(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023122541
(43)【公開日】2023-09-01
(54)【発明の名称】接着剤塗布システムおよび方法
(51)【国際特許分類】
B05C 11/00 20060101AFI20230825BHJP
B05D 7/24 20060101ALI20230825BHJP
B05D 1/26 20060101ALI20230825BHJP
B05D 3/00 20060101ALI20230825BHJP
B05C 11/10 20060101ALI20230825BHJP
B05C 13/02 20060101ALI20230825BHJP
B05C 5/00 20060101ALI20230825BHJP
B05B 12/00 20180101ALN20230825BHJP
【ＦＩ】
B05C11/00
B05D7/24 301P
B05D1/26 Z
B05D3/00 D
B05C11/10
B05C13/02
B05C5/00 101
B05B12/00 A
【審査請求】有
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022211729
(22)【出願日】2022-12-28
(31)【優先権主張番号】10-2022-0023038
(32)【優先日】2022-02-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】520236767
【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110001519
【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】チュン、ピョン ホ
(72)【発明者】
【氏名】チェ、ヒョン オク
(72)【発明者】
【氏名】パク、チュン スン
(72)【発明者】
【氏名】カン、ホン ク
【テーマコード（参考）】
4D075
4F035
4F041
4F042
【Ｆターム（参考）】
4D075AC06
4D075AC88
4D075AC93
4D075CA47
4D075DA06
4D075DC11
4D075DC18
4D075DC22
4D075EA35
4D075EB33
4F035AA03
4F035BA22
4F035BB02
4F035BC02
4F041AA05
4F041AA06
4F041AB01
4F041BA04
4F041BA22
4F041BA38
4F042AA06
4F042AA07
4F042BA08
4F042BA12
4F042DF05
4F042DF09
4F042DF15
4F042DH09
(57)【要約】
【課題】本発明は、基板の定められた領域に接着剤を迅速に塗布できるようにする接着剤塗布システムおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明の接着剤塗布システムは、基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；および前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置を含み、前記カメラ装置は、前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように前記第１領域を撮影することができる。
【選択図】図１
【解決手段】本発明の接着剤塗布システムは、基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；および前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置を含み、前記カメラ装置は、前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように前記第１領域を撮影することができる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；および
前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置；
を含み、
前記カメラ装置は、
前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように前記第１領域を撮影する、接着剤塗布システム。
前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置；
を含み、
前記カメラ装置は、
前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように前記第１領域を撮影する、接着剤塗布システム。
【請求項2】
前記カメラ装置は、
カメラが前記接着剤塗布装置から自由に独立に動く、請求項１に記載の接着剤塗布システム。
カメラが前記接着剤塗布装置から自由に独立に動く、請求項１に記載の接着剤塗布システム。
【請求項3】
前記基板が載置される基板載置装置をさらに含み、
前記基板載置装置は、
前記基板を支持する基板支持台；および
前記基板支持台をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置；
を含む、請求項２に記載の接着剤塗布システム。
前記基板載置装置は、
前記基板を支持する基板支持台；および
前記基板支持台をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置；
を含む、請求項２に記載の接着剤塗布システム。
【請求項4】
前記カメラ装置は、
前記第１領域を撮影できるように前記第１領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ；および
前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第１領域～第ｎ領域（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置；
を含む、請求項３に記載の接着剤塗布システム。
前記第１領域を撮影できるように前記第１領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ；および
前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第１領域～第ｎ領域（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置；
を含む、請求項３に記載の接着剤塗布システム。
【請求項5】
前記カメラ移動装置は、
前記カメラが設けられるカメラヘッド；および
Ｙ軸ガイドレールまたはＹ軸ガイド棒に沿って前記カメラヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸アクチュエータ；
を含む、請求項４に記載の接着剤塗布システム。
前記カメラが設けられるカメラヘッド；および
Ｙ軸ガイドレールまたはＹ軸ガイド棒に沿って前記カメラヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸アクチュエータ；
を含む、請求項４に記載の接着剤塗布システム。
【請求項6】
前記接着剤塗布装置は、
前記第１領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル；および
前記接着剤ノズルをＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット；
を含む、請求項４に記載の接着剤塗布システム。
前記第１領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル；および
前記接着剤ノズルをＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット；
を含む、請求項４に記載の接着剤塗布システム。
【請求項7】
前記接着剤ノズルの吐出口は、前記撮影軸線上に位置できるものであり、
前記ノズル移送ロボットは、前記カメラと前記接着剤ノズルが互いに干渉するのを防止できるように、前記カメラの撮影時に前記接着剤ノズルが前記撮影軸からずれるように、前記接着剤ノズルを移送する、請求項６に記載の接着剤塗布システム。
前記ノズル移送ロボットは、前記カメラと前記接着剤ノズルが互いに干渉するのを防止できるように、前記カメラの撮影時に前記接着剤ノズルが前記撮影軸からずれるように、前記接着剤ノズルを移送する、請求項６に記載の接着剤塗布システム。
【請求項8】
前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部；
をさらに含む、請求項１に記載の接着剤塗布システム。
をさらに含む、請求項１に記載の接着剤塗布システム。
【請求項9】
前記制御部は、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
【請求項10】
前記制御部は、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、最後の第ｎ領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、最後の第ｎ領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
【請求項11】
前記制御部は、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
【請求項12】
前記制御部は、
前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御する、請求項８に記載の接着剤塗布システム。
【請求項13】
（ａ）基板における第１領域の位置を認識できるように、カメラ装置を用いて前記第１領域を撮影するステップ；
（ｂ）前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤塗布装置を用いて接着剤を塗布するステップ；および
（ｃ）前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように、前記カメラ装置で前記第１領域を撮影するステップ；
を含む、接着剤の塗布方法。
（ｂ）前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤塗布装置を用いて接着剤を塗布するステップ；および
（ｃ）前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように、前記カメラ装置で前記第１領域を撮影するステップ；
を含む、接着剤の塗布方法。
【請求項14】
前記（ａ）ステップにおいて、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
【請求項15】
前記（ａ）ステップにおいて、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、最後の第ｎ領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて全体的な個別位置を認識する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、最後の第ｎ領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて全体的な個別位置を認識する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
【請求項16】
前記（ａ）ステップにおいて、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上を選択した領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上を選択した領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
【請求項17】
前記（ｃ）ステップにおいて、
前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動する、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
【請求項18】
前記（ａ）ステップ以前に、
（ｄ）前記カメラ装置の撮影基準位置と前記接着剤塗布装置の塗布基準位置を整列させるステップ；
をさらに含む、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
（ｄ）前記カメラ装置の撮影基準位置と前記接着剤塗布装置の塗布基準位置を整列させるステップ；
をさらに含む、請求項１３に記載の接着剤の塗布方法。
【請求項19】
前記（ｄ）ステップにおいて、
テスト用ガラス基板を用いて前記撮影基準位置と前記塗布基準位置を整列させる、請求項１８に記載の接着剤の塗布方法。
テスト用ガラス基板を用いて前記撮影基準位置と前記塗布基準位置を整列させる、請求項１８に記載の接着剤の塗布方法。
【請求項20】
基板が載置される基板載置装置；
前記基板載置装置に載置された前記基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；
前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置；および
前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部；
を含み、
前記基板載置装置は、
前記基板を支持する基板支持台；および
前記基板支持台をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置；
を含み、
前記カメラ装置は、
前記第１領域を撮影できるように前記第１領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ；および
前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第１領域～第ｎ領域（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置；
を含み、
前記接着剤塗布装置は、
前記第１領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル；および
前記接着剤ノズルをＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット；
を含み、
前記制御部は、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影して前記領域の全体的な個別位置を認識し、前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御する、接着剤塗布システム。
前記基板載置装置に載置された前記基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；
前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置；および
前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部；
を含み、
前記基板載置装置は、
前記基板を支持する基板支持台；および
前記基板支持台をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置；
を含み、
前記カメラ装置は、
前記第１領域を撮影できるように前記第１領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ；および
前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第１領域～第ｎ領域（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置；
を含み、
前記接着剤塗布装置は、
前記第１領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル；および
前記接着剤ノズルをＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット；
を含み、
前記制御部は、
前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影して前記領域の全体的な個別位置を認識し、前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御する、接着剤塗布システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、接着剤塗布システムおよび方法に関し、より詳しくは、基板の定められた領域に接着剤を迅速に塗布できるようにする接着剤塗布システムおよび方法に関する。
【背景技術】
【0002】
一般に、電気、電子、自動車、半導体、通信機器などの様々な産業分野において、基板にエポキシ（ｅｐｏｘｙ）のような接着剤を塗布する必要がある。このような接着剤は、接着剤塗布装置により塗布されることができる。
【0003】
例えば、半導体製造工程中、ウェハを個別化した半導体チップは、印刷回路基板（ＰＣＢ）のような基板に付着することができる。このような半導体チップを基板に付着するために、従来は、接着剤塗布装置と一体化して共に動くカメラを用いて、先ず、基板のセル（ｃｅｌｌ）などの特定領域の位置を認識し、接着剤塗布装置が認識された前記領域に接着剤を塗布し、塗布が完了した前記領域に接着剤がよく塗布されたか否かを検査するために前記カメラで撮影する一連の過程を行っていた。
【0004】
すなわち、従来は、複数の領域それぞれに接着剤を順次塗布するためには、例えば、カメラで第１領域を認識、接着剤塗布装置で第１領域に塗布、再びカメラで第１領域を検査した後、一体化したカメラと接着剤塗布装置を次の第２領域に移動させ、次いで、再び、カメラで第２領域を認識、接着剤塗布装置で第２領域に塗布、再びカメラで第２領域を検査する一連の過程を繰り返していた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、このような従来のセル別の接着剤塗布過程は、それぞれの過程が同時に行われることができず、単に直列方式で順次行われるため、全体的に接着剤塗布工程の時間が長くなって生産性が大幅に低下するという問題があった。
【0006】
本発明は、上記のような問題を含めて種々の問題を解決するためのものであり、カメラ装置と接着剤塗布装置を互いに独立に動くことができるようにし、一部の過程が同時に行われるようにして、全体的に接着剤塗布工程の時間を短縮させて生産性を大幅に向上させることができ、カメラで二つ以上の領域を認識すると、残りの領域は、比率やオフセットで位置を迅速に計算して自動で認識できるようにする接着剤塗布システムおよび方法を提供することを目的とする。ただし、このような課題は、例示的なものであって、これに本発明の範囲が限定されるものではない。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の課題を解決するための本発明の思想による接着剤塗布システムは、基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；および前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置；を含み、前記カメラ装置は、前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように前記第１領域を撮影することができる。
【0008】
また、本発明によれば、前記カメラ装置は、カメラが前記接着剤塗布装置から自由に独立に動くことができる。
【0009】
また、本発明によれば、前記基板が載置される基板載置装置；をさらに含み、前記基板載置装置は、前記基板を支持する基板支持台；および前記基板支持台をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置；を含むことができる。
【0010】
また、本発明によれば、前記カメラ装置は、前記第１領域を撮影できるように前記第１領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ；および前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第１領域～第ｎ領域（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置；を含むことができる。
【0011】
また、本発明によれば、前記カメラ移動装置は、前記カメラが設けられるカメラヘッド；およびＹ軸ガイドレールまたはＹ軸ガイド棒に沿って前記カメラヘッドをＹ軸方向に移動させるＹ軸アクチュエータ；を含むことができる。
【0012】
また、本発明によれば、前記接着剤塗布装置は、前記第１領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル；および前記接着剤ノズルをＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット；を含むことができる。
【0013】
また、本発明によれば、前記接着剤ノズルの吐出口は、前記撮影軸線上に位置できるものであり、前記ノズル移送ロボットは、前記カメラと前記接着剤ノズルが互いに干渉するのを防止できるように、前記カメラの撮影時に前記接着剤ノズルが前記撮影軸からずれるように、前記接着剤ノズルを移送することができる。
【0014】
また、本発明によれば、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部；をさらに含むことができる。
【0015】
また、本発明によれば、前記制御部は、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識することができる。
【0016】
また、本発明によれば、前記制御部は、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、最後の第ｎ領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することができる。
【0017】
また、本発明によれば、前記制御部は、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することができる。
【0018】
また、本発明によれば、前記制御部は、前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御することができる。
【0019】
一方、上記の課題を解決するための本発明の思想による接着剤の塗布方法は、（ａ）基板における第１領域の位置を認識できるように、カメラ装置を用いて前記第１領域を撮影するステップ；（ｂ）前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤塗布装置を用いて接着剤を塗布するステップ；および（ｃ）前記接着剤塗布装置が前記第１領域に接着剤を塗布した後、次の第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査できるように、前記カメラ装置で前記第１領域を撮影するステップ；を含むことができる。
【0020】
また、本発明によれば、前記（ａ）ステップにおいて、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識することができる。
【0021】
また、本発明によれば、前記（ａ）ステップにおいて、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の第１領域と、最後の第ｎ領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて全体的な個別位置を認識することができる。
【0022】
また、本発明によれば、前記（ａ）ステップにおいて、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列の第１領域～第ｎ領域における、最初の領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上を選択した領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて前記領域の全体的な個別位置を認識することができる。
【0023】
また、本発明によれば、前記（ｃ）ステップにおいて、前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動することができる。
【0024】
また、本発明によれば、前記（ａ）ステップ以前に、（ｄ）前記カメラ装置の撮影基準位置と前記接着剤塗布装置の塗布基準位置を整列させるステップ；をさらに含むことができる。
【0025】
また、本発明によれば、前記（ｄ）ステップにおいて、テスト用ガラス基板を用いて前記撮影基準位置と前記塗布基準位置を整列させることができる。
【0026】
一方、上記の課題を解決するための本発明の思想による接着剤塗布システムは、基板が載置される基板載置装置；前記基板載置装置に載置された前記基板における第１領域の位置を認識できるように前記第１領域を撮影するカメラ装置；前記カメラ装置を介して認識された前記第１領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置；および前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部；を含み、前記基板載置装置は、前記基板を支持する基板支持台；および前記基板支持台をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置；を含み、前記カメラ装置は、前記第１領域を撮影できるように前記第１領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ；および前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第１領域～第ｎ領域（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置；を含み、前記接着剤塗布装置は、前記第１領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル；および前記接着剤ノズルをＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット；を含み、前記制御部は、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影して前記領域の全体的な個別位置を認識し、前記接着剤塗布装置が前記第１領域の上方に移動して前記第１領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第２領域の上方に移動して前記第２領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第１領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御することができる。
【発明の効果】
【0027】
上記のような本発明の種々の実施形態によれば、カメラ装置と接着剤塗布装置を互いに独立に動くことができるようにし、一部の過程が同時に行われるようにして、全体的に接着剤塗布工程の時間を短縮させて生産性を大幅に向上させることができ、カメラで二つ以上の領域を認識すると、残りの領域は、比率やオフセットで位置を迅速に計算して自動で認識可能な効果を奏することができる。このような効果に本発明の範囲が限定されるものではないことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】本発明の一部の実施形態による接着剤塗布システムを示す概念図である。
【図12】本発明の一部の実施形態による接着剤の塗布方法を示すフローチャートである。
【図13】本発明の一部の他の実施形態による接着剤の塗布方法を示すフローチャートである。
【図14】本発明のまた一部の実施形態による接着剤の塗布方法を時間の流れに沿って図式的に示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0029】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい種々の実施形態について詳しく説明する。
【0030】
本発明の実施形態は、当該技術分野における通常の知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものであり、下記の実施形態は、種々の異なる形態に変形されてもよく、本発明の範囲が下記の実施形態に限定されるものではない。これらの実施形態は、かえって本開示をさらに充実かつ完全になるようにし、当業者に本発明の思想を完全に伝えるために提供されるものである。また、図面上の各層の厚さや大きさは、説明の便宜および明確性のために誇張されたものである。
【0031】
本明細書で用いられている用語は、特定の実施形態を説明するために用いられるものであり、本発明を制限するためのものではない。本明細書で用いられているように、単数の形態は、文脈上、他の場合を明らかに指すものでなければ、複数の形態を含んでもよい。また、本明細書で用いられる場合、「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」および／または「からなる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、言及した形状、数字、ステップ、動作、部材、要素、および／またはこれらのグループの存在を特定するものであり、一つ以上の他の形状、数字、ステップ、動作、部材、要素、および／またはこれらのグループの存在または付加を排除するものではない。
【0032】
以下、本発明の実施形態は、本発明の理想的な実施形態について概略的に示す図面を参照して説明する。図面上、例えば、製造技術および／または公差（ｔｏｌｅｒａｎｃｅ）により、図示された形状の変形が予想可能である。したがって、本発明の思想の実施形態は、本明細書に図示された領域の特定の形状に制限されたものと解釈してはならず、例えば、製造上もたされる形状の変化を含まなければならない。
【0033】
図１は、本発明の一部の実施形態による接着剤塗布システム１００を示す概念図である。
【0034】
先ず、図１に示すように、本発明の一部の実施形態による接着剤塗布システム１００は、大きく、基板載置装置１０、カメラ装置２０、接着剤塗布装置３０、および制御部４０を含むことができる。
【0035】
例えば、基板載置装置１０は、上面に基板１が載置されるものであり、載置された基板１をＸ軸方向に間歇的または漸進的に前進できる移送装置であってもよい。
【0036】
また、例えば、カメラ装置２０は、基板１における第１領域Ａ１の位置を認識できるように、前記第１領域Ａ１を撮影する撮影装置であってもよい。
【0037】
なお、例えば、接着剤塗布装置３０は、カメラ装置２０を介して認識された第１領域Ａ１に接着剤２を噴射して塗布する塗布装置３０であってもよい。
【0038】
ここで、カメラ装置２０は、カメラ２１が接着剤塗布装置３０から自由に独立に動く構成であり、カメラ装置２０は、接着剤塗布装置３０が第１領域Ａ１に接着剤２を塗布した後、第２領域Ａ２に接着剤２を塗布する途中に、塗布が完了した第１領域Ａ１を検査できるように第１領域Ａ１を撮影することができる。
【0039】
例えば、図１に示すように、カメラ装置２０は、第１領域Ａ１を撮影できるように第１領域Ａ１の撮影軸Ｌ上に位置可能なカメラ２１と、カメラ２１がＹ軸方向に一列に並べられた複数の第１領域Ａ１～第ｎ領域Ａｎ（ｎは自然数）の上方に順次または選択的に位置できるように、カメラ２１をＹ軸方向に移動させるカメラ移動装置２２と、を含むことができる。
【0040】
より具体的に例を挙げると、図１に示すように、カメラ移動装置２２は、カメラ２１が設けられるカメラヘッド２２１と、Ｙ軸ガイドレールＲまたはＹ軸ガイド棒に沿って前記カメラヘッド２２１をＹ軸方向に移動させるＹ軸アクチュエータ２２２と、を含むことができる。
【0041】
ここで、図１に示されたＹ軸ガイドレールＲは、前記カメラヘッド２２１の上方と下方にそれぞれ設けられ、Ｙ軸方向に長く棒状に形成されているが、このようなＹ軸ガイドレールＲは、様々な個数の各種のリニアモーションガイド（ＬＭ、Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｇｕｉｄｅ）またはガイド棒などが全て適用可能であり、前記Ｙ軸アクチュエータ２２２も、モータ、空圧シリンダ、油圧シリンダ、またはスクリュー棒／ベルト／チェーン／ギア／ワイヤなどの各種の前後進／回転動力伝達装置が全て適用可能である。
【0042】
したがって、カメラ２１は、接着剤塗布装置３０とは別に設けられるものであり、カメラ移動装置２２により、カメラ２１が設けられるカメラヘッド２２１が、Ｙ軸ガイドレールＲまたはＹ軸ガイド棒に沿ってＹ軸方向に独立に移動することができる。
【0043】
また、例えば、図１に示すように、接着剤塗布装置３０は、第１領域Ａ１の撮影軸Ｌ線上に選択的に進入可能な接着剤ノズル３１と、接着剤ノズル３１をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット３２と、を含むことができる。
【0044】
例えば、接着剤２が吐出される接着剤ノズル３１の吐出口３１ａは、撮影軸Ｌ線上に位置できるものであり、これにより、カメラ２１の基準位置と接着剤２の塗布基準位置を撮影軸Ｌ線上に正確に整列させることができる。ただし、必ずしもこれに限定されるものではなく、別の整列記号が存在する特定の位置など、非常に様々な基準により整列することも可能である。
【0045】
ここで、接着剤ノズル３１は、注射器やシリンダ形態の注射型ノズルが適用可能であり、ノズル移送ロボット３２は、カメラ２１と接着剤ノズル３１が互いに干渉するのを防止できるように、カメラ２１の撮影時に接着剤ノズル３１が撮影軸Ｌからずれるように、接着剤ノズル３１を移送することができる。
【0046】
したがって、接着剤塗布装置３０の接着剤ノズル３１を用いて基板１の特定領域内に接着剤２を噴射することができ、接着剤２を噴射しつつ、ノズル移送ロボット３２を用いて接着剤ノズル３１をＸ軸およびＹ軸方向に移送すると、例えば、点状、Ｘ字状、＋状、－状、星状、円状、楕円状、多角形状などの様々な形状に接着剤２を塗布することができる。
【0047】
一方、図１に示すように、制御部４０は、カメラ装置２０と接着剤塗布装置３０が互いに独立に動作できるように、カメラ装置２０と接着剤塗布装置３０にそれぞれ制御信号を印加して個別的に制御することができる。
【0048】
したがって、例えば、カメラ２１が撮影する間に、他の領域に接着剤２を塗布することも可能であり、接着剤２を塗布する間に、他の領域を撮影することも可能である。
【0049】
【0050】
図２に示すように、基板載置装置１０は、基板１を支持する基板支持台１１と、基板支持台１１をＸ軸方向に順次前進させる基板前進装置１２と、を含むことができる。
【0051】
例えば、基板支持台１１は、真空圧、静電気、またはホルダーなどで基板１を固定可能な様々な形態の基板支持台１１が全て適用可能であり、基板前進装置１２は、基板支持台１１をＸ軸方向に順次前進させる様々な形態のＸ軸アクチュエータが全て適用可能である。
【0052】
ここで、図２に示すように、基板１は、ｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に複数の領域が第１列Ｘ１から第Ｘ列ＸＸまで配置され、中でも、第１列Ｘ１は、Ｙ軸方向に第１領域Ａ１、複数の中間領域Ａｂ、および最後の第ｎ領域Ａｎ（図面上、Ａ１２）まで配置されることができる。
【0053】
したがって、基板支持台１１がＸ軸方向に前進すると、接着剤塗布装置３０が、第１列Ｘ１中の第１領域Ａ１～第１２領域Ａ１２までＹ軸方向に移動しつつ、接着剤２を順次塗布することができる。
【0054】
以下、本発明の一部の実施形態による接着剤塗布システム１００の作動過程をより詳細に説明することにする。
【0055】
【0056】
先ず、図３に示すように、本発明の一部の実施形態による接着剤塗布システム１００は、カメラ装置２０の撮影基準位置Ｐ１と接着剤塗布装置３０の塗布基準位置Ｐ２を整列させることができる。
【0057】
この際、カメラ装置２０の撮影基準位置Ｐ１と接着剤塗布装置３０の塗布基準位置Ｐ２をさらに明確に区分するために、テスト用ガラス基板３を用いることができる。
【0058】
したがって、図３の（ａ）に示すように、カメラ装置２０の撮影基準位置Ｐ１と接着剤塗布装置３０の塗布基準位置Ｐ２が一致せずに互いにずれる場合、矢印で示したように位置を補正し、図３の（ｂ）に示すように、カメラ装置２０の撮影基準位置Ｐ１と接着剤塗布装置３０の塗布基準位置Ｐ２を一致させて正確に整列することができる。
【0059】
このようなテスト用ガラス基板３を用いた基準整列過程は、装置のセッティング時の初期にだけ行うか、ずれが発生するなどの必要時にだけ行うものであり、毎回行う必要はない。
【0060】
【0061】
図４に示すように、基板１における第１領域Ａ１の位置を認識できるように、カメラ装置２０を用いて第１領域Ａ１を撮影することができる。
【0062】
この際、全ての領域を撮影する必要はなく、制御部４０は、基板１にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域をカメラ装置２０で撮影し、領域の全体的な個別位置を認識することができる。
【0063】
すなわち、例えば、図４に示すように、制御部４０は、基板１にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列Ｘ１の第１領域Ａ１～第１２領域Ａ１２における、最初の第１領域Ａ１と、最後の第１２領域Ａ１２をカメラ装置２０で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することができる。
【0064】
これは、最初の領域である第１領域Ａ１と最後の領域である第１２領域Ａ１２だけを認識して基板１の左右ずれを計算し、このようなずれを補正して残りを認識する場合、実際の領域の位置とは大きく異ならないためである。
【0065】
ただし、本発明は、このような二つの領域を認識することのみに限定されず、この他にも、三つ以上などといった様々な個数の領域を認識し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することも可能である。
【0066】
【0067】
すなわち、図５に示すように、制御部４０は、基板１にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列Ｘ１の第１領域Ａ１～第１２領域Ａ１２における、最初の第１領域Ａ１と、中間領域Ａｂのうち第４領域Ａ４と、第７領域Ａ７と、第１０領域Ａ１０などを選別してカメラ装置２０で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することも可能である。
【0068】
したがって、最初の領域である第１領域Ａ１と中間領域Ａｂを認識して基板１の左右ずれを計算することができ、このようなずれを補正して残りを認識する際に、中間領域Ａｂの変形も補正してさらに精密に認識することができる。
【0069】
【0070】
図６に示すように、接着剤ノズル３１を用いて、第１領域Ａ１に接着剤２を塗布することができる。この際、カメラ２１は、接着剤ノズル３１と干渉しないように、別の箇所で待機することができる。
【0071】
【0072】
この際、図８に示すように、接着剤ノズル３１が前記第２領域Ａ２に接着剤を塗布する間に、カメラ２１は、第１領域Ａ１に移動し、第１領域Ａ１に塗布された接着剤２の状態を検査することができる。
【0073】
次いで、図９に示すように、カメラ２１が第１領域Ａ１に塗布された接着剤２の状態を検査する間に、接着剤ノズル３１が第３領域Ａ３に移動することができる。
【0074】
次いで、図１０に示すように、接着剤ノズル３１が前記第３領域Ａ３に接着剤を塗布する間に、カメラ２１は、第２領域Ａ２に移動し、第２領域Ａ２に塗布された接着剤２の状態を検査することができる。
【0075】
次いで、図１１に示すように、カメラ２１が第２領域Ａ２に塗布された接着剤２の状態を検査する間に、接着剤ノズル３１が第４領域Ａ４に移動することができる。
【0076】
したがって、全ての領域でこのような過程を繰り返し行うことで、接着剤ノズル３１は、カメラ２１と関係なく接着剤２を迅速に塗布することができ、カメラ２１は、前記接着剤ノズル３１と関係なく、接着剤２が塗布された状態を迅速に検査することができる。
【0077】
すなわち、制御部４０は、接着剤塗布装置３０が第１領域Ａ１の上方に移動して第１領域Ａ１に接着剤２を塗布した後、接着剤塗布装置３０が次の第２領域Ａ２の上方に移動して第２領域Ａ２に接着剤２を塗布する途中に、塗布が完了した第１領域Ａ１を検査するために、接着剤塗布装置３０とは別にカメラ装置２０が第１領域Ａ１の上方に移動できるようにカメラ装置２０を制御することができる。
【0078】
したがって、カメラ装置２０と接着剤塗布装置３０を互いに独立に動くことができるようにし、一部の過程が同時に行われるようにして、全体的に接着剤塗布工程の時間を短縮させて生産性を大幅に向上させることができ、全ての領域を個別認識する必要なく、カメラ２１で二つ以上の領域Ａ１、Ａ１２だけを認識し、残りの領域は、比率やオフセットで位置を計算して非常に迅速かつ自動で全体領域の位置を認識することができる。
【0079】
図１２は、本発明の一部の実施形態による接着剤の塗布方法を示すフローチャートである。
【0080】
図１～図１２に示すように、本発明の一部の実施形態による接着剤の塗布方法は、（ａ）基板１における第１領域Ａ１の位置を認識できるように、カメラ装置２０を用いて前記第１領域Ａ１を撮影するステップと、（ｂ）前記カメラ装置２０を介して認識された前記第１領域Ａ１に接着剤塗布装置３０を用いて接着剤２を塗布するステップと、（ｃ）前記接着剤塗布装置３０が前記第１領域Ａ１に接着剤２を塗布した後、次の第２領域Ａ２に接着剤２を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域Ａ１を検査できるように、前記カメラ装置２０で前記第１領域Ａ１を撮影するステップと、を含むことができる。
【0081】
例えば、前記（ａ）ステップにおいて、前記基板１にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識することができる。
【0082】
また、例えば、前記（ａ）ステップにおいて、前記基板１にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の領域のうち、第１列Ｘ１の第１領域～第ｎ領域Ａｎにおける、最初の前記第１領域Ａ１と、最後の前記第ｎ領域Ａｎをカメラ装置２０で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することができる。
【0083】
なお、例えば、前記（ａ）ステップにおいて、前記基板にｎ行ｍ列（ｎ、ｍは自然数）に配置された複数の前記領域のうち、第１列Ｘ１の第１領域Ａ１～第ｎ領域Ａｎにおける、最初の第１領域Ａ１と、中間領域Ａｂのうちいずれか一つ以上を選択した領域をカメラ装置２０で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識することができる。
【0084】
さらに、例えば、前記（ｃ）ステップにおいて、前記接着剤塗布装置３０が前記第１領域Ａ１の上方に移動して前記第１領域Ａ１に接着剤２を塗布した後、前記接着剤塗布装置３０が次の第２領域Ａ２の上方に移動して前記第２領域Ａ２に接着剤２を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域Ａ１を検査するために、前記接着剤塗布装置３０とは別に前記カメラ装置２０が前記第１領域Ａ１の上方に移動することができる。
【0085】
図１３は、本発明の一部の他の実施形態による接着剤の塗布方法を示すフローチャートである。
【0086】
図１～図１３に示すように、本発明の一部の他の実施形態による接着剤の塗布方法は、（ｄ）カメラ装置２０の撮影基準位置Ｐ１と接着剤塗布装置３０の塗布基準位置Ｐ２を整列させるステップと、（ａ）基板１における第１領域Ａ１の位置を認識できるように、カメラ装置２０を用いて前記第１領域Ａ１を撮影するステップと、（ｂ）前記カメラ装置２０を介して認識された前記第１領域Ａ１に接着剤塗布装置３０を用いて接着剤２を塗布するステップと、（ｃ）前記接着剤塗布装置３０が前記第１領域Ａ１に接着剤２を塗布した後、次の第２領域Ａ２に接着剤２を塗布する途中に、塗布が完了した前記第１領域Ａ１を検査できるように、前記カメラ装置２０で前記第１領域Ａ１を撮影するステップと、を含むことができる。
【0087】
例えば、前記（ｄ）ステップにおいて、テスト用ガラス基板３を用いて、前記撮影基準位置Ｐ１と前記塗布基準位置Ｐ２を整列させることができる。
【0088】
図１４は、本発明のまた一部の実施形態による接着剤の塗布方法を時間の流れに沿って図式的に示すフローチャートである。
【0089】
図１～図１４に示すように、発明のまた一部の実施形態による接着剤の塗布方法を時間の流れに沿って図式的に示すと、先ず、カメラ装置２０が、第１領域Ａ１を認識し、第ｎ領域Ａｎを認識して残りの領域を全体的に認識した後、接着剤塗布装置３０が第１領域Ａ１を塗布すると、カメラ装置２０が第１領域Ａ１を検査し、その間に、接着剤塗布装置３０が第２領域Ａ２を塗布すると、カメラ装置２０が第２領域Ａ２を検査することができる。
【0090】
次いで、このような過程を繰り返すことで、接着剤塗布装置３０が第ｎ領域Ａｎを塗布すると、カメラ装置２０が第ｎ領域Ａｎを検査して第１列Ｘ１の塗布を完了することができる。
【0091】
次いで、上述した過程を第２列Ｘ２から第Ｘ列ＸＸまで繰り返すことで、全体領域の認識過程、塗布過程、および検査過程を迅速かつ正確に行うことができる。
【0092】
図面に示された実施形態を参照して本発明を説明したが、これは、例示的なものにすぎず、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、そのものから様々な変形および均等な他の実施形態が可能であることを理解することができる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付の特許請求の範囲の技術的思想により定められなければならない。
【符号の説明】
【0093】
１ ・・・基板
Ｘ１ ・・・第１列
Ａ１ ・・・第１領域
Ａ２ ・・・第２領域
Ａｂ ・・・中間領域
Ａｎ ・・・第ｎ領域
２ ・・・接着剤
３ ・・・テスト用ガラス基板
１０ ・・・基板載置装置
１１ ・・・基板支持台
１２ ・・・基板前進装置
２０ ・・・カメラ装置
２１ ・・・カメラ
Ｌ ・・・撮影軸
２２ ・・・カメラ移動装置
２２１ ・・・カメラヘッド
２２２ ・・・Ｙ軸アクチュエータ
Ｒ ・・・Ｙ軸ガイドレール
３０ ・・・接着剤塗布装置
３１ ・・・接着剤ノズル
３１ａ ・・・吐出口
３２ ・・・ノズル移送ロボット
４０ ・・・制御部
Ｐ１ ・・・撮影基準位置
Ｐ２ ・・・塗布基準位置
１００ ・・・接着剤塗布システム
Ｘ１ ・・・第１列
Ａ１ ・・・第１領域
Ａ２ ・・・第２領域
Ａｂ ・・・中間領域
Ａｎ ・・・第ｎ領域
２ ・・・接着剤
３ ・・・テスト用ガラス基板
１０ ・・・基板載置装置
１１ ・・・基板支持台
１２ ・・・基板前進装置
２０ ・・・カメラ装置
２１ ・・・カメラ
Ｌ ・・・撮影軸
２２ ・・・カメラ移動装置
２２１ ・・・カメラヘッド
２２２ ・・・Ｙ軸アクチュエータ
Ｒ ・・・Ｙ軸ガイドレール
３０ ・・・接着剤塗布装置
３１ ・・・接着剤ノズル
３１ａ ・・・吐出口
３２ ・・・ノズル移送ロボット
４０ ・・・制御部
Ｐ１ ・・・撮影基準位置
Ｐ２ ・・・塗布基準位置
１００ ・・・接着剤塗布システム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
