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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023125255
(43)【公開日】2023-09-07
(54)【発明の名称】浸透液塗布装置及び探傷システム
(51)【国際特許分類】
B05B 13/02 20060101AFI20230831BHJP
B05B 7/04 20060101ALI20230831BHJP
G01N 21/91 20060101ALI20230831BHJP
【ＦＩ】
B05B13/02
B05B7/04
G01N21/91 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022029249
(22)【出願日】2022-02-28
(71)【出願人】
【識別番号】517248306
【氏名又は名称】ＡｅｒｏＥｄｇｅ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】岡安 隆和
(72)【発明者】
【氏名】内山 裕
(72)【発明者】
【氏名】柴田 篤孝
(72)【発明者】
【氏名】木村 大輔
(72)【発明者】
【氏名】片平 賢一
(72)【発明者】
【氏名】水田 和裕
【テーマコード（参考）】
2G051
4F033
4F035
【Ｆターム（参考）】
2G051GB02
2G051GC01
2G051GC02
2G051GC04
4F033QA01
4F033QB02Y
4F033QB03X
4F033QB12Y
4F033QB18
4F033QD02
4F033QD14
4F035AA04
4F035CA02
4F035CA05
4F035CB02
4F035CB04
4F035CC01
4F035CC04
(57)【要約】 （修正有）
【課題】探傷検査法において、試験体に浸透液を一様に塗布する浸透液塗布装置と、前記装置を備える探傷検査の効率化及び自動化を可能とする探傷システムを提供する。
【解決手段】浸透液塗布装置１は、ワーク７を支持する回転台１２を回動する回転装置１１、回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズル１３１～１３４、回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズル１４を備える。これにより、回転台の上方に複数のワークを支持し、回転装置により回転台を回動しつつ、回転台の側方に配置された少なくとも１つの第１ノズルから中央に向けて浸透液を吐出するとともに、回転台の下方に配置された少なくとも１つの第２ノズルから上方に向けて浸透液を吐出することで、上面だけでなく下面も含むワーク全面に浸透液を効率良く塗布することが可能となる。
【選択図】図２
【解決手段】浸透液塗布装置１は、ワーク７を支持する回転台１２を回動する回転装置１１、回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズル１３１～１３４、回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズル１４を備える。これにより、回転台の上方に複数のワークを支持し、回転装置により回転台を回動しつつ、回転台の側方に配置された少なくとも１つの第１ノズルから中央に向けて浸透液を吐出するとともに、回転台の下方に配置された少なくとも１つの第２ノズルから上方に向けて浸透液を吐出することで、上面だけでなく下面も含むワーク全面に浸透液を効率良く塗布することが可能となる。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置であって、
ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、
前記回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、
前記回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、
を備える浸透液塗布装置。
ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、
前記回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、
前記回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、
を備える浸透液塗布装置。
【請求項2】
前記回転台は、浸透液が通過可能な開口を有する、請求項１に記載の浸透液塗布装置。
【請求項3】
前記回転台は、筒状の枠体と、該枠体を前記回転装置の回転軸に接続する複数のリブと、を有する、請求項１又は２に記載の浸透液塗布装置。
【請求項4】
前記ワークは、前記回転台上に載置可能なスタンドにより複数支持される、請求項１から３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項5】
前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記回転台の上方に吊り下げる着脱可能な少なくとも１つの吊下治具を含む、請求項４に記載の浸透液塗布装置。
【請求項6】
前記吊下治具は、前記スタンドにより、前記回転台の周方向に複数吊り下げられる、請求項５に記載の浸透液塗布装置。
【請求項7】
前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含み、
前記２つの側辺の複数の支持部材により複数のワークがそれぞれ支持される、請求項５又は６に記載の浸透液塗布装置。
前記２つの側辺の複数の支持部材により複数のワークがそれぞれ支持される、請求項５又は６に記載の浸透液塗布装置。
【請求項8】
前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、請求項５から７のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項9】
前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部と、該２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を有する少なくとも１つのアームを有し、
前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、請求項８に記載の浸透液塗布装置。
前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、請求項８に記載の浸透液塗布装置。
【請求項10】
前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、請求項９に記載の浸透液塗布装置。
【請求項11】
前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、請求項５から１０のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項12】
前記回転台は、筒状の枠体と、該枠体の下端から内向きに張り出す環状の支持面と、を有し、
前記スタンドの底部が、前記枠体内に嵌入されて前記支持面上に支持される、請求項４から１１のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
前記スタンドの底部が、前記枠体内に嵌入されて前記支持面上に支持される、請求項４から１１のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項13】
前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される少なくとも２つの第１ノズルを含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項14】
前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記回転台の周囲に配置される少なくとも４つの第１ノズルを含み、前記少なくとも４つの第１ノズルは、隣接する第１ノズルの少なくとも一方に対して前記回転台を挟んで対向する第１ノズルとの高低差が小さい、請求項１から１３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項15】
前記回転装置は、前記回転台を時計回り及び反時計回りの両方向に回転する、請求項１から１４のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項16】
前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は、二流体ノズルである、請求項１から１５のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
【請求項17】
請求項１から１６のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置と、
前記浸透液塗布装置にワークを搬入及び／又は前記浸透液塗布装置からワークを搬出する搬送装置と、
を備える、探傷システム。
前記浸透液塗布装置にワークを搬入及び／又は前記浸透液塗布装置からワークを搬出する搬送装置と、
を備える、探傷システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、浸透液塗布装置及び浸透液塗布装置を備える探傷システムに関する。
【背景技術】
【0002】
試験体に蛍光浸透探傷剤溶液（単に、浸透液とも呼ぶ）を塗布し、ブラックライト等を照射することで、傷に入り込んだ薬剤を明らかにして試験体の傷を検出する浸透探傷装置が知られている。例えば、特許文献１には、洗浄した鋼板表面に浸透液を塗布し、表面を洗浄し乾燥させてから現像液を塗布して傷を染色した状態で検査を行う鋼板の自動浸透探傷検査方法が記載されている。
（先行技術文献）
（特許文献）
（特許文献１） 特開２００３－９８１１０号公報
（先行技術文献）
（特許文献）
（特許文献１） 特開２００３－９８１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
斯かる探傷検査法において、試験体に浸透液を一様に塗布するのが困難であり、一般に手作業による塗布を要すること、浸透液を塗布した試験体に洗浄液を噴霧して洗浄するにも、洗浄ムラが発生するため手作業による補助を要すること、試験体を浸透探傷装置に搬送するのにトロリークレーン、ベルトコンベア等を使用することで搬送速度及び精度が低いことといった理由により、探傷検査の効率化及び自動化が困難であった。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の第１の態様においては、ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置であって、ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える浸透液塗布装置が提供される。
【0005】
本発明の第２の態様においては、第１の態様における浸透液塗布装置と、当該浸透液塗布装置にワークを搬入及び／又は浸透液塗布装置からワークを搬出する搬送装置と、を備える探傷システムが提供される。
【0006】
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本実施形態に係る探傷システムの構成を示す。
【図2】浸透液塗布装置の内部構成を回転台上にスタンドが載置された状態で示す。
【図3A】浸透液塗布装置の回転台の構成及びノズルの配置を示す。
【図3B】浸透液塗布装置の構成を正面視において示す。
【図3C】浸透液塗布装置の構成を上面視において示す。
【図3D】浸透液塗布装置の第１ノズルの配置及び高さを示す。
【図4】浸透液塗布装置の稼働状態を示す。
【図5】スタンドの構成を示す。
【図6A】スタンドに支持される吊下治具の構成を示す。
【図6B】スタンドに支持された吊下治具の上部を示す。
【図6C】回転台上に支持されたスタンド及びスタンドに支持された吊下治具の下部を、吊下治具に複数のワークが支持された状態で示す。
【図7】洗浄装置の内部構成を回転台上にスタンドが載置された状態で示す。
【図8A】洗浄装置の回転台の構成及びノズルの配置を示す。
【図8B】洗浄装置の構成を正面視において示す。
【図8C】洗浄装置の構成を上面視において示す。
【図8D】洗浄装置のノズルの配置を示す。
【図9】洗浄装置の稼働状態を示す。
【図10】本洗浄装置の内部構成を支持台上にスタンドが載置された状態で示す。
【図11A】本洗浄装置の支持台の構成及びノズルの配置を示す。
【図11B】本洗浄装置の構成を正面視において示す。
【図11C】本洗浄装置の構成を上面視において示す。
【図11D】本洗浄装置のノズルの配置を示す。
【図12】本洗浄装置の稼働状態を示す。
【図13A】搬送装置の概略構成を、スタンドを把持した状態で示す。
【図13B】搬送装置の機能構成を示す。
【図14】昇降機の構成を示す。
【図15A】昇降機がスタンドがセットされた状態を示す。
【図15B】昇降機にスタンドがセットされた状態を示す。
【図15C】昇降機にスタンドがセットされた状態を正面視において示す。
【図15D】昇降機がセットされたスタンドを挟持した状態を示す。
【図15E】昇降機がセットされたスタンドを挟持した状態を正面視において示す
【図16A】搬送装置によるスタンドの搬送動作（Ｚ搬送装置が移動しつつ昇降機が下降している状態）を示す。
【図16B】搬送装置によるスタンドの搬送動作（昇降機がスタンド横に位置決めされた状態）を示す。
【図16C】搬送装置によるスタンドの搬送動作（Ｚ搬送装置がスタンドを把持した状態）を示す。
【図16D】搬送装置によるスタンドの搬送動作（スタンドを把持した昇降機が移動しつつ上昇している状態）を示す。
【図16E】搬送装置によるスタンドの搬送動作（スタンドを把持した昇降機が下降している状態）を示す。
【図16F】搬送装置によるスタンドの搬送動作（昇降機がスタンドを解放して退避する状態）を示す。
【図16G】搬送装置によるスタンドの搬送動作（Ｚ搬送装置が退避している状態）を示す。
【図17A】探傷システムによって実行される探傷方法のフローの一例を示す。
【図17B】探傷システムによって実行される探傷方法のフローの別の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0009】
なお、本明細書において、「少なくとも１つのＡ、Ｂ、及びＣ」なる表現は「Ａ、Ｂ、及び／Ｃ」と同義であり、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ａ及びＢ、Ａ及びＣ、Ｂ及びＣ、又はＡ及びＢ及びＣを意味する。
【0010】
図１に、本実施形態に係る探傷システム９の概略構成を示す。探傷システム９は、浸透探傷試験によって、試験体（ワークとも呼ぶ）７の表面欠陥、例えば微細な傷を検出するためのシステムである。探傷システム９は、探傷検査を自動化して効率化することを課題としたものであり、浸透液塗布装置１、洗浄装置２、本洗浄装置３、観察装置４、及び搬送装置５を備える。
【0011】
なお、浸透探傷試験とは、毛細管現象を利用して試験体表面の微細な欠陥に浸透液を浸透させ、その浸透液を利用して欠陥を観察することで欠陥を検出する試験である。ここで、浸透探傷試験は、浸透液として染色浸透液を用いる染色探傷試験及び蛍光浸透液を用いる蛍光浸透試験に大別される。本実施形態に係る探傷システム９は、染色探傷試験及び蛍光浸透試験のいずれの試験にも使用することができ、試験体に塗布された浸透液を洗い落とす予備洗浄、試験体に残留する浸透液に乳化剤を馴染ませる乳化、乳化された浸透液を洗い流す本洗浄等の工程を行って、試験体の表面欠陥に入り込んだ浸透液のみを試験体に残留させ、有色の浸透液を現像剤により試験体表面上に露出して視認容易にして撮影する又は蛍光剤を含む浸透液をブラックライトの照射により発光させて撮影し、撮影画像を解析することで試験体の表面欠陥を検出する。
【0012】
また、本実施形態に係る探傷システム９では、ワーク７は、一例として、長さ約２００ｍｍ、幅約５０ｍｍ、厚み１～３ｍｍ、重量約１００ｇを有する航空機用ジェットエンジンのタービンブレードとする。
【0013】
〈浸透液塗布装置〉
図２及び図３Ａから図３Ｃに、浸透液塗布装置１の構成を示す。ここで、図２には、浸透液塗布装置１の内部構成を示す。回転台１２上に複数のワーク７を支持したスタンド６が載置されている。ただし、装置構成を明示するために、スタンドの６つのアームのうちの２つのアームのみに吊下治具６５をそれぞれ支持し、それぞれの吊下治具６５に１つのワーク７のみを支持した状態を示す。図３Ａには、浸透液塗布装置１の回転台１２の構成及びノズルの配置を示す。図３Ｂ及び図３Ｃには、浸透液塗布装置１の構成をそれぞれ正面視及び上面視において示す。浸透液塗布装置１は、ワーク７に浸透液を塗布する装置であり、チャンバ１０、回転装置１１、回転台１２、複数の第１ノズル１３、及び第２ノズル１４を備える。なお、スタンド６の構成については後述する。
図２及び図３Ａから図３Ｃに、浸透液塗布装置１の構成を示す。ここで、図２には、浸透液塗布装置１の内部構成を示す。回転台１２上に複数のワーク７を支持したスタンド６が載置されている。ただし、装置構成を明示するために、スタンドの６つのアームのうちの２つのアームのみに吊下治具６５をそれぞれ支持し、それぞれの吊下治具６５に１つのワーク７のみを支持した状態を示す。図３Ａには、浸透液塗布装置１の回転台１２の構成及びノズルの配置を示す。図３Ｂ及び図３Ｃには、浸透液塗布装置１の構成をそれぞれ正面視及び上面視において示す。浸透液塗布装置１は、ワーク７に浸透液を塗布する装置であり、チャンバ１０、回転装置１１、回転台１２、複数の第１ノズル１３、及び第２ノズル１４を備える。なお、スタンド６の構成については後述する。
【0014】
チャンバ１０は、その内部で浸透液のワーク７への塗布が行われる筐体であり、その内部に回転装置１１、回転台１２、第１ノズル１３、及び第２ノズル１４が配置される。チャンバ１０内で浸透液の塗布を行うことで、周囲に浸透液が飛散するのを防ぐとともに、使用後の浸透液を簡便に処理することができる。チャンバ１０は、蓋体１０３、搬送口１０１，１０２を含む。
【0015】
蓋体１０３は、チャンバ１０の上部に設けられた開閉可能な部材であり、ワーク７を支持したスタンド６をチャンバ１０内に搬入する際及びチャンバ１０外に搬出する際に開き、浸透液塗布装置１の稼働時に閉じることでチャンバ１０内部を周囲から遮蔽する。蓋体１０３は、開閉可能な構造であれば特にその構造は限定されず、蝶番式蓋、スライド式蓋、取り外し可能な天面等、様々な構造の蓋を採用することができる。
【0016】
搬送口１０１は、チャンバ１０の右側面に設けられた開口であり、これを介してワーク７を支持したスタンド６をチャンバ１０内に搬入することができる。搬送口１０１には、開閉可能な扉が固定されている。浸透液塗布装置１の稼働時には、扉により搬送口１０１を閉じることでチャンバ１０内部を周囲から遮蔽し、浸透液塗布装置１の停止時には、搬送口１０１を開いてワーク７を支持したスタンド６の搬入路を形成する。
【0017】
搬送口１０２は、チャンバ１０の左側面に設けられた開口であり、これを介してワーク７を支持したスタンド６をチャンバ１０外に搬出することができる。搬送口１０２には、開閉可能な扉が固定されている。浸透液塗布装置１の稼働時には、扉により搬送口１０２を閉じることでチャンバ１０内部を周囲から遮蔽し、浸透液塗布装置１の停止時には、搬送口１０２を開いてワーク７を支持したスタンド６の搬出路を形成する。
【0018】
なお、搬送口１０１，１０２に設けられる扉は、開閉可能な構造であれば特にその構造は限定されず、蝶番式扉、スライド式扉、取り外し可能な壁面等、様々な構造の扉を採用することができる。また、搬送口１０１，１０２がそれぞれスタンド６の搬出路及び搬入路を形成してもよい。
【0019】
回転装置１１は、回転台１２を回動する装置であり、チャンバ１０の底面の中央に配置されて、上面視において時計回り及び反時計回りの両方向に回転台１２を回動する。回転装置１１は、回転軸１１１、駆動装置１１２、エンコーダ１１３、及び制御部１１４を有する。
【0020】
回転軸１１１は、駆動装置１１２による駆動力を回転台１２に伝えてこれを回動する円柱状の軸体であり、先端を鉛直方向に延ばして回転台１２の中心部を構成する。
【0021】
駆動装置１１２は、回転軸１１１を回転駆動する電動モータであり、制御部１１４により指示された速度で回転軸１１１を回転する。
【0022】
エンコーダ１１３は、回転台１２の回転を検出する装置であり、例えば、ＬＥＤ等の光源を用いて回転軸１１１の胴部に設けられたスリット円板（不図示）を照明し、光検出器（不図示）を用いてスリット円板上に周方向に配列されたスリットを通過した光を検出することで、回転軸１１１の回転を検出する。その検出結果は制御部１１４に送信される。
【0023】
なお、本実施形態ではエンコーダ１１３を用いて回転台１２の回転を検出したが、回転駆動とその検出の手段はこれに限られない。例えば、駆動装置１１２にロータリーアクチュエータを使用して一定角度で回転軸１１１を回転駆動させてもよいし、駆動装置１１２にサーボモータを使用してサーボモータで回転を検出しつつ回転軸１１１を回転駆動させてもよい。
【0024】
制御部１１４は、エンコーダ１１３の検出結果に基づいて駆動装置１１２を制御することにより、回転台１２を時計回り又は反時計回りに回転させるコンピュータ装置であり、専用プラグラムを起動することで制御機能を発現する。制御部１１４は、外部からの指示に応答して回転台１２を回転させてもよい。
【0025】
上述の構成の回転装置１１により回転台１２を時計回り又は反時計回りの両方向に回転させつつ第１ノズル１３及び第２ノズル１４により浸透液を回転台１２上にスタンド６を介して支持された複数のワーク７に向けて吐出することにより、それぞれのワーク７の全面に満遍なく浸透液を塗布することができる。
【0026】
回転台１２は、ワーク７を支持して回転する部材である。本実施形態の浸透液塗布装置１では、後述するスタンド６を利用して複数のワーク７を回転台１２の上方に支持する構成を採用する。回転台１２は、枠体１２１、支持面１２２、及び８つのリブ１２３を有する。なお、これらの部材は、一例としてＳＵＳ３０４を用いて形成することができる。また、回転台１２は、回転装置１１の回転軸１１１の上端に接続されて回転装置１１の上方に設置される。
【0027】
枠体１２１は、内側にスタンド６の底部６３を嵌入させてこれを支持する円筒状の部材である。枠体１２１により、スタンド６を回転台１２上に水平方向に関して位置決めすることができる。なお、枠体１２１の形状は、スタンド６の底部６３を嵌入させて支持できる形状及び大きさであればよく、従って円筒状に限られず、底部６３の形状に合わせて適宜変更することができる。
【0028】
支持面１２２は、その上にスタンド６の底部６３を支持する円環状の部材であり、枠体１２１の下端から内向きに張り出して枠体１２１と一体的に形成されている。支持面１２２は、メッシュ状に形成されてもよく、それにより、回転台１２の下方に配された第２ノズル１４から上方に吐出される浸透液が支持面１２２を通過することで、回転台１２の上方に支持されるワークの下面に浸透液を塗布することができる。
【0029】
８つのリブ１２３は、枠体１２１を回転装置１１の回転軸１１１に接続する部材である。８つのリブ１２３は、回転軸１１１に対して周方向に等間隔に配列され、枠体１２１及び支持面１２２の下面から中心に向けて延設される。それにより、枠体１２１及び８つのリブ１２３に囲まれる８つの開口１２４が形成され、これらを介して浸透液が回転台１２を通過することができ、回転台１２の下方の第２ノズル１４から上方に吐出される浸透液を回転台１２の上方に支持されるワーク７の下面に塗布することが可能となる。
【0030】
なお、本実施形態ではリブ１２３の数は８つとしたが、枠体１２１を回転軸１１１に固定するとともにそれらの間に開口１２４を形成することができでれば８以外の数であってもよい。また、リブ１２３の形状も、それらの間に形成される開口１２４を介して浸透液が回転台１２を通ることができれば任意の形状であってよい。
【0031】
複数の第１ノズル１３は、回転台１２の周囲に配置されて、中央に向けて浸透液を吐出するノズルである。複数の第１ノズル１３により、回転台１２の上方に支持される複数のワーク７に向けて浸透液を吐出することで、効率良く浸透液を複数のワーク７に塗布することができる。
【0032】
複数の第１ノズル１３は、チャンバ１０内の左手前、左奥、右奥、右手前の隅にそれぞれ配置された４つの第１ノズル１３１～１３４を含む。一対の第１ノズル１３１，１３３並びに一対の第１ノズル１３２，１３４は、それぞれ、回転台１２を挟んで対向する。少なくとも一対の第１ノズル１３を対向させることで、回転台１２の上方に支持されるワーク７に両側から浸透液を塗布することができる。
【0033】
図３Ｄに、チャンバ１０の左側面、正面、右側面、及び背面から見て手前に配された複数の第１ノズルの配置及び高さを示す。一対の第１ノズル１３１，１３３は、一対の第１ノズル１３２，１３４よりも高い位置に設けられる。このように、複数の第１ノズル１３のうち少なくとも２つが異なる高さに配置されることにより、高い位置に配された第１ノズル１３及び低い位置に配された第１ノズル１３を用いて、回転台１２の上方に高さ方向に並べて支持された複数のワーク７のそれぞれに浸透液を塗布することができる。
【0034】
ここで、例えば第１ノズル１３１について、隣接する第１ノズル１３２及び第１ノズル１３４との高低差は、回転台１２を挟んで対向する第１ノズル１３３との高低差よりも大きい。このように、複数の第１ノズル１３のうち、ある第１ノズル１３と、隣接する少なくとも一方の第１ノズル１３との高低差を、回転台１２を挟んで対向する第１ノズル１３との高低差よりも大きくすること、つまり高低差の大きい第１ノズルを近くに配置することにより、第１ノズルからの浸透液の噴射が隣の第１ノズルからの浸透液の噴射に干渉することを抑止し、浸透液を効率的にワーク７に塗布することができる。
【0035】
第２ノズル１４は、回転台１２の下方に配置されて、上方に向けて浸透液を吐出するノズルである。本実施形態では、第２ノズル１４は、回転台１２の下方で回転軸１１１の左方に１つ配置される。なお、複数の第２ノズル１４を回転台１２の下方で回転軸１１１の周囲に等間隔で配置することとしてもよい。第２ノズル１４を用いることにより、回転台１２の上方に支持される複数のワーク７の下面に浸透液を塗布することができる。
【0036】
第１ノズル１３１～１３４及び第２ノズル１４の少なくとも１つに、二流体ノズルを採用することができる。二流体ノズルは、圧縮空気などの高速気流を液体に混合し、液体を微粒化して噴出するノズルである。それにより、浸透液を微細な噴霧としてワーク７に満遍なく吹き付けることができる。
【0037】
図４に浸透液塗布装置１の稼働状態を示す。後述するスタンド６を利用して複数のワーク７が回転台１２の上方に支持される。浸透液塗布装置１は、回転装置１１により回転台１２を回転させてその上方に支持された複数のワーク７を例えば反時計回りに回動させると同時に、回転台１２の側方に配置された第１ノズル１３から中央に向けて浸透液を吐出するとともに、回転台１２の下方に配置された第２ノズル１４から上方に向けて浸透液を吐出する。また、浸透液塗布装置１は、回転台１２の回転方向を反転させて複数のワーク７を時計回りに回動させると同時に、第１ノズル１３から中央に向けて浸透液を吐出するとともに、第２ノズル１４から上方に向けて浸透液を吐出する。それにより、複数のワーク７のそれぞれの全面に浸透液を効率良く塗布することができる。
【0038】
本実施形態に係る浸透液塗布装置１は、ワーク７を支持する回転台１２を回動する回転装置１１、回転台１２の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズル１３、回転台１２の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズル１４を備える。これにより、回転台１２の上方に複数のワーク７を支持し、回転装置１１により回転台１２を回動しつつ、回転台１２の側方に配置された少なくとも１つの第１ノズル１３から中央に向けて浸透液を吐出するとともに、回転台１２の下方に配置された少なくとも１つの第２ノズル１４から上方に向けて浸透液を吐出することで、上面だけでなく下面も含むワーク７全面に浸透液を効率良く塗布することが可能となる。
【0039】
図５に、複数のワーク７を支持するスタンド６の構成を示す。スタンド６は、複数のワーク７を支持して安定に搬送可能なスタンドを提供することを課題としたものであり、軸体６１、底部６３、上部６４、及び吊下治具６５を含む。なお、スタンド６は、後述するフランジ６１１を除いて、例えばＳＵＳ３０４を用いて形成することができる。
【0040】
軸体６１は、上下方向に延びてスタンド６の中心軸となる棒状部材であり、その上端にフランジ６１１が設けられている。フランジ６１１は、軸体６１の上端から半径方向に張り出し成形され、その下側に軸体に向かって細くなる逆円錐状のテーパ面６１１１が形成されている。フランジ６１１は、後述するように、搬送装置５によりスタンド６が把持される際に昇降機５１１によって上下から挟圧され、その際にテーパ面６１１１が水平方向に関する位置決めを補助する。
【0041】
底部６３は、軸体６１の下端に設けられて、浸透液塗布装置１の回転台１２、洗浄装置２の回転台２２(図７参照)、又は本洗浄装置３の支持台３２(図１０参照)上に載置可能な構造部であり、枠体６３１、複数のリブ６３２、及び複数の位置決めリブ６３３を有する。
【0042】
枠体６３１は、浸透液塗布装置１の回転台１２の枠体１２１内に嵌入可能な円筒状の部材であり、後述する複数のリブ６３２により軸体６１の下端に固定される。枠体６３１の形状及び大きさは、枠体１２１内に嵌入可能であれば特に限定されず、例えば外接円の半径が枠体６３１の半径に等しい角筒形状であってもよい。
【0043】
複数のリブ６３２は、枠体６３１を軸体６１に接続する部材であり、軸体６１の下端から外方向に延びて枠体６３１の内面に接続する。本実施形態では、一例として３つのリブ６３２が、軸体６１に対して周方向に等間隔に配列される。
【0044】
複数の位置決めリブ６３３は、吊下治具６５の下部を水平方向に関して位置決めする部材であり、それぞれ、２つの棒体６３３１及び２つの連結部材６３３２を有する。２つの棒体６３３１は、軸体６１から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間して枠体６３１の上端に固定される。２つの連結部材６３３２は、２つの棒体６３３１の上面上に半径方向に互いに離間して固定され、２つの棒体６３３１の間隙を制限してそれらの間に開口６３３３を形成する。複数の位置決めリブ６３３は、複数のアーム６４１と同数であり、軸体６１の周方向に関して複数のアーム６４１と同じ位置に設けられる。
【0045】
上部６４は、複数のワーク７を支持した吊下治具６５を吊り下げ支持するスタンド６の上側の構造部であり、複数のアーム６４１及び連結部材６４２を有する。
【0046】
複数のアーム６４１は、軸体６１の胴部から半径方向に延びて吊下治具６５を吊り下げ支持する構造体であり、本実施形態では６つのアーム６４１が軸体６１の周方向に等間隔に配列される。複数のアーム６４１は、それぞれ、２つの棒体６４１１を有する。２つの棒体（側部の一例）６４１１は、軸体６１から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する。それらの先端は胴部に対して厚く成形されている。
【0047】
連結部材６４２は、同心円状に配置された２つのリング状の部材であり、６つのアームを互いに連結するとともにそれぞれの２つの棒体６４１１を連結する。２つの棒体６４１１及び外側の連結部材６４２により、２つの棒体６４１１の先端側に吊下治具６５の係止部材６５２１，６５２２が挿入可能なスリット６４１２が形成される。また、２つの棒体６４１１並びに外側及び内側の連結部材６４２により、それらの間に吊下治具６５の係止部材６５２１の先端が挿入可能な開口６４１３が形成される。
【0048】
なお、上部６４は、後述する吊下治具６５の係止部材６５２１，６５２２を挿入可能な外側から軸体６１に向かうスリット６４１２及びこれに半径方向に隣接して、係止部材６５２１の先端を通す開口６４１３を含めば、複数のアーム６４１及びリング状の連結部材６４２に代えて、例えば外縁から中心に向かう複数のスリット及びこれに半径方向に隣接する複数の開口が形成された円板を使用してもよい。
【0049】
このように、吊下治具６５を吊り下げ支持するアーム６４１を周方向に複数設け、複数のアーム６４１を高さ方向に並べて支持する吊下治具６５を軸体の周方向に複数吊り下げることで、多くのワーク７をスタンド６に支持することができる。
【0050】
図６Ａから図６Ｃに、吊下治具６５の構成を示す。ここで、図６Ａには、吊下治具６５の構成を正面視及び側面視において示し、図６Ｂにはスタンド６に支持された吊下治具６５の上部を示し、図６Ｃにはスタンド６に支持された吊下治具６５の下部を吊下治具６５に複数のワーク７が支持された状態で示す。吊下治具６５は、複数のワーク７を高さ方向に支持して複数のアーム６４１のいずれかに着脱可能に吊り下げ支持される構造体であり、枠体６５５、複数の支持部材６５１１、第１係止部材６５２１、第２係止部材６５２２、及び差込部材６５３１を備える。
【0051】
枠体６５５は、正面視矩形状の枠体であり、２つの側辺６５１、上辺６５２、及び下辺６５３を有する。２つの側辺６５１は、横方向に離間して上下方向に延びる棒状部材であり、２つの側辺６５１の上端側が支持部材６５１１が固定された一側に向かって屈曲している。上辺６５２は、離間した２つの側辺６５１の上端を横方向に接続する棒状部材である。下辺６５３は、離間した２つの側辺６５１の下端を横方向に接続する棒状部材である。
【0052】
なお、枠体６５５は、２つの側辺６５１の中間部を接続する接続辺６５４を含んでもよい。接続辺６５４は、一例として、２つの側辺６５１のそれぞれの屈曲部を横方向に接続する棒状部材、２つの側辺６５１のそれぞれの中央下側を横方向に接続する棒状部材であってよい。それにより、複数のワーク７を支持できるよう枠体６５５が補強される。
【0053】
支持部材６５１１は、ワーク７を支持する部材である。支持部材６５１１は、略Ｕ形状を有し、一側を側辺６５１に固定してその端部を側辺６５１から離間する方向に湾曲し、他側を側辺６５１から離間してその端部を一側の端部より低い位置で側辺６５１に向けて湾曲する。ここで、２つの側辺６５１の上端側が支持部材６５１１が固定された一側に向かって屈曲していることで、側面視において、支持部材６５１１の中心が吊下治具の中心にほぼ一致している。それにより、支持部材６５１１により複数のワーク７を吊下治具６５に支持した際にそれらの重心が吊下治具６５の中心に位置することとなり、吊下治具６５をアーム６４１から鉛直方向に安定に吊下げることができる。
【0054】
支持部材６５１１の形状により、ワーク７の端部を、支持部材６５１１の両端部の間からＵ形状の内側に挿入することで、図６Ｂ、図６Ｃに示すように、ワークを吊下治具に支持させることができる。このとき、支持部材６５１１の他側の端部がワークの上方を覆い、さらに一側の端部がその上方を覆うことで、ワークが支持部材６５１１から離脱するのを防止することができる。また、ワーク７の端部を、支持部材６５１１の両端部の間を介して引き抜くことで、ワーク７を容易に吊下治具６５から取り外すこともできる。
【0055】
ここで、複数の支持部材６５１１が、２つの側辺６５１のそれぞれに高さ方向に関して同じ位置に複数（一例として６つ）固定される。２つの側辺６５１にそれぞれ固定された支持部材６５１１によりワーク７の端部をそれぞれ支持することで、吊下治具６５に複数のワーク７を支持することができる。
【0056】
このように、吊下治具６５が、横方向に離間する２つの側辺６５１及び２つの側辺６５１のそれぞれに固定された複数の支持部材６５１１を含むことにより、２つの側辺６５１に固定された複数の支持部材６５１１でそれぞれワーク７の端部を支持して、２つの側辺６５１の間に複数のワーク７を支持することができる。
【0057】
第１係止部材６５２１は、スタンド６の上部６４に係止して吊下治具６５をアーム６４１に吊り下げるための部材である。第１係止部材６５２１は、先端にフックを有し、基端が上辺６５２の中央左に固定される。図６Ｂに示すように、第１係止部材６５２１はアーム６４１の先端のスリット６４１２に挿入されて、２つの棒体６４１１の間に位置して、それらを連結する連結部材６４２に係止する。
【0058】
第２係止部材６５２２は、第１係止部材６５２１とともにスタンド６の上部６４に係止して吊下治具６５をアーム６４１に吊り下げるための部材である。第２係止部材６５２２は、Ｔ字状に成形されて拡径又は拡幅された端部を有し、基端が上辺６５２の中央に固定される。図６Ｂに示すように、第２係止部材６５２２はアーム６４１の先端のスリット６４１２に挿入されて、２つの棒体６４１１の間から、連結部材６４２より先端側に端部を係止する。
【0059】
上述の通り第１係止部材６５２１及び第２係止部材６５２２の左右に並ぶ２つの係止部材をアーム６４１の連結部材６４２及び先端にそれぞれ係止することで、吊下治具６５をスタンド６に着脱可能に吊下げることができる。また、吊下治具６５の上部を半径方向及び周方向に関して位置決めするとともに、吊下治具６５の回転を抑止してアーム６４１に吊り下げ支持することができる。
【0060】
差込部材６５３１は、下辺６５３に下方に向けて突出して設けられた部材である。図６Ｃに示すように、差込部材６５３１を、スタンド６の底部６３の２つの棒体６３３１及び２つの連結部材６３３２の間に形成された開口６３３３に差し込むことで、吊下治具６５の下部を半径方向及び周方向に関して位置決めする。これにより、吊下治具６５の回転を抑止してスタンド６に安定に吊り下げることができる。
【0061】
本実施形態に係るスタンド６は、軸体６１、軸体６１の下端に設けられて、回転台１２，２２又は支持台３２上に載置可能な底部６３、軸体６１の胴部から外方向に延びて複数のワーク７を吊り下げ支持する少なくとも１つのアーム６４１を備える。斯かる構成のスタンド６により、吊下治具６５に複数のワーク７を高さ方向に支持し、これを軸体６１の周方向に並べて吊り下げ支持し、底部６３を回転台１２，２２又は支持台３２上に載置することで、回転台１２，２２又は支持台３２上に周方向及び高さ方向に多くのワーク７を支持することが可能となる。それにより、一度に複数のワーク７に浸透液を塗布すること、洗浄液を吐出して洗浄するなどの処理をすることができる。
【0062】
また、スタンド６が、複数のワーク７を高さ方向に支持して少なくとも１つのアーム６４１に着脱化可能に吊り下げる少なくとも１つの吊下治具６５を含むことで、少なくとも１つの吊下治具６５により複数のワーク７をスタンド６に吊り下げ支持することができる。
【0063】
〈洗浄装置〉
図７及び図８Ａから図８Ｄに、洗浄装置２の構成を示す。ここで、図７には、洗浄装置２の内部構成を示す。回転台２２上に複数のワーク７を支持したスタンド６が載置されている。ただし、装置構成を明示するために、スタンドの６つのアーム６４１のうちの２つのアーム６４１のみに吊下治具６５をそれぞれ支持し、それぞれの吊下治具６５に１つのワーク７のみを支持した状態を示す。図８Ａには、洗浄装置２の回転台２２の構成及びノズルの配置を示す。図８Ｂ及び図８Ｃには、洗浄装置２の構成をそれぞれ正面視及び上面視において示す。洗浄装置２は、浸透液が塗布されたワーク７に水等の洗浄液を噴出して表面に残る浸透液を洗い落とす装置であり、チャンバ２０、回転装置２１、回転台２２、第１ノズル２３、及び第２ノズル２４を備える。
図７及び図８Ａから図８Ｄに、洗浄装置２の構成を示す。ここで、図７には、洗浄装置２の内部構成を示す。回転台２２上に複数のワーク７を支持したスタンド６が載置されている。ただし、装置構成を明示するために、スタンドの６つのアーム６４１のうちの２つのアーム６４１のみに吊下治具６５をそれぞれ支持し、それぞれの吊下治具６５に１つのワーク７のみを支持した状態を示す。図８Ａには、洗浄装置２の回転台２２の構成及びノズルの配置を示す。図８Ｂ及び図８Ｃには、洗浄装置２の構成をそれぞれ正面視及び上面視において示す。洗浄装置２は、浸透液が塗布されたワーク７に水等の洗浄液を噴出して表面に残る浸透液を洗い落とす装置であり、チャンバ２０、回転装置２１、回転台２２、第１ノズル２３、及び第２ノズル２４を備える。
【0064】
チャンバ２０は、その内部でワーク７の洗浄が行われる筐体であり、その内部に回転装置２１、回転台２２、第１ノズル２３、及び第２ノズル２４が配置される。チャンバ２０内で洗浄を行うことで、周囲に洗浄液が飛散するのを防ぐとともに、使用後の洗浄液を簡便に処理することができる。チャンバ２０は、蓋体２０３、搬送口２０１，２０２を含む。
【0065】
蓋体２０３は、チャンバ２０の上部に設けられた開閉可能な部材であり、ワーク７を支持したスタンド６をチャンバ２０内に搬入する際及びチャンバ２０外に搬出する際に開き、洗浄装置２の稼働時に閉じることでチャンバ２０内部を周囲から遮蔽する。蓋体２０３は、開閉可能な構造であれば特にその構造は限定されず、蝶番式蓋、スライド式蓋、取り外し可能な天面等、様々な構造の蓋を採用することができる。
【0066】
搬送口２０１は、チャンバ２０の右側面に設けられた開口であり、これを介してワーク７を支持したスタンド６をチャンバ２０内に搬入することができる。搬送口２０１には、開閉可能な扉が固定されている。洗浄装置２の稼働時には、扉により搬送口２０１を閉じることでチャンバ２０内部を周囲から遮蔽し、洗浄装置２の停止時には、搬送口２０１を開いてワーク７を支持したスタンド６の搬入路を形成する。
【0067】
搬送口２０２は、チャンバ２０の左側面に設けられた開口であり、これを介してワーク７を支持したスタンド６をチャンバ２０外に搬出することができる。搬送口２０２には、開閉可能な扉が固定されている。洗浄装置２の稼働時には、扉により搬送口２０２を閉じることでチャンバ２０内部を周囲から遮蔽し、洗浄装置２の停止時には、搬送口２０２を開いてワーク７を支持したスタンド６の搬出路を形成する。
【0068】
なお、搬送口２０１，２０２に設けられる扉は、開閉可能な構造であれば特にその構造は限定されず、蝶番式扉、スライド式扉、取り外し可能な壁面等、様々な構造の扉を採用することができる。また、搬送口２０１，２０２がそれぞれスタンド６の搬出路及び搬入路を形成してもよい。
【0069】
回転装置２１は、回転台２２を回動する装置であり、チャンバ２０の底面の中央に配置されて、上面視において時計回り及び反時計回りの両方向に回転台２２を回動する。回転装置２１は、回転軸２１１、駆動装置、エンコーダ、及び制御部（不図示）を有する。これらは、先述の回転装置１１におけるそれらと同様に構成される。回転装置２１により回転台２２を時計回り又は反時計回りに回転させつつ第１ノズル２３及び第２ノズル２４により洗浄液を回転台２２上にスタンド６を介して支持された複数のワーク７に向けて吐出することにより、それぞれのワーク７の全面から満遍なく浸透液を洗い落とすことができる。
【0070】
回転台２２は、ワーク７を支持して回転する部材である。本実施形態の洗浄装置２では、先述のスタンド６を利用して複数のワーク７を回転台２２上に支持する構成を採用する。回転台２２は、枠体２２１及びリブ２２３を有する。なお、これらの部材は、例えばＳＵＳ３０４を用いて形成することができる。また、回転台２２は、回転装置２１の回転軸２１１の上端に接続されて回転装置２１の上方に設置される。
【0071】
枠体２２１は、スタンド６の底部６３が載置される角筒形状の部材である。枠体２２１の形状は、スタンド６を載置させて支持できる形状及び大きさであればよく、従って角筒形状に限られず、底部６３の形状に合わせて適宜変更することができる。枠体２２１は、側面又は上面から上方に向かって立設された３つの位置決め部材２２１１を有する。
【0072】
３つの位置決め部材２２１１は、それらによって囲まれた空間にスタンド６の底部６３を嵌入させてこれを支持する板状の部材である。位置決め部材２２１１により、スタンド６を回転台２２上に水平方向に関して位置決めすることができる。なお、本実施形態では位置決め部材２２１１の数は３つとしたが、スタンド６の底部６３を嵌入させて支持できる数であればよく、適宜変更することができる。
【0073】
リブ２２３は、枠体２２１を回転装置２１の回転軸２１１に接続する部材である。リブ２２３は、両端部を枠体２２１の互いに対向する一対の内面にそれぞれ固定し、その中心を回転装置２１の回転軸の上端に固定する。それにより、枠体２２１及びリブ２２３に囲まれる２つの開口２２４が形成され、これらを介して洗浄液が回転台２２を通過することができ、回転台２２の下方の第２ノズル２４から上方に吐出される洗浄液で回転台２２の上方に支持されるワーク７の下面を洗浄することが可能となる。
【0074】
なお、本実施形態では１つのリブ２２３を設けることとしたが、枠体２２１を回転装置２１の回転軸２１１に固定するとともにそれらの間に開口２２４を形成することができれば、回転軸２１１の周方向に複数のリブ２２３を配列してもよい。また、リブ２２３の形状も、それらの間に形成される開口２２４を介して洗浄液が回転台２２を通ることができれば任意の形状であってよい。
【0075】
複数の第１ノズル２３は、回転台２２の周囲に配置されて、中央に向けて洗浄液を吐出するノズルである。複数の第１ノズル２３により、回転台２２の上方に支持される複数のワーク７に向けて洗浄液を吐出することで、効率良く複数のワーク７から効率良く浸透液を洗い落とすことができる。
【0076】
複数の第１ノズル２３は、チャンバ２０内の左手前、左中央、左奥、中央奥、右奥、右中央、右手前、手前中央の隅にそれぞれ配置された８つのノズル２３１～２３８を含む。一対の第１ノズル２３１及び２３５，２３２及び２３６，２３３及び２３７並びに２３４及び２３８は、それぞれ、回転台２２を挟んで対向する。少なくとも一対の第１ノズル２３を対向させることで、回転台２２の上方に支持されるワーク７に両側から洗浄液を吹き付け、浸透液を洗い落とすことができる。
【0077】
図８Ｄに、チャンバ２０の左側面、正面、右側面、及び背面から見て手前に配された複数の第１ノズル２３の配置及び高さを示す。第１ノズル２３４，２３５，２３７，２３３，２３１が順に高い位置に設けられ、第１ノズル２３２，２３６，２３８が最も低い位置に設けられる。このように、複数の第１ノズル２３が異なる高さに配置されることにより、異なる高さに配置された複数の第１ノズル２３を用いて、吊下治具６５により高さ方向に配置された複数のワーク７のそれぞれに向けて洗浄液を吐出することができる。
【0078】
ここで、互いに対向する一対の第１ノズル２３４及び２３８、一対の第１ノズル２３５及び２３１、一対の第１ノズル２３７及び２３３の高低差がそれぞれ異なる。このように、対向する第１ノズル２３を異なる高さに設けるとともに各対の第１ノズル２３で高低差を変えて、複数の第１ノズル２３のうちのいくつかを異なる高さに設けることで、回転台２２の上方に高さ方向に並べて支持された複数のワーク７のそれぞれに向けて洗浄液を吐出することができる。
【0079】
また、第１ノズル２３２，２３６は、搬送口２０１により形成される搬入路から搬送口２０２により形成される搬出路までワーク７を支持したスタンド６を搬送する搬送経路よりも下方に位置する。このように、第１ノズル２３２，２３６をワーク７の搬送経路の下方に配置することにより、ワーク７を支持するスタンド６をノズルに干渉させることなく搬送することができる。
【0080】
第２ノズル２４は、回転台２２の下方に配置されて、上方に向けて洗浄液を吐出するノズルである。本実施形態では、第２ノズル２４は、回転台２２の下方で回転軸２１１の周囲に４つ配置される。このように、第２ノズル２４の少なくとも１つが、回転台２２の回転軸の周囲に配置されることにより、回転台２２の下方に回転軸２１１の周囲に配置された複数の第２ノズル２４を用いて、回転台２２の上方に支持された複数のワーク７に向けて洗浄液を吐出することができる。
【0081】
第１ノズル２３１～２３８及び第２ノズル２４１～２４４の少なくとも１つに、回転ノズルを採用することができる。回転ノズルは、チャンバ２０の壁面に対して平行方向（すなわち、方位角方向）に３６０度回転するとともに、迎角方向に１８０度回転しつつ液体を噴出するノズルである。それにより、洗浄液をチャンバ２０の壁面に吹き付けることを抑制し、洗浄液をチャンバ２０の内側に向けて効率良くワーク７に噴出することができる。
【0082】
図９に、洗浄装置２の稼働状態を示す。先述のスタンド６を利用して複数のワーク７が回転台２２の上方に支持される。洗浄装置２は、回転装置２１により回転台２２を回転させてその上方に支持された複数のワーク７を例えば反時計回りに回動させると同時に、回転台２２の側方に配置された第１ノズル２３から中央に向けて洗浄液を噴出するとともに、回転台２２の下方に配置された第２ノズル２４から上方に向けて洗浄液を噴出する。また、洗浄装置２は、回転台２２の回転方向を反転させて複数のワーク７を時計回りに回動させると同時に、第１ノズル２３から中央に向けて洗浄液を噴出するとともに、第２ノズル２４から上方に向けて洗浄液を噴出する。それにより、複数のワーク７のそれぞれの表面に残る浸透液を洗い落とすことができる。
【0083】
本実施形態に係る洗浄装置２は、ワーク７を支持する回転台２２を回動する回転装置２１、回転台２２の側方に配置され、中央に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第１ノズル２３、回転台２２の下方に配置され、上方に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第２ノズル２４を備える。これにより、回転台２２の上方に複数のワーク７を支持し、回転装置２１により回転台２２を回動しつつ、回転台２２の側方に配置された少なくとも１つの第１ノズル２３から中央に向けて洗浄液を吐出するとともに、回転台２２の下方に配置された少なくとも１つの第２ノズル２４から上方に向けて浸透液を吐出することで、上面だけでなく下面も含むワーク７全面から浸透液を洗い落とすことが可能となる。
【0084】
〈本洗浄装置〉
図１０及び図１１Ａから図１１Ｄに、本洗浄装置３の構成を示す。ここで、図１０には、本洗浄装置３の内部構成を示す。支持台３２上に複数のワーク７を支持したスタンド６が載置されている。ただし、装置構成を明示するために、スタンドの６つのアームのうちの２つのアームのみに吊下治具６５をそれぞれ支持し、それぞれの吊下治具６５に１つのワーク７のみを支持した状態を示す。図１１Ａには、本洗浄装置３の支持台３２の構成及びノズルの配置を示す。図１１Ｂ及び図１１Ｃには、本洗浄装置３の構成をそれぞれ正面視及び上面視において示す。本洗浄装置３は、洗浄装置２によって表面上の浸透液が洗い落とされ、表面欠陥に残った浸透液が乳化されたワーク７に水等の洗浄液を噴出して、浸透液をさらに洗い落とす装置であり、チャンバ３０、支持台３２、第１ノズル３３、及び第２ノズル３４を備える。
図１０及び図１１Ａから図１１Ｄに、本洗浄装置３の構成を示す。ここで、図１０には、本洗浄装置３の内部構成を示す。支持台３２上に複数のワーク７を支持したスタンド６が載置されている。ただし、装置構成を明示するために、スタンドの６つのアームのうちの２つのアームのみに吊下治具６５をそれぞれ支持し、それぞれの吊下治具６５に１つのワーク７のみを支持した状態を示す。図１１Ａには、本洗浄装置３の支持台３２の構成及びノズルの配置を示す。図１１Ｂ及び図１１Ｃには、本洗浄装置３の構成をそれぞれ正面視及び上面視において示す。本洗浄装置３は、洗浄装置２によって表面上の浸透液が洗い落とされ、表面欠陥に残った浸透液が乳化されたワーク７に水等の洗浄液を噴出して、浸透液をさらに洗い落とす装置であり、チャンバ３０、支持台３２、第１ノズル３３、及び第２ノズル３４を備える。
【0085】
なお、本洗浄装置３は、洗浄装置２で既に浸透液が洗い落とされたワーク７をさらに洗浄するものであり、ワーク７を回転させなくとも浸透液を十分に除去することが可能であるため、回転台及び回転装置を省くことができる。ただし、十分な除去が困難な浸透液に対応する場合等は、本洗浄装置３にも洗浄装置２と同様の回転台及び回転装置を設けてもよい。
【0086】
チャンバ３０は、その内部でワーク７の洗浄が行われる筐体であり、その内部に支持台３２、第１ノズル３３、及び第２ノズル３４が配置される。チャンバ３０内で洗浄を行うことで、周囲に洗浄液が飛散するのを防ぐとともに、使用後の洗浄液を簡便に処理することができる。チャンバ３０は、蓋体３０３、搬送口３０１，３０２を含む。
【0087】
蓋体３０３は、チャンバ３０の上部に設けられた開閉可能な部材であり、ワーク７を支持したスタンド６をチャンバ３０内に搬入する際及びチャンバ３０外に搬出する際に開き、本洗浄装置３の稼働時に閉じることでチャンバ３０内部を周囲から遮蔽する。蓋体３０３は、開閉可能な構造であれば特にその構造は限定されず、蝶番式蓋、スライド式蓋、取り外し可能な天面等、様々な構造の蓋を採用することができる。
【0088】
搬送口３０１は、チャンバ３０の右側面に設けられた開口であり、これを介してワーク７を支持したスタンド６をチャンバ３０内に搬入することができる。搬送口３０１には、開閉可能な扉が固定されている。本洗浄装置３の稼働時には、扉により搬送口３０１を閉じることでチャンバ３０内部を周囲から遮蔽し、本洗浄装置３の停止時には、搬送口３０１を開いてワーク７を支持したスタンド６の搬入路を形成する。
【0089】
搬送口３０２は、チャンバ３０の左側面に設けられた開口であり、これを介してワーク７を支持したスタンド６をチャンバ３０外に搬出することができる。搬送口３０２には、開閉可能な扉が固定されている。本洗浄装置３の稼働時には、扉により搬送口３０２を閉じることでチャンバ３０内部を周囲から遮蔽し、本洗浄装置３の停止時には、搬送口３０２を開いてワーク７を支持したスタンド６の搬出路を形成する。
【0090】
なお、搬送口３０１，３０２に設けられる扉は、開閉可能な構造であれば特にその構造は限定されず、蝶番式扉、スライド式扉、取り外し可能な壁面等、様々な構造の扉を採用することができる。また、搬送口３０１，３０２がそれぞれスタンド６の搬出路及び搬入路を形成してもよい。
【0091】
支持台３２は、ワーク７を支持する部材である。本実施形態の本洗浄装置３では、スタンド６を利用して複数のワーク７を支持台３２上に支持する構成を採用する。支持台３２は、枠体３２１、補強材３２２、及び脚体３２３を有する。
【0092】
枠体３２１は、スタンド６の底部６３が載置される角筒形状の部材である。枠体３２１の形状は、スタンド６を載置させて支持できる形状及び大きさであればよく、従って角筒形状に限られず、底部６３の形状に合わせて適宜変更することができる。
【0093】
補強材３２２は、枠体３２１を補強する部材である。補強材３２２は、枠体３２１の中心を一直線に貫くように、両端部を枠体３２１の互いに対向する一対の辺にそれぞれ固定する。それにより、枠体３２１及び補強材３２２に囲まれる２つの開口３２４が形成され、これらを介して洗浄液が支持台３２を通過することができ、支持台３２の下方の第２ノズル３４から上方に吐出される洗浄液で支持台３２の上方に支持されるワーク７の下面を洗浄することが可能となる。
【0094】
なお、本実施形態では枠体３２１の中心を貫く１つの補強材３２２を設けたが、枠体３２１を補強するとともにそれらの間に開口２２４を形成することができれば、複数の補強材３２２を配列してもよい。また、補強材３２２の形状も、それらの間に形成される開口３２４を介して洗浄液が支持台３２を通ることができれば任意の形状であってよい。
【0095】
脚体３２３は、枠体３２１をチャンバ３０の底面上に支持する部材である。脚体３２３は、側面視においてＬ字状に成形され、その上端が枠体３２１の４つの角部の内面に固定され、下端が底面に固定される。本実施形態では、脚体３２３は、枠体３２１の４つの角部を支持するよう４つ設けるとするが、より多く設けることとしてもよい。
【0096】
複数の第１ノズル３３は、支持台３２の周囲に配置されて、中央に向けて洗浄液を吐出するノズルである。複数の第１ノズル３３により、支持台３２の上方に支持される複数のワーク７に向けて洗浄液を吐出することで、効率良く複数のワーク７から効率良く浸透液を洗い落とすことができる。
【0097】
複数の第１ノズル３３は、チャンバ３０内の左手前、左中央、左奥、中央奥、右奥、右中央、右手前、手前中央の隅にそれぞれ配置された８つの第１ノズル３３１～３３８を含む。一対の第１ノズル３３１及び３３５，３３２と３３６，３３３及び３３７並びに３３４及び３３８は、それぞれ、支持台３２を挟んで対向する。少なくとも一対の第１ノズル３３を対向させることで、支持台３２の上方に支持されるワーク７に両側から洗浄液を吹き付け、浸透液を洗い落とすことができる。
【0098】
図１１Ｄに、チャンバ３０の左側面、正面、右側面、及び背面から見て手前に配された複数の第１ノズル３３の配置及び高さを示す。チャンバ３０の四隅の第１ノズル３３１，３３３，３３５，３３７が高い位置に設けられ、その他の第１ノズル３３２，３３４，３３６，３３８が低い位置に設けられる。このように、複数の第１ノズル３３が異なる高さに配置されることにより、特に高い位置に配置された第１ノズル３３と低い位置に配置された第１ノズル３３とを用いることで、吊下治具６５により高さ方向に配置された複数のワーク７のそれぞれに向けて洗浄液を吐出することができる。
【0099】
ここで、第１ノズル３３２，３３６は、搬送口３０１により形成される搬入路から搬送口３０２により形成される搬出路までワーク７を支持したスタンド６を搬送する搬送経路よりも下方に位置する。このように、第１ノズル３３２，３３６をワーク７の搬送経路の下方に配置することにより、ワーク７を支持するスタンド６をノズルに干渉させることなく搬送することができる。
【0100】
第２ノズル３４は、支持台３２の下方に配置されて、上方に向けて洗浄液を吐出するノズルである。本実施形態では、第２ノズル３４（３４１～３４４）は、支持台３２の下方に４つ配置される。このように、第２ノズル２４の少なくとも１つが、支持台３２の下方に配置されることにより、支持台３２の下方に配置された複数の第２ノズル３４を用いて、支持台３２の上方に支持された複数のワーク７に向けて洗浄液を吐出することができる。
【0101】
第１ノズル３３１～３３８及び第２ノズル３４１～３４４の少なくとも１つに、回転ノズルを採用することができる。回転ノズルは、チャンバ３０の壁面に対して平行方向（すなわち、方位角方向）に３６０度回転するとともに、迎角方向に１８０度回転しつつ液体を噴出するノズルである。それにより、洗浄液をチャンバ３０の壁面に吹き付けることを抑制し、洗浄液をチャンバ３０の内側に向けて効率良くワーク７に噴出することができる。
【0102】
図１２に、本洗浄装置３の稼働状態を示す。先述のスタンド６を利用して複数のワーク７が支持台３２の上方に支持される。本洗浄装置３は、支持台３２の側方に配置された第１ノズル３３から中央に向けて洗浄液を噴出するとともに、支持台３２の下方に配置された第２ノズル３４から上方に向けて洗浄液を噴出する。それにより、複数のワーク７のそれぞれの表面に残る浸透液を洗い落とすことができる。
【0103】
本実施形態に係る本洗浄装置３は、ワーク７を支持する支持台３２、支持台３２の側方に配置され、中央に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第１ノズル３３、支持台３２の下方に配置され、上方に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第２ノズル３４を備える。これにより、支持台３２の上方に複数のワーク７を支持し、支持台３２の側方に配置された少なくとも１つの第１ノズル３３から中央に向けて洗浄液を吐出するとともに、支持台３２の下方に配置された少なくとも１つの第２ノズル３４から上方に向けて浸透液を吐出することで、上面だけでなく下面も含むワーク７全面から浸透液を洗い落とすことが可能となる。
【0104】
〈観察装置〉
観察装置４は、浸透液の塗布及び洗浄が完了したワーク７を乾燥並びに観察してワーク７の表面欠陥を検出する装置である。ここでは乾燥を観察装置４内で行うが、本洗浄装置３内で行っても、別の専用装置内で行ってもよい。蛍光浸透試験法の場合、観察装置４は、ワーク７を支持したスタンド６を暗室内に格納し、例えば波長３１５～４００ｎｍの近紫外線を発するブラックライトを用いてワーク７を照明し、そのワーク７を、ノイズ光をカットする光学フィルタを介して撮影カメラで撮影する。ここで、ブラックライトで照明することによりワークの表面欠陥に浸透した浸透液が蛍光を発する。染色探傷試験法の場合、観察装置４は、ワーク７を支持したスタンド６を暗室内に格納し、白色ストロボを用いてワーク７を照明し、そのワーク７を、ノイズ光をカットする光学フィルタを介して撮影カメラで撮影する。ここで、白色ストロボを用いてワーク７を照明することにより、ワークの表面欠陥に浸透した浸透液の染色が映し出される。観察装置４は、画像処理装置（不図示）を用いて撮影カメラによる撮像画像を解析することにより、ワーク７の表面欠陥を検出する。
観察装置４は、浸透液の塗布及び洗浄が完了したワーク７を乾燥並びに観察してワーク７の表面欠陥を検出する装置である。ここでは乾燥を観察装置４内で行うが、本洗浄装置３内で行っても、別の専用装置内で行ってもよい。蛍光浸透試験法の場合、観察装置４は、ワーク７を支持したスタンド６を暗室内に格納し、例えば波長３１５～４００ｎｍの近紫外線を発するブラックライトを用いてワーク７を照明し、そのワーク７を、ノイズ光をカットする光学フィルタを介して撮影カメラで撮影する。ここで、ブラックライトで照明することによりワークの表面欠陥に浸透した浸透液が蛍光を発する。染色探傷試験法の場合、観察装置４は、ワーク７を支持したスタンド６を暗室内に格納し、白色ストロボを用いてワーク７を照明し、そのワーク７を、ノイズ光をカットする光学フィルタを介して撮影カメラで撮影する。ここで、白色ストロボを用いてワーク７を照明することにより、ワークの表面欠陥に浸透した浸透液の染色が映し出される。観察装置４は、画像処理装置（不図示）を用いて撮影カメラによる撮像画像を解析することにより、ワーク７の表面欠陥を検出する。
【0105】
〈搬送装置〉
図１３Ａ及び図１３Ｂに、それぞれ、搬送装置５の概略構成及び機能構成を示す。ここでは、搬送装置５はスタンド６を把持している。搬送装置５は、スタンド６を用いてワーク７を搬送する装置であって、Ｚ搬送装置５１、Ｘ搬送装置５２、位置検出器５３、及びコントローラ５４を備える。なお、本実施形態では、鉛直方向をＺ軸方向、これに直交する一方向をＸ軸方向とする。
図１３Ａ及び図１３Ｂに、それぞれ、搬送装置５の概略構成及び機能構成を示す。ここでは、搬送装置５はスタンド６を把持している。搬送装置５は、スタンド６を用いてワーク７を搬送する装置であって、Ｚ搬送装置５１、Ｘ搬送装置５２、位置検出器５３、及びコントローラ５４を備える。なお、本実施形態では、鉛直方向をＺ軸方向、これに直交する一方向をＸ軸方向とする。
【0106】
Ｚ搬送装置５１は、スタンド６を用いてワーク７をＺ軸方向に搬送する装置であり、より具体的には、複数のワーク７を支持したスタンド６を、浸透液塗布装置１の回転台１２、洗浄装置２の回転台２２、本洗浄装置の支持台３２、観察装置４の暗室内の支持台上に搬送し、塗布、洗浄、観察などの作業の完了後、スタンド６を把持して各装置から退避させる。Ｚ搬送装置５１が複数のワーク７を支持したスタンド６を把持してＺ軸方向に搬送することで、一度に多くのワーク７を搬送することが可能となる。Ｚ搬送装置５１は、モータ５１１及び昇降機５１２を含む。
【0107】
モータ５１１は、昇降機５１２を昇降させる装置である。モータ５１１は、一例としてボールねじ駆動型サーボモータを採用する。上下方向に延びるボールねじが後述するＸ搬送装置に回転可能に固定され、Ｘ搬送装置５２及び昇降機５１２の一方にモータ５１１が固定され、他方にボールねじに羅合するナットが固定される。モータ５１１を稼働してボールねじを回転することで、昇降機５１２がボールねじに沿って昇降する。なお、モータ５１１の機構は、Ｚ方向の搬送を実現できれば特に限定されず、ボールねじ駆動型サーボモータを使用することによってスタンド６を回転台１２等に正確に載置することができる。
【0108】
図１４に、昇降機５１２の構成を示す。昇降機５１２は、複数のワーク７を支持するスタンド６を把持して昇降する装置であり、フレーム５１２４、フォーク部材５１２１、挟圧部材５１２２、及びモータ５１２３を有する。
【0109】
フレーム５１２４は、フォーク部材５１２１及びモータ５１２３を保持する部材である。フレーム５１２４は、一例として側面視において逆Ｌ字状に成形され、モータ５１２３が固定される天面及び上面の一端に上端を接続し、下端にフォーク部材５１２１が固定される側面を有する。天面及び側面は固定部材を用いて接合してフレーム５１２４を構成してもよいし、一体成型してフレーム５１２４としてもよい。
【0110】
フォーク部材５１２１は、スタンド６のフランジ６１１を係止する部材である。フォーク部材５１２１は、一側（本例では＋Ｘ方向）に開いて、スタンド６の軸体６１が挿入可能な切り欠き５１２５を有する。ここで、フォーク部材５１２１の先端（＋Ｘ端）は、切り欠き５１２５の開口が内側から外側に向かって広がるように先細りに形成されている。また、切り欠き５１２５を区画する２つの縁部の一部は上面視において円弧を形成し、円弧を形成する２つの縁部のそれぞれの上端は切り欠き５１２５の内側に向かって傾斜するテーパ面５１２６を形成する。テーパ面５１２６の傾斜は、スタンド６のフランジ６１１の下側のテーパ面６１１１の傾斜に略等しい。
【0111】
挟圧部材５１２２は、フォーク部材５１２１との間に、スタンド６の軸体６１の上端に設けられたフランジ６１１を挟圧する部材である。挟圧部材５１２２は、一例として、フランジ６１１の上面よりも大きい円板とする。
【0112】
モータ５１２３は、フレーム５１２４の天面に固定されて、挟圧部材５１２２を上下方向に駆動する電動モータである。モータ５１２３は、搬送装置５のコントローラ５４により制御されて稼働する。
【0113】
Ｘ搬送装置５２は、Ｚ搬送装置５１を保持してＸ軸方向に搬送する装置である。Ｘ搬送装置５２は、一例としてベルト駆動型サーボモータであり、Ｘ軸方向にループ状に延びるベルト（不図示）及びベルトを回動するモータ５２１を有する。ベルトの一部に、Ｚ搬送装置５１がＸ軸方向に移動可能に固定されている。モータ５２１は、搬送装置５のコントローラにより制御されて稼働する。Ｘ搬送装置５２は、スタンド６を保持するＺ搬送装置５１を浸透液塗布装置１、洗浄装置２、本洗浄装置３、観察装置４等の各装置に搬入するとともに各装置から搬出する。
【0114】
位置検出器５３は、Ｘ検出器５３２及びＺ検出器５３１を備える。Ｘ検出器５３２は、Ｘ搬送装置５２により搬送されるＺ搬送装置５１のＸ軸方向に関する位置（すなわち、Ｘ位置）を検出する。Ｚ検出器５３１は、Ｚ搬送装置５１により昇降する昇降機５１２のＺ軸方向に関する位置（すなわち、Ｚ位置）を検出する。Ｘ検出器５３２及びＺ検出器５３１として、例えば、Ｘ搬送装置５２のベルトの回転量及びＺ搬送装置５１のボールねじの回転量を検出して、それぞれの検出結果をＺ搬送装置５１のＸ位置及び昇降機５１２のＺ位置に変換するセンサを採用することができる。位置検出器５３による位置検出の結果はコントローラ５４に送信される。
【0115】
コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１及びＸ搬送装置５２を制御する装置であり、コンピュータ装置が専用プログラムを起動することで制御機能を発現する。コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１のＸ位置の検出結果に基づいてＸ搬送装置５２（モータ）を制御することで、Ｚ搬送装置５１をＸ軸方向に移動させるとともに、昇降機５１２のＺ位置の検出結果に基づいてＺ搬送装置５１（モータ５１２３）を制御することで、昇降機５１２をＺ軸方向に移動させる。また、昇降機５１２のモータ５１２３を制御して挟圧部材５１１１を上下方向に駆動することで、挟圧部材５１１１とフォーク部材５１２１との間にスタンド６のフランジ６１１を挟圧する。
【0116】
図１５Ａから１５Ｅに、ワーク７を支持するスタンド６を装置外に搬出する場合などにおいて昇降機５１２によりスタンド６を把持する動作を示す。
【0117】
まず、コントローラ５４が、Ｚ搬送装置５１及びＸ搬送装置５２を制御して、図１５Ａに示すように昇降機５１２をスタンド６の軸体６１の上端横に移動する。それにより、フォーク部材５１２１の切り欠き５１２５がスタンド６の軸体６１に対向する。
【0118】
次いで、コントローラ５４は、Ｘ搬送装置５２を制御して昇降機５１２（を支持するＺ搬送装置５１）を＋Ｘ方向に移動する。それにより、図１５Ｂに示すように、スタンド６の軸体６１がフォーク部材５１２１の切り欠き５１２５に挿入される。
【0119】
次いで、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１を制御して昇降機５１２を上昇させる。ここで、フランジ６１１の下側が逆円錐状のテーパ面６１１１を形成し、切り欠き５１２５を区画するフォーク部材５１２１の２つの縁部が円弧を形成するとともにそれぞれの上端がテーパ面６１１１を形成していることで、図１５Ｃに示すように、フランジ６１１の下面が２つの縁部のテーパ面６１１１上を摺動して軸体６１が切り欠き５１２５の中心に位置決めされる。
【0120】
次いで、コントローラ５４は、昇降機５１２のモータ５１２３を制御して挟圧部材５１２２を下方に駆動する。それにより、図１５Ｄ及び図１５Ｅに示すように、軸体６１のフランジ６１１がフォーク部材５１２１及び挟圧部材５１１１により上下方向に挟圧され、昇降機５１２によりスタンド６が把持される。
【0121】
次いで、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１及びＸ搬送装置５２を制御して、昇降機５１２をさらに上昇させ且つこれを支持するＺ搬送装置５１をＸ軸方向に移動する。それにより、ワーク７を支持するスタンド６を安定に搬送することができる。
【0122】
ワーク７を支持するスタンド６を装置内に搬入する場合、まず、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１及びＸ搬送装置５２を制御して、昇降機５１２により把持されるスタンド６を例えば浸透液塗布装置１内に搬入し、回転台１２上に位置決めする。
【0123】
次いで、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１を制御して昇降機５１２を下降させ、これに把持されるスタンド６の底部６３を回転台１２の枠体１２１内に嵌入する。
【0124】
次いで、コントローラ５４は、昇降機５１２のモータ５１２３を制御して挟圧部材５１２２を上方に駆動する。それにより、軸体６１のフランジ６１１が昇降機５１２から解放される。
【0125】
最後に、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１及びＸ搬送装置５２を制御して、昇降機５１２を浸透液塗布装置１から退避する。なお、昇降機５１２により把持されるスタンド６をその他の装置内に搬入する場合においても、同様の手順を実行することで、スタンド６を装置内の支持台等に載置することができる。
【0126】
このように、搬送装置５が、複数のワーク７を支持するスタンド６をＺ搬送装置５１によりＺ軸方向に駆動するとともにＸ搬送装置５２によりＸ軸方向に駆動するというように、スタンド６の搬送をＺ軸方向とＸ軸方向との２方向の搬送の組み合わせにより実現するとともに、スタンド６のフランジ６１１及びフォーク部材５１２１の形状により、搬送するワーク７の位置決め精度が向上する。
【0127】
図１６Ａから図１６Ｇに、搬送装置５による複数のワーク７を支持したスタンド６の搬送動作を示す。一例として、搬送装置５により、浸透液塗布装置１の回転台１２上に載置されているスタンド６が洗浄装置２の回転台２２上に搬送されるとする。
【0128】
なお、搬送動作において、搬送装置５のコントローラ５４は、常時、位置検出器５３を用いてＸ搬送装置５２により搬送されるＺ搬送装置５１のＸ位置及びＺ搬送装置５１により昇降する昇降機５１２のＺ位置を検出し、それらの検出結果に基づいてＸ搬送装置５２を制御してＺ搬送装置５１をＸ軸方向に搬送するとともに、Ｚ搬送装置５１を制御して昇降機５１２を昇降させる。
【0129】
まず、図１６Ａに示すように、コントローラ５４は、Ｘ搬送装置５２を制御してＺ搬送装置５１を浸透液塗布装置１に向けて＋Ｘ方向に移動させつつ、Ｚ搬送装置５１を制御して昇降機５１２を回転台１２に向けて－Ｚ方向に移動させる。それにより、昇降機５１２は、浸透液塗布装置１の回転台１２上に載置されているスタンド６の上端に向かって移動する。
【0130】
次いで、図１６Ｂに示すように、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１を回転台１２の中心横まで移動させ、昇降機５１２を、その切り欠き５１２５が回転台１２上に載置されているスタンド６のフランジ６１１の下まで下降させる。それにより、昇降機５１２がスタンド６の上端（すなわち、フランジ６１１）横に位置決めされ、昇降機５１２のフォーク部材５１２１の切り欠き５１２５がスタンド６の軸体６１に対向する（図１５Ａ参照）。
【0131】
この状態において、コントローラ５４は、さらに、Ｚ搬送装置５１を＋Ｘ方向に移動させる。それにより、スタンド６の軸体６１がフォーク部材５１２１の切り欠き５１２５に挿入される（図１５Ｂ及び図１５Ｃ参照）。次いで、コントローラ５４は、昇降機５１２を上昇させてフォーク部材５１２１によりスタンド６のフランジ６１１を係止し、挟圧部材５１２２を下方に駆動してフランジ６１１をフォーク部材５１２１及び挟圧部材５１１１により上下方向に挟圧する（図１５Ｄ及び図１５Ｅ参照）。それにより、図１６Ｃに示すように、Ｚ搬送装置５１（昇降機５１２）によりスタンド６が把持される。
【0132】
次いで、図１６Ｃに示すように、コントローラ５４は、昇降機５１２を上昇させる。それにより、回転台１２の枠体１２１内に嵌入されたスタンド６の底部６３が枠体１２１から引き出される。
【0133】
次いで、図１６Ｄに示すように、Ｚ搬送装置５１を＋Ｘ方向に移動させるとともに昇降機５１２を上昇させる。それにより、複数のワーク７を支持したスタンド６が浸透液塗布装置１から搬出され、洗浄装置２に向けて搬送される。
【0134】
次いで、図１６Ｅに示すように、コントローラ５４は、スタンド６を洗浄装置２内に搬入して回転台２２上に位置決めし、そして昇降機５１２を下降させる。それにより、図１６Ｆに示すように、スタンド６の底部６３が回転台２２の３つの位置決め部材２２１１の間に嵌入されて、スタンド６が回転台２２上に載置される。
【0135】
次いで、コントローラ５４は、挟圧部材５１２２を上方に駆動して、フォーク部材５１２１及び挟圧部材５１２２によるフランジ６１１の挟持を解除してスタンド６を解放する。
【0136】
次いで、図１６Ｆに示すように、コントローラ５４は、Ｚ搬送装置５１を－Ｘ方向に移動させる。それにより、昇降機５１１がスタンド６のフランジ６１１から離間し、スタンド６の回転台２２上への載置が完了する。
【0137】
最後に、図１６Ｇに示すように、コントローラ５４は、昇降機５１２を上昇させつつＺ搬送装置５１を－Ｘ方向に移動させる。それにより、昇降機５１２が洗浄装置２から退避する。
【0138】
本実施形態に係る搬送装置５は、ワーク７を保持してＺ軸方向に搬送するＺ搬送装置、Ｚ搬送装置を、浸透液塗布装置、洗浄装置、本洗浄装置、観察装置等の各装置に搬入する及び／又は各装置から搬出する、すなわち装置間でＸ軸方向に搬送するＸ搬送装置を備える。これによれば、Ｘ搬送装置５２により、スタンド６を介してワーク７を保持するＺ搬送装置５１をＸ軸方向に搬送することでワーク７を例えば浸透液塗布装置１に搬入し、回転台１２上に位置決めし、Ｚ搬送装置５１により、保持するワーク７をＺ軸方向に搬送し、解放して回転台１２上に載置することができる。さらに、Ｚ搬送装置５１により、回転台１２上に載置されたワーク７を保持してＺ軸方向に搬送し、Ｘ搬送装置５２により、ワーク７を保持するＺ搬送装置５１をＸ軸方向に搬送することでワーク７を浸透液塗布装置１外に搬出することができる。つまり、ワーク７をＺ軸方向に搬送するＺ搬送装置５１とＸ軸方向に搬送するＸ搬送装置５２を組み合わせた搬送装置５により、ワーク７を目的位置に高速度で搬送し且つ高精度で位置決めすることができる。
【0139】
図１７Ａに、本実施形態に係る探傷システム９によって実行される探傷方法のフローの一例を示す。
【0140】
探傷システム９を稼働するに先立って、ユーザにより、探傷検査する複数（本例では６つ）のワーク７を吊下治具６５に支持し、６つのワーク７をそれぞれ支持した６つの吊下治具６５をスタンド６のアーム６４１に吊下げ支持する。それにより、複数（本例では３６）のワーク７を支持するスタンド６が組み立てられる。スタンド６の組み立てについては、図５から図７を用いて説明したとおりである。
【0141】
次いで、搬送装置５により、複数のワーク７を支持したスタンド６を浸透液塗布装置１に搬入し、スタンド６を回転台１２上に載置する。搬送装置５によるスタンド６の搬送については、図１６Ａから図１６Ｇを用いて説明したとおりである。
【0142】
次いで、ステップＳ１１にて、浸透液塗布装置１により、スタンド６に支持された複数のワーク７に浸透液を塗布する。浸透液塗布装置１による浸透液の塗布については、図４を用いて説明したとおりである。
【0143】
次いで、搬送装置５により、複数のワーク７を支持したスタンド６を浸透液塗布装置１から搬出し、洗浄装置２に搬入して回転台２２上に載置する。
【0144】
次いで、ステップＳ１２にて、洗浄装置２により、スタンド６に支持された複数のワーク７に予備洗浄を行い、表面に付着した浸透液を除去する。洗浄装置２による予備洗浄については図９を用いて説明したとおりである。
【0145】
次いで、ステップＳ１３にて、予備洗浄の行われた複数のワーク７に乳化剤を塗布し、ワーク７の表面に残留する予備洗浄では落としきれなかった浸透液を乳化させる。
【0146】
次いで、搬送装置５により、複数のワーク７を支持したスタンド６を洗浄装置２から搬出し、本洗浄装置３に搬入して支持台３２上に載置する。
【0147】
次いで、ステップＳ１４にて、本洗浄装置３により、表面の浸透液が乳化された複数のワーク７の本洗浄を行い、浸透液をさらに除去する。本洗浄装置３による本清浄については図１２を用いて説明したとおりである。
【0148】
次いで、搬送装置５により、複数のワーク７を支持したスタンド６を本洗浄装置３から搬出し、観察装置４に搬入してその支持台上に載置する。
【0149】
次いで、ステップＳ１５にて、観察装置４内で複数のワーク７を乾燥してワーク７上から洗浄液を除去する。乾燥は、例えば、温風等を吹き付けることにより行う。
【0150】
次いで、ステップＳ１６にて、観察装置４内で複数のワーク７に現像剤を塗布し、表面欠陥の内部に浸透した浸透液を視認容易にする。
【0151】
次いで、ステップＳ１７にて、観察装置４により、複数のワーク７にブラックライトを照射し、これを撮影して画像処理を行うことで、ワーク７の表面欠陥を検出する。観察装置４によるワーク７の表面欠陥の検出については先述したとおりである。
【0152】
図１７Ｂに、本実施形態に係る探傷システム９によって実行される探傷方法のフローの別の例を示す。本フローは、複数のワーク７に塗布する浸透液として水溶性の浸透液を用いる場合のフローである。斯かる場合、先述の探傷方法のフローにおける予備洗浄（ステップＳ１２）及び乳化（ステップＳ１３）を省略することができる。浸透液塗布（ステップＳ１１）、本洗浄（ステップＳ１４）、乾燥（ステップＳ１５）、現像（ステップＳ１６）、及び表面欠陥の検出（ステップＳ１７）の詳細は先述の通りである。
【0153】
最後に、搬送装置５により、複数のワーク７を支持したスタンド６を観察装置４から搬出し、保管領域に搬送する。
【0154】
本実施形態に係る探傷システム９は、ワーク７に浸透液を塗布する浸透液塗布装置１、ワークに洗浄液を噴出して洗浄する洗浄装置２及び本洗浄装置３、並びにこれらの装置間でワーク７を搬入及び／又は搬出する搬送装置５を備える。浸透液塗布装置１により浸透液をワーク７に一様に塗布することができ、洗浄装置２及び本洗浄装置３のそれぞれにより効率良くワーク７を洗浄することができ、搬送装置５により複数のワーク７を高速且つ高精度で搬送することができ、探傷検査の効率化及び自動化が可能となる。
【0155】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0156】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【0157】
本明細書によれば、以下の各項目に記載の構成もまた開示される。
〈浸透液塗布装置〉
（項目１）ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置であって、ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、前記回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、前記回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える浸透液塗布装置。
（項目２）前記回転台は、浸透液が通過可能な開口を有する、項目１に記載の浸透液塗布装置。
（項目３）前記回転台は、筒状の枠体と、該枠体を前記回転装置の回転軸に接続する複数のリブと、を有する、項目１又は２に記載の浸透液塗布装置。
（項目４）前記ワークは、前記回転台上に載置可能なスタンドにより複数支持される、項目１から３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目５）前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記回転台の上方に吊り下げる着脱可能な少なくとも１つの吊下治具を含む、項目４に記載の浸透液塗布装置。
（項目６）前記吊下治具は、前記スタンドにより、前記回転台の周方向に複数吊り下げられる、項目５に記載の浸透液塗布装置。
（項目７）前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含み、前記２つの側辺の複数の支持部材により複数のワークがそれぞれ支持される、項目５又は６に記載の浸透液塗布装置。
（項目８）前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、項目５から７のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目９）前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部と、該２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を有する少なくとも１つのアームを有し、前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、項目８に記載の浸透液塗布装置。
（項目１０）前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、項目８又は９に記載の浸透液塗布装置。
（項目１１）前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、項目５から１０のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１２）前記回転台は、筒状の枠体と、該枠体の下端から内向きに張り出す環状の支持面と、を有し、前記スタンドの底部が、前記枠体内に嵌入されて前記支持面上に支持される、項目４から１１のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１３）前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される少なくとも２つの第１ノズルを含む、項目１から１２のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１４）前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記回転台の周囲に配置される少なくとも４つの第１ノズルを含み、前記少なくとも４つの第１ノズルは、隣接する第１ノズルの少なくとも一方に対して前記回転台を挟んで対向する第１ノズルとの高低差が小さい、項目１から１３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１５）前記回転装置は、前記回転台を時計回り及び反時計回りの両方向に回転する、項目１から１３のいずれか一項の浸透液塗布装置。
（項目１６）前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は、二流体ノズルである、項目１から１５のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１７）項目１から１６のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置と、前記浸透液塗布装置にワークを搬入及び／又は前記浸透液塗布装置からワークを搬出する搬送装置と、を備える探傷システム。
〈浸透液塗布装置〉
（項目１）ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置であって、ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、前記回転台の側方に配置され、中央に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、前記回転台の下方に配置され、上方に向けて浸透液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える浸透液塗布装置。
（項目２）前記回転台は、浸透液が通過可能な開口を有する、項目１に記載の浸透液塗布装置。
（項目３）前記回転台は、筒状の枠体と、該枠体を前記回転装置の回転軸に接続する複数のリブと、を有する、項目１又は２に記載の浸透液塗布装置。
（項目４）前記ワークは、前記回転台上に載置可能なスタンドにより複数支持される、項目１から３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目５）前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記回転台の上方に吊り下げる着脱可能な少なくとも１つの吊下治具を含む、項目４に記載の浸透液塗布装置。
（項目６）前記吊下治具は、前記スタンドにより、前記回転台の周方向に複数吊り下げられる、項目５に記載の浸透液塗布装置。
（項目７）前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含み、前記２つの側辺の複数の支持部材により複数のワークがそれぞれ支持される、項目５又は６に記載の浸透液塗布装置。
（項目８）前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、項目５から７のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目９）前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部と、該２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を有する少なくとも１つのアームを有し、前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、項目８に記載の浸透液塗布装置。
（項目１０）前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、項目８又は９に記載の浸透液塗布装置。
（項目１１）前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、項目５から１０のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１２）前記回転台は、筒状の枠体と、該枠体の下端から内向きに張り出す環状の支持面と、を有し、前記スタンドの底部が、前記枠体内に嵌入されて前記支持面上に支持される、項目４から１１のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１３）前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される少なくとも２つの第１ノズルを含む、項目１から１２のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１４）前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記回転台の周囲に配置される少なくとも４つの第１ノズルを含み、前記少なくとも４つの第１ノズルは、隣接する第１ノズルの少なくとも一方に対して前記回転台を挟んで対向する第１ノズルとの高低差が小さい、項目１から１３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１５）前記回転装置は、前記回転台を時計回り及び反時計回りの両方向に回転する、項目１から１３のいずれか一項の浸透液塗布装置。
（項目１６）前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は、二流体ノズルである、項目１から１５のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目１７）項目１から１６のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置と、前記浸透液塗布装置にワークを搬入及び／又は前記浸透液塗布装置からワークを搬出する搬送装置と、を備える探傷システム。
【0158】
〈洗浄装置〉
（項目１８）ワークを洗浄する洗浄装置であって、ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、前記回転台の側方に配置され、中央に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、前記回転台の下方に配置され、上方に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える洗浄装置。
（項目１９）前記回転台は、洗浄液が通過可能な開口を有する、項目１８に記載の洗浄装置。
（項目２０）前記回転台は、角筒形状状の枠体と、該枠体を前記回転装置の回転軸に接続する複数のリブと、を有する、項目１８又は１９に記載の洗浄装置。
（項目２１）前記ワークは、前記回転台上に載置可能なスタンドにより、前記回転台の回転方向及び高さ方向の少なくとも一方について複数支持される、項目１８から２０のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２２）前記回転台は、上面に立設する少なくとも３つの位置決め部材を有し、前記スタンドの底部は、前記少なくとも３つの位置決め部材の内側に位置決めされて前記回転台上に支持され、項目２１に記載の洗浄装置。
（項目２３）前記少なくとも１つの第２ノズルは、前記回転台の回転軸の周囲に配置された複数の第２ノズルを含む、項目１８から２２のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２４）前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される複数の第１ノズルを含む、項目１８から２３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２５）前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記回転台の周囲に配置される複数の第１ノズルを含む、項目１８から２４のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２６）前記複数の第１ノズルは、前記ワークの搬送経路上に該経路より低い位置に配置される少なくとも１つの第１ノズルを含む、項目２５に記載の洗浄装置。
（項目２７）前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は、回転ノズルである、項目１８から２６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
〈本洗浄装置〉
（項目２８）ワークを洗浄する洗浄装置であって、ワークを支持する支持台と、前記支持台の側方に配置され、中央に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、前記支持台の下方に配置され、上方に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える、洗浄装置。
（項目２９）
前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は回転ノズルである、項目２８に記載の洗浄装置。
（項目３０）前記支持台は、洗浄液が通過可能な開口を有する、項目２８又は２９に記載の洗浄装置。
（項目３１）前記ワークは、前記支持台上に載置可能なスタンドにより、前記支持台の回転方向及び高さ方向の少なくとも一方について複数支持される、請求項２８から３０のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３２）前記少なくとも１つの第２ノズルは、前記支持台の下方に配置された複数の第２ノズルを含む、項目２８から３１のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３３）前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される複数の第１ノズルを含む、項目２８から３２のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３４）前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記支持台の周囲に配置される複数の第１ノズルを含む、項目２８から３３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３５）前記複数の第１ノズルは、前記ワークの搬送経路上に該経路より低い位置に配置される少なくとも１つの第１ノズルを含む、項目３４に記載の洗浄装置。
（項目３６）項目２８から３５のいずれか一項に記載の洗浄装置と、前記洗浄装置にワークを搬入及び／又は前記洗浄装置からワークを搬出する搬送装置と、を備える探傷システム。
（項目１８）ワークを洗浄する洗浄装置であって、ワークを支持する回転台を回動する回転装置と、前記回転台の側方に配置され、中央に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、前記回転台の下方に配置され、上方に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える洗浄装置。
（項目１９）前記回転台は、洗浄液が通過可能な開口を有する、項目１８に記載の洗浄装置。
（項目２０）前記回転台は、角筒形状状の枠体と、該枠体を前記回転装置の回転軸に接続する複数のリブと、を有する、項目１８又は１９に記載の洗浄装置。
（項目２１）前記ワークは、前記回転台上に載置可能なスタンドにより、前記回転台の回転方向及び高さ方向の少なくとも一方について複数支持される、項目１８から２０のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２２）前記回転台は、上面に立設する少なくとも３つの位置決め部材を有し、前記スタンドの底部は、前記少なくとも３つの位置決め部材の内側に位置決めされて前記回転台上に支持され、項目２１に記載の洗浄装置。
（項目２３）前記少なくとも１つの第２ノズルは、前記回転台の回転軸の周囲に配置された複数の第２ノズルを含む、項目１８から２２のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２４）前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される複数の第１ノズルを含む、項目１８から２３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２５）前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記回転台の周囲に配置される複数の第１ノズルを含む、項目１８から２４のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目２６）前記複数の第１ノズルは、前記ワークの搬送経路上に該経路より低い位置に配置される少なくとも１つの第１ノズルを含む、項目２５に記載の洗浄装置。
（項目２７）前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は、回転ノズルである、項目１８から２６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
〈本洗浄装置〉
（項目２８）ワークを洗浄する洗浄装置であって、ワークを支持する支持台と、前記支持台の側方に配置され、中央に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第１ノズルと、前記支持台の下方に配置され、上方に向けて洗浄液を吐出する少なくとも１つの第２ノズルと、を備える、洗浄装置。
（項目２９）
前記第１ノズル及び前記第２ノズルの少なくとも一方は回転ノズルである、項目２８に記載の洗浄装置。
（項目３０）前記支持台は、洗浄液が通過可能な開口を有する、項目２８又は２９に記載の洗浄装置。
（項目３１）前記ワークは、前記支持台上に載置可能なスタンドにより、前記支持台の回転方向及び高さ方向の少なくとも一方について複数支持される、請求項２８から３０のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３２）前記少なくとも１つの第２ノズルは、前記支持台の下方に配置された複数の第２ノズルを含む、項目２８から３１のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３３）前記少なくとも１つの第１ノズルは、異なる高さに配置される複数の第１ノズルを含む、項目２８から３２のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３４）前記少なくとも１つの第１ノズルは、前記支持台の周囲に配置される複数の第１ノズルを含む、項目２８から３３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
（項目３５）前記複数の第１ノズルは、前記ワークの搬送経路上に該経路より低い位置に配置される少なくとも１つの第１ノズルを含む、項目３４に記載の洗浄装置。
（項目３６）項目２８から３５のいずれか一項に記載の洗浄装置と、前記洗浄装置にワークを搬入及び／又は前記洗浄装置からワークを搬出する搬送装置と、を備える探傷システム。
【0159】
〈搬送装置〉
（項目３７）ワークを搬送する搬送装置であって、ワークを保持してＺ軸方向に搬送するＺ搬送装置と、前記Ｚ搬送装置を、前記ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置に及び／又は前記浸透液塗布装置からＸ軸方向に搬送するＸ搬送装置と、を備える搬送装置。
（項目３８）前記Ｚ搬送装置は、前記ワークを複数支持するスタンドを把持して昇降する昇降機を含む、項目３７に記載の搬送装置。
（項目３９）前記スタンドの軸体（中心軸）の上端にフランジが設けられ、前記昇降機は、前記スタンドの軸体が挿入可能な切り欠きが形成されたフォーク部材と、該フォーク部材との間に前記フランジを挟圧する挟圧部材と、と有する、項目３８に記載の搬送装置。
（項目４０）前記フランジは、前記軸体に向かって細くなるテーパ面を下側に有する、項目３９に記載の搬送装置。
（項目４１）前記スタンドは、前記軸体と、前記軸体の下端に設けられて、前記浸透液塗布装置内の支持台上に載置可能な底部と、前記軸体の胴部から外方向に延びて複数のワークを吊り下げ支持する少なくとも１つのアームと、を有する、項目３９又は４０に記載の搬送装置。
（項目４２）前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記少なくとも１つのアームに吊り下げる少なくとも１つの吊下治具を含む、項目４１に記載の搬送装置。
（項目４３）前記アームは、前記軸体の周方向に複数設けられ、前記吊下治具は、前記スタンドのアームにより、前記軸体の周方向に複数吊り下げられる、項目４２に記載の搬送装置。
（項目４４）前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含み、前記２つの側辺の複数の支持部材により複数のワークがそれぞれ支持される、項目４２又は４３に記載の搬送装置。
（項目４５）前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、項目４２から４４のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目４６）前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部と、該２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を有する少なくとも１つのアームを有し、前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、項目４５に記載の浸透液塗布装置。
（項目４７）前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、項目４５又は４６に記載の浸透液塗布装置。
（項目４８）前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、項目４２から４７のいずれか一項に記載の搬送装置。
（項目４９）項目３７から４８のいずれか一項に記載の搬送装置と、前記ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置と、を備える探傷システム。
（項目３７）ワークを搬送する搬送装置であって、ワークを保持してＺ軸方向に搬送するＺ搬送装置と、前記Ｚ搬送装置を、前記ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置に及び／又は前記浸透液塗布装置からＸ軸方向に搬送するＸ搬送装置と、を備える搬送装置。
（項目３８）前記Ｚ搬送装置は、前記ワークを複数支持するスタンドを把持して昇降する昇降機を含む、項目３７に記載の搬送装置。
（項目３９）前記スタンドの軸体（中心軸）の上端にフランジが設けられ、前記昇降機は、前記スタンドの軸体が挿入可能な切り欠きが形成されたフォーク部材と、該フォーク部材との間に前記フランジを挟圧する挟圧部材と、と有する、項目３８に記載の搬送装置。
（項目４０）前記フランジは、前記軸体に向かって細くなるテーパ面を下側に有する、項目３９に記載の搬送装置。
（項目４１）前記スタンドは、前記軸体と、前記軸体の下端に設けられて、前記浸透液塗布装置内の支持台上に載置可能な底部と、前記軸体の胴部から外方向に延びて複数のワークを吊り下げ支持する少なくとも１つのアームと、を有する、項目３９又は４０に記載の搬送装置。
（項目４２）前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記少なくとも１つのアームに吊り下げる少なくとも１つの吊下治具を含む、項目４１に記載の搬送装置。
（項目４３）前記アームは、前記軸体の周方向に複数設けられ、前記吊下治具は、前記スタンドのアームにより、前記軸体の周方向に複数吊り下げられる、項目４２に記載の搬送装置。
（項目４４）前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含み、前記２つの側辺の複数の支持部材により複数のワークがそれぞれ支持される、項目４２又は４３に記載の搬送装置。
（項目４５）前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、項目４２から４４のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目４６）前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部と、該２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を有する少なくとも１つのアームを有し、前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、項目４５に記載の浸透液塗布装置。
（項目４７）前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、項目４５又は４６に記載の浸透液塗布装置。
（項目４８）前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、項目４２から４７のいずれか一項に記載の搬送装置。
（項目４９）項目３７から４８のいずれか一項に記載の搬送装置と、前記ワークに浸透液を塗布する浸透液塗布装置と、を備える探傷システム。
【0160】
〈スタンド〉
（項目５０）複数のワークを支持するスタンドであって、軸体と、前記軸体の下端に設けられて、支持台上に載置可能な底部と、前記軸体の胴部から外方向に延びて複数のワークを吊り下げ支持する少なくとも１つのアームと、を備えるスタンド。
（項目５１）前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記少なくとも１つのアームに吊り下げる少なくとも１つの吊下治具を含む、項目５０に記載のスタンド。
（項目５２）前記アームは、前記軸体の周方向に複数設けられ、前記吊下治具は、前記スタンドのアームにより、前記軸体の周方向に複数吊り下げられる、項目５１に記載のスタンド。
（項目５３）前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含む、項目５１又は５２に記載のスタンド。
（項目５４）前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、項目５１から５３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目５５）前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部を有する少なくとも１つのアームと、前記２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を含み、前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、項目５４に記載の浸透液塗布装置。
（項目５６）前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、項目５５に記載の浸透液塗布装置。
（項目５７）前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、項目５１から５６のいずれか一項に記載のスタンド。
（項目５８）前記軸体の上端にフランジが設けられ、前記フランジは、前記軸体に向かって細くなるテーパ面を下側に有する、項目５０から５７のいずれか一項に記載のスタンド。
（項目５９）前記底部は、前記軸体の下端から外方向に延びる複数のリブと、該複数のリブにより固定される枠体と、を有する、項目５０から５８のいずれか一項に記載のスタンド。
（項目５０）複数のワークを支持するスタンドであって、軸体と、前記軸体の下端に設けられて、支持台上に載置可能な底部と、前記軸体の胴部から外方向に延びて複数のワークを吊り下げ支持する少なくとも１つのアームと、を備えるスタンド。
（項目５１）前記スタンドは、複数のワークを高さ方向に支持して前記少なくとも１つのアームに吊り下げる少なくとも１つの吊下治具を含む、項目５０に記載のスタンド。
（項目５２）前記アームは、前記軸体の周方向に複数設けられ、前記吊下治具は、前記スタンドのアームにより、前記軸体の周方向に複数吊り下げられる、項目５１に記載のスタンド。
（項目５３）前記吊下治具は、横方向に離間する２つの側辺と、前記２つの側辺のそれぞれに固定された複数の支持部材と、を含む、項目５１又は５２に記載のスタンド。
（項目５４）前記吊下治具は、前記スタンドの上部に係止する第１係止部材を有する、項目５１から５３のいずれか一項に記載の浸透液塗布装置。
（項目５５）前記スタンドの上部は、中心軸から半径方向に延び且つ周方向に互いに離間する２つの側部を有する少なくとも１つのアームと、前記２つの側部の胴部間を連結する連結部と、を含み、前記吊下治具の第１係止部材は、前記２つの側部の間に位置して前記連結部に係止する、項目５４に記載の浸透液塗布装置。
（項目５６）前記吊下治具は、前記連結部より先端側で、前記２つの側部の間から該２つの側部のそれぞれに係止する第２係止部材をさらに有する、項目５５に記載の浸透液塗布装置。
（項目５７）前記吊下治具は、前記スタンドの底部に差し込み可能な差込部材を有する、項目５１から５６のいずれか一項に記載のスタンド。
（項目５８）前記軸体の上端にフランジが設けられ、前記フランジは、前記軸体に向かって細くなるテーパ面を下側に有する、項目５０から５７のいずれか一項に記載のスタンド。
（項目５９）前記底部は、前記軸体の下端から外方向に延びる複数のリブと、該複数のリブにより固定される枠体と、を有する、項目５０から５８のいずれか一項に記載のスタンド。
【符号の説明】
【0161】
１…浸透液塗布装置、１０…チャンバ、１０１，１０２…搬送口、１０３…蓋体、１１…回転装置、１１１…回転軸、１１２…駆動装置、１１３…エンコーダ、１１４…制御部、１２…回転台、１２１…枠体、１２２…支持面、１２３…リブ、１２４…開口、１３…第１ノズル、１４…第２ノズル、２…洗浄装置、２０…チャンバ、２０１，２０２…搬送口、２０３…蓋体、２１…回転装置、２１１…回転軸、２２…回転台、２２１…枠体、２２２…位置決め部材、２２３…リブ、２２４…開口、２３…第１ノズル、２４…第２ノズル、３…本洗浄装置、３０…チャンバ、３０１，３０２…搬送口、３０３…蓋体、３２…支持台、３２１…枠体、３２２…補強材、３２３…脚体、３２４…開口、３３…第１ノズル、３４…第２ノズル、４…観察装置、５…搬送装置、５１…Ｚ搬送装置、５１１…モータ、５１２…昇降機、５１２１…フォーク部材、５１２２…挟圧部材、５１２３…モータ、５１２４…フレーム、５１２５…切り欠き、５２…Ｘ搬送装置、５２１…モータ、５３…位置検出器、５４…コントローラ、６…スタンド、６１…軸体、６１１…フランジ、６１１１…テーパ面、６３…底部、６３１…枠体、６３２…リブ、６３３…位置決めリブ、６３３１…棒体、６３３２…連結部材、６４…上部、６４１…アーム、６４１１…棒体、６４１２…スリット、６４１３…開口、６４２…連結部材、６５…吊下治具、６５１…側辺、６５１１…支持部材、６５２…上辺、６５２１，６５２２…係止部材、６５３…下辺、６５３１…差込部材、６５４…接続辺、６５５…枠体、７…ワーク、９…探傷システム。
【図1】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図9】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図11D】
【図12】
【図13A】
【図13B】
【図14】
【図15A】
【図15B】
【図15C】
【図15D】
【図15E】
【図16A】
【図16B】
【図16C】
【図16D】
【図16E】
【図16F】
【図16G】
【図17A】
【図17B】