特開2023-126546プラズマ処理装置用部材

発明の名称　プラズマ処理装置用部材

出願人　日本発條株式会社　（識別番号 4640）

　　　　特許公開件数ランキング 133 位（236件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 133 位（191件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社イズミテクノ　（識別番号 500095230）

　　　　特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24267 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-126546

公報発行日　2023年9月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-126546

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