特開 2023-125800 集塵装置、樹脂成形装置、及び、フィルタ部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023125800

(43)【公開日】2023-09-07

(54)【発明の名称】集塵装置、樹脂成形装置、及び、フィルタ部材

(51)【国際特許分類】

   B01D 46/02 20060101AFI20230831BHJP

   B01D 46/52 20060101ALI20230831BHJP

   B01D 46/62 20220101ALI20230831BHJP

   B29C 31/00 20060101ALI20230831BHJP

【ＦＩ】

B01D46/02 A

B01D46/52 A

B01D46/62

B29C31/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022030101

(22)【出願日】2022-02-28

(71)【出願人】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100124039

【弁理士】

【氏名又は名称】立花 顕治

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 良平

(72)【発明者】

【氏名】前田 直也

(72)【発明者】

【氏名】小澤 雅満

(72)【発明者】

【氏名】太田 泰司

(72)【発明者】

【氏名】森 宣和

【テーマコード（参考）】

4D058

4F201

【Ｆターム（参考）】

4D058JA04

4D058JA09

4D058JB48

4D058KA06

4D058KB11

4D058KC34

4D058KC39

4D058QA01

4D058QA03

4D058QA11

4D058QA21

4D058SA20

4D058UA25

4F201AC04

4F201BA06

4F201BC02

4F201BD02

4F201BQ09

4F201BQ31

4F201BQ44

(57)【要約】

【課題】安定的な吸引により集塵を行うことが可能な集塵装置、樹脂成形装置、及びフィルタ部材を提供する。
【解決手段】本発明に係る集塵装置は、開口部を有し、少なくとも一部が通気性のある通気材料で形成された袋状のフィルタ部材を設置可能な集塵装置であって、吸気口及び排気口が形成された筐体と、前記排気口から吸気可能な気体吸引源と、前記筐体の内部において前記排気口を覆うように配置され、複数の通気孔が形成された設置部材と、を備え、前記フィルタ部材の開口部を前記吸気口に接続するとともに前記通気材料の少なくとも一部を前記設置部材上に配置した状態で、前記気体吸引源を駆動することにより、前記吸気口から流入した気体が、当該フィルタ部材を介して、前記排気口から排出されるように構成されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口部を有し、少なくとも一部が通気性のある通気材料で形成された袋状のフィルタ部材を設置可能な集塵装置であって、
吸気口及び排気口が形成された筐体と、
前記排気口から吸気可能な気体吸引源と、
前記筐体の内部において前記排気口を覆うように配置され、複数の通気孔が形成された設置部材と、
を備え、
前記フィルタ部材の開口部を前記吸気口に接続するとともに前記通気材料の少なくとも一部を前記設置部材上に配置した状態で、前記気体吸引源を駆動することにより、前記吸気口から流入した気体が、当該フィルタ部材を介して、前記排気口から排出されるように構成されている、集塵装置。

【請求項2】

前記筐体の内面において前記排気口が形成された面と、前記設置部材との間に隙間が形成され、
前記フィルタ部材の前記通気材料から外部に流出した気体が、前記隙間に流入し、前記排気口から吸引されるように構成されている、請求項１に記載の集塵装置。

【請求項3】

前記排気口と前記気体吸引源との間に、補助フィルタ部材をさらに備えている、請求項１または２に記載の集塵装置。

【請求項4】

前記設置部材には、前記通気孔が形成された少なくとも１つの凸部が形成されている、請求項１から３のいずれかに記載の集塵装置。

【請求項5】

樹脂成形を行う樹脂成形モジュールと、
前記樹脂成形モジュール内の粉塵を集塵する、請求項１から４のいずれかに記載の集塵装置と同一構成の集塵モジュールと、
を備えている、樹脂成形装置。

【請求項6】

請求項１から４のいずれかに記載の集塵装置に設置されるフィルタ部材であって、
上部に開口部を有し、袋状に形成されたフィルタ本体を備え、
前記フィルタ本体の底部が略平坦な面により形成され、
前記フィルタ本体は、少なくとも前記底部が通気性のある通気材料で形成されている、フィルタ部材。

【請求項7】

前記フィルタ本体の外周面には、前記底部と前記開口部との間で上下方向に延びる複数のヒダが形成されている、請求項６に記載のフィルタ部材。

【請求項8】

前記フィルタ本体の外周面の外側に、当該フィルタ部材の形状を保持するための環状のベルト部材をさらに備えている、請求項６または７に記載のフィルタ部材。

【請求項9】

前記開口部の周縁に沿うように紐状部材が設けられ、当該紐状部材を引っ張ることで、前記開口部が閉じられる閉鎖構造を有する、請求項６から８のいずれか記載のフィルタ部材。

【請求項10】

請求項４に記載の集塵装置に設置されるフィルタ部材であって、
上部に開口部を有し、通気性のある通気材料で袋状に形成されたフィルタ本体を備え、
前記フィルタ本体の底部が略平坦な面により形成されており、
前記フィルタ本体は、少なくとも前記底部が通気性のある通気材料で形成され、
前記平坦な面に、前記設置部材の凸部が嵌まる凹部が形成されている、フィルタ部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、集塵装置、樹脂成形装置、及び、フィルタ部材に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、樹脂成形装置には、樹脂カスや粉塵（以下、「粉塵等」と称する。）を回収する集塵装置が備えられている。集塵装置には、回収した粉塵等を捕らえるフィルタが備えられている。例えば、特許文献１に記載の集塵装置には、袋状の一次フィルタと板状の二次フィルタとが備えられている。

【0003】

適切な集塵を行うためには、目詰まりする前に、粉塵等が付着したフィルタを交換し、また交換したフィルタを再利用する場合は付着したフィルタを掃除する必要がある。しかし、フィルタ交換（取り外し）時にフィルタから粉塵が飛散し、樹脂成形装置が設置されているクリーンルーム内を汚染するおそれがある。特許文献１の集塵装置の袋状の一次フィルタは、粉塵を袋内に溜めることができるため、一次フィルタの取り外し時の粉塵の飛散を抑えることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平９－２１９４１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、この一次フィルタは、筐体内で吸気管に吊下げられ、一次フィルタから離れた下方の吸気管によって空気が吸引されている。そのため、吸引時に一次フィルタが動いたり、あるいは不安定な形状で筐体の内部に張り付くおそれがあり、安定的な吸引を行うことができないおそれがある。その結果、集塵機能が低下する可能性がある。

【0006】

本発明は、この問題を解決するためになされたものであり、安定的な吸引により集塵を行うことが可能な集塵装置、樹脂成形装置、及びフィルタ部材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る集塵装置は、開口部を有し、少なくとも一部が通気性のある通気材料で形成された袋状のフィルタ部材を設置可能な集塵装置であって、吸気口及び排気口が形成された筐体と、前記排気口から吸気可能な気体吸引源と、前記筐体の内部において前記排気口を覆うように配置され、複数の通気孔が形成された設置部材と、を備え、前記フィルタ部材の開口部を前記吸気口に接続するとともに前記通気材料の少なくとも一部を前記設置部材上に配置した状態で、前記気体吸引源を駆動することにより、前記吸気口から流入した気体が、当該フィルタ部材を介して、前記排気口から排出されるように構成されている。

【0008】

本発明に係る樹脂成形装置は、樹脂成形を行う樹脂成形モジュールと、前記樹脂成形モジュール内の粉塵を集塵する、上記集塵装置と同一構成の集塵モジュールと、を備えている。

【0009】

本発明に係るフィルタ部材は、上述した集塵装置に設置されるフィルタ部材であって、上部に開口部を有し、袋状に形成されたフィルタ本体を備え、前記フィルタ本体の底部が略平坦な面により形成され、前記フィルタ本体は、少なくとも前記底部が通気性のある通気材料で形成されている。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、安定的な吸引により集塵を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】樹脂成形装置を模式的に示す平面図である。

【図2】集塵モジュールの位置を示す概略図である。

【図3】集塵モジュールの概略構成図である。

【図4】第１筐体を正面から見た断面図である。

【図5】フィルタ部材の側面図である。

【図6】図５の平面図である。

【図7】フィルタ部材のヒダを示す断面図である。

【図8】フィルタ部材の底面図である。

【図9】集塵モジュールの動作を説明する断面図である。

【図10】集塵モジュールの動作を説明する断面図である。

【図11】集塵モジュールの動作を説明する断面図である。

【図12】使用後のフィルタ部材の動作を示す正面図である。

【図13】設置部材に設けられる凸部の他の例を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。この樹脂成形装置には、本発明に係る集塵装置の一実施形態である集塵モジュールが設けられている。各図面は、理解の容易のために、適宜対象を省略又は誇張して模式的に描かれていることがある。

【0013】

＜１．樹脂成形装置の構成＞
図１は、本実施形態に係る樹脂成形装置１００の概略平面図である。この樹脂成形装置１００は、半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子、樹脂封止済みの電子部品（以下、これらを合わせて電子部品と称することとする）が接続された基板（樹脂成形対象物）Ｗにトランスファ成形により樹脂成形（樹脂封止）を施し、樹脂成形品を製造するように構成されている。より詳細に説明すると、基板Ｗの一方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。その後、さらに、基板Ｗの他方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する場合もある。このように、基板Ｗの各面を樹脂で封止する際に、本実施形態に係る樹脂成形装置１００が用いられ、電子部品の基板への固定は他の装置にて行われる。

【0014】

ここで用いられる基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハ等の半導体基板、リードフレーム、プリント配線基板、金属製基板、樹脂製基板、ガラス製基板、セラミック製基板等を挙げることができる。基板Ｗは、ＦＯＷＬＰ（Fan Out Wafer Level Packaging）、ＦＯＰＬＰ（Fan Out Panel Level Packaging）に用いられるキャリアであってもよい。基板Ｗにおいては、配線が既に施されていてもよいし、配線が施されていなくてもよい。

【0015】

図１に示すように、樹脂成形装置１００は、基板・樹脂材料供給モジュールＡ（以下、単に「モジュールＡ」とも称する。）と、２つの樹脂成形モジュールＢ（以下、単に「モジュールＢ」とも称する。）と、基板収納モジュールＣ（以下、単に「モジュールＣ」とも称する。）と、制御部１４と、を有している。制御部としては、例えば、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）、ＰＣ（Personal Computer）等を用いることができる。制御部１４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等を含み、情報処理に応じてモジュールＡ～Ｃの各々の制御を行なうように構成されている。以下、各モジュールＡ～Ｃについて詳細に説明する。なお、モジュールの各々は、他のモジュールに着脱可能かつ交換可能である。また、樹脂成形装置１００において、モジュールＡ～Ｃの各々は増減可能である。

【0016】

＜１－１．モジュールＡ＞
モジュールＡは、成形前の基板Ｗの供給、及び樹脂材料Ｐの供給を行うモジュールであり、基板供給ユニット４２と、インマガジン７８と、整列機構７０と、樹脂供給機構７９と、を有している。基板供給ユニット４２ 、インマガジン７８、及び整列機構７０は、モジュールＡにおいて、ガイドＧよりも正面側（図１の下側）に配置されている。基板供給ユニット４２は、複数の基板Ｗを鉛直方向に間隔を空けて収容する収容容器であるインマガジン７８から基板Ｗを一枚ずつ押し出して整列機構７０へ搬送する。本実施形態では、基板供給ユニット４２は、アクチュエータにより基板Ｗをインマガジン７８から押し出して、インマガジン７８に隣接して配置されている整列機構７０に移動させる。整列機構７０は、回転円盤を有し、基板Ｗが載置されると、回転円盤を回転させて、ローダ４０によるピックアップに適した状態になるように基板Ｗを整列させる。樹脂供給機構７９は、樹脂成形のためのタブレット状の樹脂材料Ｐを供給して、ローダ４０によるピックアップに適した状態に配列させる。

【0017】

＜１－２．モジュールＢ＞
各モジュールＢは、樹脂材料の成形を行うモジュール（樹脂成形モジュール）であり、トランスファ成形によって成形済みの基板Ｗ（樹脂成形品）を製造する成形部５を有している。成形部５は、上型５２と、上型５２に対向する下型５１と、型締め機構５３と、プランジャ（不図示）と、を有している。下型５１は、上面に基板Ｗを保持するように構成されており、樹脂材料Ｐを収容するポットを有している。一方、上型５２は、凹状のキャビティを有している。型締め機構５３は、上型５２と、基板Ｗ及び樹脂材料Ｐが供給された下型５１とを型締めするように構成されている。本実施形態では、上型５２には、さらに、カル部、ランナ、及びゲートが形成されており、カル部、ランナ、及びゲートは、ポット内の溶融した樹脂材料Ｐがプランジャによって押し出されキャビティに至るまでの樹脂流通路を構成する。

【0018】

＜１－３．モジュールＣ＞
モジュールＣは、成形済みの基板Ｗから不要樹脂を除去して収納するためのモジュールである。図１に示すように、モジュールＣは、ゲートブレイク機構７７１と、アウトマガジン７７２と、を有している。ゲートブレイク機構７７１は、成形済みの基板Ｗから不要樹脂を除去する。アウトマガジン７７２は、不要樹脂が除去された成形済みの基板Ｗを収納する。

【0019】

＜１－４．ローダ及びアンローダ＞
本実施形態の樹脂成形装置１００には、モジュールＡ、モジュールＢ、及びモジュールＣに亘って直線状に配設されたガイドＧが設けられている。ガイドＧは、ローダ４０及びアンローダ４４を走行させるレール状の部材である。ガイドＧ は、各モジュールのそれぞれにおける背面側（図１の上側）に配設されている。ローダ４０は、モジュールＡからモジュールＢに亘って移動可能であり、モジュールＡにおいて基板Ｗと樹脂材料Ｐをピックアップして、モジュールＢに搬送し、基板Ｗと樹脂材料Ｐを下型５１に供給する。アンローダ４４は、モジュールＢからモジュールＣに亘って移動可能であり、モジュールＢにおいて成形済みの基板Ｗをピックアップして、モジュールＣに搬送し、ゲートブレイク機構７７１に受け渡す。

【0020】

＜２．集塵モジュール＞
次に、集塵モジュールについて説明する。図２に示すように、集塵モジュール２００は、モジュールＢに隣接して設けられ、モジュールＢにおいて成形部５の周囲の空気を吸引する吸気管５０と連結されている。なお、吸気管５０は、さらに、モジュールＡ、モジュールＣにも設けられていてもよい。そして、吸気管５０により吸引された空気は、集塵モジュール２００を通過し、濾過された空気が集塵モジュール２００の外部に排出されるように構成されている。以下、集塵モジュール２００について詳細に説明する。

【0021】

図３は集塵モジュール２００の概略構成図である。図３に示すように、この集塵モジュール２００は、袋状のフィルタ部材３００が収容される第１筐体７、シート状の補助フィルタ部材８０が収容される第２筐体８、及びブロアモータ９１が収容される第３筐体９を備えており、これら３つの筐体７～９が隣接して配置されている。

【0022】

図４は第１筐体７を正面から見た断面図である。図４に示すように、第１筐体７は直方体状に形成され、側面の一部が扉（図示省略）として開閉可能となっており、扉を開くことで、フィルタ部材３００の取り付けなど、内部空間のメンテナンスを行うことができる。第１筐体７の上壁部７１には上述した吸気管５０の端部が取り付けられている。吸気管５０の端部は円筒状に形成され、上壁部７１から下方へ延びている。そして、後述する図９に示すように、この吸気管５０の下端部にフィルタ部材３００が取り付けられる。これにより、吸気管５０を介して、モジュールＢから吸引された粉塵や樹脂のバリなどのゴミ（以下、まとめて樹脂片という）が第１筐体７の内部に導入され、フィルタ部材３００の内部に溜まるようになっている。なお、第１筐体７に取り付けられている吸気管５０が、本発明の吸気口に相当する。

【0023】

一方、第１筐体７の底壁部７２には、矩形状の排気口７２１が形成されており、この排気口７２１を覆うように矩形の板状の設置部材７３が配置されている。この設置部材７３には多数の通気孔が形成されており、この設置部材７３上にフィルタ部材３００が設置される。

【0024】

設置部材７３は、第１筐体７の底壁部７２に配置された複数の支持部７４によって支持されている。より詳細に説明すると、底壁部７２において排気口７２１の外縁の四隅には、上方に突出する直方体状の支持部７４が配置されており、これら支持部７４によって、設置部材７３の四隅が支持されている。これにより、設置部材７３と底壁部７２との間には隙間が形成されており、この隙間へは設置部材７３の側方から空気が流入可能となっている。また、設置部材７３の上面には、ドーム状（半球状）の凸部７５が形成されており、この凸部７５にも多数の通気孔が形成されている。

【0025】

底壁部７２の下面には排気管７６が取り付けられており、この排気管７６が第２筐体８に連結されている。図３に示すように、第２筐体８は水平方向の厚みが小さい直方体状に形成され、その内部に上述した補助フィルタ部材８１が取り付けられている。補助フィルタ部材８１には、シート材を蛇腹状に折り曲げて形成された公知のフィルタ（例えば、ＨＰＥＡフィルタ）が収容されている。この補助フィルタ部材８１によって、第２筐体８の内部が水平方向に２つの領域、つまり、上流領域８４及び下流領域８５に仕切られている。

【0026】

上述した排気管７６は上流領域８４に連結されている。したがって、第１筐体７から排出された空気は、上流領域８４に流入し、補助フィルタ部材８１を通過して下流領域８５に流れるようになっている。すなわち、補助フィルタ部材８１によって、粉塵等が捕捉され空気が浄化される。下流領域８５における第２筐体８の壁面は第３筐体９に連結されており、下流領域８５の空気が第３筐体９に流れるようになっている。

【0027】

図３に示すように、第３筐体９の内部にはブロアモータ（気体吸引源）９１が配置されており、これが駆動することで、モジュールＢから第１～第３筐体７～９を介して空気を吸引できるようになっている。吸引した空気は、第３筐体９の上部に配置された排気管９２から排出されるようになっている。

【0028】

＜３．フィルタ部材＞
次に、フィルタ部材について、図５～図８を参照しつつ説明する。図５はフィルタ部材の側面図、図６は図５の平面図、図７はフィルタ部材のヒダを示す断面図、図８はフィルタ部材の底面図である。図５～図８に示すように、このフィルタ部材３００は、袋状のフィルタ本体３１と、このフィルタ本体３１の外面に配置される配置されるベルト部材３２と、上下に延びる２つの支持部材３３とを有している。

【0029】

フィルタ本体３１は、底部３１１が平坦な円形状に形成されている。一方、フィルタ本体３１の上部には、底部３１１よりも小径の円形状の開口部３１２が形成されている。開口部３１２は、フィルタ本体３１の上端開口付近が内側に折り返され縫い付けられることで形成されており、これによって開口部３１２の周囲に紐状部材３４が通る通路３１４が形成されている。そして、この通路３１４には外部に通じる切り欠き３１３が形成されており、この切り欠き３１３から紐状部材３４の両端がそれぞれ引き出され、外部に延びている。すなわち、フィルタ本体３１の開口部３１２は巾着のような閉鎖構造を有しており、紐状部材３４の両端を引っ張ると開口部３１２が締めつけられて閉じるようになっている。

【0030】

また、フィルタ本体３１の外周面において、紐状部材３４の下方には、周方向に延びる環状の弾性部材３５が取り付けられている。これにより、開口部３１２から挿入された吸気管５０を締めつけることができる。なお、弾性部材３５は例えば、ゴムなどで形成することができる。

【0031】

フィルタ本体３１の外面には、上下方向に延びる複数のヒダ（プリーツ）３１５が形成されており、周方向に所定間隔を開けて並んでいる。図７に示すように、ヒダ３１５は、フィルタ本体３１を折り曲げることで形成されている。そのため、ヒダ３１５が広がることによって、フィルタ本体３１の容積が大きくなる。

【0032】

図５に示すように、ベルト部材３２は、フィルタ本体３１の上下方向の中間付近において、フィルタ本体３１を周方向に囲むように環状に形成されている。ベルト部材３２の周方向の長さは、フィルタ本体３１の外周よりもやや長く形成されている。一方、各支持部材３３は、フィルタ本体３１の外面において、弾性部材３５の近傍と底部３１１の周縁近傍とを連結するように取り付けられている。各支持部材３３は帯状に形成され、フィルタ本体３１の周方向において、約１８０度ずれた位置に配置されている。そして、これら支持部材３３に、ベルト部材３２が固定されることで、ベルト部材３２の上下方向の位置が保持される。

【0033】

フィルタ本体３１を形成する材料は特には限定されないが、ポリエステルなどのフィルタ材として利用される公知の多孔質の織布、不織布などの柔軟性のある材料で形成することができる。すなわち、樹脂片等を捕捉し、空気が流通するような材料であればよい。また、１種類の材料だけでなく、複数の材料でフィルタ本体３１を形成することもできる。例えば、フィルタ本体３１のうち、開口部３１２の周囲は吸気管５０に取り付けられるため、強度を考慮して気体が通過しない樹脂材料で形成することができる。したがって、フィルタ本体３１において、通気性を有さない材料以外の部分が、本発明の通気材料で構成されている。

【0034】

＜４．集塵モジュールの動作＞
次に、上記のよう構成された集塵モジュールの動作について、図９～図１１も参照しつつ説明する。まず、図９に示すように、第１筐体７にフィルタ部材３００を設置する。すなわち、第１筐体７の扉を開き、フィルタ部材３００の開口部３１２に吸気管５０を差し込む。開口部３１２の周縁部には弾性部材３５が配置されているため、弾性部材３５を伸ばしながら、開口部３１２を押し広げ、吸気管５０を挿入する。次に、フィルタ本体３１の底部３１１が設置部材７３の上面に接するように、吸気管５０の挿入長さを調整しながら、フィルタ本体３１の上下の位置を調整する。こうして、フィルタ本体３１の位置が決まると、フィルタ本体３１の外周面に環状の固定部材９８を取り付け、締め付ける。これにより、フィルタ本体３１の開口部３１２が固定部材９８によって吸気管５０の外周面に押し付けられる。その結果、吸気管５０とフィルタ本体３１とが緊密に固定される。

【0035】

この状態で、フィルタ本体３１の底部３１１の中央付近は、凸部７５によって上方に押し上げられ、内部空間側に凸となるように変形し、凸部３１８が形成される（図１１参照）。

【0036】

続いて、第１筐体７の扉を閉じた後、ブロアモータ９１を駆動し、モジュールＢから、樹脂片が含まれた空気を吸引する。図１０に示すように、この空気の一部Ｆ１は吸気管５０を介して、フィルタ本体３１に流れ込み、フィルタ本体３１の底部３１１から設置部材７３を介して排気管７６に向かって吸引される。この過程において、図１１に示すように、樹脂片Ｓはフィルタ本体３１の底部３１１に溜まっていく。このとき、樹脂片Ｓは底部３１１に形成された凸部３１８の周囲に溜まっていく。また、凸部３１８に衝突した樹脂片Ｓは、凸部３１８から転がり、その周囲に溜まっていく。

【0037】

図１０に示すように、排気管７６には、フィルタ部材３００の内部を通過する空気Ｆ１だけでなく、フィルタ部材３００の周囲の空気Ｆ２も吸引される。これは、設置部材７３と排気口７２１との間に隙間が形成されているからであり、この隙間と連通するフィルタ部材３００の周囲の空気も吸引されるからである。そのため、第１筐体７の内部において、フィルタ部材３００の周囲は負圧になり、これによって、フィルタ本体３１に流入する空気は、底部３１１に向かうだけでなく（Ｆ１）、底部３１１以外の外周面からフィルタ部材３００から外部に流出する（Ｆ２）。そのため、樹脂片Ｓはフィルタ本体３１の底部３１１だけでなく、外周面においても捕捉される。

【0038】

こうして、フィルタ本体３１を通過した空気は、図３に示すように、排気口７２１から排気管７６を介して第２筐体８に流れ込み、上流領域８４から補助フィルタ部材８１を介して下流領域８５に流れていく。このとき、補助フィルタ部材８１を通過する空気には樹脂片はほぼ残留していないが、仮にフィルタ部材３００が損傷するなど不具合が生じたときには、補助フィルタ部材８１によって樹脂片が捕捉される。そして、この空気は第３筐体９へ流れ、排気管９２から集塵モジュール２００の外部に排出される。

【0039】

フィルタ部材３００は定期的に交換される。この場合、第１筐体７の扉を開き、固定部材９８を取り外した後、フィルタ部材３００を吸気管５０から取り外す。その後、図１２に示すように、紐状部材３４を引っ張れば、開口部３１２を簡単に閉じることができ、樹脂片がフィルタ部材３００から外部に漏れるのを防止することができる。このように処理されたフィルタ部材３００は適宜廃棄することができる。

【0040】

＜５．特徴＞
以上のように構成された集塵モジュール２００においては、次のような効果を得ることができる。

【0041】

（１）フィルタ本体３１が袋状に形成されているため、樹脂片を捕捉した後、吸気管５０から取り外せば、そのまま廃棄することができる。したがって、フィルタ部材３００の交換時の樹脂片の飛散を防止することができる。また、交換時には、フィルタ部材３００の開口部３１２を吸気管５０に取り付け、底部３１１を設置部材７３上に配置するだけであるため、交換も容易である。したがって、本実施形態に係るフィルタ部材３００を用いれば、メンテナンスを容易に行うことができる。

【0042】

（２）本実施形態では、フィルタ部材３００を設置部材７３上に配置した上で、吸引を行っている。そのため、フィルタ部材３００の設置の方向（重力方向）と吸引の方向が一致するため、第１筐体７内でフィルタ部材３００が動くのを抑制することができる。その結果、空気の吸引及び樹脂片の捕捉を安定的に行うことができる。特に、本実施形態のフィルタ部材３００は、平坦な底部３１１を有しているための、フィルタ部材３００を設置部材７３上に安定的に配置することができる。

【0043】

（３）図１０に示すように、設置部材７３と排気口７２１との間に隙間が形成されているため、この隙間からも吸引された空気Ｆ２が流入する。そのため、第１筐体７の内部では、フィルタ部材３００の周囲を負圧にすることができるため、フィルタ本体３１の底部３１１以外の外周面からも空気が排出される。その結果、樹脂片は、フィルタ本体３１の底部３１１だけでなく、外周面においても捕捉することができる。したがって、樹脂片の捕捉面積を大きくすることができる。

【0044】

また、フィルタ部材３００の使用初期は底部３１１からの空気の吸引力が大きいため、樹脂片は主として底部３１１に溜まっていくが、底部３１１に樹脂片が積層し目詰まりした場合でも、フィルタ本体３１の外周面を利用して樹脂片の捕捉ができるため、フィルタ部材３００の稼働時間を長くすることができる。

【0045】

（４）設置部材７３に凸部７５を形成しているため、フィルタ本体３１の底部３１１は、吸引も手伝って、この凸部７５に沿うように内部空間側に凸となるように変形し、凸部３１８が形成される。このため、図１１に示すように、捕捉された樹脂片Ｓは、上述したように、主として底部３１１における凸部３１８の周囲に溜まっていく。その結果、溜まった樹脂片Ｓで凸部３１８の周囲が覆われても、凸部３１８において空気の流通が可能であるため、フィルタ機能が低下するのを抑制することができる。したがって、フィルタ部材３００の稼働時間を長くすることができる。

【0046】

（５）フィルタ本体３１の外周を囲むようにベルト部材３２が設けられているため、フィルタ本体３１が膨れすぎるなど、フィルタ本体３１の形状が崩れないように保持することできる。

【0047】

（６）万一、フィルタ部材３００が破断するなどして、フィルタ機能が低下しても、補助フィルタ部材８１が設けられているため、樹脂片を確実に捕捉することができる。

【0048】

＜６．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。例えば、以下の変更が可能である。また、以下の変形例の要旨は適宜組み合わせることができる。

【0049】

（１）フィルタ本体３１の構造は特には限定されず、少なくとも一部が通気性のある通気材料で形成され、吸気管５０が取り付け可能な開口部３１２が形成されていればよい。したがって、紐状部材３４、弾性部材３５、ヒダ３１５、支持部材３３、ベルト部材３２は、必要に応じて適宜設ければよい。また、フィルタ本体３１の形状も特には限定されない。例えば、底部３１１は必ずしも平坦でなくてもよく、設置部材７３上に配置可能な形状であればよく、フィルタ本体３１において、この設置部材７３上に配置される部分が通気材料で形成されていればよい。

【0050】

（２）上記実施形態では、設置部材７３上に凸部７５を形成しているが、凸部７５の形状は特には限定されず、通気性があり、上方に突出していればよい。例えば、上述したドーム状（半球状）のほか、円錐台状（図１３（ａ））、円錐状（図１３（ｂ））、円柱状（図１３（ｃ））、多角柱状、多角錘状、多角錘台状等、種々の形状にすることができる。但し、樹脂片を底部３１１に転がりやすくするため、上部に設ける平坦部分はできるだけ小さいことが好ましい。なお、凸部７５は必ずしも必要ではないが、設けた方が上述した原理でフィルタ部材３００の稼働時間を長くできることが、本発明者によって確認されている。また、上記実施形態では、設置部材７３上に凸部７５が別に設けられているが、凸部７５は、設置部材７３の一部を凸形状にすることによって形成されてもよい。

【0051】

（３）フィルタ部材３００の底部３１１には、設置部材７３の凸部７５が嵌まる凹部を予め形成しておくこともできる。この場合、凹部の形状は特には限定されないが、上述した凸部７５の形状に合わせた形状にすることが好ましい。

【0052】

（４）上記実施形態では、気体の吸引源としてブロアモータを用いているが、特には限定されず、気体を吸引可能であればよい。

【0053】

（５）第１筐体７においては、吸気口としての吸気管５０と、排気口７２１が形成され、フィルタ部材３００が設置される設置部材７３が設けられていればよい。設置部材７３と排気口７２１との間の隙間は必ずしも必要ではなく、必要に応じて設ければよいが、このような隙間を設けると、上記のようにフィルタ部材３００の外周面でも樹脂片を捕捉することができる。

【0054】

（６）補助フィルタ部材８１は必ずしも必要ではなく、必要に応じて設ければよい。なお、補助フィルタ部材の種類は特には限定されず、種々の形態のフィルタを用いることができる。

【0055】

（７）上記実施形態に係る樹脂成形装置は、トランスファーモールド法による樹脂成形を行う装置であるが、本発明の集塵装置は、コンプレッションモールド法による樹脂成形を行う装置にも適用可能である。したがって、上述したモジュールＡ～Ｃは樹脂成形装置の一例であり、適宜変更することができる。

【0056】

（８）本発明に係るフィルタ部材は、上述した集塵モジュール２００に限られず、他の集塵装置にも使用することができる。

【符号の説明】

【0057】

７ ：第１筐体（筐体）
３１ ：フィルタ本体
３１１ ：底部
３２ ：ベルト部材
３４ ：紐状部材
５０：吸気管（吸気口）
７３ ：設置部材
７５ ：凸部
８１ ：補助フィルタ部材
１００ ：樹脂成形装置
２００ ：集塵モジュール（集塵装置）
３００ ：フィルタ部材
３１ ：フィルタ本体
３１１ ：底部
３１２ ：開口部
３１５ ：ヒダ
３１８ ：凸部
７２１ ：排気口
Ｂ ：樹脂成形モジュール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】