特開2023-120991フォトマスク収納ケース、及び、フォトマスク収納ケース用のフォトマスク用クッション部材
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023120991
(43)【公開日】2023-08-30
(54)【発明の名称】フォトマスク収納ケース、及び、フォトマスク収納ケース用のフォトマスク用クッション部材
(51)【国際特許分類】
B65D 85/38 20060101AFI20230823BHJP
【ＦＩ】
B65D85/38
【審査請求】有
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022024168
(22)【出願日】2022-02-18
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2023-07-24
(71)【出願人】
【識別番号】000162353
【氏名又は名称】株式会社協同
(74)【代理人】
【識別番号】100102749
【弁理士】
【氏名又は名称】澤木 紀一
(72)【発明者】
【氏名】鎌形 徹平
(72)【発明者】
【氏名】岩本 喜章
【テーマコード（参考）】
3E096
【Ｆターム（参考）】
3E096AA01
3E096BA30
3E096BB05
3E096CA02
3E096CB03
3E096DA03
3E096DA25
3E096DC02
3E096EA02X
3E096FA25
3E096FA30
3E096GA11
3E096GA13
(57)【要約】
【課題】従来、フォトマスク収納ケースは、複数種類のフォトマスクを収納することができず、汎用性に欠けていた。
【解決手段】本発明のフォトマスク収納ケースは、下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、該各位置決め載置部は、上記下側ケース部に対して所望の位置に固定されることを特徴とする。また、上記所望の位置は、該所望の位置に固定された位置決め載置部に載置されたフォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致することを特徴とする。
【選択図】図３
【解決手段】本発明のフォトマスク収納ケースは、下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、該各位置決め載置部は、上記下側ケース部に対して所望の位置に固定されることを特徴とする。また、上記所望の位置は、該所望の位置に固定された位置決め載置部に載置されたフォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致することを特徴とする。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、
上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、
該各位置決め載置部は、上記下側ケース部に対して所望の位置に固定されることを特徴とするフォトマスク収納ケース。
上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、
該各位置決め載置部は、上記下側ケース部に対して所望の位置に固定されることを特徴とするフォトマスク収納ケース。
【請求項2】
上記所望の位置は、該所望の位置に固定された位置決め載置部に載置されたフォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致することを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項3】
上記各位置決め載置部の所望の位置は、３つの位置であり、上記位置決め載置部が該３つ位置のいずれかに固定されることを特徴とする請求項１または２に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項4】
上記収納されるフォトマスクは、幅が９２０ｍｍ、９４５ｍｍ、９６０ｍｍの３種類であることを特徴とする請求項３に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項5】
上記下側ケース部又は上側ケース部に形成された溝部に挿入される、フォトマスク用のクッション部材を更に有し、
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または封数の返し部とよりなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のフォトマスク収納ケース。
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または封数の返し部とよりなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項6】
上記頭部は、横幅より、高さが低く形成されパイプであることを特徴とする請求項５に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項7】
上記フォトマスク用のクッション部材の頭部の上部の外表面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項8】
上記フォトマスク用のクッション部材の最下段の返し部の下面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項５、６、または７に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項9】
上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とする請求項１乃至８に記載のフォトマスク収納ケース。
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とする請求項１乃至８に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項10】
フォトマスクを収納する下側ケース部と上側ケース部とよりなるフォトマスク収納ケースに形成された溝部に挿入される、フォトマスク用のクッション部材からなり、
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または複数の返し部とよりなることを特徴とするフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または複数の返し部とよりなることを特徴とするフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項11】
上記頭部は、横幅より、高さが低く形成されパイプであることを特徴とする請求項１０に記載のフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項12】
上記フォトマスク用のクッション部材の頭部の上部の外表面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項13】
上記フォトマスク用のクッション部材の最下段の返し部の下面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項１０、１１、１２に記載のフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項14】
上記下側ケース部と、下側ケース部を塞ぐ上側ケース部と、
上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とするフォトマスク収納ケース。
上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とするフォトマスク収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、主に、液晶テレビや有機ＥＬテレビなどの画面を製作するために、「フォトリソグラフィ」転写技術によって電子部品の回路パターン等を被転写物に転写する際の原版（ガラス製フォトマスク）を収納するケースに関するものである。
【背景技術】
【0002】
（１．１．従来の収納ケースの説明）
【0003】
【0004】
該従来の収納ケース１は、例えば、図１４、図１５、図１６、図２１、図２２に示すように、ガラス製フォトマスク２を収納する、上面が開口した、合成樹脂製の矩形箱状の下側ケース部３と、該下側ケース部３の開口部を開閉自在に塞ぐ合成樹脂製の上側ケース部４とよりなる。
【0005】
また、上記収納ケース１を立てた時に、移動容易とするために、上記収納ケース１の下側の側壁部１ａには、キャスター等の移動手段１７が設けられる。
【0006】
また、上記下側ケース部３の上下左右の各側壁部３ｂと、上記上側ケース部４の上下左右の各側壁部４ｂとには、それぞれ対応する位置に、一方の連結固定部３ｃと他方の連結固定部４ｃとが設けられ、対応する各一方の連結固定部３ｃと他方の連結固定部４ｃとを連結することにより、上記下側ケース部３と上側ケース部４とが固定されるようになる。
【0007】
また、上記収納ケース１は、一般に、フォトマスクを収納する時は、傾斜させ、或いは、寝かせ、保管時、移動時は、立てて使用され、例えば、高さ約１０００ｍｍ、幅約１２００ｍｍ、厚さ約２５０ｍｍの大きさであり、例えば、高さ８００ｍｍ、幅９４５ｍｍ、厚さ８．０ｍｍや１０．０ｍｍの矩形状のガラス製フォトマスク２が収納される。
【0008】
（１．２．上側ケース部３の説明）
【0009】
【0010】
また、上記下側ケース部３の底板部３ａの上面の四隅には、収納されるフォトマスク２の各角部をそれぞれ載置すると共に位置決めするフォトマスク位置決め載置部５がそれぞれ固定されている。
【0011】
（１．２．１．位置決め載置部５の説明）
【0012】
該位置決め載置部５は、例えば、図１７及び図１８に示すように、上記底板部３ａの上面に固定された板体５ａと、該板体５ａの上面に立設して形成された、上記フォトマスク２の角部が当接するＬ字状の切欠き部などの角部位置決め部６を有する立設部５ｂと、上記板体５ａの上面に設けられた溝部５ｃと、上端が、上記板体５ａの上面により突出した状態で、上記溝部５ｃにはめ込まれる、例えば円形パイプ状の合成樹脂製のクッション部材５ｄとよりなる。
【0013】
なお、上記四隅の位置決め載置部５は、載置するフォトマスク２を載置しやすいように、上記位置決め載置部５のＬ字状の切欠き部などの角部位置決め部６と上記フォトマスク２との間には、若干の隙間が形成されるため、後述する下部支持載置部７と上部挟持部８とにより挟持し、上下方向の移動が規制し、また、後述する左側挟持部９と右側挟持部１０とにより挟持し、左右方向の移動が規制するようにする。
【0014】
なお、上記Ｌ字状の切欠き部６に、溝部５ｅを設け、該溝部５ｅに、上記クッション部材５ｄを嵌め込むようにしてもよい。
【0015】
（１．２．２．下側支持載置部７、上部挟持部８の説明）
【0016】
また、上記下側ケース部３の底板部３ａの上面の下部中央部（下部の左右方向における中央部）には、図１６に示すように、上記フォトマスク２の下辺を載置すると共に、上記収納ケース１を立てた時に、上記フォトマスク２の下辺を支持する下部支持載置部７が設けられ、また、上記底板部３ａの上面の上部中央部（上部の左右方向における中央部）には、上記下部支持載置部７とにより、上記フォトマスク２を上下方向において挟持し、上記フォトマスク２の上下方向の移動を規制する、上下方向に移動自在な上部挟持部８が設けられる。
【0017】
該支持載置部７は、例えば、上記底板部３ａの上面に固定された板体７ａと、該板体７ａの上面の下部に立設して形成された、上記フォトマスク２の下辺を支持する立設部７ｂと、上記板体７ａの上面に設けられた溝部７ｃと、上端が、上記板体７ａの上面より突出した状態で、上記溝部７ｃにはめ込まれる、例えば、円形パイプ状の合成樹脂製のクッション部材７ｄとよりなる。
【0018】
なお、上記立設部７ｂに、溝部を設け、該溝部に、クッション部材を嵌め込むようにしてもよい。
【0019】
また、上記上部挟持部８は、例えば、上記底板部３ａに対して上下方向に移動自在に設けられた矩形板体８ａと、該矩形板体８ａの左右側にそれぞれ設けられた上下方向に延びる長孔８ｂと、該長孔８ｂに挿入されると共に、上記底板部３ａのネジ孔（図示せず）に螺合される固定ボルト８ｃと、上記矩形板体８ａの下辺端面に、左右方向に設けた、上記フォトマスク２の上辺が嵌まり込む溝部８ｄとよりなる。
【0020】
そして、上記固定ボルト８ｃを緩め、上方に移動させた上記上部挟持部８を下方に移動させて、該挟持部８の溝部８ｄに上記フォトマスク２の上辺を挿入して、上記下部支持載置部７とにより挟持して、上記固定ボルト８ｃで固定し、上記フォトマスク２を上下方向において固定するようにする。
【0021】
なお、上記溝部８ｄに、フォトマスク用のクッション部材を嵌め込む溝部を設け、該溝部にクッション部材を設けるようにしてもよい。
【0022】
（１．２．３．左側挟持部９、右側挟持部１０の説明）
【0023】
また、上記下側ケース部３の底板部３ａの上面の左側中央部（左側の上下方向の中央部）と、右側中央部（右側の上下方向の中央部）には、図１６に示すように、上記フォトマスク２を左右方向において挟持して固定する、左右方向に移動自在な、左側挟持部９と、右側挟持部１０が設けられる。
【0024】
上記左側挟持部９は、例えば、上記底板部３ａに対して左右方向に移動自在に設けられた矩形板体９ａと、該矩形板体９ａの上下側にそれぞれ設けられた左右方向に形成された長孔９ｂと、該長孔９ｂに挿入されると共に、上記底板部３ａのネジ孔（図示せず）に螺合された固定ボルト９ｃと、上記矩形板体８ａの右側辺端面に、上下方向に設けた溝部９ｄとよりなる。
【0025】
また、上記右側挟持部１０は、例えば、上記底板部３ａに対して左右方向に移動自在に設けられた矩形板体１０ａと、該矩形板体１０ａの上下側にそれぞれ設けられた左右方向に形成された長孔１０ｂと、該長孔１０ｂに挿入されると共に、上記底板部３ａのネジ孔（図示せず）に螺合された固定ボルト１０ｃと、上記矩形板体１０ａの左側辺端面に、上下方向に設けた溝部１０ｄとよりなる。
【0026】
そして、左右の挟持部９、１０の上記各固定ボルト９ｃ、１０ｃを緩め、左側に移動させた上記左側挟持部９と、右側に移動させた上記右側挟持部１０とを互いに接近する方向に移動させて、上記各挟持部の溝部９ｄ、１０ｄに、上記フォトマスク２の左側辺と右側辺を挿入して挟持するようにし、上記各固定ボルト９ｃ、１０ｃで固定して、上記フォトマスク２を左右方向において固定するようにする。
【0027】
なお、上記溝部８ｄ、１０ｄに、フォトマスク用のクッション部材を嵌め込む溝部を設け、該溝部にクッション部材を設けるようにしてもよい。
【0028】
また、上記下側ケース部３の上記各側壁部３ｂの上端面外側には、図１９及び図２０に示すように、周方向に沿って形成された起立部を有する段差部１１が形成され、また、上記上端面内側には、周方向に沿って形成された溝部１２が設けられ、該溝部１２には、上端が、上記上端面より突出した状態で、上記溝部１２に嵌め込まれる、例えば、円形パイプ状の合成樹脂製のケース用のクッション部材１３が挿入される。
【0029】
また、上記上側ケース部４の下端面内側には、図２１に示すように、周方向に沿った起立部を有する段差部１４が形成され、上記段差部１４が、上記上側ケース部４の段差部１１の内側に嵌め込まれて、上記下側ケース部３が上側ケース部４により塞がれるようになり、また、上記上側ケース部４の各側壁部の平坦状の下端面が、上記クッション部材１３に密着し、気密性が保たれるようになる。
【0030】
（１．３．上側ケース部４の説明）
【0031】
また、上記上側ケース部４は、例えば、図２１に示すように、矩形板状の天井板部４ａと、該天井板部４ａの上下左右辺にそれぞれ貼り付けて設けられた、矩形板状の側壁部４ｂとよりなる。
【0032】
上記上側ケース部４の天井板部４ａの下面の四隅の、上記下側ケース部３の各位置決め載置部５に対応した位置には、該各位置決め載置部５とによりフォトマスク２を挟持する矩形板状の押え部１５が設けられる。
【0033】
また、上記押え部１５は、上記下側ケース部３の各クッション部材５ｄに対応した位置に、溝部１５ａを有し、該溝部１５ａには、上端が、上記押え部１５の面により突出した状態で、上記溝部１５ａにはめ込まれる、例えば、円形パイプ状の合成樹脂製のクッション部材１５ｂとよりなる。
【0034】
そして、上記フォトマスク２は、上記下側ケース部３に上記上側ケース部４で塞いだ時に、上記クッション部材５ｄと上記クッション部材１５ｂとにより挟持されて固定されるようになる。
【0035】
また、上記上側ケース部４の天井板部４ａの下面の、上記下側ケース部３の下部支持載置部７に対応した位置には、該下部支持載置部７とによりフォトマスク２を挟持する矩形板状の押え部１６が設けられる。
【0036】
上記押え部１６は、上記下側ケース部３のクッション部材７ｄに対応した位置に、溝部１６ａを有し、該溝部１６ａには、上端が、上記押え部１６の上面により突出した状態で、上記溝部１６ａにはめ込まれる、例えば、パイプ状の合成樹脂製のクッション部材１６ｂとよりなる。
【0037】
そして、上記フォトマスク２は、上記下側ケース部３に上記上側ケース部４で塞いだ時に、上記クッション部材７ｄと上記クッション部材１６ｂとにより挟持されて固定されるようになる。
【0038】
（１．４．従来の収納ケースの使用方法の説明）
【0039】
上記従来の収納ケース１においては、まず、上記各一方の連結固定部３ｃと上記各他方の連結固定部４ｃとの連結を解除して、上記下側ケース部３から、上記上側ケース部４を取り外し、そして、図２２に示すように、フォトマスク２を上記下側ケース部３の四隅の支持載置部５に載置し、そして、該フォトマスク２を、上記下部支持載置部７と上記上部挟持部８とにより挟持し、上下方向の移動を規制し、また、上記左側挟持部９と上記右側挟持部１０とにより挟持して、左右方向の移動を規制する。
【0040】
そして、上記下側ケース部３に、上記上側ケース部４で閉じ、上記各一方の連結固定部３ｃと上記各他方の連結固定部４ｃとを連結することにより、フォトマスク２は各クッション部材に挟持されて、固定されるようになる。
【0041】
そして、上記収納ケース部２を、下側側壁部を下側にして、立てて、上記キャスター１７により、移動できるようになる。
【0042】
例えば、従来のフォトマスク収納ケースとしては、例えば、特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0043】
【特許文献1】実用新案登録第３１７１６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0044】
（１．５．従来の収納ケースの課題）
【0045】
しかしながら、上記上側ケース部３及び上記下側ケース部４は、底板部３ａ及び天井板部４ａに、各側壁部３ｂ、４ｂが貼り合わされて形成されるため、製作に工数が必要であった、
【0046】
また、一般に、フォトマスクは、上下方向の長さが同じでも、幅方向の長さが異なる３種類のフォトマスクがあり、また、厚みも８．０ｍｍ～１０．０ｍｍまであり、従来においては、それぞれの大きさに対応する収納ケースが必要で、汎用性に欠けるという欠点があった。
【0047】
また、接着剤等をなるべく使用しないように形成された収納ケースにおいては、各クッション部材は、溝部に挿入されているだけなので、収納ケースに収納したフォトマスクを取り外す際に、フォトマスクにクッション部材にくっついてしまし、溝部から外れてしまうことがあった。
【0048】
また、上記上側ケース部３と下側ケース部４との製造誤差等により、上記上側ケース部の段差部と、下側ケース部の段差部とが嵌まりづらい場合があった。
【0049】
本発明は、上記の欠点を除くようにしたもので、異なるフォトマスクの大きさに対応でき、また、クッション部材が溝部から外れてしまうのを防ぎ、また、上側ケース部と、下側ケース部とを同じ金型で形成できるようにて、経済性を高めるようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【0050】
（本願発明の基本的構成）
本発明のフォトマスク収納ケースは、下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、該各位置決め載置部は、上記下側ケース部に対して所望の位置に固定されることを特徴とする。
本発明のフォトマスク収納ケースは、下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、該各位置決め載置部は、上記下側ケース部に対して所望の位置に固定されることを特徴とする。
【0051】
また、上記所望の位置は、該所望の位置に固定された位置決め載置部に載置されたフォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致することを特徴とする。
【0052】
また、上記各位置決め載置部の所望の位置は、３つの位置であり、上記位置決め載置部が該３つ位置のいずれかに固定されることを特徴とする。
【0053】
上記収納されるフォトマスクは、幅が９２０ｍｍ、９４５ｍｍ、９６０ｍｍの３種類であることを特徴とする。
【0054】
また、上記下側ケース部又は上側ケース部に形成された溝部に挿入される、フォトマスク用のクッション部材を更に有し、該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または封数の返し部とよりなることを特徴とする。
【0055】
また、上記頭部は、横幅より、高さが低く形成されパイプであることを特徴とする。
【0056】
また、上記フォトマスク用のクッション部材の頭部の上部の外表面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする。
【0057】
また、上記フォトマスク用のクッション部材の最下段の返し部の下面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする。
【0058】
また、上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とする。
【0059】
また、本発明のフォトマスク収納ケースのフォトマスク挟持用のクッション部材は、フォトマスクを収納する下側ケース部と上側ケース部とよりなるフォトマスク収納ケースに形成された溝部に挿入される、フォトマスク用のクッション部材からなり、該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または複数の返し部とよりなることを特徴とする。
【0060】
また、上記頭部は、横幅より、高さが低く形成されパイプであることを特徴とする。
【0061】
また、上記フォトマスク用のクッション部材の頭部の上部の外表面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする。
【0062】
また、上記フォトマスク用のクッション部材の最下段の返し部の下面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする。
【0063】
また、本発明のフォトマスク収納ケースは、上記下側ケース部と、下側ケース部を塞ぐ上側ケース部と、上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0064】
本発明によれば、フォトマスクの種類にかかわらず、収納ケースに収納することができ、また、収納されたフォトマスクの中心を、収納ケースの中心に位置させることができるようになる。
【0065】
また、収納ケースからフォトマスク２を取り出す際に、該フォトマスクにクッション部材がくっついて、溝部から外れることを防ぐことができるようになる。
【0066】
上下のケース部において、同じにすることができるので、上下のケース部を、同じ金型で形成できるようになり、経済性を高めることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0067】
【図1】本発明のフォトマスク収納ケースの平面図である。
【図2】本発明のフォトマスク収納ケースの側面図である。
【図3】本発明のフォトマスク収納ケースの下側ケース部の平面図である。
【図4】本発明のフォトマスク収納ケースの上側ケース部の底面図である。
【図5】本発明のフォトマスク収納ケースの位置決め載置部の斜視図である。
【図6】本発明のフォトマスク収納ケースの位置決め載置部の斜視図である。
【図7】本発明のフォトマスク収納ケースの、位置決め載置部を取り外した状態の下側ケース部の一部拡大平面図である。
【図8】本発明のフォトマスク収納ケースのクッション部材の斜視図である。
【図9】本発明のフォトマスク収納ケースのクッション部材の側面図である。
【図10】本発明のフォトマスク収納ケースの下側ケース部の一部拡大平面図である。
【図11】本発明のフォトマスク収納ケースのケース用クッション部材の斜視図である。
【図12】本発明のフォトマスク収納ケースのケース用クッション部材の縦断側面図である。
【図13】本発明のフォトマスク収納ケースの上側ケース部の一部拡大平面図である。
【図14】従来のフォトマスク収納ケースの平面図である。
【図15】従来のフォトマスク収納ケースの側面図である。
【図16】従来のフォトマスク収納ケースの下側ケース部の平面図である。
【図17】従来のフォトマスク収納ケースの位置決め載置部の斜視図である。
【図18】従来のフォトマスク収納ケースのクッション部材の斜視図である。
【図19】従来のフォトマスク収納ケースの下側ケース部の一部拡大斜視図である。
【図20】従来のフォトマスク収納ケースのケース用クッション部材の一部拡大斜視図である。
【図21】従来のフォトマスク収納ケースの上側ケース部の底面図である。
【図22】フォトマスクを載置した状態の、従来のフォトマスク収納ケースの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0068】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【0069】
なお、上記従来例と同じ部分には、同じ符号を付け、説明を省略する。
【実施例0070】
（２．本発明の説明）
【0071】
（２．１．ケースの一体成型の説明）
【0072】
【0073】
また、上記収納ケースは、例えば、帯電防止材を数％混入させた樹脂を用いるようにする。これにより、フォトマスクの静電破壊を防止し、ケース表裏面のゴミを除去しやすくし、また、特別な後工程なく成形を行うのみなので、安価に製造できるようになる。
【0074】
なお、２５は、気圧調整用のエアフィルタ付きの小窓である。
【0075】
（２．２．位置決め載置部１８の説明）
【0076】
また、本発明においては、従来の下側ケース部３に固定される位置決め載置部５を用いる代わりに、左右方向に移動自在に、例えば、３つの位置に固定できる、ＰＯＭ製樹脂（ポリアセタール製樹脂）からなる位置決め載置部１８を用い、該位置決め載置部１８により、幅方向が９２０ｍｍ、９４５ｍｍ、９６０ｍｍの３種類のフォトマスク２をそれぞれ収納できるようにする。
【0077】
即ち、上記位置決め載置部１８は、例えば、図５～図７に示すように、上記上側ケース部３の底板３ａに対して左右方向に移動自在に設けられた板体１８ａと、該板体１８ａの上面に立設して形成された、上記フォトマスク２の角部が当接するＬ字状の切欠き部などの角部位置決め部１９を有する立設部１８ｂと、上記板体１８ａの上面に設けられた溝部１８ｃと、上端が、上記板体１８ａの上面により突出した状態で、上記溝部１８ｃにはめ込まれる、例えば、パイプ状の合成樹脂製のフォトマスク用のクッション部材１８ｄと、上記板体１８ａの上下側にそれぞれ設けられた左右方向に延びる長孔１８ｅと、該長孔１８ｅに挿入されると共に、上記底板部３ａのネジ孔３ｄに螺号される固定ボルト１８ｆと、上記板体１８ａの下面に設けた、上記底板部３ａに形成された３つの凹部２０ａ、２０ｂ、２０ｃのいずれかに篏合する凸部２１とよりなる。
【0078】
そして、上記３種類のフォトマスク２の大きさに応じて、上記位置決め載置部１８の凸部２１を、いずれかの凹部２０に嵌め込むことにより、それぞれ対応したフォトマスク２を、位置決めできるようになる。
【0079】
なお、上記角部位置決め部１９に、溝部１８ｇを設け、該溝部１８ｇに、フォトマスク用のクッション部材１８ｄを嵌め込むようにしてもよい。
【0080】
なお、上記板体１８ａの下面に３つの凹部を形成し、上記底板に凸部を形成するようにしてもよい。
【0081】
また、上記左側の上下の位置決め載置部材１８と上記右側の上下の位置決め載置部材１８とによりフォトマスク２を位置決めする際、いずれの幅のフォトマスク２であっても、常に、収納したフォトマスク２の左右方向における中心線が、収納ケース１の左右方向における中心線など所望の位置に一致するように、フォトマスク２が収納されるように、上記底板部３ａの四隅に形成される３つの凹部２０ａ、２０ｂ、２０ｃの位置が設定されるようにする。
【0082】
即ち、左右における一番外側の凹部２０ａに、上記位置決め載置部１８の凸部２１を篏合した場合には、幅方向が一番大きい９６０ｍｍのフォトマスクを位置決めでき、また、左右における真ん中の凹２０ｂ部に、上記凸部２１を篏合した場合には、幅方向が中間の９４５ｍｍのフォトマスクを位置決めでき、また、左右における一番内側の凹部２０ｃに、上記凸部２１を篏合した場合には、幅方向が一番小さい９２０ｍｍのフォトマスクを位置決めでき、また、それぞれ載置したフォトマスクの左右方向における中心線が、例えば、収納ケースの左右方向の中心線に一致するようになるように、上記凹部２０及び凸部２１が形成されるようになる。
【0083】
なお、上記各凹部の位置が分かるように、底板部に３つの表示部２４ａ、２４ｂ、２４ｃをそれぞれ設けてもよい。
【0084】
（２．３．クッション部材の説明）
【0085】
また、本発明においては、従来用いていた円形パイプ状のフォトマスク用のクッション部材を用いる代わりに、例えば、図８及び図９に示すように、長手方向に延びる頭部２２ａと、該頭部２２ａの下部に設けた、長手方向に延びる板状の挿入片２２ｂと、該挿入片２２ｂの両面にそれぞれ設けた、上下方向に離間して複数設けた、上方に延びる片からなる返し部２２ｃとよりなるフォトマスク用クッション部材２２を用いても良い。
【0086】
また、上記頭部２２ａは、上記溝部１８ｃよりも大きく形成される。
【0087】
なお、上記頭部２２ａは、例えば、横幅より、高さが低く形成された、上面がなだらかな凸状に形成された扇形状のパイプよりなり、例えば、図９に示すように、上記溝部１８ｃの上端開口部よりも大きく形成された、水平板状の底板部２６と、該底板部２６の両側端からそれぞれ外側に傾斜して立ち上がる立上部２７と、該両立上部２７を連結する、上面がなだらかに凸状に湾曲した連結上部２８とによりなる。
【0088】
即ち、上記頭部２２ａを、横幅より、高さを高くしたかまぼこ状に形成した場合、高さがあるので、フォトマスクを押えるときに、かまぼこ状の頭部が倒れてしまい、フォトマスクをきちんと押さえることができなかったが、上記頭部２２ａを、横幅より、高さを低く形成した扇形状とすることにより、高さを低くすることができ、頭部の倒れを防止し、フォトマスクを押えることができるようになる。
【0089】
なお、上記頭部２２ａは、横幅より高さが低い、断面矩形状のパイプであってもよい。
【0090】
また、溝部に上記クッション部材２２を挿入する時に、上記挿入片２２ｂが折れ曲がり、挿入しづらくなることを防ぐために、上記挿入片２２ｂを、上記頭部２２ａや上記返し部２２ｃよりも固い材料とすることが好ましい。
【0091】
また、上記フォトマスク用クッション部材２２を、例えば、ＴＰＯ（オレフィン系エラストマー）基材を押出し成形により作成するときに、頭部２２ａの、フォトマスクに接する部分、例えば、上記連結上部２８と立上部２７の外側面に、表面に、無数の凹凸のある、上記ＴＰＯ基材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層を同時に一体成形するようにした、頭部２２ａの外表面に別素材の層を有するＴＰＯ製のフォトマスク用クッション部材としてもよい。
【0092】
なお、上記凹凸は、例えば、表面に対して、凹部の割合を１０％～５０％である。また、凹部の径は、例えば、数ｎｍ～数μｍまでの大きさがある。
【0093】
なお、可塑性の少ない上記ポリオレフィン系樹脂層は、弾力の確保のために、層の厚さを、例えば、０．０１ｍｍ以下とするのが好ましい。
【0094】
また、上記無数の凹凸のあるポリオレフィン系樹脂層は、例えば、低粘度で高流動性のポリオレフィン系樹脂をベース材料とし、このベース材料より高粘度で低流動性の粉末又は粒子からなるポリオレフィン系樹脂を混合した材料を、押し出し成形の後、上記樹脂層の表面のみに熱を加えて、溶融差により、凹凸を形成するようにする。
【0095】
そして、この無数の凹凸のある、可塑剤の割合が少ないポリオレフィン系樹脂層は、油分などの可塑剤の染み出しが少なく、フォトマスクへの油分などの可塑剤の付着を防ぎ、また、フォトマスクとの接触面積が少ないので、収納ケースに収納したフォトマスクを取り外す際に、クッション部材のくっつきを防止することができるようになる。
【0096】
また、最下段の上記返し部２２ｃの下面に、上記凹凸のある、上記ＴＰＯ基材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層を設け、溝部への挿入を容易にするようにしてもよい。
【0097】
そして、該クッション部材２２を、頭部２２ａが、溝部１８ｃが形成された面から突出した状態で、挿入し、上記返し部２２ｃにより、上記溝部にクッション部材を挿入しやすくなると共に、溝部から取り外しにくくなり、フォトマスクを取り出す際に、該フォトマスクにクッション部材がくっついて、溝部から外れることを防ぐことができるようになる。
【0098】
また、従来においては、単に円形パイプを溝部に挿入しているだけなので、溝からの突出量を確保できないので、異なる厚さのフォトマスクに対応できず、厚さ毎に、フォトマスク収納ケースを用意する必要があったが、本発明においては、頭部２２ａが溝部表面から突出しているので、溝からの突出量を確保でき、例えば、８．０ｍｍ～１０ｍｍまでの厚さの異なるフォトマスクの収納にも対応できるようになる。
【0099】
（２．４．上側ケース部と下側ケース部の説明）
【0100】
また、本発明においては、上記下側ケース部３の各側壁部３ｂの上端面に段差部１１を設けずに平坦面とし、そして、該上端面の中央に周方向に渡って延びる溝部３ｅを設ける。
【0101】
また、上記上側ケース部４の各側壁部４ｂの下端面に段差部１４を設けずに平坦面とし、そして、該下端面の中央に周方向に渡って延びる溝部４ｄを設ける。
【0102】
また、上記各溝部３ｅ、４ｄにそれぞれに、例えば、長手方向に沿って、上面が平坦面であり、これに対抗する下面が長手方向に延びる凸部２３ａが形成された、パイプ状からなる合成樹脂製の長尺状のケース用クッション部材２３を、面から突出した状態となるように、挿入するようにする。
【0103】
なお、例えば、下側ケース部の溝部３ｅには、上記クッション部材２３は、凸部側が挿入され、平坦面側が外面に突出するように挿入され、また、上側ケース部４の溝部４ｄには、凸部側が外面に突出するように挿入され、そして、下側ケース部３と上側ケース部４とを閉じた時に、クッション部材２３の平坦面の部分と、クッション部材２３の凸部とが当接するようにする。
【0104】
このようにすることにより、下側ケース部３と上側ケース部４との製造誤差があったとしても、従来のように段差部がないので、下側ケース部３と上側ケース部４とを閉じることができ、また、上下のクッション部材の当接により、密閉状態を維持することができるようになる。
【0105】
また、側壁部の端面形状を、上下のケース部において、同じにすることができるので、上下のケース部を、同じ金型で形成できるようになり、経済性を高めることができるようになる。
【0106】
（２．５．本発明のフォトマスク収納ケースの使用方法の説明）
【0107】
本発明においては、左右の位置決め用載置部１８を、収納するフォトマスクの大きさに応じて、上記表示部２４を目印として、下側ケース部３の所望の位置で固定し、フォトマスクを載置するようにする。
【0108】
これにより、フォトマスクの種類にかかわらず、収納ケースに収納することができ、また、収納されたフォトマスクの中心を、収納ケースの中心に位置させることができるようになる。
【符号の説明】
【0109】
１ フォトマスク収納ケース
１ａ 側壁部
２ フォトマスク
３ 下側ケース部
３ａ 底板部
３ｂ 側壁部
３ｃ 一方の連結固定部
３ｄ ネジ孔
３ｅ 溝部
４ 上側ケース部
４ａ 天井板部
４ｂ 側壁部
４ｃ 他方の連結固定部
４ｄ 溝部
５ 位置決め載置部
５ａ 板体
５ｂ 立設部
５ｃ 溝部
５ｄ クッション部材
５ｅ 溝部
６ 角部位置決め部
７ 下部支持載置部
７ａ 板体
７ｂ 立設部
７ｃ 溝部
７ｄ クッション部材
８ 上部挟持部
８ａ 矩形板体
８ｂ 長孔
８ｃ 固定ボルト
８ｄ 溝部
９ 左側挟持部
９ａ 矩形板体
９ｂ 長孔
９ｃ 固定ボルト
９ｄ 溝部
１０ 右側挟持部
１０ａ 矩形板体
１０ｂ 長孔
１０ｃ 固定ボルト
１０ｄ 溝部
１１ 段差部
１２ 溝部
１３ クッション部材
１４ 段差部
１５ 押え部
１５ａ 溝部
１５ｂ クッション部材
１６ 押え部
１６ａ 溝部
１６ｂ クッション部材
１７ 移動手段
１８ 位置決め載置部
１８ａ 板体
１８ｂ 立設部
１８ｃ 溝部
１８ｄ クッション部材
１８ｅ 長孔
１８ｆ 固定ボルト
１８ｇ 溝部
１９ 角部位置決め部
２０ 凹部
２１ 凸部
２２ クッション部材
２２ａ 頭部
２２ｂ 挿入片
２２ｃ 返し部
２３ クッション部材
２３ａ 凸部
２４ 表示部
２５ 小窓
２６ 底板部
２７ 立上部
２８ 連結上部
１ａ 側壁部
２ フォトマスク
３ 下側ケース部
３ａ 底板部
３ｂ 側壁部
３ｃ 一方の連結固定部
３ｄ ネジ孔
３ｅ 溝部
４ 上側ケース部
４ａ 天井板部
４ｂ 側壁部
４ｃ 他方の連結固定部
４ｄ 溝部
５ 位置決め載置部
５ａ 板体
５ｂ 立設部
５ｃ 溝部
５ｄ クッション部材
５ｅ 溝部
６ 角部位置決め部
７ 下部支持載置部
７ａ 板体
７ｂ 立設部
７ｃ 溝部
７ｄ クッション部材
８ 上部挟持部
８ａ 矩形板体
８ｂ 長孔
８ｃ 固定ボルト
８ｄ 溝部
９ 左側挟持部
９ａ 矩形板体
９ｂ 長孔
９ｃ 固定ボルト
９ｄ 溝部
１０ 右側挟持部
１０ａ 矩形板体
１０ｂ 長孔
１０ｃ 固定ボルト
１０ｄ 溝部
１１ 段差部
１２ 溝部
１３ クッション部材
１４ 段差部
１５ 押え部
１５ａ 溝部
１５ｂ クッション部材
１６ 押え部
１６ａ 溝部
１６ｂ クッション部材
１７ 移動手段
１８ 位置決め載置部
１８ａ 板体
１８ｂ 立設部
１８ｃ 溝部
１８ｄ クッション部材
１８ｅ 長孔
１８ｆ 固定ボルト
１８ｇ 溝部
１９ 角部位置決め部
２０ 凹部
２１ 凸部
２２ クッション部材
２２ａ 頭部
２２ｂ 挿入片
２２ｃ 返し部
２３ クッション部材
２３ａ 凸部
２４ 表示部
２５ 小窓
２６ 底板部
２７ 立上部
２８ 連結上部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【手続補正書】
【提出日】2022-12-16
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、
上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、
該各位置決め載置部は、載置される各フォトマスク毎に上記下側ケース部に対して所望の位置に固定され、
上記所望の位置は、該所望の位置に固定された位置決め載置部に載置された各フォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致することを特徴とするフォトマスク収納ケース。
上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、
該各位置決め載置部は、載置される各フォトマスク毎に上記下側ケース部に対して所望の位置に固定され、
上記所望の位置は、該所望の位置に固定された位置決め載置部に載置された各フォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致することを特徴とするフォトマスク収納ケース。
【請求項2】
上記各位置決め載置部の所望の位置は、３つの位置であり、上記位置決め載置部が該３つ位置のいずれかに固定されることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項3】
上記収納されるフォトマスクは、幅が９２０ｍｍ、９４５ｍｍ、９６０ｍｍの３種類であることを特徴とする請求項２に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項4】
上記下側ケース部又は上側ケース部に形成された溝部に挿入される、フォトマスク用のクッション部材を更に有し、
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または封数の返し部とよりなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載のフォトマスク収納ケース。
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または封数の返し部とよりなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項5】
上記頭部は、横幅より、高さが低く形成されパイプであることを特徴とする請求項４に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項6】
上記フォトマスク用のクッション部材の頭部の上部の外表面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項7】
上記フォトマスク用のクッション部材の最下段の返し部の下面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項４、５、または６に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項8】
上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とする請求項１乃至７に記載のフォトマスク収納ケース。
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とする請求項１乃至７に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項9】
フォトマスクを収納する下側ケース部と上側ケース部とよりなるフォトマスク収納ケースに形成された溝部に挿入される、フォトマスク用のクッション部材からなり、
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または複数の返し部とよりなることを特徴とするフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
該クッション部材は、上記溝部の上面開口部よりも大きい頭部と、該頭部の下部に設けた挿入片と、該挿入片に設けた、上方に延びる１または複数の返し部とよりなることを特徴とするフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項10】
上記頭部は、横幅より、高さが低く形成されパイプであることを特徴とする請求項９に記載のフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項11】
上記フォトマスク用のクッション部材の頭部の上部の外表面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項９または１０に記載のフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項12】
上記フォトマスク用のクッション部材の最下段の返し部の下面に、無数の凹凸のある、上記部材に含まれる可塑剤よりも少ない割合の可塑剤からなるポリオレフィン系樹脂層が形成されていることを特徴とする請求項９、１０、１１に記載のフォトマスク収納ケース用のフォトマスク挟持用クッション部材。
【請求項13】
上記下側ケース部と、下側ケース部を塞ぐ上側ケース部と、
上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とするフォトマスク収納ケース。
上記下側ケース部の側壁部の上端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される、長尺状のケース用のクッション部材と、
上記上側ケース部の側壁部の下端面に、周方向に形成した溝部と、
該溝部に挿入される長尺状のケース用のクッション部材とよりなり、
上記各クッション部材は、一方の外面及び、これに対向する他方の外面のいずれか一方が平坦面であり、他方が長手方向に延びる凸部に形成され、
上記各クッション部材は、上記下側ケース部の溝部に、上記クッション部材の一方の外面及び他方の外面のいずれか一方が挿入され、上記上側ケース部の溝部には、一方の外面及び他方の外面のいずれか他方が挿入され、上記下側ケース部に上記上側ケース部が塞がれた場合に、上記クッション部材の平坦面と、凸部とが当接するように構成されたことを特徴とするフォトマスク収納ケース。
【手続補正書】
【提出日】2023-04-20
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、
上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納される矩形状のフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、
該各位置決め載置部は、それぞれ、上記下側ケース部に対して、載置される各フォトマスクの幅の長さに応じて所望の位置に固定され、
該載置されるフォトマスクの幅の長さに応じた所望の位置は、いずれの幅のフォトマスクであっても、載置された各フォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致するように設定されることを特徴とするフォトマスク収納ケース。
上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納される矩形状のフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、
該各位置決め載置部は、それぞれ、上記下側ケース部に対して、載置される各フォトマスクの幅の長さに応じて所望の位置に固定され、
該載置されるフォトマスクの幅の長さに応じた所望の位置は、いずれの幅のフォトマスクであっても、載置された各フォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致するように設定されることを特徴とするフォトマスク収納ケース。
【請求項2】
上記下側ケース部の所望の位置は、該下側ケース部の左右方向における中心の位置であることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項3】
上記下側ケース部の底板部の上面に、複数の凹部を形成し、
上記位置決め載置部の下面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、
上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフォトマスク収納ケース。
上記位置決め載置部の下面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、
上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項4】
上記位置決め載置部の下面に、複数の凹部を形成し、
上記下側ケース部の底板部の上面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、
上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフォトマスク収納ケース。
上記下側ケース部の底板部の上面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、
上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項5】
上記底板部の上面に、上記凹部の位置の目印としての表示部を設けたことを特徴とする請求項３に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項6】
上記載置されるフォトマスクの幅の長さに応じた所望の位置は、３つであり、
上記位置決め載置部は、収納されるフォトマスクの幅の長さに応じて、該３つの位置のいずれかに固定されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載のフォトマスク収納ケース。
上記位置決め載置部は、収納されるフォトマスクの幅の長さに応じて、該３つの位置のいずれかに固定されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項7】
上記収納されるフォトマスクは、幅が９２０ｍｍ、９４５ｍｍ、９６０ｍｍの３種類であることを特徴とする請求項６に記載のフォトマスク収納ケース。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0050】
本発明のフォトマスク収納ケースは、下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、上記下側ケース部の底板部の上面の四隅に、それぞれ、収納されるフォトマスクの角部を載置すると共に位置決めする、左右方向に移動自在な位置決め載置部が設けられ、該各位置決め載置部は、それぞれ、上記下側ケース部に対して、載置される各フォトマスクの幅の長さに応じて所望の位置に固定され、該載置されるフォトマスクの幅の長さに応じた所望の位置は、いずれの幅のフォトマスクであっても、載置された各フォトマスクの左右方向における中心位置が、上記下側ケース部の所望の位置に一致するように設定されることを特徴とする。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0051】
また、上記下側ケース部の所望の位置は、該下側ケース部の左右方向における中心の位置であることを特徴とする。
また、上記下側ケース部の底板部の上面に、複数の凹部を形成し、上記位置決め載置部の下面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする。
また、上記位置決め載置部の下面に、複数の凹部を形成し、上記下側ケース部の底板部の上面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする。
また、上記底板部の上面に、上記凹部の位置の目印としての表示部を設けたことを特徴とする。
また、上記下側ケース部の底板部の上面に、複数の凹部を形成し、上記位置決め載置部の下面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする。
また、上記位置決め載置部の下面に、複数の凹部を形成し、上記下側ケース部の底板部の上面に、上記各凹部に嵌め込み可能な凸部を設け、上記凸部を、上記いずれかの凹部に嵌め込むことにより、上記各位置決め載置部が、上記下側ケース部に固定されることを特徴とする。
また、上記底板部の上面に、上記凹部の位置の目印としての表示部を設けたことを特徴とする。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0052】
また、上記載置されるフォトマスクの幅の長さに応じた所望の位置は、３つであり、上記位置決め載置部は、収納されるフォトマスクの幅の長さに応じて、該３つの位置のいずれかに固定されることを特徴とする。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0053】
また、上記収納されるフォトマスクは、幅が９２０ｍｍ、９４５ｍｍ、９６０ｍｍの３種類であることを特徴とする。