特開2023-120320半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステムおよびその操作方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023120320
(43)【公開日】2023-08-29
(54)【発明の名称】半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステムおよびその操作方法
(51)【国際特許分類】
G01R 31/26 20200101AFI20230822BHJP
【ＦＩ】
G01R31/26 Z
【審査請求】有
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023098606
(22)【出願日】2023-06-15
(62)【分割の表示】P 2021124250の分割
【原出願日】2021-07-29
(31)【優先権主張番号】17/137,808
(32)【優先日】2020-12-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(71)【出願人】
【識別番号】521312662
【氏名又は名称】スター テクノロジーズ インコーポレイテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100120891
【弁理士】
【氏名又は名称】林 一好
(74)【代理人】
【識別番号】100165157
【弁理士】
【氏名又は名称】芝 哲央
(74)【代理人】
【識別番号】100205659
【弁理士】
【氏名又は名称】齋藤 拓也
(74)【代理人】
【識別番号】100126000
【弁理士】
【氏名又は名称】岩池 満
(74)【代理人】
【識別番号】100185269
【弁理士】
【氏名又は名称】小菅 一弘
(72)【発明者】
【氏名】ロウ チュン レオン
(72)【発明者】
【氏名】シェイ シャオ フイ
(72)【発明者】
【氏名】ワン リー ミン
(57)【要約】 （修正有）
【課題】本開示は、半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステムおよびその操作方法を提供する。
【解決手段】スイッチングマトリックスシステムは、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し、スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、このユーザインターフェースは、アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、ユーザインターフェースを提供する、ように構成される。
【選択図】図１Ｂ
【解決手段】スイッチングマトリックスシステムは、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し、スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、このユーザインターフェースは、アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、ユーザインターフェースを提供する、ように構成される。
【選択図】図１Ｂ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体特性測定用のスイッチングマトリックスシステムであって、
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるように構成された複数のスロットと、
前記スロットに電気的に接続されたコントローラと、
プログラムを格納するための前記コントローラに電気的に接続されたストレージユニットと、を含み、
前記プログラムは、実行されると、前記コントローラに、
前記スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し、
前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、このユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを含み、
前記ユーザインターフェースを提供する、ことを行わせる、
スイッチングマトリックスシステム。
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるように構成された複数のスロットと、
前記スロットに電気的に接続されたコントローラと、
プログラムを格納するための前記コントローラに電気的に接続されたストレージユニットと、を含み、
前記プログラムは、実行されると、前記コントローラに、
前記スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し、
前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、このユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを含み、
前記ユーザインターフェースを提供する、ことを行わせる、
スイッチングマトリックスシステム。
【請求項2】
前記スロットと前記コントローラとを接続するためのボードをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項3】
前記プログラムは、実行されると、前記コントローラに、
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定する、ことをさらに行わせ、
前記ユーザインターフェースを決定することは、
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリ、にしたがって前記ユーザインターフェースを決定する、ことをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定する、ことをさらに行わせ、
前記ユーザインターフェースを決定することは、
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリ、にしたがって前記ユーザインターフェースを決定する、ことをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項4】
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記スイッチングマトリックスシステムは、
スイッチングマトリックスモジュールを接続するためのバックプレーンをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
スイッチングマトリックスモジュールを接続するためのバックプレーンをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項5】
少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含む、請求項４に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項6】
少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含む、請求項４に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項7】
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記スイッチングマトリックスシステムは、
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分を接続するための第１のバックプレーンと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分を接続するための第２のバックプレーンと、をさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分を接続するための第１のバックプレーンと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分を接続するための第２のバックプレーンと、をさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項8】
少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項9】
少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項10】
少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項11】
前記ユーザインターフェースを表示するためのディスプレイをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項12】
前記ディスプレイは、前記ユーザインターフェースの少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを操作するためのタッチパネルを含む、請求項１１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項13】
スイッチングマトリックスシステムの操作方法であって、
スイッチングマトリックスシステムによって、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出することと、
スイッチングマトリックスシステムによって、前記スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定することと、このユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、
スイッチングマトリックスシステムによって、前記ユーザインターフェースを提供することと、を含む、操作方法。
スイッチングマトリックスシステムによって、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出することと、
スイッチングマトリックスシステムによって、前記スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定することと、このユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、
スイッチングマトリックスシステムによって、前記ユーザインターフェースを提供することと、を含む、操作方法。
【請求項14】
スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定することをさらに含み、
前記ユーザインターフェースを決定することは、
スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがって、前記ユーザインターフェースを決定すること、をさらに含む、請求項１３に記載の操作方法。
前記ユーザインターフェースを決定することは、
スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがって、前記ユーザインターフェースを決定すること、をさらに含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項15】
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項16】
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項17】
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項18】
ここで、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項19】
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項20】
前記ユーザインターフェースは、スイッチングマトリックスシステムによって、前記ユーザインターフェースをディスプレイ上に表示すること、をさらに含む、請求項１３に記載の操作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステムおよびその操作方法、より具体的には、半導体特性測定のためのモジュール化されたスイッチングマトリックスシステムおよびその操作方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスの製造時には、半導体デバイスが製品仕様を満たしているかどうかを確認するために、新しく完成した半導体デバイスの電気的および機能的特性をウェーハレベルでテストするための半導体特性測定が必要である。これまで、半導体デバイスをテストするためのさまざまな装置が開発されてきた。しかしながら、半導体デバイスをテストするための既存の装置の構造は、使用するのに不便である。
【0003】
この背景技術セクションは、背景情報のみを目的として提供される。この背景技術の記述は、このセクションで開示された主題が本開示の先行技術を構成することを認めるものではなく、この背景技術セクションのいかなる部分も、この背景技術セクションを含む、本開示の先行技術を構成するこの出願のいかなる部分も認めるものとして使用され得ない。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0004】
本開示の一態様は、半導体特性測定用のスイッチングマトリックスシステムを提供する。スイッチングマトリックスシステムは、複数のスロット、コントローラ、およびストレージユニットを含む。複数のスロットは、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れて電気的に接続するように構成される。コントローラは、スロットに電気的に接続されている。プログラムを格納するためのストレージユニットは、コントローラに電気的に接続されていて、プログラムは、実行されると、前記コントローラに、スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出しスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、このユーザインターフェースは、アセンブリに対応する少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを含み、ユーザインターフェースを提供する、ことを行わせる。
【0005】
いくつかの実施形態では、スイッチングマトリックスシステムは、スロットとコントローラとを接続するためのボードをさらに含む。例えば、ボードはプリント回路基板である。
【0006】
いくつかの実施形態では、プログラムは、実行されると、コントローラに、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを検出することを、さらに行わせる。ユーザインターフェースを決定することは、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがって、ユーザインターフェースを決定することをさらに含む。
【0007】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、スイッチングマトリックスシステムは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを接続するためのバックプレーンをさらに含む。
【0008】
いくつかの実施形態では、スイッチングマトリックスシステムは、複数のスロットを接続するためのバックプレーンをさらに含む。
【0009】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含む。
【0010】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含む。
【0011】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、スイッチングマトリックスシステムは、第１のバックプレーンおよび第２のバックプレーンをさらに含む。第１のバックプレーンは、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分を接続するためのものである。第２のバックプレーンは、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分を接続するためのものである。
【0012】
いくつかの実施形態では、スイッチングマトリックスシステムは、第１のバックプレーンおよび第２のバックプレーンをさらに含む。第１のバックプレーンは、スロットの第１の部分を接続するためのものである。第２のバックプレーンは、スロットの第２の部分を接続するためのものである。
【0013】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む。
【0014】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分にそれぞれ対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む。
【0015】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む。
【0016】
いくつかの実施形態では、スイッチングマトリックスシステムは、ユーザインターフェースを表示するためのディスプレイをさらに含む。
【0017】
いくつかの実施形態では、ディスプレイは、ユーザインターフェースの少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを操作するためのタッチパネルを含む。
【0018】
本開示の別の態様は、スイッチングマトリックスシステムの操作方法を提供する。操作方法は、スイッチングマトリックスシステムによって、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出することと、スイッチングマトリックスシステムによって、スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定することと、このユーザインターフェースは、アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、スイッチングマトリックスシステムによって、ユーザインターフェースを提供することと、を含む。
【0019】
いくつかの実施形態では、操作方法は、スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを検出することをさらに含む。ユーザインターフェースを決定することは、スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがって、ユーザインターフェースを決定することをさらに含む。
【0020】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含む。
【0021】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含む。
【0022】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む。
【0023】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む。
【0024】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む。
【0025】
いくつかの実施形態では、ユーザインターフェースを提供することは、スイッチングマトリックスシステムによって、ディスプレイ上にユーザインターフェースを表示することをさらに含む。
【0026】
上記は、以下の開示の詳細な説明がよりよく理解され得るように、本開示の特徴および技術的利点をかなり広く概説した。本開示の追加の特徴および利点を以下に説明し、本開示の請求項の主題を形成する。本開示の概念および特定の実施形態は、本開示の同じ目的を実行するための他の構造またはプロセスを修正または設計するための基礎として容易に利用し得ることを当業者は理解されたい。そのような同等の構造は、添付の特許請求の範囲に記載されているように、開示の精神および範囲から逸脱しないことも当業者によって認識されるべきである。
【0027】
本開示のより完全な理解は、図に関連して検討されるときに詳細な説明および特許請求の範囲を参照することによって導き出すことができ、同様の参照番号は、図全体の同様の要素を指す。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【発明を実施するための形態】
【0029】
本開示の以下の説明は、本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成し、本開示の実施形態を説明する図面に付随するが、本開示は、実施形態に限定されない。さらに、以下の実施形態は、別の実施形態を完成するために適切に統合することができる。
【0030】
「一実施形態」、「実施形態」、「例示的実施形態」、「他の実施形態」、「別の実施形態」などへの言及は、そのように記載された本開示の実施形態が特定の特徴、構造、または特徴的を含むが、すべての実施形態が必ずしも特定の特徴、構造、または特徴的を含むわけではない。さらに、「実施形態において」という句の繰り返しの使用は、そうである場合もあるが、必ずしも同じ実施形態を指すとは限らない。
【0031】
本開示を完全に理解可能にするために、詳細なステップおよび構造が以下の説明において提供される。明らかに、本開示の実施は、当業者によって知られている特別な詳細を制限するものではない。さらに、本開示を不必要に制限しないように、既知の構造およびステップは詳細に説明されていない。本開示の好ましい実施形態を以下に詳細に説明する。しかしながら、詳細な説明に加えて、本開示はまた、他の実施形態において広く実施され得る。本開示の範囲は、詳細な説明に限定されず、特許請求の範囲によって定義される。
【0032】
図１Ａおよび図１Ｂを一緒に参照されたい。図１Ａは、本開示のいくつかの実施形態による、半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステム１の概略図である。図１Ｂは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム１のブロック図である。
【0033】
スイッチングマトリックスシステム１は、複数のスロット１１Ａ～１１Ｄ、コントローラ１３、およびストレージユニット１５を含み得る。スロット１１Ａ～１１Ｄは、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるために使用され得る。コントローラ１３、スロット１１Ａ～１１Ｄおよびストレージユニット１５は、通信バス１７を介して電気的に接続され得る。
【0034】
通信バス１７は、コントローラ１３がストレージユニット１５に格納されたプログラムＰＧ１を実行することを可能にし得る。実行されると、コントローラ１３に、スイッチングマトリックスシステム１を操作するためのプログラムＰＧ１の機能を実行させるために、プログラムＰＧ１は、１つまたは複数の割り込み（例えば、ソフトウェア割り込み）を生成し得る。スイッチングマトリックスシステム１とプログラムＰＧ１の機能との間の相互作用について、以下でさらに説明する。
【0035】
図１Ｃおよび図１Ｄを一緒に参照されたい。図１Ｃは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム１に挿入されているスイッチングマトリックスモジュールの概略図である。図１Ｄは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスモジュールおよびスイッチングマトリックスシステム１のアセンブリの概略図である。
【0036】
詳細には、スイッチングマトリックスモジュール９Ａが提供され得る。スイッチングマトリックスモジュール９Ａは、スイッチングマトリックスシステム１の１つのスロットに適合するサイズを有し得る。したがって、スイッチングマトリックスモジュール９Ａは、スイッチングマトリックスシステム１の１つのスロットに挿入され得る。
【0037】
いくつかの実装形態では、スイッチングマトリックスモジュール９Ａは、図１Ｃおよび図１Ｄに示されるように、スイッチングマトリックスシステム１のスロット１１Ａに挿入され得る。スイッチングマトリックスシステム１のスロット１１Ａに挿入された後、スイッチングマトリックスモジュール９Ａは、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３に電気的に接続され得る。
【0038】
次に、スイッチングマトリックスシステム１が起動された後、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、スロット１１Ａ～１１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し得る。特に、これらの実装形態では、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの挿入を検出し得る。次に、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、ハードウェア構成（図示せず）によってスイッチングマトリックスモジュール９Ａのアセンブリを決定し得る。
【0039】
次に、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、スロット１１Ａに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール９Ａのアセンブリにしたがって、ユーザインターフェース（例えば、グラフィカルユーザインターフェース）ＧＵＩ１０を決定し得、スイッチングマトリックスモジュール９Ａを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ１０を提供し得る。
【0040】
図１Ｅを参照されたい。図１Ｅは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ１０の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ１０は、それぞれ、スロット１１Ａ～１１Ｄに対応するオブジェクトＯＢ－１１Ａ～ＯＢ－１１Ｄを含み得る。
【0041】
アセンブリに基づいて、スロット１１Ａのみがスイッチングマトリックスモジュール９Ａを受け入れる。したがって、コントローラ１３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ１０のオブジェクトＯＢ－１１Ａは、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスを操作し得るように、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－１１Ａは、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0042】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0043】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの要素［４、１］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの物理的マトリックスの対応する要素［４、１］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの要素［１、７］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ａの物理的マトリックスの対応する要素［１、７］は、それに応じて閉じる。
【0044】
他方、スロット１１Ｂ～１１Ｄは少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れない（すなわち、スロット１１Ｂ～１１Ｄは占有されない）ので、対応するオブジェクトＯＢ－１１Ｂ～ＯＢ－１１Ｄは、図１Ｅに示されるように、空白であり得る。
【0045】
図１Ｆおよび図１Ｇを一緒に参照されたい。図１Ｆは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム１に挿入されているスイッチングマトリックスモジュールの概略図である。図１Ｇは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスモジュールおよびスイッチングマトリックスシステム１のアセンブリの概略図である。
【0046】
詳細には、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂおよび９Ｃが提供され得る。スイッチングマトリックスモジュール９Ｂは、スイッチングマトリックスシステム１の１つのスロットに適合するサイズを有し得る。スイッチングマトリックスモジュール９Ｃは、スイッチングマトリックスシステム１の２つのスロットに適合するサイズを有し得る。したがって、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂは、スイッチングマトリックスシステム１の１つのスロットに挿入され得、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃは、スイッチングマトリックスシステム１の２つのスロットに挿入され得る。
【0047】
いくつかの実装形態では、図１Ｆおよび図１Ｇに示されるように、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂは、スイッチングマトリックスシステム１のスロット１１Ａに挿入され得、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃは、スイッチングマトリックスシステム１のスロット１１Ｃおよび１１Ｄに挿入され得る。スイッチングマトリックスシステム１のスロット１１Ａ、１１Ｃおよび１１Ｄに挿入された後、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂおよび９Ｃは、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３に電気的に接続され得る。
【0048】
次に、スイッチングマトリックスシステム１が起動された後、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、スロット１１Ａ、１１Ｃ、および１１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し得る。特に、そのような実装では、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂおよび９Ｃの挿入を検出し得る。次に、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、ハードウェア構成によって、（１）スイッチングマトリックスモジュール９Ｂ、および（２）スイッチングマトリックスモジュール９Ｃ、のアセンブリを決定し得る。
【0049】
次に、スイッチングマトリックスシステム１のコントローラ１３は、（１）スロット１１Ａに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール９Ｂ、および（２）スロット１１Ｃおよび１１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール９Ｃ、のアセンブリにしたがって、ユーザインターフェースＧＵＩ１１を決定し得る。コントローラ１３は、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール９Ｂおよび９Ｃを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ１１を提供し得る。
【0050】
図１Ｈを参照されたい。図１Ｈは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ１１の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ１１は、それぞれ、スロット１１Ａ、１１Ｂ、ならびにスロット１１Ｃおよび１１Ｄの組み合わせに対応する、オブジェクトＯＢ－１１Ａ、ＯＢ－１１ＢおよびＯＢ－１１ＣＤを含み得る。
【0051】
アセンブリに基づいて、スロット１１Ａは、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂを受け入れる。したがって、コントローラ１３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ１１のオブジェクトＯＢ－１１Ａは、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスを操作し得るように、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－１１Ａは、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0052】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0053】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの要素［１、１］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの物理的マトリックスの対応する要素［１、１］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－１１Ａのグラフィックマトリックスの要素［２、１］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ｂの物理的マトリックスの対応する要素［２、１］は、それに応じて閉じる。
【0054】
さらに、アセンブリに基づいて、スロット１１Ｃおよび１１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃを受け入れる。したがって、コントローラ１３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ１１のオブジェクトＯＢ－１１ＣＤは、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－１１ＣＤのグラフィックマトリックスを操作し得るように、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－１１ＣＤは、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0055】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－１１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－１１ＣＤのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0056】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－１１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素［３、１］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［３、１］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－１１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素［２、６］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール９Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［２、６］は、それに応じて閉じる。
【0057】
他方、スロット１１Ｂはスイッチングマトリックスモジュールを受け入れない（すなわち、スロット１１Ｂは占有されない）ので、対応するオブジェクトＯＢ－１１Ｂは、図１Ｈに示されるように、ブランクであり得る。
【0058】
図２Ａおよび図２Ｂを一緒に参照されたい。図２Ａは、本開示のいくつかの実施形態による、デジタル、アナログ、混合モード、またはＲＦ、の特性などの半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステム２の概略図である。図２Ｂは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム２のブロック図である。
【0059】
スイッチングマトリックスシステム２は、コンピューティングデバイス２０、複数のスロット２１Ａ～２１Ｄ、マイクロコントローラユニット（ＭＣＵ）２４、ボード２９、およびバックプレーンＢＰ２０を含み得る。コンピューティングデバイス２０は、コントローラ２３およびストレージユニット２５を含み得る。コントローラ２３およびストレージユニット２５は、コンピューティングデバイス２０の通信バス（図示せず）を介して電気的に接続され得る。
【0060】
スロット２１Ａ～２１Ｄは、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるために使用され得る。スロット２１Ａ～２１ＤおよびＭＣＵ２４は、ボード２９によって電気的に接続され得、スロット２１Ａ～２１Ｄは、バックプレーンＢＰ２０によって統合され得る。
【0061】
コンピューティングデバイス２０、ＭＣＵ２４およびスロット２１Ａ～２１Ｄは、通信バス２７を介して電気的に接続され得る。コンピューティングデバイス２０は、スロット２１Ａ～２１Ｄと相互作用するために、通信バス２７を介してＭＣＵ２４と制御信号を交換し得る。
【0062】
コンピューティングデバイス２０は、コントローラ２３がストレージユニット２５に格納されたプログラムＰＧ２を実行することを可能にし得る。プログラムＰＧ２は、スイッチングマトリックスシステム２の操作モードを開始した後に実行し得る。さらに、実行されると、コントローラ２３に、スイッチングマトリックスシステム２を操作するためのプログラムＰＧ２の機能を実行させるために、プログラムＰＧ２は、１つまたは複数の割り込み（例えば、ソフトウェア割り込み）を生成し得る。スイッチングマトリックスシステム２とプログラムＰＧ２の機能との間の相互作用について、以下でさらに説明する。
【0063】
図２Ｃおよび図２Ｄを一緒に参照されたい。図２Ｃは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム２に挿入されているスイッチングマトリックスモジュールの概略図である。図２Ｄは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスモジュールおよびスイッチングマトリックスシステム２のアセンブリの概略図である。
【0064】
詳細には、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄが提供され得る。スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの各々は、スイッチングマトリックスシステム２の１つのスロットに適合するサイズを有し得る。したがって、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの各々は、スイッチングマトリックスシステム２の１つのスロットに挿入され得る。
【0065】
これらの実施形態では、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄは、図２Ｃおよび図２Ｄに示されるように、スイッチングマトリックスシステム２のスロット２１Ａ～２１Ｄにそれぞれ挿入され得る。スイッチングマトリックスシステム２のスロット２１Ａ～２１Ｄに挿入された後、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄは、スイッチングマトリックスシステム２のＭＣＵ２４に電気的に接続され得る。
【0066】
次に、スイッチングマトリックスシステム２が起動された後、操作モードが開始される。次に、スイッチングマトリックスシステム２のハードウェア設定を初期化し、スイッチングマトリックスシステム２のセキュリティのためのいくつかのドングル手順を実行するために、プログラムＰＧ２が実行され得る。
【0067】
続いて、ＭＣＵ２４を介して、コントローラ２３は、スロット２１Ａ～２１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し得る。特に、そのような実装では、スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの挿入を検出し得る。次に、スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、ハードウェア構成（図示せず）によって、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄのアセンブリを決定し得る。
【0068】
さらに、ＭＣＵ２４を介して、スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定し得る。各スイッチングマトリックスモジュールタイプは、対応するスイッチングマトリックスモジュールのマトリックスサイズ情報（例えば、マトリックスのチャネル数）を含み得る。
【0069】
いくつかの実施形態では、バックプレーンＢＰ２０がスイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄを個別に操作するように構成されている場合、スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、（１）スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄのスイッチングマトリックスモジュールタイプ、および（２）スロット２１Ａ～２１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄのアセンブリ、にしたがってユーザインターフェースＧＵＩ２０を決定し得る。スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ２０を提供し得る。
【0070】
図２Ｅを参照されたい。図２Ｅは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ２０の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ２０は、それぞれ、スロット２１Ａ～２１Ｄに対応するオブジェクトＯＢ－２１Ａ～ＯＢ－２１Ｄを含み得る。
【0071】
アセンブリに基づいて、スロット２１Ａ～２１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄをそれぞれ受け入れる。したがって、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ａ～ＯＢ－２１Ｄのグラフィックマトリックスを操作し得るように、コントローラ２３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ２０のオブジェクトＯＢ－２１Ａ～ＯＢ－２１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－２１Ａ～ＯＢ－２１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0072】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－２１Ａのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール８Ａの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ａのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ａの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0073】
同様に、オブジェクトＯＢ－２１Ｂのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール８Ｂの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ｂのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｂの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0074】
同様に、オブジェクトＯＢ－２１Ｃのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール８Ｃの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ｃのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｃの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0075】
同様に、オブジェクトＯＢ－２１Ｄのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール８Ｄの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ｄのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｄの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0076】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ｃのグラフィックマトリックスの要素［３、１］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［３、１］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１Ａのグラフィックマトリックスの要素［２、２］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ａの物理的マトリックスの対応する要素［２、２］は、それに応じて閉じる。
【0077】
いくつかの実施形態では、バックプレーンＢＰ２０がスイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄを１つのモジュールとして操作するように構成されるとき、スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、（１）スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄのスイッチングマトリックスモジュールタイプ、および（２）スロット２１Ａ～２１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄのアセンブリ、にしたがってユーザインターフェースＧＵＩ２１を決定し得る。スイッチングマトリックスシステム２のコントローラ２３は、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ２１を提供し得る。
【0078】
図２Ｆを参照されたい。図２Ｆは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ２１の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ２１は、スロット２１Ａ～２１Ｄの組み合わせに対応する単一のオブジェクトＯＢ－２１を含み得る。
【0079】
アセンブリに基づいて、スロット２１Ａ～２１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄをそれぞれ受け入れる。したがって、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスを１つのモジュールとして制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスを操作し得るように、コントローラ２３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ２１のオブジェクトＯＢ－２１は、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。
【0080】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0081】
例えば、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの各物理的マトリックスのサイズが４×９である場合、ユーザインターフェースＧＵＩ２１のオブジェクトＯＢ－２１は、スイッチングマトリックスモジュール８Ａ～８Ｄの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み、グラフィックマトリックスのサイズは、４×（９＊４）、つまり４×３６である。
【0082】
必要に応じて、４×３６グラフィックマトリックスは、ユーザインターフェースＧＵＩ２１のオブジェクトＯＢ－２１のいくつかの部分（すなわち、図２Ｆに示されるように、ユーザインターフェースＧＵＩ２１のオブジェクトＯＢ－２１の上部および下部）に分割できることに留意されたい。
【0083】
したがって、ユーザがオブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスの要素［３、１］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ａの物理的マトリックスの対応する要素［３、１］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスの要素［３、１０］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｂの物理的マトリックスの対応する要素［３、（１０－９）］（つまり、要素［３、１］）は、それに応じて閉じる。
【0084】
さらに、ユーザがオブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスの要素［４、１９］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［４、（１９－９＊２）］（つまり、要素［４、１］）は、それに応じて閉じる。ユーザがオブジェクトＯＢ－２１のグラフィックマトリックスの要素［４、３６］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール８Ｄの物理的マトリックスの対応する要素［４、（３６－９＊３）］（つまり、要素［４、９］）は、それに応じて開く。
【0085】
図３Ａおよび図３Ｂを一緒に参照されたい。図３Ａは、本開示のいくつかの実施形態による、半導体特性測定のためのスイッチングマトリックスシステム３の概略図である。図３Ｂは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム３のブロック図である。
【0086】
スイッチングマトリックスシステム３は、コンピューティングデバイス３０、複数のスロット３１Ａ～３１Ｄ、ＭＣＵ３４、ボード３９、バックプレーンＢＰ３１、およびバックプレーンＢＰ３２を含み得る。コンピューティングデバイス３０は、コントローラ３３およびストレージユニット３５を含み得る。コントローラ３３およびストレージユニット３５は、コンピューティングデバイス３０の通信バス（図示せず）を介して電気的に接続され得る。
【0087】
スロット３１Ａ～３１Ｄは、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるために使用され得る。スロット３１Ａ～３１ＤおよびＭＣＵ３４は、ボード３９によって電気的に接続され得る。スロット３１Ａおよび３１Ｂは、バックプレーンＢＰ３１によって統合され得、スロット３１Ｃおよび３１Ｄは、バックプレーンＢＰ３２によって統合され得る。
【0088】
コンピューティングデバイス３０、ＭＣＵ３４、スロット３１Ａ～３１Ｄは、通信バス３７を介して電気的に接続され得る。コンピューティングデバイス３０は、スロット３１Ａ～３１Ｄと相互作用するために、通信バス３７を介してＭＣＵ３４と制御信号を交換し得る。
【0089】
コンピューティングデバイス３０は、コントローラ３３がストレージユニット３５に格納されたプログラムＰＧ３を実行することを可能にし得る。プログラムＰＧ３は、スイッチングマトリックスシステム３の操作モードを開始した後に実行し得る。さらに、実行されると、コントローラ３３に、スイッチングマトリックスシステム３を操作するためのプログラムＰＧ３の機能を実行させるために、プログラムＰＧ３は、１つまたは複数の割り込み（例えば、ソフトウェア割り込み）を生成し得る。スイッチングマトリックスシステム３とプログラムＰＧ３の機能との間の相互作用について、以下でさらに説明する。
【0090】
図３Ｃおよび図３Ｄを一緒に参照されたい。図３Ｃは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム３に挿入されているスイッチングマトリックスモジュールの概略図である。図３Ｄは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスモジュールおよびスイッチングマトリックスシステム３のアセンブリの概略図である。
【0091】
詳細には、スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃが提供され得る。スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの各々は、スイッチングマトリックスシステム３の１つのスロットに適合するサイズを有し得る。スイッチングマトリックスモジュール７Ｃは、スイッチングマトリックスシステム３の２つのスロットに適合するサイズを有し得る。したがって、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの各々は、スイッチングマトリックスシステム３の１つのスロットに挿入され得、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃは、スイッチングマトリックスシステム３の２つのスロットに挿入され得る。
【0092】
これらの実施形態では、図３Ｃおよび３Ｄに示されるように、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂは、スイッチングマトリックスシステム３のスロット３１Ａおよび３１Ｂにそれぞれ挿入され得、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃは、スイッチングマトリックスシステム３のスロット３１Ｃおよび３１Ｄに挿入され得る。スイッチングマトリックスシステム３のスロット３１Ａ～３１Ｄに挿入された後、スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃは、スイッチングマトリックスシステム３のＭＣＵ３４に電気的に接続され得る。
【0093】
次に、スイッチングマトリックスシステム３が起動された後、オペレーティングシステムが開始する。次に、スイッチングマトリックスシステム３のハードウェア設定を初期化し、スイッチングマトリックスシステム３のセキュリティのためのいくつかのドングル手順を実行するために、プログラムＰＧ３が実行され得る。
【0094】
続いて、ＭＣＵ３４を介して、コントローラ３３は、スロット３１Ａ～３１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し得る。特に、そのような実装では、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃの挿入を検出し得る。次に、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、ハードウェア構成（図示せず）によって、スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃのアセンブリを決定し得る。
【0095】
さらに、ＭＣＵ３４を介して、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定し得る。各スイッチングマトリックスモジュールタイプは、対応するスイッチングマトリックスモジュールのマトリックスサイズ情報（例えば、マトリックスのチャネル数）を含み得る。
【0096】
いくつかの実施形態では、バックプレーンＢＰ３１がスイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂを個別に操作するように構成されている場合、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、（１）スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃのスイッチングマトリックスモジュールタイプ、（２）スロット３１Ａ～３１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃのアセンブリ、にしたがってユーザインターフェースＧＵＩ３０を決定し得る。スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ３０を提供し得る。
【0097】
図３Ｅを参照されたい。図３Ｅは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ３０の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ３０は、それぞれ、スロット３１Ａ、３１Ｂ、ならびにスロット３１Ｃおよび３１Ｄの組み合わせに対応するオブジェクトＯＢ－３１Ａ、ＯＢ－３１ＢおよびＯＢ－３１ＣＤを含み得る。
【0098】
アセンブリに基づいて、スロット３１Ａおよび３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂをそれぞれ受け入れる。したがって、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＡおよびＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスを操作し得るように、コントローラ３３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ３０のオブジェクトＯＢ－３１ＡおよびＯＢ－３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－３１ＡおよびＯＢ－３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0099】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－３１Ａのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ａの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ａのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ａの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0100】
同様に、オブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｂの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｂの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る
【0101】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ａのグラフィックマトリックスの要素［２、３］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ａの物理的マトリックスの対応する要素［２、３］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの要素［２、４］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｂの物理的マトリックスの対応する要素［２、４］は、それに応じて閉じる。
【0102】
さらに、アセンブリに基づいて、スロット３１Ｃおよび３１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃを受け入れる。したがって、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール７Ｃを操作することができるように、コントローラ３３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ３０のオブジェクトＯＢ－３１ＣＤは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃのマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－３１ＣＤは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0103】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0104】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素［３、５］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［３、５］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素［３、４］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［３、４］は、それに応じて閉じる。
【0105】
いくつかの実施形態では、バックプレーンＢＰ３１がスイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂを１つのモジュールとして操作するように構成される場合、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、（１）スイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃのスイッチングマトリックスモジュールタイプ、（２）スロット３１Ａ～３１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃのアセンブリ、にしたがってユーザインターフェースＧＵＩ３１を決定し得る。スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール７Ａ～７Ｃを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ３１を提供し得る。
【0106】
図３Ｆを参照されたい。図３Ｆは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ３１の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ３１は、（１）スロット３１Ａおよび３１Ｂの組み合わせに対応する単一のオブジェクトＯＢ－３１、（２）スロット３１Ｃおよび３１Ｄの組み合わせに対応する単一のオブジェクトＯＢ－３１ＣＤ、を含み得る。
【0107】
アセンブリに基づいて、スロット３１Ａおよび３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂをそれぞれ受け入れる。したがって、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスを１つのモジュールとして制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１のグラフィックマトリックスを操作できるように、コントローラ３３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ３１のオブジェクトＯＢ－３１は、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。
【0108】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－３１のグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１のグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0109】
例えば、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの各物理的マトリックスのサイズが４×９である場合、ユーザインターフェースＧＵＩ３１のオブジェクトＯＢ－３１は、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み、グラフィックマトリックスのサイズは、４×（９＊２）、つまり４×１８である。
【0110】
したがって、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１のグラフィックマトリックスの要素［１、９］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ａの物理的マトリックスの対応する要素［１、９］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１のグラフィックマトリックスの要素［１、１０］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｂの物理的マトリックスの対応する要素［１、（１０－９）］（つまり、要素［１、１］）は、それに応じて閉じる。
【0111】
さらに、アセンブリに基づいて、スロット３１Ｃおよび３１Ｄは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃを受け入れる。したがって、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスを操作し得るように、コントローラ３３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ３１のオブジェクトＯＢ－３１ＣＤは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－３１ＣＤは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0112】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0113】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素［２、１］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［２、１］は、それに応じて開く。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＣＤのグラフィックマトリックスの要素［４、６］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｃの物理的マトリックスの対応する要素［４、６］は、それに応じて閉じる。
【0114】
図３Ｇおよび図３Ｈを一緒に参照されたい。図３Ｇは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスシステム３に挿入されているスイッチングマトリックスモジュールの概略図である。図３Ｈは、本開示のいくつかの実施形態による、スイッチングマトリックスモジュールおよびスイッチングマトリックスシステム３のアセンブリの概略図である。
【0115】
詳細には、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅが提供され得る。スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅの各々は、スイッチングマトリックスシステム３の１つのスロットに適合するサイズを有し得る。したがって、スイッチングマトリックスモジュール７Ａおよび７Ｂの各々は、スイッチングマトリックスシステム３の１つのスロットに挿入され得る。
【0116】
これらの実施形態では、図３Ｇおよび図３Ｈに示されるように、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅは、スイッチングマトリックスシステム３のスロット３１Ａおよび３１Ｂにそれぞれ挿入され得る。スイッチングマトリックスシステム３のスロット３１Ａおよび３１Ｂに挿入された後、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅは、スイッチングマトリックスシステム３のＭＣＵ３４に電気的に接続され得る。
【0117】
次に、スイッチングマトリックスシステム３が起動された後、オペレーティングシステムが開始する。次に、スイッチングマトリックスシステム３のハードウェア設定を初期化し、スイッチングマトリックスシステム３のセキュリティのためのいくつかのドングル手順を実行するために、プログラムＰＧ３が実行され得る。
【0118】
続いて、ＭＣＵ３４を介して、コントローラ３３は、スロット３１Ａ～３１Ｄに挿入されたスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し得る。特に、そのような実装では、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅの挿入を検出し得る。次に、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、ハードウェア構成によって、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅのアセンブリを決定し得る。
【0119】
さらに、ＭＣＵ３４を介して、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定し得る。各スイッチングマトリックスモジュールタイプは、対応するスイッチングマトリックスモジュールのマトリックスサイズ情報（例えば、マトリックスのチャネル数）を含み得る。
【0120】
いくつかの実施形態では、バックプレーンＢＰ３１がスイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅを個別に操作するように構成されている場合、スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、（１）スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅのスイッチングマトリックスモジュールタイプ、（２）スロット３１Ａおよび３１Ｂに挿入されたスイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅのアセンブリ、にしたがってユーザインターフェースＧＵＩ３２を決定し得る。スイッチングマトリックスシステム３のコントローラ３３は、ユーザがスイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅを操作するためのユーザインターフェースＧＵＩ３２を提供し得る。
【0121】
図３Ｉを参照されたい。図３Ｉは、本開示のいくつかの実施形態による、ユーザインターフェースＧＵＩ３２の概略図である。ユーザインターフェースＧＵＩ３２は、それぞれ、スロット３１Ａ～３１Ｄに対応するオブジェクトＯＢ－３１Ａ、ＯＢ－３１Ｂ、ＯＢ－３１ＣおよびＯＢ－３１Ｄを含み得る。
【0122】
アセンブリに基づいて、スロット３１Ａおよび３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅをそれぞれ受け入れる。したがって、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅの物理的マトリックスを制御するために、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１ＡおよびＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスを操作し得るように、コントローラ３３によって決定されるユーザインターフェースＧＵＩ３２のオブジェクトＯＢ－３１ＡおよびＯＢ－３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅの物理的マトリックスに対応するグラフィックマトリックスを含み得る。換言すれば、オブジェクトＯＢ－３１ＡおよびＯＢ－３１Ｂは、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄおよび７Ｅの操作可能なオブジェクトであり得る。
【0123】
より具体的には、オブジェクトＯＢ－３１Ａのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ａのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0124】
例えば、ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ａのグラフィックマトリックスの要素［３、６］を開状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｄの物理的マトリックスの対応する要素［３、６］は、それに応じて開く。
【0125】
同様に、オブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの要素は、スイッチングマトリックスモジュール７Ｅの物理的マトリックスの要素に対応し得る。ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの１つの要素を操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｅの物理的マトリックスの対応する要素は、それに応じて制御され得る。
【0126】
いくつかの実装形態では、スイッチングマトリックスモジュール７Ｅの物理的マトリックスの要素のすべては、実行されない場合がある。例えば、スイッチングマトリックスモジュール７Ｅの物理的マトリックスが２×４であり、この物理的マトリックスの要素［１、１～４］がこの物理的マトリックスの要素［２、１～４］に伝導されない場合、オブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの要素［１、１～４］は、図３Ｉに示されるように、オブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの要素［２、１～４］から分離される。
【0127】
ユーザがオブジェクトＯＢ－３１Ｂのグラフィックマトリックスの要素［１、３］を閉状態にするように操作するとき、スイッチングマトリックスモジュール７Ｅの物理的マトリックスの対応する要素［１、３］は、それに応じて閉じる。
【0128】
他方、スロット３１Ｃおよび３１Ｄはスイッチングマトリックスモジュールを受け入れない（すなわち、スロット３１Ｃおよび３１Ｄは占有されない）ので、対応するオブジェクトＯＢ－３１ＣおよびＯＢ－３１Ｄは、図３Ｉに示されるように、空白であり得る。
【0129】
上記のスイッチングマトリックスシステムは、ユーザインターフェースを表示するためのディスプレイ（図示せず）をさらに含み得ることに留意されたい。換言すれば、スイッチングマトリックスシステムのコントローラは、ディスプレイ上にユーザインターフェースを提供し得る。さらに、ディスプレイは、タッチパネルを含み得るか、あるいは、ユーザがユーザインターフェースのオブジェクトを操作するためのキーボード、マウス、またはジョイスティック（図示せず）に接続し得る。
【0130】
上記のスイッチングマトリックスシステムは、汎用インターフェースバスインターフェース（ＧＰＩＢ Ｉ／Ｆ、図示せず）をさらに含み得ることに留意されたい。ＧＰＩＢ Ｉ／Ｆは、スイッチングマトリックスシステムのコントローラ／ＭＣＵに電気的に接続され得る。スイッチングマトリックスシステムは、リモートデバイスとスイッチングマトリックスシステムのＧＰＩＢ Ｉ／Ｆとの間の接続を介して、リモートデバイスによって遠隔制御され得る。
【0131】
半導体特性を測定するために使用される上記のスイッチングマトリックスモジュールの各々は、ＭＣＵおよびスイッチングマトリックスを含み得ることに留意されたい。スイッチングマトリックスは、複数の入力ポート、複数の出力ポート、開閉するように構成された複数のスイッチングデバイス、入力ポートと出力ポートとの間の電気的接続、および電気的接続の所定の電気的特性を測定することにより信号を生成するように構成された電気的センサを含み得る。スイッチングデバイスの開閉は、電気的センサから読み取られたステータスに基づいて事前に決定され得る。ＭＣＵは、スイッチングデバイスのオン／オフ状態を制御するように構成され得る。
【0132】
上記の実施形態で言及されたスイッチングマトリックスシステムのコントローラまたはＭＣＵは、中央処理装置（ＣＰＵ）、関連する命令を実行することができる他のハードウェア回路要素、または上記の開示に基づいて当業者に知られているコンピューティング回路の組合せ、を含み得ることが特に評価される。
【0133】
さらに、上記の実施形態で言及されたストレージユニットは、データをストレージするための、ＲＯＭ、ＲＡＭなどのメモリ、または、フラッシュメモリ、ＨＤＤ、ＳＳＤなどのストレージデバイスを含み得る。さらに、上記の実施形態で言及された通信バスは、スロット、コントローラ、およびストレージユニットなどの要素間でデータを転送するための通信インターフェースを含み得、電気的バスインターフェース、光バスインターフェース、または無線バスインターフェースさえも含み得る。しかしながら、そのような説明は、本開示のハードウェア実装の実施形態を限定することを意図するものではない。
【0134】
図４は、本開示のいくつかの実施形態による、操作方法のフローチャートである。いくつかの実施形態による操作方法は、スイッチングマトリックスシステム（例えば、上記の実施形態のスイッチングマトリックスシステム）において使用するためのものである。操作方法の詳細な手順を以下に説明する。
【0135】
操作Ｓ４０１は、スイッチングマトリックスシステムによって、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出するために実行される。操作Ｓ４０２は、スイッチングマトリックスシステムによって、スロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定するために実行される。ユーザインターフェースは、アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み得る。操作Ｓ４０３は、スイッチングマトリックスシステムによって、ユーザが少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを操作するためのユーザインターフェースを提供するために実行される。
【0136】
図５は、本開示のいくつかの実施形態による、操作方法のフローチャートである。いくつかの実施形態による操作方法は、スイッチングマトリックスシステム（例えば、上記の実施形態のスイッチングマトリックスシステム）において使用するためのものである。操作方法の詳細な手順を以下に説明する。
【0137】
操作Ｓ５０１は、スイッチングマトリックスシステムによって、スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出するために実行される。操作Ｓ５０２は、スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのための各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定するために実行される。
【0138】
操作Ｓ５０３は、スイッチングマトリックスシステムによって、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のスイッチングマトリックスモジュールタイプ、およびスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリにしたがって、ユーザインターフェースを決定するために実行される。操作Ｓ５０４は、スイッチングマトリックスシステムによって、ユーザが少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを操作するためのユーザインターフェースをディスプレイ上に表示するために実行される。
【0139】
いくつかの実装形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み得る。少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含み得る。
【0140】
いくつかの実装形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み得る。少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含み得る。
【0141】
いくつかの実装形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み得る。少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、（１）スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクト、（２）スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクト、を含み得る。
【0142】
いくつかの実装形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み得る。少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、（１）スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクト、（２）スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクト、を含み得る。
【0143】
いくつかの実装形態では、少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み得る。少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、（１）それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクト、（２）それぞれ、スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクト、を含み得る。
【0144】
本開示およびその利点が詳細に説明されてきたが、添付の特許請求の範囲によって定義される本開示の精神および範囲から逸脱することなく、本明細書においてさまざまな変更、置換および変更を行うことができることを理解されたい。例えば、上記のプロセスの多くは、異なる方法論で実装することができ、他のプロセス、またはそれらの組み合わせに置き換えることができる。
【0145】
さらに、本出願の範囲は、本明細書に記載されているプロセス、機械、製造、物質の組成、手段、方法、およびステップの特定の実施形態に限定されることを意図するものではない。当業者は、本開示から、本明細書に記載の対応する実施形態と実質的に同じ機能を実行するか、または本明細書に記載の対応する実施形態と実質的に同じ結果を達成する、現在存在するまたは後に開発されるプロセス、機械、製造、物質の組成物、手段、方法、またはステップが本開示にしたがって利用し得ることを容易に理解するであろう。したがって、添付の特許請求の範囲は、その範囲内に、そのようなプロセス、機械、製造、物質の組成、手段、方法、およびステップを含むことを意図している。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図1G】
【図1H】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図3E】
【図3F】
【図3G】
【図3H】
【図3I】
【図4】
【図5】
【手続補正書】
【提出日】2023-06-15
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体特性測定用のスイッチングマトリックスシステムであって、
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるように構成された複数のスロットと、
前記スロットに電気的に接続されたコントローラと、
プログラムを格納するための前記コントローラに電気的に接続されたストレージユニットと、を含み、
前記プログラムは、実行されると、前記コントローラに、
前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し、
前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、前記ユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを含み、
前記ユーザインターフェースを提供する、ことを行わせる、
スイッチングマトリックスシステム。
少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールを受け入れるように構成された複数のスロットと、
前記スロットに電気的に接続されたコントローラと、
プログラムを格納するための前記コントローラに電気的に接続されたストレージユニットと、を含み、
前記プログラムは、実行されると、前記コントローラに、
前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出し、
前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定し、前記ユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを含み、
前記ユーザインターフェースを提供する、ことを行わせる、
スイッチングマトリックスシステム。
【請求項2】
前記スロットと前記コントローラとを接続するためのボードをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項3】
前記プログラムは、実行されると、前記コントローラに、
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定する、ことをさらに行わせ、
前記ユーザインターフェースを決定することは、
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々の前記スイッチングマトリックスモジュールタイプ、および前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリ、にしたがって前記ユーザインターフェースを決定する、ことをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定する、ことをさらに行わせ、
前記ユーザインターフェースを決定することは、
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々の前記スイッチングマトリックスモジュールタイプ、および前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリ、にしたがって前記ユーザインターフェースを決定する、ことをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項4】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記スイッチングマトリックスシステムは、
前記スイッチングマトリックスモジュールを接続するためのバックプレーンをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
前記スイッチングマトリックスモジュールを接続するためのバックプレーンをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項5】
前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、前記スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含む、請求項４に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項6】
前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含む、請求項４に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項7】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記スイッチングマトリックスシステムは、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分を接続するための第１のバックプレーンと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分を接続するための第２のバックプレーンと、をさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分を接続するための第１のバックプレーンと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分を接続するための第２のバックプレーンと、をさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項8】
前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項9】
前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項10】
前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの前記第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項７に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項11】
前記ユーザインターフェースを表示するためのディスプレイをさらに含む、請求項１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項12】
前記ディスプレイは、前記ユーザインターフェースの前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトを操作するためのタッチパネルを含む、請求項１１に記載のスイッチングマトリックスシステム。
【請求項13】
スイッチングマトリックスシステムの操作方法であって、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出することと、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定することと、前記ユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記ユーザインターフェースを提供することと、を含む、操作方法。
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記スイッチングマトリックスシステムの複数のスロットに挿入された少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールのアセンブリを検出することと、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリにしたがってユーザインターフェースを決定することと、前記ユーザインターフェースは、前記アセンブリに対応する操作可能なオブジェクトを含み、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記ユーザインターフェースを提供することと、を含む、操作方法。
【請求項14】
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々のためのスイッチングマトリックスモジュールタイプを決定することをさらに含み、
前記ユーザインターフェースを決定することは、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々の前記スイッチングマトリックスモジュールタイプ、および前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリにしたがって、前記ユーザインターフェースを決定すること、をさらに含む、請求項１３に記載の操作方法。
前記ユーザインターフェースを決定することは、
前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの各々の前記スイッチングマトリックスモジュールタイプ、および前記スロットに挿入された前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールの前記アセンブリにしたがって、前記ユーザインターフェースを決定すること、をさらに含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項15】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、前記スイッチングマトリックスモジュールに対応する１つの操作可能なオブジェクトを含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項16】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールに対応する複数の操作可能なオブジェクトを含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項17】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項18】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する第１の操作可能なオブジェクトと、
前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項19】
前記少なくとも１つのスイッチングマトリックスモジュールは、複数のスイッチングマトリックスモジュールを含み、前記少なくとも１つの操作可能なオブジェクトは、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの第１の部分に対応する複数の第１の操作可能なオブジェクトと、
それぞれ、前記スイッチングマトリックスモジュールの第２の部分に対応する複数の第２の操作可能なオブジェクトと、を含む、請求項１３に記載の操作方法。
【請求項20】
前記ユーザインターフェースを提供することは、前記スイッチングマトリックスシステムによって、前記ユーザインターフェースをディスプレイ上に表示すること、をさらに含む、請求項１３に記載の操作方法。