特開 2023-12205 弁駆動装置のステムブッシュの摩耗計測装置及び摩耗計測方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023012205

(43)【公開日】2023-01-25

(54)【発明の名称】弁駆動装置のステムブッシュの摩耗計測装置及び摩耗計測方法

(51)【国際特許分類】

   F16K 51/00 20060101AFI20230118BHJP

   G01N 3/56 20060101ALI20230118BHJP

   G01M 13/003 20190101ALI20230118BHJP

   F16K 31/04 20060101ALN20230118BHJP

【ＦＩ】

F16K51/00 F

G01N3/56 K

G01M13/003

F16K31/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021115711

(22)【出願日】2021-07-13

(71)【出願人】

【識別番号】000196705

【氏名又は名称】西部電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090697

【弁理士】

【氏名又は名称】中前 富士男

(74)【代理人】

【識別番号】100176142

【弁理士】

【氏名又は名称】清井 洋平

(72)【発明者】

【氏名】森 正和

(72)【発明者】

【氏名】丸山 武志

(72)【発明者】

【氏名】岡 俊樹

(72)【発明者】

【氏名】森 真幸

(72)【発明者】

【氏名】河野 友輝

【テーマコード（参考）】

2G024

3H062

3H066

【Ｆターム（参考）】

2G024AA15

2G024BA21

2G024CA06

2G024DA03

3H062AA02

3H062BB33

3H062CC01

3H062EE06

3H066AA01

3H066BA38

(57)【要約】

【課題】弁駆動装置の機種ごとに特殊な治具を用いることなくステムブッシュの摩耗量を計測可能な摩耗計測装置及び摩耗計測方法を提供する。
【解決手段】ステム１１に螺合したステムブッシュ１２をモータ１３の作動により回転させて、弁体１４をステム１１と共にステム１１の軸方向に移動させる弁駆動装置１５のステムブッシュ１２の摩耗量を計測する摩耗計測装置１０において、モータ１３の作動を検出するモータ作動検出手段２７と、ステム１１及び弁体１４を具備する進退部材２６のステム１１の軸方向の移動を検出する進退検出手段２８と、モータ作動検出手段２７及び進退検出手段２８からそれぞれ検出データを得て、モータ１３の作動開始から進退部材２６が移動し始めるまでの移動前時間を基にステムブッシュ１２の摩耗量を求める摩耗量演算手段３０とを備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ステムに螺合したステムブッシュをモータの作動により回転させて、弁体を該ステムと共に該ステムの軸方向に移動させる弁駆動装置の該ステムブッシュの摩耗量を計測する摩耗計測装置において、
前記モータの作動を検出するモータ作動検出手段と、
前記ステム及び前記弁体を具備する進退部材の該ステムの軸方向の移動を検出する進退検出手段と、
前記モータ作動検出手段及び前記進退検出手段からそれぞれ検出データを得て、前記モータの作動開始から前記進退部材が移動し始めるまでの移動前時間を基に前記ステムブッシュの摩耗量を求める摩耗量演算手段とを備えることを特徴とする摩耗計測装置。

【請求項2】

請求項１記載の摩耗計測装置において、前記進退検出手段が取り付けられたセンサ支持機構を更に備え、該センサ支持機構は、前記ステムブッシュを収容する前記弁駆動装置のケーシングに固定されて、前記進退検出手段を前記ステムの移動を検出可能な位置に配することを特徴とする摩耗計測装置。

【請求項3】

請求項１又は２記載の摩耗計測装置において、前記摩耗量演算手段は、前記弁駆動装置の各構成品の設計値から予め導出された、前記移動前時間と前記ステムブッシュの摩耗量の関係式を用いて、該ステムブッシュの摩耗量を求めることを特徴とする摩耗計測装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載の摩耗計測装置において、前記モータ作動検出手段は、前記モータに通電される電流を計測して前記モータの作動を検出することを特徴とする摩耗計測装置。

【請求項5】

ステムに螺合したステムブッシュをモータの作動により回転させて、弁体を該ステムと共に該ステムの軸方向に移動させる弁駆動装置の該ステムブッシュの摩耗量を計測する摩耗量計測方法において、
前記モータの作動の検出、並びに、前記ステム及び前記弁体を具備する進退部材の該ステムの軸方向の移動の検出を行うステップと、
前記モータの作動開始から前記進退部材が移動し始めるまでの移動前時間を導出するステップと、
前記移動前時間を基に前記ステムブッシュの摩耗量を求めるステップとを有することを特徴とする摩耗計測方法。

【請求項6】

請求項５記載の摩耗計測方法において、前記ステムブッシュを収容する前記弁駆動装置のケーシングからスピンドルカバーを取り外し、該ケーシングの該スピンドルカバーを取り外した箇所に、前記進退検出手段が取り付けられたセンサ支持機構を固定するステップを更に有することを特徴とする摩耗計測方法。

【請求項7】

請求項５又は６記載の摩耗計測方法において、前記弁駆動装置の各構成品の設計値から予め導出した、前記移動前時間と前記ステムブッシュの摩耗量の関係式を用いて、該ステムブッシュの摩耗量を求めることを特徴とする摩耗計測方法。

【請求項8】

請求項５～７のいずれか１項に記載の摩耗計測方法において、前記モータの作動を、該モータに通電される電流の計測によって検出することを特徴とする摩耗計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弁駆動装置が具備するステムブッシュの摩耗計測装置及び摩耗計測方法に関する。

【背景技術】

【0002】

仕切り弁や球型弁等の弁体がステムと共に進退する弁駆動装置は、ステムに噛み合ったステムブッシュがモータの回転力を与えられ回転して、ステム及び弁体を進退させる。ステムがステンレス鋼等の硬質金属により形成されるのに対し、ステムブッシュは真鍮等の軟質金属により形成されることから、摩耗は実質的にステムではなくステムブッシュに生じる。ステムブッシュの摩耗が進むと、ステムブッシュからステムが脱落する等の問題が招来するため、ステムブッシュの摩耗量は定期的に計測される。

【0003】

ステムブッシュの摩耗量の計測には、螺子ゲージを用いる方法がある。螺子ゲージは、ステムブッシュに対応した設計になっている必要があり、ステムブッシュの機種（規格）ごとに対応する螺子ゲージを用意しなければならない。
螺子ゲージを用いない方法として、特許文献１には、ステムブッシュ（ステムナット）と共に回転するドライブスリーブの回転角度、ドライブスリーブの軸方向のガタ成分、及び、ステムの動きだしをそれぞれ検出して、ステムブッシュの摩耗量を検出する方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０－２６１５８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に開示された方法は、ドライブスリーブの軸方向のガタ成分の検出のために螺旋状の特殊な治具を必要とし、しかも、その治具を弁駆動装置の機種ごとに設計しなければならないという問題がある。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、弁駆動装置の機種ごとに特殊な治具を用いることなくステムブッシュの摩耗量を計測可能な摩耗計測装置及び摩耗計測方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的に沿う第１の発明に係る摩耗計測装置は、ステムに螺合したステムブッシュをモータの作動により回転させて、弁体を該ステムと共に該ステムの軸方向に移動させる弁駆動装置の該ステムブッシュの摩耗量を計測する摩耗計測装置において、前記モータの作動を検出するモータ作動検出手段と、前記ステム及び前記弁体を具備する進退部材の該ステムの軸方向の移動を検出する進退検出手段と、前記モータ作動検出手段及び前記進退検出手段からそれぞれ検出データを得て、前記モータの作動開始から前記進退部材が移動し始めるまでの移動前時間を基に前記ステムブッシュの摩耗量を求める摩耗量演算手段とを備える。

【0007】

前記目的に沿う第２の発明に係る摩耗計測方法は、ステムに螺合したステムブッシュをモータの作動により回転させて、弁体を該ステムと共に該ステムの軸方向に移動させる弁駆動装置の該ステムブッシュの摩耗量を計測する摩耗量計測方法において、前記モータの作動の検出、並びに、前記ステム及び前記弁体を具備する進退部材の該ステムの軸方向の移動の検出を行うステップと、前記モータの作動開始から前記進退部材が移動し始めるまでの移動前時間を導出するステップと、前記移動前時間を基に前記ステムブッシュの摩耗量を求めるステップとを有する。

【発明の効果】

【0008】

第１の発明に係る摩耗計測装置及び第２の発明に係る摩耗計測方法は、モータの作動の検出、並びに、ステム及び弁体を具備する進退部材のステムの軸方向の移動の検出を行い、モータの作動開始から進退部材が移動し始めるまでの移動前時間を基にステムブッシュの摩耗量を求めるので、ドライブスリーブの軸方向のガタ成分の検出、即ち、弁駆動装置の機種ごとに設計される特殊な治具を用いた検出を行うことなくステムブッシュの摩耗量を計測可能である。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施の形態に係る摩耗計測装置が使用される弁駆動装置の説明図である。

【図2】同摩耗計測装置の一部省略説明図である。

【図3】同摩耗計測装置の一部省略説明図である。

【図4】モータ電流、移動前時間、及び、ステムブッシュの摩耗の関係を示す説明図である。

【図5】摩耗量導出用の一次関数の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２、図３に示すように、本発明の一実施の形態に係る摩耗計測装置１０は、ステム１１に螺合したステムブッシュ１２をモータ１３の作動により回転させて、弁体１４をステム１１と共にステム１１の軸方向（軸心方向）に移動させる弁駆動装置１５のステムブッシュ１２の摩耗量を計測する装置である。以下、詳細に説明する。

【0011】

摩耗計測装置１０によってステムブッシュ１２の摩耗量が計測される弁駆動装置１５は、図１に示すように、ケーシング１６を有し、ケーシング１６に、ウォーム１７と、ウォーム１７に噛み合ったウォームホイル１８と、ウォームホイル１８が取り付けられた筒状のスリーブ１９と、スリーブ１９内に固定されたステムブッシュ１２が収容されている。

【0012】

ステムブッシュ１２は、円筒状の部材であり、内側に雌螺子構造が形成され、軸心を中心に回転する。棒状のステム１１は、雄螺子領域を具備し、ステムブッシュ１２の軸心と軸心が一致した状態で、雄螺子領域がステムブッシュ１２の雌螺子構造に噛み合って、鉛直に配置されている。ケーシング１６には、ステム１１が挿通した貫通孔２０が下部（一側）に形成され、上部（他側）にスピンドルカバー２１によって閉じられた貫通孔２２が形成されている。ステム１１の上端部は貫通孔２２より低い位置にあって、貫通孔２２はステム１１の延長線上に設けられている。

【0013】

スピンドルカバー２１は、スピンドルカバー２１を貫通した状態でケーシング１６の貫通孔２２の周囲に形成された複数の螺子穴２３に先端部がそれぞれ螺合した複数の螺子部材２４によって、ケーシング１６の上部に固定されている。
本実施の形態では、貫通孔２２が、図１、図３に示すように、円形であり、ケーシング１６には、貫通孔２２の外側の０°位置、９０°位置、１８０°位置、２７０°位置にそれぞれ螺子穴２３が形成され、螺子部材２４は４本である。

【0014】

弁駆動装置１５は、図２に示すように、外部電源２５からの通電により作動するモータ１３、及び、ギア等によって構成され、モータ１３の回転力をウォーム１７に伝える図示しない動力伝達機構を更に有している。モータ１３の回転力がウォーム１７に伝えられることによって、ウォームホイル１８、スリーブ１９及びステムブッシュ１２が一体的に回転し、ステム１１の下端部（一端部）に連結された弁体１４及びステム１１は昇降（ステム１１の軸方向に移動）する。
本実施の形態では、ステムブッシュ１２が真鍮を素材として形成され、ステム１１がステンレス鋼によって形成され、また、ステムブッシュ１２の回転に伴ってステム１１の軸方向に進退する進退部材２６が、ステム１１及び弁体１４等を具備して構成されている。

【0015】

摩耗計測装置１０は、図２、図３に示すように、モータ１３の作動を検出するモータ作動検出手段２７と、進退部材２６（本実施の形態では、ステム１１）の昇降を検出する進退検出手段２８と、進退検出手段２８を支持するセンサ支持機構２９と、モータ作動検出手段２７及び進退検出手段２８からそれぞれ検出データを得て、ステムブッシュ１２の摩耗量を求める摩耗量演算手段３０を備えている。

【0016】

本実施の形態において、モータ作動検出手段２７は、図２に示すように、外部電源２５とモータ１３を接続する電源供給回路３１を流れる電流の値を計測するクランプメータである。モータ１３は、図４に示すように、モータ１３への通電の開始により（モータ１３の電流の立ち上がり時に）作動を開始する。モータ作動検出手段２７は、モータ１３に通電される電流を計測してモータ１３の作動を検出する。なお、モータ１３の代わりに、通電される電流値が所定値に達した時点で作動を開始するモータを採用する場合、モータ作動検出手段２７は、当該電流値が所定値に達した時点を、モータ１３作動開始時として検出するように設定される。

【0017】

進退検出手段２８は、図２、図３に示すように、計測対象物までの距離を計測する非接触式のセンサであり、例えば、レーザ変位センサを進退検出手段２８として採用可能である。
センサ支持機構２９は、図３に示すように、摩耗計測装置１０によりステムブッシュ１２の摩耗量を計測する際に、対象となる弁駆動装置１５のケーシング１６に取り付けら（固定さ）れて、進退検出手段２８をステム１１の軸方向の移動を検出可能な位置に配置する。

【0018】

センサ支持機構２９は、ケーシング１６に固定されるベース部材３２及びベース部材３２に蝶ボルト３３によって固定されるアーム部材３４を有している。ベース部材３２は、長尺の金属板の一側端部が直角に折り曲げられて形成され、その折り曲げられた一側端部には長孔３５が設けられ、一側端部を除く長尺領域には長手方向に長い長孔３６が設けられている。

【0019】

アーム部材３４は、Ｌ字状の金属板の一側端部が直角に折り曲げられて形成され、その折り曲げられた一側端部が進退検出手段２８を支持する保持部３７として機能し、一側端部を除く長尺領域には長手方向に長い長孔３８が形成されている。アーム部材３４は、長孔３６、３８を貫通した蝶ボルト３３に図示しないナットが装着されて、ベース部材３２に取り付けられている。ベース部材３２に取り付けられたアーム部材３４は、長尺領域がベース部材３２の長尺領域に対して垂直となるように配される。

【0020】

アーム部材３４が取り付けられたベース部材３２をケーシング１６に固定するにあたり、まず、ケーシング１６からスピンドルカバー２１が取り外される。ベース部材３２は、長孔３５を貫通した蝶ボルト３９の先端部が、スピンドルカバー２１が取り外されたケーシング１６の０°位置に形成された螺子穴２３に螺合されることによって、立設状態でケーシング１６に固定される。アーム部材３４は、ベース部材３２がケーシング１６に固定されることによって水平となる。

【0021】

アーム部材３４の高さ位置が、ベース部材３２の長孔３６に対する蝶ボルト３３の位置を変えることにより調整されて、進退検出手段２８は所定の高さ位置に配される。ベース部材３２に対するアーム部材３４の水平位置が、アーム部材３４の長孔３８に対する蝶ボルト３３の位置を変えることにより調整されて、進退検出手段２８は貫通孔２２の中心の真上（ステム１１の真上でもある）に配される。

【0022】

摩耗計測装置１０は、図２、図３に示すように、長尺の金属板の両側端部にそれぞれ長孔４０、４１が形成され、中央に貫通孔４２が形成されたベース台４３と、ベース台４３に固定された逆Ｕ字状のガイド部材４４と、貫通孔４２及びガイド部材４４に形成された貫通孔４５を挿通した状態でベース台４３及びガイド部材４４に進退自在に取り付けられるロッド４６とを更に具備している。

【0023】

ベース台４３は、長孔４０を貫通した蝶ボルト４７の先端部がケーシング１６の９０°位置に形成された螺子穴２３に螺合され、長孔４１を貫通した蝶ボルト４８の先端部がケーシング１６の２７０°位置に形成された螺子穴２３に螺合されることによって、貫通孔２２の径方向に配された状態でケーシング１６に固定される。ベース台４３は、長孔４０、４１がベース台４３の長手方向に長く、９０°位置に形成された螺子穴及び２７０°位置に形成された螺子穴の距離がケーシング１６とは異なるケーシングに対しても固定可能な設計となっている。

【0024】

蝶ボルト４７の長孔４０の貫通位置及び蝶ボルト４８の長孔４１の貫通位置は、貫通孔４２、４５が貫通孔２２の中心の真上に配されるように調整され、これにより、ベース台４３及びガイド部材４４に取り付けられたロッド４６は、下端部（一端部）がステム１１の上端部（他端部）に接して、ステム１１と共に昇降（ステム１１の軸方向に進退）するように配置される。

【0025】

また、ロッド４６の上端部（他端部）には、進退検出手段２８の直下に配される円盤状の受台４９が連結されている。進退検出手段２８は、直接的な計測対象が受台４９であり、受台４９に対してレーザを照射して受台４９の変位を計測し、計測した受台４９の変位から進退部材２６の移動を検出する。なお、進退検出手段２８の代わりに、受台４９に接触して受台４９の変位を計測する接触式のリニアセンサを進退検出手段として採用してもよい。

【0026】

ベース台４３、ガイド部材４４、ロッド４６及び受台４９は必ずしも必要ではない。例えば、ステムの上端部がケーシングの上部に形成された貫通孔より上方に突出している弁駆動装置に対しては、ベース台４３、ガイド部材４４、ロッド４６及び受台４９を使用せず、進退検出手段２８の直接的な計測対象をステムの上端部とすればよい。

【0027】

摩耗量演算手段３０は、ＣＰＵ及びメモリを有して構成することができ、図２に示すように、モータ作動検出手段２７及び進退検出手段２８に接続されている。
ここで、モータ１３からモータ１３の回転力がステム１１まで伝わる経路上に設けられたギア等の部材にはバックラッシュがあることから、図４に示すように、モータ１３が作動を開始してからステム１１（進退部材２６）が移動を開始するまでにはタイムラグがある。以下、モータ１３の作動開始から進退部材２６が移動し始めるまでの時間（時間長）を、「移動前時間」と言う。

【0028】

移動前時間は、弁駆動装置１５の使用によるステムブッシュ１２の雌螺子構造の螺子山の摩耗（以下、単に「ステムブッシュ１２の摩耗」とも言う）が進むほど長くなる。即ち、移動前時間はステムブッシュ１２の摩耗量に応じた長さとなる。そのため、未使用（新品）の弁駆動装置１５の移動前時間に対する弁駆動装置１５の使用により長くなった移動前時間の差分（以下、この差分を「使用による延長時間」とも言う）は、ステムブッシュ１２の摩耗量の増加に伴い長くなる。よって、使用による延長時間を基にして、ステムブッシュ１２の摩耗量を導出可能である。

【0029】

本実施の形態では、未使用（新品）の弁駆動装置１５の移動前時間、ステム１１の雄螺子領域の螺子山のピッチ、及び、モータ１３作動時のステムブッシュ１２の回転数（回転速度）等から、図５に示すように、使用による延長時間の計測値を基にしてステムブッシュ１２の摩耗量を算出できる一次関数（移動前時間とステムブッシュ１２の摩耗量の関係式の一例）を予め導出し、この一次関数を摩耗量演算手段３０に記憶させている。以下、当該一次関数を、「摩耗量導出用の一次関数」とも言う。

【0030】

弁駆動装置の機種ごとにユニークな摩耗量導出用の一次関数が存在する。摩耗量演算手段３０には、複数の弁駆動装置の機種にそれぞれ対応する複数の摩耗量導出用の一次関数が記憶されている。利用者は、摩耗計測装置１０の設定時に、ステムブッシュの摩耗を計測する弁駆動装置に対応した摩耗量導出用の一次関数を、摩耗量演算手段３０に接続された図示しない入力デバイスの操作により選択する。

【0031】

摩耗量演算手段３０は、モータ作動検出手段２７及び進退検出手段２８からそれぞれ検出データを得て、選択された摩耗量導出用の一次関数を用いて、移動前時間を基にステムブッシュ１２の摩耗量を求める。よって、摩耗量演算手段３０は、弁駆動装置１５の各構成品の設計値から予め導出された、移動前時間とステムブッシュ１２の摩耗量の関係式を用いて、ステムブッシュ１２の摩耗量を求めることとなる。なお、移動前時間とステムブッシュ１２の摩耗量の関係式は、一定期間使用した摩耗計測装置１０についてステムブッシュ１２の摩耗量と移動前時間とを実測して導出することもできる。

【0032】

次に、摩耗計測装置１０による使用中の弁駆動装置１５を対象としたステムブッシュ１２の摩耗量を計測する摩耗量計測方法について説明する。
まず、ケーシング１６からスピンドルカバー２１を取り外し、ケーシング１６のスピンドルカバー２１を取り外した箇所に、センサ支持機構２９及びベース台４３を固定するステップから始められる。

【0033】

そして、ベース台４３及びベース台４３に固定されたガイド部材４４に、受台４９が連結されたロッド４６を下端部がステム１１の上端部に接するように取り付け、受台４９の真上に進退検出手段２８が配されるようにセンサ支持機構２９を調整する。
次に、モータ１３を正転させて受台４９（進退部材２６）の移動（本実施の形態では、受台４９が進退検出手段２８から離れる向きの移動）を確認した後、モータ１３への通電を一旦止める。その後、モータ１３への通電を開始してモータ１３を逆転させ、モータ作動検出手段２７によるモータ１３の作動の検出、並びに、進退部材２６の昇降（本実施の形態では、上昇）の検出を行うステップとなる。なお、図１の拡大図には、進退部材２６が上昇する際のステム１１及びステムブッシュ１２の様子（ステム１１の螺子山の下側がステムブッシュ１２の螺子山の上側に接触している様子）が記載されている。

【0034】

本実施の形態では、モータ１３の作動を、モータ１３に通電される電流の計測によって検出しているが、これには限定されない。例えば、モータ１３に印加される電圧の計測により、モータ１３の作動を検出するようにしてもよい。
そして、モータ１３の逆転の作動開始から進退部材２６が移動し始めるまでの移動前時間を摩耗量演算手段３０が導出するステップと、摩耗量演算手段３０により移動前時間を基にステムブッシュ１２の摩耗量を導出するステップとが順に続く。

【0035】

ここで、本実施の形態におけるステムブッシュ１２の摩耗量の導出は、ステムブッシュ１２以外の部材に摩耗がないことを前提としている。この点、摩耗したステムブッシュ１２の摩耗量を対象に、当該摩耗量を実測した値と、本実施の形態の摩耗量計測方法により導出した摩耗量とを比較する実験を行い、双方の摩耗量が等しくなることを確認している。これは、ステムブッシュ１２以外の部材の摩耗量が、ステムブッシュ１２の摩耗量に対して極めて少ないこと、モータ１３からステムブッシュ１２に至るまでの減速比が大きく（例えば、１００倍）、ステムブッシュ１２の摩耗量の計測に対して、ステムブッシュ１２以外の部材の摩耗量の影響が小さいことが考えられる。

【0036】

また、本実施の形態では、摩耗の無いステムブッシュ１２の摩耗量を０％、螺子山が完全に消失したステムブッシュ１２の摩耗量を１００％として、ステムブッシュ１２の摩耗量５０％を、使用中のステムブッシュ１２を新たなステムブッシュ１２に替える値としている。このようにステムブッシュ１２の摩耗量を計測して、ステムブッシュ１２の交換を行うような運用によって、予め定めた周期ごとにメンテナンスを行うＴＢＭ（Ｔｉｍｅ Ｂａｓｅｄ Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）ではなく、設備状態に基づきメンテナンスを行うＣＢＭ（Ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ Ｂａｓｅｄ Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）を実施することができる。

【0037】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、弁駆動装置のケーシングに固定されるセンサ支持機構を用いる代わりに、弁駆動装置のケーシング以外の部材に固定されるセンサ支持機構を用いることができる。
また、進退検出手段により弁体の軸方向の移動を検出するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0038】

１０：摩耗計測装置、１１：ステム、１２：ステムブッシュ、１３：モータ、１４：弁体、１５：弁駆動装置、１６：ケーシング、１７：ウォーム、１８：ウォームホイル、１９：スリーブ、２０：貫通孔、２１：スピンドルカバー、２２：貫通孔、２３：螺子穴、２４：螺子部材、２５：外部電源、２６：進退部材、２７：モータ作動検出手段、２８：進退検出手段、２９：センサ支持機構、３０：摩耗量演算手段、３１：電源供給回路、３２：ベース部材、３３：蝶ボルト、３４：アーム部材、３５、３６：長孔、３７：保持部、３８：長孔、３９：蝶ボルト、４０、４１：長孔、４２：貫通孔、４３：ベース台、４４：ガイド部材、４５：貫通孔、４６：ロッド、４７、４８：蝶ボルト、４９：受台

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】