特開 2023-124519 アクチュエータ、ステージ装置、露光装置、検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023124519

(43)【公開日】2023-09-06

(54)【発明の名称】アクチュエータ、ステージ装置、露光装置、検査装置

(51)【国際特許分類】

   F15B 15/14 20060101AFI20230830BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20230830BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230830BHJP

【ＦＩ】

F15B15/14 330

G03F7/20 501

G03F7/20 521

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022028320

(22)【出願日】2022-02-25

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】吉田 達矢

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 遥

【テーマコード（参考）】

2H197

3H081

5F131

【Ｆターム（参考）】

2H197CD12

2H197CD41

2H197FB02

2H197HA03

3H081AA02

3H081AA03

3H081BB03

3H081CC14

3H081DD12

3H081HH10

5F131AA02

5F131AA03

5F131BA01

5F131BA11

5F131BA21

5F131BA31

5F131BA41

5F131CA17

5F131DA02

5F131DA22

5F131DA42

5F131DB86

(57)【要約】

【課題】ガイドの変形を抑制できるアクチュエータ等を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１０は、移動方向（Ｘ方向）に沿った可動域内を駆動されるスライダ２０と、Ｘ方向に延在してスライダ２０を案内するガイド１２であって、Ｘ方向に垂直な断面において、スライダ２０の外周を包囲すると共に、その少なくとも一部が開放された開口部４０を含む包囲構造を備えるガイド１２と、スライダ２０とガイド１２の間に圧縮空気を供給するエアパッド３０と、開口部４０を貫通して包囲構造内のスライダ２０と包囲構造外のテーブル２００を連結するスライダ連結部材４４と、開口部４０の縁同士を連結するガイド連結部材４５であって、スライダ２０が可動域内を移動する際にスライダ連結部材４４が接触しない位置に設けられるガイド連結部材４５と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の移動方向に沿った可動域内を駆動されるスライダと、
前記移動方向に延在して前記スライダを案内するガイドであって、前記移動方向に垂直な断面において、前記スライダの外周を包囲すると共に、その少なくとも一部が開放された開口部を含む包囲構造を備えるガイドと、
前記スライダと前記ガイドの間に流体を供給する流体供給部と、
前記開口部を貫通して前記包囲構造内の前記スライダと前記包囲構造外の被駆動体を連結するスライダ連結部材と、
前記開口部の縁同士を連結するガイド連結部材であって、前記スライダが前記可動域内を移動する際に前記スライダ連結部材が接触しない位置に設けられるガイド連結部材と、
を備えるアクチュエータ。

【請求項2】

前記スライダ連結部材は、前記移動方向に沿って前記可動域の幅以上の間隔で設けられた第１スライダ連結部材および第２スライダ連結部材を備え、
前記ガイド連結部材は、前記第１スライダ連結部材および前記第２スライダ連結部材の間に設けられる、
請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記ガイド連結部材は前記可動域内に設けられる、請求項２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記ガイド連結部材は、前記可動域の両端より前記移動方向に沿った外側に設けられる第１端ガイド連結部材および第２端ガイド連結部材を備える、請求項１から３のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記ガイド連結部材は、変形することによって応力を緩和する応力緩和部を備える、請求項１から４のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記ガイド連結部材は、前記開口部を広げる変形に対して抵抗を付与する抵抗付与部を備える、請求項１から５のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項7】

前記スライダ連結部材が前記スライダと前記被駆動体を連結する方向と、前記ガイド連結部材が前記開口部の縁同士を連結する方向は互いに略直交する、請求項１から６のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項8】

前記ガイドの両端部は閉塞されている、請求項１から７のいずれかに記載のアクチュエータ。

【請求項9】

処理対象の位置を制御するステージ装置であって、
前記処理対象を保持するテーブルと、
前記テーブルを変位させる請求項１から８のいずれかに記載のアクチュエータと、
を備えるステージ装置。

【請求項10】

前記テーブルによって保持される露光対象の位置を制御する請求項９に記載のステージ装置を備える露光装置。

【請求項11】

前記テーブルによって保持される検査対象の位置を制御する請求項９に記載のステージ装置を備える検査装置。

【請求項12】

所定の移動方向に沿った可動域内を駆動されるスライダと、
前記移動方向に延在して前記スライダを案内するガイドであって、前記移動方向に垂直な断面において、前記スライダの外周を包囲すると共に、その少なくとも一部が開放された開口部を含む包囲構造を備えるガイドと、
前記スライダと前記ガイドの間に気体を供給する気体供給部と、
前記気体供給部が供給した気体を、前記スライダの外周と前記包囲構造の内周の間から排出する気体排出部と、
前記開口部を貫通して前記包囲構造内の前記スライダと前記包囲構造外の被駆動体を連結するスライダ連結部材と、
前記開口部の縁同士を連結するガイド連結部材であって、前記スライダが前記可動域内を移動する際に前記スライダ連結部材が接触しない位置に設けられるガイド連結部材と、
前記スライダ、前記ガイド、前記気体供給部、前記気体排出部、前記スライダ連結部材、前記ガイド連結部材を真空状態の内部に収容する真空チャンバと、
を備えるステージ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータ、ステージ装置、露光装置、検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、真空環境で使用される気体圧アクチュエータとして、気体圧によって所定の移動方向に沿って駆動されるスライダと、当該移動方向に延在してスライダを案内するガイドを備えるものが開示されている。エアパッドを通じてスライダの外周とガイドの内周の間に供給される圧縮空気が形成するエアベアリングによって、スライダはガイドから浮上して円滑に移動できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６８９３１７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の気体圧アクチュエータでは、ガイドがスライダの外周の全体（全周）を包囲するのではなく、その頂面の中央が開放された開口部を備える。ここで、エアパッドを通じてスライダの外周とガイドの内周の間に供給される圧縮空気は、ガイドを内側から押し広げる圧力を加える。この結果、剛性が比較的低い開口部が押し広げられてしまう恐れがある。特に、真空環境ではガイドの外周に加わる圧力が低いため、ガイドの内周に加わる高い圧力との大きな圧力差によって、ガイドが開口部を通じて大きく変形してしまう恐れがある。

【0005】

本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、ガイドの変形を抑制できるアクチュエータ等を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明のある態様のアクチュエータは、所定の移動方向に沿った可動域内を駆動されるスライダと、移動方向に延在してスライダを案内するガイドであって、移動方向に垂直な断面において、スライダの外周を包囲すると共に、その少なくとも一部が開放された開口部を含む包囲構造を備えるガイドと、スライダとガイドの間に流体を供給する流体供給部と、開口部を貫通して包囲構造内のスライダと包囲構造外の被駆動体を連結するスライダ連結部材と、開口部の縁同士を連結するガイド連結部材であって、スライダが可動域内を移動する際にスライダ連結部材が接触しない位置に設けられるガイド連結部材と、を備える。

【0007】

この態様では、ガイドの開口部の縁同士を連結するガイド連結部材によって剛性が高められるため、流体供給部がスライダとガイドの間に供給する流体の圧力によるガイドの変形を抑制できる。なお、ガイド連結部材は、スライダが可動域内を移動する際にスライダ連結部材が接触しない位置に設けられるため、スライダの通常の駆動を阻害することもない。

【0008】

本発明の別の態様は、ステージ装置である。この装置は、処理対象の位置を制御するステージ装置であって、処理対象を保持するテーブルと、テーブルを変位させる上記のアクチュエータと、を備える。

【0009】

本発明の更に別の態様も、ステージ装置である。この装置は、所定の移動方向に沿った可動域内を駆動されるスライダと、移動方向に延在してスライダを案内するガイドであって、移動方向に垂直な断面において、スライダの外周を包囲すると共に、その少なくとも一部が開放された開口部を含む包囲構造を備えるガイドと、スライダとガイドの間に気体を供給する気体供給部と、気体供給部が供給した気体を、スライダの外周と包囲構造の内周の間から排出する気体排出部と、開口部を貫通して包囲構造内のスライダと包囲構造外の被駆動体を連結するスライダ連結部材と、開口部の縁同士を連結するガイド連結部材であって、スライダが可動域内を移動する際にスライダ連結部材が接触しない位置に設けられるガイド連結部材と、スライダ、ガイド、気体供給部、気体排出部、スライダ連結部材、ガイド連結部材を真空状態の内部に収容する真空チャンバと、を備える。

【0010】

本発明の更に別の態様は、露光装置である。この装置は、テーブルによって保持される露光対象の位置を制御する上記のステージ装置を備える。

【0011】

本発明の更に別の態様は、検査装置である。この装置は、テーブルによって保持される検査対象の位置を制御する上記のステージ装置を備える。

【0012】

なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、アクチュエータにおけるガイドの変形を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】アクチュエータを模式的に示す斜視図である。

【図2】スライダの移動方向（Ｘ方向）に垂直なＹＺ平面の断面図である。

【図3】開口部を含むＺＸ平面の断面図である。

【図4】ガイド連結部材の変形例を示す。

【図5】ガイド連結部材の構成例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。説明または図面において同一または同等の構成要素、部材、処理には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明を容易にするために便宜的に設定されており、特に言及がない限りは限定的に解釈されるものではない。実施形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施形態に記載される全ての特徴やそれらの組合せは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

【0016】

図１は、本発明の実施形態に係るステージ装置またはアクチュエータ１０を模式的に示す斜視図である。アクチュエータ１０は、真空チャンバ内等の真空環境で使用される気体圧アクチュエータであり、気体圧によって所定の移動方向に沿って駆動または変位されるスライダ２０と、当該移動方向に延在してスライダ２０を案内するガイド１２を備える。以下ではスライダ２０の移動方向およびガイド１２の延在方向をＸ方向ともいう。また、Ｘ方向に直交し、かつ、互いに直交する二つの方向をＹ方向およびＺ方向ともいう。典型的には、Ｘ方向およびＹ方向は水平面内で直交する方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。

【0017】

スライダ２０は移動方向に長尺の略直方体形状をしており、ガイド１２はスライダ２０を移動可能に収容する略直方体形状の内部空間を有する。スライダ２０がガイド１２の内部空間を移動方向に沿って移動できるように、当該内部空間のＸ方向の長さはスライダ２０のＸ方向の長さより大きい。ここで、ガイド１２の内部空間のＸ方向の長さとスライダ２０のＸ方向の長さの差が、スライダ２０の可動域の幅の最大値となる。ガイド１２のＸ方向の両端部は第１エンドプレート４１および第２エンドプレート４２によって閉塞されており、これらの内周面の間の距離がガイド１２の内部空間のＸ方向の長さとなる。

【0018】

後述する図２にも示されるように、ガイド１２は、移動方向（Ｘ方向）に垂直な断面（ＹＺ平面）において、スライダ２０の矩形状の外周を包囲すると共に、その少なくとも一部が開放された開口部４０を含む包囲構造を備える。図１の例では、ガイド１２の頂面４３または上面に開口部４０が設けられる。開口部４０はスライダ２０の移動方向に長尺の矩形状の孔であり、第１エンドプレート４１および第２エンドプレート４２で終端するためＸ方向の長さはガイド１２の内部空間と等しく、Ｙ方向の幅は図２に示されるようにスライダ連結部材４４が通過できる大きさになっている。スライダ連結部材４４は、開口部４０をＺ方向に貫通してガイド１２の包囲構造内のスライダ２０の頂部と、ガイド１２の包囲構造外の被駆動体としてのステージまたはテーブル２００の底部を連結する。なお、スライダ２０の断面形状は矩形に限らず、特許文献１に開示されている台形その他の多角形や、円形、楕円形等の任意の形状でよい。

【0019】

本実施形態のアクチュエータ１０は、例えば、露光装置、イオン注入装置、熱処理装置、アッシング装置、スパッタリング装置、ダイシング装置、検査装置、洗浄装置等の半導体製造装置やＦＰＤ（Flat Panel Display）製造装置に適用できるが、この場合のテーブル２００は、処理対象（露光装置の場合は露光対象、検査装置の場合は検査対象ともいう）の半導体ウエハ等を保持する、または、処理対象の半導体ウエハ等が載置される。後述するように気体圧によってスライダ２０をＸ方向に駆動すると、スライダ連結部材によってスライダ２０と連結されたテーブル２００がＸ方向に移動する。このため、テーブル２００に載置された処理対象の半導体ウエハ等の位置を精密に制御しながら、その各部に所望の処理を正確に実行できる。なお、図１では説明の簡素化のためにＸ方向の駆動または変位を担うアクチュエータ１０のみを例示したが、これに加えてＹ方向やＺ方向等の他の並進方向の駆動または変位を担うアクチュエータを同様に構成して併設してもよい。

【0020】

図２は、スライダ２０の移動方向（Ｘ方向）に垂直なＹＺ平面の断面図であり、図３は、開口部４０を含むＺＸ平面の断面図である。図２および図３の断面は、後述するガイド連結部材４５が示されるように選択されている。図２は図３のII-II断面図であり、図３は図２のIII-III断面図である。

【0021】

図２に示されるように、ガイド１２は、スライダ２０の矩形状の外周を包囲する包囲構造を備える。この包囲構造は、スライダ２０の底部２２に対向する底板３７と、スライダ２０の第１側部２４に対向する第１側板３８と、スライダ２０の第２側部２６に対向する第２側板３９と、スライダ２０の頂部に対向する頂板３８ｂ、３９ｂによって構成される。ガイド１２の頂板は、Ｙ方向の中央をＸ方向に延在または横断する開口部４０によって、二つの略等しい部分３８ｂ、３９ｂに分断されているともいえる。このように、ガイド１２は、底板３７、第１側板３８、第２側板３９の三面によってスライダ２０の底部２２、第１側部２４、第２側部２６を全体的に拘束（三面拘束）し、開口部４０で二分された頂板３８ｂ、３９ｂによってスライダ２０の頂部を部分的に拘束する。

【0022】

ガイド１２の包囲構造によって四方から拘束されたスライダ２０は、ガイド１２に案内されてＸ方向に移動可能である。スライダ２０の底部２２、第１側部２４、第２側部２６、頂部には、スライダ２０の外周とガイド１２の包囲構造の内周の間に流体または気体を供給する流体供給部または気体供給部としての複数のエアパッド３０が設けられる。具体的には、各エアパッド３０は、不図示の給排気系から供給される圧縮空気等の高圧の気体を噴出してエアベアリングを形成し、スライダ２０をガイド１２から浮上させる。スライダ２０の外周とガイド１２の包囲構造の内周の間に形成される圧縮空気等の微小な隙間または層を介して、スライダ２０はガイド１２と実質的に非接触で滑らかにＸ方向に移動できる。

【0023】

本実施形態のアクチュエータ１０は真空チャンバ内等の真空環境で使用されるため、エアパッド３０の噴出した圧縮空気が開口部４０等を通じて真空環境に漏出してはいけない。このため、スライダ２０には、各エアパッド３０を取り囲むように、差動排気用の排気溝３２、３４、３６が設けられる。各排気溝３２、３４、３６は、流体供給部または気体供給部としての各エアパッド３０が供給した流体または気体を、スライダ２０の外周とガイド１２の包囲構造の内周の間からアクチュエータ１０外に排出する流体排出部または気体排出部を構成する。各排気溝３２、３４、３６は、スライダ２０のＸ方向の略全長に亘って形成される長尺の溝である。

【0024】

全てのエアパッド３０の両隣に設けられる各排気溝３２は大気開放されている。各排気溝３２と大気の間には排気ポンプを設けてもよい。排気溝３４、３６は、開口部４０に隣接または近接する位置に設けられ、開口部４０を通じた真空環境への圧縮空気の漏出を確実に防止する。排気溝３４は、低真空圧力（100 kPa～100 Pa）を生成する低真空排気ポンプに接続され、開口部４０により近い排気溝３６は、排気溝３４より高い真空レベル（低い圧力レベル）、例えば中真空（100 Pa～0.1 Pa）の圧力を生成する中真空排気ポンプに接続される。

【0025】

図２に示されるように、スライダ２０の側面（第１側部２４および／または第２側部２６）には、ガイド１２の第１側板３８および／または第２側板３９の内周に対向する位置に差圧駆動空間としてのエアサーボ室２８が設けられる。以下では、スライダ２０の第１側部２４に設けられるエアサーボ室２８をエアサーボ室２８１ともいい、スライダ２０の第２側部２６に設けられるエアサーボ室２８をエアサーボ室２８２ともいい、両者を区別する必要がない場合はエアサーボ室２８と総称する。ガイド１２の第１側板３８は、エアサーボ室２８１内に延出する区画部としてのピストンブロック１３１を備え、ガイド１２の第２側板３９は、エアサーボ室２８２内に延出する区画部としてのピストンブロック１３２を備える。以下では、ピストンブロック１３１、１３２をピストンブロック１３と総称する。

【0026】

図３に示されるように、各エアサーボ室２８内にＹ方向に挿入された各ピストンブロック１３は、当該各エアサーボ室２８をＸ方向に沿って第１圧力室としての第１サーボ室２８Ａおよび第２圧力室としての第２サーボ室２８Ｂに区画する。図３に模式的に示されるように、各サーボ室２８Ａ、２８Ｂとの間で圧縮空気等の圧力制御流体または圧力制御気体の供給および／または排出を行う差圧駆動部としての給排気系１７Ａ、１７Ｂが設けられる。給排気系１７Ａ、１７Ｂは、それぞれ、圧縮気体を供給する圧縮気体供給源１８Ａ、１８Ｂと、当該圧縮気体の圧力を制御してサーボ室２８Ａ、２８Ｂとの間で給排するサーボ弁１６Ａ、１６Ｂを備える。給排気系１７Ａによって制御される第１サーボ室２８Ａの圧力と、給排気系１７Ｂによって制御される第２サーボ室２８Ｂの圧力の差圧に応じて、スライダ２０が移動方向に沿って駆動される。

【0027】

ここで、エアサーボ室２８のＸ方向の範囲が、スライダ２０の移動方向（Ｘ方向）に沿った可動域を定める。エアサーボ室２８（スライダ２０）内をＸ方向に相対移動するピストンブロック１３（ガイド１２）自体がＸ方向に有意な長さを持つため、スライダ２０が実際に移動できるＸ方向の距離である可動域の幅（の最大値）は、エアサーボ室２８のＸ方向の長さとピストンブロック１３のＸ方向の長さの差である。換言すれば、差圧駆動空間としてのエアサーボ室２８のＸ方向の長さは、スライダ２０の可動域の幅よりピストンブロック１３のＸ方向の長さの分だけ大きい。

【0028】

図３に示されるように、ガイド１２の頂面４３の開口部４０をＺ方向に貫通してスライダ２０の頂部とテーブル２００の底部を連結するスライダ連結部材４４は、スライダ２０の可動域の幅および／またはエアサーボ室２８のＸ方向の長さ以上の間隔でＸ方向に沿って設けられた第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２を備える。以下では、第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２をスライダ連結部材４４と総称する。図２に示されるように、各スライダ連結部材４４のＹ方向の幅は、ガイド１２の開口部４０のＹ方向の幅より小さい。各スライダ連結部材４４は、Ｘ方向に延在する開口部４０内を、スライダ２０およびテーブル２００と一体的にＸ方向（図３における左右方向）に移動可能である。

【0029】

図２に示されるように、ガイド連結部材４５は、ガイド１２の開口部４０の縁同士をＹ方向に連結する柱状または棒状の部材である。ここで、ガイド連結部材４５が開口部４０の縁同士を連結するＹ方向は、スライダ連結部材４４がスライダ２０とテーブル２００を連結するＺ方向と直交している。また、ガイド連結部材４５が開口部４０の縁同士を連結するＹ方向、および、スライダ連結部材４４がスライダ２０とテーブル２００を連結するＺ方向は、スライダ２０の移動方向であるＸ方向と直交している。

【0030】

図３に示されるように、ガイド連結部材４５は、スライダ２０が可動域内を移動する際に第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２が接触しない位置に設けられる。具体的には、ガイド連結部材４５は、スライダ２０の可動域内および／またはエアサーボ室２８のＸ方向の範囲内であって、ピストンブロック１３とＸ方向に沿って重なった位置に設けられる。また、ガイド連結部材４５は、Ｘ方向に沿って第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２の間に設けられる。

【0031】

ガイド連結部材４５は、スライダ２０が可動域内を移動すると、第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２に対してＸ方向に相対移動するが、第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２がＸ方向においてスライダ２０の可動域外および／またはエアサーボ室２８の範囲外に設けられるため、第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２のいずれとも接触しない。すなわち、ガイド連結部材４５は、スライダ２０の通常の駆動を阻害しない。

【0032】

本実施形態によれば、図２に示されるように、ガイド１２の開口部４０の縁同士を連結するガイド連結部材４５によって剛性が高められるため、複数のエアパッド３０がスライダ２０の外周とガイド１２の内周の間に供給する圧縮空気の圧力によるガイド１２の変形を抑制できる。図１に示されるように、開口部４０は、第１エンドプレート４１および第２エンドプレート４２に固定されているＸ方向の両端部では変形しづらくなっている一方で、中央部ではエアパッド３０の圧縮空気の圧力によって押し広げられやすくなっている。本実施形態では、図３に示されるように、特に変形しやすい開口部４０のＸ方向に沿った中央部にガイド連結部材４５を設けることによって、ガイド１２の変形を効果的に抑制できる。

【0033】

なお、開口部４０のＸ方向の両端部付近での変形を抑制するために、図４に示される第１端ガイド連結部材４５１および第２端ガイド連結部材４５２を、開口部４０の中央部のガイド連結部材４５に加えてまたは代えて設けてもよい。開口部４０の中央部のガイド連結部材４５が設けられない場合は、第１スライダ連結部材４４１および第２スライダ連結部材４４２の代わりに、一つのスライダ連結部材４４によってスライダ２０とテーブル２００を連結してもよい。第１端ガイド連結部材４５１および第２端ガイド連結部材４５２は、スライダ２０の可動域の両端よりＸ方向に沿った外側に設けられるため、スライダ２０が可動域内を移動してもスライダ連結部材４４と接触しない。

【0034】

図５は、ガイド連結部材４５の構成例を示す。図５Ａの例のガイド連結部材４５は、変形することによって応力を緩和する応力緩和部４５３を備える。ガイド連結部材４５をガイド１２の開口部４０に取り付ける際の応力によって開口部４０が押し広げられないように、応力緩和部４５３が変形して応力を逃がす。応力緩和部４５３は、図５Ａに示されるように、他の部分より幅等が狭く撓むことができる可撓部または弾性変形部によって構成してもよいし、ヒンジ等の開閉動作や屈曲動作を許容する機械部品によって構成してもよい。

【0035】

ガイド連結部材４５は、図５Ｂのように単純な柱状または棒状の部材でもよい。この場合、ガイド連結部材４５を取り付ける際にガイド１２の開口部４０に過大な負荷がかからないように、精密加工されたガイド連結部材４５を使用するのが好ましい。ガイド連結部材４５は、図５Ｃのように開口部４０を広げる変形に対して抵抗を付与する抵抗付与部４５４を備えてもよい。図５Ｃの例では、筒状のシリンダ４５５と当該シリンダ４５５に挿入される柱状のピストン４５６によって抵抗付与部４５４が構成される。シリンダ４５５の内部空間のＹ方向の長さはピストン４５６のＹ方向の長さより大きく、ピストン４５６の先端（右端）とシリンダ４５５の基端（右端）の間の空間は真空状態等の低圧力状態とされる。エアパッド３０の圧縮空気が開口部４０を押し広げる圧力を加えた場合、すなわちシリンダ４５５とピストン４５６をＹ方向に沿って引き離す圧力が加わった場合、低圧力状態のシリンダ４５５の内部空間が抗力を発生させるため、開口部４０が押し広げられることを効果的に防止できる。なお、抵抗付与部４５４は、シリンダ４５５、ピストン４５６のようにガイド１２の開口部４０をＹ方向に広げる圧力に応じて受動的に抗力を発生させるものに限らず、能動的または適応的に開口部４０の拡大または変形を防止するための抵抗または力を付与する圧電素子等のアクチュエータによって構成されてもよい。

【0036】

以上、本発明を実施形態に基づいて説明した。実施形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。

【0037】

なお、実施形態で説明した各装置の機能構成はハードウェア資源またはソフトウェア資源により、あるいはハードウェア資源とソフトウェア資源の協働により実現できる。ハードウェア資源としてプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、その他のＬＳＩを利用できる。ソフトウェア資源としてオペレーティングシステム、アプリケーション等のプログラムを利用できる。

【符号の説明】

【0038】

１０ アクチュエータ、１２ ガイド、１３ ピストンブロック、１７Ａ 給排気系、１７Ｂ 給排気系、２０ スライダ、２８ エアサーボ室、３０ エアパッド、３２ 排気溝、３４ 排気溝、３６ 排気溝、４０ 開口部、４１ 第１エンドプレート、４２ 第２エンドプレート、４３ 頂面、４４ スライダ連結部材、４５ ガイド連結部材、２００ テーブル、４４１ 第１スライダ連結部材、４４２ 第２スライダ連結部材、４５１ 第１端ガイド連結部材、４５２ 第２端ガイド連結部材、４５３ 応力緩和部、４５４ 抵抗付与部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】