
前記検査エリアは、前記第１電極又は前記支持部に設定されていることを特徴とする請求項６から１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【請求項14】

前記磁気ヘッドサスペンションは、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ前記ジンバル領域を前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記ジンバル領域に伝達するロードビーム部と、前記ジンバル領域を有するフレクシャ基板及び前記フレクシャ基板に固着された配線体を含むフレクシャ部と、一対の前記圧電素子とを備え、
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、前記ロードビーム部による支持状態から離れて前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延びるフレクシャ先端領域とを含み、
前記フレクシャ先端領域は、ディスク面とは反対側の上面に前記ロードビーム部に設けられたディンプルが当接し且つディスク面と対向する下面に前記磁気ヘッドスライダが搭載される前記ジンバル領域と、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称な状態で前記ロードビーム部固着領域から延び、前記ジンバル領域が前記ディンプルを支点としてロール方向及びシーク方向に揺動し得るように前記ジンバル領域を支持する一対のジンバル支持片とを有し、
前記ジンバル領域及び前記一対のジンバル支持片は、前記一対の圧電素子がサスペンション長手方向中心線を挟んで左右対称に配置されることを可能とする開口部を形成するように構成され、
前記ジンバル領域には、前記一対の圧電素子の伸縮動作によって当該ジンバル領域が前記ディンプルを支点としてシーク方向両側へ揺動することを可能とする弱剛性部が設けられ、
前記配線体は、前記フレクシャ基板におけるディスク面と対向する下面に固着された絶縁層と、前記絶縁層の下面に設けられた導体層とを含み、
前記絶縁層は、前記フレクシャ基板による支持状態から離れて、前記開口部内へ延びる空中領域を有し、
前記導体層は、前記磁気ヘッドスライダに電気接続される信号配線と、前記圧電素子に駆動電圧を供給する為の圧電素子配線とを有し、
前記圧電素子配線は、前記空中領域に位置する圧電素子端子領域を有しており、
前記配線体は、さらに、前記導体層とは絶縁された状態で前記空中領域の下面に設けられた接地用金属部を有し、
前記空中領域には、前記圧電素子端子領域及び前記接地用金属部をそれぞれ前記絶縁層の上面側へ露出させる第１電極用貫通孔及び第２電極用貫通孔が設けられ、
前記圧電素子端子領域のうち前記第１電極用貫通孔を介して露出する領域が前記第１電極用接続領域を形成し、
前記圧電素子の厚み方向他方側の第２電極が、前記第２電極用貫通孔に充填される第２電極用導電性接着材を介して前記接地用金属部に電気的に接続されており、
前記製造方法は、さらに、
前記固着工程と並行して行われる第２電極電気接続工程と、
前記第２電極電気接続工程の後の任意タイミングにおいて行なわれる圧電素子第２端部固着工程とを有し、
並行して実行される前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程は、前記空中領域の上面のうち前記圧電素子の長手方向第１端部が載置される部分に前記第１絶縁性接着材を塗布し且つ前記第２電極用貫通孔に前記第２電極用導電性接着材を充填した状態で、前記圧電素子を前記空中領域の上面に設置することで、前記第２電極を前記接地用導電領域に電気接続させた状態で前記圧電素子の第１端部を前記空中領域の上面に固着するように構成され、
前記圧電素子第２端部固着工程は、前記圧電素子の長手方向第２端部を他の第２絶縁性接着材を介して前記ジンバル領域に固着するように構成されており、
前記検査エリアは、前記圧電素子端子領域のうち前記第１電極用貫通孔を介して露出する領域に設定されていることを特徴とする請求項６から１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ジンバル領域をディスク面に平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションに適用される圧電素子の電気接続性検査方法、及び、前記磁気ヘッドサスペンションの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子を備え、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。

【0003】

詳しくは、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ前記磁気ヘッドスライダをディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、ディスク面と対向する下面に前記磁気ヘッドスライダを支持し且つディスク面とは反対側の上面に前記ロードビーム部に設けられたディンプルが当接されるジンバル領域を有するフレクシャ基板及び前記フレクシャ基板に固着された配線体を含むフレクシャ部と、一対の前記圧電素子とを備えている。

【0004】

前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部は、前記揺動中心を有する基端側支持部と、前記荷重曲げ部の基端部を支持する先端側支持部と、前記先端側支持部が前記基端側支持部に対してサスペンション長手方向中心線を基準にしてシーク方向両側へ揺動可能なように前記先端側支持部及び前記基端側支持部を連結する弱剛性支持部とを有しており、前記弱剛性支持部には、前記一対の圧電素子が配置される開口部が設けられている。

【0005】

前記一対の圧電素子は、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なった状態で前記弱剛性支持部の開口部に配置されており、基端側が前記基端側支持部に絶縁性接着材によって固着され且つ先端側が前記先端側支持部に絶縁性接着材によって固着されている。

【0006】

前記圧電素子は、圧電体と、前記圧電体に電圧を印加する為の第１及び第２電極であって、ディスク面とは反対側及びディスク面に近接する側にそれぞれ配置された第１及び第２電極とを有している。

【0007】

前記第２電極は、前記配線体における配線に導電性接着材を介して電気的に接続される一方で、前記第１電極は、接地電圧として作用する前記支持部の所定部分（前記基端側支持部又は前記先端側支持部）に導電性接着材（以下、第１電極用導電性接着材という）を介して電気的に接続されている。

【0008】

ここで、前記第１電極用導電性接着材は、前記圧電素子を前記支持部の前記所定部分（前記基端側支持部又は前記先端側支持部）に固着する為の絶縁性接着材をブリッジ状に跨いだ状態で、前記第１電極及び前記支持部（前記基端側支持部又は前記先端側支持部）の間を電気的に接続することになる。

【0009】

従って、前記第１電極用導電性接着材が塗布された後においては、前記第１電極用導電性接着材が、前記第１電極のどの領域と前記支持部の所定部分のどの領域とを電気的に接続しているかを確認することができない。

【0010】

即ち、前記第１電極用導電性接着材に覆われた状態の絶縁性接着材が本来塗布されるべき領域を越えて必要以上に広がっていた場合には、前記第１電極用導電性接着材が本来塗布されるべき領域に塗布されていたとしても、前記第１電極用導電性接着材と前記第１電極及び／又は前記支持部の所定部分との接触面積が小さくなり、場合によっては、安定した電気的接続が得られない事態が生じ得る。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２０１１－２２２０７５号公報

【特許文献2】特開２０１３－２５１０１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ジンバル領域をディスク面に平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションに適用される検査方法であって、前記圧電素子における第１電極と当該第１電極が第１導電性接着材によって電気接続される第１電極用接続領域との電気接続性を有効に検査可能な検査方法の提供を目的とする。

【0013】

さらに、本発明は、ジンバル領域をディスク面に平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、前記圧電素子における第１電極と当該第１電極が第１導電性接着材によって電気接続される第１電極用接続領域との電気接続性を有効に認識可能な製造方法の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

前記目的を達成する為に、本発明の第１態様は、磁気ヘッドスライダが搭載されるジンバル領域をディスク面と平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備え、前記圧電素子が第１絶縁性接着材によって所定の設置位置に固定され、且つ、前記圧電素子の厚み方向一方側の第１電極における所定の第１電極端子領域が前記第１絶縁性接着材をブリッジ状に覆った第１電極用導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションを製造する際に適用される圧電素子の電気接続性検査方法であって、前記第１絶縁性接着材によって前記圧電素子を前記所定設置位置に固着させた後に、前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、前記第１電極用導電性接着材によって前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させた後に、前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えた圧電素子の電気接続性検査方法を提供する。

【0015】

例えば、前記検査エリアは、前記圧電素子の設置基準点を基準にして設定することができる。

【0016】

第１形態においては、前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、２次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの２次元画像に基づいて、前記検査エリアのうち対応する接着材によって覆われている部分の平面積を算出するように構成される。

【0017】

この場合、前記判定工程は、前記導電算出工程によって算出された前記第１電極用導電性接着材の平面積と前記絶縁算出工程によって算出された前記第１絶縁性接着材の平面積との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する。

【0018】

第２形態においては、前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、３次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの３次元画像に基づいて、前記検査エリア上に存在する対応する接着材の体積を算出するように構成される。

【0019】

この場合、前記判定工程は、前記導電算出工程によって算出された前記第１電極用導電性接着材の体積と前記絶縁算出工程によって算出された前記第１絶縁性接着材の体積との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定するように構成される。

【0020】

前記第１及び第２形態において、好ましくは、前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、紫外線照射装置によって前記検査エリアに紫外線を照射した状態で前記撮影装置による撮影を行うように構成される。

【0021】

また、前記目的を達成する為に、本発明の第２態様は、磁気ヘッドスライダが搭載されるジンバル領域をディスク面と平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備え、前記圧電素子が第１絶縁性接着材によって所定の設置位置に固定され、且つ、前記圧電素子の厚み方向一方側の第１電極における所定の第１電極端子領域が前記第１絶縁性接着材をブリッジ状に覆った第１電極用導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、前記第１絶縁性接着材によって前記圧電素子を前記所定設置位置に固着させる固着工程と、前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、所定量の前記第１電極用導電性接着材を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる第１電極電気接続工程と、前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えた磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供する。

【0022】

また、前記目的を達成する為に、本発明の第３態様は、磁気ヘッドスライダが搭載されるジンバル領域をディスク面と平行なシーク方向へ微動させる圧電素子を備え、前記圧電素子が第１絶縁性接着材によって所定の設置位置に固定され、且つ、前記圧電素子の厚み方向一方側の第１電極における所定の第１電極端子領域が前記第１絶縁性接着材をブリッジ状に覆った第１電極用導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続されている磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、前記第１絶縁性接着材によって前記圧電素子を前記所定設置位置に固着させる固着工程と、前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出する絶縁算出工程と、前記絶縁算出工程の算出結果に基づき、前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる為の前記第１電極用導電性接着材の塗布量を算出する塗布量算出工程と、前記塗布量算出工程によって算出された塗布量の前記第１電極用導電性接着材を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる第１電極電気接続工程とを備えた磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供する。

【0023】

前記本発明の第３態様に係る製造方法は、好ましくは、前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出する導電算出工程と、前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えることができる。

【0024】

前記第２及び第３態様に係る製造方法において、前記算出工程は、２次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの２次元画像に基づいて、前記検査エリアのうち対応する接着材によって覆われている部分の平面積を算出するように構成される。

【0025】

これに代えて、前記算出工程は、３次元撮影装置によって撮影した前記検査エリアの３次元画像に基づいて、前記検査エリア上に存在する対応する接着材の体積を算出するように構成され得る。

【0026】

好ましくは、前記算出工程は、紫外線照射装置によって前記検査エリアに紫外線を照射した状態で前記撮影装置による撮影を行うように構成される。

【0027】

前記磁気ヘッドサスペンションが、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ前記ジンバル領域を前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記ジンバル領域に伝達するロードビーム部と、前記ジンバル領域を有するフレクシャ基板及び前記フレクシャ基板に固着された配線体を含むフレクシャ部と、一対の前記圧電素子とを備え、前記支持部は、前記揺動中心を有する基端側支持部と、前記荷重曲げ部の基端部を支持する先端側支持部と、前記先端側支持部が前記基端側支持部に対してサスペンション長手方向中心線を基準にしてシーク方向両側へ揺動可能なように前記先端側支持部及び前記基端側支持部を連結する弱剛性支持部であって、前記一対の圧電素子がサスペンション長手方向中心線を挟んで左右対称に配置されることを可能とする開口部が設けられた弱剛性支持部とを含み、前記支持部におけるディスク面と対向する下面には、前記開口部に配置される前記一対の圧電素子の下面の一部をディスク面側へ露出させるアクセス開口を有しつつ前記一対の圧電素子の下面を支持する支持プレートが固着され、前記配線体は、前記フレクシャ基板におけるディスク面と対向する下面に設けられた絶縁層と、前記絶縁層の下面に設けられた導体層とを含み、前記絶縁層は、平面視において前記アクセス開口内へ延びる延在領域を有し、前記導体層は、前記磁気ヘッドスライダに電気接続される信号配線と、前記圧電素子に駆動電圧を供給する為の圧電素子配線であって、前記延在領域に位置する圧電素子端子領域を有する圧電素子配線とを有し、前記圧電素子の厚み方向他方側の第２電極が、前記アクセス開口と前記延在領域に設けられた貫通孔とに充填される第２電極用導電性接着材を介して前記圧電素子端子領域に電気的に接続されている場合には、前記第２及び第３態様の種々の構成に係る製造方法には、前記固着工程の前に、前記アクセス開口及び前記貫通孔に第２電極用導電性接着材を塗布し且つ前記支持プレートに仮止め用の第２絶縁性接着材を塗布した状態で、前記圧電素子の第２電極が前記第２電極用導電性接着材に接触し且つ前記圧電素子の下面の周縁領域が前記仮止め用の第２絶縁性接着材に接触するように前記圧電素子を設置する仮止め工程が備えられる。

【0028】

この場合、前記固着工程は、前記圧電素子と前記基端側支持部、前記先端側支持部及び前記弱剛性支持部のそれぞれとの間の隙間に前記第１絶縁性接着材を塗布するように構成され、前記検査エリアは、前記第１電極又は前記支持部に設定される。

【0029】

前記磁気ヘッドサスペンションが、メインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ前記ジンバル領域を前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する板バネを有する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記ジンバル領域に伝達するロードビーム部と、前記ジンバル領域を有するフレクシャ基板及び前記フレクシャ基板に固着された配線体を含むフレクシャ部と、一対の前記圧電素子とを備え、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部に重合状態で固着されるロードビーム部固着領域と、前記ロードビーム部による支持を受けない状態で前記ロードビーム部固着領域から先端側へ延びるフレクシャ先端領域とを含み、前記フレクシャ先端領域は、ディスク面とは反対側の上面に前記ロードビーム部に設けられたディンプルが当接し且つディスク面と対向する下面に前記磁気ヘッドスライダが搭載される前記ジンバル領域と、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称な状態で前記ロードビーム部固着領域から延び、前記ジンバル領域が前記ディンプルを支点としてロール方向及びシーク方向に揺動し得るように前記ジンバル領域を支持する一対のジンバル支持片とを有し、前記ジンバル領域及び前記一対のジンバル支持片は、前記一対の圧電素子がサスペンション長手方向中心線を挟んで左右対称に配置されることを可能とする開口部を形成するように構成され、前記ジンバル領域には、前記一対の圧電素子の伸縮動作によって当該ジンバル領域が前記ディンプルを支点としてシーク方向両側へ揺動することを可能とする弱剛性部が設けられ、前記配線体は、前記フレクシャ基板におけるディスク面と対向する下面に固着された絶縁層と、前記絶縁層の下面に設けられた導体層とを含み、前記絶縁層は、前記フレクシャ基板による支持状態から離れて、前記開口部内へ延びる空中領域を有し、前記導体層は、前記磁気ヘッドスライダに電気接続される信号配線と、前記圧電素子に駆動電圧を供給する為の圧電素子配線とを有し、前記圧電素子配線は、前記空中領域に位置する圧電素子端子領域を有しており、前記配線体は、さらに、前記導体層とは絶縁された状態で前記空中領域の下面に設けられた接地用金属部を有し、前記空中領域には、前記圧電素子端子領域及び前記接地用金属部をそれぞれ前記絶縁層の上面側へ露出させる第１電極用貫通孔及び第２電極用貫通孔が設けられ、前記圧電素子端子領域のうち前記第１電極用貫通孔を介して露出する領域が前記第１電極用接続領域を形成し、前記圧電素子の厚み方向他方側の第２電極が、前記第２電極用貫通孔に充填される第２電極用導電性接着材を介して前記接地用金属部に電気的に接続されている場合には、前記第２及び第３態様の種々の構成に係る製造方法には、さらに、前記固着工程と並行して行われる第２電極電気接続工程と、前記第２電極電気接続工程の後の任意タイミングにおいて行なわれる圧電素子第２端部固着工程とが備えられる。

【0030】

並行して実行される前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程は、前記空中領域の上面のうち前記圧電素子の長手方向第１端部が載置される部分に前記第１絶縁性接着材を塗布し且つ前記第２電極用貫通孔に前記第２電極用導電性接着材を充填した状態で、前記圧電素子を前記空中領域の上面に設置することで、前記第２電極を前記接地用導電領域に電気接続させた状態で前記圧電素子の第１端部を前記空中領域の上面に固着するように構成される。

【0031】

前記圧電素子第２端部固着工程は、前記圧電素子の長手方向第２端部を他の第２絶縁性接着材を介して前記ジンバル領域に固着するように構成される。

【0032】

この場合、前記検査エリアは、前記圧電素子端子領域のうち前記第１電極用貫通孔を介して露出する領域に設定される。

【発明の効果】

【0033】

本発明に係る検査方法によれば、第１絶縁性接着材によって所定設置位置に固着された圧電素子における第１電極が第１導電性接着材によって所定の第１電極用接続領域に電気接続されている磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を有効に検査することができる。

【0034】

また、本発明に係る製造方法によれば、第１絶縁性接着材によって圧電素子を所定設置位置に固着させ、前記圧電素子の第１電極端子領域及び当該第１電極端子領域が電気接続される第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出し、第１電極用導電性接着材を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させ、前記検査エリア上に存在する前記第１電極用導電性接着材の量を算出し、前記第１電極用導電性接着材の算出値と前記第１絶縁性接着材の算出値との差分に基づき、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定するので、製造された磁気ヘッドサスペンションにおける前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性を有効に認識することができる。

【0035】

また、本発明に係る製造方法によれば、第１絶縁性接着材によって圧電素子を所定設置位置に固着させ、前記圧電素子の第１電極端子領域及び当該第１電極端子領域が電気接続される第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア上に存在する前記第１絶縁性接着材の量を算出し、第１絶縁性接着材の算出結果に基づき前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる為に塗布すべき第１電極用導電性接着材の塗布量を算出し、算出された塗布量の第１電極用導電性接着材を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させるので、前記第１電極と前記第１電極用接続領域との電気接続性に関する歩留まりを有効に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】図１は、本発明の一実施の形態に係る製造方法によって製造された磁気ヘッドサスペンションの平面図である。

【図2】図２は、前記磁気ヘッドサスペンションの底面図である。

【図3】図３は、前記磁気ヘッドサスペンションにおける主要構成部材の単体状態の平面図である。

【図4】図４は、図１におけるIV部拡大図である。

【図5】図５は、図４におけるV-V線に沿った模式断面図である。

【図6】図６(a)及び(b)は、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンションにおける支持部及び剛性プレートが固着されてなるプリアッセンブリの平面図及び底面図である。

【図7】図７は、図２におけるVII部拡大図である。

【図8】図８は、図１におけるVIII部拡大図である。

【図9】図９は、図４に対応した平面図であって、図４から第１電極用導電性接着材を取り除いた状態の平面図である。

【図10】図１０は、図４に対応した平面図であって、図４から第１絶縁性接着材及び第１電極用導電性接着材を取り除いた状態の平面図である。

【図11】図１１は、図９に対応した平面図であって、前記第１絶縁性接着材が過度に塗布された例の平面図である。

【図12】図１２は、図４に対応した平面図であって、図４から第１電極用導電性接着材、支持部用圧電素子及び第１絶縁性接着材を取り除いた状態の平面図である。

【図13】図１３は、図１２におけるXIII-XIII線に沿った断面図である。

【図14】図１４は、図１３に対応した断面図であって、前記磁気ヘッドサスペンションにおける支持部用圧電素子を仮止めする工程の途中状態を示す断面図である。

【図15】図１５は、図１３に対応した断面図であって、前記仮止めする工程の完了状態を示す断面図である。

【図16】図１６は、図８に対応した平面図であって、ロードビーム部を削除した状態の平面図である。

【図17】図１７は、図１６におけるXVII-XVII線に沿った断面図である。

【図18】図１８は、図１６に対応した平面図であって、フレクシャ部用圧電素子を削除した状態の平面図である。

【図19】図１９は、図１８におけるXIX-XIX線に沿った断面図である。

【図20】図２０は、図１９に対応した断面図であって、前記フレクシャ部用圧電素子を固着させる際に並行して実行される固着工程及び第２電極電気接続工程の途中状態を示す断面図である。

【図21】図２１は、図１６及び図１８に対応した平面図であって、前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程が完了した状態の平面図である。

【図22】図２２は、図２１におけるXXII-XXII線に沿った断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0037】

以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法の一実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る製造方法によって製造される磁気ヘッドサスペンション１の平面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び底面図（ディスク面から視た図）を示す。
なお、図１及び図２中の○（小円）は溶接点を示している。
また、図３に、前記磁気ヘッドサスペンションにおける主要構成部材の単体状態の平面図（ディスク面とは反対側から視た図）を示す。

【0038】

前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１～図３に示すように、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心Ｃ回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ９０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された板バネ４１を含む荷重曲げ部４０と、前記板バネ４１を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ９０に伝達するロードビーム部５０と、前記ロードビーム部５０に支持されたフレクシャ部６０であって、先端側に設けられたジンバル領域６１０において前記磁気ヘッドスライダ９０を支持するフレクシャ部６０とを備えている。

【0039】

前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記板バネ４１を介して前記ロードビーム部５０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ～０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

【0040】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図１～図３に示すように、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部を備えたベースプレートとされている。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心Ｃに連結されるアームを採用することも可能である。

【0041】

前記支持部１０は、前記揺動中心Ｃを有する基端側支持部１１と、前記荷重曲げ部４０の基端側を支持する先端側支持部１３と、前記先端側支持部１３及び前記基端側支持部１１を連結する弱剛性支持部１５とを有している。

【0042】

前記弱剛性支持部１５は、前記先端側支持部１３が前記基端側支持部１１に対してサスペンション長手方向中心線（以下、長手方向中心線Ｌという）を基準にしてシーク方向両側へ揺動可能なように、両者を連結している。

【0043】

前記磁気ヘッドサスペンション１は、前記メインアクチュエータによって前記ジンバル領域６１０（前記磁気ヘッドスライダ９０）をシーク方向へ粗動させることに加えて、サブアクチュエータによって前記ジンバル領域６１０（前記磁気ヘッドスライダ９０）をシーク方向へ微動させ得るように構成されている。

【0044】

具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、前記サブアクチュエータとして作用する一対の支持部用圧電素子１００を有している。

【0045】

前記一対の支持部用圧電素子１００は、電圧印加に応じて前記先端側支持部１３を前記基端側支持部１１に対して長手方向中心線Ｌを基準にしてシーク方向両側へ揺動させるように配置されている。

【0046】

詳しくは、図３に示すように、前記弱剛性支持部１５は、長手方向中心線Ｌ上に配置されており、前記一対の支持部用圧電素子１００が長手方向中心線Ｌを挟んで左右対称に配置されることを可能とする開口部１９を有している。

【0047】

図４に、図１におけるIV部拡大図を示す。
また、図５に、図４におけるV-V線に沿った模式断面図を示す。

【0048】

図３及び図５に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、前記一対の支持部用圧電素子１００の下面（ディスク面と対向する面）の一部をディスク面側へ露出させるアクセス開口２９を有しつつ前記一対の支持部用圧電素子１００の下面を支持する支持プレート２０を有している。

【0049】

なお、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図２及び図３に示すように、前記ロードビーム部５０及び前記荷重曲げ部４０が単一の剛性プレート３０によって形成されており、前記支持プレート２０も前記剛性プレート３０に一体形成されている。

【0050】

図６(a)及び(b)に、それぞれ、前記支持部１０及び前記剛性プレート３０が固着されてなるプリアッセンブリの平面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び底面図（ディスク面の側から視た図）を示す。

【0051】

前記支持プレート２０は、前記支持部１０の下面（ディスク面と対向する面）に固着されている。

【0052】

詳しくは、図６(a)及び(b)に示すように、前記支持プレート２０は、前記基端側支持部１１の下面に重合状態で固着された基端側固着領域２１ａ及び前記基端側固着領域２１ａから前記開口部１９内へ延びる基端側延在領域２１ｂを含む基端側プレート部２１と、前記先端側支持部１３の下面に重合状態で固着された先端側固着領域２３ａ及び前記先端側固着領域２３ａから前記開口部１９内へ延びる先端側延在領域２３ｂを含む先端側プレート部２３とを有しており、前記磁気ヘッドサスペンション１の長手方向に関し、前記基端側延在領域２１ｂ及び前記先端側延在領域２３ｂの間に前記アクセス開口２９が設けられている。

【0053】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記支持プレート２０は、さらに、前記弱剛性支持部１５の下面に重合状態で固着された中間固着領域２５ａ及び前記中間固着領域２５ａから前記開口部１９内へ延びる中間延在領域２５ｂを含む中間プレート部２５を有している。

【0054】

前記支持プレート２０は、さらに、前記支持部用圧電素子１００の設置位置よりサスペンション幅方向外方において、前記基端側プレート部２１から先端側へ延びる基端側片２６と、前記支持部用圧電素子１００の設置位置よりサスペンション幅方向外方において、前記先端側プレート部２３から基端側へ延びる先端側片２７とを有し、前記基端側片２６及び前記先端側片２７はスリットを介して突き合わされている。

【0055】

前記ロードビーム部５０は、前記板バネ４１によって発生される荷重を前記ジンバル領域６１０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。

【0056】

図１～図３等に示すように、前記ロードビーム部５０は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部５１と、前記本体部５１のサスペンション幅方向両側からディスク面とは反対方向へ延びる左右一対のフランジ部５２とを有しており、前記フランジ部５２によって剛性を向上させている。
前記ロードビーム部５０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ～０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。

【0057】

図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部５０は、さらに、前記本体部５１の先端側において、サスペンション長手方向中心線Ｌ上に配置されたディンプル５３と呼ばれる突起を有している。

【0058】

前記ディンプル５３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ～０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル５３は、前記フレクシャ部６０のジンバル領域（ヘッド搭載領域）６１０の上面（前記磁気ヘッドスライダ９０を支持する支持面とは反対側の裏面）に接触し、このディンプル５３を介して前記荷重を前記のジンバル領域６１０に伝達するようになっている。

【0059】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図１～図３等に示すように、前記ロードビーム部５０は、さらに、前記本体部５１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ５４を一体的に有している。前記リフトタブ５４は、前記磁気ヘッドスライダ９０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１が前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ９０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。

【0060】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図１～図３等に示すように、前記ロードビーム部５０の前記本体部５１のサスペンション幅方向両側は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように略直線状に傾斜されている。

【0061】

斯かる構成によれば、前記ロードビーム部５０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。

【0062】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記ロードビーム部５０は、サスペンション幅方向に沿ったロードビーム部曲げ線（図示せず）回りに、先端側が前記ディスク面から離間する方向へ曲げられている。

【0063】

前記ロードビーム部曲げ線での曲げ角度を調整することによって、捩れモード（特には、捩れモードの振動のうち共振周波数が最も低い捩れ１次モード）の振動時における磁気ヘッドスライダ９０の位置ズレ（ゲイン）の低減を図ることができる。

【0064】

前記板バネ４１は、板面が前記ディスク面に対向する状態で基端部が前記支持部１０の先端側に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部５０の基端部に連結されている。
前記板バネ４１は、前記ロードビーム部５０の先端側が前記ディスク面に近接する方向へ荷重曲げ線（図示せず）回りに曲げられており、前記磁気ヘッドサスペンション１は、前記板バネ４１が前記荷重曲げ線回りに所定量だけ曲げ戻されて保有弾性を有する状態でハードディスク装置に組み込まれる。

【0065】

詳しくは、前記ハードディスク装置が作動状態となって前記ディスク面が回転されると、前記磁気ヘッドスライダ９０が前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面から離間する方向へ浮上し、この磁気ヘッドスライダ９０の浮上動作に応じて前記板バネ４１が、さらに、曲げ戻し方向へ弾性変形して、保有弾性が大きくなる。

【0066】

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１を前記ハードディスク装置へ組み込む際の前記板バネ４１の弾性変形及び前記ディスク面の回転に伴う前記磁気ヘッドスライダ９０の浮上動作による前記板バネ４１の弾性変形によって前記板バネ４１に生じる保有弾性が前記磁気ヘッドスライダ９０を前記ディスク面に押し付ける押し付け荷重として作用する。

【0067】

前記板バネ４１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ～０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。

【0068】

なお、前述の通り、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記板バネ４１は前記ロードビーム部５０及び前記支持プレート２０と共に前記剛性プレート３０によって一体形成されている。

【0069】

前記フレクシャ部６０は、前記ジンバル領域６１０において前記磁気ヘッドスライダ９０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に固着される。

【0070】

詳しくは、前記フレクシャ部６０は、前記ジンバル領域６１０を含むフレクシャ基板６１と、前記フレクシャ基板６１に固着された配線体７０とを有している。

【0071】

図７に、図２におけるVII部拡大図を示す。
なお、前記フレクシャ基板６１の理解容易化の為に、図７においては、前記配線体７０を削除し、前記磁気ヘッドスライダ９０を二点鎖線で表している。

【0072】

図２、図３及び図７に示すように、前記フレクシャ基板６１は、前記ロードビーム部５０における前記本体部５１の下面（ディスク対向面）に重合状態で溶接によって固着されるロードビーム部固着領域６２と、前記ロードビーム部固着領域６２から先端側へ延びるフレクシャ先端領域６３とを有している。

【0073】

図２に示すように、前記ロードビーム部固着領域６２は、サスペンション長手方向中心線Ｌを基準にして左右対称に配置された溶接点でのスポット溶接９５によって前記本体部５１に固着されている。

【0074】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図２に示すように、前記ロードビーム部固着領域６２は、先端側においてサスペンション長手方向中心線Ｌを基準にして左右対称に配置された一対の先端側溶接点９５ａ、基端側においてサスペンション長手方向中心線Ｌを基準にして左右対称に配置された一対の基端側溶接点９５ｃ、及び、サスペンション長手方向に関し先端側溶接点９５ａ及び基端側溶接点９５ｃの間においてサスペンション長手方向中心線Ｌ上に配置された中間溶接点９５ｂにおいて、前記ロードビーム部５０の本体部５１に溶接されている。

【0075】

なお、前記フレクシャ基板６１は、さらに、前記ロードビーム部固着領域６２から基端側へ延び、前記支持部１０の下面に固着される支持部固着領域６４を有している。

【0076】

前記支持部固着領域６４は、複数の溶接点でのスポット溶接によって前記支持部１０の下面に固着されている。

【0077】

前記フレクシャ先端領域６３は、前記ジンバル領域６１０と、前記ロードビーム部固着領域６２からサスペンション長手方向中心線Ｌを基準にして互いに対して対称な状態でサスペンション長手方向先端側へ延びて前記ジンバル領域６１０を支持する一対のジンバル支持片６２０とを有している。

【0078】

前記ジンバル領域６１０は、上面（ディスク面とは反対側の面）において前記ロードビーム部５０に設けられた前記ディンプルと当接し且つ下面（ディスク面と対向する面）において前記磁気ヘッドスライダ９０を支持する。

【0079】

前記ジンバル支持片６２０は、前記ジンバル領域６１０が前記ディンプル５３を支点としてロール方向及びシーク方向に揺動し得るように前記ジンバル領域６１０を支持する。

【0080】

図８に、図１におけるVIII部拡大図を示す。
図１及び図８に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、前記サブアクチュエータとして作用する一対のフレクシャ部用圧電素子１５０を有している。

【0081】

詳しくは、図７に示すように、前記ジンバル領域６１０及び前記一対のジンバル支持片６２０は、前記一対のフレクシャ部用圧電素子１５０がサスペンション長手方向中心線Ｌを挟んで左右対称に配置されることを可能とする開口部６９を形成するように構成されている。

【0082】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図７に示すように、前記ジンバル領域６１０は、サスペンション長手方向先端側に位置する幅広部位６１２と、先端側が前記幅広部位６１２に連結された状態で前記幅広部位６１２からサスペンション長手方向基端側へ延びる幅狭部位６１４とを有している。

【0083】

図７に示すように、前記ジンバル支持片６２０は、前記ロードビーム部固着領域６２からサスペンション長手方向先端側へ延びる先端方向延在部位６２１と、先端方向延在部位６２１からサスペンション幅方向内方へ延びる先端側幅方向延在部位６２２と、前記先端側幅方向延在部位６２２からサスペンション長手方向基端側へ延びる基端方向延在部位６２３と、前記基端方向延在部位６２３からサスペンション幅方向内方へ延び、前記幅狭部位６１４の基端側に連結される基端側幅方向延在部位６２４とを有している。

【0084】

平面視において、前記幅広部位６１２、前記幅狭部位６１４、前記基端側幅方向延在部位６２４及び基端方向延在部位６２３によって囲まれる空間が、前記フレクシャ部用圧電素子１５０の設置を可能とする前記開口部６９を形成している。

【0085】

さらに、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記ジンバル領域６１０には、前記一対のフレクシャ部用圧電素子１５０の伸縮動作によって当該ジンバル領域６１０が前記ディンプル５３を支点としてシーク方向両側へ揺動することを可能とする弱剛性部６１５が設けられている。
図７に示すように、前記幅狭部位６１４に設けられたサスペンション幅方向外方に開く切り欠きが前記弱剛性部６１５を形成している。

【0086】

図７に示すように、前記フレクシャ基板６１は、前記一対のジンバル支持片６２０の先端方向延在部６２１からそれぞれサスペンション長手方向先端側へ延び、前記ジンバル領域６１０よりサスペンション長手方向先端側において互いに対して連結された一対の先端側支持片６３０を有している。

【0087】

前記一対の先端側支持片６３０は、サスペンション長手方向中心線Ｌ上の溶接点９６（図７参照））において前記ロードビーム部５０にスポット溶接によって固着されている。

【0088】

前記フレクシャ基板６１は、前記ジンバル領域６１０がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部５０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板６１は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ～０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。

【0089】

図３等に示すように、前記配線体７０は、前記フレクシャ基板６１におけるディスク面と対向する下面に固着されたポリイミド等の絶縁層７１と、前記絶縁層７１の下面に設けられたＣｕ等の導体層７３とを有している。

【0090】

前記導体層７３は、前記磁気ヘッドスライダ９０に電気接続される信号配線７３０と、前記圧電素子１００、１５０に駆動電圧を供給する為の圧電素子配線とを有している。

【0091】

前述の通り、前記磁気ヘッドサスペンション１は、前記サブアクチュエータとして、前記一対の支持部用圧電素子１００及び前記一対のフレクシャ部用圧電素子１５０を有している。
従って、図３に示すように、前記導体層７３は、前記圧電素子配線として、支持部用圧電素子配線７３４及びフレクシャ部用圧電素子配線７３６を有している。

【0092】

以下、前記磁気ヘッドサスペンション１の製造方法について説明する。
前述の通り、前記磁気ヘッドサスペンション１は、前記一対の支持部用圧電素子１００及び前記一対のフレクシャ部用圧電素子１５０を有しており、従って、前記製造方法は、前記支持部用圧電素子１００を前記支持部用圧電素子配線７３４に電気的に接続させつつ所定位置に固着させる処理（以下、支持部用圧電素子固着処理という）、並びに、前記フレクシャ部用圧電素子１５０を前記フレクシャ部用圧電素子配線７３６に電気的に接続させつつ所定位置に固着させる処理（以下、フレクシャ部用圧電素子固着処理という）を有している。

【0093】

まず、支持部用圧電素子固着処理について説明する。
図５に示すように、前記支持部用圧電素子１００は、圧電体１０５と、前記圧電体１０５に電圧を印加する為の第１及び第２電極（図示せず）であって、前記圧電体１０５の厚み方向一方側及び他方側にそれぞれ配設された第１及び第２電極とを有している。

【0094】

図４及び図５に示すように、前記支持部用圧電素子１００は、第１絶縁性接着材１１０によって所定の設置位置に固定された状態で、前記第１電極における所定の第１電極端子領域が第１電極用導電性接着材１２０によって所定の第１電極用接続領域に電気的に接続され且つ前記第２電極が第２電極用導電性接着材１２５によって所定の第２電極用接続領域に電気的に接続される。

【0095】

図４～図６に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記支持部用圧電素子１００は、前記基端側延在領域２１ｂ、前記先端側延在領域２３ｂ及び前記中間延在領域２５ｂにおける上面（磁気ディスクとは反対側の面）に第１絶縁性接着材１１０によって固定された状態で、磁気ディスクとは反対側の上面側に位置する前記第１電極が第１電極用導電性接着材１２０によって前記支持部１０の上面（磁気ディスクとは反対側の面）に電気的に接続され、且つ、磁気ディスクに近接する側の下面側に位置する前記第２電極が第２電極用導電性接着材１２５によって前記支持部用圧電素子配線７３４に電気的に接続されている。

【0096】

即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記支持部用圧電素子１００の第１電極を前記支持部１０の上面に電気的に接続させて接地電圧とした状態で、前記第２電極に前記支持部用圧電素子配線７３４を介して所定電圧を印加することで、前記支持部用圧電素子１００の伸縮動作を行うようになっている。

【0097】

なお、前記接着材１１０、１２０は、それぞれ、ディスペンサー等の吐出装置によって予め設定された量だけ吐出される。

【0098】

図９に、図４に対応した平面図であって、図４から前記第１電極用導電性接着材１２０を取り除いた状態の平面図を示す。
また、図１０に、図４に対応した平面図であって、図４から前記第１絶縁性接着材１１０及び前記第１電極用導電性接着材１２０を取り除いた状態の平面図を示す。
なお、図９及び図１０においては、前記第１電極用導電性接着材１２０の平面視外形状を二点鎖線で示している。

【0099】

本実施の形態においては、図１０に示すように、前記支持部１０の上面に予め設定された所定領域が前記第１電極用接続領域として利用されている。

【0100】

このように、前記支持部１０の上面に前記第１電極用接続領域が設けられている構造においては、前記支持部用圧電素子１００の第１電極における所定の第１電極端子領域と前記第１電極用接続領域との電気接続に関し、下記問題が生じ得る。

【0101】

即ち、図４及び図５に示すように、前記支持部用圧電素子１００の第１電極における所定の第１電極端子領域と前記第１電極用接続領域（前記支持部１０の上面の所定領域）とを電気的に接続する前記第１電極用導電性接着材１２０は、前記支持部用圧電素子１００を所定位置に固着する為の前記第１絶縁性接着材１１０をブリッジ状に覆った状態で、前記支持部用圧電素子１００の第１電極における所定の第１電極端子領域及び前記支持部１０の上面に設けられた前記第１電極用接続領域に跨るように塗布される。

【0102】

詳しくは、前記第１絶縁性接着材１１０は、前記圧電素子１００と前記基端側支持部１１、前記先端側支持部１３及び前記弱剛性支持部１５のそれぞれとの間の隙間１１２（図１０参照）に充填される。

【0103】

ここで、何らかの要因によって前記隙間１１２に充填された前記第１絶縁性接着材１１０が前記支持部用圧電素子１００の上面及び前記支持部１０の上面に溢れ出ることが起り得る。

【0104】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図９に示すように、前記隙間１１２に充填された前記第１絶縁性接着材１１０が前記支持部用圧電素子１００の上面及び前記支持部１０の上面に溢れ出て、前記第１電極端子領域の一部及び前記第１電極用接続領域の一部（図９中の塗りつぶし部分）を覆っている。

【0105】

しかしながら、前記第１電極用導電性接着材１２０が塗布された後においては、図４に示すように、前記第１絶縁性接着材１１０が前記第１電極端子領域及び／又は前記第１電極用接続領域の一部又は全部を覆っているか否かを識別することができない。

【0106】

つまり、前記第１電極用導電性接着材１２０が塗布された後においては、見掛け上、前記第１電極用導電性接着材１２０によって前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域が適切に電気接続されているように見えても、実際には、前記第１絶縁性接着材１１０によって適切な電気接続が得られていない危険性が存在する。

【0107】

図９に示す例においては、前記第１電極端子領域のうち格子状ハッチング領域のみ及び前記第１電極用接続領域のうち格子状ハッチング領域のみが前記第１電極用導電性接着材１２０によって電気的に接続されることになる。

【0108】

図１１に、図９に対応した平面図であって、前記第１絶縁性接着材１１０が過度に塗布された例の平面図を示す。
図１１に示す例においては、前記第１電極端子領域の大部分及び前記第１電極用接続領域の大部分（図１１中の塗りつぶし部分）が前記第１絶縁性接着材によって覆われている。

【0109】

従って、仮に、前記第１電極用導電性接着材１２０を適切に塗布したとしても、前記第１電極端子領域と前記第１電極用接続領域との適切な電気接続を得ることが困難となる（図１１における格子状ハッチング領域のみが電気接続されることになる）。

【0110】

斯かる問題を考慮して、前記支持部用圧電素子固着処理は、
前記第１絶縁性接着材１１０によって前記支持部用圧電素子１００を所定設置位置に固着させる固着工程と、
前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の少なくとも一方の一部又は全部を含むように設定された検査エリア２００上に存在する前記第１絶縁性接着材１１０の量を算出する絶縁算出工程と、
前記第１電極用導電性接着材１２０によって前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる第１電極電気接続工程と、
前記検査エリア２００上に存在する前記第１電極用導電性接着材１２０の量を算出する導電算出工程と、
前記導電算出工程の算出値と前記絶縁算出工程の算出値との差分に基づき、前記第１電極端子領域と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定する判定工程とを備えている。

【0111】

図４等に示すように、本実施の形態においては、前記検査エリア２００は、前記第１電極端子領域の一部を含むように前記支持部用圧電素子１００の上面（第１電極）の所定領域に設定されている。

【0112】

これに代えて、又は、これに加えて、前記検査エリア２００を、前記第１電極用接続領域の一部又は全部を含むように前記支持部１０の上面の所定領域に設定することも可能である。

【0113】

前記絶縁算出工程、前記導電算出工程及び前記判定工程は、前記検査エリア２００を撮影可能な撮影装置（図示せず）と、前記撮影装置から前記検査エリア２００の画像を受信する制御装置（図示せず）とを用いて行われる。

【0114】

前記撮影装置が２次元撮影装置の場合には、前記制御装置は、前記絶縁算出工程において、前記２次元撮影装置によって撮影した前記検査エリア２００の２次元画像に基づいて、前記検査エリア２００のうち前記第１絶縁性接着材１１０によって覆われている部分（図９において左側の塗りつぶし部分）の平面積を算出し、前記導電算出工程において、前記２次元撮影装置によって撮影した前記検査エリア２００の２次元画像に基づいて、前記検査エリア２００のうち前記第１電極用導電性接着材１２０によって覆われている部分（図９において左側の塗りつぶし部分及び左側の格子状ハッチング部分の合計）の平面積を算出し、前記判定工程において、前記導電算出工程によって算出された前記第１電極用導電性接着材１２０の平面積と前記絶縁算出工程によって算出された前記第１絶縁性接着材１１０の平面積との差分（図９において左側の格子状ハッチング部分）に基づき、前記第１電極端子領域と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定するように構成される。

【0115】

これに代えて、前記撮影装置が３次元撮影装置の場合には、前記制御装置は、前記絶縁算出工程において、前記３次元撮影装置によって撮影した前記検査エリア２００の３次元画像に基づいて、前記検査エリア２００上に存在する前記第１絶縁性接着材１１０の体積を算出し、前記導電算出工程において、前記３次元撮影装置によって撮影した前記検査エリア２００の３次元画像に基づいて、前記検査エリア２００上に存在する前記第１電極用導電性接着材１２０の体積を算出し、前記判定工程において、前記導電算出工程によって算出された前記第１電極用導電性接着材１２０の体積と前記絶縁算出工程によって算出された前記第１絶縁性接着材１１０の体積との差分に基づき、前記第１電極端子領域と前記第１電極用接続領域との電気接続性を判定するように構成される。

【0116】

好ましくは、前記絶縁算出工程及び前記導電算出工程は、紫外線照射装置（図示せず）によって前記検査エリア２００に紫外線を照射した状態で前記撮影装置による撮影を行うように構成される。

【0117】

斯かる構成によれば、前記検査エリア２００内での前記第１絶縁性接着材１１０の境界及び前記第１電極用導電性接着材１２０の境界をより正確に検出して、それぞれの接着材量を正確に算出することができる。

【0118】

前記検査エリア２００は、例えば、前記支持部用圧電素子１００を所定位置に設置する際に用いる設置基準点を基準にして設定することができる。

【0119】

前記絶縁算出工程、前記導電算出工程及び前記判定工程を備えた本実施の形態に係る製造方法によれば、製造した磁気ヘッドサスペンション１における前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の間の電気接続性を認識することができる。

【0120】

前述の通り、本実施の形態に係る製造方法は、製造された磁気ヘッドサスペンション１のうち、前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の間の電気接続不良品が出荷されることを防止できる点において有用であるが、前記製造方法を、前記固着工程と、前記絶縁算出工程と、塗布量算出工程と、第１電極電気接続工程とを備えるように変形することも可能である。

【0121】

前記塗布量算出工程は、前記絶縁算出工程の算出結果に基づき、前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる為に塗布すべき前記第１電極用導電性接着材１２０の量を算出するように構成される。

【0122】

例えば、前記制御装置に、前記検査エリア２００上に存在する第１絶縁性接着材１１０の量と塗布すべき前記第１電極用導電性接着材１２０の適正量との関係を示すデータを予め記憶させており、前記絶縁算出工程の算出結果を前記データに適用することによって、前記第１電極用導電性接着材１２０の適正塗布量を算出することができる。

【0123】

前記データは、実験等に基づき設定されるものとし、前記検査エリア２００上に存在する第１絶縁性接着材１１０の量が多いほど、前記第１電極用導電性接着材１２０の適正塗布量が多くなるように設定される。

【0124】

前記変形例における前記第１電極電気接続工程は、前記塗布量算出工程によって算出された塗布量の前記第１電極用導電性接着材１２０を塗布して前記第１電極端子領域を前記第１電極用接続領域に電気的に接続させる。

【0125】

即ち、前記制御装置は、前記第１電極電気接続工程において、前記第１電極用導電性接着材１２０が前記塗布量算出工程によって算出された量だけ吐出されるように、前記第１電極用導電性接着材１２０用の吐出装置を作動させる。

【0126】

斯かる構成の前記変形例によれば、例えば、前記検査エリア２００上に前記第１絶縁性接着材１１０が存在しない、又は、前記検査エリア２００上の前記第１絶縁性接着材１１０が少量の場合には、前記第１電極用導電性接着材１２０の塗布量を少量の初期設定量としつつ、前記検査エリア２００上に大量の前記第１絶縁性接着材１１０が存在する場合には、前記第１電極用導電性接着材１２０の塗布量を初期設定量よりも増量することができる。

【0127】

従って、前記第１導電性接着材１２０の塗布量を適正にコントロールしつつ、前記第１電極端子領域及び前記第１電極用接続領域の間の電気接続不良を有効に防止することができる。

【0128】

好ましくは、前記変形例に係る製造方法は、前記電気接続工程後に、前記導電算出工程及び前記判定工程を備えることができる。

【0129】

前述の通り、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記支持部用圧電素子１００の第２電極（磁気ディスクに近接する側の下面に位置する電極）は、第２電極用導電性接着材１２５によって前記フレクシャ部６０の配線体７０における前記支持部用圧電素子配線７３４に電気的に接続されている。

【0130】

図１２に、図４から前記第１電極用導電性接着材１２０、前記支持部用圧電素子１００及び前記第１絶縁性接着材１１０を取り除いた状態の平面図を示す。
さらに、図１３に、図１２におけるXIII-XIII線に沿った断面図を示す。

【0131】

図３、図１２及び図１３に示すように、前記配線体７０の絶縁層７１は、平面視において前記アクセス開口２９内へ延びる延在領域７１２を有している。
前記延在領域７１２には、上面及び下面を貫通する貫通孔７１２ａが設けられている。

【0132】

前記支持体用圧電素子配線７３４は、前記貫通孔７１２ａを介して前記延在領域７１２の上面側からアクセス可能な支持体用圧電素子端子領域７３５を有している。

【0133】

この場合、前記支持部用圧電素子固着処理は、前記固着工程の前に、上端位置が前記支持プレート２０の上面よりも上方に位置するように前記アクセス開口２９及び前記延在領域７１２の貫通孔７１２ａに第２電極用導電性接着材１２５を充填し、且つ、前記支持プレート２０における前記延在領域（本実施の形態においては、前記基端側延在領域２１ｂ、前記先端側延在領域２３ｂ及び前記中間延在領域２５ｂ）の上面（ディスク面とは反対側の面）に仮止め用の第２絶縁性接着材１１１を塗布した状態（図１４参照）で、前記支持部用圧電素子１００の第２電極が前記第２電極用導電性接着材１２５に接触し且つ前記支持部用圧電素子１００の下面（ディスク面に近接する側の面）の周縁領域が前記仮止め用の第２絶縁性接着材１１１に接触するように前記支持部用圧電素子１００を設置して仮止めする工程を備えている（図１５参照）。

【0134】

なお、図３、図５及び図１３～図１５における符号６６０は、前記延在領域７１２の貫通孔７１２ａを平面視において囲むように前記絶縁層７１の上面に固着されたリングであり、前記アクセス開口２９及び前記貫通孔７１２ａに充填した前記第２電極用導電性接着材１２５が硬化前に流出することを防止する。

【0135】

前記支持部用圧電素子固着処理は、前記仮止め工程の後に行う前記固着工程において、前記支持部用圧電素子１１０と前記基端側支持部１１、前記先端側支持部１３及び前記弱剛性支持部１３のそれぞれとの間の隙間１１２（図１０及び図１５参照）に前記第１絶縁性接着材１１０を充填して、前記支持部用圧電素子１００を所定位置に固着する（図９参照）。

【0136】

前記支持部用圧電素子固着処理は、前記固着工程の後に、前記絶縁算出工程、前記第１電極電気接続工程、前記導電算出工程及び前記判定工程を順に行う。

【0137】

次に、前記フレクシャ部用圧電素子固着処理について説明する。
図１６に、図８に対応した平面図であって、前記ロードビーム部５０を削除した状態の平面図を示す。
また、図１７に、図１６におけるXVII-XVII線に沿った断面図を示す。

【0138】

図１６及び図１７に示すように、前記フレクシャ部用圧電素子１５０は、前記ジンバル領域６１０及び前記一対のジンバル支持片６２０によって画された前記開口部６９内において、前記配線体７０における前記絶縁層７１の下記空中領域７１５の上面（磁気ディスクとは反対側の面）に配置されている。

【0139】

図１８に、図１６に対応した平面図であって、前記フレクシャ部用圧電素子１５０を削除した状態の平面図を示す。
また、図１９に、図１８におけるXIX-XIX線に沿った断面図を示す。

【0140】

前述の通り、前記配線体７０は、前記フレクシャ基板６１の下面（磁気ディスクに近接する側の面）に固着された前記絶縁層７１と、前記絶縁層７１の下面に固着された前記導体層７３とを有している。

【0141】

図１８及び図１９に示すように、前記絶縁層７１には、前記フレクシャ基板６１による支持状態から離れて、前記開口部６９内へ延びる前記空中領域７１５が設けられている。

【0142】

前記空中領域７１５には、前記フレクシャ部用圧電素子１５０のサスペンション長手方向一方側である第１端部近傍に上面及び下面を貫通する第１電極用貫通孔７１５ａが設けられ、且つ、平面視において前記フレクシャ部用圧電素子１５０と重合する位置において上面及び下面を貫通する第２電極用貫通孔７１５ｂが設けられている。

【0143】

また、前記導体層７３における前記フレクシャ部用圧電素子配線７３６は、前記第１電極用貫通孔７１５ａを介して上方からアクセス可能とされたフレクシャ部用圧電素子端子領域７３７を有している。

【0144】

さらに、前記配線体７０には、前記導体層７３とは絶縁され且つ前記第２電極用貫通孔７１５ｂを介して上方からアクセス可能な状態で、前記絶縁層７１の下面に設けられた接地用金属部７７（図３及び図１７等参照）を有している。

【0145】

なお、前記接地用金属部７７は、好ましくは、前記導体層７３と同一材料で形成され、前記絶縁層７１の下面に前記導体層７３を形成する際に同時に形成される。

【0146】

斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記フレクシャ部用圧電素子端子領域７３７のうち前記第１電極用貫通孔７１５ａを介して露出する領域が前記フレクシャ用圧電素子１５０の前記第１電極用接続領域を形成し、且つ、前記接地用金属部７７が前記フレクシャ用圧電素子１５０の第２電極が電気的に接続される第２電極用接続領域を形成する。

【0147】

前記フレクシャ部用圧電素子固着処理は、前記固着工程、前記絶縁算出工程、前記第１電極電気接続工程、前記導電算出工程及び前記判定工程に加えて、第２電極電気接続工程及び圧電素子第２端部固着工程を有している。
前記第２電極電気接続工程は前記固着工程と並行して実行される。

【0148】

図２０に、図１９に対応した断面図であって、並行して実行される前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程の途中状態の断面図を示す。
また、図２１に、図１６及び図１８に対応した平面図であって、前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程が完了した状態の平面図を示す。
図２２に、図２１におけるXXII-XXII線に沿った断面図を示す。

【0149】

詳しくは、前記フレクシャ部用圧電素子固着処理における前記固着工程は、前記空中領域７１５の上面のうち前記フレクシャ部用圧電素子１５０の長手方向第１端部が載置される部分に前記第１絶縁性接着材１１０を塗布し（図２０参照）、その後に、前記フレクシャ部用圧電素子１５０の長手方向第１端部が前記第１絶縁性接着材１１０に接触するように前記フレクシャ部用圧電素子１５０を設置するものとされる。

【0150】

前記第２電極電気接続工程は、前記接地用金属部７７によって下面側開口が閉塞されている前記第２電極用貫通孔７１５ｂに第２電極用導電性接着材１２５を充填し（図２０参照）、その後に、前記フレクシャ部用圧電素子１５０を前記空中領域７１５に設置するように構成されている。

【0151】

即ち、並行して実行される前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程は、前記空中領域７１５の上面に前記第１絶縁性接着材１１０を塗布し且つ前記第２電極用貫通孔７１５ｂに前記第２電極用導電性接着材１２５を充填した状態で、前記フレクシャ部用圧電素子１５０を前記空中領域７１５の上面の所定位置に設置することで、前記第２電極を前記接地用導電領域として作用する前記接地用金属部７７に電気接続させた状態で前記フレクシャ部用圧電素子１５０を前記第１絶縁性接着材１１０によって前記絶縁層７１の上面に固着するように構成されている（図２２参照）。

【0152】

前記磁気ヘッドサスペンション１においては、図１８、図２１及び図２２に示すように、前記第１電極用接続領域（即ち、前記フレクシャ部用圧電素子端子領域７３７のうち前記第１電極用貫通孔７１５ａを介して露出する領域）の全体が前記検査エリア２００に設定されており、前記検査エリア２００の一部に前記第１絶縁性接着材１１０が覆いかぶさっている。

【0153】

従って、前記フレクシャ部用圧電素子固着処理においては、前記固着工程及び前記第２電極電気接続工程の後に実行される前記絶縁算出工程は、前記フレクシャ部用圧電素子端子領域７３７のうち前記第１電極用貫通孔７１５ａを介して露出する領域上に位置する前記第１絶縁性接着材１１０の量を算出する。

【0154】

前記圧電素子第２端部固着工程は、前記第２電極電気接続工程の後の任意タイミングで実行され、前記フレクシャ部用圧電素子１５０の長手方向第２端部を他の第２絶縁性接着材１１５を介して前記ジンバル領域６１０の幅広部位６１２に固着するように構成されている（図１６及び図１７参照）。

【符号の説明】

【0155】

１ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
１１ 基端側支持部
１３ 先端側支持部
１５ 弱剛性支持部
１９ 開口部
２０ 支持プレート
２９ アクセス開口
４０ 荷重曲げ部
４１ 板バネ
５０ ロードビーム部
５３ ディンプル
６０ フレクシャ部
６１ フレクシャ基板
６２ ロードビーム部固着領域
６３ フレクシャ先端領域
６９ 開口部
７０ 配線体
７１ 絶縁層
７３ 導体層
７７ 接地用金属部
９０ 磁気ヘッドスライダ
１００ 支持部用圧電素子
１１０ 第１絶縁性接着材
１１１ 第２絶縁性接着材
１１５ 他の第２絶縁性接着材
１２０ 第１電極用導電性接着材
１２５ 第２電極用導電性接着材
１５０ フレクシャ部用圧電素子
２００ 検査エリア
６１０ ジンバル領域
６１５ 弱剛性部
６２０ ジンバル支持片
７１２ 絶縁層の延在領域
７１２ａ 貫通孔
７１５ 空中領域
７１５ａ 第１電極用貫通孔
７１５ｂ 第２電極用貫通孔
７３０ 信号配線
７３４ 支持部用圧電素子配線
７３５ 支持体用圧電素子端子領域
７３６ フレクシャ部用圧電素子配線
７３７ フレクシャ部用圧電素子端子領域
Ｌ サスペンション長手方向中心線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】