特開 2023-119901 電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023119901

(43)【公開日】2023-08-29

(54)【発明の名称】電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01J 35/06 20060101AFI20230822BHJP

   H01J 9/02 20060101ALI20230822BHJP

   H01J 37/06 20060101ALI20230822BHJP

   H01J 1/15 20060101ALI20230822BHJP

【ＦＩ】

H01J35/06 D

H01J9/02 J

H01J37/06 Z

H01J1/15

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022023023

(22)【出願日】2022-02-17

(71)【出願人】

【識別番号】503382542

【氏名又は名称】キヤノン電子管デバイス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】米澤 哲也

【テーマコード（参考）】

5C101

【Ｆターム（参考）】

5C101DD08

5C101DD26

(57)【要約】

【課題】 フィラメントが収束電極に対して移動することを防止できる電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法を提供する。
【解決手段】電子を放出するフィラメントと、延出方向に延出し前記フィラメントに接続されているフィラメント端子と、前記延出方向に貫通し前記フィラメント端子が位置する貫通孔を有している絶縁体と、前記フィラメントと前記フィラメント端子と前記絶縁体とを収容する収束電極と、を備え、前記フィラメント端子は前記貫通孔に接し、前記絶縁体に固定されている、電子銃。
【選択図】 図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子を放出するフィラメントと、
延出方向に延出し前記フィラメントに接続されているフィラメント端子と、
前記延出方向に貫通し前記フィラメント端子が位置する貫通孔を有している絶縁体と、
前記フィラメントと前記フィラメント端子と前記絶縁体とを収容する収束電極と、を備え、
前記フィラメント端子は前記貫通孔に接し、前記絶縁体に固定されている、
電子銃。

【請求項2】

陽極ターゲットと、
電子を放出するフィラメントと、延出方向に延出し前記フィラメントに接続されているフィラメント端子と、前記延出方向に貫通し前記フィラメント端子が位置する貫通孔を有している絶縁体と、前記フィラメントと前記フィラメント端子と前記絶縁体とを収容する収束電極と、を備えている陰極電子銃と、
前記陽極ターゲット及び前記陰極電子銃を収容する外囲器と、を備え、
前記フィラメント端子は前記貫通孔に接し、前記絶縁体に固定されている、
Ｘ線管。

【請求項3】

電子を放出するフィラメントと、延出方向に延出するフィラメント端子と、前記延出方向に貫通する貫通孔を有している絶縁体と、収束電極と、を用意し、
前記フィラメントと前記フィラメント端子を接続し、
前記絶縁体を前記収束電極に固定し、
締り嵌めにより前記フィラメント端子を前記絶縁体に固定する、
電子銃の製造方法。

【請求項4】

前記締り嵌めの方法は、前記絶縁体を加熱する焼き嵌めである、
請求項３に記載の電子銃の製造方法。

【請求項5】

前記締り嵌めの方法は、前記フィラメント端子を冷却する冷やし嵌めである、
請求項３に記載の電子銃の製造方法。

【請求項6】

前記締り嵌めの方法は、所定の大きさ以上の前記延出方向における荷重を前記フィラメント端子及び前記絶縁体に作用させる圧入である、
請求項３に記載の電子銃の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

Ｘ線管は、内部が真空に保持された外囲器と、電子を放出する陰極電子銃と、放出された電子が衝突することでＸ線を放射する陽極ターゲットとを備えている。陰極電子銃は、フィラメントと、フィラメント端子と、絶縁体と、収束電極とを備えている。金属のスリーブを介してフィラメント端子及び絶縁体を連結することが知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６３―１０５４２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本実施形態は、フィラメントが収束電極に対して移動することを防止できる電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

一実施形態に係る電子銃は、電子を放出するフィラメントと、延出方向に延出し前記フィラメントに接続されているフィラメント端子と、前記延出方向に貫通し前記フィラメント端子が位置する貫通孔を有している絶縁体と、前記フィラメントと前記フィラメント端子と前記絶縁体とを収容する収束電極と、を備え、前記フィラメント端子は前記貫通孔に接し、前記絶縁体に固定されている。

【0006】

一実施形態に係るＸ線管は、陽極ターゲットと、電子を放出するフィラメントと、延出方向に延出し前記フィラメントに接続されているフィラメント端子と、前記延出方向に貫通し前記フィラメント端子が位置する貫通孔を有している絶縁体と、前記フィラメントと前記フィラメント端子と前記絶縁体とを収容する収束電極と、を備えている陰極電子銃と、前記陽極ターゲット及び前記陰極電子銃を収容する外囲器と、を備え、前記フィラメント端子は前記貫通孔に接し、前記絶縁体に固定されている。

【0007】

一実施形態に係る電子銃の製造方法は、電子を放出するフィラメントと、延出方向に延出するフィラメント端子と、前記延出方向に貫通する貫通孔を有している絶縁体と、収束電極と、を用意し、前記フィラメントと前記フィラメント端子を接続し、前記絶縁体を前記収束電極に固定し、締り嵌めにより前記フィラメント端子を前記絶縁体に固定する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、一実施形態に係るＸ線管の一例を示す断面図である。

【図2】図２は、図１のＡ矢視における陰極電子銃の正面図である。

【図3】図３は、図２の線Ｂ―Ｂに沿った陰極電子銃の断面図である。

【図4】図４は、図３のＣ矢視における陰極電子銃の背面図である。

【図5A】図５Ａは、本実施形態に係る陰極電子銃の製造時の状態を示す断面図であり、フィラメント端子を絶縁体に固定する前の状態を示している。

【図5B】図５Ｂは、本実施形態に係る陰極電子銃のフィラメントの位置を調整した後の状態を示す断面図である。

【図6】図６は、本実施形態の変形例に係る陰極電子銃の一部を示す背面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の趣旨を保っての適宣変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面や説明をより明確にするため、実際の様態に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宣省略することがある。

【0010】

始めに、本発明の実施形態の基本構想について説明する。
Ｘ線管は、陽極ターゲットと、陰極電子銃と、外囲器と、を備えている。陰極電子銃は、フィラメントと、フィラメント端子と、絶縁体と、収束電極とを備えている。従来の陰極電子銃では、フィラメント端子を金属のスリーブを介して絶縁体に固定している。フィラメント端子及びスリーブは、溶接によって固定されている。一方で、フィラメント端子及びスリーブの間には隙間がある。そのため、溶接部を支点にフィラメント端子が隙間分傾き、フィラメントの位置が収束電極に対して移動し、Ｘ線の焦点形状が変化してしまう恐れがある。さらに、フィラメントが収束電極に接触してしまう恐れがある。

【0011】

そこで、本発明の実施形態においては、かかる問題を改善するものであり、フィラメントが収束電極に対して移動することを防止できる電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法を得ることができるものである。上記問題を改善するための手段及び手法について説明する。

【0012】

図１は、一実施形態に係るＸ線管の一例を示す断面図である。
図１に示すように、Ｘ線管１は、外囲器１０と、陽極ターゲット２１と、陰極電子銃３１とを備えている。外囲器１０は、ガラスで形成されている。外囲器１０は、真空状態に維持された内部に、陽極ターゲット２１及び陰極電子銃３１を収容している。

【0013】

陽極ターゲット２１は、陽極２０の一部である。陽極２０は、陽極ターゲット２１と、回転機構２３とを備えている。陽極ターゲット２１は、円盤状に形成されている。陽極ターゲット２１は、表面に電子（電子ビーム）が衝突することでＸ線を放射する。陽極ターゲット２１は、回転機構２３によって支持されている。陽極ターゲット２１は、回転機構２３の回転に従って回転する。陽極ターゲット２１は、Ｘ線を放射するターゲット層と、ターゲット層を支持するターゲット本体とから構成されている。ターゲット層は、例えば、タングステンで形成されている。ターゲット本体は、例えば、モリブデン合金などの金属で形成されている。また、図示しないステータコイルが、外囲器１０の外側に設置されている。このステータコイルは、図示しない電源から電流を供給されることにより磁場を発生させ、発生させた磁場により回転機構２３を駆動させる。

【0014】

陰極電子銃３１は、陰極３０の一部である。陰極３０は、陰極電子銃３１と、支持部３３とを備えている。陰極電子銃３１は、外囲器１０内で、陽極ターゲット２１に対向している。陰極電子銃３１は、高電圧が印加されることで電子を陽極ターゲット２１に向けて放出する。また、陰極電子銃３１は、単に電子銃とも称する。支持部３３は、陰極電子銃３１と図示しない電源とを接続する配線３５が通過する空洞を有している。

【0015】

図２は、図１のＡ矢視における陰極電子銃３１の正面図である。
図２に示すように、陰極電子銃３１は、収束電極３１０と、電子を放出する電子放出源３２１とを備えている。本実施形態においては、陰極電子銃３１は、１つの電子放出源３２１を備えている。なお、陰極電子銃３１は、複数の電子放出源３２１を備えることが可能であり、例えば、２つの電子放出源３２１を備えていてもよい。

【0016】

収束電極３１０は、電子放出源３２１から放出される電子を制御する。例えば、収束電極３１０は、電流が供給されることで、電子放出源３２１から放出される電子を陽極ターゲット２１上の焦点に収束させる。収束電極３１０の第１面３１１には溝部３３１が形成されている。電子放出源３２１は、溝部３３１に収容されている。電子放出源３２１は、陽極ターゲット２１に向かって電子を放出する。陰極電子銃３１が電子放出源３２１を複数備えている場合、収束電極３１０は、電子放出源３２１と同じ数だけ溝部３３１を有している。

【0017】

図３は、図２の線Ｂ―Ｂに沿った陰極電子銃３１の断面図である。
図３に示すように、陰極電子銃３１は、収束電極３１０、電子放出源３２１、及び絶縁体５１，５２を備えている。
収束電極３１０には、溝部３３１と、一対の第１収容孔１１，１２と、一対の第２収容孔１３，１４とが形成されている。第１収容孔１１及び第１収容孔１２は、離れて位置している。第１収容孔１１は、溝部３３１から第２収容孔１３まで貫通している。第１収容孔１２は、溝部３３１から第２収容孔１４まで貫通している。第２収容孔１３は、第１収容孔１１から第１面３１１の反対側に位置する第２面３１２まで貫通している。第２収容孔１４は、第１収容孔１１から収束電極３１０の第２面３１２まで貫通している。第２収容孔１３における内径は、第１収容孔１１における内径よりも大きい。第２収容孔１４における内径は、第１収容孔１２における内径よりも大きい。

【0018】

絶縁体５１及び絶縁体５２は、それぞれ、第２収容孔１３及び第２収容孔１４内にカシメやろう付け等の方法により固定されている。絶縁体５１及び絶縁体５２は、電気的絶縁性を有する材料で形成され、例えば、ステアタイトなどのセラミックによって形成されている。絶縁体５１及び絶縁体５２は、それぞれ、後述する延出方向Ｘに向かって貫通する貫通孔５１Ａ及び貫通孔５２Ａを有している。

【0019】

電子放出源３２１は、フィラメントＦＬと、一対のフィラメント端子４１，４２とを備えている。フィラメントＦＬは、コイル部Ｃ１とコイル部Ｃ１から延出する脚部ＬＧ１，ＬＧ２とを有している。フィラメントＦＬは、例えば、タングステン又はタングステンを主成分とする合金で形成されている。コイル部Ｃ１は、電流が供給されることで加熱され、電子を放出する。フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２は、それぞれ、フィラメントＦＬと接続され、フィラメントＦＬとの接続部から延出方向Ｘに向かって延出し、棒状の形状を有している。フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２は、図示しない電源につながる配線３５と接続され、電源から供給される電流をフィラメントＦＬのコイル部Ｃ１に導通する。フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２は、鉄、鉄を主成分とする合金、モリブデン、又はモリブデンを主成分とする合金で形成されている。

【0020】

フィラメント端子４１は、貫通孔５１Ａに接し、絶縁体５１に固定されている。フィラメント端子４２は、貫通孔５２Ａに接し、絶縁体５２に固定されている。フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２は、それぞれ、絶縁体５１及び絶縁体５２により収束電極３１０と電気的に絶縁されている。つまり、電子放出源３２１は、収束電極３１０と電気的に絶縁されている。

【0021】

図４は、図３のＣ矢視における陰極電子銃３１の背面図である。図４では、収束電極３１０、絶縁体５１，５２、及びフィラメント端子４１，４２を記載している。図４に示すように、フィラメント端子４１の外周及びフィラメント端子４２の外周は、円形状である。ただし、上記外周の形状は、円形状に限られず角を有する形状に形成することも可能であり、例えば、正八角形に形成してもよい。絶縁体５１の貫通孔５１Ａにおける内周及び絶縁体５２の貫通孔５２Ａにおける内周は、円形状である。ただし、上記内周の形状は、円形状に限られず角を有する形状に形成することも可能であり、例えば、正八角形に形成してもよい。フィラメント端子４１は、絶縁体５１の貫通孔５１Ａに締り嵌めによって固定されている。フィラメント端子４２は、絶縁体５２の貫通孔５２Ａに締り嵌めによって固定されている。例えば、絶縁体５１の貫通孔５１Ａにおける内径が２ｍｍであった場合に、フィラメント端子４１と絶縁体５１との締め代を０．００５ｍｍとして締り嵌めされている。

【0022】

次に、本実施形態に係る陰極電子銃３１の製造方法について説明する。
図５Ａは、本実施形態に係る陰極電子銃３１の製造時の状態を示す断面図であり、フィラメント端子４１，４２を絶縁体５１，５２に固定する前の状態を示している。図５Ｂは、本実施形態に係る陰極電子銃３１のフィラメントＦＬの位置を調整した後の状態を示す断面図である。図５Ａ及び図５Ｂに示すように、陰極電子銃３１の製造が開始されると、まず、フィラメントＦＬと、フィラメント端子４１，４２と、絶縁体５１，５２と、収束電極３１０と、ベース６０と、ブロック７０と、ヒータ８０とを用意する。

【0023】

次に、図５Ａに示すように、フィラメントＦＬと、フィラメント端子４１，４２とを接続する。具体的には、フィラメントＦＬの脚部ＬＧ１とフィラメント端子４１とを接続し、フィラメントＦＬの脚部ＬＧ２とフィラメント端子４２とを接続する。一方で、絶縁体５１及び絶縁体５２を収束電極３１０に固定する。具体的には、絶縁体５１を収束電極３１０の第２収容孔１３に固定し、絶縁体５２を収束電極３１０の第２収容孔１４に固定する。絶縁体５１及び絶縁体５２を収束電極３１０に固定する方法は、カシメやろう付けである。

【0024】

続いて、焼き嵌めによりフィラメント端子４１及びフィラメント端子４２を、それぞれ、絶縁体５１及び絶縁体５２に固定する。具体的には、まず、収束電極３１０の外側に配置されたヒータ８０を用いて絶縁体５１及び絶縁体５２を加熱し、絶縁体５１の内径Ｄ５１及び絶縁体５２の内径Ｄ５２を熱膨張により拡大させる。加熱の温度は、例えば、５００℃程度である。これにより、内径Ｄ５１がフィラメント端子４１の外径Ｄ４１より大きくなり、内径Ｄ５２がフィラメント端子４２の外径Ｄ４２よりも大きくなる。なお、組み立て前の常温下において、内径Ｄ５１は外径Ｄ４１よりも小さく、内径Ｄ５２は外径Ｄ４２よりも小さい。

【0025】

加熱により絶縁体５１及び絶縁体５２が所定の温度に達した後に、延出方向Ｘに向かってフィラメント端子４１，４２を動かすことで、フィラメント端子４１を絶縁体５１の貫通孔５１Ａに挿入し、フィラメント端子４２を絶縁体５２の貫通孔５２Ａに挿入する。この時、フィラメント端子４１，４２は、収束電極３１０の溝部３３１から挿入される。つまり、フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２は、最初に溝部３３１を通過し、次に第１収容孔１１，１２を通過し、最後に絶縁体５１，５２の貫通孔５１Ａ，５２Ａを通過する。なお、図５Ａでは、フィラメント端子４１，４２が移動する方向である延出方向Ｘと重力方向Ｇとを一致させて記載しているが、一致している場合に限定されず、例えば、延出方向Ｘと重力方向Ｇとが直交していてもよい。フィラメント端子４１，４２ではなく収束電極３１０を移動させて、フィラメント端子４１，４２を貫通孔５１Ａ，５２Ａに挿入してもよい。

【0026】

一方で、ベース６０の水平面６１にブロック７０を設置する。具体的には、ブロック７０を基準面７１がベース６０と反対側に位置するように水平面６１に設置する。この時、重力方向Ｇに向かってブロック７０、ベース６０の順に位置している。ベース６０にブロック７０を設置し、かつ、フィラメント端子４１，４２を貫通孔５１Ａ，５２Ｂに挿入した後、絶縁体５１，５２、フィラメントＦＬ、及びフィラメント端子４１，４２が収容されている収束電極３１０をベース６０に設置する。この時、ブロック７０が収束電極３１０の溝部３３１に位置するように収束電極３１０をベース６０に設置する。なお、収束電極３１０がベース６０に設置されるまでの間、重力方向Ｇに向かって電子放出源３２１が収束電極３１０から落下することを防止するために、電子放出源３２１を支持する必要がある。電子放出源３２１を支持する方法としては、例えば、図示しないワイヤーをフィラメント端子４１，４２のフィラメントＦＬが接続されていない側の端部に固定して吊るす方法がある。
収束電極３１０をベース６０に設置した後、ブロック７０の基準面７１にフィラメントＦＬのコイル部Ｃ１が接触するように、フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２を移動させることで、フィラメントＦＬの位置調整を行う。フィラメントＦＬの位置が決まったら、絶縁体５１，５２を冷却する。これにより、フィラメント端子４１，４２は絶縁体５１，５２に固定される。なお、フィラメントＦＬの位置調整を行っている際、ヒータ８０で絶縁体を加熱してもよいし、加熱していなくともよい。ヒータ８０で加熱している場合、フィラメントＦＬの位置が決まったらヒータ８０による加熱を止めて、絶縁体５１，５２を冷却する。

【0027】

なお、上記の製造方法では、焼き嵌めによってフィラメント端子４１，４２を絶縁体５１，５２に固定する例を説明したが、締り嵌めによってフィラメント端子４１，４２が絶縁体５１，５２に固定されていればよく、冷やし嵌めや圧入によってフィラメント端子４１，４２を絶縁体５１，５２に固定してもよい。以下に、冷やし嵌めによってフィラメント端子４１，４２を絶縁体５１，５２に固定する場合、及び圧入によってフィラメント端子４１，４２を絶縁体５１，５２に固定する場合における締り嵌めの方法を説明する。

【0028】

冷やし嵌めの場合、フィラメントＦＬと、フィラメント端子４１，４２とを接続し、絶縁体５１及び絶縁体５２を収束電極３１０に固定した後、フィラメント端子４１，４２を冷却する。フィラメント端子４１，４２の冷却は、例えば、液体窒素やドライアイスを用いて行うことができる。冷却によりフィラメント端子４１，４２が所定の温度に達した後に、フィラメント端子４１を絶縁体５１の貫通孔５１Ａに挿入し、フィラメント端子４２を絶縁体５２の貫通孔５２Ａに挿入する。

【0029】

圧入の場合、フィラメントＦＬと、フィラメント端子４１，４２とを接続し、絶縁体５１及び絶縁体５２を収束電極３１０に固定した後、所定の大きさ以上の延出方向Ｘにおける荷重をフィラメント端子４１，４２及び絶縁体５１，５２に作用させ、フィラメント端子４１を絶縁体５１の貫通孔５１Ａに挿入し、フィラメント端子４２を絶縁体５２の貫通孔５２Ａに挿入する。
また、焼き嵌めによる製造方法で説明した絶縁体５１，５２の加熱と、冷やし嵌めによる製造方法で説明したフィラメント端子４１，４２の冷却とを組み合わせて、締り嵌め行うことでフィラメント端子４１，４２を絶縁体５１，５２に固定してもよい。

【0030】

上記のように構成された本実施形態に係る電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法によれば、電子銃は、フィラメントＦＬと、フィラメント端子４１，４２と、絶縁体５１，５２と、収束電極３１０と、を備えている。フィラメント端子４１及びフィラメント端子４２は、それぞれ、貫通孔５１Ａ及び貫通孔５２Ａに接し、絶縁体５１及び絶縁体５２に固定されている。

【0031】

Ｘ線管は、上記電子銃に加え、陽極ターゲット２１及び外囲器１０を備えている。
また、上記電子銃の製造方法は、締り嵌めによりフィラメント端子４１及びフィラメント端子４２を、それぞれ、絶縁体５１及び絶縁体５２に固定する方法を含んでいる。また、締り嵌めの方法は、焼き嵌め、冷やし嵌め、圧入等である。これにより、フィラメントＦＬが収束電極３１０に対して移動することを防止できる電子銃、Ｘ線管、及び電子銃の製造方法を得ることができる。

【0032】

（変形例）
上記実施形態の変形例について説明する。ただし、陰極電子銃は、変形例で説明する構成以外、上記実施形態と同様の構成である。
図６は、本実施形態の変形例に係る陰極電子銃３１の一部を示す背面図である。図６では、フィラメント端子４１、絶縁体５１、及び収束電極３１０を記載している。以下、フィラメント端子４１及び絶縁体５１を例に説明するが、フィラメント端子４２及び絶縁体５２についても同様の構成を有している。

【0033】

図６に示すように、収束電極３１０は、第２収容孔１３にフィラメント端子４１及び絶縁体５１を収容している。フィラメント端子４１を囲む絶縁体５１は、第１絶縁体５１Ｂと第２絶縁体５１Ｃとから構成されている。第１絶縁体５１Ｂの外周の形状及び第２絶縁体５１Ｃの外周の形状は、それぞれ、円環を分割した形状である。本変形例において、絶縁体５１は、第１絶縁体５１Ｂ及び第２絶縁体５１Ｃの２つの絶縁体から構成されているが、３つ以上の絶縁体によって構成されていてもよい。絶縁体５１は、カシメによって収束電極３１０に固定されている。

【0034】

フィラメント端子４１は、第１絶縁体５１Ｂ及び第２絶縁体５１Ｃと接し、第１絶縁体５１Ｂ及び第２絶縁体５１Ｃに固定されている。フィラメント端子４１は、収束電極３１０に第１絶縁体５１Ｂ及び第２絶縁体５１Ｃをカシメによって固定することで、第１絶縁体５１Ｂ及び第２絶縁体５１Ｃに固定される。具体的には、収束電極３１０の第２面３１２をたたくことで突出部３１３，３１４が形成され、突出部３１３により第１絶縁体５１Ｂがフィラメント端子４１に接触し、突出部３１４により第２絶縁体５１Ｃがフィラメント端子４１に接触し、フィラメント端子４１は第１絶縁体５１Ｂ及び第２絶縁体５１Ｃに固定される。本変形例において、２箇所の突出部３１３，３１４が形成される場合を説明したが、１箇所でも３箇所以上でもよい。

【0035】

上記のように構成された本実施形態の変形例に係る電子銃及びＸ線管によれば、電子銃は、フィラメントＦＬと、フィラメント端子４１，４２と、絶縁体５１，５２と、収束電極３１０とを備えている。絶縁体５１，５２は、複数個の絶縁体から構成されている。絶縁体５１，５２を収束電極３１０に固定することで、フィラメント端子４１，４２は、それぞれ、絶縁体５１，５２に固定される。これにより、上記実施形態と同様の効果に加え、組み立てが容易な電子銃、及びＸ線管を得ることができる。

【0036】

本発明の実施形態を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述した新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上記実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
上記実施形態では回転陽極型Ｘ線管を例に説明したが、本発明は、外囲器、陽極ターゲット、及び陰極電子銃を備えるＸ線管に適用可能であり、固定陽極型Ｘ線管を含むすべてのＸ線管において適用可能である。

【符号の説明】

【0037】

１…Ｘ線管、１０…外囲器、１１，１２…第１収容孔、１３，１４…第２収容孔、２０…陽極、２１…陽極ターゲット、２３…回転機構、３０…陰極、３１…陰極電子銃、３３…支持部、４１，４２…フィラメント端子、５１，５２…絶縁体、５１Ａ，５２Ａ…貫通孔、５１Ｂ…第１絶縁体、５１Ｃ…第２絶縁体、８０…ヒータ、３１０…収束電極、３３１…溝部、ＦＬ…フィラメント、Ｘ…延出方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】