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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023012439
(43)【公開日】2023-01-25
(54)【発明の名称】クリーンルームシステム
(51)【国際特許分類】
F24F 7/06 20060101AFI20230118BHJP
F24F 5/00 20060101ALI20230118BHJP
F24F 3/044 20060101ALI20230118BHJP
F24F 13/28 20060101ALI20230118BHJP
F24F 3/167 20210101ALI20230118BHJP
B01D 46/00 20220101ALI20230118BHJP
【ＦＩ】
F24F7/06 C
F24F5/00 K
F24F3/044
F24F13/28
F24F3/167
B01D46/00 F
B01D46/00 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022108568
(22)【出願日】2022-07-05
(31)【優先権主張番号】P 2021115414
(32)【優先日】2021-07-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000222956
【氏名又は名称】東洋熱工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100137589
【弁理士】
【氏名又は名称】右田 俊介
(72)【発明者】
【氏名】中野 恭一
(72)【発明者】
【氏名】石野 貴広
(72)【発明者】
【氏名】平田 英士
【テーマコード（参考）】
3L053
3L058
4D058
【Ｆターム（参考）】
3L053BD04
3L058BF00
4D058JA01
4D058KB02
4D058QA01
4D058QA21
4D058QA25
4D058SA04
4D058UA08
4D058UA25
4D058UA30
(57)【要約】
【課題】室内の塵埃を効率的に排出可能なクリーンルームシステムを提供する。
【解決手段】クリーンルームシステム１は、床２、側壁３及び天井４を備えるクリーンルームに適用されるものである。クリーンルームシステム１は、床２に設けられ、床下５に繋がる開口６と、室内７における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口９と、開口６、室内７、吸込口９、室外８の縦空間１０及び床下５を通る空気の循環経路１１と、床下５に設けられたファンフィルタユニット１２と、を備える。ファンフィルタユニット１２は、ファンとフィルタとを含んで構成されており、開口６を介して室内７に下から上への空気の流れを形成する。
【選択図】図１
【解決手段】クリーンルームシステム１は、床２、側壁３及び天井４を備えるクリーンルームに適用されるものである。クリーンルームシステム１は、床２に設けられ、床下５に繋がる開口６と、室内７における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口９と、開口６、室内７、吸込口９、室外８の縦空間１０及び床下５を通る空気の循環経路１１と、床下５に設けられたファンフィルタユニット１２と、を備える。ファンフィルタユニット１２は、ファンとフィルタとを含んで構成されており、開口６を介して室内７に下から上への空気の流れを形成する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
床、側壁及び天井を備えるクリーンルームに適用されるクリーンルームシステムであって、
前記床に設けられ、床下に繋がる開口と、
室内における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口と、
前記開口、前記室内、前記吸込口、室外の縦空間及び前記床下を通る空気の循環経路と、
前記床下に設けられたファンフィルタユニットと、を備え、
前記ファンフィルタユニットは、ファンとフィルタとを含んで構成されており、前記開口を介して前記室内に下から上への前記空気の流れを形成することを特徴とするクリーンルームシステム。
前記床に設けられ、床下に繋がる開口と、
室内における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口と、
前記開口、前記室内、前記吸込口、室外の縦空間及び前記床下を通る空気の循環経路と、
前記床下に設けられたファンフィルタユニットと、を備え、
前記ファンフィルタユニットは、ファンとフィルタとを含んで構成されており、前記開口を介して前記室内に下から上への前記空気の流れを形成することを特徴とするクリーンルームシステム。
【請求項2】
前記ファンフィルタユニットの前記ファンは、第１ファンであり、
前記第１ファンとは別の第２ファンが前記循環経路上に設けられており、
前記第２ファンは、前記ファンフィルタユニットの前記空気の取込口側に向かう空気の流れを形成している請求項１に記載のクリーンルームシステム。
前記第１ファンとは別の第２ファンが前記循環経路上に設けられており、
前記第２ファンは、前記ファンフィルタユニットの前記空気の取込口側に向かう空気の流れを形成している請求項１に記載のクリーンルームシステム。
【請求項3】
前記床下に設けられた床スラブを備え、
前記第２ファンは、前記床スラブに向けて前記空気を送り出すように配設されている請求項２に記載のクリーンルームシステム。
前記第２ファンは、前記床スラブに向けて前記空気を送り出すように配設されている請求項２に記載のクリーンルームシステム。
【請求項4】
コイルを含むファンコイルユニットを更に備え、
前記第２ファンは、前記ファンコイルユニット内に設けられている請求項２又は３に記載のクリーンルームシステム。
前記第２ファンは、前記ファンコイルユニット内に設けられている請求項２又は３に記載のクリーンルームシステム。
【請求項5】
前記ファンフィルタユニットを構成する前記ファンと前記フィルタは、横並びに配置されており、前記ファンは、前記フィルタに対して横向きに前記空気を通す請求項４に記載のクリーンルームシステム。
【請求項6】
前記ファンフィルタユニットよりも下流側にあって、前記開口の下方に、液体及び／又は前記塵埃を貯留する貯留部が設けられている請求項５に記載のクリーンルームシステム。
【請求項7】
前記吸込口は天井に設けられている請求項６に記載のクリーンルームシステム。
【請求項8】
前記開口は、第１開口であり、
前記床には、前記ファンフィルタユニットによって形成された下から上への前記空気の流路とは異なる位置に第２開口が形成されており、
前記床又は前記床下には、前記第２開口に連通して塵埃を収容可能な収容部が形成されている請求項７に記載のクリーンルームシステム。
前記床には、前記ファンフィルタユニットによって形成された下から上への前記空気の流路とは異なる位置に第２開口が形成されており、
前記床又は前記床下には、前記第２開口に連通して塵埃を収容可能な収容部が形成されている請求項７に記載のクリーンルームシステム。
【請求項9】
前記ファンフィルタユニットは、前記ファンフィルタユニットと前記床とを連結する連結構造を有する請求項８に記載のクリーンルームシステム。
【請求項10】
前記連結構造は、前記ファンフィルタユニット又は床の一方に設けられた吊ボルトと、前記ファンフィルタユニット又は床の他方に設けられた前記吊ボルトを通すステーと、前記吊ボルトに締め込まれることによって前記ステーの位置を前記一方に近づけるナットと、によって構成されている請求項９に記載のクリーンルームシステム。
【請求項11】
前記ファンフィルタユニットは、前記床より下に設けられた床スラブに置かれている請求項８に記載のクリーンルームシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、クリーンルームシステムに関する。
【背景技術】
【0002】
室内の清浄度を高く保つために、室内の空気を循環させて、室内の塵埃をフィルタで捕集することが行われている。従来から高い清浄度が必要なクリーンルームにおいては、塵埃は重力で下方に降下するため、天井側から給気して、床側に排気するダウンフローが好適であるものとされていた。逆に、床側から給気して、天井側に排気するアップフローは不適当であるものとされていた。
例えば、特許文献１には、高度清浄域においてダウンフローで空気を流し、非高度清浄域においてはアップフローで空気を流すようにして、循環経路を形成することが記載されている。
また、クリーンルームにおける空気の流し方としては、ダウンフロー方式以外にも、側壁の開口から給気し、同一又は異なる側壁の他の開口から排気する水平一方向流方式や、天井の一部に設けられた開口から給気し、他の一部に設けられた開口から排気する方式（天井吹・吸込方式）等もある。
例えば、特許文献１には、高度清浄域においてダウンフローで空気を流し、非高度清浄域においてはアップフローで空気を流すようにして、循環経路を形成することが記載されている。
また、クリーンルームにおける空気の流し方としては、ダウンフロー方式以外にも、側壁の開口から給気し、同一又は異なる側壁の他の開口から排気する水平一方向流方式や、天井の一部に設けられた開口から給気し、他の一部に設けられた開口から排気する方式（天井吹・吸込方式）等もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－９０５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、ダウンフロー方式においては、部屋全体で下降気流となることが理想だが、発熱体（装置や人）の影響で、一部で上昇気流が発生してしまい、塵埃が滞留してしまうことがあった。
【0005】
水平一方向流方式では、水平方向に温度ムラと清浄度ムラが発生してしまうことがあった。特に下流側に向かうほど、上流側のコイルによる熱交換の影響が低くなり、高温となってしまい、塵埃が空気中に蓄積することにより清浄度も低くなっていた。
【0006】
天井吹・吸込方式では、水平方向に移動する移動体（人等）による影響を受けやすく、発熱体である装置のレイアウトが変更されると、吹出口と吸込口の位置を大幅に変更しなければならなかった。また、仕切が無い場合は吹出流と吸込流で混合が生じてしまい、装置に供給する空気質が悪くなっていた（温度上昇、清浄度低下）。
【0007】
そして、直径約１０μｍ以上の大きな塵埃については重力の影響を受けて降下しやすいが、それよりも小さな粒子についてはほぼ気流にのせて流すことができる。一般的にクリーンルームで問題になるのは０．５μｍ以下の小さな粒子が多い。このことを考慮すると、室内から塵埃を除去することに関して改善の余地があった。
【0008】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、室内の塵埃を効率的に排出可能なクリーンルームシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明のクリーンルームシステムは、床、側壁及び天井を備えるクリーンルームに適用されるクリーンルームシステムであって、前記床に設けられ、床下に繋がる開口と、室内における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口と、前記開口、前記室内、前記吸込口、室外の縦空間及び前記床下を通る空気の循環経路と、前記床下に設けられたファンフィルタユニットと、を備え、前記ファンフィルタユニットは、ファンとフィルタとを含んで構成されており、前記開口を介して前記室内に下から上への前記空気の流れを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明のクリーンルームシステムによれば、室内から塵埃を効率的に除去して、クリーンルームの清浄度を好適に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本実施形態に係るクリールームシステムの模式図である。
【図2】ファンフィルタユニットのファンボックスの正面図である。
【図3】ファンフィルタユニットのファンボックスの底面図である。
【図4】ファンボックスにフィルタボックスが取り付けられたファンフィルタユニットをパンチングパネルに取り付けた状態を示す正面図である。
【図5】室内を上方から模式的に示す平面図である。
【図6】アップフローとダウンフローの塵埃量と高さの関係を示す図である。
【図7】粒子径ごとのアップフローとダウンフローの塵埃量を比較した図である。
【図8】室外の縦空間にファンコイルユニットを配設した例を示す模式図である。
【図9】床下の床スラブにファンフィルタユニットを配設した例を示す模式図である。
【図10】（ａ）は、蓋が取り付けられた状態の収容部を示す模式図、（ｂ）は、蓋が外された状態の収容部を示す模式図である。
【図11】ダクトの横配管にファンフィルタユニットを設け、縦配管の下部に貯留部を設けた例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施形態に係るクリーンルームシステム１について、図面を用いて説明する。
なお、以下に説明する実施形態は、本発明の理解を容易にするための一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。すなわち、以下に説明するシステム、機器の種類、個数等については、本発明の趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
また、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。なお、図面は、本発明を説明するためのものであり、図面に示された各部の寸法、比率、形状等は、本発明の趣旨の範囲で適宜変更可能である。
なお、以下に説明する実施形態は、本発明の理解を容易にするための一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。すなわち、以下に説明するシステム、機器の種類、個数等については、本発明の趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
また、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。なお、図面は、本発明を説明するためのものであり、図面に示された各部の寸法、比率、形状等は、本発明の趣旨の範囲で適宜変更可能である。
【0013】
＜本発明の概要＞
まず、図１から図４を主に参照して、本発明の概要について説明する。図１は、本実施形態に係るクリーンルームシステム１の模式図である。図２は、ファンフィルタユニット１２のファンボックス１９の正面図、図３は、ファンフィルタユニット１２のファンボックス１９の底面図である。図４は、ファンボックス１９にフィルタボックス１８が取り付けられたファンフィルタユニット１２をパンチングパネル２ａに取り付けた状態を示す正面図である。
まず、図１から図４を主に参照して、本発明の概要について説明する。図１は、本実施形態に係るクリーンルームシステム１の模式図である。図２は、ファンフィルタユニット１２のファンボックス１９の正面図、図３は、ファンフィルタユニット１２のファンボックス１９の底面図である。図４は、ファンボックス１９にフィルタボックス１８が取り付けられたファンフィルタユニット１２をパンチングパネル２ａに取り付けた状態を示す正面図である。
【0014】
本実施形態に係るクリーンルームシステム１は、図１に示すように、床２、側壁３及び天井４を備えるクリーンルームに適用されるものである。クリーンルームシステム１は、床２に設けられ、床下５に繋がる開口６と、室内７における天井高の半分以上の高さ（本実施形態においては、天井４）に設けられて室外に繋がる吸込口９と、開口６、室内７、吸込口９、室外８の縦空間１０及び床下５を通る空気の循環経路１１と、床下５に設けられたファンフィルタユニット１２と、を備える。図１においては、循環経路１１をブロック矢印で示している。
ファンフィルタユニット１２は、図２に示すファン（ターボファン１３）と図４に示すフィルタ１８ａとを含んで構成されており、開口６を介して室内７に下から上への空気の流れを形成することを特徴とする。
ファンフィルタユニット１２は、図２に示すファン（ターボファン１３）と図４に示すフィルタ１８ａとを含んで構成されており、開口６を介して室内７に下から上への空気の流れを形成することを特徴とする。
【0015】
本書において、「天井高」とは、吸込口９が設けられている側壁の高さではなく、クリーンルーム全体で見た床面と天井との間の平均高さをいうものとする。
また、本書における「室内７における天井高の半分以上の高さ」とは、吸込口９が側壁に設けられている場合、当該吸込口９の高さ中央位置が、天井高の半分高さ又はそれ以上の高さであることをいう。
また、本書における「室内７における天井高の半分以上の高さ」とは、吸込口９が側壁に設けられている場合、当該吸込口９の高さ中央位置が、天井高の半分高さ又はそれ以上の高さであることをいう。
【0016】
本実施形態における開口６及び吸込口９は、複数の丸穴状であり、床２又は天井４の一部を構成して着脱可能なパンチングパネル２ａに設けられている。このように着脱可能なパンチングパネル２ａに開口６及び吸込口９が形成されていることで、負荷３０（図５参照）や、人５０の位置に応じて、パンチングパネル２ａごと開口６及び吸込口９の配置を変更することができる点で好適である。
しかしながら、このような構成に限定されず、床２に開口６、天井４に吸込口９が形成されていればよく、パンチングパネル２ａではなく、例えば方形の開口が形成されている網目状の不図示のグレーチングであってもよい。
しかしながら、このような構成に限定されず、床２に開口６、天井４に吸込口９が形成されていればよく、パンチングパネル２ａではなく、例えば方形の開口が形成されている網目状の不図示のグレーチングであってもよい。
【0017】
また、開口６又は吸込口９が形成されたパンチングパネル２ａは、床２又は天井４の他の部位に対して着脱可能に構成されるものに形成されていると、負荷３０（図５参照）の配置に応じた開口６又は吸込口９の位置調整が容易であるため好適である。しかしながら、このような構成に限定されず、開口６又は吸込口９は、床２又は天井４に直接設けられていてもよい。
【0018】
上記構成によれば、床下５から室内７に空気を送り込んで塵埃を噴き上げることで、水平一方向流方式及び天井吹・吸込方式と比較して、水平方向における温度及び清浄度のバラつきが生じることを抑制できる。
また、ダウンフロー方式と比較して、室内における上昇気流と下降気流とが混在することを低減でき、塵埃が滞留することを抑制できる。
特に、クリーンルームシステム１は、ファンフィルタユニット１２を備えることで、塵埃を除去した空気を室内に送りこむことができるためクリーンルームの清浄度を好適に高めることができる。
また、ダウンフロー方式と比較して、室内における上昇気流と下降気流とが混在することを低減でき、塵埃が滞留することを抑制できる。
特に、クリーンルームシステム１は、ファンフィルタユニット１２を備えることで、塵埃を除去した空気を室内に送りこむことができるためクリーンルームの清浄度を好適に高めることができる。
【0019】
＜各部の構成＞
本実施形態に係るクリーンルームシステム１の循環経路１１は、図１に示すように、床下５、室内７を通って、天井４の上方に向かう流れと、この流れに連続しているが、この流れが形成される空間とは水平方向にズレた位置にある上下に延在する縦空間１０を通る流れと、を含んで形成されている。この縦空間１０には、コイル２０が配設されている。
本実施形態に係るクリーンルームシステム１の循環経路１１は、図１に示すように、床下５、室内７を通って、天井４の上方に向かう流れと、この流れに連続しているが、この流れが形成される空間とは水平方向にズレた位置にある上下に延在する縦空間１０を通る流れと、を含んで形成されている。この縦空間１０には、コイル２０が配設されている。
【0020】
室内７に給気された空気は、天井４の吸込口９（パンチングパネル２ａ）を通過して、縦空間１０内にあるコイル２０を通って循環し、本実施形態においては、コイル２０で高温空気の温度が下げられることになる。
ファンフィルタユニット１２からの給気は、床２のパンチングパネル２ａを通過して室内７に流入する。
ファンフィルタユニット１２からの給気は、床２のパンチングパネル２ａを通過して室内７に流入する。
【0021】
本実施形態における吸込口９は、上記のように天井４に設けられている。
このような構成によれば、床下５に設けられたファンフィルタユニット１２からストレートに上方に流れる気流を生じさせやすくなる。吸込口９は、ファンフィルタユニット１２に必ずしも対向する位置に設けられる必要はない。
このような構成によれば、床下５に設けられたファンフィルタユニット１２からストレートに上方に流れる気流を生じさせやすくなる。吸込口９は、ファンフィルタユニット１２に必ずしも対向する位置に設けられる必要はない。
【0022】
しかし、天井４のファンフィルタユニット１２の対向する直上に吸込口９が設けられていれば、ストレートに上方に流れる気流をより生じさせやすくなる。このため、気流に乗った塵埃が水平方向に逸れて拡散することを抑制できる。
【0023】
しかしながら、本発明は、このような構成に限定されず、例えば、吸込口９は、上記のように、天井高の半分以上の高さに設けられていれば、クリーンルームの側壁３に設けられていてもよい。このような構成であっても、ファンフィルタユニット１２により、清浄度を高く保つ必要がある室内７の下側領域においてアップフローを形成することができる。
【0024】
［ファンフィルタユニット］
ファンフィルタユニット１２は、図２に破線で示すターボファン１３で送風し、図４に示すフィルタ１８ａで清浄空気にして室内７に給気するものである。つまり、循環経路１１内の開口６の下方にファンフィルタユニット１２が設けられていることで、塵埃を除去したうえで、室内７に空気を導入することができる。
ファンフィルタユニット１２は、図４に示すように、フィルタ１８ａを内蔵するフィルタボックス１８と、ターボファン１３及びターボファン１３を駆動するモーター１５を内蔵するファンボックス１９と、ファンボックス１９にパンチングパネル２ａを連結する連結構造１６と、ターボファン１３の運転を制御する制御ボックス１４と、を備える床吊り式のものである。
ファンフィルタユニット１２は、図２に破線で示すターボファン１３で送風し、図４に示すフィルタ１８ａで清浄空気にして室内７に給気するものである。つまり、循環経路１１内の開口６の下方にファンフィルタユニット１２が設けられていることで、塵埃を除去したうえで、室内７に空気を導入することができる。
ファンフィルタユニット１２は、図４に示すように、フィルタ１８ａを内蔵するフィルタボックス１８と、ターボファン１３及びターボファン１３を駆動するモーター１５を内蔵するファンボックス１９と、ファンボックス１９にパンチングパネル２ａを連結する連結構造１６と、ターボファン１３の運転を制御する制御ボックス１４と、を備える床吊り式のものである。
【0025】
図４に示すように、ファンフィルタユニット１２は、ファンフィルタユニット１２と床２（パンチングパネル２ａ）とを連結する連結構造１６を有する。
具体的には、連結構造１６は、ファンフィルタユニット１２又は床２の一方に設けられた吊ボルト１６ｂと、ファンフィルタユニット１２又は床２の他方に設けられた吊ボルト１６ｂを通すステー１６ａと、吊ボルト１６ｂに締め込まれることによってステー１６ａの位置を一方に近づけるナット１６ｃと、によって構成されている。
具体的には、連結構造１６は、ファンフィルタユニット１２又は床２の一方に設けられた吊ボルト１６ｂと、ファンフィルタユニット１２又は床２の他方に設けられた吊ボルト１６ｂを通すステー１６ａと、吊ボルト１６ｂに締め込まれることによってステー１６ａの位置を一方に近づけるナット１６ｃと、によって構成されている。
【0026】
図４に示すように、本実施形態における吊ボルト１６ｂは、床２（パンチングパネル２ａ）の下面に、下方に延在するように４本取り付けられている。吊ボルト１６ｂの延在先の位置にＬ字状のプレートであるステー１６ａが４つ設けられており、ステー１６ａの各々が２本のビスでファンボックス１９（ファンフィルタユニット１２）の上端部の側面に取り付けられている。ステー１６ａには吊ボルト１６ｂを通す鉛直方向に延在する貫通孔が形成されており、吊ボルト１６ｂは、この貫通孔に通された先で、ナット１６ｃに締結されている。
【0027】
なお、吊ボルト１６ｂがファンフィルタユニット１２側に上方に延在するように取り付けられ、ステー１６ａが床２（パンチングパネル２ａ）の吊ボルト１６ｂの延在先の位置に取り付けられていてもよい。
このような構成により、ナット１６ｃを吊ボルト１６ｂに締め込むことによって、ファンフィルタユニット１２をパンチングパネル２ａに取り付けることができる。
このような構成により、ナット１６ｃを吊ボルト１６ｂに締め込むことによって、ファンフィルタユニット１２をパンチングパネル２ａに取り付けることができる。
【0028】
パンチングパネル２ａとフィルタボックス１８（ファンフィルタユニット１２）との間には不図示のパッキンその他の柔軟材が設けられている。このパッキンその他の柔軟材により、ファンフィルタユニット１２とパンチングパネル２ａとの間の気密性を高めつつ、ファンフィルタユニット１２からパンチングパネル２ａに振動が伝播することを低減している。
【0029】
また、連結構造１６は、床２（パンチングパネル２ａ）に連結できればよく、このような構成に限定されない。例えば、連結構造１６は、ボルト・ナットとフランジとで構成される構造であってもよい。
【0030】
上記構成によれば、連結構造１６により、ファンフィルタユニット１２と床２との連結を強固にすることができる。
さらに、吊ボルト１６ｂ、ステー１６ａ及びナット１６ｃによって構成される連結構造１６によって、ファンフィルタユニット１２と床２との密着性を高めることができる。
さらに、吊ボルト１６ｂ、ステー１６ａ及びナット１６ｃによって構成される連結構造１６によって、ファンフィルタユニット１２と床２との密着性を高めることができる。
【0031】
＜塵埃量について＞
次に、図５、図６及び図７を参照して、本実施形態に係るアップフローと比較例に係るダウンフローとの塵埃量を比較して説明する。図５は、室内７を上方から模式的に示す平面図、図６は、アップフローとダウンフローの塵埃量と高さの関係を示す図、図７は、粒子径ごとのアップフローとダウンフローの塵埃量を比較した図である。
図７は、細かな粒子（５μｍ未満）を、床２から１．５ｍ、大きい粒子（５μｍ以上）を、床面で採取した実験結果を示すものである。
次に、図５、図６及び図７を参照して、本実施形態に係るアップフローと比較例に係るダウンフローとの塵埃量を比較して説明する。図５は、室内７を上方から模式的に示す平面図、図６は、アップフローとダウンフローの塵埃量と高さの関係を示す図、図７は、粒子径ごとのアップフローとダウンフローの塵埃量を比較した図である。
図７は、細かな粒子（５μｍ未満）を、床２から１．５ｍ、大きい粒子（５μｍ以上）を、床面で採取した実験結果を示すものである。
【0032】
図５に示すように、天井４に吸込口９、及び床２（パンチングパネル２ａ）に開口６が形成されており、負荷３０が３箇所に配設されている。そして、パンチングパネル２ａは、床２にまばらに配置されていることで、床２の全面積の約２０％の割合で形成されている。吸込口９は、床２の全面積の約１０％の割合で形成されている。
【0033】
本実施形態においては、空調した外気を不図示の開口から循環経路１１に導入している。この外気導入分の空気は、不図示の排気ダクトや壁の隙間から排出されている。
本実施形態における一時間当たりの換気回数は、約７０回であり、負荷３０の熱負荷は、床２の１ｍ２あたり約７００Ｗとした。
本実施形態における一時間当たりの換気回数は、約７０回であり、負荷３０の熱負荷は、床２の１ｍ２あたり約７００Ｗとした。
【0034】
実験の結果、図６に示すように、クリーンルーム内において、アップフローにおける平均径約０．３μｍ塵埃量が、ダウンフローにおける平均径約０．３μｍ塵埃量に対して、約５０％低減した。
【0035】
また、図７に示すように、粒子径が大きい場合でも、アップフローの方がダウンフローよりも塵埃量が多いという結果はでなかった。また、いずれの空調方式でも粒子径の大きい塵埃は床面に沈着することになるので、これらの塵埃については、清拭や吸引などで除去することになる。
【0036】
【0037】
本例に係るクリーンルームシステム１Ｘは、図８に示すように、コイル３４を含むファンコイルユニット３２を縦空間１０に備えるものである。本例に係るクリーンルームシステム１Ｘは、図１のコイル２０を、ターボファン３３を有するファンコイルユニット３２に変更したものである。
ファンコイルユニット３２は、コイル３４で高温空気の温度を下げて（又は低温空気の温度を上げて）、ターボファン３３で送風するものである。ファンコイルユニット３２から送り出された空気は、ファンフィルタユニット１２で清浄空気となって、室内７に給気される。
本例におけるファンコイルユニット３２は、図８の奥行き方向に２台設けられているが、このような構成に限定されず、１台のみであってもよく、更に複数設けられていてもよい。
ファンコイルユニット３２は、コイル３４で高温空気の温度を下げて（又は低温空気の温度を上げて）、ターボファン３３で送風するものである。ファンコイルユニット３２から送り出された空気は、ファンフィルタユニット１２で清浄空気となって、室内７に給気される。
本例におけるファンコイルユニット３２は、図８の奥行き方向に２台設けられているが、このような構成に限定されず、１台のみであってもよく、更に複数設けられていてもよい。
【0038】
ファンフィルタユニット１２のファン（ターボファン１３）は、第１ファンであり、第１ファンとは別の第２ファン（ターボファン３３）が循環経路１１上に設けられており、ターボファン３３は、ファンフィルタユニット１２の空気の取込口１７側に向かう空気の流れを形成している。
【0039】
本例においては、ターボファン３３は、上記のようにファンコイルユニット３２内に設けられており、コイル３４よりも下流側に配設されている。
しかしながらこのような構成に限定されず、ターボファン３３は、コイル３４よりも上流側に配設されていてもよい。
また、本例においては、ファンコイルユニット３２内にターボファン３３が設けられているものとして説明したが、コイル３４は必ずしもユニットとして設けられている必要はなく、ターボファン３３のみが設けられていてもよい。
しかしながらこのような構成に限定されず、ターボファン３３は、コイル３４よりも上流側に配設されていてもよい。
また、本例においては、ファンコイルユニット３２内にターボファン３３が設けられているものとして説明したが、コイル３４は必ずしもユニットとして設けられている必要はなく、ターボファン３３のみが設けられていてもよい。
【0040】
上記構成によれば、ファンフィルタユニット１２の動作によって圧力が低下する取込口１７側の床下５に、ターボファン３３により空気を送り込むことで、室内７と床下５の間で大きな差圧が生じることを抑制できる。このため、床下５から室内７に送り込んだ空気が床２の隙間を通って床下５にショートサーキットして、縦空間１０を通らずに床下５に戻ることを防止できる。
【0041】
また、ファンフィルタユニット１２の送風能力をフィルタ１８ａの圧力損失を解消できる程度に抑制したとしても、ターボファン３３による追加的の動力により室内７に空気を送り込むことができる。このため、フィルタ１８ａの送風能力を抑制して、フィルタ１８ａを有するファンフィルタユニット１２が床２に取り付けられているときに床２に振動が伝わることを抑制できる。
【0042】
「ターボファン３３は、・・・取込口１７側に向かう空気の流れを形成している。」とは、ターボファン３３が直接取込口１７に向けて空気を送り出すものに限定されない。
例えば、図８に示す本実施形態においては、クリーンルームシステム１Ｘが床下５に設けられた床スラブ５ａを備え、第２ファン（ターボファン３３）は、床スラブ５ａに向けて空気を送り出すように配設されている。そして、空気は床スラブ５ａ（又は床スラブ５ａ及び縦空間１０の側壁）に当たることによって向きが変わって取込口１７に向かって間接的に空気が流れ込んでいる。
例えば、図８に示す本実施形態においては、クリーンルームシステム１Ｘが床下５に設けられた床スラブ５ａを備え、第２ファン（ターボファン３３）は、床スラブ５ａに向けて空気を送り出すように配設されている。そして、空気は床スラブ５ａ（又は床スラブ５ａ及び縦空間１０の側壁）に当たることによって向きが変わって取込口１７に向かって間接的に空気が流れ込んでいる。
【0043】
上記構成によれば、第２ファン（ターボファン３３）が床スラブ５ａに空気を送り出し、床スラブ５ａに当接させることで、ファンフィルタユニット１２に向けて空気を直接送り込む場合と比較して、ターボファン３３の送風方向に直交する方向に分散させてファンフィルタユニット１２に空気を送り込むことができる。このため、図８の紙面に直交する方向に、ファンフィルタユニット１２を複数個設けずとも、この方向に広く空気を行き渡らせることができる。
【0044】
ファンフィルタユニット１２のターボファン１３（図２参照。）のファン出力は、フィルタ１８ａの圧力損失分だけを担うものとしてもよい。このようにすれば、室内７と床下５内の差圧を小さく抑えることができ、ショートサーキットしてしまうことを抑制できる。さらに、ファンフィルタユニット１２のファン出力を低く抑えることができるので、ファンフィルタユニット１２から床２に振動が伝播することを抑えることもできる。
【0045】
第２ファン（ターボファン３３）は、上記のようにファンコイルユニット３２内に設けられている。このような構成によれば、ファンコイルユニット３２により、温度調整を行ったうえで送風することができる。
【0046】
なお、室内７から室外８への塵埃の排出をより効果的にするため、追加的に不図示のファンを設けるようにしてもよい。例えば、天井４の吸込口９の近傍に追加的な不図示のファンを設けるようにして、室内７から室外８への塵埃の移動を促進するようにしてもよい。
【0047】
【0048】
本例に係るファンフィルタユニット３１は、床２より下に設けられた床スラブ５ａに置かれている。具体的には、ファンフィルタユニット３１は、５００ｍｍ角の中心間隔で４本配置された支柱３１ａを備え、支柱３１ａが床スラブ５ａに固定されている。ファンフィルタユニット３１は、床２のパンチングパネル２ａの開口６に向けて給気するように、開口６に対向する位置に配設されている。
【0049】
上記構成によれば、ファンフィルタユニット３１が床スラブ５ａに置かれている、つまり、床２に取り付けられていないことで、ファンフィルタユニット３１が動作することによって生じる振動が床２に伝わることを抑制できる。
【0050】
特に、上記のようにファンフィルタユニット３１の支柱３１ａが床スラブ５ａに固定されていることで、ファンフィルタユニット３１と床スラブ５ａとの間に空間が形成され、下方から上方への空気の流れを形成することが可能となる。
【0051】
なお、上記のように、図９においては、ファンフィルタユニット３１と床２（パンチングパネル２ａ）とが離間しているが、このような構成に限定されない。
例えば、ファンフィルタユニット３１と床２との間に不図示のパッキンが挟み込まれているとより好適である。このような構成によれば、ファンフィルタユニット３１と床２との間の気密性をパッキンにより高めることができ、ファンフィルタユニット３１の給気を漏れなく室内７に送り込むことができる。さらに、パッキンによりファンフィルタユニット３１からパンチングパネル２ａに振動が伝播することを低減できる。
また、ファンフィルタユニット３１は、直接的の他、他の部材を介して間接的に床スラブ５ａに置かれているものを含むものとする。
例えば、ファンフィルタユニット３１と床２との間に不図示のパッキンが挟み込まれているとより好適である。このような構成によれば、ファンフィルタユニット３１と床２との間の気密性をパッキンにより高めることができ、ファンフィルタユニット３１の給気を漏れなく室内７に送り込むことができる。さらに、パッキンによりファンフィルタユニット３１からパンチングパネル２ａに振動が伝播することを低減できる。
また、ファンフィルタユニット３１は、直接的の他、他の部材を介して間接的に床スラブ５ａに置かれているものを含むものとする。
【0052】
＜第３変形例＞
次に、図１０を参照して、第３変形例に係る収容ケース４１について説明する。図１０（ａ）は、蓋（パンチングパネル２ａ）が取り付けられた状態の収容部（収容ケース４１）を示す模式図、図１０（ｂ）は、パンチングパネル２ａが外された状態の収容ケース４１を示す模式図である。
次に、図１０を参照して、第３変形例に係る収容ケース４１について説明する。図１０（ａ）は、蓋（パンチングパネル２ａ）が取り付けられた状態の収容部（収容ケース４１）を示す模式図、図１０（ｂ）は、パンチングパネル２ａが外された状態の収容ケース４１を示す模式図である。
【0053】
図１に示した開口６は、第１開口であり、床２には、ファンフィルタユニット１２（３１）によって形成された下から上への空気の流路とは異なる位置（給気の吹出面とならない位置）に第２開口（開口４６）が形成されている。床２又は床下５には、開口４６に連通して塵埃を収容可能な収容部（収容ケース４１）が形成されている。
【0054】
換言すると、開口４６（第２開口４６が設けられているパンチングパネル２ａ）は、ファンフィルタユニット１２（３１）の鉛直上方とは異なる床２の一部に設けられている。
本実施形態においては、図１０に示すように、収容ケース４１は、床２（パンチングパネル２ａ）よりも下方に設けられている。
本実施形態においては、図１０に示すように、収容ケース４１は、床２（パンチングパネル２ａ）よりも下方に設けられている。
【0055】
特に、本実施形態に係る収容ケース４１は、４本の支柱４１ａを介して床スラブ５ａに固定されている。
しかしながら、このような構成に限定されず、床面よりも下方に収容ケース４１が設けられていればよく、例えば、床２がある程度厚みがあれば、床２の厚み空間内に、収容ケース４１が形成されていてもよい。
しかしながら、このような構成に限定されず、床面よりも下方に収容ケース４１が設けられていればよく、例えば、床２がある程度厚みがあれば、床２の厚み空間内に、収容ケース４１が形成されていてもよい。
【0056】
上記構成によれば、収容部（収容ケース４１）により、塵埃（特に粒子径が大きく、降下しやすい塵埃）を好適に収容することができる。特に、塵埃は、床面に沈着してしまうと人５０がその上を歩いた拍子で巻き上がってしまうことがある。これを防ぐため、人５０が歩く床面よりも下方に設けられた収容ケース４１とすることで、通常、人５０に触れない位置に、塵埃を位置させることができる。
【0057】
特に、本実施形態において、収容ケース４１の蓋として機能するパンチングパネル２ａは、収容ケース４１内に物を落とした場合や、収容ケース４１内に溜まった塵埃を除去する掃除をするために、収容ケース４１に対して、着脱可能に取り付けられている。
【0058】
本例において、収容ケース４１の蓋として機能するものは、複数の丸穴状の開口６が形成されているパンチングパネル２ａを例に説明したが、開口６が形成されていればよく、方形の開口が形成されている網目状のグレーチングであってもよい。
【0059】
＜第４変形例＞
次に、第４変形例に係るクリーンルームシステム１Ｚについて、図１１を主に参照して説明する。図１１は、ダクト５３の横配管にファンフィルタユニット５２を設け、縦配管の下部に貯留部５３ａを設けた例を示す模式図である。
次に、第４変形例に係るクリーンルームシステム１Ｚについて、図１１を主に参照して説明する。図１１は、ダクト５３の横配管にファンフィルタユニット５２を設け、縦配管の下部に貯留部５３ａを設けた例を示す模式図である。
【0060】
本例に係るファンフィルタユニット５２を構成するファン５２ａとフィルタ５２ｂは、横並びに配置されており、ファン５２ａは、フィルタ５２ｂに対して横向きに空気を通す。
【0061】
上記の「横並び」とは、水平方向に並んで配置されていることを意味する。
本例に係るファンフィルタユニット５２においては、フィルタ５２ｂがファン５２ａよりも下流側（室内７側）に配置されている。このような構成によれば、室内７側に送り出す空気の塵埃を排除しやすいため好適である。
しかしながらこのような構成に限定されず、フィルタ５２ｂがファン５２ａよりも上流側に設けられていてもよい。
本例に係るファンフィルタユニット５２においては、フィルタ５２ｂがファン５２ａよりも下流側（室内７側）に配置されている。このような構成によれば、室内７側に送り出す空気の塵埃を排除しやすいため好適である。
しかしながらこのような構成に限定されず、フィルタ５２ｂがファン５２ａよりも上流側に設けられていてもよい。
【0062】
つまり、上記の「ファン５２ａは、フィルタ５２ｂに対して横向きに空気を通す」とは、ファン５２ａがフィルタ５２ｂに対して上流側から空気の流れを形成するものであっても、下流側から空気の流れを形成するものであってもよい。
【0063】
上記のように、ファン５２ａとフィルタ５２ｂとが、横並びに配置され、フィルタ５２ｂに対して横向きに空気が流れることで、重力により降下する塵埃、及び／又は滴下される液体がフィルタ５２ｂに付着することを抑制できる。したがって、フィルタ５２ｂの劣化を抑制することができる。
【0064】
さらに、ファンフィルタユニット５２よりも下流側にあって、開口６の下方に、液体及び／又は塵埃を貯留する貯留部５３ａが設けられていると好適である。
【0065】
具体的には、貯留部５３ａは、横向きＴ型のダクト５３における、開口６の下方に延在する縦配管の下部に設けられている。
このダクト５３は、上部が開口６に接続されており、ファンフィルタユニット５２からの横向きの空気の流れを、開口６がある方向である上向きに変更する機能を有し、ダクト５３の縦配管の下部が、塵埃及び／又は液体を貯留する貯留部５３ａとなるという機能を有する。
このダクト５３は、上部が開口６に接続されており、ファンフィルタユニット５２からの横向きの空気の流れを、開口６がある方向である上向きに変更する機能を有し、ダクト５３の縦配管の下部が、塵埃及び／又は液体を貯留する貯留部５３ａとなるという機能を有する。
【0066】
ダクト５３における、ファンコイルユニット３２側に延在する横配管に、ファンフィルタユニット５２が取り付けられている。そして、貯留部５３ａは、ファンフィルタユニット５２よりも下方に設けられている。
【0067】
具体的には、ダクト５３は、ファンフィルタユニット５２に対向して配置され、鉛直上方（鉛直上方成分を有する向き）に延在する起立面を有することで、ファンフィルタユニット５２から送り込まれる気流を上向きに転向する。この起立面の下部、かつファンフィルタユニット５２の接地面よりも低位に空洞部があり、この空洞部が貯留部５３ａとして機能する。
【0068】
このように構成されていることで、開口６から落ちてくる塵埃（粗大粒子を含む）及び／又は液体をファンフィルタユニット５２にかけることなく、貯留部５３ａで貯留でき、これらを取り除くことが容易となる。
なお、本例においては、開口６、ファンフィルタユニット５２及びダクト５３は、それぞれ１つのみの構成を例示しているが、これらは当然複数設けられていてもよい。
さらに、ダクト５３は、図１１の奥行方向に延在して、複数の開口６に繋がる構成であってもよい。
なお、本例においては、開口６、ファンフィルタユニット５２及びダクト５３は、それぞれ１つのみの構成を例示しているが、これらは当然複数設けられていてもよい。
さらに、ダクト５３は、図１１の奥行方向に延在して、複数の開口６に繋がる構成であってもよい。
【0069】
さらには、本例の構成については、ダクト５３にファンコイルユニット３２が取り付けられる構成を説明したが、このような構成に限定されない。つまり、各種実施形態（及び変形例）を任意に組み合わせるようにしてもよく、例えば、ファンフィルタユニット５２は、上記の実施形態に記載の吊ボルト、ステー及びナットによって床に取り付けられていてもよい。また、第４変形例に記載の開口６の他に第３変形例に記載の第２開口（開口４６）を設けるようにしてもよい。
【0070】
なお、本発明のクリーンルームシステム１に係る各種構成要素は、個々に独立した存在である必要はない。複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等を許容する。
【0071】
本実施形態は以下の技術思想を包含する。
（１）
床、側壁及び天井を備えるクリーンルームに適用されるクリーンルームシステムであって、
前記床に設けられ、床下に繋がる開口と、
室内における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口と、
前記開口、前記室内、前記吸込口、室外の縦空間及び前記床下を通る空気の循環経路と、
前記床下に設けられたファンフィルタユニットと、を備え、
前記ファンフィルタユニットは、ファンとフィルタとを含んで構成されており、前記開口を介して前記室内に下から上への前記空気の流れを形成することを特徴とするクリーンルームシステム。
（２）
前記ファンフィルタユニットの前記ファンは、第１ファンであり、
前記第１ファンとは別の第２ファンが前記循環経路上に設けられており、
前記第２ファンは、前記ファンフィルタユニットの前記空気の取込口側に向かう空気の流れを形成している（１）に記載のクリーンルームシステム。
（３）
前記床下に設けられた床スラブを備え、
前記第２ファンは、前記床スラブに向けて前記空気を送り出すように配設されている（２）に記載のクリーンルームシステム。
（４）
コイルを含むファンコイルユニットを更に備え、
前記第２ファンは、前記ファンコイルユニット内に設けられている（２）又は（３）に記載のクリーンルームシステム。
（５）
前記ファンフィルタユニットを構成する前記ファンと前記フィルタは、横並びに配置されており、前記ファンは、前記フィルタに対して横向きに前記空気を通す（１）から（４）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（６）
前記ファンフィルタユニットよりも下流側にあって、前記開口の下方に、液体及び／又は塵埃を貯留する貯留部が設けられている（５）に記載のクリーンルームシステム。
（７）
前記吸込口は天井に設けられている（１）から（６）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（８）
前記開口は、第１開口であり、
前記床には、前記ファンフィルタユニットによって形成された下から上への前記空気の流路とは異なる位置に第２開口が形成されており、
前記床又は前記床下には、前記第２開口に連通して塵埃を収容可能な収容部が形成されている（１）から（７）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（９）
前記ファンフィルタユニットは、前記ファンフィルタユニットと前記床とを連結する連結構造を有する（１）から（８）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（１０）
前記連結構造は、前記ファンフィルタユニット又は床の一方に設けられた吊ボルトと、前記ファンフィルタユニット又は床の他方に設けられた前記吊ボルトを通すステーと、前記吊ボルトに締め込まれることによって前記ステーの位置を前記一方に近づけるナットと、によって構成されている（９）に記載のクリーンルームシステム。
（１１）
前記ファンフィルタユニットは、前記床より下に設けられた床スラブに置かれている（１）から（８）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（１）
床、側壁及び天井を備えるクリーンルームに適用されるクリーンルームシステムであって、
前記床に設けられ、床下に繋がる開口と、
室内における天井高の半分以上の高さに設けられて室外に繋がる吸込口と、
前記開口、前記室内、前記吸込口、室外の縦空間及び前記床下を通る空気の循環経路と、
前記床下に設けられたファンフィルタユニットと、を備え、
前記ファンフィルタユニットは、ファンとフィルタとを含んで構成されており、前記開口を介して前記室内に下から上への前記空気の流れを形成することを特徴とするクリーンルームシステム。
（２）
前記ファンフィルタユニットの前記ファンは、第１ファンであり、
前記第１ファンとは別の第２ファンが前記循環経路上に設けられており、
前記第２ファンは、前記ファンフィルタユニットの前記空気の取込口側に向かう空気の流れを形成している（１）に記載のクリーンルームシステム。
（３）
前記床下に設けられた床スラブを備え、
前記第２ファンは、前記床スラブに向けて前記空気を送り出すように配設されている（２）に記載のクリーンルームシステム。
（４）
コイルを含むファンコイルユニットを更に備え、
前記第２ファンは、前記ファンコイルユニット内に設けられている（２）又は（３）に記載のクリーンルームシステム。
（５）
前記ファンフィルタユニットを構成する前記ファンと前記フィルタは、横並びに配置されており、前記ファンは、前記フィルタに対して横向きに前記空気を通す（１）から（４）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（６）
前記ファンフィルタユニットよりも下流側にあって、前記開口の下方に、液体及び／又は塵埃を貯留する貯留部が設けられている（５）に記載のクリーンルームシステム。
（７）
前記吸込口は天井に設けられている（１）から（６）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（８）
前記開口は、第１開口であり、
前記床には、前記ファンフィルタユニットによって形成された下から上への前記空気の流路とは異なる位置に第２開口が形成されており、
前記床又は前記床下には、前記第２開口に連通して塵埃を収容可能な収容部が形成されている（１）から（７）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（９）
前記ファンフィルタユニットは、前記ファンフィルタユニットと前記床とを連結する連結構造を有する（１）から（８）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
（１０）
前記連結構造は、前記ファンフィルタユニット又は床の一方に設けられた吊ボルトと、前記ファンフィルタユニット又は床の他方に設けられた前記吊ボルトを通すステーと、前記吊ボルトに締め込まれることによって前記ステーの位置を前記一方に近づけるナットと、によって構成されている（９）に記載のクリーンルームシステム。
（１１）
前記ファンフィルタユニットは、前記床より下に設けられた床スラブに置かれている（１）から（８）のいずれか一項に記載のクリーンルームシステム。
【符号の説明】
【0072】
１、１Ｘ、１Ｙ、１Ｚ クリーンルームシステム
２ 床
２ａ パンチングパネル
３ 側壁
４ 天井
５ 床下
５ａ 床スラブ
６ 開口（第１開口）
７ 室内
８ 室外
９ 吸込口
１０ 縦空間
１１ 循環経路
１２ ファンフィルタユニット
１３ ターボファン（ファン、第１ファン）
１４ 制御ボックス
１５ モーター
１６ 連結構造
１６ａ ステー
１６ｂ 吊ボルト
１６ｃ ナット
１７ 取込口
１８ フィルタボックス
１８ａ フィルタ
１９ ファンボックス
２０ コイル
３０ 負荷
３１ ファンフィルタユニット
３１ａ 支柱
３２ ファンコイルユニット
３３ ターボファン（第２ファン）
３４ コイル
４１ 収容ケース（収容部）
４１ａ 支柱
４６ 開口（第２開口）
５０ 人
５２ ファンフィルタユニット
５２ａ ファン
５２ｂ フィルタ
５３ ダクト
５３ａ 貯留部
２ 床
２ａ パンチングパネル
３ 側壁
４ 天井
５ 床下
５ａ 床スラブ
６ 開口（第１開口）
７ 室内
８ 室外
９ 吸込口
１０ 縦空間
１１ 循環経路
１２ ファンフィルタユニット
１３ ターボファン（ファン、第１ファン）
１４ 制御ボックス
１５ モーター
１６ 連結構造
１６ａ ステー
１６ｂ 吊ボルト
１６ｃ ナット
１７ 取込口
１８ フィルタボックス
１８ａ フィルタ
１９ ファンボックス
２０ コイル
３０ 負荷
３１ ファンフィルタユニット
３１ａ 支柱
３２ ファンコイルユニット
３３ ターボファン（第２ファン）
３４ コイル
４１ 収容ケース（収容部）
４１ａ 支柱
４６ 開口（第２開口）
５０ 人
５２ ファンフィルタユニット
５２ａ ファン
５２ｂ フィルタ
５３ ダクト
５３ａ 貯留部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】