特開 2023-119657 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023119657

(43)【公開日】2023-08-29

(54)【発明の名称】産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/00 20060101AFI20230822BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230822BHJP

【ＦＩ】

B25J15/00 Z

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022022630

(22)【出願日】2022-02-17

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】栗林 保

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707AS24

3C707BS15

3C707CV07

3C707CW07

3C707DS01

3C707DS02

3C707ES17

3C707EV21

3C707FS01

3C707HS14

3C707NS13

5F131AA02

5F131CA51

5F131DB03

5F131DB14

5F131DB52

5F131DB76

5F131DB82

5F131GA14

(57)【要約】

【課題】搬送対象物が収容される収容部の、ハンドの移動方向に直交する方向における幅が狭くなっていても、収容部に対する搬送対象物の搬入時や搬出時に、保持機構によってハンドの一定位置で保持されている搬送対象物やハンドの移動方向に直交する方向における収容部の壁面が損傷するのを防止することが可能な産業用ロボットのハンドを提供する。
【解決手段】ハンド１１は、搬送対象物２が搭載される搭載部２０と、Ｖ方向におけるハンド１１の一端側部分を構成するとともに搭載部２０が連結されるハンド基部２１とを備えている。搭載部２０は、搭載部２０に搭載される搬送対象物２を水平方向の一定位置で保持する保持機構２６を備えており、ハンド基部２１に対してＶ方向に直交するＷ方向にスライド可能になっている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
上下方向に直交する所定の方向を第１方向とし、上下方向と前記第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記搬送対象物が搭載される搭載部と、前記第１方向における前記ハンドの一端側部分を構成するとともに前記搭載部が連結されるハンド基部とを備え、
前記搭載部は、前記搭載部に搭載される前記搬送対象物を水平方向の一定位置で保持する保持機構を備え、前記ハンド基部に対して前記第２方向にスライド可能になっていることを特徴とするハンド。

【請求項2】

前記第２方向に前記搭載部を案内するためのガイド機構を備え、
前記ガイド機構は、前記第２方向を長手方向とする直線状に形成されるとともに前記ハンド基部に固定されるガイドレールと、前記ガイドレールに係合するとともに前記搭載部に固定されるガイドブロックとを備え、
前記搭載部は、前記ガイドレールに沿って前記ハンド基部に対して前記第２方向にスライド可能になっていることを特徴とする請求項１記載のハンド。

【請求項3】

前記ハンド基部に対して前記搭載部を前記第２方向の一方側に付勢する第１付勢部材と、前記ハンド基部に対して前記搭載部を前記第２方向の他方側に付勢する第２付勢部材とを備えることを特徴とする請求項１または２記載のハンド。

【請求項4】

前記第２方向の所定の位置で前記搭載部を保持するための搭載部保持機構を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のハンド。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームが連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットで使用される産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。ハンドは、ハンドに搭載される半導体ウエハを水平方向の一定位置で保持する保持機構を備えている。保持機構は、半導体ウエハの端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、半導体ウエハの端面が端面当接部材の当接面に押し付けられるように半導体ウエハを押す押付機構とを備えている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用される。この産業用ロボットは、半導体ウエハが収容されるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｙ Ｐｏｄ）と、半導体ウエハに対して所定の処理を行うウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する。特許文献１に記載の産業用ロボットでは、ＦＯＵＰおよびウエハ処理装置への半導体ウエハの搬入時や、ＦＯＵＰおよびウエハ処理装置からの半導体ウエハの搬出時に、ハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するように（具体的には、上下方向から見たときにハンドが直線的に移動するように）、アームに対してハンドが回動するとともに本体部に対してアームが伸縮する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－３６１８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、半導体ウエハの搬入時や搬出時に、上下方向から見たときのハンドの軌跡が直線的な軌跡となるように、アームに対してハンドが回動するとともに本体部に対してアームが伸縮する。しかしながら、上下方向から見たときの、半導体ウエハの搬入時や搬出時におけるハンドの軌跡は、完全は直線とはならず、ハンドの移動方向に直交する方向における振動やうねりを含んだ軌跡となる。

【0006】

そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットの場合、半導体ウエハが収容されるＦＯＵＰやウエハ処理装置等の収容部の、ハンドの移動方向に直交する方向における幅が狭くなって、ハンドの移動方向に直交する方向における収容部の幅と半導体ウエハの直径との差が小さくなると、収容部に対する半導体ウエハの搬入時や搬出時に、ハンドの移動方向に直交する方向における収容部の壁面と、保持機構によってハンドの一定位置で保持されている半導体ウエハとが過剰な接触圧で接触して半導体ウエハや収容部の壁面が損傷するおそれが生じる。

【0007】

そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物が収容される収容部の、ハンドの移動方向に直交する方向における幅が狭くなっていても、収容部に対する搬送対象物の搬入時や搬出時に、保持機構によってハンドの一定位置で保持されている搬送対象物やハンドの移動方向に直交する方向における収容部の壁面が損傷するのを防止することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、上下方向に直交する所定の方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、搬送対象物が搭載される搭載部と、第１方向におけるハンドの一端側部分を構成するとともに搭載部が連結されるハンド基部とを備え、搭載部は、搭載部に搭載される搬送対象物を水平方向の一定位置で保持する保持機構を備え、ハンド基部に対して第２方向にスライド可能になっていることを特徴とする。

【0009】

本発明の産業用ロボットのハンドでは、搬送対象物が搭載される搭載部は、第１方向におけるハンドの一端側部分を構成するハンド基部に対して第２方向にスライド可能になっている。そのため、本発明では、搬送対象物が収容される収容部に対する搬送対象物の搬入時や搬出時に、保持機構によって搭載部の一定位置で保持されている搬送対象物と第２方向における収容部の壁面とが接触しても、収容部の壁面と搬送対象物とが過剰な接触圧で接触しないように、ハンド基部に対して搭載部を第２方向にスライドさせることが可能になる。

【0010】

したがって、本発明では、ハンドの移動方向と第１方向とが一致し、かつ、ハンドの移動方向に直交する方向と第２方向とが一致していれば、ハンドの移動方向に直交する方向における収容部の幅が狭くなっていても、収容部に対する搬送対象物の搬入時や搬出時に、保持機構によってハンドの一定位置で保持されている搬送対象物やハンドの移動方向に直交する方向における収容部の壁面が損傷するのを防止することが可能になる。

【0011】

本発明において、ハンドは、たとえば、第２方向に搭載部を案内するためのガイド機構を備え、ガイド機構は、第２方向を長手方向とする直線状に形成されるとともにハンド基部に固定されるガイドレールと、ガイドレールに係合するとともに搭載部に固定されるガイドブロックとを備え、搭載部は、ガイドレールに沿ってハンド基部に対して第２方向にスライド可能になっている。

【0012】

本発明において、ハンドは、ハンド基部に対して搭載部を第２方向の一方側に付勢する第１付勢部材と、ハンド基部に対して搭載部を第２方向の他方側に付勢する第２付勢部材とを備えることが好ましい。このように構成すると、第１付勢部材および第２付勢部材の付勢力以外の外力が搭載部に作用していないときに、第１付勢部材および第２付勢部材の付勢力によって、ハンド基部に対する所定の基準位置に搭載部を自動的に戻すことが可能になる。

【0013】

本発明において、ハンドは、第２方向の所定の位置で搭載部を保持するための搭載部保持機構を備えることが好ましい。このように構成すると、ハンド基部に対して搭載部が第２方向にスライド可能になっていても、搭載部保持機構によって、ハンド基部に対する搭載部の第２方向の揺れを防止することが可能になる。したがって、たとえば、収容部に搭載部を差し込むときの、ハンド基部に対する搭載部の状態を安定させることが可能になる。そのため、ハンド基部に対して搭載部が第２方向にスライド可能になっていても、収容部に搭載部を差し込むときの搭載部と収容部との干渉を防止することが可能になる。

【0014】

本発明のハンドは、ハンドが連結されるアームと、アームが連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、ハンドの移動方向に直交する方向における収容部の幅が狭くなっていても、収容部に対する搬送対象物の搬入時や搬出時に、保持機構によってハンドの一定位置で保持されている搬送対象物やハンドの移動方向に直交する方向における収容部の壁面が損傷するのを防止することが可能になる。

【発明の効果】

【0015】

以上のように、本発明では、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、搬送対象物が収容される収容部の、ハンドの移動方向に直交する方向における幅が狭くなっていても、収容部に対する搬送対象物の搬入時や搬出時に、保持機構によってハンドの一定位置で保持されている搬送対象物やハンドの移動方向に直交する方向における収容部の壁面が損傷するのを防止することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの概略構成を説明するための平面図である。

【図2】図１に示すハンドの平面図である。

【図3】図２のＥ－Ｅ方向からガイド機構を示す図である。

【図4】図２に示す搭載部保持機構の動作を説明するための平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0018】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の概略構成を説明するための平面図である。

【0019】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。ウエハ２は、薄い円板状に形成されている。ロボット１は、半導体製造システム３に組み込まれて使用される。以下の説明では、上下方向（鉛直方向）に直交する図１のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図１のＹ方向を「前後方向」とする。

【0020】

半導体製造システム３は、たとえば、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）４と、ウエハ２に対して所定の処理を行うウエハ処理装置５とを備えている。ロボット１は、ＥＦＥＭ４の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ４は、たとえば、ウエハ２が収容されるＦＯＵＰ６を開閉する複数のロードポート７と、ロボット１が収容される筺体８とを備えている。ウエハ処理装置５は、たとえば、前後方向における筺体８の一方側に配置されている。また、複数のロードポート７は、たとえば、前後方向における筺体８の他方側に配置されている。複数のロードポート７は、左右方向に一定の間隔をあけた状態で配列されている。

【0021】

ＦＯＵＰ６には、複数枚のウエハ２が、上下方向において一定の間隔をあけた状態で、かつ、上下方向において重なった状態で収容可能となっている。ロボット１は、ＦＯＵＰ６とウエハ処理装置５との間でウエハ２を搬送する。たとえば、ロボット１は、ＦＯＵＰ６からウエハ２を搬出し、搬出したウエハ２をウエハ処理装置５に搬入する。また、ロボット１は、ウエハ処理装置５からウエハ２を搬出し、搬出したウエハ２をＦＯＵＰ６に搬入する。

【0022】

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド１１と、ハンド１１が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム１２と、アーム１２の基端側が回動可能に連結される本体部１３とを備えている。アーム１２は、基端側が本体部１３に回動可能に連結されるアーム部１５と、アーム部１５の先端側に基端側が回動可能に連結されるアーム部１６と、アーム部１６の先端側に基端側が回動可能に連結されるアーム部１７とから構成されている。

【0023】

アーム部１５～１７は、上下方向を回動の軸方向として回動する。本体部１３は、アーム部１５の基端側が回動可能に連結される柱状部材と、アーム１２と一緒に柱状部材を昇降させる昇降機構とを備えている。アーム部１５の基端側は、柱状部材の上端部に回動可能に連結されている。本体部１３とアーム部１５とアーム部１６とアーム部１７とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。また、ロボット１は、アーム部１５、１６を回動させてアーム部１５とアーム部１６とからなるアーム１２の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、アーム部１７を回動させるアーム部駆動機構と、ハンド１１を回動させるハンド駆動機構とを備えている。

【0024】

（ハンドの構成）
図２は、図１に示すハンド１１の平面図である。図３は、図２のＥ－Ｅ方向からガイド機構２２等を示す図である。図４は、図２に示す搭載部保持機構２５の動作を説明するための平面図である。

【0025】

ハンド１１は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド１１は、アーム部１７の先端側に回動可能に連結されている。ハンド１１は、アーム部１７の上側に配置されている。ハンド１１は、上下方向を回動の軸方向として回動する。ハンド１１は、ウエハ２が搭載される搭載部２０と、ハンド１１の基端側部分を構成するハンド基部２１とを備えている。

【0026】

上下方向から見たときに、略Ｙ形状をなすハンド１１の長手方向（図２のＶ方向）をハンド長手方向とし、ハンド長手方向に直交する方向（図２のＷ方向）をハンド短手方向とすると、ＦＯＵＰ６へのウエハ２の搬入時、ウエハ処理装置５へのウエハ２の搬入時、ＦＯＵＰ６からのウエハ２の搬出時およびウエハ処理装置５からのウエハ２の搬出時には、ハンド長手方向と前後方向とが一致するとともに（すなわち、ハンド短手方向と左右方向とが一致するとともに）ハンド１１が一定方向を向いた状態でハンド１１が前後方向に直線的に移動するように（具体的には、上下方向から見たときにハンド１１が前後方向に直線的に移動するように）、アーム１２に対してハンド１１が回動するとともに本体部１３に対してアーム１２が伸縮する。ただし、上下方向から見たときの、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に対するウエハ２の搬入時、搬出時におけるハンド１１の軌跡は、必ずしも完全な直線にはならない。

【0027】

本形態のハンド長手方向（Ｖ方向）は、上下方向に直交する所定の方向（すなわち、水平方向のうちの所定の方向）である第１方向となっており、ハンド短手方向（Ｗ方向）は、上下方向と第１方向とに直交する第２方向となっている。ハンド基部２１は、第１方向におけるハンド１１の一端側部分を構成しており、アーム部１７の先端側に回動可能に連結されている。

【0028】

搭載部２０は、ハンド基部２１に連結されている。また、搭載部２０は、ハンド基部２１に対してハンド短手方向にスライド可能になっている。ハンド１１は、搭載部２０をハンド短手方向に案内するためのガイド機構２２と、ハンド基部２１に対して搭載部２０をハンド短手方向の一方側に付勢する第１付勢部材としての引張りコイルバネ２３と、ハンド基部２１に対して搭載部２０をハンド短手方向の他方側に付勢する第２付勢部材としての引張りコイルバネ２４と、ハンド短手方向の所定の位置で搭載部２０を保持するための搭載部保持機構２５とを備えている。

【0029】

搭載部２０には、ハンド１１の基端側に向かって突出する突出部２０ａが形成されている。すなわち、搭載部２０には、ハンド基部２１側に突出する突出部２０ａが形成されている。突出部２０ａは、たとえば、ハンド長手方向に細長い直方体状に形成されている。突出部２０ａの大半部分は、ハンド基部２１の内部に配置されている。突出部２０ａの先端面（突出部２０ａの、ハンド１１の基端側の端面）には、ハンド１１の先端側に向かって窪む円錐状の凹部２０ｂが形成されている。

【0030】

搭載部２０は、搭載部２０に搭載されるウエハ２を水平方向の一定位置で保持する保持機構２６を備えている。本形態の保持機構２６は、搭載部２０に搭載されるウエハ２の端面（外周面）に３方向から接触して搭載部２０に搭載されるウエハ２を水平方向において一定位置で保持するエッジグリップ型の保持機構である。保持機構２６は、ウエハ２の端面が当接する当接面を有する端面当接部材２７と、ウエハ２の端面が端面当接部材２７の当接面に押し付けられるようにウエハ２を押すウエハ押付機構２８とを備えている。

【0031】

端面当接部材２７は、略Ｙ形状をなすハンド１１の先端部の２箇所に配置されている。ウエハ押付機構２８は、ハンド１１の先端側に向かってウエハ２の端面を押す押付部と、押付部を駆動するエアシリンダとを備えている。押付部は、ウエハ２の端面に接触するローラを備えている。搭載部２０の上面には、ウエハ２が載置される２個のウエハ載置部材２９が固定されており、ウエハ２は、端面当接部材２７とウエハ載置部材２９とに搭載される。

【0032】

ガイド機構２２は、ハンド基部２１に固定されるガイドレール３２と、ガイドレール３２に係合するガイドブロック３３とを備えている。ガイドレール３２は、ハンド短手方向を長手方向とする直線状に形成されている。ガイドレール３２は、ハンド基部２１の内部に配置されている。ガイドブロック３３は、搭載部２０に固定されている。具体的には、ガイドブロック３３は、突出部２０ａに固定されている。また、ガイドブロック３３は、たとえば、突出部２０ａの下面に固定されており、ガイドレール３２に上側から係合している。ガイドブロック３３は、ハンド基部２１の内部に配置されている。搭載部２０は、ガイドレール３２に沿ってハンド基部２１に対してハンド短手方向にスライド可能になっている。

【0033】

引張りコイルバネ２３、２４は、ハンド基部２１の内部に配置されている。引張りコイルバネ２３、２４の一端は、搭載部２０に係合している。具体的には、引張りコイルバネ２３、２４の一端は、突出部２０ａに係合している。引張りコイルバネ２３、２４の他端は、ハンド基部２１に係合している。本形態では、搭載部２０をハンド短手方向の一方側に付勢する引張りコイルバネ２３の付勢力と、搭載部２０をハンド短手方向の他方側に付勢する引張りコイルバネ２４の付勢力とによって、ハンド短手方向における所定の基準位置に搭載部２０を自動で戻すことが可能になっている。ハンド短手方向における基準位置に搭載部２０が配置されているときには、たとえば、図２に示すように、ハンド短手方向における搭載部２０の中心とハンド短手方向におけるハンド基部２１の中心とが一致している。

【0034】

搭載部保持機構２５は、たとえば、突出部２０ａの凹部２０ｂに係合する円錐状の係合部３４ａが形成される係合部材３４と、係合部材３４を駆動するエアシリンダ３５とを備えている。エアシリンダ３５は、ハンド長手方向に係合部材３４を直線的に移動させる。また、エアシリンダ３５は、係合部３４ａが凹部２０ｂに係合する保持位置３４Ａ（図４（Ｂ）参照）と、係合部３４ａが凹部２０ｂから外れるように係合部材３４が退避する退避位置３４Ｂ（図４（Ａ）参照）との間で係合部材３４を移動させる。

【0035】

係合部材３４が退避位置３４Ｂに配置されているときには、搭載部２０がハンド基部２１に対してハンド短手方向にスライド可能になる。本形態では、ガイドレール３２に対するガイドブロック３３の摺動抵抗が小さくなっており、搭載部２０は、ハンド基部２１に対してハンド短手方向に比較的滑らかにスライドする。一方、係合部材３４が保持位置３４Ａに配置されているときには、ハンド基部２１に対するハンド短手方向への搭載部２０の移動が規制されており、ハンド短手方向の所定の位置で搭載部２０が保持される。本形態では、搭載部保持機構２５によって、ハンド短手方向における基準位置で搭載部２０が保持される。また、本形態では、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に搭載部２０を差し込むときに、係合部材３４が保持位置３４Ａに移動して、ハンド短手方向における基準位置で搭載部２０が保持される

【0036】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、搭載部２０は、アーム１２に回動可能に連結されるハンド基部２１に対してハンド短手方向にスライド可能になっている。また、本形態では、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６へのウエハ２の搬入時、および、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６からのウエハ２の搬出時に、ハンド短手方向と左右方向とが一致するようにハンド１１が直線的に移動する。

【0037】

そのため、本形態では、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に対するウエハ２の搬入時や搬出時に、保持機構２６によって搭載部２０の一定位置で保持されているウエハ２とウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６の左右方向の壁面とが接触しても、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６の左右方向の壁面とウエハ２とが過剰な接触圧で接触しないように、ハンド基部２１に対して搭載部２０を左右方向（ハンド短手方向）にスライドさせることが可能になる。したがって、本形態では、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６の左右方向の幅が狭くなっていても、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に対するウエハ２の搬入時や搬出時に、保持機構２６によってハンド１１の一定位置で保持されているウエハ２や、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６の左右方向の壁面が損傷するのを防止することが可能になる。

【0038】

本形態では、ハンド１１は、ハンド短手方向における基準位置で搭載部２０を保持するための搭載部保持機構２５を備えている。そのため、本形態では、ハンド基部２１に対して搭載部２０がハンド短手方向にスライド可能になっていても、搭載部保持機構２５によって、ハンド基部２１に対する搭載部２０のハンド短手方向の揺れを防止することが可能になる。また、本形態では、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に搭載部２０を差し込むときに、搭載部保持機構２５によって、ハンド短手方向における基準位置で搭載部２０が保持されている。

【0039】

したがって、本形態では、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に搭載部２０を差し込むときの、ハンド基部２１に対する搭載部２０の状態を安定させることが可能になる。その結果、本形態では、ハンド基部２１に対して搭載部２０がハンド短手方向にスライド可能になっていても、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６に搭載部２０を差し込むときの、ウエハ処理装置５やＦＯＵＰ６と搭載部２０との干渉を防止することが可能になる。

【0040】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0041】

上述した形態において、ガイドレール３２が搭載部２０の突出部２０ａに固定され、ガイドブロック３３がハンド基部２１に固定されていても良い。また、上述した形態において、ガイド機構２２は、ガイドレール３２およびガイドブロック３３に代えて、たとえば、ハンド基部２１に固定されるガイド軸と、ガイド軸が挿通されるとともに搭載部２０の突出部２０ａに固定される円筒状のガイドブッシュとを備えていても良い。

【0042】

上述した形態において、保持機構２６は、搭載部２０に搭載されるウエハ２を真空吸引して一定位置で保持する吸引型の保持機構であっても良い。また、上述した形態において、ハンド基部２１に対して搭載部２０をハンド短手方向に付勢する付勢部材は、引張りコイルバネ２３、２４以外のバネ部材であっても良い。また、上述した形態において、ハンド１１は、搭載部保持機構２５を備えていなくても良い。

【0043】

上述した形態において、ロボット１は、アーム１２の先端側に回動可能に連結される２個のハンド１１を備えていても良い。また、上述した形態において、アーム１２は、２個のアーム部によって構成されていても良いし、４個以上のアーム部によって構成されていても良い。また、上述した形態において、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ウエハ２以外のものであっても良い。この場合には、たとえば、搬送対象物は、正方形または長方形の平板状に形成されていても良い。

【0044】

本発明が適用される産業用ロボットは、水平多関節型の産業用ロボット以外のロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用される産業用ロボットは、ハンド１１の直線的な往復移動が可能となるようにハンド１１が連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部と、アームに対してハンド１１を直線的に往復移動させるリニア駆動部とを備える産業用ロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0045】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
１１ ハンド
１２ アーム
１３ 本体部
２０ 搭載部
２１ ハンド基部
２２ ガイド機構
２３ 引張りコイルバネ（第１付勢部材）
２４ 引張りコイルバネ（第２付勢部材）
２５ 搭載部保持機構
２６ 保持機構
３２ ガイドレール
３３ ガイドブロック
Ｖ 第１方向
Ｗ 第２方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】